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JP2019079941A - Substrate division device and substrate division method - Google Patents

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JP2019079941A JP2017206096A JP2017206096A JP2019079941A JP 2019079941 A JP2019079941 A JP 2019079941A JP 2017206096 A JP2017206096 A JP 2017206096A JP 2017206096 A JP2017206096 A JP 2017206096A JP 2019079941 A JP2019079941 A JP 2019079941A
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Abstract

To provide a substrate division device capable of supplying and cutting of a substrate, and carrying-out of the cut pieces efficiently in parallel.SOLUTION: A substrate division device of the present invention includes a turntable having first and second stages, a supply mechanism for supplying an uncut substrate to the turntable, and a cutting mechanism for cutting the uncut substrate, and a carry-out mechanism for carrying-out the cut substrate. The turntable turns so that the first stage stops at the supply position and the carry-out position, respectively. The second stage is located at the carry-out position when the first stage is stopping at the supply position, and located at the supply position when the first stage is stopping at the carry-out position. The supply mechanism and the cutting mechanism are provided while matching to the supply position, and carry-out mechanism is provided while matching to the carry-out position. The first and second stages receive the uncut substrate from the supply mechanism, respectively, at the supply position, and move the cut substrate from the supply position to the carry-out position.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、基板分割装置及び基板分割方法に関し、より詳細には、ターンテーブル式の基板分割装置及びそれを用いた基板分割方法に関する。   The present invention relates to a substrate dividing apparatus and a substrate dividing method, and more particularly to a turntable type substrate dividing apparatus and a substrate dividing method using the same.

従来、電子部品を実装した多面取りの基板を個々の基板個片に切断して所要とする単位の個片の実装品を得ることが行われている。   2. Description of the Related Art Conventionally, it has been practiced to cut a multi-chamfered substrate on which electronic components are mounted into individual pieces of the substrate to obtain a desired piece-mounted assembly.

このような多面取り基板の切断装置として、180度ずつ回転・停止する回転台と、回転台の一方の停止位置に設けられた供給コンベア及び搬送コンベアと、回転台の他方の停止位置に設けられた切断加工機構と、回転台上に180度の間隔をおいて設けられ、回転台が180度ずつ回転することで、供給コンベア及び搬送コンベアと切断加工機構との間において基板を搬送する2つのステーションとを備えるターンテーブル式の基板切断装置が知られている(特許文献1及び2)。   As a cutting device for such a multi-chamfered substrate, it is provided at a rotating stand that rotates and stops 180 degrees at a time, a supply conveyer and a conveyer provided at one stopping position of the rotating stand, and the other stopping position of the rotating stand. Two cutting processing mechanisms are provided on the rotating table at an interval of 180 degrees, and the rotating table is rotated by 180 degrees to transport the substrate between the feeding conveyor and the conveying conveyor and the cutting processing mechanism. There is known a turntable-type substrate cutting apparatus provided with a station (Patent Documents 1 and 2).

特許文献1及び2の基板切断装置は、回転台を180度ずつ回転させることで、供給コンベアから一方のステーションに供給された多面取りの基板を切断加工機構に搬送し、これと並行して、他方のステーション上に載置された切断済みの個々の基板個片を切断加工機構から搬送コンベアに搬送すると共に、これにより空になった他方のステーションに供給コンベアから新たな多面取りの基板を供給するよう構成されている。   The substrate cutting apparatus of Patent Documents 1 and 2 conveys the multiple-chamfered substrate supplied from one of the supply conveyors to one of the stations to the cutting processing mechanism by rotating the rotation table by 180 degrees at the same time. The cut individual substrate pieces placed on the other station are transported from the cutting processing mechanism to the transfer conveyor, and the other emptyed station is thereby supplied with a new multi-faceted substrate from the supply conveyor It is configured to

特開平5−198915号公報JP-A-5-198915 特開平7−9397号公報JP 7-9397A

しかしながら、特許文献1及び2の基板切断装置では、供給コンベアによって多面取りの基板が供給されてから、搬送コンベアによって切断済みの個々の基板個片が搬出されるまでの間に、回転台を供給基板あたり合計1回転(360度回転)させる必要があり、効率が悪く処理時間が長いという問題がある。   However, in the substrate cutting devices of Patent Documents 1 and 2, the rotary table is supplied between the supply of the substrates with multiple chamfers by the supply conveyor and the removal of the individual cut pieces of the substrate by the transfer conveyor. There is a problem that it is necessary to make a total of one rotation (360 degrees rotation) per substrate, resulting in poor efficiency and long processing time.

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板の供給及び切断と、切断された個片の搬出とを効率良く並行して行うことが可能な基板分割装置及び基板分割方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a substrate dividing apparatus and a substrate dividing method capable of efficiently performing supply and cutting of a substrate and carrying out of cut pieces in parallel. The purpose is to

本発明に係る基板分割装置は、回転方向に離間して配された第1ステージ及び第2ステージを有するターンテーブルと、前記ターンテーブルに未切断基板を供給する供給機構と、前記ターンテーブルに供給された前記未切断基板を切断し、個片及び枠片に分割する切断機構と、前記切断機構によって切断された切断済基板の前記個片を前記ターンテーブルから搬出する搬出機構とを備え、前記ターンテーブルは、前記第1ステージが供給位置及び該供給位置と異なる搬出位置においてそれぞれ停止するよう回転可能に構成され、前記第2ステージは、前記第1ステージが前記供給位置に停止している状態において前記搬出位置に位置し、かつ、前記第1ステージが前記搬出位置に停止している状態において前記供給位置に位置するよう設けられ、前記供給機構及び前記切断機構は、前記供給位置に整合して設けられ、前記搬出機構は、前記搬出位置に整合して設けられ、前記第1ステージ及び前記第2ステージは、それぞれ、前記供給位置において前記供給機構から前記未切断基板を受け取り可能であり、かつ、前記切断機構により切断された前記切断済基板を前記供給位置から前記搬出位置に移動可能に構成されていることを特徴とする。   A substrate dividing apparatus according to the present invention comprises a turntable having a first stage and a second stage spaced apart in the rotational direction, a supply mechanism for supplying an uncut substrate to the turntable, and the turntable. A cutting mechanism for cutting the cut uncut substrate and dividing it into pieces and frame pieces, and a carry-out mechanism for carrying out the pieces of the cut substrate cut by the cutting mechanism from the turn table, The turntable is configured to be rotatable such that the first stage is stopped at the supply position and at the discharge position different from the supply position, and the second stage is in a state where the first stage is stopped at the supply position. And the first stage is positioned at the supply position when the first stage is stopped at the discharge position. The feeding mechanism and the cutting mechanism are provided in alignment with the feeding position, and the carry-out mechanism is provided in alignment with the unloading position, and the first stage and the second stage are respectively provided with the feeding The uncut substrate can be received from the supply mechanism at a position, and the cut substrate cut by the cutting mechanism can be moved from the supply position to the carry-out position. .

本発明に係る基板分割方法は、少なくとも供給位置及び搬出位置の間において回転可能に構成されたターンテーブルと、前記供給位置に整合して設けられた供給機構及び切断機構と、前記搬出位置に整合して設けられた搬出機構とを備える基板分割装置を用いて基板を分割する基板分割方法であって、前記供給機構から前記ターンテーブルに未切断基板を供給する基板供給工程と、前記基板供給工程後、前記ターンテーブルに供給された前記未切断基板を前記切断機構により切断する基板切断工程と、前記基板切断工程後、前記ターンテーブルを回転させ、前記切断機構によって切断された切断済基板を前記搬出位置まで移動させる基板位置変更工程と、前記基板位置変更工程後、前記切断済基板を前記搬出機構により搬出する基板搬出工程とを含み、前記基板搬出工程と並行して、前記基板供給工程を新たに開始することを特徴とする。   A substrate dividing method according to the present invention includes: a turntable configured to be rotatable between at least a supply position and a discharge position; a supply mechanism and a cutting mechanism provided in alignment with the supply position; and alignment with the discharge position Method of dividing a substrate by using a substrate dividing device including an unloading mechanism provided for forming a substrate, the substrate supplying step of supplying an uncut substrate from the supply mechanism to the turn table, the substrate supplying step Then, after the substrate cutting step of cutting the uncut substrate supplied to the turntable by the cutting mechanism and the substrate cutting step, the turntable is rotated to cut the cut substrate cut by the cutting mechanism A substrate position changing process for moving to a carry-out position, and a substrate carry-out process for carrying out the cut substrate by the carry-out mechanism after the substrate position change process Hints, in parallel with the substrate unloading step, characterized in that it start a new said substrate supplying step.

以上のように、本発明によれば、基板の供給及び切断と、切断された個片の搬出とを同時間帯で並行して実行可能であるため、効率良く並行して行うことが可能な基板分割装置及び基板分割方法を提供することができる。   As described above, according to the present invention, supply and cutting of the substrate and unloading of the cut pieces can be performed in parallel in the same time zone, so efficient parallel processing can be performed. A substrate dividing apparatus and a substrate dividing method can be provided.

基板の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of a board | substrate. 本発明に係る基板分割装置の一実施形態を示す平面図である。It is a top view showing one embodiment of the substrate division device concerning the present invention. 本実施形態に係る基板分割装置の正面図である。It is a front view of a substrate dividing device concerning this embodiment. 本実施形態に係る基板分割装置の供給位置における構成を示す拡大平面図である。It is an enlarged plan view which shows the structure in the supply position of the board | substrate division apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る基板分割装置の供給位置における構成を示す拡大正面図である。It is an enlarged front view which shows the structure in the supply position of the board | substrate division apparatus which concerns on this embodiment. 図5のB−B’断面図である。It is B-B 'sectional drawing of FIG. 図4のA−A’断面図である。It is A-A 'sectional drawing of FIG. 本実施形態に係る基板分割装置の切断動作を示す図7に関する模式図である。It is a schematic diagram regarding FIG. 7 which shows the cutting | disconnection operation | movement of the board | substrate division apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る基板分割装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the board | substrate division apparatus which concerns on this embodiment.

以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments for carrying out the present invention will be described using the drawings. The following embodiments do not limit the invention according to each claim, and all combinations of features described in the embodiments are not necessarily essential to the solution means of the invention. .

図1は、本実施形態に係る基板分割装置1により切断される基板Sの一例を示す模式図である。図1に示すように、基板Sは、複数の個片Pと、枠片Fと、枠片F及び各個片Pを接続するジョイントJとを備える。   FIG. 1: is a schematic diagram which shows an example of the board | substrate S cut | disconnected by the board | substrate division apparatus 1 which concerns on this embodiment. As shown in FIG. 1, the substrate S includes a plurality of pieces P, a frame piece F, and a joint J connecting the frame piece F and the pieces P.

図2及び図3を参照して、本実施形態に係る基板分割装置1の概略構成について説明する。本実施形態に係る基板分割装置1は、上流装置2から供給された基板SのジョイントJを切断することにより、基板Sを個片P及び枠片Fに分割する装置である。   The schematic configuration of the substrate dividing device 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 2 and 3. The substrate dividing device 1 according to the present embodiment is a device that divides the substrate S into the individual pieces P and the frame pieces F by cutting the joint J of the substrate S supplied from the upstream device 2.

図2及び図3に示すように、基板分割装置1は、ターンテーブル10、筐体12、乗継補助コンベア15(供給機構)、循環コンベア17(循環機構)、切断ロボット20(切断機構)、搬出ロボット40(搬出機構)、制御装置60、並びにセンサ70を備える。   As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate dividing apparatus 1 includes a turntable 10, a housing 12, a transfer auxiliary conveyor 15 (supply mechanism), a circulation conveyor 17 (circulation mechanism), a cutting robot 20 (cutting mechanism), An unloading robot 40 (loading mechanism), a control device 60, and a sensor 70 are provided.

上流装置2は、基板Sを基板分割装置1に供給する装置であり、上流コンベア16、及び該上流コンベア16を載置するための支持台161を備える。上流コンベア16は、基板分割装置1の乗継補助コンベア15に基板Sを供給するよう構成されている。   The upstream apparatus 2 is an apparatus for supplying the substrate S to the substrate dividing apparatus 1 and includes an upstream conveyor 16 and a support base 161 on which the upstream conveyor 16 is placed. The upstream conveyor 16 is configured to supply the substrate S to the transfer auxiliary conveyor 15 of the substrate dividing apparatus 1.

本明細書において、基板分割装置1を平面視した場合における筐体12を対称軸として、X軸方向の上流装置2側(図2及び図3において、筐体12より左側)を「上流側」、循環コンベア17側(図2及び図3において、筐体12より右側)を「下流側」ということがある。供給位置とは、ターンテーブル10上において、未切断の基板Sが供給され、切断ロボット20により基板Sが切断される位置、すなわちターンテーブル10上における切断ロボット20の可動域をいう。また、搬出位置とは、搬出ロボット40によりターンテーブル10から個片Pが搬送される位置、すなわちターンテーブル10上における搬出ロボット40の可動域をいう。本実施形態に係る基板分割装置1において、供給位置及び搬出位置は、ターンテーブル10の回転軸11を介して対向するように配置される。   In the present specification, the upstream device 2 side (left side from the housing 12 in FIGS. 2 and 3) in the X-axis direction is “upstream” with the housing 12 as a symmetry axis when the substrate dividing device 1 is viewed in plan The side of the circulating conveyor 17 (right side of the housing 12 in FIGS. 2 and 3) may be referred to as “downstream side”. The supply position is a position at which the uncut substrate S is supplied on the turntable 10 and the substrate S is cut by the cutting robot 20, that is, the movable range of the cutting robot 20 on the turntable 10. Further, the unloading position refers to a position where the individual pieces P are transported from the turntable 10 by the unloading robot 40, that is, a movable range of the unloading robot 40 on the turntable 10. In the substrate dividing apparatus 1 according to the present embodiment, the supply position and the carry-out position are disposed to face each other via the rotation shaft 11 of the turntable 10.

図2及び図3に示すように、ターンテーブル10は円板状であり、ターンテーブル10の下面における中心に回転軸11を有する。ターンテーブル10は、図示しないモーターによって回転軸11を回転させることにより回転する。図3に示すように、回転軸11は、筐体12に回転自在に連結されている。なお、ターンテーブル10は、円板状に限定されず、回転軸11を中心に回転可能な機構であれば、種々のものを採用可能である。   As shown in FIGS. 2 and 3, the turntable 10 has a disk shape, and has a rotating shaft 11 at the center of the lower surface of the turntable 10. The turntable 10 is rotated by rotating the rotating shaft 11 by a motor (not shown). As shown in FIG. 3, the rotating shaft 11 is rotatably coupled to the housing 12. The turntable 10 is not limited to the disk shape, but various mechanisms can be adopted as long as it is a mechanism that can rotate around the rotation shaft 11.

ターンテーブル10の上面には、ターンテーブル10の回転軸11を介して対向するように(回転軸11を中心とした点対称の位置関係で)配置された支持台131a及び131bが配置され、支持台131a及び131b上にそれぞれコンベア13a及び13b(第1ステージ及び第2ステージ)が載置される。換言すれば、1対のコンベア13a及び13bは、ターンテーブル10の回転軸11を介して互いに対向する。これにより、1対のコンベア13a及び13bは、ターンテーブル10が180°回転することによって互いに位置が可換となっている。また、コンベア13a及び13bは、X軸正逆両方向に駆動するようにターンテーブル10上に配置される。   On the upper surface of the turntable 10, support bases 131a and 131b arranged so as to face each other via the rotary shaft 11 of the turntable 10 (in a positional relationship of point symmetry centering on the rotary shaft 11) are arranged Conveyors 13a and 13b (first and second stages) are placed on pedestals 131a and 131b, respectively. In other words, the pair of conveyors 13 a and 13 b face each other via the rotation shaft 11 of the turntable 10. As a result, the pair of conveyors 13a and 13b are mutually exchangeable in position by the rotation of the turntable 10 by 180 °. Further, the conveyors 13a and 13b are disposed on the turntable 10 so as to drive in both the X-axis normal and reverse directions.

ターンテーブル10は、コンベア13a及び13bがそれぞれ供給位置及び搬出位置に停止するように回転する。これにより、コンベア13a及び13bは、一方のコンベア13a(第1ステージ)が供給位置に停止している状態において他方のコンベア13b(第2ステージ)が搬出位置に位置し、かつ、一方のコンベア13aが搬出位置に停止している状態において他方のコンベア13bが供給位置に位置するよう配置される。   The turntable 10 rotates so that the conveyors 13a and 13b stop at the supply position and the discharge position, respectively. Thus, with the conveyors 13a and 13b, with the one conveyor 13a (first stage) stopped at the supply position, the other conveyor 13b (second stage) is located at the delivery position, and one conveyor 13a Is stopped at the delivery position, and the other conveyor 13b is disposed to be at the supply position.

図2に示すように、コンベア13a及び13bは、搬送面が2列のベルトからなり、各ベルト上に基板Sの枠片Fが載り、ベルト間に個片P及びジョイントJが位置するようになっている。これにより、ジョイントJを切断する際のベルトの損傷を防止することができる。   As shown in FIG. 2, the conveyors 13a and 13b have a conveyor surface consisting of two rows of belts, the frame piece F of the substrate S is mounted on each belt, and the pieces P and joints J are positioned between the belts. It has become. Thereby, damage to the belt when cutting the joint J can be prevented.

支持台131a及び131bは、上流装置2から供給された基板Sを供給位置で停止させるための位置決め機構(図示せず)を有している。この位置決め機構は、例えば、筐体12に隣接する側の端部(基板Sの供給方向先端側)においてZ軸方向に突設され、基板SのX軸方向の位置決めをするストッパ(図示せず)と、基板Sの供給方向と直交する方向に沿って進退可能に設けられ、基板Sの側部を押圧することで基板SのY軸方向の位置決めをする押し当て手段(クランプ手段)とを有していてもよい。位置決め機構を設けることで、切断に好適な位置となるよう基板Sを位置決めすることができる。   The support bases 131a and 131b have a positioning mechanism (not shown) for stopping the substrate S supplied from the upstream apparatus 2 at the supply position. The positioning mechanism is, for example, a stopper (not shown) for positioning the substrate S in the X-axis direction by protruding in the Z-axis direction at the end adjacent to the housing 12 (the tip side in the supply direction of the substrate S). And a pressing means (clamping means) provided so as to be movable back and forth along a direction orthogonal to the supply direction of the substrate S, and pressing the side portion of the substrate S to position the substrate S in the Y axis direction. You may have. By providing the positioning mechanism, the substrate S can be positioned to be a position suitable for cutting.

乗継補助コンベア15は、上流装置2の上流コンベア16及び供給位置のコンベア13a又は13bとの間の位置に設けられ、上流装置2から供給される基板Sを供給位置のコンベア13a又は13bに供給するためのコンベアである。図2及び図3に示すように、乗継補助コンベア15は、支持台151上に載置されている。   The transfer auxiliary conveyor 15 is provided at a position between the upstream conveyor 16 of the upstream device 2 and the conveyor 13a or 13b at the supply position, and supplies the substrate S supplied from the upstream device 2 to the conveyor 13a or 13b at the supply position. It is a conveyor for As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the transfer auxiliary conveyor 15 is mounted on the support base 151.

なお、基板分割装置1において、乗継補助コンベア15を設けず、上流装置2の上流コンベア16から直接、供給位置のコンベア13a又は13bに基板Sを供給する構成としてもよい。   The substrate dividing device 1 may be configured to supply the substrate S directly to the conveyor 13a or 13b at the supply position from the upstream conveyor 16 of the upstream device 2 without providing the transfer auxiliary conveyor 15.

循環コンベア17は、搬出位置のコンベア13b又は13aから搬出された個片Pを搬送するためのコンベアである。図2に示すように、循環コンベア17は、4つの直線形のコンベアが矩形の各辺を構成するように配置されている。なお、図2においては、循環コンベア17の1辺のみ図示を省略している。循環コンベア17上において、搬出位置のコンベア13から搬出された個片Pを1つずつ搬送するためのトレイ18が循環する。図2の例においては、トレイ18が反時計回りに循環する。トレイ18の数は、循環コンベア17を1周する順調時の時間(周期時間)と、搬出後の下流装置内でのイレギュラ発生許容値(不良品である個片Pを載せたトレイ18を回収することが可能な数)とに応じて適宜決定される。ここで、個片P単位で搬送する本実施形態のトレイ18は、基板S単位で搬送するトレイと比較して、必要となる個数が増加するものの、製造単価を著しく低減させることが可能となるため、結果として、設備コストを低減させることが可能となる。なお、トレイ18は、個片Pを1つずつ搬送する構成に限定されず、1トレイあたり複数の個片Pを収容して搬出可能な構成とすることも可能である。   The circulating conveyor 17 is a conveyor for conveying the pieces P carried out from the conveyor 13 b or 13 a at the carrying out position. As shown in FIG. 2, the circulating conveyors 17 are arranged such that four linear conveyors constitute each side of a rectangle. In FIG. 2, only one side of the circulating conveyor 17 is not shown. On the circulating conveyor 17, trays 18 for conveying the pieces P conveyed out of the conveyor 13 at the unloading position one by one circulate. In the example of FIG. 2, the tray 18 circulates counterclockwise. The number of trays 18 is the time when the circulation conveyor 17 makes a round (the period time), and the irregularity generation allowance value in the downstream apparatus after taking out (collect the tray 18 on which the individual pieces P which are defective products are placed) It is determined appropriately depending on the number of possible operations. Here, the tray 18 of the present embodiment, which transports in units of individual pieces P, can increase the number of required pieces compared to the trays that transport in units of substrate S, but it is possible to significantly reduce the manufacturing cost. As a result, the equipment cost can be reduced. In addition, the tray 18 is not limited to the structure which conveys the piece P one by one, It is also possible to set it as the structure which can accommodate and carry out the several piece P per tray.

循環コンベア17の各辺の接続箇所には、隣接する辺を形成するコンベアにトレイ18を移動させるためのプッシャー(図示せず)がそれぞれ設けられる。また、プッシャーを設ける代わりに、循環コンベア17の各辺の接続箇所にカーブ状のコンベアを設けることで、トレイ18が循環するように構成することもできる。また、循環コンベア17は、トレイ18が循環すればよく、図2に示した矩形配置に限定されず、カーブを形成できる1本のコンベアによって構成されてもよい。   At connection points on each side of the circulating conveyor 17, pushers (not shown) for moving the trays 18 to conveyors forming adjacent sides are respectively provided. Further, instead of providing a pusher, the tray 18 can be configured to circulate by providing a curved conveyor at the connection point of each side of the circulating conveyor 17. Further, the circulation conveyor 17 may be formed by one conveyor capable of forming a curve, as long as the tray 18 circulates, and is not limited to the rectangular arrangement shown in FIG.

また、循環コンベア17は、循環コンベア17を流れるトレイ18上に個片Pを搬出する際にトレイ18の動きを一時的に好適な位置に停止させるための位置決め機構(図示せず)を備えている。なお、循環コンベア17の位置決め機構としては、トレイ18の進行方向と直交する方向に沿って進退可能に設けられ、トレイ18の側部を押圧することでトレイ18の動きを停止させる押し当て手段(クランプ手段)等を採用可能であるが、これに限定されず、種々の構成を採用可能である。   Further, the circulating conveyor 17 is provided with a positioning mechanism (not shown) for temporarily stopping the movement of the tray 18 at a suitable position when unloading the pieces P onto the tray 18 flowing through the circulating conveyor 17. There is. The positioning mechanism of the circulating conveyor 17 is provided so as to be able to move forward and backward along the direction orthogonal to the advancing direction of the tray 18, and pressing means for pressing the side portion of the tray 18 to stop the movement of the tray 18 Although clamp means etc. can be employ | adopted, it is not limited to this, A various structure is employable.

図示は省略しているが、循環コンベア17のX軸方向下流側には、トレイ18から個片Pを受け入れる下流装置が設けられている。   Although illustration is abbreviate | omitted, the downstream apparatus which receives the piece P from the tray 18 is provided in the X-axis direction downstream side of the circulation conveyor 17. As shown in FIG.

切断ロボット20は、供給位置に整合して設けられ、供給位置に停止しているコンベア13a又は13bに供給された基板SのジョイントJを切断して、個片P及び枠片Fを得る機構である。切断ロボット20は、基板分割装置1の上流側に設けられ、供給位置において三軸方向に移動可能に構成される。切断ロボット20は、基板SのジョイントJを切断するためのカッター31を備える。   The cutting robot 20 is provided in alignment with the supply position, and cuts the joint J of the substrate S supplied to the conveyor 13a or 13b stopped at the supply position to obtain the individual pieces P and the frame pieces F. is there. The cutting robot 20 is provided on the upstream side of the substrate dividing apparatus 1 and configured to be movable in three axial directions at the supply position. The cutting robot 20 includes a cutter 31 for cutting the joint J of the substrate S.

搬出ロボット40は、搬出位置に整合して設けられ、搬出位置に停止しているコンベア13b又は13aから、切断された基板Sの個片Pを吸着又は把持して搬出する装置である。搬出ロボット40は、基板分割装置1の下流側に設けられ、搬出位置のコンベア13b又は13a及び循環コンベア17の上部を三軸方向に移動可能に構成される。搬出ロボット40は、切断された基板Sの個片Pを吸着又は把持可能な移載ヘッド41を備え、個片Pを搬出位置のコンベア13b又は13aから循環コンベア17へ搬出するよう構成されている。   The carry-out robot 40 is a device which is provided in alignment with the carry-out position, and sucks or grips the piece P of the cut substrate S from the conveyor 13 b or 13 a stopped at the carry-out position. The unloading robot 40 is provided on the downstream side of the substrate dividing apparatus 1 and is configured to be capable of moving the upper portions of the conveyor 13 b or 13 a at the unloading position and the circulating conveyor 17 in three axial directions. The unloading robot 40 includes a transfer head 41 capable of adsorbing or gripping the pieces P of the cut substrate S, and is configured to unload the pieces P from the conveyor 13 b or 13 a at the unloading position to the circulating conveyor 17. .

切断ロボット20及び搬出ロボット40の詳細な構成については後述する。   The detailed configurations of the cutting robot 20 and the unloading robot 40 will be described later.

なお、図示は省略しているが、基板分割装置1は、ターンテーブル10を回転させるためのドライバ、切断ロボット20及び搬出ロボット40を三軸方向に駆動させるドライバ、一対のコンベア13a及び13b、乗継補助コンベア15及び循環コンベア17を駆動させるためのドライバ、各構成を接続する配線及び回路等を備える。また、上流装置2は、上流コンベア16を駆動させるためのドライバや各種配線、回路を備える。   Although not shown, the substrate dividing apparatus 1 includes a driver for rotating the turntable 10, a driver for driving the cutting robot 20 and the unloading robot 40 in three axial directions, and a pair of conveyors 13a and 13b. A driver for driving the auxiliary transfer conveyor 15 and the circulation conveyor 17 and wiring and circuits for connecting the respective components are provided. In addition, the upstream device 2 includes a driver for driving the upstream conveyor 16, various wirings, and a circuit.

制御装置60は、基板分割装置1のターンテーブル10、1対のコンベア13a及び13b、乗継補助コンベア15、循環コンベア17、切断ロボット20及び搬出ロボット40を駆動するドライバに接続され、駆動命令を送信することでこれらの動作を制御する。   The control device 60 is connected to the turntable 10 of the substrate dividing device 1, the pair of conveyors 13a and 13b, the transfer auxiliary conveyor 15, the circulating conveyor 17, the cutting robot 20, and the driver for driving the unloading robot 40 Control these operations by sending.

また、制御装置60は、基板分割装置1及び上流装置2に接続され、基板分割装置1及び上流装置2間において基板供給情報を通信可能に構成される。基板供給情報は、基板分割装置1に供給可能な未切断の基板Sの有無を示す情報である。なお、基板分割装置1、上流装置2、制御装置60間における「接続」とは、各構成要素が必ずしも配線等により物理的に接続されていることを指すものではなく、各構成要素間でデータや信号を送受信できることを意味しており、有線か無線かは不問である。   Further, the control device 60 is connected to the substrate dividing device 1 and the upstream device 2 and is configured to be able to communicate substrate supply information between the substrate dividing device 1 and the upstream device 2. The substrate supply information is information indicating the presence or absence of the uncut substrate S that can be supplied to the substrate dividing device 1. Note that “connection” among the substrate dividing device 1, the upstream device 2 and the control device 60 does not necessarily indicate that each component is physically connected by wiring or the like, but data between each component It means that it can send and receive signals, and it doesn't matter whether it is wired or wireless.

制御装置60は、上流装置2に対し、基板供給情報の要求信号を送信する。上流装置2は、基板供給情報の要求信号を受信して、制御装置60に基板供給情報を送信する。制御装置60は、上流装置2から基板供給情報を受信して、供給可能な基板Sがある場合、乗継補助コンベア15を駆動するドライバに対し駆動命令を送信する。なお、本実施形態では、制御装置60が、上流装置2に対して要求信号を送信した後、上流装置2から受信した基板供給情報に基づいてドライバに対して駆動命令を送信する構成(いわゆる双方向通信の構成)であるものとして説明したが、これに限定されず、制御装置60は、基板Sを受け取り可能な状態において上流装置2に基板受取可能信号を一方的に送信し、該信号を受けて上流装置2が乗継補助コンベア15に基板Sを供給する構成(いわゆる一方向通信の構成)としても良い。   The control device 60 transmits a request signal for substrate supply information to the upstream device 2. The upstream device 2 receives the substrate supply information request signal and transmits the substrate supply information to the control device 60. The control device 60 receives substrate supply information from the upstream device 2 and, when there is a substrate S that can be supplied, transmits a drive command to the driver for driving the transfer auxiliary conveyor 15. In the present embodiment, after transmitting the request signal to the upstream device 2, the control device 60 transmits a drive command to the driver based on the substrate supply information received from the upstream device 2 (so-called both) Although not limited to this, the control device 60 unilaterally transmits a substrate receivable signal to the upstream device 2 in a state where the substrate S can be received, and the signal is received. The upstream device 2 may be configured to supply the substrate S to the transfer auxiliary conveyor 15 (so-called one-way communication configuration).

センサ70は、制御装置60に接続され、乗継補助コンベア15を通過する基板Sを検出可能な位置に設けられる。センサ70は、上流装置2の上流コンベア16から供給されて乗継補助コンベア15を通過する基板Sを検出すると、制御装置60に検出信号を送信する。制御装置60は、センサ70から検出信号を受信すると、供給位置のコンベア13a又は13bを駆動するドライバに対し駆動命令を送信する。   The sensor 70 is connected to the control device 60, and is provided at a position where the substrate S passing through the transfer auxiliary conveyor 15 can be detected. When the sensor 70 detects a substrate S supplied from the upstream conveyor 16 of the upstream device 2 and passing through the transfer auxiliary conveyor 15, the sensor 70 transmits a detection signal to the control device 60. When the control device 60 receives the detection signal from the sensor 70, the control device 60 transmits a drive command to the driver that drives the conveyor 13a or 13b at the supply position.

また、制御装置60は、段取り替え操作により、予め記憶しておいた基板Sの形状や個片Pの数、ジョイントJの位置等の基板Sに関する情報を示す基板情報によって、又は当該基板情報を事前又は都度上流装置2から受信して、基板情報に基づいて切断ロボット20のカッター31による切断動作、移載ヘッド41による個片Pの搬出動作を決定し、各ドライバに駆動命令を送信する。なお、制御装置60に複数の基板品種を同時に記憶維持させ、該複数の基板品種の中から段取り替え時に選択する構成とすることが好適である。   In addition, the control device 60 uses substrate information indicating the information related to the substrate S such as the shape of the substrate S and the number of the individual pieces P stored in advance, the position of the joint J, or the substrate information Based on the substrate information, the cutting operation of the cutting robot 20 by the cutter 31 and the unloading operation of the individual pieces P by the transfer head 41 are determined based on the substrate information in advance or each time, and the driving command is transmitted to each driver. It is preferable that the controller 60 store and maintain a plurality of substrate types at the same time and select from among the plurality of substrate types at the time of setup change.

次に、図4及び5を参照して、基板分割装置1の切断ロボット20の構成について詳細に説明する。   Next, with reference to FIGS. 4 and 5, the configuration of the cutting robot 20 of the substrate dividing apparatus 1 will be described in detail.

切断ロボット20は、筐体12及び支柱121を橋架するようにX軸方向に延びる2列のフレーム21、各フレーム21の上面に設けられたガイドレール22、各ガイドレール22に沿ってX軸方向に移動可能なスライダ23、各スライダ23を橋架するように各スライダ23上に設けられ、Y軸方向に延びるフレーム24、フレーム24のX軸方向側面に設けられ、Y軸方向に延びるガイドレール25、ガイドレール25に沿ってY軸方向に移動可能なスライダ26、スライダ26に設けられ、Z軸方向に延びるフレーム27、フレーム27のX軸方向の側面に設けられ、Z軸方向に延びるガイドレール28、ガイドレール28に沿ってZ軸方向に移動可能なスライダ29、スライダ29に設けられたロータリアクチュエータ30、ロータリアクチュエータ30の出力軸に設けられた回転部材32、回転部材32に取り付けられたカッター31を備える。   The cutting robot 20 includes two rows of frames 21 extending in the X-axis direction so as to bridge the housing 12 and the columns 121, a guide rail 22 provided on the upper surface of each frame 21, and the X-axis direction along each guide rail 22. The sliders 23 are movable on the sliders 23 so as to bridge the sliders 23, and a frame 24 extending in the Y-axis direction, a guide rail 25 provided on the X-axis side of the frame 24 and extending in the Y-axis direction. A slider 27 movable in the Y-axis direction along the guide rail 25 and a frame 27 extending in the Z-axis direction, a guide rail provided on a side surface of the frame 27 in the X-axis direction and extending in the Z-axis direction 28, a slider 29 movable in the Z-axis direction along the guide rails 28, a rotary actuator 30 provided on the slider 29, a rotor Rotating member 32 provided on the output shaft of the actuator 30 comprises a cutter 31 attached to the rotating member 32.

切断ロボット20は、三軸方向にそれぞれ移動するスライダ23,26,29を備えることにより、カッター31が三軸方向に移動可能となっている。また、回転部材32が回転することでカッター31の向きを変更することができる。回転部材32は、カッター31の向きを変更するという観点から、少なくともXY平面において90°回転可能であり、360°回転可能であることがより好ましい。   The cutting robot 20 is provided with the sliders 23, 26 and 29 respectively moving in three axial directions, so that the cutter 31 can move in three axial directions. Further, the direction of the cutter 31 can be changed by rotating the rotating member 32. From the viewpoint of changing the direction of the cutter 31, the rotating member 32 can rotate 90 ° at least in the XY plane, and more preferably can rotate 360 °.

切断ロボット20は、基板Sに関する情報を示す基板情報に基づいて、図示しないドライバによりスライダ23及び26を駆動して、カッター31がジョイントJの上部に位置するようにXY平面において移動させ、適宜ジョイントJの向きに合わせて回転部材32を回転させてカッター31の向きを変更し、スライダ29を駆動してカッター31をZ軸方向に下降させることにより、基板SのジョイントJを切断する。1つのジョイントJの切断が完了したら、カッター31をZ軸方向に上昇させる。切断ロボット20は、以上の動作を繰り返すことにより、基板SのジョイントJを1つずつ切断する。   The cutting robot 20 drives the sliders 23 and 26 with a driver (not shown) based on the substrate information indicating the information on the substrate S to move the cutter 31 in the XY plane so that the cutter 31 is positioned above the joint J. The joint J of the substrate S is cut by rotating the rotary member 32 in accordance with the direction of J to change the direction of the cutter 31, and driving the slider 29 to lower the cutter 31 in the Z-axis direction. When cutting of one joint J is completed, the cutter 31 is raised in the Z-axis direction. The cutting robot 20 cuts the joints J of the substrate S one by one by repeating the above operation.

なお、本実施形態では、切断手段としてカッター31を用い、該カッター31の向きをロータリアクチュエータ30及び回転部材32により変更する構成を備えるものとして説明したが、これに限定されるものではなく、カッター31の代わりに、例えばルータカッター(スピンカッター)等を用いてもよい。ルータカッターを使用する場合、基板Sの切断時において、ルータカッターを回転部材32により高速回転させながらルータカッターの先端をジョイントJに接触させることで、切断することができる。なお、ルータカッターを使用する場合には、ロータリアクチュエータとして、カッター31を使用する場合のロータリアクチュエータ30よりも高速で出力軸を回転させることが可能な性能を有するものを用いる必要がある。   In the present embodiment, the cutter 31 is used as the cutting means and the direction of the cutter 31 is changed by the rotary actuator 30 and the rotating member 32. However, the present invention is not limited to this. For example, a router cutter (spin cutter) or the like may be used instead of 31. When using a router cutter, it is possible to cut the substrate S by bringing the tip of the router cutter into contact with the joint J while rotating the router cutter at high speed by the rotating member 32 when cutting the substrate S. In addition, when using a router cutter, it is necessary to use what has the capability to rotate an output shaft at high speed as compared with the rotary actuator 30 in the case of using the cutter 31 as a rotary actuator.

図2及び図3に示したように、搬出ロボット40は、筐体12及び支柱122を橋架するように設けられている。また、搬出ロボット40は、切断ロボット20のカッター31を移載ヘッド41に置き換えた構成を備えており、移載ヘッド41が三軸方向に移動可能で、かつ、回転部材32が回転することで移載ヘッド41が回転し、これにより個片Pの向きを変更することが可能に構成されている。なお、搬出ロボット40において、切断ロボット20と共通する構成は、図示及び詳細な説明を省略する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the carry-out robot 40 is provided to bridge the housing 12 and the column 122. In addition, the unloading robot 40 has a configuration in which the cutter 31 of the cutting robot 20 is replaced with the transfer head 41, and the transfer head 41 can move in three axial directions, and the rotating member 32 rotates. The transfer head 41 is configured to rotate, thereby changing the direction of the piece P. The configuration common to the cutting robot 20 in the unloading robot 40 is omitted from the drawings and the detailed description.

搬出ロボット40は、基板Sに関する情報を示す基板情報に基づいて、移載ヘッド41が1つの個片Pの上部に位置するようにXY平面において移動させ、適宜個片Pの向きに合わせて回転部材32を回転させることで移載ヘッド41の向きを変更し、移載ヘッド41をZ軸方向に下降させて個片Pに接触させ、個片Pを吸着又は把持する。個片Pを吸着又は把持した後、移載ヘッド41をZ軸方向に上昇し、循環コンベア17のトレイ18の上部に位置するようにXY平面において移動させ、適宜トレイ18の向きに合わせて回転部材32を回転させることで移載ヘッド41の向きを変更し、移載ヘッド41をZ軸方向に下降させて個片Pをトレイ18に載せ、吸着又は把持を解除する。1つの個片Pの搬出が完了したら、移載ヘッド41をZ軸方向に上昇させる。搬出ロボット40は、以上の動作を繰り返すことにより、個片Pを1つずつ搬出する。   The unloading robot 40 moves on the XY plane so that the transfer head 41 is positioned above one individual piece P based on the substrate information indicating information on the substrate S, and rotates appropriately in accordance with the direction of the individual piece P. By rotating the member 32, the direction of the transfer head 41 is changed, and the transfer head 41 is lowered in the Z-axis direction to be in contact with the piece P, and the piece P is adsorbed or gripped. After suctioning or gripping the pieces P, the transfer head 41 is raised in the Z-axis direction and moved in the XY plane so as to be positioned above the tray 18 of the circulating conveyor 17 and rotated appropriately in accordance with the direction of the tray 18 By rotating the member 32, the direction of the transfer head 41 is changed, the transfer head 41 is lowered in the Z-axis direction, the piece P is placed on the tray 18, and the suction or the gripping is released. When the delivery of one piece P is completed, the transfer head 41 is raised in the Z-axis direction. The unloading robot 40 unloads the pieces P one by one by repeating the above operation.

なお、移載ヘッド41としては、例えばグリッパを有するメカチャックや、吸着パッドを有する真空チャック等の種々の公知の手段を採用可能であるため、その詳細な説明を省略する。   As the transfer head 41, for example, various known means such as a mechanical chuck having a gripper or a vacuum chuck having a suction pad can be adopted, so the detailed description thereof will be omitted.

次に、図6〜図8を参照して、本実施の形態に係る基板分割装置1の昇降テーブル80について説明する。なお、図6〜図8においては、図示の簡略化のため基板分割装置1の上流側のみを図示している。図6〜図8に示すように、供給位置において一方のコンベア13aが停止している。図6及び7に示すように、本実施形態に係る基板分割装置1は、各コンベア13a及び13bのベルト間において基板Sを支持するための昇降テーブル80を備える。昇降テーブル80は、各支持台131a及び131b上に設けられ、Z軸方向に昇降可能に構成される。   Next, with reference to FIGS. 6-8, the raising / lowering table 80 of the board | substrate dividing apparatus 1 which concerns on this Embodiment is demonstrated. 6 to 8, only the upstream side of the substrate dividing apparatus 1 is shown for simplification of the drawing. As shown in FIGS. 6-8, one conveyor 13a is stopped at the supply position. As shown in FIGS. 6 and 7, the substrate dividing apparatus 1 according to the present embodiment includes a lifting table 80 for supporting the substrate S between the belts of the conveyors 13a and 13b. The lifting table 80 is provided on each of the supports 131a and 131b, and is configured to be able to move up and down in the Z-axis direction.

昇降テーブル80は、上昇の際にコンベア13a及び13bの各ベルトに衝突しないよう、上面のY軸方向の長さがコンベア13a及び13bの各ベルト間の距離よりも小さくなっている。また、上面のX軸方向の長さがコンベア13a及び13bの各ベルトのX軸方向の長さよりも小さくなっている。   The lifting table 80 is such that the length in the Y-axis direction of the upper surface is smaller than the distance between the belts of the conveyors 13a and 13b so that the lifting table 80 does not collide with the belts of the conveyors 13a and 13b. Further, the length in the X-axis direction of the upper surface is smaller than the length in the X-axis direction of each belt of the conveyors 13a and 13b.

昇降テーブル80の適宜の位置には、基板Sの個片Pと個片Pとの間、個片Pと枠片Fとの間にカッター31が進入してジョイントJを切断可能なように、適宜の形状の凹部81が設けられている。換言すれば、昇降テーブル80の上面は、凹部81を有することにより、基板Sを載置した際にジョイントJに接しないようになっている。なお、凹部81の位置及び形状は、切断対象となる基板品種に応じて異なる。このため、例えば、昇降テーブル80の上面部分を交換可能な層構造とし、段取り替え時に、切断対象となる基板品種に応じて上層部分を交換する構成とすることが好ましい。なお、凹部81としては、X軸方向及び/又はY軸方向に延在する溝であるとしても良いし、局所的に設けられた凹みであるとしても良い。   At an appropriate position of the lifting table 80, the cutter 31 can enter between the individual pieces P and the individual pieces P of the substrate S and between the individual pieces P and the frame pieces F so that the joint J can be cut, A recess 81 of appropriate shape is provided. In other words, the upper surface of the lift table 80 is configured not to be in contact with the joint J when the substrate S is placed by having the recess 81. The position and the shape of the recess 81 differ depending on the type of substrate to be cut. Therefore, for example, it is preferable to configure the upper surface portion of the lifting table 80 to have a replaceable layer structure and to replace the upper layer portion according to the type of substrate to be cut at the time of setup replacement. The recess 81 may be a groove extending in the X-axis direction and / or the Y-axis direction, or may be a recess provided locally.

また、昇降テーブル80は、基板Sの位置決めを行うために、Z軸方向に突設された基準ピン(図示せず)が設けられている。基準ピンは、例えば基板Sに予め設けられたピン孔に係合する構成としてもよいし、個片Pと枠片Fとの隙間に係合する構成としてもよい。また、基準ピンの位置及び数は、切断対象となる基板品種に応じて任意に設定することが可能である。   Further, the lifting table 80 is provided with a reference pin (not shown) protruding in the Z-axis direction in order to position the substrate S. For example, the reference pin may be configured to engage with a pin hole provided in advance in the substrate S, or may be configured to engage with a gap between the piece P and the frame piece F. Further, the positions and the number of reference pins can be arbitrarily set according to the kind of substrate to be cut.

昇降テーブル80は、昇降アクチュエータ82によりZ軸方向に移動可能に構成され、支持台131に固定されたガイドポスト83に沿って昇降する。また、図8に示すように、昇降テーブル80は、基板Sの切断時において、基板Sの上面が供給位置のコンベア13a又は13bの上面より高い位置となるまで上昇する。   The lifting table 80 is configured to be movable in the Z-axis direction by the lifting actuator 82 and moves up and down along a guide post 83 fixed to the support base 131. Further, as shown in FIG. 8, the lifting table 80 ascends until the upper surface of the substrate S is higher than the upper surface of the conveyor 13a or 13b at the supply position when the substrate S is cut.

昇降テーブル80は、供給位置での基板Sの切断時、及び切断後のターンテーブル10の回転時において基板Sを真空吸着させることが可能に構成されている。これにより、基板Sの切断時及び切断後の移動時において、基板Sの位置決め固定をすることが可能となる。   The lifting table 80 is configured to be capable of vacuum-sucking the substrate S at the time of cutting the substrate S at the supply position and at the time of rotation of the turntable 10 after cutting. This makes it possible to position and fix the substrate S at the time of cutting the substrate S and at the time of movement after the cutting.

また、昇降テーブル80は、搬出位置での個片Pの搬出時において、個片Pの吸着を解除する。搬出位置においては、昇降テーブル80による吸着の解除後は、上述の基準ピンによって個片Pの位置決めがなされることとなる。   Further, the lifting table 80 releases the suction of the pieces P when the pieces P are carried out at the carry-out position. At the unloading position, after the suction by the lift table 80 is released, the positioning of the piece P is performed by the above-described reference pin.

図8に示すように、供給位置での基板Sの切断時において、カッター31は、その先端が昇降テーブル80の凹部81の底面に接触しない位置まで下降して、基板SのジョイントJを切断する。   As shown in FIG. 8, at the time of cutting the substrate S at the supply position, the cutter 31 descends to a position at which the tip does not contact the bottom surface of the recess 81 of the lifting table 80 and cuts the joint J of the substrate S .

次に、図9を参照して、本実施形態に係る基板分割装置1を用いて基板を分割する基板分割方法について説明する。上述のように、基板分割装置1の各構成は、制御装置60によってドライバに駆動命令が送信されることによって動作する。   Next, with reference to FIG. 9, a substrate dividing method of dividing a substrate using the substrate dividing device 1 according to the present embodiment will be described. As described above, each configuration of the substrate dividing device 1 operates by the control device 60 transmitting a drive command to the driver.

制御装置60は、まず、乗継補助コンベア15(供給機構)からターンテーブル10に未切断基板Sを供給する基板供給工程を実行する。具体的には、ステップS1において、上流装置2から供給される基板Sがある場合、乗継補助コンベア15及び供給位置に停止している一方のコンベア13a(第1ステージ)をターンテーブル10の回転軸11に向かう方向に駆動して、基板Sをコンベア13aに供給する。次に、ステップS2において、コンベア13a上における切断に好適な位置にて、基板Sを停止させる。   The control device 60 first executes a substrate supply step of supplying the uncut substrate S to the turntable 10 from the transfer auxiliary conveyor 15 (supply mechanism). Specifically, in step S1, when there is a substrate S supplied from the upstream apparatus 2, the transfer auxiliary conveyor 15 and one conveyor 13a (first stage) stopped at the supply position are rotated by the turntable 10. The substrate S is supplied to the conveyor 13 a by driving in the direction toward the axis 11. Next, in step S2, the substrate S is stopped at a position suitable for cutting on the conveyor 13a.

次に、制御装置60は、ターンテーブル10に供給された未切断基板Sを切断ロボット20(切断機構)により切断する基板切断工程を実行する。具体的には、ステップS3において、供給位置の昇降テーブル80を上昇させ、真空引きによって基板Sを吸着する。次に、ステップS4において、切断ロボット20を駆動し、基板SのジョイントJを切断する。   Next, the control device 60 executes a substrate cutting step of cutting the uncut substrate S supplied to the turntable 10 by the cutting robot 20 (cutting mechanism). Specifically, in step S3, the lift table 80 at the supply position is raised, and the substrate S is adsorbed by vacuum suction. Next, in step S4, the cutting robot 20 is driven to cut the joint J of the substrate S.

全てのジョイントJの切断が完了したら、制御装置60は、ターンテーブル10を回転させ、切断ロボット20によって切断された切断済基板(個片P及び枠片F)を搬出位置まで移動させる基板位置変更工程を実行する。具体的には、ステップS5において、ターンテーブル10を180°回転させ、コンベア13aを搬出位置へ移動させる。これにより、他方のコンベア13b(第2ステージ)が供給位置へ移動される。   When cutting of all joints J is completed, the control device 60 rotates the turntable 10 to change the substrate position to move the cut substrate (pieces P and frame pieces F) cut by the cutting robot 20 to the unloading position Perform the process Specifically, in step S5, the turntable 10 is rotated by 180 ° to move the conveyor 13a to the unloading position. As a result, the other conveyor 13 b (second stage) is moved to the supply position.

ターンテーブル10の回転後、制御装置60は、個片Pを搬出ロボット40(搬出機構)により搬出する基板搬出工程を実行する。具体的には、ステップS6において、搬出位置に移動された昇降テーブル80による個片Pの吸着を解除し、搬出ロボット40を駆動して、循環コンベア17を流れるトレイ18上に個片Pを1つずつ搬出する。トレイ18に載置された個片Pは、循環コンベア17から、図示しない下流装置に搬出される。全ての個片Pの搬出が完了したら、ステップS7において、昇降テーブル80を下降させる。次に、ステップS8において、ターンテーブル10の回転軸11から離間する方向に搬出位置のコンベア13aを駆動して、枠片Fを落下させることにより除去する。   After the rotation of the turntable 10, the control device 60 executes a substrate unloading step of unloading the individual pieces P by the unloading robot 40 (loading mechanism). Specifically, in step S6, the suction of the pieces P by the lifting table 80 moved to the carry-out position is released, and the carry-out robot 40 is driven to place the pieces P on the tray 18 flowing through the circulating conveyor 17. Take out one by one. The pieces P placed on the tray 18 are carried out of the circulating conveyor 17 to a downstream device (not shown). When the delivery of all the pieces P is completed, the lifting table 80 is lowered in step S7. Next, in step S8, the conveyor 13a at the unloading position is driven in a direction away from the rotation shaft 11 of the turntable 10, and the frame piece F is dropped and removed.

また、制御装置60は、上流装置2から新たな未切断の基板Sの供給がある場合には、基板搬出工程と並行して、上述した基板供給工程を新たに開始する。具体的には、ステップS6〜S8を行うと同時に、制御装置60は、ステップS9において、供給位置のコンベア13bに新たな未切断の基板Sを供給する。次に、ステップS10において、コンベア13b上において基板Sが切断に好適な位置で停止するように、コンベア13bを停止する。次に、ステップS11において、昇降テーブル80を上昇させ、真空引きによって基板Sを吸着する。次に、ステップS12において、切断ロボット20を駆動し、基板SのジョイントJを切断する。全てのジョイントJの切断が完了したら、ステップS13において、ターンテーブル10を180°回転させ、コンベア13bを搬出位置へ移動させる。これにより、コンベア13aが再び供給位置へ移動される。なお、上流装置2から新たな未切断の基板Sの供給がない場合には、図9では図示を省略しているが、ステップS9以降を実施することなく、ステップS6〜S8を実施した後、運転待機状態となる。   In addition, when there is a supply of a new uncut substrate S from the upstream device 2, the control device 60 newly starts the above-described substrate supply process in parallel with the substrate unloading process. Specifically, at the same time as performing steps S6 to S8, in step S9, the control device 60 supplies a new uncut substrate S to the conveyor 13b at the supply position. Next, in step S10, the conveyor 13b is stopped so that the substrate S is stopped at a position suitable for cutting on the conveyor 13b. Next, in step S11, the lift table 80 is raised, and the substrate S is adsorbed by vacuum suction. Next, in step S12, the cutting robot 20 is driven to cut the joint J of the substrate S. When cutting of all the joints J is completed, in step S13, the turntable 10 is rotated by 180 °, and the conveyor 13b is moved to the unloading position. Thereby, the conveyor 13a is moved to the supply position again. When there is no supply of a new uncut substrate S from the upstream device 2, although illustration is omitted in FIG. 9, after performing steps S6 to S8 without performing step S9 and subsequent steps, It will be in the operation standby state.

ステップS13におけるターンテーブル10の回転が完了したら、制御装置60は、ステップS14において、センサ70により、上流装置2から供給され、乗継補助コンベア15を通過する未切断の基板Sがあるかどうかを判定する。なお、制御装置60が、基板Sを受け取り可能な状態において上流装置2に基板受取可能信号を一方的に送信し、該信号を受けて上流装置2が乗継補助コンベア15に基板Sを供給する構成(いわゆる一方向通信の構成)の場合には、図9の図示とは異なり、当該判定のステップS14は実行されない。この場合には、作業員が手動で基板分割装置1を停止させるまで、基板Sの有無にかかわらず、ステップS6〜S8及びステップS9〜S12を繰り返し実行する。   When the rotation of the turntable 10 in step S13 is completed, the control device 60 determines in step S14 whether or not there is an uncut substrate S supplied from the upstream device 2 by the sensor 70 and passing through the transfer auxiliary conveyor 15 judge. The control device 60 unilaterally transmits a substrate receivable signal to the upstream device 2 in a state where the substrate S can be received, and the upstream device 2 supplies the substrate S to the transfer auxiliary conveyor 15 in response to the signal. In the case of the configuration (a configuration of so-called one-way communication), step S14 of the determination is not executed unlike the illustration of FIG. In this case, steps S6 to S8 and steps S9 to S12 are repeatedly executed regardless of the presence or absence of the substrate S until the worker manually stops the substrate dividing apparatus 1.

未切断の基板Sがある場合(Yes)、ステップS6〜S8及びステップS9〜S12を再度同時に行う。基板Sがない場合(No)、ステップS15において、ステップS6と同様に、搬出位置に移動されたコンベア13bの昇降テーブル80による個片Pの吸着を解除し、搬出ロボット40を駆動して、循環コンベア17を流れるトレイ18上に個片Pを1つずつ搬出する。そして、ステップS16及びS17において、ステップS7及びS8と同様に、全ての個片Pの搬出が完了したら、昇降テーブル80を下降させ、コンベア13bを駆動して枠片Fを落下させて破棄する。   If there is an uncut substrate S (Yes), steps S6 to S8 and steps S9 to S12 are performed again simultaneously. When there is no substrate S (No), in step S15, the suction of the piece P by the lifting table 80 of the conveyor 13b moved to the unloading position is canceled as in step S6, and the unloading robot 40 is driven to circulate. The pieces P are carried out one by one onto the tray 18 flowing through the conveyor 17. Then, in steps S16 and S17, as in steps S7 and S8, when unloading of all the pieces P is completed, the lifting table 80 is lowered and the conveyor 13b is driven to drop and discard the frame piece F.

ステップS17が完了したら、ステップS18において、センサ70により、上流装置2から供給され、乗継補助コンベア15を通過する未切断の基板Sがあるかどうかを判定する。未切断の基板Sがある場合(Yes)、ステップS1に戻り、ステップS1〜S17を再度実行する。未切断の基板Sがない場合(No)、運転待機状態とする。なお、上記ステップS14と同様に、制御装置60が一方向通信の構成の場合には、図9の図示とは異なり、当該判定のステップS18は実行されず、作業員が手動で基板分割装置1を停止させる必要がある。   When step S17 is completed, in step S18, it is determined by the sensor 70 whether or not there is an uncut substrate S supplied from the upstream device 2 and passing through the transfer auxiliary conveyor 15. If there is an uncut substrate S (Yes), the process returns to step S1, and steps S1 to S17 are executed again. When there is no uncut substrate S (No), the operation standby state is set. As in the case of the configuration of one-way communication, as in the case of step S14, unlike the illustration of FIG. 9, step S18 of the determination is not performed, and the operator manually performs the substrate dividing device 1 Need to stop.

以上説明したように、本実施形態に係る基板分割装置1は、基板の供給及び切断と、切断された個片の搬出及び枠片の破棄とを効率よく並行して行うことができるため、処理時間を短縮することができる。特に、切断完了後のコンベア搬送に不適な個片(小型、異形等)について時間効率を改善することにより、後工程に切断後の個片を供給する間隔時間と、後工程の待機時間を短縮することができる。   As described above, the substrate dividing apparatus 1 according to the present embodiment can efficiently perform the supply and cutting of the substrate, the unloading of the cut pieces, and the discarding of the frame pieces in parallel. Time can be shortened. In particular, by improving the time efficiency of individual pieces (small, irregular, etc.) unsuitable for conveyor conveyance after completion of cutting, the interval time for supplying individual pieces after cutting in the post process and waiting time of the post process are reduced. can do.

本発明に係る基板分割装置は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内において種々の改変を行なうことができる。   The substrate dividing apparatus according to the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the technical concept of the present invention.

例えば、上述の実施形態においては、切断ロボット20及び搬出ロボット40は、フレーム式によってカッター31や移載ヘッド41が三軸方向に移動可能に構成されるものとして説明したが、これに限定されず、多軸ロボット式とすることもできる。多軸ロボット式とした場合には、三軸方向に延びるフレームを設ける必要がなくなるため、基板分割装置をサイズダウンすることができる。   For example, in the above-described embodiment, the cutting robot 20 and the unloading robot 40 have been described as being configured so that the cutter 31 and the transfer head 41 can be moved in three axial directions by a frame type. It can also be a multi-axis robot type. In the case of the multi-axis robot type, there is no need to provide a frame extending in three axial directions, so the size of the substrate dividing apparatus can be reduced.

また、上述の実施形態においては、ターンテーブル10上のコンベア13a及び13bが1対である場合を説明したが、2対以上とすることもできる。この場合、360°/(対の数×2)で算出される角度ごとにコンベアが配置される。この場合、各コンベア上に、供給位置及び搬出位置が回転方向に交互に位置するように、供給位置が360°/対の数で算出される角度ごとに配置され、かつ搬出位置が360°/対の数で算出される角度ごとに配置される。切断ロボット20は、各供給位置に整合して設けられ、搬出ロボット40は、各搬出位置に整合して設けられる。このような構成によっても、ターンテーブル10が360°/(対の数×2)で算出される角度ずつ回転することで、各ステージが供給位置及び搬出位置に交互に停止することができ、基板の供給及び切断と、切断された基板個片の搬出とを効率よく並行して行うことができる。例えばコンベアが2対の場合、90°ごとにコンベアが設けられる。   Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the case where conveyors 13a and 13b on the turntable 10 were 1 pair was demonstrated, it can also be 2 or more pairs. In this case, the conveyor is disposed at each angle calculated by 360 ° / (number of pairs × 2). In this case, the feed position is arranged at every angle calculated by the number of 360 ° / pair, and the carry-out position is 360 ° /, so that the feed position and the carry-out position are alternately positioned in the rotational direction on each conveyor. It is arranged for each angle calculated by the number of pairs. The cutting robot 20 is provided in alignment with each supply position, and the unloading robot 40 is provided in alignment with each unloading position. Even with such a configuration, each stage can be alternately stopped at the supply position and the discharge position by rotating the turntable 10 by an angle calculated by 360 ° / (number of pairs × 2), and the substrate Supply and cutting, and unloading of the cut substrate piece can be efficiently performed in parallel. For example, in the case of two pairs of conveyors, conveyors are provided every 90 °.

供給位置及び搬出位置が2対以上である場合、供給位置及び搬出位置がターンテーブル10の回転軸11を介して対向するように設けられていてもよい。この場合、複数の供給位置同士、複数の搬出位置同士が回転方向に隣接していてもよい。各コンベアは、それぞれ供給位置及び搬出位置に停止できるように、360°/(対の数×2)で算出される角度ごとにターンテーブル10上に配置される。切断ロボット20は、各供給位置に整合して設けられ、搬出ロボット40は、各搬出位置に整合して設けられる。このように、供給位置及び搬出位置が対向する場合においても、ターンテーブル10が180°回転することにより、各ステージが供給位置及び搬出位置に交互に停止することができ、基板の供給及び切断と、切断された基板個片の搬出とを効率よく並行して行うことができる。   When the feed position and the carry-out position are two or more pairs, the feed position and the carry-out position may be provided to face each other via the rotary shaft 11 of the turntable 10. In this case, the plurality of supply positions and the plurality of discharge positions may be adjacent to each other in the rotational direction. The conveyors are arranged on the turntable 10 at every angle calculated by 360 ° / (number of pairs × 2) so as to be able to stop at the supply position and the discharge position. The cutting robot 20 is provided in alignment with each supply position, and the unloading robot 40 is provided in alignment with each unloading position. As described above, even when the supply position and the discharge position face each other, each stage can be alternately stopped at the supply position and the discharge position by rotating the turntable 10 by 180 °, so that the substrate is supplied and cut. And unloading of the cut substrate piece can be efficiently performed in parallel.

また、上述の実施形態において、第1ステージ13a及び第2ステージ13bは、供給位置に停止している際、ターンテーブル10の回転軸11に向かう方向に未切断の基板Sが供給されるように構成されるコンベアであるものとして説明したが、これに限定されるものではない。   Further, in the above embodiment, when the first stage 13a and the second stage 13b are stopped at the supply position, the uncut substrate S is supplied in the direction toward the rotation axis 11 of the turntable 10. Although described as being a configured conveyor, it is not limited thereto.

また、上述の実施形態において、第1ステージ13a及び第2ステージ13bは、供給位置から搬出位置に移動された切断済基板Sの個片Pを搬出機構40により搬出した後、枠片Fを除去可能に構成されるものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、切断の対象となる基板が枠片を有しない場合、枠片を除去する動作は不要である。   In the above-described embodiment, the first stage 13a and the second stage 13b remove the frame piece F after the piece P of the cut substrate S moved from the supply position to the discharge position is unloaded by the unloading mechanism 40. Although described as being configured as possible, it is not limited to this. For example, when the substrate to be cut does not have a frame piece, the operation of removing the frame piece is unnecessary.

また、上述の実施形態において、基板分割装置1は、搬出機構40によって搬出された個片Pを載せるためのトレイ18と、トレイが循環する循環機構17と、をさらに備えるものとして説明したが、これに限定されるものではない。   In the above-described embodiment, the substrate dividing apparatus 1 is described as further including the tray 18 for loading the pieces P unloaded by the unloading mechanism 40 and the circulation mechanism 17 in which the tray circulates. It is not limited to this.

S・・・基板、P・・・個片、F・・・枠片、J・・・ジョイント、1・・・基板分割装置、2・・・上流装置、10・・・ターンテーブル、1・・・回転軸、12・・・筐体、13a,13b・・・コンベア、15・・・乗継補助コンベア、16・・・上流コンベア、17・・・循環コンベア、18・・・トレイ、20・・・切断ロボット、40・・・搬出ロボット、60・・・制御装置、70・・・センサ、80・・・昇降テーブル   S: substrate, P: individual piece, F: frame piece, J: joint, 1: substrate dividing device, 2: upstream device, 10: turntable, 1 · · Rotating shaft, 12 · · · Housing, 13a, 13b · · · · · · · · 15 auxiliary transfer conveyor, 16 · · · upstream conveyor, 17 · · · · · · · · · · 20 tray ······················································································································································································································································································· Robot

Claims (6)

回転方向に離間して配された第1ステージ及び第2ステージを有するターンテーブルと、
前記ターンテーブルに未切断基板を供給する供給機構と、
前記ターンテーブルに供給された前記未切断基板を切断し、個片及び枠片に分割する切断機構と、
前記切断機構によって切断された切断済基板の前記個片を前記ターンテーブルから搬出する搬出機構と
を備え、
前記ターンテーブルは、前記第1ステージが供給位置及び該供給位置と異なる搬出位置においてそれぞれ停止するよう回転可能に構成され、
前記第2ステージは、前記第1ステージが前記供給位置に停止している状態において前記搬出位置に位置し、かつ、前記第1ステージが前記搬出位置に停止している状態において前記供給位置に位置するよう設けられ、
前記供給機構及び前記切断機構は、前記供給位置に整合して設けられ、
前記搬出機構は、前記搬出位置に整合して設けられ、
前記第1ステージ及び前記第2ステージは、それぞれ、前記供給位置において前記供給機構から前記未切断基板を受け取り可能であり、かつ、前記切断機構により切断された前記切断済基板を前記供給位置から前記搬出位置に移動可能に構成されている
ことを特徴とする基板分割装置。
A turntable having a first stage and a second stage spaced apart in the rotational direction;
A supply mechanism for supplying an uncut substrate to the turntable;
A cutting mechanism for cutting the uncut substrate supplied to the turntable and dividing the uncut substrate into pieces and frame pieces;
An unloading mechanism for unloading the individual pieces of the cut substrate cut by the cutting mechanism from the turntable;
The turntable is configured to be rotatable such that the first stage is stopped at a supply position and at a discharge position different from the supply position.
The second stage is located at the unloading position when the first stage is stopped at the supply position, and is located at the supply position when the first stage is stopped at the unloading position. Provided to
The supply mechanism and the cutting mechanism are provided in alignment with the supply position,
The unloading mechanism is provided in alignment with the unloading position.
The first stage and the second stage are each capable of receiving the uncut substrate from the supply mechanism at the supply position, and the cut substrate cut by the cutting mechanism from the supply position A substrate dividing device characterized in that it is movable to an unloading position.
前記第1ステージ及び前記第2ステージは、前記供給位置に停止している際、前記ターンテーブルの回転軸に向かう方向に前記未切断基板が供給されるように構成される
ことを特徴とする請求項1記載の基板分割装置。
The first stage and the second stage are configured to be supplied with the uncut substrate in a direction toward the rotation axis of the turntable when stopped at the supply position. The substrate dividing device according to Item 1.
前記供給位置及び前記搬出位置は、前記ターンテーブルの回転軸を介して対向している
ことを特徴とする請求項1又は2記載の基板分割装置。
The substrate dividing device according to claim 1, wherein the supply position and the discharge position are opposed to each other through a rotation axis of the turntable.
前記第1ステージ及び前記第2ステージは、前記供給位置から前記搬出位置に移動された前記切断済基板の前記個片を前記搬出機構により搬出した後、前記枠片を除去可能に構成される
ことを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項記載の基板分割装置。
The first stage and the second stage are configured to be able to remove the frame piece after the individual pieces of the cut substrate moved from the supply position to the discharge position are carried out by the carry-out mechanism. The substrate dividing device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that
前記搬出機構によって搬出された前記個片を載せるためのトレイと、
前記トレイが循環する循環機構と
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項記載の基板分割装置。
A tray on which the pieces unloaded by the unloading mechanism are placed;
The substrate dividing apparatus according to any one of claims 1 to 4, further comprising: a circulation mechanism through which the tray circulates.
少なくとも供給位置及び搬出位置の間において回転可能に構成されたターンテーブルと、前記供給位置に整合して設けられた供給機構及び切断機構と、前記搬出位置に整合して設けられた搬出機構とを備える基板分割装置を用いて基板を分割する基板分割方法であって、
前記供給機構から前記ターンテーブルに未切断基板を供給する基板供給工程と、
前記基板供給工程後、前記ターンテーブルに供給された前記未切断基板を前記切断機構により切断する基板切断工程と、
前記基板切断工程後、前記ターンテーブルを回転させ、前記切断機構によって切断された切断済基板を前記搬出位置まで移動させる基板位置変更工程と、
前記基板位置変更工程後、前記切断済基板を前記搬出機構により搬出する基板搬出工程と
を含み、
前記基板搬出工程と並行して、前記基板供給工程を新たに開始する
ことを特徴とする基板分割方法。
A turntable configured to be rotatable between at least a supply position and a discharge position, a supply mechanism and a cutting mechanism provided in alignment with the supply position, and a discharge mechanism provided in alignment with the discharge position; A substrate dividing method for dividing a substrate using the provided substrate dividing device, comprising:
A substrate supply step of supplying an uncut substrate from the supply mechanism to the turntable;
A substrate cutting step of cutting the uncut substrate supplied to the turntable by the cutting mechanism after the substrate supply step;
A substrate position changing step of rotating the turn table after the substrate cutting step to move the cut substrate cut by the cutting mechanism to the unloading position;
And a substrate unloading step of unloading the cut substrate by the unloading mechanism after the substrate position changing step.
In parallel to the substrate unloading step, the substrate supply step is newly started.
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