JP2019174751A - Photosensitive resin composition - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の目的は、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得ることができる感光性樹脂組成物を提供することにある。【解決手段】(A)カルボキシル基含有感光性樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)反応性希釈剤と、(D)エポキシ化合物と、(E)非反応性希釈剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、前記(E)非反応性希釈剤が、25℃において液相である有機化合物を複数種含み、前記(E)非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の前記有機化合物を10質量%以上60質量%以下含む感光性樹脂組成物。【選択図】なしAn object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of obtaining a cured product excellent in blind via hole filling property, film thickness uniformity, and covering property. (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, (E) a non-reactive diluent, Wherein the (E) non-reactive diluent contains a plurality of organic compounds which are in a liquid phase at 25 ° C., and the (E) non-reactive diluent contains 25 ° C. A photosensitive resin composition comprising 10% by mass or more and 60% by mass or less of the organic compound having a surface tension of less than 30.0 mM / m. [Selection diagram] None
Description
本発明は、被覆材料、例えば、リジッド基板やフレキシブル基板に形成された導体回路パターンを有するプリント配線板に保護膜を形成するための被覆材料に用いる感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition used as a coating material for forming a protective film on a coating material, for example, a printed wiring board having a conductor circuit pattern formed on a rigid substrate or a flexible substrate.
プリント配線板上には導体(例えば、銅箔)の回路パターンが形成され、該回路パターンのはんだ付けランドに電子部品をはんだ付けにより搭載し、そのはんだ付けランドを除く回路部分は保護膜としての絶縁被膜で被覆される。この絶縁被覆には、塗膜均一性が求められ、絶縁被覆の原料である硬化性樹脂組成物の粘度を調整するために、硬化性樹脂組成物に非反応性希釈剤が配合されることがある。 A circuit pattern of a conductor (for example, copper foil) is formed on the printed wiring board, and an electronic component is mounted on the soldering land of the circuit pattern by soldering. The circuit portion excluding the soldering land is used as a protective film. It is covered with an insulating coating. The insulation coating is required to have a uniform coating film, and a non-reactive diluent may be added to the curable resin composition in order to adjust the viscosity of the curable resin composition that is the raw material of the insulation coating. is there.
そこで、例えば、非反応性希釈剤が配合される硬化性樹脂組成物として、例えば、(メタ)アクリルアミド系ウレタンオリゴマー(A)0.5〜30.0質量%、N−置換(メタ)アクリルアミド(B)10.0〜69.0質量%及び非反応性希釈剤(C)1.0〜80.0質量%を含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が提案されている(特許文献1)。 Therefore, for example, as a curable resin composition in which a non-reactive diluent is blended, for example, (meth) acrylamide urethane oligomer (A) 0.5 to 30.0 mass%, N-substituted (meth) acrylamide ( B) An active energy ray-curable resin composition containing 10.0 to 69.0% by mass and non-reactive diluent (C) 1.0 to 80.0% by mass has been proposed (Patent Document 1). .
一方で、プリント配線板には、未貫通の導通穴であるブラインドビアホールが形成されている場合がある。プリント配線板にブラインドビアホールが形成されていても、絶縁被膜が、ブラインドビアホールを確実に埋めていること、塗膜の濡れ広がり性に優れ、膜厚均一性を有し、はんだ付けランドを除く回路部分を十分に被覆していることが要求される。 On the other hand, the printed wiring board may have blind via holes that are non-through holes. Even if blind via holes are formed on the printed wiring board, the insulating coating reliably fills the blind via holes, has excellent wettability of the coating, has a uniform film thickness, and excludes soldering lands. It is required that the part is sufficiently covered.
しかし、特許文献1等、従来の感光性樹脂組成物では、ブラインドビアホール埋まり性が十分得られず、また、塗膜の濡れ広がり性が十分ではなく、塗膜の膜厚均一性及びはんだ付けランドを除く回路部分を十分に被覆すること(カバーリング性)に改善の余地があった。 However, in the conventional photosensitive resin composition such as Patent Document 1, the blind via hole filling property is not sufficiently obtained, the wettability of the coating film is not sufficient, and the coating film thickness uniformity and the soldering land There was room for improvement in sufficiently covering the circuit part except for (covering property).
上記事情に鑑み、本発明の目的は、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得ることができる感光性樹脂組成物を提供することにある。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of obtaining a cured product excellent in blind via hole filling property, film thickness uniformity, and covering property.
本発明の態様は、(A)カルボキシル基含有感光性樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)反応性希釈剤と、(D)エポキシ化合物と、(E)非反応性希釈剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、前記(E)非反応性希釈剤が、25℃において液相である有機化合物を複数種含み、前記(E)非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の前記有機化合物を10質量%以上60質量%以下含む感光性樹脂組成物である。 Aspects of the present invention include (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, and (E) a non-reactive diluent. And (E) the non-reactive diluent includes a plurality of organic compounds that are in a liquid phase at 25 ° C., and the (E) non-reactive diluent includes: A photosensitive resin composition comprising 10% by mass or more and 60% by mass or less of the organic compound having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m.
本発明の態様は、前記(E)非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が28.0mM/m未満の前記有機化合物を10質量%以上60質量%以下含む感光性樹脂組成物である。 An aspect of the present invention is a photosensitive resin composition comprising 10% by mass or more and 60% by mass or less of the organic compound having a surface tension at 25 ° C. of less than 28.0 mM / m in the non-reactive diluent (E). is there.
本発明の態様は、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の前記有機化合物が、ジエチレングリコールジエチルエーテル及び/またはジプロピレングリコールモノメチルエーテルを含む感光性樹脂組成物である。 The aspect of this invention is the photosensitive resin composition in which the said organic compound whose surface tension in 25 degreeC is less than 30.0 mM / m contains diethylene glycol diethyl ether and / or dipropylene glycol monomethyl ether.
本発明の態様は、前記(E)非反応性希釈剤を20質量%以上30質量%以下含む感光性樹脂組成物である。 The aspect of this invention is the photosensitive resin composition which contains the said (E) non-reactive diluent 20-30 mass%.
本発明の態様は、前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対し、前記(E)非反応性希釈剤を80質量部以上120質量部以下含む感光性樹脂組成物である。 An aspect of the present invention is a photosensitive resin composition containing 80 parts by mass or more and 120 parts by mass or less of the (E) non-reactive diluent with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing photosensitive resin.
本発明の態様によれば、(E)非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の有機化合物を10質量%以上60質量%以下含むことにより、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得ることができる感光性樹脂組成物とすることができる。 According to the aspect of the present invention, (E) the non-reactive diluent contains 10% by mass to 60% by mass of an organic compound having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m, thereby filling the blind via hole. It can be set as the photosensitive resin composition which can obtain the hardened | cured material excellent in property, film thickness uniformity, and covering property.
本発明の態様によれば、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の前記有機化合物が、ジエチレングリコールジエチルエーテル及び/またはジプロピレングリコールモノメチルエーテルを含むことにより、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性にさらに優れた、感光性樹脂組成物の硬化物を得ることができる。 According to the aspect of the present invention, when the organic compound having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m contains diethylene glycol diethyl ether and / or dipropylene glycol monomethyl ether, blind via hole filling property and uniform film thickness are achieved. The cured product of the photosensitive resin composition that is further excellent in the properties and covering properties can be obtained.
次に、本発明の感光性樹脂組成物について詳細に説明する。本発明の感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有感光性樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)反応性希釈剤と、(D)エポキシ化合物と、(E)非反応性希釈剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、前記(E)非反応性希釈剤が、25℃において液相である有機化合物を複数種含み、前記(E)非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の前記有機化合物を10質量%以上60質量%以下含む。 Next, the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail. The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, and (E) non-photosensitive material. And (E) non-reactive diluent, wherein the (E) non-reactive diluent includes a plurality of organic compounds that are in a liquid phase at 25 ° C. 10 mass% or more and 60 mass% or less of the said organic compound whose surface tension in 25 degreeC is less than 30.0 mM / m is contained in an agent.
(A)カルボキシル基含有感光性樹脂
カルボキシル基含有感光性樹脂は、遊離のカルボキシル基を有する感光性の樹脂であれば、その化学構造は、特に限定されず、例えば、感光性の不飽和二重結合を1個以上有する樹脂が挙げられる。カルボキシル基含有感光性樹脂として、例えば、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部に、アクリル酸やメタクリル酸(以下、「(メタ)アクリル酸」ということがある。)等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させて、エポキシ(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸又は多塩基酸無水物を反応させて得られる、多塩基酸変性エポキシ(メタ)アクリレート等の多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を挙げることができる。
(A) Carboxyl group-containing photosensitive resin The chemical structure of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited as long as it is a photosensitive resin having a free carboxyl group. A resin having one or more bonds is exemplified. As a carboxyl group-containing photosensitive resin, for example, at least part of the epoxy group of a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule, acrylic acid or methacrylic acid (hereinafter referred to as “(meth) acrylic acid”) A radical polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as epoxy (meth) acrylate to obtain a radical polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin, and a polybasic acid or Mention may be made of polybasic acid-modified radical-polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resins such as polybasic acid-modified epoxy (meth) acrylates obtained by reacting basic acid anhydrides.
多官能性エポキシ樹脂は、2官能以上のエポキシ樹脂であれば、その化学構造は、特に限定されない。多官能性エポキシ樹脂のエポキシ当量は、特に限定されないが、その上限値は、3000g/eqが好ましく、1000g/eqがより好ましく、500g/eqが特に好ましい。一方で、多官能性エポキシ樹脂のエポキシ当量の下限値は、100g/eqが好ましく、200g/eqが特に好ましい。 As long as the polyfunctional epoxy resin is a bifunctional or higher functional epoxy resin, its chemical structure is not particularly limited. The epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited, but the upper limit is preferably 3000 g / eq, more preferably 1000 g / eq, and particularly preferably 500 g / eq. On the other hand, the lower limit of the epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy resin is preferably 100 g / eq, particularly preferably 200 g / eq.
多官能性エポキシ樹脂には、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、単独で使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。 Examples of multifunctional epoxy resins include biphenyl aralkyl type epoxy resins, phenyl aralkyl type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins. , Phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, cycloaliphatic polyfunctional epoxy resin, glycidyl ester type polyfunctional epoxy resin, glycidylamine type polyfunctional epoxy resin, heterocyclic polyfunctional epoxy resin Examples thereof include a resin, a bisphenol-modified novolac epoxy resin, and a polyfunctional modified novolac epoxy resin. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.
ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸などを挙げることができる。これらのラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、単独で使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。 The radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited, and examples thereof include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and the like. These radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.
エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応方法は、特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とを適当な有機溶剤中で加熱処理することにより、反応させることができる。 The reaction method of the epoxy resin and the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited. For example, the reaction can be performed by heat-treating the epoxy resin and the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid in an appropriate organic solvent. Can be made.
多塩基酸又は多塩基酸無水物は、前記エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応により生成した水酸基に反応させることで、感光性樹脂に遊離のカルボキシル基を導入するためのものである。感光性樹脂に遊離のカルボキシル基が導入されることで、感光性樹脂にアルカリ現像性が付与される。多塩基酸又は多塩基酸無水物は、特に限定されず、多塩基酸には、例えば、コハク酸、マレイン酸、アジピン酸、クエン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸及びジグリコール酸等が挙げられ、多塩基酸無水物としてはこれらの無水物が挙げられる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と多塩基酸又は多塩基酸無水物との反応方法は、特に限定されず、例えば、ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と多塩基酸又は多塩基酸無水物とを適当な有機溶剤中で加熱処理することにより、反応させることができる。 The polybasic acid or polybasic acid anhydride is for introducing a free carboxyl group into the photosensitive resin by reacting with the hydroxyl group generated by the reaction of the epoxy resin and the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid. It is. By introducing a free carboxyl group into the photosensitive resin, alkali developability is imparted to the photosensitive resin. The polybasic acid or polybasic acid anhydride is not particularly limited, and examples of the polybasic acid include succinic acid, maleic acid, adipic acid, citric acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, methylhexahydrophthalic acid, endomethylenetetrahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, diglycolic acid, etc. Examples of acid anhydrides include these anhydridesThese compounds may be used alone or in combination of two or more. The reaction method of the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin and the polybasic acid or polybasic acid anhydride is not particularly limited. For example, the radical polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin and the polybasic acid or polybasic The acid anhydride can be reacted by heat treatment in a suitable organic solvent.
本発明においては、上記した多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂もカルボキシル基含有感光性樹脂として使用できるが、必要に応じて、上記多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂のカルボキシル基に、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有するグリシジル化合物を付加反応させることにより、カルボキシル基含有感光性樹脂にラジカル重合性不飽和基を更に導入し、感光性をより向上させたカルボキシル基含有感光性樹脂としてもよい。 In the present invention, the above-mentioned polybasic acid-modified radical polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin can also be used as a carboxyl group-containing photosensitive resin, but if necessary, the polybasic acid-modified radical polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is used. A radically polymerizable unsaturated group is further introduced into the carboxyl group-containing photosensitive resin by addition reaction of a glycidyl compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group to the carboxyl group of the oxidized epoxy resin. Alternatively, a carboxyl group-containing photosensitive resin with improved photosensitivity may be used.
この感光性をより向上させたカルボキシル基含有感光性樹脂は、前記グリシジル化合物の反応によって、ラジカル重合性不飽和基が、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂骨格の側鎖に結合するため、光重合反応性が高く、より優れた感光特性を発揮することができる。1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物としては、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールトリアクリレートモノグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールトリメタアクリレートモノグリシジルエーテル等が挙げられる。上記した1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 In this carboxyl group-containing photosensitive resin with improved photosensitivity, the radical polymerizable unsaturated group is added to the side chain of the polybasic acid-modified radical polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin skeleton by the reaction of the glycidyl compound. Since they are bonded, the photopolymerization reactivity is high, and more excellent photosensitive characteristics can be exhibited. Examples of the compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, pentaerythritol triacrylate monoglycidyl ether, pentaerythritol trimethacrylate monoglycidyl ether, and the like. Can be mentioned. The above-mentioned compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group may be used alone or in combination of two or more.
カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価は、特に限定されないが、その下限値は、確実なアルカリ現像性を得る点から30mgKOH/gが好ましく、40mgKOH/gが特に好ましい。一方で、カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価の上限値は、アルカリ現像液による露光部の溶解防止の点から200mgKOH/gが好ましく、カルボキシル基含有感光性樹脂の硬化物の耐湿性と絶縁性の低下防止の点から150mgKOH/gが特に好ましい。 The acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, but the lower limit is preferably 30 mgKOH / g, particularly preferably 40 mgKOH / g, from the viewpoint of obtaining reliable alkali developability. On the other hand, the upper limit of the acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is preferably 200 mgKOH / g from the viewpoint of preventing dissolution of the exposed portion with an alkaline developer, and the moisture resistance and insulation of the cured product of the carboxyl group-containing photosensitive resin. 150 mgKOH / g is particularly preferable from the viewpoint of preventing the decrease in the temperature.
カルボキシル基含有感光性樹脂の質量平均分子量は、特に限定されないが、その下限値は、硬化物の強靭性、機械的強度及び指触乾燥性の点から6000が好ましく、7000が特に好ましい。一方、カルボキシル基含有感光性樹脂の質量平均分子量の上限値は、アルカリ現像性を確実に得る点から200000が好ましく、100000がより好ましく、50000が特に好ましい。 The mass average molecular weight of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, but the lower limit is preferably 6000, particularly preferably 7000, from the viewpoint of toughness, mechanical strength, and dryness to touch of the cured product. On the other hand, the upper limit value of the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing photosensitive resin is preferably 200000, more preferably 100000, and particularly preferably 50000 from the viewpoint of reliably obtaining alkali developability.
カルボキシル基含有感光性樹脂は、上記各原材料を用いて上記反応工程にて合成してもよく、上市されているカルボキシル基含有感光性樹脂を使用してもよい。上市されているカルボキシル基含有感光性樹脂としては、例えば、「SP−4621」(昭和電工(株))、「ZAR−2000」、「ZFR−1122」、「FLX−2089」、「ZCR−1569H」(以上、日本化薬(株))、「サイクロマーP(ACA)Z−250」(ダイセル・オルネクス(株))等を挙げることができる。これらの樹脂は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The carboxyl group-containing photosensitive resin may be synthesized in the reaction step using the above raw materials, or a commercially available carboxyl group-containing photosensitive resin may be used. Examples of commercially available carboxyl group-containing photosensitive resins include “SP-4621” (Showa Denko KK), “ZAR-2000”, “ZFR-1122”, “FLX-2089”, “ZCR-1569H”. (Nippon Kayaku Co., Ltd.), “Cyclomer P (ACA) Z-250” (Daicel Ornex Co., Ltd.), and the like. These resins may be used alone or in combination of two or more.
(B)光重合開始剤
光重合開始剤は、特に限定されず、公知のものを使用することができる。光重合開始剤としては、例えば、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン‐n‐ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2‐ジメトキシ‐2‐フェニルアセトフェノン、2,2‐ジエトキシ‐2‐フェニルアセトフェノン、2−メチル−4’−(メチルチオ)−2−モルフォリノプロピオフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐1‐フェニルプロパン‐1‐オン、1‐ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4‐(2‐ヒドロキシエトキシ)フェニル‐2‐(ヒドロキシ‐2‐プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p‐フェニルベンゾフェノン、4,4′‐ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ジクロルベンゾフェノン、2‐メチルアントラキノン、2‐エチルアントラキノン、2‐ターシャリーブチルアントラキノン、2‐アミノアントラキノン、2‐メチルチオキサントン、2‐エチルチオキサントン、2‐クロルチオキサントン、2,4‐ジメチルチオキサントン、2,4‐ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、P‐ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル等が挙げられる。また、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、エタノン1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(0−アセチルオキシム)等のオキシムエステル系光重合開始剤を使用してもよい。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
(B) Photoinitiator A photoinitiator is not specifically limited, A well-known thing can be used. Examples of the photopolymerization initiator include bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, Benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-methyl-4 '-(methylthio) -2 -Morpholinopropiophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholine Propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-2- (hydroxy-2-propyl) ketone Benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tertiarybutylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethyl ketal, acetophenone dimethyl ketal, P-dimethylaminobenzoic acid ethyl And luster. 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3 An oxime ester photopolymerization initiator such as -yl] -1- (0-acetyloxime) may be used. These may be used alone or in combination of two or more.
光重合開始剤の含有量は、特に限定されず、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部(固形分、以下同じ。)に対して、5質量部〜50質量部が好ましく、10質量部〜30質量部が特に好ましい。 Content of a photoinitiator is not specifically limited, 5 mass parts-50 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts (solid content, hereafter the same) of carboxyl group-containing photosensitive resin, and 10 mass parts-30. Part by mass is particularly preferred.
(C)反応性希釈剤
反応性希釈剤とは、例えば、光重合性モノマーであり、1分子当たり少なくとも1つ、好ましくは1分子当たり少なくとも2つの重合性二重結合を有する化合物である。反応性希釈剤は、感光性樹脂組成物の光硬化を十分にして、耐酸性、耐熱性、耐アルカリ性などを有する硬化物を得るために使用する。少なくとも光重合性を有さない非反応性希釈剤とは、光重合性の有無の点で相違する。
(C) Reactive Diluent The reactive diluent is, for example, a photopolymerizable monomer and is a compound having at least one polymerizable double bond per molecule, preferably at least two polymerizable double bonds per molecule. The reactive diluent is used for obtaining a cured product having sufficient acid resistance, heat resistance, alkali resistance, etc., by sufficiently photo-curing the photosensitive resin composition. It differs from a non-reactive diluent that does not have photopolymerizability at least in terms of the presence or absence of photopolymerizability.
反応性希釈剤は、上記化合物であれば特に限定されず、例えば、モノ(メタ)アクリレートモノマー類、2官能以上の多官能(メタ)アクリレートモノマー類等を挙げることができる。具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングルコールモノ(メタ)アクリレート、2‐ヒドロキシ‐3‐フェノキシプロピル(メタ)アクリルレート、1,4‐ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6‐ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート類等が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 A reactive diluent will not be specifically limited if it is the said compound, For example, mono (meth) acrylate monomers, bifunctional or more polyfunctional (meth) acrylate monomers, etc. can be mentioned. Specifically, for example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, diethylene glycol mono (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, 1,4 -Butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol adipate di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid Neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, allylated cyclohexyl di (meth) acrylate, isocyanurate di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (Meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate , Tris (acryloxyethyl) isocyanurate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, urethane (meth) acrylates and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
反応性希釈剤の含有量は、特に限定されず、例えば、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、5質量部〜100質量部が好ましく、10質量部〜50質量部が特に好ましい。 Content of a reactive diluent is not specifically limited, For example, 5 mass parts-100 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing photosensitive resin, and 10 mass parts-50 mass parts are especially preferable.
(D)エポキシ化合物
エポキシ化合物は、硬化塗膜の架橋密度を上げて十分な強度の硬化塗膜を得るためのものである。エポキシ化合物としては、例えば、エポキシ樹脂を挙げることができる。エポキシ樹脂としては、例えば、上記したカルボキシル基含有感光性樹脂の調製に使用するエポキシ樹脂を挙げることができ、具体的には、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、単独で使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。
(D) Epoxy Compound The epoxy compound is for obtaining a cured coating film having sufficient strength by increasing the crosslinking density of the cured coating film. As an epoxy compound, an epoxy resin can be mentioned, for example. Examples of the epoxy resin include an epoxy resin used for the preparation of the above-described carboxyl group-containing photosensitive resin. Specifically, a biphenyl aralkyl type epoxy resin, a phenyl aralkyl type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, Naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, cyclic aliphatic polyfunctional epoxy resin Glycidyl ester type polyfunctional epoxy resin, glycidyl amine type polyfunctional epoxy resin, heterocyclic polyfunctional epoxy resin, bisphenol-modified novolac type epoxy resin, polyfunctional modified novolak type Carboxymethyl resins and the like. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.
エポキシ化合物の含有量は、特に限定されないが、硬化後に十分な強度の塗膜を得つつ感光性の低下を防止する点から、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、10〜70質量部が好ましく、20〜60質量部が特に好ましい。 Although content of an epoxy compound is not specifically limited, 10-70 mass with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing photosensitive resin from the point which prevents a photosensitive fall, obtaining the coating film of sufficient intensity | strength after hardening. Part is preferable, and 20 to 60 parts by mass is particularly preferable.
(E)非反応性希釈剤
非反応性希釈剤は、25℃において液相である非反応性希釈剤を複数種含む混合物であり、非反応性希釈剤中には、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の非反応性希釈剤が10質量%以上60質量%以下含まれている。非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の反応性希釈剤が10質量%以上60質量%以下含まれることにより、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得ることができる感光性樹脂組成物とすることができる。
(E) Non-reactive diluent A non-reactive diluent is a mixture containing a plurality of non-reactive diluents that are in a liquid phase at 25 ° C, and the non-reactive diluent has a surface tension at 25 ° C. A non-reactive diluent of less than 30.0 mM / m is contained in an amount of 10% by mass to 60% by mass. The non-reactive diluent contains 10% by mass or more and 60% by mass or less of a reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m, so that blind via hole filling property, film thickness uniformity, cover It can be set as the photosensitive resin composition which can obtain the hardened | cured material excellent in ring property.
非反応性希釈剤中に10質量%以上60質量%以下含まれている非反応性希釈剤の25℃における表面張力は30.0mM/m未満であれば、特に限定されないが、25℃における表面張力は29.0mM/m未満が好ましく、25℃における表面張力は28.0mM/m未満が特に好ましい。25℃における表面張力が30.0mM/m未満の非反応性希釈剤について、該表面張力の下限値は、特に限定されないが、塗工性の点から10.0mM/mが好ましい。非反応性希釈剤としては、例えば、有機溶剤等の有機化合物を挙げることができる。 The surface tension at 25 ° C. is not particularly limited as long as the surface tension at 25 ° C. of the non-reactive diluent contained in the non-reactive diluent is 10% by mass or more and 60% by mass or less is less than 30.0 mM / m. The tension is preferably less than 29.0 mM / m, and the surface tension at 25 ° C. is particularly preferably less than 28.0 mM / m. For the non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m, the lower limit of the surface tension is not particularly limited, but is preferably 10.0 mM / m from the viewpoint of coatability. Examples of non-reactive diluents include organic compounds such as organic solvents.
25℃における表面張力が30.0mM/m未満の有機溶剤としては、例えば、下記式(1)
R1−O−R2−O−R3−O−R4 (1)
(式中:R1、R2、R3、R4、は、それぞれ、独立して、炭素数1〜3のアルキル基を意味する。)で表され、且つ上記表面張力が30.0mM/m未満の有機化合物、下記式(2)
HO−R5−O−R6−O−R7 (2)
(式中:R5、R6、R7は、それぞれ、独立して、炭素数1〜3のアルキル基を意味する。)で表され、且つ上記表面張力が30.0mM/m未満の有機化合物が好ましい。これらのうち、式(1)で表される有機化合物としては、ジエチレングリコールジエチルエーテル(25℃における表面張力25mM/m)が特に好ましく、式(2)で表される有機化合物としては、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(25℃における表面張力27.9mM/m)が特に好ましい。
Examples of the organic solvent having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m include the following formula (1):
R 1 —O—R 2 —O—R 3 —O—R 4 (1)
(Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 each independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms), and the surface tension is 30.0 mM / Organic compounds less than m, the following formula (2)
HO—R 5 —O—R 6 —O—R 7 (2)
(Wherein R 5 , R 6 and R 7 each independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms), and the surface tension is less than 30.0 mM / m. Compounds are preferred. Of these, diethylene glycol diethyl ether (surface tension 25 mM / m at 25 ° C.) is particularly preferred as the organic compound represented by the formula (1), and dipropylene glycol is preferred as the organic compound represented by the formula (2). Monomethyl ether (surface tension 27.9 mM / m at 25 ° C.) is particularly preferred.
上記の通り、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の有機化合物は、全非反応性希釈剤中(非反応性希釈剤の総計100質量%中)に10質量%以上60質量%以下含まれている。25℃における表面張力が30.0mM/m未満の有機化合物が全非反応性希釈剤中に10質量%未満では、ブラインドビアホール埋まり性が得られず、60質量%超ではカバーリング性が得られない。25℃における表面張力が30.0mM/m未満の有機化合物の配合割合は、全非反応性希釈剤中に10質量%以上60質量%以下であれば、特に限定されないが、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性をよりバランスよく向上させる点から、全非反応性希釈剤中に15質量%以上55質量%以下が好ましく、全非反応性希釈剤中に20質量%以上50質量%以下が特に好ましい。 As described above, the organic compound having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m is 10% by mass or more and 60% by mass or less in the total non-reactive diluent (in the total of 100% by mass of the non-reactive diluent). include. When the organic compound having a surface tension at 25 ° C. of less than 30.0 mM / m is less than 10% by mass in the total non-reactive diluent, the blind via hole filling property cannot be obtained, and when it exceeds 60% by mass, the covering property is obtained. Absent. The blending ratio of the organic compound having a surface tension of less than 30.0 mM / m at 25 ° C. is not particularly limited as long as it is 10% by mass or more and 60% by mass or less in the total non-reactive diluent. From the point of improving the film thickness uniformity and covering property in a more balanced manner, the content is preferably 15% by mass to 55% by mass in the total non-reactive diluent, and 20% by mass to 50% by mass in the total non-reactive diluent. % Or less is particularly preferable.
感光性樹脂組成物中における全非反応性希釈剤の配合割合は、特に限定されないが、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得つつ、感光性樹脂組成物の粘度や乾燥性を適度に調節する点から、10質量%以上100質量%以下が好ましく、15質量%以上50質量%以下がより好ましく、20質量%以上30質量%以下が特に好ましい。 The blending ratio of the total non-reactive diluent in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but the photosensitive resin composition is obtained while obtaining a cured product excellent in blind via hole filling property, film thickness uniformity, and covering property. 10 mass% or more and 100 mass% or less are preferable, 15 mass% or more and 50 mass% or less are more preferable, and 20 mass% or more and 30 mass% or less are especially preferable.
全非反応性希釈剤の含有量は、特に限定されないが、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得つつ、感光性樹脂組成物の粘度や乾燥性を適度に調節する点から、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、40質量部以上400質量部以下が好ましく、60質量部以上200質量部以下がより好ましく、80質量部以上120質量部以下が特に好ましい。 The content of the total non-reactive diluent is not particularly limited, but the viscosity and drying property of the photosensitive resin composition are appropriately adjusted while obtaining a cured product excellent in blind via hole filling property, film thickness uniformity, and covering property. 40 parts by mass or more and 400 parts by mass or less are preferable, 60 parts by mass or more and 200 parts by mass or less are more preferable, and 80 parts by mass or more and 120 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin. Is particularly preferred.
非反応性希釈剤中における残部は、25℃における表面張力が30.0mM/m以上の非反応性希釈剤である。従って、非反応性希釈剤中には、25℃における表面張力が30.0mM/m以上の非反応性希釈剤が40質量%以上90質量%以下含まれている。25℃における表面張力が30.0mM/m以上の非反応性希釈剤は、特に限定されず、25℃における表面張力が30.0mM/m以上の有機溶剤等の有機化合物を挙げることができる。25℃における表面張力が30.0mM/m以上の有機溶剤としては、例えば、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(25℃における表面張力31mM/m)、プロピレングリコールジアセテート(25℃における表面張力31mM/m)、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(25℃における表面張力31mM/m)等を挙げることができる。 The balance in the non-reactive diluent is a non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of 30.0 mM / m or more. Therefore, the non-reactive diluent contains 40 mass% or more and 90 mass% or less of the non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of 30.0 mM / m or more. The non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of 30.0 mM / m or more is not particularly limited, and examples thereof include organic compounds such as organic solvents having a surface tension at 25 ° C. of 30.0 mM / m or more. Examples of the organic solvent having a surface tension at 25 ° C. of 30.0 mM / m or more include diethylene glycol monoethyl ether acetate (surface tension 31 mM / m at 25 ° C.) and propylene glycol diacetate (surface tension 31 mM / m at 25 ° C.). And diethylene glycol monoethyl ether (surface tension at 25 ° C., 31 mM / m).
本発明の感光性樹脂組成物には、上記した(A)成分〜(E)成分の他に、必要に応じて、種々の成分、例えば、着色剤、体質顔料、各種添加剤(例えば、硬化触媒、有機フィラー、チキソ性付与剤等)、難燃剤等を、適宜、含有させることができる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, in addition to the above-described components (A) to (E), various components, for example, a colorant, an extender pigment, various additives (for example, curing) Catalyst, organic filler, thixotropic agent, etc.), flame retardant and the like can be appropriately contained.
着色剤は、顔料、色素等、特に限定されず、また、白色着色剤、青色着色剤、緑色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、黒色着色剤、橙色着色剤等、いずれの色彩の着色剤も使用可能である。上記着色剤には、例えば、白色着色剤である酸化チタン、黒色着色剤であるカーボンブラック等の無機系着色剤や、緑色着色剤であるフタロシアニングリーン及び青色着色剤であるフタロシアニンブルーやリオノールブルー等のフタロシアニン系、黄色着色剤であるクロモフタルイエロー等のアントラキノン系等の有機系着色剤などを挙げることができる。 The colorant is not particularly limited, such as a pigment, a pigment, and the like, and any color such as a white colorant, a blue colorant, a green colorant, a yellow colorant, a purple colorant, a black colorant, and an orange colorant. Agents can also be used. Examples of the colorant include inorganic colorants such as titanium oxide which is a white colorant, carbon black which is a black colorant, phthalocyanine green which is a green colorant, and phthalocyanine blue and lionol blue which are blue colorants. And phthalocyanine-based organic colorants such as anthraquinone-based colorants such as chromophthal yellow which is a yellow colorant.
体質顔料には、タルク、硫酸バリウム、疎水性シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、マイカ、ウレタンビーズ等を挙げることができる。各種添加剤には、メルカプトベンゾオキサザール及びその誘導体、ジシアンジアミド(DICY)及びその誘導体、メラミン及びその誘導体、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、有機酸ヒドラジド、ジアミノマレオニトリル(DAMN)及びその誘導体、グアナミン及びその誘導体、アミンイミド(AI)並びにポリアミン等の硬化触媒等を挙げることができる。消泡剤には、シリコーン系、炭化水素系及びアクリル系等を挙げることができる。 Examples of extender pigments include talc, barium sulfate, hydrophobic silica, alumina, aluminum hydroxide, mica, and urethane beads. Various additives include mercaptobenzoxazal and its derivatives, dicyandiamide (DICY) and its derivatives, melamine and its derivatives, boron trifluoride-amine complex, organic acid hydrazide, diaminomaleonitrile (DAMN) and its derivatives, guanamine And derivatives thereof, amine imide (AI), and curing catalysts such as polyamines. Examples of antifoaming agents include silicones, hydrocarbons, and acrylics.
難燃剤は、感光性樹脂組成物の光硬化物に難燃性を付与するためのものである。難燃剤としては、例えば、リン系の難燃剤を挙げることができる。具体的には、トリス(クロロエチル)ホスフェート、トリス(2,3−ジクロロプロピル)ホスフェート、トリス(2−クロロプロピル)ホスフェート、トリス(2,3−ブロモプロピル)ホスフェート、トリス(ブロモクロロプロピル)ホスフェート、2,3−ジブロモプロピル−2,3−クロロプロピルホスフェート、トリス(トリブロモフェニル)ホスフェート、トリス(ジブロモフェニル)ホスフェート、トリス(トリブロモネオペンチル)ホスフェートなどの含ハロゲン系リン酸エステル;トリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート、トリブチルホスフェート、トリオクチルホスフェート、トリブトキシエチルホスフェートなどのノンハロゲン系脂肪族リン酸エステル;トリフェニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、ジクレジルフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、トリス(イソプロピルフェニル)ホスフェート、イソプロピルフェニルジフェニルホスフェート、ジイソプロピルフェニルフェニルホスフェート、トリス(トリメチルフェニル)ホスフェート、トリス(t−ブチルフェニル)ホスフェート、ヒドロキシフェニルジフェニルホスフェート、オクチルジフェニルホスフェートなどのノンハロゲン系芳香族リン酸エステル;トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスジフェニルホスフィン酸アルミニウム、ビスジエチルホスフィン酸亜鉛、ビスメチルエチルホスフィン酸亜鉛、ビスジフェニルホスフィン酸亜鉛、ビスジエチルホスフィン酸チタニル、テトラキスジエチルホスフィン酸チタン、ビスメチルエチルホスフィン酸チタニル、テトラキスメチルエチルホスフィン酸チタン、ビスジフェニルホスフィン酸チタニル、テトラキスジフェニルホスフィン酸チタンなどのホスフィン酸の金属塩、9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキサイド、ジフェニルビニルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイド、トリアルキルホスフィンオキサイド、トリス(ヒドロキシアルキル)ホスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド系化合物等が挙げられる。これらのうち、有機リン酸塩系が好ましい。 The flame retardant is for imparting flame retardancy to the photocured product of the photosensitive resin composition. Examples of the flame retardant include a phosphorus-based flame retardant. Specifically, tris (chloroethyl) phosphate, tris (2,3-dichloropropyl) phosphate, tris (2-chloropropyl) phosphate, tris (2,3-bromopropyl) phosphate, tris (bromochloropropyl) phosphate, Halogen-containing phosphates such as 2,3-dibromopropyl-2,3-chloropropyl phosphate, tris (tribromophenyl) phosphate, tris (dibromophenyl) phosphate, tris (tribromoneopentyl) phosphate; trimethyl phosphate; Non-halogen aliphatic phosphates such as triethyl phosphate, tributyl phosphate, trioctyl phosphate, tributoxyethyl phosphate; triphenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate Fate, dicresyl phenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, xylenyl diphenyl phosphate, tris (isopropylphenyl) phosphate, isopropylphenyl diphenyl phosphate, diisopropylphenylphenyl phosphate, tris (trimethylphenyl) phosphate, tris (t Non-halogen aromatic phosphates such as -butylphenyl) phosphate, hydroxyphenyldiphenylphosphate, octyldiphenylphosphate; aluminum trisdiethylphosphinate, aluminum trismethylethylphosphinate, aluminum trisdiphenylphosphinate, zinc bisdiethylphosphinate, bis Zinc methylethylphosphinate, bisdiphenyl Metal salts of phosphinic acid such as zinc sphinate, titanyl bisdiethylphosphinate, titanium tetrakisdiethylphosphinate, titanyl bismethylethylphosphinate, titanium tetrakismethylethylphosphinate, titanyl bisdiphenylphosphinate, titanium tetrakisdiphenylphosphinate, 9 , 10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, diphenylvinylphosphine oxide, triphenylphosphine oxide, trialkylphosphine oxide, phosphine oxide compounds such as tris (hydroxyalkyl) phosphine oxide, etc. It is done. Of these, organophosphates are preferred.
上記した本発明の感光性樹脂組成物の製造方法は、特定の方法に限定されず、例えば、上記各成分を所定割合で配合後、室温にて、三本ロール、ボールミル、サンドミル等の混練手段、またはスーパーミキサー、プラネタリーミキサー等の攪拌手段により混練または混合して製造することができる。また、前記混練または混合の前に、必要に応じて、予備混練または予備混合してもよい。また、まず、(E)非反応性希釈剤以外を所定割合で配合後、混練または混合して樹脂組成物としてから、(E)非反応性希釈剤を添加してさらに混練または混合してもよい。 The method for producing the photosensitive resin composition of the present invention described above is not limited to a specific method. For example, after blending the above components at a predetermined ratio, at room temperature, a kneading means such as a three roll, ball mill, sand mill, or the like. Alternatively, it can be produced by kneading or mixing by a stirring means such as a super mixer or a planetary mixer. Further, prior to the kneading or mixing, if necessary, preliminary kneading or premixing may be performed. Alternatively, (E) after blending at a predetermined ratio other than the non-reactive diluent, kneading or mixing to obtain a resin composition, (E) adding the non-reactive diluent and further kneading or mixing Good.
次に、上記した本発明の感光性樹脂組成物の使用方法例について説明する。ここでは、まず、銅箔をエッチングして形成した回路パターンを有し、ブラインドビアホールが設けられたプリント配線板上に、本発明の感光性樹脂組成物を塗工して、ソルダーレジスト膜を形成する方法を例にとって説明する。 Next, an example of how to use the above-described photosensitive resin composition of the present invention will be described. Here, a solder resist film is formed by first coating a photosensitive resin composition of the present invention on a printed wiring board having a circuit pattern formed by etching a copper foil and provided with a blind via hole. This method will be described as an example.
銅箔をエッチングして形成した回路パターンを有し、ブラインドビアホールが設けられたプリント配線板上に、上記のように製造した感光性樹脂組成物を、スクリーン印刷、スプレーコータ、バーコータ、アプリケータ、ブレードコータ、ナイフコータ、ロールコータ、グラビアコータ等の公知の方法を用いて、所望の厚さに塗布し、また、ブラインドビアホール内部に感光性樹脂組成物を充填する。次に、感光性樹脂組成物中の非反応性希釈剤(例えば、有機溶剤)を揮散させるために60〜90℃程度の温度で15〜60分間程度加熱する予備乾燥を行い、感光性樹脂組成物から非反応性希釈剤を揮発させて塗膜の表面をタックフリーの状態にする。塗布した感光性樹脂組成物上に、前記回路パターンのランド以外を透光性にしたパターンを有するネガフィルムを密着させ、その上から紫外線(例えば、波長300〜400nmの範囲)を照射させる。そして、前記ランドに対応する非露光領域を希アルカリ水溶液で除去することにより塗膜を現像する。現像方法には、スプレー法、シャワー法等が用いられ、使用される希アルカリ水溶液としては、例えば、0.5〜5質量%の炭酸ナトリウム水溶液が挙げられる。次いで、130〜170℃の熱風循環式の乾燥機等で20〜80分間ポストキュアを行うことにより、プリント配線板上に、目的のパターンを有する硬化塗膜であり、ブラインドビアホールも硬化塗膜で充填されたソルダーレジスト膜を形成させることができる。 On the printed wiring board having a circuit pattern formed by etching a copper foil and provided with a blind via hole, the photosensitive resin composition produced as described above is screen printed, spray coater, bar coater, applicator, Using a known method such as a blade coater, knife coater, roll coater, gravure coater, etc., it is applied to a desired thickness and the photosensitive resin composition is filled into the blind via hole. Next, in order to volatilize the non-reactive diluent (for example, organic solvent) in the photosensitive resin composition, preliminary drying is performed by heating at a temperature of about 60 to 90 ° C. for about 15 to 60 minutes. The non-reactive diluent is volatilized from the product to make the surface of the coating film tack-free. On the applied photosensitive resin composition, a negative film having a light-transmitting pattern other than the land of the circuit pattern is brought into close contact, and ultraviolet rays (for example, in a wavelength range of 300 to 400 nm) are irradiated from above. Then, the coating film is developed by removing a non-exposed area corresponding to the land with a dilute alkaline aqueous solution. As the developing method, a spray method, a shower method, or the like is used, and examples of the diluted alkaline aqueous solution used include 0.5 to 5% by mass of an aqueous sodium carbonate solution. Next, it is a cured coating film having a target pattern on a printed wiring board by performing post-cure for 20 to 80 minutes with a hot air circulation dryer at 130 to 170 ° C., and the blind via hole is also a cured coating film. A filled solder resist film can be formed.
次に、本発明の実施例を説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り、これらの例に限定されるものではない。 Next, examples of the present invention will be described. However, the present invention is not limited to these examples as long as the gist thereof is not exceeded.
実施例1〜6、比較例1〜3
非反応性希釈剤以外の下記表1に示す各成分を下記表1に示す配合割合にて配合し、3本ロールを用いて室温にて混合分散させて樹脂組成物を調製した。その後、得られた樹脂組成物に非反応性希釈剤を添加して上記と同様に混合分散させることで、実施例1〜6、比較例1〜3にて使用する感光性樹脂組成物を調製した。下記表1に示す各成分の配合量は、特に断りのない限り質量部を示す。なお、下記表1中の配合量の空欄部は、配合なしを意味する。
Examples 1-6, Comparative Examples 1-3
Each component shown in the following Table 1 other than the non-reactive diluent was blended at the blending ratio shown in the following Table 1, and mixed and dispersed at room temperature using three rolls to prepare a resin composition. Then, the photosensitive resin composition used in Examples 1-6 and Comparative Examples 1-3 is prepared by adding a non-reactive diluent to the obtained resin composition and mixing and dispersing in the same manner as described above. did. Unless otherwise indicated, the compounding quantity of each component shown in following Table 1 shows a mass part. In addition, the blank part of the compounding amount in the following Table 1 means no compounding.
なお、表1、2中の各成分についての詳細は、以下の通りである。
(A)カルボキシル基含有感光性樹脂
・FLX−2089:固形分(樹脂分)65質量%、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(25℃における表面張力が31mM/m)35質量%。エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部に、アクリル酸を反応させて、エポキシアクリレートを得、生成した水酸基に多塩基酸を反応させて得られる構造である、多塩基酸変性エポキシアクリレート。日本化薬(株)
(B)光重合開始剤
・Chemcure DETX:日本シイベルヘグナー(株)
・イルガキュア 907:BASF(株)
(C)反応性希釈剤
・KRM 8296:ダイセル・オルネクス(株)
(D)エポキシ化合物
・EPICRON 860:DIC(株)
The details of each component in Tables 1 and 2 are as follows.
(A) Carboxyl group-containing photosensitive resin. FLX-2089: solid content (resin content) 65 mass%, diethylene glycol monoethyl ether acetate (surface tension at 25 ° C. is 31 mM / m) 35 mass%. A polybasic acid-modified epoxy acrylate having a structure obtained by reacting acrylic acid with at least a part of the epoxy group of an epoxy resin to obtain an epoxy acrylate, and reacting the produced hydroxyl group with a polybasic acid. Nippon Kayaku Co., Ltd.
(B) Photopolymerization initiator Chemchem DETX: Nippon Siber Hegner Co., Ltd.
・ Irgacure 907: BASF Corporation
(C) Reactive Diluent ・ KRM 8296: Daicel Ornex Co., Ltd.
(D) Epoxy compound EPICRON 860: DIC Corporation
着色剤
・LIONOL BLUE FG7351:トーヨーカラー(株)
・クロモフタルイエロー:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)
体質顔料
・RHC−730クリアー:大日精化工業(株)
・ハイジライト H−42STV:昭和電工(株)
添加剤
・DICY−7:三菱化学(株)
・メラミン:日産化学工業(株)
消泡剤
・KS−66:信越化学工業(株)
難燃剤
・エクソリット OP−935:クラリアントジャパン(株)
Colorant LIONOL BLUE FG7351: Toyocolor Co., Ltd.
・ Chromophthal Yellow: Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.
Extender pigment, RHC-730 Clear: Dainichi Seika Co., Ltd.
・ Heidilite H-42STV: Showa Denko K.K.
Additive / DICY-7: Mitsubishi Chemical Corporation
・ Melamine: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Antifoaming agent, KS-66: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Flame Retardant Exolit OP-935: Clariant Japan Co., Ltd.
(E)非反応性希釈剤
・ハイソルブ EDE:25℃における表面張力が25mM/m、東邦化学(株)
・ハイソルブ DPM:25℃における表面張力が28mM/m、東邦化学(株)
・EDGAC:25℃における表面張力が31mM/m、三洋化成品(株)
(E) Non-reactive diluent, Hisolv EDE: Surface tension at 25 ° C is 25 mM / m, Toho Chemical Co., Ltd.
Highsolve DPM: surface tension at 25 ° C is 28 mM / m, Toho Chemical Co., Ltd.
・ EDGAC: Surface tension at 25 ° C is 31 mM / m, Sanyo Chemicals Co., Ltd.
試験片作製工程
基板:φ100μm、深さ70μmのブラインドビアホール部および導体厚18μmの配線パターンが設けられた基板
表面処理:酸処理(5質量%の硫酸溶液)
印刷法:スクリーン印刷
DRY膜厚:20〜23μm
予備乾燥:80℃、20分
露光:塗膜上に250mJ/cm2 (オーク製造所(株)、HMW−680GW)
現像:1質量%炭酸ナトリウム水溶液、現像時間60秒、スプレー圧0.2MPa
ポストキュア:150℃、30分
Test piece preparation process Substrate: Substrate provided with a blind via hole portion having a diameter of 100 μm and a depth of 70 μm and a wiring pattern having a conductor thickness of 18 μm Surface treatment: Acid treatment (5 mass% sulfuric acid solution)
Printing method: Screen printing DRY film thickness: 20-23 μm
Pre-drying: 80 ° C., 20 minutes Exposure: 250 mJ / cm 2 on the coating film (Oak Manufacturing Co., Ltd., HMW-680GW)
Development: 1% by weight sodium carbonate aqueous solution, development time 60 seconds, spray pressure 0.2 MPa
Post cure: 150 ° C, 30 minutes
評価項目
(1)ブラインドビアホール埋まり性
上記のようにして得られた試験片のブラインドビアホール部100箇所に感光性樹脂組成物が埋まっているかを、光学顕微鏡(×40倍)で観察し、埋まっているブラインドビアホール部を算出して、以下のように評価した。
◎:100箇所ともブラインドビアホール部が埋まっている。
○:90〜99箇所のブラインドビアホール部が埋まっている。
△:80〜89箇所のブラインドビアホール部が埋まっている。
×:79箇所以下のブラインドビアホール部が埋まっている。
Evaluation item (1) Blind via hole filling property Whether or not the photosensitive resin composition is buried in 100 blind via hole portions of the test piece obtained as described above was observed with an optical microscope (× 40 times) and buried. The blind via hole part which is present was calculated and evaluated as follows.
(Double-circle): The blind via hole part is filled in 100 places.
A: 90 to 99 blind via hole portions are filled.
Δ: 80 to 89 blind via hole portions are filled.
X: 79 or less blind via holes are buried.
(2)膜厚均一性
上記のようにして得られた試験片の配線パターン間の硬化塗膜の断面を封止、研磨後、光学顕微鏡(×40倍)にてN=9で観察し、膜厚を測長して、以下のように評価した。
○:膜厚の最大、最小の差が3μm未満。
△:膜厚の最大、最小の差が3μm以上、5μm未満。
×:膜厚の最大、最小の差が5μm以上。
(2) Film thickness uniformity After sealing and polishing the cross section of the cured coating film between the wiring patterns of the test piece obtained as described above, N = 9 was observed with an optical microscope (× 40 times), The film thickness was measured and evaluated as follows.
○: The maximum and minimum difference in film thickness is less than 3 μm.
Δ: Maximum and minimum difference in film thickness is 3 μm or more and less than 5 μm.
X: The maximum and minimum difference in film thickness is 5 μm or more.
(3)カバーリング性
上記のようにして得られた試験片の単独配線パターン上の硬化塗膜の断面を封止、研磨後、光学顕微鏡(×40倍)にてN=9で観察し、膜厚を測長して、以下のように評価した。
○:配線上エッジ部の硬化塗膜の膜厚15μm以上。
△:配線上エッジ部の硬化塗膜の膜厚10μm以上15μm未満。
×:配線上エッジ部の硬化塗膜の膜厚10μm未満。
(3) Covering property After sealing and polishing the cross section of the cured coating on the single wiring pattern of the test piece obtained as described above, N = 9 was observed with an optical microscope (× 40 times), The film thickness was measured and evaluated as follows.
○: The film thickness of the cured coating film at the edge portion on the wiring is 15 μm or more.
(Triangle | delta): The film thickness of 10 micrometers or more and less than 15 micrometers of the cured coating film of an edge part on wiring.
X: The film thickness of the cured coating film on the edge portion on the wiring is less than 10 μm.
評価結果を下記表1に示す。 The evaluation results are shown in Table 1 below.
表1に示すように、25℃における表面張力が30mM/m未満の非反応性希釈剤が、全非反応性希釈剤中に15質量%〜50質量%含まれる実施例1〜6では、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化塗膜を得ることができた。特に、実施例4、5から、25℃における表面張力が25mM/mの非反応性希釈剤が配合されると、少量の配合割合でもブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化塗膜を得ることができた。 As shown in Table 1, in Examples 1 to 6, in which a non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of less than 30 mM / m is contained in 15% to 50% by mass in the total non-reactive diluent, blinds A cured coating film excellent in via hole filling property, film thickness uniformity and covering property could be obtained. In particular, from Examples 4 and 5, when a non-reactive diluent having a surface tension of 25 mM / m at 25 ° C. is blended, it is excellent in blind via hole filling, film thickness uniformity, and covering properties even in a small blending ratio. A cured coating film could be obtained.
一方で、25℃における表面張力が30mM/m未満の非反応性希釈剤が、全非反応性希釈剤中に0質量%〜8質量%含まれる比較例1、2では、ブラインドビアホール埋まり性が得られず、25℃における表面張力が30mM/m未満の非反応性希釈剤が、全非反応性希釈剤中に61質量%含まれる比較例3では、カバーリング性が得られなかった。 On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2 in which the non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of less than 30 mM / m is contained in 0 to 8% by mass in the total non-reactive diluent, the blind via hole filling property is increased. In Comparative Example 3 in which the non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of less than 30 mM / m was contained in 61% by mass in the total non-reactive diluent, the covering property was not obtained.
本発明の感光性樹脂組成物は、ブラインドビアホール埋まり性、膜厚均一性、カバーリング性に優れた硬化物を得ることができるので、例えば、所望の回路パターンを有するプリント配線板に絶縁被覆を形成する分野で利用価値が高い。 Since the photosensitive resin composition of the present invention can provide a cured product excellent in blind via hole filling property, film thickness uniformity, and covering property, for example, an insulating coating is applied to a printed wiring board having a desired circuit pattern. High utility value in the field to be formed.
Claims (5)
前記(E)非反応性希釈剤が、25℃において液相である有機化合物を複数種含み、前記(E)非反応性希釈剤中に、25℃における表面張力が30.0mM/m未満の前記有機化合物を10質量%以上60質量%以下含む感光性樹脂組成物。 (A) Photosensitive resin containing a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, and (E) a non-reactive diluent. A resin composition comprising:
The (E) non-reactive diluent contains a plurality of organic compounds that are in a liquid phase at 25 ° C., and the surface tension at 25 ° C. is less than 30.0 mM / m in the (E) non-reactive diluent. The photosensitive resin composition which contains the said organic compound 10 mass% or more and 60 mass% or less.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021060278A1 (en) | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 三井化学株式会社 | Three-dimensional modeling material, three-dimensional modeled object, and production method for three-dimensional modeled object |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000068740A1 (en) * | 1999-05-06 | 2000-11-16 | Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd. | Solder resist ink composition |
| JP2004302245A (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Nippon Steel Chem Co Ltd | Resist material for color filter and color filter |
| WO2005071489A1 (en) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Photosensitive resin composition and cured product thereof |
| JP2010224168A (en) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Taiyo Ink Mfg Ltd | Photo-curable thermosetting resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them |
| JP4850313B1 (en) * | 2011-02-14 | 2012-01-11 | 積水化学工業株式会社 | Two-liquid mixed type first and second liquid and method for producing printed wiring board |
| JP2012053254A (en) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Sekisui Chem Co Ltd | Photo-curing and heat-curing composition, solder resist composition and print circuit board |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5027458B2 (en) * | 2006-07-12 | 2012-09-19 | 太陽ホールディングス株式会社 | Photo-curable and thermosetting one-component solder resist composition and printed wiring board using the same |
| JP5306952B2 (en) * | 2009-09-29 | 2013-10-02 | 太陽ホールディングス株式会社 | Photosensitive resin composition and cured product thereof, and printed wiring board |
| CN104981736A (en) * | 2013-02-14 | 2015-10-14 | 富士胶片株式会社 | Photosensitive resin composition for inkjet coating, heat-treated product and method for producing same, method for producing resin pattern, liquid crystal display device, organic EL display device, touch panel, method for producing the same, and touch panel display device |
| JP6307237B2 (en) * | 2013-09-30 | 2018-04-04 | 新日鉄住金化学株式会社 | Black photosensitive resin composition and cured film thereof, and color filter and touch panel having the cured film |
| JP5723958B1 (en) * | 2013-12-02 | 2015-05-27 | 太陽インキ製造株式会社 | Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board |
| JP2016056341A (en) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | 富士フイルム株式会社 | Curable composition, method for producing cured film, cured film, touch panel, and display device |
| JP6783041B2 (en) * | 2015-07-09 | 2020-11-11 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | A photosensitive resin composition for a color filter, a cured film thereof, and a color filter containing the cured film as a constituent component. |
-
2018
- 2018-03-29 JP JP2018065403A patent/JP6986476B2/en active Active
-
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000068740A1 (en) * | 1999-05-06 | 2000-11-16 | Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd. | Solder resist ink composition |
| JP2004302245A (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Nippon Steel Chem Co Ltd | Resist material for color filter and color filter |
| WO2005071489A1 (en) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Photosensitive resin composition and cured product thereof |
| JP2010224168A (en) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Taiyo Ink Mfg Ltd | Photo-curable thermosetting resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them |
| JP2012053254A (en) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Sekisui Chem Co Ltd | Photo-curing and heat-curing composition, solder resist composition and print circuit board |
| JP4850313B1 (en) * | 2011-02-14 | 2012-01-11 | 積水化学工業株式会社 | Two-liquid mixed type first and second liquid and method for producing printed wiring board |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021060278A1 (en) | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 三井化学株式会社 | Three-dimensional modeling material, three-dimensional modeled object, and production method for three-dimensional modeled object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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