JP2019046830A

JP2019046830A - Optical module

Info

Publication number: JP2019046830A
Application number: JP2017164602A
Authority: JP
Inventors: 勇貴中村; Yuki Nakamura; 中西　裕美; Hiromi Nakanishi; 裕美中西
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2017-08-29
Filing date: 2017-08-29
Publication date: 2019-03-22
Anticipated expiration: 2037-08-29
Also published as: JP6958122B2

Abstract

【課題】出力される光の量を多くすることができる光モジュールを提供することができる。【解決手段】光モジュール１は、光を形成する光形成部２０を備える。光形成部２０は、ベース部材と、複数の半導体発光素子と、フィルタと、を含む。ベース部材は、保持面６０Ａを有する。複数の半導体発光素子は、保持面６０Ａ上に搭載され、波長または偏光方向が異なる光を出射する。フィルタは、保持面６０Ａ上に搭載され、複数の半導体発光素子から出射される発散光を直接受けて合波する。保持面６０Ａには、合波された発散光の光路に対応する領域に、保持面６０Ａの外周６０Ｂの一部を含むように凹部６２が設けられている。半導体発光素子は、凹部６２の外側に位置する。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module capable of increasing the amount of output light. An optical module 1 includes a light forming unit 20 that forms light. The light forming unit 20 includes a base member, a plurality of semiconductor light emitting elements, and a filter. The base member has a holding surface 60A. The plurality of semiconductor light emitting elements are mounted on the holding surface 60A and emit light having different wavelengths or polarization directions. The filter is mounted on the holding surface 60A and directly receives the divergent light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements to combine the waves. The holding surface 60A is provided with a recess 62 so as to include a part of the outer circumference 60B of the holding surface 60A in a region corresponding to the optical path of the combined divergent light. The semiconductor light emitting device is located outside the recess 62. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、光モジュールに関するものである。 The present invention relates to an optical module.

パッケージ内に半導体発光素子を配置した光モジュールが知られている（たとえば、特許文献１〜４参照）。このような光モジュールは、表示装置、光ピックアップ装置、光通信装置など、種々の装置の光源として用いられる。 There is known an optical module in which a semiconductor light emitting element is disposed in a package (see, for example, Patent Documents 1 to 4). Such an optical module is used as a light source of various devices such as a display device, an optical pickup device, and an optical communication device.

特開２００９−９３１０１号公報JP, 2009-93101, A 特開２００７−３２８８９５号公報JP 2007-328895 A 特開２００７−１７９２５号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-17925 特開２００７−６５６００号公報JP 2007-65600 A

ベース部材上に複数の半導体発光素子と、複数の半導体発光素子から出射される光を受けて合波するフィルタとが設けられる場合がある。複数の半導体発光素子から出射される光は、フィルタによって合波され、出力される。半導体発光素子から出射される光は発散光である。このため、フィルタによって合波された光は、ベース部材によって光の一部の進行が阻害され、減光してしまうおそれがある。そうすると、光モジュールから出力される光の量は低下することになる。 There are cases where a plurality of semiconductor light emitting elements and a filter for receiving and combining light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements are provided on the base member. The lights emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements are combined by a filter and output. The light emitted from the semiconductor light emitting element is divergent light. For this reason, there is a possibility that the light combined by the filter may be dimmed due to the progress of part of the light being blocked by the base member. Then, the amount of light output from the optical module is reduced.

そこで、出力される光の量を多くすることができる光モジュールを提供することを目的の１つとする。 Therefore, it is an object to provide an optical module capable of increasing the amount of light to be output.

本願の光モジュールは、光を形成する光形成部を備える。光形成部は、ベース部材と、複数の半導体発光素子と、フィルタと、を含む。ベース部材は、保持面を有する。複数の半導体発光素子は、保持面上に搭載され、波長または偏光方向が異なる光を出射する。フィルタは、保持面上に搭載され、複数の半導体発光素子から出射される発散光を直接受けて合波する。保持面には、合波された発散光の光路に対応する領域に、保持面の外周の一部を含むように凹部が設けられている。半導体発光素子は、凹部の外側に位置する。 The optical module of the present application includes a light forming unit that forms light. The light forming unit includes a base member, a plurality of semiconductor light emitting devices, and a filter. The base member has a holding surface. The plurality of semiconductor light emitting devices are mounted on the holding surface and emit light having different wavelengths or polarization directions. The filter is mounted on the holding surface and directly receives and combines diverging light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. The holding surface is provided with a recess in a region corresponding to the optical path of the combined diverging light so as to include a part of the outer periphery of the holding surface. The semiconductor light emitting element is located outside the recess.

上記光モジュールによれば、出力される光の量を多くすることができる光モジュールを提供することができる。 According to the optical module, it is possible to provide an optical module capable of increasing the amount of light to be output.

実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a structure of an optical module in Embodiment 1. 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a structure of an optical module in Embodiment 1. 実施の形態１における光モジュールの概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the optical module in the first embodiment. 実施の形態１における光モジュールの概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the optical module in the first embodiment. 実施の形態１における光モジュールの第１の変形例を示す概略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a first modified example of the optical module in the first embodiment. 実施の形態２における光モジュールの第２の変形例を示す概略断面図である。FIG. 21 is a schematic cross-sectional view showing a second modified example of the optical module in the second embodiment. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of an optical module in Embodiment 2. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of an optical module in Embodiment 2. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view showing the structure of the optical module in Embodiment 2.

［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。 Description of an embodiment of the present invention
First, embodiments of the present invention will be listed and described.

（１）本願の光モジュールは、光を形成する光形成部を備える。光形成部は、ベース部材と、複数の半導体発光素子と、フィルタと、を含む。ベース部材は、保持面を有する。複数の半導体発光素子は、保持面上に搭載され、波長または偏光方向が異なる光を出射する。フィルタは、保持面上に搭載され、複数の半導体発光素子から出射される発散光を直接受けて合波する。保持面には、合波された発散光の光路に対応する領域に、保持面の外周の一部を含むように凹部が設けられている。半導体発光素子は、凹部の外側に位置する。 (1) The optical module of the present application includes a light forming unit that forms light. The light forming unit includes a base member, a plurality of semiconductor light emitting devices, and a filter. The base member has a holding surface. The plurality of semiconductor light emitting devices are mounted on the holding surface and emit light having different wavelengths or polarization directions. The filter is mounted on the holding surface and directly receives and combines diverging light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. The holding surface is provided with a recess in a region corresponding to the optical path of the combined diverging light so as to include a part of the outer periphery of the holding surface. The semiconductor light emitting element is located outside the recess.

本願の光モジュールは、ベース部材に備えられ、半導体発光素子およびフィルタを搭載する保持面に、保持面の外周の一部を含むように凹部が設けられている。凹部は、合波された発散光の光路に対応する領域に設けられている。半導体発光素子は、凹部の外側に位置するように設けられている。このような凹部により、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害を抑制することができる。そうすると、合波された発散光の減光が抑制され、出力される光の量を多くすることができる。 The optical module of the present application is provided on the base member, and the holding surface on which the semiconductor light emitting element and the filter are mounted is provided with a recess so as to include a part of the outer periphery of the holding surface. The recess is provided in a region corresponding to the optical path of the combined diverging light. The semiconductor light emitting element is provided to be located outside the recess. With such a recess, it is possible to suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the diverging light emitted from the semiconductor light emitting element and multiplexed by the filter. Then, the attenuation of the combined diverging light is suppressed, and the amount of light to be output can be increased.

このように、本願の光モジュールによれば、出力される光の量を多くすることができる。 Thus, according to the optical module of the present application, the amount of light to be output can be increased.

（２）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、合波された発散光の光路の外側に位置してもよい。このようにすることで、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光の凹部を構成する面による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。従って、出力される光の量をより多くすることができる。 (2) In the above-mentioned optical module, the surface which constitutes the recess may be located outside the optical path of the combined diverging light. In this way, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the surface that constitutes the recess of the diverging light emitted from the semiconductor light emitting element and multiplexed by the filter. Therefore, the amount of light output can be increased.

（３）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面にフィルタが搭載されてもよい。このようにすることで、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 (3) In the above-mentioned optical module, a filter may be mounted on the surface which constitutes a crevice. In this way, it is possible to further suppress inhibition of the progress of light by the base member of the diverging light emitted from the semiconductor light emitting element and multiplexed by the filter.

（４）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、半導体発光素子が搭載される搭載面から連なる側壁面と、側壁面の搭載面が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面とから構成されおり、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面と、底面とは平行に配置され、底面上にフィルタが搭載されてもよい。このような底面上にフィルタが設けられることで、複数の半導体発光素子から出射される発散光をより容易に合波することができる。 (4) In the optical module, the surface constituting the recess is the side wall surface continuing from the mounting surface on which the semiconductor light emitting element is mounted and the end portion located on the side opposite to the side where the mounting surface of the side wall surface is located The filter may be mounted on the bottom surface, which is formed of a series of bottom surfaces, a surface including the optical axis of light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements, and the bottom surface in parallel. By providing the filter on such a bottom surface, it is possible to more easily combine divergent light emitted from a plurality of semiconductor light emitting elements.

（５）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向において、凹部を構成する面と、合波された発散光の光軸との距離は、保持面の外周に近付くにしたがって長くなるようにしてもよい。このような凹部の構成は、フィルタによって合波された発散光の光路に対応する。このため、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 (5) In the optical module, in a direction perpendicular to the plane including the optical axis of light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements, the distance between the plane forming the recess and the optical axis of the combined diverging light May be made longer as it approaches the outer periphery of the holding surface. The configuration of such a recess corresponds to the optical path of the diverging light combined by the filter. Therefore, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the diverging light emitted from the semiconductor light emitting element and multiplexed by the filter.

（６）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向における合波された発散光の光軸との距離が、保持面の外周に向って長くなるように連続的に傾斜している面を含んでもよい。このようにすることで、フィルタによって合波された発散光の光路に対応して、凹部を構成する面と合波された発散光の光軸との距離を長くすることができる。 (6) In the optical module, the surface of the recess has a distance from the optical axis of the combined diverging light in a direction perpendicular to the plane including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. The surface may be continuously inclined so as to be longer toward the outer periphery of the holding surface. By doing this, it is possible to increase the distance between the surface of the recess and the optical axis of the multiplexed light corresponding to the optical path of the diverging light multiplexed by the filter.

（７）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向における合波された発散光の光軸との距離が、保持面の外周に向って長くなるように多段状に設けられた面を含んでもよい。このようにすることで、フィルタによって合波された発散光の光路に対応して、凹部を構成する面と合波された発散光の光軸との距離を長くすることができる。 (7) In the optical module, the surface of the recess has a distance from the optical axis of the combined diverging light in a direction perpendicular to the plane including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting devices. A multistaged surface may be included so as to be longer toward the outer periphery of the holding surface. By doing this, it is possible to increase the distance between the surface of the recess and the optical axis of the multiplexed light corresponding to the optical path of the diverging light multiplexed by the filter.

（８）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向から平面的に見て、合波された発散光の光軸に垂直な方向における凹部の幅は、保持面の外周に近付くにしたがって大きくなるようにしてもよい。このような凹部の形状は、フィルタによって合波された発散光の光路に対応する形状となる。このため、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 (8) In the above optical module, in a direction perpendicular to the plane including the optical axis of light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements in a plan view, the direction perpendicular to the optical axis of the combined divergent light The width of the recess may increase as it approaches the outer periphery of the holding surface. The shape of such a recess corresponds to the optical path of the diverging light multiplexed by the filter. Therefore, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the diverging light emitted from the semiconductor light emitting element and multiplexed by the filter.

（９）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子は、赤色の光を出射する半導体発光素子、緑色の光を出射する半導体発光素子および青色の光を出射する半導体発光素子を含むようにしてもよい。フィルタは、第１フィルタと、第１フィルタとは異なる第２フィルタと、を含むようにしてもよい。第１フィルタおよび第２フィルタは、赤色の光を出射する半導体発光素子、緑色の光を出射する半導体発光素子および青色の光を出射する半導体発光素子から出射される光を合波する。このようにすることで、３つ半導体発光素子から出射される波長の異なる３つの光を合波することができる。 (9) In the optical module, the plurality of semiconductor light emitting elements may include a semiconductor light emitting element that emits red light, a semiconductor light emitting element that emits green light, and a semiconductor light emitting element that emits blue light. . The filter may include a first filter and a second filter different from the first filter. The first filter and the second filter combine light emitted from a semiconductor light emitting element that emits red light, a semiconductor light emitting element that emits green light, and a semiconductor light emitting element that emits blue light. By doing this, it is possible to combine three lights of different wavelengths emitted from the three semiconductor light emitting elements.

（１０）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子は、同一の波長で偏光方向が異なる光を出射する複数の半導体発光素子を含み、フィルタは、複数の半導体発光素子から出射される偏光方向の異なる光を合波するようにしてもよい。このように同一波長の光が合波されることで、光モジュールを高出力にすることができる。 (10) In the optical module, the plurality of semiconductor light emitting elements include a plurality of semiconductor light emitting elements that emit light having the same wavelength and different polarization directions, and the filter is a polarization direction emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements Different lights of the above may be combined. By combining light of the same wavelength in this manner, the optical module can have a high output.

（１１）上記光モジュールにおいては、半導体発光素子はレーザダイオードであってもよい。このようにすることで、波長のばらつきが小さい出射光を得ることができる。 (11) In the above optical module, the semiconductor light emitting device may be a laser diode. By doing this, it is possible to obtain emitted light with a small variation in wavelength.

（１２）上記光モジュールにおいては、光形成部からの光を透過する出射窓を有し、光形成部を取り囲むように配置される保護部材をさらに備えてもよい。このような構成とすることで、半導体発光素子を大気中の水分や塵から保護しつつ、合波された発散光を得ることができる。 (12) The optical module may further include a protective member which has an exit window for transmitting light from the light forming portion and is disposed so as to surround the light forming portion. With such a configuration, it is possible to obtain combined diverging light while protecting the semiconductor light emitting element from moisture and dust in the air.

（１３）上記光モジュールにおいては、出射窓に設置され、合波された発散光のスポットサイズを変換するレンズをさらに備えてもよい。このようにすることで、コンパクトな形状を維持しつつ、所望のスポットサイズの光を得ることができる。 (13) The light module may further include a lens disposed at the exit window to convert the spot size of the combined diverging light. In this way, it is possible to obtain light of a desired spot size while maintaining a compact shape.

（１４）上記光モジュールにおいては、レンズはコリメートレンズであるようにしてもよい。このようにすることで、複数の光が適切に合波された平行光を得ることができる。 (14) In the optical module, the lens may be a collimating lens. By doing this, it is possible to obtain parallel light in which a plurality of lights are appropriately combined.

［本願発明の実施形態の詳細］
次に、本願の光モジュールの一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 [Details of the Embodiment of the Present Invention]
Next, an embodiment of the optical module of the present application will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図２は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す光モジュールからキャップを取り外した状態に対応する図である。図３は、実施の形態１における光モジュールの概略断面図である。図３は、実施の形態１における光モジュールを図２中のＩＩＩ−ＩＩＩで示すＺ軸方向に沿う平面で切断した場合の断面図である。 Embodiment 1
FIG. 1 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module in the first embodiment. FIG. 2 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module in the first embodiment. FIG. 2 is a view corresponding to a state in which the cap is removed from the optical module shown in FIG. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the optical module in the first embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view of the optical module in Embodiment 1 cut along a plane along the Z-axis direction shown by III-III in FIG.

図１、図２および図３を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、ステム１０と、光を形成する光形成部２０と、複数のリードピン５１と、キャップ４０と、を備えている。ステム１０は、円盤状の形状を有する。光形成部２０は、ステム１０の一方の主面１０Ａ上に配置される。リードピン５１は、ステム１０の一方の主面１０Ａ側および他方の主面１０Ｂ側の両側に突出する。キャップ４０は、光形成部２０を覆うようにステム１０の一方の主面１０Ａ上に接触して配置される。キャップ４０は、中空円筒状の形状を有する。ステム１０とキャップ４０とは、たとえばＹＡＧ（ＹｉｔｔｒｉｕｍＡｌｕｍｉｎｉｕｍＧａｒｎｅｔ）レーザ溶接、抵抗溶接などの手法により溶接され、気密状態とされている。すなわち、光形成部２０は、ステム１０とキャップ４０とによりハーメチックシールされている。 Referring to FIGS. 1, 2 and 3, the optical module 1 in the present embodiment includes a stem 10, a light forming portion 20 for forming light, a plurality of lead pins 51, and a cap 40. There is. The stem 10 has a disk-like shape. The light forming portion 20 is disposed on one main surface 10A of the stem 10. The lead pin 51 protrudes on both the main surface 10A side of the stem 10 and the other main surface 10B side. The cap 40 is disposed in contact with one of the main surfaces 10A of the stem 10 so as to cover the light forming portion 20. The cap 40 has a hollow cylindrical shape. The stem 10 and the cap 40 are welded, for example, by a technique such as YAG (Yittrium Aluminum Garnet) laser welding, resistance welding or the like, and are made airtight. That is, the light forming portion 20 is hermetically sealed by the stem 10 and the cap 40.

ステム１０とキャップ４０とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気、乾燥窒素などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。キャップ４０には、光形成部２０からの光を透過する出射窓４１が形成されている。出射窓４１には、光モジュール１から出射される光のスポットサイズを変換するレンズとして球レンズ４３が配置されている。球レンズ４３は、コリメートレンズである。球レンズ４３は、例えばガラスからなっている。ステム１０およびキャップ４０は、保護部材を構成する。 In a space surrounded by the stem 10 and the cap 40, for example, a gas such as dry air and dry nitrogen in which water is reduced (removed) is sealed. The cap 40 has an emission window 41 for transmitting the light from the light forming unit 20. In the emission window 41, a ball lens 43 is disposed as a lens for converting the spot size of the light emitted from the light module 1. The ball lens 43 is a collimating lens. The ball lens 43 is made of, for example, glass. The stem 10 and the cap 40 constitute a protective member.

図２を参照して、光形成部２０は、半円柱状の形状を有するベース部材であるベースブロック６０を含む。ベースブロック６０は、保持面６０Ａを有している。保持面６０Ａは、Ｙ軸方向から平面的に見て矩形状の形状を有する。ベースブロック６０は、半円形状を有する底面において、ステム１０の主面１０Ａに固定されている。保持面６０Ａは、ステム１０の一方の主面１０Ａに対して交差する（より具体的には直交する）搭載面６５を含む。ステム１０の一方の主面１０Ａおよび他方の主面１０Ｂは、Ｘ−Ｙ平面に沿う。搭載面６５は、Ｘ−Ｚ平面に沿う。なお、以下の説明において、主面１０Ａに垂直な方向をＺ軸方向、搭載面６５および主面１０Ａに平行な方向をＸ軸方向、搭載面６５に垂直な方向をＹ軸方向とする。 Referring to FIG. 2, light forming portion 20 includes a base block 60 which is a base member having a semi-cylindrical shape. The base block 60 has a holding surface 60A. The holding surface 60A has a rectangular shape when viewed in plan from the Y-axis direction. The base block 60 is fixed to the main surface 10A of the stem 10 at the bottom surface having a semicircular shape. The holding surface 60A includes a mounting surface 65 which intersects (more specifically, is orthogonal to) one major surface 10A of the stem 10. One main surface 10A and the other main surface 10B of the stem 10 are along the X-Y plane. The mounting surface 65 is along the XZ plane. In the following description, the direction perpendicular to the main surface 10A is taken as the Z-axis direction, the direction parallel to the mounting surface 65 and the main surface 10A as the X-axis direction, and the direction perpendicular to the mounting surface 65 as the Y-axis direction.

搭載面６５上には、平板状の第１サブマウント７１が配置されている。そして、第１サブマウント７１上に、第１レーザダイオード８１が配置されている。第１レーザダイオード８１は、赤色の光を出射する。第１レーザダイオード８１から出射される光は、発散光である。第１サブマウント７１および第１レーザダイオード８１は、Ｙ軸方向から平面的に見て第１レーザダイオード８１からの光が保持面６０Ａの一の辺に沿って出射されるように配置される。より具体的には、第１レーザダイオード８１からの光は、Ｚ軸方向に沿って出射される。 A flat plate-shaped first submount 71 is disposed on the mounting surface 65. The first laser diode 81 is disposed on the first submount 71. The first laser diode 81 emits red light. The light emitted from the first laser diode 81 is a diverging light. The first submount 71 and the first laser diode 81 are arranged such that the light from the first laser diode 81 is emitted along one side of the holding surface 60A in plan view in the Y-axis direction. More specifically, the light from the first laser diode 81 is emitted along the Z-axis direction.

搭載面６５上には、平板状の第２サブマウント７２が配置されている。そして、第２サブマウント７２上に、第２レーザダイオード８２が配置されている。第２レーザダイオード８２は、緑色の光を出射する。第２レーザダイオード８２から出射される光は、発散光である。第２サブマウント７２および第２レーザダイオード８２は、Ｙ軸方向から平面的に見て第２レーザダイオード８２からの光が保持面６０Ａの上記一の辺に交差する他の辺に沿って出射されるように配置される。第２サブマウント７２および第２レーザダイオード８２は、第２レーザダイオード８２からの光が、第１レーザダイオード８１からの光と交差する方向（直交する方向）に出射されるように配置される。より具体的には、第２レーザダイオード８２からの光は、Ｘ軸方向に沿って出射される。 A flat second submount 72 is disposed on the mounting surface 65. The second laser diode 82 is disposed on the second submount 72. The second laser diode 82 emits green light. The light emitted from the second laser diode 82 is a diverging light. The second submount 72 and the second laser diode 82 are emitted along the other side where the light from the second laser diode 82 intersects the one side of the holding surface 60A in plan view in the Y-axis direction. Are arranged to The second submount 72 and the second laser diode 82 are arranged such that the light from the second laser diode 82 is emitted in the direction (orthogonal direction) intersecting the light from the first laser diode 81. More specifically, the light from the second laser diode 82 is emitted along the X-axis direction.

搭載面６５上には、平板状の第３サブマウント７３が配置されている。そして、第３サブマウント７３上に、第３レーザダイオード８３が配置されている。第３レーザダイオード８３は、青色の光を出射する。第３レーザダイオード８３から出射される光は、発散光である。第３サブマウント７３および第３レーザダイオード８３は、Ｙ軸方向から平面的に見て第３レーザダイオード８３からの光が保持面６０Ａの上記他の辺に沿って出射されるように配置される。第３サブマウント７３および第３レーザダイオード８３は、第３レーザダイオード８３からの光が、第１レーザダイオード８１からの光と交差する方向（直交する方向）に出射されるように配置される。第３サブマウント７３および第３レーザダイオード８３は、第３レーザダイオード８３からの光が、第２レーザダイオード８２からの光に沿った方向（第２レーザダイオード８２からの光に平行な方向）に出射されるように配置される。より具体的には、第３レーザダイオード８３からの光は、Ｘ軸方向に沿って出射される。 A flat third submount 73 is disposed on the mounting surface 65. The third laser diode 83 is disposed on the third submount 73. The third laser diode 83 emits blue light. The light emitted from the third laser diode 83 is a diverging light. The third submount 73 and the third laser diode 83 are arranged such that light from the third laser diode 83 is emitted along the other side of the holding surface 60A in plan view in the Y-axis direction. . The third submount 73 and the third laser diode 83 are arranged such that the light from the third laser diode 83 is emitted in the direction (orthogonal direction) intersecting the light from the first laser diode 81. The third submount 73 and the third laser diode 83 are in the direction along which the light from the third laser diode 83 follows the light from the second laser diode 82 (the direction parallel to the light from the second laser diode 82). It is arranged to be emitted. More specifically, the light from the third laser diode 83 is emitted along the X-axis direction.

第１レーザダイオード８１は、Ｚ軸方向に光を出射する。このため、第１レーザダイオード８１から出射される光の光軸は、Ｚ軸方向に沿って配置される。第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３は、Ｘ軸方向に光を出射する。このため、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸は、Ｘ軸方向に沿って配置される。以上から、第１レーザダイオード８１の光の出射方向と第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の光の出射方向とは交差する。より具体的には、第１レーザダイオード８１の光の出射方向と第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の光の出射方向とは直交する。また、第３レーザダイオード８３の設置面である第３サブマウント７３の主面、第２レーザダイオード８２の設置面である第２サブマウント７２の主面および第１レーザダイオード８１の設置面である第１サブマウント７１の主面は、互いに平行である。 The first laser diode 81 emits light in the Z-axis direction. Therefore, the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81 is disposed along the Z-axis direction. The second laser diode 82 and the third laser diode 83 emit light in the X-axis direction. For this reason, the optical axes of the lights emitted from the second laser diode 82 and the third laser diode 83 are disposed along the X-axis direction. From the above, the emission direction of the light of the first laser diode 81 and the emission direction of the light of the second laser diode 82 and the third laser diode 83 cross each other. More specifically, the emission direction of the light of the first laser diode 81 and the emission direction of the light of the second laser diode 82 and the third laser diode 83 are orthogonal to each other. The main surface of the third submount 73, which is the mounting surface of the third laser diode 83, the main surface of the second submount 72, which is the mounting surface of the second laser diode 82, and the mounting surface of the first laser diode 81 The main surfaces of the first submount 71 are parallel to one another.

第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の光軸の高さ（搭載面６５を基準面とした場合の基準面と光軸との距離；Ｙ軸方向における基準面との距離）は、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３により調整されて一致している。 Heights of the optical axes of the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83 (the distance between the reference plane and the optical axis when the mounting surface 65 is the reference plane; The distance “d” is adjusted to coincide with each other by the first submount 71, the second submount 72, and the third submount 73.

光形成部２０は、第１フィルタ９１と、第２フィルタ９２と、を含む。第１フィルタ９１は、第１レーザダイオード８１の出射した光と第２レーザダイオード８２の出射した光とが交差する位置に対応する保持面６０Ａ上の領域に配置される。第２フィルタ９２は、第１レーザダイオード８１の出射した光と第３レーザダイオード８３の出射した光とが交差する位置に対応する保持面６０Ａ上の領域に配置される。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、たとえば波長選択性フィルタである。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、誘電体多層膜フィルタである。 The light forming unit 20 includes a first filter 91 and a second filter 92. The first filter 91 is disposed in a region on the holding surface 60A corresponding to a position where the light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the second laser diode 82 intersect. The second filter 92 is disposed in a region on the holding surface 60A corresponding to a position where the light emitted from the first laser diode 81 and the light emitted from the third laser diode 83 intersect. Each of the first filter 91 and the second filter 92 has a flat plate shape having major surfaces parallel to each other. The first filter 91 and the second filter 92 are, for example, wavelength selective filters. The first filter 91 and the second filter 92 are dielectric multilayer filters.

第１フィルタ９１は、赤色の光を透過し、緑色の光を反射する。第２フィルタ９２は、赤色の光および緑色の光を透過し、青色の光を反射する。このように、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、特定の波長の光を選択的に透過および反射する。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２の主面は、Ｚ軸方向およびＸ軸方向に対して傾斜している。より具体的には、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２の主面は、Ｚ軸方向（第１レーザダイオード８１の出射方向）およびＸ軸方向（第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の出射方向）に対して４５°傾斜している。 The first filter 91 transmits red light and reflects green light. The second filter 92 transmits red light and green light and reflects blue light. Thus, the first filter 91 and the second filter 92 selectively transmit and reflect light of a specific wavelength. The main surfaces of the first filter 91 and the second filter 92 are inclined with respect to the Z-axis direction and the X-axis direction. More specifically, the main surfaces of the first filter 91 and the second filter 92 are in the Z-axis direction (the emission direction of the first laser diode 81) and in the X-axis direction (the second laser diode 82 and the third laser diode 83). It is inclined 45 ° with respect to the emitting direction).

図３を参照して、第１レーザダイオード８１から出射された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第１フィルタ９１は赤色の光を透過するため、第１レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_２に沿ってさらに進行し、第２フィルタ９２に入射する。そして、第２フィルタ９２は赤色の光を透過するため、第１レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_３に沿ってさらに進行する。 Referring to FIG. 3, the red light emitted from first laser diode 81 travels along optical path L ₁ and enters first filter 91. Since the first filter 91 transmits red light, the light emitted from the first laser diode 81 further travels along the optical path L ₂ and enters the second filter 92. The second filter 92 for transmitting the red light, the light emitted from the first laser diode 81 further proceeds along the optical path L _3.

第２レーザダイオード８２から出射された緑色の光は、光路Ｌ_４に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第１フィルタ９１は緑色の光を反射するため、第２レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_２に合流する。その結果、緑色の光は赤色の光と同軸に合波され、光路Ｌ_２に沿って進行し、第２フィルタ９２に入射する。そして、第２フィルタ９２は緑色の光を透過するため、第２レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_３に沿ってさらに進行する。 The green light emitted from the second laser diode 82 travels along the optical path L ₄ and enters the first filter 91. The first filter 91 for reflecting green light, the light emitted from the second laser diode 82 joins the optical path L _2. As a result, the green light is multiplexed coaxially with the red light, travels along the optical path L ₂ , and enters the second filter 92. The second filter 92 for transmitting the green light, the light emitted from the second laser diode 82 further proceeds along the optical path L _3.

第３レーザダイオード８３から出射された青色の光は、光路Ｌ_５に沿って進行し、第２フィルタ９２に入射する。第２フィルタ９２は青色の光を反射するため、第３レーザダイオード８３から出射された光は光路Ｌ_３に合流する。その結果、青色の光は赤色の光および緑色の光と同軸に合波され、光路Ｌ_３に沿って進行する。 The blue light emitted from the third laser diode 83, along the optical path L ₅ proceeds, is incident on the second filter 92. The second filter 92 for reflecting the blue light, the light emitted from the third laser diode 83 joins the optical path L _3. As a result, the blue light are multiplexed into red light and green light and a coaxial, travels along the optical path L _3.

上記のように合波された光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、キャップ４０の出射窓４１に配置された球レンズ４３を通って光モジュール１の外部へと出射する。なお、合波された光の光軸は、Ｚ軸方向に沿って配置される。キャップ４０の出射窓４１からは、赤色、緑色および青色の光が合波されて形成された光が出射することとなる。 The light combined as described above travels along the optical path L ₃ , and is emitted to the outside of the optical module 1 through the spherical lens 43 disposed in the emission window 41 of the cap 40. The optical axis of the combined light is arranged along the Z-axis direction. From the exit window 41 of the cap 40, light formed by combining red, green and blue lights is emitted.

第１レーザダイオード８１から出射される光は、レンズを通過することなく第１フィルタ９１および第２フィルタ９２に直接到達する。第２レーザダイオード８２から出射される光は、レンズを通過することなく第１フィルタ９１および第２フィルタ９２に直接到達する。第３レーザダイオード８３から出射される光は、レンズを通過することなく第２フィルタ９２に直接到達する。すなわち、第１レーザダイオード８１と第１フィルタ９１との間には、レンズは配置されない。また、第２レーザダイオード８２と第１フィルタ９１との間には、レンズは配置されない。さらに、第３レーザダイオード８３と第２フィルタ９２との間には、レンズは配置されない。第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３からの光は、レンズを通過することなく出射窓４１に到達する。 The light emitted from the first laser diode 81 directly reaches the first filter 91 and the second filter 92 without passing through the lens. The light emitted from the second laser diode 82 directly reaches the first filter 91 and the second filter 92 without passing through the lens. The light emitted from the third laser diode 83 directly reaches the second filter 92 without passing through the lens. That is, no lens is disposed between the first laser diode 81 and the first filter 91. In addition, no lens is disposed between the second laser diode 82 and the first filter 91. Furthermore, no lens is disposed between the third laser diode 83 and the second filter 92. The light from the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83 reach the exit window 41 without passing through the lens.

保持面６０Ａには、保持面６０Ａの第１フィルタ９１が搭載されている領域を避けて、第１フィルタ９１により合波された光の出射方向側の所定の位置からベースブロック６０のステム１０の主面１０Ａが位置する側とは反対側に位置する端部６１にまで至る凹部６２が設けられている。凹部６２は、Ｙ軸方向に凹むように設けられている。凹部６２は、保持面６０Ａの外周６０Ｂの一部を含むように設けられている。凹部６２は、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された光の光路に対応する領域に設けられる。より具体的には、凹部６２は、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された光の光路に沿って設けられている。凹部６２は、Ｙ軸方向から平面的に見て、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された光の光路と交差する保持面６０Ａの外周６０Ｂを含むように設けられている。凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６５から連なる側壁面６３と、側壁面６３の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６４とから構成されている。 The holding surface 60A avoids the region where the first filter 91 of the holding surface 60A is mounted, and from the predetermined position on the emission direction side of the light multiplexed by the first filter 91, the stem 10 of the base block 60 A recess 62 is provided extending to an end 61 located on the opposite side to the side where the main surface 10A is located. The recess 62 is provided to be recessed in the Y-axis direction. The recess 62 is provided so as to include a part of the outer periphery 60B of the holding surface 60A. The recess 62 is provided in an area corresponding to the optical path of the light combined by the first filter 91 and the second filter 92. More specifically, the recess 62 is provided along the optical path of the light combined by the first filter 91 and the second filter 92. The recess 62 is provided so as to include the outer periphery 60B of the holding surface 60A that intersects the optical path of the light combined by the first filter 91 and the second filter 92 when viewed in plan from the Y-axis direction. The surface 621 constituting the recess 62 is constituted by a side wall surface 63 continuing from the mounting surface 65 and a bottom surface 64 continuing from an end portion of the side wall surface 63 opposite to the side where the mounting surface 65 is located.

Ｙ軸方向から平面的に見て、凹部６２は、保持面６０Ａの外周６０Ｂに近付くにしたがって、Ｘ軸方向の幅が大きくなるテーパ状の形状を有する。Ｙ軸方向から平面的に見て、合波された光の光路のＸ軸方向の幅よりも凹部６２のＸ軸方向の幅は大きく設けられている。 When viewed in a plan view from the Y-axis direction, the recess 62 has a tapered shape in which the width in the X-axis direction increases as it approaches the outer periphery 60B of the holding surface 60A. The width of the recess 62 in the X-axis direction is larger than the width in the X-axis direction of the optical path of the combined light when viewed in plan from the Y-axis direction.

図４は、実施の形態１における光モジュール１の概略断面図である。図４は、実施の形態１における光モジュール１を図２中のＹ−Ｚ平面に沿う平面で切断した場合の断面図である。図４を参照して、発散光である合波された光の光路Ｓの外縁は、外縁Ｓ_１と外縁Ｓ_２とによって示される。凹部６２は、合波された光の光路Ｓの外縁Ｓ_１およびＳ_２よりも外側に位置するように設けられている。より具体的には、凹部６２の底面６４は、合波された光の光路Ｓの外縁Ｓ_１およびＳ_２よりも外側に位置するように設けられている。なお、側壁面６３についても、合波された光の光路Ｓの外縁Ｓ_１およびＳ_２よりも外側に位置する。 FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the optical module 1 in the first embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view of the optical module 1 in Embodiment 1 cut along a plane along the YZ plane in FIG. Referring to FIG. 4, the outer edge of the optical path S of the multiplexed is divergent light is represented by an outer edge S ₁ and the outer edge S _2. Recess 62 is provided so as to be located outside the outer edge S ₁ and S ₂ of the optical path S of the multiplexed light. More specifically, the bottom surface 64 of the recess 62 is provided so as to be located outside the outer edge S ₁ and S ₂ of the optical path S of the multiplexed light. Note that the side wall surface 63, located outside the outer edge S ₁ and S ₂ of the optical path S of the multiplexed light.

このように、実施の形態１の光モジュール１は、ベースブロック６０に備えられ、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３と、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２とを搭載する保持面６０Ａに、保持面６０Ａの外周６０Ｂの一部を含むように凹部６２が設けられている。凹部６２は、合波された発散光の光路に対応する領域に設けられている。第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３は、凹部６２の外側に位置するように設けられている。このような凹部６２により、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害を抑制することができる。そうすると、合波された発散光の減光が抑制され、出力される光の量を多くすることができる。このように、実施の形態１の光モジュール１によれば、出力される光の量が多くなる。 As described above, the optical module 1 according to the first embodiment is provided in the base block 60, and the first laser diode 81, the second laser diode 82, the third laser diode 83, the first filter 91, and the second filter 92 The recessed portion 62 is provided in the holding surface 60A on which the mounting is carried so as to include a part of the outer periphery 60B of the holding surface 60A. The recess 62 is provided in a region corresponding to the optical path of the combined diverging light. The first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83 are provided to be located outside the recess 62. With such a recess 62, the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 by the base block 60 of the diverging light multiplexed by the first filter 91 and the second filter 92. The inhibition of progression can be suppressed. Then, the attenuation of the combined diverging light is suppressed, and the amount of light to be output can be increased. Thus, according to the optical module 1 of the first embodiment, the amount of light to be output is increased.

上記実施の形態では、凹部６２を構成する面６２１は、合波された発散光の光路Ｓの外側に位置する。このようにすることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の凹部６２を構成する面６２１による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。従って、出力される光の量をより多くすることができる。 In the above embodiment, the surface 621 forming the concave portion 62 is located outside the optical path S of the combined diverging light. By doing this, the surface that constitutes the recess 62 of the diverging light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92. The inhibition of the progress of light by 621 can be further suppressed. Therefore, the amount of light output can be increased.

上記実施の形態では、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸を含む面（Ｘ−Ｚ平面）に垂直な方向（Ｙ軸方向）から平面的に見て、合波された発散光の光軸に垂直な方向（Ｘ軸方向）における凹部６２の幅は、保持面６０Ａの外周６０Ｂに近付くにしたがって大きくなる。このような凹部６２の形状は、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の光路Ｓに対応する形状となる。このため、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 In the above embodiment, from the direction (Y-axis direction) perpendicular to the plane (X-Z plane) including the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83 In plan view, the width of the recess 62 in the direction (X-axis direction) perpendicular to the optical axis of the combined diverging light becomes larger as it approaches the outer periphery 60B of the holding surface 60A. The shape of such a recess 62 corresponds to the light path S of the diverging light multiplexed by the first filter 91 and the second filter 92. For this reason, the base block 60 of the diverging light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92 inhibits the progress of light. It can be further suppressed.

上記実施の形態では、凹部６２を構成する面６２１に第２フィルタ９２が搭載されている。このようにすることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 In the above embodiment, the second filter 92 is mounted on the surface 621 forming the recess 62. By doing this, the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and emitted by the base block 60 of the diverging light multiplexed by the first filter 91 and the second filter 92 is obtained. The inhibition of progression can be further suppressed.

上記実施の形態では、凹部６２を構成する面６２１は、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３が搭載される搭載面６５から連なる側壁面６３と、側壁面６３の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６４とから構成されている。第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸を含む面（Ｘ−Ｚ平面）と、底面６４とは平行に配置されており、底面６４上に第２フィルタ９２が設けられている。このような底面６４に第２フィルタ９２が設けられることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される発散光をより容易に合波することができる。 In the above embodiment, the surface 621 constituting the recess 62 is the side wall surface 63 connected from the mounting surface 65 on which the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83 are mounted, and the side surface 63 It comprises the bottom surface 64 which continues from the end located in the opposite side to the side where the mounting surface 65 is located. The plane (X-Z plane) including the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83 and the bottom surface 64 are arranged in parallel, Is provided with a second filter 92. By providing the second filter 92 on such a bottom surface 64, it is possible to more easily couple divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83.

上記実施の形態では、半導体発光素子はレーザダイオードであるため、波長のばらつきが小さい出射光を得ることができる。 In the above embodiment, since the semiconductor light emitting element is a laser diode, it is possible to obtain emitted light with a small variation in wavelength.

上記実施の形態では、光形成部２０からの光を透過する出射窓４１を有し、光形成部２０を取り囲むように配置されるキャップ４０をさらに備えるため、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３を大気中の水分や塵から保護しつつ、合波された発散光を得ることができる。 In the above embodiment, the first laser diode 81 and the second laser have the emission window 41 for transmitting the light from the light forming unit 20 and further include the cap 40 disposed so as to surround the light forming unit 20. The combined diverging light can be obtained while protecting the diode 82 and the third laser diode 83 from moisture and dust in the air.

上記実施の形態では、出射窓４１に設置され、合波された発散光のスポットサイズを変換する球レンズ４３、をさらに備えるため、コンパクトな形状を維持しつつ、所望のスポットサイズの光を得ることができる。 In the above-mentioned embodiment, since it further has a spherical lens 43 installed at the exit window 41 for converting the spot size of the combined diverging light, light of a desired spot size can be obtained while maintaining a compact shape. be able to.

上記実施の形態では、球レンズ４３はコリメートレンズであるため、複数の光が適切に合波された平行光を得ることができる。 In the above embodiment, since the ball lens 43 is a collimator lens, it is possible to obtain parallel light in which a plurality of lights are appropriately combined.

上記実施の形態では、底面６４に第２フィルタ９２が配置される構成としたが、これに限らず、第２フィルタ９２は、凹部６２の外側の保持面６０Ａ上に搭載されるようにしてもよい。 In the above embodiment, the second filter 92 is disposed on the bottom surface 64. However, the present invention is not limited to this. The second filter 92 may be mounted on the holding surface 60A outside the recess 62. Good.

上記実施の形態では、第１フィルタ９１は、凹部６２の外側に位置する構成としたが、これに限らず、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、底面６４上に搭載されるようにしてもよい。このようにすることで、第１フィルタ９１によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 In the above embodiment, the first filter 91 is located outside the recess 62. However, the present invention is not limited to this. The first filter 91 and the second filter 92 may be mounted on the bottom surface 64. It is also good. In this way, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base block 60 of the diverging light multiplexed by the first filter 91.

上記実施の形態では、凹部６２は、合波された光の光路のＸ軸方向の幅よりも凹部６２のＸ軸方向の幅は大きく設けられている構成としたが、これに限らず、例えばＹ軸方向から平面的に見て、凹部６２のＸ軸方向の幅は、合波された光の光路のＸ軸方向の幅と一致するように設けてもよい。 In the above embodiment, the recess 62 has a configuration in which the width in the X-axis direction of the recess 62 is larger than the width in the X-axis direction of the optical path of the multiplexed light. When viewed in plan from the Y-axis direction, the width of the recess 62 in the X-axis direction may be set to coincide with the width of the optical path of the combined light in the X-axis direction.

また、上記実施形態においては、出射窓４１にコリメートレンズとして球レンズ４３が配置されている例を説明したが、光モジュール１はコリメートレンズなどのレンズを有していなくてもよい。例えば出射窓４１には球レンズ４３の代わりに平板ガラスが配置されていてもよい。また光モジュール１から出射される光の進行経路上にある、光モジュール１とは別の部材にコリメートレンズを配置することもできる。また上記光モジュールにおいては、集光位置を無限遠として設計してもよい。この場合、集光位置を無限遠として設計するために、コリメートレンズ以外の構造を採用してもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the example which has arrange | positioned the ball lens 43 as a collimating lens in the output window 41 was demonstrated, the optical module 1 does not need to have lenses, such as a collimating lens. For example, flat glass may be disposed in the exit window 41 instead of the ball lens 43. In addition, a collimating lens can be disposed on a member other than the light module 1 on the traveling path of light emitted from the light module 1. In addition, in the above-mentioned optical module, the condensing position may be designed as infinity. In this case, a structure other than the collimating lens may be employed to design the focusing position as infinity.

上記実施形態においては、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、および第３レーザダイオード８３から出射される光は、それぞれ波長の異なる複数の色であったが、これらのレーザダイオードのうち任意の２つまたは３つが同一の波長を有する同色の色を出射するものであってもよい。 In the above embodiment, the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 has a plurality of colors having different wavelengths, but any of these laser diodes may be used. The two or three may emit the same color having the same wavelength.

また、これらのレーザダイオードのうち任意の２つまたは３つが同一の波長で偏光方向が異なる光を出射するものであってもよい。例えば、任意の２つのレーザダイオードについて、偏光方向が垂直に交差するように配置してもよい。この場合、フィルタとしては２つのレーザダイオードから出射される偏光方向の異なる光を合波するフィルタを用いるとよい。すなわち、フィルタは偏波合成フィルタを含む構成としてもよい。このように同一波長の光が合波されることで、光モジュールを高出力にすることができる。 In addition, any two or three of these laser diodes may emit light of the same wavelength and different polarization directions. For example, for any two laser diodes, the polarization directions may be arranged to intersect perpendicularly. In this case, as the filter, it is preferable to use a filter that combines lights of different polarization directions emitted from two laser diodes. That is, the filter may be configured to include a polarization synthesis filter. By combining light of the same wavelength in this manner, the optical module can have a high output.

次に変形例について説明する。図５は、実施の形態１における光モジュール１の第１の変形例を示す概略断面図である。図５を参照して、凹部６２を構成する面６２１は、Ｙ軸方向における合波された発散光の光軸Ｔとの距離が、外周６０Ｂに向って長くなるように連続的に傾斜している面を含む。より具体的には、凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６５から連なる側壁面６３と、傾斜面６４４と、を含む。傾斜面６４４は、Ｚ軸方向に対して連続的に傾斜するテーパ面である。Ｙ軸方向における傾斜面６４４と合波された発散光の光軸Ｔとの距離Ｄ_１は、外周６０Ｂに向って長くなる。このようにすることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の光路Ｓに対応して、凹部６２を構成する面６２１と合波された発散光の光軸Ｔとの距離を長くすることができる。 Next, a modification will be described. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a first modified example of the optical module 1 in the first embodiment. Referring to FIG. 5, surface 621 forming recess 62 is continuously inclined so that the distance to optical axis T of the combined diverging light in the Y-axis direction becomes longer toward outer periphery 60B. Including the More specifically, the surface 621 constituting the recess 62 includes a side wall surface 63 continuing from the mounting surface 65 and an inclined surface 644. The inclined surface 644 is a tapered surface which is continuously inclined with respect to the Z-axis direction. Distance D ₁ of the optical axis T of the inclined surface 644 and which have been multiplexed divergent light in the Y-axis direction is longer toward the outer periphery 60B. By doing this, it corresponds to the optical path S of the diverging light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and multiplexed by the first filter 91 and the second filter 92. Thus, the distance between the surface 621 forming the recess 62 and the optical axis T of the combined diverging light can be increased.

図６は、実施の形態１における光モジュール１の第２の変形例を示す概略断面図である。図６を参照して、凹部６２を構成する面６２１は、Ｙ軸方向における合波された発散光の光軸Ｔとの距離が、外周６０Ｂに向って長くなるように多段状に設けられた面を含む。より具体的には、凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６５から連なる側壁面６３と、側壁面６３の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６４とから構成される。底面６４は、第一の面６４１と、第二の面６４２と、第三の面６４３とを含む。第一の面６４１および第二の面６４２は、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸を含む面（Ｘ−Ｚ平面）に平行に配置されている。第二の面６４２は、第一の面６４１よりも保持面６０Ａの外周６０Ｂ側に位置する。第三の面６４３は、第一の面６４１と、第二の面６４２とを繋ぐように配置される。第三の面６４３は、第一の面６４１および第二の面６４２に交差する（直交する）ように配置される。なお、第２フィルタ９２は、第二の面６４２上に搭載されている。 FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a second modification of the optical module 1 in the first embodiment. With reference to FIG. 6, the surface 621 constituting the recess 62 is provided in a multistage manner such that the distance to the optical axis T of the combined diverging light in the Y-axis direction becomes longer toward the outer periphery 60B. Including faces. More specifically, the surface 621 constituting the recess 62 is a side wall surface 63 continuing from the mounting surface 65 and a bottom surface 64 continuing from the end opposite to the side where the mounting surface 65 of the side wall surface 63 is located. It consists of The bottom surface 64 includes a first surface 641, a second surface 642, and a third surface 643. The first surface 641 and the second surface 642 are parallel to a plane (XZ plane) including the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82 and the third laser diode 83. It is arranged. The second surface 642 is located closer to the outer periphery 60B of the holding surface 60A than the first surface 641. The third surface 643 is arranged to connect the first surface 641 and the second surface 642. The third surface 643 is disposed to intersect (orthogonal) the first surface 641 and the second surface 642. The second filter 92 is mounted on the second surface 642.

Ｙ軸方向における合波された発散光の光軸Ｔと第二の面６４２との距離Ｄ_３は、合波された発散光の光軸Ｔと第一の面６４１との距離Ｄ_２よりも大きくなるように構成される。すなわち、第一の面６４１と、第二の面６４２とは、段差状に設けられている。この場合、凹部６２を構成する面６２１は２段からなる面を含む。このような構成によっても、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の光路Ｓに対応して、凹部６２を構成する面６２１と合波された発散光の光軸Ｔとの距離を長くすることができる。また、Ｘ−Ｚ平面に平行な第二の面６４２に第２フィルタ９２が搭載されることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される発散光をより容易に合波することができる。なお、上記変形例においては、凹部６２を構成する面６２１は２段からなる面を含む構成としたが、これに限らず、３段以上の多段状に設けられた面を含む構成としてもよい。 The distance between the optical axis T and the second surface 642 of which have been multiplexed divergent light in the Y-axis direction D _3, rather than the distance D ₂ between the optical axis T and the first surface 641 of which have been multiplexed divergent light Configured to be large. That is, the first surface 641 and the second surface 642 are provided in the form of steps. In this case, the surface 621 constituting the recess 62 includes a surface formed of two stages. Also according to such a configuration, the surface 621 constituting the recess 62 and the optical axis T of the diverging light multiplexed are provided corresponding to the optical path S of the diverging light multiplexed by the first filter 91 and the second filter 92. Distance can be increased. Further, by mounting the second filter 92 on the second surface 642 parallel to the XZ plane, divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 can be obtained. It is possible to combine more easily. In the above modification, the surface 621 forming the concave portion 62 is configured to include a surface formed of two steps, but the present invention is not limited to this, and a configuration including three or more multistaged surfaces may be included. .

（実施の形態２）
次に、本願の光モジュール１の実施の形態２について説明する。実施の形態２は、ステムと、ベース部材と、レーザダイオードおよびフィルタの数とを除いて、実施の形態１と同様の構成を有する。すなわち、実施の形態２においては、ステムおよびベース部材の構造と、レーザダイオードおよびフィルタの数が、実施の形態１の場合と異なっている。以下、実施の形態１の場合とは異なる点について主に説明する。 Second Embodiment
Next, a second embodiment of the optical module 1 of the present application will be described. The second embodiment has the same configuration as the first embodiment except for the stem, the base member, and the number of laser diodes and filters. That is, in the second embodiment, the structures of the stem and the base member and the number of laser diodes and filters are different from those in the first embodiment. Hereinafter, points different from the case of the first embodiment will be mainly described.

図７は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図８は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図８は、図７に示す光モジュールからキャップを取り外した状態に対応する図である。図９は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略平面図である。 FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module in the second embodiment. FIG. 8 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module in the second embodiment. FIG. 8 is a diagram corresponding to the optical module shown in FIG. 7 with the cap removed. FIG. 9 is a schematic plan view showing the structure of the optical module in the second embodiment.

図７および図８を参照して、本実施の形態における光モジュール１００は、ステム１１０と、光を形成する光形成部１２０と、キャップ１４０と、複数のリードピン１５１とを備えている。ステム１１０は、矩形平板状の形状を有する。光形成部１２０は、ステム１１０の一方の主面１１０Ａ上に配置されている。キャップ１４０は、光形成部１２０を覆うようにステム１１０の一方の主面１１０Ａ上に接触して配置される。リードピン１５１は、ステム１１０の他方の主面１１０Ｂ側から一方の主面１１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１１０Ａ側および他方の主面１１０Ｂ側の両側に突出する。光形成部１２０は、実施の形態１の場合と同様に、ステム１１０とキャップ１４０とによりハーメチックシールされている。キャップ１４０には、光形成部１２０からの光を透過する出射窓１４１が形成されている。 7 and 8, the optical module 100 in the present embodiment includes a stem 110, a light forming portion 120 for forming light, a cap 140, and a plurality of lead pins 151. The stem 110 has a rectangular flat shape. The light forming portion 120 is disposed on one main surface 110 </ b> A of the stem 110. The cap 140 is disposed in contact with one major surface 110A of the stem 110 so as to cover the light forming portion 120. The lead pin 151 penetrates from the other main surface 110B side of the stem 110 to the one main surface 110A side, and protrudes to both the one main surface 110A side and the other main surface 110B side. The light forming portion 120 is hermetically sealed by the stem 110 and the cap 140 as in the first embodiment. The cap 140 has an emission window 141 for transmitting the light from the light forming unit 120.

図８を参照して、光形成部１２０は、ベース部材であるベース板１６０を含む。ベース板１６０は、Ｚ軸方向から平面的に見て、長方形状の形状を有する。ベース板１６０は、保持面１６０Ａを有する。保持面１６０Ａは、Ｚ軸方向から平面的に見て、矩形状の形状を有する。ベース板１６０の保持面１６０Ａが位置する側とは反対側の面は、ステム１１０の主面１１０Ａに固定されている。保持面１６０Ａは、搭載面６９を含む。搭載面６９は、ステム１０の主面１１０Ａと平行な面である。搭載面６９およびステム１１０の主面１１０Ａは、いずれもＸ−Ｙ平面に沿う。なお、以下の説明において、主面１１０Ａに垂直な方向をＺ軸方向、ベース板１６０のＺ軸方向から見た時の長辺方向をＸ軸方向、ベース板１６０のＺ軸方向から見た時の短辺方向をＹ軸方向とする。 Referring to FIG. 8, light forming unit 120 includes a base plate 160 which is a base member. The base plate 160 has a rectangular shape in plan view in the Z-axis direction. The base plate 160 has a holding surface 160A. The holding surface 160A has a rectangular shape in plan view in the Z-axis direction. The surface of the base plate 160 opposite to the side where the holding surface 160 </ b> A is located is fixed to the main surface 110 </ b> A of the stem 110. The holding surface 160A includes a mounting surface 69. The mounting surface 69 is a surface parallel to the major surface 110 </ b> A of the stem 10. The mounting surface 69 and the main surface 110A of the stem 110 are all along the XY plane. In the following description, the direction perpendicular to the main surface 110A is the Z-axis direction, the long side direction of the base plate 160 as viewed from the Z-axis direction is X-axis, and the base plate 160 is Z-axis. The short side direction of is the Y axis direction.

図８および図９を参照して、搭載面６９上には、平板状の第１サブマウント７１と、平板状の第２サブマウント７２と、第１フィルタ９１とが搭載されている。第１サブマウント７１上には、第１レーザダイオード８１が配置されている。第１レーザダイオード８１は、Ｘ軸方向に光を出射する。第１レーザダイオード８１は、赤色の光を出射する。第２サブマウント７２上には、第２レーザダイオード８２が配置されている。第２レーザダイオード８２は、Ｙ軸方向に光を出射する。第２レーザダイオード８２は、緑色の光を出射する。 Referring to FIGS. 8 and 9, on the mounting surface 69, a flat plate-like first sub mount 71, a flat plate-like second sub mount 72, and a first filter 91 are mounted. A first laser diode 81 is disposed on the first submount 71. The first laser diode 81 emits light in the X-axis direction. The first laser diode 81 emits red light. A second laser diode 82 is disposed on the second submount 72. The second laser diode emits light in the Y-axis direction. The second laser diode 82 emits green light.

第１フィルタ９１は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９１の主面は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して傾斜している。より具体的には、第１フィルタ９１の主面は、Ｘ軸方向（第１レーザダイオード８１の出射方向）およびＹ軸方向（第２レーザダイオード８２の出射方向）に対して４５°傾斜している。 The first filter 91 has a flat plate shape having main surfaces parallel to each other. The main surface of the first filter 91 is inclined with respect to the X-axis direction and the Y-axis direction. More specifically, the main surface of the first filter 91 is inclined 45 ° with respect to the X-axis direction (the emission direction of the first laser diode 81) and the Y-axis direction (the emission direction of the second laser diode 82) There is.

第１レーザダイオード８１から出射された光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第２レーザダイオード８２から出射された光は、光路Ｌ_２に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第１フィルタ９１において合波された光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、キャップ１４０の出射窓１４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。なお、合波された光の光軸は、Ｘ軸方向に沿って配置されている。 The light emitted from the first laser diode 81 travels along the optical path L ₁ and enters the first filter 91. The light emitted from the second laser diode 82 travels along the optical path L ₂ and enters the first filter 91. The light combined in the first filter 91 travels along the optical path L ₃ , and exits through the exit window 141 of the cap 140 to the outside of the optical module 1. The optical axis of the combined light is disposed along the X-axis direction.

図８および図９を参照して、ベース板１６０は、保持面１６０Ａの外周１６０Ｂの一部を含むように凹部６６が設けられている。凹部６６は、Ｚ軸方向に凹むように設けられている。凹部６６は、保持面１６０Ａの１つの隅を含むように設けられている。凹部６６は、合波された光の光路に対応する領域に設けられる。より具体的には、凹部６６は、合波された光の光路に沿って設けられている。凹部６６は、Ｚ軸方向から平面的に見て、合波された光の光路と交差する保持面１６０Ａの外周１６０Ｂを含むように設けられている。凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６９から連なる側壁面６７と、側壁面６７の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６８とから構成されている。 Referring to FIGS. 8 and 9, base plate 160 is provided with a recess 66 so as to include a part of outer periphery 160B of holding surface 160A. The recess 66 is provided so as to be recessed in the Z-axis direction. The recess 66 is provided to include one corner of the holding surface 160A. The recess 66 is provided in the region corresponding to the optical path of the combined light. More specifically, the recess 66 is provided along the optical path of the combined light. The recess 66 is provided so as to include the outer periphery 160 B of the holding surface 160 A that intersects the optical path of the combined light when viewed in plan from the Z-axis direction. The surface 621 constituting the recess 62 is constituted by a side wall surface 67 continuing from the mounting surface 69 and a bottom surface 68 continuing from an end portion of the side wall surface 67 opposite to the side where the mounting surface 65 is located.

凹部６６は、Ｚ軸方向から平面的に見て、矩形状の形状を有する。Ｚ軸方向から平面的に見て、合波された光の光路のＹ軸方向の幅よりも凹部６６のＹ軸方向の幅は大きく設けられている。 The recess 66 has a rectangular shape in plan view in the Z-axis direction. The width of the recess 66 in the Y-axis direction is larger than the width of the Y-axis direction of the optical path of the combined light when viewed in plan from the Z-axis direction.

第１レーザダイオード８１および第２レーザダイオード８２は、凹部６６の外側に位置するように設けられている。第１フィルタ９１は、底面６８上に搭載されている。 The first laser diode 81 and the second laser diode 82 are provided outside the recess 66. The first filter 91 is mounted on the bottom surface 68.

上記実施の形態２の構造を有する光モジュール１００によっても、実施の形態１と同様に、出力される光の量が多くなる。 Also in the optical module 100 having the structure of the second embodiment, as in the first embodiment, the amount of light to be output is increased.

上記実施の形態では、凹部６６は、合波された光の光路のＹ軸方向の幅よりも凹部６６のＹ軸方向の幅は大きく設けられている構成としたが、これに限らず、Ｚ軸方向から平面的に見て、凹部６６のＹ軸方向の幅は、合波された光の光路のＹ軸方向の幅と一致するように設けてもよい。 In the above embodiment, the recess 66 is configured to have a larger width in the Y-axis direction of the recess 66 than the width in the Y-axis direction of the optical path of the combined light. When viewed in plan from the axial direction, the width of the recess 66 in the Y-axis direction may be set to coincide with the width in the Y-axis direction of the optical path of the combined light.

なお、上記サブマウントは、サブマウント上に搭載される素子等に熱膨張係数が近い材料からなるものとされ、たとえばＡｌＮ、ＳｉＣ、Ｓｉ、ダイヤモンドなどからなるものとすることができる。また、ステムおよびキャップを構成する材料としては、たとえば熱伝導率の高い材料である鉄、銅などを採用してもよいし、ＡｌＮ、ＣｕＷ、ＣｕＭｏなどを採用してもよい。 The submount is made of a material having a thermal expansion coefficient close to that of an element or the like mounted on the submount, and may be made of, for example, AlN, SiC, Si, diamond or the like. Moreover, as a material which comprises a stem and a cap, for example, iron, copper etc. which are materials with high thermal conductivity may be adopted, and AlN, CuW, CuMo etc may be adopted.

上記実施の形態の構造は、本願の光モジュールの構造の一例である。上記実施の形態においては、２個または３個のレーザダイオードからの光が合波される場合について説明したが、４個以上のレーザダイオードからの光が合波されてもよい。また、上記実施の形態では、半導体発光素子の一例としてレーザダイオードが採用される場合について説明したが、半導体発光素子として発光ダイオードが採用されてもよい。またこの場合においても、これらの半導体発光素子のうち任意の２つ以上が同一の波長を有する同色の色を出射するものであってもよい。 The structure of the above embodiment is an example of the structure of the optical module of the present application. In the above embodiment, the case where light from two or three laser diodes is combined is described, but light from four or more laser diodes may be combined. Moreover, although the case where a laser diode was employ | adopted as an example of a semiconductor light emitting element was demonstrated in the said embodiment, a light emitting diode may be employ | adopted as a semiconductor light emitting element. Also in this case, any two or more of these semiconductor light emitting devices may emit the same color having the same wavelength.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and not restrictive in any respect. The scope of the present invention is not the meaning described above, but is indicated by the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the claims.

本願の光モジュールは、出力される光の量を多くすることが求められる光モジュールに、特に有利に適用される。 The light module of the present application is particularly advantageously applied to a light module that is required to increase the amount of light output.

１，１００光モジュール
１０，１１０ステム
１０Ａ，１１０Ａ主面
１０Ｂ，１１０Ｂ主面
２０，１２０光形成部
４０，１４０キャップ
４１，１４１出射窓
４３球面レンズ
５１，１５１リードピン
６０ベースブロック
６０Ａ保持面
６０Ｂ外周
６１端部
６２凹部
６２１面
６３側壁面
６４底面
６４１第一の面
６４２第二の面
６４３第三の面
６４４傾斜面
６５搭載面
６６凹部
６７側壁面
６８底面
６９搭載面
７１第１サブマウント
７２第２サブマウント
７３第３サブマウント
８１第１レーザダイオード
８２第２レーザダイオード
８３第３レーザダイオード
９１第１フィルタ
９２第２フィルタ
１６０ベース板
１６０Ａ保持面
１６０Ｂ外周
Ｓ光路
Ｔ光軸 1, 100 optical module 10, 110 stem 10A, 110A main surface 10B, 110B main surface 20, 120 light forming portion 40, 140 cap 41, 141 exit window 43 spherical lens 51, 151 lead pin 60 base block 60A holding surface 60B outer periphery 61 End portion 62 Recess 621 Surface 63 Side wall surface 64 Bottom surface 641 First surface 642 Second surface 643 Third surface 644 Inclination surface 65 Mounting surface 66 Concave portion 67 Side wall surface 68 Bottom surface 69 Mounting surface 71 First submount 72 Second Submount 73 Third submount 81 First laser diode 82 Second laser diode 83 Third laser diode 91 First filter 92 Second filter 160 Base plate 160A Holding surface 160B Outer circumference S Optical path T Optical axis

Claims

An optical module comprising a light forming unit for forming light,
The light forming unit is
A base member having a holding surface;
A plurality of semiconductor light emitting elements mounted on the holding surface and emitting light different in wavelength or polarization direction;
A filter mounted on the holding surface and directly receiving and combining diverging light emitted from the plurality of semiconductor light emitting devices;
The holding surface is provided with a recess in a region corresponding to the optical path of the combined diverging light so as to include a part of the outer periphery of the holding surface,
The optical module, wherein the semiconductor light emitting element is located outside the recess.

The optical module according to claim 1, wherein a surface that constitutes the recess is located outside the optical path of the combined diverging light.

The optical module according to claim 1, wherein the filter is mounted on a surface that constitutes the recess.

The surface constituting the recess is constituted by a side wall surface continuing from the mounting surface on which the semiconductor light emitting element is mounted, and a bottom surface connecting the end portion located on the opposite side to the side where the mounting surface of the side wall surface is located. Yes,
A plane including an optical axis of light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements and the bottom surface are disposed in parallel;
The optical module according to claim 3, wherein the filter is mounted on the bottom surface.

In a direction perpendicular to a plane including the optical axis of light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements, the distance between the plane forming the recess and the optical axis of the combined diverging light is The optical module according to any one of claims 1 to 3, which becomes longer as it approaches the outer periphery.

The surface of the recess has a distance from the optical axis of the combined diverging light in a direction perpendicular to the plane including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is the outer periphery of the holding surface The light module according to claim 5, comprising a surface which is continuously inclined so as to be longer towards.

The surface of the recess has a distance from the optical axis of the combined diverging light in a direction perpendicular to the plane including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is the outer periphery of the holding surface The optical module according to claim 5, further comprising: a surface provided in a multistage manner so as to be longer toward the surface.

The width of the recess in the direction perpendicular to the optical axis of the combined diverging light is planarly viewed from a direction perpendicular to the plane including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. The optical module according to any one of claims 1 to 7, which becomes larger as it approaches the outer periphery of the holding surface.

The plurality of semiconductor light emitting devices include the semiconductor light emitting device that emits red light, the semiconductor light emitting device that emits green light, and the semiconductor light emitting device that emits blue light.
The filter includes a first filter and a second filter different from the first filter,
The first filter and the second filter combine the light emitted from the semiconductor light emitting element that emits red light, the semiconductor light emitting element that emits green light, and the semiconductor light emitting element that emits blue light. The optical module according to any one of claims 1 to 8, which waves.

The plurality of semiconductor light emitting devices include a plurality of the semiconductor light emitting devices emitting light having different polarization directions at the same wavelength,
The optical module according to any one of claims 1 to 9, wherein the filter combines lights of different polarization directions emitted from a plurality of the semiconductor light emitting elements.

The optical module according to any one of claims 1 to 10, wherein the semiconductor light emitting element is a laser diode.

The optical module according to any one of claims 1 to 11, further comprising: a protection member arranged to have an exit window for transmitting light from the light forming portion and surrounding the light forming portion. .

The optical module according to claim 12, further comprising: a lens disposed at the exit window to convert a spot size of the combined diverging light.

The light module according to claim 13, wherein the lens is a collimating lens.