JP2019000780A - インクジェット塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】基材を載置するステージユニットと、ステージユニットを跨いで設けられ、ステージユニットと一方向に相対的に移動可能なガントリ部と、ガントリ部に回転可能に設けられ、基材上にインクＰを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッド部と、ガントリ部に設けられ、インクジェットヘッド部から吐出された液滴を撮像するカメラ部と、を備えるインクジェット塗布装置であって、ステージユニットは、基材を載置するステージ本体部と、インクジェットヘッドからインクＰを吐出して吐出位置を確認するためのテストステージ部とを有しており、少なくともテストステージ部は、インクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されるように構成する。【選択図】図７

Description

本発明は、基材上に液滴を吐出して所定パターンの塗布膜を形成するインクジェット塗布装置に関するものである。

インクジェット塗布技術は、カラーフィルタ等のように基板上に格子状に形成された各画素（膜形成領域）にインク（液滴）を吐出してＲ，Ｇ，Ｂの塗布膜を形成するものに適用されている。近年では、有機ＥＬ、配向膜、回路配線パターンの製造にも適用されており、吐出位置の高精度化が求められている。

従来のインクジェット塗布装置は、図８に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、ステージ１００を跨ぐように配置されたガントリ部１０１と、このガントリ部１０１に設けられたインクジェットヘッド部１０２とを有しており、インクジェットヘッド部１０２に設けられた多数のノズルからインクＰを吐出して基材Ｗ上に塗布膜（膜パターン）を形成できるように構成されている。すなわち、ガントリ部１０１がステージ１００に対して相対的に移動し（Ｘ軸方向に移動し）、インクジェットヘッド部１０２がガントリ部１０１に沿って移動することにより（Ｙ軸方向に移動することにより）、設定された吐出位置に着弾させることができるようになっている。

また、ステージ１００近くには、インクジェットヘッド部１０２から吐出されるインクＰの吐出位置精度を確認する吐出検査を行うためのテストステージ部１０３が設けられている。すなわち、吐出検査では、テストステージ部１０３の検証基材Ｗｔ上にインクＰを着弾させた後、ガントリ部１０１に設けられたカメラ部１０４（例えば、ラインスキャンカメラ）によりテストステージ部１０３に吐出されたインクＰの位置を撮像することにより、各ノズルの吐出位置の確認が行われる。

具体的には、図９に示すように、インクジェットヘッド部１０２をテストステージ部１０３に移動させ、インクＰを吐出させる（図９（ａ））。そして、図９（ｂ）に示すように、カメラ部１０４をガントリ部１０１に沿って一方向（Ｙ軸方向）に移動させて基材Ｗに着弾されたインクＰを撮像し、吐出位置、ピッチの確認が行われる。その後、基材Ｗ上に膜パターンを形成するための吐出位置の補正が行われ、実際にステージ１００上の基材ＷにインクＰが吐出され膜パターンが形成される。

特開２０１１−２０６７２９号公報

近年では、インクジェットヘッド部１０２を移動方向に対して傾斜させるように構成し、インクジェットヘッド部１０２を改造、交換することなく、ノズル間ピッチを小さくして高精度化への対応が行われている。このようなインクジェット塗布装置に吐出検査を行うと、図１０（ａ）に記載されるように、テストステージ部１０３の検証基材Ｗｔ上には、それぞれのノズルから吐出される液滴が傾斜した状態で着弾される。この着弾された液滴をカメラ部１０４により撮像しようとすると、液滴が傾斜上に並んでいるため、図１０（ｂ）の矢印で示すように、ガントリ部１０１のＸ軸方向の移動とカメラ部１０４のＹ軸方向の移動とを交互に繰り返しながら撮像を行う必要があり、上述した従来のようにカメラ部１０４の一方向の走査によって連続して撮像することができず、吐出検査に要する時間が大幅に増大するという問題があった。

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができるインクジェット塗布装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、基材を載置するステージユニットと、前記ステージユニットを跨いで設けられ、前記ステージユニットと一方向に相対的に移動可能なガントリ部と、前記ガントリ部に回転可能に設けられ、基材上に液滴を吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッド部と、前記ガントリ部に設けられ、前記インクジェットヘッド部から吐出された液滴を撮像するカメラ部と、を備えるインクジェット塗布装置であって、前記ステージユニットは、基材を載置するステージ本体部と、前記インクジェットヘッドから液滴を吐出して吐出位置を確認するためのテストステージ部とを有しており、少なくとも前記テストステージ部は、前記インクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されていることを特徴としている。

上記インクジェット塗布装置によれば、テストステージ部がインクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されているため、吐出検査では、カメラ部をガントリ部に沿って一方向に移動させることにより連続して撮像することができる。すなわち、吐出検査を行う際、テストステージ部をインクジェットヘッド部の傾斜に合わせて回転させる。すなわち、インクジェットヘッド部がＺ軸方向回りに回転した角度と同じ角度だけテストステージ部を回転させる。そして、この状態でテストステージ部上の検証基材上にインクを吐出することにより、検証基材上には、インクジェットヘッド部の傾斜に沿って液滴が配列した状態で着弾する。予定されたすべてのインクが着弾されると、テストステージ部を元の状態に戻す。これにより、検証基材上に着弾したインクの配列方向がガントリ部に沿う方向と同じ方向に配列された状態になる。その後、カメラ部をガントリ部に沿って移動させることにより、一方向の走査で着弾したインクを撮像することができる。したがって、インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても、傾斜させない場合と同様に一方向の走査によって連続して撮像し吐出検査を行うことができるため、傾斜させない場合に比べて吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができる。

また、前記ステージ本体部と、前記テストステージ部とが共通の回転機構により、前記インクジェットヘッドの回転に応じて回転するように形成されている構成にしてもよい。

この構成によれば、テストステージ部のみ回転させる場合に比べて、テストステージ部のみが回転することによりステージ本体部と接触するのを回避するためのスペースを省くことができる。

本発明によれば、インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができる。

本発明のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。 上記インクジェット塗布装置の上面図である。 インクジェットヘッド部のノズルの配置を示す図である。 インクジェットヘッド部のノズルの間隔を示す図であり、（ａ）は通常状態のノズル間隔を示す図であり、（ｂ）は傾斜した状態のノズル間隔を示す図である。 テストステージ部に着弾させた液滴を撮像する状態を模式的に示す図である。 インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）はインクジェット部が傾斜状態でありテストステージ部が通常状態の場合を示す図、（ｂ）はインクジェット部及びテストステージ部が傾斜した状態を示す図である。 インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）はインクジェット部及びテストステージ部が傾斜した状態でテストステージ部上に着弾した状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の状態からテストステージ部を通常状態に戻した状態を示す図である。 従来のインクジェット塗布装置の上面図である。 インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）は初期状態のインクジェットヘッド部で通常状態のテストステージ部に着弾させた状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の状態でカメラ部で撮像する状態を示す図である。 インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）は傾斜状態のインクジェットヘッド部で通常状態のテストステージ部に着弾させた状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の状態でカメラ部で撮像する状態を示す図である。

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。

インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、基材Ｗを載置するステージユニット１０と、基材Ｗに液滴Ｐ（塗布材料）を塗布する液滴ユニット２とを有しており、液滴ユニット２がステージユニット１０に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、液滴Ｐ（インクＰともいう）を所定の着弾位置に吐出することにより、基材Ｗ上に塗布膜が形成される。

なお、以下の説明では、この液滴ユニット２が移動する方向をＸ軸方向（主走査方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向（副走査方向）、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

インクジェット塗布装置は、基台１を有しており、この基台１上にステージユニット１０、液滴ユニット２が設けられている。具体的には、基台１上にステージユニット１０が設けられており、このステージユニット１０をＹ軸方向に跨ぐように液滴ユニット２が設けられている。

ステージユニット１０は、基材Ｗを載置するものであり、基材Ｗを載置するステージ本体部１１と、液滴ユニット２から吐出されるインクＰの吐出位置を確認するためのテストステージ部１２とを有している。本実施形態では、ステージ本体部１１及びテストステージ部１２は、長手方向を有する矩形状に形成されており、それぞれ長手方向がＸ軸方向に沿う方向に配置されている。また、テストステージ部１２は、ステージ本体部１１のＹ軸方向側面側に配置されている。

ステージ本体部１１は、最終的に製品になる基材Ｗを載置するものであり、載置された基材Ｗが水平な姿勢を維持した状態で載置できるようになっている。具体的には、ステージ本体部１１の表面は、平坦に形成されており、その表面には、吸引孔が複数形成されている。この吸引孔には真空ポンプが接続されており、ステージ本体部１１の表面に基材Ｗを載置した状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し、基材Ｗが水平な姿勢でステージ本体部１１の表面に吸着保持できるようになっている。

また、テストステージ部１２は、吐出検査を行うためのものであり、インクジェットヘッド部２１から吐出される液滴Ｐの吐出位置の精度を確認する。このテストステージ部１２は、液滴Ｐを吐出するためのフィルム状の検証基材Ｗｔが供給されるように構成されており、２つのローラ間に検証基材Ｗｔが架け渡されて形成されている。すなわち、供給側ローラから巻取側ローラに検証基材Ｗｔが供給され、吐出検査時には、各ローラ間の検証基材Ｗｔに液滴Ｐが吐出される。そして、吐出検査が終了すると、液滴Ｐが吐出された検証基材Ｗｔが巻き取られ、次回の吐出検査に備えて新たな検証基材Ｗｔが供給されるようになっている。本実施形態では、検証基材ＷｔがＸ軸方向に搬送されるように配置されており、検証基材Ｗｔの長手方向がＸ軸方向と一致するように配置されている。

また、液滴ユニット２は、基材Ｗ上に塗布材料である液滴Ｐを着弾させて塗布するものであり、塗布材料を吐出するインクジェットヘッド部２１と、このインクジェットヘッド部２１を支持するガントリ部２２とを有している。

このガントリ部２２は、ステージ本体部１１のＹ軸方向両外側に配置される脚部２２ａと、これらの脚部２２ａを連結しＹ軸方向に延びるビーム部材２２ｂとを有する略門型形状に形成されている。そして、このビーム部材２２ｂにインクジェットヘッド部２１が取付けられており、ガントリ部２２は、ステージ本体部１１をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。本実施形態では、基台１のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール（不図示）が設置されており、脚部２２ａがこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、脚部２２ａにはリニアモータが取り付けられており、このリニアモータを駆動制御することにより、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。

また、ビーム部材２２ｂは、両脚部２２ａを連結する柱状部材である。このビーム部材２２ｂには、インクジェットヘッド部２１が取付けられている。具体的には、ビーム部材２２ｂのＸ軸方向一方側の側面に、インクジェットヘッド部２１が取り付けられており、このインクジェットヘッド部２１に設けられたノズル３１ａ，４１ａ（図３参照）がステージ本体部１１の表面に向く姿勢で取付けられている。したがって、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動又は停止するにしたがって、インクジェットヘッド部２１もそれに付随してＸ軸方向に移動又は停止を行うことができ、ガントリ部２２の移動量を調節することにより、ステージ本体部１１の表面に載置された基材Ｗ上にインクジェットヘッド部２１を位置させて基材Ｗ上に塗布材料である液滴Ｐを吐出できるようになっている。

また、インクジェットヘッド部２１は、複数のノズル３１ａ，４１ａを一体化させたものである。本実施形態では、インクジェットヘッド部２１は、複数のノズル３１ａを有する第１ノズルユニット３０と、複数のノズル４１ａを有する第２ノズルユニット４０とを有しており、第１ノズルユニット３０と第２ノズルユニット４０とがＸ軸方向に互いに隣接して配置された状態で固定されている。本実施形態では、ノズル３１ａとノズル４１ａは同じノズルが用いられており、同じ大きさの粒径を吐出できるようになっているが、ノズル３１ａとノズル４１ａとで異形ノズルを用いて粒径の異なるインクＰを吐出できる構成にしてもよい。

このインクジェットヘッド部２１は、ビーム部材２２ｂに沿ってＹ軸方向に第１ノズルユニット３０と第２ノズルユニット４０とが一体となって移動できるようになっている。具体的には、ビーム部２２ｂ上にはＹ軸方向に延びるレール（不図示）が設けられており、このレールにインクジェットヘッド部２１がスライド自在に取り付けられている。そして、リニアモータを駆動制御することにより任意の位置に移動、及び、停止できるようになっている。そして、インクジェットヘッド部２１は、Ｙ軸方向に微少移動できようになっており、基材Ｗに対してＹ軸方向の所定位置に塗布材料である液滴Ｐを精度よく着弾させることができる。すなわち、インクジェットヘッド部２１がＹ軸方向に移動し、ステージ１０がＸ軸方向に移動することにより、インクジェットヘッド部２１とステージユニット１０とが相対的に移動し、ステージユニット１０上の基材Ｗの所定位置に精度よく液滴Ｐを着弾させることができるようになっている。

第１ノズルユニット３０は、図３に示すように、ノズル３１ａを有する複数のヘッドモジュール３１を備えている。本実施形態では、複数のヘッドモジュール３１がＹ軸方向に沿って配列されており、塗布方向に対して直交する方向に配置されている。ヘッドモジュール３１は、複数のノズル３１ａを有しており、ノズル３１ａが一方向に所定の配列ピッチで整列した状態で設けられている。このノズル３１ａは、汎用性のあるノズルが使用されており、ヘッドモジュール３１に駆動電圧が印加されると、各ノズル３１ａに共通の駆動電圧が印加され、各ノズル３１ａから所定の液量の液滴Ｐが吐出されるようになっている。

また、ヘッドモジュール３１は、それぞれが互いに重複する部分を有するようにずらして配置されている。図３の例では、隣接するヘッドモジュール３１がＸ軸方向に交互にずらして配置されている。すなわち、これらのヘッドモジュール３１は、ノズル３１ａの配置間隔とヘッドモジュール３１の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。すなわち、第１ノズルユニット３０は、Ｘ軸方向に見て通常ノズル３１ａがＹ軸方向に等間隔で配置されており、第１ノズルユニット３０全体としてＸ軸方向に見て、すべての通常ノズル３１ａがＹ軸方向に沿って一定の配列ピッチで配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置されている。

なお、第２ノズルユニット４０は、第１ノズルユニット３０と同じ構成であるため、説明を省略する。

また、本実施形態では、インクジェットヘッド部２１がガントリ部２２に対して回転可能に形成されている。具体的には、ガントリ部２２のビーム部材２２ａに、インクジェットヘッド部２１がＺ軸回りに回転できるように取り付けられており、インクジェットヘッド部２１は、ノズル３１ａ，４１ａの配列方向がＹ軸方向に一致する初期状態から、Ｘ軸方向に対して任意の角度に傾斜した傾斜状態で固定されるように構成されている。これにより、インクジェットヘッド部２１に配列されたノズルピッチよりも小さいピッチで基材上にインクＰを着弾させることができる。

すなわち、図４に示すように、初期状態では、図４（ａ）に示すように、Ｙ軸方向においてノズル間隔αに設定されているが、インクジェットヘッド部２１を傾斜させて傾斜状態にすると図４（ｂ）に示すように、すべてのノズル３１ａ，４１ａの配列方向がＸ軸方向に対して所定の角度有する傾斜状態になり、Ｙ軸方向において、ノズル間隔αよりも小さいノズル間隔β（＜α）にすることができる。これにより、インクジェットノズル部２１の第１ノズルユニット３０及び第２ノズルユニット４０自体をノズル間隔の小さいものに付け替えることなく、高解像度ディスプレイなど、高精細な吐出位置を要する製品にも対応することができる。なお、インクジェットヘッド２１の角度は、要求される吐出位置の解像度によってノズルピッチが決まるため、インクジェットヘッド２１は、そのノズルピッチに応じた角度に傾斜した状態に固定される。

また、ガントリ部２２のビーム部材２２ｂには、カメラ部５が取り付けられている。このカメラ部５は、テストステージ部１２に着弾された液滴Ｐを撮像するものであり、レンズが下向きになるように取り付けられている。本実施形態では、ビーム部材２２ｂのインクジェットヘッド２１と同じ側に取り付けられている。このカメラ部５は、ビーム部材２２ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に沿って移動できるようになっている。

具体的には、ビーム部２２ｂ上にはビーム部２２ｂの長手方向に延びるレール（不図示）が設けられており、カメラ部５がこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、リニアモータを駆動制御することにより任意の位置に移動、及び、停止できるようになっている。また、本実施形態では、カメラ部５の撮像範囲５１は、図５に示すように、ビーム部２２ｂの長手方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延びる矩形状に設定されており、第１ノズルユニット３０又は第２ノズルユニット４０のＸ軸方向の幅寸法よりも少し大きい範囲に設定されている。これにより、テストステージ部１２上でカメラ部５をビーム部２２ｂの長手方向に移動させることにより、第１ノズルユニット３０又は第２ノズルユニット４０から吐出された液滴Ｐを撮像することができる。すなわち、カメラ部５は、一度目の一方向の走査（往路）で一方のノズルユニット（例えば第１ノズルユニット３０）から吐出された液滴Ｐを連続的に撮像し、次の一方向の走査（復路）で、もう一方のノズルユニット（例えば第２ノズルユニット）から吐出された液滴Ｐを連続的に撮像することにより、インクジェットヘッド部２１から吐出される実際の液滴Ｐすべての着弾位置を取得することができる。これにより、カメラ部５により撮像された液滴Ｐの位置から制御装置（不図示）により着弾位置精度、着弾ピッチが検出されることにより、ノズル３１ａ，４１ａの実際の着弾位置を把握することができる。

また、本実施形態では、ステージユニット１０が回転できるように形成されている。本実施形態では、ステージ本体部１１とテストステージ部１２とがＺ軸回りに回転できるように構成されている。具体的には、基台１とステージ本体部１１との間に回転機構が設けられ、ステージ本体部１１が基台１に対してＺ軸回りに回転できるようになっている。また、テストステージ部１２はステージ本体部１１と連結されて固定されている。したがって、ステージ本体部１１がＺ軸回りに回転すると、テストステージ部１２はステージ本体部１１を中心に回転するようになっている（図６（ａ）→図６（ｂ））。本実施形態では、インクジェットヘッド部２１の回転角度に応じて回転するように構成されており、ステージ本体部１１及びテストステージ部１２は、インクジェットヘッド部２１の傾斜角度と同じ傾斜角度になるように回転できるように構成されている。このテストステージ部１２が回転することにより、インクジェットヘッド部２１が回転した場合でも、回転しない場合と同様に吐出検査することができる。

すなわち、通常の吐出検査では、インクジェットヘッド部２１が回転しないため、ステージユニット１０も回転させず、テストステージ部１２は、テストステージ部１２の長手方向がＸ軸方向に沿う方向に配置される通常状態に配置されている。そして、インクジェットヘッド部２１をテストステージ部１２まで移動させ、テストステージ部１２上の検証基材Ｗｔ上に液滴Ｐを吐出する。検証基材Ｗｔ上には、図９（ａ）に示すように、初期状態のインクジェットヘッド部２１では、ノズル３１ａ，４１ａがＹ軸方向に配列されているため、着弾された液滴ＰはＹ軸方向に並んだ状態で配置されている。

次に、カメラ部５をテストステージ部１２に移動させ、撮像範囲５１がノズル３１ａから吐出された液滴Ｐ列の最端部であって撮像範囲５１と液滴Ｐ列とが直交するように配置する（図５参照）。そして、カメラ部５をビーム部２２ｂの長手方向（この場合、Ｙ軸方向と一致）に移動させ（図９（ｂ））、ノズル３１ａから吐出された液滴Ｐを連続的に撮像する。また、Ｙ軸方向において、先とは逆方向に移動させてノズル４１ａから吐出された液滴Ｐを連続的に撮像する。撮像された液滴Ｐのデータは、制御装置により着弾位置精度、着弾ピッチが算出され、各ノズル３１ａ，４１ａ毎の着弾位置データが補正される。

次に、インクジェットヘッド部２１を回転させた場合の吐出検査も同様に、傾斜状態のインクジェットヘッド部２１からテストステージ部１２に液滴Ｐを着弾させることによって行われる。具体的には、まず、通常状態のテストステージ部１２を回転させる。すなわち、図６（ａ）に示すように、通常状態のテストステージ部１２は、その長手方向がＸ軸方向になるように配置されているため、テストステージ部１２を回転させてインクジェットヘッド部２１と同じ回転角度ｓになるように傾斜させる（図６（ｂ））。すなわち、テストステージ部１２の長手方向がＸ軸方向に対して角度ｓになるように回転させる。この状態では、インクジェットヘッド部２１のノズル３１ａ、４１ａの配列方向がＸ軸方向に対して角度ｓ有しているが、テストステージ部１２の長手方向もＸ軸方向に対して角度ｓを有しているため、ノズル３１ａ、４１ａとテストステージ部１２との相対的な位置関係は、インクジェットヘッド部２１が回転しない通常状態と同様である。

そして、インクジェットヘッド部２１をテストステージ部１２まで移動させ、テストステージ部１２上の検証基材Ｗｔ上に液滴Ｐを吐出する。検証基材Ｗｔ上には、図７（ａ）に示すように、傾斜状態のインクジェットヘッド部２１では、ノズル３１ａ，４１ａの配列方向がＸ軸方向に対して角度ｓ傾斜しているため、着弾された液滴ＰはＸ軸方向に対して角度ｓ傾斜した方向に並んだ状態で配置されている。

次に、カメラ部５で着弾された液滴Ｐを撮像するが、図７（ａ）の状態では、カメラ部５の移動方向と液滴Ｐの配列方向が異なっているため、テストステージ部１２を回転させて通常状態に戻す。すなわち、図７（ｂ）に示すように、テストステージ部１２の長手方向がＸ軸方向になるように回転させる。この状態では、検証基材Ｗｔ上に着弾された液滴Ｐの配列方向が初期状態と同様になる。そのため、通常状態と同様に、カメラ部５をテストステージ部１２に移動させ、ノズル３１ａ、４１ａから吐出された液滴Ｐを連続的に撮像する。撮像された液滴Ｐのデータは、制御装置により着弾位置精度、着弾ピッチが算出され、各ノズル３１ａ，４１ａ毎の着弾位置データが補正される。

このように、上述した実施形態におけるインクジェット塗布装置によれば、テストステージ部１２がインクジェットヘッド部２１の回転に応じて回転可能に形成されているため、吐出検査では、カメラ部５をガントリ部２２に沿って一方向に移動させることにより連続して撮像することができる。すなわち、インクジェットヘッド部２１を傾斜させた状態でテストステージ部１２を回転させずに吐出検査を行うと、テストステージ部１２には、図１０（ａ）に示すように、着弾された液滴Ｐが傾斜した状態で配列される。この液滴Ｐをカメラ部５で撮像しようとすると、カメラ部５の移動方向がビーム部２２ｂの長手方向であるため、液滴Ｐの傾斜方向に沿って一方向に移動させて撮像することができず、撮像中にガントリ部２２の移動（Ｘ軸方向の移動）とカメラ部５の移動（Ｙ軸方向の移動）との両方の移動を伴う必要があり（図１０（ｂ））、インクジェットヘッド部２１を回転させない通常状態に比べて、着弾された液滴Ｐをすべて撮像するのに非常に時間がかかる。そこで、テストステージ部１２を回転させることによりカメラ部５を一方向の走査によって連続して撮像し吐出検査を行うことができるため、テストステージ部１２を傾斜させない場合に比べて吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができる。

また、カメラ部５をテストステージ部１２全体を撮像できるものを使用することにより、インクジェットヘッド部２１の回転に影響を受けることなく、一度の撮像で吐出検査を行うことができる。ところが、撮像範囲５１の広いカメラは非常に高価であるため、装置全体のコストアップを招く結果となる。その点、本発明では、従来のカメラ部５を使用することができるため、不必要なコストアップを回避することができる。

また、上記実施形態では、ステージ本体部１１とテストステージ部１２の両方が回転する例について説明したが、テストステージ部１２のみがインクジェットヘッド部２１の回転に応じて回転するように構成してもよい。この構成によれば、テストステージ部１２のみ回転させればよいため、ステージ本体部１１を共に回転させる構成に比べて回転機構を簡素化することができる。

なお、上記実施形態では、ステージユニット１０に対してインクジェットヘッド部２１が移動する構成について説明したが、インクジェットヘッド部２１が固定され、ステージユニット１０が移動する構成であってもよい。

２ 液滴ユニット
５ カメラ部
１０ ステージユニット
１１ ステージ本体部
１２ テストステージ部
２１ インクジェットヘッド部
２２ ガントリ部
２２ｂ ビーム部
３０ 第１ノズルユニット
４０ 第２ノズルユニット
Ｗ 基材
Ｗｔ 検証基材

Claims (2)

1. 基材を載置するステージユニットと、
   前記ステージユニットを跨いで設けられ、前記ステージユニットと一方向に相対的に移動可能なガントリ部と、
   前記ガントリ部に回転可能に設けられ、基材上に液滴を吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッド部と、
   前記ガントリ部に設けられ、前記インクジェットヘッド部から吐出された液滴を撮像するカメラ部と、
   を備えるインクジェット塗布装置であって、
   前記ステージユニットは、基材を載置するステージ本体部と、前記インクジェットヘッドから液滴を吐出して吐出位置を確認するためのテストステージ部とを有しており、
   少なくとも前記テストステージ部は、前記インクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。
2. 前記ステージ本体部と、前記テストステージ部とが共通の回転機構により、前記インクジェットヘッドの回転に応じて回転するように形成されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。

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