JP2019171724A - スクライブヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】安定した姿勢で基板に位置付けられるようスクライビングホイールを支持するホルダユニットを備えるスクライブヘッドを提供することを目的とする。【解決手段】基板Ｆの表面Ｈにスクライブラインを形成するスクライビングホイール４０と、スクライビングホイール４０を支持軸５２により支持するホルダ５０と、ホルダ５０を回転可能に支持する回転軸５３を有するホルダユニット３０と、を備え、回転軸５３が基板Ｆの表面Ｈの法線Ｎからスクライブ方向Ｒに平行な方向に傾けられており、ホルダユニット３０は、回転軸５３の軸心Ｓに対する支持軸５２に垂直な方向の重量バランスが相違するように構成されている、ことを特徴とするスクライブヘッド。【選択図】図３

Description

本発明は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドに関する。

ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、スクライブヘッドを備えたスクライブ装置が用いられる。脆性材料基板の分断工程は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板の表面に所定の力を付加することで基板を分断するブレイク工程とからなる。スクライブ工程では、スクライビングホイールが、基板の表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。このとき、所定のラインに沿って円滑に移動するように、スクライビングホイールは基板の表面上に位置付けられる。

以下の特許文献１には、高精度にガラス基板を切断するガラス切断専用工具の構成が開示されている。このガラス切断専用工具は、カッターホイールの両側面を固定部材で挟持し、カッターホイールの貫通孔および固定部材の貫通孔に取付軸を圧入によって通す。カッターホイールと固定部材と取付軸とは一体化するため、カッターホイールによって、カッターホイールのガタツキを抑制してガラス基板をスクライブすることができる。

特開２０１８−２０９１４号公報

スクライブ工程では、スクライブラインの形成が開始される位置にホルダを近づけて、スクライビングホイールを基板の表面に接触させる。このとき、ホルダが回転軸を中心に左右に振れて、作業者が意図しないようなスクライブラインを形成する場合がある。このため、スクライビングホイールを基板の表面に位置付けるときの姿勢を安定させる必要がある。この点、特許文献１のガラス切断専用工具によれば、スクライブラインを形成している間、カッターホイールが取付軸によって固定されているため、工具に対してはカッターホイールが移動することなく、所定のスクライブラインを形成することができる。しかし、スクライブラインが形成される開始時において、カッターホルダがどのような姿勢であるかに関しては言及されていない。

かかる課題に鑑み、本発明は、安定した姿勢で基板の表面に位置付けられるようにスクライビングホイールを支持するホルダユニットを備えるスクライブヘッドを提供することを目的とする。

本発明の主たる態様は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブヘッドに関する。この態様に係るスクライブヘッドは、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを支持軸により支持するホルダと、前記ホルダを回転可能に支持する回転軸を有するホルダユニットと、を備える。前記回転軸が前記基板の表面の法線からスクライブ方向に平行な方向に傾けられており、前記ホルダユニットは、前記回転軸の軸心に対する前記支持軸に垂直な方向の重量バランスが相違するように構成されている。

本態様に係るスクライブヘッドによれば、ホルダユニットの重量バランスが相違するため、ホルダユニットは、自重により、スクライビングホイールの支持軸がスクライブ方向に垂直な方向に向く姿勢をとり易くなる。よって、スクライブラインの形成が開始されるとき、ホルダユニットの姿勢が安定した状態で、スクライビングホイールをスクライブラインが形成される開始位置に位置付けることができる。これにより、スクライビングホイールは、スクライブラインを安定的に形成することができる。

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記回転軸が、前記支持軸および前記回転軸に垂直な方向に前記ホルダユニットを２分割する中心軸と、前記回転軸の軸心との間に位置ずれが生じるように設けられているよう構成され得る。

本態様の構成であれば、ホルダユニット自体の重量バランスを調整せずとも、回転軸の軸心に対するホルダユニットの重量バランスを、支持軸に垂直な方向に相違させることができる。よって、ホルダユニットは、自重により、重量の重い方に傾き、ホルダユニットの姿勢が安定する。これにより、スクライビングホイールの姿勢も安定し、スクライブラインを安定的に形成することができる。

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ホルダユニットは、前記支持軸および前記回転軸に垂直な方向に前記ホルダユニットを２分割する中心軸に対する重量バランスが相違するように構成され得る。

本態様の構成であれば、ホルダユニットの中心軸と回転軸の軸心とが一致するような構成の場合も、回転軸の軸心に対するホルダユニットの重量バランスを、支持軸に垂直な方向に相違させることができる。また、ホルダユニットの中心軸と回転軸の軸心との位置をずらした場合は、より効果的に、回転軸の軸心に対するホルダユニットの重量バランスを、支持軸に垂直な方向に相違させることができる。

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記回転軸は、前記スクライブ方向に対して後方側が前記基板の表面に近づくように傾斜しているよう構成され得る。

本態様の構成であれば、ホルダユニットは、重量の重い方に傾いた状態でスクライブヘッドに取り付けられる。これにより、ホルダユニットは安定した姿勢を維持した状態となり、スクライビングホイールは円滑にスクライブラインを形成することができる。

以上のとおり、本発明によれば、安定した姿勢で基板に位置付けられるようにスクライビングホイールを支持するホルダユニットを備えるスクライブヘッドを提供することができる。

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１は、実施形態１に係るスクライブヘッドが適用されるスクライブ装置の構成を模式的に示す図である。 図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態１に係るホルダユニットの正面図および側面図である。 図３は、実施形態１に係るスクライブヘッドにホルダユニットが取り付けられた場合のホルダユニットの姿勢を説明する側面図である。 図４（ａ）は、実施形態２に係るホルダユニットの側面図である。図４（ｂ）は、実施形態２に係るスクライブヘッドにホルダユニットが取り付けられた場合のホルダユニットの姿勢を説明する側面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、カッターホイールの中心軸に垂直である。また、図２（ａ）〜図４（ｂ）中の実線は、基板Ｆの表面Ｈを示している。

＜実施形態１＞
［スクライブ装置の構成］
図１は、実施形態１に係るスクライブヘッド２０が適用されるスクライブ装置１の構成を模式的に示す図である。

スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されている。移動台１０は、一対の案内レール１２によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。モータの駆動によりボールネジ１１が回転することで、移動台１０が、一対の案内レール１２に沿ってＹ軸方向に移動する。

移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置する載置部１４をＸＹ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能な載置部１４は、図示しない真空吸着手段を備えている。載置部１４上に載置された基板Ｆは、この真空吸着手段によって、載置部１４上に保持される。

基板には、たとえば、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミックス基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等がある。また、基板Ｆは、基板の表面または内部に薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、基板Ｆは、その表面Ｈに脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていてもよい。

スクライブ装置１は、載置部１４に載置された基板Ｆの上方に、この基板Ｆの表面Ｈに形成されたアライメントマークを撮像する二台のカメラ１５を備えている。また、移動台１０とその上部の載置部１４とを跨ぐように、ブリッジ１６が支柱１７ａ、１７ｂに架設されている。

ブリッジ１６には、ガイド１８が取り付けられている。スクライブヘッド２０は、このガイド１８に案内されてＸ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０は、下端に支持部２１を備えている。スクライビングホイール４０が保持されているホルダユニット３０が、支持部２１を介してスクライブヘッド２０に取り付けられている。

スクライブ装置１を用いて基板Ｆの表面Ｈにスクライブラインを形成する場合、まず、スクライビングホイール４０が取り付けられたホルダユニット３０がスクライブヘッド２０の支持部２１に取り付けられる。ここで、図１に示すように、ホルダユニット３０は、傾くようにして支持部２１に取り付けられる。これに関しては、追って説明する。

次に、スクライブ装置１は、一対のカメラ１５によって基板Ｆの位置決めを行う。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール４０に対して所定の荷重を印加して、基板Ｆの表面Ｈへ接触させる。その後、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、基板Ｆの表面Ｈに所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じて載置部１４を回動ないしＹ軸方向に移動させて、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。

上記の実施形態１においては、スクライブヘッド２０がＸ軸方向に移動し、載置部１４がＹ軸方向に移動するとともに回転するスクライブ装置について示したが、スクライブ装置１はスクライブヘッド２０と載置部１４とが相対的に移動するものであればよい。たとえば、スクライブヘッド２０が固定され、載置部１４がＸ軸、Ｙ軸方向に移動し、かつ回転するスクライブ装置１であってもよい。また、この場合、カメラ１５はスクライブヘッド２０に固定されていてもよい。

［ホルダユニットの構成］
次に、ホルダユニット３０の構成について、図２（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。図２（ａ）は、ホルダユニット３０をＸ軸正側から見た正面図、図２（ｂ）は、ホルダユニット３０をＹ軸正側から見た側面図である。

ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、ホルダ５０と、２つのベアリング５１ａ、５１ｂと、回転軸５３と、が一体となって構成されている。回転軸５３は、ホルダ５０の天面側から鉛直方向に延び、ベアリング５１ａ、５１ｂに挿通されている。ホルダユニット３０においては、ホルダ５０が回転軸５３により回転可能となっている。

図２（ａ）、（ｂ）において、回転軸５３の中心線を軸心Ｓとして示し、支持軸５２および回転軸５３に垂直な方向にホルダ５０を２分割する中心線を中心軸Ｌとして示す。図２（ａ）、（ｂ）では、軸心Ｓおよび中心軸Ｌは、一点鎖線で示す。図２（ｂ）に示すように、実施形態１では、軸心Ｓおよび中心軸Ｌは、互いに一致せず、ずれた位置に配置されている。軸心ＳをＺ軸負側の方へ延長すると、ホルダユニット３０の重量は、軸心Ｓに対してＸ軸正側および負側で相違する。

ホルダ５０は、図２（ｂ）に示すように、下部が側面視において下端に向かって幅が狭くなる台形形状となっている。また、図２（ａ）に示すように、ホルダ５０の台形形状部分には、それぞれ保持部５４ａ、５４ｂが形成され、保持部５４ａ、５４ｂとの間に保持溝５５が形成されている。保持溝５５の互いに対向する内側面５６ａ、５６ｂは、水平面（ＸＹ平面）に垂直である。

なお、図２（ａ）、（ｂ）の構成では、ホルダ５０が、１つの基材で構成されているが、たとえば、保持部５４ａ、５４ｂをそれぞれ有する２つの基材を固定することでホルダ５０が形成されてもよい。

保持部５４ａ、５４ｂには、支持軸５２が挿入される孔５７ａ、５７ｂが、保持溝５５を跨ぐように形成されている。孔５７ａ、５７ｂの径は、支持軸５２の径よりも僅かに大きい。本実施の形態においては、孔５７ａ、５７ｂの中心が中心軸Ｌ上に位置するように、孔５７ａ、５７ｂが形成されている。

スクライビングホイール４０が保持溝５５に挿入された状態で、スクライビングホイール４０の貫通孔４１と孔５７ａ、５７ｂとに支持軸５２が挿入される。

保持部５４ａのＹ軸正側の側面には、止め金５８ａがネジ５９ａで取り付けられ、保持部５４ｂのＹ軸負側の側面には、止め金５８ｂがネジ５９ｂで取り付けられて、孔５７ａ、５７ｂを閉塞する。

図１に示すように、ホルダユニット３０のベアリング５１ａ、５１ｂは支持部２１の開口部２１ａに挿入され、ホルダ５０がスクライブヘッド２０の下端から露出するように、スクライブヘッド２０の内部へと固定される。このとき、ホルダユニット３０は、回転軸５３を中心として回転自在となっている。ここで、図２（ｂ）に示しているホルダユニット３０は、軸心Ｓに対してＸ軸負側に占める体積が大きいため、この部分の重量が重い。このため、回転軸５３を傾斜させると、ホルダ５０は、回転軸５３を中心として回転し、自重により、軸心Ｓに対して重量の重い方が基板Ｆに近づく姿勢をとる。

スクライビングホイール４０は、たとえば、焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。スクライビングホイール４０には、支持軸５２が挿入される貫通孔４１が形成されている。貫通孔４１は、スクライビングホイール４０の両側面の中心を貫通するように形成されている。また、スクライビングホイール４０には、稜線を形成するＶ字状の刃が外周部に形成されている。スクライビングホイール４０は、たとえば、厚さが０．４〜１．１ｍｍ程度、外径が１．０〜５．０ｍｍ程度である。また、貫通孔４１の径は、たとえば、０．４〜１．５ｍｍ程度、刃の刃先角は、９０〜１５０°程度である。

ホルダ５０は、ステンレスや炭素工具鋼から構成されている。また、支持軸５２は、たとえば、焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、一端または両端が尖頭形状になっている。支持軸５２の径は、スクライビングホイール４０の貫通孔４１の径よりもやや小さい。支持軸５２の径は、たとえば、貫通孔４１の径が０．８ｍｍのとき０．７７ｍｍ程度である。支持軸５２が貫通孔４１に挿入された状態では、支持軸５２と貫通孔４１との間に隙間（クリアランス）が生じる。

［スクライブヘッドの使用状態］
図３は、実施形態１に係るスクライブヘッド２０にホルダユニット３０が取り付けられた場合のホルダユニット３０の姿勢を説明するための側面図である。図３において、破線は、基板Ｆの表面Ｈの法線Ｎを示している。

上記したように、実施形態１に係るホルダユニット３０は、軸心Ｓに対して重量が相違する。このため、回転軸５３を傾斜させると、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転して、重量の重い方が基板Ｆに近づく姿勢をとる。実施形態１のスクライブヘッド２０は、このホルダユニット３０の重量バランスに着目して構成される。

図３に示すように、回転軸５３を、法線Ｎからスクライブ方向Ｒに平行な方向に角度αだけ傾けて、スクライビングホイール４０を基板Ｆの表面Ｈに接触させると、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転し、自重により軸心Ｓに対して重量の重い方が基板Ｆに近づくような姿勢をとる。このように、スクライビングホイール４０の姿勢つまりホルダユニット３０の姿勢が安定する。

このため、スクライブヘッド２０にホルダユニット３０を取り付ける際、ホルダユニット３０を傾けた状態で取り付ければ、スクライビングホイール４０が基板Ｆの表面Ｈに接触したとき、速やかにスクライビングホイール４０の姿勢が安定する。

このようなホルダユニット３０のスクライブヘッド２０への取り付けは、スクライブヘッド２０の下端に設けられている支持部２１を介して行うことができる。図１に戻って、支持部２１は、直方体状の部材であり、下方に開口部２１ａが形成されている。開口部２１ａは、回転軸５３および２つのベアリング５１ａ、５１ｂが収まるようなサイズに形成されている。また、支持部２１は開口部２１ａに収容された回転軸５３が所定角度傾けて設けられているこの開口部２１ａに、ホルダユニット３０のベアリング５１ａ、５１ｂを嵌めて固定する。

スクライブ装置１を用いて基板Ｆの表面Ｈにスクライブラインを形成する場合、スクライビングホイール４０は、図３に示す矢印Ｒの方向（Ｘ軸方向）つまりスクライブ方向に進むように回転する。

［実施形態１の効果］
実施形態１によれば、以下の効果が奏される。

図２（ｂ）に示すように、実施形態１に係るスクライブヘッド２０では、軸心Ｓと中心軸Ｌとの位置がずれている。このため、スクライビングホイール４０を基板Ｆの表面Ｈに接触させたときに、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転しやすく、ホルダユニット３０の姿勢が安定しない。スクライビングホイール４０が基板Ｆの表面Ｈにスクライブラインを形成する間にホルダユニット３０が回転すると、スクライブラインが予定された位置に形成されず、正常な分断が行われない。このように、スクライブラインの形成が開始される位置で、ホルダユニット３０の姿勢を安定化させることは重要である。

この点、実施形態１に係るスクライブヘッド２０では、軸心Ｓに対してホルダユニット３０の重量バランスが相違することを利用して構成される。つまり、図３に示すように、ホルダユニット３０を、回転軸５３を傾斜させてスクライブヘッド２０に取り付ける。これにより、スクライビングホイール４０が基板Ｆの表面Ｈに接触すると、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転して、自重により、軸心Ｓに対して重量の重い方が基板Ｆに近づくように傾斜し、ホルダユニット３０の姿勢が直ちに安定する。

したがって、スクライブラインの形成が開始される位置で、ホルダユニット３０すなわちスクライビングホイール４０の姿勢が速やかに安定し、スクライビングホイール４０は開始位置から所定のスクライブラインを形成することができる。

図３に示すように、スクライビングホイール４０がスクライブラインを形成している間におけるホルダユニット３０の姿勢は、スクライブ方向Ｒに対してホルダユニット３０の後方側が基板Ｆの表面Ｈに近づくように回転軸５３が傾斜している。このように、スクライブラインの形成が開始されるとき、スクライビングホイール４０が上記のような安定した姿勢で基板Ｆの表面Ｈに位置付けられた場合、スクライビングホイール４０は、その姿勢を維持した状態で円滑にスクライブラインを形成することができる。

なお、実施形態１に係るスクライブヘッド２０において、回転軸５３の傾斜角度すなわち角度αは、たとえば、５度〜５０度の範囲が好ましい。角度αがこの範囲内であれば、ホルダユニット３０は、重量の重い方に自重により傾きやすく、ホルダユニット３０の姿勢が安定しやすい。より好ましくは、１０度〜４０の範囲である。角度αは、基板Ｆの種類、スクライビングホイール４０のサイズ、およびホルダユニット３０の重量等により、適宜調整すればよい。

＜実施形態２＞
上記した実施形態１に係るスクライブヘッド２０においては、回転軸５３の軸心Ｓとホルダユニット３０の中心軸Ｌとの位置がずれていた。これに対し、実施形態２に係るスクライブヘッド２０は、軸心Ｓと中心軸Ｌとを一致させた構成のホルダユニット３０が適用される。

図４（ａ）は、実施形態２に係るホルダユニット３０の側面図である。図４（ｂ）は、実施形態２に係るスクライブヘッド２０にホルダユニット３０が取り付けられた場合のホルダユニット３０の姿勢を説明する側面図である。スクライブヘッド２０の構成は、軸心Ｓと中心軸Ｌとを一致させて配置したこと以外は、実施形態１に係るスクライブヘッド２０と同様であるため、説明を省略する。また、図４（ａ）、（ｂ）では、回転軸５３の軸心Ｓを破線で示し、ホルダユニット３０の中心軸Ｌを一点鎖線で示している。

図４（ａ）に示すように、実施形態２に係るホルダユニット３０においては、回転軸５３の軸心Ｓは、ホルダユニット３０の中心軸Ｌに一致するように配置される。このように軸心Ｓおよび中心軸Ｌが配置されると、ホルダユニット３０は、中心軸Ｌに対して左右の重量が略均等になる。そのため、スクライビングホイール４０が基板Ｆの表面Ｈに接触すると、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転し、ホルダユニット３０の姿勢が安定しにくい。

そこで、実施形態２に係るホルダユニット３０は、中心軸Ｌに対して左右の重量が相違するように構成される。そのような構成として、下記のような構成が挙げられる。

（１）錘を設ける場合
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、中心軸Ｌによりホルダユニット３０が２分割された場合、一方の側に錘６０を設ける。これにより、ホルダユニット３０は、中心軸Ｌに対して２つの部分の重量が互いに相違する。よって、回転軸５３を傾斜させると、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転するが、錘６０を設けた方が自重により基板Ｆの表面Ｈに近づくような姿勢をとる。よって、ホルダユニット３０の姿勢が直ちに安定する。

このように、軸心Ｓと中心軸Ｌとが一致するように構成されているホルダユニット３０であっても、錘６０をホルダ５０の適当な位置に設けることにより、ホルダユニット３０の重量バランスが変化する。これにより、ホルダユニット３０の姿勢が安定する。

また、このような構成は、錘６０があれば簡単に構成できるため、軸心Ｓと中心軸Ｌとが一致するように構成された既存のホルダユニット３０に対しても適用できる。

（２）ホルダの形状が非対称である場合
ホルダユニット３０において、中心軸Ｌによりホルダ５０の２分割されたそれぞれの部分における形状を非対称とすることにより、重量を相違させることができる。言い換えれば、支持軸５２の中心がホルダ５０の中心軸Ｌとずれた位置に形成される。これにより、回転軸５３を傾斜させると、ホルダユニット３０は回転軸５３を中心に回転して、体積の大きい方が自重により基板Ｆの表面Ｈに近づくような姿勢をとる。よって、ホルダユニット３０の姿勢が直ちに安定する。

なお、実施形態２に係るスクライブヘッド２０においても、回転軸５３の傾斜角度すなわち角度αは、実施形態１に係るスクライブヘッド２０と同様に、基板Ｆの種類、スクライビングホイール４０のサイズ、およびホルダユニット３０の重量等により、適宜調整すればよい。

なお、ホルダユニット３０は、ホルダ５０に本実施の形態のように回転軸５３及びベアリング５１ａ、５１ｂが一体化された構成ではなく、ホルダ５０を取り付けるための取付部と、回転軸５３及びベアリング５１ａ、５１ｂと、を備えるホルダジョイントを別に設ける構成であってもよい。この場合、回転軸５３を中心に回転するホルダ５０および取付部を合計した重量バランスが、回転軸５３の軸心に対して異なるようにすればよい。

２０…スクライブヘッド
４０…スクライビングホイール
３０…ホルダユニット
５０…ホルダ
５２…支持軸
５３…回転軸
Ｆ…基板
Ｈ…基板の表面
Ｌ…中心軸
Ｎ…法線
Ｒ…スクライブ方向
Ｓ…軸心

Claims (4)

1. 基板の表面にスクライブラインを形成するスクライビングホイールと、
   前記スクライビングホイールを支持軸により支持するホルダと、
   前記ホルダを回転可能に支持する回転軸を有するホルダユニットと、を備え、
   前記回転軸が前記基板の表面の法線からスクライブ方向に平行な方向に傾けられており、前記ホルダユニットは、前記回転軸の軸心に対する前記支持軸に垂直な方向の重量バランスが相違するように構成されている、
   ことを特徴とする、スクライブヘッド。
2. 請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
   前記回転軸が、前記支持軸および前記回転軸に垂直な方向に前記ホルダユニットを２分割する中心軸と、前記回転軸の軸心との間に位置ずれが生じるように設けられている、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
3. 請求項１または２に記載のスクライブヘッドにおいて、
   前記ホルダユニットは、前記支持軸および前記回転軸に垂直な方向に前記ホルダユニットを２分割する中心軸に対する重量バランスが相違するように構成されている、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
4. 請求項１ないし３の何れか一項に記載のスクライブヘッドにおいて、
   前記回転軸は、前記スクライブ方向に対して後方側が前記基板の表面に近づくように傾斜している、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。

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