JP2018509751A

JP2018509751A - ウエハー移送装置

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Publication number: JP2018509751A
Application number: JP2017536278A
Authority: JP
Inventors: キム，ソ・ミ
Original assignee: エスケーシルトロンカンパニーリミテッド
Priority date: 2015-01-22
Filing date: 2015-06-17
Publication date: 2018-04-05
Anticipated expiration: 2035-06-17
Also published as: KR101680214B1; KR20160090515A; DE112015006031B4; JP6486478B2; DE112015006031T5; US10192794B2; CN107210255B; WO2016117777A1; US20180005907A1; CN107210255A

Abstract

実施例は、垂直方向又は水平方向に移動するガイド、前記ガイドに取り付けられ、互いに離隔したウエハーを装着させる移送アーム、前記ガイドに配置され、前記移送アームに装着された互いに離隔したウエハーに第１レーザーを放出するレーザー放出部、及び前記移送アームの下側に配置され、前記第１レーザーのうち前記互いに離隔したウエハーの間の隙間を通過した第２レーザーを捕集するレーザー感知部を含む。【選択図】図１

Description

実施例はウエハー移送装置に関するものである。

一般に、ウエハー食刻工程の重要品質項目である食刻量を確認するために、食刻されるウエハーの厚さ測定が必要である。

厚さ測定装備を用いて、ウエハー食刻工程以前にウエハーの厚さを測定し、食刻装備でウエハーを食刻した後にウエハーの厚さを測定する。

ターゲット（ｔａｒｇｅｔ）であるウエハーと電気容量測定プローブ（ｐｒｏｂｅ）の間に電場を形成し、ウエハーと電気容量測定プローブ（ｐｒｏｂｅ）の間の距離（ｇａｐ）による電気容量の差を用いてウエハー厚さを測定することができる。

上述したように、一般に、食刻量の確認のために、ウエハー食刻以前及び食刻以後に別個の厚さ測定装備でウエハーの厚さを測定するが、このような２回の厚さ測定によって時間及び人力の損失が発生することがある。

実施例はウエハー厚さ測定による時間及び人力の損失を減らすことができるウエハー移送装置を提供する。

実施例によるウエハー移送装置は、垂直方向又は水平方向に移動するガイド（ｇｕｉｄｅ）；前記ガイドに取り付けられ、互いに離隔したウエハーを装着させる移送アーム；前記ガイドに配置され、前記移送アームに装着された互いに離隔したウエハーに第１レーザーを放出するレーザー放出部；及び前記移送アームの下側に配置され、前記第１レーザーのうち前記互いに離隔したウエハーの間の隙間を通過した第２レーザーを捕集するレーザー感知部を含む。

前記レーザー放出部から照射される第１レーザー、及びレーザー捕集器によって捕集される第２レーザーに基づき、前記互いに離隔したウエハーの厚さを測定する制御部をさらに含むことができる。

前記第１レーザーの水平方向の放出領域の一端は前記ウエハーのうち第１ウエハーのエッジに整列され、前記第１レーザーの水平方向の放出領域の他端は前記ウエハーのうち最後のウエハーのエッジに整列されることができる。

前記ウエハー移送装置は、前記ガイドと前記レーザー感知部の間に連結され、前記レーザー感知部を前記ガイドに固定させるレーザー感知支持部をさらに含むことができる。

前記レーザー感知支持部は前記ガイドと一緒に水平方向又は垂直方向に移動することができる。

前記レーザー感知支持部は、前記ガイドの一端と前記レーザー感知部の一端を連結する第１レーザー感知支持部；及び前記ガイドの他端と前記レーザー感知部の他端を連結する第２レーザー感知支持部を含むことができる。

前記移送アームは、前記ガイドの一端に結合される第１及び第２アーム；前記ガイドの他端に結合される第３及び第４アーム；前記第１〜第４アームと連結される支持部；及び前記支持部と連結され、前記ウエハーが載置される載置棒を含むことができる。

前記第１〜第４アームは前記ガイドに結合された部分を軸として回転移動することができる。

前記載置棒は、一端が前記第１支持部に連結され、他端が第３支持部に連結される第１及び第２載置棒；及び一端が前記第２支持部に連結され、他端が第４支持部に連結される第３及び第４載置棒を含むことができる。

前記第１〜第４載置棒は前記ウエハーが装着されるスロット（ｓｌｏｔ）を含むことができる。

前記ウエハー移送装置は、前記ガイドを水平方向に移動させる移送レールをさらに含むことができる。

前記ガイドは、前記移送レールによって水平方向に移動し、前記移送アームと連結される水平ガイド；及び前記水平ガイドと連結され、前記水平ガイドを垂直方向に移動させる垂直ガイドを含むことができる。

他の実施例によるウエハー移送装置は、垂直方向又は水平方向に移動するガイド；前記ガイドと連結され、互いに離隔したウエハーを装着させる移送アーム；前記ガイドに配置され、前記移送アームに装着された互いに離隔したウエハーにレーザーを放出するレーザー放出部；前記移送アームの下側に配置され、前記互いに離隔したウエハーの間の隙間を通過したレーザーを捕集するレーザー感知部；及び前記レーザー捕集器によって捕集されなかった領域の長さを算出し、算出された長さのそれぞれに対応するウエハーの厚さを測定する制御部を含む。

実施例によるウエハー加工方法は、レーザーを照射するレーザー放出部及びレーザーを感知するレーザー感知部を備えるウエハー移送装置に装着されたウエハーを加工するウエハー加工方法であって、前記レーザー放出部によって、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーにレーザーを照射するレーザー照射段階；前記レーザー感知部によって、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーの間を通過したレーザーを感知するレーザー感知段階；前記感知された結果によって、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーの厚さを測定する厚さ測定段階；及び前記測定された厚さに基づき、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーを加工する加工段階を含む。

前記ウエハー加工方法は、前記ウエハー移送装置によって前記ウエハーを移送する段階をさらに含み、前記レーザー照射段階、前記レーザー感知段階、及び前記厚さ測定段階は前記移送する段階中に行うことができる。

前記ウエハー加工方法は、前記測定されたウエハーの厚さを既設定の厚さ値と比較する比較段階をさらに含み、前記加工段階は、前記比較段階によって比較された結果によって前記ウエハーの加工進行を決定するかあるいは加工時間を制御することができる。

前記加工段階は前記ウエハーを食刻する段階であってもよい。

前記ウエハー加工方法は、前記加工段階後、前記レーザー照射段階、前記レーザー感知段階、及び前記厚さ測定段階を行うことで、前記加工段階によって加工されたウエハーの厚さを測定する厚さ測定段階；及び前記加工段階によって加工されたウエハーの測定された厚さが既設定の厚さと同じになるまで、前記レーザー照射段階、前記レーザー感知段階、前記厚さ測定段階、前記比較段階、及び前記加工段階を繰り返し行う段階をさらに含むことができる。

前記加工段階は、前記食刻段階で食刻されたウエハーを洗浄する洗浄段階をさらに含むことができる。

前記加工段階は、前記洗浄段階で洗浄されたウエハーを乾燥させる乾燥段階をさらに含むことができる。

実施例はウエハー厚さ測定による時間及び人力の損失を減らすことができる。

実施例によるウエハー移送装置の正面図を示す。

図１のウエハー移送装置の側面図を示す。

図１に示したウエハー移送装置を用いたウエハー加工工程を示す。

図２に示したレーザー放出部及びレーザー捕集器を示す。

他の実施例による移送装置の正面図を示す。

図５の移送装置の側面図を示す。

実施例によるウエハー加工方法を示すフローチャートである。

以下、実施例は添付の図面及び実施例についての説明によって明らかになるであろう。実施例の説明において、それぞれの層（膜）、領域、パターン又は構造物が基板、各層（膜）、領域、パッド又はパターンの“上（ｏｎ）”に又は “下（ｕｎｄｅｒ）”に形成されるものとして記載される場合、“上（ｏｎ）”と“下（ｕｎｄｅｒ）”は“直接（ｄｉｒｅｃｔｌｙ）”又は “他の層を介して（ｉｎｄｉｒｅｃｔｌｙ）”形成されるものを全て含む。また、各層の上又は下に対する基準は図面に基づいて説明する。

図面において、大きさは説明の便宜及び明確性のために誇張されるか省略されるかあるいは概略的に示された。また、各構成要素の大きさは実際の大きさをそのまま反映するものではない。また、同じ参照番号は図面の説明で同じ要素を示す。

図１は実施例によるウエハー移送装置１００の正面図を示し、図２は図１のウエハー移送装置１００の側面図を示す。

図１及び図２を参照すると、ウエハー移送装置１００は、垂直ガイド１０２、移送レール１０５、水平ガイド１１０、移送アーム（ｍｏｖｉｎｇａｒｍ）１２０、レーザー放出部１３０、及びレーザー感知部１６０を含む。

移送アーム１２０は、アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂ、支持部１２２ａ１、１２２ｂ１、１２４ａ１、１２４ｂ１、及び載置棒１５１〜１５４を含むことができる。

移送レール１０５は垂直ガイド１０２と連結され、垂直ガイド１０２を第１方向、例えば水平方向２０１に移動させる。

垂直ガイド１０２は水平ガイド１１０と移送レール１０５を連結し、移送レール１０５に沿って移動することができ、水平ガイド１１０を第２方向、例えば垂直方向２０２に移動させる。

水平ガイド１１０は垂直ガイド１０２に連結され、垂直ガイド１０２を介して移送レール１０５と連結され、垂直ガイド１０２によって垂直方向２０２に移動することができ、移送レール１０５によって水平方向２０１に移動することができる。

水平ガイド１１０は移送アーム１２０を支持し、プレート（ｐｌａｔｅ）状又はボックス（ｂｏｘ）状であってもよいが、これに限定されるものではなく、複数のウエハーを移送するのに十分な形状又は長さを有することができる。

移送アーム（ｍｏｖｉｎｇａｒｍ）１２０は水平ガイド１１０と連結又は／及び固定され、互いに離隔して位置する複数のウエハーのエッジ部を掴むかあるいは支持することができる。

例えば、移送アーム１２０は前面又は後面が垂直方向２０２に平行になるように互いに離隔して配置される複数のウエハーのエッジ部を掴むかあるいは支持することができる。

例えば、移送アーム１２０の一端は水平ガイド１１０に連結され、水平ガイド１１０に連結された移送アーム１２０の一端を軸として移送アーム１２０が回転することができ、移送アーム１２０の他端は互いに離隔して配置される複数のウエハーのエッジ部を掴むかあるいは支持することができる。

移送アーム１２０は、水平ガイド１１０の一端に結合又は固定される第１及び第２アーム１２２ａ、１２２ｂ、水平ガイド１１０の他端に結合又は固定される第３及び第４アーム１２４ａ、１２４ｂ、第１〜第４アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂと連結される支持部１２２ａ、１２２ｂ１、１２４ａ１、１２４ｂ１、及び支持部１２２ａ、１２２ｂ１、１２４ａ１、１２４ｂ１と連結され、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）が載置される載置棒１５１〜１５４を含むことができる。１２４ａ及び１２４ａ１は図１及び図２に示されてはいないが、１２２ａ及び１２２ａ１と同一の形状を有することができる。

水平ガイド１１０の中心線３０１を基準として、第１アーム１２２ａは水平ガイド１１０の一端の一側に結合又は固定されることができ、第２アーム１２２ｂは水平ガイド１１０の一端の他側に結合又は固定されることができる。例えば、水平ガイド１１０の中心線３０１は水平ガイド１１０の一端の中央を通り、垂直方向２０２に平行な仮想線であってもよい。

水平ガイド１１０の中心線３０１を基準として、第３アーム１２４ａは水平ガイド１１０の他端の一側に結合又は固定されることができ、第４アーム１２４ｂは水平ガイド１１０の他端の他側に結合又は固定されることができる。例えば、水平ガイド１１０の中心線３０１は水平ガイド１１０の他端の中央を通り、垂直方向２０２に平行な仮想線であってもよい。

複数のウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を掴むか支持するために、第１〜第４アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂのそれぞれは水平ガイド１１０に結合又は固定された部分を軸として一定角度だけ回転移動することができる。

支持部１２２ａ１、１２２ｂ１、１２４ａ１、１２４ｂ１のそれぞれは第１〜第４アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂのうち対応するいずれか一つと連結され、載置棒１５１〜１５４を支持する役目をする。

例えば、第１支持部１２２ａ１の一端は第１アーム１２２ａと連結されることができ、第２支持部１２２ｂ１の一端は第２アーム１２２ｂと連結されることができ、第３支持部１２４ａ１の一端は第３アーム１２４ａと連結されることができ、第４支持部１２４ｂ１の一端は第４アーム１２４ｂと連結されることができる。

載置棒１５１〜１５４は第１及び第２アーム１２２ａ、１２２ｂと第３及び第４アーム１２４ａ、１２４ｂの間に連結される。

例えば、第１及び第２載置棒１５１、１５２のそれぞれの一端は第１支持部１２２ａ１に連結されることができ、第１及び第２載置棒１５１、１５２のそれぞれの他端は第３支持部１２４ａに連結されることができる。外周面が曲面であるウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）のエッジ部を安定に支持するために、第１載置棒１５１は第２載置棒１５２の上側に位置することができ、水平ガイド１１０の中心線３０１から第１載置棒１５１は水平方向２０１に第２載置棒１５２よりもっと遠く離隔して位置することができる。

例えば、水平ガイド１１０の中心線３０１から第１載置棒１５１までの離隔距離は中心線３０１から第２載置棒１５２までの離隔距離より大きくてもよい。

また、第３及び第４載置棒１５３、１５４のそれぞれの一端は第２支持部１２２ｂ１に連結されることができ、第３及び第４載置棒１５３、１５４のそれぞれの他端は第４支持部１２４ｂ１に連結されることができる。また、外周面が曲面であるウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）のエッジ部を安定に支持するために、第３載置棒１５３は第４載置棒１５４の上側に位置することができ、水平ガイド１１０の中心線３０１から第３載置棒１５３は水平方向２０１に第４載置棒１５４よりもっと遠く離隔して位置することができる。

例えば、水平ガイド１１０の中心線３０１から第３載置棒１５３までの離隔距離は中心線３０１から第４載置棒１５４までの離隔距離より大きくなることができる。

図示されてはいないが、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の安定的な支持のために、第１〜第４載置棒１５１〜１５４のそれぞれは、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）が挿入、装着、又はローディング（ｌｏａｄｉｎｇ）されることができる互いに離隔した溝又はスロット（ｓｌｏｔ）を備えることができる。

レーザー放出部１３０は水平ガイド１１０に配置され、レーザー（ｌａｓｅｒ）Ｌ１を放出する。例えば、レーザー放出部１３０は水平ガイド１１０の下面１１２に配置されることができ、第１〜第４載置棒１５１〜１５４に装着又はローディング（ｌｏａｄ）されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）に向けてレーザーＬ１を放出することができる。レーザー放出部１３０のレーザーＬ１は垂直方向２０２に放出されることができる。

レーザー感知部１６０は移送アーム１２０の下側に移送アーム１２０から離隔してレーザー放出部１３０と向き合うように配置される。

例えば、レーザー感知部１６０は第１〜第４アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂ及び載置棒１５１〜１５４の下側に配置されることができ、第１〜第４アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂ及び載置棒１５１〜１５４から離隔することができる。

レーザー感知部１６０は、レーザー放出部１３０から照射されるレーザーＬ１のうちウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の間の隙間Ｇを通過したレーザーＬ２を感知又は捕集するレーザー捕集器１６２、及びレーザー捕集器１６２を支持するレーザー捕集器支持部１６４を含むことができる。他の実施例では、レーザー捕集器支持部１６４は省略することができる。

レーザー放出部１３０によって照射されるレーザーＬ１は第１〜第４載置棒１５１〜１５４に装着又はローディングされた互いに離隔した複数のウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）と垂直方向２０２に互いにオーバーラップすることができる。

図４は図２に示したレーザー放出部１３０及びレーザー捕集器１６２を示す。

図４を参照すると、レーザー放出部１３０によって照射されるレーザーＬ１の水平方向２０１への放出領域の長さＸ１は第１〜第４載置棒１５１〜１５４のウエハー装着領域Ｓの長さより大きいか同一であってもよい。これはウエハーの厚さを測定することができるようにするためである。ここで、ウエハー装着領域Ｓは複数のウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）が配置される領域、及び複数のウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の間に位置する領域を含むことができる。

例えば、レーザー放出部１３０によって放出されるレーザーＬ１の水平方向２０１への放出領域の一端は第１〜第４載置棒１５１〜１５４に装着又はローディングされた第１ウエハーＷ１の一端又はエッジに整列されることができ、レーザーＬ１の水平方向２０１への放出領域の他端は第１〜第４載置棒１５１〜１５４に装着又はローディングされた最後のウエハーＷｎの一端又はエッジに整列されることができる。

例えば、第１ウエハーＷ１の一端は第２ウエハーＷ２と向き合う第１ウエハーＷ１の一面の反対面のエッジであってもよく、最後のウエハーＷｎの一端は最後直前のウエハーＷｎ−１と向き合う最後のウエハーＷｎの一面の反対面のエッジであってもよい。

また、レーザー捕集器１６２は、垂直方向２０２にレーザー放出部１３０に整列又は対応するように、第１〜第４アーム１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂの下側に配置される。

例えば、レーザー捕集器１６２は第１〜第４載置棒１５１〜１５４の下側に配置されることができ、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の間の隙間Ｇ１〜Ｇｋ（ｋは１＜ｋ＜ｎの自然数）を通過したレーザーＬ２を捕集することができる。

レーザー放出部１３０によって放出されるレーザーＬ１の水平方向２０１の長さＸ１からレーザー捕集器１６２によって捕集されたレーザーＬ１の水平方向２０１への長さの和を差し引けば、ウエハーＷ１〜Ｗｎの厚さの総和を求めることができる。

また、レーザー放出部１３０によって放出されるレーザーＬ１の一部はウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を通過することができなくてレーザー捕集器１６２に捕集されることができなく、レーザー放出部１３０によって放出されるレーザーＬ１の残部はウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の間の隙間Ｇ１〜Ｇｋを通過してレーザー捕集器１６２に捕集されることができる。

レーザー捕集器１６２によって捕集されなかった領域Ｐ１〜Ｐｍ（ｍは１＜ｍ＜ｎの自然数）の間にはレーザー捕集器１６２によって捕集された領域Ｙ１〜Ｙｋ（ｋは１＜ｋ＜ｎの自然数）が位置することができる。

レーザー捕集器１６２によって捕集されなかった領域Ｐ１〜Ｐｍ（ｍは１＜ｍ＜ｎの自然数）の長さはウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さに相当することができる。

レーザー捕集器１６２によって捕集された領域Ｙ１〜Ｙｋ（ｋは１＜ｋ＜ｎの自然数）のうち隣り合う２個の領域（例えば、Ｙ１とＹ２）の間に位置する捕集されなかった領域（例えば、Ｐ２）の長さがウエハー（例えば、Ｗ２）の厚さに相当することができる。

例えば、捕集されなかった領域のうち対応するいずれか一つの長さがこれに対応するウエハーの厚さに相当することができる。

制御部（図示せず）はウエハー移送装置１００のレーザー放出部１３０から照射されるレーザーＬ１、及びレーザー捕集器１６２によって捕集されるレーザーによって、図４で上述したように、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）のそれぞれの厚さを測定することができる。

例えば、制御部はレーザー捕集器１６２によって捕集される領域Ｙ１〜Ｙｋの間に位置する捕集されなかった領域Ｐ１〜Ｐｍの長さを算出し、算出された長さのそれぞれに基づき、算出された長さのそれぞれに対応するウエハーの厚さを測定することができる。

制御部（図示せず）はウエハー移送装置１００とは別に構成することができるが、これに限定されるものではなく、ウエハー移送装置１００に含まれるように構成することもできる。

図３は図１に示したウエハー移送装置１００によるウエハー加工工程を示す。

図３を参照すると、ウエハー加工工程は、ウエハー食刻工程、ウエハー洗浄工程及びウエハー乾燥工程を含むことができる。

第１処理槽３０１[m1]は第１処理液３１２を収容することができ、第２処理槽３０２は第２処理液３１４を収容することができる。第３処理槽３０３には乾燥ガス３１６が噴射されることができる。

第１〜第３処理槽３０１のそれぞれには実施例によるウエハー移送装置１００のレーザー感知部１６０が配置されることができるが、これに限定されるものではなく、図５で説明するように、レーザー感知部１６０は水平ガイド部１１０に固定されて水平ガイド部１１０と一緒に移動することもできる。

まず、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）はウエハー移送装置１００にローディングされることができ、ウエハー移送装置１００のレーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０によって、ローディングされたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを測定することができる。

そして、ウエハー移送装置１００を用いて、第１処理液３１２を収容した第１処理槽３０１にウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を移送することができ、第１処理槽３０１に移送されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を第１処理液３１２に浸した後、既設定の時間の間に第１処理工程を行うことができる。例えば、第１処理液３１２は食刻液であってもよく、第１処理工程は食刻工程であってもよいが、これに限定されるものではない。

ウエハー移送装置１００のレーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０を用いて、第１処理工程が行われるうちにウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを実時間で測定することができる。

第１処理工程が完了すると、ウエハー移送装置１００を用いて、第１処理液３１２からウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を取り出し、第１処理工程が完了したウエハーを第２処理槽３０２に移送することができる。この時、レーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０によって、第１処理液３１２から取り出されたウエハーの厚さを測定することもできる。

そして、ウエハー移送装置１００によって第２処理槽３０２に移送されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を第２処理液３１４に浸した後、既設定の時間の間に第２処理工程を行うことができる。例えば、第２処理液３１４は洗浄液であってもよく、第２処理工程は洗浄工程であってもよいが、これに限定されるものではない。

ウエハー移送装置１００のレーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０を用いて、第２処理工程が行われるうちにウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを実時間で測定することができる。

第２処理工程が完了すると、ウエハー移送装置１００を用いて、第２処理液３１４からウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を取り出し、第２処理工程が完了したウエハーを第３処理槽３０２内に移送することができる。この時、レーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０によって、第２処理液３１４から取り出されたウエハーの厚さを測定することもできる。

そして、ウエハー移送装置１００によって第３処理槽３０３内に移送されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）に対して乾燥ガス３１６を放出してウエハーを乾燥させる第３処理工程を行う。レーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０を用いて、第３処理工程が行われるうちにウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを実時間で測定することができる。

上述したように、実施例は、ウエハーに対する処理工程のために処理槽にウエハーを移送することはもちろんのこと、処理工程中のウエハーの厚さを実時間で測定することができる。実施例は別個の厚さ測定装置を使わないので、厚さ測定にかかる時間及び人力の浪費を減らすことができる。

また、実施例は処理工程中のウエハーの厚さを実時間で測定するので、ウエハー厚さの変化を処理工程に反映することができ、よって処理工程の正確度を向上させることができる。

図５は他の実施例による移送装置２００の正面図を示し、図６は図５の移送装置２００の側面図を示す。図１及び図２と同一の図面符号は同じ構成を示し、同じ構成については説明を簡略にするか省略する。

図５及び図６を参照すると、ウエハー移送装置２００は、垂直ガイド１０２、移送レール１０５、水平ガイド１１０、移送アーム（ｍｏｖｉｎｇａｒｍ）１２０、レーザー放出部１３０、レーザー感知部１６０、及びレーザー感知支持部１７０−１、１７０−２を含む。

ウエハー移送装置２００は、図１及び図２に示したウエハー移送装置１００に加え、レーザー感知支持部１７０−１、１７０−２、及び制御部１８０をさらに含むことができる。

レーザー感知支持部１７０−１、１７０−２は水平ガイド１１０とレーザー感知部１６０の間に連結され、レーザー感知部１６０を水平ガイド１１０に固定させる。

第１レーザー感知支持部１７０−１は水平ガイド１１０の一端とレーザー感知部１６０の一端を連結することができ、第２レーザー感知支持部１７０−２は水平ガイド１１０の他端とレーザー感知部１６０の他端を連結することができる。

例えば、第１レーザー感知支持部１７０−１は水平ガイド１１０の一端とレーザー捕集器支持部１６４の一端を連結することができ、第２レーザー感知支持部１７０−２は水平ガイド１１０の他端とレーザー捕集器支持部１６４の他端を連結することができる。

レーザー感知支持部１７０−１、１７０−２によってレーザー感知部１６０が水平ガイド１１０に固定されることができるから、水平ガイド１１０が水平方向又は垂直方向に移動するとき、レーザー感知部１６０も水平ガイド１１０と一緒に水平方向又は垂直方向に移動することができる。

制御部１８０は、ウエハー移送装置２００のレーザー放出部１３０から照射されるレーザーＬ１についての情報、及びレーザー捕集器１６２によって捕集されるレーザーＬ２についての情報に基づき、図４で上述したように、ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）のそれぞれの厚さを測定することができる。

レーザー感知部１６０も水平ガイド１１０と一緒に水平方向又は垂直方向に移動するから、図３のように複数の処理槽３０１〜３０３のそれぞれにウエハー厚さ測定のためのレーザー感知部１６０を設ける必要がない。

また、レーザー感知部１６０も水平ガイド１１０と一緒に水平方向又は垂直方向に移動するから、ウエハー移送装置２００が移送レール１０５に沿って移動しているうちにもウエハーＷ１〜Ｗｎの厚さを実時間で測定することができる。

図７は実施例によるウエハー加工方法を示すフローチャートである。

図７を参照すると、実施例は、レーザー放出部１３０及びレーザー感知部１６０を含む移送装置１００、２００を用いて、移送装置１００、２００に装着されたウエハーを加工する方法を示す。

まず、レーザー放出部１３０によって、移送装置１００、２００の載置棒１５１〜１５４に装着されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）にレーザーを照射する（Ｓ１１０）。

ついで、レーザー感知部１６０によって、移送装置１００、２００に装着されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の間を通過したレーザーを感知する（Ｓ１２０）。

感知された結果によって、移送装置１００、２００に装着されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを測定する（Ｓ１３０）。ウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さは図４で説明したように測定することができる。

測定されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さに基づき、移送装置１００、２００に装着されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）を加工する（Ｓ１４０〜Ｓ１６０）。

測定されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを既設定の厚さ値と比較し、比較された結果によってウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の加工進行を決定するか、あるいは加工時間を制御することができる。

測定されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さが既設定の厚さ値より小さいか同じであるかを判断する（Ｓ１４０）。

測定されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さが既設定の厚さ値より大きい場合には、移送装置１００、２００に装着されたウエハーの加工工程を行う（Ｓ１５０）。

この時、測定されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さに基づき、移送装置１００、２００に装着されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の加工時間を制御することができる。

例えば、測定されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さと既設定の厚さ値の差が大きいほどウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の加工時間を増やすことができる。

ウエハーの加工工程は、図３に示した食刻工程、洗浄工程、又は乾燥工程の少なくとも一つを含むことができる。

例えば、ウエハーの加工工程は、図３に示した食刻工程、又は洗浄工程の少なくとも一つを含むことができ、図３に示した乾燥工程をさらに含むことができる。

ついで、加工段階（Ｓ１５０）を行った後、レーザー照射段階（Ｓ１１０）、レーザー感知段階（Ｓ１２０）、及び厚さ測定段階（Ｓ１３０）を順次行うことで、加工段階（Ｓ１５０）によって加工されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の厚さを測定する（Ｓ１１０〜Ｓ１３０）。

加工段階（Ｓ１５０）によって加工されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の測定された厚さが既設定の厚さより小さいか同じになるまで、上述したレーザー照射段階（Ｓ１１０）、レーザー感知段階（Ｓ１２０）、厚さ測定段階（Ｓ１３０）、厚さ比較段階（Ｓ１４０）、及び加工段階（Ｓ１５０）を繰り返し行う。

結局、加工段階（Ｓ１５０）によって加工されたウエハーＷ１〜Ｗｎ（ｎは１より大きい自然数）の測定された厚さが既設定の厚さより小さいか同じ場合には、ウエハーの加工を中断する（Ｓ１６０）。

例えば、Ｓ１１０〜Ｓ１３０段階を行って厚さを測定する。そして、測定された厚さが既設定の厚さより小さいか同じではない場合（Ｓ１４０）、移送装置１００、２００に装着されたウエハーの加工工程（例えば、食刻工程）を行うことができる（Ｓ１５０）。

加工工程（Ｓ１５０）によって食刻及び洗浄されたウエハーに対し、Ｓ１１０〜Ｓ１３０段階を行って厚さを測定する。そして、測定された厚さと既設定の厚さを比較する（Ｓ１４０）。測定された厚さが既設定の厚さより大きい場合には、移送装置１００、２００に装着されたウエハーの加工工程（例えば、洗浄工程）を行うことができる（Ｓ１５０）。一方、測定された厚さが既設定の厚さより小さいか同じ場合には、ウエハーの加工工程を中止することができる。

実施例は、加工工程前後のウエハーの厚さを実時間で測定することができ、測定された厚さに基づいて後続の加工工程の進行可否及び加工工程の工程時間を調節することによってウエハーを正確な厚さに加工することができる。

以上で実施例について説明された特徴、構造、効果などは本発明の少なくとも一実施例に含まれ、必ずしも一実施例にのみ限定されるものではない。また、各実施例で例示された特徴、構造、効果などは実施例が属する分野の通常の知識を有する者によって他の実施例に対しても組合せ又は変形して実施可能である。したがって、このような組合せ及び変形に関する内容は本発明の範囲に含まれるものとして解釈されなければならないであろう。

［産業上の利用可能性］
実施例はウエハー製造工程中にウエハーを移送する工程に使われることができる。

Claims

垂直方向又は水平方向に移動するガイド（ｇｕｉｄｅ）；
前記ガイドに取り付けられ、互いに離隔したウエハーを装着させる移送アーム；
前記ガイドに配置され、前記移送アームに装着された互いに離隔したウエハーに第１レーザーを放出するレーザー放出部；及び
前記移送アームの下側に配置され、前記第１レーザーのうち前記互いに離隔したウエハーの間の隙間を通過した第２レーザーを捕集するレーザー感知部を含む、ウエハー移送装置。
前記レーザー放出部から照射される第１レーザー、及びレーザー捕集器によって捕集される第２レーザーに基づき、前記互いに離隔したウエハーの厚さを測定する制御部をさらに含む、請求項１に記載のウエハー移送装置。
前記第１レーザーの水平方向の放出領域の一端は前記ウエハーのうち第１ウエハーのエッジに整列され、前記第１レーザーの水平方向の放出領域の他端は前記ウエハーのうち最後のウエハーのエッジに整列される、請求項１に記載のウエハー移送装置。
前記ガイドと前記レーザー感知部の間に連結され、前記レーザー感知部を前記ガイドに固定させるレーザー感知支持部をさらに含む、請求項１に記載のウエハー移送装置。
前記レーザー感知支持部は前記ガイドと一緒に水平方向又は垂直方向に移動する、請求項４に記載のウエハー移送装置。
前記レーザー感知支持部は、
前記ガイドの一端と前記レーザー感知部の一端を連結する第１レーザー感知支持部；及び
前記ガイドの他端と前記レーザー感知部の他端を連結する第２レーザー感知支持部を含む、請求項４に記載のウエハー移送装置。
前記移送アームは、
前記ガイドの一端に結合される第１及び第２アーム；
前記ガイドの他端に結合される第３及び第４アーム；
前記第１〜第４アームと連結される支持部；及び
前記支持部と連結され、前記ウエハーが載置される載置棒を含む、請求項１に記載のウエハー移送装置。
前記第１〜第４アームは前記ガイドに結合された部分を軸として回転移動する、請求項７に記載のウエハー移送装置。
前記載置棒は、
一端が前記第１支持部に連結され、他端が第３支持部に連結される第１及び第２載置棒；及び
一端が前記第２支持部に連結され、他端が第４支持部に連結される第３及び第４載置棒を含む、請求項７に記載のウエハー移送装置。
前記第１〜第４載置棒は前記ウエハーが装着されるスロット（ｓｌｏｔ）を含む、請求項９に記載のウエハー移送装置。
前記ガイドを水平方向に移動させる移送レールをさらに含む、請求項１に記載のウエハー移送装置。
前記ガイドは、
前記移送レールによって水平方向に移動し、前記移送アームと連結される水平ガイド；及び
前記水平ガイドと連結され、前記水平ガイドを垂直方向に移動させる垂直ガイドを含む、請求項１１に記載のウエハー移送装置。
垂直方向又は水平方向に移動するガイド（ｇｕｉｄｅ）；
前記ガイドと連結され、互いに離隔したウエハーを装着させる移送アーム；
前記ガイドに配置され、前記移送アームに装着された互いに離隔したウエハーにレーザーを放出するレーザー放出部；
前記移送アームの下側に配置され、前記互いに離隔したウエハーの間の隙間を通過したレーザーを捕集するレーザー感知部；及び
前記レーザー捕集器によって捕集されなかった領域の長さを算出し、算出された長さのそれぞれに対応するウエハーの厚さを測定する制御部を含む、ウエハー移送装置。
レーザーを照射するレーザー放出部及びレーザーを感知するレーザー感知部を備えるウエハー移送装置に装着されたウエハーを加工するウエハー加工方法であって、
前記レーザー放出部によって、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーにレーザーを照射するレーザー照射段階；
前記レーザー感知部によって、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーの間を通過したレーザーを感知するレーザー感知段階；
前記感知された結果によって、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーの厚さを測定する厚さ測定段階；及び
前記測定された厚さに基づき、前記ウエハー移送装置に装着されたウエハーを加工する加工段階を含む、ウエハー加工方法。
前記ウエハー移送装置によって前記ウエハーを移送する段階をさらに含み、
前記レーザー照射段階、前記レーザー感知段階、及び前記厚さ測定段階は前記移送する段階中に行う、請求項１４に記載のウエハー加工方法。
前記測定されたウエハーの厚さを既設定の厚さ値と比較する比較段階をさらに含み、
前記加工段階は、前記比較段階によって比較された結果によって前記ウエハーの加工進行を決定するかあるいは加工時間を制御する、請求項１４に記載のウエハー加工方法。
前記加工段階は前記ウエハーを食刻する段階である、請求項１４に記載のウエハー加工方法。
前記加工段階後、前記レーザー照射段階、前記レーザー感知段階、及び前記厚さ測定段階を行うことで、前記加工段階によって加工されたウエハーの厚さを測定する厚さ測定段階；及び
前記加工段階によって加工されたウエハーの測定された厚さが既設定の厚さと同じになるまで、前記レーザー照射段階、前記レーザー感知段階、前記厚さ測定段階、前記比較段階、及び前記加工段階を繰り返し行う段階をさらに含む、請求項１６に記載のウエハー加工方法。
前記加工段階は、前記食刻段階で食刻されたウエハーを洗浄する洗浄段階をさらに含む、請求項１７に記載のウエハー加工方法。
前記加工段階は、前記洗浄段階で洗浄されたウエハーを乾燥させる乾燥段階をさらに含む、請求項１９に記載のウエハー加工方法。