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JP2019057871A - Crystal device - Google Patents

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JP2019057871A
JP2019057871A JP2017182147A JP2017182147A JP2019057871A JP 2019057871 A JP2019057871 A JP 2019057871A JP 2017182147 A JP2017182147 A JP 2017182147A JP 2017182147 A JP2017182147 A JP 2017182147A JP 2019057871 A JP2019057871 A JP 2019057871A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
pedestal
crystal piece
container
adhesive
Prior art date
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Pending
Application number
JP2017182147A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
石川 学
Manabu Ishikawa
学 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2017182147A priority Critical patent/JP2019057871A/en
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】水晶で構成した台座を用い特性に優れる水晶デバイスを提供する。【解決手段】水晶デバイス10は、表裏面に励振用電極11a及び引出電極11bを有する水晶片11と、この水晶片を収容する容器13と、水晶片および容器の間に設けられた台座15と、水晶片を台座に固定している接着剤17と、台座をその重心を含む一領域で容器に固定している導電性接着剤19と、前記容器に設けられ前記導電性接着剤に熱を伝える導熱パターン21と、前記容器に設けられた配線パターン23と、前記配線パターンおよび前記引出電極を接続しているワイヤーボンディング構造25と、を具える。【選択図】図1A quartz device having excellent characteristics using a pedestal made of quartz is provided. A crystal device 10 includes a crystal piece 11 having excitation electrodes 11a and lead electrodes 11b on the front and back surfaces, a container 13 for housing the crystal piece, and a pedestal 15 provided between the crystal piece and the container. The adhesive 17 fixing the crystal piece to the pedestal, the conductive adhesive 19 fixing the pedestal to the container in a region including the center of gravity thereof, and the conductive adhesive provided in the container to heat the conductive adhesive It includes a heat conduction pattern 21 for transmitting, a wiring pattern 23 provided in the container, and a wire bonding structure 25 connecting the wiring pattern and the extraction electrode. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、水晶で構成した台座を具える水晶デバイスに関する。   The present invention relates to a crystal device having a pedestal made of crystal.

携帯電話やパーソナルコンピュータ等の各種電子機器では、周波数の選択や制御等のために、水晶振動子や水晶発振器等の水晶デバイスが多用されている。   In various electronic devices such as mobile phones and personal computers, crystal devices such as crystal resonators and crystal oscillators are frequently used for frequency selection and control.

一方、このような水晶デバイスに対し、周波数安定度、耐振動性、耐衝撃性等に対する改善要求が益々高まっている。例えば特許文献1には、水晶振動子の構成部材の熱膨張係数差による影響を排除して、振動特性を良好に維持する技術が開示されている。具体的には、セラミックパッケージに水晶片を実装する際に、これらの間に、水晶製の台座を介在させる構造が開示されている(特許文献1の図1等)。さらに、パッケージと台座との導通を図るために、これらの間の接続をワイヤーボンディングにより行うことが開示されている(特許文献1の図2等)。   On the other hand, there is an increasing demand for improvement in frequency stability, vibration resistance, impact resistance, and the like for such a crystal device. For example, Patent Document 1 discloses a technique for maintaining good vibration characteristics by eliminating the influence of a difference in thermal expansion coefficient of components of a crystal resonator. Specifically, a structure is disclosed in which a quartz base is interposed between crystal pieces when they are mounted on a ceramic package (FIG. 1 of Patent Document 1). Furthermore, it is disclosed that the connection between the package and the pedestal is performed by wire bonding in order to achieve conduction between the package and the pedestal (FIG. 2 of Patent Document 1, etc.).

特開2009−253883号公報JP 2009-253883 A

しかしながら、特許文献1に開示された構造の場合、パッケージと台座とを固定する位置は、台座の第1の方向に沿う一端であり、台座と水晶片とを固定する位置は、台座の前記第1の方向に沿う他端とされている。従って、台座とパッケージとに着目した場合、台座はその一端でパッケージと固定されている。この様な固定位置の場合、台座はパッケージに対し片持ち状態で固定されることになるため、台座が固定点を支点に撓んだり振れたりし、水晶片にその影響が及ぶ懸念がある。   However, in the case of the structure disclosed in Patent Document 1, the position where the package and the base are fixed is one end along the first direction of the base, and the position where the base and the crystal piece are fixed is the first position of the base. The other end along the direction 1. Therefore, when attention is paid to the pedestal and the package, the pedestal is fixed to the package at one end thereof. In such a fixed position, since the pedestal is fixed to the package in a cantilevered state, the pedestal may bend or swing around the fixed point, and there is a concern that the crystal piece may be affected.

また、特許文献1に開示されたワイヤーボンディングを用いる構造の場合では、台座にワイヤーボンディング用のパッドを設けてある。そして、台座と水晶片とを導電性接着剤により接続し、台座とパッケージとの間をワイヤーボンディングにより接続している。すなわち、水晶片はパッケージに直接ワイヤーボンディングで接続されてはいない。従って、台座の構造が複雑になること、導電性接着剤が必要になること等が生じるので、製造コストの点で不利である。
この出願はこのような点に鑑みなされたものであり、従って、この発明の目的は、水晶で構成した台座を用いた水晶デバイスであって特性向上が図れると共に、コスト低減も図り易い構造を有した水晶デバイスを提供することにある。
In the case of the structure using wire bonding disclosed in Patent Document 1, a pad for wire bonding is provided on the pedestal. Then, the base and the crystal piece are connected by a conductive adhesive, and the base and the package are connected by wire bonding. That is, the crystal piece is not directly connected to the package by wire bonding. Therefore, the structure of the pedestal becomes complicated and a conductive adhesive is required, which is disadvantageous in terms of manufacturing cost.
The present application has been made in view of the above points. Accordingly, an object of the present invention is a quartz crystal device using a pedestal made of quartz crystal, which has a structure capable of improving characteristics and easily reducing costs. Is to provide a crystal device.

この目的の達成を図るため、この発明の水晶デバイスは、
励振用電極及び引出電極を有する水晶片と、
前記水晶片を収容する容器と、
前記水晶片および前記容器の間に設けられた台座と、
前記水晶片を前記台座に固定している接着剤と、
前記台座をその重心を含む一領域で前記容器に固定している導電性接着剤と、
前記容器に設けられ前記導電性接着剤に熱を伝える導熱パターンと、
前記容器に設けられた配線パターンと、
前記配線パターンおよび前記引出電極を接続しているワイヤーボンディング構造と
を具えることを特徴とする。
In order to achieve this object, the quartz crystal device of the present invention is
A crystal piece having an excitation electrode and an extraction electrode;
A container containing the crystal piece;
A pedestal provided between the crystal piece and the container;
An adhesive fixing the crystal piece to the pedestal;
A conductive adhesive fixing the pedestal to the container in a region including its center of gravity;
A heat conduction pattern provided in the container and conducting heat to the conductive adhesive;
A wiring pattern provided in the container;
And a wire bonding structure connecting the wiring pattern and the extraction electrode.

この発明を実施するに当たり、前記水晶片を前記台座に固定している接着剤を、絶縁性接着剤とし、この接着剤は水晶片を台座に一領域で固定するよう設けるのが良い。こうすると、例えば両水晶片の両極性の引出電極の間に当たる部分のみ、すなわち水晶片を両引出電極間の一領域のみで台座に固定できるので、水晶片への固定部の影響を軽減し易い。
この発明を実施するに当たり、前記台座は、前記水晶片を固定する接着剤が塗布される領域とそれ以外の領域とを区分けするための、段差構造を持つものとするのが良い。こうすると、接着剤が水晶片の振動中心部に流れ難くできるので、振動特性の悪化を防止できる。
また、前記台座は水晶で構成したものが良い。こうすると、台座の熱膨張係数等の物性が水晶片に近くなるので、台座と水晶片各々の物性の違いに起因する悪影響を軽減できる。
この発明を実施するに当たり、前記水晶片を平面形状が四角形状のものとし、前記水晶片を前記台座に固定している接着剤は、前記水晶片の1つの短辺側に設けるのが良い。こうすると、水晶片が台座に片持ち状態で固定される構造となるので、水晶片の振動中心部への固定部の影響を軽減できる。
In practicing the present invention, an adhesive that fixes the crystal piece to the pedestal is an insulating adhesive, and this adhesive is preferably provided so as to fix the crystal piece to the pedestal in one region. In this case, for example, the crystal piece can be fixed to the pedestal only in a portion between the two polar extraction electrodes, that is, the crystal piece only in one region between the two extraction electrodes. .
In practicing the present invention, it is preferable that the pedestal has a step structure for separating a region to which the adhesive for fixing the crystal piece is applied and a region other than the region. This makes it difficult for the adhesive to flow into the center of vibration of the crystal piece, so that deterioration of vibration characteristics can be prevented.
The pedestal is preferably made of quartz. If it carries out like this, since physical properties, such as a thermal expansion coefficient of a base, become close to a crystal piece, the bad influence resulting from the difference in each physical property of a base and a crystal piece can be reduced.
In carrying out the present invention, it is preferable that the crystal piece has a quadrangular planar shape, and the adhesive that fixes the crystal piece to the pedestal is provided on one short side of the crystal piece. In this case, since the crystal piece is fixed to the pedestal in a cantilevered state, the influence of the fixing portion on the vibration center portion of the crystal piece can be reduced.

この発明によれば、台座はその重心を含む一領域で容器に固定されているので、台座を片持ち保持する場合に比べ、台座の撓み、振動等が起きにくくなるから、水晶片への悪影響が生じ難い。
また、台座を容器に導電性接着剤で固定しかつ導熱パターンを設けているので、例えば恒温槽付き発振器等に本発明を適用する場合等では、水晶片に対し恒温槽の温度が伝わり易くなる。このため、恒温槽付き発振器等では周波数安定度に優れる発振源を提供できる。
また、水晶片の引出電極と容器の配線パターンとを接続するワイヤーボンディング構造を有しているため、台座は簡単な構造で済むのでコスト低減が図れ、また、水晶片を台座に導電性接着剤で固定する場合より水晶片への固定構造による影響を軽減できる。
According to the present invention, since the pedestal is fixed to the container in a region including the center of gravity, the pedestal is less likely to bend, vibrate, etc., compared to the case where the pedestal is cantilevered. Is unlikely to occur.
In addition, since the pedestal is fixed to the container with a conductive adhesive and a heat conduction pattern is provided, for example, when the present invention is applied to an oscillator with a thermostat, the temperature of the thermostat is easily transmitted to the crystal piece. . For this reason, an oscillation source with a thermostat can provide an oscillation source with excellent frequency stability.
In addition, since it has a wire bonding structure that connects the lead electrode of the crystal piece and the wiring pattern of the container, the pedestal can be constructed with a simple structure, so that the cost can be reduced. The effect of the fixing structure to the crystal piece can be reduced compared to the case of fixing with a.

(A)、(B)、(C)は、第1の実施形態の水晶デバイス10を説明するための図である。(A), (B), (C) is a figure for demonstrating the crystal device 10 of 1st Embodiment. 第2の実施形態の水晶デバイスを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the crystal device of 2nd Embodiment. 第3の実施形態の水晶デバイスを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the crystal device of 3rd Embodiment. 第4の実施形態の水晶デバイスを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the crystal device of 4th Embodiment.

以下、図面を参照してこの発明の実施形態について説明する。なお、説明に用いる各図はこれら発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、説明に用いる各図において、同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の実施形態中で述べる形状、寸法、材質等はこの発明の範囲内の好適例に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Each figure used for explanation is only shown to such an extent that these inventions can be understood. Moreover, in each figure used for description, about the same component, it attaches | subjects and shows the same number, The description may be abbreviate | omitted. Further, the shapes, dimensions, materials, and the like described in the following embodiments are merely preferred examples within the scope of the present invention. Therefore, the present invention is not limited only to the following embodiments.

1. 第1の実施形態
図1(A)、(B)、(C)は、第1の実施形態の水晶デバイス10を説明する図である。特に図1(A)は水晶デバイス10を示した平面図、図1(B)は図1(A)図のP−P線に沿った断面図、図1(C)は(A)図のQ−Q線に沿った断面図である。なお、図1(A)では蓋部材の図示を省略してある。また、この水晶デバイス10は、水晶振動子としての実施形態に当たるものである。
1. First Embodiment FIGS. 1A, 1 </ b> B, and 1 </ b> C are diagrams illustrating a crystal device 10 according to a first embodiment. 1A is a plan view showing the crystal device 10, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line P-P in FIG. 1A, and FIG. It is sectional drawing along the QQ line. In addition, illustration of the lid member is omitted in FIG. The crystal device 10 corresponds to an embodiment as a crystal resonator.

第1の実施形態の水晶デバイス10は、水晶片11と、容器13と、台座15と、接着剤17と、導電性接着剤19と、導熱パターン21と、配線パターン23と、ワイヤーボンディング構造25と、蓋部材27と、を具える。
水晶片11は、この場合、平面形状が四角形状、具体的には長方形状のものである。この水晶片は、例えば、SCカットに代表されるいわゆる2回回転の水晶片、または、ATカット水晶片である。この水晶片11は、その表裏面に励振用電極11a及び引出電極11bを有する。引出電極11bは、励振用電極11aから、この場合、水晶片11の1つの辺側であってこの1つの辺の両端領域にそれぞれ引き出してある。
容器13は、水晶片11を収容するものである。この場合の容器13は、水晶片11を収容する凹部13aを有するもので、例えばセラミックパッケージにより構成できる。
The crystal device 10 according to the first embodiment includes a crystal piece 11, a container 13, a base 15, an adhesive 17, a conductive adhesive 19, a heat conductive pattern 21, a wiring pattern 23, and a wire bonding structure 25. And a lid member 27.
In this case, the crystal piece 11 has a quadrangular planar shape, specifically a rectangular shape. This crystal piece is, for example, a so-called two-turn crystal piece represented by SC cut or an AT cut crystal piece. The crystal piece 11 has excitation electrodes 11a and extraction electrodes 11b on the front and back surfaces. The extraction electrode 11b is extracted from the excitation electrode 11a in this case to one side of the crystal piece 11 and to both end regions of this one side.
The container 13 accommodates the crystal piece 11. The container 13 in this case has a recess 13a for accommodating the crystal piece 11, and can be constituted by, for example, a ceramic package.

台座15は、水晶片11および容器13の間に設けてある。台座15の構成材料は、水晶、セラミックス、ガラス等の任意好適な材料とできる。ただし、台座15の物性は、水晶片11の物性に近い方が熱膨張係数のマッチング等の理由から好ましいので、台座も水晶で構成するのが好ましい。また、この場合の台座15は、水晶片11を固定する接着剤17が塗布される領域とそれ以外の領域とを区分けするための、段差構造15aを持つ台座としてある。この例の場合の台座15は、その長辺方向の両側部分で厚さが厚くなった段差構造15aを有したものとしてある。台座15は一端側のみで厚さが厚くなっていても良いが、両端が厚くなった対称構造の方が好ましい。このような対称構造であると、水晶デバイス製造時に台座の向きを気にせずに台座を容器にセットできる。段差構造15aを設けてあるため、水晶デバイス製造時に、接着剤17が水晶片11の中心側に流れても、接着剤17は段差構造15aの下段側で水晶片11から離れるので、水晶片11に付着しない。
接着剤17は、水晶片11を台座15に固定しているものである。この例の場合は、水晶片11の1つの辺側の中央付近の近傍の一領域で水晶片11を台座15に接着している。また、この場合、接着剤17は絶縁性接着剤を用いている。絶縁性接着剤であると、これが、両極性の引出電極間に跨っても電極間の短絡が生じない。また、接着剤17は、水晶片11の1つの辺側の中央付近の近傍の一領域で水晶片11を台座15に接着固定しているので、接着剤を複数個所に設ける場合に比べ、応力等も少ないため、接着剤の水晶片への影響も軽減できる。
The pedestal 15 is provided between the crystal piece 11 and the container 13. The constituent material of the base 15 can be any suitable material such as quartz, ceramics, and glass. However, since the physical properties of the pedestal 15 are preferably closer to the physical properties of the crystal piece 11 for reasons such as matching of thermal expansion coefficients, the pedestal is also preferably made of quartz. In addition, the base 15 in this case is a base having a step structure 15a for distinguishing a region where the adhesive 17 for fixing the crystal piece 11 is applied and a region other than the region. The pedestal 15 in this example is assumed to have a step structure 15a that is thicker at both side portions in the long side direction. The pedestal 15 may be thick only at one end side, but a symmetrical structure with thickened both ends is preferred. With such a symmetric structure, the pedestal can be set in the container without worrying about the orientation of the pedestal when the crystal device is manufactured. Since the step structure 15a is provided, even when the adhesive 17 flows to the center side of the crystal piece 11 when the crystal device is manufactured, the adhesive 17 is separated from the crystal piece 11 on the lower side of the step structure 15a. Does not adhere to.
The adhesive 17 fixes the crystal piece 11 to the pedestal 15. In the case of this example, the crystal piece 11 is bonded to the pedestal 15 in a region near the center of one side of the crystal piece 11. In this case, the adhesive 17 is an insulating adhesive. If it is an insulating adhesive, even if it spans between bipolar extraction electrodes, a short circuit between the electrodes does not occur. In addition, since the adhesive 17 is bonded and fixed to the pedestal 15 in one region near the center of one side of the crystal 11, the adhesive 17 has stress compared to the case where the adhesive is provided at a plurality of locations. Etc., and the influence of the adhesive on the crystal piece can be reduced.

導電性接着剤19は、台座15をその重心を含む一領域で容器13に固定しているものである。重心を含む一領域とは、接着の強度を確保できかつ必要以上に台座に接着剤19の応力が及ばないような、必要最小限の広さである。また、導電性接着剤としている理由は、後述する導熱パターン21により外部からこの導電性接着剤19に導いた熱を、台座15に効率良く伝えるためである。この導電性接着剤19は、水晶振動子の製造で良く使用されるシリコーン系のもの、エポキシ系のもの、ポリイミド系のもの等から選択して使用できる。
導熱パターン21は、水晶デバイスが恒温槽付きの水晶発振器であれば、そのヒーターからの熱を台座15に伝えるものである(詳細は後述の第4の実施形態参照)。この導熱パターン21は、容器13としてのセラミックパッケージを製造する際に同時に形成できる。具体的には、セラミックパッケージ形成時に製造できる導電性パターンおよび容器13に形成できるビア配線によって構成できる。
The conductive adhesive 19 fixes the pedestal 15 to the container 13 in a region including its center of gravity. The one region including the center of gravity is a necessary minimum area that can secure the bonding strength and does not apply the stress of the adhesive 19 to the pedestal more than necessary. The reason why the conductive adhesive is used is to efficiently transfer the heat guided to the conductive adhesive 19 from the outside by a heat conductive pattern 21 described later to the base 15. The conductive adhesive 19 can be selected and used from a silicone type, an epoxy type, a polyimide type, etc., which are often used in the manufacture of crystal resonators.
If the crystal device is a crystal oscillator with a thermostatic chamber, the heat conduction pattern 21 is to transmit heat from the heater to the base 15 (for details, refer to the fourth embodiment described later). The heat conductive pattern 21 can be formed at the same time when the ceramic package as the container 13 is manufactured. Specifically, it can be constituted by a conductive pattern that can be manufactured at the time of ceramic package formation and via wiring that can be formed in the container 13.

配線パターン23は、容器13側のワイボンパッドの役目を持つ。この配線パターン23は、典型的には、容器13の外側底面に設けた外部接続端子13bに接続してある。なお、ワイヤーボンディングを容易にするために、水晶片11の上面の高さに近い高さになるように、容器13の一部を高くしておき、この高くした箇所にこの配線パターン23を設けるのが良い。
ワイヤーボンディング構造25は、水晶片11の引出電極11bと容器13側の配線パターン23とを接続している。このワイヤーボンディング構造25は周知のワイヤーボンディング技術で実現できる。
蓋部材27は、容器13の凹部13a周囲の土手部分の天面で容器13と接合して、容器を封止するものである。封止方式に応じた任意の構造とできる。
この水晶デバイス10によれば、上記の発明の効果の欄に記載した効果を得ることができる。
The wiring pattern 23 serves as a wibon pad on the container 13 side. The wiring pattern 23 is typically connected to an external connection terminal 13 b provided on the outer bottom surface of the container 13. In order to facilitate wire bonding, a part of the container 13 is raised so that the height is close to the height of the upper surface of the crystal piece 11, and the wiring pattern 23 is provided at the raised portion. Is good.
The wire bonding structure 25 connects the extraction electrode 11b of the crystal piece 11 and the wiring pattern 23 on the container 13 side. This wire bonding structure 25 can be realized by a known wire bonding technique.
The lid member 27 is joined to the container 13 at the top surface of the bank portion around the recess 13a of the container 13 to seal the container. Any structure can be used according to the sealing method.
According to the crystal device 10, the effects described in the column of the effects of the invention can be obtained.

2.第2の実施形態
第1の実施形態では、接着剤17とワイヤーボンディグ構造25は、水晶片11の1つの辺側に集中させて設けていたが、これらを設ける位置はこれに限られず他の位置でも良い。
図2はその一例であり、第2の実施形態の水晶デバイス30を示した平面図である。この第2の実施形態の水晶デバイス30では、接着剤17とワイヤーボンディグ構造25のうちの一方を第1の短辺側に設け、他方を第1の短辺と対向する第2の短辺側に設けてある。この構造の場合、接着剤17とワイヤーボンディグ構造25のそれぞれの応力を分散できると考えられる。
2. 2nd Embodiment In 1st Embodiment, although the adhesive agent 17 and the wire bonding structure 25 were concentrated and provided in the one side of the crystal piece 11, the position which provides these is not restricted to this, Others The position of may be good.
FIG. 2 is an example thereof, and is a plan view showing a crystal device 30 according to the second embodiment. In the crystal device 30 according to the second embodiment, one of the adhesive 17 and the wire bonding structure 25 is provided on the first short side, and the other is the second short side facing the first short side. It is provided on the side. In the case of this structure, it is considered that each stress of the adhesive 17 and the wire bonding structure 25 can be dispersed.

3.第3の実施形態
第1および第2の実施形態それぞれでは、ワイヤーボンディング構造25を水晶片11の第1の短辺に沿う両端領域にそれぞれ設けていたが、ワイヤーボンディング構造25を設ける位置はこれに限られず他の位置でも良い。
図3はその一例であり、第3の実施形態の水晶デバイス40を示した平面図である。この第3の実施形態の水晶デバイス40では、水晶片11の引出電極11b自体を、水晶片11の1つのコーナー側に寄せて設け、そして、ワイヤーボンディグ構造25自体もこの引出配線の位置に従って水晶片11の1つのコーナー側に寄せて設けたものである。それに合わせて、接着剤17自体も水晶片の1つの短辺の中央から水晶片11の1つのコーナー側に寄せて設けてある。すなわち、接着剤17およびワイヤーボンディング構造25各々が、水晶片の第1の短辺に沿う領域であって、この短辺の中央よりも片側の領域に集中するよう、設けた例である。
この第3の実施形態の水晶デバイス40の場合、接着剤17およびワイヤーボンディング構造25各々が水晶片11の1つのコーナー側に集中するので、それぞれを別々の位置に設けていた場合にそれぞれの位置で水晶片に与えていた応力の影響を、軽減できると考えられる。
3. Third Embodiment In each of the first and second embodiments, the wire bonding structure 25 is provided in both end regions along the first short side of the crystal piece 11, but the position where the wire bonding structure 25 is provided is this. It is not limited to this, and other positions may be used.
FIG. 3 is an example thereof, and is a plan view showing a crystal device 40 of the third embodiment. In the crystal device 40 of the third embodiment, the lead electrode 11b itself of the crystal piece 11 is provided close to one corner side of the crystal piece 11, and the wire bonding structure 25 itself also follows the position of this lead wiring. The crystal piece 11 is provided close to one corner side. Correspondingly, the adhesive 17 itself is also provided close to one corner side of the crystal piece 11 from the center of one short side of the crystal piece. That is, in this example, the adhesive 17 and the wire bonding structure 25 are provided so as to be concentrated in a region along the first short side of the crystal piece and on one side of the center of the short side.
In the case of the crystal device 40 of the third embodiment, each of the adhesive 17 and the wire bonding structure 25 is concentrated on one corner side of the crystal piece 11, so that each position is provided when each is provided at a different position. It is thought that the effect of stress applied to the crystal piece can be reduced.

4.第4の実施形態(水晶発振器の実施形態)
次に、本発明を発振器としての水晶デバイスに適用した例を説明する。図4はその説明図であり、図1(B)に対応する断面図に発振器としての構成成分を追記したものである。なお、図4では,各構成成分を指す符号のうち、本実施形態の説明に不要な符号は省略してある。
4). Fourth Embodiment (Crystal Oscillator Embodiment)
Next, an example in which the present invention is applied to a crystal device as an oscillator will be described. FIG. 4 is an explanatory diagram in which components as an oscillator are added to the cross-sectional view corresponding to FIG. In FIG. 4, symbols that are not necessary for the description of the present embodiment are omitted from the symbols that indicate the respective components.

この実施形態の水晶デバイス50は、第1〜第3の実施形態の圧電デバイス10,30,40の構成に加えて、水晶片11用の発振回路51と、水晶片11を収容した容器13を加熱するヒーター53を含む温度制御回路55と、を具える。然も、導熱パターン21に接続されている外部接続端子13bをヒーター53に接続してある。
発振器としてのこの水晶デバイス50の場合、ヒーター53の熱は外部接続端子13b及び導熱パターン21を介して台座15に伝わり、そして台座15からの輻射熱が水晶片11に及ぶ。従って、例えば温度補償型の水晶発振器であって、水晶振動片への熱応答に優れる水晶発振器を実現できる。そ
In addition to the configurations of the piezoelectric devices 10, 30, and 40 of the first to third embodiments, the crystal device 50 of this embodiment includes an oscillation circuit 51 for the crystal piece 11 and a container 13 that contains the crystal piece 11. A temperature control circuit 55 including a heater 53 for heating. However, the external connection terminal 13 b connected to the heat conductive pattern 21 is connected to the heater 53.
In the case of this crystal device 50 as an oscillator, the heat of the heater 53 is transmitted to the pedestal 15 via the external connection terminal 13 b and the heat conductive pattern 21, and the radiant heat from the pedestal 15 reaches the crystal piece 11. Therefore, for example, a temperature-compensated crystal oscillator, which is excellent in the thermal response to the crystal resonator element, can be realized. So

5. 他の実施形態
上述した実施形態では、水晶片を片持ち支持する構造を示したが、水晶片をその対向する2辺で支持する両持ち構造の場合でも本発明は適用できる。また、容器として凹部を有する容器を用い、蓋部材として平板状の蓋部材を用いた例を説明したが、平板状の容器を用い、蓋部材としてキャップ状の蓋部材を用いたものにも適用できる。
5. Other Embodiments In the above-described embodiments, the structure in which the crystal piece is cantilever-supported has been shown. However, the present invention can also be applied to the case of a both-end support structure in which the crystal piece is supported by two opposing sides. Moreover, although the example which used the container which has a recessed part as a container and used the flat cover member as a cover member was demonstrated, it applies also to the thing using a flat container and using a cap-shaped cover member as a cover member it can.

10:実施形態の水晶デバイス、 11:水晶振動片、
10:第1の実施形態に水晶デバイス、 11:水晶片
11a:励振用電極、 11b:引出電極、
13:容器、 13a:凹部、
13b:外部接続端子、 15:台座
15a:段差構造、 17、17x:接着剤
19:導電性接着剤、 21:導熱パターン
23:配線パターン、 25:ワイヤーボンディング構造
27:蓋部材、 30:第2の実施形態の水晶デバイス
40:第3の実施形態の水晶デバイス
50:第4の実施形態の水晶デバイス(水晶発振器)
51:発振回路、 53:ヒーター
55:温度制御回路
10: Crystal device of embodiment, 11: Crystal resonator element,
10: Quartz device in the first embodiment, 11: Quartz piece 11a: Excitation electrode, 11b: Extraction electrode,
13: Container, 13a: Recess,
13b: External connection terminal 15: Pedestal 15a: Step structure 17, 17x: Adhesive 19: Conductive adhesive 21: Heat conduction pattern 23: Wiring pattern 25: Wire bonding structure 27: Lid member 30: Second Crystal device of the embodiment 40: Crystal device of the third embodiment 50: Crystal device of the fourth embodiment (crystal oscillator)
51: Oscillator circuit 53: Heater 55: Temperature control circuit

Claims (5)

励振用電極及び引出電極を有する水晶片と、
前記水晶片を収容する容器と、
前記水晶片および前記容器の間に設けられた台座と、
前記水晶片を前記台座に固定している接着剤と、
前記台座をその重心を含む一領域で前記容器に固定している導電性接着剤と、
前記容器に設けられ前記導電性接着剤に熱を伝える導熱パターンと、
前記容器に設けられた配線パターンと、
前記配線パターンおよび前記引出電極を接続しているワイヤーボンディング構造と
を具えることを特徴とする水晶デバイス。
A crystal piece having an excitation electrode and an extraction electrode;
A container containing the crystal piece;
A pedestal provided between the crystal piece and the container;
An adhesive fixing the crystal piece to the pedestal;
A conductive adhesive fixing the pedestal to the container in a region including its center of gravity;
A heat conduction pattern provided in the container and conducting heat to the conductive adhesive;
A wiring pattern provided in the container;
And a wire bonding structure connecting the wiring pattern and the extraction electrode.
前記水晶片を前記台座に固定している接着剤を絶縁性接着剤とし、この接着剤により水晶片を台座に一領域で固定してあることを特徴とする請求項1に記載に水晶デバイス。   2. The crystal device according to claim 1, wherein an adhesive that fixes the crystal piece to the pedestal is an insulating adhesive, and the crystal piece is fixed to the pedestal in one region by the adhesive. 前記台座が、前記水晶片を固定する接着剤が塗布される領域をそれ以外の領域と区分けするための段差構造を持つことを特徴とする請求項1又は2に記載の水晶デバイス。   3. The crystal device according to claim 1, wherein the pedestal has a step structure for distinguishing a region to which an adhesive for fixing the crystal piece is applied from other regions. 4. 前記台座は水晶で構成したものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の水晶デバイス。   The crystal device according to claim 1, wherein the pedestal is made of crystal. 請求項1から4のいずれか1項に記載の水晶デバイスと、前記水晶片用の発振回路と、前記水晶片を収容した前記容器を加熱するヒーターを含む温度制御回路と、を具えることを特徴とする発振器としての水晶デバイス。   5. A crystal device according to claim 1, an oscillation circuit for the crystal piece, and a temperature control circuit including a heater that heats the container containing the crystal piece. A crystal device as a featured oscillator.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2021057651A (en) * 2019-09-27 2021-04-08 日本電波工業株式会社 Pedestal base mounting blank, vibrator, and oscillator
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