JP2019114770A

JP2019114770A - 電池ウェハ反転装置及び電池ウェハ反転方法

Info

Publication number: JP2019114770A
Application number: JP2018150546A
Authority: JP
Inventors: ビン・ヤン; Bin Yang
Original assignee: Beijing Juntai Innovation Technology Co Ltd
Current assignee: Beijing Juntai Innovation Technology Co Ltd
Priority date: 2017-12-22
Filing date: 2018-08-09
Publication date: 2019-07-11
Also published as: US20190198360A1; EP3503220A3; CN107946220A; KR20190076824A; WO2019119801A1; EP3503220A2

Abstract

【課題】作動効率が向上し、生産フローのタクトタイムが短くなるとともに、電池ウェハの破損率も低くすることができる、電池ウェハ反転装置及び電池ウェハ反転方法を提供する。【解決手段】電池ウェハ反転装置１０は反転機構２０とローダ３０を含み、反転機構２０は第１のスライドレール４００に摺動可能に設置される第１のガントリー２００を含み、第１のガントリー２００は電池ウェハ６００をピックアップし反転させるように構成され、ローダ３０は第２のスライドレール５００に摺動可能に設置される第２のガントリー３００を含み、第２のガントリー３００は第１のガントリー２００により反転された電池ウェハ６００をピックアップしローディングするように構成される。【選択図】図１

Description

関連出願の相互参照

本願は、２０１７年１２月２２日に中国国家知識産権局へ提出された特許出願Ｎｏ．２０１７１１４０４９３６．０の優先権を主張し、当該特許出願のすべての内容を参照により本願に援用する。

本願は太陽電池の技術分野に関わっており、特に電池ウェハ反転装置及び電池ウェハ反転方法に関するものである。

ヘテロ接合太陽電池ウェハのフィルムコーティング加工においては、一般的にＰＶＤ、ＣＶＤ等の真空フィルムコーティング・デバイスが用いられ、電池ウェハの両面をコーティングする過程では、電池ウェハはフィルムコーティング・デバイスにおいて片面のフィルムコーティングを完了した後、反転させて再度フィルムコーティング・デバイスに入れてもうひとつの面のフィルムコーティングを行う必要がある。

従来技術において、電池ウェハはマニュアル又は自動ローディングの方式によりキャリアプレート上に敷設され、キャリアプレートが自動搬送機構により仕込みステージを通じて加工チャンバに送られて、電池ウェハの正面のコーティングが行われ、正面のコーティングが完了した後、加工チャンバから仕込みステージに搬送される。仕込みステージにおいて人為的なマニュアル反転を行うか、又は電池ウェハに自動仕込みステージを通過させて電池ウェハマガジンで収集し、電池ウェハマガジン内のすべての電池ウェハの正面コーティングが完了した後、電池ウェハマガジンを反転させて電池ウェハマガジン内のすべての電池ウェハを裏面に反転させることを実現し、その後、マニュアル又は自動ローダにより電池ウェハをキャリアプレート上に敷設し、加工チャンバの中に改めて搬送することで、電池ウェハ裏面のコーティングを行う。電池ウェハの裏面のコーティングが完了した後、マニュアル又は自動アンロード機構により電池ウェハのアンロードを行うことで、電池ウェハの両面のコーティングを完成することができる。

しかし、従来技術におけるマニュアル反転の方式は作業効率の低下、高い誤操作率を招くとともに、タクトタイムの低下及び電池ウェハの高い破損率などの問題を伴う。自動アンロードの方式を用いる場合、例えば、多関節マジックハンドなどの装置を用いて電池ウェハのアンロード、全体反転を行った後でローディングを行うと操作手順が複雑になってしまい、加工フロー全体において電池ウェハのロード、アンロードを二回行う必要があり、作動効率が低下し、生産フローのタクトタイムが遅延するとともに、電池ウェハの破損率も高くなるという問題が存在している。

発明の内容

本願の目的は電池ウェハ反転装置及び電池ウェハ反転方法を提供することで、上記従来技術における課題を解決し、反転加工を簡略化し、生産効率を高め、電池ウェハの破損率を減らすというものである。

本願は、摺動可能に設置され、電池ウェハをピックアップし反転させるように構成される第１のガントリーを含む反転機構と、摺動可能に設置され、前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハをピックアップしローディングするように構成される第２のガントリーを含むローダと、を含む電池ウェハ反転装置を提供する。

本願の１つの態様によれば、前記第１のガントリーは第１の支持梁、アクチュエーティングアーム及び第１のピックアップ機構を含み、前記アクチュエーティングアームは前記第１の支持梁に回転接続され、前記第１のピックアップ機構は前記アクチュエーティングアームに回転接続されている。

本願の１つの態様によれば、前記アクチュエーティングアームと前記第１の支持梁との接続部及び前記アクチュエーティングアームと前記第１のピックアップ機構との接続部にはそれぞれサーボモータが設置されている。

本願の１つの態様によれば、前記第１のピックアップ機構は第１の昇降装置と第１の吸盤を含み、前記第１の昇降装置の一端は前記アクチュエーティングアームに回転接続され、前記第１の昇降装置の他端は前記第１の吸盤に接続されている。

本願の１つの態様によれば、前記第１の昇降装置は第１の昇降気筒であり、前記第１の昇降気筒の気筒本体は前記アクチュエーティングアームに回転接続され、前記第１の昇降気筒のピストンロッドは前記第１の吸盤に接続されている。

本願の１つの態様によれば、前記第１のガントリーは接続梁をさらに含み、前記接続梁は前記第１の昇降気筒のピストンロッドに固定接続され、前記第１の吸盤の数は複数の組があり、複数の組の前記第１の吸盤は前記接続梁に均一に分布している。

本願の１つの態様によれば、前記第２のガントリーは第２の支持梁、第２の昇降装置及び第２のピックアップ機構を含み、前記第２の昇降装置は前記第２の支持梁上に固定接続され、前記第２のピックアップ機構は前記第２の昇降装置に摺動接続されている。

本願の１つの態様によれば、前記第２のピックアップ機構は接続ブラケットと第２の吸盤を含み、前記接続ブラケットの一端は前記第２の昇降装置に接続され、前記接続ブラケットの他端は前記第２の吸盤に接続されている。

本願の１つの態様によれば、前記第２の昇降装置はサーボモータ、スクリュー及びストッパブラケットを含み、前記サーボモータの出力軸は前記スクリューに固定接続されており、前記ストッパブラケットは前記第２の支持梁に固定接続され、前記ストッパブラケットには中空キャビティが設置されており、前記スクリューは前記中空キャビティの中に入り込み、前記ストッパブラケットの側壁には、前記接続ブラケットに摺動接続されているストッパ溝が設置されており、前記接続ブラケットの一端には前記スクリューに嵌合するネジ穴が設置されている。

本願は、摺動可能に設置され、電池ウェハをピックアップし反転させるように構成される第１のガントリーを含む反転機構を提供するステップと、摺動可能に設置され、前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハをピックアップしローディングするように構成される第２のガントリーを含むローダを提供するステップと、を含む電池ウェハ反転方法をさらに提供する。

本願の１つの態様によれば、前記第１のガントリーは順に接続されている第１の支持梁、アクチュエーティングアーム及び第１のピックアップ機構を含み、前記第１のピックアップ機構を用いて前記電池ウェハをピックアップした後、前記アクチュエーティングアームを前記第１の支持梁に対して回転させ、前記第１のピックアップ機構を前記アクチュエーティングアームに対して回転させることで、前記電池ウェハを１８０度反転させる。

本願の１つの態様によれば、前記第１のガントリーを用いて前記電池ウェハをピックアップし反転させた後、前記第２のガントリーを前記第１のガントリーと接触させて前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハをピックアップする。

本願の１つの態様によれば、前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハを前記第２のガントリーを用いてピックアップした後、ピックアップした前記電池ウェハを前記第２のガントリーを用いてキャリアプレート上に敷設する。

本願の１つの態様によれば、ピックアップした前記電池ウェハを前記第２のガントリーを用いて前記キャリアプレート上に敷設する前に、前記第１のガントリーを反転前の状態に戻す。

本願の１つの態様によれば、前記第２のガントリーのスライド方向は、前記第１のガントリーのスライド方向と平行する。

本願が提供する電池ウェハ反転装置及び電池ウェハ反転方法は、第１のガントリーと第２のガントリーを嵌合することにより、電池ウェハの反転と敷設の自動化を実現しており、マニュアル反転又はマニュアル敷設を必要とすることによる生産効率への影響という従来技術における課題を解決しているとともに、電池ウェハのキャリアプレート上の速やかな反転と敷設を実現しており、電池ウェハを電池ウェハのマガジンに収集した後で再び全体を反転させる必要がないため、反転工程を効果的に簡略化し、タクトタイムを向上させている。

以下では図面を組み合わせて本願の具体的な実施形態についてさらに詳細に説明する。
図１は本願実施例が提供する電池ウェハ反転装置の上面図である。図２は第１のガントリーの正面図である。図３は第１のガントリーの側面図である。図４は第２のガントリーの正面図である。図５は第２のガントリーの側面図である。図６は第１のガントリーの反転前の状態図である。図７は第１のガントリーの反転後の状態図である。図８は、第２のガントリーが第１のガントリー上の電池ウェハをピックアップする状態図である。図９は、第２のガントリーが電池ウェハをキャリアプレートに敷設する状態図である。

図面符号の説明

１０：電池ウェハ反転装置、２０：反転機構、３０：ローダ、
１００：キャリアプレート、２００：第１のガントリー、２１０：第１の支持梁、
２２０：アクチュエーティングアーム、２３０：第１の昇降装置、２４０：第１の吸盤、
２５０：接続梁、２６０：サーボモータ、２７０：オーバーハング部、
２８０：第１のピックアップ機構、３００：第２のガントリー、３１０：第２の支持梁、
３２０：サーボモータ、３３０：ストッパブラケット、３４０：第２の吸盤、
３５０：接続ブラケット、３６０：第２の昇降装置、３７０：第２のピックアップ機構、
３８０：スクリュー、４００：第１のスライドレール、５００：第２のスライドレール、６００：電池ウェハ。

具体的な実施形態

以下では本願の実施例について詳細に説明し、前記実施例の例は図面に示されており、そのうち、同一又は類似の符号は、同一又は類似の部材もしくは同一又は類似の機能を有する部材を表す。以下に図面に基づいて記載する実施例は例示的なものであり、本願を説明するためのものに過ぎず、本願を限定するものではない。

図１に示すように、本願実施例は反転機構２０とローダ３０を含む電池ウェハ反転装置１０を提供し、そのうち、反転機構２０は、摺動可能に設置され、電池ウェハ６００のピックアップ及び反転に用いられる第１のガントリー２００を含み、ローダ３０は、摺動可能に設置され、第1のガントリー２００に反転された電池ウェハ６００をピックアップしローディングすることで反転後の電池ウェハ６００をキャリアプレート１００上に敷設するのに用いられる第２のガントリー３００を含む。例えば、電池ウェハ６００は、シリコン、ゲルマニウム等の半導体材料の単結晶態、多結晶態或非晶質のウェハである。

電池ウェハ６００の正面のコーティングが完了した後で仕込みステージ又はベルトコンベアの設定位置に搬送される時、第１のガントリー２００は電池ウェハ６００をピックアップし反転させることができ、第２のガントリー３００は、第１のガントリー２００と接触して反転後の電池ウェハ６００をピックアップした後、反転後の電池ウェハ６００をキャリアプレート１００上に敷設でき、反転後の電池ウェハ６００を載せたキャリアプレート１００は自動搬送設備により仕込みステージに搬送することで、電池ウェハ６００裏面のコーティングを行うことができる。これにより、本願実施例が提供する電池ウェハ反転装置１０は、電池ウェハ６００の反転と敷設の自動化を実現しており、マニュアル反転又はマニュアル敷設を必要とすることによる生産効率への影響という従来技術における課題を解決しているとともに、電池ウェハ６００のキャリアプレート１００上の速やかな反転と敷設を実現しており、電池ウェハを電池ウェハのマガジンに収集した後で再び全体を反転させる必要がないため、反転工程を効果的に簡略化し、タクトタイムを向上させている。

図２と図３を同時に参照すると、第１のガントリー２００は第１の支持梁２１０、アクチュエーティングアーム２２０及び第１のピックアップ機構２８０を含み、第１の支持梁２１０は鉛直下方に向かって吊り下げられているオーバーハング部２７０を有し、アクチュエーティングアーム２２０は第１の支持梁２１０のオーバーハング部２７０に回転接続され、第１のピックアップ機構２８０はアクチュエーティングアーム２２０に回転接続されている。図６に示すように、第１のガントリー２００がピックアップしようとする電池ウェハ６００の上方に移る時、第１のピックアップ機構２８０により電池ウェハ６００に対してピックアップ操作を行うことができる。図７に示すように、電池ウェハ６００をピックアップした後、第２のガントリー３００のピックアップに便宜をはかるために、アクチュエーティングアーム２２０は第１の支持梁２１０のオーバーハング部２７０に垂直な位置まで回動するとともに、電池ウェハ６００を有する第１のピックアップ機構２８０はアクチュエーティングアーム２２０に垂直な位置まで回動し、これにより電池ウェハ６００への１８０°反転を実現している。

本実施例において、アクチュエーティングアーム２２０と第１のピックアップ機構２８０はサーボモータ２６０によって回動を制御することができる。具体的には、図２に示すように、サーボモータ２６０はアクチュエーティングアーム２２０と第１の支持梁２１０（のオーバーハング部２７０）の接続部及びアクチュエーティングアーム２２０と第１のピックアップ機構２８０の接続部にそれぞれ設置することができる。

具体的に言えば、図３を参照すると、第１のピックアップ機構２８０は第１の昇降装置２３０と第１の吸盤２４０を含み、第１の昇降装置２３０の一端はアクチュエーティングアーム２２０に回転接続され、第１の昇降装置２３０の他端は第１の吸盤２４０に接続されている。キャリアプレート１００上の電池ウェハ６００をピックアップする前、第１のガントリー２００は図３に示すような状態を保持し、この時、図６に示すように、第１の昇降装置２３０が第１の吸盤２４０の運動を付勢するように制御することで、第１の吸盤２４０が電池ウェハ６００を吸い上げるようにする。一実施例において、第１のガントリー２００上には真空ポンプとセンサも設置することができ、第１の吸盤２４０が電池ウェハ６００と接触したことをセンサが検出した場合、真空ポンプが起動して第１の吸盤２４０に電池ウェハ６００を吸い上げさせる。

勿論、第１のピックアップ機構は機械グリッパをさらに含んでもよく、グリッパの開閉を制御することで電池ウェハ６００を挟み、放すのを実現できるが、機械グリッパの締付力は制御し難しく、電池ウェハ６００を損傷しやすい。一方、吸盤は気圧を制御する原理を用いて電池ウェハ６００のピックアップを実現するため、電池ウェハ６００を損傷し難く、制御しやすい。

具体的に、第１の昇降装置２３０は第１の昇降気筒であってもよく、第１の昇降気筒の気筒本体はアクチュエーティングアーム２２０に回転接続され、第１の昇降気筒のピストンロッドは第１の吸盤２４０に接続されている。

さらに、図２に示すように、第１のガントリー２００は接続梁２５０をさらに含み、接続梁２５０は第１の昇降気筒のピストンロッドに固定接続され、第１の吸盤２４０の数は複数の組であってもよく、複数の組の第１の吸盤２４０は接続梁２５０上に均一に分布している。

なお、キャリアプレート１００には、電池ウェハ６００を敷設するための敷設領域を複数設置してもよく、図１の通り、本実施例において、敷設領域の数は３０個であり、分布は６行５列であり、これにより３０個の電池ウェハ６００を同時にコーティングすることができる。また、接続梁２５０はクロスメンバであってもよく、本実施例において、接続梁２５０には６個の第１の吸盤２４０が設置され、各々の第１の吸盤２４０は１つの敷設領域に対応し、これにより同一列上の電池ウェハ６００を同時に反転させることができ、生産効率を効果的に高めている。

電池ウェハの敷設領域は任意の数であってよく、電池ウェハの反転とローディング操作を阻害しなければよいということが理解されるはずである。例えば、敷設領域の数は４×５＝2０個、６×６＝３６個、５×８＝４０個、６×７＝４２個等である。

具体的に言えば、図１に示すように、反転機構２０は、第１のガントリー２００の両側に設置された第１のスライドレール４００をさらに含み、第１のガントリー２００は第１のスライドレール４００に摺動接続されている。例えば、２本の第１のスライドレール４００は第１のガントリー２００の両側に互いに平行かつ対称に設置することができる。

通常、キャリアプレート１００を第１のガントリー２００の直下に置き、この時、キャリアプレート１００における各列の敷設領域は第１のガントリー２００に平行であり、第１列の敷設領域上の電池ウェハ６００の反転が完了した後、第１のガントリー２００は第１のスライドレール４００に沿って次の列の敷設領域にスライドすることができ、これにより第１のガントリー２００の移動と制御が容易になる。

さらに、図４と図５を参照すると、第２のガントリー３００は第２の支持梁３１０、第２の昇降装置３６０及び第２のピックアップ機構３７０を含み、第２の昇降装置３６０は第２の支持梁３１０上に固定設置され、第２のピックアップ機構３７０は第２の昇降装置３６０に摺動接続されている。第１のガントリー２００が電池ウェハ６００を反転させた後、図８に示すように、第２の昇降装置３６０により、第２のピックアップ機構３７０が第１の吸盤２４０と接触して第１の吸盤２４０上の電池ウェハ６００をピックアップするように制御することができる。その後、第１のガントリー２００が反転前の状態に戻るように制御することで、電池ウェハ６００を有する第２のピックアップ機構３７０を阻止する運動を防止し、第１のガントリー２００が反転前の状態に戻った後、図９に示すように、第２の昇降装置３６０により第２のピックアップ機構３７０がキャリアプレート１００の所在方向へ運動するように制御することで、反転後の電池ウェハ６００をキャリアプレート１００上に敷設する。敷設完了後、第２のピックアップ機構３７０が電池ウェハ６００をピックアップする前の位置に戻すように制御し、第２のガントリー３００と第１のガントリー２００を次の列の反転させようとする電池ウェハ６００の位置に移動させるように制御することで、電池ウェハ６００に対する連続反転と敷設を実現している。

具体的には、図５に示すように、第２のピックアップ機構３７０は接続ブラケット３５０と第２の吸盤３４０を含み、接続ブラケット３５０の一端は第２の昇降装置３６０に接続されており、接続ブラケット３５０の他端は第２の吸盤３４０に接続されている。そのうち、接続ブラケット３５０と第２の吸盤３４０との間は回転接続することで、第２の吸盤３４０の角度を調整して、第２の吸盤３４０を第１の吸盤２４０と接触嵌合させてもよい。勿論、第２の吸盤３４０位置の安定性を保証するために、接続ブラケット３５０と第２の吸盤３４０の間は固定接続されてもよい。具体的な接続方式については第２の吸盤３４０と第１の吸盤２４０との接触嵌合要件を満たすことを基準とし、本実施例では限定しない。

一実施例において、第２のガントリー３００には真空ポンプとセンサが設置されてもよく、第２のガントリー３００と第１のガントリー２００が突き合わされたことをセンサが検出した（即ち、第２の吸盤３４０が第１の吸盤２４０に突き合わされた）場合、真空ポンプが起動して、第１の吸盤２４０に反転された電池ウェハ６００を第２の吸盤３４０に吸い上げさせる。

さらに、図５に示すように、第２の昇降装置はサーボモータ３２０、ストッパブラケット３３０及びスクリュー３８０を含み、サーボモータ３２０の出力軸はスクリュー３８０に固定接続され、ストッパブラケット３３０は第２の支持梁３１０に固定接続され、ストッパブラケット３３０には中空キャビティが設置されており、スクリュー３８０は中空キャビティの中に入り込み、ストッパブラケット３３０の側壁には、接続ブラケット３５０に摺動接続されているストッパ溝が設置されており、接続ブラケット３５０の一端には、スクリュー３８０に嵌合するネジ穴が設置されている。サーボモータ３２０が起動する時、その出力軸によりスクリュー３８０が回動するように連動させ、接続ブラケット３５０がスクリュー３８０ネジに接続されているため、接続ブラケット３５０を、スクリュー３８０の軸線方向に運動させることができ、そのうち、接続ブラケット３５０のネジ穴を設置する一端がストッパ溝のスライドと嵌合させることで、第２の吸盤３４０の過度な運動を防止できるとともに、第２の吸盤３４０の運動の正確性を保証できる。

勿論、第２の吸盤３４０の数と設置位置は第１の吸盤２４０に対応することができるため、第１の吸盤２４０と第２の吸盤３４０の接触嵌合により電池ウェハ６００の反転と敷設を実現できる。

図１に示すように、第２のガントリー３００の移動と制御に便宜を図るために、ローダ３０は第２のガントリー３００の両側に設置された第２のスライドレール５００をさらに含んでもよく、第２のガントリー３００は第２のスライドレール５００に摺動接続されているということが理解すされよう。例えば、２本の第２のスライドレール５００は第２のガントリー３００の両側に互いに平行かつ対称に設置されることができる。

一実施例において、干渉を低減し、突き合わせを保証するために、第２のスライドレール５００の延伸方向（第２のガントリー３００のスライド方向）は第１のスライドレール４００の延伸方向（第１のガントリー２００のスライド方向）に平行する。

なお、図１に示す第１のスライドレール４００は第２のスライドレール５００の内側に設置されているが、電池ウェハのピックアップ、反転及びローディングに影響しない状況において、第１のスライドレール４００は第２のスライドレール５００の外側に設置されることもできる。

本願は、摺動可能に設置され、電池ウェハ６００をピックアップし反転させるように構成される第１のガントリー２００を含む反転機構２０を提供するステップと、摺動可能に設置され、第１のガントリー２００により反転された電池ウェハ６００をピックアップしローディングするように構成される第２のガントリー３００を含むローダ３０を提供するステップとを含む、電池ウェハ反転方法をさらに提供する。

本願の電池ウェハ反転方法において、第１のガントリー２００は順に接続されている第１の支持梁２１０、アクチュエーティングアーム２２０及び第１のピックアップ機構２８０を含み、第１のピックアップ機構２８０を用いて電池ウェハ６００をピックアップした後、アクチュエーティングアーム２２０を第１の支持梁２１０に対して回転させ、第１のピックアップ機構２８０をアクチュエーティングアーム２２０に対して回転させることで、電池ウェハ６００を１８０度反転させる。

本願の電池ウェハ反転方法では、第１のガントリー２００を用いて電池ウェハ６００をピックアップし反転させた後、第２のガントリー３００を第１のガントリー２００と突き合わせて第１のガントリー２００により反転された電池ウェハ６００をピックアップする。

本願の電池ウェハ反転方法では、第１のガントリー２００により反転された電池ウェハ６００を第２のガントリー３００を用いてピックアップした後、ピックアップした電池ウェハ６００を第２のガントリー３００を用いてキャリアプレート１００上に敷設する。

本願の電池ウェハ反転方法では、ピックアップした電池ウェハ６００を第２のガントリー３００を用いてキャリアプレート１００上に敷設する前に、第１のガントリー２００を反転前の状態に戻す。

本願の電池ウェハ反転方法では、第２のガントリー３００のスライド方向を、第１のガントリー２００のスライド方向と平行にする。

本願の実施例が提供する電池ウェハ反転装置と電池ウェハ反転方法は、第１のガントリーと第２のガントリーの接触嵌合により、電池ウェハの反転と敷設の自動化を実現しており、マニュアル反転又はマニュアル敷設を必要とすることによる生産効率への影響という従来技術における課題を解決しているとともに、電池ウェハのキャリアプレート上の速やかな反転と敷設を実現しており、電池ウェハを電池ウェハのマガジンに収集した後で再び全体を反転させる必要がないため、反転工程を効率的に簡略化し、タクトタイムを向上させている。

以上では図面に示す実施例により本願の構造、特徴及び作用効果について詳細に説明したが、以上の記載は本願の好ましい実施例に過ぎず、本願は図面に示すものにより実施の範囲を限定しない。本願の思想に基づいてなされたいかなる変更又は補正も同等変化の等価実施例であり、明細書と図面に含まれている精神を逸脱しない場合、いずれも本願の請求範囲にある。

Claims

摺動可能に設置され、電池ウェハをピックアップし反転させるように構成される第１のガントリーを含む反転機構と、
摺動可能に設置され、前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハをピックアップしローディングするように構成される第２のガントリーを含むローダと、
を含む電池ウェハ反転装置。
前記第１のガントリーは第１の支持梁、アクチュエーティングアーム及び第１のピックアップ機構を含み、前記アクチュエーティングアームは前記第１の支持梁に回転接続され、前記第１のピックアップ機構は前記アクチュエーティングアームに回転接続されている
請求項１に記載の電池ウェハ反転装置。
前記アクチュエーティングアームと前記第１の支持梁との接続部及び前記アクチュエーティングアームと前記第１のピックアップ機構との接続部にはそれぞれサーボモータが設置されている
請求項２に記載の電池ウェハ反転装置。
前記第１のピックアップ機構は第１の昇降装置と第１の吸盤を含み、前記第１の昇降装置の一端は前記アクチュエーティングアームに回転接続され、前記第１の昇降装置の他端は前記第１の吸盤に接続されている
請求項２に記載の電池ウェハ反転装置。
前記第１の昇降装置は第１の昇降気筒であり、前記第１の昇降気筒の気筒本体は前記アクチュエーティングアームに回転接続され、前記第１の昇降気筒のピストンロッドは前記第１の吸盤に接続されている
請求項４に記載の電池ウェハ反転装置。
前記第１のガントリーは接続梁をさらに含み、前記接続梁は前記第１の昇降気筒のピストンロッドに固定接続されており、
前記第１の吸盤の数は複数の組があり、複数の組の前記第１の吸盤は前記接続梁上に均一に分布している
請求項５に記載の電池ウェハ反転装置。
前記第２のガントリーは第２の支持梁、第２の昇降装置及び第２のピックアップ機構を含み、前記第２の昇降装置は前記第２の支持梁上に固定接続され、前記第２のピックアップ機構は前記第２の昇降装置に摺動接続されている
請求項１に記載の電池ウェハ反転装置。
前記第２のピックアップ機構は接続ブラケットと第２の吸盤を含み、前記接続ブラケットの一端は前記第２の昇降装置に接続され、前記接続ブラケットの他端は前記第２の吸盤に接続されている
請求項７に記載の電池ウェハ反転装置。
前記第２の昇降装置はサーボモータ、スクリュー及びストッパブラケットを含み、前記サーボモータの出力軸は前記スクリューに固定接続されており、
前記ストッパブラケットは前記第２の支持梁に固定接続され、前記ストッパブラケットには中空キャビティが設置されており、前記スクリューは前記中空キャビティの中に入り込み、前記ストッパブラケットの側壁には、前記接続ブラケットに摺動接続されているストッパ溝が設置されており、
前記接続ブラケットの一端には前記スクリューに嵌合するネジ穴が設置されている
請求項８に記載の電池ウェハ反転装置。
摺動可能に設置され、電池ウェハをピックアップし反転させるように構成される第１のガントリーを含む反転機構を提供するステップと、
摺動可能に設置され、前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハをピックアップしローディングするように構成される第２のガントリーを含むローダを提供するステップと、
を含む電池ウェハ反転方法。
前記第１のガントリーは順に接続されている第１の支持梁、アクチュエーティングアーム及び第１のピックアップ機構を含み、前記第１のピックアップ機構を用いて前記電池ウェハをピックアップした後、前記アクチュエーティングアームを前記第１の支持梁に対して回転させ、前記第１のピックアップ機構を前記アクチュエーティングアームに対して回転させることで、前記電池ウェハを１８０度反転させる
請求項１０に記載の電池ウェハ反転方法。
前記第１のガントリーを用いて前記電池ウェハをピックアップし反転させた後、前記第２のガントリーを前記第１のガントリーと突き合わせて前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハをピックアップする
請求項１１に記載の電池ウェハ反転方法。
前記第１のガントリーにより反転された前記電池ウェハを前記第２のガントリーを用いてピックアップした後、ピックアップした前記電池ウェハを前記第２のガントリーを用いてキャリアプレート上に敷設する
請求項１２に記載の電池ウェハ反転方法。
ピックアップした前記電池ウェハを前記第２のガントリーを用いて前記キャリアプレート上に敷設する前に、前記第１のガントリーを反転前の状態に戻す
請求項１３に記載の電池ウェハ反転方法。
前記第２のガントリーのスライド方向は、前記第１のガントリーのスライド方向と平行する
請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の電池ウェハ反転方法。