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JP2019043015A - Scribing wheel - Google Patents

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JP2019043015A JP2017167697A JP2017167697A JP2019043015A JP 2019043015 A JP2019043015 A JP 2019043015A JP 2017167697 A JP2017167697 A JP 2017167697A JP 2017167697 A JP2017167697 A JP 2017167697A JP 2019043015 A JP2019043015 A JP 2019043015A
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Abstract

【課題】基板にスクライブラインを良好に形成することが可能であり且つ長寿命のスクライビングホイールを提供する。【解決手段】スクライビングホイール100は、外周縁に沿って形成された複数の刃部101と、周方向に隣り合う刃部101の間に設けられ中心軸L0側に凹んだ複数の溝部102と、を備える。溝部102は周方向の中央部に、中心軸L0に向かう切れ込み部102aが形成されており、少なくとも切れ込み部102aの最深部102bは基板20に接触しない深さとされている。また、中心軸L0に平行な方向に見て、溝部102における切れ込み部102aの最深部102bまでの深さは、7〜10μmの範囲である。【選択図】図7An object of the present invention is to provide a scribing wheel capable of forming a scribe line on a substrate satisfactorily and having a long life. A scribing wheel includes: a plurality of blades formed along an outer peripheral edge; Is provided. The groove 102 has a notch 102a formed at the center in the circumferential direction toward the central axis L0. When viewed in a direction parallel to the central axis L0, the depth of the groove portion 102 to the deepest portion 102b of the cut portion 102a is in a range of 7 to 10 μm. [Selection diagram] FIG.

Description

本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールに関する。   The present invention relates to a scribing wheel for forming a scribe line on a brittle material substrate such as a glass substrate.

ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板を分断するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールが基板表面に押し付けられつつ所定のラインに沿って移動される。これにより、スクライビングホイールが基板表面を転動し、スクライブラインが形成される。   The division of a brittle material substrate such as a glass substrate is performed by a scribing step of forming a scribe line on the surface of the substrate and a breaking step of dividing the substrate along the formed scribe line. In the scribing step, the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the substrate surface. Thereby, the scribing wheel rolls on the substrate surface to form a scribe line.

以下の特許文献1には、外周稜線に複数の溝が所定ピッチで形成されたスクライビングホイールが記載されている。この構成のスクライビングホイールを用いることにより、基板にスクライブ開始直後から確実に垂直クラックを形成できるとともに、深い垂直クラックを形成することができる。   Patent Document 1 below describes a scribing wheel in which a plurality of grooves are formed at a predetermined pitch on an outer peripheral ridge line. By using the scribing wheel having this configuration, it is possible to reliably form vertical cracks in the substrate immediately after the start of scribing and to form deep vertical cracks.

特開平09−188534号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 09-188534

特許文献1に記載されているスクライビングホイールは、上記の構成により、基板表面に、所定ピッチで間欠的に打痕が形成され、打痕直下に形成された垂直クラックが繋がることによって、スクライブラインが形成される。しかし、特許文献1に記載されているスクライビングホイールであっても、使用期間の経過に伴い劣化する。とくに、基板に接触する刃部は、他の部位よりも摩耗が進行し、使用開始時のような深い垂直クラックを基板に形成し難くなる。   In the scribing wheel described in Patent Document 1, a scribing line is formed by forming pits intermittently at a predetermined pitch on the substrate surface and connecting vertical cracks formed immediately under the pits according to the above configuration. It is formed. However, even the scribing wheel described in Patent Document 1 degrades as the period of use elapses. In particular, the blade portion in contact with the substrate wears more than other portions, and it becomes difficult to form a deep vertical crack in the substrate as in use.

かかる課題に鑑み、本発明は、基板表面にスクライブラインを良好に形成することが可能であり且つ長寿命のスクライビングホイールを提供することを目的とする。   In view of such problems, it is an object of the present invention to provide a scribing wheel capable of favorably forming a scribe line on a substrate surface and having a long life.

本発明の主たる態様は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールに関する。この態様に係るスクライビングホイールは、外周縁に沿って形成された複数の刃部と、周方向に隣り合う前記刃部の間に設けられ中心軸側に凹んだ複数の溝部と、を備える。ここで、前記溝部は、前記周方向の中央部に、前記中心軸に向かう切れ込み部が形成されており、少なくとも前記切れ込み部の最深部は前記基板に接触しない深さとされる。   The main aspect of the present invention relates to a scribing wheel for forming a scribing line on a substrate. The scribing wheel according to this aspect includes a plurality of blade portions formed along the outer peripheral edge, and a plurality of groove portions provided between the adjacent blade portions in the circumferential direction and recessed toward the central axis. Here, the groove has a cut toward the central axis at the center in the circumferential direction, and at least the deepest portion of the cut has a depth not to contact the substrate.

本態様に係るスクライビングホイールによれば、スクライビングホイールが基板表面を転動する際に、刃部付近の部分が基板に食い込んで、基板表面に打痕が形成される。刃部の摩耗が進行すると、中心軸に平行な方向に見て、刃部は基板に接触する部分から徐々に中心軸側に削れていき、平坦になっていく。このように、刃部の形状が変化し、刃部は基板に食い込み難くなる。これに対し、上記構成のスクライビングホイールは、溝部に切れ込み部が形成されている、つまり、溝部の深さがより深くなるよう形成されているため、刃部の摩耗が進行しても、基板に食い込むことが可能な刃部が維持される。よって、スクライビングホイールは、基板に良好なスクライブラインを形成することができ、基板を分断することが可能となる。したがって、本態様に係るスクライビングホイールであれば、長寿命のスクライビングホイールを構成し得る。   According to the scribing wheel according to this aspect, when the scribing wheel rolls on the substrate surface, a portion in the vicinity of the blade portion bites into the substrate to form a dent on the substrate surface. As the wear of the blade progresses, the blade gradually scrapes toward the central axis from the portion in contact with the substrate as seen in the direction parallel to the central axis, and becomes flat. Thus, the shape of the blade portion changes, and the blade portion hardly bites into the substrate. On the other hand, in the scribing wheel having the above-described structure, since the cut portion is formed in the groove portion, that is, the groove portion is formed to be deeper, even if the wear of the blade portion progresses, A blade that can bite is maintained. Therefore, the scribing wheel can form a good scribe line on the substrate, and can separate the substrate. Therefore, with the scribing wheel according to this aspect, a long-life scribing wheel can be configured.

本態様に係るスクライビングホイールにおいて、前記中心軸に平行な方向に見て、前記溝部における前記切れ込み部の前記最深部までの深さは、7〜10μmの範囲となるよう構成され得る。この範囲であれば、刃部の摩耗が進行しても、刃部は基板に食い込むことができ、スクライビングホイールは基板に良好なスクライブラインを形成し得る。したがって、長寿命のスクライビングホイールを構成し得る。   In the scribing wheel according to the present aspect, when viewed in a direction parallel to the central axis, a depth to the deepest portion of the cut portion in the groove may be configured to be in a range of 7 to 10 μm. Within this range, even if the wear of the blade progresses, the blade can bite into the substrate, and the scribing wheel can form a good scribe line on the substrate. Thus, a long-lived scribing wheel can be configured.

本態様に係るスクライビングホイールにおいて、前記切れ込み部の前記周方向において前記中心軸から遠い部分は、前記溝部の前記周方向の幅の20〜50%の範囲となるよう構成され得る。この範囲であれば、刃部の形状を維持したまま、刃部は摩耗していく。このため、刃部の摩耗が進行しても、刃部は基板に食い込むことができ、スクライビングホイールは基板に良好なスクライブラインを形成し得る。したがって、長寿命のスクライビングホイールを構成し得る。   In the scribing wheel according to the present aspect, a portion far from the central axis in the circumferential direction of the cut portion may be configured to be in a range of 20 to 50% of a width of the circumferential direction of the groove portion. If it is this range, a blade part will wear, maintaining the shape of a blade part. Therefore, even if the wear of the blade portion progresses, the blade portion can bite into the substrate, and the scribing wheel can form a good scribe line on the substrate. Thus, a long-lived scribing wheel can be configured.

本態様に係るスクライビングホイールにおいて、前記溝部は、前記中心軸に平行な方向に見て、前記最深部に対して前記周方向の両側の部分が、前記中心軸から離れる方向に凸の形状となるよう構成され得る。   In the scribing wheel according to this aspect, when viewed in a direction parallel to the central axis, the groove has a convex shape in a direction away from the central axis with respect to the deepest portion in the both sides in the circumferential direction. Can be configured as follows.

これにより、基板に食い込む刃部の範囲が周方向に広くなる。このため、基板に形成される打痕の間隔が狭くなり、打痕位置に形成された垂直クラックが繋がり易くなる。また、刃部付近の基板に食い込む部分の体積が大きくなるため、打痕位置において、垂直クラックをより深く伸展させることができる。よって、刃部の摩耗が進行しても、スクライビングホイールは基板に垂直クラックをより深く且つ良好に形成することができる。   Thereby, the range of the blade portion biting into the substrate becomes wider in the circumferential direction. For this reason, the interval between the indentations formed on the substrate is narrowed, and the vertical cracks formed at the indentations are easily connected. In addition, since the volume of the portion biting into the substrate in the vicinity of the blade increases, the vertical crack can be extended deeper at the position of the dent. Therefore, even if the wear of the blade portion progresses, the scribing wheel can form a vertical crack in the substrate deeper and better.

本態様に係るスクライビングホイールは、前記周方向に隣り合う前記溝部の間に、前記周方向に沿って延びる前記刃部の稜線が存在するよう構成され得る。こうすると、周方向において刃部が所定の幅を持つため、基板に食い込む刃部付近の部分の体積がより大きくなる。よって、刃部の摩耗が進行しても、基板により深く垂直クラックを形成できる。   The scribing wheel according to the aspect may be configured such that ridge lines of the blade extending along the circumferential direction exist between the grooves adjacent in the circumferential direction. In this case, since the blade portion has a predetermined width in the circumferential direction, the volume of the portion in the vicinity of the blade portion biting into the substrate becomes larger. Therefore, even if the wear of the blade portion progresses, the vertical crack can be formed deeper in the substrate.

本態様に係るスクライビングホイールにおいて、前記溝部は、前記周方向に見て前記中心軸から離れる方向に凸の曲面からなり、前記溝部の前記周方向の境界から、前記切れ込み部の前記中心軸から遠い部分に向かって前記曲面の曲率半径が徐々に大きくなるよう構成され得る。この構成によれば、溝部がスクライビングホイールの中心軸から離れる方向に凸の曲面からなっているため、スクライビングホイールが転動して溝部が基板に向き合ったときに、溝部内の鋭い稜線が基板に深く食い込むようなことがない。このため、溝部が基板に当接することによりカレットが発生することを抑制できる。   In the scribing wheel according to this aspect, the groove is a curved surface that is convex in a direction away from the central axis when viewed in the circumferential direction, and is far from the central axis of the cut from the boundary in the circumferential direction of the groove. The radius of curvature of the curved surface may be configured to gradually increase toward the portion. According to this configuration, the groove is formed of a convex curved surface in a direction away from the central axis of the scribing wheel, so that when the scribing wheel rolls and the groove faces the substrate, the sharp ridges in the groove contact the substrate There is no such thing as digging deeply. For this reason, it can suppress that a cullet generate | occur | produces because a groove part contact | abuts to a board | substrate.

以上のとおり、本発明によれば、基板表面にスクライブラインを良好に形成することが可能であり且つ長寿命のスクライビングホイールを提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribing wheel capable of forming a scribe line well on the substrate surface and having a long life.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の1つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。   The effects and significances of the present invention will become more apparent from the description of the embodiments shown below. However, the embodiments shown below are merely one example when implementing the present invention, and the present invention is not limited at all to those described in the following embodiments.

図1(a)、(b)は、それぞれ、参考例に係るスクライビングホイールを模式的に示す側面図および正面図である。図1(c)は、参考例に係るスクライビングホイールの外周付近の一部を拡大して示す図である。1 (a) and 1 (b) are respectively a side view and a front view schematically showing a scribing wheel according to a reference example. FIG.1 (c) is a figure which expands and shows a part of outer periphery vicinity of the scribing wheel which concerns on a reference example. 図2(a)は、参考例に係るスクライビングホイールを刃部の位置において中心軸に平行な平面で径方向に切断した断面図である。図2(b)、(c)は、それぞれ、参考例に係るスクライビングホイールを溝部の位置において中心軸に平行な平面で径方向に切断した断面図である。Fig.2 (a) is sectional drawing which cut | disconnected the scribing wheel which concerns on a reference example in radial direction by the plane parallel to a central axis in the position of a blade part. FIGS. 2 (b) and 2 (c) are cross-sectional views in which the scribing wheel according to the reference example is cut in the radial direction on a plane parallel to the central axis at the position of the groove. 図3(a)は、参考例に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を説明するための図である。図3(b)は、参考例に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。図3(c)は、図3(b)とは異なる形状の参考例に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。Fig.3 (a) is a figure for demonstrating the shape when the groove part of the scribing wheel which concerns on a reference example is seen in the direction parallel to a central axis. FIG.3 (b) is a figure which shows typically the shape when the groove part of the scribing wheel which concerns on a reference example is seen in the direction parallel to a central axis. FIG.3 (c) is a figure which shows typically a shape when the groove part of the scribing wheel which concerns on the reference example different from FIG.3 (b) is seen in the direction parallel to a central axis. 図4(a)は、参考例に係るスクライビングホイールの刃部が基板に対向したときの垂直クラックの形成状態を模式的に示す図である。図4(b)、(c)は、それぞれ、参考例に係るスクライビングホイールの溝部が基板に対向したときの垂直クラックの形成状態を模式的に示す図である。FIG. 4A is a view schematically showing a formation state of a vertical crack when the blade portion of the scribing wheel according to the reference example faces the substrate. FIGS. 4 (b) and 4 (c) are views schematically showing the formation of vertical cracks when the groove of the scribing wheel according to the reference example faces the substrate. 図5(a)は、参考例に係るスクライビングホイールを基板に圧接させる前の状態を模式的に示す図である。図5(b)は、参考例に係るスクライビングホイールが基板に圧接された状態を模式的に示す図である。図5(c)は、比較例に係るスクライビングホイールを基板に圧接させる前の状態を模式的に示す図である。図5(d)は、比較例に係るスクライビングホイールが基板に圧接された状態を模式的に示す図である。Fig.5 (a) is a figure which shows typically the state before pressing the scribing wheel which concerns on a reference example on a board | substrate. FIG. 5B is a view schematically showing a state in which the scribing wheel according to the reference example is in pressure contact with the substrate. FIG.5 (c) is a figure which shows typically the state before pressing the scribing wheel which concerns on a comparative example on a board | substrate. FIG. 5D is a view schematically showing a state in which the scribing wheel according to the comparative example is in pressure contact with the substrate. 図6は、参考例に係るスクライビングホイールの刃部が摩耗した場合、スクライビングホイールを基板に圧接した状態を模式的に示す図である。FIG. 6 is a view schematically showing a state in which the scribing wheel is in pressure contact with the substrate when the blade portion of the scribing wheel according to the reference example is worn. 図7(a)は、実施の形態に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を説明するための図である。図7(b)は、実施の形態に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。図7(c)は、実施の形態に係る、実際に製造されたスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。Fig.7 (a) is a figure for demonstrating the shape when the groove part of the scribing wheel which concerns on embodiment is seen in the direction parallel to a central axis. FIG.7 (b) is a figure which shows typically the shape when the groove part of the scribing wheel which concerns on embodiment is seen in the direction parallel to a central axis. FIG.7 (c) is a figure which shows typically the shape when the groove part of the actually manufactured scribing wheel based on embodiment is seen in the direction parallel to a central axis. 図8(a)〜(c)は、実施例に係るスクライビングホイールの基板への食い込みの深さを測定した結果を示した模式図である。図8(d)は、比較例に係るスクライビングホイールの基板への食い込みの深さを測定した結果を示した模式図である。Fig.8 (a)-(c) is the schematic diagram which showed the result of having measured the depth of the biting to the board | substrate of the scribing wheel which concerns on an Example. FIG. 8D is a schematic view showing the measurement result of the depth of biting into the substrate of the scribing wheel according to the comparative example.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸が付記されている。Z軸は、スクライビングホイールの中心軸に平行である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each of the drawings, for convenience, an X-axis, a Y-axis, and a Z-axis orthogonal to each other are added. The Z-axis is parallel to the central axis of the scribing wheel.

まず、本発明の実施の形態を説明するにあたり、前提となる構成を備えた参考例に係るスクライビングホイール10について図1〜6を参照して説明する。   First, in describing the embodiment of the present invention, a scribing wheel 10 according to a reference example having a premised configuration will be described with reference to FIGS.

図1(a)、(b)は、それぞれ、スクライビングホイール10の構成を模式的に示す側面図および正面図である。図1(c)は、スクライビングホイール10の外周付近の一部を拡大して示す図である。   FIGS. 1A and 1B are a side view and a front view schematically showing the configuration of the scribing wheel 10, respectively. FIG. 1C is an enlarged view of a part around the outer periphery of the scribing wheel 10.

スクライビングホイール10は、外周部両側のエッジを斜めに切り落とした円板形状を有する。スクライビングホイール10の外周部には、側面視において、互いに異なる方向に傾斜した2つの傾斜面10aが形成されている。2つの傾斜面10aが交差することにより、複数の刃部11が形成され、さらに、周方向に隣り合う刃部11の間に、中心軸L0側に凹んだ溝部12が形成されている。周方向における各刃部11の長さは互いに等しい。また、周方向における各溝部12の長さも互いに等しい。したがって、周方向における刃部11のピッチは一定であり、また、周方向における溝部12のピッチも一定である。   The scribing wheel 10 has a disk shape in which the edges on both sides of the outer peripheral portion are cut off obliquely. In the outer peripheral portion of the scribing wheel 10, two inclined surfaces 10a inclined in different directions are formed in a side view. A plurality of blade portions 11 are formed by the intersection of the two inclined surfaces 10a, and a groove 12 recessed toward the central axis L0 is formed between the blade portions 11 adjacent in the circumferential direction. The lengths of the blade portions 11 in the circumferential direction are equal to one another. In addition, the lengths of the grooves 12 in the circumferential direction are also equal to one another. Therefore, the pitch of the blade portions 11 in the circumferential direction is constant, and the pitch of the grooves 12 in the circumferential direction is also constant.

スクライビングホイール10は、超硬合金、焼結ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンドまたは多結晶ダイヤモンド等によって形成されている。スクライビングホイール10の中央には、回転軸となるシャフトが挿入される円形の孔10bが形成されている。スクライビングホイール10の直径は、1mm〜5mm程度であり、厚みは、0.4〜1mm程度である。また、刃部11の角度、すなわち、2つの傾斜面10aのなす角は、100〜160°程度であり、孔10bの直径は、0.4〜1.5mm程度である。   The scribing wheel 10 is formed of cemented carbide, sintered diamond, single crystal diamond, polycrystalline diamond or the like. At the center of the scribing wheel 10, a circular hole 10b is formed in which a shaft serving as a rotation axis is inserted. The diameter of the scribing wheel 10 is about 1 mm to 5 mm, and the thickness is about 0.4 to 1 mm. Further, the angle of the blade portion 11, that is, the angle formed by the two inclined surfaces 10a is about 100 to 160 °, and the diameter of the hole 10b is about 0.4 to 1.5 mm.

溝部12のピッチp1(1つの溝部12の周方向の長さ(L1)と1つの刃部11の周方向の長さ(L2)の和)は、たとえば、10〜100μm程度である。溝の深さd1(刃部11の稜線と溝部12の溝底部とのスクライビングホイール10の径方向の距離の差)は、たとえば1〜6μm程度である。スクライビングホイール10の外周の刃部11の稜線よりもくぼんだ領域の長さである溝部12の周方向の長さ(L1)は、たとえば3〜40μm程度である。溝部12の周方向の長さ(L1)の刃部11(隣り合う溝部12に挟まれた領域)の稜線の長さ(L2)に対する比(L1/L2)は、たとえば0.5〜5.0である。   The pitch p1 of the grooves 12 (the sum of the circumferential length L1 of one groove 12 and the circumferential length L2 of one blade 11) is, for example, about 10 to 100 μm. The depth d1 of the groove (difference in radial distance between the ridge line of the blade portion 11 and the groove bottom portion of the groove portion 12) is, for example, about 1 to 6 μm. The circumferential length (L1) of the groove 12 which is the length of the region recessed from the ridge line of the blade 11 on the outer periphery of the scribing wheel 10 is, for example, about 3 to 40 μm. The ratio (L1 / L2) of the circumferential length (L1) of the groove 12 to the ridge length (L2) of the blade 11 (region sandwiched between adjacent grooves 12) is, for example, 0.5-5. It is 0.

溝部12は、周方向に見て中心軸L0から離れる方向に凸の曲面からなっている。また、溝部12と刃部11との境界から溝部12の周方向中央の溝底部に向かってスクライビングホイール10の径方向の断面における曲率半径が徐々に大きくなっている。   The groove portion 12 is formed of a curved surface which is convex in a direction away from the central axis L0 when viewed in the circumferential direction. The radius of curvature of the radial cross section of the scribing wheel 10 gradually increases from the boundary between the groove 12 and the blade 11 toward the groove bottom in the circumferential direction of the groove 12.

図2(a)は、スクライビングホイール10を刃部11の位置において中心軸L0に平行な平面(Y−Z平面)で径方向に切断した断面図である。図2(b)、(c)は、それぞれ、スクライビングホイール10を溝部12の位置において中心軸L0に平行な平面(Y−Z平面)で径方向に切断した断面図である。図2(a)〜(c)は、それぞれ、図1(c)のA−A’位置、B−B’位置およびC−C’位置における断面図である。   FIG. 2A is a cross-sectional view in which the scribing wheel 10 is cut in a radial direction at a plane (Y-Z plane) parallel to the central axis L0 at the position of the blade portion 11. FIGS. 2 (b) and 2 (c) are cross-sectional views of the scribing wheel 10 cut in the radial direction at a plane (Y-Z plane) parallel to the central axis L0 at the position of the groove portion 12, respectively. FIGS. 2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views at positions A-A ', B-B' and C-C 'in FIG. 1 (c), respectively.

図2(a)に示すように、周方向に見たときの刃部11の断面形状は、所定角度のV字形状である。刃部11の断面形状がV字形状の角が丸められた円弧状の曲面形状と仮定しても、その曲率半径Rは2μm以下である。   As shown to Fig.2 (a), the cross-sectional shape of the blade part 11 when it sees in the circumferential direction is V shape of a predetermined angle. Assuming that the cross-sectional shape of the blade portion 11 is an arc-shaped curved surface shape in which the corner of the V shape is rounded, the radius of curvature R is 2 μm or less.

周方向の位置が刃部11から溝部12へと移行すると、周方向に見たときの溝部12の断面形状は、図2(b)に示すように、V字形状の角が丸められた円弧状の曲面形状となる。図2(b)は、周方向の位置が溝部12の肩上稜線位置にあるときのスクライビングホイールの径方向の断面図である。このときの肩上稜線位置の高さは、刃部11の稜線の高さよりもD1だけ低い。   When the position in the circumferential direction shifts from the blade portion 11 to the groove portion 12, the cross-sectional shape of the groove portion 12 when viewed in the circumferential direction is a circle in which the V-shaped corner is rounded as shown in FIG. It becomes an arc-shaped curved surface shape. FIG. 2 (b) is a radial cross-sectional view of the scribing wheel when the circumferential position is at the shoulder ridge line position of the groove 12. The height of the position on the shoulder ridge line at this time is lower than the height of the ridge line of the blade portion 11 by D1.

さらに、周方向の位置が刃部11の肩上稜線位置から刃部11中央の溝底部の位置へと移行すると、周方向に見たときの溝部12の断面形状は、図2(c)に示すように、溝部12の全範囲において最も曲率半径が大きい円弧形状となる。溝底部の高さは、刃部11の稜線の高さよりもD2だけ低い。D2は、図1(c)に示した深さd1に対応する。   Furthermore, when the position in the circumferential direction shifts from the shoulder ridge line position of the blade 11 to the position of the groove bottom in the center of the blade 11, the cross-sectional shape of the groove 12 as viewed in the circumferential direction is as shown in FIG. As shown, in the entire range of the groove portion 12, the arc has the largest curvature radius. The height of the groove bottom is lower than the height of the ridge line of the blade 11 by D2. D2 corresponds to the depth d1 shown in FIG. 1 (c).

このように、溝部12の曲面形状は、刃部11との境界から溝底部に向かうに従って徐々に曲率半径が大きくなっていく。また、溝部12の周方向の稜線は、刃部11との境界から溝底部に向かうに従って徐々に、刃部11の稜線に対して低くなっていき、スクライビングホイール10の中心軸L0に近づく方向(Y軸負方向)に後退する。溝部12は、たとえば、全周に亘って刃部11が形成されたスクライビングホイール10に対してレーザ光を用いたカッティング加工を施すことによって形成される。   As described above, in the curved surface shape of the groove 12, the radius of curvature gradually increases from the boundary with the blade 11 toward the groove bottom. In addition, the ridge line in the circumferential direction of the groove 12 gradually lowers relative to the ridge line of the blade 11 from the boundary with the blade 11 toward the groove bottom, and approaches the central axis L0 of the scribing wheel 10 ( Move backward in the Y-axis negative direction). The groove portion 12 is formed, for example, by performing a cutting process using a laser beam on the scribing wheel 10 in which the blade portion 11 is formed over the entire circumference.

図3(a)は、スクライビングホイール10の溝部12を中心軸L0に平行な方向に見たときの形状を説明するための図である。図3(b)は、スクライビングホイール10の溝部12を中心軸L0に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。   FIG. 3A is a view for explaining the shape when the groove 12 of the scribing wheel 10 is viewed in the direction parallel to the central axis L0. FIG. 3B is a view schematically showing the shape of the groove 12 of the scribing wheel 10 as viewed in a direction parallel to the central axis L0.

図3(a)、(b)に示すように、隣り合う刃部11の間に、周方向の幅がW1の溝部12が形成されている。溝部12は、中心軸L0に平行な方向(Z軸方向)に見て、溝底部12aに対して周方向の両側の部分が、中心軸L0から離れる方向に凸の形状となっている。ここでは、溝底部12aに対して周方向の両側の部分が、中心軸L0から離れる方向に凸の曲線形状となっている。また、この曲線形状の曲率が、溝部12の周方向の端部から溝底部12aに向かって大きくなっている。すなわち、溝底部12a両側の部分の溝部12の稜線と、刃部11の境界位置P3、P4付近の稜線とのなす角θ1、θ2は、溝底部12aに向かうに従って大きくなっている。また、中心軸L0に平行な方向に見て、溝部12の刃部11側の端部は、境界位置P3、P4において、刃部11に所定の角度で屈曲状に繋がっている。   As shown in FIGS. 3A and 3B, a groove 12 having a circumferential width W1 is formed between the adjacent blade portions 11. As shown in FIG. When viewed in the direction (Z-axis direction) parallel to the central axis L0, the groove 12 has a convex shape in the direction away from the central axis L0 on both sides in the circumferential direction with respect to the groove bottom 12a. Here, portions on both sides in the circumferential direction with respect to the groove bottom 12a have a curved shape that is convex in the direction away from the central axis L0. Further, the curvature of this curved shape is increased from the circumferential end of the groove 12 toward the groove bottom 12 a. That is, the angles θ1 and θ2 formed by the ridges of the groove 12 on both sides of the groove bottom 12a and the ridges near the boundary positions P3 and P4 of the blade 11 increase in the direction toward the groove bottom 12a. Further, when viewed in a direction parallel to the central axis L0, the end of the groove 12 on the blade 11 side is connected to the blade 11 in a bent shape at a predetermined angle at boundary positions P3 and P4.

溝底部12a両側の部分の境界位置P3、P4付近の稜線にX−Y平面に平行な接線Ln1、Ln2を設定すると、接線Ln1、Ln2の交点の位置P2は、溝底部12aの位置P1よりも中心軸L0から離れる。すなわち、刃部11の稜線と位置P2との間の径方向の距離d12は、刃部11の稜線と位置P1との間の径方向の距離d11よりも小さい。   When tangents Ln1 and Ln2 parallel to the X-Y plane are set in the ridgeline near the boundary positions P3 and P4 on both sides of the groove bottom 12a, the position P2 of the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 is higher than the position P1 Away from the central axis L0. That is, the radial distance d12 between the ridge line of the blade 11 and the position P2 is smaller than the radial distance d11 between the ridge line of the blade 11 and the position P1.

図3(c)は、図3(b)と比較して、溝底部12aの両側の部分が中心軸L0から離れる方向により凸状に丸みを帯びた形状である場合の溝部12の形状を模式的に示す図である。   FIG. 3C schematically shows the shape of the groove 12 when the portions on both sides of the groove bottom 12a are rounded in a convex shape in the direction away from the central axis L0 as compared to FIG. 3B. FIG.

ここでは、境界位置P3、P4における外周形状も、図3(b)のような急峻に屈曲した形状ではなく、図3(c)に示すように、丸みを帯びた形状となっている。この場合、図3(a)と比較して、接線Ln1、Ln2の交点の位置P2と溝底部12aの位置P1との距離、すなわちd11とd12との差はより大きくなる。   Here, the outer peripheral shape at the boundary positions P3 and P4 is not a shape bent sharply as shown in FIG. 3 (b) but a rounded shape as shown in FIG. 3 (c). In this case, the distance between the position P2 of the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 and the position P1 of the groove bottom 12a, that is, the difference between d11 and d12 is larger than in FIG. 3A.

次に、スクライブ動作時において、スクライビングホイール10が基板20の表面を転動するときの刃部11および溝部12の作用について説明する。   Next, the action of the blade portion 11 and the groove portion 12 when the scribing wheel 10 rolls on the surface of the substrate 20 in the scribing operation will be described.

図4(a)は、スクライビングホイール10の刃部11が基板20に対向したときの垂直クラック21の形成状態を模式的に示す図である。図4(b)、(c)は、それぞれ、スクライビングホイール10の溝部12が基板20に対向したときの垂直クラック21の形成状態を模式的に示す図である。   FIG. 4A is a view schematically showing the formation of the vertical cracks 21 when the blade portion 11 of the scribing wheel 10 faces the substrate 20. As shown in FIG. FIGS. 4B and 4C schematically show the formation of the vertical cracks 21 when the groove 12 of the scribing wheel 10 faces the substrate 20. FIG.

図4(a)に示すように、スクライビングホイール10の刃部11が基板20に対向すると、刃部11が基板20に食い込んで、基板20に塑性変形が生じるとともにその下方に垂直クラック21が形成される。基板20は、たとえば、厚みが1mm以下のガラス基板である。刃部11が基板20に対向している間は、刃部11による塑性変形と基板20における垂直クラック21の伸展が継続する。   As shown in FIG. 4A, when the blade portion 11 of the scribing wheel 10 faces the substrate 20, the blade portion 11 bites into the substrate 20, causing plastic deformation of the substrate 20 and forming a vertical crack 21 below it. Be done. The substrate 20 is, for example, a glass substrate having a thickness of 1 mm or less. While the blade portion 11 faces the substrate 20, plastic deformation by the blade portion 11 and extension of the vertical crack 21 on the substrate 20 continue.

その後、スクライビングホイール10の転動により、図4(b)に示すように、スクライビングホイール10の溝部12が基板20に対向するようになると、溝部12の曲率半径の変化に伴い、緩やかに溝部12が垂直クラック21から退避した状態になっていく。そして、溝部12の曲率半径が所定の大きさに到達すると、溝部12は、垂直クラック21から完全に退避した状態で基板20の上面に接するようになって、基板20の上面を押圧するのみとなる。   After that, when the groove 12 of the scribing wheel 10 comes to face the substrate 20 as shown in FIG. 4B due to the rolling of the scribing wheel 10, the groove 12 is gently changed with the change of the radius of curvature of the groove 12. Is retracted from the vertical crack 21. Then, when the radius of curvature of the groove portion 12 reaches a predetermined size, the groove portion 12 comes into contact with the upper surface of the substrate 20 in a state of being completely retracted from the vertical crack 21, and only presses the upper surface of the substrate 20. Become.

溝部12が基板20の上面を押圧する期間において、基板20は、溝部12の押圧によって、図4(c)に示すように、弾性変形する。この押圧により、刃部11によって直前に形成された垂直クラック21が伸展していく。こうして、溝部12の当接位置にも、垂直クラック21が形成される。   While the groove 12 presses the upper surface of the substrate 20, the substrate 20 is elastically deformed as shown in FIG. The vertical crack 21 formed immediately before by the blade portion 11 is extended by this pressing. Thus, the vertical crack 21 is also formed at the contact position of the groove 12.

このように、溝部12が垂直クラック21から退避した後、溝部12は、基板20の上面を押圧して、弾性変形を生じさせるとともに刃部11により形成された直前の垂直クラック21を伸展させるのみである。このため、少なくともこの期間は、塑性変形に基づくカレットの発生が少なくなる。また、溝部12の径方向の断面がスクライビングホイール10の中心軸L0から離れる方向に凸の曲面からなっており、溝部12内には鋭い稜線が形成されていないため、スクライビングホイール10が転動して溝部12が基板20に向き合ったときに、溝部12内においては鋭い稜線が基板20に食い込んで塑性変形を生じさせるようなことがない。よって、カレットの発生を効果的に抑制できる。   As described above, after the groove 12 retracts from the vertical crack 21, the groove 12 only presses the upper surface of the substrate 20 to cause elastic deformation and extend the vertical crack 21 immediately before being formed by the blade 11. It is. For this reason, generation of cullet due to plastic deformation is reduced at least in this period. Further, since the cross section in the radial direction of the groove portion 12 is a curved surface convex in the direction away from the central axis L0 of the scribing wheel 10 and no sharp ridges are formed in the groove portion 12, the scribing wheel 10 rolls. When the groove 12 faces the substrate 20, sharp ridges do not bite into the substrate 20 in the groove 12 to cause plastic deformation. Therefore, the occurrence of cullet can be effectively suppressed.

また、溝部12の径方向の断面が中心軸L0から離れる方向に凸の曲面からなっているため、基板20との接触位置が刃部11から溝部12へと移行する間に、刃部11が食い込んだ状態から溝部12が垂直クラック21から緩やかに抜けて退避した状態となり、垂直クラック21に大きな衝撃がかかることがない。よって、この期間においても、カレットの発生が抑制され得る。   Further, since the cross section in the radial direction of the groove 12 is a curved surface convex in the direction away from the central axis L0, the blade 11 is moved while the contact position with the substrate 20 shifts from the blade 11 to the groove 12. The groove 12 is gently pulled out of the vertical crack 21 and retracted from the bite state, and the vertical crack 21 is not subjected to a large impact. Therefore, the occurrence of cullet can be suppressed also in this period.

図5(a)および(b)は、上記構成のスクライビングホイール10を説明するための模式図であり、図5(a)は、スクライビングホイール10を基板20に圧接させる前の状態を示しており、図5(b)は、スクライブ動作において、スクライビングホイール10が基板20に圧接された状態を示している。図5(c)および(d)は、比較例に係るスクライビングホイール30を説明するための模式図であり、図5(c)は、スクライビングホイール30を基板20に圧接させる前の状態を示しており、図5(d)は、スクライブ動作において、スクライビングホイール30が基板20に圧接された状態を示している。   FIGS. 5 (a) and 5 (b) are schematic diagrams for explaining the scribing wheel 10 having the above-described configuration, and FIG. 5 (a) shows a state before pressing the scribing wheel 10 against the substrate 20. FIG. 5B shows a state in which the scribing wheel 10 is in pressure contact with the substrate 20 in the scribing operation. 5C and 5D are schematic views for explaining the scribing wheel 30 according to the comparative example, and FIG. 5C shows a state before pressing the scribing wheel 30 against the substrate 20. FIG. 5D shows a state in which the scribing wheel 30 is in pressure contact with the substrate 20 in the scribing operation.

図5(c)に示すように、比較例に係るスクライビングホイール30では、中心軸L0に平行な方向に見たときに、中心軸L0に向かう方向に凹むように溝部32が形成され、隣り合う溝部32の間に刃部31が形成されている。このとき、溝部32の両側の部分の刃部31との境界位置P3、P4付近の稜線にX−Y平面に平行な接線Ln1、Ln2を設定すると、接線Ln1、Ln2の交点の位置P2は、溝底部32aの位置P1よりも中心軸L0に近づくこととなる。すなわち、刃部31の稜線と位置P2との間の径方向の距離d12は、刃部31の稜線と位置P1との間の径方向の距離d11よりも大きくなる。刃部31の形状は、上記参考例のスクライビングホイール10の刃部11と同様である。また、溝部32の径方向に平行な断面は、上記と同様、中心軸L0から離れる方向に凸の曲面となっている。したがって、周方向に見たときの溝部32の曲率半径は、溝部32の溝底部32aに向かうに従って大きくなっている。   As shown in FIG. 5C, in the scribing wheel 30 according to the comparative example, when viewed in the direction parallel to the central axis L0, the groove portions 32 are formed so as to be recessed in the direction toward the central axis L0 The blade portion 31 is formed between the groove portions 32. At this time, if tangents Ln1 and Ln2 parallel to the X-Y plane are set at ridges near the boundary positions P3 and P4 with the blade 31 at both sides of the groove 32, the position P2 of the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 is The central axis L0 is closer than the position P1 of the groove bottom 32a. That is, the radial distance d12 between the ridge line of the blade 31 and the position P2 is larger than the radial distance d11 between the ridge line of the blade 31 and the position P1. The shape of the blade portion 31 is the same as that of the blade portion 11 of the scribing wheel 10 of the reference example. Moreover, the cross section parallel to the radial direction of the groove part 32 becomes a convex curved surface in the direction away from the central axis L0 similarly to the above. Therefore, the radius of curvature of the groove 32 as viewed in the circumferential direction increases as it goes to the groove bottom 32 a of the groove 32.

また、図5(d)に示すように、比較例に係るスクライビングホイール30では、溝部32の溝底部32aに対して周方向の両側の部分が中心軸L0に向かう方向に凹んだ形状であるため、基板20に食い込む部分V1が、刃部31とその前後に続く溝部32の一部に制限され、また、基板20に食い込む部分V1の間隔G1が広くなっている。   Further, as shown in FIG. 5D, in the scribing wheel 30 according to the comparative example, portions on both sides in the circumferential direction with respect to the groove bottom portion 32a of the groove portion 32 are recessed in the direction toward the central axis L0. The portion V1 which bites into the substrate 20 is limited to the blade portion 31 and a part of the groove 32 continuing in the front and back direction, and the interval G1 of the portion V1 which bites into the substrate 20 is wide.

これに対し、参考例に係るスクライビングホイール10では、図5(a)および(b)に示すように、溝部12の溝底部12aに対して周方向の両側の部分が中心軸L0から離れる方向に凸の形状であるため、基板20に食い込む部分V0が、溝底部12a付近を除く範囲に広がっており、また、基板20に食い込む部分V0の間隔G0が狭くなっている。   On the other hand, in the scribing wheel 10 according to the reference example, as shown in FIGS. 5A and 5B, the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the groove bottom 12a of the groove 12 move away from the central axis L0. Because of the convex shape, the portion V0 which bites into the substrate 20 extends in a range excluding the vicinity of the groove bottom 12a, and the interval G0 of the portion V0 which bites into the substrate 20 is narrow.

このように、参考例に係るスクライビングホイール10は、比較例に係るスクライビングホイール30に比べて、基板20に食い込む部分V0の体積が顕著に大きくなり、且つ、基板20に食い込む部分V0の間隔G0が顕著に狭くなっている。基板20に食い込む部分の体積が大きいほど、基板20に大きな塑性変形が生じ、その下方により深い垂直クラック21が形成される。また、基板20に食い込む部分の間隔が狭いほど、塑性変形により生じた垂直クラック21が繋がり易くなり、スクライブラインがより良好に形成される。   As described above, in the scribing wheel 10 according to the reference example, the volume of the portion V0 biting into the substrate 20 is significantly larger than that of the scribing wheel 30 according to the comparative example, and the interval G0 of the portion V0 biting into the substrate 20 is It has become significantly narrower. As the volume of the portion biting into the substrate 20 is larger, the substrate 20 is more plastically deformed, and a deeper vertical crack 21 is formed below it. Further, as the distance between the portions biting into the substrate 20 is smaller, the vertical cracks 21 generated by the plastic deformation are more likely to be connected, and the scribe line is formed more favorably.

したがって、参考例に係るスクライビングホイール10によれば、比較例に係るスクライビングホイール30よりも、打痕位置すなわち刃部11が食い込む位置の直下により深い垂直クラック21を形成でき、且つ、それぞれの刃部11の下方に形成された垂直クラック21が相互に繋がり易くなる。よって、参考例に係るスクライビングホイール10によれば、より良好なスクライブラインを形成できる。   Therefore, according to the scribing wheel 10 according to the reference example, it is possible to form a vertical crack 21 deeper than the scribing wheel 30 according to the comparative example directly below the dented position, that is, the position where the blade 11 bites. The vertical cracks 21 formed below 11 can be easily connected to each other. Therefore, according to the scribing wheel 10 according to the reference example, a better scribing line can be formed.

なお、参考例に係るスクライビングホイール10では、基板20に食い込む部分V0の体積が、比較例に係るスクライビングホイール30に比べて大きくなるため、比較例に比べて刃部11が基板20に食い込みにくくなると考えられる。このため、参考例に係るスクライビングホイール10では、上記のように、打痕位置の直下により深く垂直クラック21を伸展させることができるものの、刃部11を基板20に食い込ませるための荷重が大きくなることが考えられ得る。   In the scribing wheel 10 according to the reference example, the volume of the portion V0 biting into the substrate 20 is larger than that of the scribing wheel 30 according to the comparative example, and therefore the blade portion 11 is less likely to bite into the substrate 20 compared to the comparative example. Conceivable. For this reason, in the scribing wheel 10 according to the reference example, as described above, although the vertical crack 21 can be extended deeper immediately below the dented position, the load for causing the blade portion 11 to bite into the substrate 20 becomes large. It can be considered.

そこで、発明者らは、参考例に係るスクライビングホイール10と、比較例に係るスクライビングホイール30とについて、基板20にリブマークを形成するのに必要な荷重を実験により計測した。実験では、基板20として、厚さ0.5mmのガラス基板を用いた。スクライブ速度は、100mm/秒とした。中心軸L0の方向に見たときの溝部12の形状以外の構成は、スクライビングホイール10とスクライビングホイール30とで同じとした。ここでは、参考例に係るスクライビングホイール10と、比較例に係るスクライビングホイール30とについて、スクライブラインを形成するごとに荷重を変化させて、基板20にリブマークを形成することができ、かつスクライブ品質が良好な荷重の範囲を確認した。   Then, inventors measured the load required in order to form a rib mark in the board | substrate 20 by experiment about the scribing wheel 10 which concerns on a reference example, and the scribing wheel 30 which concerns on a comparative example. In the experiment, a glass substrate of 0.5 mm in thickness was used as the substrate 20. The scribing speed was 100 mm / sec. The configurations other than the shape of the groove portion 12 when viewed in the direction of the central axis L0 are the same for the scribing wheel 10 and the scribing wheel 30. Here, with respect to the scribing wheel 10 according to the reference example and the scribing wheel 30 according to the comparative example, the load can be changed each time a scribe line is formed, rib marks can be formed on the substrate 20, and the scribing quality is The range of good load was confirmed.

検証結果として、比較例に係るスクライビングホイール30を用いた場合にリブマークが形成され、スクライブ品質が良好な荷重は7.0〜16.0Nであったのに対し、参考例に係るスクライビングホイール10を用いた場合にリブマークが形成され、スクライブ品質が良好な荷重は5.0〜15.0Nであった。このように、参考例に係るスクライビングホイール10を用いることによって、比較例よりも低荷重で基板20に垂直クラック21を形成できることが確認できた。よって、参考例に係るスクライビングホイール10を用いることにより、より低荷重でも良好なスクライブラインを形成できることが確認できた。   As a verification result, when the scribing wheel 30 according to the comparative example is used, a rib mark is formed, and the load with a good scribing quality is 7.0 to 16.0 N, while the scribing wheel 10 according to the reference example is used. When used, rib marks were formed, and the load with good scribing quality was 5.0 to 15.0 N. As described above, it was confirmed that the vertical cracks 21 can be formed on the substrate 20 with a lower load than the comparative example by using the scribing wheel 10 according to the reference example. Therefore, it has been confirmed that, by using the scribing wheel 10 according to the reference example, it is possible to form a good scribe line even under a lower load.

しかし、このような優れた構成のスクライビングホイール10であっても、使用するうちに、スクライビングホイール10全体が劣化する。とくに、スクライビングホイール10の基板20に接触する刃部11の摩耗により、基板20に良好なスクライブラインを形成し難くなる。   However, even with the scribing wheel 10 having such an excellent configuration, the entire scribing wheel 10 is deteriorated while being used. In particular, wear of the blade portion 11 in contact with the substrate 20 of the scribing wheel 10 makes it difficult to form a good scribe line on the substrate 20.

図6は、参考例に係るスクライビングホイール10が摩耗した場合、基板20に圧接された状態を模式的に示す図である。   FIG. 6 is a view schematically showing a state in which the scribing wheel 10 according to the reference example is in pressure contact with the substrate 20 when the scribing wheel 10 is worn.

スクライビングホイール10の刃部11は、当初、図5(a)および(b)にて示されるような形状であったが、スクライビングホイール10の使用期間の経過に伴い、刃部11の中心軸L0から離れる部分、つまり、基板20に接触する部分から摩耗が進行し、刃部11の基板20に接触する部分が徐々に削れていき、平坦な形状に変化する。図6に示すように、摩耗が進行した刃部11を基板20に圧接させると、図5(b)の場合と比較して、溝部20の領域が基板20に食い込み、中心軸L0に平行な方向に見て、基板20と溝部12の溝底部12aとが近づく。刃部11の摩耗がさらに進行すると、刃部11が削れた分、スクライビングホイール10は、溝部12の領域まで基板20に食い込む。このため、大きく摩耗が進行したスクライビングホイール10は、基板20に良好なスクライブラインを形成し難くなる。   At first, the blade portion 11 of the scribing wheel 10 had a shape as shown in FIGS. 5A and 5B. However, along with the use period of the scribing wheel 10, the central axis L0 of the blade portion 11 The wear progresses from the part away from the part, that is, the part in contact with the substrate 20, and the part in contact with the substrate 20 of the blade portion 11 is gradually scraped and changes to a flat shape. As shown in FIG. 6, when the blade portion 11 in which wear has progressed is pressed against the substrate 20, the region of the groove portion 20 bites into the substrate 20 and is parallel to the central axis L0, as compared with the case of FIG. When viewed in the direction, the substrate 20 and the groove bottom 12 a of the groove 12 approach each other. As the wear of the blade portion 11 further progresses, the scribing wheel 10 bites into the substrate 20 to the area of the groove portion 12 as much as the blade portion 11 is scraped. For this reason, the scribing wheel 10 in which the wear has largely progressed makes it difficult to form a good scribe line on the substrate 20.

このように、参考例に係るスクライビングホイール10は、比較例に係るスクライビングホイール30よりも良好なスクライブラインを形成するものの、刃部11が大きく摩耗することにより、所望のスクライブラインを形成できなくなる。   As described above, although the scribing wheel 10 according to the reference example forms a scribing line better than that of the scribing wheel 30 according to the comparative example, the blade 11 is largely worn away, and thus the desired scribing line can not be formed.

そこで、本発明者らは、参考例に係るスクライビングホイール10に対し、刃部11が摩耗した場合でも、より長期間、使用可能なスクライビングホイールを検討した。以下、そのようなスクライビングホイールの形状について説明する。なお、本発明の実施の形態に係るスクライビングホイールは、上記の参考例に係るスクライビングホイール10をベースとした構成である。そのため、スクライビングホイール10と同一の構成は説明を省略するが、スクライビングホイール10と区別するため、符号を変えて説明する。また、スクライビングホイール10に奏する効果は、実施の形態に係るスクライビングホイール100にも同様に奏する。   Therefore, the inventors examined a scribing wheel that can be used for a longer period of time, even when the blade portion 11 wears, as compared with the scribing wheel 10 according to the reference example. Hereinafter, the shape of such a scribing wheel will be described. In addition, the scribing wheel which concerns on embodiment of this invention is the structure based on the scribing wheel 10 which concerns on said reference example. Therefore, although the description of the same configuration as that of the scribing wheel 10 is omitted, in order to distinguish it from the scribing wheel 10, the reference numerals are changed and described. Further, the effect exerted on the scribing wheel 10 is exerted similarly on the scribing wheel 100 according to the embodiment.

図7(a)は、実施の形態に係るスクライビングホイール100の溝部102を中心軸に平行な方向に見たときの形状を説明するための図である。図7(b)は、実施の形態に係るスクライビングホイール100の溝部102を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。   Fig.7 (a) is a figure for demonstrating the shape when the groove part 102 of the scribing wheel 100 which concerns on embodiment is seen in the direction parallel to a central axis. FIG.7 (b) is a figure which shows typically the shape when the groove part 102 of the scribing wheel 100 which concerns on embodiment is seen in the direction parallel to a central axis.

図7(a)において、スクライビングホイール100、刃部101、および溝部102は、図3(a)で示した、スクライビングホイール10、刃部11、および溝部12にそれぞれ相当する。P5、d13、およびd14以外の記号は、図3(a)で説明したものと同様である。   In FIG. 7A, the scribing wheel 100, the blade portion 101, and the groove portion 102 correspond to the scribing wheel 10, the blade portion 11, and the groove portion 12 shown in FIG. 3A, respectively. The symbols other than P5, d13, and d14 are the same as those described in FIG.

図7(a)に示すように、スクライビングホイール100の溝部102には、参考例に係るスクライビングホイール10において溝底部12aに相当する位置であるP1から、中心軸L0に向かって深い溝が設けられる。このように、スクライビングホイール100の溝部102には、中心軸L0に向かって切れ込み部102aが形成される。図7(a)において、切れ込み部102aの最深部、つまり、溝部102の最深部102bに相当する位置は、位置P5である。刃部101の稜線と位置P5との間の径方向の距離は、距離d13に相当する。このとき、スクライビングホイール100の切れ込み部102aの周方向における中心軸L0から遠い部分の幅は、図7(a)の距離d14に相当する。つまり、距離d14は、溝部102において切れ込み部102aを形成する箇所の距離であり、P2を通る部分である。   As shown in FIG. 7A, the groove portion 102 of the scribing wheel 100 is provided with a deep groove toward the central axis L0 from the position P1 corresponding to the groove bottom portion 12a in the scribing wheel 10 according to the reference example. . As described above, in the groove portion 102 of the scribing wheel 100, the cut portion 102a is formed toward the central axis L0. In FIG. 7A, the deepest portion of the cut portion 102a, that is, the position corresponding to the deepest portion 102b of the groove portion 102 is a position P5. The radial distance between the ridge line of the blade portion 101 and the position P5 corresponds to the distance d13. At this time, the width of the portion far from the central axis L0 in the circumferential direction of the cut portion 102a of the scribing wheel 100 corresponds to the distance d14 in FIG. 7A. That is, the distance d14 is a distance of a portion where the cut portion 102a is formed in the groove portion 102, and is a portion passing through P2.

図7(c)は、図7(b)と比較して、最深部102bの両側の部分が中心軸L0から離れる方向により凸状に丸みを帯びた形状である場合の溝部102の形状を模式的に示す図である。   FIG. 7C schematically shows the shape of the groove portion 102 in the case where the portions on both sides of the deepest portion 102b are rounded in a convex shape in the direction away from the central axis L0 as compared with FIG. 7B. FIG.

ここでは、図3(c)に示された参考例に係るスクライビングホイール10と同様に、境界位置P3、P4における外周形状も、図7(b)のような急峻に屈曲した形状ではなく、図7(c)に示すように、丸みを帯びた形状となっている。この場合、図7(a)と比較して、接線Ln1、Ln2の交点の位置P2と位置P5との距離、すなわちd11とd13との差はより大きくなる。   Here, similarly to the scribing wheel 10 according to the reference example shown in FIG. 3C, the outer peripheral shape at the boundary positions P3 and P4 is not a shape that is sharply bent as shown in FIG. As shown in 7 (c), it has a rounded shape. In this case, as compared with FIG. 7A, the distance between the position P2 of the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 and the position P5, that is, the difference between d11 and d13 is larger.

<実施例>
次に、本実施の形態に係るスクライビングホイールの効果を検証するため、基板に対するスクライビングホイールの食い込みの深さを計測した。これは、スクライブ動作後において、スクライビングホイールの中心軸に平行な方向に見たとき、スクライビングホイールが基板に圧接した痕跡を撮像し、この撮像画像に基づいて、スクライブホイールの基板への食い込みの深さを測定した。この測定結果を図8(a)〜(d)に模式的に示す。
<Example>
Next, in order to verify the effect of the scribing wheel according to the present embodiment, the depth of biting of the scribing wheel into the substrate was measured. This is because after the scribing operation, when viewed in a direction parallel to the central axis of the scribing wheel, the scribing wheel captures an impression that the substrate is in pressure contact with the substrate, and based on this captured image, the depth of the biting into the substrate of the scribing wheel Was measured. The measurement results are schematically shown in FIGS. 8 (a) to 8 (d).

本実施例および比較例の条件は、以下の通りである。
(1)基板 … ガラス基板、厚み0.5mm
(2)スクライブ速度 … 100mm/sec
(3)スクライビングホイール径 …2.0mm
(4)ピン軸の径 …0.8mm
(5)スクライビングホイールの溝部の深さ…6.0μm
上記条件の基板およびスクライビングホイールについて、スクライブ動作を行った。
The conditions of the present example and the comparative example are as follows.
(1) Substrate ... Glass substrate, thickness 0.5 mm
(2) Scribe speed ... 100 mm / sec
(3) Scribing wheel diameter ... 2.0 mm
(4) Pin shaft diameter ... 0.8 mm
(5) Depth of groove of scribing wheel ... 6.0 μm
The scribing operation was performed for the substrate and the scribing wheel under the above conditions.

[比較例1]
まず、比較例1の測定結果を図8(d)に示す。比較例1に係るスクライビングホイールを用いて、良好なスクライブラインが形成される最大の荷重でスクライブを行ったところ、刃部が基板に対して食い込んだ深さは、7.2μmであった。この場合、基板は溝部の最深部を越えた位置で接触した。また、このときのスクライブ荷重は0.17MPaであった。
Comparative Example 1
First, the measurement result of Comparative Example 1 is shown in FIG. When scribing was performed using the scribing wheel according to Comparative Example 1 at the maximum load at which a good scribing line was formed, the depth at which the blade portion bited into the substrate was 7.2 μm. In this case, the substrate was in contact at a position beyond the deepest portion of the groove. Moreover, the scribing load at this time was 0.17 MPa.

[実施例1]
実施例1に係るスクライビングホイールに対する検証の条件は、上記の検証条件(1)〜(4)と同一とした。検証条件(5)スクライビングホイールの溝の深さは、6.0μmから、さらに、スクライビングホイールの中心軸に向かって切れ込み部を設け、溝部の深さを8.4μmとした。
Example 1
The verification conditions for the scribing wheel according to the first embodiment are the same as the verification conditions (1) to (4) described above. Verification condition (5) The groove depth of the scribing wheel is 6.0 μm, and a notch is further provided toward the central axis of the scribing wheel, and the groove depth is 8.4 μm.

上記条件における実施例1の測定結果を図8(a)に示す。実施例1に係るスクライビングホイールを用いて、良好なスクライブラインが形成される最大の荷重でスクライブを行ったところ、刃部が基板に対して食い込んだときの深さは、7.2μmであった。この場合、基板は溝部の最深部に非接触であった。また、このときのスクライブ荷重は0.17MPaであった。   The measurement result of Example 1 under the above conditions is shown in FIG. When scribing was performed using the scribing wheel according to Example 1 at the maximum load at which a good scribing line was formed, the depth when the blade portion bited into the substrate was 7.2 μm . In this case, the substrate was not in contact with the deepest portion of the groove. Moreover, the scribing load at this time was 0.17 MPa.

[実施例2]
実施例2に係るスクライビングホイールに対する検証の条件は、実施例1の検証条件(1)〜(4)と同一とした。検証条件(5)スクライビングホイールの溝の深さは、6.0μmから、さらに、スクライビングホイールの中心軸に向かって切れ込み部を設け、9.4μmとした。
Example 2
The verification conditions for the scribing wheel according to the second embodiment are the same as the verification conditions (1) to (4) of the first embodiment. Verification condition (5) The groove depth of the scribing wheel was set to 9.4 μm from 6.0 μm and further by providing a notch toward the central axis of the scribing wheel.

上記条件における実施例2の測定結果を図8(b)に示す。実施例2に係るスクライビングホイールの刃部が基板に対して食い込んだときの深さは、6.8μmであった。この場合、基板は溝部の最深部に非接触であった。このときのスクライブ荷重は0.16MPaであった。   The measurement result of Example 2 under the above conditions is shown in FIG. The depth when the blade portion of the scribing wheel according to the second embodiment bites into the substrate is 6.8 μm. In this case, the substrate was not in contact with the deepest portion of the groove. The scribing load at this time was 0.16 MPa.

[実施例3]
実施例3に係るスクライビングホイールに対する検証の条件は、実施例1の検証条件(1)〜(4)と同一とした。検証条件(5)スクライビングホイールの溝の深さは、6.0μmから、さらに、スクライビングホイールの中心軸に向かって切れ込み部を設け、10.1μmとした。
[Example 3]
The verification conditions for the scribing wheel according to the third embodiment are the same as the verification conditions (1) to (4) of the first embodiment. Verification condition (5) The groove depth of the scribing wheel was set to 10.1 μm, by further providing a notch toward the central axis of the scribing wheel from 6.0 μm.

上記条件における実施例3の測定結果を図8(c)に示す。実施例3に係るスクライビングホイールの刃部が基板に対して食い込んだときの深さは、7.2μmであった。この場合、基板は溝部の最深部に非接触であった。このときのスクライブ荷重は0.16MPaであった。   The measurement result of Example 3 under the above conditions is shown in FIG. The depth at which the blade portion of the scribing wheel according to Example 3 bites into the substrate is 7.2 μm. In this case, the substrate was not in contact with the deepest portion of the groove. The scribing load at this time was 0.16 MPa.

上記の測定結果から、スクライビングホイールの溝部に切れ込み部を形成した実施例1〜3は何れも、良好なスクライブラインを形成することができる最大の荷重においてもスクライビングホイールの溝部の最深部が基板と接触することはなかった。これに対し、溝部に切れ込み部を設けなかった比較例1に係るスクライビングホイールは、溝の深さより、基板に食い込んだ深さの方が深かった。   From the above measurement results, in any of Examples 1 to 3 in which the cut portion is formed in the groove portion of the scribing wheel, the deepest portion of the groove portion of the scribing wheel is the substrate even at the maximum load capable of forming a good scribe line. There was no contact. On the other hand, in the scribing wheel according to Comparative Example 1 in which the cut portion was not provided in the groove portion, the depth cut into the substrate was deeper than the depth of the groove.

上記の結果より、スクライビングホイールの溝部に切れ込み部を設けた場合、基板にスクライビングホイールの刃部が深く食い込んだ場合でも、基板が溝部の最深部に接触することがないことが示された。   From the above results, it was shown that when the cut portion is provided in the groove of the scribing wheel, the substrate does not come in contact with the deepest portion of the groove even when the blade of the scribing wheel deeply bites into the substrate.

また、スクライビングホイールの切れ込み部の周方向における中心軸から遠い部分、つまり、図7(a)に示されている距離d14に相当する部分と、溝部の周方向における幅との比率が異なるスクライビングホイールにおいても同様の検証を行った。その結果、距離d14に相当する部分と、溝部の周方向における幅との比率が29%および49%であるスクライビングホイールによって基板に形成された打痕は良好であった。一方で、距離d14に相当する部分と、溝部の周方向における幅との比率が50%を超えるスクライビングホイールにおいては、形成される打痕の形状が若干不良となる結果となった。   In addition, a scribing wheel in which the ratio of the width in the circumferential direction of the groove to the portion distant from the central axis in the circumferential direction of the cut portion of the scribing wheel, that is, the portion corresponding to the distance d14 shown in FIG. The same verification was carried out at. As a result, the dents formed on the substrate by the scribing wheel in which the ratio of the portion corresponding to the distance d14 and the width in the circumferential direction of the groove portion is 29% and 49% were good. On the other hand, in the scribing wheel in which the ratio of the portion corresponding to the distance d14 and the width in the circumferential direction of the groove portion exceeds 50%, the result of the shape of the dent formed is slightly poor.

また、実施例1の結果から、スクライビングホイールの溝部に切れ込み部を設けて、溝の深さを7.0μmとして、上記と同様の検証を行った。その結果、基板は、スクライビングホイールの溝部の最深部と非接触であった。また、基板に形成された打痕の形状は良好であった。   Further, from the results of Example 1, the same verification as described above was performed by providing a cut in the groove of the scribing wheel and setting the depth of the groove to 7.0 μm. As a result, the substrate was not in contact with the deepest portion of the groove of the scribing wheel. Moreover, the shape of the dent formed in the board | substrate was favorable.

これらの結果から、スクライビングホイールの溝部における深さは、7〜10μmの範囲であり、且つ、切れ込み部の周方向における中心軸から遠い部分は、溝部の周方向における幅の20〜50%の範囲であるとき、スクライビングホイールの溝部の最深部は基板に接触することなく、打痕の形状が良好となることが分かった。   From these results, the depth of the groove portion of the scribing wheel is in the range of 7 to 10 μm, and the portion far from the central axis in the circumferential direction of the cut portion is in the range of 20 to 50% of the width in the circumferential direction of the groove portion. It was found that the deepest portion of the groove portion of the scribing wheel did not contact the substrate, and the shape of the dent became good.

<実施形態の効果>
本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。
図5(a)および図7(a)〜(c)に示したように、スクライビングホイール100が基板20の表面を転動する際に、刃部101付近の部分が基板20に食い込んで、基板20の表面に打痕が形成される。このとき、溝部102が図7(a)〜(c)の形状を有するため、刃部101付近の基板20に食い込む部分V0の範囲が周方向に広くなる。このため、基板20に形成される打痕の間隔G0が狭くなり、打痕位置に形成された垂直クラック21が繋がり易くなる。また、刃部101付近の基板20に食い込む部分V0の体積が大きくなるため、打痕位置において、垂直クラック21をより深く伸展させることができる。よって、実施の形態に係るスクライビングホイール100によれば、基板20に垂直クラック21をより深く且つ良好に形成することができる。
<Effect of the embodiment>
According to the present embodiment, the following effects are achieved.
As shown in FIGS. 5 (a) and 7 (a) to 7 (c), when the scribing wheel 100 rolls on the surface of the substrate 20, a portion near the blade portion 101 bites into the substrate 20, and the substrate A dent is formed on the surface of 20. At this time, since the groove portion 102 has the shape shown in FIGS. 7A to 7C, the range of the portion V0 biting into the substrate 20 near the blade portion 101 becomes wider in the circumferential direction. For this reason, the interval G0 of the indentations formed on the substrate 20 becomes narrow, and the vertical cracks 21 formed at the indentations are easily connected. Further, since the volume of the portion V0 biting into the substrate 20 in the vicinity of the blade portion 101 is increased, the vertical crack 21 can be extended deeper at the dented position. Therefore, according to the scribing wheel 100 according to the embodiment, the vertical cracks 21 can be formed deeper and favorably in the substrate 20.

図7(a)〜(c)に示したとおり、溝部102は、中心軸L0に平行な方向に見て、最深部102bに対して周方向の両側の部分が、中心軸L0から離れる方向に凸の形状となるように形成されている。これにより、スクライビングホイール100の転動に伴い、溝部102が基板20に食い込み易くなる。   As shown in FIGS. 7A to 7C, when viewed in a direction parallel to the central axis L0, in the groove portion 102, portions on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102b move away from the central axis L0. It is formed to have a convex shape. Accordingly, the groove portion 102 easily bites into the substrate 20 as the scribing wheel 100 rolls.

また、最深部102bに対して周方向の両側の部分の形状は、中心軸L0に平行な方向に見て、全体的に緩やかな曲線形状となっている。とくに、図7(a)に示すように、周方向において位置P1の部分に対して周方向の両側の部分の形状は、曲線形状となるように形成されている。これにより、スクライビングホイール100の転動に伴い、溝部102が滑らかに基板20に食い込んでいく。よって、基板20に円滑に垂直クラック21を形成できる。なお、最深部102bに相当する位置P5から周方向において位置P1の部分は、略直線状となるように形成されても構わない。そのような場合であっても、最深部102bに対して周方向の両側の部分の形状は、中心軸L0に平行な方向に見て、全体的に緩やかな曲線形状となっているため、スクライビングホイール100は、滑らかに基板20に食い込むことができる。   Further, the shapes of the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102b have a generally gentle curve shape when viewed in the direction parallel to the central axis L0. In particular, as shown in FIG. 7A, the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the portion at the position P1 in the circumferential direction are formed to have a curved shape. Thus, the groove 102 bites into the substrate 20 smoothly as the scribing wheel 100 rolls. Thus, the vertical cracks 21 can be formed smoothly on the substrate 20. The portion of position P1 in the circumferential direction from position P5 corresponding to deepest portion 102b may be formed to be substantially linear. Even in such a case, the shapes of the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102b have a generally gentle curve shape as viewed in the direction parallel to the central axis L0. The wheel 100 can bite into the substrate 20 smoothly.

図7(a)〜(c)に示したとおり、スクライビングホイール100は、周方向に隣り合う溝部102の間に、周方向に沿って延びる刃部101の稜線が存在するよう構成されている。これにより、周方向において刃部101が所定の幅を持つため、基板20に食い込む刃部101付近の部分V0の体積がより大きくなる。よって、基板20により深く垂直クラック21を形成できる。   As shown in FIGS. 7A to 7C, the scribing wheel 100 is configured such that ridge lines of the blade portion 101 extending along the circumferential direction exist between the groove portions 102 adjacent in the circumferential direction. As a result, since the blade portion 101 has a predetermined width in the circumferential direction, the volume of the portion V0 near the blade portion 101 biting into the substrate 20 is further increased. Thus, the vertical cracks 21 can be formed deeper in the substrate 20.

図2(b)、(c)に示したとおり、溝部12は、周方向に見て中心軸L0から離れる方向に凸の曲面からなり、溝部12と刃部11との境界から溝部12の最深部12aに向かって曲面の曲率半径が徐々に大きくなるよう構成されている。このように、溝部12がスクライビングホイール10の中心軸L0から離れる方向に凸の曲面からなっていることにより、スクライビングホイールが転動して溝部12が基板200に向き合ったときに、溝部12内の鋭い稜線が基板に深くくい込むようなことがない。このため、基板20に溝部102が当接することによりカレットが発生することを抑制できる。これは、スクライビングホイール10の溝部12に切れ込み部を設けて、スクライビングホイール100とした実施の形態においても同様である。   As shown in FIGS. 2B and 2C, the groove 12 is a curved surface convex in the direction away from the central axis L0 when viewed in the circumferential direction, and the deepest portion of the groove 12 from the boundary between the groove 12 and the blade 11 The radius of curvature of the curved surface gradually increases toward the portion 12a. Thus, when the groove 12 is a curved surface that is convex in the direction away from the central axis L 0 of the scribing wheel 10, when the scribing wheel rolls and the groove 12 faces the substrate 200, the inside of the groove 12 is Sharp ridges never penetrate deep into the substrate. For this reason, it can suppress that a cullet generate | occur | produces, when the groove part 102 contact | abuts to the board | substrate 20. FIG. The same applies to the embodiment in which the groove portion 12 of the scribing wheel 10 is provided with the cut portion and the scribing wheel 100 is used.

図8(a)〜(c)に示したとおり、溝部102には切れ込み部102aが設けられている。このとき、溝部の深さが7〜10μmの範囲であれば、通常のスクライブ条件でスクライブ動作がなされた場合に、基板20と溝部102の最深部102bは接触しない。このため、刃部101の摩耗が進行した場合でも、所定期間、基板20に食い込み、基板20にスクライブラインを形成することができる。よって、長寿命のスクライビングホイール100となる。   As shown in FIGS. 8A to 8C, the groove portion 102 is provided with a cut portion 102a. At this time, if the depth of the groove is in the range of 7 to 10 μm, the substrate 20 does not contact the deepest portion 102b of the groove 102 when the scribing operation is performed under the normal scribing conditions. Therefore, even when the wear of the blade portion 101 progresses, the substrate 20 can be bitten into for a predetermined period, and a scribe line can be formed on the substrate 20. Thus, the scribing wheel 100 has a long life.

また、溝部の深さが7〜10μmの範囲であれば、刃部101は、スクライビングホイールの当初の刃部の形状を維持しながら摩耗する。このため、基板20に形成される打痕の形状は良好となる。   If the depth of the groove is in the range of 7 to 10 μm, the blade portion 101 wears while maintaining the original shape of the blade portion of the scribing wheel. Therefore, the shape of the indentation formed on the substrate 20 is good.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。   Besides the above, the embodiment of the present invention can be variously modified as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

100 … スクライビングホイール
101 … 刃部
102 … 溝部
102a …切れ込み部
102b … 最深部
20 … 基板
L0 … 中心軸
100 ... scribing wheel 101 ... blade part 102 ... groove part 102a ... cut part 102b ... deepest part 20 ... board L0 ... central axis

Claims (6)

基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールであって、
外周縁に沿って形成された複数の刃部と、
周方向に隣り合う前記刃部の間に設けられ中心軸側に凹んだ複数の溝部と、
を備え、
前記溝部は、前記周方向の中央部に、前記中心軸に向かう切れ込み部が形成されており、
少なくとも前記切れ込み部の最深部は前記基板に接触しない深さとされている、
ことを特徴とするスクライビングホイール。
A scribing wheel for forming a scribing line on a substrate,
A plurality of blades formed along the outer peripheral edge,
A plurality of groove portions provided between the blade portions adjacent in the circumferential direction and recessed on the central axis side;
Equipped with
The groove portion is formed with a notch toward the central axis at a central portion in the circumferential direction.
At least the deepest portion of the cut portion is a depth not to contact the substrate,
A scribing wheel characterized by
請求項1に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記中心軸に平行な方向に見て、前記溝部における前記切れ込み部の前記最深部までの深さは、7〜10μmの範囲である、
ことを特徴とするスクライビングホイール。
In the scribing wheel according to claim 1,
When viewed in a direction parallel to the central axis, the depth to the deepest portion of the cut portion in the groove is in the range of 7 to 10 μm.
A scribing wheel characterized by
請求項1または2に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記切れ込み部の前記周方向において前記中心軸から遠い部分は、前記溝部の前記周方向の幅の20〜50%の範囲である、
ことを特徴とするスクライビングホイール。
In the scribing wheel according to claim 1 or 2,
In the circumferential direction of the cut portion, a portion far from the central axis is in the range of 20 to 50% of the circumferential width of the groove portion.
A scribing wheel characterized by
請求項1ないし3の何れか一項に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記溝部は、前記中心軸に平行な方向に見て、前記最深部に対して前記周方向の両側の部分が、前記中心軸から離れる方向に凸の形状となっている、
ことを特徴とするスクライビングホイール。
In the scribing wheel according to any one of claims 1 to 3,
When viewed in a direction parallel to the central axis, the groove portion has a convex shape in a direction away from the central axis, with respect to the deepest portion, portions on both sides in the circumferential direction.
A scribing wheel characterized by
請求項1ないし4の何れか一項に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記周方向に隣り合う前記溝部の間に、前記周方向に沿って延びる前記刃部の稜線が存在する、
ことを特徴とするスクライビングホイール。
The scribing wheel according to any one of claims 1 to 4, wherein
Between the grooves adjacent in the circumferential direction, ridge lines of the blade portions extending along the circumferential direction exist.
A scribing wheel characterized by
請求項1ないし5の何れか一項に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記溝部は、前記周方向に見て前記中心軸から離れる方向に凸の曲面からなり、
前記溝部の前記周方向の境界から、前記切れ込み部の前記中心軸から遠い部分に向かって前記曲面の曲率半径が徐々に大きくなっている、
ことを特徴とするスクライビングホイール。
The scribing wheel according to any one of claims 1 to 5, wherein
The groove portion is formed of a curved surface convex in a direction away from the central axis when viewed in the circumferential direction,
The radius of curvature of the curved surface is gradually increased from the circumferential boundary of the groove toward a portion farther from the central axis of the cut portion.
A scribing wheel characterized by
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