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JP2018138778A - Liquid ring vacuum pump - Google Patents

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JP2018138778A
JP2018138778A JP2017033709A JP2017033709A JP2018138778A JP 2018138778 A JP2018138778 A JP 2018138778A JP 2017033709 A JP2017033709 A JP 2017033709A JP 2017033709 A JP2017033709 A JP 2017033709A JP 2018138778 A JP2018138778 A JP 2018138778A
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JP
Japan
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casing
annular member
impeller
vacuum pump
ring vacuum
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Application number
JP2017033709A
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Japanese (ja)
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裕之 川▲崎▼
Hiroyuki Kawasaki
裕之 川▲崎▼
望 佐々木
Nozomi Sasaki
望 佐々木
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Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】排気速度や出力ごとに羽根車とケーシングを専用設計せずに、排気速度や出力が異なった複数の機種においてケーシングの共用化を図ることができる液封式真空ポンプを提供する。【解決手段】封液を収容するケーシング2と、ケーシング2内に収容される少なくとも1つの羽根車3とを備えた液封式真空ポンプにおいて、ケーシング2を所定の内径D1で形成し、ケーシング2の内周面と羽根車3の外周面との間に、ケーシング2の所定の内径D1と略同径の外径を有しかつ羽根車3の外径D2に適合した内径D3を有する環状部材4を設けた。【選択図】図2[Problem] To provide a liquid ring vacuum pump that can share a casing for multiple models with different pumping speeds and outputs, without having to design an impeller and casing specifically for each pumping speed or output. [Solution] In a liquid ring vacuum pump comprising a casing (2) that contains a sealing liquid and at least one impeller (3) housed within the casing (2), the casing (2) is formed with a predetermined inner diameter (D1), and an annular member (4) is provided between the inner peripheral surface of the casing (2) and the outer peripheral surface of the impeller (3), the annular member (4) having an outer diameter (D3) that is approximately the same as the predetermined inner diameter (D1) of the casing (2) and that matches the outer diameter (D2) of the impeller (3). [Selected Figure] Figure 2

Description

本発明は、円形ケーシングと、円形ケーシングの中心に対し偏心して取り付けられた羽根車と、ケーシングの内周面と羽根車の外周面との間に設置された環状部材とを備えた液封式真空ポンプに関するものである。   The present invention provides a liquid seal type comprising a circular casing, an impeller mounted eccentrically with respect to the center of the circular casing, and an annular member installed between the inner peripheral surface of the casing and the outer peripheral surface of the impeller. It relates to a vacuum pump.

円形ケーシングと円形ケーシングの中心に対し偏心して取り付けられた羽根車とを備え、ケーシング内に水その他の液体を封入し、羽根車の回転による遠心力によりケーシング内壁に沿って液膜を形成し、液膜と隣接する2枚の羽根とによって形成される羽根室の容積変化を利用してポンプ作用を行う液封式真空ポンプが知られている。液封式真空ポンプは、別置きの電動機の主軸と接続されて駆動されるか、直動型モータの主軸に前記羽根車を取りつけて駆動される。   A circular casing and an impeller mounted eccentrically with respect to the center of the circular casing, enclosing water or other liquid in the casing, and forming a liquid film along the inner wall of the casing by centrifugal force due to rotation of the impeller; There is known a liquid ring vacuum pump that performs a pumping action by utilizing a volume change of a blade chamber formed by a liquid film and two adjacent blades. The liquid ring vacuum pump is driven by being connected to the main shaft of a separate electric motor or is driven by attaching the impeller to the main shaft of a direct acting motor.

液封式真空ポンプにおいては、羽根室を形成するため、羽根車外周の羽根先端は常に封液に浸かっている状態になっていることが必要である。羽根車側面とケーシング内壁面においては、隙間を微小にすることで液膜を形成し、羽根室を形成させなければならない。そのため、羽根車とケーシングは一対一に対応し、羽根車の外径が決まれば、ケーシングの内径が決まり、羽根車径とケーシング内径は互いに従属した寸法関係にある。
また、液封式真空ポンプは、適当な周速で運転しなければ安定した性能が発揮できないため、回転速度の変化による性能調整には限界があった。そのため、従来の液封式真空ポンプにおいては、排気速度や出力ごとに、羽根車とケーシングとを対として設計しなければならなかった。
In the liquid ring type vacuum pump, in order to form a blade chamber, it is necessary that the blade tip on the outer periphery of the impeller is always immersed in the seal solution. On the side surface of the impeller and the inner wall surface of the casing, a liquid film must be formed by forming a small gap to form a blade chamber. Therefore, the impeller and the casing correspond one-to-one, and if the outer diameter of the impeller is determined, the inner diameter of the casing is determined, and the impeller diameter and the casing inner diameter are in a dimensional relationship depending on each other.
In addition, since the liquid ring vacuum pump cannot exhibit stable performance unless it is operated at an appropriate peripheral speed, there is a limit to performance adjustment by changing the rotation speed. Therefore, in the conventional liquid ring vacuum pump, the impeller and the casing must be designed as a pair for each exhaust speed and output.

実用新案登録第2508668号公報Utility Model Registration No. 2508668

上述したように、従来の液封式真空ポンプにおいては、排気速度や出力ごとに、羽根車とケーシングとを対として設計しなければならないという問題があった。
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、排気速度や出力ごとに羽根車とケーシングを専用設計せずに、排気速度や出力が異なった複数の機種においてケーシングの共用化を図ることができる液封式真空ポンプを提供することを目的とする。
As described above, the conventional liquid ring vacuum pump has a problem that the impeller and the casing must be designed as a pair for each exhaust speed and output.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and does not design an impeller and a casing for each exhaust speed and output, and can share the casing in a plurality of models having different exhaust speeds and outputs. An object of the present invention is to provide a liquid ring vacuum pump capable of performing

上述した目的を達成するために、本発明の液封式真空ポンプは、封液を収容するケーシングと、前記ケーシング内に収容される少なくとも1つの羽根車とを備えた液封式真空ポンプにおいて、前記ケーシングを所定の内径で形成し、前記ケーシングの内周面と前記羽根車の外周面との間に、前記ケーシングの所定の内径と略同径の外径を有しかつ前記羽根車の外径に適合した内径を有する環状部材を設けたことを特徴とする。   In order to achieve the above-described object, a liquid ring vacuum pump according to the present invention is a liquid ring vacuum pump including a casing that stores a liquid seal and at least one impeller that is housed in the casing. The casing is formed with a predetermined inner diameter, and has an outer diameter that is substantially the same as the predetermined inner diameter of the casing between the inner peripheral surface of the casing and the outer peripheral surface of the impeller, and is outside the impeller. An annular member having an inner diameter adapted to the diameter is provided.

本発明の好ましい態様は、前記ケーシングの羽根車収容部の軸方向の寸法と前記環状部材の軸方向の寸法とは、略同一であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記環状部材は、外周もしくは端面の少なくとも一部分において、前記ケーシングと固定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記環状部材の内径によって形成される空間は、前記羽根車を支持する主軸と平行な円筒であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記環状部材の内外径の軸心が偏心していることを特徴とする。
In a preferred aspect of the present invention, the axial dimension of the impeller housing portion of the casing and the axial dimension of the annular member are substantially the same.
In a preferred aspect of the present invention, the annular member is fixed to the casing on at least a part of an outer periphery or an end surface.
In a preferred aspect of the present invention, the space formed by the inner diameter of the annular member is a cylinder parallel to the main shaft that supports the impeller.
In a preferred aspect of the present invention, the inner and outer diameter axes of the annular member are eccentric.

本発明によれば、ケーシングの内側に環状部材を入れることにより、ケーシング内径を小さくすることができ、排気速度や出力が異なった複数の機種においてケーシングを共用化することができる。そして、環状部材の半径方向厚さを適宜調整することにより、ケーシングを共用化できる機種数を増加させることができる。   According to the present invention, by inserting an annular member inside the casing, the casing inner diameter can be reduced, and the casing can be shared by a plurality of models having different exhaust speeds and outputs. And the number of models which can share a casing can be increased by adjusting the radial direction thickness of an annular member suitably.

図1は、本発明に係る液封式真空ポンプの実施形態を示す模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a liquid ring vacuum pump according to the present invention. 図2は、ポンプ室およびポンプ室内に配置された羽根車の詳細を示す図であり、図1のII−II線断面図である。FIG. 2 is a diagram showing details of the pump chamber and the impeller disposed in the pump chamber, and is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1. 図3は、本発明に係る液封式真空ポンプの他の実施形態を示す模式的断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of a liquid ring vacuum pump according to the present invention. 図4(a)〜(g)は、ケーシング内に配置された環状部材の各種断面形状を示す模式的断面図である。4A to 4G are schematic cross-sectional views showing various cross-sectional shapes of the annular member arranged in the casing. 図5(a),(b)は、溝を有した環状部材の側面図である。5A and 5B are side views of an annular member having a groove.

以下、本発明に係る液封式真空ポンプの実施形態を図1乃至図5を参照して説明する。図1乃至図5において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
図1は、本発明に係る液封式真空ポンプの実施形態を示す模式的断面図である。図1に示すように、液封式真空ポンプは、ポンプ室1を内部に形成するケーシング2を備えている。ポンプ室1には羽根車3が設けられている。ケーシング2の内周面と羽根車3の外周面との間には、環状部材4が設けられている。ケーシング2の羽根車収容部の軸方向の寸法と環状部材4の軸方向の寸法とは、略同一に設定されている。環状部材4は、外周もしくは端面の少なくとも一部分において、ケーシング2と固定されている。羽根車3は、モータ6の主軸(回転軸)7に固定されている。
Hereinafter, an embodiment of a liquid ring vacuum pump according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a liquid ring vacuum pump according to the present invention. As shown in FIG. 1, the liquid ring vacuum pump includes a casing 2 that forms a pump chamber 1 therein. An impeller 3 is provided in the pump chamber 1. An annular member 4 is provided between the inner peripheral surface of the casing 2 and the outer peripheral surface of the impeller 3. The axial dimension of the impeller housing portion of the casing 2 and the axial dimension of the annular member 4 are set to be substantially the same. The annular member 4 is fixed to the casing 2 at least at a part of the outer periphery or end face. The impeller 3 is fixed to a main shaft (rotary shaft) 7 of the motor 6.

ケーシング2の前端側の開口部は吸気側カバー8によって閉塞されており、この吸気側カバー8により密閉された空間としてのポンプ室1を形成している。ケーシング2の後端側には排気ケーシング9が接続されている。吸気側カバー8には吸気口8sが形成されており、吸気口8sから気体(たとえば、空気)をポンプ室1内に吸入するようになっている。ケーシング2および排気ケーシング9には排気ポートPdが形成されている。また、排気ケーシング9には排気口9dが形成されており、ポンプ室1から排気ポートPdを介して排出された気体を排気ケーシング9の排気口9dから外部に排出するようになっている。主軸7が排気ケーシング9を貫通する部分には、軸シールを行うためのメカニカルシール等の軸封部品10が装着されている。排気ケーシング9の開口部はモータフランジ12によって閉塞されている。   The opening on the front end side of the casing 2 is closed by an intake side cover 8 and forms a pump chamber 1 as a space sealed by the intake side cover 8. An exhaust casing 9 is connected to the rear end side of the casing 2. An intake port 8 s is formed in the intake side cover 8, and gas (for example, air) is sucked into the pump chamber 1 from the intake port 8 s. An exhaust port Pd is formed in the casing 2 and the exhaust casing 9. An exhaust port 9d is formed in the exhaust casing 9, and the gas discharged from the pump chamber 1 through the exhaust port Pd is discharged from the exhaust port 9d of the exhaust casing 9 to the outside. A shaft seal component 10 such as a mechanical seal for shaft sealing is attached to a portion where the main shaft 7 passes through the exhaust casing 9. The opening of the exhaust casing 9 is closed by a motor flange 12.

図1に示すように、羽根車3はモータ6の主軸7の軸端部に取り付けられている。羽根車3を支持する主軸7は、モータ6のモータケーシング13に設けられた軸受14によって片持ち構造(オーバーハング構造)で支持されている。   As shown in FIG. 1, the impeller 3 is attached to the shaft end portion of the main shaft 7 of the motor 6. The main shaft 7 that supports the impeller 3 is supported in a cantilever structure (overhang structure) by a bearing 14 provided in a motor casing 13 of the motor 6.

図2は、ケーシング2と、ケーシング2内に配置された羽根車3および環状部材4の詳細を示す図であり、図1のII−II線断面図である。図2に示すように、ケーシング2は内部に円形の内部空間を有している。主軸7には羽根車3が固定されており、羽根車3はケーシング2の円形の内部空間に対して偏心している。ケーシング2の内周面と羽根車3の外周面との間には、矩形断面を有した環状部材4が配置されている。環状部材4は内部に円形の内部空間を有し、この内部空間がポンプ室1になっている。羽根車3は、円筒形のボス部41と、ボス部41から等間隔に放射状に延びる複数の羽根42とを備えている。   FIG. 2 is a diagram showing details of the casing 2, the impeller 3 and the annular member 4 arranged in the casing 2, and is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 1. As shown in FIG. 2, the casing 2 has a circular internal space. An impeller 3 is fixed to the main shaft 7, and the impeller 3 is eccentric with respect to the circular inner space of the casing 2. An annular member 4 having a rectangular cross section is disposed between the inner peripheral surface of the casing 2 and the outer peripheral surface of the impeller 3. The annular member 4 has a circular internal space inside, and this internal space is the pump chamber 1. The impeller 3 includes a cylindrical boss portion 41 and a plurality of blades 42 extending radially from the boss portion 41 at equal intervals.

図2に示すように、ケーシング2は所定の内径D1で形成されている。環状部材4は、ケーシング2の所定の内径D1と略同径の外径を有しかつ羽根車3の外径D2に適合した内径D3を有している。すなわち、環状部材4の内径D3は、羽根車3の外径D2によって決定される内径になっている。図2において3本の垂直方向の一点鎖線のうち、右端の一点鎖線L1はケーシング2の中心を表す線であり、中央の一点鎖線L2は環状部材4の内径中心を表す線であり、左端の一点鎖線L3は羽根車3の中心を表す線である。このように、環状部材4の内径を環状部材4の外径(すなわち、ケーシング2の内径)に対して偏心させることで、環状部材4の中心に対して羽根車3の中心が偏心している偏心量を調整することが可能となる。   As shown in FIG. 2, the casing 2 is formed with a predetermined inner diameter D1. The annular member 4 has an outer diameter substantially the same as the predetermined inner diameter D1 of the casing 2 and an inner diameter D3 that matches the outer diameter D2 of the impeller 3. That is, the inner diameter D3 of the annular member 4 is an inner diameter determined by the outer diameter D2 of the impeller 3. In FIG. 2, of the three vertical one-dot chain lines, the right one-dot chain line L 1 is a line representing the center of the casing 2, and the center one-dot chain line L 2 is a line representing the inner diameter center of the annular member 4. A one-dot chain line L3 is a line representing the center of the impeller 3. As described above, the center of the impeller 3 is eccentric with respect to the center of the annular member 4 by making the inner diameter of the annular member 4 eccentric with respect to the outer diameter of the annular member 4 (that is, the inner diameter of the casing 2). The amount can be adjusted.

図1および図2に示す本発明の液封式真空ポンプによれば、排気速度や出力の大きい機種でケーシング2と羽根車3とを対で設計し、それより排気速度や出力の小さい機種の場合には羽根車径が小さくなるが、ケーシング2はそのまま変更せず、ケーシング2の内側に環状部材4を入れて環状部材4の内周面をケーシングの内周面として機能させる。すなわち、ケーシング2の内側に環状部材4を入れることにより、ケーシング内径を小さくすることができ、排気速度や出力が異なった複数の機種においてケーシング2を共用化することができる。そして、環状部材4の半径方向厚さを適宜調整することにより、ケーシング2を共用化できる機種数を増加させることができる。   According to the liquid ring vacuum pump of the present invention shown in FIGS. 1 and 2, the casing 2 and the impeller 3 are designed as a pair with a model having a large exhaust speed and output, and a model with a smaller exhaust speed and output than that is designed. In this case, the impeller diameter is reduced, but the casing 2 is not changed as it is, and the annular member 4 is inserted inside the casing 2 so that the inner peripheral surface of the annular member 4 functions as the inner peripheral surface of the casing. That is, by inserting the annular member 4 inside the casing 2, the casing inner diameter can be reduced, and the casing 2 can be shared by a plurality of models having different exhaust speeds and outputs. And the number of models which can share the casing 2 can be increased by adjusting the radial direction thickness of the annular member 4 suitably.

図2において、羽根車3は反時計回りに回転する。環状部材4の内部空間には、その約半分の容積を満たす量の液体(例えば、水)が供給される。羽根車3が回転すると、複数の羽根42が羽根車3の外周方向に液体を掻き出し、液体は、遠心力によって環状部材4の内面に沿って周回し、環状の液膜(液環)LFを形成する。ポンプ室1では、ケーシング両側壁と液膜LFと隣接する2枚の羽根42とによって形成される各羽根室Rbの容積変化を利用して気体を圧縮しポンプ作用を行う。   In FIG. 2, the impeller 3 rotates counterclockwise. The internal space of the annular member 4 is supplied with an amount of liquid (for example, water) that fills about half of the volume. When the impeller 3 rotates, the plurality of blades 42 scrape liquid out in the outer circumferential direction of the impeller 3, and the liquid circulates along the inner surface of the annular member 4 by centrifugal force, and the annular liquid film (liquid ring) LF Form. In the pump chamber 1, the gas is compressed by using the volume change of each blade chamber Rb formed by the both side walls of the casing and the two blades 42 adjacent to the liquid film LF to perform a pump action.

図3は、本発明に係る液封式真空ポンプの他の実施形態を示す模式的断面図である。図3においては、液封式真空ポンプとして、2段液封式真空ポンプを図示している。図3に示すように、2段液封式真空ポンプは、第1段ポンプ室1−1を内部に形成する第1ケーシング2−1と、第2段ポンプ室1−2を内部に形成する第2ケーシング2−2とを備えている。第1段ポンプ室1−1には吸気側の第1段羽根車3−1が設けられ、第2段ポンプ室1−2には排気側の第2段羽根車3−2が設けられている。第1ケーシング2−1の内周面と第1段羽根車3−1の外周面との間には、第1環状部材4−1が設けられている。第2ケーシング2−2の内周面と第2段羽根車3−2の外周面との間には、第2環状部材4−2が設けられている。第1段羽根車3−1と第2段羽根車3−2とは、モータ6の同一の主軸(回転軸)7に固定されている。第1ケーシング2−1には、半径方向内方に延びる側壁2pが形成されており、この側壁2pによって第1段ポンプ室1−1と第2段ポンプ室1−2とを仕切っている。側壁2pには、第1段ポンプ室1−1の排気ポートPdと第2段ポンプ室1−2の吸気ポートPsとが形成されており、排気ポートPdと吸気ポートPsとにより第1段ポンプ室1−1と第2段ポンプ室1−2とを連通させている。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of a liquid ring vacuum pump according to the present invention. In FIG. 3, a two-stage liquid ring vacuum pump is illustrated as a liquid ring vacuum pump. As shown in FIG. 3, the two-stage liquid ring vacuum pump has a first casing 2-1 that forms a first-stage pump chamber 1-1 and a second-stage pump chamber 1-2 inside. And a second casing 2-2. The first stage pump chamber 1-1 is provided with a first stage impeller 3-1 on the intake side, and the second stage impeller 3-2 is provided on the second stage pump chamber 1-2. Yes. A first annular member 4-1 is provided between the inner peripheral surface of the first casing 2-1 and the outer peripheral surface of the first stage impeller 3-1. A second annular member 4-2 is provided between the inner peripheral surface of the second casing 2-2 and the outer peripheral surface of the second stage impeller 3-2. The first stage impeller 3-1 and the second stage impeller 3-2 are fixed to the same main shaft (rotary shaft) 7 of the motor 6. A side wall 2p extending inward in the radial direction is formed in the first casing 2-1, and the first stage pump chamber 1-1 and the second stage pump chamber 1-2 are partitioned by the side wall 2p. An exhaust port Pd of the first stage pump chamber 1-1 and an intake port Ps of the second stage pump chamber 1-2 are formed on the side wall 2p, and the first stage pump is formed by the exhaust port Pd and the intake port Ps. The chamber 1-1 communicates with the second-stage pump chamber 1-2.

第1ケーシング2−1の前端側の開口部は吸気側カバー8によって閉塞されており、この吸気側カバー8により密閉された空間としての第1段ポンプ室1−1を形成している。第2ケーシング2−2の後端側には排気ケーシング9が接続されている。吸気側カバー8には吸気口8sが形成されており、吸気口8sから気体(たとえば、空気)を第1段ポンプ室1−1内に吸入するようになっている。第2ケーシング2−2および排気ケーシング9には第2段ポンプ室1−2の排気ポートPdが形成されている。また、排気ケーシング9には排気口9dが形成されており、第2段ポンプ室1−2から排気ポートPdを介して排出された気体を排気ケーシング9の排気口9dから外部に排出するようになっている。主軸7が排気ケーシング9を貫通する部分には、軸シールを行うためのメカニカルシール等の軸封部品10が装着されている。排気ケーシング9の開口部はモータフランジ12によって閉塞されている。   The opening on the front end side of the first casing 2-1 is closed by an intake side cover 8, and a first stage pump chamber 1-1 is formed as a space sealed by the intake side cover 8. An exhaust casing 9 is connected to the rear end side of the second casing 2-2. An intake port 8s is formed in the intake side cover 8, and gas (for example, air) is sucked into the first stage pump chamber 1-1 from the intake port 8s. The second casing 2-2 and the exhaust casing 9 are formed with an exhaust port Pd of the second stage pump chamber 1-2. An exhaust port 9d is formed in the exhaust casing 9, and the gas discharged from the second-stage pump chamber 1-2 through the exhaust port Pd is discharged from the exhaust port 9d of the exhaust casing 9 to the outside. It has become. A shaft seal component 10 such as a mechanical seal for shaft sealing is attached to a portion where the main shaft 7 passes through the exhaust casing 9. The opening of the exhaust casing 9 is closed by a motor flange 12.

図3に示すように、第1段羽根車3−1と第2段羽根車3−2はモータ6の主軸7の軸端部に取り付けられている。第1段羽根車3−1と第2段羽根車3−2とを支持する主軸7は、モータ6のモータケーシング13に設けられた軸受14によって片持ち構造(オーバーハング構造)で支持されている。   As shown in FIG. 3, the first stage impeller 3-1 and the second stage impeller 3-2 are attached to the shaft end portion of the main shaft 7 of the motor 6. The main shaft 7 supporting the first stage impeller 3-1 and the second stage impeller 3-2 is supported by a cantilever structure (overhang structure) by a bearing 14 provided on the motor casing 13 of the motor 6. Yes.

図3に示す第1ケーシング2−1、第1ケーシング2−1内に配置された第1段羽根車3−1および第1環状部材4−1の断面構造は、図2と同様であり、第1ケーシング2−1と第1段羽根車3−1と第1環状部材4−1の寸法関係も図2と同様である。
また、図3に示す第2ケーシング2−2、第2ケーシング2−2内に配置された第2段羽根車3−2および第2環状部材4−2の断面構造は、図2と同様であり、第2ケーシング2−2と第2段羽根車3−2と第2環状部材4−2の寸法関係も図2と同様である。
The cross-sectional structures of the first casing 2-1, the first stage impeller 3-1 and the first annular member 4-1, which are arranged in the first casing 2-1, shown in FIG. The dimensional relationship among the first casing 2-1, the first stage impeller 3-1, and the first annular member 4-1 is the same as that in FIG.
Moreover, the second casing 2-2 shown in FIG. 3, the second stage impeller 3-2 arranged in the second casing 2-2, and the cross-sectional structure of the second annular member 4-2 are the same as those in FIG. 2. In addition, the dimensional relationship among the second casing 2-2, the second stage impeller 3-2, and the second annular member 4-2 is the same as that in FIG.

図3に示す本発明の2段液封式真空ポンプによれば、第1ケーシング2−1の内側に第1環状部材4−1を入れ、第2ケーシング2−2の内側に第2環状部材4−2を入れることにより、第1環状部材4−1の内周面および第2環状部材4−2の内周面をそれぞれケーシングの内周面として機能させる。すなわち、第1ケーシング2−1,第2ケーシング2−2の内側に第1環状部材4−1,第2環状部材4−2を入れることにより、ケーシング内径を小さくすることができ、排気速度が異なった複数の機種において第1ケーシング2−1および第2ケーシング2−2を共用化することができる。   According to the two-stage liquid ring vacuum pump of the present invention shown in FIG. 3, the first annular member 4-1 is placed inside the first casing 2-1, and the second annular member inside the second casing 2-2. By inserting 4-2, the inner peripheral surface of the first annular member 4-1 and the inner peripheral surface of the second annular member 4-2 are caused to function as the inner peripheral surface of the casing, respectively. That is, by placing the first annular member 4-1 and the second annular member 4-2 inside the first casing 2-1 and the second casing 2-2, the casing inner diameter can be reduced, and the exhaust speed is reduced. The first casing 2-1 and the second casing 2-2 can be shared by a plurality of different models.

次に、図1乃至図3に示す液封式真空ポンプで使用される各部材の材料について説明する。
ケーシング2,第1ケーシング2−1,第2ケーシング2−2の材料は、ステンレス鋼、鋳鉄鋳物、銅合金鋳物、ステンレス鋳物などの金属を使用してもよい。羽根車3,第1段羽根車3−1,第2段羽根車3−2の材料は、ステンレス鋼、鋳鉄鋳物、銅合金鋳物、ステンレス鋳物などを使用してもよい。
環状部材4,第1環状部材4−1,第2環状部材4−2の材料は、FC、SUS304、SCS13などの金属を使用してもよい。環状部材4,第1環状部材4−1,第2環状部材4−2の材料は、PP、PE、PPO、PVC、PPS、ABS、PA66などの樹脂を使用してもよい。樹脂は金属類と比較して比重が軽いため、軽量化が実現できる。
環状部材4,第1環状部材4−1,第2環状部材4−2の材料は、NR、NBR、EPDM、CR、FKMなどのゴム材を使用してもよい。ゴム材は金属類と比較して比重が軽いため、軽量化が実現できる。また、運転時に排気騒音が問題となる場合、環状部材4,第1環状部材4−1,第2環状部材4−2にゴム材を使用することで、騒音低減が実現できる。
環状部材4,第1環状部材4−1,第2環状部材4−2の取付は、ケーシングと環状部材を異なる材料とすれば、線膨張係数の差を利用して圧入固定してもよい。環状部材4,第1環状部材4−1,第2環状部材4−2の取付は、ボルトなどの締結具部材によって固定してもよい。
Next, the material of each member used in the liquid ring vacuum pump shown in FIGS. 1 to 3 will be described.
The material of the casing 2, the first casing 2-1 and the second casing 2-2 may be a metal such as stainless steel, cast iron casting, copper alloy casting, stainless casting. The material of the impeller 3, first stage impeller 3-1 and second stage impeller 3-2 may be stainless steel, cast iron casting, copper alloy casting, stainless casting, or the like.
Metals such as FC, SUS304, and SCS13 may be used as the material of the annular member 4, the first annular member 4-1, and the second annular member 4-2. Resin such as PP, PE, PPO, PVC, PPS, ABS, PA66 may be used as the material of the annular member 4, the first annular member 4-1, and the second annular member 4-2. Since the specific gravity of the resin is lighter than that of metals, the weight can be reduced.
As the material of the annular member 4, the first annular member 4-1, and the second annular member 4-2, rubber materials such as NR, NBR, EPDM, CR, and FKM may be used. Since the specific gravity of the rubber material is lighter than that of metals, the weight can be reduced. In addition, when exhaust noise becomes a problem during operation, noise reduction can be realized by using a rubber material for the annular member 4, the first annular member 4-1, and the second annular member 4-2.
If the casing and the annular member are made of different materials, the annular member 4, the first annular member 4-1 and the second annular member 4-2 may be press-fitted and fixed using a difference in linear expansion coefficient. Attachment of the annular member 4, the first annular member 4-1, and the second annular member 4-2 may be fixed by a fastener member such as a bolt.

図4(a)〜(g)は、ケーシング2内に配置された環状部材4の各種断面形状を示す模式的断面図である。
図1および図2に示す実施形態においては、環状部材4は全体として円筒形状を有し、環状部材4の断面形状は溝を有さない矩形状断面である。これに対し、図4(a)〜(g)に示す例においては、環状部材4が全体として円筒形状を有することは同じであるが、環状部材4の断面形状は、溝gを有した各種断面形状である。具体的には、環状部材4の断面形状は、エ字状断面(図4(a))、逆コ字状断面(図4(b))、コ字状断面(図4(c))、U字状断面(図4(d))、逆T字状断面(図4(e))、逆L字状断面(図4(f))、L字状断面(図4(g))である。図4(a)〜(g)に示すように、環状部材4の内周面が円周面になっていて、液体が環状部材4の内周面に沿って周回し、環状の液膜LFを形成することができる限りにおいて、環状部材4の断面形状は、各種断面形状が許容される。
4A to 4G are schematic cross-sectional views showing various cross-sectional shapes of the annular member 4 disposed in the casing 2.
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the annular member 4 has a cylindrical shape as a whole, and the sectional shape of the annular member 4 is a rectangular cross section having no groove. On the other hand, in the example shown in FIGS. 4A to 4G, the annular member 4 has the same cylindrical shape as the whole, but the sectional shape of the annular member 4 has various grooves g. Cross-sectional shape. Specifically, the cross-sectional shape of the annular member 4 includes an E-shaped cross section (FIG. 4A), an inverted U-shaped cross section (FIG. 4B), a U-shaped cross section (FIG. 4C), U-shaped cross section (FIG. 4 (d)), inverted T-shaped cross section (FIG. 4 (e)), inverted L-shaped cross section (FIG. 4 (f)), L-shaped cross section (FIG. 4 (g)) is there. As shown in FIGS. 4A to 4G, the inner circumferential surface of the annular member 4 is a circumferential surface, and the liquid circulates along the inner circumferential surface of the annular member 4, and the annular liquid film LF. As long as the cross-sectional shape of the annular member 4 can be formed, various cross-sectional shapes are allowed.

図5(a),(b)は、溝を有した環状部材4の側面図である。図5(a)は、環状部材4の側面の全周に溝gが形成されている例を示し、図5(a)に示す溝gは円形溝である。図5(b)は、環状部材4の側面に形成されている溝gの一部が欠けている例を示し、図5(b)に示す溝gは略C形溝である。   5A and 5B are side views of the annular member 4 having a groove. Fig.5 (a) shows the example by which the groove | channel g is formed in the perimeter of the side surface of the annular member 4, and the groove | channel g shown to Fig.5 (a) is a circular groove | channel. FIG. 5B shows an example in which a part of the groove g formed on the side surface of the annular member 4 is missing, and the groove g shown in FIG. 5B is a substantially C-shaped groove.

これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術思想の範囲内において、種々の異なる形態で実施されてよいことは勿論である。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that the present invention may be implemented in various different forms within the scope of the technical idea.

1 ポンプ室
1−1 第1段ポンプ室
1−2 第2段ポンプ室
2 ケーシング
2−1 第1ケーシング
2−2 第2ケーシング
2p 側壁
3 羽根車
3−1 第1段羽根車
3−2 第2段羽根車
4 環状部材
4−1 第1環状部材
4−2 第2環状部材
6 モータ
7 主軸
8 吸気側カバー
8s 吸気口
9 排気ケーシング
9d 排気口
10 軸封部品
12 モータフランジ
13 モータケーシング
14 軸受
D1 ケーシングの内径
D2 羽根車の外径
D3 環状部材の内径
LF 液膜(液環)
Pd 排気ポート
Ps 吸気ポート
Rb 羽根室
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump chamber 1-1 1st stage pump chamber 1-2 2nd stage pump chamber 2 Casing 2-1 1st casing 2-2 2nd casing 2p Side wall 3 Impeller 3-1 1st stage impeller 3-2 2nd 2-stage impeller 4 annular member 4-1 first annular member 4-2 second annular member 6 motor 7 main shaft 8 intake side cover 8s intake port 9 exhaust casing 9d exhaust port 10 shaft seal part 12 motor flange 13 motor casing 14 bearing D1 Inner diameter of casing D2 Outer diameter of impeller D3 Inner diameter of annular member LF Liquid film (liquid ring)
Pd Exhaust port Ps Intake port Rb Blade chamber

Claims (5)

封液を収容するケーシングと、前記ケーシング内に収容される少なくとも1つの羽根車とを備えた液封式真空ポンプにおいて、
前記ケーシングを所定の内径で形成し、
前記ケーシングの内周面と前記羽根車の外周面との間に、前記ケーシングの所定の内径と略同径の外径を有しかつ前記羽根車の外径に適合した内径を有する環状部材を設けたことを特徴とする液封式真空ポンプ。
In a liquid ring vacuum pump comprising a casing for storing a sealing liquid and at least one impeller stored in the casing,
Forming the casing with a predetermined inner diameter;
An annular member having an outer diameter substantially the same as a predetermined inner diameter of the casing and an inner diameter adapted to the outer diameter of the impeller is provided between the inner peripheral surface of the casing and the outer peripheral surface of the impeller. A liquid ring vacuum pump characterized by being provided.
前記ケーシングの羽根車収容部の軸方向の寸法と前記環状部材の軸方向の寸法とは、略同一であることを特徴とする請求項1記載の液封式真空ポンプ。   2. The liquid ring vacuum pump according to claim 1, wherein an axial dimension of the impeller housing portion of the casing and an axial dimension of the annular member are substantially the same. 前記環状部材は、外周もしくは端面の少なくとも一部分において、前記ケーシングと固定されていることを特徴とする請求項1または2記載の液封式真空ポンプ。   The liquid ring vacuum pump according to claim 1 or 2, wherein the annular member is fixed to the casing at least at a part of an outer periphery or an end face. 前記環状部材の内径によって形成される空間は、前記羽根車を支持する主軸と平行な円筒であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液封式真空ポンプ。   4. The liquid ring vacuum pump according to claim 1, wherein the space formed by the inner diameter of the annular member is a cylinder parallel to a main shaft that supports the impeller. 5. 前記環状部材の内外径の軸心が偏心していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液封式真空ポンプ。   The liquid ring vacuum pump according to any one of claims 1 to 4, wherein an axis of an inner and outer diameter of the annular member is eccentric.
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