JP2019079619A - Method for manufacturing organic el display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、有機材料の電界発光現象を利用した有機EL(Electro Luminescence)素子が行列状に配された有機EL表示パネルの製造方法に関し、特にバンクを形成する工程に関する。 The present disclosure relates to a method of manufacturing an organic EL display panel in which organic EL (Electro Luminescence) elements utilizing an electroluminescence phenomenon of an organic material are arranged in a matrix, and in particular to a process of forming a bank.
近年、発光型の表示装置として、有機EL表示パネルが実用化されている。有機EL表示パネルにおいて、各有機EL素子は、陽極と陰極の一対の電極対の間に有機発光材料を含む発光層が配設された基本構造を有し、駆動時には、一対の電極対間に電圧を印加し、陽極から発光層に注入されるホールと、陰極から発光層に注入される電子との再結合に伴って発生する電流駆動型の発光素子である。 In recent years, organic EL display panels have been put to practical use as light emitting display devices. In the organic EL display panel, each organic EL element has a basic structure in which a light emitting layer containing an organic light emitting material is disposed between a pair of electrodes of an anode and a cathode, and when driven, between the pair of electrodes It is a current-driven light emitting element generated as a result of recombination of holes injected from the anode to the light emitting layer and electrons injected from the cathode to the light emitting layer when a voltage is applied.
有機EL表示パネルの製造において、基板上をバンクで区画し、各区画に発光層が形成される。バンクは、感光性の熱硬化性樹脂を用いてフォトリソグラフィー法でバンク形状にパターニングして、加熱焼成することによって形成される。
発光層の形成には、高分子材料や薄膜形成性の良い低分子を含む発光層形成用のインクを、インクジェット法等で凹空間に塗布するウェット方式が多く用いられている。このウェット方式によれば、大型のパネルにおいても発光層をはじめとする有機機能層を比較的容易に形成することができる。
In the manufacture of the organic EL display panel, the substrate is partitioned by banks, and a light emitting layer is formed in each partition. The bank is formed by patterning in a bank shape by a photolithographic method using a photosensitive thermosetting resin, and heating and baking.
In order to form a light emitting layer, a wet method is often used in which an ink for forming a light emitting layer containing a polymer material or a low-molecular-weight thin film-forming property is applied to a concave space by an inkjet method or the like. According to this wet method, the organic functional layer including the light emitting layer can be relatively easily formed even in a large panel.
例えば、特許文献1には、基板上に列方向に延伸する複数の長尺状のバンクを形成し、複数のバンク間の間隙に有機発光材料を含むインクを塗布することにより発光層を形成するラインバンク方式の有機EL表示パネルの製造方法が提案されている。ラインバンク方式によれば、インクがバンクに沿って間隙内で流動可能であるので、インク塗布時点での膜厚のバラつきがインクの流動により均一化され、均一な膜厚の発光層を形成することができる。その結果、輝度ムラの少ない有機EL表示パネルを製造することができる。 For example, in Patent Document 1, a plurality of elongated banks extending in the column direction are formed on a substrate, and a light emitting layer is formed by applying an ink containing an organic light emitting material in the gaps between the plurality of banks. A method of manufacturing a line bank type organic EL display panel has been proposed. According to the line bank method, since the ink can flow in the gap along the bank, the variation in film thickness at the time of ink application is made uniform by the flow of ink, and a light emitting layer with a uniform film thickness is formed. be able to. As a result, it is possible to manufacture an organic EL display panel with less luminance unevenness.
バンクに欠陥部が存在すると、間隙内に塗布されたインクが欠陥部を通して隣の間隙内に侵入し、発光色の異なるインクが混合する混色領域が発生してしまう可能性がある。特に、ラインバンク方式では、混色したインクがバンクに沿って流動するため、複数画素にわたって表示不良が発生する可能性がある。
ラインバンクの欠陥部に対する補修方法として、例えば、特許文献2には、欠陥部の両側の間隙内に、欠陥部を囲む堰を形成することにより表示不良を抑制する技術が開示されている。
If there is a defect in the bank, the ink applied in the gap may intrude into the adjacent gap through the defect and a mixed color area may be generated where inks of different luminescent colors are mixed. In particular, in the line bank method, mixed color ink flows along a bank, which may cause a display failure over a plurality of pixels.
As a repair method for a defective portion of a line bank, for example,
欠陥部の両側の間隙内に欠陥部を取り囲む堰を形成すれば、互いに発光色が異なるインクが混合する混色領域が堰を超えて広がることを抑えることができ、発光色不良による表示不良を低減することができると考えられる。しかしながら、堰を設けると、堰の内側に混色領域が発生してしまう、堰が設けられた位置のサブピクセルが正常に発光しない、等の表示不良が発生する可能性がある。 By forming a weir surrounding the defect in the gap on both sides of the defect, it is possible to suppress the spread of mixed color areas where inks of different emission colors are mixed beyond the weir, and reduce display defects due to light emission defects. It is thought that it can be done. However, when a weir is provided, a color mixing area may be generated inside the weir, and display defects may occur such as a sub-pixel at a position where the weir is provided may not emit light properly.
本開示は、上記課題に鑑み、バンクの欠陥部に起因する混色やバンクの補修に起因する表示不良の発生を低減することのできる有機EL表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。 An object of the present disclosure is to provide a method of manufacturing an organic EL display panel capable of reducing the occurrence of display defects caused by color mixing caused by defective portions of banks and repair of the banks.
本開示の一態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、基板を準備する工程と、基板上に列方向に延伸する複数の長尺状のバンクを形成する工程と、バンクにおける欠陥部を検出する工程と、欠陥部に対して、バンクの一部を除去するバンクトリミングの必要性を判定する工程と、バンクトリミングが必要と判定された場合に前記バンクの欠陥部の周辺を除去するバンクトリミングを実行する工程と、バンクトリミングにより除去された領域に対して、バンクの再形成を行う工程と、複数のバンク間の間隙に有機発光材料を含むインクを塗布することにより発光層を形成する工程と、を有することを特徴とする。 In a method of manufacturing an organic EL display panel according to an aspect of the present disclosure, a step of preparing a substrate, a step of forming a plurality of elongated banks extending in the column direction on the substrate, and detecting a defective portion in the bank Step of determining the necessity of bank trimming for removing a part of the bank with respect to the defective portion, and bank trimming for removing the periphery of the defective portion of the bank when it is determined that the bank trimming is necessary. Forming a light emitting layer by applying an ink containing an organic light emitting material to a gap between a plurality of banks. And.
上記態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、バンクの欠陥部に起因する混色やバンクの補修に起因する表示不良の発生を低減することができる。 According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the above aspect, it is possible to reduce the occurrence of display defects caused by color mixing caused by defective portions of the banks and repair of the banks.
<発明の概要>
(1)本開示の第1態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、基板を準備する工程と、前記基板上に列方向に延伸する複数の長尺状のバンクを形成する工程と、前記バンクにおける欠陥部を検出する工程と、前記欠陥部に対して、前記バンクの一部を除去するバンクトリミングの必要性を判定する工程と、バンクトリミングが必要と判定された場合に前記バンクの前記欠陥部の周辺を除去するバンクトリミングを実行する工程と、前記バンクトリミングにより除去された領域に対して、バンクの再形成を行う工程と、前記複数のバンク間の間隙に有機発光材料を含むインクを塗布することにより発光層を形成する工程と、を有することを特徴とする。
<Overview of the Invention>
(1) A method of manufacturing an organic EL display panel according to a first aspect of the present disclosure includes the steps of: preparing a substrate; forming a plurality of elongated banks extending in the column direction on the substrate; A step of detecting a defective portion in the bank, a step of determining the necessity of bank trimming for removing a part of the bank with respect to the defective portion, and the bank trimming when it is determined that the bank trimming is necessary. A step of performing bank trimming to remove the periphery of the defect, a step of re-forming the bank to the area removed by the bank trimming, and an ink containing an organic light emitting material in the gap between the plurality of banks Forming a light emitting layer by applying a light emitting material.
第1態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、バンクの欠陥部に起因する混色やバンクの補修に起因する表示不良の発生を低減することができる。
(2)本開示の第2態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第1態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクを形成する工程は、パターニングされたバンク材料を焼成する工程を含み、前記バンクトリミングの必要性を判定する工程は、前記バンク材料を焼成する工程よりも前に前記バンクに異物が付着していたとき、バンクトリミングが必要であると判定することを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the first aspect, it is possible to reduce the occurrence of display defects caused by color mixing caused by defective portions of the banks and repair of the banks.
(2) The method of manufacturing an organic EL display panel according to the second aspect of the present disclosure is the method of manufacturing an organic EL display panel according to the first aspect, wherein the step of forming the bank bakes the patterned bank material The step of determining the necessity of the bank trimming, including the step, is characterized in that when foreign matter adheres to the bank prior to the step of baking the bank material, it is determined that the bank trimming is necessary. I assume.
第2態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、焼成処理によりバンクに焼き付いた異物に対して、バンクトリミングとバンクの再形成を行って、混色が発生しないようにバンクを補修することができる。
(3)本開示の第3態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第1態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクトリミングの必要性を判定する工程は、前記バンクの幅に対する前記バンクの欠損領域の大きさの割合が所定のしきい値以上であるとき、バンクトリミングが必要であると判定することを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the second aspect, the bank trimming and the re-formation of the bank are performed on the foreign matter seized in the bank by the baking process, and the bank is repaired so that the color mixture does not occur. it can.
(3) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to the third aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to the first aspect, the step of determining the necessity of the bank trimming is the width of the bank It is characterized in that it is determined that the bank trimming is necessary when the ratio of the size of the defective area of the bank to the above is greater than or equal to a predetermined threshold value.
第3態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、一部が欠損しているバンクに対して、バンクトリミングとバンクの再形成を行って、混色が発生しないようにバンクを補修することができる。
(4)本開示の第4態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第1態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、バンクトリミングが不要であると判定された場合、かつ、前記欠陥部が前記バンクの欠損であり、当該欠損により前記バンクが分断されている場合において、前記バンクの欠損領域に対して、バンクの再形成を行う工程を更に有することを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the third aspect, bank trimming and re-formation of a bank are performed on a partially deficient bank to repair the bank so that color mixing does not occur. it can.
(4) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fourth aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to the first aspect, when it is determined that bank trimming is unnecessary, the defect In the case where the part is a deletion of the bank and the bank is divided due to the deletion, the method further includes the step of re-forming the bank with respect to the deletion area of the bank.
第4態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、欠損により分断されたバンクに対して、バンクの再形成を行って混色が発生しないようにバンクを補修することができる。
(5)本開示の第5態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第1態様乃至第4態様のいずれかに係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクの再形成は、熱硬化性のバンク補修材料を、前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域に塗布し、焼成することにより行われることを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fourth aspect, it is possible to repair the bank so that color mixing does not occur by re-forming the bank with respect to the bank divided due to the defect.
(5) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fifth aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to any one of the first to fourth aspects, the bank is thermally cured It is characterized in that a metallic bank repair material is applied to the area from which the bank has been removed by the bank trimming and baking is performed.
第5態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、ディスペンサ塗布やインクジェット法などを用いて、混色が発生しないようにバンクを補修することができる。
(6)本開示の第6態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第1態様乃至第4態様のいずれかに係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクの再形成は、予めバンク形状に形成されているバンクリペアパーツを、前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域に設置することにより行われることを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fifth aspect, it is possible to repair the bank so that color mixing does not occur by using dispenser application, an inkjet method, or the like.
(6) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to the sixth aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to any one of the first to fourth aspects, the bank formation is performed in advance It is characterized in that it is performed by installing a bank repair part formed in a shape in an area where the bank is removed by the bank trimming.
第6態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、既に形状が整っているリペアパーツを用いて補修を行うので、ペーストの特性に依存せずに、補修箇所の形状を崩れさせることなく補修することが可能である。
(7)本開示の第7態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第5態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクトリミングにおいて、前記バンクが除去される領域の一部に、前記バンク補修材料を塗布する際に、前記複数のバンク間の間隙の前記有機発光材料が塗布される領域に前記バンク補修材料が流出することを抑制するためのガード部を形成することを特徴とする。
According to the manufacturing method of the organic EL display panel according to the sixth aspect, since the repair is performed using the repair parts which are already in shape, the repair is performed without breaking the shape of the repaired portion without depending on the characteristics of the paste. It is possible.
(7) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to the seventh aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fifth aspect, in the bank trimming, part of the area where the bank is removed The method further comprises forming a guard portion for suppressing the outflow of the bank repair material in a region of the gap between the plurality of banks to which the organic light emitting material is applied when the bank repair material is applied. I assume.
第7態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、バンク補修材の塗布点に起因するバンク補修材の形状の崩れを抑制することができる。
(8)本開示の第8態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第5態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクトリミングにおいて、前記バンクの、前記バンクトリミングにより除去された領域と接する部分に、前記バンク補修材料を塗布した際に、前記バンク補修材料が流入する溝部を形成することを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the seventh aspect, it is possible to suppress the collapse of the shape of the bank repair material caused by the application point of the bank repair material.
(8) A method of manufacturing an organic EL display panel according to an eighth aspect of the present disclosure is the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fifth aspect, wherein the bank trimming removes the bank of the bank. When the bank repair material is applied to a portion in contact with the area, a groove is formed to which the bank repair material flows.
第8態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、バンク補修材の塗布点に起因するバンク補修材の形状の崩れを抑制することができる。
(9)本開示の第9態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第6態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンクリペアパーツは、平面視において、列方向両端が凹凸を有する形状をしており、前記バンクトリミングにおいて、平面視で、前記バンクが除去される部分の列方向両端の形状が、前記バンクリペアパーツの列方向両端の形状と対応する形状となるように、前記バンクを切除することを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the eighth aspect, it is possible to suppress the collapse of the shape of the bank repair material caused by the application point of the bank repair material.
(9) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to the ninth aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to the sixth aspect, the bank repair parts have unevenness in both column direction ends in plan view. In the bank trimming, the shapes of both ends in the column direction of the portion where the banks are removed in plan view correspond to the shapes of both ends in the column direction of the bank repair parts, Cutting the bank.
第9態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、バンクリペアパーツの設置位置の位置ずれを抑制することができる。
(10)本開示の第10態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第5態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記バンク補修材料の塗布は、前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域に設定された複数の塗布点に、前記バンク補修材料を滴下することにより行われ、前記複数の塗布点は、前記欠損領域又は前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域で列方向に延伸する1以上の直線と行方向に延伸する複数の直線との交点それぞれに設定されることを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the ninth aspect, positional deviation of the installation position of the bank repair part can be suppressed.
(10) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to a tenth aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to the fifth aspect, the bank repair material is coated by removing the bank by the bank trimming. The bank repair material is dropped onto a plurality of application points set in a different area, and the plurality of application points are stretched in the column direction in the area where the bank is removed by the defective area or the bank trimming. It is characterized in that it is set at each intersection point of one or more straight lines and a plurality of straight lines extending in the row direction.
第10態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、ディスペンサ塗布やインクジェット法などを用いて、混色が発生しないようにバンクを補修することができる。
(11)本開示の第11態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第10態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記複数の塗布点は、前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域の3本以上の列方向の直線と複数の行方向の直線との交点それぞれに設定され、前記3本以上の列方向の直線のうち、行方向両端の直線上に設定される塗布点を第1塗布点、その他の塗布点を第2塗布点としたときに、前記第1塗布点へのバンク補修材料の滴下後、前記第2塗布点へのバンク補修材料の滴下を行うことを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the tenth aspect, it is possible to repair the bank so as not to cause color mixing by using a dispenser application, an inkjet method, or the like.
(11) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to an eleventh aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to the tenth aspect, the plurality of application points have banks removed by the bank trimming. An application point set on each of straight lines at both ends in the row direction, among the straight lines in the column direction, is set at the intersections of three or more straight lines in the column direction and straight lines in the row direction in the region. When the first application point and the other application points are the second application point, after the bank repair material is dropped to the first application point, the bank repair material is dropped to the second application point. I assume.
第11態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、ディスペンサ塗布やインクジェット法などを用いてバンクの再形成を行った際に生じ得るバンク補修材料の形状の崩れを低減することができる。
(12)本開示の第12態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第11態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記第1塗布点に滴下するバンク補修材料を第1バンク補修材料とし、前記第2塗布点に滴下するバンク補修材料を第2バンク補修材料としたときに、前記第1バンク補修材料は、前記第2バンク補修材料よりも粘度が高いことを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the eleventh aspect, it is possible to reduce the breakage of the shape of the bank repair material which may occur when the bank is re-formed by using a dispenser application, an inkjet method, or the like.
(12) A method of manufacturing an organic EL display panel according to a twelfth aspect of the present disclosure is the method of manufacturing an organic EL display panel according to the eleventh aspect, including repairing the first bank repair material dropped onto the first application point The first bank repair material is characterized by having a viscosity higher than that of the second bank repair material, when the bank repair material to be dropped to the second application point is used as the material and the second bank repair material is used as the material.
第12態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、ディスペンサ塗布やインクジェット法などを用いてバンクの再形成を行った際に生じ得るバンク補修材料の形状の崩れを低減することができる。
(13)本開示の第13態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、第10態様に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前記複数の塗布点は、前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域の1本の列方向の直線と複数の行方向の直線との交点それぞれに設定され、前記バンク補修材料の滴下に用いるノズル形状は、行方向に長軸を向けた楕円形状又は長方形状のいずれかであることを特徴とする。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the twelfth aspect, it is possible to reduce the breakage of the shape of the bank repair material that may occur when the bank is re-formed by using a dispenser application, an inkjet method, or the like.
(13) In the method of manufacturing an organic EL display panel according to a thirteenth aspect of the present disclosure, in the method of manufacturing the organic EL display panel according to the tenth aspect, the plurality of application points have banks removed by the bank trimming. The nozzle shape set for each of the intersections of one column direction straight line and a plurality of row direction straight lines in the region and used for dropping the bank repair material is an elliptical or rectangular shape with the major axis in the row direction. It is characterized in that it is either.
第13態様に係る有機EL表示パネルの製造方法によると、ディスペンサ塗布やインクジェット法などを用いてバンクの再形成を行った際に生じ得るバンク補修材料の形状の崩れを低減することができる。
<実施形態>
[有機EL表示装置の全体構成]
図1は、実施形態に係る表示パネル100を有する有機EL表示装置1の構成を示す模式ブロック図である。
According to the method of manufacturing an organic EL display panel according to the thirteenth aspect, it is possible to reduce the breakage of the shape of the bank repair material which may occur when the bank is re-formed by using a dispenser application, an inkjet method, or the like.
Embodiment
[Overall Configuration of Organic EL Display Device]
FIG. 1 is a schematic block diagram showing the configuration of an organic EL display device 1 having a
図1に示すように、有機EL表示装置1は、表示パネル100と、これに接続された駆動制御部101とを有している。表示パネル100は、有機材料の電界発光現象を利用したパネルであり、図2に示すように、複数の発光素子(有機EL素子)10が基板上にマトリクス状に配列されている。駆動制御部101は、4つの駆動回路102〜105と制御回路106とから構成されている。
As shown in FIG. 1, the organic EL display device 1 includes a
なお、表示パネル100に対する駆動制御部101の配置などは、これに限られない。
[有機EL表示パネルの構成]
図2は、表示パネル100の表示面側から見た概略構成を模式的に示す平面図である。図3は、表示パネル100を図2のA−A'線で切断した一部拡大断面図である。表示パネル100は、いわゆるトップエミッション型であって、Z方向側が表示面となっている。
The arrangement of the
[Configuration of organic EL display panel]
FIG. 2 is a plan view schematically showing a schematic configuration as viewed from the display surface side of the
表示パネル100の構成について、図2,3を参照しながら説明する。
図3に示すように、表示パネル100は、その主な構成として、下地基板11、画素電極12、ホール注入層13、第1バンク14、有機発光層15、電子輸送層16、共通電極17、封止層18を備える。
ホール注入層13、有機発光層15、電子輸送層16が、機能層に相当し、画素電極12と共通電極17によって、機能層が挟まれた構造となっている。
The configuration of the
As shown in FIG. 3, the
The
そして、赤(R),緑(G),青(B)の何れかの発光色に対応する有機発光層15を有する発光素子10R,10G,10Bをサブピクセルとし、図2に示すように、サブピクセルがマトリクス状に配設されている。
なお、図2においては、電子輸送層16、共通電極17、封止層18を取り除いた状態を示している。
The light emitting elements 10R, 10G, and 10B each having the organic
In addition, in FIG. 2, the state which removed the
[下地基板]
下地基板11は、基板本体部11a、TFT(薄膜トランジスタ)層11b、層間絶縁層11cを有する。
基板本体部11aは、表示パネル100の基材となる部分であり、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル樹脂、アルミナ等の絶縁性材料のいずれかで形成することができる。
[Base substrate]
The
The
TFT層11bは、基板本体部11aの表面にサブピクセル毎に設けられており、各々には薄膜トランジスタ素子を含む画素回路が形成されている。
層間絶縁層11cは、TFT層11b上に形成されている。層間絶縁層11cは、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等の有機絶縁材料、SiO(酸化シリコン)やSiN(窒化シリコン)等の無機絶縁材料からなり、TFT層11bと画素電極12との間の電気的絶縁性を確保すると共に、TFT層11bの上面に段差が存在してもそれを平坦化して、画素電極12を形成する下地面への影響を抑える機能を持つ。
The
The interlayer insulating
[画素電極]
画素電極12は、下地基板11上に、サブピクセル毎に個別に設けられた画素電極であり、例えば、Ag(銀)、Al(アルミニウム)、アルミニウム合金、Mo(モリブデン)、APC(銀、パラジウム、銅の合金)等の光反射性導電材料からなる。本実施形態において、画素電極12は、陽極である。
[Pixel electrode]
The
なお、画素電極12の表面にさらに公知の透明導電膜を設けてもよい。透明導電膜の材料としては、例えば酸化インジウムスズ(ITO)や酸化インジウム亜鉛(IZO)を用いることができる。透明導電膜は、画素電極12とホール注入層13の間に介在し、各層間の接合性を良好にする機能を有する。
[ホール注入層]
ホール注入層13は、例えば、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、バナジウム(V)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、イリジウム(Ir)などの酸化物、あるいは、PEDOT(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物)などの導電性ポリマー材料からなる層である。上記の内、酸化金属からなるホール注入層13は、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層15に対しホールを注入および輸送する機能を有する。
A known transparent conductive film may be further provided on the surface of the
[Hole injection layer]
The
[バンク]
ホール注入層13の表面には、Y方向(第1方向)に沿って伸長する平面視にて短冊状の第1バンク14が複数本並列に設けられている。この第1バンク14は、絶縁性の有機材料(例えばアクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等)からなる。
[bank]
A plurality of strip-shaped
各第1バンク14の断面は、図3に示されるように台形であって、第1バンク14同士の間には、第1バンク14によって区画された間隙20(20R,20G,20B)が形成され、各間隙20の底部には、複数の画素電極12がY方向に列設され、その上に機能層としてのホール注入層13、有機発光層15、電子輸送層16が形成されている。
第1バンク14は、X方向に隣接する発光素子10どうしを区画すると共に、有機発光層15をウェット法で形成するときに、塗布されたインクがあふれ出ないようにする構造物としても機能する。
The cross section of each
The
第2バンク24は、第1バンク14よりも高さが低く(図7参照)、各間隙20においてY方向に隣接する画素電極12と画素電極12との間に形成され、Y方向に隣接する発光素子10どうしを区画している。即ち、表示パネル100は、所謂ラインバンクを有する有機EL表示パネルである。
複数の各間隙20において、形成されている複数の第2バンク24のY方向の位置は同じである。各第2バンク24はX方向(第2方向)に伸長し、第1バンク14の下を通り隣の第2バンク24につながってX方向に伸長する短冊状となっている。従って、下地基板11上において、第1バンク14と第2バンク24の全体は格子状に形成されている(図2参照)。
The
The positions of the plurality of
[有機発光層]
有機発光層15は、キャリア(正孔と電子)が再結合して発光する部位であって、R,G,Bのいずれかの色に対応する有機材料を含む。
この有機発光層15は、上記の第1バンク14によって区画されたY方向に伸長する溝状の間隙(図7の間隙20R,20G,20B参照)に形成されている。
[Organic light emitting layer]
The organic
The organic
なお、図7に示す間隙20Rは赤色の発光層が形成されて赤色の発光素子10Rが形成される間隙であり、間隙20G、間隙20Bは、それぞれ緑色、青色の発光層が形成されて、緑色、青色の発光素子10G、10Bが形成される間隙である。
従って、互いに色の異なる有機発光層15が、第1バンク14を挟んで配置されていることになる。
A
Accordingly, the organic
有機発光層15の材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン(PPV)、ポリフルオレン、オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、8−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、2−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とIII族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質等が挙げられる。
As a material of the organic
[電子輸送層]
電子輸送層16は、共通電極17から注入された電子を有機発光層15へ輸送する機能を有し、例えば、オキサジアゾール誘導体(OXD)、トリアゾール誘導体(TAZ)、フェナンスロリン誘導体(BCP、Bphen)などで形成されている。
[共通電極]
共通電極17は、例えば、ITO、IZO等の導電性を有する光透過性材料で形成され全てのサブピクセルに亘って設けられている。
[Electron transport layer]
The
[Common electrode]
The
本実施形態において、共通電極17は陰極である。
[封止層18]
封止層18は、ホール注入層13、有機発光層15、電子輸送層16、共通電極17を水分及び酸素から保護するために設けられている。
なお、図示はしないが、封止層18の上に、ブラックマトリクス、カラーフィルター等が形成されていてもよい。
In the present embodiment, the
[Sealing layer 18]
The
Although not shown, a black matrix, a color filter or the like may be formed on the
[表示パネルの製造方法]
図4は、表示パネル100の製造過程を示す模式工程図である。
表示パネル100の製造方法について、図4の工程図に基づいて、図3を参照しながら説明する。
まず、基板本体部11a上にTFT層11bを形成する(ステップS1)。
[Method of manufacturing display panel]
FIG. 4 is a schematic process diagram showing a manufacturing process of the
A method of manufacturing the
First, the
続いて、TFT層11bの上に、絶縁性に優れる有機材料を用いてフォトレジスト法で層間絶縁層11cを形成して下地基板11を作製する(ステップS2)。層間絶縁層11cの厚みは例えば約4μmである。なお、図3の断面図および図4の工程図には現れないが、層間絶縁層11cを形成するときに、コンタクトホール2(図2参照)を形成する。
次に、下地基板11上に、真空蒸着法またはスパッタ法によって、厚み400[nm]程度の金属材料からなる画素電極12を、サブピクセル毎に形成する(ステップS3)。
Subsequently, the
Next, the
続いて、スパッタ法などで酸化タングステンを、下地基板11および画素電極12上に一様に成膜することによって、ホール注入層13を形成する(ステップS4)。
次に、第2バンク24と第1バンク14を以下のようにフォトリソグラフィー法で形成する(ステップS5)。
まず第2バンク24を形成するためのバンク材料(例えば、感光性を有するフォトレジスト材料)を、ホール注入層13上に一様に塗布する。
Subsequently, a
Next, the
First, a bank material (for example, a photosensitive photoresist material) for forming the
その後、塗布されたバンク材料層に、第2バンク24のパターンに合わせた開口を有するフォトマスクを重ねて、UV照射して露光する。そして未硬化の余分なバンク材料を現像液で除去することによって第2バンク24を形成する。
次に、第1バンク14を形成するためのバンク材料(例えば、ネガ型感光性樹脂組成物を)を、第2バンク24を形成した基板上に一様に塗布する。
Thereafter, a photomask having an opening matched to the pattern of the
Next, a bank material (for example, a negative photosensitive resin composition) for forming the
そのバンク材料層上に、形成しようとする第1バンク14のパターンに合わせた開口を有するマスクを重ねて、マスクの上から露光する。その後、余分なバンク材料をアルカリ現像液で洗い出すことによって、バンク材料をパターニングして、第1バンクのパターンを形成する。
次に、このパターン形成された未焼成の第1バンク14aにおける欠陥部の発生を調べて(ステップS6)、欠陥部があればその補修を行う。
On the bank material layer, a mask having an opening matched to the pattern of the
Next, the occurrence of a defect in the unbaked
その後、このパターン形成された未焼成の第1バンク、第2バンクを、加熱焼成することによって、第1バンク14、第2バンク24が形成される。この焼成は、例えば、未焼成の第1バンク、第2バンクを、150℃〜210℃の温度で60分間加熱することによって行う。
次に、このパターン形成された第1バンク14における欠陥部3の検出を行う(ステップS6)。欠陥部3の検出は、例えば、撮影した基板の表面画像のパターン検査によって行う。基板の表面画像は、例えば、ステップS5において、バンク材料を塗布する前、バンク材料を塗布した後、露光を行った後、現像を行った後、焼成を行った後等に撮影する。
Thereafter, the patterned unbaked first and second banks are heated and fired to form the
Next, the
検出された欠陥部3について、欠陥部3が除去可能な異物であるか否かを判定し、欠陥部3が除去可能な異物である場合に異物除去処理を行う(ステップS7)。欠陥部3が除去可能な異物であるか否かの判定処理及び異物除去処理については後述する。
欠陥部3が除去可能な異物でなかった場合、又は、異物除去処理の後に、バンクトリミング処理が必要であるか否かを判定し(ステップS8)、バンクトリミング処理が必要であると判定された場合にバンクトリミング処理を行う(ステップS9)。バンクトリミング処理が必要であるか否かの判定処理、及び、バンクトリミング処理については後述する。
It is determined whether or not the detected
When the
バンクトリミング処理の後、バンクトリミング処理によってバンクの除去された部分を再形成するバンク再形成処理を行う(ステップS10)。バンク再形成処理については後述する。
続いて、隣り合う第1バンク14同士間の間隙20に、有機発光層15を形成するためのインクを塗布する。このインクは、有機発光層15を構成する有機材料と溶媒を混合したものであって、各間隙20内にインクジェット法により塗布する。そして、塗布されたインク層15aに含まれる溶媒を蒸発させて乾燥し、必要に応じて加熱焼成することによって、各間隙20内に有機発光層15が形成される(ステップS11)。
After the bank trimming process, a bank re-formation process is performed to re-form a portion where the bank has been removed by the bank trimming process (step S10). The bank re-formation process will be described later.
Subsequently, the ink for forming the organic
次に、有機発光層15および第1バンク14の上に、電子輸送層16を構成する材料を真空蒸着法で成膜して、電子輸送層16を形成する(ステップS12)。
そして、ITO、IZO等の材料を、スパッタ法等で成膜して、共通電極17を形成する(ステップS13)。
そして、共通電極17の表面に、SiN、SiON等の光透過性材料をスパッタ法あるいはCVD法等で成膜して、封止層18を形成する(ステップS14)。
Next, on the organic
Then, a material such as ITO or IZO is deposited by sputtering or the like to form the common electrode 17 (step S13).
Then, a light transmitting material such as SiN or SiON is formed on the surface of the
以上の工程を経て表示パネル100が完成する。
[欠陥部3]
第1バンク14に存在する欠陥部3について説明する。
この欠陥部3は、第1バンク14に存在する異物、または第1バンク14の一部が欠損した部分である。
The
[Defective part 3]
The
The
異物は、例えば、製造装置に由来する金属片、空気中に存在する塵・埃の類である。そして、塵・埃は、繊維片であることが多い。
図5に示す例では、1本の第1バンク14の上に、異物が付着して欠陥部3となっている。
なお、欠陥部3は、このように第1バンク14上に異物が付着している場合に限られない。例えば、図6(a)に示す例のように、1本の第1バンク14の中に異物が入り込み、その異物が第1バンク14の壁面を隣の間隙20まで貫通して欠陥部3となっている場合もある。また、図6(b)に示す例では、1本の第1バンク14の下に異物が入り込んで、その異物が隣の間隙20まで貫通して欠陥部3となっている。このように、第1バンク14の中や下に異物が存在する場合でも、異物とバンク材料との密着性が悪い場合には、隙間が生じてインクの流通路ができる。異物が繊維片の場合には、インクを吸収するので、異物自体がインクの流通路となる。従って、異物を挟んで隣り合う間隙に形成されたインク層の間で混色が生じる原因となる。
The foreign matter is, for example, metal pieces derived from the manufacturing apparatus, dust and the like present in the air. And dust and dirt are often fiber pieces.
In the example shown in FIG. 5, the foreign matter adheres on one
The
さらには、図6(c)に示す例では、第1バンク14の一部が欠損して欠陥部3となっている。このような第1バンク14における欠損は、例えば、バンク材料層に対する露光の工程で、露光が不十分で重合が十分になされなかった箇所が、次の現像工程で洗い流されることによって発生する。このように欠損が生じた場合も、その欠損を介して隣り合う間隙に形成されたインク層の間で混色が生じる。
Furthermore, in the example shown in FIG. 6C, a part of the
以上説明したように、第1バンク14において異物や欠損が生じている箇所は、発光色が異なるインクの混色が生じて、発光色不良の原因となるので、この箇所を欠陥部3としている。
[欠陥部3が除去可能な異物であるか否かの判定処理]
本実施の形態において、欠陥部3が「除去可能な異物」であるとは、欠陥部3が後述のマニピュレータ装置300を用いて除去することができる異物であって、かつ、除去した後に第1バンク14の撥液性が落ちる異物ではないことである。欠陥部3がマニピュレータ装置300を用いて除去することができる異物とは、図5に示すように、第1バンク14の上に付着している異物である。除去した後に第1バンク14の撥液性が落ちる異物とは、例えば、第1バンク14に焼き付いた異物であり、無理に除去を行うと第1バンクを傷つけて、第1バンク14の撥液性が落ちてしまう異物である。第1バンク14の上に付着している異物であるか否か、第1バンク14に焼き付いた異物であるか否かについては、異物が第1バンク14に付着したタイミングにより判定することが可能である。例えば、上述の製造工程のバンク形成工程(ステップS5)における現像工程よりも後に付着した異物が、第1バンク14の上に付着している異物であると判定することができる。また、焼成工程よりも前に付着した異物が、第1バンク14に焼き付いた異物であると判定することができる。
As described above, a portion where foreign matter or defects occur in the
[Determination process of whether or not the
In the present embodiment, the
本実施の形態では、焼成工程よりも前に撮影された基板の表面画像からは検出されず、焼成工程よりも後に撮影された基板の表面画像から検出された異物を除去可能な異物であると判定する。
[異物除去処理]
異物除去処理を説明する。図7は、異物除去処理に用いるマニピュレータ装置300の一例を示す概略構成図である。マニピュレータ装置300においては、ベース301上に、下地基板11を載置するテーブル302と、リペアパーツ5等を載置するテーブル303と、撮像素子311が取り付けられたヘッド部310と、それぞれプローブ321が取り付けられた2つのアーム部320とを有している。
In the present embodiment, the foreign matter is not detected from the surface image of the substrate taken prior to the firing step, and the foreign matter is capable of removing foreign matter detected from the surface image of the substrate taken after the firing step. judge.
Foreign substance removal processing
The foreign substance removal processing will be described. FIG. 7 is a schematic configuration view showing an example of the
ヘッド部310は、コントローラ330の指示によって、X方向及びY方向に移動できるようになっている。そして、テーブル302に載置された下地基板11の上面に沿って撮像素子を移動させながら、下地基板11の上面の画像データを取得し、取得した画像をモニタ340に表示することができる。
2つのアーム部320は、それぞれ独立に、コントローラ330の指示によって、X方向、Y方向及びZ方向に移動できると共に、プローブ321の姿勢をX軸、Y軸、及び、Z軸回りに変化させることができるようになっている。これにより、テーブル302に載置された下地基板11及びテーブル303に載置されたリペアパーツ5に対して、プローブ321を任意の方向及び距離で任意の姿勢を取らせることができる。なお、本実施の形態において、プローブ321は、タングステン製のものを用いる。
The
The two
図8は、マニピュレータ装置300を操作して、第1バンク14上の異物を除去する様子を示す図である。まず、図8(a)に示すように、アーム部320を操作してプローブ321をテーブル302の上に移動させ、プローブ321の姿勢を制御してテーブル302に載置された基板11上の第1バンク14に付着した異物にプローブ321を接触・刺突させる。続いて、図8(b)に示すように、アーム部320を操作してプローブ321を引き上げ、第1バンク14上の異物の除去を完了する。
[バンクトリミング処理が必要であるか否かの判定処理]
本実施の形態において、上述の異物除去処理では適切に除去できない異物や第1バンク14に生じた欠損に対して、第1バンク14の一部を除去するバンクトリミング処理を行い、バンクトリミング処理によって除去されたバンク領域に対して、正常な第1バンク14を再度形成するバンク再形成処理を行うことにより第1バンク14の補修を行う。
FIG. 8 is a diagram showing how the
[Determination process whether bank trimming process is necessary]
In the present embodiment, a bank trimming process for removing a part of the
従って、本実施の形態において、バンクトリミング処理が必要であるとは、異物除去処理では適切に除去できない異物が検出されること、又は、第1バンク14の欠損が検出されることである。本実施の形態では、焼成工程よりも前に撮影された基板の表面画像において検出された異物や、焼成工程後において検出された第1バンク14の欠損に対して、バンクトリミング処理が必要であると判定する。
[バンクトリミング処理]
バンクトリミング処理について説明する。
Therefore, in the present embodiment, the bank trimming process is required to detect a foreign substance that can not be removed appropriately by the foreign substance removal process, or to detect a defect in the
[Bank trimming process]
The bank trimming process will be described.
図9は、欠陥部3の周辺に設定された切込位置を示す図である。当図に示すように、欠陥部3を有する第1バンク14の両側に隣接する溝空間20の中に、異物3の中央部を基準として、Y方向に距離a1離れた点A1と、Y方向と反対の方向に距離a2離れた点A2を切込位置として設定する。ここで、距離a1と距離a2は同じであっても、異なっていてもよいが、点A1と点A2とで欠陥部3の全体が挟み込まれ、且つあまり大き過ぎないように、適度な長さに設定する。
FIG. 9 is a view showing a cutting position set around the
図10(a)〜(d)は、マニピュレータ装置300を操作して、第1バンク14の一部分を除去する様子を示す図である。
まず、図10(a)に示すように、アーム部320を操作してプローブ321をテーブル302の上に移動させ、プローブ321の姿勢を制御して第1バンク14に設定された切込位置A1及びA2に切り込みを入れる。続いて、図10(b)に示すように、プローブ321の姿勢を制御して、Y方向においてバンク14の切込位置A1と切込位置A2との間、Z方向において第1バンク14と下地基板11の間に差し込む。次に、図10(c)に示すようにアーム部320を操作してプローブ321を持ち上げて、第1バンク14の切込位置A1と切込位置A2の間の欠陥部3を含む部分(以下、欠陥部分14xとする)をめくる。その後、図10(d)に示すように、プローブ321の姿勢を制御して欠陥部分14xを把持し、アーム部320を操作してプローブ321を引き上げ、バンク14から欠陥部分14xを除去し、バンクトリミング処理を完了する。
[バンク再形成処理]
図11は、バンク再形成処理に用いるディスペンサ装置200の一例を示す概略構成図である。ディスペンサ装置200においては、ベース201上に、下地基板11を載置するテーブル202と、ディスペンサ212が取り付けられたヘッド部210とを有している。そして、テーブル202は、コントローラ230の指示に基づいてY方向に移動でき、ヘッド部210は、コントローラ230の指示によって、X方向及びZ方向に移動できるようになっている。従って、ヘッド部210に取り付けられているディスペンサ212は、コントローラ230の指示によって、テーブル202上に載置された下地基板11の上方で、下地基板11に対して、X方向、Y方向、Z方向に相対移動することができる。
FIGS. 10A to 10D are diagrams showing how the
First, as shown in FIG. 10A, the
[Bank reform process]
FIG. 11 is a schematic configuration view showing an example of the
ディスペンサ装置200が備えるディスペンサ212は、その先端のノズル213部分にペースト状のバンク補修材を収納するタンクが取り付けられ、タンク内の空気圧を調整することによって、バンク補修材を塗布できるようになっている。
このディスペンサ212のタンク内の空気圧の調整は、コントローラ230からの制御信号に基づいてなされる。
The
Adjustment of the air pressure in the tank of the
なお、ディスペンサ装置200のコントローラ230の記憶部231においては、検出された欠陥部3の位置及びバンクトリミングにより除去された部分の位置(トリミング位置)が保存されている。ディスペンサ装置200は、記憶部231に記憶された欠陥部3の位置やトリミング位置を基準にして、バンク補修材を塗布する。ここでは、第1バンク14のバンクトリミングにより除去された部分(トリミング領域14a)内に設定された複数の位置にバンク補修材を塗布する。
In the storage unit 231 of the
図12は、トリミング領域14a内に設定された塗布位置を示す図である。図に示すように、トリミング領域14a内に、第1バンク14の中心線L1に沿って、所定間隔で複数の塗布点P1,P2,……,P10を設定する。
図13(a)〜(e)は、塗布点P1,P2,……に、バンク補修材を順次塗布する様子を示す図である。
FIG. 12 is a view showing the application position set in the
FIGS. 13 (a) to 13 (e) are diagrams showing that the bank repair material is sequentially applied to the application points P1, P2,.
まず図13(a),(b)に示すように、ノズル213を塗布点P1に位置させて、ノズル213を下方に移動して、ノズル213を塗布点P1に近づけ、タンク内の空気圧を調整してバンク補修材を塗布点P1に塗布する。
バンク補修材は、塗布されるまでは流動性を有するが、塗布後は山形状が維持され、図13(c)に示すように、塗布点P1にバンク補修材の山が形成される。続いて、図13(d)に示すように、ノズル213を引き上げて塗布点P2に移動させ、ノズル213を下方に移動して、ノズル213を塗布点P2に近づけ、タンク内の空気圧を調整してバンク補修材を塗布点P2に塗布する。それによって図13(e)に示すように、塗布点P2に形成されるバンク補修材の山は、塗布点P1に形成されているバンク補修材の山と繋がる。このように、トリミング領域14a内にバンク補修材の山が連なることになる。
First, as shown in FIGS. 13 (a) and 13 (b), the
The bank repair material has fluidity until it is applied, but the mountain shape is maintained after application, and as shown in FIG. 13C, a bank repair material pile is formed at the application point P1. Subsequently, as shown in FIG. 13D, the
上記工程を繰り返し、P1からP10までの塗布点にバンク補修材を塗布することにより、トリミング領域14aにバンク補修材が充填される。バンク補修材は熱硬化性を有しており、トリミング領域14aにバンク補修材が充填された後、加熱焼成処理を行うことにより、図14に示すように、バンク補修部5が形成され、バンク再形成処理を完了する。
The above process is repeated, and the bank repair material is applied to the application points P1 to P10 to fill the
なお、バンク補修材は、熱硬化性ではなく、光硬化性を有し、加熱焼成処理ではなくUV照射処理により硬化するものであってもよい。
なお、バンク補修材としては、光や熱を加えることによって硬化する樹脂の組成物を用いることができる。
樹脂としては、例えば、(メタ)アクロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基などのエチレン性の二重結合を有する硬化性の樹脂が挙げられる。
The bank repair material is not thermosetting, has photo-curing properties, and may be cured by UV irradiation treatment instead of heat baking treatment.
In addition, as a bank repair material, the composition of the resin hardened | cured by adding light and heat can be used.
As resin, the curable resin which has ethylenic double bonds, such as a (meth) acroyl group, an allyl group, a vinyl group, a vinyloxy group, is mentioned, for example.
また、樹脂に対して架橋する架橋剤、例えば、エポキシ化合物、ポリイソシアネート化合物を添加してもよい。
また、この樹脂構造の中に、フッ素が導入されているフッ化ポリマーを用いてもよい。補修材の樹脂にフッ素が導入されることによって、形成される堰部50に溌インク性を付与することができる。あるいは、樹脂に各種溌インク剤を添加してもよい。撥インク剤の添加量は0.01〜10wt%とする。撥インク剤の添加量をこの範囲にすることで、樹脂組成物の貯蔵安定性が良好で、且つ形成される堰部50の撥インク性も良好となる。
Moreover, you may add the crosslinking agent which bridge | crosslinks with respect to resin, for example, an epoxy compound and a polyisocyanate compound.
Moreover, you may use the fluorinated polymer in which the fluorine is introduce | transduced in this resin structure. By introducing fluorine into the resin of the repair material, it is possible to impart wrinkle inkability to the ridge portion 50 to be formed. Alternatively, various base ink agents may be added to the resin. The addition amount of the ink repellent agent is 0.01 to 10 wt%. By setting the addition amount of the ink repellent agent in this range, the storage stability of the resin composition is good, and the ink repellency of the ridge portion 50 to be formed is also good.
なお、補修材として、第1バンク14を形成するバンク材料と同じものを用いてもよい。
上記補修材を構成する樹脂の組成物に、必要に応じて、溶剤、光重合開始剤を適宜添加してもよい。
溶剤は、樹脂に対する溶解性を有するもので、沸点が150〜250℃程度の溶剤を1種類以上用いても良い。
In addition, you may use the same thing as the bank material which forms the
If necessary, a solvent and a photopolymerization initiator may be appropriately added to the resin composition constituting the repair material.
The solvent has solubility in a resin, and one or more solvents having a boiling point of about 150 to 250 ° C. may be used.
光重合開始剤としては、市販の各種光重合開始剤を用いることができる。
[効果]
本実施の形態の有機EL表示パネルの製造方法によると、従来の堰を設けるバンクの補修法と比較して、バンクの欠陥部に起因する混色やバンクの補修に起因する表示不良の発生を低減することができる。
[変形例]
実施の形態に係る表示パネル100を説明したが、本開示は、その本質的な特徴的構成要素を除き、以上の実施の形態に何ら限定を受けるものではない。例えば、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。以下では、そのような形態の一例として、表示パネル10の変形例を説明する。
As a photoinitiator, various commercially available photoinitiators can be used.
[effect]
According to the manufacturing method of the organic EL display panel of the present embodiment, the occurrence of display defects caused by color mixing caused by the defective portion of the bank and the repair of the bank is reduced as compared with the conventional repair method of the bank provided with wrinkles can do.
[Modification]
Although the
<変形例1>
上述の実施の形態において、バンク再形成処理は、ディスペンサ装置により、トリミング領域14aにバンク補修材を塗布することによって行うとしたが、バンク再形成処理はこの限りではない。
バンク再形成処理は、例えば、インクジェット法により、トリミング領域14aにバンク補修材を塗布することによって行われても良い。
<Modification 1>
In the above-described embodiment, the bank re-formation process is performed by applying the bank repair material to the
The bank re-forming process may be performed, for example, by applying a bank repair material to the trimming
また、バンク再形成処理は、トリミング領域14aにリペアパーツ6を設置することにより行われてもよい。
トリミング領域14aにリペアパーツ6を設置するバンク再形成処理について詳細に説明する。
上述のディスペンサ装置により、トリミング領域14aにバンク補修材を塗布する方法と同様に、複数の塗布位置を設定し、設定された塗布位置に、接着用ペーストの塗布を行う。
Further, the bank re-formation process may be performed by installing the
The bank re-formation processing for installing the
Similar to the method of applying the bank repair material to the
接着用のペーストを塗布した後、ペーストを塗布した部分にリペアパーツ6を設置する。
図15は、接着用のペーストを塗布したトリミング領域に、図7のマニピュレータ装置300を用いてリペアパーツ6を設置する様子を示す図である。
まず、図15(a)に示すように、アーム部320を操作してプローブ321をテーブル303の上に移動させ、プローブ321の姿勢を制御してテーブル303に載置されたリペアパーツ6を把持する。続いて、図15(b)に示すように、プローブ321でリペアパーツ6を把持したまま、アーム部320を操作してリペアパーツ6をテーブル302に載置された下地基板11上の接着剤ペースト塗布した位置の上に移動させる。次に、図15(c)に示すようにアーム部320を操作してプローブ321を下方に移動させてリペアパーツ6を下地基板11上に塗布された接着用のペーストに接触させる。続いて、図15(d)に示すように、プローブ321の姿勢を制御してリペアパーツ6から離し、アーム部320を操作してプローブ321をリペアパーツ6の上方に移動させた後、下方に移動させてリペアパーツ6を下地基板11に押し付ける。その後、図15(e)に示すように、アーム部320を操作してプローブ321を引き上げ、リペアパーツ6の下地基板11への設置を完了する。
After applying the bonding paste, the
FIG. 15 is a view showing installation of the
First, as shown in FIG. 15A, the
このバンク再形成方によると、ペースト状の補修材を塗布することによりバンクを再形成する場合と比較して、ペーストの使用量を削減することができる。これにより、ペーストのにじみやあふれの発生を減少させることができる。
また、既に形状が整っているリペアパーツ6を用いるので、ペーストの特性に依存せず、形状が崩れにくく、平面度が高く撥水性が強いバンクを再形成することができる。
According to this bank re-forming method, the amount of paste used can be reduced by applying the paste-like repair material as compared with the case of re-forming the bank. This can reduce the occurrence of paste bleeding and overflow.
In addition, since the
<変形例2>上述の実施の形態では、第1バンク14の欠陥部3が欠損であった場合に必ず、バンクトリミング処理を行うものとしたが、欠損部分の大きさに応じて、バンクトリミング処理を行うか否かを判定しても良い。
図16は、バンクに生じた欠損を模式的示す図である。例えば、図16(a)に示すように、バンクの幅X1に対する欠損部分のX方向の長さX2との割合が所定値(例えば0.5)よりも小さい場合、バンクトリミング処理は不要であると判定しても良い。そして、図16(b)に示すように、バンクの幅X1に対する欠損部分のX方向の長さX2との割合が所定値(例えば0.5)よりも大きい場合、バンクトリミング処理は必要であると判定しても良い。
<
FIG. 16 is a view schematically showing a defect generated in a bank. For example, as shown in FIG. 16A, when the ratio of the length X2 in the X direction of the defective portion to the width X1 of the bank is smaller than a predetermined value (for example, 0.5), the bank trimming process is unnecessary. It may be determined that Then, as shown in FIG. 16B, when the ratio of the X direction length X2 of the defective portion to the width X1 of the bank is larger than a predetermined value (for example, 0.5), the bank trimming process is necessary. It may be determined that
また、図16(c)に示すように、欠損により第1バンク14が断裂し、2つの領域に分離している場合は、バンクトリミング処理を行うことなく、欠損領域にバンク補修材を塗布するバンク再形成処理を行っても良い。
<変形例3>上述の実施の形態において、バンク再形成処理は、ディスペンサ装置200により、トリミング領域14aにバンク補修材を塗布するものとした。通常、ディスペンサ装置200は図19(a)に示すようなノズル孔213aが円形のノズル213を用いて、バンク補修材を塗布する。なお、図19(a)に示すノズル213のノズル孔213aの直径は、第1バンク14の幅(X方向)と同一であるものとする。ここで、第1バンク14をX方向に平行な線で切った断面形状において、高さ/幅が非常に小さい場合には、図19(a)に示すようなノズル孔213aのノズル213で塗布しても、塗布したバンク補修材の高さと幅の両立が難しく、第1バンク14と形状の差異が生じやすいという課題がある。
Further, as shown in FIG. 16C, when the
<
ここでは、上記課題に対して、ディスペンサ装置200を用いて塗布したバンク補修材について、X方向に平行な線で切った断面形状が、第1バンク14との差異が生じにくくするための方法について説明する。
図17は、トリミング領域14a内に設定された塗布位置の一例を示す図である。図に示すように、トリミング領域14a内に、Y方向に延伸する複数の直線L1、L2、L3、L4が設定されている。また、トリミング領域14a内に、X方向に延伸する複数の直線l1、l2、……、l10が設定されている。そして、Y方向に延伸する直線L1とX方向に延伸する複数の直線l1、l2、……、l10との交点に塗布点P1、P2、……、P10が設定されている。同様に、Y方向に延伸する直線L2、L3、L4それぞれにも、X方向に延伸する複数の直線l1、l2、……、l10との交点に塗布点が設定されている。
Here, with respect to the above-described problem, a method for making it difficult for the cross-sectional shape cut by a line parallel to the X direction to be different from the
FIG. 17 is a view showing an example of the application position set in the
そして、図19(b)に示すように、ノズル孔213aが小さい円形のノズル213を用いて、L1上に設定された塗布点P1、P2、……、P10に対して、図13と同様の方法により、バンク補修材を塗布する。順番に、L2上に設定された塗布点、L3上に設定された塗布点、L4上に設定された塗布点に対しても、バンク補修材の塗布を行う。なお、図19(b)のノズル213のノズル孔213aの直径は、第1バンク14の幅よりも小さく、第1バンク14の高さとほぼ同一であるものとする。
Then, as shown in FIG. 19B, using the
このように、ノズル孔213aが小さいノズル213を用いて、X方向に複数個の塗布点を設定してバンク補修材を塗布することにより、塗布されたバンク補修材のX方向に平行な線で切った断面形状の高さと幅が、所望の寸法にすることが容易になる。
なお、ここでは、トリミング領域14aに設定されるY方向に延伸する直線の数を4つ(L1−l4)としているが、その数は3つ以上であればいくつでもよく、トリミング領域14aのX方向の長さに応じて適宜設定すればよい。
As described above, a plurality of application points are set in the X direction using the
Here, although the number of straight lines extending in the Y direction set in the
同様に、トリミング領域14aに設定されるX方向に延伸する直線の数を10個(l1−l10)としているが、その数は1つ以上であればいくつでもよく、トリミング領域14aのY方向の長さに応じて適宜設定すればよい。
<変形例4>上述の変形例3において、ノズル孔213aが小さいノズル213を用いて、X方向に複数個の塗布点を設定してバンク補修材を塗布する方法を説明した。変形例4では、変形例3と同様に、ノズル孔213aが小さいノズル213を用いて、X方向に複数個の塗布点を設定してバンク補修材を塗布する方法であって、さらに、塗布されたバンク補修材のX方向に平行な線で切った断面形状の高さと幅を所望の寸法にするために有効な方法を説明する。
Similarly, the number of straight lines extending in the X direction set in the
<Modification 4> In the
図18(a)〜(d)は、設定された複数の塗布点に、バンク補修材を順次塗布する様子を示す図である。
まず、タンクにバンク補修材Aを充填したノズル213を用いて、図18(a)に示すように、直線L1上の塗布点にバンク補修材Aを塗布する。直線L1上の各塗布点にバンク補修材Aを塗布した後、タンクにバンク補修材Aを充填したノズル213を用いて、図18(b)に示すように、直線L4上の塗布点にバンク補修材Aを塗布する。
FIGS. 18 (a) to 18 (d) are diagrams showing that a bank repair material is sequentially applied to a plurality of set application points.
First, using the
直線L4上の各塗布点にバンク補修材Aを塗布した後、ノズル交換を行い、タンクにバンク補修材Bを充填したノズル213を用いて、図18(c)に示すように、直線L2上の塗布点にバンク補修材Bを塗布する。直線L2上の各塗布点にバンク補修材Bを塗布した後、タンクにバンク補修材Bを充填したノズル213を用いて、図18(d)に示すように、直線L3上の塗布点にバンク補修材Bを塗布する。直線L3上の各塗布点にバンク補修材Bを塗布することにより、バンク補修部5を形成する。
After applying the bank repair material A to each application point on the straight line L4, the nozzle is replaced, and using the
図18を用いて説明した方法において特徴的な部分は、トリミング領域14a内のY方向に延伸する複数の直線のうち、もっとも外側の直線L1及びL4に設定された塗布点に対して、先にバンク補修材Aの塗布を行い、その後、直線L1及びL4の間のL2及びL3に設定された塗布点に対して、バンク補修材Bの塗布を行ったことである。
バンク補修材Aは、バンク補修材Bと比較して粘度の高いものが好ましく、バンク補修材Bは、バンク補修材Aと比較して撥液性が高いものが好ましい。
The characteristic portions in the method described with reference to FIG. 18 are the first to the application points set to the outermost straight lines L1 and L4 among the plurality of straight lines extending in the Y direction in the
The bank repair material A preferably has a viscosity higher than that of the bank repair material B, and the bank repair material B preferably has a higher liquid repellency than the bank repair material A.
粘度高いバンク補修材Aを最初に外側に塗布することにより、完成後のバンク補修部5の形状を安定させることができる。その後、撥液性の高いバンク補修材Bを内側に塗布することにより、完成後のバンク補修部5が有機発光材料を含むインクの流動を遮断して混色を抑制する機能を有効に発揮させることが可能になる。
<変形例5>図19(a)に示すようなノズル孔213aのノズル213で塗布しても、塗布したバンク補修材の高さと幅の両立が難しく、第1バンク14と形状の差異が生じやすいという課題がある点は、変形例3で述べたとおりである。
By applying the high-viscosity bank repair material A to the outside first, the shape of the completed
<
これに対して、例えば、図19(c)に示すようにノズル孔213aが楕円形状のノズル213を用い、長径をX方向に平行にしてバンク補修材を塗布することで、塗布したバンク補修材のX方向に平行な平面で切った断面における幅と高さと、第1バンク14のX方向に平行な平面で切った断面における幅と高さとの差異が生じにくくなる。なお、図19(c)のノズル213のノズル孔213aの長径は、第1バンク14の幅とほぼ同一であり、ノズル孔213aの短径は、第1バンク14の高さとほぼ同一であるものとする。
On the other hand, for example, as shown in FIG. 19C, the bank repair material is applied by applying the bank repair material with the
同様に、例えば、図19(d)に示すようにノズル孔213aが長方形状のノズル213を用い、長辺をX方向に平行にしてバンク補修材を塗布することで、塗布したバンク補修材のX方向に平行な平面で切った断面における幅と高さと、第1バンク14のX方向に平行な平面で切った断面における幅と高さとの差異が生じにくくなる。なお、図19(d)のノズル213のノズル孔213aの長辺の長さは、第1バンク14の幅とほぼ同一であり、ノズル孔213aの短辺の長さは、第1バンク14の高さとほぼ同一であるものとする。
Similarly, for example, as shown in FIG. 19 (d), a bank repair material is applied by using a
<変形例6>図20は、ディスペンサ装置200を用いたバンク再形成処理の課題を説明する図である。
図20(a)に示すように、トリミング領域14aに設定された複数の塗布点(P1−P10)のうち、端の塗布点P1と、P1に近接する第1バンク14の上辺との距離をY1とする。なお、図示していないが、塗布点P10とP10に近接する第1バンク14の下辺との距離もY1とする。
<
As shown in FIG. 20A, of the plurality of application points (P1-P10) set in the
このY1が小さすぎると、バンク補修材を塗布した際にバンク補修材が溢れてしまい、図20(b)に示すように、バンク補修部5の端部5aが太くなってしまう。
逆に、Y1が大きすぎると、図20(c)に示すように、バンク補修部5の端部5aが細くなってしまう。
このように、トリミング領域14a内の塗布点の位置は、適切に設定されなければ、完成後のバンク補修部5の形状が崩れてしまうという課題がある。
If Y1 is too small, the bank repair material overflows when the bank repair material is applied, and the
Conversely, if Y1 is too large, as shown in FIG. 20C, the
As described above, if the position of the application point in the
そこで、バンクトリミング処理時に、例えば、図21(a)に示すように、ガード部14bを残して、バンクを除去することにより、塗布点の位置に起因したバンク補修部5の形状の崩れの程度を抑制することが可能である。例えば、Y1が小さすぎても、ガード部14bによりバンク補修材のX方向の移動が抑制され、バンク補修部5の端部が太くなることを防ぐことができる。また、Y1が大きすぎても、ガード部14bによりトリミング領域14bの端部も細くなっているため、トリミング領域14b全体をバンク補修材で満たすことが可能になる。
Therefore, at the time of the bank trimming process, for example, as shown in FIG. 21A, by removing the bank while leaving the
また、バンクトリミング処理時に、図21(b)に示すように、第1バンク14のトリミング領域14aと接する部分に、溝部14Cを形成してもよい。溝部14Cを形成することにより、Y1が小さすぎても、溢れたバンク補修材が溝部14Cに流入するためバンク補修部5の端部5aが太くなることを防ぐことが可能である。
<変形例7>上述の変形例1において、リペアパーツ6を設置することにより、バンク再形成処理を行う方法を説明した。ここでは、リペアパーツ6を設置することにより、バンク再形成処理を行う方法において、リペアパーツの位置ずれが起こりにくくするための手法を説明する。
Further, as shown in FIG. 21B, the groove portion 14C may be formed in a portion of the
<
図22(a)に示すように、リペアパーツ6のY方向両端が三角形の凹凸を有するように、リペアパーツ6をあらかじめ形成しておく。そして、図22(a)に示すように、バンクトリミング処理において、バンクを除去する際に、第1バンク14のトリミング領域14aと接する部分の形状が、リペアパーツ6のY方向両端の凹凸と対応するようにバンクを切除する。すなわち、リペアパーツ6を設置したときに、リペアパーツ6において凸になっている部分と対向する部分は第1バンク14では凹になるように、リペアパーツ6において凹になっている部分と対向する部分は第1バンク14では凸になるように、バンクトリミング処理を行う。これにより、図22(b)に示すように、バンク再形成処理において、リペアパーツ6を設置したときに、ずれて設置されることや、設置した後にリペアパーツの位置がずれることを防止することが可能である。
As shown in FIG. 22 (a), the
同様に、図22(c)に示すように、リペアパーツ6のY方向両端が円弧状の凹凸を有するように、リペアパーツ6をあらかじめ形成しておく。そして、図22(c)に示すように、バンクトリミング処理において、バンクを除去する際に、第1バンク14のトリミング領域14aと接する部分の形状が、リペアパーツ6のY方向両端の凹凸と対応するようにバンクを切除する。すなわち、リペアパーツ6を設置したときに、リペアパーツ6において凸になっている部分と対向する部分は第1バンク14では凹になるように、リペアパーツ6において凹になっている部分と対向する部分は第1バンク14では凸になるように、バンクトリミング処理を行う。これにより、図22(d)に示すように、バンク再形成処理において、リペアパーツ6を設置したときに、ずれて設置されることや、設置した後にリペアパーツの位置がずれることを防止することが可能である。
Similarly, as shown in FIG. 22C,
本発明は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等に用いられる有機EL表示装置に利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is applicable to, for example, an organic EL display device used for various display devices for home or public facilities, or for business use, television devices, displays for portable electronic devices, and the like.
1 有機EL表示装置
3 欠陥部
5 バンク補修部
6 リペアパーツ
10 有機EL素子
11 下地基板
14 第1バンク
15 有機発光層
20 間隙
24 第2バンク
100 表示パネル
200 ディスペンサ装置
213 ノズル
300 マニピュレータ装置
321 プローブ
REFERENCE SIGNS LIST 1 organic
Claims (13)
前記基板上に列方向に延伸する複数の長尺状のバンクを形成する工程と、
前記バンクにおける欠陥部を検出する工程と、
前記欠陥部に対して、前記バンクの一部を除去するバンクトリミングの必要性を判定する工程と、
バンクトリミングが必要と判定された場合に前記バンクの前記欠陥部の周辺を除去するバンクトリミングを実行する工程と、
前記バンクトリミングにより除去された領域に対して、バンクの再形成を行う工程と、
前記複数のバンク間の間隙に有機発光材料を含むインクを塗布することにより発光層を形成する工程と
を有する有機EL表示パネルの製造方法。 Preparing the substrate;
Forming a plurality of elongated banks extending in the column direction on the substrate;
Detecting a defect in the bank;
Determining the necessity of bank trimming for removing a part of the bank with respect to the defective portion;
Performing bank trimming for removing the periphery of the defective portion of the bank when it is determined that the bank trimming is necessary;
Re-forming a bank on the area removed by the bank trimming;
Forming a light emitting layer by applying an ink containing an organic light emitting material to the gaps between the plurality of banks.
前記バンクトリミングの必要性を判定する工程は、前記バンク材料を焼成する工程よりも前に前記バンクに異物が付着していたとき、バンクトリミングが必要であると判定する
請求項1の有機EL表示パネルの製造方法。 The step of forming the bank includes the step of baking the patterned bank material,
In the step of determining the necessity of the bank trimming, it is determined that the bank trimming is necessary when foreign matter adheres to the bank prior to the step of baking the bank material. Panel manufacturing method.
請求項1の有機EL表示パネルの製造方法。 The step of determining the necessity of the bank trimming determines that the bank trimming is necessary when the ratio of the size of the defective area of the bank to the width of the bank is equal to or more than a predetermined threshold value. Manufacturing method of organic EL display panel.
請求項1の有機EL表示パネルの製造方法。 When it is determined that the bank trimming is not necessary, and the defective portion is a defect of the bank, and the bank is divided due to the defect, the bank is re-executed with respect to the defective region of the bank. The method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 1, further comprising the step of forming.
請求項1乃至4のいずれかに記載の有機EL表示パネルの製造方法。 The organic EL display according to any one of claims 1 to 4, wherein the formation of the bank is performed by applying a thermosetting bank repair material to a region from which the bank is removed by the bank trimming and baking it. Panel manufacturing method.
請求項1乃至4のいずれかに記載の有機EL表示パネルの製造方法。 The organic EL device according to any one of claims 1 to 4, wherein the re-formation of the bank is performed by installing a bank repair part, which is formed in a bank shape in advance, in a region where the bank is removed by the bank trimming. Display panel manufacturing method.
請求項5の有機EL表示パネルの製造方法。 In the bank trimming, when applying the bank repair material to a part of the area where the bank is removed, the bank repair material is applied to the area of the gap between the plurality of banks where the organic light emitting material is applied. The manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of Claim 5 which forms the guard part for suppressing flowing out.
請求項5の有機EL表示パネルの製造方法。 The organic EL display according to claim 5, wherein when the bank repair material is applied to a portion of the bank in contact with the area removed by the bank trimming, the groove portion into which the bank repair material flows is formed. Panel manufacturing method.
前記バンクトリミングにおいて、平面視で、前記バンクが除去される部分の列方向両端の形状が、前記バンクリペアパーツの列方向両端の形状と対応する形状となるように、前記バンクを切除する
請求項6の有機EL表示パネルの製造方法。 The bank repair parts have a shape in which both ends in the column direction have unevenness in plan view,
In the bank trimming, the bank is cut out so that the shape of both ends in the column direction of the portion where the bank is removed in plan view corresponds to the shape of both ends in the column direction of the bank repair parts. 6 organic EL display panel manufacturing method.
前記複数の塗布点は、前記欠損領域又は前記バンクトリミングによりバンクが除去された領域で列方向に延伸する1以上の直線と行方向に延伸する複数の直線との交点それぞれに設定される
請求項5の有機EL表示パネルの製造方法。 The application of the bank repair material is performed by dropping the bank repair material on a plurality of application points set in the area where the bank is removed by the bank trimming,
The plurality of application points are set at intersection points between one or more straight lines extending in the column direction and a plurality of straight lines extending in the row direction in the defective area or the area where the bank is removed by the bank trimming. 5 method of manufacturing an organic EL display panel.
前記3本以上の列方向の直線のうち、行方向両端の直線上に設定される塗布点を第1塗布点、その他の塗布点を第2塗布点としたときに、前記第1塗布点へのバンク補修材料の滴下後、前記第2塗布点へのバンク補修材料の滴下を行う
請求項10の有機EL表示パネルの製造方法。 The plurality of application points are set at intersections of three or more column-direction straight lines and a plurality of row-direction straight lines in an area from which the bank is removed by the bank trimming.
When the application point set on the straight line at both ends in the row direction among the three or more straight lines in the column direction is the first application point, and the other application points are the second application point, to the first application point The method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 10, wherein the bank repair material is dropped onto the second application point after the bank repair material is dropped.
請求項11の有機EL表示パネルの製造方法。 When the bank repair material to be dropped to the first application point is a first bank repair material and the bank repair material to be dropped to the second application point is a second bank repair material, the first bank repair material is The method for manufacturing an organic EL display panel according to claim 11, wherein the viscosity is higher than that of the second bank repair material.
前記バンク補修材料の滴下に用いるノズル形状は、行方向に長軸を向けた楕円形状又は長方形状のいずれかである
請求項10の有機EL表示パネルの製造方法。 The plurality of application points are set at intersections of one straight line in the column direction and a plurality of straight lines in the row direction in the region from which the bank is removed by the bank trimming,
The method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 10, wherein a nozzle shape used for dropping the bank repair material is either an elliptical shape or a rectangular shape with the major axis in the row direction.
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