JP2019165065A

JP2019165065A - Semiconductor device

Info

Publication number: JP2019165065A
Application number: JP2018050964A
Authority: JP
Inventors: 鈴木　隆司; Takashi Suzuki; 隆司鈴木; 山田　明; Akira Yamada; 山田　　明
Original assignee: Denso Corp; Toyota Central R&D Labs Inc
Current assignee: Denso Corp; Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date: 2018-03-19
Filing date: 2018-03-19
Publication date: 2019-09-26
Anticipated expiration: 2038-03-19
Also published as: JP7010095B2

Abstract

【課題】オン耐量を向上させる技術を提供すること。【解決手段】半導体装置１は、コンタクト用トレンチＴＲ２の下方に設けられているｐ型の正孔引き抜き領域１５と、正孔引き抜き領域１５の下方に設けられており、ドリフト領域１２とボディ領域１３の間のｐｎ接合に隣接して配置されているｐ型の電界緩和領域１６と、電界緩和領域１６の下方に設けられているｐ型の下部領域１７と、を備えている。電界緩和領域１６の不純物濃度は、ボディ領域１３の不純物濃度よりも薄い。【選択図】図１An object of the present invention is to provide a technique for improving on-state resistance. A semiconductor device includes a p-type hole extraction region provided below a contact trench and a hole extraction region provided below the hole, and includes a drift region and a body region. And a p-type lower region 17 provided below the electric field relaxing region 16. The impurity concentration of electric field relaxation region 16 is lower than the impurity concentration of body region 13. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本明細書が開示する技術は、半導体装置に関する。 The technology disclosed in this specification relates to a semiconductor device.

半導体装置の小型化を進めるために、半導体層の表層部にコンタクト用トレンチを形成する技術が知られている。コンタクト用トレンチ内に充填された電極は、コンタクト用トレンチの側面を利用して半導体層に接触することができる。このため、半導体層の面内方向における電極の接触面積を削減することができるので、半導体装置の小型化が実現される。 In order to reduce the size of a semiconductor device, a technique for forming a contact trench in a surface layer portion of a semiconductor layer is known. The electrode filled in the contact trench can be in contact with the semiconductor layer using the side surface of the contact trench. For this reason, since the contact area of the electrode in the in-plane direction of the semiconductor layer can be reduced, the semiconductor device can be miniaturized.

アバランシェ降伏時に発生する正孔を引き抜くために、このようなコンタクト用トレンチの下方にｐ型の正孔引き抜き領域を形成する技術が知られている。特許文献１は、アバランシェ耐量を向上させるために、この正孔引き抜き領域を深く形成する技術を開示する。 In order to extract holes generated at the time of avalanche breakdown, a technique for forming a p-type hole extraction region under such a contact trench is known. Patent Document 1 discloses a technique for forming the hole extraction region deeply in order to improve the avalanche resistance.

特開２００９−４３９６６号公報JP 2009-43966 A

特許文献１に開示される正孔引き抜き領域は、ボディ領域を超えてドリフト領域に侵入するように形成されている。このため、正孔引き抜き領域は、ドリフト領域とボディ領域の間のｐｎ接合に隣接して配置されている。例えば、半導体装置がオンしているときに負荷短絡等が生じると、半導体装置に大電圧が印加されるときがある。このとき、ドリフト領域とボディ領域の間のｐｎ接合に隣接する正孔引き抜き領域の側面近傍が高電界領域となり、この部分でアバランシェ降伏が発生することが懸念される。この高電界領域は、トレンチゲート部の側面に存在する寄生ｎｐｎトランジスタ（ドリフト領域とボディ領域とソース領域で構成される寄生ｎｐｎトランジスタ）に近接している。このため、高電界領域のアバランシェ降伏で発生したアバランシェ電流が寄生ｎｐｎトランジスタのベース電流となり、寄生ｎｐｎトランジスタが動作する２次降伏が発生してしまう。このように、特許文献１に開示される半導体装置は、オン耐量が低いという問題がある。本明細書は、オン耐量を向上させる技術を提供することを目的とする。 The hole extraction region disclosed in Patent Document 1 is formed so as to penetrate the drift region beyond the body region. For this reason, the hole extraction region is disposed adjacent to the pn junction between the drift region and the body region. For example, if a load short circuit occurs when the semiconductor device is on, a large voltage may be applied to the semiconductor device. At this time, the vicinity of the side surface of the hole extraction region adjacent to the pn junction between the drift region and the body region becomes a high electric field region, and there is a concern that avalanche breakdown occurs in this portion. This high electric field region is close to a parasitic npn transistor (parasitic npn transistor including a drift region, a body region, and a source region) existing on the side surface of the trench gate portion. For this reason, the avalanche current generated by the avalanche breakdown in the high electric field region becomes the base current of the parasitic npn transistor, and the secondary breakdown in which the parasitic npn transistor operates occurs. As described above, the semiconductor device disclosed in Patent Document 1 has a problem of low on-resistance. The present specification aims to provide a technique for improving the ON-resistance.

本明細書が開示する半導体装置は、その種類は特に限定されず、例えばＭＯＳＦＥＴ又はＩＧＢＴである。また、本明細書が開示する半導体装置の半導体材料は、特に限定されるものではなく、例えばワイドバンドギャップ半導体である。ワイドバンドギャップ半導体は、例えば炭化珪素、窒化物半導体又は酸化物半導体であってもよい。本明細書が開示する半導体装置の一実施形態は、第１導電型の第１半導体領域と、第１半導体領域上に設けられている第２導電型の第２半導体領域と、第２半導体領域上に設けられている第１導電型の第３半導体領域と、第３半導体領域を超えて第２半導体領域に達するコンタクト用トレンチ内に充填されている表面電極と、コンタクト用トレンチの下方に設けられている第２導電型のキャリア引き抜き領域と、キャリア引き抜き領域の下方に設けられており、第１半導体領域と第２半導体領域の間のｐｎ接合に隣接して配置されている第２導電型の電界緩和領域と、電界緩和領域の下方に設けられている第２導電型の下部領域と、第３半導体領域及び前記第２半導体領域を超えて第１半導体領域に達するゲート用トレンチ内に配置されており、第１半導体領域と第３半導体領域を隔てる位置にある第２半導体領域に対向するトレンチゲート部と、を備えることができる。コンタクト用トレンチ内に充填されている表面電極は、その側面で第３半導体領域に接しており、その底面で前記キャリア引き抜き領域に接している。キャリア引き抜き領域の不純物濃度は、第２半導体領域の不純物濃度よりも濃い。電界緩和領域の不純物濃度は、第２半導体領域の不純物濃度よりも薄い。下部領域の不純物濃度は、電界緩和領域の不純物濃度よりも濃い。この半導体装置では、第１半導体領域と第２半導体領域の間のｐｎ接合に隣接する位置に電界緩和領域が配置されており、その電界緩和領域の不純物濃度が第２半導体領域の不純物濃度よりも薄く形成されている。これにより、半導体装置がオンしているときに半導体装置に大電圧が印加されても、この電界緩和領域の側面近傍の電界が緩和され、第１半導体領域と第２半導体領域と第３半導体領域で構成される寄生トランジスタが動作することが抑えられる。この半導体装置は、高いオン耐量という特性を有することができる。 The type of the semiconductor device disclosed in this specification is not particularly limited, and is, for example, a MOSFET or an IGBT. Further, the semiconductor material of the semiconductor device disclosed in this specification is not particularly limited, and is, for example, a wide band gap semiconductor. The wide band gap semiconductor may be, for example, silicon carbide, nitride semiconductor, or oxide semiconductor. One embodiment of a semiconductor device disclosed in this specification includes a first semiconductor region of a first conductivity type, a second semiconductor region of a second conductivity type provided on the first semiconductor region, and a second semiconductor region. A third semiconductor region of the first conductivity type provided on the surface; a surface electrode filled in a contact trench reaching the second semiconductor region beyond the third semiconductor region; and provided below the contact trench. The second conductivity type carrier extraction region, which is provided below the carrier extraction region, and is disposed adjacent to the pn junction between the first semiconductor region and the second semiconductor region. And a second conductivity type lower region provided below the electric field relaxation region, a third semiconductor region, and a gate trench reaching the first semiconductor region beyond the second semiconductor region. Have been It may comprise a trench gate portion facing the second semiconductor region located separating the first semiconductor region and the third semiconductor region. The surface electrode filled in the contact trench is in contact with the third semiconductor region on the side surface and in contact with the carrier extraction region on the bottom surface. The impurity concentration in the carrier extraction region is higher than the impurity concentration in the second semiconductor region. The impurity concentration in the electric field relaxation region is lower than the impurity concentration in the second semiconductor region. The impurity concentration in the lower region is higher than the impurity concentration in the electric field relaxation region. In this semiconductor device, the electric field relaxation region is disposed at a position adjacent to the pn junction between the first semiconductor region and the second semiconductor region, and the impurity concentration of the electric field relaxation region is higher than the impurity concentration of the second semiconductor region. Thinly formed. Thus, even when a large voltage is applied to the semiconductor device when the semiconductor device is on, the electric field in the vicinity of the side surface of the electric field relaxation region is relaxed, and the first semiconductor region, the second semiconductor region, and the third semiconductor region It is possible to suppress the operation of the parasitic transistor constituted by This semiconductor device can have a high on-resistance characteristic.

上記実施形態の半導体装置はさらに、ゲート用トレンチ内において、トレンチゲート部よりも下方に配置されている埋設プレート部をさらに備えていてもよい。埋設プレート部は、埋設絶縁膜と、埋設絶縁膜を介して第１半導体領域に対向するプレート電極と、を有することができる。この半導体装置は、埋設プレート部のプレート電極に印加される電圧に基づいて、耐圧向上及び／又はオン抵抗の低下が可能となる。 The semiconductor device of the above embodiment may further include a buried plate portion disposed below the trench gate portion in the gate trench. The buried plate portion can include a buried insulating film and a plate electrode facing the first semiconductor region via the buried insulating film. This semiconductor device can improve the breakdown voltage and / or reduce the on-resistance based on the voltage applied to the plate electrode of the buried plate portion.

上記実施形態の半導体装置では、下部領域が、隣接する第１半導体領域との間でスーパージャンクション構造を構成してもよい。この半導体装置は、高耐圧という特性を有することができる。 In the semiconductor device of the above embodiment, the lower region may form a super junction structure with the adjacent first semiconductor region. This semiconductor device can have a high breakdown voltage characteristic.

半導体装置の要部断面図を模式的に示す。The principal part sectional drawing of a semiconductor device is shown typically.

図１に示されるように、半導体装置１は、縦型のＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）であり、半導体層１０、半導体層１０の裏面１０Ａを被覆するドレイン電極２２、半導体層１０の表面１０Ｂを被覆するソース電極２４、トレンチゲート部３０及び埋設プレート部４０を備えている。半導体層１０の材料は、シリコンである。この例に代えて、半導体層１０の材料は、例えば炭化珪素又は窒化物半導体であってもよい。半導体層１０は、ｎ⁺型のドレイン領域１１、ｎ^-型のドリフト領域１２、ｐ型のボディ領域１３、ｎ⁺型のソース領域１４、ｐ⁺型の正孔引き抜き領域１５、ｐ^-型の電界緩和領域１６及びｐ型の下部領域１７を有している。 As shown in FIG. 1, the semiconductor device 1 is a vertical MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor), a semiconductor layer 10, a drain electrode 22 covering the back surface 10 </ b> A of the semiconductor layer 10, and a surface of the semiconductor layer 10. A source electrode 24 covering 10B, a trench gate portion 30, and a buried plate portion 40 are provided. The material of the semiconductor layer 10 is silicon. Instead of this example, the material of the semiconductor layer 10 may be, for example, silicon carbide or a nitride semiconductor. The semiconductor layer 10 includes an n ⁺ type drain region 11, an n ⁻ type drift region 12, a p type body region 13, an n ⁺ type source region 14, a p ⁺ type hole extraction region 15, and a p ⁻ type. An electric field relaxation region 16 and a p-type lower region 17 are provided.

半導体層１０の表面１０Ｂからソース領域１４及びボディ領域１３を貫通してドリフト領域１２の一部に侵入するようにゲート用トレンチＴＲ１が形成されており、そのゲート用トレンチＴＲ１内にトレンチゲート部３０及び埋設プレート部４０が設けられている。トレンチゲート部３０がゲート用トレンチＴＲ１内の上側に配置されており、埋設プレート部４０がゲート用トレンチＴＲ１内の下側に配置されている。さらに、半導体層１０の表面１０Ｂからソース領域１４を貫通してボディ領域１３の一部に侵入するようにコンタクト用トレンチＴＲ２が形成されており、そのコンタクト用トレンチＴＲ２内にソース電極２４の一部が充填されている。コンタクト用トレンチＴＲ２は、隣り合うゲート用トレンチＴＲ１の間に配置されている。 A gate trench TR1 is formed so as to penetrate the source region 14 and the body region 13 from the surface 10B of the semiconductor layer 10 and enter a part of the drift region 12, and the trench gate portion 30 is formed in the gate trench TR1. And the burying plate part 40 is provided. The trench gate portion 30 is disposed on the upper side in the gate trench TR1, and the buried plate portion 40 is disposed on the lower side in the gate trench TR1. Further, a contact trench TR2 is formed so as to penetrate the source region 14 from the surface 10B of the semiconductor layer 10 and enter a part of the body region 13, and a part of the source electrode 24 is formed in the contact trench TR2. Is filled. The contact trench TR2 is disposed between the adjacent gate trenches TR1.

ドレイン領域１１は、半導体層１０の裏層部に設けられており、半導体層１０の裏面１０Ａに露出している。ドレイン領域１１は、ドレイン電極２２にオーミック接触している。 The drain region 11 is provided in the back layer portion of the semiconductor layer 10 and is exposed on the back surface 10 </ b> A of the semiconductor layer 10. The drain region 11 is in ohmic contact with the drain electrode 22.

ドリフト領域１２は、ドレイン領域１１上に設けられており、ドレイン領域１１とボディ領域１３の間に配置されている。ドリフト領域１２に対応する深さに埋設プレート部４０が配置されている。ドリフト領域１２は、埋設プレート部４０の側面に接している。ドリフト領域１２は、第１半導体領域の一例である。 The drift region 12 is provided on the drain region 11 and is disposed between the drain region 11 and the body region 13. The buried plate portion 40 is disposed at a depth corresponding to the drift region 12. The drift region 12 is in contact with the side surface of the embedded plate portion 40. The drift region 12 is an example of a first semiconductor region.

ボディ領域１３は、ドリフト領域１２上に設けられており、ドリフト領域１２とソース領域１４の間に配置されている。ボディ領域１３に対応する深さにトレンチゲート部３０が配置されている。ボディ領域１３は、トレンチゲート部３０の側面に接している。ボディ領域１３の不純物濃度は、閾値電圧及びチャネル抵抗を考慮して設計されており、例えば５×１０¹⁶〜５×１０¹⁷ｃｍ^-3の範囲である。ボディ領域１３は、第２半導体領域の一例である。 Body region 13 is provided on drift region 12 and is disposed between drift region 12 and source region 14. Trench gate portion 30 is arranged at a depth corresponding to body region 13. The body region 13 is in contact with the side surface of the trench gate portion 30. The impurity concentration of the body region 13 is designed in consideration of the threshold voltage and the channel resistance, and is, for example, in the range of 5 × 10 ^{16 to} 5 × 10 ¹⁷ cm ⁻³ . The body region 13 is an example of a second semiconductor region.

ソース領域１４は、ボディ領域１３上に設けられており、半導体層１０の表面１０Ｂに露出している。ソース領域１４は、ソース電極２４にオーミック接触している。図１に示されるように、コンタクト用トレンチＴＲ２内に充填されているソース電極２４は、その側面でソース領域１４に接している。このように、コンタクト用トレンチＴＲ２を利用することで、ソース領域１４の面方向の面積を広く確保しなくても、ソース領域１４とソース電極２４の接触面積を十分に確保することができる。このため、隣り合うゲート用トレンチＴＲ１の間隔（ゲートピッチ）を短くすることができる。ソース領域１４は、第３半導体領域の一例である。 The source region 14 is provided on the body region 13 and is exposed on the surface 10 </ b> B of the semiconductor layer 10. The source region 14 is in ohmic contact with the source electrode 24. As shown in FIG. 1, the source electrode 24 filled in the contact trench TR2 is in contact with the source region 14 on its side surface. Thus, by using the contact trench TR2, a sufficient contact area between the source region 14 and the source electrode 24 can be secured without securing a large area in the surface direction of the source region 14. Therefore, the interval (gate pitch) between the adjacent gate trenches TR1 can be shortened. The source region 14 is an example of a third semiconductor region.

正孔引き抜き領域１５は、コンタクト用トレンチＴＲ２の下方に配置されている。半導体層１０の表面１０Ｂに直交する方向（紙面上下方向）から観測したときに（以下、「平面視したときに」という）、正孔引き抜き領域１５は、コンタクト用トレンチＴＲ２の存在範囲内に収まるように配置されていてもよく、コンタクト用トレンチＴＲ２の存在範囲を超えて配置されていてもよい。コンタクト用トレンチＴＲ２内に充填されているソース電極２４は、その底面で正孔引き抜き領域１５にオーミック接触している。なお、正孔引き抜き領域１５は、コンタクト用トレンチＴＲ２の底面の角部を覆うように形成されていてもよい。正孔引き抜き領域１５の不純物濃度は、ボディ領域１３の不純物濃度よりも濃く、例えば５×１０¹⁸〜１×１０²⁰ｃｍ^-3の範囲である。正孔引き抜き領域１５は、キャリア引き抜き領域の一例である。 The hole extraction region 15 is disposed below the contact trench TR2. When observed from a direction orthogonal to the surface 10B of the semiconductor layer 10 (up and down direction in the drawing) (hereinafter referred to as “when viewed in plan”), the hole extraction region 15 is within the existence range of the contact trench TR2. It may be arranged like this, and it may be arranged exceeding the existence range of contact trench TR2. The source electrode 24 filled in the contact trench TR2 is in ohmic contact with the hole extraction region 15 at the bottom surface. The hole extraction region 15 may be formed so as to cover a corner portion of the bottom surface of the contact trench TR2. The impurity concentration of the hole extraction region 15 is higher than the impurity concentration of the body region 13 and is, for example, in the range of 5 × 10 ¹⁸ to 1 × 10 ²⁰ cm ⁻³ . The hole extraction region 15 is an example of a carrier extraction region.

電界緩和領域１６は、正孔引き抜き領域１５の下方に配置されており、正孔引き抜き領域１５と下部領域１７の間に配置されており、正孔引き抜き領域１５と下部領域１７の双方に接している。電界緩和領域１６は、正孔引き抜き領域１５から離れていていもよい。この場合、電界緩和領域１６と正孔引き抜き領域１５の間に、ボディ領域１３の一部が配置される。電界緩和領域１６は、平面視したときに、コンタクト用トレンチＴＲ２の存在範囲内に収まるように配置されていてもよく、コンタクト用トレンチＴＲ２の存在範囲を超えて配置されていてもよい。また、電界緩和領域１６は、平面視したときに、正孔引き抜き領域１５の存在範囲内に収まるように配置されていてもよく、正孔引き抜き領域１５の存在範囲を超えて配置されていてもよい。電界緩和領域１６は、ドリフト領域１２とボディ領域１３の間のｐｎ接合に対応した深さに設けられており、そのｐｎ接合に隣接して配置されている。電界緩和領域１６の不純物濃度は、ボディ領域１３の不純物濃度よりも薄く、例えば５×１０¹⁵〜５×１０¹⁶ｃｍ^-3の範囲である。 The electric field relaxation region 16 is disposed below the hole extraction region 15, is disposed between the hole extraction region 15 and the lower region 17, and is in contact with both the hole extraction region 15 and the lower region 17. Yes. The electric field relaxation region 16 may be separated from the hole extraction region 15. In this case, a part of the body region 13 is disposed between the electric field relaxation region 16 and the hole extraction region 15. The electric field relaxation region 16 may be disposed so as to be within the existence range of the contact trench TR2 when viewed in plan, or may be arranged beyond the existence range of the contact trench TR2. Further, the electric field relaxation region 16 may be disposed so as to be within the existence range of the hole extraction region 15 when viewed in a plan view, or may be disposed beyond the existence range of the hole extraction region 15. Good. The electric field relaxation region 16 is provided at a depth corresponding to the pn junction between the drift region 12 and the body region 13, and is disposed adjacent to the pn junction. The impurity concentration of the electric field relaxation region 16 is thinner than the impurity concentration of the body region 13 and is, for example, in the range of 5 × 10 ^{15 to} 5 × 10 ¹⁶ cm ⁻³ .

下部領域１７は、電界緩和領域１６の下方に配置されている。下部領域１７は、平面視したときに、コンタクト用トレンチＴＲ２の存在範囲内に収まるように配置されていてもよく、コンタクト用トレンチＴＲ２の存在範囲を超えて配置されていてもよい。また、下部領域１７は、平面視したときに、電界緩和領域１６の存在範囲内に収まるように配置されていてもよく、電界緩和領域１６の存在範囲を超えて配置されていてもよい。下部領域１７の不純物濃度は、電界緩和領域１６の不純物濃度よりも濃く、例えば５×１０¹⁶〜５×１０¹⁷ｃｍ^-3の範囲である。また、下部領域１７は隣り合うゲート用トレンチＴＲ１の間に配置されており、これらゲート用トレンチＴＲ１と下部領域１７の間に一対のドリフト部分領域１２ａが配置されている。下部領域１７と一対のドリフト部分領域１２ａは、スーパージャンクション構造となるように構成されている。 The lower region 17 is disposed below the electric field relaxation region 16. The lower region 17 may be disposed so as to be within the existence range of the contact trench TR2 when viewed in plan, or may be disposed beyond the existence range of the contact trench TR2. Further, the lower region 17 may be disposed so as to be within the existence range of the electric field relaxation region 16 when viewed in plan, or may be disposed beyond the existence range of the electric field relaxation region 16. The impurity concentration of the lower region 17 is higher than the impurity concentration of the electric field relaxation region 16 and is, for example, in the range of 5 × 10 ^{16 to} 5 × 10 ¹⁷ cm ⁻³ . The lower region 17 is disposed between the adjacent gate trenches TR1, and a pair of drift partial regions 12a is disposed between the gate trench TR1 and the lower region 17. The lower region 17 and the pair of drift partial regions 12a are configured to have a super junction structure.

上記したように、半導体装置１では、コンタクト用トレンチＴＲ２の下方において、下部領域１７と電界緩和領域１６と正孔引き抜き領域１５が深さ方向に沿ってこの順で積層されている。コンタクト用トレンチＴＲ２の下方における深さ方向の不純物濃度分布を測定すると、下部領域１７と正孔引き抜き領域１５に極大値が位置し、電界緩和領域１６に極小値が位置している。換言すると、下部領域と１７と正孔引き抜き領域１５の間において、ボディ領域１３の不純物濃度よりも薄い不純物濃度の領域を電界緩和領域１６ということができる。 As described above, in the semiconductor device 1, the lower region 17, the electric field relaxation region 16, and the hole extraction region 15 are stacked in this order along the depth direction below the contact trench TR2. When the impurity concentration distribution in the depth direction below the contact trench TR <b> 2 is measured, a maximum value is located in the lower region 17 and the hole extraction region 15, and a minimum value is located in the electric field relaxation region 16. In other words, a region having an impurity concentration lower than that of the body region 13 between the lower region 17 and the hole extraction region 15 can be referred to as an electric field relaxation region 16.

トレンチゲート部３０は、ゲート用トレンチＴＲ１の上側に配置されており、ゲート電極３２及びゲート絶縁膜３４を有している。ゲート電極３２は、ドリフト領域１２とソース領域１４を隔てる位置にあるボディ領域１３にゲート絶縁膜３４を介して対向している。これにより、半導体装置１がオンするときには、ドリフト領域１２とソース領域１４を隔てる位置にあるボディ領域１３にチャネル（反転層）が形成される。 The trench gate portion 30 is disposed on the upper side of the gate trench TR1 and has a gate electrode 32 and a gate insulating film. The gate electrode 32 faces the body region 13 at a position separating the drift region 12 and the source region 14 via a gate insulating film 34. Thereby, when the semiconductor device 1 is turned on, a channel (inversion layer) is formed in the body region 13 at a position separating the drift region 12 and the source region 14.

埋設プレート部４０は、ゲート用トレンチＴＲ１の下側に配置されており、プレート電極４２及び埋設絶縁膜４４を有している。プレート電極４２は、埋設絶縁膜４４を介してドリフト領域１２に対向している。プレート電極４２は、ソース電極２４に電気的に接続されていてもよく、ゲート電極３２に電気的に接続されていてもよい。プレート電極４２がソース電極２４に電気的に接続されている場合、半導体装置１がオフしたときに、フィールドプレート効果によって埋設プレート部４０の側面に接するドリフト領域１２内に空乏層が素早く形成され、半導体装置１の耐圧が向上する。一方、プレート電極４２がゲート電極３２に電気的に接続されている場合、半導体装置１がオンしたときに、埋設プレート部４０の側面に接するドリフト領域１２内に蓄積層が形成され、半導体装置１のオン抵抗が低下する。なお、この例では、ゲート用トレンチＴＲ１の幅が深さ方向に一定の形態を例示しているが、ゲート用トレンチＴＲ１の幅は深さ方向に変わってもよい。ゲート用トレンチＴＲ１の幅は、深部に向けて先細りのテーパであってもよく、埋設プレート部４０に対応する深さとトレンチゲート部３０に対応する深さの間に段差が形成されるように埋設プレート部４０に対応する深さの幅がトレンチゲート部３０に対応する深さの幅よりも小さくてもよい。 The buried plate portion 40 is disposed below the gate trench TR1 and has a plate electrode 42 and a buried insulating film 44. The plate electrode 42 faces the drift region 12 with the buried insulating film 44 interposed therebetween. The plate electrode 42 may be electrically connected to the source electrode 24 or may be electrically connected to the gate electrode 32. When the plate electrode 42 is electrically connected to the source electrode 24, when the semiconductor device 1 is turned off, a depletion layer is quickly formed in the drift region 12 in contact with the side surface of the buried plate portion 40 by the field plate effect. The breakdown voltage of the semiconductor device 1 is improved. On the other hand, when the plate electrode 42 is electrically connected to the gate electrode 32, when the semiconductor device 1 is turned on, an accumulation layer is formed in the drift region 12 in contact with the side surface of the embedded plate portion 40, and the semiconductor device 1. The on-resistance decreases. In this example, the width of the gate trench TR1 is constant in the depth direction, but the width of the gate trench TR1 may be changed in the depth direction. The width of the gate trench TR1 may be a taper tapered toward the deep portion, and is embedded so that a step is formed between the depth corresponding to the embedded plate portion 40 and the depth corresponding to the trench gate portion 30. The width of the depth corresponding to the plate portion 40 may be smaller than the width of the depth corresponding to the trench gate portion 30.

次に、半導体装置１の動作を説明する。ソース電極２４よりも高い電圧がドレイン電極２２に印加され、ゲート電極３２に閾値電圧よりも高い電圧が印加されると、半導体装置１はオンとなる。このとき、トレンチゲート部３０の側面に接するボディ領域１３内にチャネル（反転層）が形成される。ソース領域１４から注入された電子は、ボディ領域１３内に形成されたチャネルを介してドリフト領域１２に移動し、半導体装置１がオンする。上記したように、下部領域１７と一対のドリフト部分領域１２ａは、スーパージャンクション構造となるように構成されている。このため、ドリフト部分領域１２ａの不純物濃度は比較的に濃く調整されており、ドリフト抵抗は低い。半導体装置１は、低オン抵抗という特性を有することができる。 Next, the operation of the semiconductor device 1 will be described. When a voltage higher than the source electrode 24 is applied to the drain electrode 22 and a voltage higher than the threshold voltage is applied to the gate electrode 32, the semiconductor device 1 is turned on. At this time, a channel (inversion layer) is formed in the body region 13 in contact with the side surface of the trench gate portion 30. Electrons injected from the source region 14 move to the drift region 12 through a channel formed in the body region 13, and the semiconductor device 1 is turned on. As described above, the lower region 17 and the pair of drift partial regions 12a are configured to have a super junction structure. For this reason, the impurity concentration of the drift partial region 12a is adjusted to be relatively high, and the drift resistance is low. The semiconductor device 1 can have a characteristic of low on-resistance.

ゲート電極３２に印加される電圧が閾値電圧を下回ると、ボディ領域１３内のチャネルが消失し、半導体装置１がオフとなる。上記したように、下部領域１７と一対のドリフト部分領域１２ａは、スーパージャンクション構造となるように構成されている。このため、このスーパージャンクション構造において電界強度が深さ方向に一様となり、半導体装置１は高い耐圧を有することができる。また、半導体装置１がターンオフするときに、サージ等の高電圧が印加されると、ゲート用トレンチＴＲ１の底部又はスーパージャンクション構造においてアバランシェ降伏することができる。このアバランシェ降伏で発生した正孔は、下部領域１７と電界緩和領域１６と正孔引き抜き領域１５を介して速やかにソース電極２４に排出される。これにより、半導体装置１は、オフ時において、高いアバランシェ耐量を有することができる。 When the voltage applied to the gate electrode 32 falls below the threshold voltage, the channel in the body region 13 disappears and the semiconductor device 1 is turned off. As described above, the lower region 17 and the pair of drift partial regions 12a are configured to have a super junction structure. For this reason, in this super junction structure, the electric field strength is uniform in the depth direction, and the semiconductor device 1 can have a high breakdown voltage. Further, when a high voltage such as a surge is applied when the semiconductor device 1 is turned off, an avalanche breakdown can be caused at the bottom of the gate trench TR1 or the super junction structure. The holes generated by the avalanche breakdown are quickly discharged to the source electrode 24 through the lower region 17, the electric field relaxation region 16, and the hole extraction region 15. Thereby, the semiconductor device 1 can have a high avalanche resistance when the semiconductor device 1 is off.

次に、半導体装置１の負荷短絡時の挙動を説明する。半導体装置１がオンしているときに負荷が短絡すると、ドレイン電極２２とソース電極２４の間に電源電圧に相当する高い電圧（例えば１００Ｖ）が印加される。このとき、仮に電界緩和領域１６の不純物濃度がボディ領域１３の不純物濃度よりも濃く設定されていると、ドリフト領域１２とボディ領域１３の間のｐｎ接合に隣接する電界緩和領域１６の側面近傍１６ａが高電界領域となり、この部分でアバランシェ降伏が発生することが懸念される。この側面近傍１６ａでアバランシェ降伏が発生すると、アバランシェ電流が寄生ｎｐｎトランジスタ（ドリフト領域１２とボディ領域１３とソース領域１４で構成される寄生ｎｐｎトランジスタ）のベース電流となり、寄生ｎｐｎトランジスタが動作する２次降伏が発生してしまう。特に、上記したように、コンタクト用トレンチＴＲ２を有する半導体装置１では、隣り合うゲート用トレンチＴＲ１の間隔（ゲートピッチ）が短いことから、高電界領域と寄生ｎｐｎトランジスタが近接しており、２次降伏が発生し易い。 Next, the behavior of the semiconductor device 1 when the load is short-circuited will be described. When the load is short-circuited while the semiconductor device 1 is on, a high voltage (for example, 100 V) corresponding to the power supply voltage is applied between the drain electrode 22 and the source electrode 24. At this time, if the impurity concentration of the electric field relaxation region 16 is set higher than the impurity concentration of the body region 13, the side surface vicinity 16 a of the electric field relaxation region 16 adjacent to the pn junction between the drift region 12 and the body region 13. Becomes a high electric field region, and there is a concern that avalanche breakdown occurs in this region. When an avalanche breakdown occurs near the side surface 16a, the avalanche current becomes a base current of a parasitic npn transistor (a parasitic npn transistor including a drift region 12, a body region 13, and a source region 14), and a secondary in which the parasitic npn transistor operates. Yield will occur. In particular, as described above, in the semiconductor device 1 having the contact trench TR2, since the interval (gate pitch) between the adjacent gate trenches TR1 is short, the high electric field region and the parasitic npn transistor are close to each other. Yield is likely to occur.

一方、半導体装置１では、電界緩和領域１６の不純物濃度がボディ領域１３の不純物濃度よりも薄く形成されている。これにより、半導体装置１がオンしているときに半導体装置１に大電圧が印加されても、この電界緩和領域１６の側面近傍１６ａの電界が緩和され、寄生ｎｐｎトランジスタが動作することが抑えられる。半導体装置１は、高いオン耐量という特性を有することができる。 On the other hand, in the semiconductor device 1, the impurity concentration of the electric field relaxation region 16 is formed thinner than the impurity concentration of the body region 13. As a result, even when a large voltage is applied to the semiconductor device 1 when the semiconductor device 1 is on, the electric field in the side surface vicinity 16a of the electric field relaxation region 16 is relaxed, and the parasitic npn transistor is prevented from operating. . The semiconductor device 1 can have a high on-resistance characteristic.

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。 Specific examples of the present invention have been described in detail above, but these are merely examples and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above. The technical elements described in this specification or the drawings exhibit technical usefulness alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims at the time of filing. In addition, the technology exemplified in this specification or the drawings can achieve a plurality of objects at the same time, and has technical usefulness by achieving one of the objects.

１：半導体装置
１０：半導体層
１１：ドレイン領域
１２：ドリフト領域
１３：ボディ領域
１４：ソース領域
１６：電界緩和領域
１７：下部領域
２２：ドレイン電極
２４：ソース電極
３０：トレンチゲート部
４０：埋設プレート部
ＴＲ１：ゲート用トレンチ
ＴＲ２：コンタクト用トレンチ 1: Semiconductor device 10: Semiconductor layer 11: Drain region 12: Drift region 13: Body region 14: Source region 16: Electric field relaxation region 17: Lower region 22: Drain electrode 24: Source electrode 30: Trench gate portion 40: Buried plate Part TR1: trench for gate TR2: trench for contact

Claims

A first semiconductor region of a first conductivity type;
A second semiconductor region of a second conductivity type provided on the first semiconductor region;
A third semiconductor region of a first conductivity type provided on the second semiconductor region;
A surface electrode filled in a contact trench reaching the second semiconductor region beyond the third semiconductor region;
A carrier extraction region of a second conductivity type provided below the contact trench;
An electric field relaxation region of a second conductivity type provided below the carrier extraction region and disposed adjacent to a pn junction between the first semiconductor region and the second semiconductor region;
A lower region of a second conductivity type provided below the electric field relaxation region;
The second semiconductor device is disposed in a gate trench that reaches the first semiconductor region beyond the third semiconductor region and the second semiconductor region, and is located at a position separating the first semiconductor region and the third semiconductor region. A trench gate portion facing the semiconductor region,
The surface electrode filled in the contact trench is in contact with the third semiconductor region on its side surface and in contact with the carrier extraction region on its bottom surface,
The impurity concentration of the carrier extraction region is higher than the impurity concentration of the second semiconductor region,
The impurity concentration of the electric field relaxation region is thinner than the impurity concentration of the second semiconductor region,
The semiconductor device, wherein an impurity concentration of the lower region is higher than an impurity concentration of the electric field relaxation region.

In the trench for the gate, further comprises a buried plate portion disposed below the trench gate portion,
The embedded plate portion is
A buried insulating film;
The semiconductor device according to claim 1, further comprising: a plate electrode that faces the first semiconductor region via the buried insulating film.

The semiconductor device according to claim 2, wherein the lower region constitutes a super junction structure with the adjacent first semiconductor region.