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JP2019088390A - 除菌方法及び除菌装置 - Google Patents

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JP2019088390A JP2017218347A JP2017218347A JP2019088390A JP 2019088390 A JP2019088390 A JP 2019088390A JP 2017218347 A JP2017218347 A JP 2017218347A JP 2017218347 A JP2017218347 A JP 2017218347A JP 2019088390 A JP2019088390 A JP 2019088390A
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Abstract

【課題】空間を適切な湿度にし、効率的に除菌を行なうための除菌方法及び除菌装置を提供する。【解決手段】二流体ノズルN1〜N5に接続された流体供給管41に、バルブ47を介して接続される水供給管45から、水を二流体ノズルN1〜N5に供給して、二流体ノズルN1〜N5から水を噴霧して、部屋を加湿する。更に、流体供給管41に接続される薬液供給管46から、薬液を二流体ノズルN1〜N5に供給して、二流体ノズルN1〜N5から薬液を噴霧して、部屋を除菌する。薬液の噴霧後、薬液の噴霧を停止し、その状態を保持する保持処理を実行し、流体供給管41に残留した薬液を排出するパージ処理を実行する。【選択図】図1

Description

本発明は、加湿及び除菌を行なう除菌方法及び除菌装置に関する。
食品工場等の食品製造施設や医療・福祉施設の施設内を、殺菌効果がある次亜塩素酸水溶液等の薬品を噴霧することにより、除菌することが検討されている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1には、室内空間内に二流体ノズルから薬液を、噴霧後の相対湿度が70%以上になるように噴霧することにより、除菌ができることが記載されている。更に、噴霧前の室内空間の相対湿度が低い場合には、加湿器で加湿した上で、薬液を噴霧することが記載されている。
特開2016−27849号公報
しかしながら、特許文献1に記載の技術においては、低湿度からの薬液噴霧では、大量に薬液を噴霧する必要があり、結果的に建材の腐食の影響等が懸念される。このため、除菌設備と別に加湿器を設置する必要があり、コストや設置の手間がかかる。
上記課題を解決する除菌方法は、除菌に用いる薬液が供給される液体供給管に接続され、気体を用いて前記薬液を噴霧する二流体ノズルを用いて、空間内を除菌する除菌方法において、前記液体供給管に切替弁を介して接続される加湿用液体供給管から、加湿用液体を前記二流体ノズルに供給して、前記加湿用液体を噴霧して、前記空間内を加湿する加湿段階と、前記液体供給管に前記切替弁を介して接続される薬液供給管から、前記薬液を前記二流体ノズルに供給して、前記空間内を除菌する除菌段階とを実行する。
本発明によれば、空間を適切な湿度にし、効率的に除菌を行なうことができる。
本実施形態における除菌装置の構成を説明する配管図。 本実施形態における除菌対象の空間内の構成を説明する説明図。 本実施形態における制御ユニットの構成を説明するブロック図。 本実施形態の除菌装置における相対湿度と噴霧開始からの時間と相対湿度との関係を説明するグラフ。 本実施形態における除菌条件を説明する説明図。 本実施形態における除菌方法を説明する処理手順の流れ図。 本実施形態の除菌装置における気体及び液体の流れを説明する説明図であって、(a)は加湿制御処理、(b)は薬液噴霧処理、(c)はパージ処理を示す。
以下、図1〜図7を用いて除菌装置及び除菌方法を具体化した一実施形態を説明する。
まず、図1を用いて、二流体ノズルN1〜N5を備えた除菌装置30の構成について説明する。
除菌装置30は、複数の二流体ノズルN1〜N5、コンプレッサC1、空気タンクTa1、薬液タンクTc1を備えている。薬液タンクTc1には、部屋の除菌に用いる薬液が貯蔵される。この薬液として、pHが6.5で、次亜塩素酸濃度が120mg/Lの薬液を用いる。この薬液は、次亜塩素酸ナトリウム6%を水道水で希釈後、食品添加物3%塩酸を添加してpHを調整して生成する。なお、次亜塩素酸ナトリウム6%として、ピューラックス(登録商標)Sを用いた。また、水道水:ピューラックスS:食塩添加物3%塩酸を650:1:1の比率で混合した。
除菌装置30は、気体供給管31,35、気体供給バルブ36、液体供給管としての流体供給管41、気体液体切替バルブ43、接続管44、水供給管45、薬液供給管46、バルブ47,48、薬液をバケツ等に排出するための排液バルブ49を備えている。気体供給管31及び流体供給管41の下流側には、それぞれ、二流体ノズルN1〜N5が接続される。
二流体ノズルN1〜N5は、圧縮空気を用いて液体を噴霧状にして噴出する。この二流体ノズルN1〜N5は、圧縮空気の取入部及び液体の取入部を有しており、空気と液体とを混合して、霧状の液体を噴霧口から噴霧する。本実施形態では、二流体ノズルとして、二流体サイフォン式噴霧ノズルを用いている。具体的には、スプレーイングシステムスジャパン株式会社製のクイックフォッガー(商品名)を用いる。また、供給される圧縮空気の空気圧により、二流体ノズルN1〜N5の時間当たりの噴霧液量を制御することができる。本実施形態では、ミスト粒子径が9μmとなる噴霧口を用いる。そして、各二流体ノズルN1〜N5の取入部には、圧縮空気を供給する気体供給管31と、噴霧される液体を供給する流体供給管41とが接続される。
気体供給管31の下流側は、二流体ノズルN1〜N5に対応して、空気供給バルブV1〜V5のそれぞれとボールバルブとがそれぞれ設けられている。各空気供給バルブV1〜V5は、3方向電磁弁であって、非通電時における二流体ノズルN1〜N5側の外部開放と、通電時における気体供給管31と各二流体ノズルN1〜N5との接続とを切り替える。
気体供給管31の上流側は、減圧弁、ミストセパレータ及びボールバルブを介して、空気タンクTa1に接続される。空気タンクTa1は、ボールバルブを介してコンプレッサC1に接続されており、コンプレッサC1からの圧力によって、圧縮空気を気体供給管31に供給する。
気体供給管31は、減圧弁を介して、気体供給管35に接続される。気体供給管35は、気体供給バルブ36を介して薬液タンクTc1に供給される。気体供給管35は、気体液体切替バルブ43を介して、流体供給管41に接続される。
一方、流体供給管41は、気体液体切替バルブ43を介して接続管44に接続される。
気体液体切替バルブ43は、3方向電磁弁であって、非通電時における流体供給管41と気体供給管35との接続、通電時における流体供給管41と接続管44との接続を切り替える。
接続管44には、加湿用液体供給管としての水供給管45と、薬液供給管46とにそれぞれ接続される。水供給管45は、バルブ47、逆止弁及び減圧弁を介して、水道管W1に接続される。本実施形態では、水道管W1からの水道水を加湿用液体として用いる。
薬液供給管46は、バルブ48及びボールバルブを介して、薬液タンクTc1に接続される。バルブ47,48は、一方を開放し他方を閉鎖することにより、水道管からの水、又は薬液タンクTc1からの薬液を、接続管44に供給する切替弁として機能する。
<二流体ノズルN1〜N5の配置>
次に、図2を用いて、二流体ノズルN1〜N5の配置を説明する。本実施形態では、部屋R1,R2,R3の空間を除菌する場合を想定する。部屋R1〜R3の空間の除菌に用いる薬液を貯蔵した薬液タンクTc1は、部屋R1〜R3以外の場所に設置される。
部屋R1,R2は、ドアD1,D2を介して外に連通する。部屋R3は、ドアD3,D4を介して部屋R1,R2にそれぞれ連通する。
部屋R1,R2の柱の側面には、湿度センサM1,M2がそれぞれ取り付けられている。湿度センサM1,M2は、各部屋R1,R2の湿度を検出する。
部屋R1,R2のほぼ中央の天井には、火災報知器A1,A2がそれぞれ取り付けられている。各火災報知器A1,A2は、火災の煙を感知する機器であって、煙の粒子に当たった場合の光の乱反射等を利用して煙の発生を検知し警告を出力する。
部屋R1には、除菌装置の二流体ノズルN1,N2が配置される。また、部屋R2には、除菌装置の二流体ノズルN3,N4,N5が配置される。これら二流体ノズルN1〜N5は、その噴霧口が火災報知器A1,A2よりも下方となる高さで、天井から吊り下げられている。各二流体ノズルN1〜N5は、矢印に示す方向に液体を噴霧する。
<除菌装置30の制御>
図3を用いて、除菌装置30の制御を説明する。除菌装置30は、制御ユニット50を備えている。制御ユニット50は、部屋R1〜R3内の加湿と除菌とを制御する。
制御ユニット50には、湿度センサM1,M2が検出した湿度と、部屋R1,R2に設けられた人感センサ60からの信号とが供給される。この制御ユニット50は、各空気供給バルブV1〜V5、気体液体切替バルブ43、バルブ47,48、気体供給バルブ36に制御信号を供給し、これらバルブ(V1〜V5,43,47,48)の切り替えを行なう。更に、制御ユニット50は、コンプレッサC1の起動及び停止を制御する。
制御ユニット50には、操作部61及び表示部62が接続される。操作部61及び表示部62は、タッチパネルである。表示部62には、加湿や除菌の手動による開始や停止、現在の湿度等を表示する。操作部61は、加湿や除菌の停止や、加湿における設定湿度の変更操作を行なうために用いられる。
制御ユニット50は、加湿制御部51、除菌制御部52及び除菌条件記憶部55を備えている。
加湿制御部51は、水を噴霧して加湿処理を実行する。この加湿制御部51は、設定湿度を記憶している。この設定湿度として、例えば、50%RHを用いる。加湿制御部51は、部屋R1〜R3内の湿度が設定湿度となるように、二流体ノズルN1〜N5から水を噴霧して、部屋R1〜R3の加湿を行なう。また、加湿制御部51は、操作部61からの操作に応じて、設定湿度を変更する。
除菌制御部52は、薬液噴霧段階、保持段階、パージ段階を実行する。薬液噴霧段階では、薬液を噴霧し、保持段階では、薬液の噴霧を停止してその状態を保持し、パージ段階では、薬液を配管から排出する。
除菌制御部52は、保持段階を実行する時間(保持時間)と、パージ段階を実行する時間(パージ時間)とをそれぞれ記憶している。本実施形態では、保持時間として7分、パージ時間として15分を用いる。パージ段階において薬液を噴霧した場合、部屋R1,R2の湿度が上昇する。この場合においても、部屋R1,R2の湿度が、基準値以上とならないように相対湿度を下げる時間として保持時間が決定される。本実施形態では、基準値として85%RHを用いる。この基準値より、部屋R1〜R3内の相対湿度が低い場合には、火災報知器A1,A2は警報を出力しない。
図4は、噴霧開始からの時間と相対湿度との関係を示したグラフである。このグラフでは、薬液噴霧は11分、保持時間は7分、パージ時間は15分としている。このグラフに示すように、薬液噴霧によって相対湿度は上昇し、部屋R1〜R3内を除菌できる相対湿度(70%RH)を超えて、その後、相対湿度は低下する。パージ段階においては再び相対湿度が上昇する。そして、パージ段階において、相対湿度は、再び上昇した後で低下する。ここで、保持時間を長くすることにより、パージ段階の相対湿度のピーク値を低下させる。本実施形態では、7分の保持時間で、パージ段階のピーク値が85%RHより低くすることができる。
本実施形態の除菌制御部52は、除菌条件記憶部55に記憶された除菌条件を用いて、薬液噴霧を行なう。
図5に示すように、除菌条件記憶部55は、除菌条件を記憶している。この除菌条件は、除菌開始時の湿度と、部屋R1,R2とによって異なる。本実施形態では、春、秋及び冬のように、除菌開始時の湿度が60%RH(相対湿度60%)以下の場合には、湿度制御を行ない、夏のように除菌開始時の湿度が60%RHを超える場合には、タイマ制御を行なう。湿度制御の場合には、部屋R1,R2毎の目標相対湿度となるまで、薬液を噴霧する。湿度センサM1,M2の湿度が目標相対湿度に到達して超えた場合、すぐに噴霧を停止しても、部屋R1〜R3の湿度は上昇し、噴霧後の相対湿度が70%以上となって除菌を行なうことができる。タイマ制御の場合には、予め定めた薬液噴霧時間中、薬液を噴霧する。本実施形態では、部屋R1,R2の湿度制御における目標相対湿度は、それぞれ68%RH、77%RH、部屋R1,R2のタイマ制御における薬液噴霧時間は、それぞれ12分、14分に設定される。
次に、図6及び図7を用いて、本実施形態の除菌装置を用いた処理について説明する。本実施形態では、部屋R1〜R3に対して、昼間に人がいる時間には、乾燥を回避するために、加湿制御を行ない、夜中の除菌開始時刻に除菌制御処理を実行する。本実施形態では、ドアD1,D2を閉鎖し、ドアD3,D4を開放することにより、部屋R1,R2だけでなく、部屋R3についても加湿及び除菌を行なう。
<加湿制御処理>
図6に示すように、昼間、制御ユニット50は、部屋R1,R2の湿度に基づいて、加湿制御処理を実行する(ステップS1)。具体的には、制御ユニット50の加湿制御部51は、湿度センサM1,M2からの湿度を取得する。加湿制御部51は、取得した湿度が、設定湿度より低い場合には、加湿を行なう。
この場合、図7(a)に示すように、制御ユニット50の加湿制御部51は、コンプレッサC1を起動し、各空気供給バルブV1〜V5の切替操作により気体供給管31と接続させて、圧縮空気を各二流体ノズルN1〜N5に供給する。
また、加湿制御部51は、バルブ47の開操作とバルブ48の閉操作とを行なって、気体液体切替バルブ43に、水道管W1からの水を供給する。更に、加湿制御部51は、気体液体切替バルブ43の切替操作により、流体供給管41と接続管44とを連通する。
以上により、各二流体ノズルN1〜N5には、圧縮空気及び水が供給され、部屋R1〜R3に水が噴霧されて、部屋R1〜R3の湿度が上昇する。
そして、部屋R1〜R3の湿度が設定湿度となった場合、制御ユニット50の加湿制御部51は、加湿を停止する。具体的には、加湿制御部51は、気体液体切替バルブ43及び空気供給バルブV1〜V5の切替操作により二流体ノズルN1〜N5側を開放し、コンプレッサC1を停止させる。これにより、各二流体ノズルN1〜N5には、水道水と圧縮空気との供給が停止され、加湿が停止される。
<除菌制御処理>
その後、図6に示すように、除菌開始時刻になった場合(ステップS2において「YES」の場合)、除菌制御部52は、開始時湿度の取得処理を実行する(ステップS3)。具体的には、まず、除菌制御部52は、人感センサ60からの信号に基づいて、部屋R1〜R3に人がいないかどかを判定する。部屋R1〜R3に人がいないと判定した場合、除菌制御部52は、湿度センサM1,M2の湿度を取得する。
次に、除菌制御部52は、取得した開始時湿度が60%RH以下かどうかの判定処理を実行する(ステップS4)。ここで、湿度センサM1,M2が60%RH以下の場合(ステップS4において「YES」の場合)には、湿度制御処理を実行する。
具体的には、図7(b)に示すように、この湿度制御処理において、除菌制御部52は、コンプレッサC1を起動し、各空気供給バルブV1〜V5の切替操作により気体供給管31と接続させて、圧縮空気を各二流体ノズルN1〜N5に供給する。
また、除菌制御部52は、気体供給バルブ36の開操作により、圧縮空気を薬液タンクTc1に供給し、薬液に圧力を加える。そして、除菌制御部52は、バルブ47の閉操作、バルブ48の開操作を行なう。更に、除菌制御部52は、気体液体切替バルブ43の切替操作により、流体供給管41と接続管44とを接続させて、薬液タンクTc1からの薬液を供給する。
以上により、各二流体ノズルN1〜N5には、薬液と圧縮空気とが供給され、部屋R1,R2に薬液が噴霧される(ステップS5)。そして、薬液の噴霧によって、部屋R1〜R3の相対湿度が上昇する。
そして、湿度センサM1,M2からの検出湿度が、目標相対湿度を超えない場合(ステップS6において「NO」の場合)、除菌制御部52は、薬液を噴霧し続ける。
一方、除菌制御部52は、取得した開始時湿度が60%RHを超えていた場合(ステップS4において「NO」の場合)には、タイマ制御処理を実行する。
このタイマ制御処理において、除菌制御部52は、湿度制御処理と同様に、コンプレッサC1を起動し、各空気供給バルブV1〜V5の切替操作により気体供給管31と接続させる。更に、除菌制御部52は、バルブ47の閉操作、バルブ48の開操作、気体液体切替バルブ43の切替操作を行なう。これにより、各二流体ノズルN1〜N5には、薬液と圧縮空気とが供給され、薬液が、部屋R1〜R3に噴霧される(ステップS7)。
そして、噴霧開始時から噴霧時間が経過するまで(ステップS8において「NO」の場合)、除菌制御部52は、薬液を噴霧し続ける。
その後、湿度制御処理において、目標相対湿度を超えた場合、又は、タイマ制御処理において噴霧時間が経過した場合(ステップS6,S8において「YES」の場合)、除菌制御部52は、保持処理を実行する(ステップS9)。
具体的には、除菌制御部52は、バルブ47,48の閉操作により、気体液体切替バルブ43への液体供給を停止する。更に、除菌制御部52は、各空気供給バルブV1〜V5の切替操作により、各二流体ノズルN1〜N5への圧縮空気の供給を停止し、コンプレッサC1を停止する。
以上により、各二流体ノズルN1〜N5には、液体及び圧縮空気の供給が停止し、各二流体ノズルN1〜N5からの噴霧が停止される。そして、この噴霧を停止した状態を、保持時間が経過するまで維持する。
保持時間が経過した場合、除菌制御部52は、パージ処理を実行する(ステップS10)。
具体的には、図7(c)に示すように、除菌制御部52は、コンプレッサC1を起動し、各空気供給バルブV1〜V5の切替操作により、圧縮空気を各二流体ノズルN1〜N5に供給する。更に、除菌制御部52は、気体液体切替バルブ43の切替操作により、流体供給管41と気体供給管35とを連通する。なお、この場合、バルブ47,48及び気体供給バルブ36は閉操作されている。
以上により、流体供給管41に圧縮空気が供給されて、流体供給管41内に残留した薬液を、二流体ノズルN1〜N5から噴霧する。
そして、パージ処理の開始後、パージ時間が経過した場合、除菌制御部52は、各空気供給バルブV1〜V5の切替操作により二流体ノズルN1〜N5側を開放し、コンプレッサC1を停止する。これにより、二流体ノズルN1〜N5には、圧縮空気が供給されず、二流体ノズルN1〜N5からの噴霧が終了する。
以上により、除菌制御処理が終了し、次の加湿制御処理(ステップS1)に備える。
本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)本実施形態の除菌装置30の二流体ノズルN1〜N5は、圧縮空気を用いて、水供給管45から供給される水を噴霧して、部屋R1〜R3を加湿し、薬液供給管46から供給される薬液を噴霧して、部屋R1〜R3を除菌する。これにより、加湿と除菌とを、同じ二流体ノズルN1〜N5を用いて行なうことができる。
(2)本実施形態の除菌装置30では、二流体ノズルN1〜N5に接続される流体供給管41に、バルブ47,48を介して、水供給管45及び薬液供給管46を接続する。これにより、流体供給管41を用いて、水及び薬液を供給できる。特に、二流体ノズルN1〜N5の設置場所と、水道管W1や薬液タンクTc1が離れている場合、配管数を削減することができる。
(3)本実施形態では、薬液の噴霧(ステップS5,S7)後、加湿制御処理(ステップS1)の前に、パージ処理(ステップS10)を実行する。これにより、流体供給管41に残留した薬液を排出することができる。
(4)本実施形態では、パージ処理(ステップS10)において、二流体ノズルN1〜N5に接続される流体供給管41に圧縮空気を供給する。これにより、流体供給管41に残留した薬液を迅速に排出することができる。
(5)本実施形態では、薬液の噴霧(ステップS5,S7)後、パージ処理(ステップS10)の前に、保持処理(ステップS9)を実行する。これにより、パージ処理(ステップS10)において、湿度の上昇を抑制することができる。例えば、高湿度に基づく火災報知器A1,A2の警報出力を抑制することができる。更に、パージ処理(ステップS10)における最高湿度を、除菌が行なわれる湿度(70%RH)以上にすることもできる。
また、本実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態においては、薬液噴霧後の保持処理における保持時間を7分とした。保持時間は、これに限られず、殺菌する部屋の大きさや薬液量等によって変更してもよい。また、保持処理において検出された湿度に基づいてパージ処理を開始してもよい。具体的には、制御ユニット50の除菌制御部52は、パージを開始する予め定めた相対湿度(パージ開始湿度)を記憶しておく。そして、除菌制御部52は、保持処理において、湿度センサM1,M2からの検出湿度が、パージ開始湿度を下回った場合に、パージ処理を開始する。
・上記実施形態においては、パージ処理(ステップS9)において、流体供給管41に、気体供給管35から圧縮空気を供給して、流体供給管41に残留した薬液を排出した。流体供給管41に残留した薬液を排出するために用いる流体は、圧縮空気に限られず、水であってもよい。
・上記実施形態においては、制御ユニット50は、人感センサ60からの信号に基づいて、部屋R1〜R3に人がいないことを確認した後に、薬液を噴霧する。薬液の噴霧前に人がいないことの確認は、人感センサ60からの信号に限られず、例えば、ドアD1,D2の開閉や部屋R1〜R3の照明の消灯に基づいて行なってもよい。
また、薬液の噴霧中に、人感センサ60やドアセンサにより、人の侵入を検知した場合、薬液噴霧を停止してもよい。そして、薬液噴霧の停止後、人感センサ60によって人の不在を検知した場合には、停止していた薬液噴霧を再開する。この場合、湿度センサM1,M2の湿度を取得し、湿度制御の場合には、目標相対湿度に達するまで噴霧を行ない、タイマ制御の場合には、薬液噴霧の残り時間の再噴霧を行なう。
・上記実施形態においては、加湿用液体として水道水を用いた。加湿に用いる液体は、水道水に限らない。例えば、人に影響を与えない低濃度の除菌液や、アロマ水等の香りが付いた液体を用いてもよい。
・上記実施形態においては、制御ユニット50が、除菌開始時刻になった場合に、薬液噴霧処理、保持処理及びパージ処理を実行した。薬液噴霧の開始、薬液噴霧の制御(湿度制御やタイマ制御)の選択、薬液噴霧の時間、保持時間及びパージ時間の設定等は、人の操作によって行なってもよい。
A1,A2…火災報知器、C1…コンプレッサ、D1,D2,D3,D4…ドア、M1,M2…湿度センサ、N1,N2,N3,N4,N5…二流体ノズル、R1,R2,R3…部屋、W1…水道管、Ta1…空気タンク、V1,V5:空気供給バルブ、30…除菌装置、31,35…気体供給管、36…気体供給バルブ、41…流体供給管、43…気体液体切替バルブ、44…接続管、45…水供給管、46…薬液供給管、47,48…バルブ、49…排液バルブ、50…制御ユニット、51…加湿制御部、52…除菌制御部、55…除菌条件記憶部、60…人感センサ、61…操作部、62…表示部。

Claims (5)

  1. 除菌に用いる薬液が供給される液体供給管に接続され、気体を用いて前記薬液を噴霧する二流体ノズルを用いて、空間内を除菌する除菌方法において、
    前記液体供給管に切替弁を介して接続される加湿用液体供給管から、加湿用液体を前記二流体ノズルに供給して、前記加湿用液体を噴霧して、前記空間内を加湿する加湿段階と、
    前記液体供給管に前記切替弁を介して接続される薬液供給管から、前記薬液を前記二流体ノズルに供給して、前記空間内を除菌する除菌段階とを実行することを特徴とする除菌方法。
  2. 前記薬液の噴霧後、前記加湿用液体の噴霧前に、前記液体供給管における薬液を前記空間に排出するパージ段階を更に実行することを特徴とする請求項1に記載の除菌方法。
  3. 前記除菌段階は、
    前記二流体ノズルから薬液を噴霧する薬液噴霧段階と、
    前記パージ段階における前記空間の相対湿度が基準値以下となるように、前記二流体ノズルからの噴霧を停止する保持段階とを備え、
    前記保持段階の後で前記パージ段階を実行することを特徴とする請求項2に記載の除菌方法。
  4. 除菌に用いる薬液が供給される液体供給管に接続され、気体を用いて前記薬液を噴霧する二流体ノズルを備え、空間を除菌する除菌装置において、
    前記液体供給管に切替弁を介して接続される加湿用液体供給管及び薬液供給管と、
    前記切替弁の切り換えを制御する制御部とを備え、
    前記制御部は、
    前記加湿用液体供給管から、加湿用液体を前記二流体ノズルに供給して、前記加湿用液体を噴霧して、前記空間内を加湿する加湿制御処理を実行し、
    前記薬液供給管から、前記薬液を前記二流体ノズルに供給し、前記空間を除菌する除菌制御処理を実行することを特徴とする除菌装置。
  5. 前記制御部は、前記薬液の噴霧後、前記加湿用液体の噴霧前に、前記液体供給管の薬液を前記空間に排出するパージ処理を実行することを特徴とする請求項4に記載の除菌装置。
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