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JP2019032474A - Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board Download PDF

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JP2019032474A JP2017154489A JP2017154489A JP2019032474A JP 2019032474 A JP2019032474 A JP 2019032474A JP 2017154489 A JP2017154489 A JP 2017154489A JP 2017154489 A JP2017154489 A JP 2017154489A JP 2019032474 A JP2019032474 A JP 2019032474A
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Abstract

【課題】本硬化後の塗膜の高解像性を満たしつつ、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりを抑制することが可能な感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよび硬化物を提供すること。【手段】アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物であって、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃40分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をA(°)、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃70分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をB(°)、とした場合に、Aが75.0°以上であり、R80(%)=|(B−A)/A|×100で表される変化率R80が3.0以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物とする。【選択図】なしA photosensitive resin composition, a dry film, and a photosensitive resin composition capable of suppressing clogging of a developing device due to contamination of a developing solution and precipitates in a developing process while satisfying high resolution of a coating film after main curing. To provide a cured product. A photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin, wherein the contact angle of water on the dried coating film when the coating film formed by applying the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 40 minutes. A (°), when the contact angle of water in the dried coating film when the coating film formed by applying the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 70 minutes is B (°), A is 75. 0.080 or more, and a rate of change R80 represented by R80 (%) = | (BA) / A | × 100 is 3.0 or less, which is a photosensitive resin composition. [Selection diagram] None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物に関し、より詳細には、アルカリ可溶性樹脂を含有するアルカリ現像型の感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、およびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more particularly to an alkali development type photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin, a dry film, a cured product, and a printed wiring board.

近年、携帯電話やパソコンあるいはタッチパネルディスプレイ等において、小型化、高密度化、高精細化等の要求が高まっており、これらに形成されるプリント配線板のソルダーレジストやカバーレイや層間絶縁等の絶縁層あるいは導電回路や電極等のファイン化が従来にも増して求められるようになってきている。   In recent years, there has been an increasing demand for miniaturization, high density, high definition, etc. in mobile phones, personal computers, touch panel displays, etc., and insulation such as solder resist, coverlay and interlayer insulation of printed wiring boards formed on these. Refinement of layers, conductive circuits, electrodes, and the like has been increasingly demanded.

このような要求に対し、パターン印刷法に比べて高精細なパターニングが可能なフォトリソグラフィ法を適用するために、感光性樹脂組成物からなる絶縁ペーストや導電ペーストを用いて絶縁層や導電回路等が形成されている(例えば、特許文献1〜6を参照)。また環境問題への配慮から、現像の際の現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型の絶縁ペーストや導電ペーストが共に主流になっている。   In response to such a demand, in order to apply a photolithography method capable of high-definition patterning compared to the pattern printing method, an insulating layer or a conductive circuit using an insulating paste or a conductive paste made of a photosensitive resin composition is used. (For example, refer to Patent Documents 1 to 6). In consideration of environmental problems, both alkaline development type insulating pastes and conductive pastes using a dilute alkaline aqueous solution as a developing solution at the time of development are mainly used.

特開2014−101412号公報JP 2014-101212 A 特開2013−137511号公報JP2013-137511A 特開2013−136727号公報JP 2013-136727 A 国際公開第2010/113287号パンフレットInternational Publication No. 2010/113287 Pamphlet 特開2014−167090号公報JP 2014-167090 A 特開2015−026013号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-026013

しかしながら、絶縁ペーストや導電ペーストに使用される上記したようなアルカリ現像タイプの感光性樹脂組成物は、現像工程において現像液に溶解した感光性樹脂組成物の成分が現像液の底部に沈殿し、現像液を汚染させてしまうという問題があった。現像液の汚染が進行すると、現像装置も汚染されてしまい、現像能力が低下してしまう。また、現像液に沈殿した成分が残渣物となって、現像装置が目詰まりを起こすという問題も生じていた。そのため、現像能力を低下させないために現像液の交換頻度を多くしたり、現像装置の洗浄を短期間で行う必要があり、作業性に劣るという問題もあった。   However, the alkali development type photosensitive resin composition used in the insulating paste and the conductive paste as described above, the components of the photosensitive resin composition dissolved in the developer in the development step are precipitated at the bottom of the developer, There was a problem of contaminating the developer. When the contamination of the developing solution proceeds, the developing device is also contaminated and the developing ability is lowered. In addition, there has been a problem that the component precipitated in the developer becomes a residue and the developing device is clogged. For this reason, there is a problem that workability is inferior because it is necessary to increase the replacement frequency of the developer or to clean the developing device in a short period of time in order not to lower the developing ability.

そこで本発明の目的は、本硬化後の塗膜の高解像性を満たしつつ、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりを抑制することが可能な感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよび硬化物を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of suppressing contamination of the developing solution and clogging of the developing device due to precipitates in the developing process while satisfying the high resolution of the coating film after the main curing. It is in providing a dry film and hardened | cured material.

ところで、感光性樹脂組成物の乾燥塗膜を現像する際に現像管理幅(以下、現像ライフともいう。)が設けられている。現像管理幅とは、塗布により形成された塗膜を乾燥させる際の乾燥時間の幅をいう。乾燥塗膜の現像管理幅が広いと、塗布により形成された塗膜を乾燥させる際の乾燥時間を長くすることができることより、感光性樹脂組成物中の残留溶剤を十分に揮発させることができるため、光硬化性や指触乾燥性等の塗膜特性が良好となる。従って、工程管理上、一定以上の現像管理幅が必要とされている。本発明者等は、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりの原因が、感光性樹脂組成物を用いて形成された塗膜を乾燥する際の熱履歴による現像管理幅にあることを見出した。すなわち、現像管理幅が狭いと、現像管理幅が広いものに比べて現像状態が悪くなり、現像される乾燥塗膜の状態も異なることにより、沈殿物も生じやすくなり、現像液が汚染され、さらには現像装置の目詰まりが生じることを見出した。   By the way, when developing the dry coating film of the photosensitive resin composition, a development management width (hereinafter also referred to as development life) is provided. The development management width refers to the width of the drying time when the coating film formed by coating is dried. When the development control width of the dried coating film is wide, the drying time when drying the coating film formed by coating can be extended, and thus the residual solvent in the photosensitive resin composition can be sufficiently volatilized. Therefore, the coating film properties such as photocurability and finger drying are improved. Therefore, a development management width of a certain level or more is required for process management. The inventors of the present invention have stated that the development control range based on the thermal history when drying the coating film formed using the photosensitive resin composition is caused by contamination of the developer in the development process or clogging of the developing device due to precipitates. I found out. That is, when the development management width is narrow, the development state is worse than that with a wide development management width, and the state of the dry coating film to be developed is different, so that precipitates are easily generated, and the developer is contaminated. Furthermore, it has been found that clogging of the developing device occurs.

さらに、本発明者等は鋭意研究した結果、感光性樹脂組成物の乾燥塗膜における水の接触角に着目し、水の接触角が特定の数値を示し、且つ、特定の式を満たせば、感光性樹脂組成物に一定以上の現像ライフを付与でき、上記課題を解決できるとの知見を得た。本発明は係る知見によるものである。   Furthermore, as a result of diligent research, the present inventors focused on the contact angle of water in the dried coating film of the photosensitive resin composition, the contact angle of water shows a specific numerical value, and satisfies a specific formula, The inventors have obtained knowledge that a photosensitive resin composition can be provided with a certain development life or more and can solve the above-mentioned problems. The present invention is based on such knowledge.

すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物であって、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃40分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をA(°)、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃70分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をB(°)、とした場合に、
Aが75.0°以上であり、
80(%)=|(B−A)/A|×100
で表される変化率R80が3.0以下であることを特徴とするものである。
That is, the photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin,
The contact angle of water in the dried coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 40 minutes is A (°),
When the contact angle of water in the dry coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 70 minutes is B (°),
A is 75.0 ° or more,
R 80 (%) = | (B−A) / A | × 100
The change rate R 80 represented by the formula is 3.0 or less.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物であって、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を90℃20分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をC(°)、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を90℃35分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をD(°)、とした場合に、
Cが75.0°以上であり、
90(%)=|(D−C)/C|×100
で表される変化率R90が3.0以下であることを特徴とするものである。
The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin,
The contact angle of water in the dried coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 90 ° C. for 20 minutes is C (°),
When the contact angle of water in the dry coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 90 ° C. for 35 minutes is defined as D (°),
C is 75.0 ° or more,
R 90 (%) = | (D−C) / C | × 100
The change rate R 90 represented by the formula is characterized by being 3.0 or less.

また、本発明の別の態様によるドライフィルムは、上記感光性樹脂組成物をフィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。   Moreover, the dry film by another aspect of this invention has a resin layer obtained by apply | coating the said photosensitive resin composition to a film, and drying, It is characterized by the above-mentioned.

また、本発明の別の態様による硬化物は、上記感光性樹脂組成物または上記ドライフィルムを硬化させて得られることを特徴とするものである。   Moreover, the hardened | cured material by another aspect of this invention is obtained by hardening the said photosensitive resin composition or the said dry film, It is characterized by the above-mentioned.

さらに、本発明の別の態様によるプリント配線板は、上記硬化物を有することを特徴とするものである。   Furthermore, the printed wiring board by another aspect of this invention has the said hardened | cured material, It is characterized by the above-mentioned.

本発明によれば、本硬化後の塗膜の高解像性を満たしつつ、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりを抑制することが可能な感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよび硬化物を提供することができる。   According to the present invention, a photosensitive resin composition capable of suppressing clogging of a developing device due to contamination of a developing solution and a precipitate in a developing process while satisfying high resolution of a coating film after main curing, Dry films and cured products can be provided.

本発明の第1の実施形態による感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有するものであり、乾燥塗膜とした際の水の接触角が特定の関係を有するものである。すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃40分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をA(°)、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃70分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をB(°)、とした場合に、
Aが75.0°以上であり、
80(%)=|(B−A)/A|×100
で表される変化率R80が3.0以下であることを特徴とする。
The photosensitive resin composition by the 1st Embodiment of this invention contains alkali-soluble resin, and the contact angle of water at the time of setting it as a dry coating film has a specific relationship. That is, the photosensitive resin composition of the present invention has a water contact angle A (°) in the dry coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 40 minutes. When the contact angle of water in the dry coating film when the coating film formed by application of the conductive resin composition is dried at 80 ° C. for 70 minutes is B (°),
A is 75.0 ° or more,
R 80 (%) = | (B−A) / A | × 100
The change rate R 80 represented by the formula is characterized by being 3.0 or less.

また、本発明の第2の実施形態による感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有するものであり、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を90℃20分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をC(°)、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を90℃35分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をD(°)、とした場合に、
Cが75.0°以上であり、
90(%)=|(D−C)/C|×100
で表される変化率R90が3.0以下であることを特徴とするものである。
Further, the photosensitive resin composition according to the second embodiment of the present invention contains an alkali-soluble resin, and when a coating film formed by applying the photosensitive resin composition is dried at 90 ° C. for 20 minutes. The contact angle of water in the dried coating film was C (°), and the contact angle of water in the dried coating film when the coating film formed by applying the photosensitive resin composition was dried at 90 ° C. for 35 minutes was D (° ), And
C is 75.0 ° or more,
R 90 (%) = | (D−C) / C | × 100
The change rate R 90 represented by the formula is characterized by being 3.0 or less.

本発明者等は鋭意研究した結果、感光性樹脂組成物の乾燥塗膜における水の接触角が上記のような関係を満たすことにより、一定以上の現像ライフを付与でき、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置詰まりを防止することを見出した。この理由は必ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。一般的に、水に対する接触角は小さいと親水性である。しかしながら、乾燥塗膜の場合、親水性が強いとアルカリ現像液が乾燥塗膜になじみやすくなり、却って現像しづらくなるという問題がある。本発明においては、感光性樹脂組成物の乾燥塗膜における水の接触角を75.0°以上とすることで、アルカリ現像液が組成物の乾燥塗膜と適度ななじみ具合となり、現像されやすくなる。さらに、乾燥塗膜を形成する際の乾燥条件が変わってもその状態を維持することで、適度な現像状態をも維持され、その結果、現像された乾燥塗膜に起因した沈殿物も生じにくくなり、現像液の汚染や現像装置の目詰まりが生じなくなったものと推測される。しかしながら、上記のメカニズムはあくまでも本発明者らの推測であって、必ずしもこの理論に拘束されるものではない。   As a result of diligent research, the present inventors have been able to provide a development life of a certain level or more when the contact angle of water in the dry coating film of the photosensitive resin composition satisfies the relationship as described above. It has been found that the developing device is prevented from being clogged with contamination and precipitates. The reason for this is not necessarily clear, but is considered as follows. In general, a small contact angle with water is hydrophilic. However, in the case of a dry coating film, if the hydrophilicity is strong, there is a problem that the alkali developer is easily adapted to the dry coating film, which makes it difficult to develop. In the present invention, when the contact angle of water in the dry coating film of the photosensitive resin composition is 75.0 ° or more, the alkali developer becomes intimately compatible with the dry coating film of the composition and is easily developed. Become. Furthermore, even if the drying conditions when forming the dried coating film are changed, by maintaining the state, an appropriate development state can be maintained, and as a result, a precipitate due to the developed dried coating film is hardly generated. Thus, it is presumed that the developer is not contaminated and the developing device is not clogged. However, the mechanism described above is only a guess of the present inventors, and is not necessarily bound by this theory.

ここで、接触角とは、JIS R3257:1999に定義されたものであり、本発明においては、水の接触角により接触角を規定する。また、本発明において、水とはイオン交換水のことをいい、具体的には、装置(オルガノ株式会社製ピュアライトPRO−0250−003)で作製した処理水水質が1μS/cm以下のイオン交換水を用いる。測定方法の一例としては、以下の方法が挙げられる。
水の接触角は、接触角計としてDropMaster DM300、界面測定解析総合システムとしてFAMS(ともに協和界面科学株式会社製)を用いて、下記条件で真円フィッティング法によって測定および解析することができる。
<測定条件および測定方法>
・先ず、界面測定解析統合システムを起動し、CA/PDコントローラを立ち上げる。その際、コントローラの画面にある「視野」は「スタンダード」を選択する。次に、イオン交換水をプラスチックシリンジに入れ、その先端にステンレス製の針(22番ゲージ)を取り付けて試験片の表面(乾燥塗膜表面)に滴下する。滴下の際、接触角計に付属するカメラの焦点が合っていることを確認する。滴下直後にコントローラの画面にある「測定」ボタンを押す。
・測定に使用する水:装置(オルガノ株式会社製ピュアライトPRO−0250−003)で作製した処理水水質が1μS/cm以下のイオン交換水
・水の滴下量:2μL
・測定温度:20℃
・レンズの視野範囲:スタンダード
続いて、水を滴下した直後の接触角を、水平に置かれた試験片上の任意の5か所で測定し、かかる測定結果の平均値を水の接触角とする。ここで、任意の5か所の接触角の値は、それぞれ「測定」ボタンを押すことにより自動で算出される値とする。
本発明においては、AまたはCが75.0°以上であることを特徴とする。AまたはCの好ましい値は、80.0°以上である。また、AまたはCの上限としては120.0°以下であることが好ましく、110.0°以下であることがより好ましい。また、本発明においては、上記式より算出される接触角の変化率R80またはR90が3.0%以下であり、好ましくは、2.5%以下である。
Here, the contact angle is defined in JIS R3257: 1999, and in the present invention, the contact angle is defined by the contact angle of water. In the present invention, water means ion-exchanged water. Specifically, the quality of treated water produced by an apparatus (Purelite PRO-0250-003 manufactured by Organo Corporation) is 1 μS / cm or less. Use water. The following method is mentioned as an example of the measuring method.
The contact angle of water can be measured and analyzed by a perfect circle fitting method under the following conditions using DropMaster DM300 as a contact angle meter and FAMS (both manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) as an interface measurement analysis comprehensive system.
<Measurement conditions and measurement method>
First, start up the interface measurement analysis integrated system and start up the CA / PD controller. At that time, “standard” is selected as the “field of view” on the controller screen. Next, ion-exchanged water is put into a plastic syringe, and a stainless needle (22 gauge) is attached to the tip of the ion-exchanged water and dropped onto the surface of the test piece (the surface of the dried coating film). When dripping, make sure that the camera attached to the contact angle meter is in focus. Immediately after dropping, press the “Measure” button on the controller screen.
-Water used for measurement: Ion-exchanged water having a treated water quality of 1 µS / cm or less prepared with an apparatus (Purelite PRO-0250-003 manufactured by Organo Corporation)-Drop amount of water: 2 µL
・ Measurement temperature: 20 ℃
Lens field of view range: Standard Next, the contact angle immediately after dripping water is measured at any five locations on a horizontally placed test piece, and the average value of the measurement results is taken as the water contact angle. . Here, the values of the contact angles at five arbitrary positions are values automatically calculated by pressing the “measure” button.
In the present invention, A or C is 75.0 ° or more. A preferable value of A or C is 80.0 ° or more. Moreover, as an upper limit of A or C, it is preferable that it is 120.0 degrees or less, and it is more preferable that it is 110.0 degrees or less. In the present invention, the contact angle change rate R 80 or R 90 calculated from the above formula is 3.0% or less, preferably 2.5% or less.

本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする。また、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂以外の成分として任意の成分が含まれていてもよい。例えばソルダーレジストのような絶縁性樹脂組成物として感光性樹脂組成物を使用する場合には、光重合開始剤、フィラー、反応性希釈剤、熱硬化性成分等が含まれていてもよい。また、導電性樹脂組成物としては、感光性樹脂組成物を使用する場合には、光重合開始剤、フィラー、反応性希釈剤、熱硬化性成分、有機酸等の各成分が含まれていてもよい。   The photosensitive resin composition of the present invention is characterized by containing an alkali-soluble resin. Moreover, the photosensitive resin composition of this invention may contain arbitrary components as components other than alkali-soluble resin. For example, when using a photosensitive resin composition as an insulating resin composition such as a solder resist, a photopolymerization initiator, a filler, a reactive diluent, a thermosetting component, and the like may be included. Moreover, as a conductive resin composition, when using a photosensitive resin composition, each component, such as a photoinitiator, a filler, a reactive diluent, a thermosetting component, and an organic acid, is contained. Also good.

一方、感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃40分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角Aや塗布により形成された塗膜を90℃20分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角Cを75.0°以上とするには、感光性樹脂組成物の組成を調整する必要がある。調整の仕方としては、特に制限されることはないが、有機成分の調整として、例えば、メチル基やフルオレン骨格を有するものを使用したり、有機酸、高級脂肪酸系、スチレン・アクリル系、スチレン・マレイン酸系、ポリアクリルアミド系、アルキルケテンダイマー系、アルケニルコハク酸無水物系、石油系等の添加剤や、シリコーン系消泡剤を含有させるとよいが、これらに限られるものではない。   On the other hand, when the coating film formed by coating the photosensitive resin composition was dried at 80 ° C. for 40 minutes, the contact angle A of water in the dried coating film and the coating film formed by coating were dried at 90 ° C. for 20 minutes. In order to set the contact angle C of water in the dry coating film at 75.0 ° or more, it is necessary to adjust the composition of the photosensitive resin composition. The method of adjustment is not particularly limited, but for the adjustment of the organic component, for example, a compound having a methyl group or a fluorene skeleton, an organic acid, a higher fatty acid type, a styrene / acrylic type, a styrene / Maleic acid-based, polyacrylamide-based, alkyl ketene dimer-based, alkenyl succinic anhydride-based additives, petroleum-based additives, and silicone-based antifoaming agents may be included, but are not limited thereto.

また、感光性樹脂組成物の乾燥塗膜を形成する際の乾燥条件が変わっても接触角を一定の範囲に維持すること、即ち、R80またはR90を3.0%以下とすることも、感光性樹脂組成物の組成の調整により行うことができる。調整の仕方としては、特に制限されることはないが、感光性樹脂組成物に、例えば、容易に熱分解しにくい感光性成分や硬化成分の選定や適度な沸点を有する有機溶剤の選定等が挙げられる。これは乾燥条件で硬化反応が進行したり溶剤が揮発することにより、乾燥塗膜の表面状態が変化してしまう虞があるからと推測されるが、あくまで推測の域であり、必ずしもこの限りではない。また調整の仕方としても、これらに限られるものではない。 Moreover, even if the drying conditions at the time of forming the dry coating film of the photosensitive resin composition are changed, the contact angle is maintained in a certain range, that is, R 80 or R 90 may be 3.0% or less. It can be carried out by adjusting the composition of the photosensitive resin composition. The method of adjustment is not particularly limited, but for the photosensitive resin composition, for example, selection of a photosensitive component and a curing component that are not easily thermally decomposed, selection of an organic solvent having an appropriate boiling point, etc. Can be mentioned. This is presumed that the surface condition of the dried coating film may change due to the progress of the curing reaction under the drying conditions or volatilization of the solvent. Absent. Further, the adjustment method is not limited to these.

次に、乾燥塗膜の水の接触角が上記のような関係を満たす本発明の感光性樹脂組成物の各成分について詳細に説明する。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。   Next, each component of the photosensitive resin composition of the present invention in which the contact angle of water of the dry coating film satisfies the above relationship will be described in detail. In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term which generically refers to acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions.

[アルカリ可溶性含有樹脂]
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有する。アルカリ可溶性樹脂はアルカリ可溶される樹脂であれば何れでもよく、公知慣用のものが使用される。アルカリ可溶性樹脂は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。例示としては、カルボキシル基含有樹脂や、フェノール性水酸基含有樹脂のような水溶性樹脂等が挙げられる。なかでも現像性に優れることより、カルボキシル基含有樹脂やフェノール性水酸基含有樹脂が好ましく、カルボキシル基含有樹脂がより好ましい。カルボキシル基含有樹脂は、カルボキシル基が含まれることによりアルカリ現像性とすることができる。また、感光性の観点から、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有することが好ましいが、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを使用してもよい。カルボキシル基含有樹脂がエチレン性不飽和結合を有さない場合は、組成物を光硬化性とするために反応性希釈剤を併用する必要がある。エチレン性不飽和二重結合としては、アクリル酸もしくはメタアクリル酸またはそれらの誘導体由来のものが好ましい。
[Alkali-soluble resin]
The photosensitive resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin. The alkali-soluble resin may be any resin that can be alkali-soluble, and a known and commonly used resin is used. An alkali-soluble resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Examples include water-soluble resins such as carboxyl group-containing resins and phenolic hydroxyl group-containing resins. Of these, carboxyl group-containing resins and phenolic hydroxyl group-containing resins are preferred, and carboxyl group-containing resins are more preferred because of their excellent developability. The carboxyl group-containing resin can be rendered alkali developable by containing a carboxyl group. Further, from the viewpoint of photosensitivity, in addition to the carboxyl group, it is preferable to have an ethylenically unsaturated bond in the molecule, but even if only a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond is used. Good. When the carboxyl group-containing resin does not have an ethylenically unsaturated bond, it is necessary to use a reactive diluent in combination in order to make the composition photocurable. As the ethylenically unsaturated double bond, those derived from acrylic acid, methacrylic acid or derivatives thereof are preferable.

カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。   Specific examples of the carboxyl group-containing resin include compounds listed below (any of oligomers and polymers).

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られる、芳香環を有するカルボキシル基含有樹脂。この場合、不飽和基含有化合物および不飽和カルボン酸の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (1) A carboxyl group-containing resin having an aromatic ring, obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene or α-methylstyrene. In this case, it suffices that at least one of the unsaturated group-containing compound and the unsaturated carboxylic acid has an aromatic ring.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。このカルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、ジイソシアネート、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の少なくとも1種が芳香環を有しれいればよい。   (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group. When this carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of diisocyanate, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound has an aromatic ring.

(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。このカルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、ジイソシアネート化合物、ジオール化合物および酸無水物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (3) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A systems A terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reacting an acid anhydride with a terminal of a urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as an alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group. When this carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of a diisocyanate compound, a diol compound, and an acid anhydride has an aromatic ring.

(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応による感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂。この感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、ジイソシアネート、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレート若しくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Photosensitive carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of (meth) acrylate or its modified partial anhydride, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound. When this photosensitive carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, at least one of diisocyanate, bifunctional epoxy resin (meth) acrylate or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound is aromatic. What is necessary is just to have a ring.

(5)ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂にジオール化合物を加え、さらにジイソシアネート化合物を加えることによって得たウレタンエポキシ樹脂に、さらに、グリシジル(メタ)アクリレートを反応させることによって得られたウレタンエポキシ(メタ)アクリレート樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。この末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、2官能エポキシ樹脂、ジオール化合物、ジオール化合物、ジイソシアネート化合物および酸無水物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (5) Bifunctional epoxy such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin Add a diol compound to the resin, and further add an acid anhydride to the end of the urethane epoxy (meth) acrylate resin obtained by reacting the urethane epoxy resin obtained by adding a diisocyanate compound with glycidyl (meth) acrylate. A terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reaction. When this terminal carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of a bifunctional epoxy resin, a diol compound, a diol compound, a diisocyanate compound, and an acid anhydride has an aromatic ring.

(6)ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂にエチレン性不飽和基を有するモノカルボン酸を反応させて得られるエポキシカルボキシレート化合物に、さらにジイソシアネート化合物および2,2−ビス(ジメチロール)−プロピオン酸等のカルボキシル基を有するジオール化合物を加えることによって得られるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。このカルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、2官能エポキシ樹脂、モノカルボン酸およびジイソシアネート化合物およびカルボキシル基を有するジオール化合物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (6) Bifunctional epoxy such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin Adding a diol compound having a carboxyl group such as a diisocyanate compound and 2,2-bis (dimethylol) -propionic acid to an epoxycarboxylate compound obtained by reacting a monocarboxylic acid having an ethylenically unsaturated group with a resin Carboxyl group-containing urethane resin obtained by When this carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of a bifunctional epoxy resin, a monocarboxylic acid, a diisocyanate compound, and a diol compound having a carboxyl group has an aromatic ring.

(7)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。この感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物が芳香環を有していればよい。   (7) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and the terminal ( (Meth) acrylic carboxyl group-containing urethane resin. When this photosensitive carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, the compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule may have an aromatic ring.

(8)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物等、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。この感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物が芳香環を有していればよい。   (8) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are introduced into the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated. When this photosensitive carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, the compound having one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule may have an aromatic ring.

(9)多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させた感光性カルボキシル基含有樹脂。この感光性カルボキシル基含有樹脂が芳香環を有する場合、多官能エポキシ樹脂および2塩基酸無水物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (9) Photosensitivity obtained by reacting polyfunctional epoxy resin with (meth) acrylic acid and adding a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride to the hydroxyl group present in the side chain Carboxyl group-containing resin. When this photosensitive carboxyl group-containing resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of the polyfunctional epoxy resin and the dibasic acid anhydride has an aromatic ring.

(10)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた感光性カルボキシル基含有樹脂。この感光性カルボキシル基含有樹脂が芳香環を有する場合、2官能エポキシ樹脂および2塩基酸無水物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (10) A photosensitive carboxyl group in which (meth) acrylic acid is reacted with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin with epichlorohydrin, and a dibasic acid anhydride is added to the resulting hydroxyl group. Containing resin. When this photosensitive carboxyl group-containing resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of a bifunctional epoxy resin and a dibasic acid anhydride has an aromatic ring.

(11)多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。この感光性カルボキシル基含有ポリエステル樹脂が芳香環を有する場合、多官能オキセタン樹脂、ジカルボン酸および2塩基酸無水物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (11) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group. When this photosensitive carboxyl group-containing polyester resin has an aromatic ring, it is sufficient that at least one of a polyfunctional oxetane resin, dicarboxylic acid and dibasic acid anhydride has an aromatic ring.

(12)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。   (12) A reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.

(13)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。   (13) Obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a reaction product obtained by reacting a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.

(14)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。この感光性カルボキシル基含有ポリエステル樹脂が芳香環を有する場合、エポキシ化合物、1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物、不飽和基含有モノカルボン酸および多塩基酸無水物の少なくとも1種が芳香環を有していればよい。   (14) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth) Reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid, and then reacting with the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid. When this photosensitive carboxyl group-containing polyester resin has an aromatic ring, an epoxy compound, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in a molecule, an unsaturated group-containing monocarboxylic acid and a polybasic It suffices that at least one of the acid anhydrides has an aromatic ring.

(15)上記(1)〜(12)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる感光性カルボキシル基含有樹脂。この感光性カルボキシル基含有ウレタン樹脂が芳香環を有する場合、分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物が芳香環を有していてもよい。   (15) One epoxy group and one or more (meth) acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate and the like in any one of the resins (1) to (12) above A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by adding a compound having a group. When this photosensitive carboxyl group-containing urethane resin has an aromatic ring, a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule may have an aromatic ring.

(16)カルボキシル基含有(メタ)アクリル系共重合樹脂に、1分子中にオキシラン環とエチレン性不飽和基を有する化合物との反応により得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂。   (16) A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting a carboxyl group-containing (meth) acrylic copolymer resin with a compound having an oxirane ring and an ethylenically unsaturated group in one molecule.

(17)1分子中にそれぞれ1個のエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、不飽和二重結合を有する化合物の各化合物の不飽和二重結合を共重合させた共重合体に、不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した第2級の水酸基に飽和または不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂。   (17) A copolymer obtained by copolymerizing a compound having one epoxy group and an unsaturated double bond in each molecule and an unsaturated double bond of each compound of the compound having an unsaturated double bond. A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting an unsaturated monocarboxylic acid, and reacting a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride with the generated secondary hydroxyl group.

(18)水酸基含有ポリマーに、飽和または不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、生成したカルボン酸に、1分子中にそれぞれ1個のエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性の水酸基およびカルボキシル基含有樹脂。   (18) After reacting a hydroxyl group-containing polymer with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, the resulting carboxylic acid is reacted with a compound having one epoxy group and an unsaturated double bond in each molecule. A photosensitive hydroxyl group- and carboxyl group-containing resin.

上記のようなカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能になる。   Since the carboxyl group-containing resin as described above has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with an alkaline aqueous solution becomes possible.

また、上記した樹脂のなかでも、(1)に例示した樹脂や、(2)〜(10)に例示した樹脂のうち、芳香環を有するカルボキシル基含有樹脂を用いることが好ましい。これらの樹脂のなかでも、(2)〜(8)および(10)に例示した樹脂がより好ましく、(2)〜(8)に例示した樹脂がさらに好ましい。   Among the resins described above, it is preferable to use a carboxyl group-containing resin having an aromatic ring among the resins exemplified in (1) and the resins exemplified in (2) to (10). Among these resins, the resins illustrated in (2) to (8) and (10) are more preferable, and the resins illustrated in (2) to (8) are more preferable.

フェノール性水酸基含有樹脂としては、主鎖もしくは側鎖にフェノール性水酸基、即ちベンゼン環に結合した水酸基を有していれば特に制限されない。好ましくは1分子中に2個以上のフェノール性水酸基含有樹脂である。1分子中に2個以上のフェノール性水酸基含有樹脂としては、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、ジヒドロキシトルエン、ナフタレンジオール、t−ブチルカテコール、t−ブチルヒドロキノン、ピロガロール、フロログルシノール、ビスフェノールA 、ビスフェノールF 、ビスフェノールS、ビフェノール、ビキシレノール、ノボラック型フェノール樹脂、ノボラック型アルキルフェノール樹脂、ビスフェノールAのノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ザイロック(Xylok)型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物、1−ナフトールまたは2−ナフトールと芳香族アルデヒド類との縮合物等を挙げることができるが、これらに限られるものではない。   The phenolic hydroxyl group-containing resin is not particularly limited as long as it has a phenolic hydroxyl group, that is, a hydroxyl group bonded to a benzene ring, in the main chain or side chain. Preferably, it is a resin containing two or more phenolic hydroxyl groups per molecule. As two or more phenolic hydroxyl group-containing resins in one molecule, catechol, resorcinol, hydroquinone, dihydroxytoluene, naphthalenediol, t-butylcatechol, t-butylhydroquinone, pyrogallol, phloroglucinol, bisphenol A, bisphenol F, Bisphenol S, biphenol, bixylenol, novolac-type phenol resin, novolac-type alkylphenol resin, bisphenol A novolak resin, dicyclopentadiene-type phenol resin, xylok-type phenol resin, terpene-modified phenol resin, polyvinylphenols, phenols Of aromatic aldehydes with phenolic hydroxyl groups, condensation of 1-naphthol or 2-naphthol with aromatic aldehydes Although and the like, not limited thereto.

また、アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性樹脂の25℃のエチレングリコールブチルエーテル溶液における酸解離定数(pKa)が9.5未満であることが、本硬化後の塗膜の解像性と、現像工程における現像液の汚染とをより高度に両立することができる点で好ましい。なお、アルカリ可溶性樹脂が2種以上のアルカリ可溶性樹脂を組み合わせた混合物である場合は、混合物(アルカリ可溶性樹脂全体)としてのpKaが9.5未満である。pKaの値は、好ましくは7.5〜9.4、より好ましくは8.2〜9.0である。   Further, the alkali-soluble resin has an acid dissociation constant (pKa) in an ethylene-glycol butyl ether solution at 25 ° C. of less than 9.5. This is preferable in that the contamination of the developer can be made highly compatible. In addition, when alkali-soluble resin is a mixture which combined 2 or more types of alkali-soluble resin, pKa as a mixture (whole alkali-soluble resin) is less than 9.5. The value of pKa is preferably 7.5 to 9.4, more preferably 8.2 to 9.0.

アルカリ可溶性樹脂は、構造中に芳香環を有していても、有していなくてもよいが、芳香環を有するアルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。特にビスフェノール構造を有するアルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。   The alkali-soluble resin may or may not have an aromatic ring in the structure, but is preferably an alkali-soluble resin having an aromatic ring. In particular, an alkali-soluble resin having a bisphenol structure is preferable.

また、アルカリ可溶性樹脂は、ウレタン結合を有することが現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりをより抑制することができる点で好ましい。すなわち、現像性を付与した場合、例えば、ウレタン結合を有するアルカリ可溶性樹脂である場合、アルカリ現像液を用いて現像しても、NaCO濃度によらず、現像残渣の発生が抑制され、解像性も良好となる。現像残渣の抑制については、ウレタン結合が、他の成分との高い濡れ性を示す結果、乾燥条件の変化によっても沈殿物が生じづらいことによるものと考えられる。その一方で、希アルカリ水溶液で現像されるため、露光部に対するダメージが少ない状態で画像形成することが可能となり、さらに、露光領域と未露光領域におけるアルカリ現像液に対する溶解コントラストが高まる結果、解像性については、良好となるもの推測される。しかしながら、あくまでも推測であり、この理論に拘束されるものではない。 Moreover, it is preferable that the alkali-soluble resin has a urethane bond from the viewpoint of further suppressing the contamination of the developing solution in the developing step and the clogging of the developing device due to the precipitate. In other words, when developability is imparted, for example, in the case of an alkali-soluble resin having a urethane bond, even if development is performed using an alkaline developer, development of development residues is suppressed regardless of the Na 2 CO 3 concentration, The resolution is also good. The suppression of the development residue is considered to be due to the fact that the urethane bond exhibits high wettability with other components, and as a result, it is difficult to produce a precipitate even when the drying conditions are changed. On the other hand, since it is developed with a dilute alkaline aqueous solution, it is possible to form an image with little damage to the exposed area, and the resolution of the alkaline developer in the exposed and unexposed areas is increased, resulting in resolution. About the property, it is estimated that it becomes favorable. However, it is just a guess and is not bound by this theory.

上記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gの範囲が望ましく、より好ましくは40〜180mgKOH/gの範囲であり、さらに好ましくは50〜160mgKOH/gの範囲である。20〜200mgKOH/gの範囲であると、本硬化後の塗膜の密着性が得られ、アルカリ現像が容易となり、現像液による露光部の溶解が抑えられ、必要以上にラインが痩せたりせずに、正常なレジストパターンの描画が容易となるため好ましい。また、露光部の耐現像性と未露光部の現像性のコントラストを保つことができ、解像性に優れるため好ましい。   The acid value of the alkali-soluble resin is desirably in the range of 20 to 200 mgKOH / g, more preferably in the range of 40 to 180 mgKOH / g, and still more preferably in the range of 50 to 160 mgKOH / g. When it is in the range of 20 to 200 mg KOH / g, the adhesion of the coating film after the main curing can be obtained, the alkali development becomes easy, the dissolution of the exposed portion by the developer is suppressed, and the line does not fade more than necessary. In addition, it is preferable because a normal resist pattern can be easily drawn. Further, it is preferable because the contrast between the development resistance of the exposed portion and the developability of the unexposed portion can be maintained, and the resolution is excellent.

また、本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、2,000〜150,000の範囲が好ましい。この範囲であると、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良く、現像時に膜減りが生じにくい。また、上記重量平均分子量の範囲であると、解像度が向上し、現像性が良好であり、保存安定性が良くなる。より好ましくは、5,000〜100,000である。なお、重量平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー法(GPC)法(ポリスチレン標準)により求めることができる。また、感光性樹脂組成物中にアルカリ可溶性樹脂が2種以上含まれている場合は、各樹脂が上記範囲内にあることが好ましいが、各樹脂を混合した状態で測定し、上記範囲内にあることも好ましい。   The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin used in the present invention varies depending on the resin skeleton, but is preferably in the range of 2,000 to 150,000. Within this range, tack-free performance is good, the moisture resistance of the coated film after exposure is good, and film loss is less likely to occur during development. Further, when the weight average molecular weight is within the above range, the resolution is improved, the developability is good, and the storage stability is improved. More preferably, it is 5,000-100,000. The weight average molecular weight can be determined by gel permeation chromatography (GPC) method (polystyrene standard). In addition, when two or more alkali-soluble resins are contained in the photosensitive resin composition, it is preferable that each resin is within the above range, but measurement is performed in a state where each resin is mixed. It is also preferable that there is.

アルカリ可溶性樹脂のガラス転移温度は、−10〜60℃の範囲内であることが好ましい。−10℃以上の場合、タックフリー性能により優れる。60℃以下の場合、クラック耐性がより良好となる。より好ましくは、0〜40℃である。なお、アルカリ可溶性樹脂のガラス転移温度は、感光性成分の示差走査熱量計(DSC)測定によって求めることができる。なお、感光性樹脂組成物中にアルカリ可溶性樹脂が2種以上含まれている場合は、各樹脂が上記範囲内にあることが好ましいが、各樹脂を混合した状態で測定し、上記範囲内にあることが好ましい。各樹脂を混合した状態で測定する場合、各樹脂をワニス状にして均一に撹拌された状態で測定することが好ましい。   The glass transition temperature of the alkali-soluble resin is preferably in the range of −10 to 60 ° C. In the case of −10 ° C. or higher, the tack-free performance is more excellent. In the case of 60 ° C. or lower, the crack resistance becomes better. More preferably, it is 0-40 degreeC. In addition, the glass transition temperature of alkali-soluble resin can be calculated | required by the differential scanning calorimeter (DSC) measurement of a photosensitive component. In addition, when 2 or more types of alkali-soluble resins are contained in the photosensitive resin composition, it is preferable that each resin is within the above range. Preferably there is. When measuring in the state which mixed each resin, it is preferable to measure in the state which made each resin varnished and stirred uniformly.

このようなアルカリ可溶性樹脂の好適な配合量は感光性樹脂組成物の使用用途によって適宜調整することができる。例えばソルダーレジストのような絶縁性樹脂組成物として使用する場合、アルカリ可溶性樹脂の配合量は、固形分換算で全組成物中に、10〜60質量%であり、好ましくは15〜50質量%である。一方、導電性樹脂組成物として使用する場合、アルカリ可溶性樹脂の配合量は、固形分換算で全組成物中に、5〜50質量%であり、好ましくは5〜40質量%である。アルカリ可溶性樹脂の配合量が上記範囲内であると、本硬化後の塗膜強度が低下せず、組成物の増粘や、塗布性等の低下を抑えることができる。   The suitable compounding quantity of such alkali-soluble resin can be suitably adjusted with the use application of the photosensitive resin composition. For example, when used as an insulating resin composition such as a solder resist, the blending amount of the alkali-soluble resin is 10 to 60% by mass, preferably 15 to 50% by mass in the total composition in terms of solid content. is there. On the other hand, when using as a conductive resin composition, the compounding quantity of alkali-soluble resin is 5-50 mass% in the whole composition in conversion of solid content, Preferably it is 5-40 mass%. When the blending amount of the alkali-soluble resin is within the above range, the coating strength after the main curing does not decrease, and the increase in the viscosity of the composition and the decrease in the coating property can be suppressed.

本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂以外の成分として任意の成分が含まれていてもよい。以下、任意の成分の詳細について説明する。   The photosensitive resin composition of the present invention may contain an arbitrary component as a component other than the alkali-soluble resin. Details of the optional components will be described below.

[光重合開始剤]
本発明の感光性樹脂組成物には、光重合開始剤が含まれていてもよい。光重合開始剤としては、特に限定されず、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。以上の光重合開始剤は、いずれも1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[Photopolymerization initiator]
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited. For example, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, Bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine Oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2 , 4,6-Trimethylbenzoyl) -phenylphos Bisacylphosphine oxides such as tin oxide; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methyl Monoacylphosphine oxides such as benzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide; 1-hydroxy-cyclohexylphenyl ketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl) -Propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, hydroxyacetophenones such as 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin Benzoins such as ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4′-dichlorobenzophenone, 4,4 Benzophenones such as'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, , 1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, N-dimethyl Acetophenones such as aminoacetophenone; thioxanthones such as thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinone , Chloroant Anthraquinones such as quinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone and 2-aminoanthraquinone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; Benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethylbenzoate, p-dimethylbenzoic acid ethyl ester; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- Oxime esters such as (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime); Bis (η5-2,4-cyclope Tadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) phenyl) titanium, bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (2 -Titanocenes such as-(1-pyr-1-yl) ethyl) phenyl] titanium; phenyl disulfide 2-nitrofluorene, butyroin, anisoin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide, etc. it can. Any of the above photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

市販品としては、ビスアシルフォスフィンオキサイド類やモノアシルフォスフィンオキサイド類等のフォスフィンオキサイド類の光重合開始剤の市販品としては、BASFジャパン社製のIRGACURE TPO、IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)819などが挙げられる。また、アセトフェノン類の光重合開始剤の市販品としては、BASFジャパン社製のIRGACURE 369、IRGACURE 379EG、IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)907などが挙げられる。さらに、オキシムエステル類の光重合開始剤の市販品としては、BASFジャパン社製のCGI−325、IRGACURE OXE01、IRGACURE OXE02、ADEKA社製のN−1919、NCI−831、日本化学工業社製のTOE−004、常州強力電子新材料社製のTR−PBG−304などが挙げられる。   Commercially available products of photopolymerization initiators of phosphine oxides such as bisacylphosphine oxides and monoacylphosphine oxides include IRGACURE TPO manufactured by BASF Japan, Omnirad manufactured by IGM Resins (Omnilad) ) 819 and the like. Examples of commercially available acetophenone photopolymerization initiators include IRGACURE 369, IRGACURE 379EG manufactured by BASF Japan, and Omnirad 907 manufactured by IGM Resins. Furthermore, commercially available products of photopolymerization initiators of oxime esters include CGI-325, IRGACURE OXE01, IRGACURE OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919, NCI-831 manufactured by ADEKA, and TOE manufactured by Nippon Chemical Industry Co., Ltd. -004, TR-PBG-304 manufactured by Changzhou Power Electronics New Materials Co., Ltd.

光重合開始剤の配合量は、特に限定されないが、オキシムエステル類の光重合開始剤を使用する場合の配合量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、好ましくは0.01〜10質量部であり、より好ましくは0.1〜5質量部の範囲である。0.01質量部以上とすることにより、銅上での光硬化性がより確実となり、耐薬品性などの本硬化後の塗膜特性が向上する点で好ましい。また、5質量部以下とすることにより、露光後の塗膜表面での光吸収が抑えられ、深部の硬化性も向上する点で好ましい。   The blending amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but the blending amount when using the photopolymerization initiator of oxime esters is preferably 0.01 with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin in terms of solid content. It is 10 mass parts, More preferably, it is the range of 0.1-5 mass parts. By setting it as 0.01 mass part or more, the photocurability on copper becomes more reliable and it is preferable at the point which the coating-film characteristics after this hardening, such as chemical resistance, improve. Moreover, by setting it as 5 mass parts or less, it is preferable at the point which the light absorption in the coating-film surface after exposure is suppressed, and the sclerosis | hardenability of a deep part improves.

一方、オキシムエステル類の光重合開始剤以外の光重合開始剤の含有量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部であり、より好ましくは0.5〜25質量部、さらに好ましくは1〜15質量部の範囲である。0.1質量部以上であると、光硬化性や耐薬品性などの観点から好ましい。一方、30質量部以下であると、光重合開始剤による本硬化後の塗膜表面での光吸収が制御され、深部硬化性が改善する観点から好ましい。   On the other hand, the content of the photopolymerization initiator other than the photopolymerization initiator of the oxime ester is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 100 parts by mass in terms of solid content, and more preferably. It is 0.5-25 mass parts, More preferably, it is the range of 1-15 mass parts. It is preferable from a viewpoint of photocurability, chemical resistance, etc. as it is 0.1 mass part or more. On the other hand, if it is 30 parts by mass or less, light absorption on the surface of the coating film after the main curing by the photopolymerization initiator is controlled, and this is preferable from the viewpoint of improving the deep curability.

[フィラー]
本発明の感光性樹脂組成物には、フィラーが含まれていてもよい。フィラーとしては、特に限定されず、公知慣用の無機または有機フィラーを用いることができる。フィラーを配合する目的は特に限定されず、本硬化後の塗膜の物理的強度等を上げるため等であってよい。導電性を付与する場合は導電性フィラーを、また、本発明の感光性樹脂組成物を絶縁層の形成に用いる場合は絶縁性フィラーを用いることが好ましい。
[Filler]
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a filler. It does not specifically limit as a filler, A well-known and usual inorganic or organic filler can be used. The purpose of blending the filler is not particularly limited, and may be for increasing the physical strength of the coating film after the main curing. When imparting conductivity, it is preferable to use a conductive filler, and when using the photosensitive resin composition of the present invention for forming an insulating layer, it is preferable to use an insulating filler.

導電性フィラーの材質は、本発明の感光性樹脂組成物に導電性を付与するフィラーであればいかなるものでも用いることができる。このような導電性フィラーとしては、Ag、Au、Pt、Pd、Ni、Cu、Al、Sn、Pb、Zn、Fe、Ir、Os、Rh、W、Mo、Ru等を挙げることができ、これらの中でもAgが好ましい。これらの導電性フィラーは、上記成分単体の形態で用いてもよいが、合金や、酸化物の形態で用いてもよい。さらに、酸化錫(SnO)、酸化インジウム(In)、ITO(Indium Tin Oxide)などを用いることもできる。なお、導電性フィラーしては、カーボンブラック、グラファイト、カーボンナノチューブなどの炭素粉でもよい。ただし、光透過性が低下するため、注意を要する。 Any conductive filler can be used as long as it is a filler that imparts conductivity to the photosensitive resin composition of the present invention. Examples of such conductive fillers include Ag, Au, Pt, Pd, Ni, Cu, Al, Sn, Pb, Zn, Fe, Ir, Os, Rh, W, Mo, Ru, and the like. Among these, Ag is preferable. These conductive fillers may be used in the form of the above component alone, but may be used in the form of an alloy or oxide. Further, tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), ITO (Indium Tin Oxide), or the like can also be used. The conductive filler may be carbon powder such as carbon black, graphite, or carbon nanotube. However, care should be taken because the light transmittance is lowered.

導電性フィラーの形状は、特に制限されないが、フレーク状以外であること、特に針状、または球状であることが好ましい。このことにより、光透過性が向上し、また、解像性の優れた導電回路や電極を形成できる。   The shape of the conductive filler is not particularly limited, but is preferably other than flakes, particularly preferably acicular or spherical. As a result, light transmission is improved, and a conductive circuit or electrode having excellent resolution can be formed.

導電性フィラーは、微細なラインを形成するために、最大粒径が30μm以下であることが好ましい。最大粒径を30μm以下とすることにより、導電回路や電極の解像性が向上する。   In order to form a fine line, the conductive filler preferably has a maximum particle size of 30 μm or less. By setting the maximum particle size to 30 μm or less, the resolution of the conductive circuit and the electrode is improved.

また、導電性フィラーの粒子径は、電子顕微鏡(SEM)を用いて10,000倍にて観察したランダムな10個の導電性フィラーの平均粒径として、その範囲が0.1〜10μmであることが好ましい。平均粒径が0.1μm以上であると、導電性の観点から好ましい。一方、平均粒径が10μm以下であると、スクリーンの目詰まりを防止する観点から好ましい。なお、マイクロトラックによって測定した平均粒径では、0.5〜3.5μmの大きさのものを用いることが好ましい。導電性フィラーは、は体積固有抵抗率(JIS K 6911)が10−3Ω・cm以下であることが好ましい。 The particle diameter of the conductive filler is 0.1 to 10 μm as the average particle diameter of 10 random conductive fillers observed at 10,000 times using an electron microscope (SEM). It is preferable. It is preferable from an electroconductive viewpoint that an average particle diameter is 0.1 micrometer or more. On the other hand, when the average particle size is 10 μm or less, it is preferable from the viewpoint of preventing clogging of the screen. In addition, it is preferable to use the thing of the magnitude | size of 0.5-3.5 micrometers in the average particle diameter measured with the micro track | truck. The conductive filler preferably has a volume resistivity (JIS K 6911) of 10 −3 Ω · cm or less.

絶縁性フィラーは体積固有抵抗率(JIS K 6911)が1010Ω・cm以上の絶縁性を有することが好ましい。絶縁性フィラーとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ等のシリカ、硫酸バリウム、ハイドロタルサイト、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、アルミナ、酸化チタン、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグ珪土粒子等が挙げられる。 The insulating filler preferably has an insulating property with a volume resistivity (JIS K 6911) of 10 10 Ω · cm or more. Examples of the insulating filler include amorphous silica, fused silica, spherical silica and the like, barium sulfate, hydrotalcite, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, alumina, titanium oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, Examples thereof include aluminum nitride, boron nitride, and Neuburg silica particles.

フィラーは、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。   A filler can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

フィラーの好適な配合量は感光性樹脂組成物の使用用途によって適宜調整することができる。例えばソルダーレジストのような絶縁性樹脂組成物として使用する場合、絶縁性フィラーの配合量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、50〜500質量部であることが好ましく、100〜300質量部であることがより好ましい。絶縁性フィラーの配合量が50質量部以上であると、印刷性の観点から好ましい。また、絶縁性フィラーの配合量が500質量部以下であると、印刷性と光の透過性の観点から好ましい。一方、導電性樹脂組成物として使用する場合、導電性フィラーの配合量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、700〜1300質量部であることが好ましい。導電性フィラーの配合量が700質量部以上であると、導電性の観点から好ましい。また、導電性フィラーの配合量が1300質量部以下であると、印刷性と光の透過性の観点から好ましい。   The suitable compounding quantity of a filler can be suitably adjusted with the use application of the photosensitive resin composition. For example, when used as an insulating resin composition such as a solder resist, the blending amount of the insulating filler is preferably 50 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin in terms of solid content. More preferably, it is -300 mass parts. It is preferable from a printable viewpoint that the compounding quantity of an insulating filler is 50 mass parts or more. Moreover, it is preferable from a viewpoint of printability and light transmittance that the compounding quantity of an insulating filler is 500 mass parts or less. On the other hand, when using as a conductive resin composition, it is preferable that the compounding quantity of a conductive filler is 700-1300 mass parts with respect to 100 mass parts of alkali-soluble resin in conversion of solid content. It is preferable from an electroconductive viewpoint that the compounding quantity of an electroconductive filler is 700 mass parts or more. Moreover, it is preferable from a viewpoint of printability and light transmittance that the compounding quantity of an electroconductive filler is 1300 mass parts or less.

(反応性希釈剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、効果的に光で架橋できることから、反応性希釈剤が含まれていてもよい。反応性希釈剤としては、(メタ)アクリレート化合物を用いることが好ましい。また、反応性希釈剤は、2官能以上、すなわち、多官能であることが好ましい。多官能が好ましい理由は、官能基の数が1つの場合よりも、光反応性が向上し、また、解像性が優れるためである。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートを総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
(Reactive diluent)
Since the photosensitive resin composition of the present invention can be effectively cross-linked by light, a reactive diluent may be contained. As the reactive diluent, it is preferable to use a (meth) acrylate compound. The reactive diluent is preferably bifunctional or more, that is, polyfunctional. The reason why polyfunctionality is preferable is that the photoreactivity is improved and the resolution is excellent as compared with the case where the number of functional groups is one. In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate and methacrylate, and the same applies to other similar expressions.

(メタ)アクリレート化合物として、多官能(メタ)アクリレートモノマーまたはオリゴマー(2官能以上の(メタ)アクリレートモノマーまたはオリゴマー)が挙げられ、具体的には、例えば、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;前記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、および前記アクリレートに対応する各メタクリレート類の少なくとも何れか一種などが挙げられる。   Examples of the (meth) acrylate compound include polyfunctional (meth) acrylate monomers or oligomers (bifunctional or higher functional (meth) acrylate monomers or oligomers). Specific examples include conventionally known polyester (meth) acrylates, poly Examples include ether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, and epoxy (meth) acrylate. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide Acrylamides such as N-methylol acrylamide and N, N-dimethylaminopropyl acrylamide; aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N, N-dimethylaminopropyl acrylate; hexanediol, trimethylolpropane, Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or the like Multivalent acrylates such as thyloxide adducts, propylene oxide adducts, or ε-caprolactone adducts; polyvalent acrylates such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene oxide or propylene oxide adducts of these phenols Acrylates; glyceryl diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, polyglycerides of glycidyl ether such as triglycidyl isocyanurate; not limited to the above, polyether polyol, polycarbonate diol, hydroxyl-terminated polybutadiene, Polyurethane polyol such as polyester polyol is directly acrylated or urethane acrylate via diisocyanate And at least one of acrylates and melamine acrylates, and methacrylates corresponding to the acrylates.

さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物、および前記アクリレートに対応する各メタクリレート樹脂や化合物などを反応性希釈剤として用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。   Further, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, or a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. An epoxy urethane acrylate compound reacted with a half urethane compound, and each methacrylate resin or compound corresponding to the acrylate may be used as a reactive diluent. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.

なかでも、多官能(メタ)アクリレートモノマーを用いることが好ましく、特に4官能の(メタ)アクリレートモノマーが好ましい。4官能の(メタ)アクリレートモノマーとして、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられ、このなかでも、アルカリ可溶性樹脂と同様の理由により、ウレタン結合を有するもの、すなわち、ウレタン(メタ)アクリレートが好ましい。ウレタン(メタ)アクリレートとしては、ウレタン結合を有していれば何れでもよく、例えば、以下の式(I)で示されるようなものが挙げられる。

Figure 2019032474
Especially, it is preferable to use a polyfunctional (meth) acrylate monomer, and especially a tetrafunctional (meth) acrylate monomer is preferable. Examples of the tetrafunctional (meth) acrylate monomer include pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and urethane (meth) acrylate. Among these, urethane is used for the same reason as the alkali-soluble resin. Those having a bond, that is, urethane (meth) acrylate are preferred. Any urethane (meth) acrylate may be used as long as it has a urethane bond, and examples thereof include those represented by the following formula (I).
Figure 2019032474

上記式(I)中、Zはアルキレン基を表し、Rは水素原子を表し、Rはメチル基を表し、RおよびRは各々独立に、水素原子またはメチル基を表すが、但し、RおよびRの少なくとも一方はメチル基を表す。 In the above formula (I), Z 1 represents an alkylene group, R 1 represents a hydrogen atom, R 2 represents a methyl group, R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, However, at least one of R 3 and R 4 represents a methyl group.

上記した4官能のウレタン(メタ)アクリレートとして、アクリルとメタクリルが1対1であるウレタン(メタ)アクリレート又はエステル(メタ)アクリレートが好ましい。   As the above-described tetrafunctional urethane (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate or ester (meth) acrylate in which acryl and methacryl are 1: 1 is preferable.

このような4官能基のウレタン(メタ)アクリレートまたはエステル(メタ)アクリレートとしては、例えばグリシジルメタクリレートにアクリル酸を付加し、その際発生する水酸基とジイソシアネートまたはジカルボン酸を反応させたものが好ましい。   As such tetrafunctional urethane (meth) acrylate or ester (meth) acrylate, for example, acrylic acid is added to glycidyl methacrylate, and a hydroxyl group generated at that time is reacted with diisocyanate or dicarboxylic acid.

反応性希釈剤は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。   A reactive diluent can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

反応性希釈剤の好適な配合量は感光性樹脂組成物の使用用途によって適宜調整することができる。例えばソルダーレジストのような絶縁性樹脂組成物として使用する場合、反応性希釈剤の配合量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1〜30質量部が好ましく、2〜20質量部がより好ましい。1質量部以上の場合、光硬化性が良好であり、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像において、パターンのラインを形成しやすい。また、30質量部以下の場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が良好であり、パターン膜が脆くなりにくい。一方、導電性樹脂組成物として使用する場合、反応性希釈剤の配合量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1〜40質量部が好ましく、5〜40質量部がより好ましい。1質量部以上の場合、光硬化性が良好であり、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像において、パターンのラインを形成しやすい。40質量部以下の場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が良好であり、パターン膜が脆くなりにくい。   The suitable compounding quantity of a reactive diluent can be suitably adjusted with the use application of the photosensitive resin composition. For example, when used as an insulating resin composition such as a solder resist, the compounding amount of the reactive diluent is preferably 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin in terms of solid content, and 2 to 20 Part by mass is more preferable. When the amount is 1 part by mass or more, the photocurability is good, and it is easy to form a pattern line in alkali development after irradiation with active energy rays. Moreover, when it is 30 mass parts or less, the solubility with respect to aqueous alkali solution is favorable, and a pattern film | membrane becomes difficult to become weak. On the other hand, when using as a conductive resin composition, the compounding amount of the reactive diluent is preferably 1 to 40 parts by mass and more preferably 5 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin in terms of solid content. preferable. When the amount is 1 part by mass or more, the photocurability is good, and it is easy to form a pattern line in alkali development after irradiation with active energy rays. In the case of 40 parts by mass or less, the solubility in an alkaline aqueous solution is good, and the pattern film is not easily brittle.

(熱硬化性成分)
本発明の感光性樹脂組成物は、クラック耐性がさらに向上することより、熱硬化性成分が含まれていてもよい。本発明に用いられる熱硬化性成分としては、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂などのアミン樹脂、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、メラミン誘導体などの公知慣用の熱硬化性樹脂が使用できる。熱硬化性成分は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。本発明において、分子中に2個以上の環状エーテル基および環状チオエーテル基のうちから選ばれる少なくともいずれか1種(以下、環状(チオ)エーテル基と略す。)を有する熱硬化性成分、または、1分子内に2個以上のイソシアネート基、またはブロック化イソシアネート基を有する熱硬化性成分が好ましい。
(Thermosetting component)
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a thermosetting component because crack resistance is further improved. Examples of thermosetting components used in the present invention include amine resins such as melamine resins and benzoguanamine resins, block isocyanate compounds, cyclocarbonate compounds, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, melamine derivatives, and the like. A thermosetting resin can be used. A thermosetting component can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. In the present invention, a thermosetting component having at least one selected from the group consisting of two or more cyclic ether groups and cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether group) in the molecule, or A thermosetting component having two or more isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule is preferable.

分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分は、分子中に3、4または5員環の環状エーテル基、または環状チオエーテル基のいずれか一方または2種類の基を2個以上有する化合物であり、例えば、分子内に少なくとも2つ以上のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子内に少なくとも2つ以上のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子内に2個以上のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂などが挙げられる。   The thermosetting component having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule contains either one of the three, four or five-membered cyclic ether groups, or the cyclic thioether group or two kinds of groups in the molecule. Two or more compounds, for example, a compound having at least two or more epoxy groups in the molecule, that is, a polyfunctional epoxy compound, a compound having at least two or more oxetanyl groups in the molecule, that is, a polyfunctional oxetane compound, Examples include compounds having two or more thioether groups in the molecule, that is, episulfide resins.

多官能エポキシ化合物としては、例えば、三菱ケミカル株式会社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC株式会社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、新日鐵住金株式会社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学工業株式会社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成工業株式会社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のjERYL903、DIC株式会社製のエピクロン152、エピクロン165、新日鐵住金株式会社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、住友化学工業株式会社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成工業株式会社製のA.E.R.711、A.E.R.714等のブロム化エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のjER152、jER154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC株式会社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、新日鐵住金株式会社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬株式会社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、住友化学工業株式会社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成工業株式会社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC株式会社製のエピクロン830、三菱ケミカル株式会社製のjER807、新日鐵住金株式会社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004等のビスフェノールF型エポキシ樹脂;新日鐵住金株式会社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のjER604、新日鐵住金株式会社製のエポトートYH−434、住友化学工業株式会社製のスミ−エポキシELM−120等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;株式会社ダイセル社製のセロキサイド2021P等の脂環式エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のYL−933、ダウケミカル社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;日本化薬株式会社製のEBPS−200、株式会社ADEKA社製のEPX−30、DIC株式会社社製のEXA−1514等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のjER157S等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱ケミカル株式会社製のjERYL−931等のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学工業株式会社製のTEPIC等の複素環式エポキシ樹脂;日本油脂株式会社製のブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;新日鐵住金株式会社製のZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鐵住金化学株式会社製のESN−190、ESN−360、DIC株式会社製のHP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC株式会社製のHP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日本油脂株式会社製のCP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体(例えば株式会社ダイセル製のエポリード PB−3600等)、CTBN変性エポキシ樹脂(例えば新日鐵住金化学株式会社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。これらのなかでも、ノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂またはそれらの混合物が好ましい。   Examples of the polyfunctional epoxy compound include jER828, jER834, jER1001, jER1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 840 manufactured by DIC Corporation, Epicron 850, Epicron 1050, Epicron 2055, Epototo YD manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation. -011, YD-013, YD-127, YD-128, D.C. E. R. 317, D.E. E. R. 331, D.D. E. R. 661, D.D. E. R. 664, Sumitomo Chemical Industries, Ltd. Sumi-Epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, A.A. E. R. 330, A.I. E. R. 331, A.I. E. R. 661, A.I. E. R. Bisphenol A type epoxy resin such as 664; jERYL903 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 152, Epicron 165 manufactured by DIC Corporation, Epotote YDB-400, YDB-500 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd. D. E. R. 542, Sumitomo Epoxy ESB-400, ESB-700, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., A. E. R. 711, A.I. E. R. Brominated epoxy resins such as 714; jER152 and jER154 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and D.C. E. N. 431, D.D. E. N. 438, Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865 manufactured by DIC Corporation, Epototo YDCN-701, YDCN-704 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, EPPN-201 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumi-epoxy ESCN-195X, ESCN-220, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. E. R. Novolak type epoxy resins such as ECN-235 and ECN-299; Epicron 830 manufactured by DIC Corporation, jER807 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epototo YDF-170, YDF-175, YDF-2004 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation Bisphenol F type epoxy resin such as EPOTOTO ST-2004, ST-2007, ST-3000, etc. manufactured by Nippon Steel & Sumikin Co., Ltd .; jER604 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., NS Glycidylamine type epoxy resin such as Epototo YH-434 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., Sumi-epoxy ELM-120 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd .; Hydantoin type epoxy resin; Alicyclic epoxy resin such as Celoxide 2021P manufactured by Daicel Corporation ; YL- manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation 33, Dow Chemical Co., Ltd. of T. E. N. Trihydroxyphenylmethane type epoxy resins such as EPPN-501 and EPPN-502; Bixylenol type or biphenol type epoxy resins such as YL-6056, YX-4000 and YL-6121 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, or a mixture thereof; Bisphenol S epoxy resin such as EBPS-200 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EPX-30 manufactured by ADEKA Co., Ltd., EXA-1514 manufactured by DIC Co., Ltd., etc .; Bisphenol A novolak such as jER157S manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation Type epoxy resin; tetraphenylolethane type epoxy resin such as jERYL-931 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; heterocyclic epoxy resin such as TEPIC manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd .; dimer such as Blemmer DGT manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd. Glycidylphthale Resin; Tetraglycidylxylenoylethane resin such as ZX-1063 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Co .; ESN-190, ESN-360 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., HP-4032 manufactured by DIC Co., Ltd. Naphthalene group-containing epoxy resins such as EXA-4750 and EXA-4700; Epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton such as HP-7200 and HP-7200H manufactured by DIC Corporation; CP-50S and CP- manufactured by NOF Corporation 50M glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin; cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin; epoxy-modified polybutadiene rubber derivative (for example, Epode PB-3600 manufactured by Daicel Corporation), CTBN-modified epoxy resin ( For example, Nippon Steel & Sumitomo Metal And YR-102, YR-450, etc. manufactured by Kagaku Co., Ltd.), and the like. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, a novolak type epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin or a mixture thereof is preferable.

さらに乾燥塗膜の接触角の値を一定の値に調整しやすい点でメチル基やフルオレン骨格を有していても良い。メチル基を有するエポキシ樹脂としては、メチル基を有していれば何れでもよく、例えば、以下の式(II)で示されるようなものが挙げられる。下記式(II)において、n数は5〜10が好ましい。

Figure 2019032474
Further, it may have a methyl group or a fluorene skeleton in that the contact angle value of the dried coating film can be easily adjusted to a constant value. The epoxy resin having a methyl group may be any as long as it has a methyl group, and examples thereof include those represented by the following formula (II). In the following formula (II), the n number is preferably 5 to 10.
Figure 2019032474

一方、フルオレン骨格を有するエポキシ樹脂としては、フルオレン骨格を有していれば何れでもよく、例えば、以下の式(III)で示されるようなものが挙げられる。

Figure 2019032474
On the other hand, the epoxy resin having a fluorene skeleton may be any as long as it has a fluorene skeleton, and examples thereof include those represented by the following formula (III).
Figure 2019032474

多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。   Polyfunctional oxetane compounds include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl- 3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin, poly (P-hydroxystyrene), cardo-type bisphenol S, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

分子中に2個以上の環状チオエーテル基を有するエピスルフィド樹脂としては、例えば、三菱ケミカル株式会社製のビスフェノールA型エピスルフィド樹脂 YL7000などが挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。   Examples of the episulfide resin having two or more cyclic thioether groups in the molecule include bisphenol A type episulfide resin YL7000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Moreover, episulfide resin etc. which replaced the oxygen atom of the epoxy group of the novolak-type epoxy resin with the sulfur atom using the same synthesis method can be used.

また、本発明の感光性樹脂組成物には、感光性樹脂組成物の硬化性および得られる硬化膜の強靭性を向上させるために、1分子内に2個以上のイソシアネート基、またはブロック化イソシアネート基を有する化合物を加えることが好ましい。このような1分子内に2個以上のイソシアネート基、またはブロック化イソシアネート基を有する化合物は、1分子内に2個以上のイソシアネート基を有する化合物、すなわちポリイソシアネート化合物、または1分子内に2個以上のブロック化イソシアネート基を有する化合物、すなわちブロックイソシアネート化合物などが挙げられる。   In addition, the photosensitive resin composition of the present invention includes two or more isocyanate groups or blocked isocyanate in one molecule in order to improve the curability of the photosensitive resin composition and the toughness of the resulting cured film. It is preferable to add a compound having a group. Such a compound having two or more isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule is a compound having two or more isocyanate groups in one molecule, that is, a polyisocyanate compound, or two in one molecule. Examples thereof include compounds having the above blocked isocyanate groups, that is, blocked isocyanate compounds.

ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートまたは脂環式ポリイソシアネートが用いられる。芳香族ポリイソシアネートの具体例としては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネートおよび2,4−トリレンダイマーが挙げられる。脂肪族ポリイソシアネートの具体例としては、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)およびイソホロンジイソシアネートが挙げられる。脂環式ポリイソシアネートの具体例としてはビシクロヘプタントリイソシアネートが挙げられる。並びに先に挙げられたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体が挙げられる。   As the polyisocyanate compound, for example, aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate or alicyclic polyisocyanate is used. Specific examples of the aromatic polyisocyanate include 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, m- Examples include xylylene diisocyanate and 2,4-tolylene dimer. Specific examples of the aliphatic polyisocyanate include tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), and isophorone diisocyanate. Specific examples of the alicyclic polyisocyanate include bicycloheptane triisocyanate. In addition, adduct bodies, burette bodies and isocyanurate bodies of the isocyanate compounds mentioned above may be mentioned.

ブロックイソシアネート化合物に含まれるブロック化イソシアネート基は、イソシアネート基がブロック剤との反応により保護されて一時的に不活性化された基である。所定温度に加熱されたときにそのブロック剤が解離してイソシアネート基が生成する。   The blocked isocyanate group contained in the blocked isocyanate compound is a group in which the isocyanate group is protected by reaction with a blocking agent and temporarily deactivated. When heated to a predetermined temperature, the blocking agent is dissociated to produce isocyanate groups.

ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物が用いられる。ブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型等が挙げられる。このイソシアネート化合物としては、例えば、上記と同様の芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートまたは脂環式ポリイソシアネートが用いられる。   As the blocked isocyanate compound, an addition reaction product of an isocyanate compound and an isocyanate blocking agent is used. Examples of the isocyanate compound that can react with the blocking agent include isocyanurate type, biuret type, and adduct type. As this isocyanate compound, for example, the same aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate or alicyclic polyisocyanate as described above is used.

イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、クロロフェノールおよびエチルフェノール等のフェノール系ブロック剤;ε−カプロラクタム、δ−バレロラクタム、γ−ブチロラクタムおよびβ−プロピオラクタム等のラクタム系ブロック剤;アセト酢酸エチルおよびアセチルアセトンなどの活性メチレン系ブロック剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アミルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ベンジルエーテル、グリコール酸メチル、グリコール酸ブチル、ジアセトンアルコール、乳酸メチルおよび乳酸エチル等のアルコール系ブロック剤;ホルムアルデヒドキシム、アセトアルドキシム、アセトキシム、メチルエチルケトキシム、ジアセチルモノオキシム、シクロヘキサンオキシム等のオキシム系ブロック剤;ブチルメルカプタン、ヘキシルメルカプタン、t−ブチルメルカプタン、チオフェノール、メチルチオフェノール、エチルチオフェノール等のメルカプタン系ブロック剤;酢酸アミド、ベンズアミド等の酸アミド系ブロック剤;コハク酸イミドおよびマレイン酸イミド等のイミド系ブロック剤;キシリジン、アニリン、ブチルアミン、ジブチルアミン等のアミン系ブロック剤;イミダゾール、2−エチルイミダゾール等のイミダゾール系ブロック剤;メチレンイミンおよびプロピレンイミン等のイミン系ブロック剤等が挙げられる。   Examples of isocyanate blocking agents include phenolic blocking agents such as phenol, cresol, xylenol, chlorophenol and ethylphenol; lactam blocking agents such as ε-caprolactam, δ-valerolactam, γ-butyrolactam and β-propiolactam. Active methylene blocking agents such as ethyl acetoacetate and acetylacetone; methanol, ethanol, propanol, butanol, amyl alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Benzyl ether, methyl glycolate, butyl glycolate, diacetone alcohol, Alcohol blocking agents such as methyl acid and ethyl lactate; oxime blocking agents such as formaldehyde oxime, acetaldoxime, acetoxime, methyl ethyl ketoxime, diacetyl monooxime, cyclohexane oxime; butyl mercaptan, hexyl mercaptan, t-butyl mercaptan, thiophenol Mercaptan blocking agents such as methylthiophenol and ethylthiophenol; acid amide blocking agents such as acetic acid amide and benzamide; imide blocking agents such as succinimide and maleic imide; xylidine, aniline, butylamine, dibutylamine, etc. Amine-based blocking agents; imidazole-based blocking agents such as imidazole and 2-ethylimidazole; imine-based blocks such as methyleneimine and propyleneimine Agents and the like.

ブロックイソシアネート化合物は市販のものであってもよく、例えば、7950、7951、7960、7961、7982、7990、7991、7992(以上、Baxenden社製)スミジュールBL−3175、BL−4165、BL−1100、BL−1265 、デスモジュールTPLS−2957 、TPLS−2062、TPLS−2078、TPLS−2117、デスモサーム2170、デスモサーム2265(以上、住友バイエルウレタン株式会社製)、コロネート2512、コロネート2513、コロネート2520(以上、東ソー株式会社製)、B−830、B−815、B−846、B−870、B−874、B−882(三井武田ケミカル株式会社製)、DURANATE TPA−B80E、17B−60PX、E402−B80T、MF−B60B、MF−K60B、SBN−70D(旭化成ケミカルズ株式会社製)、カレンズMOI−BM(昭和電工株式会社製)等が挙げられる。なお、スミジュールBL−3175、BL−4265はブロック剤としてメチルエチルオキシムを用いて得られるものである。   The block isocyanate compound may be commercially available, for example, 7950, 7951, 7960, 7961, 7982, 7990, 7991, 7992 (above, manufactured by Baxenden) Sumijour BL-3175, BL-4165, BL-1100 , BL-1265, Death module TPLS-2957, TPLS-2062, TPLS-2078, TPLS-2117, Desmotherm 2170, Desmotherm 2265 (manufactured by Sumitomo Bayer Urethane Co., Ltd.), Coronate 2512, Coronate 2513, Coronate 2520 (above, Tosoh Corporation), B-830, B-815, B-846, B-870, B-874, B-882 (Mitsui Takeda Chemical Co., Ltd.), DURANATE TPA-B80E, 17B-60PX E402-B80T, MF-B60B, MF-K60B, SBN-70D (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation), Karenz MOI-BM (manufactured by Showa Denko KK) and the like. Sumijoules BL-3175 and BL-4265 are obtained using methyl ethyl oxime as a blocking agent.

上記の1分子内に2個以上のイソシアネート基、またはブロック化イソシアネート基を有する化合物は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The compounds having two or more isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule can be used singly or in combination of two or more.

このような1分子内に2個以上のイソシアネート基、またはブロック化イソシアネート基を有する化合物の配合量は、固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1〜100質量部が好ましく、2〜70質量部がより好ましい。1質量部以上であると、本硬化後の塗膜の強靭性の観点から好ましい。一方、100質量部以下であると、保存安定性の観点から好ましい。   The compounding amount of the compound having two or more isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin in terms of solid content. -70 mass parts is more preferable. It is preferable from 1 mass part or more from a viewpoint of the toughness of the coating film after this hardening. On the other hand, it is preferable from a viewpoint of storage stability that it is 100 mass parts or less.

(有機酸)
本発明の感光性樹脂組成物は、有機酸が含まれていてもよい。有機酸としては、現像助剤としての機能も効果的に果たす。また乾燥塗膜の接触角を一定の値に調整しやすいため、溶解した感光性樹脂組成物中に含まれる成分が現像液底部に沈殿しなくなり、その結果、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりを抑制することができる点で有効である。なかでも、含有するとかかる効果を顕著に示すことより、ジカルボン酸を含有することが好ましい。特に感光性樹脂組成物を導電性樹脂組成物として用いると、低抵抗、すなわち導電性もさらに向上させることから、より好ましい。また、有機酸としては、芳香環を有さない有機酸が好ましい。芳香環を有さない有機酸を配合することにより、有機酸自体の光吸収性が抑制され、相対的に感光成分の光反応性が向上し、優れた解像性を得ることができる。
(Organic acid)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain an organic acid. As an organic acid, it also effectively functions as a development aid. In addition, since it is easy to adjust the contact angle of the dried coating film to a certain value, the components contained in the dissolved photosensitive resin composition do not precipitate at the bottom of the developer, resulting in contamination or precipitation of the developer in the development process. This is effective in that clogging of the developing device due to an object can be suppressed. Especially, when it contains, it is preferable to contain dicarboxylic acid from showing this effect notably. In particular, it is more preferable to use a photosensitive resin composition as the conductive resin composition because it further improves low resistance, that is, conductivity. Moreover, as an organic acid, the organic acid which does not have an aromatic ring is preferable. By blending an organic acid having no aromatic ring, the light absorption of the organic acid itself is suppressed, the photoreactivity of the photosensitive component is relatively improved, and excellent resolution can be obtained.

有機酸の具体的な例としては、2,2’−チオ二酢酸、アジピン酸、イソ酪酸、ギ酸、クエン酸、グルタル酸、酢酸、シュウ酸、酒石酸、乳酸、ピルビン酸、マロン酸、酪酸、リンゴ酸、サリチル酸、安息香酸、フェニル酢酸、アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボン酸類;亜リン酸ジブチル、亜リン酸ブチル、亜リン酸ジメチル、亜リン酸メチル、亜リン酸ジプロピル、亜リン酸プロピル、亜リン酸ジフェニル、亜リン酸フェニル、亜リン酸ジイソプロピル、亜リン酸イソプロピル、亜リン酸−n−メチル−2−エチルヘキシルなどの亜リン酸のモノまたはジエステル類;リン酸ジブチル、リン酸ブチル、リン酸ジメチル、リン酸メチル、リン酸ジプロピル、リン酸プロピル、リン酸ジフェニル、リン酸フェニル、リン酸ジイソプロピル、リン酸イソプロピル、リン酸−n−ブチル−2−エチルヘキシルなどのリン酸のモノまたはジエステル類などを挙げることができる。このなかでも、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置の目詰まりの抑制、導電性、解像性、何れにおいてもより優れた効果を奏する点で2,2’−チオ二酢酸であることが好ましい。   Specific examples of organic acids include 2,2′-thiodiacetic acid, adipic acid, isobutyric acid, formic acid, citric acid, glutaric acid, acetic acid, oxalic acid, tartaric acid, lactic acid, pyruvic acid, malonic acid, butyric acid, Carboxylic acids such as malic acid, salicylic acid, benzoic acid, phenylacetic acid, acrylic acid, maleic acid, fumaric acid, crotonic acid; dibutyl phosphite, butyl phosphite, dimethyl phosphite, methyl phosphite, phosphorous acid Mono- or diesters of phosphorous acid such as dipropyl, propyl phosphite, diphenyl phosphite, phenyl phosphite, diisopropyl phosphite, isopropyl phosphite, phosphite-n-methyl-2-ethylhexyl; phosphorus Dibutyl phosphate, butyl phosphate, dimethyl phosphate, methyl phosphate, dipropyl phosphate, propyl phosphate, diphenyl phosphate, phenyl phosphate, Phosphate diisopropyl, isopropyl phosphoric acid, mono- or diesters of phosphoric acid such as phosphoric acid -n- butyl-2-ethylhexyl, and the like. Among these, 2,2′-thiodiacetic acid is advantageous in that it has more excellent effects in terms of suppressing contamination of the developing solution in the developing process and clogging of the developing device due to precipitates, conductivity, and resolution. Preferably there is.

上記有機酸の配合量としては、固形分換算で前記アルカリ可溶性樹脂100質量部に対し、1〜10質量部の範囲であることが好ましく、1〜5質量部がより好ましい。1質量部以上の場合、現像助剤としての効果をより発揮しやすく、一方、10質量部以下の場合、解像性により優れる。   As a compounding quantity of the said organic acid, it is preferable that it is the range of 1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of said alkali-soluble resin in conversion of solid content, and 1-5 mass parts is more preferable. When the amount is 1 part by mass or more, the effect as a development aid is more easily exhibited. On the other hand, when the amount is 10 parts by mass or less, the resolution is excellent.

(分散剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、分散剤が含まれていてもよい。分散剤を配合することで、感光性樹脂組成物の分散性、沈殿性を改善することができる。分散剤としては、例えば、DISPERBYK−191(ビックケミー・ジャパン社製)が挙げられる。
(Dispersant)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a dispersant. By blending a dispersant, the dispersibility and precipitation of the photosensitive resin composition can be improved. Examples of the dispersant include DISPERBYK-191 (manufactured by Big Chemie Japan).

(光重合禁止剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合禁止剤が含まれていてもよい。光重合禁止剤を添加することで、露光による感光性樹脂組成物内部でおこるラジカル重合の内、重合禁止剤の種類およびその添加量に応じた一定量のラジカル重合を抑制できる。
(Photopolymerization inhibitor)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a photopolymerization inhibitor. By adding the photopolymerization inhibitor, it is possible to suppress a certain amount of radical polymerization in accordance with the type of polymerization inhibitor and the amount of the addition among the radical polymerization that occurs inside the photosensitive resin composition by exposure.

(熱硬化触媒)
本発明の感光性樹脂組成物に、上記分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分が含まれる場合、熱硬化触媒が含まれていてもよい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などが挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業株式会社製のキュアゾール 2MZ−A、キュアゾール 2P4MHZ、キュアゾール 2PHZ−PW(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)などが挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基およびオキセタニル基のうちから選ばれる少なくともいずれか1種とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化触媒と併用する。
(Thermosetting catalyst)
When the photosensitive resin composition of the present invention contains a thermosetting component having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule, a thermosetting catalyst may be included. Examples of such thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. Imidazole derivatives such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide, sebacic acid dihydrazide; And phosphorus compounds. Moreover, as what is marketed, for example, Cure Sole 2MZ-A, Cure Sole 2P4MHZ, Cure Sole 2PHZ-PW (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., U-CAT3503N manufactured by San Apro Co., Ltd., U-CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof), and the like. In particular, it is not limited to these, as long as it promotes the reaction of a carboxyl group with at least one selected from a thermosetting catalyst of an epoxy resin or an oxetane compound, or an epoxy group and an oxetanyl group, You may use individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with the thermosetting catalyst.

これら熱硬化触媒の配合量は、通常の量的割合で充分であり、例えば固形分換算でアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1〜20質量部が好ましく、0.5〜10質量部がより好ましい。   The blending amount of these thermosetting catalysts is sufficient at a normal quantitative ratio, for example, 0.1 to 20 parts by weight is preferable with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in terms of solid content, and 0.5 to 10 parts by weight. Part is more preferred.

(熱重合禁止剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、熱重合禁止剤が含まれていてもよい。熱重合禁止剤は、本発明の感光性樹脂組成物の熱的な重合または経時的な重合を防止するために用いることができる。
(Thermal polymerization inhibitor)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a thermal polymerization inhibitor. The thermal polymerization inhibitor can be used to prevent thermal polymerization or temporal polymerization of the photosensitive resin composition of the present invention.

(連鎖移動剤)
本発明の感光性樹脂組成物において、感度を向上するために、連鎖移動剤として公知のNフェニルグリシン類、フェノキシ酢酸類、チオフェノキシ酢酸類、メルカプトチアゾール等が含まれていてもよい。
(Chain transfer agent)
In order to improve sensitivity, the photosensitive resin composition of the present invention may contain known N-phenylglycines, phenoxyacetic acids, thiophenoxyacetic acids, mercaptothiazole and the like as chain transfer agents.

(有機溶剤)
本発明の感光性樹脂組成物には、良好な塗布状態とするため、有機溶剤が含まれていてもよい。有機溶剤としては、公知慣用の溶剤が使用できる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ(エチレングリコールモノエチルエーテル)、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(DPGME)、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート(エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート)、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート(ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート;EDGAC)、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PMA)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ、芳香族石油系溶剤等の石油系溶剤など、公知慣用の溶剤が使用できる。これらの溶剤は、単独でまたは二種類以上組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
The photosensitive resin composition of the present invention may contain an organic solvent in order to obtain a good coating state. As the organic solvent, known and commonly used solvents can be used. Examples of organic solvents include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve (ethylene glycol monoethyl ether), methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methylcarbitol, butyl Glycol ethers such as carbitol, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether (DPGME), dipropylene glycol dimethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate (ethylene glycol monoethyl ether) Acetate), butyl cellosolve acetate, carbitol acetate (diethylene glycol monoethyl) Ether acetate; EDGAC), butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA), dipropylene glycol monomethyl ether acetate, esters such as propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum ether, petroleum naphtha, Known and commonly used solvents such as solvent naphtha and petroleum solvents such as aromatic petroleum solvents can be used. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

(その他の添加成分)
本発明の感光性樹脂組成物には、上記の成分以外に公知慣用の成分、例えば増粘剤、高級脂肪酸系、スチレン・アクリル系、スチレン・マレイン酸系、ポリアクリルアミド系、アルキルケテンダイマー系、アルケニルコハク酸無水物系、石油系、シリコーン系のような消泡剤、レベリング剤、カップリング剤、酸化防止剤、防錆剤、着色剤等を、必要に応じて適宜配合してもよいことは言うまでもない。
(Other additive components)
In the photosensitive resin composition of the present invention, in addition to the above-mentioned components, known and commonly used components such as thickeners, higher fatty acid series, styrene / acrylic series, styrene / maleic acid series, polyacrylamide series, alkyl ketene dimer series, Defoaming agents such as alkenyl succinic anhydride, petroleum and silicone, leveling agents, coupling agents, antioxidants, rust preventives, colorants, etc. may be blended as necessary. Needless to say.

本発明の感光性樹脂組成物において、上述した各必須成分、ならびに任意成分との混練分散は、三本ロールやブレンダー等の機械が用いられる。こうして各成分が分散された感光性樹脂組成物は、スクリーン印刷法、バーコーター、ブレードコーターなど適宜の塗布方法で基材上に塗布される。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a machine such as a three-roller or a blender is used for kneading and dispersing the above-described essential components and optional components. The photosensitive resin composition in which the respective components are dispersed in this manner is applied onto the substrate by an appropriate application method such as a screen printing method, a bar coater, or a blade coater.

塗布した後、指触乾燥性を得るために塗布により形成された塗膜を乾燥することが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物の乾燥条件は、その後の良好な乾燥塗膜や現像性を得るために80℃で40〜70℃乾燥することを特徴とする。乾燥方法としては、特に限定されるものではないが、一例を挙げると、熱風循環式乾燥炉が挙げられ、具体的には乾燥させたい基板等のサンプルを棚板等の利用により炉内の中央部に設置し、エアーの循環やダクトの調節により装置内の温度を80℃、90℃共に±1℃の範囲で一定にする。装置名としては、ヤマト科学株式会社製DF610等が挙げられる。また、前記と同じ効果、すなわち、装置内の温度を80℃、90℃共に±1℃の範囲で一定にすることができるのであれば、遠赤外線乾燥炉等を用いても良い。乾燥後の膜厚、すなわち乾燥膜厚としては特に制限はないが、より現像がしやすくなる点に加えて印刷性により優れるという点においてソルダーレジストインキなどの絶縁性樹脂組成物は10〜150μmであることが好ましく、20〜60μmであることがより好ましい。一方、導電性ペーストなどの導電性樹脂組成物は1〜20μmであることがより好ましく、1〜10μmであることがより好ましい。   After coating, it is preferable to dry the coating film formed by coating in order to obtain touch dryness. The drying condition of the photosensitive resin composition of the present invention is characterized by drying at 80 ° C. to 40 to 70 ° C. in order to obtain a good dry coating film and developability thereafter. Although it does not specifically limit as a drying method, If an example is given, a hot-air circulation type drying furnace will be mentioned. Specifically, a sample such as a substrate to be dried is placed in the center of the furnace by using a shelf board or the like. The temperature inside the device is kept constant within a range of ± 1 ° C for both 80 ° C and 90 ° C by air circulation and duct adjustment. Examples of the device name include DF610 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd. Further, a far-infrared drying furnace or the like may be used as long as the same effect as described above, that is, the temperature in the apparatus can be kept constant within a range of ± 1 ° C. for both 80 ° C. and 90 ° C. The film thickness after drying, that is, the dry film thickness is not particularly limited, but the insulating resin composition such as a solder resist ink is 10 to 150 μm in that it is more excellent in printability in addition to being easier to develop. It is preferable and it is more preferable that it is 20-60 micrometers. On the other hand, the conductive resin composition such as a conductive paste is more preferably 1 to 20 μm, and more preferably 1 to 10 μm.

次に、所定の露光パターンを有するネガマスクを用いて、接触露光または非接触露光を施す。露光光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプなどが使用される。露光量としては積算光量が200mJ/cm以下の低い光量とすることができる。なお、マスクを使用することなく、レーザー・ダイレクト・イメージング装置により、乾燥塗膜にパターンを形成してもよい。 Next, contact exposure or non-contact exposure is performed using a negative mask having a predetermined exposure pattern. As the exposure light source, a halogen lamp, a high-pressure mercury lamp, a laser beam, a metal halide lamp, a black lamp, an electrodeless lamp, or the like is used. As the exposure amount, the integrated light amount can be a low light amount of 200 mJ / cm 2 or less. In addition, you may form a pattern in a dry coating film with a laser direct imaging apparatus, without using a mask.

次に、スプレー法、浸漬法等の現像により、露光後の塗膜をパターン状にする。本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成した乾燥塗膜の現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウムなどのアルカリ水溶液を用いることができる。特に、約1.5質量%以下の濃度の希アルカリ水溶液が好適に用いられるが、感光性樹脂組成物中のカルボキシル基がケン化され、未硬化部(未露光部)が除去されればよく、上記のような現像液に限定されるものではない。   Next, the coated film after exposure is formed into a pattern by development such as spraying or dipping. As a developing solution for a dry coating film formed using the photosensitive resin composition of the present invention, an aqueous alkali solution such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate, or the like can be used. In particular, a dilute alkaline aqueous solution having a concentration of about 1.5% by mass or less is preferably used, as long as the carboxyl group in the photosensitive resin composition is saponified and the uncured part (unexposed part) is removed. The developer is not limited to the above.

本発明の感光性樹脂組成物によれば、現像液として希アルカリ水溶液を用いることにより露光後の塗膜へのダメージが少なく、解像性にも優れた露光後の塗膜を得ることができる。   According to the photosensitive resin composition of the present invention, by using a dilute alkaline aqueous solution as a developer, it is possible to obtain a coated film after exposure with little damage to the coated film after exposure and excellent resolution. .

したがって、本発明の一形態において、露光後の塗膜の形成方法において用いられる現像液は、現像後のパターン形成において、NaCO濃度が0.1〜2.0質量%の希アルカリ水溶液であることが好ましい。特にソルダーレジストインキなどの絶縁性樹脂組成物はNaCO濃度が0.2〜2.0質量%の希アルカリ水溶液であることがより好ましい。一方、導電性ペーストなどの導電性樹脂組成物はNaCO濃度が0.1〜1.0質量%の希アルカリ水溶液であることがより好ましい。 Therefore, in one embodiment of the present invention, the developer used in the method for forming a coated film after exposure is a dilute alkaline aqueous solution having a Na 2 CO 3 concentration of 0.1 to 2.0% by mass in pattern formation after development. It is preferable that In particular, the insulating resin composition such as solder resist ink is more preferably a dilute alkaline aqueous solution having a Na 2 CO 3 concentration of 0.2 to 2.0 mass%. On the other hand, the conductive resin composition such as a conductive paste is more preferably a dilute alkaline aqueous solution having a Na 2 CO 3 concentration of 0.1 to 1.0% by mass.

現像後には、不要な現像液の除去のため、水洗や酸中和を行うことが好ましい。   After development, it is preferable to perform water washing and acid neutralization in order to remove unnecessary developer.

そして、得られた露光後の塗膜を、熱や紫外線照射により本硬化させる。これにより、印刷性に優れ、且つ密着性および耐クラック性に優れる硬化膜である硬化物を形成することができる。熱硬化の場合、熱硬化温度としては、180℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましく、140℃以下がさらに好ましく、130℃以下が特に好ましい。一方、紫外線照射による硬化の場合、500〜3000mJ/cmが好ましく、500〜2000mJ/cmがより好ましい。 And the obtained coating film after exposure is fully cured by heat or ultraviolet irradiation. Thereby, the hardened | cured material which is excellent in printability, and is a cured film excellent in adhesiveness and crack resistance can be formed. In the case of thermosetting, the thermosetting temperature is preferably 180 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or lower, further preferably 140 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or lower. On the other hand, in the case of curing by ultraviolet irradiation, 500 to 3000 mJ / cm 2 is preferable, and 500 to 2000 mJ / cm 2 is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いてもよい。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。ドライフィルム化する場合は、本発明の感光性樹脂組成物をキャリアフィルム上に塗布、乾燥して得られる樹脂層を形成する。本発明の感光性樹脂組成物をドライフィルムとして使用する場合の例を以下に示す。   The photosensitive resin composition of the present invention may be used as a dry film or as a liquid. When used as a liquid, it may be one-component or two-component or more. When forming into a dry film, the photosensitive resin composition of this invention is apply | coated on a carrier film, and the resin layer obtained by drying is formed. The example in the case of using the photosensitive resin composition of this invention as a dry film is shown below.

ドライフィルムは、キャリアフィルムと、樹脂層と、必要に応じて用いられる剥離可能な保護フィルムとが、この順序に積層された構造を有するものである。樹脂層は、本発明の感光性樹脂組成物をキャリアフィルムまたは保護フィルムに塗布および乾燥して形成される層である。キャリアフィルム上に樹脂層を形成した後に、保護フィルムをその上に積層するか、保護フィルム上に樹脂層を形成し、この積層体をキャリアフィルムに積層すればドライフィルムが得られる。   The dry film has a structure in which a carrier film, a resin layer, and a peelable protective film used as necessary are laminated in this order. The resin layer is a layer formed by applying and drying the photosensitive resin composition of the present invention on a carrier film or a protective film. After forming the resin layer on the carrier film, a protective film is laminated thereon, or a resin layer is formed on the protective film, and this laminate is laminated on the carrier film to obtain a dry film.

キャリアフィルムとしては、例えば、2〜150μmの厚みのポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートのようなポリエステルフィルム等の熱可塑性フィルムが用いられる。   As the carrier film, for example, a thermoplastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate having a thickness of 2 to 150 μm is used.

樹脂層は、感光性樹脂組成物をブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等でキャリアフィルムまたは保護フィルムに、例えば、10〜150μmの厚さで均一に塗布し乾燥して形成される。   The resin layer is formed by uniformly applying the photosensitive resin composition to a carrier film or a protective film with a blade coater, a lip coater, a comma coater, a film coater, or the like at a thickness of, for example, 10 to 150 μm and drying.

保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等を使用することができるが、樹脂層との接着力が、キャリアフィルムよりも小さいものが好ましい。   As the protective film, for example, a polyethylene film, a polypropylene film or the like can be used, but a film having an adhesive force with the resin layer smaller than that of the carrier film is preferable.

ドライフィルムを用いて基材上に硬化物である硬化膜を作製するには、例えば、保護フィルムを剥がし、樹脂層と回路形成された基材を重ね、ラミネーター等を用いて張り合わせ、回路形成された基材上に樹脂層を形成する。形成された樹脂層に対し、前記と同様に露光、現像、本硬化すれば、硬化膜である硬化物を形成することができる。キャリアフィルムは、露光前または露光後のいずれかに剥離すればよい。   In order to produce a cured film that is a cured product on a base material using a dry film, for example, the protective film is peeled off, the resin layer and the base material on which the circuit is formed are overlapped, and a circuit is formed by laminating using a laminator or the like. A resin layer is formed on the substrate. If the formed resin layer is exposed, developed, and fully cured as described above, a cured product that is a cured film can be formed. The carrier film may be peeled off either before exposure or after exposure.

これらの工程では、基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。   In these processes, as a base material, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, glass, in addition to printed wiring boards and flexible printed wiring boards that have been previously formed with copper or the like All grades (FR-4, etc.) using materials such as cloth / paper epoxy, synthetic fiber epoxy, high-frequency circuit copper-clad laminates using fluororesin, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, etc. Other examples include copper-clad laminates, metal substrates, polyimide films, polyethylene terephthalate (PET) films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, and wafer plates.

また本発明においては、上記基材の他に、耐熱性のない樹脂製の基材を使用することもができる。具体的には、樹脂製の基材としては、例えば、ポリイミド、ポリエステル系樹脂、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリスチレン(PS)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド(PA)、ポリプロピレン(PP)、ポリフェニレンオキサイド(PPO)等を挙げることができ、好適には、ポリエステル系樹脂を用いることができる。   In the present invention, in addition to the above base material, a resin base material having no heat resistance can also be used. Specifically, as a resin-made base material, for example, polyimide, polyester resin, polyethersulfone (PES), polystyrene (PS), polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), polyamide (PA) , Polypropylene (PP), polyphenylene oxide (PPO), and the like, and a polyester-based resin can be preferably used.

本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムは、プリント配線板製造用として好適に使用され、より好適には、永久被膜を形成するために使用される。その際、本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムを用いて、前述の製造方法等により、硬化物を形成する。本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層が絶縁性である場合、好適には、ソルダーレジストまたはカバーレイまたは層間絶縁層を形成するために使用される。なお、本発明の感光性樹脂組成物は、ソルダーダムを形成するために使用してもよい。
一方、本発明の感光性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層が導電性である場合、導電回路、電極、電磁波シールド形成、導電性接着剤等に好適に用いられる。
The photosensitive resin composition or dry film of the present invention is preferably used for producing a printed wiring board, and more preferably used for forming a permanent film. At that time, a cured product is formed by the above-described production method using the photosensitive resin composition or dry film of the present invention. When the photosensitive resin composition of the present invention or the resin layer of the dry film is insulative, it is preferably used to form a solder resist or a cover lay or an interlayer insulating layer. In addition, you may use the photosensitive resin composition of this invention in order to form a solder dam.
On the other hand, when the photosensitive resin composition of the present invention or the resin layer of the dry film is conductive, it is suitably used for conductive circuits, electrodes, electromagnetic wave shield formation, conductive adhesives and the like.

次に実施例を挙げて、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Next, although an Example is given and this invention is demonstrated still in detail, this invention is not limited to these Examples.

[感光性樹脂組成物の調製]
下記表1および表2に記載の各成分を配合・撹拌し、三本ロールミルを用いて3パスした。その後、ペースト粘度が250dPa・s±20Pa・sとなるように溶剤としてカルビトールアセテートを加え、同表に記載の各感光性樹脂組成物を得た。
[Preparation of photosensitive resin composition]
Each component described in Table 1 and Table 2 below was blended and stirred, and three passes were performed using a three-roll mill. Then, carbitol acetate was added as a solvent so that the paste viscosity would be 250 dPa · s ± 20 Pa · s, and each photosensitive resin composition described in the same table was obtained.

(アルカリ可溶性樹脂1の合成)

Figure 2019032474
上記一般式(IV)においてXがC(CH、平均の重合度nが3.3であるビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量650g/eq、軟化点80℃)371部とエピクロルヒドリン925部をジメチルスルホキシド462.5部に溶解させた後、攪拌下70℃で98.5%NaOH52.8部を100分かけて添加した。添加後さらに70℃で3時間反応を行った。反応終了後、水250部を加え水洗を行った。油水分離後、油層よりジメチルスルホキシドの大半および過剰の未反応エピクロルヒドリンを減圧下に蒸留回収し、残留した副製塩とジメチルスルホキシドを含む反応生成物をメチルイソブチルケトン750部に溶解させ、更に30%NaOH10部を加え、70℃で1時間反応させた。反応終了後、水200部で2回水洗を行った。油水分離後、油層よりメチルイソブチルケトンを蒸留回収して、エポキシ当量287g/eq、軟化点65℃のエポキシ樹脂(a)を得た。得られたエポキシ樹脂(a)は、エポキシ当量から計算すると、前記出発物質ビスフェノールA型エポキシ樹脂におけるアルコール性水酸基3.3個のうち約3.1個がエポキシ化されたものであった。このエポキシ樹脂(a)310部およびカルビトールアセテート282部をフラスコに仕込み、90℃に加熱・攪拌し、溶解した。得られた溶液を一旦60℃まで冷却し、アクリル酸72部(1モル)、メチルハイドロキノン0.5部、トリフェニルホスフィン2部を加え、100℃に加熱し、約60時間反応させ、酸価が0.2mgKOH/gの反応物を得た。これにテトラヒドロ無水フタル酸140部(0.92モル)を加え、90℃に加熱し、反応を行い、アルカリ可溶性樹脂1の樹脂溶液を得た。生成物の固形分濃度は64質量%、固形分酸価は100mgKOH/gであった。 (Synthesis of alkali-soluble resin 1)
Figure 2019032474
371 parts of a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent 650 g / eq, softening point 80 ° C.) having X of C (CH 3 ) 2 and an average polymerization degree n of 3.3 in the above general formula (IV) and 925 parts of epichlorohydrin Was dissolved in 462.5 parts of dimethyl sulfoxide, and 52.8 parts of 98.5% NaOH was added over 100 minutes at 70 ° C. with stirring. After the addition, the reaction was further carried out at 70 ° C. for 3 hours. After completion of the reaction, 250 parts of water was added and washed with water. After the oil / water separation, most of the dimethyl sulfoxide and excess unreacted epichlorohydrin were recovered by distillation from the oil layer under reduced pressure, and the reaction product containing the remaining by-product salt and dimethyl sulfoxide was dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone, and further 30% NaOH 10 Part was added and reacted at 70 ° C. for 1 hour. After completion of the reaction, washing was performed twice with 200 parts of water. After the oil-water separation, methyl isobutyl ketone was distilled and recovered from the oil layer to obtain an epoxy resin (a) having an epoxy equivalent of 287 g / eq and a softening point of 65 ° C. When the epoxy resin (a) obtained was calculated from the epoxy equivalent, about 3.1 of the 3.3 alcoholic hydroxyl groups in the starting material bisphenol A type epoxy resin were epoxidized. 310 parts of this epoxy resin (a) and 282 parts of carbitol acetate were charged into a flask, and heated and stirred at 90 ° C. to dissolve. The obtained solution is once cooled to 60 ° C., 72 parts (1 mol) of acrylic acid, 0.5 part of methylhydroquinone and 2 parts of triphenylphosphine are added, heated to 100 ° C., reacted for about 60 hours, and acid value Yielded a reaction of 0.2 mg KOH / g. To this, 140 parts (0.92 mol) of tetrahydrophthalic anhydride was added and heated to 90 ° C. for reaction to obtain a resin solution of alkali-soluble resin 1. The solid content concentration of the product was 64% by mass, and the solid content acid value was 100 mgKOH / g.

(アルカリ可溶性樹脂2の合成)
攪拌装置、還流管をつけた2Lフラスコ中に、分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)として、株式会社ADEKA製 EP−4300E(2官能ビスフェノールA型エポキシ樹脂、エポキシ当量:185.0g/当量)を370.0g、分子中にエチレン性不飽和基を有するモノカルボン酸化合物(b)としてアクリル酸(分子量:72.06)を144.1g、熱重合禁止剤としてハイドロキノンモノメチルエーテルを1.10gおよび反応触媒としてトリフェニルホスフィンを1.61g仕込み、98℃の温度で反応液の酸価が0.5mg・KOH/g以下になるまで反応させ、エポキシカルボキシレート化合物(理論分子量:548.2)を得た。
次いでこの反応液に反応用溶媒としてメチルエチルケトンを627.6g、熱重合禁止剤としてハイドロキノンモノメチルエーテルを3.59g、カルボキシル基を有するジオール化合物として2,2−ビス(ジメチロール)−プロピオン酸(分子量:134.1)を222.9g加え、45℃に昇温させた。この溶液にジイソシアネート化合物としてイソホロンジイソシアネート(分子量:222.3)394.4gを反応温度が65℃を超えないように徐々に滴下した。滴下終了後、温度を80℃に上昇させ、赤外吸収スペクトル測定法により、2250cm−1付近の吸収がなくなるまで6時間反応させ、アルカリ可溶性樹脂2の樹脂溶液を得た。固形分は65質量%、固形分酸価は80mgKOH/gであった。
(Synthesis of alkali-soluble resin 2)
In an 2 L flask equipped with a stirrer and a reflux tube, as an epoxy compound (a) having two or more epoxy groups in the molecule, EP-4300E (bifunctional bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent: manufactured by ADEKA Corporation): 185.0 g / equivalent) is 370.0 g, 144.1 g of acrylic acid (molecular weight: 72.06) is used as the monocarboxylic acid compound (b) having an ethylenically unsaturated group in the molecule, and hydroquinone monomethyl is used as the thermal polymerization inhibitor. 1.10 g of ether and 1.61 g of triphenylphosphine as a reaction catalyst were charged and reacted at a temperature of 98 ° C. until the acid value of the reaction solution became 0.5 mg · KOH / g or less, to obtain an epoxy carboxylate compound (theoretical molecular weight : 548.2).
Next, 627.6 g of methyl ethyl ketone as a reaction solvent, 3.59 g of hydroquinone monomethyl ether as a thermal polymerization inhibitor, and 2,2-bis (dimethylol) -propionic acid (molecular weight: 134 as a diol compound having a carboxyl group) were added to this reaction solution. .1) was added to 222.9 g and the temperature was raised to 45 ° C. To this solution, 394.4 g of isophorone diisocyanate (molecular weight: 222.3) was gradually added dropwise as a diisocyanate compound so that the reaction temperature did not exceed 65 ° C. After completion of the dropping, the temperature was raised to 80 ° C., and the reaction was carried out for 6 hours until the absorption in the vicinity of 2250 cm −1 disappeared by an infrared absorption spectrum measurement method to obtain a resin solution of alkali-soluble resin 2. The solid content was 65% by mass, and the solid content acid value was 80 mgKOH / g.

(アルカリ可溶性樹脂の酸解離定数(pKa)の測定方法)
100mlのビーカーに調製または準備したアルカリ可溶性樹脂1〜3の樹脂溶液をそれぞれ0.5g精秤し、エチレングリコールブチルエーテル溶液50mlに溶解させた。この溶液を0.1mol/エタノール性水酸カリウム溶液で滴定した。滴定装置は、平沼産業株式会社製自動滴定装置(COM−1500)を用いた(半滴定法)。酸解離定数(pKa)は半当量点(当量点の滴定量の半分)とした。アルカリ可溶性樹脂1〜3のpKaは、それぞれ下記表1に示されるとおりであった。
(Measurement method of acid dissociation constant (pKa) of alkali-soluble resin)
0.5 g of each of the resin solutions of alkali-soluble resins 1 to 3 prepared or prepared in a 100 ml beaker was precisely weighed and dissolved in 50 ml of an ethylene glycol butyl ether solution. This solution was titrated with a 0.1 mol / ethanolic potassium hydroxide solution. As a titration apparatus, an automatic titration apparatus (COM-1500) manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd. was used (semi-titration method). The acid dissociation constant (pKa) was taken as the half equivalent point (half the titration amount of the equivalent point). The pKa values of the alkali-soluble resins 1 to 3 were as shown in Table 1 below.

(接触角の測定)
銅厚35μmの全面銅箔の基材をバフロール研磨後、水洗し、乾燥した。この基材上に、スクリーン印刷法で実施例1〜9および比較例1〜5の各組成物を全面に塗布した。その後、実施例1〜7および比較例1〜3の各組成物については80℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)で乾燥時間を40、50、60、70分間と変えて、実施例8〜9および比較例4〜5の各組成物については90℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)で乾燥時間を20、25、30、35分間と変えて、それぞれ乾燥し、95mm×75mmの乾燥塗膜を得た。乾燥させたい各基材を棚板の利用により炉内の中央部に設置し、エアーの循環やダクトの調節により装置内の温度を80℃乾燥の場合も、90℃乾燥の場合も共に±1℃の範囲で調整した。
水の接触角は、接触角計としてDropMaster DM300、界面測定解析統合システムとしてFAMAS(ともに協和界面科学株式会社製)を用いて、下記条件および方法で真円フィッティング法によって測定および解析を行った。
・界面測定解析統合システムを起動し、CA/PDコントローラを立ち上げる。その際、コントローラの画面にある「視野」は「スタンダード」を選択する。次に、水をプラスチックシリンジに入れて、その先端にステンレス製の針(22番ゲージ)を取り付けて評価面に滴下する。滴下の際、接触角計に付属するカメラの焦点が合っていることを確認する。滴下直後にコントローラの画面にある「測定」ボタンを押す。
・測定に使用した水:装置(オルガノ株式会社製ピュアライトPRO−0250−003)で作製した処理水水質が0.7μS/cm以下のイオン交換水
・水の滴下量:2μL
・測定温度:20℃
・レンズの視野範囲:スタンダード
続いて、水を滴下して直後の接触角を、水平に置かれた前記乾燥塗膜上の任意の5か所で測定し、その平均値を水の接触角とした。ここで、任意の5か所の接触角の値は、それぞれ「測定」ボタンを押すことにより自動で算出される値とした。
また、実施例1〜7および比較例1〜3の各組成物については、80℃40分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をA(°)、80℃70分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をB(°)とした場合の下記式:
80(%)=|(B−A)/A|×100
で表される変化率R80(%)を求めた。
また、実施例8〜9および比較例4〜5の各組成物については、90℃20分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をC(°)、90℃35分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をD(°)とした場合の下記式:
90(%)=|(D−C)/C|×100
で表される変化率R90(%)を求めた。
水の接触角および変化率は表1に示されるとおりであった。
(Measurement of contact angle)
A copper foil base material having a copper thickness of 35 μm was polished with buffalo, washed with water and dried. On this base material, each composition of Examples 1-9 and Comparative Examples 1-5 was apply | coated to the whole surface by the screen-printing method. Then, about each composition of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3, drying time was changed into 40, 50, 60, and 70 minutes with a 80 degreeC hot-air circulation type drying furnace (DF610 by Yamato Scientific Co., Ltd.). For each of the compositions of Examples 8 to 9 and Comparative Examples 4 to 5, the drying time was changed to 20, 25, 30, and 35 minutes in a hot air circulating drying oven (DF610 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.) at 90 ° C. Each was dried to obtain a dried coating film of 95 mm × 75 mm. Each base material to be dried is installed in the center of the furnace by using a shelf, and the temperature in the apparatus is 80 ° C drying or 90 ° C drying by air circulation or duct adjustment ± 1 It adjusted in the range of ° C.
The contact angle of water was measured and analyzed by a perfect circle fitting method using DropMaster DM300 as a contact angle meter and FAMAS (both manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) as an interface measurement analysis integrated system under the following conditions and methods.
・ Launch interface measurement analysis integrated system and start CA / PD controller. At that time, “standard” is selected as the “field of view” on the controller screen. Next, water is put into a plastic syringe, and a stainless needle (22 gauge) is attached to the tip of the syringe and dropped onto the evaluation surface. When dripping, make sure that the camera attached to the contact angle meter is in focus. Immediately after dropping, press the “Measure” button on the controller screen.
-Water used for the measurement: Ion-exchanged water having a treated water quality of 0.7 µS / cm or less prepared by an apparatus (Purelite PRO-0250-003 manufactured by Organo Corporation)-Drop amount of water: 2 µL
・ Measurement temperature: 20 ℃
-Lens field of view range: Standard Subsequently, the contact angle immediately after dripping water is measured at any five locations on the dried coating film placed horizontally, and the average value is taken as the water contact angle. did. Here, the values of the contact angles at five arbitrary locations were values automatically calculated by pressing the “Measure” button.
Moreover, about each composition of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3, the contact angle of the water in the dry coating film at the time of drying at 80 degreeC for 40 minutes was A (degree), and it dried at 80 degreeC for 70 minutes. The following formula when the contact angle of water in the dry coating film is B (°):
R 80 (%) = | (B−A) / A | × 100
The change rate R 80 (%) represented by
Moreover, about each composition of Examples 8-9 and Comparative Examples 4-5, the contact angle of water in the dry coating film at the time of drying at 90 degreeC for 20 minutes was C (degree), and it dried at 90 degreeC for 35 minutes. When the contact angle of water in the dry coating film is D (°), the following formula:
R 90 (%) = | (D−C) / C | × 100
The change rate R 90 (%) represented by
The contact angle and rate of change of water were as shown in Table 1.

(現像管理幅)
銅厚35μmの全面銅箔の基材をバフロール研磨後、水洗し、乾燥した。この基材上に、スクリーン印刷法で実施例1〜9および比較例1〜5の各組成物を全面に塗布した。その後、実施例1〜7および比較例1〜3の各組成物については80℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)で乾燥時間を40、50、60、70分間と変えて、実施例8〜9および比較例4〜5の各組成物については90℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)で乾燥時間を20、25、30、35分間と変えてそれぞれ乾燥し、乾燥塗膜を得た。得られた乾燥塗膜を、実施例1〜4、8および比較例1〜2、4については30℃の1質量%NaCO水溶液、実施例5〜7、9および比較例3、5については30℃の0.2質量%NaCO水溶液をそれぞれ用いてスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、それぞれの乾燥時間で得られた乾燥塗膜の現像の可否、および、乾燥させた際に熱被りによる現像不良が起こらない時間を試験した。銅上を目視し、硬化性樹脂組成物の成分が残渣として残っていなければ現像可とし、現像可となる乾燥時間を評価基準とした。この現像可となる最長乾燥時間を現像管理幅といい、これが長時間であるほど乾燥によるマージンが広く、基板作製工程による製造管理がしやすいということになる。
評価基準は以下のとおりである。得られた結果を表1に示す。
○:80℃60分以上または90℃30分以上
×:80℃60分未満または90℃30分未満
(Development management width)
A copper foil base material having a copper thickness of 35 μm was polished with buffalo, washed with water and dried. On this base material, each composition of Examples 1-9 and Comparative Examples 1-5 was apply | coated to the whole surface by the screen-printing method. Then, about each composition of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3, drying time was changed into 40, 50, 60, and 70 minutes with a 80 degreeC hot-air circulation type drying furnace (DF610 by Yamato Scientific Co., Ltd.). In each of the compositions of Examples 8 to 9 and Comparative Examples 4 to 5, the drying time was changed to 20, 25, 30, and 35 minutes in a hot air circulating drying oven (DF610 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.) at 90 ° C. It dried and obtained the dry coating film. For the obtained dried coating films, Examples 1 to 4 and 8 and Comparative Examples 1 to 2 and 4 were each 1% by weight Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C., Examples 5 to 7 and 9 and Comparative Examples 3 and 5 , Development is carried out for 60 seconds under the condition of a spray pressure of 0.2 MPa using a 0.2 mass% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C., respectively, and whether or not the dry coating film obtained in each drying time can be developed, and The time when development failure due to heat covering did not occur when dried was tested. When copper was visually observed and the components of the curable resin composition did not remain as residues, development was possible, and the drying time at which development was possible was used as an evaluation criterion. The longest drying time during which development is possible is referred to as a development management width. The longer this is, the wider the margin for drying and the easier the manufacturing management in the substrate manufacturing process.
The evaluation criteria are as follows. The obtained results are shown in Table 1.
○: 80 ° C for 60 minutes or more or 90 ° C for 30 minutes or more ×: 80 ° C for less than 60 minutes or 90 ° C for less than 30 minutes

(解像性1評価用試験片作製法)
銅厚35μmの30μm/40μmのラインアンドスペース(L/S)を含む回路パターンを有する基材をバフロール研磨後、水洗し、乾燥した。この基材上に、スクリーン印刷法で下記表1および2に記載の感光性樹脂組成物のうち、実施例1〜4、8および比較例1〜2、4の各組成物を200メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布した。その後、80℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)で乾燥時間を30分間乾燥し、乾燥後の膜厚が20μmの乾燥塗膜を得た。その後、得られた乾燥塗膜を、光源としてメタルハライドランプ搭載の露光装置(株式会社オーク製作所製HMW−680−GW20)を用いて、30μm/40μmのラインアンドスペース(L/S)のネガマスクを介して、最適露光量でパターン露光した。ここで、最適露光量は、上記で得られた乾燥塗膜を、メタルハライドランプ搭載の露光装置を用いて感度が21段のステップタブレットを介して露光し、液温30℃の1質量%NaCO水溶液を用いてスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行った際に残存するステップタブレットのパターンが6段となる露光量とした。次いで、液温30℃の1質量%のNaCO水溶液を用いて現像を行い、水洗した。最後に、150℃×60分で硬化させて解像性1評価用試験片を作製した。
(Resolution 1 evaluation test piece preparation method)
A substrate having a circuit pattern containing 30 μm / 40 μm line and space (L / S) with a copper thickness of 35 μm was polished with buffalo, washed with water and dried. On this base material, among the photosensitive resin compositions described in Tables 1 and 2 below by screen printing, the compositions of Examples 1 to 4 and 8 and Comparative Examples 1 to 2 and 4 were mixed with 200 mesh polyester. It applied to the whole surface using the screen. Then, the drying time was dried for 30 minutes in an 80 ° C. hot-air circulating drying oven (DF610, manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.) to obtain a dried coating film having a thickness of 20 μm after drying. Then, using the exposure apparatus (HMW-680-GW20 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) equipped with a metal halide lamp as a light source, the obtained dried coating film was passed through a 30 μm / 40 μm line and space (L / S) negative mask. Then, pattern exposure was performed with an optimum exposure amount. Here, the optimum exposure amount is obtained by exposing the dried coating film obtained above through a step tablet having a sensitivity of 21 using an exposure apparatus equipped with a metal halide lamp, and 1 mass% Na 2 with a liquid temperature of 30 ° C. The exposure amount was such that the pattern of the step tablet remaining when developing for 60 seconds under the condition of a spray pressure of 0.2 MPa using a CO 3 aqueous solution was 6 steps. Then, development is performed using a 1 wt% aqueous Na 2 CO 3 solution temperature 30 ° C., and washed with water. Finally, it was cured at 150 ° C. for 60 minutes to prepare a test piece for resolution 1 evaluation.

(解像性1)
試験片の30μm/40μmのラインアンドスペース(L/S)において、解像性を評価した。
○:ラインの欠損が無く、アンダーカットも無し。
×:ラインの欠損またはアンダーカットが有り。
(Resolution 1)
The resolution was evaluated in a 30 μm / 40 μm line and space (L / S) of the test piece.
○: No line loss and no undercut.
×: Line missing or undercut

(解像性2評価用試験片作製法)
PETフィルム(東レ株式会社製ルミラーT60 厚さ125μm)上に、下記表1および2に記載の感光性樹脂組成物のうち、実施例5〜7、9および比較例3、5の各組成物を、評価用の各導電性樹脂組成物を380メッシュのポリエステルスクリーンを用いて乾燥後の膜厚が5μmとなるように全面に塗布し、次いで、実施例5〜7および比較例3の各組成物については80℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)に30分間、実施例9および比較例5の各組成物については90℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)に15分間、それぞれ乾燥して指触乾燥性の良好な乾燥塗膜を形成した。その後、得られた乾燥塗膜を、光源としてメタルハライドランプ搭載の露光装置(株式会社オーク製作所製HMW−680−GW20)を用いて、30μm/40μmのラインアンドスペース(L/S)のネガマスクを介して、最適露光量でパターン露光した。ここで、最適露光量は、上記で得られた乾燥塗膜を、メタルハライドランプ搭載の露光装置を用いて感度が21段のステップタブレットを介して露光し、液温30℃の0.2質量%NaCO水溶液を用いてスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行った際に残存するステップタブレットのパターンが6段となる露光量とした。次いで、液温30℃の濃度が0.2質量%のNaCO水溶液を用いて現像を行い、水洗した。最後に、150℃×60分で硬化させて解像性評価用試験片を作製した。
(Resolution 2 evaluation test piece preparation method)
Each composition of Examples 5 to 7, 9 and Comparative Examples 3 and 5 among the photosensitive resin compositions described in Tables 1 and 2 below on a PET film (Lumilar T60 manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 125 μm). Each conductive resin composition for evaluation was applied to the entire surface using a 380 mesh polyester screen so that the film thickness after drying was 5 μm, and then each composition of Examples 5 to 7 and Comparative Example 3 For 30 minutes in a hot air circulating drying oven (DF610 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.) at 80 ° C., and for each composition of Example 9 and Comparative Example 5, a hot air circulating drying oven (DF610 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.). ) For 15 minutes to form a dry coating film having good dryness to the touch. Then, using the exposure apparatus (HMW-680-GW20 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) equipped with a metal halide lamp as a light source, the obtained dried coating film was passed through a 30 μm / 40 μm line and space (L / S) negative mask. Then, pattern exposure was performed with an optimum exposure amount. Here, the optimum exposure amount is obtained by exposing the dried coating film obtained above through a step tablet having a sensitivity of 21 steps using an exposure apparatus equipped with a metal halide lamp, and 0.2% by mass at a liquid temperature of 30 ° C. The exposure amount was set so that the pattern of the step tablet remaining when developing for 60 seconds under a spray pressure of 0.2 MPa using an aqueous Na 2 CO 3 solution was 6 steps. Then, the concentration of the liquid temperature 30 ° C. then developed with aqueous Na 2 CO 3 0.2% by weight, and washed with water. Finally, it was cured at 150 ° C. for 60 minutes to prepare a test piece for evaluation of resolution.

(解像性2)
試験片の30μm/40μmのラインアンドスペース(L/S)において、解像性を評価した。
○:ラインの欠損が無く、アンダーカットも無し。
×:ラインの欠損またはアンダーカットが有り。
(Resolution 2)
The resolution was evaluated in a 30 μm / 40 μm line and space (L / S) of the test piece.
○: No line loss and no undercut.
×: Line missing or undercut

(現像液の汚染評価)
実施例1〜9および比較例1〜5の各組成物を100mlのスクリュー管に4g精秤した後、実施例1〜7および比較例1〜3については80℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)に70分間、実施例8〜9および比較例4〜5については90℃の熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)に35分間それぞれ乾燥し、乾燥塗膜を得た。乾燥塗膜が入ったスクリュー管に実施例1〜4、8および比較例1〜2、4については、1質量%NaCO水溶液を、実施例5〜7、9および比較例3、5については、0.2質量%NaCO水溶液をそれぞれ30g加え、蓋をして8分撹拌させた後、40分間20℃で静置した。その後、目視にてスクリュー管の液上面に固形物が付着しているか否かを目視にて確認した。評価基準は以下のとおりである。得られた結果を上記表中に示す。
◎:固形物が全く無く、スクリュー管中の液が透明である。
○:固形物は無いが、スクリュー管中の液が透明でない。
△:僅かに固形物が有り、スクリュー管中の液も透明でない。
×:固形物が多量に有り、スクリュー管中の液も透明でない。
(Development solution contamination assessment)
After 4 g of each composition of Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 5 was precisely weighed into a 100 ml screw tube, Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 were heated at 80 ° C. in a hot air circulation drying oven (Yamato). DF610 manufactured by Kagaku Co., Ltd. for 70 minutes, and Examples 8-9 and Comparative Examples 4-5 were each dried for 35 minutes in a hot air circulating drying oven (DF610 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.) at a temperature of 90 ° C. Obtained. Drying examples coated screw tube film enters 1~4,8 and Comparative Examples 1~2,4 is 1 wt% Na and 2 CO 3 aqueous solution, examples 5~7,9 and Comparative Examples 3 and 5 For each, 30 g of 0.2 mass% Na 2 CO 3 aqueous solution was added, and the mixture was covered and stirred for 8 minutes, and then allowed to stand at 20 ° C. for 40 minutes. Then, it was confirmed visually whether solid matter adhered to the liquid upper surface of the screw tube. The evaluation criteria are as follows. The obtained results are shown in the above table.
(Double-circle): There is no solid substance and the liquid in a screw tube is transparent.
○: There is no solid matter, but the liquid in the screw tube is not transparent.
Δ: There is a slight amount of solid matter, and the liquid in the screw tube is not transparent.
X: A large amount of solid matter is present, and the liquid in the screw tube is not transparent.

(現像装置の目詰まり)
「現像液の汚染」において、評価したスクリュー管をさらに40分間20℃で静置した。その後、目開き10μmのフィルターを通し、フィルターにある固形分の詰まり具合を目視にて評価した。
◎:フィルターに固形分の詰まり無し。
○:フィルターに固形分の詰まりが僅かに有り。
×:フィルターに固形分の詰まりが多量に有り。
(Developer clogged)
In “Developer Contamination”, the evaluated screw tube was allowed to stand at 20 ° C. for an additional 40 minutes. Thereafter, a filter having an opening of 10 μm was passed through, and the degree of clogging of the solid content in the filter was visually evaluated.
A: No solid clogging in the filter.
○: Solid clogging of filter is slightly present.
X: The filter has a large amount of clogged solids.

表1に試験結果をまとめて示す。なお、表1中の各成分に関する数値で単位の付されていないものは、質量部を示す。   Table 1 summarizes the test results. In addition, what is not attached | subjected with the numerical value regarding each component in Table 1 shows a mass part.

Figure 2019032474
Figure 2019032474

なお、表1中の*1〜*24は、以下の成分を表す。また、表1中「−」の表記は、未評価であることを表す。
*1:カルボキシル基含有ビスフェノールA型エポキシアクリレート樹脂、固形分64質量%、固形分酸価100mgKOH/g、アルカリ可溶性樹脂1の合成参照、表中の配合量は樹脂溶液の配合量
*2:カルボキシル基含有ビスフェノールA型ウレタンエポキシアクリレート樹脂、固形分51質量%、固形分酸価85mgKOH/g、アルカリ可溶性樹脂2の合成参照、表中の配合量は樹脂溶液の配合量
*3:サイクロマーP(ACA) Z230AA、ダイセル・オルネクス株式会社製カルボキシル基含有感光性共重合樹脂溶液、固形分53.0質量%、固形分酸価40mgKOH/g、表中の配合量は樹脂溶液の配合量
*4:反応性希釈剤、日本化薬株式会社製KAYARAD DPHA、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物
*5:反応性希釈剤、日本化薬株式会社製KAYARAD DPCA−60、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物のカプロラクトン変性物
*6:反応性希釈剤、新中村化学工業株式会社製NKオリゴ U−4HA、ヘキサメチレンジイソシアネートと2−ヒドロキシ−3−アクリロイルオキシプロピルメタクリレートを反応させた4官能ウレタン(メタ)アクリレート
*7:ビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)819
*8:オキシムエステル系光重合開始剤、BASFジャパン社製IRGACURE OXE02
*9:熱硬化性成分、三菱ケミカル株式会社製jER828、ビスフェノールA型エポキシ樹脂
*10:下記構造式で示されるエポキシ樹脂(エポキシ当量:300〜330g/eq)

Figure 2019032474
*11:下記構造式で示されるエポキシ樹脂(エポキシ当量:300〜330g/eq)
Figure 2019032474
*12:熱硬化性成分、共栄社化学株式会社製エポライト40E、エチレングリコールジグリシジルエーテル
*13:熱硬化性成分、旭化成ケミカルズ株式会社製DURANATE MF−B60B、ブロックイソシアネート
*14:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業株式会社製キュアゾール 2PHZ−PW
*15:C.I.Pigment Blue 15:3
*16:C.I.Pigment Yellow 147
*17:シリコーン系消泡剤、信越化学工業株式会社製KS−66
*18:分散剤、ビックケミー・ジャパン社製DISPERBYK−191
*19:有機酸、関東化学株式会社製 2,2'−チオ二酢酸
*20:フィラー、堺化学工業株式会社製バリエースB−30、硫酸バリウム
*21:フィラー、株式会社アドマファイン製SO−E2、球状シリカ
*22:フィラー、日本タルク株式会社製SG−2000、タルク
*23:フィラー、球状銀粉末(最大粒径30μm以下、平均粒径2μm、なお、平均粒径は、電子顕微鏡(SEM)を用いて10,000倍にて観察したランダムな10個の粒子の平均粒径である。)
*24:溶剤、出光興産株式会社製イプゾール150、石油系溶剤 In Table 1, * 1 to * 24 represent the following components. Moreover, the notation of "-" in Table 1 represents that it has not been evaluated.
* 1: Carboxyl group-containing bisphenol A type epoxy acrylate resin, solid content 64% by mass, solid content acid value 100 mgKOH / g, reference to synthesis of alkali-soluble resin 1, compounding amount in table is compounding amount of resin solution * 2: carboxyl Group-containing bisphenol A type urethane epoxy acrylate resin, solid content 51% by mass, solid content acid value 85 mgKOH / g, reference to synthesis of alkali-soluble resin 2, blending amount in table is blending amount of resin solution * 3: cyclomer P ( ACA) Z230AA, a carboxyl group-containing photosensitive copolymer resin solution manufactured by Daicel Ornex Co., Ltd., solid content 53.0% by mass, solid content acid value 40 mgKOH / g, the compounding amount in the table is the compounding amount of the resin solution * 4: Reactive diluent, Nippon Kayaku Co., Ltd. KAYARAD DPHA, dipentaerythritol pentaacrylate and Mixture with pentaerythritol hexaacrylate * 5: Reactive diluent, KAYARAD DPCA-60 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Caprolactone modified product of a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate * 6: Reactive dilution Agent, NK Oligo U-4HA manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., tetrafunctional urethane (meth) acrylate obtained by reacting hexamethylene diisocyanate and 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl methacrylate * 7: Bisacylphosphine oxide light Polymerization initiator, Omnirad manufactured by IGM Resins 819
* 8: Oxime ester photopolymerization initiator, IRGACURE OXE02 manufactured by BASF Japan
* 9: Thermosetting component, jER828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, bisphenol A type epoxy resin * 10: Epoxy resin represented by the following structural formula (epoxy equivalent: 300 to 330 g / eq)
Figure 2019032474
* 11: Epoxy resin represented by the following structural formula (epoxy equivalent: 300 to 330 g / eq)
Figure 2019032474
* 12: Thermosetting component, Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Epolite 40E, ethylene glycol diglycidyl ether * 13: Thermosetting component, Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. DURANATE MF-B60B, Block isocyanate * 14: 2-Phenyl-4, 5-dihydroxymethylimidazole, Cure Sole 2PHZ-PW manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.
* 15: C.I. I. Pigment Blue 15: 3
* 16: C.I. I. Pigment Yellow 147
* 17: Silicone antifoaming agent, KS-66 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
* 18: Dispersant, DISPERBYK-191 manufactured by Big Chemie Japan
* 19: Organic acid, 2,2′-thiodiacetic acid manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd. * 20: Filler, Variace B-30 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., Barium sulfate * 21: Filler, SO-E2 manufactured by Admafine, Inc. , Spherical silica * 22: filler, Nippon Talc Co., Ltd. SG-2000, talc * 23: filler, spherical silver powder (maximum particle size 30 μm or less, average particle size 2 μm, the average particle size is an electron microscope (SEM) The average particle size of 10 random particles observed at 10,000 times using
* 24: Solvent, Idzol 150 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd., petroleum solvent

上記表1に示されるように、水の接触角をA、Cが75.0°以上であり、かつ接触角の変化率R80(実施例1〜7)、R90(実施例8〜9)が3.0以下である実施例1〜9の感光性樹脂組成物では、本硬化後の塗膜の高解像性を満たしつつ、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置詰まりを防止することが可能な感光性樹脂組成物が得られることがわかる。一方、比較例1および2の感光性樹脂組成物では、水の接触角A、Cが75.0°未満であるため、接触角の変化率R80(比較例1〜2)、R90(比較例4)が3.0以下であっても本硬化後の塗膜の高解像性を満たしつつ、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置詰まりを防止することが可能な感光性樹脂組成物が得られないことがわかる。また、比較例3、5の感光性樹脂組成物では、水の接触角A、Cが75.0°以上ではあるが、接触角の変化率R80(比較例3)、R90(比較例5)が3.0を超えるため、本硬化後の塗膜の高解像性を満たしつつ、現像工程における現像液の汚染や沈殿物による現像装置詰まりを防止することが可能な感光性樹脂組成物が得られないことがわかる。 As shown in Table 1 above, the contact angle of water is such that A and C are 75.0 ° or more, and the change rate of contact angle R 80 (Examples 1 to 7) and R 90 (Examples 8 to 9). In the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 9 having a viscosity of 3.0 or less, the developing device is clogged with developer and clogged with developer in the developing process while satisfying the high resolution of the coating film after the main curing. It turns out that the photosensitive resin composition which can prevent is obtained. On the other hand, in the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 and 2, since the contact angles A and C of water are less than 75.0 °, the contact angle change rates R 80 (Comparative Examples 1 to 2) and R 90 ( Even if Comparative Example 4) is 3.0 or less, it is possible to prevent the developing device from being contaminated with developer and clogged with deposits in the developing process while satisfying the high resolution of the coating film after the main curing. It can be seen that a conductive resin composition cannot be obtained. Further, in the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 3 and 5, the contact angles A and C of water were 75.0 ° or more, but the contact angle change rates R 80 (Comparative Example 3) and R 90 (Comparative Example). 5) exceeds 3.0, so that the photosensitive resin composition capable of preventing contamination of the developing solution and clogging of the developing device due to precipitates in the developing process while satisfying the high resolution of the coating film after the main curing. It turns out that things cannot be obtained.

(比抵抗値)
PETフィルム(東レ株式会社製ルミラーT60 厚さ125μm)上に、実施例6および9の各組成物を380メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布し、次いで、熱風循環式乾燥炉(ヤマト科学株式会社製DF610)に80℃で30分間乾燥して指触乾燥性の良好な乾燥塗膜を形成した。その後、得られた乾燥塗膜を、光源としてメタルハライドランプ搭載の露光装置((株)オーク製作所製HMW−680−GW20)を用いて、4mm×100mmの導電パターン回路形成用のネガマスクを介して、最適露光量でパターン露光した。ここで、最適露光量は、上記で得られた乾燥塗膜を、メタルハライドランプ搭載の露光装置を用いて感度が21段のステップタブレットを介して露光し、液温30℃の0.2質量%NaCO水溶液を用いてスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行った際に残存するステップタブレットのパターンが6段となる露光量とした。次いで、液温30℃の、NaCO濃度が0.2質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行い、水洗した。最後に、150℃×60分で硬化させて比抵抗評価用試験片を作製した。かかる試験片を用いて抵抗値と膜厚を測定して比抵抗を算出した。算出結果、実施例6および9のいずれも4.0×10−5(Ω・cm)と低い値の比抵抗値が得られた。以上より、2,2'−チオ二酢酸のような有機酸を導電性樹脂組成物に用いると、より導電性になることがわかる。
(Specific resistance value)
Each composition of Examples 6 and 9 was applied to the entire surface of a PET film (Lumilar T60, manufactured by Toray Industries, Inc., 125 μm thick) using a 380 mesh polyester screen, and then a hot-air circulating drying oven (Yamato Scientific Co., Ltd.) It was dried at 80 ° C. for 30 minutes on a company DF610) to form a dry coating film having good touch-drying properties. Then, using the obtained dry coating film as a light source, an exposure apparatus equipped with a metal halide lamp (HMW-680-GW20 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), through a negative mask for forming a conductive pattern circuit of 4 mm × 100 mm, Pattern exposure was performed at the optimum exposure amount. Here, the optimum exposure amount is obtained by exposing the dried coating film obtained above through a step tablet having a sensitivity of 21 steps using an exposure apparatus equipped with a metal halide lamp, and 0.2% by mass at a liquid temperature of 30 ° C. The exposure amount was set so that the pattern of the step tablet remaining when developing for 60 seconds under a spray pressure of 0.2 MPa using an aqueous Na 2 CO 3 solution was 6 steps. Then, the liquid temperature 30 ℃, Na 2 CO 3 concentration then developed using a 0.2 wt% sodium carbonate aqueous solution, and washed with water. Finally, it was cured at 150 ° C. for 60 minutes to produce a test piece for evaluating specific resistance. The specific resistance was calculated by measuring the resistance value and the film thickness using such a test piece. As a result of the calculation, in both Examples 6 and 9, a specific resistance value as low as 4.0 × 10 −5 (Ω · cm) was obtained. From the above, it can be seen that when an organic acid such as 2,2′-thiodiacetic acid is used in the conductive resin composition, it becomes more conductive.

Claims (5)

アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物であって、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃40分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をA(°)、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を80℃70分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をB(°)、とした場合に、
Aが75.0°以上であり、
80(%)=|(B−A)/A|×100
で表される変化率R80が3.0以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin,
The contact angle of water in the dried coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 40 minutes is A (°),
When the contact angle of water in the dry coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 80 ° C. for 70 minutes is B (°),
A is 75.0 ° or more,
R 80 (%) = | (B−A) / A | × 100
The photosensitive resin composition in the rate of change R 80 represented is equal to or more than 3.0.
アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物であって、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を90℃20分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をC(°)、
感光性樹脂組成物の塗布により形成された塗膜を90℃35分で乾燥した際の乾燥塗膜における水の接触角をD(°)、とした場合に、
Cが75.0°以上であり、
90(%)=|(D−C)/C|×100
で表される変化率R90が3.0以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin,
The contact angle of water in the dried coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 90 ° C. for 20 minutes is C (°),
When the contact angle of water in the dry coating film when the coating film formed by application of the photosensitive resin composition is dried at 90 ° C. for 35 minutes is defined as D (°),
C is 75.0 ° or more,
R 90 (%) = | (D−C) / C | × 100
A photosensitive resin composition having a change rate R 90 represented by the formula of 3.0 or less.
請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。   A dry film comprising a resin layer obtained by applying the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 to a film and drying the film. 請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物、または、請求項3に記載のドライフィルムの樹脂層を硬化させて得られることを特徴とする硬化物。   A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 or the resin layer of the dry film according to claim 3. 請求項4に記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the cured product according to claim 4.
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