JP2018195644A - 基板搬出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の搬出時に基板及び基板周辺の部品の破損を防止する。【解決手段】基板搬出方法は、載置台に載置された基板の搬出開始の指令が搬送機構へ発行されて搬送機構が載置台へ移動している間に、載置台から突出するピンによって基板が持ち上げられた状態で、基板の周縁部が存在すべき所定領域の上方にカメラを移動させる第１の移動工程と、第１の移動工程で移動したカメラに、基板の周縁部が存在すべき所定領域を撮影させる第１の撮影工程と、第１の撮影工程でカメラによって撮影された画像に基づいて、ピンによって持ち上げられた基板の位置ずれ及び／又は傾きを検出する第１の検出工程とを含む。【選択図】図３

Description

本発明の種々の側面及び実施形態は、基板搬出方法に関するものである。

半導体製造プロセスでは、半導体ウエハなどの基板上に所定の回路パターンを持つ多数の半導体デバイスが形成される。形成された半導体デバイスは、電気的特性等の検査が行われ、良品と不良品とに選別される。半導体デバイスの電気的特性の検査は、各半導体デバイスが分割される前の基板の状態で、検査装置を用いて行われる。

検査装置では、基板を載置する載置台に突没自在にピンが設けられ、基板の電気的特性の検査が完了した後、載置台からピンが突出されて基板がピンによって持ち上げられる。そして、ピンによって持ち上げられた基板は、載置台に移動した搬送アームに受け渡され、搬送アームによって所定の搬出位置へ搬出される。

ここで、基板の電気的特性の検査を行う際に、カメラを用いて、載置台に載置された基板のアライメントを行う技術がある。

特許２９８６１４１号公報 特許２９８６１４２号公報 特許３５５５０６３号公報

しかしながら、上述した技術では、基板の搬出時に基板及び基板周辺の部品の破損を防止することが困難であるという問題がある。

すなわち、基板の搬出時に、載置台に載置された基板がピンによって持ち上げられると、ピン上で基板の位置ずれや基板の傾きが発生することがある。基板の位置ずれや基板の傾きが発生した状態で、搬送アームが載置台に向けて移動すると、基板と、搬送アームなどの基板周辺の部品とが干渉していまい、結果として、基板及び基板周辺の部品が破損してしまう恐れがある。

開示する基板搬出方法は、１つの実施態様において、載置台に載置された基板の搬出開始の指令が搬送機構へ発行されて前記搬送機構が前記載置台へ移動している間に、前記載置台から突出するピンによって前記基板が持ち上げられた状態で、前記基板の周縁部が存在すべき所定領域の上方にカメラを移動させる第１の移動工程と、前記第１の移動工程で移動した前記カメラに、前記基板の周縁部が存在すべき前記所定領域を撮影させる第１の撮影工程と、前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像に基づいて、前記ピンによって持ち上げられた前記基板の位置ずれ及び／又は傾きを検出する第１の検出工程とを含む。

開示する基板搬出方法の１つの態様によれば、基板の搬出時に基板及び基板周辺の部品の破損を防止することができるという効果を奏する。

図１は、本実施形態に係る検査装置の一例を示す斜視図である。 図２は、本実施形態における載置台の一例を示す断面図である。 図３は、本実施形態に係る基板搬出方法の流れの一例を示すフローチャートである。 図４は、カメラの移動を説明するための図である。 図５は、カメラによって撮影された画像と、ピンによって持ち上げられたウエハＷの状態との関係の一例を説明するための図である。 図６は、ウエハの位置ずれの検出手法の変形例１を説明するための図である。 図７は、ウエハの位置ずれの検出手法の変形例２を説明するための図である。 図８は、ウエハＷの位置ずれの検出手法の変形例３を説明するための図である。 図９は、基板搬出方法の流れの他の一例を示すフローチャートである。

以下、図面を参照して本願の開示する基板搬出方法の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を付すこととする。

図１は、本実施形態に係る検査装置１０の一例を示す斜視図である。図１では、説明の便宜上、検査装置１０の一部が切り欠かれて示されている。図１に示すように、検査装置１０は、ローダ室１１と、プローバ室１２と、制御装置１３と、表示装置１４とを有する。

ローダ室１１は、搬送機構の一例である搬送アーム１５を有する。搬送アーム１５は、カセットＣ内に収納された基板である半導体ウエハ（以下「ウエハ」と呼ぶ）Ｗをプローバ室１２へ搬入する。また、搬送アーム１５は、検査済みのウエハＷをプローバ室１２から所定の搬出位置へ搬出する。

プローバ室１２は、搬送アーム１５によって搬入されるウエハＷの電気的特性を検査する。プローバ室１２には、載置台１８を上下方向（図１のＺ軸の方向）及び横方向（図１のＸ軸及びＹ軸と平行なＸＹ平面内の方向）に移動させるＸステージ１６及びＹステージ１７等が設けられている。載置台１８には、搬送アーム１５によって搬入されるウエハＷが載置され、載置台１８は、載置されたウエハＷを真空チャック等により載置台１８の上面に吸着保持する。

図２は、本実施形態における載置台１８の一例を示す断面図である。図２に示すように、載置台１８には、駆動機構（図示せず）によって上下に移動され、載置台１８の上方に突没自在とされたピン１９が設けられている。ピン１９は、ウエハＷを載置台１８に搬入する際及びウエハＷを載置台１８から搬出する際に、一時的に載置台１８から突出してウエハＷを載置台１８の上方に支持するためのものである。

図１の説明に戻る。プローバ室１２には、アライメント装置２０と、プローブカード（図示せず）とが設けられている。アライメント装置２０は、載置台１８に載置されたウエハＷを所定の検査位置にアライメントするための光学ブリッジのアライメント装置である。アライメント装置２０は、カメラ２１と、アライメントブリッジ２２と、一対のリニアガイド２３，２３とを有する。カメラ２１は、撮影方向が下方を向くようにアライメントブリッジ２２に搭載されている。アライメントブリッジ２２は、Ｙ軸方向に移動可能に一対のリニアガイド２３，２３によって支持されている。アライメントブリッジ２２は、図示しない移動機構に接続され、移動機構は、アライメントブリッジ２２をＹ軸方向に移動させる。移動機構によってアライメントブリッジ２２がＹ軸方向に移動することにより、アライメントブリッジ２２に搭載されたカメラ２１もＹ軸方向に移動する。移動機構は、制御装置１３によって制御され、カメラ２１及びアライメントブリッジ２２の移動量は、制御装置１３によって管理される。

載置台１８に載置されたウエハＷのアライメントが行われる場合には、図示しない移動機構によって、アライメントブリッジ２２が一対のリニアガイド２３，２３に沿って待機位置からＹ軸方向に移動する。アライメントブリッジ２２がＹ軸方向に移動することにより、アライメントブリッジ２２に搭載されたカメラ２１もＹ軸方向に移動し、プローブカードの下方に予め設定されたアライメント位置に到達する。この状態で、アライメントブリッジ２２に搭載されたカメラ２１と、載置台１８側に固定されたカメラ（図示せず）との協働作業によって、載置台１８上のウエハＷのアライメントが行われる。その後、図示しない移動機構によって、アライメントブリッジ２２が元の待機位置まで戻される。

また、プローブカードは、アライメント装置２０によりアライメントされたウエハＷの電気的特性の検査を行うためのプローブ針を有する。プローブカードは、プローバ室１２の上面に対して開閉可能なヘッドプレートの中央の開口部にインサートリングを介して固定されている。また、プローバ室１２には、テストヘッド（図示せず）が旋回可能に配設される。

載置台１８に載置されたウエハＷの検査が行われる場合、まず、テストヘッドを介してプローブカードとテスタ（図示せず）との間が電気的に接続される。そして、テスタからの所定の信号がプローブカードを介して載置台１８上のウエハＷへ出力され、ウエハＷからの応答信号がプローブカードを介してテスタへ出力される。これにより、ウエハＷの電気的特性がテスタによって評価される。そして、ウエハＷの電気的特性の検査が完了した後、載置台１８からピン１９が突出されてウエハＷがピン１９によって持ち上げられる。そして、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷは、載置台１８に移動した搬送アーム１５に受け渡され、搬送アーム１５によって所定の搬出位置へ搬出される。

上記構成の検査装置１０は、制御装置１３によって、その動作が統括的に制御される。制御装置１３は、プログラム、メモリ、ＣＰＵ（Central Processing Unit）からなるデータ処理部などを備える。プログラムは、制御装置１３から検査装置１０の各部に制御信号を送り、詳細については後述する種々のステップを実施し、ウエハＷを搬出するようになっている。また、例えば、メモリは種々のパラメータの値が書き込まれる領域を備えており、ＣＰＵがプログラムの各命令を実行する際これらの処理パラメータが読み出され、そのパラメータ値に応じた制御信号が検査装置１０の各部位に送られることになる。このプログラム（処理パラメータの入力操作や表示に関するプログラムも含む）は、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）などの記憶部に格納されて制御装置１３にインストールされる。

例えば、制御装置１３は、後述する基板搬出方法を行うように、検査装置１０の各部を制御する。詳細な一例を挙げると、制御装置１３は、載置台１８に載置されたウエハＷの搬出開始の指令が搬送アーム１５へ発行されて搬送アーム１５が載置台１８へ移動している間に、載置台１８から突出するピン１９によってウエハＷが持ち上げられた状態で、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定の領域の上方にカメラ２１を移動させる。そして、制御装置１３は、移動したカメラ２１に、撮影領域を撮影させる。そして、制御装置１３は、カメラ２１によって撮影された画像に基づいて、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きを検出する。

次に、本実施形態に係る基板搬出方法について説明する。図３は、本実施形態に係る基板搬出方法の流れの一例を示すフローチャートである。例えば、ウエハＷの電気的特性の検査が完了する度に、検査装置１０は、本フローチャートに示す処理を実行する。なお、図３に示す処理は、主として制御装置１３によって実行される。

図３に示すように、制御装置１３は、載置台１８に載置されたウエハＷの搬出開始の指令が搬送アーム１５へ発行されると（Ｓ１０１）、載置台１８に向けて搬送アーム１５の移動を開始する（Ｓ１０２）。続いて、制御装置１３は、載置台１８からピン１９を突出させ、ピン１９によってウエハＷを持ち上げる（Ｓ１０３）。

続いて、制御装置１３は、ピン１９によってウエハＷが持ち上げられた状態で、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域の上方にカメラ２１を移動させる（Ｓ１０４）。ステップＳ１０４は、第１の移動工程の一例である。

図４は、カメラ２１の移動を説明するための図である。制御装置１３は、ピン１９によってウエハＷが持ち上げられた状態で、移動機構を制御することにより、図４の矢印に示すように、アライメントブリッジ２２及びアライメントブリッジ２２に搭載されたカメラ２１をＹ軸方向に移動させる。つまり、Ｙ軸方向が、カメラ２１の移動方向となる。そして、制御装置１３は、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域１８ａの上方にカメラ２１が到達した場合に、カメラ２１の移動を停止する。ここで、所定領域１８ａは、例えば、載置台１８の上面において予め設定された正規な位置にウエハＷが載置された場合に、載置台１８の上面においてウエハＷの周縁部が存在し得る領域を指す。

図３の説明に戻る。続いて、制御装置１３は、移動したカメラ２１に、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域を撮影させる（Ｓ１０５）。カメラ２１によって撮影された画像は、例えば、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。ステップＳ１０５は、第１の撮影工程の一例である。なお、所定領域の撮影が完了すると、カメラ２１は、アライメントブリッジ２２と共に所定の待機位置へ退避される。

続いて、制御装置１３は、カメラ２１によって撮影された画像に基づいて、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きを検出する（Ｓ１０６）。具体的には、制御装置１３は、カメラ２１によって撮影された画像内に、ウエハＷの周縁部に対応する線が存在するか否かを判定することにより、ウエハＷの位置ずれを検出する。また、制御装置１３は、カメラ２１よって撮影された画像内における、ウエハＷに対応する領域がグラデーションを含む領域であるか否かを判定することにより、ウエハＷの傾きを検出する。ステップＳ１０６は、第１の検出工程の一例である。

図５は、カメラ２１によって撮影された画像と、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷの状態との関係の一例を説明するための図である。図５において、画像Ｉ１〜Ｉ４は、カメラ２１によって撮影された画像の一例である。画像Ｉ１〜Ｉ４の各々は、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。

図５に例示した画像Ｉ１では、ウエハＷに対応する領域が白色の領域として現れ、且つ、ウエハＷに対応する領域以外の領域が黒色の領域として現れるため、画像Ｉ１内に、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ１が存在する。この場合、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷが正常な位置（つまり、図４の所定領域１８ａに対応する位置）に存在すると考えられ、制御装置１３によって、ウエハＷの位置ずれが発生していないと検出される。

また、図５に示した画像Ｉ２では、ウエハＷに対応する領域以外の領域のみが黒色の領域として現れるため、画像Ｉ２内に、ウエハＷの周縁部に対応する線が存在しない。この場合、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷが正常な位置（つまり、図４の所定領域１８ａに対応する位置）に存在しないと考えられ、制御装置１３によって、ウエハＷの位置ずれが発生していると検出される。

また、図５に示した画像Ｉ３では、ウエハＷに対応する領域のみが白色の領域として現れるため、画像Ｉ３内に、ウエハＷの周縁部に対応する線が存在しない。この場合、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷが正常な位置（つまり、図４の所定領域１８ａに対応する位置）に存在しないと考えられ、制御装置１３によって、ウエハＷの位置ずれが発生していると検出される。

また、図５に示した画像Ｉ４では、ウエハＷに対応する領域がグラデーションを含む領域として現れる。この場合、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷがＸＹ平面に対して傾いていると考えられ、制御装置１３によって、ウエハＷの傾きが発生していると検出される。なお、グラデーションを含む領域は、画像Ｉ４内の各画素の輝度値等の画素値を用いて、特定される。

図３の説明に戻る。ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きが発生していると検出された場合（Ｓ１０７Ｙｅｓ）、制御装置１３は、搬送アーム１５の移動を停止し（Ｓ１０８）、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの発生を報知するアラームを表示装置１４に出力する（Ｓ１０９）。ステップＳ１０８は、停止工程の一例である。

一方、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きが発生していないと検出された場合（Ｓ１０７Ｎｏ）、制御装置１３は、搬送アーム１５が載置台１８に到着するまで待機し、搬送アーム１５が載置台１８に到着すると（Ｓ１１０）、ウエハＷを搬送アーム１５へ受け渡す（Ｓ１１１）。そして、ウエハＷが搬送アーム１５によって所定の搬出位置へ搬出される（Ｓ１１２）。

以上、本実施形態によれば、制御装置１３は、載置台１８に載置されたウエハＷの搬出開始の指令が搬送アーム１５へ発行されて搬送アーム１５が載置台１８へ移動している間に、載置台１８から突出するピン１９によってウエハＷが持ち上げられた状態で、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定の領域の上方にカメラ２１を移動させる。そして、制御装置１３は、移動したカメラ２１に、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定の領域を撮影させる。そして、制御装置１３は、カメラ２１によって撮影された画像に基づいて、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きを検出する。このため、ウエハＷの搬出時にピン１９上でウエハＷの位置ずれやウエハＷの傾きが発生した場合に、搬送アーム１５の移動を迅速に停止することができ、ウエハＷと、搬送アーム１５などのウエハＷ周辺の部品とが干渉する事態を回避することができる。結果として、本実施形態によれば、ウエハＷの搬出時にウエハＷ及びウエハＷ周辺の部品の破損を防止することができる。

また、本実施形態によれば、カメラ２１は、載置台１８に載置されたウエハＷのアライメント時に待機位置から予め設定されたアライメント位置に移動するアライメントブリッジ２２に搭載される。そして、制御装置１３は、載置台１８から突出するピン１９によってウエハＷが持ち上げられた状態で、アライメントブリッジ２２及びアライメントブリッジ２２に搭載されたカメラ２１を所定領域の上方に移動させる。このため、本実施形態によれば、カメラ２１を移動させるための部品を新たに追加する必要がない。結果として、本実施形態によれば、設備コストの増大を抑えつつ、ウエハＷの搬出時にウエハＷ及びウエハＷ周辺の部品の破損を防止することができる。

（他の実施形態）
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々の変形が可能である。

例えば、上記の実施形態では、カメラ２１によって撮影された画像内に、ウエハＷの周縁部に対応する線が存在するか否かを判定することにより、ウエハＷの位置ずれを検出する例を示したが、ウエハＷの位置ずれの検出手法はこれに限られない。以下では、ウエハＷの位置ずれの検出手法の変形例１〜変形例３を説明する。

図６は、ウエハＷの位置ずれの検出手法の変形例１を説明するための図である。図６において、画像Ｉ５は、カメラ２１によって撮影された画像の一例である。画像Ｉ５は、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。例えば、検査装置１０は、図６に示すように、カメラ２１によって撮影された画像Ｉ５の上辺に対応する線ＵＬと、画像Ｉ５内における、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５との交点ＣＰ１の位置を特定する。そして、検査装置１０は、特定した交点ＣＰ１の位置と、上辺に予め設定された基準点ＲＰの位置との距離Ｄ１に基づいて、Ｘ軸に沿ったウエハＷの位置ずれを検出する。すなわち、検査装置１０は、交点ＣＰ１の位置と基準点ＲＰの位置との距離Ｄ１が所定の閾値以上である場合に、Ｘ軸に沿ったウエハＷの位置ずれが発生したことを検出する。

なお、図６に示した変形例１では、画像Ｉ５の上辺に対応する線ＵＬと、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５との交点ＣＰ１の位置を特定し、交点ＣＰ１の位置と基準点ＲＰの位置との距離Ｄ１に基づいて、Ｘ軸に沿ったウエハＷの位置ずれを検出した。しかしながら、開示の技術はこれに限られない。例えば、検査装置１０は、画像Ｉ５の下辺に対応する線ＢＬと、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５との交点ＣＰ２の位置を特定し、交点ＣＰ２の位置と下辺に予め設定された基準点（図示せず）の位置との距離に基づいて、Ｘ軸に沿ったウエハＷの位置ずれを検出してもよい。

図７は、ウエハＷの位置ずれの検出手法の変形例２を説明するための図である。図７において、画像Ｉ５は、カメラ２１によって撮影された画像の一例である。画像Ｉ５は、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。例えば、検査装置１０は、図７に示すように、カメラ２１によって撮影された画像Ｉ５の上辺に対応する線ＵＬと、画像Ｉ５内における、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５との第１の交点ＣＰ１の位置を特定する。そして、検査装置１０は、画像Ｉ５の下辺に対応する線ＢＬと、画像Ｉ５内における、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５との第２の交点ＣＰ２の位置を特定する。そして、検査装置１０は、Ｘ軸に沿った、第１の交点ＣＰ１の位置と第２の交点ＣＰ２の位置との距離Ｄ２に基づいて、Ｙ軸に沿ったウエハＷの位置ずれを検出する。すなわち、検査装置１０は、Ｘ軸に沿った、第１の交点ＣＰ１の位置と第２の交点ＣＰ２の位置との距離Ｄ２が所定の閾値以上である場合に、Ｙ軸に沿ったウエハＷの位置ずれが発生したことを検出する。

図８は、ウエハＷの位置ずれの検出手法の変形例３を説明するための図である。図８において、画像Ｉ５が、カメラ２１によって撮影された画像の一例である。画像Ｉ５は、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。例えば、検査装置１０は、図８に示すように、カメラ２１によって撮影された画像Ｉ５内における、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５を用いて、ウエハＷの中心位置を算出し、算出したウエハＷの中心位置と予め定められた基準位置とのずれ量に基づいて、ウエハＷの位置ずれを検出する。すなわち、検査装置１０は、算出したウエハＷの中心位置と予め定められた基準位置とのずれ量が所定の閾値以上である場合に、ウエハＷの位置ずれが発生したことを検出する。

ここで、線Ｌ５を用いたウエハＷの中心位置の算出手法について補足的に説明する。まず、線Ｌ５上の３点（点Ｐ１〜点Ｐ３）の座標が検出される。そして、検出された３点（点Ｐ１〜点Ｐ３）の座標から、既知の計算手法（例えば、ニュートン・ラフソン法）を用いて、ウエハＷの中心位置の座標が算出される。なお、線Ｌ５上から選択された任意の３点の座標に基づきウエハＷの中心位置の座標を算出することも考えられる。しかしながら、ウエハＷは微視的には真円ではないため、任意の３点の座標に基づきウエハＷの中心位置の座標を算出する手法では、算出されるウエハＷの中心位置の座標の誤差が大きくなる虞がある。そこで、変形例３では、図８に示すように、画像Ｉ５内における、ウエハＷの周縁部に対応する線Ｌ５に対して３つの矩形枠を設定し、各矩形枠内において線Ｌ５の画素位置を平均化して３点（点Ｐ１〜点Ｐ３）の座標を検出する。そして、変形例３では、検出された３点（点Ｐ１〜点Ｐ３）の座標からウエハＷの中心位置の座標を算出する。これにより、算出されるウエハＷの中心位置の座標の誤差を低減することができ、結果として、ウエハＷの位置ずれの検出精度を向上することができる。

また、上記の実施形態では、カメラ２１よって撮影された画像内における、ウエハＷに対応する領域がグラデーションを含む領域であるか否かを判定することにより、ウエハＷの傾きを検出する例を示したが、ウエハＷの傾きの検出手法はこれに限られない。例えば、検査装置１０は、カメラ２１によって撮影された画像内における、ウエハＷの周縁部に対応する線が、実際のウエハＷの周縁部とは逆方向に湾曲する曲線を含むか否かを判定することにより、ウエハＷの傾きを検出してもよい。なお、実際のウエハＷの周縁部とは逆方向に湾曲する曲線には、ジグザグ状の曲線が含まれる。

また、上記の実施形態では、載置台１８に載置されたウエハＷの搬出開始の指令が搬送アーム１５へ発行されて搬送アーム１５が載置台１８へ移動している間に、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの検出を行う例を示したが、開示の技術はこれに限られない。例えば、搬送アーム１５が載置台１８に到着し、且つピン１９によって持ち上げられたウエハＷが搬送アーム１５へ受け渡された後に、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの検出がさらに行われてもよい。以下では、搬送アーム１５が載置台１８に到着し、且つピン１９によって持ち上げられたウエハＷが搬送アーム１５へ受け渡された後に、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの検出を行う基板搬出方法を、図９を参照して説明する。

図９は、基板搬出方法の流れの他の一例を示すフローチャートである。例えば、ウエハＷの電気的特性の検査が完了する度に、検査装置１０は、本フローチャートに示す処理を実行する。なお、図９に示す処理は、主として制御装置１３によって実行される。

図９に示すように、制御装置１３は、載置台１８に載置されたウエハＷの搬出開始の指令が搬送アーム１５へ発行されると（Ｓ２０１）、載置台１８に向けて搬送アーム１５の移動を開始する（Ｓ２０２）。続いて、制御装置１３は、載置台１８からピン１９を突出させ、ピン１９によってウエハＷを持ち上げる（Ｓ２０３）。

続いて、制御装置１３は、ピン１９によってウエハＷが持ち上げられた状態で、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域の上方にカメラ２１を移動させる（Ｓ２０４）。ステップＳ２０４は、第１の移動工程の一例である。なお、ステップＳ２０４の詳細は、上述のステップＳ１０４と同様であるので、その説明を省略する。

続いて、制御装置１３は、移動したカメラ２１に、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域を撮影させる（Ｓ２０５）。カメラ２１によって撮影された画像は、例えば、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。ステップＳ２０５は、第１の撮影工程の一例である。なお、所定領域の撮影が完了すると、カメラ２１は、アライメントブリッジ２２と共に所定の待機位置へ退避される。

続いて、制御装置１３は、カメラ２１によって撮影された画像に基づいて、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きを検出する（Ｓ２０６）。ステップＳ２０６は、第１の検出工程の一例である。なお、ステップＳ２０６の詳細は、上述のステップＳ１０６と同様であるので、その説明を省略する。

ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きが発生していると検出された場合（Ｓ２０７Ｙｅｓ）、制御装置１３は、搬送アーム１５の移動を停止し（Ｓ２０８）、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの発生を報知するアラームを表示装置１４に出力する（Ｓ２０９）。ステップＳ２０８は、停止工程の一例である。

一方、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きが発生していないと検出された場合（Ｓ２０７Ｎｏ）、制御装置１３は、搬送アーム１５が載置台１８に到着するまで待機し、搬送アーム１５が載置台１８に到着すると（Ｓ２１０）、ウエハＷを搬送アーム１５へ受け渡す（Ｓ２１１）。

制御装置１３は、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷが搬送アーム１５へ受け渡されると、搬送アーム１５によってウエハＷが支持された状態で、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域の上方にカメラ２１を移動させる（Ｓ２１２）。ステップＳ２１２は、第２の移動工程の一例である。

続いて、制御装置１３は、移動したカメラ２１に、ウエハＷの周縁部が存在すべき所定領域を撮影させる（Ｓ２１３）。カメラ２１によって撮影された画像は、例えば、Ｘ軸に平行な上辺及び下辺と、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像である。ステップＳ２１３は、第２の撮影工程の一例である。なお、所定領域の撮影が完了すると、カメラ２１は、アライメントブリッジ２２と共に所定の待機位置へ退避される。

続いて、制御装置１３は、カメラ２１によって撮影された画像に基づいて、搬送アーム１５によって支持されたウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きを検出する（Ｓ２１４）。ステップＳ２１４は、第２の検出工程の一例である。なお、ステップＳ２１４の詳細は、上述のステップＳ１０６と同様であるので、その説明を省略する。

ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きが発生していると検出された場合（Ｓ２１５Ｙｅｓ）、制御装置１３は、搬送アーム１５によるウエハＷの搬出を停止し（Ｓ２１６）、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの発生を報知するアラームを表示装置１４に出力する（Ｓ２１７）。

一方、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きが発生していないと検出された場合（Ｓ２１５Ｎｏ）、ウエハＷが搬送アーム１５によって所定の搬出位置へ搬出される（Ｓ２１８）。

このように、ピン１９によって持ち上げられたウエハＷが搬送アーム１５へ受け渡された後に、ウエハＷの位置ずれ及び／又は傾きの検出を行うことにより、ウエハＷの搬出時にウエハＷ及びウエハＷ周辺の部品の破損をより確実に防止することができる。

１０ 検査装置
１１ ローダ室
１２ プローバ室
１３ 制御装置
１４ 表示装置
１５ 搬送アーム
１６ Ｘステージ
１７ Ｙステージ
１８ 載置台
１８ａ 所定領域
１９ ピン
２０ アライメント装置
２１ カメラ
２２ アライメントブリッジ
２３ リニアガイド

Claims (11)

1. 載置台に載置された基板の搬出開始の指令が搬送機構へ発行されて前記搬送機構が前記載置台へ移動している間に、前記載置台から突出するピンによって前記基板が持ち上げられた状態で、前記基板の周縁部が存在すべき所定領域の上方にカメラを移動させる第１の移動工程と、
   前記第１の移動工程で移動した前記カメラに、前記基板の周縁部が存在すべき前記所定領域を撮影させる第１の撮影工程と、
   前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像に基づいて、前記ピンによって持ち上げられた前記基板の位置ずれ及び／又は傾きを検出する第１の検出工程と
   を含むことを特徴とする基板搬出方法。
2. 前記第１の検出工程で前記基板の位置ずれ及び／又は傾きが発生していると検出された場合に、前記搬送機構の移動を停止する停止工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の基板搬出方法。
3. 前記第１の検出工程は、
   前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像内に、前記基板の周縁部に対応する線が存在するか否かを判定することにより、前記基板の位置ずれを検出することを特徴とする請求項１に記載の基板搬出方法。
4. 前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像は、第１の軸に平行な上辺及び下辺と、前記第１の軸に直交する第２の軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像であり、
   前記第１の検出工程は、
   前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像の前記上辺又は前記下辺に対応する線と、前記画像内における、前記基板の周縁部に対応する線との交点の位置を特定し、
   特定した前記交点の位置と、前記上辺又は前記下辺に予め設定された基準点の位置との距離に基づいて、前記第１の軸に沿った前記基板の位置ずれを検出することを特徴とする請求項１に記載の基板搬出方法。
5. 前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像は、第１の軸に平行な上辺及び下辺と、前記第１の軸に直交する第２の軸に平行な左辺及び右辺とを含む矩形状の画像であり、
   前記第１の検出工程は、
   前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像の前記上辺に対応する線と、前記画像内における、前記基板の周縁部に対応する線との第１の交点の位置を特定し、
   前記画像の前記下辺に対応する線と、前記画像内における、前記基板の周縁部に対応する線との第２の交点の位置を特定し、
   前記第１の軸に沿った、前記第１の交点の位置と前記第２の交点の位置との距離に基づいて、前記第２の軸に沿った前記基板の位置ずれを検出することを特徴とする請求項１に記載の基板搬出方法。
6. 前記第１の検出工程は、
   前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像内における、前記基板に対応する領域がグラデーションを含む領域であるか否かを判定することにより、前記基板の傾きを検出することを特徴とする請求項１に記載の基板搬出方法。
7. 前記第１の検出工程は、
   前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像内における、前記基板の周縁部に対応する線が、実際の前記基板の周縁部とは逆方向に湾曲する曲線を含むか否かを判定することにより、前記基板の傾きを検出することを特徴とする請求項１に記載の基板搬出方法。
8. 前記カメラは、前記載置台に載置された基板のアライメントに用いられるカメラであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の基板搬出方法。
9. 前記カメラは、前記載置台に載置された基板のアライメント時に待機位置から予め設定されたアライメント位置に移動するアライメントブリッジに搭載され、
   前記第１の移動工程は、
   前記載置台から突出するピンによって前記基板が持ち上げられた状態で、前記アライメントブリッジ及び前記アライメントブリッジに搭載された前記カメラを前記所定領域の上方に移動させることを特徴とする請求項８に記載の基板搬出方法。
10. 前記第１の検出工程は、
    前記第１の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像内における、前記基板の周縁部に対応する線を用いて、前記基板の中心位置を算出し、算出した前記基板の中心位置と予め定められた基準位置とのずれ量に基づいて、前記基板の位置ずれを検出することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の基板搬出方法。
11. 前記搬送機構が前記載置台に到着し、且つ前記ピンによって持ち上げられた前記基板が前記搬送機構へ受け渡された後に、前記搬送機構によって前記基板が支持された状態で、前記基板の周縁部が存在すべき前記所定領域の上方に前記カメラを移動させる第２の移動工程と、
    前記第２の移動工程で移動した前記カメラに、前記基板の周縁部が存在すべき前記所定領域を撮影させる第２の撮影工程と、
    前記第２の撮影工程で前記カメラによって撮影された画像に基づいて、前記搬送機構によって支持された前記基板の位置ずれ及び／又は傾きを検出する第２の検出工程と
    をさらに含むことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一つに記載の基板搬出方法。