JP2018123403A - 反射防止膜、反射防止膜の製造方法、型および型の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型を効率よく製造できる方法を提供する。【解決手段】型（１００）の製造方法は、機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材（１２）を用意する工程（ａ）と、アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の凹部（１２ａ）をアルミニウム基材の表面（１２ｓ）に形成する工程（ｂ）と、工程（ｂ）の後に、アルミニウム基材の表面に無機材料層（１６）を形成し、無機材料層の上にアルミニウム膜（１８）を形成することによって、型基材（１０）を作製する工程（ｃ）と、工程（ｃ）の後に、アルミニウム膜の表面を陽極酸化する工程およびポーラスアルミナ層をエッチング液に接触させる工程とを包含する。【選択図】図１

Description

本発明は、反射防止膜、反射防止膜の製造方法、型および型の製造方法に関する。ここでいう「型」は、種々の加工方法（スタンピングやキャスティング）に用いられる型を包含し、スタンパということもある。また、印刷（ナノプリントを含む）にも用いられ得る。

テレビや携帯電話などに用いられる表示装置やカメラレンズなどの光学素子には、通常、表面反射を低減して光の透過量を高めるために反射防止技術が施されている。例えば、空気とガラスとの界面に光が入射する場合のように屈折率が異なる媒体の界面を光が通過する場合、フレネル反射などによって光の透過量が低減し、視認性が低下するからである。

近年、反射防止技術として、凹凸の周期が可視光の波長（λ＝３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ）以下に制御された微細な凹凸パターンを基板表面に形成する方法が注目されている（特許文献１〜３を参照）。反射防止機能を発現する凹凸パターンを構成する凸部の２次元的な大きさは１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満である。ここで、凸部の「２次元的な大きさ」とは、表面の法線方向から見たときの凸部の面積円相当径を指し、例えば、凸部が円錐形の場合、凸部の２次元的な大きさは、円錐の底面の直径に相当する。凹部の「２次元的な大きさ」も同様である。

この方法は、いわゆるモスアイ（Ｍｏｔｈ−ｅｙｅ、蛾の目）構造の原理を利用したものであり、基板に入射した光に対する屈折率を凹凸の深さ方向に沿って入射媒体の屈折率から基板の屈折率まで連続的に変化させることによって反射防止したい波長域の反射を抑えている。

モスアイ構造は、広い波長域にわたって入射角依存性の小さい反射防止作用を発揮できるほか、多くの材料に適用でき、凹凸パターンを基板に直接形成できるなどの利点を有している。その結果、低コストで高性能の反射防止膜（または反射防止表面）を提供できる。

モスアイ構造の製造方法として、アルミニウムを陽極酸化することによって得られる陽極酸化ポーラスアルミナ層を用いる方法が注目されている（特許文献２および３）。

陽極酸化ポーラスアルミナ膜を利用することによって、モスアイ構造を表面に形成するための型（以下、「モスアイ用型」という。）を容易に製造することができる。特に、特許文献２および３に記載されているように、アルミニウムの陽極酸化膜の表面をそのまま型として利用すると、製造コストを低減する効果が大きい。モスアイ構造を形成することができるモスアイ用型の表面の構造を「反転されたモスアイ構造」ということにする。

特許文献１から５に記載されているように、モスアイ構造に加えて、モスアイ構造よりも大きな凹凸構造を設けることによって、反射防止膜（または反射防止表面）にアンチグレア（防眩）機能を付与することができる。アンチグレア機能を発揮する凹凸構造（「アンチグレア構造」ということがある。）を構成する凸部または凹部の２次元的な大きさは、例えば２００ｎｍ以上１００μｍ未満である。また、アンチグレア構造を形成することができる型の表面の構造を「反転されたアンチグレア構造」ということにする。特許文献１から４の開示内容の全てを参考のために本明細書に援用する。

特表２００１−５１７３１９号公報 特表２００３−５３１９６２号公報 国際公開第２００６／０５９６８６号 国際公開第２０１１／０５２６５２号 国際公開第２０１３／０９９９３５号

所望のアンチグレア機能を有する反射防止膜（または反射防止表面）を形成するための型を効率よく製造する方法が検討されている。近年は、クリアな画像が好まれる傾向にある。すなわち、高精細な表示パネルに貼ったときに、高精細な画像を劣化させず、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現する反射防止膜が求められる傾向にある。本出願人がこのような反射防止膜を製造したところ、斜め視角から見たとき、反射防止膜を介した像が白濁するという問題が生じることがあった。詳細は後述する。

本発明は、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜（または反射防止表面）を提供すること、そのような反射防止膜を製造する方法を提供すること、そのような反射防止膜を形成するための型を提供すること、およびそのような型を効率よく製造できる方法を提供することを目的とする。

本発明の実施形態による型の製造方法は、機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）とを包含する。

ある実施形態において、前記投射材の平均粒径は、１０μｍ以上３５μｍ未満である。

ある実施形態において、前記投射材の粒度分布は、平均粒径から±１０％以内の範囲内にピークを有する。

ある実施形態において、前記製造方法は、前記工程（ｂ）と前記工程（ｃ）との間に、前記アルミニウム基材の表面に電解研磨を施す工程（ｇ）をさらに包含する。

本発明の実施形態による型は、上記のいずれかの型の製造方法によって製造された型である。

本発明の他の実施形態による型は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上１２μｍ以下の複数の第１凹部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凹部とを有する表面構造を備え、前記複数の第１凹部の隣接間距離は、２μｍ以上１０μｍ以下である。

本発明の実施形態による反射防止膜の製造方法は、上記のいずれかの型を用意する工程と、被加工物を用意する工程と、前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含する。

本発明の実施形態による反射防止膜は、上記の反射防止膜の製造方法によって製造された反射防止膜である。

本発明の他の実施形態による反射防止膜は、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上１２μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である。

ある実施形態において、２０度鏡面光沢度が０．０１以上１．０以下であり、６０度鏡面光沢度が１．０以上１０．０以下である。

ある実施形態において、８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である。

ある実施形態において、８５度鏡面光沢度が５０．０以上７５．０以下である。

ある実施形態において、入射角を５°とし、受光角を横軸にとり、拡散反射光強度の最大値を８０％として規格化した、相対拡散反射率（％）の常用対数を縦軸にとった配光分布曲線は、受光角が５°以上７°以下の範囲において、３％以上であり、受光角が８°以上１０°以下で、かつ、前記相対拡散反射率（％）が２％以上８％以下の範囲内にある点を含み、受光角が１０°以上１５°以下で、かつ、前記相対拡散反射率（％）が０．９％以上１．１％以下の範囲内にある点を含む。

ある実施形態において、ヘイズ値が２％以上４０％以下である。

本発明の他の実施形態による反射防止膜を製造する方法は、表面にアルミニウム膜を有する円筒状の型基材を用意する工程（ａ）と、前記アルミニウム膜の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム膜の表面に形成する工程（ｂ）と、前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｃ）と、前記工程（ｃ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｄ）と、前記工程（ｄ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｅ）とを包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、被加工物を用意する工程と、前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含し、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である反射防止膜を製造する。

本発明のさらに他の実施形態による反射防止膜を製造する方法は、表面にアルミニウム膜を有する円筒状の型基材を用意する工程（ａ）と、前記アルミニウム膜の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム膜の表面に形成する工程（ｂ）と、前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｃ）と、前記工程（ｃ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｄ）と、前記工程（ｄ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｅ）とを包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、被加工物を用意する工程と、前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含し、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である反射防止膜を製造する。

本発明の実施形態によると、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜（または反射防止表面）、そのような反射防止膜を製造する方法、そのような反射防止膜を形成するための型およびそのような型を効率よく製造できる方法が提供される。

（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造方法を説明するための模式的な断面図である。 本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造工程の内、アルミニウム基材１２の表面に投射材を吹き付けることによって、反転されたアンチグレア構造を形成する工程を説明するための模式的な図である。 モスアイ用型１００を用いた反射防止膜の製造方法を説明するための図である。 （ａ）および（ｂ）は、投射材を吹き付けることによって形成された反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム小片の表面のＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール２０．０μｍ）である。 （ａ）および（ｂ）は、実施例１の反射防止フィルム（中央）と、参考例１の反射防止フィルム（右）と、比較例１の反射防止フィルム（左）とを表面に貼り付けた表示パネルの光学像を示す図であり、（ａ）は、表面の法線方向から見た光学像を示す図であり、（ｂ）は、斜め視角（極角６０°）から見た光学像を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態による反射防止膜のＳＥＭ像であり、（ａ）は、反射防止膜の表面を垂直方向から観察したときのＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール１０．０μｍ）であり、（ｂ）は、反射防止膜の断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール３．０μｍ）であり、（ｃ）は、反射防止膜の断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール５００ｎｍ）である。 （ａ）〜（ｃ）は、参考例による反射防止膜のＳＥＭ像であり、（ａ）は、反射防止膜の表面を垂直方向から観察したときのＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール１０．０μｍ）であり、（ｂ）は、反射防止膜の断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール３．０μｍ）であり、（ｃ）は、反射防止膜の断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール５００ｎｍ）である。 （ａ）および（ｂ）は、アンチグレア機能を有する反射防止フィルムの模式的な断面図であり、（ａ）は、表面にアンチグレア構造を有する反射防止フィルム５０の模式的な断面図であり、（ｂ）は、アンチグレア機能を有する層を表面よりも内側に有する反射防止フィルム９５０の模式的な断面図である。 （ａ）は、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの、明所コントラスト比を示し、（ｂ）は、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの、白表示状態の輝度を示し、（ｃ）は、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの、黒表示状態の輝度を示す。 （ａ）は、比較例３〜比較例７の反射防止フィルムによる拡散反射光の配光分布の測定結果を示すグラフであり、（ｂ）は、拡散反射光の配光分布の測定系を示す模式図である。 （ａ）および（ｂ）は、比較例２〜比較例７の反射防止フィルムの白表示状態の輝度を、極角を変化させながら測定した結果を示すグラフであり、（ｂ）は、（ａ）の一部を拡大して示す図である。 （ａ）および（ｂ）は、アンチグレア構造を形成するための凹凸構造と、行方向のドットピッチＰｘとの大きさの関係を模式的に示す図である。 実施例３、参考例２、比較例３、比較例５、比較例１２および比較例１３の反射防止フィルムによる拡散反射光の配光分布の測定結果を示すグラフである。

以下で、図面を参照して、本発明の実施形態による反射防止膜、反射防止膜の製造方法、反射防止膜を形成するための型および型の製造方法を説明する。なお、本発明は以下で例示する実施形態に限られない。以下の図面において、実質的に同じ機能を有する構成要素は共通の参照符号で示し、その説明を省略することがある。

図１および図２を参照して、本発明の実施形態による型の製造方法を説明する。

まず図１を参照する。図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造方法を説明するための模式的な断面図である。図１（ａ）は、アルミニウム基材１２の模式的な断面図であり、図１（ｂ）は、反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム基材１２の表面構造を模式的に示す断面図であり、図１（ｃ）は、アルミニウム基材１２の表面に無機材料層１６およびアルミニウム膜１８を形成することによって得られる型基材１０の模式的な断面図であり、図１（ｄ）は、反転されたアンチグレア構造と、反転されたアンチグレア構造に重畳された反転されたモスアイ構造とを有するモスアイ用型１００の模式的な断面図である。図１（ｄ）は、図１（ｃ）の一部分（破線に挟まれた領域）に対応する断面図である。

本明細書において、型基材とは、型の製造工程において、陽極酸化およびエッチングされる対象をいう。また、アルミニウム基材とは、自己支持が可能なバルク状のアルミニウムをいう。

図１には、モスアイ用型１００の一部を拡大して示すが、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００は、例えば円筒状（ロール状）である。国際公開第２０１１／１０５２０６号に開示されているように、円筒状のモスアイ用型を用いると、ロール・ツー・ロール方式により反射防止膜を効率良く製造することができる。参考のために、国際公開第２０１１／１０５２０６号の開示内容の全てを本明細書に援用する。以下では円筒状の型を例に説明するが、本発明の実施形態による型は、円筒状に限られない。

まず、図１（ａ）に示すように、円筒状の基材１２を用意する。円筒状の基材１２は、例えばアルミニウムで形成されている。以下では、アルミニウム基材１２の例を説明する。アルミニウム基材１２には、機械的な鏡面加工が施されている。円筒状のアルミニウム基材１２は、例えば、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系のアルミニウム合金で形成されている。

アルミニウム基材１２としては、アルミニウムの純度が９９．５０ｍａｓｓ％以上９９．９９ｍａｓｓ％未満である比較的剛性の高いアルミニウム基材を用いる。アルミニウム基材１２に含まれる不純物としては、鉄（Ｆｅ）、ケイ素（Ｓｉ）、銅（Ｃｕ）、マンガン（Ｍｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、スズ（Ｓｎ）およびマグネシウム（Ｍｇ）からなる群から選択された少なくとも１つの元素を含むことが好ましく、特にＭｇが好ましい。エッチング工程におけるピット（窪み）が形成されるメカニズムは、局所的な電池反応であるので、理想的にはアルミニウムよりも貴な元素を全く含まず、卑な金属であるＭｇ（標準電極電位が−２．３６Ｖ）を不純物元素として含むアルミニウム基材１２を用いることが好ましい。アルミニウムよりも貴な元素の含有率が１０ｐｐｍ以下であれば、電気化学的な観点からは、当該元素を実質的に含んでいないと言える。Ｍｇの含有率は、全体の０．１ｍａｓｓ％以上であることが好ましく、約３．０ｍａｓｓ％以下の範囲であることがさらに好ましい。Ｍｇの含有率が０．１ｍａｓｓ％未満では十分な剛性が得られない。一方、含有率が大きくなると、Ｍｇの偏析が起こり易くなる。モスアイ用型を形成する表面付近に偏析が生じても電気化学的には問題とならないが、Ｍｇはアルミニウムとは異なる形態の陽極酸化膜を形成するので、不良の原因となる。不純物元素の含有率は、アルミニウム基材１２の形状、厚さおよび大きさに応じて、必要とされる剛性に応じて適宜設定すればよい。例えば圧延加工によって板状のアルミニウム基材１２を作製する場合には、Ｍｇの含有率は約３．０ｍａｓｓ％が適当であるし、押出加工によって円筒などの立体構造を有するアルミニウム基材１２を作製する場合には、Ｍｇの含有率は２．０ｍａｓｓ％以下であることが好ましい。Ｍｇの含有率が２．０ｍａｓｓ％を超えると、一般に押出加工性が低下する。

機械的な鏡面加工としては、バイト切削が好ましい。アルミニウム基材１２の表面に、例えば砥粒が残っていると、砥粒が存在する部分において、アルミニウム膜１８とアルミニウム基材１２との間で導通しやすくなる。砥粒以外にも、凹凸が存在するところでは、アルミニウム膜１８とアルミニウム基材１２との間で局所的に導通しやすくなる。アルミニウム膜１８とアルミニウム基材１２との間で局所的に導通すると、アルミニウム基材１２内の不純物とアルミニウム膜１８との間で局所的に電池反応が起こる可能性がある。

円筒状のアルミニウム基材１２は、典型的には、熱間押出し法によって形成される。熱間押出し法には、マンドレル法とポートホール法があるが、マンドレル法で形成されたアルミニウム基材１２を用いることが好ましい。ポートホール法で形成された円筒状のアルミニウム基材１２には外周面に継ぎ目（ウェルドライン）が形成され、継ぎ目がモスアイ用型１００に反映される。したがって、モスアイ用型１００に求められる精度によっては、マンドレル法で形成されたアルミニウム基材１２を用いることが好ましい。

なお、ポートホール法で形成されたアルミニウム基材１２に対して、冷間引抜き加工を施すことにより、継ぎ目の問題を解消することができる。もちろん、マンドレル法で形成されたアルミニウム基材１２に対しても、冷間引抜き加工を施してもよい。

次に、アルミニウム基材１２の表面に投射材を吹き付けることによって、図１（ｂ）に示すように、アルミニウム基材１２の表面１２ｓに反転されたアンチグレア構造を形成する。投射材を吹き付けることによって形成された反転されたアンチグレア構造は、複数の第１凹部１２ａを有する。

ここで、図２を参照して、アルミニウム基材１２の表面１２ｓに反転されたアンチグレア構造を形成する方法を説明する。図２は、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造工程の内、アルミニウム基材１２の表面に投射材を吹き付けることによって、反転されたアンチグレア構造を形成する工程（吹き付け処理工程ということがある。）を説明するための模式的な図である。

まず、図１（ａ）に示したアルミニウム基材１２を用意する。円筒状のアルミニウム基材は、例えば、長軸方向が鉛直方向とほぼ平行となるように立てて配置される。

次に、ノズル８２からアルミニウム基材１２の表面に向かって、投射材を吹き付けることによって、アルミニウム基材１２の表面に反転されたアンチグレア構造を形成する。投射材は略球状であり、投射材はアルミナ粒子を含み、投射材の平均粒径は１０μｍ以上４０μｍ以下である。

投射材の条件に加えて、投射材を吹き付ける条件を調節することで、アルミニウム基材１２の表面に形成される反転されたアンチグレア構造の形状を変化させることができる。例えば、投射材を吹き付ける工程において、アルミニウム基材１２を、アルミニウム基材１２の長軸を中心に回転させてもよい。これにより、アルミニウム基材１２の表面（円筒状のアルミニウム基材１２の側面）にむらなく投射材を吹き付けることができ、アルミニウム基材１２の表面にむらなく反転されたアンチグレア構造を形成することができる。図２では、アルミニウム基材１２が、アルミニウム基材１２の長軸を中心に回転する速度をｖ_ｒとして示している。例えば、ノズル８２をアルミニウム基材１２の長軸方向に沿って移動させてもよい。図２では、ノズル８２が、アルミニウム基材１２の長軸方向に沿って移動する速度をｖ_ｖとして示している。

投射材を吹き付ける条件は、例えば、ノズル８２からアルミニウム基材１２の表面までの距離ｄ、投射材の吐出圧力およびノズル８２の移動速度ｖ_ｖを含む。アルミニウム基材１２の回転速度ｖ_ｒおよび投射材を吹き付ける時間は、処理面積（アルミニウム基材１２の表面の内、吹き付け処理を施す面積）に応じて適宜調整される。

本発明の実施形態において、投射材の平均粒径は１０μｍ以上３５μｍ未満であってもよい。投射材の粒度分布は、例えば、平均粒径から±１０％以内の範囲内にピークを有してもよい。

吹き付け処理によって形成された反転されたアンチグレア構造については、実験例を参照して後述する。

次に、図１（ｃ）に示すように、アルミニウム基材１２の表面に無機材料層１６を形成し、無機材料層１６の上にアルミニウム膜１８を形成することによって、型基材１０を作製する。

アルミニウム膜１８の表面には、アルミニウム基材１２の表面に吹き付け処理を行うことによって形成された反転されたアンチグレア構造を反映した構造が形成されている。なお、アルミニウム膜１８の表面１８ｓに形成された反転されたアンチグレア構造は、アルミニウム基材１２の表面１２ｓに形成された反転されたアンチグレア構造よりもなだらかである。ここでは、アルミニウム膜１８に形成された構造も反転されたアンチグレア構造という。アルミニウム膜１８の表面に形成された反転されたアンチグレア構造は、複数の第３凹部１８ａを有する。複数の第３凹部１８ａおよび複数の第１凹部１２ａの詳細については、図４を参照して後述する。

無機材料層１６の材料としては、例えば酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５）または二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）を用いることができる。無機材料層１６は、例えばスパッタ法により形成することができる。無機材料層１６として、酸化タンタル層を用いる場合、酸化タンタル層の厚さは、例えば、２００ｎｍである。

無機材料層１６の厚さは、１００ｎｍ以上５００ｎｍ未満であることが好ましい。無機材料層１６の厚さが１００ｎｍ未満であると、アルミニウム膜１８に欠陥（主にボイド、すなわち結晶粒間の間隙）が生じることがある。また、無機材料層１６の厚さが５００ｎｍ以上であると、アルミニウム基材１２の表面状態によって、アルミニウム基材１２とアルミニウム膜１８との間が絶縁されやすくなる。アルミニウム基材１２側からアルミニウム膜１８に電流を供給することによってアルミニウム膜１８の陽極酸化を行うためには、アルミニウム基材１２とアルミニウム膜１８との間に電流が流れる必要がある。円筒状のアルミニウム基材１２の内面から電流を供給する構成を採用すると、アルミニウム膜１８に電極を設ける必要がないので、アルミニウム膜１８を全面にわたって陽極酸化できるとともに、陽極酸化の進行に伴って電流が供給され難くなるという問題も起こらず、アルミニウム膜１８を全面にわたって均一に陽極酸化することができる。

また、厚い無機材料層１６を形成するためには、一般的には成膜時間を長くする必要がある。成膜時間が長くなると、アルミニウム基材１２の表面温度が不必要に上昇し、その結果、アルミニウム膜１８の膜質が悪化し、欠陥（主にボイド）が生じることがある。無機材料層１６の厚さが５００ｎｍ未満であれば、このような不具合の発生を抑制することもできる。

アルミニウム膜１８は、例えば、国際公開第２０１１／１２５４８６号に記載されているように、純度が９９．９９ｍａｓｓ％以上のアルミニウムで形成された膜（以下、「高純度アルミニウム膜」ということがある。）である。アルミニウム膜１８は、例えば、真空蒸着法またはスパッタ法を用いて形成される。アルミニウム膜１８の厚さは、約５００ｎｍ以上約１５００ｎｍ以下の範囲にあることが好ましく、例えば、約１μｍである。参考のために、国際公開第２０１１／１２５４８６号の開示内容の全てを本明細書に援用する。

また、アルミニウム膜１８として、高純度アルミニウム膜に代えて、国際公開第２０１３／１８３５７６号に記載されている、アルミニウム合金膜を用いてもよい。国際公開第２０１３／１８３５７６号に記載のアルミニウム合金膜は、アルミニウムと、アルミニウム以外の金属元素と、窒素とを含む。本明細書において、「アルミニウム膜」は、高純度アルミニウム膜だけでなく、国際公開第２０１３／１８３５７６号に記載のアルミニウム合金膜を含むものとする。参考のために、国際公開第２０１３／１８３５７６号の開示内容の全てを本明細書に援用する。

上記アルミニウム合金膜を用いると、反射率が８０％以上の鏡面を得ることができる。アルミニウム合金膜を構成する結晶粒の、アルミニウム合金膜の法線方向から見たときの平均粒径は、例えば、１００ｎｍ以下であり、アルミニウム合金膜の最大表面粗さＲｍａｘは６０ｎｍ以下である。アルミニウム合金膜に含まれる窒素の含有率は、例えば、０．５ｍａｓｓ％以上５．７ｍａｓｓ％以下である。アルミニウム合金膜に含まれるアルミニウム以外の金属元素の標準電極電位とアルミニウムの標準電極電位との差の絶対値は０．６４Ｖ以下であり、アルミニウム合金膜中の金属元素の含有率は、１．０ｍａｓｓ％以上１．９ｍａｓｓ％以下であることが好ましい。金属元素は、例えば、ＴｉまたはＮｄである。但し、金属元素はこれに限られず、金属元素の標準電極電位とアルミニウムの標準電極電位との差の絶対値が０．６４Ｖ以下である他の金属元素（例えば、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｚｒ、ＶおよびＰｂ）であってもよい。さらに、金属元素は、Ｍｏ、ＮｂまたはＨｆであってもよい。アルミニウム合金膜は、これらの金属元素を２種類以上含んでもよい。アルミニウム合金膜は、例えば、ＤＣマグネトロンスパッタ法で形成される。アルミニウム合金膜の厚さも約５００ｎｍ以上約１５００ｎｍ以下の範囲にあることが好ましく、例えば、約１μｍである。

反転されたアンチグレア構造を形成した後、陽極酸化とエッチングとを交互に繰り返し、反転されたモスアイ構造を形成することによって、図１（ｄ）に示すモスアイ用型１００が得られる。すなわち、反転されたモスアイ構造を形成するプロセスは、アルミニウム膜１８の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部１４ｐを有するポーラスアルミナ層１４を形成する工程と、その後に、ポーラスアルミナ層１４を、エッチング液に接触させることによって、ポーラスアルミナ層１４の複数の第２凹部１４ｐを拡大させる工程と、その後に、さらに陽極酸化することによって、複数の第２凹部１４ｐを成長させる工程とを包含する。陽極酸化に用いる電解液は、例えば、蓚酸、酒石酸、燐酸、硫酸、クロム酸、クエン酸およびリンゴ酸からなる群から選択される酸を含む水溶液である。エッチング液として、蟻酸、酢酸、クエン酸などの有機酸や硫酸の水溶液、クロム酸燐酸混合水溶液、または水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリの水溶液を用いることができる。

陽極酸化とエッチングとを繰り返す一連の工程は、陽極酸化工程で終わることが好ましい。陽極酸化工程で終わる（その後のエッチング工程を行わない）ことによって、第２凹部１４ｐの底部を小さくすることができる。このような反転されたモスアイ構造を形成する方法は、例えば、特許文献３に開示されている。

例えば、陽極酸化工程（電解液：蓚酸水溶液（濃度０．３ｍａｓｓ％、液温１０℃）、印加電圧：８０Ｖ、印加時間：５５秒間）とエッチング工程（エッチング液：燐酸水溶液（１０ｍａｓｓ％、３０℃）、エッチング時間：２０分間）とを交互に複数回（例えば５回：陽極酸化を５回とエッチングを４回）繰り返すことによって、図１（ｄ）に示すように、第２凹部１４ｐを有するポーラスアルミナ層１４を有するモスアイ用型１００が得られる。ここで例示した条件で形成されたポーラスアルミナ層１４は、Ｄ_ｐ＝Ｄ_ｉｎｔが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満で、深さが１０ｎｍ以上１０００ｎｍ（１μｍ）未満程度の第２凹部１４ｐが密に不規則に配列した構造を有している。第２凹部１４ｐは略円錐状であり、鞍部を形成するように隣接している。

なお、第２凹部１４ｐの下には、バリア層が形成されており、ポーラスアルミナ層１４は、第２凹部１４ｐを有するポーラス層と、ポーラス層の下（アルミニウム膜側）に存在するバリア層（凹部１４ｐの底部）とから構成されている。隣接する第２凹部１４ｐの間隔（中心間距離）は、バリア層の厚さのほぼ２倍に相当し、陽極酸化時の電圧にほぼ比例することが知られている。また、ポーラスアルミナ層１４の下には、アルミニウム膜１８のうち、陽極酸化されなかったアルミニウム残存層１８ｒが存在している。

図１（ｄ）に模式的に示したように、第２凹部１４ｐで構成される反転されたモスアイ構造は、反転されたアンチグレア構造に重畳されて形成される。第２凹部１４ｐの「２次元的な大きさ」とは、表面の法線方向から見たときの凹部の面積円相当径を指す。例えば、凹部が円錐形の場合には、凹部の２次元的な大きさは、円錐の底面の直径に相当する。凸部の「２次元的な大きさ」も同様である。図１（ｄ）に例示したように、第２凹部（微細な凹部）１４ｐが密に配列されており、隣接する第２凹部１４ｐ間に間隙が存在しない（例えば、円錐の底面が部分的に重なる）場合には、互いに隣接する２つの第２凹部１４ｐの平均隣接間距離Ｄ_ｉｎｔ（隣接する第２凹部１４ｐの中心間距離）は、第２凹部１４ｐの２次元的な大きさＤ_ｐとほぼ等しい。

このようにして、モスアイ用型１００を製造することができる。後に実験例を示すように、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００によると、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成することができる。本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造方法によると、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型を効率よく得ることができる。反射防止膜が「斜め視角から見たときに白濁して見える」とは、反射防止膜を斜め視角から見たときに白茶けて見えること（斜め白茶け）、および／または、反射防止膜を斜め視角から見たときに白っぽく見えることを指してもよい。

特許文献５は、アルミニウム基材の表面をブラスト処理した後、ブラスト処理されたアルミニウム基材の表面を陽極酸化することによる型の製造方法を開示している。特許文献５の型の製造方法において陽極酸化される対象は、アルミニウム基材であり、アルミニウム基材上に無機材料層およびアルミニウム膜を有しない。特許文献５の型の製造方法においては、投射材（特許文献５では「ブラスト処理に使用する研磨材」と呼ばれている。）として、鋭利な形状を有しない球状の投射材を用いることで、反射防止性および防眩性を有し、かつ、ぎらつきの発生が抑制された反射防止膜を形成するための型が得られると記載されている。特許文献５の実施例では、鋭利な形状を有しない球状の投射材としてガラスビーズが用いられている。特許文献５には、投射材の中心粒径は３５μｍ〜１５０μｍが好ましいことが記載されている。

しかしながら、本発明者の検討によると、特許文献５の方法で製造した型を用いて作製しても、得られた反射防止膜においては、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制されないことが分かった。本発明者は、種々検討した結果、以下の方法で型を製造することによって、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型を得ることができることに想到した。まず、アルミニウム基材１２の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を用いて吹き付け処理を行うことによってアルミニウム基材１２の表面に反転されたアンチグレア構造を形成し、その後、アルミニウム基材１２の上にアルミニウム膜１８を形成する。これにより、アルミニウム膜１８の表面（すなわち型基材１０の表面）になだらかな反転されたアンチグレア構造を形成することができるので、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型を得ることができる。

本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造方法において、アルミニウム基材１２の表面の吹き付け処理に用いる投射材の平均粒径は、特許文献５の製造方法に比べて小さい。従って、アルミニウム基材１２の表面にアルミニウム膜１８を形成することによって、型基材１０の表面の反転されたアンチグレア構造をなだらかにする効果が顕著にあらわれる。

さらに、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００は以下の利点を有する。上述したように、アルミニウム基材１２の表面には、継ぎ目（ウェルドライン）や切削痕が形成されていることがある。例えばポートホール法で形成された円筒状のアルミニウム基材の表面には継ぎ目が形成され得る。また、加工変質層の形成を伴う鏡面加工（例えばバイト切削）が施されたアルミニウム基材の表面には切削痕が形成されることがある。本発明の実施形態によるモスアイ用型１００においては、アルミニウム基材１２上にアルミニウム膜１８が形成される。アルミニウム膜１８の表面には、アルミニウム基材１２の表面に形成された継ぎ目や切削痕が反映され得るが、アルミニウム膜１８の表面（すなわち型基材１０の表面）に反映される継ぎ目や切削痕は、アルミニウム基材１２の表面に形成されているものよりもなだらかになり、目立ち難い。また、本発明の実施形態によるモスアイ用型１００の製造方法においては、アルミニウム膜１８の表面に投射材を吹き付けないので、投射材によってアルミニウム膜１８が局所的に破壊されることがない。従って、アルミニウム膜１８の厚さを小さくすることができる（例えば約５００ｎｍ以上約１５００ｎｍ以下）。

続いて、図３を参照して、モスアイ用型１００を用いた反射防止膜の製造方法を説明する。図３は、ロール・ツー・ロール方式により反射防止膜を製造する方法を説明するための模式的な断面図である。

まず、円筒状のモスアイ用型１００を用意する。なお、円筒状のモスアイ用型１００は、上述の製造方法で製造される。

図３に示すように、紫外線硬化樹脂３２’が表面に付与された被加工物４２を、モスアイ用型１００に押し付けた状態で、紫外線硬化樹脂３２’に紫外線（ＵＶ）を照射することによって紫外線硬化樹脂３２’を硬化する。紫外線硬化樹脂３２’としては、例えばアクリル系樹脂を用いることができる。被加工物４２は、例えば、ＴＡＣ（トリアセチルセルロース）フィルムである。被加工物４２は、図示しない巻き出しローラから巻き出され、その後、表面に、例えばスリットコータ等により紫外線硬化樹脂３２’が付与される。被加工物４２は、図３に示すように、支持ローラ４６および４８によって支持されている。支持ローラ４６および４８は、回転機構を有し、被加工物４２を搬送する。また、円筒状のモスアイ用型１００は、被加工物４２の搬送速度に対応する回転速度で、図３に矢印で示す方向に回転される。

その後、被加工物４２からモスアイ用型１００を分離することによって、モスアイ用型１００の凹凸構造（反転されたモスアイ構造および反転されたアンチグレア構造）が転写された硬化物層３２が被加工物４２の表面に形成される。表面に硬化物層３２が形成された被加工物４２は、図示しない巻き取りローラにより巻き取られる。

なお、紫外線硬化樹脂３２’が表面に付与された被加工物４２をモスアイ用型１００に押し付ける前に、モスアイ用型１００の表面に離型剤を付与することによってモスアイ用型１００に離型処理を施してもよい。

離型剤としては、（パー）フルオロポリエーテル基と、加水分解可能な基（例えば、アルコキシ基）と、Ｓｉ原子とを有する化合物であることが好ましい。さらに、離型剤としては、少なくとも１つの化合物（パーフルオロポリエーテル系化合物）に加えて、パーフルオロアルキル系化合物を含んでいてもよい。パーフルオロアルキル系化合物としては、例えば、Ｃ_８Ｆ_１７ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＭｅ）_３、Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＭｅ）_３、Ｃ_４Ｆ_９ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＭｅ）_３等が挙げられる。このような離型剤をモスアイ用型１００の表面に付与しておくと、紫外線硬化樹脂３２’に紫外線を照射した後に、硬化物層３２からモスアイ用型１００を容易に剥離することができる。

上述したロール・ツー・ロール方式で反射防止膜３２を形成するとき、反射防止膜３２を形成するフィルム基材（ＴＡＣフィルムまたはＰＥＴフィルム）４２と、反射防止膜３２との密着性を向上させるために、以下のような工程を経ることが好ましい。

ＴＡＣフィルム上に、溶剤を含む紫外線硬化性樹脂（例えばアクリル樹脂）を付与する（厚さは例えば２μｍ〜２０μｍ）。このとき、溶剤は、ＴＡＣフィルムの表面を溶解するもの（例えばケトン系）を選択する。溶剤がＴＡＣフィルムの表面を溶解することによって、ＴＡＣと紫外線硬化性樹脂とが混合した領域が形成される。

この後、溶剤を除去し、モスアイ用型の外周面に、紫外線硬化性樹脂が密着するように、ＴＡＣフィルムを巻きつける。

続いて、紫外線を照射し、紫外線硬化性樹脂を硬化させる。このとき、紫外線硬化性樹脂の温度を３０℃から７０℃に保持する。

その後、ＴＡＣフィルムをモスアイ用型から剥離し、必要に応じて、紫外線を再度照射する。

後述する図８（ａ）に示すように、ＴＡＣフィルム上にハードコート層を形成する場合には、ハードコート層を形成する材料に、ＴＡＣフィルムの表面を溶解する溶剤を含有させておいてもよい。この場合、反射防止膜を形成するための紫外線硬化性樹脂に溶剤を含有させる必要はない。

また、ＰＥＴフィルムを用いる場合には、紫外線硬化性樹脂を付与する前に、水系のプライマー（例えば、ポリエステル系樹脂やアクリル系樹脂）の層（厚さ２μｍ〜２０μｍ）を形成することが好ましい。この場合も、反射防止膜を形成するための紫外線硬化性樹脂に溶剤を含有させる必要はない。

以下に、実験例を示して、本発明の実施形態によるモスアイ用型およびモスアイ用型の製造方法をさらに詳細に説明する。

［アルミニウム小片を用いた実験］
図４（ａ）および（ｂ）を参照して、吹き付け処理によってアルミニウム基材１２の表面に形成された反転されたアンチグレア構造を説明する。アルミニウム小片の表面に吹き付け処理工程を施すことによって、反転されたアンチグレア構造を形成した。図４（ａ）および（ｂ）は、投射材を吹き付けることによって形成された反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム小片の表面のＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール２０．０μｍ）である。

図４（ａ）および（ｂ）は、鏡面加工が施されたアルミニウム小片の表面に形成された、反転されたアンチグレア構造である。図１（ａ）のアルミニウム基材１２に相当するアルミニウム小片の表面に反転されたアンチグレア構造を形成した。ここでは、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系のアルミニウム合金として、ＪＩＳ Ａ６０６３で形成され、厚さ１５ｍｍ、約５ｃｍ角のアルミニウム小片を用いた。ＪＩＳ Ａ６０６３は、下記の組成（ｍａｓｓ％）を有している。
Ｓｉ：０．２０〜０．６０％、Ｆｅ：０．３５％以下、Ｃｕ：０．１０％以下、Ｍｎ：０．１０％以下、Ｍｇ：０．４５〜０．９％、Ｃｒ：０．１０％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．１０％以下、その他：個々は０．０５％以下で、全体は０．１５％以下、残部：Ａｌ

条件を変えて吹き付け処理を行うことにより、図４（ａ）の反転されたアンチグレア構造および図４（ｂ）の反転されたアンチグレア構造を得た。図４（ａ）および（ｂ）の反転されたアンチグレア構造を得るために行った吹き付け処理工程の条件（投射材を吹き付ける条件および投射材の種類）は、表６に示す。表６には、明細書中の実験例の吹き付け処理工程の条件および吹き付け処理を行った対象（すなわちアルミニウム基材１２）のアルミニウムの種類をまとめて示している。

図４（ａ）および（ｂ）のＳＥＭ像から分かるように、アルミニウム基材１２の表面に投射材を吹き付けることによって形成された反転されたアンチグレア構造は、複数の第１凹部１２ａを有する。複数の第１凹部１２ａの配置に規則性は見られない。また、複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさの分布が広いことが分かる。ここで、第１凹部１２ａの「２次元的な大きさ」とは、面積円相当径を指す。図４（ａ）のＳＥＭ像からは、複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさは、２μｍ〜１０μｍにおよび、複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさの平均は５μｍ、複数の第１凹部１２ａの隣接間距離（隣接する第１凹部１２ａの中心間距離）は２μｍ以上１０μｍ以下と見積もることができる。図４（ｂ）のＳＥＭ像からは、複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさは、５μｍ〜２０μｍにおよび、複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさの平均は１０μｍ、複数の第１凹部１２ａの隣接間距離（隣接する第１凹部１２ａの中心間距離）は１μｍ以上１０μｍ以下と見積もることができる。

例えば、図４（ａ）の反転されたアンチグレア構造が有する複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさは、投射材の平均粒径よりも小さい。図４（ｂ）の反転されたアンチグレア構造において、複数の第１凹部１２ａの２次元的な大きさの平均は、投射材の平均粒径よりも小さい。

第１凹部１２ａは、例えば図１（ｂ）に模式的に示すように、密に不規則に配列され、反転されたアンチグレア構造は、第１凹部１２ａ間に平坦な部分を有しない。アルミニウム基材１２の表面に投射材を吹き付けることによって形成された反転されたアンチグレア構造を有する表面１２ｓの算術平均粗さＲａは、例えば０．０５μｍ以上０．３μｍ以下である。

図１（ｃ）を参照して説明したように、反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム基材１２の表面に無機材料層１６を形成し、無機材料層１６の上にアルミニウム膜１８を形成する。これにより、アルミニウム膜１８の表面１８ｓに、アルミニウム基材１２の表面１２ｓの反転されたアンチグレア構造が反映された構造が形成される。アルミニウム膜１８は、複数の第３凹部１８ａを含む反転されたアンチグレア構造を有する。複数の第３凹部１８ａは、複数の第１凹部１２ａを反映しているので、複数の第３凹部１８ａの形状（例えば、２次元的な大きさ、深さ、隣接間距離等）は、複数の第１凹部１２ａのそれと同じであり得る。ただし、アルミニウム膜１８の表面１８ｓに形成された反転されたアンチグレア構造は、アルミニウム基材１２の表面１２ｓに形成された反転されたアンチグレア構造よりもなだらかである。例えば、複数の第３凹部１８ａが有する稜線は、複数の第１凹部１２ａが有する稜線よりも緩やかである（尖っていない）。従って、反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム膜１８の表面１８ｓは、反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム基材１２の表面１２ｓよりもなだらかである。例えば、アルミニウム膜１８の表面１８ｓの表面粗さは、アルミニウム基材１２の表面１２ｓの表面粗さよりも小さくてもよい。

複数の第３凹部１８ａの２次元的な大きさも、面積円相当径を指す。第３凹部１８ａが反転された凸部の「２次元的な大きさ」も同様である。

本発明の実施形態による型が有する反転されたアンチグレア構造において、複数の第３凹部１８ａの２次元的な大きさは、例えば１μｍ以上１２μｍ以下であり、例えば３μｍ以上１２μｍ以下であってもよい。複数の第３凹部１８ａの深さは、例えば１μｍ以上４μｍ以下である。複数の第３凹部１８ａの、２次元的な大きさに対する深さのアスペクト比は、例えば０．０５以上０．５以下である。

［吹き付け処理工程の条件の検討］
クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型を製造するのに適した吹き付け処理工程の条件（投射材を吹き付ける条件および投射材の種類）の検討を行った。

アルミニウム基材１２の表面に吹き付け処理工程を行うことで、表面に反転されたアンチグレア構造を有するアルミニウム基材１２を製造した。ここでは、アルミニウム基材１２上に無機材料層およびアルミニウム膜を形成せずに型試料を作製した。アルミニウム基材１２の表面に施す吹き付け処理工程の条件を変えて型試料を製造し、型試料の表面には、離型剤を塗布することで、離型処理を施した。離型処理は、具体的には以下のように行った。まず、離型剤（ダイキン工業株式会社製のオプツールＤＳＸ）をフロロテクノロジー社製の「Ｓ−１３５」で希釈した希釈液を作製した。希釈液中の離型剤の濃度は０．１％であった。そして、型試料を離型剤の希釈液に３分間浸漬することによって、型試料の表面に離型剤を付与した。その後、離型剤が表面に塗布された型試料に対して、１５０℃で１時間アニールを行い、フロロテクノロジー社製の「Ｓ−１３５」で３分間リンスした。離型処理の後、型試料の表面にアクリル系の紫外線硬化樹脂を塗布し、ＴＡＣフィルム上に転写した状態で紫外線を照射して硬化させた。得られたアンチグレア構造を有する試料フィルムＮｏ．１〜Ｎｏ．４について、アンチグレア機能を評価した。

ここで用いた試料フィルムのように、モスアイ構造を有さず、アンチグレア構造だけを有する膜を、アンチグレア膜ということがある。アンチグレア膜Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４を得るための型試料に施された吹き付け処理工程の条件は、表６に示す。

表１に、アンチグレア膜Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４について、アンチグレア機能を評価した結果を示す。

表１中の「ぎらつき」、「モアレ」および「白濁感」は、反射防止フィルムを、液晶テレビ（ＡＱＵＯＳ ＬＣ−６０ＵＤ１、シャープ株式会社製、６０インチ）のディスプレイパネルの観察者側の表面に貼りつけ、目視による主観評価を行った結果である。主観評価は、１０人に対して聞き取りを行うことで行った。「ぎらつき」は、表面の法線方向から見たときに、表示面のぎらつきが気になるか否かを評価した結果を示す。「モアレ」は、表面の法線方向から見たときに、表示面にモアレが発生しているか否かを評価した結果を示す。「白濁感」は、表面の法線方向からの極角８０°から見たときに、反射防止フィルムが白濁して（白茶けて）見えるか否かを評価した結果である。

表１中の「反射防止フィルムのヘイズ値」は、反射防止フィルムのヘイズ値を日本電色工業株式会社製の積分球式濁度計ＮＤＨ−２０００を用いて測定した結果である。投光は平行光とした。直進透過光と拡散透過光との和を全光線透過光とし、全光線透過光に対する拡散透過光の比をヘイズ値とした。

表１中の「型の表面の算術平均粗さＲａ」は、型の表面の算術平均粗さＲａを表面粗さ測定機（株式会社東京精密製、製品名：サーフコム４８０Ａ）を用いて測定した結果である。

アンチグレア膜Ｎｏ．１およびＮｏ．２においては、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制され、かつ、正面方向から見たときのぎらつきの発生が抑制されていた。アンチグレア膜Ｎｏ．３は、アンチグレア膜Ｎｏ．１およびＮｏ．２よりも大きいヘイズ値を有し、斜め視角から見たときに白濁して見えた。

アンチグレア膜Ｎｏ．３とアンチグレア膜Ｎｏ．４とを比較すると、型の表面の算術平均粗さＲａが同程度であるにもかかわらず、ぎらつきの発生を抑制する効果において違いがみられた。ぎらつきの発生を抑制するためには、投射材としてアルミナ粒子を用いることが好ましい可能性が考えられる。あるいは、ここで用いた投射材の平均粒径を比較すると、ガラスビーズの方がアルミナ粒子よりも大きい平均粒径を有するので、ぎらつきの発生を抑制できなかった可能性も考えられる。表６に示すように、アンチグレア膜Ｎｏ．１〜３を形成するための型試料を製造するために用いたアルミナ粒子の平均粒径は１７μｍであったのに対し、アンチグレア膜Ｎｏ．４を形成するための型試料を製造するために用いたガラスビーズの平均粒径は２３μｍであった。

また、投射材としてアルミナ粒子を用いたアンチグレア膜Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３の結果から、反射防止フィルムのヘイズ値と、型の表面の算術平均粗さＲａとの間に相関関係があることが分かった。

［本発明の実施形態による反射防止膜の作製］
上記表１に示す結果を参照することにより吹き付け処理工程の条件を決定し、実施例１の反射防止フィルムと参考例１の反射防止フィルムとを作製した。

図５および表２を参照して、本発明の実施形態による反射防止膜の特性を説明する。図５（ａ）および（ｂ）は、実施例１の反射防止フィルム（中央）と、参考例１の反射防止フィルム（右）と、比較例１の反射防止フィルム（左）とを表面に貼り付けた表示パネル（液晶テレビ、製品名：ＡＱＵＯＳ ＬＣ−６０ＵＤ１、シャープ株式会社製、６０インチ）の光学像を示す図であり、図５（ａ）は、表面の法線方向から見た光学像を示す図であり、図５（ｂ）は、斜め視角（極角６０°）から見た光学像を示す図である。

実施例１および参考例１の反射防止フィルムは、図１および図２を参照して説明した方法で製造されたモスアイ用型１００を用いて、図３を参照して説明した方法で形成した。実施例１の反射防止フィルムを形成するためのモスアイ用型は、上述したアンチグレア膜Ｎｏ．２を形成するための型試料に施された吹き付け処理工程と同じ条件で吹き付け処理を行うことで得られ、参考例１の反射防止フィルムを形成するためのモスアイ用型は、上述したアンチグレア膜Ｎｏ．３を形成するための型試料に施された吹き付け処理工程と同じ条件で吹き付け処理を行うことで得られた。

実施例１および参考例１の反射防止フィルムは、後述する図８（ａ）に示す反射防止フィルム５０と同様の構造を有する。すなわち、実施例１および参考例１の反射防止フィルムは、ベースフィルム（ＴＡＣフィルム）と、ベースフィルム上に形成されたハードコート層と、表面にアンチグレア構造およびモスアイ構造を有する反射防止膜とを有する。

比較例１の反射防止フィルムは、現在市販されている、反射防止機能およびアンチグレア機能を有する反射防止フィルムである。比較例１の反射防止フィルムは、モスアイ構造を有しない。

表２に、実施例１の反射防止フィルム、参考例１の反射防止フィルムおよび比較例１の反射防止フィルムについて、反射防止機能およびアンチグレア機能を評価した結果を示す。

表２中、「映り込み像のぼかし」および「白濁感」は、目視による主観評価であり、「ヘイズ値」、「２０度鏡面光沢度」、「６０度鏡面光沢度」および「８５度鏡面光沢度」は、測定結果である。主観評価は、１０人に対して聞き取りを行うことで行った。

表２中の「映り込み像のぼかし」は、反射防止フィルムを正面方向（表面の法線方向）から見たとき、反射防止フィルムに映り込んだ像の輪郭のぼかし具合を目視で評価することで反射防止フィルムの防眩性を評価した結果である。「○」は、像の輪郭のぼかし具合が適度であり、クリアな画像が得られることを示す。「◎」は、クリアな画像を得る目的からは、像の輪郭が過度にぼかされていることを示す。ただし、より高いアンチグレア機能を有する反射防止膜として、「◎」である反射防止フィルムを好適に用いることできる場合ももちろんある。

表２中の「白濁感」は、反射防止フィルムが白濁して（白茶けて）見えるか否かを目視で評価した結果である。「正面方向」は、表面の法線方向から見たときの結果であり、「斜め視角」は、表面の法線方向からの極角８０°から見たときの結果である。

表２のヘイズ値は、日本電色工業株式会社製の積分球式濁度計ＮＤＨ−２０００を用いて測定した。投光は平行光とした。直進透過光と拡散透過光との和を全光線透過光とし、全光線透過光に対する拡散透過光の比をヘイズ値とした。２０度鏡面光沢度、６０度鏡面光沢度および８５度鏡面光沢度は、フィルムを黒アクリル板に貼り付け、グロス計（スガ試験機株式会社製、製品名：ＧＳ−４Ｋ）を用いて測定した。

なお、実施例１および参考例１の反射防止フィルムは、図８（ａ）に示す反射防止フィルム５０と同様の構造を有する。すなわち、反射防止フィルム５０が有する反射防止膜３２の表面構造が反射防止機能およびアンチグレア機能を発現する。従って、実施例１および参考例１の反射防止フィルムについての、表２に示す反射防止機能およびアンチグレア機能の評価結果は、実施例１および参考例１の反射防止膜の反射防止機能およびアンチグレア機能の評価と同等であると考えることができる。

実施例１の反射防止フィルムは、正面方向から見たときの映り込み像の輪郭のぼかし具合が適度であり、これによりクリアな画像が得られる。実施例１の反射防止フィルムは、低いヘイズ値を有する。実施例１の反射防止フィルムは、正面方向から見たときおよび斜め視角からみたときのいずれも白濁して見えない。さらに、実施例１の反射防止フィルムは、モスアイ構造を有しているので、斜め視角から見たときにも反射防止機能を十分に発現する。実施例１の反射防止フィルムは、モスアイ構造を有しているので、優れた黒表示の品位を実現する（すなわち、黒表示状態の輝度が低い）。

これに対して、参考例１の反射防止フィルムは、高いヘイズ値を有するので、正面方向から見たときに白濁して見える。また、参考例１の反射防止フィルムは、斜め視角からみたときにも白濁して見える（斜め白茶け）。また、参考例１の反射防止フィルムは、正面方向から見たときの映り込み像の輪郭が、クリアな画像を得る目的からすると過度にぼかされている。

比較例１の反射防止フィルムは、実施例１の反射防止フィルムよりも低いヘイズ値を有し、正面方向から見たときおよび斜め視角からみたときに白濁して見えることが抑制されている。しかしながら、比較例１の反射防止フィルムはモスアイ構造を有しないので、実施例１の反射防止フィルムに比べて黒表示の品位が低い（すなわち、黒表示状態の輝度が高い）。さらに、比較例１の反射防止フィルムは、モスアイ構造を有しないことにより、斜め視角から見たときの反射防止効果が十分ではない。

このように、本発明の実施形態による反射防止膜は、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることを抑制することができる。

実施例１の反射防止フィルムの６０度鏡面光沢度は４．０であり、８５度鏡面光沢度は６８．４であり、２０度鏡面光沢度は０．１である。実施例１の反射防止フィルムは、比較例１の反射防止フィルムに比べて、６０度鏡面光沢度および８５度鏡面光沢度が小さい。実施例１の反射防止フィルムは、比較例１の反射防止フィルムに比べて、斜め視角から見たときの防眩性に優れている。図５（ｂ）からも、実施例１の反射防止フィルムは、比較例１の反射防止フィルムに比べて、斜め視角から見たときの映り込みを抑制することが分かる。

参考例１の反射防止フィルムも、比較例１の反射防止フィルムに比べて、６０度鏡面光沢度および８５度鏡面光沢度が小さい。参考１の反射防止フィルムは、比較例１の反射防止フィルムに比べて、斜め視角から見たときの防眩性に優れている。ただし、参考例１の反射防止フィルムの２０度鏡面光沢度は０．０５であり、実施例１の反射防止フィルムに比べて小さい。参考例１の反射防止フィルムは、クリア性の観点から実施例１の反射防止フィルムに劣る。

本発明の実施形態による反射防止膜の６０度鏡面光沢度は、１．０以上１０．０以下であることが好ましく、２０度鏡面光沢度は０．０１以上１．０以下であることが好ましい。本発明の実施形態による反射防止膜の８５度鏡面光沢度は、５０．０以上７５．０以下であることが好ましい。本発明の実施形態による反射防止膜において、例えば、６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下であることが好ましい。本発明の実施形態による反射防止膜において、例えば、８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下であることが好ましい。このような反射防止膜は、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることを抑制することができる。本発明の実施形態による反射防止膜のヘイズ値は、５以上３０以下であることが好ましい。反射防止膜のヘイズ値は、例えば２以上４０以下であってもよい。

本発明の実施形態による反射防止膜の製造方法によると、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることを抑制することができる膜を効率よく作製することができる。本発明の実施形態による反射防止膜の製造方法は、量産性に優れている。

なお、実施例１の反射防止フィルムおよび参考例１の反射防止フィルムを形成するための型は、アンチグレア膜Ｎｏ．２およびアンチグレア膜Ｎｏ．３を形成するための型試料と同じ条件の吹き付け処理工程を行うことにより得られた。実施例１の反射防止フィルムのヘイズ値と、アンチグレア膜Ｎｏ．２のヘイズ値とが異なるのは、モスアイ構造の有無が寄与していると考えられる。参考例１の反射防止フィルムのヘイズ値と、アンチグレア膜Ｎｏ．３のヘイズ値とが異なる理由についても同様である。

図６および図７に、実施例１の反射防止フィルムおよび参考例１の反射防止フィルムのＳＥＭ像を示す。図６（ａ）〜（ｃ）は、実施例１の反射防止フィルムのＳＥＭ像であり、図６（ａ）は、実施例１の反射防止フィルムの表面を垂直方向から観察したときのＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール１０．０μｍ）であり、図６（ｂ）は、実施例１の反射防止フィルムの断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール３．０μｍ）であり、図６（ｃ）は、実施例１の反射防止フィルムの断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール５００ｎｍ）である。図７（ａ）〜（ｃ）は、参考例１の反射防止フィルムのＳＥＭ像であり、図７（ａ）は、参考例１の反射防止フィルムの表面を垂直方向から観察したときのＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール１０．０μｍ）であり、図７（ｂ）は、参考例１の反射防止フィルムの断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール３．０μｍ）であり、図７（ｃ）は、参考例１の反射防止フィルムの断面ＳＥＭ像（ＳＥＭ像中のフルスケール５００ｎｍ）である。

図６（ａ）および（ｂ）からわかるように、アンチグレア構造にモスアイ構造が重畳して形成されている。アンチグレア構造は、複数の第３凹部１８ａを有する反転されたアンチグレア構造が反転されることによって形成される。すなわち、アンチグレア構造は、複数の第３凹部１８ａが反転された第１凸部によって構成される。図６（ａ）および（ｂ）から、実施例１の反射防止フィルムにおいて、第１凸部の２次元的な大きさは１μｍ以上５μｍ以下であり、第１凸部の隣接間距離（隣接する第１凸部の中心間距離）は１０μｍ程度であることが分かる。モスアイ構造は、複数の第２凹部１４ｐを有する反転されたモスアイ構造が反転されることによって形成される。すなわち、モスアイ構造は、複数の第２凹部１４ｐが反転された第２凸部によって構成される。図６（ｃ）から、第２凸部の２次元的な大きさおよび隣接間距離（Ｄ_ｐ＝Ｄ_ｉｎｔに対応）は約２００ｎｍであり、高さ（第２凹部１４ｐの深さに対応）の平均は２４０ｎｍである。

図７（ａ）から、参考例１の反射防止フィルムにおいて、第１凸部の２次元的な大きさは０．１μｍ以上２μｍ以下であり、第１凸部の隣接間距離は１μｍ以上５μｍ以下であることが分かる。図７の反射防止膜の第１凸部の隣接間距離は、図６の反射防止膜の第１凸部の隣接間距離よりも小さい。図７（ｃ）から、第２凸部の２次元的な大きさおよび隣接間距離（Ｄ_ｐ＝Ｄ_ｉｎｔに対応）は約２００ｎｍであり、高さ（第２凹部１４ｐの深さに対応）の平均は２３６ｎｍである。

本発明の実施形態による反射防止膜が有するアンチグレア構造において、複数の第１凸部の２次元的な大きさは、例えば１μｍ以上１２μｍ以下である。複数の第１凸部の高さは、例えば１μｍ以上４μｍ以下である。複数の第１凸部の、２次元的な大きさに対する深さのアスペクト比は、例えば０．０５以上０．５以下である。

上述したように、本発明の実施形態による反射防止膜は、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることを抑制することができる。このような効果は、従来の反射防止膜（または反射防止フィルム）では得られなかったことを以下で説明する。

表３を参照して比較例２〜比較例９の反射防止フィルムを説明する。表３に比較例２〜比較例９の反射防止フィルムについて、反射防止機能およびアンチグレア機能を評価した結果を示す。

「映り込み像のぼかし」、「白濁感」および「ヘイズ値」については、表２について説明したのと同様に評価または測定を行った。「映り込み像のぼかし」について「×」は、反射防止フィルムに映り込んだ像の輪郭がほとんどぼかされていないことを示す。すなわち、「映り込み像のぼかし」が「×」である反射防止フィルムは、防眩性を有しない。「斜め視角」の「白濁感」について、「○」は斜め視角における白浮きがないことを示し、「△」は極角７0°以上から見たときに若干の白濁感があることを示し、「×」は極角６０°程度から見たときに白濁感があることを示す。「正面方向」の「白濁感」は、反射防止フィルムの正面方向から見たときの結果であり、「○」は白濁感がないことを示し、「△」は若干の白濁感があることを示し、「×」は明らかな白濁感があることを示す。

表３中の「タイプ」は、比較例２〜比較例９の反射防止フィルムの構造の種類（タイプ）を示す。図８を参照して説明するように、アンチグレア機能を有する反射防止フィルムは、その構造によって「外部ヘイズタイプ（またはノンフィラータイプ）」と「内部ヘイズタイプ（またはフィラータイプ）」に大別することができる。

図８を参照して反射防止フィルムの種類（タイプ）について説明する。図８（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、アンチグレア機能を有する反射防止フィルムの模式的な断面図である。図８（ａ）は、表面にアンチグレア構造を有する反射防止フィルム５０の模式的な断面図であり、図８（ｂ）は、アンチグレア機能を有する層を表面よりも内側に有する反射防止フィルム９５０の模式的な断面図である。表３中の「ヘイズ値」は、図８（ａ）の反射防止フィルム５０または図８（ｂ）の反射防止フィルム９５０をガラス板に貼り付けて測定した。

図８（ａ）において、反射防止フィルム５０は、ベースフィルム（例えばＴＡＣフィルム）４２と、ハードコート層４３と、モスアイ構造およびアンチグレア構造を表面に有する反射防止膜３２とを有する。反射防止フィルム５０は、表示パネル２００の観察者側に配置された偏光層（例えばＰＶＡ）２１２のさらに観察者側に設けられている。反射防止膜３２が表面に有するアンチグレア構造によって、反射防止フィルム５０は防眩性を発現する。表面にアンチグレア構造を有する反射防止フィルムを「外部ヘイズタイプ」と呼ぶことがある。本発明の実施形態による反射防止膜は、外部ヘイズタイプの反射防止フィルムを構成する。偏光層２１２は、ベースフィルム（例えばＴＡＣフィルム）４２と、保護層（例えばＴＡＣ）２１４とによって保護されている。反射防止フィルム５０を有する表示パネルは、図示する構成に限られず、以下のような構成であってもよい。偏光層と、偏光層の両側に設けられた保護層とを有する偏光板が、表示パネル２００の観察者側に設けられ、偏光板のさらに観察者側に反射防止フィルム５０が接着層を介して貼り合わされていてもよい。

図８（ｂ）において、反射防止フィルム９５０は、内部ヘイズ層９３３と、ベースフィルム（例えばＴＡＣフィルム）４２と、ハードコート層４３と、モスアイ構造を表面に有する反射防止膜９３２とを有する。内部ヘイズ層９３３は、散乱性を有する。内部ヘイズ層９３３は、例えば、散乱性を有する粒子を含む接着剤で形成される。反射防止フィルム９５０は、表示パネル２００の観察者側に配置された偏光層（例えばＰＶＡ層）２１２のさらに観察者側に設けられている。内部ヘイズ層９３３によって、反射防止フィルム９５０は防眩性を発現する。反射防止フィルムの表面よりも内側に、散乱性を有する層を有する反射防止フィルムを「内部ヘイズタイプ」と呼ぶことがある。偏光層２１２は、保持層（例えばＴＡＣ）２１４および２１６によって保持されている。偏光層２１２と、保持層２１４および２１６とを指して偏光板ということもある。偏光層２１２と、保持層２１４および２１６とを有する偏光板と、反射防止フィルム９５０との間に接着層が設けられていてもよい。

表３に示すように、比較例２および比較例３の反射防止フィルムは外部ヘイズタイプであり、比較例５〜比較例９の反射防止フィルムは内部ヘイズタイプである。比較例２および比較例３の反射防止フィルムは、図８（ａ）に示す反射防止フィルム５０と同様の構造を有し、比較例５〜比較例９の反射防止フィルムは、図８（ｂ）に示す反射防止フィルム９５０と同様の構造を有する。比較例４の反射防止フィルムはアンチグレア機能を有しない。

表２および表３から、一般に、外部ヘイズタイプおよび内部ヘイズタイプのいずれにおいても、高いヘイズ値を有するほど、正面方向から見たときおよび斜め視角から見たときに白濁して見える傾向にあることが分かる。一方、内部ヘイズタイプの反射防止フィルム、特に比較例５〜比較例９の反射防止フィルムに注目すると、表面法線方向から見たときの白濁感よりも、斜め視角から見たときの白濁感の方が顕著になる傾向があることが分かる。内部ヘイズタイプの反射防止フィルムは、アンチグレア機能の有する内部ヘイズ層を、表面よりも内側に有するので、表面法線方向から見たときよりも、特に斜め視角から見たときに、白濁して見えるという問題が生じやすい。

これに対して、外部ヘイズタイプの反射防止フィルムは、表面にアンチグレア構造を有するので、このような問題が生じ難い。本発明者は、上記の問題を解決することができる反射防止膜およびそのような反射防止膜の製造方法に想到した。本発明のある実施形態において、反射防止膜に映り込んだ像の輪郭のぼかし具合において比較例５の反射防止フィルムと同程度であるような反射防止膜およびその製造方法を開発した。比較例５の反射防止フィルムを目安としたのは、比較例５の反射防止フィルムが有するクリア性が市場の少なくとも一部において好まれているからである。なお、反射防止膜に映り込んだ像の輪郭のぼかし具合（すなわち反射防止膜の防眩性の程度）はこれに限られず、反射防止膜の使用目的や使用形態に応じて変更してもよいことはもちろんである。

図９を参照して、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの特性についてさらに説明する。図９（ａ）は、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの、高照度下（１００Ｌｕｘ）におけるコントラスト比を示し、図９（ｂ）は、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの、白表示状態の輝度を示し、図９（ｃ）は、比較例２〜比較例７および比較例１０の反射防止フィルムを正面方向から見たときの、黒表示状態の輝度を示す。比較例１０の反射防止フィルムは、アンチグレア機能を有しない低反射膜（ＬＲ膜）である。

白表示状態の輝度および黒表示状態の輝度は、以下のように測定し、明所コントラスト比は、白表示状態の輝度および黒表示状態の輝度の比から以下のように算出した。以下の測定方法は、社団法人電波産業会のＡＲＩＢ ＴＲ−Ｂ２８に基づいている。白表示状態の輝度は、Ｙレベル９４０（白１００％）、Ｃ_Ｂ、-Ｃ_Ｒレベル５１２の信号を入力し、色彩輝度計（製品名：ＢＭ−５Ａ、株式会社トプコンテクノハウス製）を使用して暗室において輝度を測定した。黒表示状態の輝度は、Ｙレベル６４（黒）、Ｃ_Ｂ、-Ｃ_Ｒレベル５１２の信号を入力し、色彩輝度計（製品名：ＢＭ−５Ａ、株式会社トプコンテクノハウス製）を使用して暗室において輝度を測定した。明所コントラスト比は、暗室において、Rec. ITU-R BT 815-1 で規定されたコントラスト比測定用信号を入力し、Ｙレベル ９４０（白１００％）の部分とＹレベル６４（黒）（ともにＣ_Ｂ、-Ｃ_Ｒレベル５１２）の部分を色彩輝度計（製品名：ＢＭ−５Ａ、株式会社トプコンテクノハウス製）を使用してそれぞれの輝度を測定した。ただし、ディスプレイはＰＬＵＧＥ信号等を用いて調整され、Ｙレベル９４０（白１００％）部分の輝度が１００ｃｄ／ｍ^２に調整された状態とした。測定中、バックライトの強度（光量）の調整機能は、自動および手動とも動作しないものとした。

比較例３の反射防止フィルムを、モスアイ構造を有しない比較例２の反射防止フィルムと比較すると、モスアイ構造を有することによって、白表示状態の輝度が高くなることが分かる。バックライトから出射された光の透過率が向上するからである。また、モスアイ構造を有することによって、黒表示状態の輝度が低下し、黒表示の品位が向上することが分かる。

比較例３の反射防止フィルムを、アンチグレア構造を有しない比較例４の反射防止フィルムと比較すると、アンチグレア構造を有することによって、白表示状態の輝度が低くなり、黒表示状態の輝度が高くなることが分かる。その結果、アンチグレア構造を有することによって、明所コントラスト比は低下している。

比較例３の反射防止フィルムを、クリア性を有する比較例５の反射防止フィルムと比較する。比較例３の反射防止フィルムは、比較例５の反射防止フィルムよりも低い白表示状態および黒表示状態の輝度を有する。比較例３の反射防止フィルムは、明所コントラスト比において、比較例５の反射防止フィルムよりも優れている。

図１０（ａ）は、比較例３〜比較例７の反射防止フィルムによる拡散反射光の配光分布の測定結果を示すグラフであり、図１０（ｂ）は、拡散反射光の配光分布の測定系を示す模式図である。なお、拡散反射光は、散乱光を特に排除するものではない。

拡散反射光の配光分布は、図１０（ｂ）に示すように、反射防止フィルムに対して、入射角５°で光を照射し、０°〜２５°の受光角で拡散反射光の配光分布を測定した。具体的には、各反射防止フィルムをガラス板に貼り、ゴニオフォトメーターで、配光分布を測定した。ゴニオフォトメーターとしては、村上色彩技術研究所製のＧＰ−２００を用いた。ここでは、入射角を５°とし、受光角を横軸にとり、拡散反射光強度の最大値を８０％として規格化した、相対拡散反射率（％）の常用対数を縦軸にとった配光分布曲線を示す。以下に示す配光分布曲線も特に説明しない限り、同様とする。

配光分布曲線は受光角５°にピーク値をとる。図１３を参照して後述するように、本発明の実施形態による反射防止膜は、例えば、受光角が５°以上７°以下の範囲において、相対拡散反射率（％）が３％以上であり、受光角が８°以上１０°以下で、かつ、相対拡散反射率（％）が２％以上８％以下の範囲内にある点を含み、受光角が１０°以上１５°以下で、かつ、相対拡散反射率（％）が０．９％以上１．１％以下の範囲内にある点を含むという特徴を有する。詳細は、図１３を参照して後述する。

図１１（ａ）および（ｂ）は、比較例２〜比較例７の反射防止フィルムの白表示状態の輝度を、極角を変化させながら測定した結果を示すグラフである。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の一部を拡大して示す図である。

極角が大きいとき（例えば極角５０°以上）、比較例２〜比較例７の反射防止フィルムの内、モスアイ構造を有しない比較例２の反射防止フィルムの輝度が最も低い。すなわち、比較例３〜比較例７の反射防止フィルムの輝度は、モスアイ構造を有しない比較例２の反射防止フィルムの輝度よりも高い。例えば極角７０°において、アンチグレア構造を有しない比較例４の反射防止フィルムの輝度は、比較例２の反射防止フィルムの輝度よりも３０％程度高い。例えば極角７０°において、比較例３の反射防止フィルムの輝度は、比較例２の反射防止フィルムの輝度よりも１５％程度高い。表示パネルに入射する光の表面における反射率は、入射角が大きくなると高くなる。従って、表面にモスアイ構造を有する反射防止フィルムによって、斜め視角（特に大きい極角）からみたときの表面反射を低減させる効果が大きい。比較例３の反射防止フィルムの輝度は、アンチグレア構造を有しない比較例４の反射防止フィルムの輝度に比べて低い傾向にあるが、内部ヘイズタイプである比較例５〜比較例７の反射防止フィルムの輝度と同程度である。

次に、本発明の実施形態による反射防止膜の製造方法および比較例の反射防止膜の製造方法について説明する。

上述してきたように、本発明者は、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制された反射防止膜を形成するための型の製造方法について検討した。上述したように、本発明の実施形態による反射防止膜（または反射防止フィルム）は表面にアンチグレア構造を有するので、このような反射防止膜を形成するための型は、反転されたアンチグレア構造を表面に有する。本発明者は、型の表面に反転されたアンチグレア構造を形成する方法を種々検討し、本発明の実施形態による型の製造方法に想到した。

表４に、実施例２の反射防止フィルム、比較例６および比較例１１〜比較例１３の反射防止フィルムについて、反射防止機能およびアンチグレア機能を評価した結果を示す。

実施例２および比較例１１〜比較例１３の反射防止フィルムは、図８（ａ）に示す反射防止フィルム５０と同様の構造を有する外部ヘイズタイプの反射防止フィルムである。既に述べたように、外部ヘイズタイプの反射防止フィルムについての、反射防止機能およびアンチグレア機能の評価結果は、反射防止フィルムが有する反射防止膜の反射防止機能およびアンチグレア機能の評価と同等であると考えることができる。

実施例２の反射防止膜は、上述の方法で製造したモスアイ用型を用いて形成した。実施例２の反射防止膜を形成するためのモスアイ用型を製造する工程における、吹き付け処理工程の条件は、表６に示す。

比較例１１の反射防止膜は、以下のように製造したモスアイ用型を用いて形成した。本発明の実施形態による型の製造方法と異なる点を主に説明する。以降においても同様である。

比較例１１の反射防止膜を形成するための型の製造工程において、国際公開第２０１１／１０５２０６号および国際公開第２０１３／１４６６５６号に記載されているように、アルミニウム基材１２の表面に無機材料層１６を電着法によって形成した。参考のために、国際公開第２０１１／１０５２０６号および国際公開第２０１３／１４６６５６号の開示内容の全てを本明細書に援用する。電着樹脂には艶消し剤を混合した。電着樹脂に艶消し剤を混合することによって、表面に反転されたアンチグレア構造を有する無機材料層１６を形成することができる。ここでは、アクリルメラミン樹脂に艶消し剤を混合することによって、例えば、法線方向から見たときの２次元的な大きさが約２０μｍで、高さが１μｍ弱の凸部が形成された表面を得た。このように無機材料層１６を形成すると、アルミニウム膜１８の表面に、無機材料層１６の表面の反転されたアンチグレア構造が反映された構造が形成される。比較例１１の反射防止膜が有するアンチグレア構造を構成する凸部の２次元的な大きさは、およそ３０μｍであった。

電着法としては、例えば、公知の電着塗装方法を用いることができる。例えば、まず、基材１２を洗浄する。次に、基材１２を、電着樹脂を含む電着液が貯留された電着槽に浸漬する。電着槽には、電極が設置されている。カチオン電着により硬化性樹脂層を形成するときは、基材１２を陰極とし、電着槽内に設置された電極を陽極として、基材１２と陽極との間に電流を流し、基材１２の外周面上に電着樹脂を析出させることによって、硬化性樹脂層を形成する。アニオン電着により硬化性樹脂層を形成するときは、基材１２を陽極とし、電着槽内に設置された電極を陰極として電流を流すことにより硬化性樹脂層を形成する。その後、洗浄工程、焼付工程等を行うことにより、有機絶縁層が形成される。電着樹脂としては、例えば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、またはこれらの混合物を用いることができる。

比較例１２の反射防止膜は、以下のように製造したモスアイ用型を用いて形成した。比較例１２の反射防止膜を形成するための型の製造工程において、国際公開第２０１５／１５９７９７号に記載されているように、鏡面加工を行ったアルミニウム基材１２の表面をフッ化水素とアンモニウムとの塩を含む水溶液によって梨地処理することにより、アルミニウム基材１２の表面に反転されたアンチグレア構造を形成した。参考のために、国際公開第２０１５／１５９７９７号の開示内容の全てを本明細書に援用する。ここでは、アルミニウム基材１２として、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系のアルミニウム合金、特に、ＪＩＳ Ａ６０６３で形成されているものを用いた。

アルミニウム基材１２の表面を梨地処理する工程の前に、アルカリ性のエッチング液を用いてアルミニウム基材１２の表面をエッチングする工程（以下、「アルカリ洗浄工程」ということがある。）を行った。アルカリ洗浄工程によって、切削痕の原因となり得る、アルミニウム基材１２の加工変質層の少なくとも一部を除去することができる。アルカリ洗浄工程は、アルミニウム基材１２の脱脂工程をも兼ねる。アルカリ性のエッチング液として、有機アルカリ性洗浄剤（横浜油脂工業株式会社製、製品名：セミクリーンＬＣ−２）を濃度１６ｍａｓｓ％で含む水溶液に、酸性の添加剤として腐食抑制剤（キレスビットＡＬ、キレスト株式会社製）を１０ｖｏｌ％加えた水溶液を用い、４０℃で４０分間アルカリ洗浄工程を行った。

アルカリ洗浄工程の後、純水による洗浄工程、前処理工程、梨地処理工程、後処理工程、および純水による洗浄工程をこの順で行った。

梨地処理工程においては、梨地処理のためのエッチング液として、フッ化アンモニウム、硫酸アンモニウムおよびリン酸二水素アンモニウムを、それぞれ、２．５ｍａｓｓ％、１ｍａｓｓ％および１ｍａｓｓ％含む水溶液を用いて、１０℃で３分間梨地処理を行った。梨地処理工程は、アルミニウム基材１２の長軸を中心に回転させながら（回転速度５ｒｐｍ）行い、梨地処理のためのエッチング液をエッチング槽内で循環させながら行った。

前処理工程および後処理工程においては、上記エッチング液を２．５倍に希釈したもの（すなわち、フッ化アンモニウム、硫酸アンモニウムおよびリン酸二水素アンモニウムを、それぞれ、１ｍａｓｓ％、０．４ｍａｓｓ％および０．４ｍａｓｓ％含む水溶液）を用いて、室温で３分間アルミニウム基材１２の表面処理を行った。前処理工程および後処理工程は、アルミニウム基材１２の長軸を中心に回転させながら（回転速度５ｒｐｍ）行った。このとき、前処理用エッチング液および後処理用エッチング液は、エッチング槽内で循環させなかった。後処理工程においては、バータイプシャワーユニットを併用した。

純水による洗浄工程は、ハンドシャワーを用いて行った。後処理工程の後の洗浄工程においては、２流体ノズルを併用した。

アルミニウム膜１８の表面には、梨地処理によって形成されたアルミニウム基材１２の表面の反転されたアンチグレア構造が反映された構造が形成される。比較例１２の反射防止膜が有するアンチグレア構造を構成する凸部の２次元的な大きさは、およそ１０μｍであった。

比較例１３の反射防止膜は、以下のように製造したモスアイ用型を用いて形成した。比較例１３の反射防止膜を形成するための型の製造工程において、アルミニウム膜１８の厚さを１．０μｍにすることによって、アルミニウム膜１８の表面に反転されたアンチグレア構造を形成した。特許文献４に記載されているように、厚さ０．５μｍ以上５μｍ以下のアルミニウム膜１８を形成することによって、２次元的な大きさの平均値が２００ｎｍ以上５μｍ以下である複数の凸部から構成される反転されたアンチグレア構造を有するモスアイ用型を製造することができる。

表４中の「映り込み像のぼかし」および「白濁感」については、表２および表３について説明したのと同様に評価を行った。表４中の「明所コントラスト比」および「白表示状態の輝度」については、図９および図１０について説明したのと同様に測定した結果を用いて評価を行った。「明所コントラスト比」について「○」は充分なコントラスト比を有していることを示し、「△」はコントラスト比が不十分であることを示す。「白表示状態の輝度」について「○」は充分な輝度を有していることを示す。表４中の「ぎらつき」は、反射防止膜を表示パネルに貼ったときに、反射防止膜を介した像にぎらつきが発生することを抑制する効果について評価した結果である。ぎらつき抑制効果の詳細については、表５を参照して後述する。

表４に示すように、実施例２の反射防止膜は、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制されている。

アルミニウム基材１２の表面に投射材を吹き付けることによって、アルミニウム基材１２の表面に反転されたアンチグレア構造を形成した後に、アルミニウム基材１２の表面に電解研磨を施すと、斜め視角から見たときに白濁して見えることをさらに抑制することができる。アルミニウム基材１２の表面に電解研磨を施すと、アルミニウム基材１２の表面に反転されたアンチグレア構造がなだらかになることによって、斜め視角から見たときに白濁して見えることを効果的に抑制することができると考えられる。

実施例２の反射防止膜は、上述したような方法で製造したモスアイ用型を用いることによって、製造コストを低減することができる。すなわち、基材１２の上にアンチグレア機能を有するアンチグレアフィルムを設け、アンチグレアフィルムの上にアルミニウム膜１８を形成するという方法で型を製造すると、製造コストが高くなる傾向にある。本発明の実施形態による型の製造方法は、基材１２の表面に投射材を吹き付け、基材１２の上にアルミニウム膜１８を堆積するので、製造コストを低減することができる。

比較例１１の反射防止膜は、斜め視角から見たときに白濁して見える。さらに、比較例１１の反射防止膜は、ぎらつきの発生を十分に抑制することができない。

比較例１２の反射防止膜は、斜め視角から見たときに白濁して見える。

比較例１３の反射防止膜は、映り込み像のぼかしが十分ではない。すなわち、防眩性が十分ではない。

比較例６の反射防止フィルムは、斜め視角から見たときに白濁して見える。さらに、比較例６の反射防止フィルムは、ぎらつきの発生を十分に抑制することができない。また、比較例６の反射防止フィルムは、正面方向から見たときの明所コントラスト比についても、実施例２の反射防止フィルムよりも劣る。

表４中の「ぎらつき」は、以下のように評価した。

ぎらつきの発生は、アンチグレア構造を構成する凹凸構造と、行方向のドットピッチＰｘとの大きさの関係に依存する。まず、図１２を参照して、アンチグレア構造を構成する凹凸構造と、行方向のドットピッチＰｘとの大きさの関係を説明する。

図１２（ａ）および（ｂ）は、アンチグレア構造を構成する凹凸構造と、行方向のドットピッチＰｘとの大きさの関係を模式的に示す図であり、図１２（ａ）は、アンチグレア構造を構成する凹凸構造がドットピッチＰｘよりも大きい場合を示し、図１２（ｂ）は、アンチグレア構造を構成する凹凸構造がドットピッチＰｘよりも小さい場合を示している。ここで、ドットとは、典型的なカラー液晶表示パネルにおける画素を構成するＲ、Ｇ、Ｂの各ドットを指す。すなわち、カラー液晶表示パネルにおける画素が、行方向に配列された３つのドット（Ｒドット、ＧドットおよびＢドット）で構成されている場合、行方向の画素ピッチは、行方向のドットピッチＰｘの３倍となる。なお、列方向の画素ピッチは、列方向のドットピッチＰｙと等しい。

図１２（ａ）および（ｂ）に模式的に示すように、アンチグレア構造を構成する凹凸構造を有する表面２８ｓは、平坦部を有しない連続した波形の表面形状を有する場合がある。このような連続した波形の表面形状を有する凹凸構造は、隣接する凹部間距離の平均値（平均隣接間距離ＡＤ_ｉｎｔ）または凹部の２次元的な大きさＡＤ_ｐで特徴付けられる。ここでは、凹部に着目するが、凸部に着目しても同様に特徴づけることができる。

図１２（ａ）に示すように、凹部の平均隣接間距離ＡＤ_ｉｎｔ（凹部の２次元的な大きさＡＤ_ｐと等しいと考える）が、例えば行方向のドットピッチＰｘ（画素が３つのドット（Ｒ、Ｇ、Ｂ）で構成されている場合、行方向の画素ピッチはドットピッチの３倍）よりも大きいと、十分なアンチグレア機能を得ることができない。アンチグレア機能を十分に発揮させるためには、図１２（ｂ）に示すように、凹部の平均隣接間距離ＡＤ_ｉｎｔ（凹部の２次元的な大きさＡＤ_ｐ）が互いにほぼ等しく、かつ、ドットピッチよりも小さいことが好ましい。

表５に、実施例２、比較例５および比較例１１の反射防止フィルムをドットピッチの異なる４種類のディスプレイパネルの観察者側の表面に貼りつけ、表示面のぎらつきが発生しているかどうかを目視で評価した結果を示す。表５中、「×」は全面緑表示および全面白表示のいずれを行ってもぎらつきがあることを示し、「△」は全面白表示においてはぎらつきが気にならないが、全面緑表示を行うとぎらつきがあることを示し、「○」は全面白表示においてはぎらつきが気にならないが、全面緑表示を行うと若干のぎらつきがあることを示し、「◎」は全くぎらつきが無いことを示す。表４中の「ぎらつき」は、表５のディスプレイの内、対角９．７インチ、行方向のドットピッチ（図１２中のＰｘ）が約３２μｍ、列方向のドットピッチ（画素ピッチに等しい）が約９６μｍ、約２６４ｐｐｉのものを用いて評価した結果を示す。表５に記載はしていないが、比較例６についても同様に評価を行った。

実施例２の反射防止膜が表面に有するアンチグレア構造を構成する第１凸部の２次元的な大きさＡＤ_ｐは、５μｍ以下である。ぎらつきの発生を抑制するためには、第１凸部の２次元的な大きさＡＤ_ｐが、行方向のドットピッチよりも十分に小さいことが好ましい。

比較例１１の反射防止膜が有するアンチグレア構造を構成する凸部の２次元的な大きさは、およそ３０μｍである。比較例１１の反射防止膜のアンチグレア構造を構成する凸部の２次元的な大きさは、実施例２の反射防止膜のアンチグレア構造を構成する凸部の２次元的な大きさよりも大きいので、ぎらつきの発生の抑制において、比較例１１の反射防止膜は、実施例２の反射防止膜に劣る。

比較例５の反射防止フィルムは、内部ヘイズタイプなので、アンチグレア構造を表面に有しない。実施例２の反射防止フィルムは、ぎらつきの発生の抑制において、比較例５の反射防止フィルムよりも優れている。

図１３は、実施例３、参考例２、比較例３、比較例５、比較例１２および比較例１３およびの反射防止フィルムによる拡散反射光の配光分布の測定結果を示すグラフである。図１３も、図１０（ａ）と同様に、入射角を５°とし、受光角を横軸にとり、拡散反射光強度の最大値を８０％として規格化した、相対拡散反射率（％）の常用対数を縦軸にとった配光分布曲線を示す。

実施例３および参考例２の反射防止フィルムは、図８（ａ）に示す反射防止フィルム５０と同様の構造を有する外部ヘイズタイプの反射防止フィルムである。実施例３および参考例２の反射防止膜は、上述の方法で製造した。実施例３および参考例２の反射防止膜を形成するためのモスアイ用型を製造する工程における吹き付け処理工程の条件は、表６に示す。

実施例３の反射防止フィルムの配光分布曲線は、受光角５°においてピーク値をとり、ピーク幅は比較的細く、受光角２°〜３°の範囲および受光角７°〜８°の範囲において傾きが緩やかに変曲し、受光角２０°までの範囲内に収まっている。実施例３の反射防止フィルムは、クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制される。一方、参考例２の反射防止フィルムの配光分布曲線は、受光角２５°までの範囲内に収まらない。参考例２の反射防止フィルムは、斜め視角から見たときに白濁して見える傾向がある。

本発明の実施形態による反射防止膜は、例えば、受光角が５°以上７°以下の範囲において、相対拡散反射率（％）が３％以上であり、受光角が８°以上１０°以下で、かつ、相対拡散反射率（％）が２％以上８％以下の範囲内にある点を含み、受光角が１０°以上１５°以下で、かつ、相対拡散反射率（％）が０．９％以上１．１％以下の範囲内にある点を含むという特徴を有する。

本発明者の検討によると、以下のような傾向がある。クリア性を保ちつつ、防眩性を発現し、かつ、斜め視角から見たときに白濁して見えることが抑制されるためには、ピーク幅は比較的細いことが好ましく、配光分布曲線の傾きが不連続に変化する点を有しないことが好ましい。また、ピークの外側においては、ピーク中心（５°）から離れるにつれて早く減衰することが好ましい。

表６に、明細書中における実験例の吹き付け処理工程の条件（投射材を吹き付ける条件および投射材の種類）および吹き付け処理を行った対象のアルミニウムの種類を示す。具体的には、アルミニウム基材１２を形成するアルミニウムの種類、投射材の種類、投射材の平均粒径、ノズル８２から投射材が吐き出される圧力、ノズル８２と型基材１０の表面との間の距離ｄ、およびノズル８２を型基材１０の長軸方向に沿って移動させる速度ｖ_ｖを示す。

本発明の実施形態は、例えば、高精細な表示パネル用の反射防止膜、そのような反射防止膜を製造する方法、そのような反射防止膜を形成するための型およびそのような型を効率よく製造できる方法に好適に用いられる。

１０ 型基材
１２ 基材（アルミニウム基材）
１２ａ 第１凹部
１４ ポーラスアルミナ層
１４ｐ 第２凹部
１６ 無機材料層
１８ アルミニウム膜
１８ｓ 表面
１８ａ 第３凹部
３２ 反射防止膜
１００ モスアイ用型

Claims (16)

1. 機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、
   前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、
   前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、
   前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、
   前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、
   前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）と
   を包含する、型の製造方法。
2. 前記投射材の平均粒径は、１０μｍ以上３５μｍ未満である、請求項１に記載の型の製造方法。
3. 前記投射材の粒度分布は、平均粒径から±１０％以内の範囲内にピークを有する、請求項１または２に記載の型の製造方法。
4. 前記工程（ｂ）と前記工程（ｃ）との間に、前記アルミニウム基材の表面に電解研磨を施す工程（ｇ）をさらに包含する、請求項１から３のいずれかに記載の型の製造方法。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の型の製造方法によって製造された型。
6. 表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上１２μｍ以下の複数の第１凹部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凹部とを有する表面構造を備え、
   前記複数の第１凹部の隣接間距離は、２μｍ以上１０μｍ以下である、型。
7. 請求項５または６に記載の型を用意する工程と、
   被加工物を用意する工程と、
   前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
   前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含する、反射防止膜の製造方法。
8. 請求項７に記載の反射防止膜の製造方法によって製造された反射防止膜。
9. 表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上１２μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、
   ６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である、反射防止膜。
10. ２０度鏡面光沢度が０．０１以上１．０以下であり、６０度鏡面光沢度が１．０以上１０．０以下である、請求項８または９に記載の反射防止膜。
11. ８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である、請求項８から１０のいずれかに記載の反射防止膜。
12. ８５度鏡面光沢度が５０．０以上７５．０以下である、請求項８から１１のいずれかに記載の反射防止膜。
13. 入射角を５°とし、受光角を横軸にとり、拡散反射光強度の最大値を８０％として規格化した、相対拡散反射率（％）の常用対数を縦軸にとった配光分布曲線は、
    受光角が５°以上７°以下の範囲において、３％以上であり、
    受光角が８°以上１０°以下で、かつ、前記相対拡散反射率（％）が２％以上８％以下の範囲内にある点を含み、
    受光角が１０°以上１５°以下で、かつ、前記相対拡散反射率（％）が０．９％以上１．１％以下の範囲内にある点を含む、請求項８から１２のいずれかに記載の反射防止膜。
14. ヘイズ値が２％以上４０％以下である、請求項８から１３のいずれかに記載の反射防止膜。
15. 表面にアルミニウム膜を有する円筒状の型基材を用意する工程（ａ）と、
    前記アルミニウム膜の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム膜の表面に形成する工程（ｂ）と、
    前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｃ）と、
    前記工程（ｃ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｄ）と、
    前記工程（ｄ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｅ）と
    を包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、
    被加工物を用意する工程と、
    前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
    前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程と
    を包含し、
    表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である反射防止膜を製造する方法。
16. 表面にアルミニウム膜を有する円筒状の型基材を用意する工程（ａ）と、
    前記アルミニウム膜の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム膜の表面に形成する工程（ｂ）と、
    前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｃ）と、
    前記工程（ｃ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｄ）と、
    前記工程（ｄ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｅ）と
    を包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、
    被加工物を用意する工程と、
    前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
    前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程と
    を包含し、
    表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である反射防止膜を製造する方法。