JP2019110306A - カバーレイフィルム - Google Patents
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Abstract
Description
イ)前記ポリイミド絶縁層(A)の厚み(L1)が、12μm〜30μmの範囲内にあること;
ロ)前記ポリイミド接着剤層(B)の厚み(L2)が、10μm〜40μmの範囲内にあること;
ハ)前記カバーレイフィルムにおける誘電率をDk12とし、誘電正接をDf12とした場合に、下記式(1)を満足すること;
√Dk12×Df12<0.007 … …(1)
を具備することを特徴とする。
√Dk1×Df1<0.01 … …(2)
L2/(L1+L2)>0.40 … …(3)
Df12-20GHz/Df12-5GHz≦1 … …(4)
を満足するものであってもよい。
本実施の形態のカバーレイフィルムは、ポリイミド絶縁層(A)と、このポリイミド絶縁層(A)の一方の面に設けられたポリイミド接着剤層(B)とからなる。
√Dk12×Df12<0.007 … …(1)
を満足するものである。従来技術では、カバーレイフィルムの主に接着剤層の低誘電化について検討されているが、接着剤層の低誘電化だけではなく、カバーレイフィルム全体としての低誘電化が重要となる。そして、上記√Dk12×Df12は、カバーレイフィルムの誘電特性の指標となるものであり、ポリイミド絶縁層(A)についても低誘電化を行うことで、上記式(1)の充足が可能となる。なお、上記特性を満たせば、ポリイミド絶縁層(A)とポリイミド接着剤層(B)のいずれか一方の誘電率の平方根と誘電正接の積が、0.007より大きくてもよい。また、式(1)を満たすためには、ポリイミド絶縁層(A)の誘電特性が後述する式(2)を満たすことが好ましく、さらに、ポリイミド接着剤層(B)の厚み比率が、後述する式(3)を満たすことが好ましい。
すなわち、下記の式(3);
L2/(L1+L2)>0.40 … …(3)
を満たすことが好ましい。式(3)を満たすことで、ポリイミド絶縁層(A)と比較した際、ポリイミド接着剤層(B)が誘電率、誘電正接が優れていることを利用し、カバーレイフィルムとしての低誘電化を達成することが可能とし、式(1)についても達成可能とすることができる。
Df12-20GHz/Df12-5GHz≦1 … …(4)
を満足することが好ましい。カバーレイフィルムを、高周波域でも使用可能とするためには、狭域の周波数のみではなく、広域の周波数で安定的な誘電特性を示すことが重要である。そのため、カバーレイフィルムは、高周波域においても誘電正接の悪化を生じない材料によって設計することが重要となる。式(4)を達成するためには、高周波域においても安定的な誘電正接示すポリイミド接着剤層(B)を用い、尚且つ、高周波域において、誘電正接の悪化を生じやすいポリイミド絶縁層に対する厚み比率を一定以上担保する必要ことが重要である。またポリイミド接着剤層(B)は、高周波域において、誘電正接の悪化を生じにくくするために、分子骨格中の双極子の回転運動を抑制する材料設計、すなわち分子骨格中の双極子の低減が重要となる。
の弾性率がポリイミド接着剤層(B)の弾性率より低下すると、熱線膨張係数の大きいポリイミド接着剤層(B)の影響によりカバーレイフィルムの反りが大きくなり、また回路配線板に貼り合せを行った際においても反り発生の原因となる。
ポリイミド絶縁層(A)に用いる樹脂は、芳香族テトラカルボン酸無水物成分を含む酸無水物成分と、脂肪族ジアミン、芳香族ジアミン等を含むジアミン成分と、を反応させて得られるポリイミドである。ポリイミドは、一般に、酸無水物とジアミンとを反応させて製造されるので、酸無水物とジアミンを説明することにより、ポリイミドの具体例が理解される。以下、好ましいポリイミドを酸無水物とジアミンにより説明する。
ポリイミド絶縁層(A)に用いるポリイミドの原料の酸無水物成分として、無水ピロメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物が好ましく例示される。また、酸無水物として、2,2',3,3'-、2,3,3',4'-又は3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。
ポリイミド絶縁層(A)は、保護フィルムとして機能を発現し、尚且つ製造時および接着剤層塗工時の搬送性の観点から、12μm以上であることが好ましく、またカバーレイフィルムとして誘電特性の悪化を避けるためには、30μm以下の範囲にあることが好ましい。
√Dk1×Df1<0.01 … …(2)
を満たすことが好ましい。
ポリイミド接着剤層(B)に用いる樹脂は、芳香族テトラカルボン酸無水物成分を含む酸無水物成分と、脂肪族ジアミン成分と、を反応させて得られるポリイミドである。またジアミン成分として芳香族ジアミンを含んでもよい。ポリイミドは、一般に、酸無水物とジアミンとを反応させて製造されるので、酸無水物とジアミンを説明することにより、ポリイミドの具体例が理解される。以下、好ましいポリイミドを酸無水物とジアミンにより説明する。
ポリイミド接着剤層(B)に用いる樹脂は、原料のジアミン成分として、例えばダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基若しくはアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、2−メチル−1,5−ジアミノペンタン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、4,4’−メチレンビスシクロヘキシルアミン等のジアミノアルカン類、トリス(2−アミノエチル)アミン、N,N’−ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミン、ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、ジエチレントリアミン、N−メチル−2,2’−ジアミノジエチルアミン、3,3’−ジアミノジプロピルアミン、N,N−ビス(3−アミノプロピル)メチルアミン等の窒素原子を含有するアミン類、ビス(3−アミノプロピル)エーテル、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]−ウンデカン等の酸素原子を含有するアミン類、2,2’−チオビス(エチルアミン)等の硫黄原子を有するアミン類等の脂肪族ジアミン類を主成分とすることが望ましく、これらは単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、ポリイミド接着剤層(B)に用いる樹脂は、低誘電率および低誘電正接を有し、尚且つ可溶性である必要があるため、前記脂肪族ジアミンが全ジアミンに対して好ましくは60モル%以上、さらに好ましくは80モル%以上であることが好ましい。
ポリイミド接着剤層(B)に用いる樹脂は、原料のジアミン成分として、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、2’-メトキシ-4,4’-ジアミノベンズアニリド、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジヒドロキシ-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノベンズアニリド、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[1-(4-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[1-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4,4'-(4-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、ビス[4,4'-(3-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、9,9-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2−ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’-メチレンジ-o-トルイジン、4,4’-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4’-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、4,4’-ジアミノジフェニルプロパン、3,3’-ジアミノジフェニルプロパン、4,4’-ジアミノジフェニルエタン、3,3’-ジアミノジフェニルエタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、ベンジジン、3,3’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシベンジジン、4,4''-ジアミノ-p-テルフェニル、3,3''-ジアミノ-p-テルフェニル、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4'-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4'-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン等の芳香族ジアミンを含んでもよく、これらは単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、脂肪族ジアミンと組み合わせてもよい。また、ポリイミド接着剤層(B)に用いる樹脂は、低誘電率および低誘電正接を有し、尚且つ可溶性である必要があるためには、全ジアミンに対する芳香族ジアミン比率を低減する必要がある。このため、全ジアミンに対して芳香族ジアミンは、全ジアミンに対して好ましくは40モル%未満、さらに好ましくは20モル%未満であることが好ましい。芳香族ジアミンの比率が増加するとポリイミド溶液時における溶剤への溶解性が低下する。更に芳香族骨格はπ電子を有するため、誘電率の増加につながる。
ベクトルネットワークアナライザ(Agilent社製、商品名E8363C)ならびにSPDR共振器を用いて、所定の周波数における樹脂シートの誘電率および誘電正接を測定した。なお、測定に使用した材料は、温度;24〜26℃、湿度;45〜55%の条件下で、24時間放置したものである。
(A)ポリイミド原料
BTDA:3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
BPDA:3,3’,4,4’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
m‐TB:2,2’‐ジメチル‐4,4’‐ジアミノビフェニル
DDA:炭素数36の脂肪族ジアミン(クローダジャパン株式会社製、商品名;PRIA
MINE1074、アミン価;210mgKOH/g、環状構造及び鎖状構造のダイマー
ジアミンの混合物、ダイマー成分の含有量;95重量%以上)
N−12:ドデカン二酸ジヒドラジド
絶縁基材(1):材質;液晶ポリマー、厚さ;25μm
絶縁基材(2):材質;ポリイミド、厚さ;25μm
離型基材(1):材質;PET、表面処理;シリコーン処理、厚さ38μm
銅箔(1):電解銅箔、厚さ;12.5μm、ポリイミド絶縁層塗工側の表面粗度Rz;1.5μm
実施例及び比較例に用いたポリイミド絶縁層の形成にあたり、使用したポリアミド酸の合成は、以下の合成例1によるものである。
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、3.86gのDDA(0.0072モル)、18.94gのm‐TB(0.089モル)及び255gのDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、5.60gのBPDA(0.019モル)及び16.60gのPMDA(0.076モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液aを得た。ポリアミド酸溶液aにおける固形分濃度は15重量%であり、溶液粘度は31000cpsであった。
実施例および比較例に用いたポリイミド接着剤層の形成にあたり、使用したポリイミドの合成は、以下の合成例2および3によるものである。
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、44.98gのBTDA(0.139モル)、75.02gのDDA(0.140モル)、168gのN−メチル−2−ピロリドン及び112gのキシレンを装入し、40℃で30分間良く混合して、ポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸溶液を190℃に昇温し、4.5時間加熱、攪拌し、112gのキシレンを加えてイミド化を完結したポリイミド溶液bを得た。得られたポリイミド溶液bにおける固形分は29.1重量%であり、粘度は7800cpsであった。またポリイミド溶液bの重量平均分子量(Mw)は87,700であった。
合成例2で得られたポリイミド溶液bの34.4g(固形分として10g)と1.25gのN−12および2.5gのExolit OP935(クラリアントジャパン株式会社製)を配合し、1.297gのN−メチル−2−ピロリドンと3.869gのキシレンを加えて希釈してポリイミド接着剤溶液cを得た。得られたポリイミド接着剤溶液cにおける固形分濃度は32.5重量%であり、粘度は3100cpsであった。
実施例及び比較例に用いたポリイミド絶縁層フィルムの作製は、以下の作製例1および2によるものである。
合成例1で得られたポリアミド酸溶液aを銅箔(1)の片面(表面粗さRz;1.5μm)に、硬化後の厚みが12.5μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、120℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結した。得られた金属張積層体について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、ポリイミド絶縁層フィルム1を得た。
硬化後の厚みが25μmであること以外、作製例1と同様にして、ポリイミド絶縁層フィルム2を得た。
実施例及び比較例に記載の誘電率および誘電正接の測定に用いたポリイミド接着剤層フィルムの作製は、以下の作製例3によるものである。
合成例3で得られたポリイミド接着剤溶液cを乾燥後の厚みが25μmとなるように離型基材(1)(縦×横×厚さ=320mm×240mm×25μm)のシリコーン処理面に塗布した後、80℃で15分間加熱乾燥した。更に、180℃で2時間熱処理を行い、完全に溶剤の除去を行った後、離型基材(1)から剥離し、ポリイミド接着剤層フィルム1を得た。
合成例3で得られたポリイミド接着剤溶液cを乾燥後の厚みが15μmとなるように、ポリイミド絶縁層フィルム1(縦×横×厚さ=320mm×240mm×25μm)の銅箔除去面に塗布した後、80℃で15分間加熱乾燥した。更に、180℃で2時間熱処理を行い、完全に溶剤の除去をし、カバーレイフィルム1を得た。
ポリイミド絶縁層フィルムとポリイミド接着剤層フィルムの厚みが表1及び表2に示す組み合わせであること以外は、実施例1と同様にカバーレイフィルム2〜5を作製した。
ポリイミド絶縁層フィルムとして絶縁基材(1)を用いた以外は、実施例1と同様にカバーレイフィルムを作製し、カバーレイフィルム6を得た。
ポリイミド絶縁層フィルムをとして絶縁基材(2)を用いた以外は、実施例1と同様にカバーレイフィルムを作製し、カバーレイフィルム7を得た。
Claims (2)
- ポリイミド絶縁層(A)と、前記ポリイミド絶縁層(A)の一方の面に設けられたポリイミド接着剤層(B)と、を含むカバーレイフィルムであって、
前記ポリイミド接着剤層(B)が、酸無水物成分およびジアミン成分を反応させて得られるポリイミドからなり、
前記ジアミン成分が、全ジアミン成分に対して、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基若しくはアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミンを60モル%以上含有するものであり、
以下のイ〜ハの構成:
イ)前記ポリイミド絶縁層(A)の厚み(L1)が、12μm〜30μmの範囲内にあること;
ロ)前記ポリイミド接着剤層(B)の厚み(L2)が、10μm〜40μmの範囲内にあること;
ハ)前記カバーレイフィルムにおける5GHz、10GHz及び20GHzのいずれかの周波数での誘電率をDk12とし、誘電正接をDf12とした場合に、下記の式(1)を満足すること;
√Dk12×Df12<0.007 … …(1)
を具備することを特徴とするカバーレイフィルム。 - 前記ポリイミド絶縁層(A)における5GHz、10GHz及び20GHzのいずれかの周波数での誘電率をDk1とし、誘電正接をDf1とし、前記カバーレイフィルムにおける5GHzでの誘電正接をDf12-5GHzとし、20GHzでの誘電正接をDf12-20GHzとした場合に、下記の式(2)、式(3)及び式(4);
√Dk1×Df1<0.01 … …(2)
L2/(L1+L2)>0.40 … …(3)
Df12-20GHz/Df12-5GHz≦1 … …(4)
を満足する請求項1に記載のカバーレイフィルム。
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