JP2019162852A - ヘッドモジュール、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドモジュールのヘッド間のノズル位置ずれを低減する。【解決手段】ヘッドモジュール１００は、液体吐出ヘッドである複数のヘッド１と、ベース部材１０２とを備え、ヘッド１のノズル板１０及び個別流路部材６０とベース部材１０２とは線膨張係数がほぼ一致し、ヘッド１のフレーム部材である共通流路部材７０とベース部材１０２とは線膨張係数が異なり、ベース部材１０２の開口部１２１にヘッド１が嵌め込まれ、個別流路部材６０の振動板３０側とベース部材１０２のフランジ部１０２ａとが接着剤６で接合され、ベース部材１０２のノズル面側と反対側の面には共通流路部材７０が同じく接着剤６で接合されて固定されている。【選択図】図１

Description

本発明はヘッドモジュール、液体を吐出する装置に関する。

複数の液体吐出ヘッドをベース部材に取り付けてヘッドモジュール（ヘッドユニット、ヘッドアレイなどとも称される。）を構成することが行われている。

従来、セラミック材料、もしくは記録素子基板と同等の線膨張係数を有する第１のプレートの主面に、複数の記録素子基板を千鳥状に配置したヘッドが知られている（特許文献１）。

特開２００７−２９６６３８号公報

複数のヘッドをベース部材に配置したヘッドモジュールにあっては、ヘッドの駆動に伴う温度変化、その他荷重や振動などによって、ベース部材と、ベース部材に固定しているヘッド構成部品との間で歪みが生じて、複数のヘッド間で位置ずれが生じるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、複数のヘッド間の位置ずれを低減することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係るヘッドモジュールは、
複数の開口部を有するベース部材と、
前記複数の開口部にそれぞれ嵌め込まれて前記ベース部材に取り付けられた複数のヘッドと、を備え、
前記ヘッドは、少なくとも、ノズルを有するノズル板と、前記ノズルに通じる個別液室を含む個別流路部材と、前記個別流路部材に固定されたフレーム部材と、を含み、
前記ノズル板及び前記個別流路部材と前記ベース部材とは線膨張係数がほぼ一致し、
前記ノズル板又は前記個別流路部材は前記ベース部材に接合されている
構成とした。

本発明によれば、複数のヘッド間の位置ずれを低減することができる。

本発明の第１実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。 同ヘッドモジュールのヘッドの一例の説明図である。 ヘッドモジュールの各部品の線膨張係数の差によって生じる各部の変形の状態の説明に供する説明図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。 同じくフレーム部材と共通流路部材との固定部分の拡大断面説明図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第４実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第５実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第６実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う断面説明図である。 本発明の第７実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド短手方向に沿う断面説明図である。 同ヘッドモジュールの分解斜視説明図である。 同じくベース部材、ヘッド及びカバー部材の分解斜視説明図である。 同ヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。図１は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図、図２はヘッドの一例の説明図である。

ヘッドモジュール１００は、液体を吐出する液体吐出ヘッドである複数のヘッド１と、ベース部材１０２とを備えている。

複数のヘッド１は、ノズルを形成したノズル板１０と、ノズルに通じる個別液室などを形成する個別流路板２０及び圧電素子を一体に設けた振動板３０とを含む個別流路部材（アクチュエータ基板）６０と、共通流路を形成する共通流路部材７０とを備えている。

共通流路部材７０は、このヘッド１のフレーム部材も構成し、ヘッド並び方向の両端部にフランジ部７０ａを設けている。

ベース部材１０２には、ヘッド１を嵌め込む複数の開口部１２１が設けられている。このベース部材１０２のヘッド１のノズル面側には、開口部１２１の周囲に内側に突き出したフランジ部１０２ａが設けられている。

そして、ベース部材１０２の開口部１２１にヘッド１が嵌め込まれ、個別流路部材６０の振動板３０側（フレーム部材側）とベース部材１０２のフランジ部１０２ａとが接着剤６で接合されている。

また、ベース部材１０２のノズル面側と反対側の面には、フレーム部材である共通流路部材７０が同じく接着剤６で接合されて固定されている。

ここで、ノズル板１０及び個別流路部材６０とベース部材１０２とは、線膨張係数がほぼ一致している。具体的には、ノズル板１０及び個別流路部材６０の線膨張係数ａとベース部材１０２の線膨張係数ｂとの差（ａ−ｂ）は、ノズル板１０及び個別流路部材６０の線膨張係数ａの２５％以内としている。本実施形態では、この範囲内（２５％以内）にある場合を「ほぼ一致している」としている。なお、好ましくは、線膨張係数ａと線膨張係数ｂとの差（ａ−ｂ）は、線膨張係数ａの１５％以内とする。


一方、フレーム部材である共通流路部材７０とベース部材１０２とは線膨張係数が異なっている。

例えば、ノズル板１０及び個別流路部材６０は、シリコン単結晶基板で形成し、共通流路部材７０は熱可塑性樹脂で形成している。一方、ベース部材１０２は、ＦｅとＮｉを主成分とした４２ａｌｌｏｙ（アロイ）や、インバー材などで形成している。シリコン単結晶基板は線膨張係数が約３．４ｐｐｍであり、インバー材は約３．０ｐｐｍ、４２アロイは約４．２ｐｐｍである。

このとき、シリコン単結晶基板のノズル板１０及び個別流路部材６０の線膨張係数ａ＝３．４である。ベース部材１０２がインバー材の場合、線膨張係数ｂ＝３．０であるので、（ａ−ｂ）／ａ＝｜（３．４−３．０）／３．４｜＝０．１２となる。また、ベース部材１０２が４２アロイの場合、線膨張係数ｂ＝４．２であるので、｜（３．４−４．２）／３．４｜＝０．２４となる。

したがって、ベース部材１０２の線膨張係数とシリコン単結晶基板からなるノズル板１０及び個別流路部材６０の線膨張係数とはほぼ一致し、温度による膨張はほとんど生じない。特に、インバー材とシリコン単結晶基板の線膨張係数は近いので、ベース部材をインバー材で形成することが好ましい。

一方、共通流路部材７０の線膨張係数はベース部材１０２の線膨張係数よりも大きく、温度によってベース部材１０２やノズル板１０及び個別流路部材６０よりも膨張が相対的に大きくなる。

このように、熱膨張の小さいベース部材１０２と個別流路部材６０を接合している。これにより、温度変化などが生じた場合でも、他のヘッド１との関係におけるノズル板１０のノズル位置の相対位置ずれが低減される。

この点について、具体的に図３を参照して説明する。図３は各部品の線膨張係数の差によって生じる各部の変形の状態の説明に供する説明図である。

図３（ａ）は、ベース部材１０２と個別流路部材６０とを接合するとともに、ベース部材１０２とフレーム部材である共通流路部材７０を接合した本実施形態の構成である。

図３（ｂ）はベース部材１０２とフレーム部材である共通流路部材７０を接合した比較例１の構成である。

ここで、温度が上昇した場合の変形を、本実施形態では図３（ｃ）に破線で、比較例１では図３（ｄ）に破線でそれぞれ示している。いずれも、ヘッド１の変形は、共通流路部材７０側が大きく、個別流路部材６０及びノズル板１０が小さくなる。共通流路部材７０と個別流路部材６０との境界部は、接着されているため中間の変形量となる。

このとき、本実施形態の構成ではベース部材１０２は共通流路部材７０及び個別流路部材６０と接合しており、線膨張係数が小さい部品同士も接合している。

したがって、本実施形態では、温度上昇前の図３（ａ）の状態から温度上昇後の図３（ｃ）の状態への変化に伴うノズル位置ずれは、長さａと長さｂの差分（ｂ−ａ）となる。

これに対し、比較例１の構成ではベース部材１０２は共通流路部材７０とのみ接合している。

そのため、比較例１では、温度上昇前の図３（ｂ）の状態から温度上昇後の図３（ｄ）の状態への変化に伴うノズル位置ずれ、長さａと長さｃの差分（ｃ−ａ）となる。

ここで、本実施形態の位置ずれ量（ｂ−ａ）は、比較例１の位置ずれ量（ｃ−ａ）よりも小さくなる。

なお、図３（ｂ）、図３（ｄ）に破線で示すように、ベース部材１０２も変形を生じるが、線膨張係数は個別流路部材６０とほぼ一致しているので、双方の部品が同様に変形する。そのためベース部材１０２を基準とした場合のノズル位置ずれは小さい。

また、ここでは、ベース部材１０２とヘッド１間の接合は片方向（長手方向）の両端部としているが、短手方向の支持でも同様であり、また、長手方向及び短手方向を支持する両側支持であっても同様である。

さらに、ノズル面をキャッピングする場合、ヘッド１にチューブ接続を行う場合など、押圧によってヘッド１が加圧されることがある。そこで、本実施形態のように、個別流路部材６０とベース部材１０２とを接合するだけでなく、共通流路部材７０とベース部材１０２とを固定することで、比較例１よりも、荷重や振動ストレスに対する耐性が向上する。

次に、本発明の第２実施形態について図４及び図５を参照して説明する。図４は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図、図５は同じくフレーム部材と共通流路部材との固定部分の拡大断面説明図である。

本実施形態では、ベース部材１０２と個別流路部材６０とは接着剤６で接合している。また、ベース部材１０２に固定した樹脂ピン７によって、ベース部材１０２と共通流路部材７０とを加締ることで、共通流路部材７０をベース部材１０２に固定している。

樹脂ピン７は、熱可塑性樹脂を材料としており、樹脂ピン７の先端部を加熱した状態で先端を押しつぶすことで加締めが完了する。ここで、樹脂ピン７による加締め部７ａは、樹脂が共通流路部材７０の平面に追従し変形する。また、樹脂ピン７の軸部７ｂは共通液室部材７０の穴７０ｂの径よりも小さいので、隙間が存在するが、加熱は樹脂ピン７の先端部のみに行うことで、樹脂ピン７の軸部７ｂが共通流路部材７０の穴７０ｂを埋めることはない。

このような構成とすることで、共通流路部材７０は穴７０ｂと樹脂ピン７の軸部７ｂとの隙間分ベース部材１０２に対して相対移動することができる。これにより、熱による変形が相対的に大きくなる長手方向の変形を吸収することができ、よりノズル位置ずれが小さくなる。また、加締で固定することにより、荷重や振動ストレスに対して強度がより向上する。

次に、本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。

本実施形態では、ヘッド１のフレーム部材を兼ねる共通流路部材７０に樹脂ピン７を固定し、ベース部材１０２にフランジ部１０２ｂを設けて、樹脂ピン７をフランジ部１０２ｂに通して加締めで固定している。

このように、樹脂で成形した共通流路部材７０に樹脂ピン７を設けることでコスト及び工数の削減を図れる。

次に、本発明の第４実施形態について図７を参照して説明する。図７は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。

本実施形態では、ヘッド１のノズル板１０の周縁部をベース部材１０２のフランジ部１０２ａに固定している。なお、共通流路部材７０側は前記第３実施形態と同様である。

ノズル板１０はシリコン単結晶基板からなり、ベース部材１０２はインバー材で形成しているので、第１実施形態において説明したように、温度変化などが生じた場合でも、他のヘッド１との関係におけるノズル板１０のノズル位置の相対位置ずれが低減される

このように構成することで、ベース部材１０２のフランジ部１０２ａがノズルカバー（カバー部材）の機能を有し、ノズル板１０のノズル面と例えば印刷媒体との接触を低減することができる。つまり、ベース部材１０２の一部をカバー部材とすることができる。

次に、本発明の第５実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。

本実施形態では、ベース部材１０２にカバー部材１０３を接合し、このカバー部材１０３にヘッド１のノズル板１０の周縁部を接合している。なお、共通流路部材７０側は前記第３実施形態と同様である。

カバー部材１０３はノズル板１０に形成されたノズルを露出するための開口が形成されたプレートである。ノズル板１０はシリコン単結晶基板からなり、カバー部材１０３はインバー材で形成されている。

これにより、第１実施形態において説明したように、温度変化などが生じた場合でも、他のヘッド１との関係におけるノズル板１０のノズル位置の相対位置ずれが低減される。

カバー部材１０３は圧延工程など製作することができ、部品コストを低減することができる。また、ノズル面の周縁部を覆うカバー部材１０３は、ノズル面と印刷媒体とのギャップの関係上薄い方が好ましく、ベース部材１０２のカバー部材１０３を接合することで、ギャップを容易に狭くすることができる。

次に、本発明の第６実施形態について図９を参照して説明する。図９は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド長手方向に沿う要部断面説明図である。

本実施形態のヘッド１は、ノズル板１０の外形が個別流路部材６０の外形よりも小さく形成されている。

そして、ベース部材１０２にカバー部材１０３を接合し、このカバー部材１０３にヘッド１の個別流路部材６０の周縁部を接合している。なお、共通流路部材７０側は前記第２実施形態と同様である。本実施形態では、カバー部材１０３をベース部材１０２と別体ではあるが、ベース部材１０２にカバー部材１０３を接合しているので、ベース部材１０２がカバー部材１０３を有している例である。

カバー部材１０３はノズル板１０に形成されたノズルを露出するための開口が形成されたプレートである。個別流路部材６０はシリコン単結晶基板からなり、カバー部材１０３はインバー材で形成されている。カバー部材１０３はベース部材１０２と同じ材料で構成されている。

これにより、第１実施形態において説明したように、温度変化などが生じた場合でも、他のヘッド１との関係におけるノズル板１０のノズル位置の相対位置ずれが低減される。

次に、本発明の第７実施形態について図１０ないし図１３を参照して説明する。図１０は同実施形態に係るヘッドモジュールのヘッド短手方向に沿う断面説明図、図１１は同ヘッドモジュールの分解斜視説明図、図１２は同じくベース部材、ヘッド及びカバー部材の分解斜視説明図、図１３は同ヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。

ヘッドモジュール１００は、液体を吐出する液体吐出ヘッドである複数のヘッド１と、ベース部材１０２と、カバー部材１０３と、放熱部材１０４と、マニホールド１０５と、プリント基板（ＰＣＢ）１０６と、モジュールケース１０７とを備えている。

複数のヘッド１は、ノズル１１を形成したノズル板１０と、ノズル１１に通じる個別液室２１などを形成する個別流路板２０と、圧電素子４０を含む振動板３０と、振動板３０に積層した中間流路板５０と、中間流路板５０に積層した共通流路部材７０などを備えている。

個別流路板２０は、個別液室２１とともに、個別液室２１に通じる供給側個別流路２２、個別液室２１に通じる回収側個別流路２４を形成している。

中間流路板５０は、供給側個別流路２２に振動板３０の開口３１を介して通じる供給側中間個別流路５１と、回収側個別流路２４に振動板３０の開口３２を介して通じる回収側中間個別流路５２とを形成している。

共通流路部材７０は、供給側中間個別流路５１に通じる供給側共通流路７１と、回収側中間個別流路５２に通じる回収側共通流路７２を形成している。供給側共通流路７１はマニホールド１０５の流路１５１を介して供給ポート８１に通じている。回収側共通流路７２はマニホールド１０５の流路１５２を介して回収ポート８２に通じている。

プリント基板１０６とヘッド１の圧電素子４０とはフレキシブル配線部材９０を介して接続され、フレキシブル配線部材９０にはドライバＩＣ（駆動回路）９１が実装されている。

本実施形態では、複数のヘッド１が間隔を空けてベース部材１０２に取付けられている。ヘッド１のベース部材１０２への取付けは、ベース部材１０２に設けた開口部１２１にヘッド１を挿入し、ベース部材１０２に接合固定したカバー部材１０３に、ヘッド１の個別流路板２０の周縁部を接合して固定している。また、ヘッド１の共通流路部材７０の外部に設けたフランジ部７０ａをベース部材１０２に接合して固定している。

なお、ヘッド１とベース部材１０２に固定構造は限定されるものではなく、接着、カシメ、ねじ固定などで行うことができる。

ここで、ベース部材１０２は線膨張係数が低い材料で形成されていることが好ましい。例えば、鉄にニッケルを添加した４２ａｌｌｏｙ（アロイ）や、インバー材などを挙げることができる。本実施形態では、インバー材を使用している。これにより、ヘッド１が発熱して、ベース部材１０２の温度が上昇しても、ベース部材１０２の膨張量が少ないため、所定のノズル位置からのノズルのずれが生じにくくなり、着弾位置ずれを抑制できる。

同様に、ノズル板１０及び個別流路板２０、振動板３０はシリコン単結晶基板で形成し、ベース部材１０２の線膨張係数を略同じにしている。

これにより、熱膨張によるノズル位置ずれを低減することができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１４及び図１５を参照して説明する。図１４は同装置の概略説明図、図１５は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。

この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。

連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。

この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷される。

ここで、ヘッドユニット５５０には、図１３に示すように、本発明に係る２つのヘッドモジュール１００Ａ、１００Ｂを共通ベース部材５５２に備えている。

そして、ヘッドモジュール１００の搬送方向と直交する方向におけるヘッド１の並び方向をヘッド配列方向とするとき、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ａ１，１Ａ２で同じ色の液体を吐出する。同様に、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ｂ１、１Ｂ２を組とし、ヘッドモジュール１００Ｂのヘッド列１Ｃ１、１Ｃ２を組とし、ヘッド列１Ｄ１、１Ｄ２を組として、それぞれ所要の色の液体を吐出する。

なお、本発明に係るヘッドモジュールは、機能部品、機構と一体化して液体吐出ユニットを構成することができる。例えば、ヘッドモジュールと、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを組み合わせることができる。

ここで、一体化とは、例えば、ヘッドモジュールと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、ヘッドモジュールと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

また、本発明における「液体を吐出する装置」には、ヘッドモジュール又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ヘッド
１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 個別流路板
３０ 振動板
６０ 個別流路部材
７０ 共通流路部材
１００ ヘッドモジュール
１０２ ベース部材
１０３ カバー部材
１０５ マニホールド
１０６ プリント基板
１０８ モジュールケース
５００ 液体を吐出する装置（印刷装置）
５５０ ヘッドユニット

Claims (10)

1. 複数の開口部を有するベース部材と、
   前記複数の開口部にそれぞれ嵌め込まれて前記ベース部材に取り付けられた複数のヘッドと、を備え、
   前記ヘッドは、少なくとも、ノズルを有するノズル板と、前記ノズルに通じる個別液室を含む個別流路部材と、前記個別流路部材に固定されたフレーム部材と、を含み、
   前記ノズル板及び前記個別流路部材と前記ベース部材とは線膨張係数がほぼ一致し、
   前記ノズル板又は前記個別流路部材は前記ベース部材に接合されている
   ことを特徴とするヘッドモジュール。
2. 前記ノズル板のノズル面の周縁部が前記ベース部材に接合されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のヘッドモジュール。
3. 前記ベース部材は、前記ノズル板の周縁部を覆うカバー部材を有している
   前記ノズル板の周縁部が前記カバー部材に接合されている
   ことを特徴とする請求項２に記載のヘッドモジュール。
4. 前記個別流路部材の前記フレーム部材側が前記ベース部材に接合されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のヘッドモジュール。
5. 前記フレーム部材と前記ベース部材とは線膨張係数が異なり、
   前記フレーム部材と前記ベース部材が固定されている
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドモジュール。
6. 前記フレーム部材と前記ベース部材とは、いずれか一方に設けられたピン部材で加締固定されている
   ことを特徴とする請求項５に記載のヘッドモジュール。
7. 前記フレーム部材と前記ベース部材に対して面内方向のいずれか及び面外方向の少なくともいずれかの方向が規制されている
   ことを特徴とする請求項５又は６に記載のヘッドモジュール。
8. 前記ベース部材は、前記ノズル板の周縁部を覆うカバー部材を有しており、
   前記個別流路部材の周縁部が前記カバー部材に接合されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のヘッドモジュール。
9. 前記ヘッドが液体を吐出する液体吐出ヘッドである
   ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のヘッドモジュール。
10. 請求項９に記載のヘッドモジュールを備えている
    ことを特徴とする液体を吐出する装置。

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