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JP2019215395A - Transfer type photosensitive film, method for forming cured film pattern, laminate and touch panel - Google Patents

Transfer type photosensitive film, method for forming cured film pattern, laminate and touch panel Download PDF

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JP2019215395A
JP2019215395A JP2018111121A JP2018111121A JP2019215395A JP 2019215395 A JP2019215395 A JP 2019215395A JP 2018111121 A JP2018111121 A JP 2018111121A JP 2018111121 A JP2018111121 A JP 2018111121A JP 2019215395 A JP2019215395 A JP 2019215395A
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metal oxide
oxide particles
meth
acrylate
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JP2018111121A
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Japanese (ja)
Inventor
田仲 裕之
Hiroyuki Tanaka
裕之 田仲
雅彦 海老原
Masahiko Ebihara
雅彦 海老原
征志 南
Seishi Minami
征志 南
匠 渡邊
Takumi Watanabe
匠 渡邊
智紀 寺脇
Tomonori TERAWAKI
智紀 寺脇
向 郁夫
Ikuo Mukai
郁夫 向
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

To provide a transfer type photosensitive film capable of forming a cured film pattern which can sufficiently reduce pattern visibility of a transparent electrode pattern while sufficiently suppressing occurrence of a development residue; and to provide a method for forming a cured film pattern, a laminate and a touch panel using the same.SOLUTION: A transfer type photosensitive film 1 has a temporary support 10, a first layer 20 which is provided on the temporary support and is formed of a photosensitive resin composition and a second layer 30 containing metal oxide particles in this order, in which the metal oxide particles contain first metal oxide particles having a particle size of 15-30 nm and second metal oxide particles having a particle size of 3.3-6.6 nm, and a content of the metal oxide particles in the second layer is 25-50 vol.%.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、転写型感光性フィルム、硬化膜パターンの形成方法、積層体及びタッチパネルに関する。   The present invention relates to a transfer type photosensitive film, a method for forming a cured film pattern, a laminate, and a touch panel.

パソコン及びテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、スマートフォン、電子辞書等の小型電子機器、OA(Office Automation、オフィスオートメーション)・FA(Factory Automation、ファクトリーオートメーション)機器等の表示機器などには液晶表示素子及びタッチパネル(タッチセンサー)が用いられている。   Large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, mobile phones, smartphones, and electronic dictionaries, display devices such as OA (Office Automation) and FA (Factory Automation) devices, etc. A liquid crystal display element and a touch panel (touch sensor) are used.

タッチパネルは各種の方式が実用化されているが、近年、投影型静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、X軸とY軸による2次元座標を表現するために、複数のX電極と、該X電極に直交する複数のY電極とが、2層構造を形成している。これらの電極の材料として、ITO(Indium−Tin−Oxide、酸化インジウムスズ)が主流である。   Various types of touch panels have been put into practical use, but in recent years, the use of a projected capacitive touch panel has been advanced. Generally, in a projected capacitive touch panel, a plurality of X electrodes and a plurality of Y electrodes orthogonal to the X electrodes have a two-layer structure in order to express two-dimensional coordinates by the X axis and the Y axis. Has formed. As a material for these electrodes, ITO (Indium-Tin-Oxide, indium tin oxide) is mainly used.

ところで、タッチパネルの額縁領域はタッチ位置を検出できない領域であるから、その額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるための重要な要素である。一般的に額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために銅等の金属配線が形成されている。タッチパネルにおいては、指先に接触される際に水分又は塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、上記金属配線が腐食し、電極と駆動用回路間の電気抵抗の増加、又は断線の恐れがある。   By the way, since the frame region of the touch panel is a region where the touch position cannot be detected, reducing the area of the frame region is an important factor for improving the product value. Generally, metal wiring such as copper is formed in the frame area to transmit a detection signal of a touch position. In a touch panel, when it comes into contact with a fingertip, a corrosive component such as moisture or salt may enter the sensing area into the inside. When a corrosive component enters the inside of the touch panel, the metal wiring is corroded, and there is a risk of an increase in electrical resistance between the electrode and the driving circuit or a disconnection.

金属配線の腐食を防ぐために、タッチパネル用基材上に、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジ(メタ)アクリレート化合物を含有する感光性樹脂組成物層を設け、この感光性樹脂組成物層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に、所定部分以外を除去し、基材の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組物の硬化膜を形成する方法が提案されている(下記特許文献1を参照)。この手法によれば、タッチパネル用基材上に充分な低透湿性を有する硬化膜を形成することができる。   In order to prevent corrosion of the metal wiring, a photosensitive resin composition layer containing a di (meth) acrylate compound having a dicyclopentanyl structure or a dicyclopentenyl structure is provided on a substrate for a touch panel. After curing a predetermined portion of the material layer by irradiation with actinic rays, a method of removing a portion other than the predetermined portion and forming a cured film of a photosensitive resin assembly covering a part or the whole of the substrate has been proposed. (See Patent Document 1 below). According to this method, a cured film having a sufficiently low moisture permeability can be formed on the touch panel substrate.

他方で、投影型静電容量方式のタッチパネルには、透明電極パターンが形成された部分と、形成されていない部分との光学的な反射特性の違いにより色差が大きくなり、モジュール化した際に透明電極パターンが画面上に映りこむ、いわゆる「骨見え現象」の問題がある。また、基材と透明電極との間、又はモジュール化する際に使用するカバーガラスと透明電極パターンとを接着する視認性向上フィルム(OCA:Optical Clear Adhesive)と透明電極パターンとの間で、反射光強度が増加し、画面の透過率を低下させるという問題もある。   On the other hand, in a projected capacitive touch panel, the color difference increases due to the difference in the optical reflection characteristics between the part where the transparent electrode pattern is formed and the part where the transparent electrode pattern is not formed. There is a problem of the so-called "bone appearance phenomenon" in which the electrode pattern is reflected on the screen. In addition, reflection between a transparent electrode pattern and a visibility improving film (OCA: Optical Clear Adhesive) for bonding a cover glass and a transparent electrode pattern to be used for modularization between a substrate and a transparent electrode. There is also a problem that the light intensity increases and the transmittance of the screen decreases.

これに対し、例えば下記特許文献2には、基材と透明電極パターンとの間にインデックスマッチング層(光学調整層)(以下、「IM層」という)を設けることで、透明電極パターンが形成された部分と形成されていない部分との色差を低減し、骨見え現象と、画面の透過率低下を防ぐ透明導電樹脂基板が開示されている。   In contrast, for example, in Patent Document 2 below, a transparent electrode pattern is formed by providing an index matching layer (optical adjustment layer) (hereinafter, referred to as an “IM layer”) between a base material and a transparent electrode pattern. There is disclosed a transparent conductive resin substrate that reduces a color difference between a curved portion and a non-formed portion to prevent a bone appearance phenomenon and a decrease in transmittance of a screen.

また、例えば下記特許文献3には、透明電極パターンが視認されることを防ぐ手法として、特定の屈折率の範囲に調整された低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層及び高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層とを隣接して有する転写フィルムが開示されている。   In addition, for example, in Patent Document 3 below, as a technique for preventing the transparent electrode pattern from being visually recognized, a first curable transparent resin layer having a low refractive index adjusted to a specific refractive index range and a high curable transparent resin layer having a high refractive index are used. A transfer film having a second curable transparent resin layer adjacent thereto is disclosed.

特開2015−121929号公報JP 2015-121929 A 特開平8−240800号公報JP-A-8-240800 国際公開第2014/084112号パンフレットWO 2014/084112 pamphlet

ところで、タッチパネルの額縁領域にある銅配線上に保護膜を設ける場合、例えば外部接続端子部の一部には保護膜を形成しないことがある。感光性樹脂組成物を用いて必要な箇所に硬化膜を設ける場合、通常、露光及び現像を含む工程によりパターニングが行われる。このときの現像手段としては、作業環境の安全性の観点から、水系のアルカリ現像液が好適に用いられる。   When a protective film is provided on a copper wiring in a frame area of a touch panel, for example, a protective film may not be formed on a part of an external connection terminal portion. When a cured film is provided at a necessary place using a photosensitive resin composition, patterning is usually performed by a process including exposure and development. As the developing means at this time, an aqueous alkaline developer is preferably used from the viewpoint of the safety of the working environment.

そこで、本発明者らは、現像可能な感光性樹脂組成物層と、高屈折率層とが積層された転写型感光性フィルムによる硬化膜パターンの形成について検討を行った。そして、この検討の中で、骨見え現象を充分に低減するために金属酸化物粒子を高配合した高屈折率層を設けると現像残渣が生じやすくなることが判明した。   Then, the present inventors studied formation of a cured film pattern using a transferable photosensitive film in which a developable photosensitive resin composition layer and a high refractive index layer were laminated. In this study, it was found that when a high refractive index layer containing a large amount of metal oxide particles was provided in order to sufficiently reduce the bone appearance phenomenon, development residues were likely to occur.

本発明は、透明電極パターンの骨見え現象を充分に低減することができる硬化膜パターンを現像残渣の発生を充分抑制しつつ形成することができる転写型感光性フィルム、並びに、それを用いる硬化膜パターンの形成方法、積層体及びタッチパネルを提供することを目的とする。   The present invention is directed to a transfer type photosensitive film capable of forming a cured film pattern capable of sufficiently reducing a bone appearance phenomenon of a transparent electrode pattern while sufficiently suppressing generation of a development residue, and a cured film using the same. It is an object to provide a method for forming a pattern, a laminate, and a touch panel.

上記課題を解決するために本発明者らは鋭意検討した結果、感光性樹脂組成物層に積層される層に、粒径の範囲が異なる金属酸化物粒子を2種類組み合わせて配合し、その層における金属酸化物粒子の体積割合を調整することにより、骨見え現象の低減効果と現像性との両立が可能になることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, combined two types of metal oxide particles having different particle diameter ranges into a layer laminated on the photosensitive resin composition layer, It has been found that by adjusting the volume ratio of the metal oxide particles in the above, it is possible to achieve both the effect of reducing the bone appearance phenomenon and the developability, and have completed the present invention.

本発明は、仮支持体と、該仮支持体上に設けられた、感光性樹脂組成物からなる第一の層と、金属酸化物粒子を含む第二の層と、をこの順に備え、金属酸化物粒子が、粒子径が15〜30nmである第一の金属酸化物粒子と、粒子径が3.3〜6.6nmである第二の金属酸化物粒子とを含み、第二の層における金属酸化物粒子の含有量が、25〜50体積%である転写型感光性フィルムを提供する。   The present invention provides a temporary support, provided on the temporary support, a first layer made of a photosensitive resin composition, and a second layer containing metal oxide particles, in this order, metal The oxide particles include a first metal oxide particle having a particle size of 15 to 30 nm and a second metal oxide particle having a particle size of 3.3 to 6.6 nm. A transfer type photosensitive film having a content of metal oxide particles of 25 to 50% by volume is provided.

本発明の転写型感光性フィルムによれば、上記構成を有することにより、透明電極パターンの骨見え現象を充分に低減することができる硬化膜パターンを現像残渣の発生を充分抑制しつつ形成することができる。   According to the transfer type photosensitive film of the present invention, by having the above-described configuration, a cured film pattern capable of sufficiently reducing the bone appearance phenomenon of the transparent electrode pattern can be formed while sufficiently suppressing generation of development residues. Can be.

本発明によって上記の効果が奏される理由を本発明らは以下のとおり考えている。まず、透明電極パターンが設けられた基材上に感光性樹脂層及び高屈折率層を備える転写型感光性フィルムを用いて硬化膜パターンを形成する場合、高屈折率層側からのラミネートにより基材/高屈折率層/感光性樹脂層の積層構造が形成され、この積層構造に対して露光及び感光性樹脂層側からの現像が行われる。ここで、高屈折率層に金属酸化物粒子を高配合した場合に現像残渣が生じやすくなる理由については、高屈折率層に含まれる感光性樹脂の多くが金属酸化物粒子の間隙に存在するようになり、現像液による感光性樹脂の溶解が妨げられるためと考えられる。これに対し、本発明の転写型感光性フィルムでは、第二の層に、上記特定の粒径を有する第一の金属酸化物粒子と第一の金属酸化物粒子の粒径よりも小さい上記特定の粒径を有する第二の金属酸化物粒子とが配合されていることにより、第二の層中では第一の金属酸化物粒子間に第二の金属酸化物粒子が存在する粒子充填構造が形成されやすくなる。第二の層がこのような粒子充填構造を有していることにより、骨見え現象を充分に低減できる水準まで金属酸化物粒子を充填した場合であっても、金属酸化物粒子が高密度にパッキングされることで粒子の間隙が減少し、感光性樹脂が第二の層の表面側に存在する割合を高めることができ、現像性が良好になったものと本発明者らは推察する。   The present inventors consider the reason why the above effects are exhibited by the present invention as follows. First, when a cured film pattern is formed using a transferable photosensitive film having a photosensitive resin layer and a high refractive index layer on a substrate on which a transparent electrode pattern is provided, the base is formed by laminating from the high refractive index layer side. A laminated structure of material / high refractive index layer / photosensitive resin layer is formed, and the laminated structure is exposed and developed from the photosensitive resin layer side. Here, the reason why development residue is likely to occur when metal oxide particles are highly blended in the high refractive index layer is that most of the photosensitive resin contained in the high refractive index layer exists in the gap between the metal oxide particles. It is considered that the dissolution of the photosensitive resin by the developing solution is hindered. On the other hand, in the transfer type photosensitive film of the present invention, in the second layer, the first metal oxide particles having the specific particle size and the specific metal oxide particles having a particle size smaller than the first metal oxide particles have the specific particle size. By mixing with the second metal oxide particles having a particle size of, the particle filling structure in which the second metal oxide particles are present between the first metal oxide particles in the second layer. It is easy to form. Since the second layer has such a particle filling structure, even when the metal oxide particles are filled to a level that can sufficiently reduce the bone appearance phenomenon, the metal oxide particles have a high density. The present inventors speculate that the packing reduces the gap between the particles, increases the proportion of the photosensitive resin present on the surface side of the second layer, and improves the developability.

本発明の転写型感光性フィルムにおいて、現像性を更に向上させる観点から、第一の金属酸化物粒子の平均粒子径Mに対する第二の金属酸化物粒子の平均粒子径Mの比M/Mが、0.10〜0.44であることが好ましい。 In the transfer type photosensitive film of the present invention, from the viewpoint of further improving developability, the ratio M 2 of the average particle diameter M 2 of the second metal oxide particles to the average particle diameter M 1 of the first metal oxide particles. / M 1 is preferably from 0.10 to 0.44.

本発明の転写型感光性フィルムにおいて、第二の層が感光性樹脂組成物を含んでいてもよい。   In the transfer type photosensitive film of the present invention, the second layer may contain a photosensitive resin composition.

本発明の転写型感光性フィルムは、現像性を更に向上させつつ骨見え現象を抑制する観点から、第二の層における第一の金属酸化物粒子の含有量が、15〜40体積%であり、第二の層における第二の金属酸化物粒子の含有量が、2〜10体積%であることが好ましい。   In the transfer type photosensitive film of the present invention, the content of the first metal oxide particles in the second layer is from 15 to 40% by volume from the viewpoint of suppressing the bone appearance phenomenon while further improving the developability. The content of the second metal oxide particles in the second layer is preferably 2 to 10% by volume.

本発明はまた、電極パターンを有する基材上に、上記本発明に係る転写型感光性フィルムの第一の層及び第二の層を、基材の電極パターンが設けられている側と第二の層とが密着するようにラミネートする工程と、基材上の第一の層及び第二の層の所定部分を露光後、所定部分以外を除去し、電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜パターンを形成する工程とを備える硬化膜パターンの形成方法を提供する。   The present invention also provides, on a substrate having an electrode pattern, the first layer and the second layer of the transfer type photosensitive film according to the present invention, the side of the substrate on which the electrode pattern is provided and the second layer. The step of laminating so that the layers are in close contact with each other, and after exposing a predetermined portion of the first layer and the second layer on the substrate, removing portions other than the predetermined portion, and covering a part or all of the electrode pattern. Forming a cured film pattern.

本発明の硬化膜パターンの形成方法によれば、本発明に係る転写型感光性フィルムを用いることにより、電極が透明電極である場合にその骨見え現象を充分に低減することができる硬化膜パターンを現像残渣の発生を充分抑制しつつ形成することができる。   According to the method of forming a cured film pattern of the present invention, by using the transfer type photosensitive film according to the present invention, when the electrode is a transparent electrode, the cured film pattern can sufficiently reduce the bone appearance phenomenon. Can be formed while sufficiently suppressing generation of a development residue.

本発明はまた、電極パターンを有する基材と、電極パターン上に設けられた硬化膜と、を有する積層体であって、硬化膜は、基材側に金属酸化物粒子を含有する領域を有し、金属酸化物粒子が、粒子径が15〜30nmである第一の金属酸化物粒子と、粒子径が3.3〜6.6nmである第二の金属酸化物粒子とを含み、上記領域における金属酸化物粒子の含有量が25〜50体積%である積層体を提供する。   The present invention is also a laminate comprising a substrate having an electrode pattern and a cured film provided on the electrode pattern, wherein the cured film has a region containing metal oxide particles on the substrate side. And wherein the metal oxide particles include a first metal oxide particle having a particle size of 15 to 30 nm and a second metal oxide particle having a particle size of 3.3 to 6.6 nm; In which the content of the metal oxide particles is 25 to 50% by volume.

本発明の積層体は、電極が透明電極である場合にその骨見え現象を充分に低減することができる硬化膜を有する。また、本発明の積層体は、硬化膜が本発明に係る転写型感光性フィルムによって形成できるものであることから、現像残渣に起因する問題が発生しにくいものになり得る。   The laminate of the present invention has a cured film capable of sufficiently reducing the bone appearance phenomenon when the electrode is a transparent electrode. Further, in the laminate of the present invention, since the cured film can be formed by the transfer type photosensitive film according to the present invention, a problem caused by a development residue can hardly occur.

本発明の積層体において、第一の金属酸化物粒子の平均粒子径Mに対する第二の金属酸化物粒子の平均粒子径Mの比M/Mが、0.10〜0.44であってもよい。 In the laminate of the present invention, the average ratio M 2 / M 1 of the particle diameter M 2 of the second metal oxide particles to the average particle diameter M 1 of the first metal oxide particles, 0.10 to 0.44 It may be.

また、上記領域における第一の金属酸化物粒子の含有量が、15〜40体積%であり、上記領域における第二の金属酸化物粒子の含有量が、2〜10体積%であってもよい。   Further, the content of the first metal oxide particles in the region may be 15 to 40% by volume, and the content of the second metal oxide particles in the region may be 2 to 10% by volume. .

本発明はまた、上記本発明に係る積層体を備え、基材がタッチパネル用基材であるタッチパネルを提供する。本発明のタッチパネルは、本発明に係る積層体を備えることにより、透明電極パターンの骨見え現象が充分に抑制され、視認性に優れたものになり得る。また、本発明のタッチパネルは、硬化膜が本発明に係る転写型感光性フィルムによって形成できるものであることから、外部接続端子における接続不良などの現像残渣に起因する問題が発生しにくいものになり得る。   The present invention also provides a touch panel including the laminate according to the present invention, wherein the substrate is a substrate for a touch panel. Since the touch panel of the present invention includes the laminate according to the present invention, the phenomenon of visible bones of the transparent electrode pattern can be sufficiently suppressed, and the touch panel can be excellent in visibility. Further, in the touch panel of the present invention, since the cured film can be formed by the transfer type photosensitive film according to the present invention, problems caused by development residues such as poor connection at external connection terminals are less likely to occur. obtain.

本発明によれば、透明電極パターンの骨見え現象を充分に低減することができる硬化膜パターンを現像残渣の発生を充分抑制しつつ形成することができる転写型感光性フィルム、並びに、それを用いる硬化膜パターンの形成方法、積層体及びタッチパネルを提供することができる。   According to the present invention, a transfer type photosensitive film capable of forming a cured film pattern capable of sufficiently reducing a bone appearance phenomenon of a transparent electrode pattern while sufficiently suppressing generation of a development residue, and using the same. A method for forming a cured film pattern, a laminate, and a touch panel can be provided.

本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを示す模式断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a transfer type photosensitive film according to one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜パターンを透明電極パターン付き基材上に備える積層体を示す模式断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a laminate including a cured film pattern formed using a transfer-type photosensitive film according to an embodiment of the present invention on a substrate with a transparent electrode pattern. 本発明の一実施形態に係るタッチパネルを示す模式上面図である。1 is a schematic top view showing a touch panel according to one embodiment of the present invention.

以下、場合により図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「A又はB」とは、AとBのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In this specification, “(meth) acrylic acid” means acrylic acid or methacrylic acid, and “(meth) acrylate” means acrylate or methacrylate corresponding thereto. “A or B” may include one of A and B, and may include both.

また、本明細書において「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。   Further, in this specification, the term “layer” includes, when observed in a plan view, a structure having a partly formed shape in addition to a structure having a partly formed whole surface. Further, in this specification, the term "step" is used not only for an independent step but also for the case where the intended action of the step is achieved even if it cannot be clearly distinguished from other steps. included. Further, a numerical range indicated by using “to” indicates a range including numerical values described before and after “to” as a minimum value and a maximum value, respectively.

さらに、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Further, in the present specification, the content of each component in the composition, if there are a plurality of substances corresponding to each component in the composition, unless otherwise specified, the total of the plurality of substances present in the composition Means the amount. Unless otherwise specified, the exemplified materials may be used alone or in combination of two or more.

また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。   In addition, in the numerical ranges described stepwise in this specification, the upper limit or the lower limit of the numerical range of a certain stage may be replaced with the upper limit or the lower limit of the numerical range of another stage. In the numerical ranges described in this specification, the upper limit or the lower limit of the numerical range may be replaced with the value shown in the embodiment.

[転写型感光性フィルム]
本実施形態の転写型感光性フィルムは、仮支持体と、該仮支持体上に設けられた、感光性樹脂組成物からなる第一の層と、金属酸化物粒子を含む第二の層と、をこの順に備えるものである。転写型感光性フィルムは、第二の層上に設けられた保護フィルムを更に備えていてもよい。
[Transfer type photosensitive film]
The transfer type photosensitive film of the present embodiment is a temporary support, provided on the temporary support, a first layer made of a photosensitive resin composition, and a second layer containing metal oxide particles. , In this order. The transfer type photosensitive film may further include a protective film provided on the second layer.

図1は、本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを示す模式断面図である。図1に示される転写型感光性フィルム1は、仮支持体としての支持フィルム10と、支持フィルム10上に設けられた第一の層20と、第一の層20上に設けられた第二の層30と、第二の層30上に設けられた保護フィルム40とを備える。   FIG. 1 is a schematic sectional view showing a transfer type photosensitive film according to one embodiment of the present invention. The transfer type photosensitive film 1 shown in FIG. 1 includes a support film 10 as a temporary support, a first layer 20 provided on the support film 10, and a second layer 20 provided on the first layer 20. And a protective film 40 provided on the second layer 30.

(支持フィルム)
支持フィルム10としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムの材質としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、シクロオレフィンポリマー等が挙げられる。
(Support film)
As the support film 10, a polymer film can be used. Examples of the material of the polymer film include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polyethersulfone, and cycloolefin polymer.

支持フィルム10の厚みは、被覆性の確保と、支持フィルム10を介して活性光線を照射する際の解像度の低下を抑制する観点から、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましく、15〜40μmであることがさらに好ましく、15〜35μmであることが特に好ましい。   The thickness of the support film 10 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 70 μm, from the viewpoint of ensuring coverage and suppressing a decrease in resolution when irradiating active light through the support film 10. Is more preferably 15 to 40 μm, particularly preferably 15 to 35 μm.

(第一の層)
第一の層20は、バインダーポリマー(以下、(A)成分ともいう)と、光重合性化合物(以下、(B)成分ともいう)と、光重合開始剤(以下、(C)成分ともいう)と、を含有する感光性樹脂組成物から形成されることが好ましい。
(First layer)
The first layer 20 includes a binder polymer (hereinafter, also referred to as a component (A)), a photopolymerizable compound (hereinafter, also referred to as a component (B)), and a photopolymerization initiator (hereinafter, also referred to as a component (C)). ) Is preferably formed from a photosensitive resin composition containing

<バインダーポリマー>
(A)成分としては、アルカリ現像によりパターニングを可能とする観点から、カルボキシル基を有するポリマーを用いることが好ましい。
<Binder polymer>
As the component (A), a polymer having a carboxyl group is preferably used from the viewpoint of enabling patterning by alkali development.

(A)成分は、(メタ)アクリル酸、及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位を含有する共重合体が好適である。上記共重合体は、上記(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステルと共重合し得るその他のモノマーを構成単位に含有していてもよい。その他のモノマーとして具体的には、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステル等が挙げられる。   As the component (A), a copolymer containing a structural unit derived from (meth) acrylic acid and an alkyl (meth) acrylate is preferable. The above-mentioned copolymer may contain the other monomer which can be copolymerized with the above (meth) acrylic acid and the alkyl (meth) acrylate in the structural unit. Specific examples of other monomers include glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, styrene, and cyclohexyl (meth) acrylate.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシルエチルエステル等が挙げられる。   Examples of the alkyl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and (meth) acryl. Acid hydroxyl ethyl ester and the like.

バインダーポリマーは、アルカリ現像性(特に無機アルカリ水溶液に対する現像性)、パターニング性、透明性の観点から、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシルマレイミド、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート及びヒドロキシブチル(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーが好ましく、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル及び(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を有するバインダーポリマーがより好ましく、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル及び(メタ)アクリル酸シクロヘキシルエステルに由来する構造単位を有するバインダーポリマーが特に好ましい。また、バインダーポリマーは、上記構造単位として少なくともヒドロキシエチル(メタ)アクリレート又はヒドロキシブチル(メタ)アクリレートを含む共重合体のヒドロキシエチル(メタ)アクリレート又はヒドロキシブチル(メタ)アクリレートに、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート又はグリシジル(メタ)アクリレートを付加反応させたものであってもよい。   From the viewpoints of alkali developability (especially developability in an aqueous inorganic alkali solution), patterning properties, and transparency, the binder polymer is composed of (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, styrene, Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, Dicyclopentenyloxy (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxy (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclohexylma Binder polymers having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of imide, hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxybutyl (meth) acrylate are preferable, and (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate Ester, benzyl (meth) acrylate, styrene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and (meth) acryl Binder polymers having structural units derived from at least one compound selected from the group consisting of acid cyclohexyl esters are more preferable, and (meth) acrylic acid, alkyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid Succinimidyl ester and (meth) binder polymer having a structural unit derived from acrylic acid cyclohexyl ester are particularly preferred. Further, the binder polymer may be a copolymer containing at least hydroxyethyl (meth) acrylate or hydroxybutyl (meth) acrylate as the above structural unit, such as hydroxyethyl (meth) acrylate or hydroxybutyl (meth) acrylate, and isocyanatoethyl (meth) acrylate. Acrylate or glycidyl (meth) acrylate may be subjected to an addition reaction.

本実施形態においては、硬化膜の透湿度を低減する観点から、側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基、側鎖に酸性基を有する基、並びに、側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を含有するバインダーポリマーを用いることができる。側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基は、側鎖に分岐構造を有する基を含有するモノマー、又は側鎖に脂環構造を有する基を含有するモノマーによって導入することができる。側鎖に酸性基を有する基は、側鎖に酸性基を有する基を含有するモノマーによって導入することができる。   In the present embodiment, from the viewpoint of reducing the moisture permeability of the cured film, a group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain, a group having an acidic group in the side chain, and an ethylenically unsaturated group in the side chain A binder polymer containing a group having a group can be used. The group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain can be introduced by a monomer containing a group having a branched structure in the side chain or a monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain. The group having an acidic group in the side chain can be introduced by a monomer containing a group having an acidic group in the side chain.

側鎖に分岐構造を有する基を含有するモノマーとしては、例えば(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸i−アミル、(メタ)アクリル酸t−アミル、(メタ)アクリル酸sec−iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−オクチル、(メタ)アクリル酸3−オクチル、(メタ)アクリル酸t−オクチル等が挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチルが好ましく、さらに好ましくは、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸t−ブチルである。   Examples of the monomer containing a group having a branched structure in the side chain include i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, and t- (meth) acrylate. Butyl, i-amyl (meth) acrylate, t-amyl (meth) acrylate, sec-iso-amyl (meth) acrylate, 2-octyl (meth) acrylate, 3-octyl (meth) acrylate, ( (Meth) acrylic acid t-octyl and the like. Among them, i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, and t-butyl methacrylate are preferable, and i-propyl methacrylate and t-butyl methacrylate are more preferable.

側鎖に脂環構造を有する基を含有するモノマーとしては、例えば炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートが挙げられる。より具体的な例としては、例えば(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル−2)、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸−3−メチル−5−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5,8−トリエチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−3,5−ジメチル−8−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−5−イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−1−イルメチル、(メタ)アクリル酸−1−メンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸−3−ヒドロキシ−2,6,6−トリメチル−ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸−3,7,7−トリメチル−4−ヒドロキシ−ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸−2,2,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル等が挙げられる。これら(メタ)アクリル酸エステルの中でも、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸−2−アダマンチルが特に好ましい。   Examples of the monomer containing a group having an alicyclic structure in the side chain include (meth) acrylate having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms. As more specific examples, for example, (meth) acrylic acid (bicyclo [2.2.1] heptyl-2), (meth) acrylic acid-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-2-adamantyl, (meth) ) -3-Methyl-1-adamantyl acrylate, -3,5-dimethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, -3-ethyladamantyl (meth) acrylate, -3-methyl-5- (meth) acrylate -Ethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5,8-triethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid-3,5-dimethyl-8-ethyl-1-adamantyl, (meth) acrylic acid 2-methyl-2-adamantyl, 2-ethyl-2-adamantyl (meth) acrylate, 3-hydroxy-1-adamantyl (meth) acrylate, (meth) acyl Octahydro-4,7-menthanoinden-5-yl luate, octahydro-4,7-menthanoinden-1-ylmethyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid Dicyclopentanyl, 3-hydroxy-2,6,6-trimethyl-bicyclo [3.1.1] heptyl (meth) acrylate, -3,7,7-trimethyl-4-hydroxy (meth) acrylate -Bicyclo [4.1.0] heptyl, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, fentyl (meth) acrylate, -2,2,5-trimethylcyclohexyl (meth) acrylate, And cyclohexyl (meth) acrylate. Among these (meth) acrylates, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 1-adamantyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid- 2-adamantyl, fentyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate are preferred, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylate, ( Isobornyl (meth) acrylate and 2-adamantyl (meth) acrylate are particularly preferred.

(A)成分が側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基を含有することにより、基材に対する良好な密着性、特にインデックスマッチング層を有する基材に対する良好な密着性を得ることができる。また、側鎖に脂環構造を有する基を有すことにより、硬化膜の透湿度を低減することができる。   When the component (A) contains a group having a branched structure and / or an alicyclic structure in a side chain, it is possible to obtain good adhesion to a substrate, particularly good adhesion to a substrate having an index matching layer. it can. Further, by having a group having an alicyclic structure in the side chain, the moisture permeability of the cured film can be reduced.

側鎖に酸性基を有する基を含有するモノマーの具体例としては、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有するモノマーと環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。   Specific examples of the monomer containing a group having an acidic group in the side chain can be appropriately selected from known monomers, and include, for example, (meth) acrylic acid, vinylbenzoic acid, maleic acid, and monoalkyl maleate. , Fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, an addition product of a monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride, ω-carboxy-polycaprolactone mono (meta ) Acrylate and the like. These may be appropriately manufactured or commercially available products.

(A)成分が側鎖に酸性基を有する基を含有することにより、アルカリ現像によるパターニングを可能とすることができる。   When the component (A) contains a group having an acidic group in the side chain, patterning by alkali development can be performed.

側鎖にエチレン性不飽和基を有する基としては、特に制限はなく、エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリロイル基が好ましい。また、エチレン性不飽和基とモノマーとの連結はエステル基、アミド基、カルバモイル基などの2価の連結基であれば特に制限はない。側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法は公知の方法の中から適宜選択することができ、例えば、酸性基を持つ基にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、ヒドロキシ基を持つ基にイソシアネート基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、イソシアネート基を持つ基にヒドロキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法などが挙げられる。その中でも、酸性基を持つ基にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法が最も製造が容易であり、低コストである点で好ましい。   The group having an ethylenically unsaturated group in the side chain is not particularly limited, and a (meth) acryloyl group is preferable as the ethylenically unsaturated group. The link between the ethylenically unsaturated group and the monomer is not particularly limited as long as it is a divalent linking group such as an ester group, an amide group, and a carbamoyl group. The method for introducing an ethylenically unsaturated group into the side chain can be appropriately selected from known methods. For example, a method for adding a (meth) acrylate having an epoxy group to a group having an acidic group, a method for adding a hydroxy group, A method of adding a (meth) acrylate having an isocyanate group to a group having the same, a method of adding a (meth) acrylate having a hydroxy group to a group having an isocyanate group, and the like can be given. Among them, a method of adding a (meth) acrylate having an epoxy group to a group having an acidic group is preferred because it is the easiest to manufacture and the cost is low.

(A)成分が側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を含有することにより、基材に対する良好な密着性、特にインデックスマッチング層を有する基材に対する良好な密着性を得ることができる。また、硬化膜の透湿度を低減することができる。   When the component (A) contains a group having an ethylenically unsaturated group in a side chain, good adhesion to a substrate, particularly good adhesion to a substrate having an index matching layer can be obtained. Further, the moisture permeability of the cured film can be reduced.

(A)成分を構成するモノマー全量を基準として、側鎖に分岐構造及び/又は脂環構造を有する基を構成するモノマーの割合は、10〜70モル%であることが好ましく、15〜65モル%であることがより好ましく、20〜60モル%であることがさらに好ましい。また、(A)成分を構成するモノマー全量を基準として、側鎖に酸性基を有する基を構成するモノマーの割合は、5〜70モル%であることが好ましく、10〜60モル%であることがより好ましく、20〜50モル%がさらに好ましい。更に、(A)成分を構成するモノマー全量を基準として、側鎖にエチレン性不飽和基を有する基を構成するモノマーの割合は、5〜70モル%であることが好ましく、10〜60モル%であることがより好ましく、20〜50モル%がさらに好ましい。上記モノマーの割合を満たすことで、アルカリ現像によるパターニング性、基材へのラミネート性、及び、インデックスマッチング層を有していてもよい基材に対する良好な密着性をバランス良く向上させることができる。   Based on the total amount of the monomers constituting the component (A), the proportion of the monomers constituting the group having a branched structure and / or an alicyclic structure in the side chain is preferably from 10 to 70 mol%, and preferably from 15 to 65 mol%. %, More preferably 20 to 60 mol%. Further, based on the total amount of the monomers constituting the component (A), the proportion of the monomers constituting the group having an acidic group in the side chain is preferably from 5 to 70 mol%, more preferably from 10 to 60 mol%. Is more preferable, and 20 to 50 mol% is further preferable. Further, based on the total amount of the monomers constituting the component (A), the proportion of the monomers constituting the group having an ethylenically unsaturated group in the side chain is preferably from 5 to 70 mol%, more preferably from 10 to 60 mol%. Is more preferably 20 to 50 mol%. By satisfying the ratio of the monomer, the patterning property by alkali development, the lamination property to the base material, and the good adhesion to the base material which may have the index matching layer can be improved in a well-balanced manner.

(A)成分の重量平均分子量は、解像度の観点から、10,000〜200,000であることが好ましく、15,000〜150,000であることがより好ましく、30,000〜150,000であることがさらに好ましく、30,000〜100,000であることが特に好ましく、40,000〜100,000であることが極めて好ましい。なお、重量平均分子量は、本明細書の実施例に記載したゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定することができる。   The component (A) preferably has a weight average molecular weight of 10,000 to 200,000, more preferably 15,000 to 150,000, and more preferably 30,000 to 150,000, from the viewpoint of resolution. More preferably, it is particularly preferably from 30,000 to 100,000, and most preferably from 40,000 to 100,000. The weight average molecular weight can be measured by the gel permeation chromatography method described in the examples of the present specification.

(A)成分の酸価は、所望の形状を有する硬化膜(硬化膜パターン)をアルカリ現像で容易に形成する観点から、75mgKOH/g以上とすることが好ましい。また、硬化膜形状の制御容易性と硬化膜の防錆性との両立を図る観点から、(A)成分の酸価は、75〜200mgKOH/gであることが好ましく、75〜150mgKOH/gであることがより好ましく、75〜120mgKOH/gであることがさらに好ましい。なお、酸価は、本明細書の実施例に記載した方法で測定することができる。   The acid value of the component (A) is preferably 75 mgKOH / g or more from the viewpoint of easily forming a cured film (cured film pattern) having a desired shape by alkali development. Further, from the viewpoint of achieving both controllability of the cured film shape and rust prevention of the cured film, the acid value of the component (A) is preferably 75 to 200 mgKOH / g, and more preferably 75 to 150 mgKOH / g. More preferably, it is more preferably 75 to 120 mgKOH / g. The acid value can be measured by the method described in the examples of the present specification.

なお、第一の層20は、上述した(A)バインダーポリマー以外の他のバインダーポリマーを更に含有していてもよい。   Note that the first layer 20 may further contain a binder polymer other than the above-mentioned (A) binder polymer.

<光重合性化合物>
(B)成分である光重合性化合物としては、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を用いることができる。
<Photopolymerizable compound>
As the photopolymerizable compound as the component (B), a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group can be used.

エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、一官能ビニルモノマー、二官能ビニルモノマー、少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーが挙げられる。   Examples of the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group include a monofunctional vinyl monomer, a bifunctional vinyl monomer, and a polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups.

上記一官能ビニルモノマーとしては、例えば、上記(A)成分の好適な例である共重合体の合成に用いられるモノマーとして例示した(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル及びそれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。   As the monofunctional vinyl monomer, for example, (meth) acrylic acid, alkyl (meth) acrylate, and alkyl (meth) acrylate exemplified as monomers used in the synthesis of a copolymer which is a preferred example of the component (A) are used. Polymerizable monomers are mentioned.

上記二官能ビニルモノマーとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAポリオキシエチレンポリオキシプロピレンジ(メタ)アクリレート(2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシフェニル)プロパン)、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(例えば、β−ヒドロキシエチルアクリレート、β−ヒドロキシエチルメタクリレート等)と多価カルボン酸(例えば、無水フタル酸等)とのエステル化物等が挙げられる。   Examples of the bifunctional vinyl monomer include polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, bisphenol A polyoxyethylene polyoxypropylene di (meth) acrylate (2 , 2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxypolypropoxyphenyl) propane), bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, a compound having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group (for example, β-hydroxyethyl acrylate) , Β-hydroxyethyl methacrylate) and a polycarboxylic acid (eg, phthalic anhydride).

本実施形態の感光性樹脂組成物は、電極に対する密着性向上の観点から、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物を含むことが好ましい。また、金属配線及び透明電極パターンの腐食抑制の観点から、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物として、下記一般式(B−1)で表されるジ(メタ)アクリレート化合物を含むことが好ましい。   The photosensitive resin composition of the present embodiment preferably contains a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton from the viewpoint of improving adhesion to an electrode. In addition, from the viewpoint of suppressing corrosion of the metal wiring and the transparent electrode pattern, a di (meth) acrylate compound represented by the following general formula (B-1) is included as a compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton. Is preferred.

Figure 2019215395

[一般式(B−1)中、R及びRは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Xは、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する2価の基を示し、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜4のアルキレン基を示し、n及びmは、それぞれ独立に0〜2の整数を示し、p及びqは、それぞれ独立に0以上の整数を示し、p+q=0〜10となるように選択される。]
Figure 2019215395

[In the general formula (B-1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, X represents a tricyclodecane skeleton or a divalent group having a tricyclodecene skeleton, and R 3 and R 4 each independently represent an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, n and m each independently represent an integer of 0 to 2, p and q each independently represent an integer of 0 or more. , P + q = 0 to 10 are selected. ]

上記一般式(B−1)において、R及びRは、エチレン基又はプロピレン基であることが好ましく、エチレン基であることがより好ましい。また、プロピレン基はn−イソプロピレン基及びイソプロピレン基のいずれであってもよい。 In the general formula (B-1), R 3 and R 4 are preferably an ethylene group or a propylene group, and more preferably an ethylene group. Further, the propylene group may be any of an n-isopropylene group and an isopropylene group.

上記一般式(B−1)で表される化合物によれば、Xに含まれるトリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する2価の基が、嵩高い構造を有することで、硬化膜の低透湿性を実現し、金属配線及び透明電極の腐食抑制性を向上させることができる。ここで、本明細書中における「トリシクロデカン骨格」及び「トリシクロデセン骨格」とは、それぞれ以下の構造(それぞれ、結合手は任意の箇所である)をいう。   According to the compound represented by the general formula (B-1), the divalent group having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton contained in X has a bulky structure, so that a low cured film is obtained. The moisture permeability can be realized, and the corrosion inhibition of the metal wiring and the transparent electrode can be improved. Here, the “tricyclodecane skeleton” and “tricyclodecene skeleton” in the present specification refer to the following structures, respectively (the bond is an arbitrary position).

Figure 2019215395
Figure 2019215395

トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物としては、得られる硬化膜パターンの低透湿性の観点から、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレートなどのトリシクロデカン骨格を有する化合物が好ましい。これらは、DCP及びA−DCP(いずれも新中村化学工業株式会社製)として入手可能である。   As the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton, a compound having a tricyclodecane skeleton such as tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate is preferable from the viewpoint of low moisture permeability of the obtained cured film pattern. These are available as DCP and A-DCP (both manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

(B)成分における、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物の割合は、金属配線の腐食防止の観点から、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量100質量部のうち、50質量部以上であることが好ましく、70質量部以上であることがより好ましく、80質量部以上であることがさらに好ましい。   In the component (B), the proportion of the compound having a tricyclodecane skeleton or a tricyclodecene skeleton is preferably from 100 parts by mass of the total amount of the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition from the viewpoint of preventing corrosion of metal wiring. Of these, the amount is preferably at least 50 parts by mass, more preferably at least 70 parts by mass, even more preferably at least 80 parts by mass.

上記少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーとしては、ペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。   Examples of the polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups include a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from pentaerythritol, a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from dipentaerythritol, and trimethylol (Meth) acrylate compounds having a propane-derived skeleton.

ここで、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレートとは、ジペンタエリスリトールと、(メタ)アクリル酸とのエステル化物を意味し、当該エステル化物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記のエステル化物は、一分子中におけるエステル結合の数が6であることが好ましいが、エステル結合の数が1〜5の化合物が混在していてもよい。また、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物とは、トリメチロールプロパンと、(メタ)アクリル酸とのエステル化物を意味し、当該エステル化物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記のエステル化物は、一分子中におけるエステル結合の数が3であることが好ましいが、エステル結合の数が1〜2の化合物が混在していてもよい。また、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物は、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート化合物が2量化した化合物を用いてもよい。   Here, “(meth) acrylate having a skeleton derived from dipentaerythritol” means an esterified product of dipentaerythritol and (meth) acrylic acid, and the esterified product is a compound modified with an alkyleneoxy group. Are also included. The esterified product preferably has 6 ester bonds in one molecule, but may contain a compound having 1 to 5 ester bonds. The (meth) acrylate compound having a skeleton derived from trimethylolpropane means an esterified product of trimethylolpropane and (meth) acrylic acid, and the esterified product is a compound modified with an alkyleneoxy group. Are also included. The above-mentioned esterified product preferably has three ester bonds in one molecule, but may contain a compound having one or two ester bonds. Further, as the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from trimethylolpropane, a compound obtained by dimerizing a trimethylolpropane di (meth) acrylate compound may be used.

具体的には、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート等の多価アルコールとα,β−不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタアクリル酸等)とを反応させて得られる化合物;トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート等のグリシジル基含有化合物とα,β−不飽和カルボン酸とを付加反応して得られる化合物;ジグリセリン(メタ)アクリレート等のジグリセリンとα,β−不飽和カルボン酸とを付加して得られる化合物などが挙げられる。   Specifically, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, Compound obtained by reacting a polyhydric alcohol such as ditrimethylolpropane tetraacrylate with an α, β-unsaturated carboxylic acid (eg, acrylic acid, methacrylic acid, etc.); trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate A compound obtained by an addition reaction of a glycidyl group-containing compound such as glycidyl group and an α, β-unsaturated carboxylic acid; a compound obtained by adding a diglycerin such as diglycerin (meth) acrylate to an α, β-unsaturated carboxylic acid. Compounds And the like.

上記の化合物は、1種を単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。   The above compounds can be used alone or in combination of two or more.

(A)成分及び(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、(A)成分が35〜85質量部であることが好ましく、40〜80質量部であることがより好ましく、50〜70質量部であることがさらに好ましく、55〜65質量部であることが特に好ましい。   The content of the component (A) and the component (B) is preferably 35 to 85 parts by mass, more preferably 40 to 50 parts by mass, based on 100 parts by mass of the total of the components (A) and (B). The amount is more preferably 80 parts by mass, further preferably 50 to 70 parts by mass, and particularly preferably 55 to 65 parts by mass.

硬化膜パターンの低透湿化及び密着性向上の観点からは、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、トリシクロデカン骨格又はトリシクロデセン骨格を有する化合物が、5質量部以上であることが好ましく、10質量部以上であることがより好ましく、20質量部以上であることがさらに好ましく、25質量部以上であることが特に好ましい。   From the viewpoint of lowering the moisture permeability of the cured film pattern and improving the adhesion, the compound having a tricyclodecane skeleton or tricyclodecene skeleton is preferably 5 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). It is preferably at least 10 parts by mass, more preferably at least 10 parts by mass, further preferably at least 20 parts by mass, particularly preferably at least 25 parts by mass.

<光重合開始剤>
(C)成分としては、活性光線の照射によって第一の層を硬化させることができるものであれば、特に制限されない。透明性、金属配線の腐食防止の観点から、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。
<Photopolymerization initiator>
The component (C) is not particularly limited as long as it can cure the first layer by irradiation with actinic rays. From the viewpoints of transparency and corrosion prevention of metal wiring, acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators and oxime ester-based photopolymerization initiators are preferred.

アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ホスフィネートが挙げられる。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤は、IRGACURE TPO、IRGACURE 819、IRGACURE TPO−L(以上、BASF株式会社製、製品名)として入手可能である。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤を用いることにより、硬化膜において充分な重合反応率を得ることができ、パターン見えを抑制することができる。   Examples of the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, and 2,4,6- Trimethylbenzoyl-phosphinate. Acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators are available as IRGACURE TPO, IRGACURE 819, and IRGACURE TPO-L (product names, manufactured by BASF Corporation). By using the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, a sufficient polymerization reaction rate can be obtained in the cured film, and the pattern appearance can be suppressed.

オキシムエステル系光重合開始剤としては、下記一般式(1)で表される化合物、下記一般式(2)で表される化合物、又は下記一般式(3)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the oxime ester-based photopolymerization initiator include a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), and a compound represented by the following general formula (3).

Figure 2019215395
Figure 2019215395

式(1)中、R11及びR12は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基、フェニル基又はトリル基であることがさらに好ましい。R13は、−H、−OH、−COOH、−O(CH)OH、−O(CHOH、−COO(CH)OH又は−COO(CHOHを示し、−H、−O(CH)OH、−O(CHOH、−COO(CH)OH、又は−COO(CHOHであることが好ましく、−H、−O(CHOH、又は−COO(CHOHであることがより好ましい。 In the formula (1), R 11 and R 12 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group; It is preferably an alkyl group, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, and is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group. More preferably, it is more preferably a methyl group, a cyclopentyl group, a phenyl group or a tolyl group. R 13 represents —H, —OH, —COOH, —O (CH 2 ) OH, —O (CH 2 ) 2 OH, —COO (CH 2 ) OH, or —COO (CH 2 ) 2 OH; H, -O (CH 2) OH , -O (CH 2) 2 OH, -COO (CH 2) OH, or -COO (CH 2) is preferably from 2 OH, -H, -O (CH 2 ) 2 OH or —COO (CH 2 ) 2 OH.

Figure 2019215395
Figure 2019215395

式(2)中、2つのR14は、それぞれ独立に、炭素数1〜6のアルキル基を示し、プロピル基であることが好ましい。R15は、NO又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、Arとしては、トリル基が好ましい。R16及びR17は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基、又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。 In the formula (2), each of two R 14 independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably a propyl group. R 15 represents NO 2 or ArCO (where Ar represents an aryl group), and Ar is preferably a tolyl group. R 16 and R 17 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group, and is preferably a methyl group, a phenyl group, or a tolyl group.

Figure 2019215395
Figure 2019215395

式(3)中、R18は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、エチル基であることが好ましい。R19はアセタール結合を有する有機基であり、後述する式(3−1)に示す化合物が有するR19に対応する置換基であることが好ましい。R20及びR21は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。R22は、水素原子又はアルキル基を示す。 In the formula (3), R 18 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably an ethyl group. R 19 is an organic group having an acetal bond, and is preferably a substituent corresponding to R 19 of a compound represented by the following formula (3-1). R 20 and R 21 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, preferably a methyl group, a phenyl group or a tolyl group, and more preferably a methyl group. . R 22 represents a hydrogen atom or an alkyl group.

上記一般式(1)で表される化合物は、IRGACURE OXE 01(BASF株式会社製、製品名)として入手可能である。   The compound represented by the general formula (1) is available as IRGACURE OXE 01 (product name, manufactured by BASF Corporation).

上記一般式(2)で表される化合物は、DFI−091(ダイトーケミックス株式会社製、製品名)として入手可能である。   The compound represented by the general formula (2) is available as DFI-091 (manufactured by DAI-TO-MIX KK, product name).

上記一般式(3)で表される化合物は、アデカオプトマーN−1919(株式会社ADEKA製、製品名)として入手可能である。   The compound represented by the general formula (3) is available as ADEKA OPTOMER N-1919 (product name, manufactured by ADEKA Corporation).

本実施形態においては、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを併用することが好ましい。アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを併用することで、形成される樹脂硬化膜の透湿度をさらに低減することができる。   In the present embodiment, it is preferable to use an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator in combination. By using an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator in combination, the moisture permeability of the formed cured resin film can be further reduced.

この場合、骨見え現象の低減、金属配線の腐食防止の観点から、アシルフォスフィンオキシド系光重合開始剤とオキシムエステル化合物との質量比が8:1〜0.5:1であることが好ましく、4:1〜2:1であることがより好ましい。   In this case, the mass ratio between the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and the oxime ester compound is preferably from 8: 1 to 0.5: 1 from the viewpoint of reducing the bone appearance phenomenon and preventing corrosion of the metal wiring. More preferably, the ratio is from 4: 1 to 2: 1.

(C)成分の含有量は、光感度及び解像度に優れる点では、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.1〜10質量部であることが好ましく、1〜5質量部であることがより好ましく、1〜3質量部であることがさらに好ましく、1〜2質量部であることが特に好ましい。   The content of the component (C) is preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B) from the viewpoint of excellent light sensitivity and resolution. The amount is more preferably from 5 to 5 parts by mass, further preferably from 1 to 3 parts by mass, and particularly preferably from 1 to 2 parts by mass.

<防錆剤>
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、硬化膜の防錆性をより向上させる観点から、メルカプト基を有するトリアゾール化合物、メルカプト基を有するテトラゾール化合物、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物、アミノ基を有するトリアゾール化合物及びアミノ基を有するテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物(以下、(D)成分ともいう)をさらに含有することが好ましい。メルカプト基を有するトリアゾール化合物としては、例えば、3−メルカプト−トリアゾール(和光純薬株式会社製、製品名:3MT)が挙げられる。また、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物としては、例えば、2−アミノ−5−メルカプト−1,3,4−チアジアゾール(和光純薬株式会社製、製品名:ATT)が挙げられる。
<Rust inhibitor>
The photosensitive resin composition according to the present embodiment has a triazole compound having a mercapto group, a tetrazole compound having a mercapto group, a thiadiazole compound having a mercapto group, and an amino group, from the viewpoint of further improving the rust resistance of the cured film. It is preferable that the composition further contains at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound and a tetrazole compound having an amino group (hereinafter, also referred to as a component (D)). Examples of the triazole compound having a mercapto group include 3-mercapto-triazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., product name: 3MT). Examples of the thiadiazole compound having a mercapto group include 2-amino-5-mercapto-1,3,4-thiadiazole (product name: ATT, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.).

上記アミノ基を有するトリアゾール化合物としては、例えばベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−1−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸、1H−ベンゾトリアゾール−1−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール等にアミノ基が置換した化合物、3−メルカプトトリアゾール、5−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物にアミノ基が置換した化合物などが挙げられる。   Examples of the triazole compound having an amino group include, for example, benzotriazole, 1H-benzotriazole-1-acetonitrile, benzotriazole-5-carboxylic acid, 1H-benzotriazole-1-methanol, carboxybenzotriazole, and the like, in which the amino group is substituted. Examples of the compound include compounds in which a triazole compound containing a mercapto group such as 3-mercaptotriazole and 5-mercaptotriazole is substituted with an amino group.

上記アミノ基を有するテトラゾール化合物としては、例えば5−アミノ−1H−テトラゾール(千代田ケミカル株式会社製、製品名:B6030)、1−メチル−5−アミノ−テトラゾール、1−メチル−5−メルカプト−1H−テトラゾール、1−カルボキシメチル−5−アミノ−テトラゾール等が挙げられる。これらのテトラゾール化合物は、その水溶性塩であってもよい。具体例としては、1−メチル−5−アミノ−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩などが挙げられる。   Examples of the tetrazole compound having an amino group include 5-amino-1H-tetrazole (manufactured by Chiyoda Chemical Co., Ltd., product name: B6030), 1-methyl-5-amino-tetrazole, 1-methyl-5-mercapto-1H -Tetrazole, 1-carboxymethyl-5-amino-tetrazole and the like. These tetrazole compounds may be water-soluble salts thereof. Specific examples thereof include alkali metal salts of 1-methyl-5-amino-tetrazole such as sodium, potassium and lithium.

感光性樹脂組成物が(D)成分を含有する場合、その含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.05〜5.0質量部が好ましく、0.1〜2.0質量部がより好ましく、0.2〜1.0質量部がさらに好ましく、0.3〜0.8質量部が特に好ましい。   When the photosensitive resin composition contains the component (D), the content is preferably 0.05 to 5.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). 0.1 to 2.0 parts by mass is more preferable, 0.2 to 1.0 parts by mass is more preferable, and 0.3 to 0.8 parts by mass is particularly preferable.

本実施形態に係る第一の層を形成する感光性樹脂組成物には、その他の添加剤として、必要に応じて、エチレン性不飽和基を有するリン酸エステル、シランカップリング剤等の密着性付与剤、防錆剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤などを(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、各々0.01〜20質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   In the photosensitive resin composition forming the first layer according to the present embodiment, as other additives, if necessary, adhesion properties of a phosphoric acid ester having an ethylenically unsaturated group, a silane coupling agent, etc. Additives, rust inhibitors, leveling agents, plasticizers, fillers, defoamers, flame retardants, stabilizers, antioxidants, fragrances, thermal crosslinking agents, polymerization inhibitors, etc., as components (A) and (B) Can be contained in an amount of about 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total. These can be used alone or in combination of two or more.

第一の層の厚みは1〜15μmであってもよく、2〜10μmであることが好ましく、3〜8μmであることがより好ましく、4〜6μmであることがさらに好ましく、5〜6μmであることが特に好ましい。厚みが1〜15μmであることにより、塗布時の欠陥が少なく、透明性に優れた成膜が可能となる。また、硬化後における第一の層の厚みも上記範囲内であることが好ましい。   The thickness of the first layer may be 1 to 15 μm, preferably 2 to 10 μm, more preferably 3 to 8 μm, further preferably 4 to 6 μm, and more preferably 5 to 6 μm. Is particularly preferred. When the thickness is 1 to 15 μm, a defect at the time of coating is small, and a film having excellent transparency can be formed. Further, the thickness of the first layer after curing is preferably within the above range.

(第二の層)
第二の層30は、金属酸化物粒子を含有する層である。第二の層30は、金属酸化物粒子を含有することにより、第一の層20よりも相対的に高い屈折率を有することができる。第二の層30は、633nmにおける屈折率が1.40〜1.90の範囲内であることが好ましく、1.50〜1.90であることがより好ましく、1.53〜1.85であることが更に好ましく、1.55〜1.75であることが特に好ましい。また、第二の層が硬化性成分を含む場合、硬化後における第二の層の633nmにおける屈折率も上記範囲内であることが好ましい。
(Second layer)
The second layer 30 is a layer containing metal oxide particles. The second layer 30 can have a relatively higher refractive index than the first layer 20 by containing metal oxide particles. The second layer 30 preferably has a refractive index at 633 nm in the range of 1.40 to 1.90, more preferably 1.50 to 1.90, and more preferably 1.53 to 1.85. More preferably, it is particularly preferably 1.55 to 1.75. When the second layer contains a curable component, the refractive index of the second layer after curing at 633 nm is preferably within the above range.

第二の層30の633nmにおける屈折率が上記範囲内であると、硬化膜パターンをITO等の透明電極パターン上に設けた場合に、硬化膜パターン上に使用される各種部材(例えば、モジュール化する際に使用するカバーガラスと透明電極パターンとを接着するOCA)との屈折率の中間値となり、ITO等の透明電極パターンが形成されている部分と形成されていない部分での光学的な反射による色差を小さくすることが可能となり、骨見え現象を防止できる。また、画面全体の反射光強度を低減することが可能となり、画面上の透過率低下を抑制することが可能となる。   When the refractive index at 633 nm of the second layer 30 is within the above range, when the cured film pattern is provided on a transparent electrode pattern such as ITO, various members used on the cured film pattern (for example, modularization) The optical reflection between the portion where the transparent electrode pattern such as ITO is formed and the portion where the transparent electrode pattern such as ITO is not formed is the intermediate value of the refractive index of the cover glass used when bonding and the transparent electrode pattern. Can reduce the color difference, and can prevent the bone appearance phenomenon. Further, it is possible to reduce the intensity of the reflected light on the entire screen, and it is possible to suppress a decrease in transmittance on the screen.

ITO等の透明電極の屈折率は、1.80〜2.10であることが好ましく、1.85〜2.05であることがより好ましく、1.90〜2.00であることがさらに好ましい。また、OCA等の部材の屈折率は1.45〜1.55であることが好ましく、1.47〜1.53であることがより好ましく、1.48〜1.51であることがさらに好ましい。   The refractive index of a transparent electrode such as ITO is preferably from 1.80 to 2.10, more preferably from 1.85 to 2.05, and even more preferably from 1.90 to 2.00. . Further, the refractive index of a member such as OCA is preferably from 1.45 to 1.55, more preferably from 1.47 to 1.53, further preferably from 1.48 to 1.51. .

第二の層30は、450〜650nmの波長域における最小光透過率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましい。また、第二の樹脂層が硬化性成分を含む場合、硬化後における第二の樹脂層の450〜650nmの波長域における最小光透過率も上記範囲内であることが好ましい。   The second layer 30 has a minimum light transmittance of preferably at least 80%, more preferably at least 85%, even more preferably at least 90% in a wavelength range of 450 to 650 nm. When the second resin layer contains a curable component, the minimum light transmittance of the second resin layer after curing in a wavelength range of 450 to 650 nm is preferably within the above range.

第二の層30は、上記の(A)成分、(B)成分及び(C)成分を含有することができ、必要に応じて、上記(D)成分を更に含有することができる。第二の層30は(B)成分、(C)成分等の光重合成分を必ずしも含有する必要はなく、層形成により隣接する樹脂層から移行する光重合成分を利用して第二の層を光硬化させることもできる。   The second layer 30 can contain the above components (A), (B) and (C), and can further contain the above component (D) as needed. The second layer 30 does not necessarily need to contain a photopolymerization component such as the component (B) and the component (C), and uses the photopolymerization component that migrates from an adjacent resin layer due to layer formation to form the second layer 30. Light curing can also be used.

第二の層30は、金属酸化物粒子(以下、(E)成分ともいう)を含有する。金属酸化物粒子としては、特に波長633nmにおける屈折率が1.50以上である、金属酸化物粒子を含有することが好ましい。これにより、転写型感光性フィルムを調製した際、第二の層の透明性及び波長633nmにおける屈折率を向上させることが可能となる。また基材への吸着を抑制しつつ、現像性を向上させることができる。   The second layer 30 contains metal oxide particles (hereinafter, also referred to as component (E)). The metal oxide particles preferably contain metal oxide particles having a refractive index of 1.50 or more at a wavelength of 633 nm. This makes it possible to improve the transparency of the second layer and the refractive index at a wavelength of 633 nm when a transfer type photosensitive film is prepared. Further, the developability can be improved while suppressing the adsorption to the substrate.

金属酸化物粒子としては、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウムスズ、酸化インジウム、酸化アルミウム、酸化イットリウム等の金属酸化物からなる粒子が挙げられる。これらの中でも、骨見え現象抑制の観点から、酸化ジルコニウム又は酸化チタンの粒子が好ましい。   Examples of the metal oxide particles include particles made of metal oxides such as zirconium oxide, titanium oxide, tin oxide, zinc oxide, indium tin oxide, indium oxide, aluminum oxide, and yttrium oxide. Among these, zirconium oxide or titanium oxide particles are preferable from the viewpoint of suppressing the bone appearance phenomenon.

酸化ジルコニウム粒子としては、透明電極の材料がITOの場合、屈折率向上と、ITO及び透明基材との密着性の観点から、酸化ジルコニウムナノ粒子を用いることが好ましい。酸化ジルコニウムナノ粒子の中でも、粒度分布Dmaxが40nm以下であることが好ましい。   As the zirconium oxide particles, when the material of the transparent electrode is ITO, it is preferable to use zirconium oxide nanoparticles from the viewpoint of improving the refractive index and adhesion between the ITO and the transparent substrate. Among the zirconium oxide nanoparticles, the particle size distribution Dmax is preferably 40 nm or less.

酸化ジルコニウムナノ粒子は、OZ−S30K(日産化学工業株式会社製、製品名)、OZ−S40K−AC(日産化学工業株式会社製、製品名)、SZR−K(酸化ジルコニウムメチルエチルケトン分散液、堺化学工業株式会社製、製品名)、SZR−M(酸化ジルコニウムメタノール分散液、堺化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能である。   Zirconium oxide nanoparticles are OZ-S30K (Nissan Chemical Industries, Ltd., product name), OZ-S40K-AC (Nissan Chemical Industries, Ltd., product name), SZR-K (Zirconium oxide methyl ethyl ketone dispersion, Sakai Chemical It is commercially available as SZR-M (Zirconium oxide methanol dispersion, product name, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.).

第二の層30には、(E)成分として酸化チタンナノ粒子を含有させることも可能である。また、酸化チタンナノ粒子の中でも、粒度分布Dmaxが50nm以下であることが好ましく、10〜50nmがより好ましい。   The second layer 30 may contain titanium oxide nanoparticles as the component (E). Further, among the titanium oxide nanoparticles, the particle size distribution Dmax is preferably 50 nm or less, and more preferably 10 to 50 nm.

(E)成分として、上記金属酸化物粒子のほかに、例えばMg、Al、Si、Ca、Cr、Cu、Zn、Ba等の原子を含む酸化物粒子または硫化物粒子を用いることもできる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   As the component (E), besides the above metal oxide particles, for example, oxide particles or sulfide particles containing atoms such as Mg, Al, Si, Ca, Cr, Cu, Zn, and Ba can also be used. These can be used alone or in combination of two or more.

本実施形態においては、粒子径が15〜30nmである第一の金属酸化物粒子(以下、(E−1)成分ともいう)と、粒子径が3.3〜6.6nmである第二の金属酸化物粒子(以下、(E−2)成分ともいう)とを含むことが好ましい。第二の層に、(E−1)成分及び(E−2)成分が配合されていることにより、第二の層中では粒子径が多きい(E−1)成分間に粒子径が小さい(E−2)成分が存在する粒子充填構造が形成されやすくなる。   In the present embodiment, a first metal oxide particle having a particle diameter of 15 to 30 nm (hereinafter, also referred to as a component (E-1)) and a second metal oxide particle having a particle diameter of 3.3 to 6.6 nm. It is preferable to include metal oxide particles (hereinafter, also referred to as component (E-2)). Since the (E-1) component and the (E-2) component are blended in the second layer, the particle diameter is small between the (E-1) components having a large particle diameter in the second layer. A particle-filled structure in which the component (E-2) exists is easily formed.

なお、金属酸化物粒子の粒子径は、レーザー回折式粒度分布計等によって測定することができる。   The particle diameter of the metal oxide particles can be measured by a laser diffraction type particle size distribution meter or the like.

本実施形態において、現像性を更に向上させる観点から、第一の金属酸化物粒子の平均粒子径Mに対する第二の金属酸化物粒子の平均粒子径Mの比M/Mが、0.10〜0.44であることが好ましく、0.15〜0.40であることがより好ましく、0.20〜0.35であることが更に好ましい。 In the present embodiment, from the viewpoint of further improving the developability, the average ratio M 2 / M 1 of the particle diameter M 2 of the second metal oxide particles to the average particle diameter M 1 of the first metal oxide particles, It is preferably 0.10 to 0.44, more preferably 0.15 to 0.40, and even more preferably 0.20 to 0.35.

なお、粒子の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布計等の粒度分布測定装置によって測定することができる。   The average particle size of the particles can be measured by a particle size distribution measuring device such as a laser diffraction type particle size distribution meter.

本実施形態において、第二の層における金属酸化物粒子の含有量は、骨見え現象の低減と、現像性との両立の観点から、25〜50体積%であることが好ましく、30〜50体積%であることがより好ましく、35〜50体積%であることが更に好ましい。   In the present embodiment, the content of the metal oxide particles in the second layer is preferably from 25 to 50% by volume, and more preferably from 30 to 50% by volume, from the viewpoint of achieving a balance between the reduction of the bone appearance phenomenon and the developability. %, More preferably 35 to 50% by volume.

第二の層における金属酸化物粒子の体積%は、以下のようにして求めることができる。例えば、第二の層に含まれる金属酸化物粒子が1種類の組成のみ(例えば、酸化ジルコニウムのみ)の場合、第二の層における金属酸化物粒子以外の成分(例えば、樹脂等の有機成分)の質量及び密度をそれぞれM及びDとし、金属酸化物粒子の質量及び密度をそれぞれM及びDとすると、下記の式から金属酸化物粒子の体積%が求められる。
金属酸化物粒子の体積%=(M/D)×100/[(M/D)+(M/D)]
なお、金属酸化物粒子の密度は、理科年表等の物性値を用いることができる。
また、第二の層に含まれる金属酸化物粒子が(E−1)成分及び(E−2)成分のみであり、(E−1)成分と(E−2)成分とが異なる金属酸化物である場合は、以下のようにして第二の層における金属酸化物粒子の体積%を求めることができる。
金属酸化物粒子の体積%=[(M/D)+(M/D)]×100/[(M/D)+(M/D)+(M/D)]
式中、M及びDは、第二の層における金属酸化物粒子以外の成分(例えば、樹脂等の有機成分)の質量及び密度を示し、M及びDは、(E−1)成分の質量及び密度を示し、M及びDは、(E−2)成分の質量及び密度を示す。
The volume% of the metal oxide particles in the second layer can be determined as follows. For example, when the metal oxide particles contained in the second layer are only one kind of composition (for example, only zirconium oxide), components other than the metal oxide particles in the second layer (for example, organic components such as resin). mass and density and M o and D o, respectively, when M 1 and D 1, respectively by weight and density of the metal oxide particles, the volume percent of metal oxide particles is determined from the following equation.
Volume percent of metal oxide particles = (M 1 / D 1) × 100 / [(M o / D o) + (M 1 / D 1)]
The density of the metal oxide particles can be determined by using physical properties such as a chronological table.
Further, the metal oxide particles contained in the second layer are only the component (E-1) and the component (E-2), and the metal oxide particles having different components (E-1) and (E-2). In this case, the volume% of the metal oxide particles in the second layer can be determined as follows.
Volume percent of metal oxide particles = [(M 1 / D 1 ) + (M 2 / D 2)] × 100 / [(M o / D o) + (M 1 / D 1) + (M 2 / D 2 )]
In the formula, M 1 and D 1 indicate the mass and density of a component (eg, an organic component such as a resin) other than the metal oxide particles in the second layer, and M 1 and D 1 are (E-1) shows the mass and density of the components, M 2 and D 2 shows the mass and density of the (E-2) component.

現像性を向上させる観点から、第二の層における上記(E−1)成分の含有量が、15〜40体積%であることが好ましく、16〜39体積%であることがより好ましく、17〜38体積%であることが更に好ましい。   From the viewpoint of improving developability, the content of the component (E-1) in the second layer is preferably from 15 to 40% by volume, more preferably from 16 to 39% by volume, and from 17 to 39% by volume. More preferably, it is 38% by volume.

現像性を向上させる観点から、第二の層における上記(E−2)成分の含有量が、2〜10体積%であることが好ましく、2〜8体積%であることがより好ましく、2〜6体積%であることが更に好ましい。   From the viewpoint of improving the developability, the content of the component (E-2) in the second layer is preferably 2 to 10% by volume, more preferably 2 to 8% by volume, and 2 to 8% by volume. More preferably, it is 6% by volume.

現像性を更に向上させつつ骨見え現象を抑制する観点から、第二の層における上記(E−1)成分に対する上記(E−2)成分の体積比[(E−2)/(E−1)]が0.05〜0.40であることが好ましく、0.10〜0.40であることがより好ましく、0.10〜0.30であることが更に好ましい。   From the viewpoint of suppressing the bone appearance phenomenon while further improving the developability, the volume ratio of the component (E-2) to the component (E-1) in the second layer [(E-2) / (E-1) )] Is preferably 0.05 to 0.40, more preferably 0.10 to 0.40, and even more preferably 0.10 to 0.30.

第二の層には、上記金属酸化物粒子の他に、例えばトリアジン環を有する化合物、イソシアヌル酸骨格を有する化合物、フルオレン骨格を有する化合物等の有機化合物を用いることも可能である。これにより波長633nmにおける屈折率を向上させることができる。   For the second layer, in addition to the metal oxide particles, for example, an organic compound such as a compound having a triazine ring, a compound having an isocyanuric acid skeleton, and a compound having a fluorene skeleton can be used. Thereby, the refractive index at a wavelength of 633 nm can be improved.

上記第二の層30の厚みは、0.01〜1μmであってもよく、0.03〜0.5μmであることが好ましく、0.04〜0.3μmであることがより好ましく、0.07〜0.25μmであることがさらに好ましく、0.05〜0.2μmであることが特に好ましい。厚みが0.01〜1μmであることにより、上述の画面全体の反射光強度をより低減することが可能となる。また、硬化後における第二の層の厚みも上記範囲内であることが好ましい。   The thickness of the second layer 30 may be 0.01 to 1 μm, preferably 0.03 to 0.5 μm, more preferably 0.04 to 0.3 μm, and 0.1 to 0.3 μm. It is more preferably from 07 to 0.25 μm, particularly preferably from 0.05 to 0.2 μm. When the thickness is 0.01 to 1 μm, the above-described reflected light intensity of the entire screen can be further reduced. Further, the thickness of the second layer after curing is preferably within the above range.

第二の層30の屈折率は、第二の層が単層で、膜厚が膜厚方向で均一な場合、ETA−TCM(AudioDev株式会社製、製品名)を用いて以下のように求めることができる。また、以下の測定は、25℃の条件下で行う。
(1)第二の層を形成するための塗布液を、厚み0.7mm、縦10cm×横10cmのガラス基材上にスピンコーターで均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、第二の層を形成する。
(2)次いで、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置し、第二の層を有する屈折率測定用試料を得る。
(3)次いで、得られた屈折率測定用試料について、ETA−TCM(AudioDev株式会社製、製品名)にて波長633nmにおける屈折率を測定する。
When the second layer is a single layer and the film thickness is uniform in the film thickness direction, the refractive index of the second layer 30 is obtained as follows using ETA-TCM (manufactured by AudioDev Corporation, product name). be able to. The following measurement is performed under the condition of 25 ° C.
(1) A coating solution for forming the second layer is uniformly applied on a glass substrate having a thickness of 0.7 mm, a length of 10 cm and a width of 10 cm by a spin coater, and is coated with a hot air convection dryer at 100 ° C. Dry for a minute to remove the solvent and form a second layer.
(2) Next, the sample is allowed to stand in a box dryer (manufactured by Mitsubishi Electric Corporation, model number: NV50-CA) heated to 140 ° C. for 30 minutes to obtain a refractive index measurement sample having a second layer.
(3) Next, the obtained refractive index measurement sample is measured for its refractive index at a wavelength of 633 nm by ETA-TCM (product name, manufactured by AudioDev Co., Ltd.).

単層の第一の層における屈折率も同様の方法で測定することができる。なお、転写型感光性フィルムの形態では、第二の層単層の屈折率を測定することは難しいため、第二の層の保護フィルム側の最表面層の値とする。   The refractive index of the single-layer first layer can be measured in the same manner. In the case of the transfer type photosensitive film, since it is difficult to measure the refractive index of the second layer single layer, the value is set to the value of the outermost layer on the protective film side of the second layer.

(他の層)
本発明の転写型感光性フィルムは、本発明の効果が得られる範囲で、適宜選択した他の層を設けてもよい。前記他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、クッション層、酸素遮蔽層、剥離層、接着層等が挙げられる。転写型感光性フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有してもよい。また、同種の層を2以上有していてもよい。
(Other layers)
The transfer type photosensitive film of the present invention may be provided with another layer appropriately selected within a range where the effects of the present invention can be obtained. The other layer is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a cushion layer, an oxygen shielding layer, a release layer, and an adhesive layer. The transfer type photosensitive film may have one of these layers alone, or may have two or more of these layers. Further, two or more layers of the same kind may be provided.

(保護フィルム)
保護フィルム40としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体のフィルム、及び、これらのフィルムとポリエチレンの積層フィルム等が挙げられる。
(Protective film)
Examples of the protective film 40 include films of polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene-vinyl acetate copolymer, polyethylene-vinyl acetate copolymer, and laminated films of these films and polyethylene.

保護フィルム40の厚みは、5〜100μmが好ましいが、転写型感光性フィルム1をロール状に巻いて保管する観点から、70μm以下であることが好ましく、60μm以下であることがより好ましく、50μm以下であることがさらに好ましく、40μm以下であることが特に好ましい。   The thickness of the protective film 40 is preferably 5 to 100 μm, but from the viewpoint of storing the transferable photosensitive film 1 in a roll form, it is preferably 70 μm or less, more preferably 60 μm or less, and more preferably 50 μm or less. Is more preferable, and particularly preferably 40 μm or less.

転写型感光性フィルム1における第一の層20及び第二の層30を硬化させた硬化膜部分(支持フィルム10及び保護フィルム40を除く)の、波長400〜700nmの可視光領域における全光線透過率(Tt)の最小値は、90.00%以上であることが好ましく、90.50%以上であることがより好ましく、90.70%以上であることがさらに好ましい。一般的な可視光波長域である400〜700nmにおける全光線透過率が90.00%以上であれば、タッチパネル(タッチセンサー)のセンシング領域の透明電極を保護する場合において、センシング領域での画像表示品質、色合い、輝度が低下することを充分抑制することができる。   Total light transmission of a cured film portion (excluding the support film 10 and the protection film 40) of the transfer type photosensitive film 1 obtained by curing the first layer 20 and the second layer 30 in a visible light region having a wavelength of 400 to 700 nm. The minimum value of the rate (Tt) is preferably 90.00% or more, more preferably 90.50% or more, and even more preferably 90.70% or more. If the total light transmittance in the general visible light wavelength range of 400 to 700 nm is 90.00% or more, when protecting the transparent electrode in the sensing area of the touch panel (touch sensor), an image is displayed in the sensing area. It is possible to sufficiently suppress a decrease in quality, hue, and luminance.

転写型感光性フィルム1の第一の層20、第二の層30は、例えば、第一の層形成用塗布液、及び第二の層形成用塗布液を調製し、これを各々支持フィルム10、保護フィルム40上に塗布、乾燥することで形成できる。そして、転写型感光性フィルム1は、第一の層20が形成された支持フィルム10と、第二の層30が形成された保護フィルム40とを、第一の層20と第二の層30とが対向した状態で貼り合わせることにより形成できる。また、転写型感光性フィルム1は、支持フィルム10上に第一の層形成用塗布液を含有する塗布液を塗布、乾燥し、その後、第一の層20上に、第二の形成用塗布液を塗布、乾燥し、保護フィルム40を貼り付けることにより形成することもできる。   The first layer 20 and the second layer 30 of the transfer type photosensitive film 1 are prepared, for example, by preparing a first layer forming coating solution and a second layer forming coating solution, respectively, It can be formed by coating and drying on the protective film 40. The transfer-type photosensitive film 1 includes the support film 10 on which the first layer 20 is formed and the protective film 40 on which the second layer 30 is formed by combining the first layer 20 and the second layer 30. Can be formed by sticking together in a state where they face each other. In addition, the transfer type photosensitive film 1 is applied with a coating solution containing the first layer forming coating solution on the support film 10, dried, and then, on the first layer 20, the second forming coating solution is coated. It can also be formed by applying a liquid, drying, and attaching a protective film 40.

塗布液は、上述した本実施形態に係る感光性樹脂組成物、第二の層を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。   The coating liquid can be obtained by uniformly dissolving or dispersing the above-described components of the photosensitive resin composition according to the present embodiment and the second layer in a solvent.

塗布液として用いる溶剤は、特に制限は無く、公知のものが使用できる。具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレン等が挙げられる。   The solvent used as the coating liquid is not particularly limited, and a known solvent can be used. Specifically, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, methanol, ethanol, propanol, butanol, methylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether , Diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, chloroform, methylene chloride and the like.

塗布方法としては、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。   Application methods include doctor blade coating, Meyer bar coating, roll coating, screen coating, spinner coating, inkjet coating, spray coating, dip coating, gravure coating, curtain coating, and die coating. And the like.

乾燥条件に特に制限は無いが、乾燥温度は、60〜130℃とすることが好ましく、乾燥時間は、0.5〜30分とすることが好ましい。   The drying conditions are not particularly limited, but the drying temperature is preferably from 60 to 130 ° C., and the drying time is preferably from 0.5 to 30 minutes.

本実施形態に係る転写型感光性フィルムは、各種電子部品における保護膜の形成に適用することができる。本実施形態に係る電子部品は、転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜パターンを備えている。電子部品としては、タッチセンサー、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッサンス、太陽電池モジュール、プリント配線板、電子ペーパ等が挙げられる。   The transfer type photosensitive film according to the present embodiment can be applied to formation of a protective film in various electronic components. The electronic component according to the present embodiment has a cured film pattern formed using a transfer type photosensitive film. Examples of the electronic component include a touch sensor, a touch panel, a liquid crystal display, an organic electroluminescence, a solar cell module, a printed wiring board, and an electronic paper.

[硬化膜パターンの形成方法]
本実施形態の硬化膜パターンの形成方法は、電極パターンを有する基材上に、上述した本実施形態の転写型感光性フィルムの第一の層及び第二の層を、基材の電極パターンが設けられている側と第二の層とが密着するようにラミネートする工程と、基材上の第一の層及び第二の層の所定部分を露光後、所定部分以外を除去し、電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜パターンを形成する工程とを備える。
[Method of forming cured film pattern]
The method of forming a cured film pattern according to the present embodiment includes, on a substrate having an electrode pattern, the first layer and the second layer of the above-described transfer type photosensitive film of the present embodiment, A step of laminating so that the provided side and the second layer are in close contact with each other, and after exposing a predetermined portion of the first layer and the second layer on the substrate, removing portions other than the predetermined portion to form an electrode pattern. Forming a cured film pattern covering part or all of the above.

図2は、本発明の一実施形態に係る転写型感光性フィルムを用いて形成した硬化膜を透明電極パターン付き基材上に備える積層体を示す模式断面図である。図2に示される積層体100は、透明電極パターン50aを有する透明電極パターン付き基材50と、透明電極パターン付き基材50の透明電極パターン50a上に設けられた硬化膜60とを備える。硬化膜60は、硬化した第一の層22及び硬化した第二の層32からなる樹脂硬化膜であり、本実施形態の転写型感光性フィルム1を用いて形成されている。硬化膜60は、透明電極パターン50aの保護機能と、透明電極パターン50aの不可視化又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす。以下、透明電極パターン付き基材上に硬化膜が形成された積層体の製造方法の一実施形態について説明する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a laminate having a cured film formed using the transfer photosensitive film according to one embodiment of the present invention on a substrate with a transparent electrode pattern. The laminate 100 shown in FIG. 2 includes a substrate 50 with a transparent electrode pattern having a transparent electrode pattern 50a, and a cured film 60 provided on the transparent electrode pattern 50a of the substrate 50 with a transparent electrode pattern. The cured film 60 is a resin cured film including the cured first layer 22 and the cured second layer 32, and is formed using the transfer photosensitive film 1 of the present embodiment. The cured film 60 satisfies both the function of protecting the transparent electrode pattern 50a and the function of making the transparent electrode pattern 50a invisible or improving the visibility of the touch screen. Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a laminate in which a cured film is formed on a substrate with a transparent electrode pattern will be described.

−ラミネート工程−
まず、転写型感光性フィルム1の保護フィルム40を除去した後、第二の層30、第一の層20及び支持フィルム10を、透明電極パターン付き基材50表面に第二の層30側から圧着することによりラミネート(転写)する。圧着手段としては、圧着ロールが挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。
-Lamination process-
First, after removing the protective film 40 of the transfer type photosensitive film 1, the second layer 30, the first layer 20, and the support film 10 are placed on the surface of the substrate 50 with the transparent electrode pattern from the second layer 30 side. Lamination (transfer) is performed by pressing. As the pressing means, a pressing roll may be used. The pressure roll may be provided with a heating means so as to be capable of thermocompression bonding.

加熱圧着する場合の加熱温度は、第二の層30と透明電極パターン付き基材50との密着性の観点、及び、第一の層20又は第二の層30の構成成分が熱硬化又は熱分解されにくいようにする観点から、10〜160℃とすることが好ましく、20〜150℃とすることがより好ましく、30〜150℃とすることがさらに好ましい。   The heating temperature in the case of thermocompression bonding is based on the viewpoint of the adhesion between the second layer 30 and the substrate 50 with a transparent electrode pattern, and the fact that the components of the first layer 20 or the second layer 30 are thermoset or thermoset. From the viewpoint of making it difficult to decompose, the temperature is preferably from 10 to 160 ° C, more preferably from 20 to 150 ° C, even more preferably from 30 to 150 ° C.

また、加熱圧着時の圧着圧力は、第二の層30と透明電極パターン付き基材50との密着性を充分確保しながら、透明電極パターン付き基材50の変形を抑制する観点から、線圧で50〜1×10N/mとすることが好ましく、2.5×10〜5×10N/mとすることがより好ましく、5×10〜4×10N/mとすることがさらに好ましい。 In addition, the pressing pressure at the time of heating and pressing is set to a linear pressure from the viewpoint of suppressing deformation of the base material with a transparent electrode pattern 50 while ensuring sufficient adhesion between the second layer 30 and the base material with a transparent electrode pattern 50. Is preferably 50 to 1 × 10 5 N / m, more preferably 2.5 × 10 2 to 5 × 10 4 N / m, and more preferably 5 × 10 2 to 4 × 10 4 N / m. More preferably,

転写型感光性フィルム1を上記のように加熱圧着すれば、透明電極パターン付き基材50の予熱処理は必ずしも必要ではないが、第二の層30と透明電極パターン付き基材50との密着性をさらに向上させる点から、透明電極パターン付き基材50を予熱処理してもよい。このときの処理温度は、30〜150℃とすることが好ましい。   If the transfer type photosensitive film 1 is heat-pressed as described above, the pre-heat treatment of the substrate 50 with the transparent electrode pattern is not necessarily required, but the adhesion between the second layer 30 and the substrate 50 with the transparent electrode pattern is not required. In order to further improve the temperature, the base material 50 with a transparent electrode pattern may be pre-heated. The processing temperature at this time is preferably 30 to 150 ° C.

(基材)
透明電極パターン付き基材50を構成する基材としては、例えばタッチパネル(タッチセンサー)に用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基材が挙げられる。本実施形態の電極パターンを有する基材の基材としては、上記材質からなるタッチパネル用基材を用いることができる。
(Base material)
Examples of the base material constituting the base material 50 with a transparent electrode pattern include a base material such as a glass plate, a plastic plate, and a ceramic plate used for a touch panel (touch sensor). As the substrate of the substrate having the electrode pattern of the present embodiment, a substrate for a touch panel made of the above material can be used.

(透明電極及び金属配線)
透明電極は、例えばITO及びIZO(Indium Zinc Oxide、酸化インジウム−酸化亜鉛)等の導電性金属酸化膜を用いて、形成することができる。また透明電極は、銀繊維及びカーボンナノチューブなどの導電性繊維を用いた光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて、形成することもできる。金属配線は、例えば、Au、Ag、Cu、Al、Mo、Cなどの導電性材料を用いて、スクリーン印刷、蒸着などの方法により形成することができる。また、基材上には、基材と電極との間に絶縁層又はインデックスマッチング層が設けられていてもよい。インデックスマッチング層は、上述した第二の層30と同様の組成を有していてもよい。
(Transparent electrode and metal wiring)
The transparent electrode can be formed using a conductive metal oxide film such as ITO and IZO (Indium Zinc Oxide, indium oxide-zinc oxide). The transparent electrode can also be formed using a photosensitive film having a photocurable resin layer using conductive fibers such as silver fibers and carbon nanotubes. The metal wiring can be formed using a conductive material such as Au, Ag, Cu, Al, Mo, or C by a method such as screen printing or vapor deposition. Further, an insulating layer or an index matching layer may be provided between the substrate and the electrode on the substrate. The index matching layer may have a composition similar to that of the second layer 30 described above.

−露光工程−
次に、転写後の第一の層及び第二の層の所定部分に、フォトマスクを介して、活性光線をパターン状に照射する。活性光線を照射する際、第一の層及び第二の層上の支持フィルム10が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができ、不透明の場合には除去してから活性光線を照射する。活性光線の光源としては、公知の活性光源を用いることができる。なお、本明細書においてパターンとは、回路を形成する微細配線の形状にとどまらず、他基材との接続部のみを矩形に除去した形状及び基材の額縁部のみを除去した形状等も含まれる。
-Exposure process-
Next, a predetermined portion of the first layer and the second layer after the transfer is irradiated with actinic rays in a pattern via a photomask. When irradiating with an actinic ray, if the support film 10 on the first layer and the second layer is transparent, the actinic ray can be irradiated as it is. Irradiate. A known active light source can be used as a light source for the active light. In the present specification, the pattern is not limited to the shape of fine wiring forming a circuit, but also includes a shape in which only a connection portion with another substrate is removed in a rectangular shape and a shape in which only a frame portion of the substrate is removed. It is.

活性光線の照射量は、1×10〜1×10J/mであり、照射の際に、加熱を伴うこともできる。この活性光線の照射量が、1×10J/m以上であれば、第一の層及び第二の層の光硬化を充分に進行させることが可能となり、1×10J/m以下であれば第一の層及び第二の層が変色することを抑制できる傾向がある。 The irradiation amount of the actinic ray is 1 × 10 2 to 1 × 10 4 J / m 2 , and the irradiation may be accompanied by heating. When the irradiation amount of this actinic ray is 1 × 10 2 J / m 2 or more, the photocuring of the first layer and the second layer can be sufficiently advanced, and 1 × 10 4 J / m 2. If it is 2 or less, discoloration of the first layer and the second layer tends to be suppressed.

続いて、活性光線照射後の第一の層及び第二の層の未露光部を現像液で除去して、透明電極の一部又は全部を被覆する硬化膜(屈折率調整パターン)60を形成する。なお、活性光線の照射後、第一の層及び第二の層に支持フィルム10が積層されている場合にはそれを除去した後、現像工程が行われる。   Subsequently, the unexposed portions of the first layer and the second layer after irradiation with actinic rays are removed with a developer to form a cured film (refractive index adjustment pattern) 60 covering a part or the whole of the transparent electrode. I do. After the actinic ray irradiation, if the support film 10 is laminated on the first layer and the second layer, the support film 10 is removed, and then the developing step is performed.

現像工程は、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により行うことができる。中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いて、スプレー現像することが好ましい。なお、現像温度及び時間は従来公知の範囲で調整することができる。   The development step can be performed by a known method such as spraying, showering, rocking immersion, brushing, and scrubbing using a known developing solution such as an aqueous alkali solution, an aqueous developing solution, or an organic solvent. Especially, it is preferable to carry out spray development using an alkaline aqueous solution from the viewpoint of environment and safety. The development temperature and time can be adjusted in a conventionally known range.

[積層体]
本実施形態の積層体は、電極パターンを有する基材と、電極パターン上に設けられた硬化膜とを有する積層体であって、硬化膜は、基材側に金属酸化物粒子を含有する領域を有し、金属酸化物粒子が、粒子径が15〜30nmである第一の金属酸化物粒子と、粒子径が3.3〜6.6nmである第二の金属酸化物粒子とを含み、上記領域における金属酸化物粒子の含有量が25〜50体積%であってもよい。
[Laminate]
The laminate of the present embodiment is a laminate having a substrate having an electrode pattern and a cured film provided on the electrode pattern, wherein the cured film is a region containing metal oxide particles on the substrate side. Wherein the metal oxide particles include a first metal oxide particle having a particle size of 15 to 30 nm and a second metal oxide particle having a particle size of 3.3 to 6.6 nm, The content of the metal oxide particles in the above region may be 25 to 50% by volume.

上記の積層体は、上述した本実施形態の転写型感光性フィルムを用いる積層体の製造方法によって得ることができる。金属酸化物粒子を含有する領域は、例えば、図2に示される硬化した第二の層32によって形成され得る。   The above-mentioned laminate can be obtained by the above-described method for producing a laminate using the transfer type photosensitive film of the present embodiment. The region containing the metal oxide particles can be formed, for example, by the cured second layer 32 shown in FIG.

本実施形態の積層体において、第一の金属酸化物粒子の平均粒子径Mに対する第二の金属酸化物粒子の平均粒子径Mの比M/Mは、0.10〜0.44であってもよく、0.15〜0.40であってもよく、0.20〜0.35であってもよい。 In the laminate of the present embodiment, the average ratio M 2 / M 1 of the particle diameter M 2 of the second metal oxide particles to the average particle diameter M 1 of the first metal oxide particles, 0.10 to 0. 44, 0.15 to 0.40, or 0.20 to 0.35.

また、金属酸化物粒子を含有する領域における金属酸化物粒子の含有量は、25〜50体積%であってもよく、30〜50体積%であってもよく、35〜50体積%であってもよい。   Further, the content of the metal oxide particles in the region containing the metal oxide particles may be 25 to 50% by volume, 30 to 50% by volume, or 35 to 50% by volume. Is also good.

金属酸化物粒子を含有する領域における上記(E−1)成分の含有量は、15〜40体積%であってもよく、16〜39体積%であってもよく、17〜38体積%であってもよい。   The content of the component (E-1) in the region containing the metal oxide particles may be 15 to 40% by volume, 16 to 39% by volume, or 17 to 38% by volume. May be.

金属酸化物粒子を含有する領域における上記(E−2)成分の含有量は、2〜10体積%であってもよく、2〜8体積%であってもよく、2〜6体積%であってもよい。   The content of the component (E-2) in the region containing the metal oxide particles may be 2 to 10% by volume, 2 to 8% by volume, or 2 to 6% by volume. May be.

金属酸化物粒子を含有する領域における上記(E−1)成分に対する上記(E−2)成分の体積比[(E−2)/(E−1)]は、0.05〜0.40であってもよく、0.10〜0.40であってもよく、0.10〜0.30であってもよく。   The volume ratio [(E-2) / (E-1)] of the component (E-2) to the component (E-1) in the region containing the metal oxide particles is 0.05 to 0.40. May be present, may be 0.10 to 0.40, or may be 0.10 to 0.30.

[タッチパネル]
本実施形態のタッチパネルは、本実施形態の転写型感光性フィルムを用いて得られる積層体又は上記の本実施形態に係る積層体を備え、基材がタッチパネル用基材である。本実施形態のタッチパネルは、例えば、図2に示される積層体100を有するタッチセンサーを備えることができる。タッチセンサーをタッチパネル等のモジュールにする際には、カバーガラスと積層体100を接着するOCAを用いることができる。
[Touch panel]
The touch panel of the present embodiment includes a laminate obtained by using the transfer type photosensitive film of the present embodiment or the laminate according to the present embodiment described above, and the substrate is a substrate for a touch panel. The touch panel according to the present embodiment can include, for example, a touch sensor having the stacked body 100 illustrated in FIG. When the touch sensor is used as a module such as a touch panel, OCA for bonding the cover glass and the laminate 100 can be used.

図3は、本発明の一実施形態に係るタッチパネルを示す模式上面図である。図3には、静電容量式のタッチパネルの一例を示す。図3に示されるタッチパネルは、透明基材101の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面102があり、この領域の静電容量変化を検出するための透明電極103及び透明電極104が透明基材101上に設けられている。   FIG. 3 is a schematic top view showing a touch panel according to one embodiment of the present invention. FIG. 3 illustrates an example of a capacitive touch panel. The touch panel shown in FIG. 3 has a touch screen 102 for detecting touch position coordinates on one side of a transparent base material 101, and a transparent electrode 103 and a transparent electrode 104 for detecting a change in capacitance in this area are transparent. It is provided on a substrate 101.

透明電極103及び透明電極104はそれぞれタッチ位置のX位置座標及びY位置座標を検出する。   The transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 detect the X position coordinate and the Y position coordinate of the touch position, respectively.

透明基材101上には、透明電極103及び透明電極104からタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための引き出し配線105が設けられている。また、引き出し配線105と、透明電極103及び透明電極104とは、透明電極103及び透明電極104上に設けられた接続電極106により接続されている。また、引き出し配線105の透明電極103及び透明電極104との接続部と反対側の端部には、外部回路との接続端子107が設けられている。   On the transparent base material 101, a lead wiring 105 for transmitting a detection signal of a touch position from the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 to an external circuit is provided. In addition, the lead wiring 105 is connected to the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 by a connection electrode 106 provided on the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104. Further, a connection terminal 107 for connecting to an external circuit is provided at an end of the lead-out wiring 105 opposite to a connection portion with the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104.

図3に示すように、本実施形態に係るタッチパネルにおいては、本実施形態の転写型感光性フィルムを用いて、透明電極パターンが形成された部分と、形成されていない部分にまたがって硬化膜パターン123が形成されている。硬化膜パターン123は、硬化した第一の層及び硬化した第二の層からなる。この硬化膜パターン123によれば、透明電極103、透明電極104、引き出し配線105、接続電極106及び接続端子107を保護する機能と、透明電極パターンから形成されるセンシング領域(タッチ画面)102の骨見え現象防止機能とを同時に奏することができる。本実施形態に係るタッチパネルは、本実施形態の転写型感光性フィルムが用いられることにより、接続端子107上には現像残渣の発生が充分に低減され、接続端子における接続不良などの問題が発生しにくいものになり得る。   As shown in FIG. 3, in the touch panel according to the present embodiment, a cured film pattern is formed by using the transfer type photosensitive film of the present embodiment over a portion where the transparent electrode pattern is formed and a portion where the transparent electrode pattern is not formed. 123 are formed. The cured film pattern 123 includes a cured first layer and a cured second layer. According to the cured film pattern 123, the function of protecting the transparent electrode 103, the transparent electrode 104, the lead wiring 105, the connection electrode 106 and the connection terminal 107, and the function of the bone of the sensing area (touch screen) 102 formed by the transparent electrode pattern The appearance phenomenon preventing function can be performed at the same time. In the touch panel according to the present embodiment, by using the transfer type photosensitive film of the present embodiment, development residue is sufficiently reduced on the connection terminal 107, and problems such as poor connection at the connection terminal occur. It can be difficult.

以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

<バインダーポリマー溶液の作製>
(バインダーポリマーA)
反応容器中に1−メトキシ−2−プロパノール(ダイセル化学工業株式会社製)85.7質量部を加えて80℃に昇温した。また、別途、メタクリル酸17.5質量部、メタクリル酸エチル50.5質量部、アクリル酸エチル32.0質量部及びアゾ系重合開始剤(和光純薬工業株式会社製、商品名:V−601)0.6質量部を混合して混合溶液を得た。窒素ガス雰囲気下、80℃で前記反応容器中にこの混合溶液を2時間かけて滴下した。滴下後4時間反応させて樹脂溶液を得た。
<Preparation of binder polymer solution>
(Binder polymer A)
85.7 parts by mass of 1-methoxy-2-propanol (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) was added to the reaction vessel, and the temperature was raised to 80 ° C. Separately, 17.5 parts by mass of methacrylic acid, 50.5 parts by mass of ethyl methacrylate, 32.0 parts by mass of ethyl acrylate and an azo-based polymerization initiator (trade name: V-601, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) ) 0.6 parts by mass were mixed to obtain a mixed solution. This mixed solution was dropped into the reaction vessel at 80 ° C. over 2 hours under a nitrogen gas atmosphere. After the dropping, the mixture was reacted for 4 hours to obtain a resin solution.

次いで、上記で得られた樹脂溶液にハイドロキノンモノメチルエーテル2.5質量部及びテトエチルアンモニウムブロマイド8.4質量部を加えた後、空気を吹き込みながら80℃で4時間反応させた。そして、固形分濃度が45質量%になるように、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して、バインダーポリマーAを含むバインダーポリマー溶液を得た。バインダーポリマーAの重量平均分子量及び酸価を下記方法で求めた結果、重量平均分子量は64000であり、酸価は117mgKOHであった。   Next, after adding 2.5 parts by mass of hydroquinone monomethyl ether and 8.4 parts by mass of tetraethylammonium bromide to the resin solution obtained above, the mixture was reacted at 80 ° C. for 4 hours while blowing air. Then, propylene glycol monomethyl ether acetate was added as a solvent so that the solid content concentration became 45% by mass, to obtain a binder polymer solution containing binder polymer A. The weight average molecular weight and the acid value of the binder polymer A were determined by the following methods. As a result, the weight average molecular weight was 64000, and the acid value was 117 mgKOH.

[重量平均分子量の測定方法]
重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの測定条件を以下に示す。
{GPC測定条件}
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、商品名)
カラム:Gelpack GL−R420、Gelpack GL−R430、Gelpack GL−R440(以上、日立化成株式会社製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、商品名)
[Method of measuring weight average molecular weight]
The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC), and was derived by conversion using a calibration curve of standard polystyrene. The measurement conditions for GPC are shown below.
<< GPC measurement conditions >>
Pump: Hitachi L-6000 type (trade name, manufactured by Hitachi, Ltd.)
Column: Gelpack GL-R420, Gelpack GL-R430, Gelpack GL-R440 (these are the product names of Hitachi Chemical Co., Ltd.)
Eluent: tetrahydrofuran Measurement temperature: 40 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 RI (trade name, manufactured by Hitachi, Ltd.)

[酸価の測定方法]
酸価は、下記のとおり、JIS K0070に基づいた中和滴定法により測定した。まず、バインダーポリマー溶液を130℃で1時間加熱して揮発分を除去することにより固形分(不揮発分)を得た。そして、当該固形分のバインダーポリマー1gを精秤した後、このバインダーポリマーにアセトンを30g添加して均一に溶解することにより樹脂溶液を得た。次いで、指示薬であるフェノールフタレインを樹脂溶液に適量添加した後、0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液を用いて中和滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価=0.1×V×f×56.1/(Wp×I/100)
[式中、Vは、滴定に用いた0.1mol/L水酸化カリウム水溶液の滴定量(mL)を示し、fは、0.1mol/L水酸化カリウム水溶液のファクター(濃度換算係数)を示し、Wpは、樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは、樹脂溶液中の固形分の割合(質量%)を示す。]
[Method of measuring acid value]
The acid value was measured by a neutralization titration method based on JIS K0070 as described below. First, a solid content (non-volatile content) was obtained by heating the binder polymer solution at 130 ° C. for 1 hour to remove volatile components. After 1 g of the solid binder polymer was precisely weighed, 30 g of acetone was added to the binder polymer and uniformly dissolved to obtain a resin solution. Next, after adding an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator to the resin solution, neutralization titration was performed using a 0.1 mol / L aqueous solution of potassium hydroxide. Then, the acid value was calculated by the following equation.
Acid value = 0.1 × V × f 1 × 56.1 / (Wp × I / 100)
[Wherein V represents the titer (mL) of the 0.1 mol / L aqueous potassium hydroxide solution used for the titration, and f 1 represents the factor (concentration conversion coefficient) of the 0.1 mol / L aqueous potassium hydroxide solution. Wp represents the mass (g) of the resin solution, and I represents the ratio (mass%) of the solid content in the resin solution. ]

<第1の層形成用塗布液の調製>
溶剤と、表1の各成分(配合量の単位:質量部)とを混合した後、攪拌機を用いて15分間混合して第1の層形成用塗布液を調製した。溶剤は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計100質量部に対して、メチルエチルケトン100質量部を用いた。
<Preparation of First Layer Forming Coating Solution>
After mixing the solvent and each component of Table 1 (unit of the blending amount: parts by mass), the mixture was mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a first layer forming coating solution. As the solvent, 100 parts by mass of methyl ethyl ketone was used based on 100 parts by mass of the total of the binder polymer and the photopolymerizable compound.

<第2の層形成用塗布液の調製>
溶剤と、表1に示す成分(配合量の単位:質量部)を混合した後、攪拌機を用いて15分間混合して第2の層形成用塗布液を調製した。溶剤は、金属酸化物粒子の合計120質量部に対して、プロピレングリコールモノメチルエーテル200質量部を用いた。
<Preparation of Second Layer Forming Coating Solution>
After the solvent and the components shown in Table 1 (units of the blending amount: parts by mass) were mixed, they were mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a second coating liquid for forming a layer. The solvent used was 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether based on a total of 120 parts by mass of the metal oxide particles.

Figure 2019215395
Figure 2019215395

表1中の成分の記号は以下の意味を示す。   The symbols of the components in Table 1 have the following meanings.

[(A)成分:バインダーポリマー]
バインダーポリマーA:上述の方法で作製したバインダーポリマーA
[(A) component: binder polymer]
Binder polymer A: Binder polymer A produced by the above method

[(B)成分:光重合性化合物]
A−DCP:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名)
[(B) component: photopolymerizable compound]
A-DCP: Tricyclodecane dimethanol diacrylate (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)

[(C)成分:光重合開始剤]
OXE−01:1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル−,2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASF株式会社製、商品名「IRGACURE OXE−01」)
Irg−TPO:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド(BASF株式会社製、商品名「IRGACURE TPO」)
[Component (C): Photopolymerization initiator]
OXE-01: 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl-, 2- (O-benzoyloxime)] (trade name "IRGACURE OXE-01" manufactured by BASF Corporation)
Irg-TPO: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide (trade name “IRGACURE TPO” manufactured by BASF Corporation)

[(D)成分:防錆剤]
B6030:5−アミノ−1H−テトラゾール(千代田ケミカル株式会社製、商品名)
[(D) component: rust inhibitor]
B6030: 5-amino-1H-tetrazole (trade name, manufactured by Chiyoda Chemical Co., Ltd.)

[(E)成分:金属酸化物粒子]
(E−1)成分
ZrO−1:酸化ジルコニウム粒子(平均粒径18nm)、粒子径が15〜30nmの粒子含有量:98(質量%)
TiO−1:酸化チタン粒子(平均粒径19nm)、粒子径が15〜30nmの粒子含有量:98(質量%)
(E−2)成分
ZrO−2:酸化ジルコニウム粒子(平均粒径3.8nm)、粒子径が3.3〜6.6nmの粒子含有量:86(質量%)
TiO−2:酸化チタン粒子(平均粒径4.4nm)、粒子径が3.3〜6.6nmの粒子含有量:89(質量%)
[Component (E): metal oxide particles]
(E-1) Component ZrO 2 -1: zirconium oxide particles (average particle size: 18 nm), content of particles having a particle size of 15 to 30 nm: 98 (% by mass)
TiO 2 -1: titanium oxide particles (average particle size 19 nm), content of particles having a particle size of 15 to 30 nm: 98 (% by mass)
(E-2) component ZrO 2 -2: zirconium oxide particles (average particle diameter 3.8 nm), particle content having a particle size 3.3~6.6nm: 86 (wt%)
TiO 2 -2: titanium oxide particles (average particle size: 4.4 nm), particle content of 3.3 to 6.6 nm: 89 (% by mass)

[その他の成分]
(密着助剤)
PM−21:エチレン性不飽和基を有するリン酸エステル(日本化薬株式会社製、商品名)
(レベリング剤)ADDITIVE8032:オクタメチルシクロテトラシロキサン(東レ・ダウコーニング株式会社製、商品名)
(重合禁止剤)AW500:2,2’−メチレン−ビス(4−エチル−6−tert−ブチルフェノール)(川口化学株式会社製、商品名)
[Other ingredients]
(Adhesion aid)
PM-21: Phosphate ester having an ethylenically unsaturated group (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(Leveling agent) ADDITIVE8032: Octamethylcyclotetrasiloxane (trade name, manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.)
(Polymerization inhibitor) AW500: 2,2'-methylene-bis (4-ethyl-6-tert-butylphenol) (trade name, manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd.)

<転写型感光性フィルムの作製>
支持フィルムとして厚さ16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、商品名:FB40)を準備した。コンマコーターを用いて第1の層形成用塗布液を支持フィルム上に均一に塗布した後、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去することにより、厚さ8μmの第1の層を備える積層体1を得た。
<Preparation of transfer type photosensitive film>
A 16 μm-thick polyethylene terephthalate film (trade name: FB40, manufactured by Toray Industries, Inc.) was prepared as a support film. After uniformly applying the first layer-forming coating solution on the support film using a comma coater, and drying it for 3 minutes with a hot air convection dryer at 100 ° C. to remove the solvent, a 8 μm-thick first layer was formed. A laminate 1 having one layer was obtained.

保護フィルムとして厚さ30μmのポリプロピレンフィルム(王子エフテックス株式会社製、商品名:ES−201)を準備した。ダイコーターを用いて第2の層形成用塗布液を保護フィルム上に均一に塗布した後、110℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去することにより、厚さ0.1μmの第2の層を備える積層体2を得た。   A 30-μm-thick polypropylene film (trade name: ES-201, manufactured by Oji F-Tex Corporation) was prepared as a protective film. The coating liquid for forming the second layer is uniformly applied on the protective film using a die coater, and then dried for 3 minutes with a hot air convection dryer at 110 ° C. to remove the solvent, thereby obtaining a thickness of 0.1 μm. To obtain a laminate 2 including the second layer.

次いで、ラミネータ(日立化成株式会社製、商品名:HLM−3000型)を用いて、積層体1の第1の層と積層体2の第2の層とを23℃で貼り合わせて、支持フィルム、第1の層、第2の層、及び保護フィルムがこの順で積層された転写型感光性フィルムを作製した。   Next, the first layer of the laminate 1 and the second layer of the laminate 2 were bonded together at 23 ° C. using a laminator (trade name: HLM-3000 type, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and a support film was formed. , A first layer, a second layer, and a protective film were laminated in this order to produce a transfer type photosensitive film.

<第2の層の特性>
第2の層に含まれる各成分の体積量について、各成分の配合量及び密度の情報に基づき算出した。
<Characteristics of second layer>
The volume of each component contained in the second layer was calculated based on the information on the blending amount and density of each component.

具体的には、金属酸化物粒子の密度は下記の値を用いた。
酸化ジルコニウム:5.68
酸化チタン:4.23
また、第2の層に含まれる溶剤を除く有機成分の密度をアルキメデス法により測定したところ、密度は1.1であった。この密度の値Doと、金属酸化物粒子の密度とを用いて、第2の層に含まれる有機成分の質量Mo及び第2の層に含まれる金属酸化物粒子の質量Mmを体積量(体積部)に換算した。これらの値から、第2の層に含まれる金属酸化物粒子の体積割合(%)を算出した。
Specifically, the following values were used for the density of the metal oxide particles.
Zirconium oxide: 5.68
Titanium oxide: 4.23
Further, the density of the organic component except for the solvent contained in the second layer was measured by Archimedes' method, and the density was 1.1. Using the density value Do and the density of the metal oxide particles, the mass Mo of the organic component contained in the second layer and the mass Mm of the metal oxide particles contained in the second layer are determined by volume (volume). Parts). From these values, the volume ratio (%) of the metal oxide particles contained in the second layer was calculated.

Figure 2019215395
Figure 2019215395

<現像残渣の評価>
実施例及び比較例で得られた転写型感光性フィルムを、CuスパッタPETフィルム(尾池工業(株)社製)上に真空ラミネートした後、1%NaCOを30℃で40秒間スプレーすることにより現像を行った。
<Evaluation of development residue>
The transfer-type photosensitive films obtained in Examples and Comparative Examples were vacuum-laminated on a Cu sputtered PET film (manufactured by Oike Industry Co., Ltd.), and then sprayed with 1% Na 2 CO 3 at 30 ° C. for 40 seconds. Then, development was performed.

次いで、目視で現像残渣による基材表面上の変色の有無を下記の5段階で評価した。観察結果を表2に示す。
5:変色が見られない。
4:部分的に薄い変色部分がある
3:全面に変色部分がある
2:現像残りがあり、全体の20%以下
1:現像残りがあり、全体の20%以上
Next, the presence or absence of discoloration on the substrate surface due to the development residue was visually evaluated according to the following five grades. Table 2 shows the observation results.
5: No discoloration is observed.
4: Partially discolored part 3: Partly discolored part 2: Undeveloped part, 20% or less of the whole 1: Undeveloped part, 20% or more of the whole

<骨見え現象の評価>
評価用の基材(ITO基材)を用意した。この基材上に、実施例及び比較例で得られた転写型感光性フィルムの保護フィルムを剥離しながら、第二の層を基材に対向させ、110℃、0.4m/min、0.4MPaの条件でラミネートした。
<Evaluation of bone appearance phenomenon>
A base material for evaluation (ITO base material) was prepared. While peeling off the protective film of the transfer type photosensitive film obtained in each of Examples and Comparative Examples on this substrate, the second layer was opposed to the substrate. Lamination was performed under the conditions of 4 MPa.

ラミネート後、基材を冷却し、基材の温度が23℃になった時点で、支持フィルム側から高圧水銀灯を有する露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、100mJ/cmの露光量で光照射した。次に、支持フィルムを除去し、140℃で30分間加熱するアニーリングを行った。 After lamination, the substrate was cooled, and when the temperature of the substrate reached 23 ° C., using an exposure machine having a high-pressure mercury lamp from the support film side (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., trade name: EXM-1201), Light irradiation was performed at an exposure amount of 100 mJ / cm 2 . Next, annealing was performed by removing the support film and heating at 140 ° C. for 30 minutes.

上記で得られたアニーリング後のサンプルをブラックボード上に固定し、光を斜めから当てて、目視にて観察し、下記の基準で評価した。
A:パターンが見えない又は見にくい。
F:パターンが見える。
The annealed sample obtained above was fixed on a black board, irradiated with light obliquely, visually observed, and evaluated according to the following criteria.
A: The pattern is not visible or difficult to see.
F: The pattern is visible.

1…転写型感光性フィルム、10…支持フィルム(仮支持体)、20…第一の層、22…硬化した第一の層、30…第二の層、32…硬化した第二の層、40…保護フィルム、50…透明電極パターン付き基材、50a…透明電極パターン、60…硬化膜、100…積層体、101…透明基材、102…センシング領域、103,104…透明電極、105…引き出し配線、106…接続電極、107…接続端子、123…硬化膜パターン。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transfer type photosensitive film, 10 ... Support film (temporary support), 20 ... First layer, 22 ... Hardened first layer, 30 ... Second layer, 32 ... Hardened second layer, Reference numeral 40: protective film, 50: substrate with a transparent electrode pattern, 50a: transparent electrode pattern, 60: cured film, 100: laminated body, 101: transparent substrate, 102: sensing area, 103, 104: transparent electrode, 105: Lead-out wiring, 106 connection electrode, 107 connection terminal, 123 cured film pattern.

Claims (9)

仮支持体と、該仮支持体上に設けられた、感光性樹脂組成物からなる第一の層と、金属酸化物粒子を含む第二の層と、をこの順に備え、
前記金属酸化物粒子が、粒子径が15〜30nmである第一の金属酸化物粒子と、粒子径が3.3〜6.6nmである第二の金属酸化物粒子と、を含み、
前記第二の層における前記金属酸化物粒子の含有量が、25〜50体積%である、転写型感光性フィルム。
Temporary support, provided on the temporary support, a first layer made of a photosensitive resin composition, and a second layer containing metal oxide particles, in this order,
The metal oxide particles include: first metal oxide particles having a particle size of 15 to 30 nm; and second metal oxide particles having a particle size of 3.3 to 6.6 nm.
The transfer type photosensitive film, wherein the content of the metal oxide particles in the second layer is 25 to 50% by volume.
前記第一の金属酸化物粒子の平均粒子径Mに対する前記第二の金属酸化物粒子の平均粒子径Mの比M/Mが、0.10〜0.44である、請求項1に記載の転写型感光性フィルム。 Wherein the first metal oxide average ratio M 2 / M 1 of an average of said second metal oxide particles to the particle diameter M 1 particle diameter M 2 particles is from 0.10 to 0.44, claim 2. The transfer type photosensitive film according to 1. 前記第二の層が感光性樹脂組成物を含む、請求項1又は2に記載の転写型感光性フィルム。   The transfer type photosensitive film according to claim 1, wherein the second layer includes a photosensitive resin composition. 前記第二の層における前記第一の金属酸化物粒子の含有量が、15〜40体積%であり、
前記第二の層における前記第二の金属酸化物粒子の含有量が、2〜10体積%である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルム。
The content of the first metal oxide particles in the second layer is 15 to 40% by volume,
The transfer type photosensitive film according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the second metal oxide particles in the second layer is 2 to 10% by volume.
電極パターンを有する基材上に、請求項1〜4のいずれか一項に記載の転写型感光性フィルムの前記第一の層及び前記第二の層を、前記基材の前記電極パターンが設けられている側と前記第二の層とが密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記第一の層及び前記第二の層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去し、前記電極パターンの一部又は全部を被覆する硬化膜パターンを形成する工程と、
を備える、硬化膜パターンの形成方法。
On a substrate having an electrode pattern, the first layer and the second layer of the transfer type photosensitive film according to any one of claims 1 to 4, the electrode pattern of the substrate is provided Laminating so that the side that has been and the second layer are in close contact,
After exposing a predetermined portion of the first layer and the second layer on the base material, removing a portion other than the predetermined portion, forming a cured film pattern covering a part or all of the electrode pattern. ,
A method for forming a cured film pattern, comprising:
電極パターンを有する基材と、前記電極パターン上に設けられた硬化膜と、を有する積層体であって、
前記硬化膜は、前記基材側に金属酸化物粒子を含有する領域を有し、
前記金属酸化物粒子が、粒子径が15〜30nmである第一の金属酸化物粒子と、粒子径が3.3〜6.6nmである第二の金属酸化物粒子と、を含み、
前記領域における前記金属酸化物粒子の含有量が、25〜50体積%である、積層体。
A substrate having an electrode pattern, and a cured film provided on the electrode pattern, a laminate having:
The cured film has a region containing metal oxide particles on the substrate side,
The metal oxide particles include: first metal oxide particles having a particle size of 15 to 30 nm; and second metal oxide particles having a particle size of 3.3 to 6.6 nm.
The laminate, wherein the content of the metal oxide particles in the region is 25% to 50% by volume.
前記第一の金属酸化物粒子の平均粒子径Mに対する前記第二の金属酸化物粒子の平均粒子径Mの比M/Mが、0.10〜0.44である、請求項6に記載の積層体。 Wherein the first metal oxide average ratio M 2 / M 1 of an average of said second metal oxide particles to the particle diameter M 1 particle diameter M 2 particles is from 0.10 to 0.44, claim 7. The laminate according to 6. 前記領域における前記第一の金属酸化物粒子の含有量が、15〜40体積%であり、
前記領域における前記第二の金属酸化物粒子の含有量が、2〜10体積%である、請求項6又は7に記載の積層体。
The content of the first metal oxide particles in the region is 15 to 40% by volume,
The laminate according to claim 6, wherein the content of the second metal oxide particles in the region is 2% to 10% by volume.
請求項6〜8のいずれか一項に記載の積層体を備え、
前記基材がタッチパネル用基材である、タッチパネル。
A laminate comprising the laminate according to any one of claims 6 to 8,
A touch panel, wherein the substrate is a substrate for a touch panel.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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