JP2018182274A - Multilayer capacitor - Google Patents
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Abstract
【課題】容量を確保し、等価直列抵抗を低減させ、かつ、信頼性を向上する積層型キャパシタを提供する。【解決手段】本体において内部電極121が露出する面に外部電極の導電性樹脂層131が配置される。導電性樹脂層は、金属粒子131a、金属粒子を取り囲む導電性連結部131bを含み、さらに内部電極の一端部に金属間化合物150が形成される。導電性連結部は、金属間化合物と第1電極層132に接触することで、積層セラミックキャパシタのESR(等価直列抵抗:Equivalent Series Resistance)を低減させ、曲げ強度及び信頼性を向上させる。【選択図】図3An object of the present invention is to provide a multilayer capacitor that secures a capacity, reduces an equivalent series resistance, and improves reliability. A conductive resin layer of an external electrode is disposed on a surface of a main body where an internal electrode is exposed. The conductive resin layer includes metal particles 131a, a conductive connection part 131b surrounding the metal particles, and an intermetallic compound 150 is formed at one end of the internal electrode. The conductive connection part may reduce the ESR (Equivalent Series Resistance) of the multilayer ceramic capacitor by contacting the intermetallic compound and the first electrode layer 132, thereby improving the bending strength and reliability. [Selection diagram] FIG.
Description
本発明は、積層型キャパシタに関する。 The present invention relates to a multilayer capacitor.
積層型キャパシタは、小型でありながらも高容量が保障され、且つ実装が容易であるという長所から、通信、コンピュータ、家電、自動車などの産業に用いられる重要なチップ部品であり、特に、携帯電話、コンピュータ、デジタルTVなどの各種電気、電子、情報通信機器に用いられる核心となる受動素子である。 A multilayer capacitor is an important chip component used in the communication, computer, home appliance, automobile and other industries because it has the advantages of small size, high capacity, and easy mounting. , Passive elements that are the core of various electric, electronic, and information communication devices such as computers and digital TVs.
近年は、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、積層型キャパシタも小型化及び高容量化する傾向にあり、このような傾向によって、積層型キャパシタの高信頼性の確保に対する重要度が高まっている。 In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, the multilayer capacitors also tend to be smaller and higher in capacity, and such a tendency makes importance for securing high reliability of the multilayer capacitors higher. ing.
このような積層型キャパシタの高信頼性を確保するための方案として、機械的又は熱的環境で発生する引張ストレス(stress)を吸収して、ストレスによるクラック(crack)の発生を防止するべく、外部電極に導電性樹脂層を適用する技術が開示されている。 As a plan for securing high reliability of such a multilayer capacitor, in order to absorb tensile stress (stress) generated in mechanical or thermal environment and to prevent generation of crack due to stress, A technique for applying a conductive resin layer to an external electrode is disclosed.
このような導電性樹脂層は、積層型キャパシタの外部電極の焼結電極層とめっき層との間を電気的及び機械的に接合させるとともに、回路基板への実装中に生じる工程温度による機械的及び熱的応力、並びに基板の反りインパクトから積層型キャパシタを保護する役割も果たす。 Such a conductive resin layer electrically and mechanically joins between the sintered electrode layer of the external electrode of the multilayer capacitor and the plating layer, and mechanically at the process temperature generated during mounting on the circuit substrate. It also plays a role in protecting the multilayer capacitor from thermal stress and substrate warpage impact.
従来は、導電性樹脂層が有する低い電気的及び機械的接合力により、焼結電極層を適用して内部電極との電気的及び機械的接合力を確保した後、焼結電極層上に導電性樹脂層を形成する。 Conventionally, after the sintered electrode layer is applied to secure the electric and mechanical bonding force with the internal electrode by the low electric and mechanical bonding force of the conductive resin layer, the conductive resin layer is conducted on the sintered electrode layer. Forming a conductive resin layer.
しかしながら、このような構造であると、焼結電極層によりクラック(crack)が発生し、温度による機械的及び熱的応力並びに基板の反りインパクトから積層型キャパシタを保護するには限界がある。 However, with such a structure, a crack is generated by the sintered electrode layer, and there is a limit in protecting the multilayer capacitor from mechanical and thermal stress due to temperature and warpage impact of the substrate.
また、従来の構造では、導電性樹脂層が焼結電極層なしに内部電極に直接接触すると、電気的及び機械的接合力が減少するようになり、容量が減少し、ESR(等価直列抵抗:Equivalent Series Resistance)が増加するという問題が発生する恐れがある。 Also, in the conventional structure, when the conductive resin layer directly contacts the internal electrode without the sintered electrode layer, the electrical and mechanical bonding strength is reduced, the capacity is reduced, and the ESR (equivalent series resistance: There may be a problem that the Equivalent Series Resistance) increases.
本発明の目的は、導電性樹脂層を1次外部電極層として適用し、内部電極と導電性樹脂層との間の電気的及び機械的接合力を向上させることで容量を確保し、等価直列抵抗(Equivalent series resistance、ESR)を低減させるとともに、信頼性を向上させることができる積層型キャパシタを提供しようとすることである。 The object of the present invention is to apply a conductive resin layer as a primary external electrode layer, to improve the electric and mechanical bonding strength between the internal electrode and the conductive resin layer, to secure a capacity, equivalent series It is an object of the present invention to provide a multilayer capacitor which can reduce the equivalent series resistance (ESR) and improve the reliability.
本発明の一側面は、複数の誘電体層と上記誘電体層を介して交互に配置される複数の第1及び第2内部電極を含み、互いに対向する第1及び第2面、上記第1及び第2面と連結され、互いに対向する第3及び第4面、上記第1及び第2面と連結され且つ上記第3及び第4面と連結され、互いに対向する第5及び第6面を含んでおり、上記第3及び第4面には、上記第1及び第2内部電極の一端部がそれぞれ露出するよう、上下に配置された誘電体層の間に複数の第1及び第2溝部が形成される本体と、上記第1及び第2溝部内に配置され、上記第1及び第2内部電極の一端部とそれぞれ接続される金属間化合物と、上記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置される第1及び第2外部電極と、を含み、上記第1及び第2外部電極は、上記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置され、複数の金属粒子、上記複数の金属粒子を取り囲んで上記金属間化合物と接触する導電性連結部及びベース樹脂を含む導電性樹脂層と、上記導電性樹脂層上に配置され、上記導電性連結部と接触する第1電極層と、を含む積層型キャパシタを提供する。 One aspect of the present invention includes a plurality of dielectric layers and a plurality of first and second inner electrodes alternately arranged via the dielectric layer, and the first and second surfaces facing each other, the first And the second surface, the third and fourth surfaces facing each other, the first and second surfaces connected with each other, and the third and fourth surfaces connecting the fifth and sixth surfaces facing each other And a plurality of first and second grooves disposed between the upper and lower dielectric layers on the third and fourth surfaces such that one end of each of the first and second inner electrodes is exposed. And an intermetallic compound disposed in the first and second grooves and connected to one end of each of the first and second internal electrodes, and the third and fourth surfaces of the main body. First and second external electrodes disposed respectively, the first and second external electrodes being disposed on the body A conductive resin layer including a plurality of metal particles, a plurality of metal particles, a conductive connection portion surrounding the plurality of metal particles and contacting with the intermetallic compound, and a base resin, and the conductive resin layer And a first electrode layer disposed on and in contact with the conductive connection portion.
本発明の一実施形態によると、積層型キャパシタの容量を一定の水準に確保することで、ESRを低減させることができ、曲げ強度及び信頼性を向上させることができるという効果がある。 According to an embodiment of the present invention, by securing the capacitance of the multilayer capacitor at a certain level, it is possible to reduce the ESR and to improve the bending strength and the reliability.
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示(または強調表示や簡略化表示)がされることがある。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Also, embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to one of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes and sizes of elements in the drawings may be scaled (or highlighted or simplified) for clearer explanation.
なお、各実施形態の図面に示された同一思想の範囲内において機能が同一である構成要素に対しては同一の参照符号を用いて説明する。 Note that components having the same function within the scope of the same concept shown in the drawings of each embodiment will be described using the same reference symbols.
さらに、明細書全体において、ある構成要素を「含む」というのは、特に異なる趣旨の説明がされていない限り、他の構成要素を除外する趣旨ではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。 Furthermore, in the entire specification, “including” a certain component may not include the other component, and may further include other component unless specifically described otherwise. It means that.
また、明細書全体において、「上に」形成されるというのは、直接接触して形成されることのみならず、その間に他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。 Also, throughout the specification, being formed "on" means not only being formed in direct contact, but it may further include other components in between.
なお、本発明を明確に説明すべく、図面において説明と関係ない部分は省略し、様々な層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示し、同一思想の範囲内において機能が同一である構成要素に対しては同一の参照符号を用いて説明する。 In order to clearly explain the present invention, parts not related to the explanation are omitted in the drawings, and the thickness is shown enlarged to clearly express various layers and regions, and functions within the same idea range. The same components will be described using the same reference numerals.
積層型キャパシタ
図1は本発明の一実施形態による積層型キャパシタを示した斜視図であり、図2は図1のI−I'線の断面図である。
Multilayer Capacitor FIG. 1 is a perspective view showing a multilayer capacitor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG.
図1及び図2を参照すると、本発明の一実施形態による積層型キャパシタ100は、本体110と、第1及び第2外部電極130、140と、を含む。 Referring to FIGS. 1 and 2, the multilayer capacitor 100 according to an embodiment of the present invention includes a body 110 and first and second outer electrodes 130 and 140.
本体110は、キャパシタの容量形成に寄与する部分としての活性領域と、上下マージン部としての上記活性領域の上下部にそれぞれ形成される上部及び下部カバー112、113と、を含むことができる。 The main body 110 may include an active region as a portion contributing to the formation of capacitance of the capacitor, and upper and lower covers 112 and 113 formed on upper and lower portions of the active region as upper and lower margin portions, respectively.
本発明の一実施形態において、本体110の形状は特に制限されないが、実質的には、六面体形状であってもよい。 In one embodiment of the present invention, the shape of the main body 110 is not particularly limited, but may be substantially hexahedral.
即ち、本体110は、内部電極の配置による厚さの差、及び角部の研磨により、完全な六面体形状ではないが、実質的に六面体に近い形状を有することができる。 That is, the main body 110 may have a shape close to a hexahedron, though not a perfect hexahedron, due to the difference in thickness due to the arrangement of the internal electrodes, and the polishing of the corners.
本発明の実施形態を明確に説明するために六面体の方向を定義すると、図面上に示されたX、Y、及びZはそれぞれ、長さ方向、幅方向、及び厚さ方向を示す。 When defining the direction of the hexahedron to clearly describe the embodiment of the present invention, X, Y and Z shown on the drawings indicate the length direction, the width direction and the thickness direction, respectively.
ここで、厚さ方向は、誘電体層が積層された積層方向と同じ概念として使われることができる。 Here, the thickness direction can be used as the same concept as the stacking direction in which the dielectric layers are stacked.
また、本体110において、Z方向に互いに対向する両面を第1及び第2面1、2と定義し、第1及び第2面1、2と連結され、X方向に互いに対向する両面を第3及び第4面3、4と定義し、第1及び第2面1、2と連結され且つ第3及び第4面3、4と連結され、Y方向に互いに対向する両面を第5及び第6面5、6と定義する。この場合、第1面1は実装面であってもよい。 Further, in the main body 110, both surfaces facing each other in the Z direction are defined as first and second surfaces 1, 2 and connected with the first and second surfaces 1, 2 and the both surfaces facing each other in the X direction are third And fourth surfaces 3 and 4, connected to the first and second surfaces 1 and 2, and connected to the third and fourth surfaces 3 and 4, and both surfaces facing each other in the Y direction are the fifth and sixth Define as faces 5 and 6. In this case, the first surface 1 may be a mounting surface.
上記活性領域は、複数の誘電体層111と、誘電体層111を介して複数の第1及び第2内部電極121、122とが交互に積層される構造からなることができる。 The active region may have a structure in which a plurality of dielectric layers 111 and a plurality of first and second inner electrodes 121 and 122 are alternately stacked via the dielectric layers 111.
また、上記活性領域において、本体100の第3及び第4面3、4には、第1及び第2内部電極121、122の一端部がそれぞれ露出するよう、上下に配置された誘電体層111の間に複数の第1及び第2溝部が形成される。 Also, in the active region, dielectric layers 111 disposed one above the other so that one end portions of the first and second internal electrodes 121 and 122 are exposed to the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 100, respectively. And a plurality of first and second groove portions are formed therebetween.
さらに、上記第1及び第2溝部内には、第1及び第2内部電極121、122の一端部とそれぞれ接触する金属間化合物150が配置される。 Furthermore, intermetallic compounds 150 in contact with one end portions of the first and second inner electrodes 121 and 122 are disposed in the first and second groove portions.
誘電体層111は、高誘電率を有するセラミック粉末、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO3)系又はチタン酸ストロンチウム(SrTiO3)系粉末を含むことができるが、本発明はこれに限定されるものではない。 The dielectric layer 111 may include ceramic powder having a high dielectric constant, such as barium titanate (BaTiO 3 ) or strontium titanate (SrTiO 3 ) powder, but the present invention is limited thereto is not.
このとき、誘電体層111の厚さは、積層型キャパシタ100の容量設計に応じて任意に変更することができ、本体110のサイズ及び容量を考慮して、焼成後の一層の厚さを0.1〜10μmとすることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。 At this time, the thickness of the dielectric layer 111 can be arbitrarily changed according to the capacitance design of the multilayer capacitor 100, and the thickness of one layer after firing is set to 0 in consideration of the size and capacitance of the main body 110. Although it can be set to 1 to 10 μm, the present invention is not limited to this.
第1及び第2内部電極121、122は、誘電体層111を介して互いに対向するように配置されることができる。 The first and second inner electrodes 121 and 122 may be disposed to face each other through the dielectric layer 111.
第1及び第2内部電極121、122は、互いに異なる極性を有する一対の電極であって、誘電体層111上に所定の厚さで導電性金属を含む導電性ペーストを印刷し、誘電体層111を介して誘電体層111の積層方向に沿って本体110の第3及び第4面3、4から交互に露出するように形成されることができ、中間に配置された誘電体層111により互いに電気的に絶縁されることができる。 The first and second inner electrodes 121 and 122 are a pair of electrodes having different polarities, and print a conductive paste containing a conductive metal with a predetermined thickness on the dielectric layer 111, and the dielectric layer It may be formed to be alternately exposed from the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 110 along the laminating direction of the dielectric layer 111 through the interlayer dielectric 111 disposed in the middle. It can be electrically isolated from one another.
このような第1及び第2内部電極121、122は、本体110の第3及び第4面3、4から交互に露出する部分が金属間化合物150によって第1及び第2外部電極130、140とそれぞれ電気的に連結されてもよい。 The first and second inner electrodes 121 and 122 may be exposed to the first and second outer electrodes 130 and 140 by the intermetallic compound 150 in portions alternately exposed from the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 110. Each may be electrically connected.
したがって、第1及び第2外部電極130、140に電圧が印加されると、金属間化合物150によって互いに対向する第1及び第2内部電極121、122の間に電荷が蓄積され、この際、積層型キャパシタ100の静電容量は、第1及び第2内部電極121、122の互いに重なり合う領域の面積に比例するようになる。 Therefore, when a voltage is applied to the first and second outer electrodes 130 and 140, charges are accumulated between the first and second inner electrodes 121 and 122 facing each other by the intermetallic compound 150. The capacitance of the capacitor 100 is proportional to the area of the overlapping regions of the first and second inner electrodes 121 and 122.
このような第1及び第2内部電極121、122の厚さは、用途に応じて決定されることができ、例えば、セラミック本体110のサイズ及び容量を考慮して、0.2〜1.0μmの範囲内となるように決定することができるが、本発明はこれに限定されるものではない。 The thickness of the first and second inner electrodes 121 and 122 may be determined according to the application, for example, 0.2 to 1.0 μm in consideration of the size and capacity of the ceramic body 110. However, the present invention is not limited to this.
また、第1及び第2内部電極121、122に含まれる導電性金属は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)のいずれか又はこれらの合金であることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。本実施形態において、第1及び第2内部電極121、122がニッケルである場合、金属間化合物150はニッケル−スズ(Ni−Sn)であってもよい。 Also, the conductive metal contained in the first and second inner electrodes 121 and 122 may be any of nickel (Ni), copper (Cu), palladium (Pd), or an alloy thereof, but the present invention Is not limited to this. In the present embodiment, when the first and second inner electrodes 121 and 122 are nickel, the intermetallic compound 150 may be nickel-tin (Ni-Sn).
上部及び下部カバー112、113は、内部電極を含まないこと以外は、上記活性領域の誘電体層111と同じ材質及び構成を有することができる。 The upper and lower covers 112 and 113 may have the same material and configuration as the dielectric layer 111 of the active region except that they do not include the internal electrodes.
即ち、上部及び下部カバー112、113は、単一の誘電体層又は二つ以上の誘電体層を上記活性領域の上下面にそれぞれZ方向に積層して形成されたものと見なすことができ、基本的には、物理的又は化学的ストレスによる第1及び第2内部電極121、122の損傷を防止することができる。 That is, the upper and lower covers 112 and 113 can be considered to be formed by laminating a single dielectric layer or two or more dielectric layers on the upper and lower surfaces of the active region in the Z direction, respectively. Basically, damage to the first and second inner electrodes 121, 122 due to physical or chemical stress can be prevented.
第1及び第2外部電極130、140は、導電性樹脂層131、141と、導電性樹脂層131、141上に配置される第1電極層132、142と、をそれぞれ含むことができる。 The first and second outer electrodes 130 and 140 may include the conductive resin layers 131 and 141 and the first electrode layers 132 and 142 disposed on the conductive resin layers 131 and 141, respectively.
導電性樹脂層131、141は、本体110の第3及び第4面3、4において上記第1及び第2溝部に形成された金属間化合物150によって、露出する第1及び第2内部電極121、122とそれぞれ接触して連結されることで、第1外部電極130と第1内部電極121との電気的導通と、第2外部電極140と第2内部電極122との電気的導通とを確保する。 The conductive resin layers 131 and 141 are exposed by the intermetallic compound 150 formed in the first and second groove portions on the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 110, and the first and second inner electrodes 121, By being connected to and connected to each of the electrodes 122, electrical conduction between the first outer electrode 130 and the first inner electrode 121 and electric conduction between the second outer electrode 140 and the second inner electrode 122 are secured. .
このとき、導電性樹脂層131、141は、本体110の第3及び第4面3、4にそれぞれ形成される接続部と、上記接続部から本体110の第1及び第2面1、2の一部、並びに第5及び第6面5、6の一部まで延長して形成されるバンド部をそれぞれ含むことができる。 At this time, the conductive resin layers 131 and 141 are connected to the connection portions respectively formed on the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 110 and the first and second surfaces 1 and 2 of the main body 110 from the connection portions. It is possible to include a band portion which is formed to extend to a part and a part of the fifth and sixth surfaces 5 and 6, respectively.
このように、本体110の第3及び第4面3、4上に導電性樹脂層131、141を形成すると、めっき液及び水分の浸透防止特性を向上させることができるようになる。 As described above, when the conductive resin layers 131 and 141 are formed on the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 110, the permeation prevention characteristics of the plating solution and moisture can be improved.
第1電極層132、142は、導電性樹脂層131、141上に配置され、導電性樹脂層131、141の後述する導電性連結部とそれぞれ接触する。よって、第1電極層132、142は、めっき液及び水分の浸透防止特性をさらに向上させることができる。 The first electrode layers 132 and 142 are disposed on the conductive resin layers 131 and 141, and are in contact with the conductive connection portions of the conductive resin layers 131 and 141, which will be described later. Therefore, the first electrode layers 132 and 142 can further improve the penetration preventing property of the plating solution and the water.
また、第1電極層132、142は、金属成分を含むことができ、上記金属成分は銅(Cu)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、金(Au)のいずれか又はこれらの合金であってもよいが、本発明はこれに限定されるものではない。 In addition, the first electrode layers 132 and 142 may include a metal component, and the metal component may be any of copper (Cu), tin (Sn), nickel (Ni), palladium (Pd), and gold (Au). Or these alloys may be sufficient, but this invention is not limited to this.
このような第1電極層132、142は、銅をめっきして形成するか、又は、CVD/PVDといった薄膜蒸着工程などによって形成することができる。 Such first electrode layers 132 and 142 may be formed by plating copper, or may be formed by a thin film deposition process such as CVD / PVD.
図3は図2のA領域を拡大して示した断面図である。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing a region A of FIG. 2 in an enlarged manner.
上記A領域は、第1外部電極130の一部を拡大して示したものであるが、第1外部電極130は第1内部電極121と電気的に接続し、第2外部電極140は第2内部電極122と接続するという相違点があるだけで、第1外部電極130と第2外部電極140の構成は類似するため、以下では第1外部電極130を基準として説明し、第2外部電極140についての説明は含むものとする。 Although the A region is an enlarged view of a part of the first outer electrode 130, the first outer electrode 130 is electrically connected to the first inner electrode 121, and the second outer electrode 140 is a second. Since the configurations of the first external electrode 130 and the second external electrode 140 are similar except that they are connected to the internal electrode 122, the following description will be made based on the first external electrode 130, and the second external electrode 140. A description of is included.
図3に示されたように、第1外部電極130の導電性樹脂層131は、複数の金属粒子131aと、金属間化合物150と接触する導電性連結部131bと、ベース樹脂131cと、を含む。 As shown in FIG. 3, the conductive resin layer 131 of the first outer electrode 130 includes a plurality of metal particles 131a, a conductive connection portion 131b in contact with the intermetallic compound 150, and a base resin 131c. .
このような導電性樹脂層131は、金属間化合物150と第1電極層132とを電気的及び機械的に接合させるとともに、積層型キャパシタ100を基板に実装する際に、機械的又は熱的環境で発生する引張ストレス(stress)を吸収することで、クラック(crack)の発生を防止するとともに、基板の反りインパクトから積層型キャパシタ100を保護する役割も果たすことができる。 The conductive resin layer 131 as described above electrically and mechanically joins the intermetallic compound 150 and the first electrode layer 132, and at the time of mounting the multilayer capacitor 100 on a substrate, mechanical or thermal environment. By absorbing the tensile stress (stress) generated in the above, it is possible to prevent the generation of a crack and also play a role of protecting the multilayer capacitor 100 from the impact of warpage of the substrate.
このとき、導電性樹脂層131は、本体100の第3面3に、ベース樹脂131cに複数の金属粒子131aが分散したペーストを塗布し、乾燥及び硬化工程を経て形成することができる。 At this time, the conductive resin layer 131 can be formed by applying a paste in which a plurality of metal particles 131a are dispersed in the base resin 131c on the third surface 3 of the main body 100, and performing a drying and curing process.
したがって、従来の焼成により外部電極を形成する方法とは異なり、金属粒子が完全に溶融しないため、ベース樹脂131c内にランダムな分布で分散した形態で存在し、導電性樹脂層131内に含まれることができる。 Therefore, unlike the conventional method of forming the external electrode by firing, the metal particles are not completely melted, and thus exist in a form dispersed in a random distribution in the base resin 131 c and included in the conductive resin layer 131 be able to.
一方、金属粒子131aは、導電性連結部131b、及び金属間化合物150を成す低融点金属と全て反応する場合、導電性樹脂層131内に存在しなくなることもある。 On the other hand, when all the metal particles 131 a react with the conductive connection portion 131 b and the low melting point metal forming the intermetallic compound 150, the metal particles 131 a may not exist in the conductive resin layer 131.
但し、後述する本実施形態では、説明の便宜のために、導電性樹脂層131内に金属粒子131aが含まれるものとして説明する。 However, in the present embodiment to be described later, for convenience of description, the metal particles 131 a are included in the conductive resin layer 131.
このとき、金属粒子131aは、銅(Cu)であるか、又は、ニッケル(Ni)、銀(Ag)、銀がコーティングされた銅(Cu)、スズ(Sn)がコーティングされた銅のうち少なくとも一つ以上を含むことができる。 At this time, the metal particles 131a are copper (Cu) or at least one of nickel (Ni), silver (Ag), copper coated with silver (Cu), copper coated with tin (Sn) It can contain one or more.
また、金属粒子131aのサイズは0.2〜20μmであることができる。 In addition, the size of the metal particles 131a can be 0.2 to 20 μm.
なお、導電性樹脂層131に含まれる金属粒子は、球状だけでなく、図4に示されたように、必要に応じて、フレーク(flake)状の金属粒子131a'のみからなってもよく、又は、図5に示されたように、球状金属粒子131aとフレーク状の金属粒子131a'の混合型からなってもよい。 In addition, the metal particles contained in the conductive resin layer 131 may not only be spherical, but may be made of only flake-like metal particles 131a ′ as needed, as shown in FIG. Alternatively, as shown in FIG. 5, it may be a mixed type of spherical metal particles 131a and flake-like metal particles 131a ′.
導電性連結部131bは、金属が溶融された状態で複数の金属粒子131aを取り囲んで互いに連結するため、本体110の内部の応力を最小限に抑え、高温負荷と耐湿負荷特性を向上させることができる。 The conductive connection portion 131 b surrounds and connects the plurality of metal particles 131 a in a molten state in a molten state, thereby minimizing internal stress of the main body 110 and improving high temperature load and moisture resistance load characteristics. it can.
このような導電性連結部131bは、導電性樹脂層131の電気伝導度を増加させ、導電性樹脂層131の抵抗を低くすることができる。 Such a conductive connection portion 131 b can increase the electrical conductivity of the conductive resin layer 131 and reduce the resistance of the conductive resin layer 131.
このとき、導電性樹脂層131に金属粒子131aが含まれる場合、導電性連結部131bは金属粒子131a間の連結性を高め、導電性樹脂層131の抵抗をより減少させることができる。 At this time, when the conductive resin layer 131 includes the metal particles 131 a, the conductive connection portion 131 b can improve the connectivity between the metal particles 131 a and further reduce the resistance of the conductive resin layer 131.
また、導電性連結部131bに含まれる低融点金属は、ベース樹脂131cの硬化温度よりも低い融点を有することができる。 In addition, the low melting point metal contained in the conductive connection portion 131 b can have a melting point lower than the curing temperature of the base resin 131 c.
このとき、導電性連結部131bに含まれる低融点金属は、好ましくは300℃以下の融点を有することができる。 At this time, the low melting point metal contained in the conductive connection portion 131 b can preferably have a melting point of 300 ° C. or less.
具体的には、導電性連結部131bに含まれる金属は、スズ(Sn)、鉛(Pb)、インジウム(In)、銅(Cu)、銀(Ag)、及びビスマス(Bi)のうち選択された二つ以上の合金からなることができる。 Specifically, the metal contained in the conductive connection portion 131b is selected from tin (Sn), lead (Pb), indium (In), copper (Cu), silver (Ag), and bismuth (Bi). Can consist of two or more alloys.
このとき、導電性樹脂層131に金属粒子131aが含まれる場合、導電性連結部131bは、溶融状態で複数の金属粒子131aを取り囲んで互いに連結することができる。 At this time, when the conductive resin layer 131 includes the metal particles 131a, the conductive connection portion 131b can be connected to each other by surrounding the plurality of metal particles 131a in a molten state.
即ち、導電性連結部131bに含まれた低融点金属がベース樹脂131cの硬化温度よりも低い融点を有するため、乾燥及び硬化工程を経る過程で溶融し、図3に示されたように、導電性連結部131bが溶融状態で金属粒子131aをカバーできるようになる。 That is, since the low melting point metal contained in the conductive connection portion 131b has a melting point lower than the curing temperature of the base resin 131c, it melts in the process of drying and curing, and as shown in FIG. The metallic connection portion 131b can cover the metal particles 131a in a molten state.
導電性樹脂層131は、低融点はんだ樹脂ペーストを製作した後、ディッピングして形成するが、低融点はんだ樹脂ペーストの製作時に金属粒子131aとして銀又は銀がコーティングされた金属を適用する場合、導電性連結部131bはAg3Snを含むことができる。 The conductive resin layer 131 is formed by dipping after forming a low melting point solder resin paste, but when applying a metal coated with silver or silver as the metal particles 131a at the time of manufacturing the low melting point solder resin paste, The sex connection part 131 b may include Ag 3 Sn.
ここで、第1及び第2内部電極121、122はニッケル(Ni)を含むことができ、この場合、金属間化合物150はニッケル−スズ(Ni−Sn)を含むことができる。 Here, the first and second inner electrodes 121 and 122 may include nickel (Ni), and in this case, the intermetallic compound 150 may include nickel-tin (Ni-Sn).
金属粒子が分散したペーストを電極物質として使用する際に、電子の流れが金属−金属の接触であると、円滑な流れを示すが、ベース樹脂が金属粒子を取り囲んでいると、電子の流れが急激に減少することがある。 When a paste in which metal particles are dispersed is used as an electrode material, the flow of electrons is smooth when it is metal-metal contact, but when the base resin surrounds the metal particles, the flow of electrons is It may decrease sharply.
このような問題を解決するために、ベース樹脂の量を極端に減らし、金属の量を増やすことで、金属粒子間の接触率を高めて導電性を改善させることができるが、逆に、樹脂の量が減少して外部電極の固着強度が低下するという問題が発生する恐れがある。 In order to solve such problems, the amount of base resin can be extremely reduced and the amount of metal can be increased to improve the conductivity by improving the contact ratio between metal particles. There is a possibility that the problem of reduction in the adhesion strength of the external electrode may occur.
本実施形態では、熱硬化性樹脂の量を極端に減らさなくても、導電性連結部により金属粒子間の接触率を高めることができ、外部電極の固着強度が低下することなく、導電性樹脂層内の電気伝導度を改善させることができる。これにより、積層型キャパシタのESRを低減させることもできる。 In the present embodiment, even if the amount of the thermosetting resin is not extremely reduced, the contact ratio between the metal particles can be increased by the conductive connection portion, and the conductive resin can be obtained without decreasing the fixing strength of the external electrode. Electrical conductivity in the layer can be improved. This can also reduce the ESR of the multilayer capacitor.
金属間化合物150は、第1及び第2溝部内に配置され、導電性連結部131bと接触して、第1又は第2内部電極121、122と導電性連結部131bとを連結するを行う。このとき、金属間化合物150の露出する表面は、本体の第3又は第4面3、4と概ね一つの平らな面を成すことができ、実施形態によって導電性樹脂層131内に金属間化合物150がさらに形成されてもよい。 The intermetallic compound 150 is disposed in the first and second groove portions, and contacts the conductive connection portion 131b to connect the first or second inner electrode 121, 122 and the conductive connection portion 131b. At this time, the exposed surface of the intermetallic compound 150 may form a substantially flat surface with the third or fourth surface 3 or 4 of the main body, and the intermetallic compound in the conductive resin layer 131 according to the embodiment. 150 may be further formed.
これにより、導電性樹脂層131と第1又は第2内部電極121、122との電気的及び機械的接合を向上させ、導電性樹脂層131と第1又は第2内部電極121、122との接触抵抗を減少させる。 Thereby, the electrical and mechanical bonding between the conductive resin layer 131 and the first or second inner electrode 121, 122 is improved, and the contact between the conductive resin layer 131 and the first or second inner electrode 121, 122 is achieved. Reduce resistance.
ベース樹脂131cは、電気絶縁性を有する熱硬化性樹脂を含むことができる。 The base resin 131c can include a thermosetting resin having electrical insulation.
このとき、上記熱硬化性樹脂は、例えばエポキシ樹脂であることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。 At this time, the thermosetting resin may be, for example, an epoxy resin, but the present invention is not limited thereto.
ベース樹脂131cは、本体110と第1電極層132との間を機械的に接合させる。 The base resin 131 c mechanically bonds between the main body 110 and the first electrode layer 132.
そして、第1電極層132、142上には第2電極層がさらに配置されてもよい。 A second electrode layer may be further disposed on the first electrode layers 132 and 142.
この場合、上記第2電極層はめっき層であってもよいが、上記第2電極層は、例えばニッケル(Ni)めっき層133、143と、スズ(Sn)めっき層134、144とが第1電極層132、142順に積層された構造であってもよい。一方、上記第2電極層は、CVD/PVDなどの薄膜蒸着工法にニッケル又はスズを使用して形成してもよい。 In this case, the second electrode layer may be a plating layer, but the second electrode layer may be, for example, a first nickel (Ni) plating layer 133, 143 and a first tin (Sn) plating layer 134, 144. The electrode layers 132 and 142 may be stacked in this order. Meanwhile, the second electrode layer may be formed using nickel or tin in a thin film deposition method such as CVD / PVD.
導電性樹脂層の形成メカニズム
図6はエポキシに銅粒子及びスズ−ビスマス粒子が分散したことを示した状態図であり、図7は酸化膜除去剤又は熱によって銅粒子の酸化膜が除去されることを示した状態図であり、図8は酸化膜除去剤又は熱によりスズ/ビスマス粒子の酸化膜が除去されることを示した状態図であり、図9はスズ/ビスマス粒子が溶けて流動性を有することを示した状態図であり、図10は銅粒子とスズ/ビスマス粒子が反応して銅−スズ層を形成することを示した状態図である。
Formation Mechanism of Conductive Resin Layer FIG. 6 is a phase diagram showing that copper particles and tin-bismuth particles are dispersed in epoxy, and FIG. 7 is an oxide film removing agent or heat removes the oxide film of copper particles. FIG. 8 is a phase diagram showing that the oxide film removing agent or heat removes the oxide film of the tin / bismuth particles, and FIG. 9 is a phase diagram showing that the tin / bismuth particles melt and flow FIG. 10 is a phase diagram showing that a copper particle and a tin / bismuth particle react to form a copper-tin layer.
以下、図6から図10を参照して、導電性樹脂層131を形成するメカニズムについて説明する。 Hereinafter, with reference to FIGS. 6 to 10, the mechanism for forming the conductive resin layer 131 will be described.
本実施形態における導電性樹脂層は、複数の金属粒子、低融点金属、及びベース樹脂を含み、ここで、金属粒子は、ニッケル、銀、銀がコーティングされた銅、スズ、スズがコーティングされた銅のうち少なくとも一つを使用することができる。本実施形態では銅粒子を例に挙げて説明する。 The conductive resin layer in the present embodiment includes a plurality of metal particles, a low melting point metal, and a base resin, wherein the metal particles are coated with nickel, silver, silver coated copper, tin, tin At least one of the copper can be used. In the present embodiment, copper particles will be described as an example.
また、低融点金属としてはSn系はんだを使用することができる。本実施形態では、Sn/Bi(スズ/ビスマス粒子)を使用しているものの、その他に、Sn−Pb、Sn−Cu、Sn−Ag、及びSn−Ag−Cuなどを適用してもよい。また、ベース樹脂はエポキシ樹脂を用いるものとして説明する。 In addition, Sn-based solder can be used as the low melting point metal. Although Sn / Bi (tin / bismuth particles) is used in this embodiment, Sn-Pb, Sn-Cu, Sn-Ag, Sn-Ag-Cu, etc. may be applied to others. Further, the base resin is described as using an epoxy resin.
図6から図8を参照すると、ベース樹脂131cとして、エポキシ樹脂内に含まれる高い融点を有する金属粒子としての銅粒子310と、低融点金属であるスズ/ビスマス(Sn/Bi)粒子410の表面には、酸化膜311、411がそれぞれ存在する。また、第1内部電極121の表面にも酸化膜121aが存在する。 6 to 8, surfaces of copper particles 310 as metal particles having a high melting point contained in an epoxy resin as base resin 131 c and surfaces of tin / bismuth (Sn / Bi) particles 410 which are low melting point metals. The oxide films 311 and 411 are respectively present in Further, the oxide film 121 a is also present on the surface of the first inner electrode 121.
酸化膜311、411は、銅粒子310とスズ/ビスマス粒子410とが互いに反応して、銅−スズ層の形成を妨害するが、硬化の際に、エポキシに含まれた酸化膜除去剤又は熱(△T)によって除去されるか、必要に応じて酸溶液処理によって除去されることができる。このとき、第1内部電極121の酸化膜121aもともに除去されることがある。 The oxide films 311 and 411 cause the copper particles 310 and the tin / bismuth particles 410 to react with each other to prevent the formation of the copper-tin layer, but the oxide film remover or heat contained in the epoxy during curing It can be removed by (.DELTA.T) or, if necessary, by acid solution treatment. At this time, the oxide film 121a of the first inner electrode 121 may be removed together.
上記酸化膜除去剤としては、酸、塩基、ハロゲン化水素などを用いることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。 Although an acid, a base, hydrogen halide etc. can be used as said oxide film removal agent, this invention is not limited to this.
図9及び図10を参照すると、酸化膜が除去されたスズ/ビスマス粒子は、約140℃で溶け始め、溶けたスズ/ビスマス粒子410が流動性を有しながら、酸化膜が除去された銅粒子310に向かって移動し、一定の温度で銅粒子310と互いに反応して導電性連結部131bを成し、第1内部電極121が露出する本体110の第1溝部側に移動して、図10に示されたように、第1溝部に銅−スズ層である金属間化合物150を形成する。 Referring to FIGS. 9 and 10, the oxide film-removed tin / bismuth particles start to melt at about 140 ° C., and the oxide film is removed copper while the melted tin / bismuth particles 410 have fluidity. It moves toward the particle 310 and reacts with the copper particle 310 at a certain temperature to form the conductive connection portion 131 b, and moves to the first groove side of the main body 110 where the first internal electrode 121 is exposed, as shown in FIG. As shown in 10, an intermetallic compound 150, which is a copper-tin layer, is formed in the first groove.
このように形成された金属間化合物150は、導電性樹脂層の銅−スズからなる導電性連結部131bと連結され、第1内部電極121と導電性樹脂層との接触抵抗を減少させることができる。 The thus formed intermetallic compound 150 is connected to the conductive connection portion 131 b made of copper-tin of the conductive resin layer to reduce the contact resistance between the first inner electrode 121 and the conductive resin layer. it can.
図10に示された銅粒子131aは、上記のような反応後、導電性連結部131b内に存在する銅粒子を示す。 The copper particles 131a shown in FIG. 10 indicate copper particles present in the conductive connection portion 131b after the reaction as described above.
このとき、スズ/ビスマス粒子410には表面酸化が起こりやすく、この場合、金属間化合物150の形成を妨害することがある。そのため、このような表面酸化を防止するために、カーボン含量が60.5〜1.0%になるように、必要に応じてスズ/ビスマス粒子を表面処理することができる。 At this time, surface oxidation of the tin / bismuth particles 410 is likely to occur, which may hinder the formation of the intermetallic compound 150. Therefore, in order to prevent such surface oxidation, tin / bismuth particles can be surface-treated as needed so that the carbon content is 60.5 to 1.0%.
一方、金属間化合物を形成するための金属粒子のサイズは0.2〜20μmであることができる。このとき、金属粒子は、ニッケル、銀、銀がコーティングされた銅、スズがコーティングされた銅、及び銅のうち少なくとも一つであってもよい。 Meanwhile, the size of the metal particles for forming the intermetallic compound may be 0.2 to 20 μm. At this time, the metal particles may be at least one of nickel, silver, copper coated with silver, copper coated with tin, and copper.
金属間化合物を形成するためには、一定の温度で溶けて溶液状態で存在するスズ/ビスマス粒子が本体の溝部及び金属粒子の周りに流れ込まなければならないが、金属粒子のサイズが20μmを超えると、本体と金属粒子との間隔が広すぎて、スズ/ビスマス溶液が本体の溝部と金属粒子との間へ容易に移動できなくなり、金属間化合物の形成を妨害することがある。 In order to form an intermetallic compound, tin / bismuth particles that melt at a constant temperature and exist in a solution state must flow into the grooves of the main body and around the metal particles, but when the size of the metal particles exceeds 20 μm The spacing between the body and the metal particles may be too wide, and the tin / bismuth solution may not easily move between the grooves of the body and the metal particles, which may interfere with the formation of intermetallic compounds.
逆に、金属粒子のサイズが20μm以下であると、金属粒子間の距離が縮まり、このように縮まった領域で発生する毛細管力によってスズ/ビスマス溶液が本体の溝部へより容易に移動できるようになるため、金属間化合物の形成が容易になる。 On the contrary, when the size of the metal particles is 20 μm or less, the distance between the metal particles is reduced, and the capillary force generated in the region thus reduced allows the tin / bismuth solution to more easily move to the groove of the main body. Thus, the formation of intermetallic compounds is facilitated.
但し、金属粒子のサイズが0.2μm未満であると、金属粒子の表面で酸化が発生し、却って金属間化合物の形成を妨害することがある。 However, if the size of the metal particles is less than 0.2 μm, oxidation may occur on the surface of the metal particles, which in turn may interfere with the formation of intermetallic compounds.
また、本メカニズムにおいて、スズ−ビスマス粒子の溶融温度及び金属間化合物の形成温度は、ベース樹脂であるエポキシ樹脂の硬化温度より低くなければならない。 Also, in this mechanism, the melting temperature of the tin-bismuth particles and the formation temperature of the intermetallic compound should be lower than the curing temperature of the epoxy resin which is the base resin.
若し、スズ−ビスマス粒子の溶融温度及び金属間化合物の形成温度がエポキシ樹脂の硬化温度より高いと、ベース樹脂が先に硬化して溶けたスズ−ビスマス粒子が銅粒子の表面に移動できなくなるため、金属間化合物である銅−スズ層を形成できなくなる。 If the melting temperature of the tin-bismuth particles and the formation temperature of the intermetallic compound are higher than the curing temperature of the epoxy resin, the base resin first cures and the melted tin-bismuth particles can not move to the surface of the copper particles. Therefore, the copper-tin layer which is an intermetallic compound can not be formed.
また、金属間化合物を形成するための全体の金属粒子に対するスズ/ビスマス粒子の含量は、10〜90wt%であってもよい。 Also, the content of tin / bismuth particles with respect to the total metal particles for forming the intermetallic compound may be 10 to 90 wt%.
スズ/ビスマス粒子の含量が10wt%未満であると、金属粒子と反応して形成される金属間化合物のサイズが過度に大きくなるため、本体の溝部に金属間化合物を形成することが難しくなり、且つ導電性連結部を本体の第3又は第4面に配置することも難しくなる。 If the content of tin / bismuth particles is less than 10 wt%, the size of the intermetallic compound formed by reacting with the metal particles becomes excessively large, making it difficult to form an intermetallic compound in the groove of the main body, And it also becomes difficult to arrange the conductive connection portion on the third or fourth surface of the main body.
また、スズ/ビスマス粒子の含量が90wt%を超えると、スズ/ビスマス同士が互いに反応して金属間化合物を形成されず、スズ/ビスマスの粒子サイズのみが大きくなるという問題が発生する恐れがある。 Also, if the content of tin / bismuth particles exceeds 90 wt%, tin / bismuth will not react with each other to form an intermetallic compound, and there may be a problem that only the tin / bismuth particle size increases. .
また、スズ/ビスマス粒子において、スズの含量を調節する必要がある。 In addition, it is necessary to control the content of tin in tin / bismuth particles.
本実施形態において、金属粒子と反応して金属間化合物を形成する成分はスズであるため、このような反応性を一定の水準以上に確保するには、Snx−BiyにおけるSnの含量(x)が、全体の金属粒子の10wt%以上であることが好ましい。 In this embodiment, since the component that reacts with metal particles to form an intermetallic compound is tin, in order to secure such reactivity above a certain level, the content of Sn in Snx-Biy (x) However, it is preferable that it is 10 wt% or more of the whole metal particle.
スズの含量(x)が全体の金属粒子の10wt%未満であると、製造された積層型キャパシタのESRが増加することがある。 If the content (x) of tin is less than 10 wt% of the total metal particles, the ESR of the manufactured multilayer capacitor may be increased.
外部電極に導電性樹脂層が適用される積層型キャパシタにおいて、ESRは、外部電極に適用される様々な抵抗の影響を全て受ける。 In a multilayer capacitor in which a conductive resin layer is applied to the outer electrode, the ESR is totally affected by various resistances applied to the outer electrode.
このような抵抗成分としては、内部電極の抵抗、導電性樹脂層と内部電極との接触抵抗、導電性樹脂層の抵抗、第1電極層と導電性樹脂層との接触抵抗、及び第1電極層の抵抗が挙げられる。 As such a resistance component, the resistance of the internal electrode, the contact resistance between the conductive resin layer and the internal electrode, the resistance of the conductive resin layer, the contact resistance between the first electrode layer and the conductive resin layer, and the first electrode The resistance of the layer can be mentioned.
ここで、内部電極の抵抗と、第1電極層の抵抗とは、固定値であり変動しない。 Here, the resistance of the internal electrode and the resistance of the first electrode layer are fixed values and do not fluctuate.
本実施形態によると、外部電極と本体との間に焼成電極層がないため、従来のチップが曲がる際に発生する焼成電極層の曲げストレスを解消することができ、工程温度を低くすることで、本体で発生するクラックを防止できるようになる。 According to the present embodiment, since there is no firing electrode layer between the external electrode and the main body, it is possible to eliminate the bending stress of the firing electrode layer that occurs when the conventional chip is bent, thereby lowering the process temperature. , It will be possible to prevent cracks that occur in the body.
また、金属間化合物によって外部電極の接合力が増加することから、外部電極の最外郭に焼成電極層が含まれる実施形態に比べて積層型キャパシタの曲げ強度をさらに向上させることができる。 In addition, since the bonding strength of the external electrode is increased by the intermetallic compound, the bending strength of the multilayer capacitor can be further improved as compared with the embodiment in which the fired electrode layer is included at the outermost portion of the external electrode.
さらには、金属間化合物によって内部電極と導電性樹脂層との電気的連結性が向上し、これにより、接触抵抗が減少し、積層型キャパシタのESRをさらに低くすることができる。 Furthermore, the electrical connectivity between the internal electrode and the conductive resin layer is improved by the intermetallic compound, whereby the contact resistance can be reduced and the ESR of the multilayer capacitor can be further lowered.
従来の積層型キャパシタの外部電極は、内部電極が露出する本体の両端に銅(Cu)ペーストを塗布し、焼成して電極層を形成し、電極層上におけるはんだ(solder)の溶解を防止するためにニッケル(Ni)めっき層を形成し、ニッケルめっき層上にチップ基板を実装する際に、はんだ(solder)の濡れ性を良好にするためにスズ(Sn)めっき層をさらに形成した構造である。 The external electrode of the conventional multilayer capacitor applies copper (Cu) paste to both ends of the main body where the internal electrode is exposed, and bakes to form an electrode layer, thereby preventing the dissolution of solder on the electrode layer. In the structure where a nickel (Ni) plating layer is formed for mounting, and a chip substrate is mounted on the nickel plating layer, a tin (Sn) plating layer is further formed to improve the wettability of the solder (solder). is there.
このとき、ニッケルめっき層は、スズめっき層とともに、外部からの水分浸透を防止するが、ニッケルめっき層が有する微細な欠陥によってめっき液や水分の浸透防止の役割を十分に発揮することができない。 At this time, the nickel plating layer, together with the tin plating layer, prevents the permeation of moisture from the outside, but due to the fine defects possessed by the nickel plating layer, the role of preventing the permeation of the plating solution and moisture can not be sufficiently exhibited.
本実施形態の積層型キャパシタは、めっき液と外部湿気の浸透に強い低融点金属樹脂を1次外部電極として形成した。 In the multilayer capacitor of this embodiment, a low melting point metal resin that is resistant to the penetration of the plating solution and external moisture is formed as a primary external electrode.
低融点金属樹脂電極は、低融点金属の適用により、低い温度の硬化工程において内部電極(Ni電極)とIntermetallic Compound(IMC)を形成するため、電気的連結性に優れている。 The low melting point metal-resin electrode is excellent in electrical connectivity because it forms an intermetallic compound (IMC) with an internal electrode (Ni electrode) in a low temperature curing process by applying a low melting point metal.
また、低融点金属樹脂電極にIMCを形成することにより、めっき液の浸透及び外部湿気の浸透を抑えることができる。 Further, by forming the IMC on the low melting point metal resin electrode, it is possible to suppress the penetration of the plating solution and the penetration of external moisture.
さらに、めっき液及び水分の浸透防止特性をより向上させるために、2次外部電極として、Cu電極層をめっき工程により形成した。 Furthermore, in order to further improve the permeation prevention characteristics of the plating solution and moisture, a Cu electrode layer was formed by a plating process as a secondary external electrode.
めっきにより形成されたCu電極層は、電極の緻密度が高いため、焼結Cu電極層と比較して、めっき液及び水分の浸透防止特性をさらに向上させることができる。 Since the Cu electrode layer formed by plating has a high degree of electrode compactness, the penetration preventing characteristics of the plating solution and moisture can be further improved as compared with the sintered Cu electrode layer.
次いで、solderの溶解を防止するためのNiめっき層と、solderの濡れ性を良好にするためのSnめっき層とを形成する。 Next, a Ni plating layer for preventing dissolution of the solder and a Sn plating layer for improving the wettability of the solder are formed.
このような外部電極形成工程は、250℃以下で行うことができ、水分の浸透を防止するための防水コーティング工程を適用することができる。 Such an external electrode formation process can be performed at 250 degrees C or less, and the waterproof coating process for preventing permeation of a water | moisture content can be applied.
また、めっき液及び外部湿気の浸透防止特性が向上することにより、既存の焼成Cu電極に対する低融点金属樹脂である1次外部電極の厚さを減少することができ、チップの有効面積及び容量を向上させることができる。 In addition, by improving the penetration prevention characteristics of the plating solution and external moisture, it is possible to reduce the thickness of the primary external electrode which is a low melting point metal resin with respect to the existing fired Cu electrode, and to reduce the effective area and capacity of the chip. It can be improved.
即ち、本実施形態によると、外部電極の1次電極層を低融点金属樹脂層、2次電極層をCu電極層、3次電極層をNi電極層、4次電極層をSn電極層とするものである。 That is, according to the present embodiment, the primary electrode layer of the external electrode is a low melting point metal resin layer, the secondary electrode layer is a Cu electrode layer, the tertiary electrode layer is a Ni electrode layer, and the quaternary electrode layer is a Sn electrode layer. It is a thing.
変更例
図11を参照すると、本発明のさらに他の実施形態による積層型キャパシタ100'は、本体110の第1及び第2面1、2に水分の浸透防止膜161、162がそれぞれ形成される。
Modified Example Referring to FIG. 11, the multilayer capacitor 100 ′ according to still another embodiment of the present invention has the moisture permeation preventing films 161 and 162 formed on the first and second surfaces 1 and 2 of the main body 110, respectively. .
ここで、上述の一実施形態と類似した構造については、重複を避けるために、これに対する具体的な説明を省略し、上述の実施形態と異なる構造を有する水分の浸透防止膜161、162を図示しながら具体的に説明する。 Here, for the structure similar to that of the above-described one embodiment, in order to avoid duplication, the specific description thereof is omitted, and the permeation prevention films 161 and 162 having a structure different from the above-described embodiment are shown. It demonstrates concretely, showing.
このような水分の浸透防止膜161、162には、パリレン(parylene)、Al2O3、SiO2といった有機層又は無機層を適用することができ、ディッピング(dipping)、コーティング(coating)、及びPVD/CVD、ALD薄膜蒸着工程などによって形成することができる。 An organic layer or an inorganic layer such as parylene, Al 2 O 3 or SiO 2 may be applied to the moisture permeation preventing films 161 and 162, such as dipping, coating, and It can be formed by PVD / CVD, ALD thin film deposition process, or the like.
本実施形態では、本体110の第3及び第4面3、4に接触する内部層を導電性樹脂層として形成し、該導電性樹脂層に低い温度で工程が可能な低融点金属を適用することで、高い工程温度では使用できない有機層を水分の浸透防止膜として適用することも可能となる。 In this embodiment, the inner layer in contact with the third and fourth surfaces 3 and 4 of the main body 110 is formed as a conductive resin layer, and a low melting point metal which can be processed at a low temperature is applied to the conductive resin layer. It also becomes possible to apply an organic layer which can not be used at high process temperatures as a moisture permeation preventing film.
このような水分の浸透防止膜161、162には、信頼性を大きく向上させることができるという効果がある。 Such moisture permeation preventing films 161 and 162 have an effect of being able to greatly improve the reliability.
積層型キャパシタの製造方法
以下、本発明の一実施形態による積層型キャパシタを製造する方法について具体的に説明するが、本発明はこれに制限されるものではなく、本実施形態の積層型キャパシタの製造方法に関する説明のうち、上述の積層型キャパシタにおける説明と重複する説明は省略するものとする。
Method of Manufacturing Multilayer Capacitor Hereinafter, a method of manufacturing a multilayer capacitor according to an embodiment of the present invention will be specifically described, but the present invention is not limited thereto, and the multilayer capacitor of this embodiment In the description of the manufacturing method, the description overlapping with the description of the above-described multilayer capacitor is omitted.
本実施形態による積層型キャパシタを製造する方法は、先ず、チタン酸バリウム(BaTiO3)などの粉末を含んで形成したスラリーを、キャリアフィルム(carrier film)上に塗布及び乾燥して複数のセラミックグリーンシートを設けることで、誘電体層及びカバーを製作して形成することができる。 In the method of manufacturing the multilayer capacitor according to the present embodiment, first, a slurry formed of powder such as barium titanate (BaTiO 3 ) is coated on a carrier film and dried to form a plurality of ceramic greens. By providing the sheet, the dielectric layer and the cover can be manufactured and formed.
上記セラミックグリーンシートは、セラミック粉末、バインダー、及び溶剤の混合によりスラリーを製造し、上記スラリーをドクターブレード法などで数μmの厚さを有するシート(sheet)状に作製したものである。 The ceramic green sheet is a slurry prepared by mixing a ceramic powder, a binder and a solvent, and the slurry is formed into a sheet having a thickness of several μm by a doctor blade method or the like.
次に、上記グリーンシート上に銅などの導電性金属を含む内部電極用の導電性ペーストをスクリーン印刷工法などによって塗布し、内部電極を形成する。 Next, a conductive paste for an internal electrode containing a conductive metal such as copper is applied onto the green sheet by a screen printing method or the like to form an internal electrode.
その後、内部電極が印刷されたグリーンシートを複数層積層し、積層体の上下面に内部電極が印刷されていないグリーンシートを複数層積層してから焼成することで本体を設けることができる。このとき、上記内部電極は、互いに異なる極性を有する第1及び第2内部電極からなってもよい。 Thereafter, a plurality of green sheets on which the internal electrodes are printed are laminated, and a plurality of green sheets on which the internal electrodes are not printed are laminated on the upper and lower surfaces of the laminate, and then firing can be performed. At this time, the internal electrodes may be formed of first and second internal electrodes having different polarities.
即ち、上記本体は、誘電体層、第1及び第2内部電極、及びカバーを含む。上記誘電体層は、内部電極が印刷されたグリーンシートを焼成して形成されるものであり、上記カバーは、内部電極が印刷されていないグリーンシートを焼成して形成されるものである。 That is, the body includes a dielectric layer, first and second inner electrodes, and a cover. The dielectric layer is formed by firing a green sheet on which the internal electrode is printed, and the cover is formed by firing a green sheet on which the internal electrode is not printed.
また、上記本体は、互いに対向する第1及び第2面、上記第1及び第2面と連結され、互いに対向する第3及び第4面、上記第1及び第2面と連結され且つ第3及び第4面と連結され、互いに対向する第5及び第6面を含んでおり、上記第3及び第4面には、上記第1及び第2内部電極の一端部がそれぞれ露出するよう、上下に配置された誘電体層の間に複数の第1及び第2溝部が形成される。 Further, the main body is connected to the first and second surfaces facing each other, the first and second surfaces, the third and fourth surfaces facing each other, the first and second surfaces, and the third And the fourth surface, and includes the fifth and sixth surfaces facing each other, and the third and fourth surfaces are provided with upper and lower ends so that one end portions of the first and second internal electrodes are exposed, respectively A plurality of first and second grooves are formed between the dielectric layers disposed in the.
次に、金属粒子、熱硬化性樹脂、及び上記熱硬化性樹脂よりも低い融点を有する低融点金属を含む導電性樹脂組成物を設ける。 Next, a conductive resin composition containing metal particles, a thermosetting resin, and a low melting point metal having a melting point lower than that of the thermosetting resin is provided.
上記導電性樹脂組成物は、例えば、金属粒子である銅粒子、低融点金属であるスズ/ビスマス粒子、酸化膜除去剤、及び4〜15wt%のエポキシ樹脂を混合した後、3本ロールミル(3−roll mill)を用いて分散させることで製造することができる。 The conductive resin composition may be prepared, for example, by mixing copper particles which are metal particles, tin / bismuth particles which is a low melting point metal, an oxide film removing agent, and an epoxy resin of 4 to 15 wt%. -It can manufacture by disperse | distributing using (roll mill).
そして、上記本体の第3及び第4面に上記導電性樹脂組成物を塗布し、乾燥及び硬化して溶融された低融点金属を取り囲む導電性連結部を有する導電性樹脂層を形成することができる。 And applying the conductive resin composition to the third and fourth surfaces of the main body, and forming a conductive resin layer having a conductive connection portion surrounding the low melting point metal which has been dried, cured and melted. it can.
このとき、上記導電性樹脂層を形成する段階は、熱硬化性樹脂内に含まれる金属粒子と低融点金属の表面の酸化膜を除去し、その後、酸化膜が除去された金属粒子と酸化膜が除去された低融点金属が反応して導電性連結部を形成し、且つ上記低融点金属は流動性を有しながら上記本体の第1及び第2溝部に流れ込んで、上記第1及び第2溝部内で上記第1及び第2内部電極の一端部と接触する銅−スズなどからなる金属間化合物を形成することができる。 At this time, in the step of forming the conductive resin layer, the metal particles contained in the thermosetting resin and the oxide film on the surface of the low melting point metal are removed, and then the metal particles and the oxide film from which the oxide film has been removed The low melting point metal from which is removed reacts to form a conductive connection, and the low melting point metal flows into the first and second grooves of the main body while having fluidity, to form the first and second grooves. It is possible to form an intermetallic compound made of copper-tin or the like in contact with one end of the first and second internal electrodes in the groove.
この場合、上記金属粒子のうち一部が上記低融点金属と完全に反応せずに残存すると、残った金属粒子は溶融された低融点金属によりカバーされる状態で上記導電性樹脂層内に存在することができる。 In this case, when a part of the metal particles remains without completely reacting with the low melting point metal, the remaining metal particles are present in the conductive resin layer in a state covered by the molten low melting point metal. can do.
また、上記金属粒子は、銅であるか、又は、ニッケル、銀、銀がコーティングされた銅、スズがコーティングされた銅のうち少なくとも一つ以上を含むことができるが、本発明はこれらに制限されるものではない。 Also, the metal particles may be copper or at least one or more of nickel, silver, copper coated with silver, copper coated with tin, but the present invention is not limited thereto. It is not something to be done.
さらに、上記低融点金属は、Sn/Bi、Sn−Pb、Sn−Cu、Sn−Ag、及びSn−Ag−Cuのうち少なくとも一つであることができるが、本発明はこれらに制限されるものではない。 Furthermore, the low melting point metal may be at least one of Sn / Bi, Sn-Pb, Sn-Cu, Sn-Ag, and Sn-Ag-Cu, but the present invention is limited thereto. It is not a thing.
上記熱硬化性樹脂は、一例としてエポキシ樹脂を含むことができるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ビスフェノールA樹脂、グリコールエポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、又はこれらの誘導体のうち分子量が小さく常温で液状の樹脂であってもよい。 Although the said thermosetting resin can contain an epoxy resin as an example, this invention is not limited to this, For example, bisphenol A resin, a glycol epoxy resin, novolak epoxy resin, or these derivatives. It may be a resin having a small molecular weight and being liquid at normal temperature.
次いで、上記導電性樹脂層上に電気的に連結されるように第1電極層を形成する。 Then, a first electrode layer is formed on the conductive resin layer to be electrically connected.
上記第1電極層は、導電性金属及びガラスを含むペーストを塗布した後、焼成して形成することができる。 The first electrode layer can be formed by applying a paste containing a conductive metal and glass and then baking it.
このとき、上記導電性金属は特に制限されないが、例えば、銅、ニッケル、パラジウム、金、銀、及びこれらの合金からなる群より選択された一つ以上であってもよい。 At this time, the conductive metal is not particularly limited, and may be, for example, one or more selected from the group consisting of copper, nickel, palladium, gold, silver, and alloys thereof.
また、上記ガラスは特に制限されないが、一般的な積層型キャパシタの外部電極の作製に用いられるガラスと同じ組成の物質を使用してもよい。 Further, the above-mentioned glass is not particularly limited, but a substance having the same composition as the glass used for producing the external electrode of a general multilayer capacitor may be used.
さらに、上記第1電極層上に第2電極層を形成する段階をさらに含んでもよい。上記第2電極層は、めっきにより形成されることができ、例えば、ニッケルめっき層、及びその上部にさらに形成されるスズめっき層を含むことができる。 The method may further include forming a second electrode layer on the first electrode layer. The second electrode layer may be formed by plating, and may include, for example, a nickel plating layer and a tin plating layer further formed thereon.
一方、上記導電性樹脂組成物を本体に塗布する前に、上記本体の第1及び第2面に水分の浸透防止膜をそれぞれ形成する段階を行ってもよい。 On the other hand, before applying the conductive resin composition to the main body, a step of forming a moisture permeation preventing film on the first and second surfaces of the main body may be performed.
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes may be made without departing from the technical concept of the present invention described in the claims. It will be apparent to those skilled in the art that this is possible.
100、100' 積層型キャパシタ
110 本体
111 誘電体層
112、113 上部及び下部カバー
121、122 第1及び第2内部電極
130、140 第1及び第2外部電極
131、141 導電性樹脂層
132、142 第1電極層
133、143 ニッケル(Ni)めっき層
134、144 スズ(Sn)めっき層
131a 金属粒子
131b 導電性連結部
131c ベース樹脂
150 金属間化合物
161、162 水分の浸透防止膜
100, 100 'multilayer capacitor 110 main body 111 dielectric layer 112, 113 upper and lower cover 121, 122 first and second inner electrode 130, 140 first and second outer electrode 131, 141 conductive resin layer 132, 142 1st electrode layer 133, 143 nickel (Ni) plating layer 134, 144 tin (Sn) plating layer 131a metal particle 131b conductive connection part 131c base resin 150 intermetallic compound 161, 162 moisture permeation preventing film
Claims (40)
前記第1及び第2溝部内に配置され、前記第1及び第2内部電極の一端部とそれぞれ接続される金属間化合物と、
前記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置される第1及び第2外部電極と、を含み、
前記第1及び第2外部電極は、
前記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置され、複数の金属粒子、前記複数の金属粒子を取り囲んで前記金属間化合物と接触する導電性連結部及びベース樹脂を含む導電性樹脂層と、
前記導電性樹脂層上に配置され、前記導電性連結部と接触する第1電極層と、
を含む、積層型キャパシタ。 First and second surfaces facing each other, including the plurality of dielectric layers and the plurality of first and second inner electrodes alternately arranged via the plurality of dielectric layers, and the first and second surfaces Connected, including third and fourth surfaces facing each other, connected with the first and second surfaces, and connected with the third and fourth surfaces, and including fifth and sixth surfaces facing each other, A main body in which a plurality of first and second grooves are formed between upper and lower dielectric layers on the third and fourth surfaces such that one end of each of the first and second internal electrodes is exposed. When,
Intermetallic compounds disposed in the first and second grooves and connected to one ends of the first and second internal electrodes, respectively;
First and second external electrodes disposed respectively on the third and fourth surfaces of the body;
The first and second external electrodes are
A conductive resin layer disposed on the third and fourth surfaces of the main body and including a plurality of metal particles, a conductive connection portion surrounding the plurality of metal particles and in contact with the intermetallic compound, and a base resin;
A first electrode layer disposed on the conductive resin layer and in contact with the conductive connection portion;
Multilayer capacitors.
前記第1及び第2内部電極の一端部とそれぞれ接続される金属間化合物と、
前記本体の第1及び第2面にそれぞれ形成される水分の浸透防止膜と、
前記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置される第1及び第2外部電極と、を含み、
前記第1及び第2外部電極は、
前記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置され、複数の金属粒子、前記複数の金属粒子を取り囲んで前記金属間化合物と接触する導電性連結部及びベース樹脂を含む導電性樹脂層と、
前記導電性樹脂層上に配置され、前記導電性連結部と接触する第1電極層と、
を含む、積層型キャパシタ。 First and second surfaces facing each other, including the plurality of dielectric layers and the plurality of first and second inner electrodes alternately arranged via the plurality of dielectric layers, and the first and second surfaces Connected, including third and fourth surfaces facing each other, connected with the first and second surfaces, and connected with the third and fourth surfaces, and including fifth and sixth surfaces facing each other, A main body in which one end of first and second internal electrodes are exposed from the third and fourth surfaces, respectively;
Intermetallic compounds respectively connected to one ends of the first and second internal electrodes;
A moisture permeation preventing film formed on each of the first and second surfaces of the main body;
First and second external electrodes disposed respectively on the third and fourth surfaces of the body;
The first and second external electrodes are
A conductive resin layer disposed on the third and fourth surfaces of the main body and including a plurality of metal particles, a conductive connection portion surrounding the plurality of metal particles and in contact with the intermetallic compound, and a base resin;
A first electrode layer disposed on the conductive resin layer and in contact with the conductive connection portion;
Multilayer capacitors.
前記第1及び第2内部電極の一端部とそれぞれ接続される金属間化合物と、
前記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置される第1及び第2外部電極と、を含み、
前記第1及び第2外部電極は、
前記本体の第3及び第4面にそれぞれ配置され、複数の金属粒子、前記複数の金属粒子を取り囲んで前記金属間化合物と接触する導電性連結部及びベース樹脂を含む導電性樹脂層と、
前記導電性樹脂層上に配置され、前記導電性連結部と接触する第1電極層と、
を含み、
前記第1電極層が銅めっき層である、積層型キャパシタ。 First and second surfaces facing each other, including the plurality of dielectric layers and the plurality of first and second inner electrodes alternately arranged via the plurality of dielectric layers, and the first and second surfaces Connected, including third and fourth surfaces facing each other, connected with the first and second surfaces, and connected with the third and fourth surfaces, and including fifth and sixth surfaces facing each other, A main body in which one end of first and second internal electrodes are exposed from the third and fourth surfaces, respectively;
Intermetallic compounds respectively connected to one ends of the first and second internal electrodes;
First and second external electrodes disposed respectively on the third and fourth surfaces of the body;
The first and second external electrodes are
A conductive resin layer disposed on the third and fourth surfaces of the main body and including a plurality of metal particles, a conductive connection portion surrounding the plurality of metal particles and in contact with the intermetallic compound, and a base resin;
A first electrode layer disposed on the conductive resin layer and in contact with the conductive connection portion;
Including
The multilayer capacitor, wherein the first electrode layer is a copper plating layer.
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