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JP2018188611A - Composition for sealing and molding material and electronic component apparatus - Google Patents

Composition for sealing and molding material and electronic component apparatus Download PDF

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JP2018188611A
JP2018188611A JP2017163515A JP2017163515A JP2018188611A JP 2018188611 A JP2018188611 A JP 2018188611A JP 2017163515 A JP2017163515 A JP 2017163515A JP 2017163515 A JP2017163515 A JP 2017163515A JP 2018188611 A JP2018188611 A JP 2018188611A
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  • Sealing Material Composition (AREA)
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Abstract

【課題】高いガラス転移温度(Tg)を有し、成形性に優れるとともに、耐電圧性が高く、半導体インサート部品との密着性が良好な硬化物を得ることができる封止成形材料用組成物、及び該封止成形材料用組成物を用いた電子部品装置を提供する。【解決手段】(A)特定の構造を有するマレイミド樹脂と、(B)特定の骨格を有するフェノール系硬化剤、及び特定の構造を有するベンゾオキサジン樹脂から選ばれる少なくとも1種と、(C)特定の骨格を有するエポキシ樹脂から選ばれる少なくとも1種と、(D−1)有機リン系硬化促進剤と、(D−2)イミダゾール系硬化促進剤と、(E)(e−1)中空構造充填材を含む充填材と、を含有する封止成形材料用組成物。【選択図】なしPROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a cured product having a high glass transition temperature (Tg), excellent moldability, high withstand voltage resistance, and good adhesion to semiconductor insert parts, and a composition for a sealing molding material. , And an electronic component apparatus using the composition for a sealing molding material. SOLUTION: (A) at least one selected from a maleimide resin having a specific structure, (B) a phenol-based curing agent having a specific skeleton, and a benzoxazine resin having a specific structure, and (C) specifying. At least one selected from epoxy resins having the above skeleton, (D-1) organic phosphorus-based curing accelerator, (D-2) imidazole-based curing accelerator, and (E) (e-1) hollow structure filling. A filler containing a material, and a composition for a sealing molding material containing the material. [Selection diagram] None

Description

本発明は、封止成形材料用組成物、及び電子部品装置に関する。   The present invention relates to a composition for encapsulating molding material and an electronic component device.

従来から、トランジスタ、IC等の電子部品封止の分野では、エポキシ樹脂成形材料が広く用いられている。これは、エポキシ樹脂が、電気特性、耐湿性、機械特性、インサート品との接着性等のバランスに優れるからである。   Conventionally, epoxy resin molding materials have been widely used in the field of sealing electronic components such as transistors and ICs. This is because the epoxy resin has an excellent balance of electrical properties, moisture resistance, mechanical properties, adhesion to inserts, and the like.

近年、資源エネルギーの将来的な枯渇に対する不安や、いわゆる地球温暖化問題等を背景に世界的に省エネルギーの機運が高まっており、電力の制御や変換を行い、「省エネ技術のキーデバイス」と言われるパワーデバイス(パワー半導体)が注目されている。
パワー半導体にとって電力変換効率はその性能を決定する非常に重要な項目であるが、ここにきて、従来のSi素子より変換効率の高い炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)等の化合物半導体の研究開発や市場での流通が活況を呈するようになってきた。
In recent years, there has been an increase in energy-saving momentum around the world against the background of concerns over the future depletion of resource energy and the so-called global warming problem. Power devices (power semiconductors) are attracting attention.
For power semiconductors, power conversion efficiency is a very important item that determines its performance. Here, compound semiconductors such as silicon carbide (SiC) and gallium nitride (GaN) have higher conversion efficiency than conventional Si devices. Research and development and distribution in the market have become booming.

パワー半導体の大きな特徴として、特にSiC素子はSi素子に比べ、高い耐電圧特性を有するため、これを適用すればより高い耐電圧を有するパワー半導体モジュールの実現が可能である。それに伴い、パワー半導体素子以外の周辺部材にも高い耐電圧特性、例えば耐トラッキング性や高い絶縁破壊電圧が要求される。   As a major feature of power semiconductors, SiC elements, in particular, have higher withstand voltage characteristics than Si elements. Therefore, by applying this, it is possible to realize a power semiconductor module having a higher withstand voltage. Accordingly, high withstand voltage characteristics such as tracking resistance and high breakdown voltage are also required for peripheral members other than the power semiconductor element.

一方、もう一つの大きな特徴として、従来のSi素子と比較して高温動作が可能である点を挙げることができる。前述した高い耐電圧特性を有することは、素子自身の発熱もこれまで以上になることを意味し、高温動作が可能となることと相まって、周辺部材にはこれまで以上の耐熱性が求められることになる。
SiCについては、300℃以上での動作報告もあり、封止用成形材料には高いガラス転移温度とともに高い耐熱分解性が求められることになる。
On the other hand, another major feature is that it can operate at a higher temperature than conventional Si elements. Having the above-mentioned high withstand voltage characteristics means that the element itself generates more heat than before, and coupled with the fact that high-temperature operation is possible, the peripheral members are required to have higher heat resistance than before. become.
Regarding SiC, there is an operation report at 300 ° C. or higher, and the molding material for sealing is required to have high thermal decomposition resistance with a high glass transition temperature.

封止用成形材料に高いガラス転移温度を与え、高温時信頼性を確保しようとする技術としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、マレイミド基を有する化合物、及びアルケニル基を有するフェノール化合物を必須成分とする封止用エポキシ樹脂組成物(例えば、特許文献1)、マレイミド化合物とベンゾオキサジン化合物を特定の比率で配合し、トリアゾール系化合物を添加した封止用樹脂組成物(例えば、特許文献2)等の報告がある。また、マレイミド樹脂とシアネートエステル樹脂の共重合物を樹脂成分とし、無機ナノ粒子を無機成分とした、有機−無機ナノハイブリッド樹脂に関する報告もある(例えば、特許文献3)。   As a technology for giving a high glass transition temperature to a molding material for sealing and ensuring reliability at high temperatures, an epoxy resin, a phenol resin, a compound having a maleimide group, and a phenol compound having an alkenyl group are essential components. Sealing epoxy resin composition (for example, Patent Document 1), sealing resin composition (for example, Patent Document 2) in which a maleimide compound and a benzoxazine compound are blended at a specific ratio and a triazole compound is added. There is a report. There is also a report on an organic-inorganic nanohybrid resin using a copolymer of maleimide resin and cyanate ester resin as a resin component and inorganic nanoparticles as an inorganic component (for example, Patent Document 3).

特許第4793565号Japanese Patent No. 4793565 特開2015−101667号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-101667 特許第5358623号Japanese Patent No. 5358623

高温時信頼性を確保する為には、高いガラス転移温度(Tg)とともに、半導体インサート部品に対する高い密着力が必要であるが、一般に、これらの両立は困難であることが多く、半導体インサート部品との剥離が発生する等の問題を抱えることも少なくない。また、半導体インサート部品に対する十分な密着性を確保した上で、半導体部品の生産性に関わる成形材料の成形性との両立を図ることも困難な課題であり、従来の技術ではこれらの課題が十分に解決されているとは言いがたい。   In order to ensure reliability at high temperatures, a high glass transition temperature (Tg) and a high adhesion to semiconductor insert parts are necessary. In general, it is often difficult to achieve both of these, It is not uncommon to have problems such as the occurrence of peeling. In addition, it is difficult to achieve sufficient compatibility with the moldability of molding materials related to the productivity of semiconductor components while ensuring sufficient adhesion to semiconductor insert components. It is hard to say that it has been solved.

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、高いガラス転移温度(Tg)を有し、成形性に優れるとともに、耐電圧性が高く、半導体インサート部品との密着性が良好な硬化物を得ることができる封止成形材料用組成物、及び該封止成形材料用組成物を用いた電子部品装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, has a high glass transition temperature (Tg), is excellent in moldability, has high voltage resistance, and has good adhesion to semiconductor insert components. It aims at providing the composition for sealing molding materials which can obtain hardened | cured material, and the electronic component apparatus using this composition for sealing molding materials.

本発明者らは、上記の課題を解決するべく鋭意検討した結果、特定の構造を有するマレイミド樹脂と、特定の骨格を有するフェノール系硬化剤及び/又は特定の構造を有するベンゾオキサジン樹脂と、特定の骨格を有するエポキシ樹脂と、特定の構造を有する硬化促進剤と、特定の充填材とを含有する封止成形材料用組成物が、上記課題を解決することを見出した。
本発明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have identified a maleimide resin having a specific structure, a phenolic curing agent having a specific skeleton, and / or a benzoxazine resin having a specific structure, It has been found that a composition for encapsulating molding material containing an epoxy resin having a skeleton of the above, a curing accelerator having a specific structure, and a specific filler solves the above problems.
The present invention has been completed based on such findings.

すなわち、本発明は、以下の[1]〜[8]を提供する。
[1](A)下記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂と、(B)下記一般式(II)で表されるフェノール系硬化剤、及び下記一般式(III)で表されるフェノール系硬化剤の1種又は2種であるフェノール系硬化剤、並びに下記一般式(IV)で表されるベンゾオキサジン樹脂から選ばれる少なくとも1種と、(C)下記一般式(V)〜(VII)で表されるエポキシ樹脂から選ばれる少なくとも1種と、(D−1)有機リン系硬化促進剤と、(D−2)イミダゾール系硬化促進剤と、(E)(e−1)中空構造充填材を含む充填材と、を含有する封止成形材料用組成物。

(式中、Rはそれぞれ独立に炭素数1〜10の炭化水素基であって、炭化水素基はハロゲン原子で置換されていてもよい。Rが複数存在する場合、該複数のRは、互いに同一でも異なっていてもよい。pはそれぞれ独立に0〜4の整数、qは0〜3の整数、zは0〜10の整数である。)

(式中、xは0〜10である。)

(式中、y1は0〜10である。)

(式中、X1は炭素数1〜10のアルキレン基、酸素原子、又は直接結合である。R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜10の炭化水素基である。R及びRが複数存在する場合、複数のR及び複数のRは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。m1及びm2は、それぞれ独立に0〜4の整数である。)

(式中、n1は0〜10である。)

(式中、n2は0〜10である。)


[2]前記(e−1)中空構造充填材の平均粒径が3〜100μmである上記[1]に記載の封止成形材料用組成物。
[3]前記封止成形材料用組成物全量に対する前記(e−1)中空構造充填材の割合を、該(e−1)中空構造充填材の弾性率で除した値が0.002〜0.250である請求項[1]又は[2]に記載の封止成形材料用組成物。
[4]前記(e−1)中空構造充填材が、シリカ、アルミナ、シリカ−アルミナ化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、該(e−1)中空構造充填材の含有量が(E)充填材全量に対し1〜50質量%である上記[1]〜[3]のいずれかに記載の封止成形材料用組成物。
[5]前記(e−1)中空構造充填材が、有機化合物からなり、該(e−1)中空構造充填材の含有量が(E)充填材全量に対し0.5〜10質量%である上記[1]〜[3]のいずれかに記載の封止成形材料用組成物。
[6]前記(e−1)中空構造充填材が、シルセスキオキサン化合物からなり、該(e−1)中空構造充填材の含有量が(E)充填材全量に対し0.5〜10質量%である上記[1]〜[3]のいずれかに記載の封止成形材料用組成物。
[7]前記(D−2)成分が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(液状)と、その質量比を1/20とした上で反応させた時の反応開始温度が、85℃以上175℃未満を示すイミダゾール系硬化促進剤である上記[1]〜[6]のいずれかに記載の封止成形材料用組成物。
[8]上記[1]〜[7]のいずれかに記載の封止成形材料用組成物の硬化物により封止された素子を備える電子部品装置。
That is, the present invention provides the following [1] to [8].
[1] (A) A maleimide resin represented by the following general formula (I), (B) a phenolic curing agent represented by the following general formula (II), and a phenol represented by the following general formula (III) At least one selected from phenolic curing agents that are one or two of the above-mentioned hardeners, and a benzoxazine resin represented by the following general formula (IV), and (C) the following general formulas (V) to (VII) ), At least one selected from epoxy resins represented by: (D-1) an organophosphorus curing accelerator, (D-2) an imidazole curing accelerator, and (E) (e-1) a hollow structure. A composition for encapsulating molding material, comprising a filler containing a filler.

(In the formula, each R 1 is independently a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and the hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom. When a plurality of R 1 are present, the plurality of R 1 May be the same as or different from each other, p is independently an integer of 0 to 4, q is an integer of 0 to 3, and z is an integer of 0 to 10.)

(Wherein x is 0-10)

(In the formula, y1 is 0 to 10.)

(In the formula, X1 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, an oxygen atom, or a direct bond. R 2 and R 3 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms. R 2 and R When a plurality of 3 are present, the plurality of R 2 and the plurality of R 3 may be the same or different, and m1 and m2 are each independently an integer of 0 to 4.)

(In the formula, n1 is 0 to 10.)

(In the formula, n2 is 0 to 10.)


[2] The composition for encapsulating material according to [1], wherein the average particle diameter of the (e-1) hollow structure filler is 3 to 100 μm.
[3] A value obtained by dividing the ratio of the (e-1) hollow structure filler to the total amount of the sealing molding material composition by the elastic modulus of the (e-1) hollow structure filler is 0.002 to 0. 250. The composition for encapsulating molding material according to claim [1] or [2].
[4] The (e-1) hollow structure filler is at least one selected from the group consisting of silica, alumina, and a silica-alumina compound, and the content of the (e-1) hollow structure filler is ( E) The composition for encapsulating molding material according to any one of the above [1] to [3], which is 1 to 50% by mass relative to the total amount of the filler.
[5] The (e-1) hollow structure filler is made of an organic compound, and the content of the (e-1) hollow structure filler is 0.5 to 10% by mass with respect to the total amount of the (E) filler. The composition for encapsulating molding material according to any one of the above [1] to [3].
[6] The (e-1) hollow structure filler is made of a silsesquioxane compound, and the content of the (e-1) hollow structure filler is 0.5 to 10 with respect to the total amount of the (E) filler. The composition for encapsulating material according to any one of [1] to [3], wherein the composition is mass%.
[7] The reaction start temperature when the component (D-2) is reacted with bisphenol A type epoxy resin (liquid) at a mass ratio of 1/20 is 85 ° C. or more and less than 175 ° C. The composition for sealing molding materials according to any one of the above [1] to [6], which is an imidazole-based curing accelerator.
[8] An electronic component device including an element sealed with a cured product of the composition for sealing molding material according to any one of [1] to [7].

本発明によれば、高いガラス転移温度(Tg)を有し、成形性に優れるとともに、耐電圧性が高く、半導体インサート部品との密着性が良好な硬化物を得ることができる封止成形材料用組成物、及び該封止成形材料用組成物を用いた電子部品装置を提供することができる。   According to the present invention, a sealing molding material having a high glass transition temperature (Tg), excellent moldability, high voltage resistance, and capable of obtaining a cured product having good adhesion to a semiconductor insert component. The electronic component apparatus using the composition for sealing and this composition for sealing molding materials can be provided.

以下、本発明を詳細に説明する。
(封止成形材料用組成物)
まず、本発明の封止成形材料用組成物の各成分について述べる。
〔(A)マレイミド樹脂〕
本発明で用いる(A)成分のマレイミド樹脂は、下記一般式(I)で表され、1分子内にマレイミド基を2つ以上含む化合物であり、加熱によりマレイミド基が反応することで3次元的網目構造を形成し、硬化する樹脂である。また、上記マレイミド樹脂は、架橋反応により、硬化物に高いガラス転移温度(Tg)を与え、耐熱性及び耐熱分解性を向上させる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
(Composition for sealing molding material)
First, each component of the composition for sealing molding material of this invention is described.
[(A) Maleimide resin]
The maleimide resin of the component (A) used in the present invention is a compound represented by the following general formula (I) and containing two or more maleimide groups in one molecule. It is a resin that forms a network structure and cures. Moreover, the said maleimide resin gives high glass transition temperature (Tg) to hardened | cured material by a crosslinking reaction, and improves heat resistance and heat-resistant decomposition property.

上記一般式(I)中、Rはそれぞれ独立に炭素数1〜10の炭化水素基であって、該炭化水素基はハロゲン原子で置換されていてもよい。pはそれぞれ独立に0〜4の整数、qは0〜3の整数である。
上記炭素数1〜10の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基などのアルキル基;クロロメチル基、3−クロロプロピル基などの置換アルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基などのアルケニル基;フェニル基、トリル基、キシリル基などのアリール基;ベンジル基、フェネチル基などのアラルキル基などの1価の炭化水素基が挙げられる。
また、Rが複数存在する場合、該複数のRは、互いに同一でも異なっていてもよい。
zは0〜10の整数であり、好ましくは0〜4の整数である。
In the general formula (I), each R 1 is independently a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and the hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom. p is each independently an integer of 0 to 4, and q is an integer of 0 to 3.
Examples of the hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, and a heptyl group; a chloromethyl group and a 3-chloropropyl group Substituted alkyl groups; alkenyl groups such as vinyl, allyl, butenyl, pentenyl, and hexenyl; aryl groups such as phenyl, tolyl, and xylyl; monovalent groups such as aralkyl such as benzyl and phenethyl These hydrocarbon groups are mentioned.
Also, if the R 1 there are a plurality, R 1 of the plurality of it may be the same or different from each other.
z is an integer of 0 to 10, preferably an integer of 0 to 4.

上記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂は、後述する(B)成分のフェノール系硬化剤及び/又はベンゾオキサジン樹脂と、(D−1)成分の有機リン系硬化促進剤の存在下、170℃以上の温度で比較的容易に付加反応を行い、封止成形材料用組成物の硬化物に高い耐熱性を与える。   The maleimide resin represented by the general formula (I) is a phenolic curing agent and / or a benzoxazine resin as a component (B) described later, and an organic phosphorus curing accelerator as a component (D-1). Addition reaction is performed relatively easily at a temperature of 170 ° C. or higher, and high heat resistance is imparted to the cured product of the composition for sealing molding material.

上記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂の具体例としては、例えば、N,N’−(4,4’−ジフェニルメタン)ビスマレイミド、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド等が挙げられる。
また、上記マレイミド樹脂は、例えば、N,N’−(4,4’−ジフェニルメタン)ビスマレイミドでz=0を主成分とするBMI、BMI−70(以上、ケイアイ化成(株)製)、BMI−1000(大和化成工業(株)製)、ポリフェニルメタンマレイミドでz=0〜2を主成分とするBMI−2300(大和化成工業(株)製)等が市販品として入手することができる。
Specific examples of the maleimide resin represented by the general formula (I) include, for example, N, N ′-(4,4′-diphenylmethane) bismaleimide, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl). ) Methane, polyphenylmethanemaleimide and the like.
The maleimide resin is, for example, N, N ′-(4,4′-diphenylmethane) bismaleimide, BMI having B = 0 as a main component, BMI-70 (above, manufactured by KAI Kasei Co., Ltd.), BMI -1000 (manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.), BMI-2300 (manufactured by Yamato Kasei Kogyo Co., Ltd.), which is polyphenylmethane maleimide and has z = 0-2 as a main component, can be obtained as commercial products.

上記(A)成分のマレイミド樹脂は、その一部又は全量を後述する(B)成分のフェノール系硬化剤及び/又はベンゾオキサジン樹脂の一部又は全量と、予め予備混合を行なってから用いてもよい。予備混合の方法は特に限定されず、公知の混合方法を用いることができる。例えば、撹拌可能な装置を用い、(B)成分を50〜180℃で溶融した後、撹拌しつつ(A)成分のマレイミド樹脂を徐々に加えて混合し、その全てが溶融してから更に10〜60分程度撹拌し、予備混合樹脂とする方法等が挙げられる。
なお、予備混合において、(B)成分のフェノール系硬化剤及び/又はベンゾオキサジン樹脂を2種以上用いてもよい。
The maleimide resin of the component (A) may be used after partly or fully preliminarily mixing with the phenolic curing agent and / or benzoxazine resin of the component (B) described later. Good. The premixing method is not particularly limited, and a known mixing method can be used. For example, using a stirrable apparatus, the component (B) is melted at 50 to 180 ° C., and then the maleimide resin of the component (A) is gradually added and mixed while stirring. Examples include a method of stirring for about 60 minutes to prepare a premixed resin.
In the preliminary mixing, two or more phenolic curing agents and / or benzoxazine resins as the component (B) may be used.

上記(A)成分のマレイミド樹脂、すなわち、上記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂とは別に、本発明の効果を妨げない範囲で、上記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂以外のマレイミド樹脂を併用してもよい。併用可能なマレイミド樹脂としては、例えば、m−フェニレンビスマレイミド、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシン)フェニル]プロパン、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン等を挙げることができるが、これら以外の従来公知のマレイミド樹脂を併用してもよい。
なお、上記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂以外のマレイミド樹脂を配合する場合、その配合量は、(A)成分のマレイミド樹脂100質量部に対し、30質量部以下とすることが好ましく、20質量部以下とすることがより好ましく、10質量部以下とすることが更に好ましい。
In addition to the maleimide resin represented by the general formula (I), in addition to the maleimide resin represented by the general formula (I), in addition to the maleimide resin represented by the general formula (I) The maleimide resin may be used in combination. Examples of maleimide resins that can be used in combination include m-phenylene bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxine) phenyl] propane, and 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl). ) Hexane and the like can be mentioned, but conventionally known maleimide resins other than these may be used in combination.
In addition, when mix | blending maleimide resin other than the maleimide resin represented with the said general formula (I), it is preferable that the compounding quantity shall be 30 mass parts or less with respect to 100 mass parts of maleimide resin of (A) component. , 20 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less.

〔(B)特定の骨格を有するフェノール系硬化剤及び/又は特定の構造を有するベンゾオキサジン樹脂〕
本発明の封止成形材料用組成物は、(B)成分として、前記一般式(II)で表されるフェノール系硬化剤、及び前記一般式(III)で表されるフェノール系硬化剤の1種又は2種であるフェノール系硬化剤、並びに前記一般式(IV)で表されるベンゾオキサジン樹脂から選ばれる少なくとも1種を含む。
上記(B)成分は、後述する(D−1)成分の有機リン系硬化促進剤の存在下、比較的容易に(A)成分と付加反応を行う。(B)成分は、(A)成分であるマレイミド樹脂の自己重合反応を間接的に抑制し、剥離応力を緩和する効果を有する。また、封止成形材料用組成物に耐熱性とともに密着性及び成形性を付与する働きを有する。
[(B) a phenolic curing agent having a specific skeleton and / or a benzoxazine resin having a specific structure]
The composition for encapsulating molding material of the present invention includes, as component (B), one of a phenolic curing agent represented by the general formula (II) and a phenolic curing agent represented by the general formula (III). It contains at least one selected from a phenolic curing agent that is a seed or two kinds, and a benzoxazine resin represented by the general formula (IV).
The component (B) undergoes an addition reaction with the component (A) relatively easily in the presence of the organophosphorus curing accelerator of the component (D-1) described later. The component (B) has the effect of indirectly suppressing the self-polymerization reaction of the maleimide resin as the component (A) and relaxing the peeling stress. Moreover, it has the function which provides adhesiveness and moldability with heat resistance to the composition for sealing molding materials.

上記フェノール系硬化剤は、下記一般式(II)及び(III)で表され、一分子中に少なくとも2個の水酸基を有する。   The phenol-based curing agent is represented by the following general formulas (II) and (III), and has at least two hydroxyl groups in one molecule.


(式中、xは0〜10である。)

(Wherein x is 0-10)


(式中、y1は0〜10である。)

(In the formula, y1 is 0 to 10.)

上記一般式(II)中、xは0〜10であり、好ましくは1〜4である。また、上記一般式(III)中、y1は0〜10であり、好ましくは0〜3である。   In said general formula (II), x is 0-10, Preferably it is 1-4. Moreover, y1 is 0-10 in the said general formula (III), Preferably it is 0-3.

上記一般式(II)で表されるフェノール樹脂は、MEH−7500(明和化成(株)製)として、上記一般式(III)で表されるフェノール樹脂は、SN−485(新日鉄住金化学(株)製)として、それぞれ市販品として入手することができる。   The phenol resin represented by the general formula (II) is MEH-7500 (Maywa Kasei Co., Ltd.), and the phenol resin represented by the general formula (III) is SN-485 (Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.). ))), And can be obtained as commercial products.

上記ベンゾオキサジン樹脂は、一分子中にベンゾオキサジン環を2つ有し、下記一般式(IV)で表される。   The benzoxazine resin has two benzoxazine rings in one molecule and is represented by the following general formula (IV).

上記一般式(IV)中、X1は炭素数1〜10のアルキレン基、酸素原子、又は直接結合である。R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜10の炭化水素基である。 In said general formula (IV), X1 is a C1-C10 alkylene group, an oxygen atom, or a direct bond. R 2 and R 3 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms.

X1のアルキレン基の炭素数は1〜10、好ましくは1〜3である。アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基等が挙げられ、中でもメチレン基、エチレン基、プロピレン基が好ましく、特にメチレン基が好ましい。   Carbon number of the alkylene group of X1 is 1-10, Preferably it is 1-3. Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a pentylene group, a hexylene group, a heptylene group, and an octylene group. Among them, a methylene group, an ethylene group, and a propylene group are preferable. Groups are preferred.

及びRの炭素数1〜10の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基などのアルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基などのアルケニル基;フェニル基、トリル基、キシリル基などのアリール基;ベンジル基、フェネチル基などのアラルキル基などの1価の炭化水素基が挙げられる。
また、R及びRが複数存在する場合、複数のR及び複数のRは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
Examples of the hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms of R 2 and R 3 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group; vinyl group, allyl group Alkenyl groups such as butenyl group, pentenyl group and hexenyl group; aryl groups such as phenyl group, tolyl group and xylyl group; and monovalent hydrocarbon groups such as aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group.
When a plurality of R 2 and R 3 are present, the plurality of R 2 and the plurality of R 3 may be the same or different.

m1はそれぞれ独立に0〜4の整数であり、好ましくは0〜2の整数、より好ましくは0である。m2はそれぞれ独立に0〜4の整数であり、好ましくは0〜2の整数、より好ましくは0である。   m1 is an integer of 0-4 each independently, Preferably it is an integer of 0-2, More preferably, it is 0. m2 is each independently an integer of 0 to 4, preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0.

上記一般式(IV)で表されるベンゾオキサジン樹脂の具体例としては、例えば、下記式(IV−1)〜(IV−4)に示す樹脂が挙げられる。これらの樹脂は、1種を用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Specific examples of the benzoxazine resin represented by the general formula (IV) include resins represented by the following formulas (IV-1) to (IV-4). These resins may be used alone or in combination of two or more.




上記ベンゾオキサジン樹脂としては、上記式(IV−1)で表されるベンゾオキサジン樹脂が好ましく用いられる。また、ベンゾオキサジン樹脂中、上記式(IV−1)で表されるベンゾオキサジン樹脂の含有量は、好ましくは50〜100質量%、より好ましくは60〜100質量%、更に好ましくは70〜100質量%である。   As the benzoxazine resin, a benzoxazine resin represented by the above formula (IV-1) is preferably used. In the benzoxazine resin, the content of the benzoxazine resin represented by the formula (IV-1) is preferably 50 to 100% by mass, more preferably 60 to 100% by mass, and still more preferably 70 to 100% by mass. %.

上記式(IV−1)で表されるベンゾオキサジン樹脂は、ベンゾオキサジンP−d(四国化成工業(株)製)等の市販品として入手することができる。   The benzoxazine resin represented by the above formula (IV-1) can be obtained as a commercial product such as benzoxazine Pd (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.).

上記(B)成分は、一般式(II)〜(IV)で表される化合物を単独で用いてもよいし、これらの2種以上を併用して用いてもよい。耐熱性の観点からは、一般式(IV)で表されるベンゾオキサジン樹脂を用いることが好ましく、生産性や成形性の観点からは、一般式(II)や一般式(III)で表されるフェノール樹脂を単独、又は併用して用いることが好ましい。一般式(IV)で表されるベンゾオキサジン樹脂と、一般式(II)及び/又は一般式(III)で表されるフェノール樹脂を併用して用いると、耐熱性や成形性等のバランスに優れた封止成形材料用組成物を得ることができ、本発明における好ましい実施形態の一つである。   As the component (B), compounds represented by the general formulas (II) to (IV) may be used alone, or two or more of these may be used in combination. From the viewpoint of heat resistance, it is preferable to use a benzoxazine resin represented by general formula (IV). From the viewpoint of productivity and moldability, it is represented by general formula (II) or general formula (III). It is preferable to use a phenol resin alone or in combination. When used in combination with the benzoxazine resin represented by the general formula (IV) and the phenol resin represented by the general formula (II) and / or the general formula (III), it has an excellent balance of heat resistance and moldability. A composition for encapsulated molding material can be obtained, which is one of the preferred embodiments of the present invention.

本発明では、耐熱性、密着性、及び成形性のバランスの観点から、(A)成分100質量部に対し、(B)成分を20〜250質量部とすることが好ましく、30〜200質量部とすることがより好ましく、40〜150質量部とすることが更に好ましい。2種以上の(B)成分を併用する場合、その合計量を前記範囲内とすることが好ましい。   In the present invention, from the viewpoint of a balance between heat resistance, adhesion, and moldability, the component (B) is preferably 20 to 250 parts by mass, and 30 to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A). More preferably, it is more preferable to set it as 40-150 mass parts. When using 2 or more types of (B) component together, it is preferable to make the total amount into the said range.

本発明では、本発明の効果を妨げない範囲で、従来公知の(B)成分以外のフェノール系硬化剤及び/又はベンゾオキサジンを併用することができる。また、本発明の効果を妨げない範囲で酸無水物やアミン系硬化剤を併用してもよい。   In the present invention, a phenolic curing agent and / or benzoxazine other than the conventionally known component (B) can be used in combination as long as the effects of the present invention are not hindered. Moreover, you may use an acid anhydride and an amine hardening | curing agent together in the range which does not prevent the effect of this invention.

〔(C)特定の骨格を有するエポキシ樹脂〕
本発明の封止成形材料用組成物は、(C)成分として、下記一般式(V)〜(VII)で表されるエポキシ樹脂から選ばれる少なくとも1種を含む。(C)成分のエポキシ樹脂は、一分子中に2個以上のエポキシ基を有し、トリフェニルメタン骨格、及び/又はナフタレン骨格を含む。(C)成分のエポキシ樹脂は、(B)成分のフェノール系硬化剤及び/又はベンゾオキサジン樹脂と架橋反応を行うとともに、後述する(D−2)成分のイミダゾール系硬化促進剤の存在下、(A)成分のマレイミド樹脂の自己重合反応を促進し、封止成形材料用組成物の硬化性を高め、良好な成形性を与える働きも有する。(C)成分のエポキシ樹脂は、1種を用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[(C) Epoxy resin having specific skeleton]
The composition for sealing molding material of this invention contains at least 1 sort (s) chosen from the epoxy resin represented by the following general formula (V)-(VII) as (C) component. The epoxy resin as component (C) has two or more epoxy groups in one molecule and includes a triphenylmethane skeleton and / or a naphthalene skeleton. The (C) component epoxy resin undergoes a crosslinking reaction with the (B) component phenolic curing agent and / or benzoxazine resin, and in the presence of the (D-2) component imidazole curing accelerator described below, ( A) It promotes the self-polymerization reaction of the maleimide resin of the component, enhances the curability of the composition for sealing molding material, and also has a function of giving good moldability. As the epoxy resin of component (C), one type may be used, or two or more types may be used in combination.


(式中、n1は0〜10である。)

(In the formula, n1 is 0 to 10.)


(式中、n2は0〜10である。)

(In the formula, n2 is 0 to 10.)

上記一般式(V)中、n1は0〜10であり、好ましくは0〜3である。また、上記一般式(VI)中、n2は0〜10であり、好ましくは0〜3である。   In said general formula (V), n1 is 0-10, Preferably it is 0-3. Moreover, in said general formula (VI), n2 is 0-10, Preferably it is 0-3.

上記一般式(V)で表されるエポキシ樹脂は、EPPN−502H(日本化薬(株)製)として、上記一般式(VI)で表されるエポキシ樹脂は、ESN−375(新日鉄住金化学(株)製)として、上記一般式(VII)で表されるエポキシ樹脂は、HP−4710(DIC(株)製)として、それぞれ市販品として入手することができる。   The epoxy resin represented by the general formula (V) is EPPN-502H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and the epoxy resin represented by the general formula (VI) is ESN-375 (Nippon Steel & Sumikin Chemical ( The epoxy resin represented by the above general formula (VII) can be obtained as a commercial product as HP-4710 (manufactured by DIC Corporation).

一般式(V)〜(VII)で表されるエポキシ樹脂の軟化点は、生産性や封止成形材料用組成物の流動性を良好にする観点から、好ましくは55〜100℃、より好ましくは60〜90℃、更に好ましくは65〜85℃である。   The softening point of the epoxy resin represented by the general formulas (V) to (VII) is preferably 55 to 100 ° C., more preferably from the viewpoint of improving the productivity and fluidity of the composition for sealing molding material. 60-90 degreeC, More preferably, it is 65-85 degreeC.

本発明の封止成形材料用組成物において、(C)成分の含有量は、ガラス転移点、密着性及び成形性等をバランスよくさせる為に、(B)成分のフェノール系硬化剤の水酸基(b−1)及びベンゾオキサジンが開環した際に生じる水酸基(b−2)に対する(C)成分のエポキシ樹脂が有するエポキシ基(c)の比、(c)/[(b−1)+(b−2)](当量比)が0.2〜1.5であることが好ましく、0.3〜1.2であることがより好ましい。当量比が0.2以上であれば成形性が良好となり、1.5以下であれば耐熱性や耐熱分解性、難燃性等がそれぞれ良好となる。なお、(C)成分を2種以上用いる場合には、その合計量を前記範囲内とすることが好ましい。   In the composition for encapsulating molding material of the present invention, the content of the component (C) is a hydroxyl group of the phenol-based curing agent of the component (B) in order to balance the glass transition point, adhesion and moldability. The ratio of the epoxy group (c) of the epoxy resin of component (C) to the hydroxyl group (b-2) generated when b-1) and benzoxazine are opened, (c) / [(b-1) + ( b-2)] (equivalent ratio) is preferably 0.2 to 1.5, more preferably 0.3 to 1.2. If the equivalent ratio is 0.2 or more, the moldability is good, and if it is 1.5 or less, the heat resistance, heat decomposition resistance, flame retardancy, etc. are good. In addition, when using 2 or more types of (C) component, it is preferable to make the total amount into the said range.

(C)成分のエポキシ樹脂は、一般式(V)〜(VII)で表される樹脂の他に、本発明の効果を損なわない範囲で半導体素子封止材料として用いられるエポキシ樹脂を併用することができる。併用可能なエポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂等を挙げることができるが、これら以外のエポキシ樹脂を併用してもよい。
なお、上記(C)成分以外のエポキシ樹脂を併用する場合、その配合量は(C)成分のエポキシ樹脂100質量部に対し、30質量部以下とすることが好ましく、20質量部以下とすることがより好ましく、10質量部以下とすることが更に好ましい。
(C) The epoxy resin of a component uses together with the epoxy resin used as a semiconductor element sealing material in the range which does not impair the effect of this invention other than resin represented by general formula (V)-(VII). Can do. Examples of the epoxy resin that can be used in combination include a phenol novolac type epoxy resin, an o-cresol novolak type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, and the like. May be.
In addition, when using together epoxy resins other than the said (C) component, it is preferable that the compounding quantity shall be 30 mass parts or less with respect to 100 mass parts of epoxy resins of (C) component, and shall be 20 mass parts or less. Is more preferably 10 parts by mass or less.

〔(D−1)有機リン系硬化促進剤〕
本発明では、密着性と成形性とのバランスといった観点から、硬化促進剤として、(D−1)有機リン系硬化促進剤、及び後述する(D−2)イミダゾール系硬化促進剤を併用することが必要である。
(D−1)成分の有機リン系硬化促進剤は、主として、(A)成分と(B)成分との架橋反応、及び(B)成分と(C)成分との架橋反応を促進する為に用いられる。(D−1)成分は、これらの反応を促進することにより、(A)成分どうしの自己重合反応を間接的に抑制し、半導体インサート部品との剥離応力の発生を抑える働きを有する。
[(D-1) Organophosphorus curing accelerator]
In the present invention, from the viewpoint of balance between adhesion and moldability, (D-1) an organophosphorus curing accelerator and (D-2) an imidazole curing accelerator described later are used in combination as a curing accelerator. is necessary.
The (D-1) component organophosphorus curing accelerator mainly promotes the crosslinking reaction between the component (A) and the component (B) and the crosslinking reaction between the component (B) and the component (C). Used. The component (D-1) promotes these reactions, thereby indirectly suppressing the self-polymerization reaction between the components (A) and suppressing the occurrence of peeling stress with the semiconductor insert component.

(D−1)成分の有機リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、トリス(4−メチルフェニル)ホスフィン、トリス(4−エチルフェニル)ホスフィン、トリス(4−プロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4−ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4−ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4,6−トリメチルフェニル)ホスフィン、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン等の三級ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムテトラブチルボレート等のテトラ置換ホスホニウムテトラ置換ボレート類等を例示することができ、これらを単独、又は2種以上併用して、適宜使用することができる。これら以外の従来公知の有機リン系硬化促進剤を単独、又は2種以上併用して使用することも可能である。   Examples of the organophosphorus curing accelerator of component (D-1) include triphenylphosphine, tris (4-methylphenyl) phosphine, tris (4-ethylphenyl) phosphine, tris (4-propylphenyl) phosphine, and tris. Tertiary phosphines such as (4-butylphenyl) phosphine, tris (2,4-dimethylphenyl) phosphine, tris (2,4,6-trimethylphenyl) phosphine, tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenyl Examples thereof include tetra-substituted phosphonium tetra-substituted borates such as borate and tetrabutylphosphonium tetrabutyl borate, and these can be used as appropriate, alone or in combination of two or more. Other than these, conventionally known organophosphorus curing accelerators may be used alone or in combination of two or more.

(D−1)成分の有機リン系硬化促進剤の含有量は、硬化性及び半導体インサート部品との密着性のバランスの観点から、(A)成分100質量部に対し、好ましくは0.1〜10質量部、より好ましくは0.3〜5質量部、更に好ましくは0.5〜3質量部である。2種以上の有機リン系硬化促進剤を併用する場合には、その合計量が前記範囲内となることが好ましい。   The content of the organophosphorus curing accelerator as the component (D-1) is preferably 0.1 to 100 parts by mass of the component (A) from the viewpoint of balance between curability and adhesion with the semiconductor insert component. It is 10 mass parts, More preferably, it is 0.3-5 mass parts, More preferably, it is 0.5-3 mass parts. When two or more organic phosphorus curing accelerators are used in combination, the total amount is preferably within the above range.

〔(D−2)イミダゾール系硬化促進剤〕
(D−2)成分のイミダゾール系硬化促進剤は、主として(A)成分の自己重合反応を促進することで、封止成形材料用組成物の成形性を確保する為に用いられる。(D−2)成分の働きは、(C)成分のエポキシ樹脂の存在により促進され、本発明の封止成形材料用組成物に良好な硬化性や成形性を与えることが可能となる。
なお、本発明において、「イミダゾール系硬化促進剤」とは、5員環上の1,3位に窒素原子を含むイミダゾール化合物と同義である。
[(D-2) Imidazole-based curing accelerator]
The (D-2) component imidazole curing accelerator is mainly used to ensure the moldability of the composition for encapsulating molding material by mainly promoting the self-polymerization reaction of the component (A). The action of the component (D-2) is promoted by the presence of the epoxy resin of the component (C), and it becomes possible to give good curability and moldability to the composition for sealing molding material of the present invention.
In the present invention, the “imidazole curing accelerator” is synonymous with an imidazole compound containing a nitrogen atom at the 1,3-position on a 5-membered ring.

(D−2)成分のイミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等を例示することができ、これらは単独で使用しても2種以上を併用して使用してもよい。また、上記以外の従来公知のイミダゾール系硬化促進剤を適用してもよい。   Examples of the imidazole curing accelerator of component (D-2) include 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2- Phenyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2-phenyl- Examples include 4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, and these may be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may apply conventionally well-known imidazole type hardening accelerators other than the above.

本発明では、上記(D−2)成分を、その必要に応じて適宜選択して用いることができるが、封止成形材料用組成物の成形性及び該組成物の硬化物と半導体インサート部品との密着性のバランスといった観点からは、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等、比較的活性温度の高い化合物を単独、又は2種以上併用して用いることが特に好ましい。具体的には、該イミダゾール化合物を、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(液状)と、その質量比を1/20として反応させた時の反応開始温度が、好ましくは85℃以上175℃未満、より好ましくは100℃以上160℃未満、更に好ましくは100℃以上150℃以下を示す化合物を単独、又は2種以上を併用して用いることが特に好ましい。
なお、ここで、反応開始温度とは、DSCを用いて、イミダゾール化合物とビスフェノールA型エポキシ樹脂とを含む組成物を昇温速度10℃/分で加熱した時に、発熱又は吸熱ピークの立ち上がり曲線で、ピークが最も急になった部分の接線と温度軸の交点の温度を指す。
(D−2)成分の反応開始温度が85℃以上であれば、半導体インサート部品との剥離を抑制することができ、175℃未満であれば、封止成形材料用組成物の成形性を良好にすることができる。
In the present invention, the component (D-2) can be appropriately selected and used as necessary, but the moldability of the composition for encapsulating molding material, the cured product of the composition, and the semiconductor insert part 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole It is particularly preferable to use a compound having a relatively high active temperature alone or in combination of two or more. Specifically, the reaction start temperature when the imidazole compound is reacted with bisphenol A type epoxy resin (liquid) at a mass ratio of 1/20 is preferably 85 ° C. or more and less than 175 ° C., more preferably It is particularly preferable to use a compound exhibiting 100 ° C. or more and less than 160 ° C., more preferably 100 ° C. or more and 150 ° C. or less alone or in combination of two or more.
Here, the reaction start temperature is a rising curve of an exothermic or endothermic peak when a composition containing an imidazole compound and a bisphenol A type epoxy resin is heated at a heating rate of 10 ° C./min using DSC. The temperature at the intersection of the tangent and temperature axis where the peak is the steepest.
(D-2) If the reaction start temperature of a component is 85 degreeC or more, peeling with a semiconductor insert component can be suppressed, and if it is less than 175 degreeC, the moldability of the composition for sealing molding materials is favorable. Can be.

本発明では、(A)成分の自己重合反応、(A)成分と(B)成分との架橋反応、及び(B)成分と(C)成分との架橋反応等を制御し、封止成形材料用組成物の硬化性及び硬化時発生応力のバランスをとり、半導体インサート部品との剥離を抑制する為に、(D−1)成分と(D−2)成分との含有量比を適正化することが好ましい。具体的には、(D−1)成分と(D−2)成分との含有量比[(D−1)/(D−2)]を、質量比で、3/1〜1/3とすることが好ましく、2/1〜1/3とすることがより好ましい。(D−1)成分が多いと成形性が、(D−2)成分が多いと封止成形材料用組成物の硬化物と半導体インサート部品との密着性が、それぞれ不十分となる可能性がある。   In the present invention, the self-polymerization reaction of the component (A), the crosslinking reaction of the component (A) and the component (B), the crosslinking reaction of the component (B) and the component (C), etc. are controlled, and the sealing molding material The content ratio of the component (D-1) and the component (D-2) is optimized in order to balance the curability of the composition for use and the stress generated at the time of curing, and to suppress separation from the semiconductor insert component. It is preferable. Specifically, the content ratio [(D-1) / (D-2)] of the component (D-1) and the component (D-2) is 3/1 to 1/3 in terms of mass ratio. Preferably, 2/1 to 1/3 is more preferable. When there are many (D-1) components, moldability will be sufficient, and when there are many (D-2) components, the adhesiveness of the hardened | cured material of the composition for sealing molding materials and semiconductor insert components may each become inadequate. is there.

〔(E)充填材〕
本発明における(E)成分の充填材は、(e−1)中空構造充填材を含むものであり、さらに、封止用成形材料で通常用いられる(e−2)無機充填材を含有することが好ましい。本発明の効果である封止成形材料用組成物の硬化物と半導体インサート部品との剥離を防止する為に、機械強度や線膨張係数等の観点から、(E)成分の充填剤の含有量は、封止成形材料用組成物全量に対し好ましくは60〜95質量%、より好ましくは65〜90質量%、更に好ましくは70〜85質量%である。充填材の含有量が60質量%以上であれば線膨張係数の増大を抑制でき、十分な機械的強度を保つことができ、95質量%以下であれば良好な流動性が得られる。
[(E) Filler]
The filler of component (E) in the present invention includes (e-1) a hollow structure filler, and further contains (e-2) an inorganic filler that is usually used in a molding material for sealing. Is preferred. In order to prevent peeling between the cured product of the composition for encapsulating material and the semiconductor insert component, which is an effect of the present invention, the content of the filler of component (E) from the viewpoint of mechanical strength, linear expansion coefficient, etc. Is preferably 60 to 95% by mass, more preferably 65 to 90% by mass, and still more preferably 70 to 85% by mass based on the total amount of the composition for encapsulating material. If the filler content is 60% by mass or more, an increase in the coefficient of linear expansion can be suppressed and sufficient mechanical strength can be maintained, and if it is 95% by mass or less, good fluidity can be obtained.

(e−1)中空構造充填材
本発明で用いる(e−1)成分の中空構造充填材は、主として、(A)成分自身の自己重合反応に伴い発生する硬化時応力を緩和するとともに、封止成形材料用組成物の硬化物の弾性率を下げることで熱収縮に伴う応力をも緩和し、硬化物と半導体インサート部品との剥離を防ぐ働きをする。封止成形材料用組成物の硬化物の弾性率は10〜15GPaであることが好ましい。15GPa以下であると硬化物とインサート部品との剥離を抑制することができ、10GPa以上であると成形性が良好である。
ここで、本発明における「中空構造充填材」とは、充填材内部に1つ又は2つ以上の中空構造を有する充填材を指す。中空構造充填材としては、特に限定されず、ソーダ石灰ガラスや硼珪酸ガラス、珪酸アルミニウムやムライト、石英等を主成分とするいわゆる中空ガラスや中空シリカ等の無機系中空構造充填材、シロキサン結合が(CHSiO3/2)nで表される三次元網目状に架橋した構造を持つシルセスキオキサン化合物等のシリコーン化合物を主成分とするシリコーン系中空構造充填材、熱可塑又は熱硬化性樹脂を出発原料として合成された有機化合物等を主成分とする有機系中空構造充填材等を用いることができる。
なお、本明細書における「シルセスキオキサン化合物」とは、シロキサン結合が(CHSiO3/2)nで表される三次元網目状に架橋した構造を持ち、側鎖にメチル基やフェニル基等の有機官能基を有する化合物のうち、側鎖がメチル基である割合が80%以上である化合物を指す。
前記「中空構造充填材」のうち、特に無機系中空構造充填材、及びシリコーン系中空構造充填材は、中空構造充填材自体の耐熱性が高い為、より耐熱性の高い封止成形材料用組成物に用いることが可能である。
(E-1) Hollow structure filler The hollow structure filler of component (e-1) used in the present invention mainly relieves stress during curing caused by the self-polymerization reaction of component (A) itself, and seals By lowering the elastic modulus of the cured product of the composition for a molding material, the stress associated with the heat shrinkage is also reduced, and the cured product and the semiconductor insert part are prevented from being peeled off. It is preferable that the elasticity modulus of the hardened | cured material of the composition for sealing molding materials is 10-15GPa. When it is 15 GPa or less, peeling between the cured product and the insert part can be suppressed, and when it is 10 GPa or more, the moldability is good.
Here, the “hollow structure filler” in the present invention refers to a filler having one or more hollow structures inside the filler. There are no particular limitations on the hollow structure filler, soda lime glass, borosilicate glass, aluminum silicate, mullite, inorganic hollow structure filler such as hollow silica mainly composed of quartz, etc., and siloxane bonds. A silicone-based hollow structure filler mainly composed of a silicone compound such as a silsesquioxane compound having a structure crosslinked in a three-dimensional network represented by (CH 3 SiO 3/2 ) n, thermoplastic or thermosetting An organic hollow structure filler mainly composed of an organic compound synthesized from a resin as a starting material can be used.
The “silsesquioxane compound” in this specification has a structure in which a siloxane bond is cross-linked in a three-dimensional network represented by (CH 3 SiO 3/2 ) n, and a methyl group or phenyl group in the side chain. Among compounds having an organic functional group such as a group, a compound in which the ratio of the side chain being a methyl group is 80% or more.
Among the “hollow structure fillers”, the inorganic hollow structure filler and the silicone hollow structure filler, in particular, have a higher heat resistance, so the composition for the sealing molding material has higher heat resistance. It can be used for things.

インサート部品との剥離を防ぐ観点からは、封止成形材料用組成物全量に対する(e−1)中空構造充填材の割合を(α)、中空構造充填材の弾性率(単位:GPa)を(β)とした時、(α)/(β)が0.002〜0.250となるよう中空構造充填材種とその添加量を選択することが好ましく、0.003〜0.150となるよう中空構造充填材種とその添加量を選択することが特に好ましい。(α)/(β)が0.002以上であれば封止成形材料用組成物の硬化時の応力緩和効果や熱収縮に伴う応力緩和効果が十分に得られ、0.250以下であれば絶縁耐圧や耐トラッキング性等の信頼性が十分に得られる。   From the viewpoint of preventing peeling from the insert part, the ratio (e-1) of the hollow structure filler to the total amount of the composition for sealing molding material (α), and the elastic modulus (unit: GPa) of the hollow structure filler ( When β), it is preferable to select the hollow structure filler and the amount of addition so that (α) / (β) is 0.002 to 0.250, so that 0.003 to 0.150 is obtained. It is particularly preferred to select the type of hollow structure filler and the amount added. If (α) / (β) is 0.002 or more, the stress relaxation effect upon curing of the composition for encapsulating molding material and the stress relaxation effect accompanying thermal shrinkage are sufficiently obtained, and if it is 0.250 or less. Reliability such as withstand voltage and tracking resistance is sufficiently obtained.

また、(e−1)成分の中空構造充填材の弾性率は、好ましくは0.1〜15GPa、より好ましくは0.2〜12GPaである。中でも、比較的弾性率の高い、前記中空ガラスや中空シリカ等の無機系中空構造充填材は、封止樹脂の硬化時収縮を抑える効果が相対的に高く、硬化時発生応力の抑制効果が高いため好ましい。また、比較的弾性率の低いシルセスキオキサン化合物等のシリコーン系中空構造充填材は、少量の添加で封止材の弾性率を下げることができ、熱収縮時応力緩和効果が高いため好ましい。中空ガラスや中空シリカ等の無機系中空構造充填材と、シルセスキオキサン化合物等のシリコーン系中空構造充填材とを併用すると、比較的少量の添加でもインサート部品との剥離抑制効果が高く、また、高い耐熱性を求められる封止樹脂にも適用可能であり、本発明における好適な実施形態である。
本発明における中空構造充填材の弾性率は、例えば、ダイナミック超微小硬度計((株)島津製作所製、装置名:DUH-211SR、負荷−徐荷試験、荷重:5.0mN、速度1.5mN/s)により測定することができる。
The elastic modulus of the hollow structure filler of the component (e-1) is preferably 0.1 to 15 GPa, more preferably 0.2 to 12 GPa. Among them, inorganic hollow structure fillers such as hollow glass and hollow silica having a relatively high elastic modulus have a relatively high effect of suppressing shrinkage at the time of curing of the sealing resin, and a high effect of suppressing stress generated at the time of curing. Therefore, it is preferable. In addition, a silicone-based hollow structure filler such as a silsesquioxane compound having a relatively low elastic modulus is preferable because it can reduce the elastic modulus of the sealing material with a small amount of addition and has a high stress relaxation effect at the time of heat shrinkage. When an inorganic hollow structure filler such as hollow glass or silica and a silicone hollow structure filler such as a silsesquioxane compound are used in combination, the effect of suppressing separation from insert parts is high even with a relatively small amount of addition. The present invention is also applicable to a sealing resin that requires high heat resistance, and is a preferred embodiment in the present invention.
The elastic modulus of the hollow structure filler in the present invention is, for example, a dynamic ultra-small hardness meter (manufactured by Shimadzu Corporation, device name: DUH-211SR, load-unloading test, load: 5.0 mN, speed: 1. 5 mN / s).

(e−1)成分の中空構造充填材は、耐トラッキング性等の絶縁性を両立させる観点から、シリカ、アルミナ、シリカ−アルミナ化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する無機系中空構造充填材、及び/又はシルセスキオキサン化合物を含有するシリコーン系中空構造充填材であることが好ましく、中でも、シリカ−アルミナ化合物、アルミナからなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する無機系中空構造充填材、及び/又はシルセスキオキサン化合物を含有するシリコーン系中空構造充填材であることがより好ましい。
また、有機成分の場合、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂等から形成される有機系中空構造充填材の選択が可能である。
The hollow structure filler (e-1) is an inorganic hollow structure containing at least one selected from the group consisting of silica, alumina and silica-alumina compounds from the viewpoint of achieving both insulation properties such as tracking resistance. It is preferably a silicone-based hollow structure filler containing a filler and / or a silsesquioxane compound, and among them, an inorganic hollow structure containing at least one selected from the group consisting of a silica-alumina compound and alumina. A silicone-based hollow structure filler containing a filler and / or a silsesquioxane compound is more preferable.
In the case of an organic component, an organic hollow structure filler formed from an acrylic resin, a polyester resin, or the like can be selected.

(e−1)成分の中空構造充填材は、内部に空気層を有する為、通常の充填材と比較して、熱伝導率が低い傾向にある。耐トラッキング性は熱伝導率に大きく影響を受ける為、熱伝導率の低下は耐トラッキング性の低下を伴う場合が多い。中空構造充填材が無機成分の場合、(e−1)成分が熱伝導性の良好なシリカ−アルミナ化合物、及び/又はアルミナを含有することで、耐トラッキング性の低下を抑制することが可能になる。また、シルセスキオキサン化合物については、相対的に少量の添加で剥離抑制効果を示す為、耐トラッキング性への影響が小さくなるものと推察される。   Since the hollow structure filler of the component (e-1) has an air layer inside, the thermal conductivity tends to be lower than that of a normal filler. Since tracking resistance is greatly influenced by thermal conductivity, a decrease in thermal conductivity is often accompanied by a decrease in tracking resistance. When the hollow structure filler is an inorganic component, the (e-1) component can contain a silica-alumina compound and / or alumina having a good thermal conductivity, thereby suppressing a decrease in tracking resistance. Become. In addition, the silsesquioxane compound is presumed to have a small effect on tracking resistance because it exhibits a delamination suppressing effect with a relatively small amount of addition.

本発明で好適に使用できる中空構造充填材は、イオン性不純物による半導体インサートの腐食防止等の観点から、アルカリ金属やアルカリ土類金属を含んでいないことが好ましい。混入を防止できない場合、可能な限り低減されていることが望ましい。   The hollow structure filler that can be suitably used in the present invention preferably contains no alkali metal or alkaline earth metal from the viewpoint of preventing corrosion of the semiconductor insert due to ionic impurities. When mixing cannot be prevented, it is desirable to reduce as much as possible.

(e−1)成分の中空構造充填材が、シリカ、アルミナ、シリカ−アルミナ化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含有し、アルカリ金属やアルカリ土類金属等の含有量が少ないものとしては、例えば、ケイ酸アルミニウム及びムライト(シリカとアルミナの化合物)を主成分とするカイノスフィアーズ(関西マテック(株)製、商品名)、同じくイースフィアーズ(太平洋セメント(株)製、商品名)などとして市場で入手可能である。また、シルセスキオキサン化合物を含むシリコーン系中空構造充填材(シルセスキオキサン化合物系充填材)としては、例えば、ポリメチルシルセスキオキサンを主成分とするNH−SBN04(日興リカ(株)製、商品名)などとして市場で入手可能である。   The (e-1) component hollow structure filler contains at least one selected from the group consisting of silica, alumina, and silica-alumina compounds, and has a low content of alkali metals, alkaline earth metals, and the like. For example, as Kinospheres (trade name, manufactured by Kansai Matec Co., Ltd.) mainly composed of aluminum silicate and mullite (a compound of silica and alumina), also as Spheres (trade name, manufactured by Taiheiyo Cement Co., Ltd.) Available on the market. Moreover, as a silicone type hollow structure filler (silsesquioxane compound type filler) containing a silsesquioxane compound, for example, NH-SBN04 (Nikko Rica Co., Ltd.) containing polymethylsilsesquioxane as a main component is used. Product name, etc.).

(e−1)成分の中空構造充填材は、半導体インサート部品との剥離防止効果と、封止成形材料用組成物の生産性及び成形性等との両立の観点から、平均粒径を3〜100μmとすることが好ましく、3〜60μmとすることがより好ましい。平均粒径が3μm以上であれば剥離防止効果が得られ、平均粒径が100μm以下であれば封止成形材料用組成物の生産性及び成形性が良好になる。なお、ここで、平均粒径とは、レーザ回折散乱方式(たとえば、(株)島津製作所製、装置名:SALD-3100)により測定された、中央値(D50)を指す。   The hollow structure filler of the component (e-1) has an average particle size of 3 to 3 from the viewpoint of coexistence of the peeling prevention effect with the semiconductor insert component and the productivity and moldability of the composition for sealing molding material. It is preferable to set it as 100 micrometers, and it is more preferable to set it as 3-60 micrometers. When the average particle size is 3 μm or more, a peeling prevention effect is obtained, and when the average particle size is 100 μm or less, the productivity and moldability of the composition for encapsulating molding material are improved. Here, the average particle diameter refers to the median value (D50) measured by a laser diffraction scattering method (for example, manufactured by Shimadzu Corporation, apparatus name: SALD-3100).

平均粒径が3〜100μmの中空構造充填材としては、前記カイノスフィアーズ(関西マテック(株)製、商品名)シリーズとしてカイノスフィアーズ 75(平均粒径35μm)等を、イースフィアーズ(太平洋セメント(株)製、商品名)シリーズとしてイースフィアーズ SL75(平均粒径55μm)、同じくイースフィアーズ SL125(平均粒径80μm)等を、市場にて入手可能である。また、グラスバブルス K37(平均粒径45μm)、グラスバブルス iM30K(平均粒径16μm)(以上、スリーエム・ジャパン(株)製)、ADVANCELL HB-2051(平均粒径20μm、積水化学工業(株)製)、NH−SBN04(平均粒径4μm、日興リカ(株)製)等も市場にて入手することができる。   As the hollow structure filler having an average particle size of 3 to 100 μm, Kinospheres 75 (average particle size 35 μm) as the above-mentioned Kinospheres (trade name, manufactured by Kansai Matec Co., Ltd.), etc. ), Spheres SL75 (average particle size 55 μm) and Spheres SL125 (average particle size 80 μm) are available on the market as series. Glass Bubbles K37 (average particle size 45 μm), Glass Bubbles iM30K (average particle size 16 μm) (as described above, manufactured by 3M Japan), ADVANCEL HB-2051 (average particle size 20 μm, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) ), NH-SBN04 (average particle diameter 4 μm, manufactured by Nikko Rica Co., Ltd.) and the like can also be obtained on the market.

(e−1)成分の中空構造充填材の含有量は、前記中空ガラスや中空シリカ等の無機成分の場合、及びシルセスキオキサン化合物等のシリコーン系成分の場合、(E)成分の充填材全量に対し、好ましくは1〜50質量%、より好ましくは2〜45質量%である。1質量%以上であれば剥離防止効果が得られ、50質量%以下であれば絶縁耐圧等の絶縁性能や成形性が良好となる。特に、(e−1)成分の中空構造充填材がシルセスキオキサン化合物の場合、その含有量は(E)成分の充填材全量に対し、好ましくは0.5〜10質量%、より好ましくは1.0〜6質量%、更に好ましくは1.2〜5質量%である。
また、(e−1)成分が有機成分の場合、その含有量は(E)成分の充填材全量に対し好ましくは0.5〜10質量%、より好ましくは1.5〜7質量%である。0.5質量%以上であれば剥離防止効果が得られ、10質量%以下であれば絶縁耐圧等の絶縁性能や成形性が良好となる。
The content of the (e-1) component hollow structure filler is the inorganic component such as hollow glass or hollow silica, and the silicone component such as a silsesquioxane compound. Preferably it is 1-50 mass% with respect to the whole quantity, More preferably, it is 2-45 mass%. If it is 1% by mass or more, an anti-peeling effect can be obtained, and if it is 50% by mass or less, insulation performance such as withstand voltage and formability are good. In particular, when the hollow structure filler of the component (e-1) is a silsesquioxane compound, the content thereof is preferably 0.5 to 10% by mass, more preferably based on the total amount of the filler of the component (E). It is 1.0-6 mass%, More preferably, it is 1.2-5 mass%.
Moreover, when (e-1) component is an organic component, the content becomes like this. Preferably it is 0.5-10 mass% with respect to the filler whole quantity of (E) component, More preferably, it is 1.5-7 mass%. . When the content is 0.5% by mass or more, an anti-peeling effect is obtained, and when the content is 10% by mass or less, insulation performance such as a withstand voltage and formability are improved.

(e−2)無機充填材
本発明では、従来公知の無機充填材を使用することができる。かかる無機充填材としては、例えば、結晶シリカ、溶融シリカ、合成シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素や、ジルコン、ケイ酸カルシウム、炭酸カルシウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。流動性や信頼性の観点からは、結晶シリカ、溶融シリカ、合成シリカが好ましく、溶融球状シリカや合成シリカを主成分とすることが特に好ましい。また、ポリメチルシルセスキオキサン等を主成分とするシリコーンパウダーを添加すると、剥離抑制に効果的である。
(E-2) Inorganic filler In this invention, a conventionally well-known inorganic filler can be used. Examples of such inorganic fillers include crystalline silica, fused silica, synthetic silica, alumina, aluminum nitride, boron nitride, zircon, calcium silicate, calcium carbonate, barium titanate, and the like. From the viewpoint of fluidity and reliability, crystalline silica, fused silica, and synthetic silica are preferred, and fused spherical silica and synthetic silica are particularly preferred as the main component. In addition, the addition of silicone powder containing polymethylsilsesquioxane or the like as the main component is effective in suppressing peeling.

(e−2)成分の無機充填材の含有量は、(E)成分の充填材全量に対し好ましくは50〜99.5質量%、より好ましくは55〜98質量%である。   The content of the inorganic filler as the component (e-2) is preferably 50 to 99.5% by mass, more preferably 55 to 98% by mass with respect to the total amount of the filler as the component (E).

〔その他の成分〕
(シランカップリング剤)
本発明の封止成形材料用組成物は、耐湿性や機械強度、半導体インサート部品との密着性等の観点から、シランカップリング剤を添加することが好ましい。本発明では、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン等のアミノシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシシラン等のイソシアネートシラン等、従来公知のシランカップリング剤を適宜使用することが可能である。密着性の観点からは、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランや3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン、二級アミノシラン、及びイソシアネートシラン等を単独、又は併用して用いることが好ましい。なお、シランカップリング剤は、前記(E)成分と単純に混合して用いてもよいし、予めその一部、又は全量を表面処理して用いてもよい。また、本発明の効果を阻害しない範囲で、アルミネート系カップリング剤やチタネート系カップリング剤を添加しても構わない。
[Other ingredients]
(Silane coupling agent)
It is preferable to add a silane coupling agent to the composition for sealing molding material of the present invention from the viewpoints of moisture resistance, mechanical strength, adhesion to semiconductor insert parts, and the like. In the present invention, epoxy silanes such as 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N- 2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, aminosilane such as 3-aminopropyltriethoxysilane, mercaptosilane such as 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and isocyanate silane such as 3-isocyanatopropyltriethoxysilane A conventionally known silane coupling agent can be appropriately used. From the viewpoint of adhesion, it is preferable to use epoxy silanes such as 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, secondary aminosilanes, and isocyanate silanes alone or in combination. . In addition, a silane coupling agent may be used by simply mixing with the component (E), or a part or all of the silane coupling agent may be used after surface treatment in advance. Moreover, you may add an aluminate coupling agent and a titanate coupling agent in the range which does not inhibit the effect of this invention.

シランカップリング剤の添加量は、封止成形材料用組成物全量に対し、好ましくは0.01〜1質量%、より好ましくは0.03〜0.7質量%、更に好ましくは0.05〜0.5質量%である。0.01質量%以上とすることで、半導体インサート部品との密着性を向上させることができ、1質量%以下とすることで、成形時の硬化性の低下を抑制することができる。   The addition amount of the silane coupling agent is preferably 0.01 to 1% by mass, more preferably 0.03 to 0.7% by mass, and still more preferably 0.05 to 0.1% by mass with respect to the total amount of the composition for sealing molding material. 0.5% by mass. By setting it as 0.01 mass% or more, adhesiveness with a semiconductor insert component can be improved, and the hardening property at the time of shaping | molding can be suppressed by setting it as 1 mass% or less.

(離型剤)
本発明では、さらに、封止成形材料用組成物の良好な生産性を実現する為に、離型剤を添加することが好ましい。添加可能な離型剤としては、例えば、カルナバワックス等の天然ワックス、脂肪酸エステル系ワックス、脂肪酸アミド系ワックス、非酸化型ポリエチレン系離型剤、酸化型ポリエチレン系離型剤、シリコーン系離型剤等を挙げることができるが、これら以外の離型剤を添加しても構わない。また、離型剤は、これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。密着性と金型離型性の両立の観点からは、カルナバワックスや脂肪酸エステル系ワックス等、相対的に分子量の小さなワックスと、酸化型ポリエチレン等、相対的に分子量の大きなワックスを併用して用いると特に効果的である。
(Release agent)
In the present invention, it is further preferable to add a release agent in order to realize good productivity of the composition for encapsulating material. Examples of release agents that can be added include natural waxes such as carnauba wax, fatty acid ester waxes, fatty acid amide waxes, non-oxidizing polyethylene release agents, oxidized polyethylene release agents, and silicone release agents. However, a release agent other than these may be added. Moreover, a mold release agent may be used individually or may be used in combination of 2 or more type. From the standpoint of achieving both adhesion and mold releasability, a relatively small molecular weight wax such as carnauba wax or fatty acid ester wax is used in combination with a relatively large molecular weight wax such as oxidized polyethylene. And is particularly effective.

本発明の封止成形材料用組成物には、以上の各成分の他に、本発明の効果を阻害しない範囲で、この種の組成物に一般に配合されるシリコーン等の低応力剤、難燃剤、カーボンブラック、有機染料、酸化チタン、ベンガラ等の着色剤等を必要に応じて配合することができる。   The composition for sealing molding material of the present invention includes, in addition to the above-mentioned components, a low stress agent such as silicone and a flame retardant generally blended in this type of composition as long as the effects of the present invention are not impaired. Further, colorants such as carbon black, organic dyes, titanium oxide, and bengara can be blended as necessary.

また、本発明の封止成形材料用組成物には、半導体素子の耐湿性や高温放置特性向上等の観点から、陰イオン交換体等のイオントラップ剤を配合することができる。陰イオン交換体としては、例えば、ハイドロタルサイト類、マグネシウム、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、ビスマス等から選ばれる元素の含水酸化物等を挙げることができるが、これら以外の従来公知の陰イオン交換体を用いてもよい。これらは、単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。   In addition, an ion trapping agent such as an anion exchanger can be blended with the composition for encapsulating material of the present invention from the viewpoint of improving the moisture resistance of the semiconductor element and the high temperature storage property. Examples of the anion exchanger include hydrotalcites, hydrated oxides of elements selected from magnesium, aluminum, titanium, zirconium, bismuth, and the like, and other conventionally known anion exchangers. May be used. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の封止成形材料用組成物中、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D−1)成分、(D−2)成分、及び(E)成分の含有量は、好ましくは80質量%以上、より好ましくは90質量%以上、更に好ましくは95質量%以上である。   In the composition for sealing molding material of the present invention, the contents of the component (A), the component (B), the component (C), the component (D-1), the component (D-2), and the component (E) are as follows. , Preferably 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and still more preferably 95% by mass or more.

本発明の封止成形材料用組成物は、上述した各成分を所定量配合したものを均一に分散混合することにより調製することができる。調製方法は、特に限定されないが、一般的な方法として、例えば、上記各成分を所定量配合したものをミキサー等で十分に混合し、次いで、ミキシングロール、押出機等により溶融混合した後、冷却、粉砕する方法を挙げることができる。   The composition for encapsulating material of the present invention can be prepared by uniformly dispersing and mixing the above-mentioned components in a predetermined amount. The preparation method is not particularly limited, but as a general method, for example, a mixture of the above-mentioned components in a predetermined amount is sufficiently mixed with a mixer or the like, then melt-mixed with a mixing roll or an extruder, and then cooled. And crushing method.

このようにして得られた封止成形材料用組成物は、高いガラス転移温度(Tg)を有し、成形性に優れるとともに、耐電圧性が高く、半導体インサート部品との密着性が良好な硬化物を得ることができる。また、上記封止成形材料用組成物の硬化物のガラス転移温度は250℃以上であることが好ましく、255℃以上であることがより好ましい。
なお、前記ガラス転移温度は、実施例に記載の方法により測定できる。
The composition for encapsulating molding material thus obtained has a high glass transition temperature (Tg), is excellent in moldability, has high voltage resistance, and has good adhesion to semiconductor insert components. You can get things. Moreover, it is preferable that the glass transition temperature of the hardened | cured material of the said composition for sealing molding materials is 250 degreeC or more, and it is more preferable that it is 255 degreeC or more.
In addition, the said glass transition temperature can be measured by the method as described in an Example.

(電子部品装置)
本発明の電子部品装置は、上記封止成形材料用組成物の硬化物により封止された素子を備える。上記電子部品装置とは、リードフレーム、単結晶シリコン半導体素子又はSiC、GaN等の化合物半導体素子等の支持部材、これらを電気的に接続するためのワイヤやバンプ等の部材、及びその他の構成部材一式に対し、必要部分を上記封止成形材料用組成物の硬化物により封止された電子部品装置のことである。
また、上記封止成形材料用組成物を用いることにより、耐熱性に優れるとともに、半導体インサート部品との密着性に優れ、高温放置後でも剥離やクラックを発生しにくい電子部品装置とすることができる。
(Electronic component equipment)
The electronic component device of the present invention includes an element sealed with a cured product of the composition for sealing molding material. The electronic component device is a support member such as a lead frame, a single crystal silicon semiconductor element or a compound semiconductor element such as SiC or GaN, a member such as a wire or a bump for electrically connecting them, and other components. It is an electronic component device in which a necessary part is sealed with a cured product of the above-mentioned composition for sealing molding material for one set.
Moreover, by using the composition for encapsulating molding material, it is possible to provide an electronic component device that has excellent heat resistance, excellent adhesion to semiconductor insert components, and is less likely to be peeled off or cracked even after being left at high temperature. .

本発明の封止成形材料用組成物を用いて封止する方法としては、トランスファ成形法が最も一般的であるが、インジェクション成形法、圧縮成形法等を用いてもよい。
成形温度は、好ましくは150〜250℃、より好ましくは160〜220℃、更に好ましくは170〜200℃である。成形時間は、好ましくは30〜600秒、より好ましくは45〜300秒、更に好ましくは60〜200秒である。また、後硬化する場合、加熱温度は特に限定されないが、例えば、150〜250℃であるのが好ましく、180〜220℃であるのがより好ましい。また、加熱時間は特に限定されないが、例えば、0.5〜10時間であるのが好ましく、1〜8時間であるのがより好ましい。
As a method for sealing using the composition for sealing molding material of the present invention, the transfer molding method is the most common, but an injection molding method, a compression molding method, or the like may be used.
The molding temperature is preferably 150 to 250 ° C, more preferably 160 to 220 ° C, and still more preferably 170 to 200 ° C. The molding time is preferably 30 to 600 seconds, more preferably 45 to 300 seconds, and still more preferably 60 to 200 seconds. Moreover, when post-curing, although heating temperature is not specifically limited, For example, it is preferable that it is 150-250 degreeC, and it is more preferable that it is 180-220 degreeC. Moreover, although heating time is not specifically limited, For example, it is preferable that it is 0.5 to 10 hours, and it is more preferable that it is 1 to 8 hours.

次に実施例により、本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited at all by these examples.

(実施例1〜23、及び比較例1〜7)
表1−1、表1−2及び表2に記載の種類及び配合量の各成分をミキシング二軸ロールで混練し、封止成形材料用組成物を調製した。各実施例及び比較例における混練温度は、約120℃に設定した。なお、表1−1、表1−2及び表2中、空欄は配合なしを表す。
(Examples 1 to 23 and Comparative Examples 1 to 7)
Components of the types and blending amounts shown in Table 1-1, Table 1-2, and Table 2 were kneaded with a mixing biaxial roll to prepare a composition for a sealing molding material. The kneading temperature in each example and comparative example was set to about 120 ° C. In Table 1-1, Table 1-2, and Table 2, the blank represents no blending.

封止成形材料用組成物の調製に使用した表1−1、表1−2及び表2に記載の各成分の詳細は以下のとおりである。   The detail of each component of Table 1-1, Table 1-2, and Table 2 used for preparation of the composition for sealing molding materials is as follows.

<マレイミド樹脂>
〔(A)成分〕
・BMI−1000:N,N’−(4,4’−ジフェニルメタン)ビスマレイミド(一般式(I)中のz=0を主成分とする)、大和化成工業(株)製、商品名
・BMI−2300:ポリフェニルメタンマレイミド(一般式(I)中のz=0〜2を主成分とする)、大和化成工業(株)製、商品名
<Maleimide resin>
[Component (A)]
BMI-1000: N, N ′-(4,4′-diphenylmethane) bismaleimide (mainly z = 0 in general formula (I)), manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name -2300: Polyphenylmethane maleimide (mainly consisting of z = 0 to 2 in general formula (I)), manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name

<特定の骨格を有するフェノール系硬化剤、及び特定の構造を有するベンゾオキサジン樹脂>
〔(B)成分〕
・MEH−7500:トリフェニルメタン型フェノール樹脂(一般式(II)中のx=1〜4であるフェノール樹脂が主成分)、明和化成(株)製、商品名、水酸基当量97、軟化点110℃
・SN−485:ナフトールアラルキル樹脂(一般式(III)中のy1=0〜3であるフェノール樹脂が主成分)、新日鉄住金化学(株)製、商品名、水酸基当量215、軟化点87℃
・ベンゾオキサジンP−d:ベンゾオキサジン樹脂(式(IV−1)で表されるベンゾオキサジン樹脂)、四国化成工業(株)製、商品名
<Phenolic curing agent having a specific skeleton and benzoxazine resin having a specific structure>
[(B) component]
MEH-7500: triphenylmethane type phenol resin (phenol resin having x = 1 to 4 in general formula (II) as a main component), manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., trade name, hydroxyl group equivalent 97, softening point 110 ℃
SN-485: naphthol aralkyl resin (phenol resin having y1 = 0 to 3 in general formula (III) as a main component), manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., trade name, hydroxyl group equivalent 215, softening point 87 ° C.
Benzoxazine Pd: benzoxazine resin (benzoxazine resin represented by formula (IV-1)), manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name

<特定の骨格を有するエポキシ樹脂>
〔(C)成分〕
・EPPN−502H:トリフェニルメタン型エポキシ樹脂(一般式(V)中のn1=0〜3であるエポキシ樹脂が主成分)、日本化薬(株)製、商品名、エポキシ当量168、軟化点67℃
・ESN−375:ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂(一般式(VI)中のn2=0〜3であるエポキシ樹脂が主成分)、新日鉄住金化学(株)製、商品名、エポキシ当量172、軟化点75℃
・HP−4710:ジヒドロキシナフタレンノボラック型エポキシ樹脂(一般式(VII)で表されるエポキシ樹脂)、DIC(株)製、商品名、エポキシ当量161、軟化点82℃
<Epoxy resin having specific skeleton>
[Component (C)]
EPPN-502H: triphenylmethane type epoxy resin (epoxy resin in which n1 = 0 to 3 in general formula (V) is a main component), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, epoxy equivalent 168, softening point 67 ° C
ESN-375: naphthol aralkyl-type epoxy resin (mainly an epoxy resin having n2 = 0 to 3 in the general formula (VI)), manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., trade name, epoxy equivalent 172, softening point 75 ℃
HP-4710: dihydroxynaphthalene novolak type epoxy resin (epoxy resin represented by general formula (VII)), manufactured by DIC Corporation, trade name, epoxy equivalent 161, softening point 82 ° C.

<有機リン系硬化促進剤>
〔(D−1)成分〕
・PP−200:トリフェニルホスフィン、北興化学工業(株)製、商品名
・TPTP:トリス(4−メチルフェニル)ホスフィン、北興化学工業(株)製、商品名
<Organic phosphorus accelerator>
[(D-1) component]
-PP-200: Triphenylphosphine, manufactured by Hokuko Chemical Industry Co., Ltd., trade name-TPTP: Tris (4-methylphenyl) phosphine, manufactured by Hokuko Chemical Industry Co., Ltd., trade name

<イミダゾール系硬化促進剤>
〔(D−2)成分〕
・2E4MZ:2−エチル−4−メチルイミダゾール、四国化成工業(株)製、商品名(ビスフェノールA型エポキシ樹脂との反応開始温度:90℃)
・2MZ−A:2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、四国化成工業(株)製、商品名(ビスフェノールA型エポキシ樹脂との反応開始温度:120℃)
・2P4MHZ−PW:2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業(株)製、商品名(ビスフェノールA型エポキシ樹脂との反応開始温度:129℃)
・2PHZ−PW:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業(株)製、商品名(ビスフェノールA型エポキシ樹脂との反応開始温度:155℃)
<Imidazole-based curing accelerator>
[(D-2) component]
2E4MZ: 2-ethyl-4-methylimidazole, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name (reaction start temperature with bisphenol A type epoxy resin: 90 ° C.)
2MZ-A: 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name (with bisphenol A type epoxy resin (Reaction starting temperature: 120 ° C.)
2P4MHZ-PW: 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name (reaction start temperature with bisphenol A type epoxy resin: 129 ° C.)
2PHZ-PW: 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name (reaction start temperature with bisphenol A type epoxy resin: 155 ° C.)

<充填材>
〔(E)成分〕
(e−1)成分:中空構造充填材
・カイノスフィアーズ 75:非晶質アルミニウム(30〜70%)とムライト(30〜70%)を主成分とする無機系中空構造充填材、平均粒径35μm、関西マテック(株)製、商品名、弾性率8GPa
・イースフィアーズ SL75:非晶質アルミニウム(65〜85%)とムライト(20〜30%)を主成分とする無機系中空構造充填材、平均粒径55μm、太平洋セメント(株)製、商品名、弾性率10GPa
・イースフィアーズ SL125:非晶質アルミニウム(65〜85%)とムライト(20〜30%)を主成分とする無機系中空構造充填材、平均粒径80μm、太平洋セメント(株)製、商品名、弾性率10GPa
・グラスバブルス K37:ソーダ石灰ガラス、硼珪酸ガラス、合成シリカ混合物型無機系中空構造充填材、平均粒径45μm、スリーエム・ジャパン(株)製、商品名、弾性率7GPa
・グラスバブルス iM30K:ソーダ石灰ガラス、硼珪酸ガラス、合成シリカ混合物型無機系中空構造充填材、平均粒径16μm、スリーエム・ジャパン(株)製、商品名、弾性率7GPa
・ADVANCELL HB-2051:アクリル系多孔中空構造充填材、平均粒径20μm、積水化学工業(株)製、商品名、弾性率0.3GPa
・NH−SBN04:ポリメチルシルセスキオキサン系単孔中空構造充填材、平均粒径4μm、日興リカ(株)製、商品名、弾性率1.0GPa
ここでの弾性率の値は、ダイナミック超微小硬度計((株)島津製作所製、装置名:DUH-211SR、負荷−徐荷試験、荷重:5.0mN、速度1.5mN/s、圧子:三角すい圧子)により5回測定した値の平均値である。
<Filler>
[(E) component]
(E-1) Component: Hollow structure filler / Kinospheres 75: Inorganic hollow structure filler mainly composed of amorphous aluminum (30 to 70%) and mullite (30 to 70%), average particle size 35 μm , Manufactured by Kansai Matec Co., Ltd., trade name, elastic modulus 8GPa
-Spheres SL75: inorganic hollow structure filler mainly composed of amorphous aluminum (65 to 85%) and mullite (20 to 30%), average particle size 55 μm, Taiheiyo Cement Co., Ltd., trade name, Elastic modulus 10GPa
-Spheres SL125: inorganic hollow structure filler mainly composed of amorphous aluminum (65 to 85%) and mullite (20 to 30%), average particle size of 80 μm, product name, Taiheiyo Cement Co., Ltd. Elastic modulus 10GPa
Glass bubbles K37: Soda lime glass, borosilicate glass, synthetic silica mixture type inorganic hollow structure filler, average particle size 45 μm, manufactured by 3M Japan Ltd., trade name, elastic modulus 7 GPa
・ Glass Bubbles iM30K: Soda-lime glass, borosilicate glass, synthetic silica mixture type inorganic hollow structure filler, average particle size 16 μm, manufactured by 3M Japan Ltd., trade name, elastic modulus 7 GPa
ADVANCEL HB-2051: Acrylic porous hollow structure filler, average particle size 20 μm, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., trade name, elastic modulus 0.3 GPa
NH-SBN04: Polymethylsilsesquioxane-based single-hole hollow structure filler, average particle size 4 μm, manufactured by Nikko Rica Co., Ltd., trade name, elastic modulus 1.0 GPa
The value of elastic modulus here is a dynamic ultra micro hardness meter (manufactured by Shimadzu Corporation, device name: DUH-211SR, load-unloading test, load: 5.0 mN, speed 1.5 mN / s, indenter Is the average value of the values measured five times by a triangular indenter).

(e−2)成分:無機充填材
・EP−5518:ポリメチルシルセスキオキサンを主成分とするシリコーンエラストマー、東レ・ダウコーニング(株)製、商品名、平均粒径3μm
・FB−105:溶融球状シリカ、電気化学工業(株)製、商品名、平均粒子径18μm、比表面積4.5m/g
(E-2) Component: Inorganic filler. EP-5518: Silicone elastomer mainly composed of polymethylsilsesquioxane, manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., trade name, average particle size 3 μm
FB-105: fused spherical silica, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., trade name, average particle diameter 18 μm, specific surface area 4.5 m 2 / g

<その他の成分>
・KBM−403:シランカップリング剤、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製、商品名
・HW−4252E:離型剤(数平均分子量1,000の酸化型ポリエチレン系離型剤)、三井化学(株)製、商品名
・MA−600:着色剤(カーボンブラック)、三菱化学(株)製、商品名
<Other ingredients>
· KBM-403: Silane coupling agent, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name · HW-4252E: Release agent (oxidized polyethylene having a number average molecular weight of 1,000) Release agent), manufactured by Mitsui Chemicals, Inc., trade name / MA-600: Colorant (carbon black), manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, trade name

以下に示す測定条件により、実施例1〜23、及び比較例1〜7で調製した封止成形材料用組成物の特性の測定、及び評価を行った。評価結果を表1及び表2に示した。なお、成形材料の成形は、明記しない限りトランスファ成形機により、金型温度185℃、成形圧力10MPa、硬化時間180秒の条件で行った。また、後硬化は200℃で8時間行った。   Under the measurement conditions shown below, the properties of the compositions for sealing molding materials prepared in Examples 1 to 23 and Comparative Examples 1 to 7 were measured and evaluated. The evaluation results are shown in Tables 1 and 2. The molding material was molded by a transfer molding machine under the conditions of a mold temperature of 185 ° C., a molding pressure of 10 MPa, and a curing time of 180 seconds unless otherwise specified. Further, post-curing was performed at 200 ° C. for 8 hours.

<評価項目>
(1)ガラス転移温度(Tg)
封止成形材料用組成物の硬化物の耐熱性の目安の一つとしてガラス転移温度(Tg)を測定した。まず、縦4mm×横4mm×高さ20mmの金型を用いて、封止成形材料用組成物を上記条件で成形し、更に、上記条件で後硬化させ、成形品(縦4mm×横4mm×厚み20mm)を作製した。該成形品を必要な寸法に切り出したものを試験片とし、該試験片のガラス転移温度(Tg)を、TMA法で熱分析装置(セイコーインスツル(株)製、商品名:SSC/5200)を用いて測定した。なお、250℃以上を合格とした。
<Evaluation items>
(1) Glass transition temperature (Tg)
The glass transition temperature (Tg) was measured as one measure of heat resistance of the cured product of the composition for sealing molding material. First, the composition for encapsulating molding material was molded under the above conditions using a mold having a length of 4 mm × width of 4 mm × height of 20 mm, and further post-cured under the above conditions to form a molded product (length 4 mm × width 4 mm × A thickness of 20 mm) was produced. A sample obtained by cutting the molded product into a necessary size is used as a test piece, and the glass transition temperature (Tg) of the test piece is measured by a thermal analysis apparatus (manufactured by Seiko Instruments Inc., trade name: SSC / 5200) by the TMA method. It measured using. In addition, 250 degreeC or more was set as the pass.

(2)曲げ弾性率
常温(20℃)における封止成形材料用組成物の弾性率を、縦100mm×横10mm×厚み4mmサイズの試験片を用いて、三点曲げ法により測定した。測定には、(株)島津製作所製オートグラフAG-Xを用いた。スパン長は64mm、ヘッドスピードはmm/分とした。N=4の平均値を曲げ弾性率とし、曲げ弾性率については15GPa以下を合格とした。
(2) Flexural modulus The elastic modulus of the composition for sealing molding material at normal temperature (20 ° C.) was measured by a three-point bending method using a test piece having a size of 100 mm long × 10 mm wide × 4 mm thick. For the measurement, Autograph AG-X manufactured by Shimadzu Corporation was used. The span length was 64 mm and the head speed was mm / min. The average value of N = 4 was defined as the flexural modulus, and the flexural modulus was determined to be 15 GPa or less.

(3)初期剥離
無電解NiメッキリードフレームのTO−247パッケージのアイランド(8.5×11.5mm)中央部に、SiCチップ(6×6×0.15mmt、表面保護膜なし)を固定し、封止成形材料用組成物を上記条件で成形し、更に、上記条件で後硬化させ、成形品をそれぞれ10個作製した。該成形品を、超音波映像装置((株)日立製作所製、FS300II)を用いて観察し、SiCチップ周囲のアイランドと封止成形材料用組成物との剥離の有無について確認した。アイランド部分の剥離が観察されたパッケージ数が10個中3個以下を合格とした。
なお、リードフレームへのチップの固定は、無鉛はんだを用い、ギ酸5%、窒素95%雰囲気の中、340℃/13分環境下で行った。また、リードフレームは、封止成形材料用組成物を成形直前に、Nordson社製プラズマクリーナAC−300を用い、60秒のアルゴンプラズマ処理を施して用いた。
(3) Initial peeling An SiC chip (6 × 6 × 0.15 mm, no surface protection film) is fixed to the center of the island (8.5 × 11.5 mm) of the TO-247 package of the electroless Ni-plated lead frame. The composition for encapsulating molding material was molded under the above conditions, and further post-cured under the above conditions to produce 10 molded products. The molded product was observed using an ultrasonic imaging device (manufactured by Hitachi, Ltd., FS300II), and the presence or absence of peeling between the island around the SiC chip and the composition for sealing molding material was confirmed. The number of packages where peeling of the island portion was observed was 3 or less out of 10 packages.
The chip was fixed to the lead frame using lead-free solder in a 5% formic acid and 95% nitrogen atmosphere at 340 ° C./13 minutes. Further, the lead frame was used after being subjected to an argon plasma treatment for 60 seconds using a plasma cleaner AC-300 manufactured by Nordson, immediately before molding the composition for sealing molding material.

(4)高温放置後剥離
上記(3)にて剥離観察を行ったTO−247パッケージを、250℃で250時間放置した後、超音波映像装置((株)日立製作所製、FS300II)を用いて剥離の有無について確認した。アイランド部分の剥離面積が20%以上であったパッケージ数が10個中3個以下を合格とした。
(4) Peeling after standing at high temperature After peeling the TO-247 package subjected to peeling observation in (3) above at 250 ° C. for 250 hours, an ultrasonic imaging apparatus (manufactured by Hitachi, Ltd., FS300II) is used. The presence or absence of peeling was confirmed. The number of packages in which the peeled area of the island portion was 20% or more was 3 or less out of 10 packages.

(5)耐トラッキング性(CTI)
φ100mm×2mmtの試験片を作製、後硬化の後、ASTM_D3638に準拠し、耐トラッキング性(CTI)を測定した。試験器には、ヤマヨ試験器(有)製、YST−112−1Sを用いた。なお、400V以上を合格とした。
(5) Tracking resistance (CTI)
A test piece of φ100 mm × 2 mmt was prepared, and after post-curing, tracking resistance (CTI) was measured according to ASTM_D3638. YST-112-1S manufactured by Yamayo Tester Co., Ltd. was used as the tester. In addition, 400V or more was set as the pass.

(6)絶縁耐圧(絶縁破壊電圧)
φ100mm×2mmtの試験片を作製、後硬化の後、ASTM−D149に準拠し、室温での絶縁破壊電圧を測定した。測定は「短時間法」で行った。試験器には、ヤマヨ試験器(有)製、YST−243BD−100ROを用いた。n=3で測定を行った時の平均値が10kV/mm以上を合格とした。
(6) Dielectric strength (dielectric breakdown voltage)
A test piece of φ100 mm × 2 mmt was prepared, and after post-curing, the dielectric breakdown voltage at room temperature was measured according to ASTM-D149. The measurement was performed by the “short time method”. YST-243BD-100RO manufactured by Yamayo Tester Co., Ltd. was used as the tester. When the measurement was performed at n = 3, an average value of 10 kV / mm or more was regarded as acceptable.

(7)連続成形性
離型荷重測定成形機(京セラ(株)製、商品名:GM−500)を用いて、PBGA(Plastic Ball Grid Array、30mm×30mm×1mm、t/2ヶ取り)に対して、300ショットの連続成形を行った。金型温度を185℃、成形時間を180秒とした。なお、以下の基準で評価した。
◎:300ショットまで連続成形が可能であり、金型汚れ等も見られなかった
○:金型汚れが見られるものの300ショットまで連続成形が可能であった
×:金型への貼りつき等により300ショットまでの連続成形が不可能であった
(7) Continuous formability Using a release load measuring molding machine (trade name: GM-500, manufactured by Kyocera Corporation), PBGA (Plastic Ball Grid Array, 30 mm × 30 mm × 1 mm, t / 2 pieces) On the other hand, 300 shots of continuous molding were performed. The mold temperature was 185 ° C. and the molding time was 180 seconds. The evaluation was made according to the following criteria.
A: Continuous molding was possible up to 300 shots, and mold contamination was not observed. ○: Dust contamination was observed, but continuous molding was possible up to 300 shots. X: Due to sticking to the mold, etc. Continuous molding up to 300 shots was not possible

(A)〜(E)成分を含有する封止成形材料用組成物を用いた実施例1〜23では、いずれも、硬化物のガラス転移温度が250℃以上であり、初期剥離や高温放置後剥離、連続成形性等で良好な結果を示した。また、耐トラッキング性(CTI)も400V以上であり、室温における絶縁破壊電圧も10kV/m以上であった。一方、(A)〜(E)成分のいずれかを欠く比較例1〜7では、ガラス転移温度や耐剥離性、連続成形性等のいずれか、又は複数の項目で不十分な結果となった。   In Examples 1 to 23 using the composition for encapsulating molding material containing the components (A) to (E), the glass transition temperature of the cured product is 250 ° C. or higher, and after initial peeling or standing at high temperature. Good results were shown in terms of peeling and continuous formability. Further, the tracking resistance (CTI) was 400 V or more, and the dielectric breakdown voltage at room temperature was 10 kV / m or more. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 7 lacking any of the components (A) to (E), any of glass transition temperature, peel resistance, continuous formability, etc., or a plurality of items resulted in insufficient results. .

本発明の封止成形材料用組成物は、電子部品装置などに利用できる。   The composition for sealing molding material of this invention can be utilized for an electronic component apparatus etc.

Claims (8)

(A)下記一般式(I)で表されるマレイミド樹脂と、(B)下記一般式(II)で表されるフェノール系硬化剤、及び下記一般式(III)で表されるフェノール系硬化剤の1種又は2種であるフェノール系硬化剤、並びに下記一般式(IV)で表されるベンゾオキサジン樹脂から選ばれる少なくとも1種と、(C)下記一般式(V)〜(VII)で表されるエポキシ樹脂から選ばれる少なくとも1種と、(D−1)有機リン系硬化促進剤と、(D−2)イミダゾール系硬化促進剤と、(E)(e−1)中空構造充填材を含む充填材と、を含有する封止成形材料用組成物。

(式中、Rはそれぞれ独立に炭素数1〜10の炭化水素基であって、炭化水素基はハロゲン原子で置換されていてもよい。Rが複数存在する場合、該複数のRは、互いに同一でも異なっていてもよい。pはそれぞれ独立に0〜4の整数、qは0〜3の整数、zは0〜10の整数である。)

(式中、xは0〜10である。)

(式中、y1は0〜10である。)

(式中、X1は炭素数1〜10のアルキレン基、酸素原子、又は直接結合である。R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜10の炭化水素基である。R及びRが複数存在する場合、複数のR及び複数のRは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。m1及びm2は、それぞれ独立に0〜4の整数である。)

(式中、n1は0〜10である。)

(式中、n2は0〜10である。)

(A) A maleimide resin represented by the following general formula (I), (B) a phenolic curing agent represented by the following general formula (II), and a phenolic curing agent represented by the following general formula (III) Represented by the following general formulas (V) to (VII): at least one selected from phenolic curing agents that are one or two of the above, and benzoxazine resin represented by the following general formula (IV): At least one selected from epoxy resins, (D-1) an organophosphorus curing accelerator, (D-2) an imidazole curing accelerator, and (E) (e-1) a hollow structure filler. A composition for encapsulating molding material containing the filler.

(In the formula, each R 1 is independently a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and the hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom. When a plurality of R 1 are present, the plurality of R 1 May be the same as or different from each other, p is independently an integer of 0 to 4, q is an integer of 0 to 3, and z is an integer of 0 to 10.)

(Wherein x is 0-10)

(In the formula, y1 is 0 to 10.)

(In the formula, X1 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, an oxygen atom, or a direct bond. R 2 and R 3 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms. R 2 and R When a plurality of 3 are present, the plurality of R 2 and the plurality of R 3 may be the same or different, and m1 and m2 are each independently an integer of 0 to 4.)

(In the formula, n1 is 0 to 10.)

(In the formula, n2 is 0 to 10.)

前記(e−1)中空構造充填材の平均粒径が3〜100μmである請求項1に記載の封止成形材料用組成物。   2. The composition for encapsulating material according to claim 1, wherein the average particle diameter of the (e-1) hollow structure filler is 3 to 100 μm. 前記封止成形材料用組成物全量に対する前記(e−1)中空構造充填材の割合を、該(e−1)中空構造充填材の弾性率で除した値が0.002〜0.250である請求項1又は2に記載の封止成形材料用組成物。   A value obtained by dividing the ratio of the (e-1) hollow structure filler to the total amount of the composition for sealing molding material by the elastic modulus of the (e-1) hollow structure filler is 0.002 to 0.250. The composition for sealing molding materials according to claim 1 or 2. 前記(e−1)中空構造充填材が、シリカ、アルミナ、シリカ−アルミナ化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、該(e−1)中空構造充填材の含有量が(E)充填材全量に対し1〜50質量%である請求項1〜3のいずれか一項に記載の封止成形材料用組成物。   The (e-1) hollow structure filler is at least one selected from the group consisting of silica, alumina, and a silica-alumina compound, and the content of the (e-1) hollow structure filler is (E) filled. It is 1-50 mass% with respect to material whole quantity, The composition for sealing molding materials as described in any one of Claims 1-3. 前記(e−1)中空構造充填材が、有機化合物からなり、該(e−1)中空構造充填材の含有量が(E)充填材全量に対し0.5〜10質量%である請求項1〜3のいずれか一項に記載の封止成形材料用組成物。   The (e-1) hollow structure filler is made of an organic compound, and the content of the (e-1) hollow structure filler is 0.5 to 10% by mass with respect to the total amount of the (E) filler. The composition for sealing molding materials as described in any one of 1-3. 前記(e−1)中空構造充填材が、シルセスキオキサン化合物からなり、該(e−1)中空構造充填材の含有量が(E)充填材全量に対し0.5〜10質量%である請求項1〜3のいずれか一項に記載の封止成形材料用組成物。   The (e-1) hollow structure filler is made of a silsesquioxane compound, and the content of the (e-1) hollow structure filler is 0.5 to 10% by mass with respect to the total amount of the (E) filler. The composition for sealing molding materials as described in any one of Claims 1-3. 前記(D−2)成分が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(液状)と、その質量比を1/20とした上で反応させた時の反応開始温度が、85℃以上175℃未満を示すイミダゾール系硬化促進剤である請求項1〜6のいずれか一項に記載の封止成形材料用組成物。   The imidazole system in which the reaction start temperature when the component (D-2) is reacted with bisphenol A type epoxy resin (liquid) at a mass ratio of 1/20 is 85 ° C. or higher and lower than 175 ° C. It is a hardening accelerator, The composition for sealing molding materials as described in any one of Claims 1-6. 請求項1〜7のいずれか一項に記載の封止成形材料用組成物の硬化物により封止された素子を備える電子部品装置。   An electronic component apparatus provided with the element sealed with the hardened | cured material of the composition for sealing molding materials as described in any one of Claims 1-7.
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