JP2019219052A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】真空バルブの主弁体及び副弁体を改良することにより、該真空バルブの小形化と構造の簡略化とを実現する。【解決手段】第１ポート１５と第２ポート１６とを結ぶ主流路１７と、該主流路１７を取り囲む主弁座１９と、該主弁座１９に接離することにより前記主流路１７を開閉する主弁体２０と、該主弁体２０の内部に形成された副流路２１と、前記主弁体２０の外面に形成された副弁座２４と、前記主弁体２０の外部で該副弁座２４に接離することにより前記副流路２１を開閉する副弁体２５と、前記主弁体２０及び副弁体２５を開閉させるロッド３５とを有し、前記副弁体２５は、前記ロッド３５で直接操作されることにより前記副流路２１を開閉し、前記主弁体２０は、前記ロッド３５で前記副弁体２５を介して操作されることにより前記主流路１７を開閉する。【選択図】図２

Description

本発明は真空バルブに関するものであり、更に詳しくは、２つのポートを結ぶ流路を段階的に開閉するために、開度の大きい主弁部と開度の小さい副弁部とを並列に設けた真空バルブに関するものである。

２つのポートを結ぶ流路を段階的に開閉するために、開度の大きい主弁部と開度の小さい副弁部とを並列に設けた真空バルブは、特許文献１−３に開示されているように公知である。この種の真空バルブは、例えば、半導体処理装置において真空チャンバと真空ポンプとの間に接続し、前記真空チャンバを減圧する場合に使用するものである。

しかしながら、公知の真空バルブは、前記主弁部に設けた主弁体の内部に、断面積の小さい副流路と該副流路を取り囲む副弁座とを設けると共に、副弁体を収容し、該副弁体を前記主弁体の内部で変位させることにより、該副弁体を前記副弁座に接離させて前記副流路を開閉するように構成されているため、前記主弁体が大形化すると同時にその構造も複雑化し、真空バルブ全体の大形化及び構造の複雑化に繋がり易いという問題があった。

特開昭５２−１６０１７号公報 特開平９−１３７８７９号公報 特開２００７−１６９９６号公報

本発明の技術的課題は、真空バルブの主弁体及び副弁体を改良することにより、該真空バルブの小形化と構造の簡略化とを実現することにある。

課題を解決するため、本発明の真空バルブは、ハウジングに形成された第１ポート及び第２ポートと、前記ハウジングの内部に該第１ポートと第２ポートとを結ぶように形成された主流路と、該主流路を取り囲む主弁座と、該主弁座に接離することにより前記主流路を開閉する主弁体と、該主弁体の内部に前記主流路と並列をなすように形成された副流路と、前記主弁体に該副流路を取り囲むように形成された副弁座と、該副弁座に接離することにより前記副流路を開閉する副弁体と、前記主弁体及び副弁体を開閉操作する開閉操作機構とを有している。前記ハウジングの内部には、ロッドが前記主弁体を摺動自在に貫通するように配設され、該ロッドの軸線方向の一端である基端部に前記開閉操作機構が連結されると共に、該ロッドの軸線方向の他端である先端部に前記副弁体が、前記主弁体の外部で該主弁体に接離するように配設され、該主弁体の外面の前記副弁体が当接する部分に前記副弁座が形成されており、前記副弁体は、前記ロッドで直接操作されることにより前記副流路を開閉し、前記主弁体は、前記ロッドで前記副弁体を介して操作されることにより前記主流路を開閉する。

本発明において、前記ロッドは、分離可能なるように連結された先端側の第１ロッド部と基端側の第２ロッド部とを有し、前記第１ロッド部は、前記主弁体を貫通していて、該第１ロッド部の先端に前記副弁体が設けられており、前記第２ロッド部は、前記開閉操作機構に連結されており、前記主弁体は、前記第１ロッド部を前記第２ロッド部から分離することによって前記ロッドから取り外し可能である。

この場合、前記主弁体は、前記主弁座に接離する円盤部材と、該円盤部材とは別体に形成されて該円盤部材と組み合わされた円筒部材とを有し、前記円盤部材と円筒部材との間に前記副流路が形成されると共に、前記円盤部材に前記副弁座が形成され、前記円筒部材の内周に、前記ロッドをガイドする軸受部材と、該円筒部材の内周と前記ロッドの外周との間をシールするシール部材とが設けられていることが望ましい。

また、前記ロッドには、筒状をしたばね受け部材が、該ロッドに沿って変位自在であるが、前記第２ロッド部に係止することによって該第２ロッド部から分離不能なるように取り付けられ、前記ばね受け部材には、前記主弁体の円筒部材が嵌合する筒状のカバー部と、第１ばね座及び第２ばね座とが設けられ、前記第１ばね座と前記ハウジングに形成された主ばね座との間に、前記主弁体を前記主弁座に当接する方向に付勢する主弁ばねが圧縮状態に介設され、前記第２ばね座と前記ロッドに形成された副ばね座との間に、該ロッドを介して前記副弁体を前記副弁座に当接する方向に付勢する副弁ばねが圧縮状態に介設され、前記主弁体には、前記主弁ばね及び副弁ばねを取り囲むベローズの一端が連結され、該ベローズの他端は前記ハウジングに連結されていることが望ましい。

本発明において、前記副弁体は、前記ロッドの前進動作により、前記副弁座から離れて前記副流路を開放し、前記主弁体は、前記ロッドの後退動作により、前記副弁体を介して変位し、前記主弁座から離れて前記主流路を開放するように構成されていても良い。

更に、前記開閉操作機構は、１つの流体圧シリンダにより形成されていて、前記ロッドに連結されたピストンと、該ピストンの一側に形成された第１圧力室と、該ピストンの他側に形成された第２圧力室とを有し、前記ピストンは前記ロッドに連結されており、前記第１圧力室に圧力流体を供給すると、前記ピストン及びロッドが前進して前記副弁体が副流路を開放し、前記第２圧力室に圧力流体を供給すると、前記ピストン及びロッドが後退して前記主弁体が主流路を開放するように構成されている。

また、前記真空バルブは、前記副弁体の開度を調整する開度調整機構を有し、該開度調整機構は、前記ハウジングの側面に形成された操作口を通じて回転操作可能な調整ナットと、該調整ナットが噛み合うストッパとを有し、該ストッパは、前記調整ナットを回転操作することによって軸線方向に変位可能であり、該ストッパの位置に応じて前記副弁体の開度が調整されるように構成されていても良い。

本発明のスプール弁は、主弁体の外部に副弁座を設け、この副弁座を、前記主弁体の外部に配置した副弁体で開閉するように構成することで、従来の真空バルブのように主弁体の内部に設けた副弁座を該主弁体の内部に収容した副弁体で開閉するものに比べ、真空バルブの構造の簡略化と小型化とを実現することができる。

本発明に係る真空バルブの斜視図である。 図１の真空バルブの中央縦断面図であって、主流路及び副流路が何れも閉鎖されている状態の図である。 図２の要部拡大図である。 図１の真空バルブの一部を分解して示す斜視図であり、この斜視図では、ハウジングの一部である第１ハウジング部材は省略されている。 副弁体が副流路を開放し、主弁体が主流路を閉鎖した状態の真空バルブの断面図である。 主弁体が主流路を開放した状態の真空バルブの断面図である。 開度調整機構により副弁体の開度を調整した状態を示す真空バルブの要部拡大断面図である。

図は本発明に係る真空バルブの一実施形態を示すもので、この真空バルブは、半導体処理装置において真空チャンバと真空ポンプとの間に接続し、前記真空チャンバを減圧するために使用するものである。
前記真空バルブは、図１−図３から明らかなように、平面視形状が矩形状をしたハウジング１０を有し、該ハウジング１０は、中空の第１ハウジング部材１１と中空の第２ハウジング部材１２とを、矩形の隔壁部材１３を介して複数の連結螺子１４で軸線Ｌ方向に結合することにより、形成されている。

前記第１ハウジング部材１１は、前記軸線Ｌ方向に開口する第１ポート１５と、該軸線Ｌと直交する方向に開口する第２ポート１６とを有し、前記第１ハウジング部材１１の内部に、前記第１ポート１５と第２ポート１６とを結ぶ主流路１７が形成されている。
前記第１ポート１５及び第２ポート１６のうち一方（例えば第２ポート１６）は、半導体製造装置の真空チャンバに接続され、他方（例えば第１ポート１５）は真空ポンプに接続される。

前記主流路１７の一部には弁室１８が形成され、該弁室１８の内部に、軸線Ｌ上の位置で前記主流路１７を取り囲む環状の主弁座１９が形成されると共に、該主弁座１９に接離して前記主流路１７を開閉する主弁体２０が収容されている。

前記主弁体２０の内部には、副流路２１が前記主流路１７と並列をなすように形成されている。該副流路２１の一端は、前記主弁体２０の下面に開口する第１開口部２２を通じて前記第１ポート１５に連通し、該副流路２１の他端は、前記主弁体２０の上面に開口する第２開口部２３を通じて前記第２ポート１６に連通している。前記副流路２１の断面積は前記主流路１７の断面積より小さい。

また、前記主弁体２０の下面には、環状の副弁座２４が、軸線Ｌ上の位置で前記副流路２１の第１開口部２２を取り囲むように形成され、前記主弁体２０の下方に、板状の副弁体２５が、該主弁体２０の外部で前記副弁座２４に接離するように配設され、該副弁体２５によって前記副流路２１が開閉されるようになっている。前記副弁体２５の直径は前記主弁体２０の直径より小さい。

このように、主弁体２０の外部に副弁座２４を設け、この副弁座２４を、前記主弁体２０の外部に配置した副弁体２５で開閉するように構成することで、従来の真空バルブのように主弁体の内部に設けた副弁座を該主弁体の内部に収容した副弁体で開閉するものに比べ、真空バルブの構造の簡略化と小型化とを実現することができる。

前記主弁体２０は、図４からも明らかなように、円盤部材３０と、該円盤部材３０より小径の円筒部材３１とで形成されている。
前記円盤部材３０の下面には、前記主弁座１９に接離する環状の主弁シール３２が取り付けられ、該円盤部材３０の上面には、円形の窪み３３が形成されている。前記窪み３３の底面中央位置には、前記第１開口部２２が形成され、前記窪み３３の直径方向の相対する位置に、前記第２開口部２３を形成する切欠部３４が形成されている。

前記円筒部材３１は、下端部にフランジ状をした嵌合部３１ａを有し、該嵌合部３１ａを前記円盤部材３０の窪み３３の内部に嵌合することにより、該円筒部材３１と前記円盤部材３０とが相互に組み合わされ、該円筒部材３１と前記円盤部材３０との間に、前記第１開口部２２と前記第２開口部２３とを結ぶ前記副流路２１が形成されている。この場合、前記円盤部材３０と円筒部材３１とは、圧入等の方法で互いに固定しても良いが、好ましくは、相互に固定することなく、メンテナンス時に分離できるようにしておくことである。

また、前記ハウジング１０の内部には、前記軸線Ｌに沿って延びるロッド３５が、前記隔壁部材１３を気密に且つ摺動自在に貫通するように配設されている。該ロッド３５の先端部（下端部）は、前記主弁体２０の中心を貫通して該主弁体２０の下方に延出し、該ロッド３５の先端部に前記副弁体２５が設けられており、前記ロッド３５の基端部（上端部）には、前記副弁体２５と主弁体２０とを開閉操作するための開閉操作機構５０が連結されている。

前記ロッド３５は、前記主弁体２０の円盤部材３０と円筒部材３１とを貫通する先端側の第１ロッド部３６と、前記開閉操作機構５０に連結された基端側の第２ロッド部３７とを有し、前記第１ロッド部３６と第２ロッド部３７とは、ねじ込み等の方法によって分離可能なるように連結されている。そして、前記第１ロッド部３６の先端には、円板状をした前記副弁体２５が形成され、前記第２ロッド部３７の基端には、前記開閉操作機構５０のピストン５１が連結されている。
図示した例では、前記副弁体２５が前記第１ロッド部３６と一体に形成されているが、該副弁体２５は、前記第１ロッド部３６と別体に形成して該第１ロッド部３６に連結しても良い。図中の符号３８は、前記副弁体２５に取り付けられた環状の副弁シールである。

前記主弁体２０における前記円筒部材３１の内周には、前記ロッド３５の第１ロッド部３６をガイドする軸受部材３９と、該円筒部材３１の内周と前記第１ロッド部３６の外周との間をシールするシール部材４０とが設けられている。

前記主弁体２０は、上記の如く前記ロッド３５の第１ロッド部３６に取り付けられているから、前記ハウジング１０の第１ハウジング部材１１を隔壁部材１３から分離したあと、前記ロッド３５の第１ロッド部３６を前記第２ロッド部３７から分離することにより、該主弁体２０を、前記ロッド３５から取り外すことができると共に、前記第１ロッド部３６からも取り外すことができる。更に、前記ロッド３５から取り外した主弁体２０は、前記円盤部材３０と円筒部材３１とを分離することもできる。

また、前記ロッド３５の外周には、前記主弁体２０の円筒部材３１より上方位置に、筒状のばね受け部材４１が配設されている。このばね受け部材４１は、前記ロッド３５に沿って変位可能であるが、前記第２ロッド部３７に形成された係止リング４２に係止することにより、係止した位置より下方へは移動することができないようになっている。
前記ばね受け部材４１には、前記主弁体２０側へ延出する円筒状のカバー部４１ａが形成され、該カバー部４１ａの内部に、前記主弁体２０の円筒部材３１が分離自在に嵌合している。

前記ばね受け部材４１には、その下端部にフランジ状をした第１ばね座４１ｂが形成されると共に、その上端部に第２ばね座４１ｃが形成されている。そして、前記第１ばね座４１ｂと、前記隔壁部材１３に形成された主ばね座１３ａとの間には、主弁ばね４４が圧縮状態に介設され、該主弁ばね４４により前記主弁体２０が、前記主弁座１９に当接する方向に付勢されている。また、前記第２ばね座４１ｃと、前記ロッド３５の第２ロッド部３７に形成された副ばね座３５ａとの間には、副弁ばね４５が圧縮状態に介設され、該副弁ばね４５により前記副弁体２５が、前記ロッド３５を介して前記副弁座２４に当接する方向に付勢されている。

一方、前記主弁体２０の円筒部材３１には、金属からなる伸縮自在のベローズ４６の一端が、該ベローズ４６と一体をなすリング状の取付部４６ａを介して溶接等の方法により固定され、該ベローズ４６の他端は、リング状の支持部材４７に連結されて、該支持部材４７が、前記ハウジング１０の第１ハウジング部材１１と前記隔壁部材１３との間に挟持されている。
前記ベローズ４６は、前記ロッド３５、ばね受け部材４１、主弁ばね４４、及び副弁ばね４５と、前記主弁体２０の一部とを取り囲み、それらをプロセスガスから遮断するものである。

前記ベローズ４６は、前記ハウジング１０の第１ハウジング部材１１を隔壁部材１３から分離したあと、前記ロッド３５の第１ロッド部３６を前記第２ロッド部３７から分離して前記主弁体２０を前記ロッド３５から取り外す際に、前記主弁体２０と一緒に取り外すことができる。
これに対して前記ばね受け部材４１は、前記ロッド３５の第２ロッド部３７に係止してその位置に残るため、前記主弁ばね４４及び副弁ばね４５も、該ばね受け部材４１と共にその位置に残ることになる。

このように、前記真空バルブは、プロセスガスとの接触により劣化し易い前記ベローズ４６や主弁シール３２あるいは副弁シール３８等の点検や交換等を行うために、前記ベローズ４６や主弁体２０あるいは副弁体２５等を、他の部品と分離して外部に簡単に取り出すことができるものである。このため、該真空バルブの保守、点検が容易であると共に、分解作業も容易であり、また、保守、点検後の再組み立て作業も容易である。

次に、前記開閉操作機構５０について説明する。図２に示すように、該開閉操作機構５０は、１つの流体圧シリンダによって構成されており、本実施形態の流体圧シリンダはエアシリンダである。
前記開閉操作機構５０は、前記第２ハウジング部材１２の内部に形成された円形のシリンダ孔５２を有し、該シリンダ孔５２の内部に前記ピストン５１が、該ピストン５１の外周に取り付けられたリング状のガイド部材５３とピストンシール５４とを介して軸線Ｌ方向に摺動自在に収容されている。

前記シリンダ孔５２の一端は、前記第２ハウジング部材１２に気密に取り付けられたエンドプレート５５によって塞がれており、該シリンダ孔５２の他端は、前記隔壁部材１３と、後述の開度調整機構７０を構成する調整ナット７１及びストッパ７２とによって塞がれている。
前記シリンダ孔５２の内部は、前記ピストン５１により、該ピストン５１と前記エンドプレート５５との間の第１圧力室５６と、前記ピストン５１と前記隔壁部材１３及び調整ナット７１との間の第２圧力室５７とに区画され、前記第１圧力室５６及び第２圧力室５７は、前記第２ハウジング部材１２の側面に形成された第１操作ポート５８及び第２操作ポート５９に個別に連通している。

前記ロッド３５の基端部即ち上端部は、前記隔壁部材１３の中心孔を気密に貫通して前記シリンダ孔５２内に延出し、前記ピストン５１に連結されている。
図中の符号６０は、前記隔壁部材１３の内周とロッド３５の外周との間に介設された軸受部材、同じく符号６１は、前記隔壁部材１３の内周とロッド３５の外周との間をシールするシール部材である。

前記ピストン５１は、前記主弁体２０が前記主弁座１９に当接して前記主流路１７を閉鎖すると共に、前記副弁体２５が前記副弁座２４に当接して前記副流路２１を閉鎖しているとき、前記副弁ばね４５で図の上方に向けて付勢されることにより、前記ストッパ７２の上端の当接面７２ａから離間した位置（閉弁位置）を占めている。

そして、この状態から、図５に示すように、前記第１操作ポート５８を通じて第１圧力室５６に圧力エアを供給すると共に、前記第２圧力室５７を第２操作ポート５９を通じて外部に開放すると、前記ピストン５１がストッパ７２の当接面７２ａに当接する位置まで下降（前進）し、該ピストン５１と一緒に前記ロッド３５も下降（前進）する。このため、前記副弁体２５が副弁座２４から離間して前記副流路２１が開放する。このときの前記副弁体２５のストロークＳは、図２に示すように、該副弁体２５が前記閉弁位置にある時のピストン５１の下面と前記ストッパ７２の当接面７２ａとの距離である。

続いて、前記第２操作ポート５９を通じて前記第２圧力室５７に圧力エアを供給すると共に、前記第１圧力室５６を第１操作ポート５８を通じて外部に開放すると、図６に示すように、前記ピストン５１がエンドプレート５５に当接する位置まで上昇（後退）し、該ピストン５１と一緒に前記ロッド３５も上昇（後退）する。そして、前記ロッド３５が上昇する途中で、前記副弁体２５が主弁体２０に当接して該主弁体２０を持ち上げるため、該主弁体２０が前記主弁座１９から離間して前記主流路１７が開放する。このとき、前記副弁体２５が副弁座２４に当接することによって前記副流路２１は閉鎖されるが、真空バルブの動作上問題はない。

前記開閉操作機構５０には、前記副弁体２５の開度を調整するための前記開度調整機構７０が設けられている。この開度調整機構７０は、前記調整ナット７１と前記ストッパ７２とによって構成されており、その具体的構成は次の通りである。

先ず、前記隔壁部材１３の具体的な構成を説明する。図７から明らかなように、前記隔壁部材１３の上面には、環状の凹部１３ｂが形成され、該凹部１３ｂの中央位置に、該凹部１３ｂの深さとほぼ同じ高さの円筒部１３ｃが形成され、該円筒部１３ｃの中心を前記ロッド３５が貫通している。また、前記隔壁部材１３の側面には、前記凹部１３ｂに通じる操作口１３ｄが設けられている。

前記調整ナット７１は、前記シリンダ孔５２の内部に嵌合する円筒状の嵌合部７１ａと、該嵌合部７１ａの下部に形成されたリング状の操作部７１ｂとを有し、該調整ナット７１の中心には、前記隔壁部材１３の円筒部１３ｃが嵌合する嵌合孔７１ｃと、前記ストッパ７２が噛合する螺子孔７１ｄとが形成されている。前記操作部７１ｂの外径は前記嵌合部７１ａの外径より大きく、該操作部７１ｂの軸線Ｌ方向高さは、前記隔壁部材１３の凹部１３ｂの深さより僅かに小さい。
前記調整ナット７１は、前記操作部７１ｂを前記隔壁部材１３の凹部１３ｂ内に収容して、該操作部７１ｂを、前記隔壁部材１３の凹部１３ｂの底面と前記第２ハウジング部材１２の下端面との間に僅かな隙間をおいて介在させることにより、軸線Ｌ方向の移動を規制された状態で、該軸線Ｌを中心に回転自在なるように配設されている。

前記操作部７１ｂの外周には、滑り止めのための歯車状をした凹凸７１ｅが形成され、該操作部７１ｂの一部は、前記操作口１３ｄを通じて隔壁部材１３の側面から外部に露出し、該操作口１３ｄを通じて前記操作部７１ｂを指で回転操作することができるようになっている。また、前記調整ナット７１が開度調整時以外に回転することのないように、前記隔壁部材１３の側面には、固定螺子７５が取り付けられ、この固定螺子７５を締め込んでその先端を前記調整ナット７１の側面に係止させることにより、該調整ナット７１が固定されている。

なお、図中の符号７３は、前記嵌合部７１ａの外周と前記シリンダ孔５２の内周との間をシールするシール部材、同じく符号７４は、前記調整ナット７１の内周と前記隔壁部材１３の円筒部１３ｃの外周との間をシールするシール部材である。

前記ストッパ７２は、円筒状をした部材で、外周に前記調整ナット７１の螺子孔７１ｄに噛合する雄螺子７２ｂを有し、該ストッパ７２の中心孔７２ｃを前記ロッド３５が摺動自在に貫通している。この場合、前記ストッパ７２が前記ロッド３５に対して、軸線Ｌ方向には相対的に変位自在ではあるが、該軸線Ｌを中心にして相対的に回転しないようにするため、前記中心孔７２ｃとロッド３５とは、断面形状が六角形をなすように形成されている。

前記ロッド３５が六角形をしている部分は、図５に示すように、前記第２ロッド部３７の基端側の大径部３７ａだけであって、該第２ロッド部３７の先端側の小径部３７ｂと、該小径部３７ｂに連結された前記第１ロッド部３６とは、断面形状が円形であると共に、互いに同径である。このため、前記隔壁部材１３の中心孔に取り付けられた前記軸受部材６０及びシール部材６１は、六角形のロッド３５に対応できるものである。

前記開度調整機構７０において、図２に示すように、前記ストッパ７２の上端の当接面７２ａが前記調整ナット７１の上端面と同じ位置にある状態から、前記固定螺子７５を緩め、前記操作部７１ｂを操作することによって前記調整ナット７１を一方向に回転させると、前記ストッパ７２は、前記ロッド３５に対して回転することができないため、図７に示すように、前記軸線Ｌに沿って上方に変位し、前記当接面７２ａが調整ナット７１から突出する。そして、その突出量分だけ前記副弁体２５のストロークＳ即ち開度が小さくなる。

また、前記ストッパ７２の当接面７２ａが前記調整ナット７１の上端面から突出している状態で、該調整ナット７１を逆方向に回転させると、前記ストッパ７２が軸線Ｌに沿って下降するため、前記当接面７２ａの突出量は減少し、その減少分だけ前記副弁体２５のストロークＳは大きくなる。

なお、前記実施形態では、前記開閉操作機構５０が流体圧シリンダにより形成されているが、この開閉操作機構５０は電動モータで形成することもできる。この場合、前記開度調整機構７０は省略することもできる。

１０ ハウジング
１３ 隔壁部材
１３ａ 主ばね座
１３ｄ 操作口
１５ 第１ポート
１６ 第２ポート
１７ 主流路
１８ 弁室
１９ 主弁座
２０ 主弁体
２１ 副流路
２４ 副弁座
２５ 副弁体
３０ 円盤部材
３１ 円筒部材
３５ ロッド
３５ａ 副ばね座
３６ 第１ロッド部
３７ 第２ロッド部
３９ 軸受部材
４０ シール部材
４１ ばね受け部材
４１ａ カバー部
４１ｂ 第１ばね座
４１ｃ 第２ばね座
４４ 主弁ばね
４５ 副弁ばね
４６ ベローズ
５０ 開閉操作機構
５１ ピストン
５６ 第１圧力室
５７ 第２圧力室
７０ 開度調整機構
７１ 調整ナット
７２ ストッパ
Ｌ 軸線

Claims (7)

1. ハウジングに形成された第１ポート及び第２ポートと、前記ハウジングの内部に該第１ポートと第２ポートとを結ぶように形成された主流路と、該主流路を取り囲む主弁座と、該主弁座に接離することにより前記主流路を開閉する主弁体と、該主弁体の内部に前記主流路と並列をなすように形成された副流路と、前記主弁体に該副流路を取り囲むように形成された副弁座と、該副弁座に接離することにより前記副流路を開閉する副弁体と、前記主弁体及び副弁体を開閉操作する開閉操作機構とを有し、
   前記ハウジングの内部には、ロッドが前記主弁体を摺動自在に貫通するように配設され、該ロッドの軸線方向の一端である基端部に前記開閉操作機構が連結されると共に、該ロッドの軸線方向の他端である先端部に前記副弁体が、前記主弁体の外部で該主弁体に接離するように配設され、該主弁体の外面の前記副弁体が当接する部分に前記副弁座が形成されており、
   前記副弁体は、前記ロッドで直接操作されることにより前記副流路を開閉し、
   前記主弁体は、前記ロッドで前記副弁体を介して操作されることにより前記主流路を開閉する、
   ことを特徴とする真空バルブ。
2. 前記ロッドは、分離可能なるように連結された先端側の第１ロッド部と基端側の第２ロッド部とを有し、
   前記第１ロッド部は、前記主弁体を貫通していて、該第１ロッド部の先端に前記副弁体が設けられており、
   前記第２ロッド部は、前記開閉操作機構に連結されており、
   前記主弁体は、前記第１ロッド部を前記第２ロッド部から分離することによって前記ロッドから取り外し可能である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
3. 前記主弁体は、前記主弁座に接離する円盤部材と、該円盤部材とは別体に形成されて該円盤部材と組み合わされた円筒部材とを有し、前記円盤部材と円筒部材との間に前記副流路が形成されると共に、前記円盤部材に前記副弁座が形成され、前記円筒部材の内周に、前記ロッドをガイドする軸受部材と、該円筒部材の内周と前記ロッドの外周との間をシールするシール部材とが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
4. 前記ロッドには、筒状をしたばね受け部材が、該ロッドに沿って変位自在であるが、前記第２ロッド部に係止することによって該第２ロッド部から分離不能なるように取り付けられ、
   前記ばね受け部材には、前記主弁体の円筒部材が嵌合する筒状のカバー部と、第１ばね座及び第２ばね座とが設けられ、
   前記第１ばね座と前記ハウジングに形成された主ばね座との間に、前記主弁体を前記主弁座に当接する方向に付勢する主弁ばねが圧縮状態に介設され、
   前記第２ばね座と前記ロッドに形成された副ばね座との間に、該ロッドを介して前記副弁体を前記副弁座に当接する方向に付勢する副弁ばねが圧縮状態に介設され、
   前記主弁体には、前記主弁ばね及び副弁ばねを取り囲むベローズの一端が連結され、該ベローズの他端は前記ハウジングに連結されている、
   ことを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
5. 前記副弁体は、前記ロッドの前進動作により、前記副弁座から離れて前記副流路を開放し、
   前記主弁体は、前記ロッドの後退動作により、前記副弁体を介して変位し、前記主弁座から離れて前記主流路を開放する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
6. 前記開閉操作機構は、１つの流体圧シリンダにより形成されていて、前記ロッドに連結されたピストンと、該ピストンの一側に形成された第１圧力室と、該ピストンの他側に形成された第２圧力室とを有し、前記ピストンは前記ロッドに連結されており、前記第１圧力室に圧力流体を供給すると、前記ピストン及びロッドが前進して前記副弁体が副流路を開放し、前記第２圧力室に圧力流体を供給すると、前記ピストン及びロッドが後退して前記主弁体が主流路を開放することを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
7. 前記真空バルブは、前記副弁体の開度を調整する開度調整機構を有し、該開度調整機構は、前記ハウジングの側面に形成された操作口を通じて回転操作可能な調整ナットと、該調整ナットが噛み合うストッパとを有し、該ストッパは、前記調整ナットを回転操作することによって軸線方向に変位可能であり、該ストッパの位置に応じて前記副弁体の開度が調整されるように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。

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