JP2018181725A - Method for forming transparent electrode wiring - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、タッチパネルセンサーに使用する透明電極配線の形成方法に関する。 The present invention relates to a method of forming a transparent electrode wiring used for a touch panel sensor.
タッチパネルのビューエリアは、支持基材である透明ガラス板や薄膜透明フィルム上に透明電極配線を形成し、画面の表示情報を遮ることなく、人の指などが接触した情報を感じ取るセンサーパネルである。 The view area of the touch panel is a sensor panel that forms transparent electrode wiring on a transparent glass plate or thin film transparent film that is a supporting substrate, and senses information touched by a human finger or the like without blocking display information on the screen. .
タッチパネルビューエリアの透明電極配線は、以下のようにして形成される。 The transparent electrode wiring of the touch panel view area is formed as follows.
<第一の方法>
広く採用されているタッチパネルビューエリアの透明電極配線は、支持基材である透明ガラス板や薄膜透明フィルムの片面または両面の全面に透明導電層を形成した材料が使用されている。前記透明導電層の形成方法は、ITO(酸化インジウムスズ皮膜)をスパッタ法により形成する方法、導電性繊維を含有する塗液をコーティング法により形成する方法が一般的である。まず、支持基材上に塗布された透明導電層に感光性エッチングレジストフィルムを貼り合わせ、所定パターンの配線を形成するためのフォトマスクとしてフィルムマスクあるいはガラスマスクを用いて露光する。その後、現像により配線に不要な部分の感光性エッチングレジストフィルムを除去し、続いて感光性エッチングレジストから露出した透明導電層をエッチングすることでその露出した透明導電層を溶解除去する。さらに、透明導電層上に残った感光性エッチングレジストフィルムを剥離し除去することで透明電極配線が得られる。
<First method>
The transparent electrode wiring of the touch-panel view area widely employ | adopted is the material which formed the transparent conductive layer in the whole surface of the single side | surface or both surfaces of the transparent glass plate which is a support base material, and a thin film transparent film. The method of forming the transparent conductive layer is generally a method of forming ITO (indium tin oxide film) by a sputtering method, and a method of forming a coating liquid containing a conductive fiber by a coating method. First, a photosensitive etching resist film is bonded to a transparent conductive layer applied on a supporting substrate, and exposure is performed using a film mask or a glass mask as a photomask for forming a wiring of a predetermined pattern. Thereafter, the photosensitive etching resist film of the portion unnecessary for the wiring is removed by development, and then the transparent conductive layer exposed from the photosensitive etching resist is etched away to dissolve and remove the exposed transparent conductive layer. Further, the photosensitive etching resist film remaining on the transparent conductive layer is peeled off and removed to obtain a transparent electrode wiring.
図2は、上記第一の透明電極配線の形成方法を示す模式断面図である。支持基材1に透明導電層3を形成した積層体(b)の前記透明導電層3の面に感光性エッチングレジストフィルム4aを貼り合わせ(c)、所定パターンの配線を形成するためのフォトマスク5を用いて露光する(d)。次いで現像(e)、エッチング(f)により配線に不要な部分の感光性エッチングレジストフィルム4a、及び透明導電層3を溶解除去する。さらに透明導電層上に残った感光性エッチングレジストフィルム4bを剥離し除去する工程(g)からなる。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a method of forming the first transparent electrode wiring. A photosensitive etching resist film 4a is bonded to the surface of the transparent
<第二の方法>
第二の方法は特許文献1に記載されるように、図3のガラス基板6であるガラスあるいはセラミックガラスの上に、銀ナノワイヤー等の導電性ナノスケール添加物8を含むマトリクス層7をインクジェット法で形成し、紫外線照射により硬化する透明導電体が提案されており、第一の方法に対して所定パターンの透明電極配線を形成するためのフォトマスク、露光工程、現像工程、剥離工程を削減することが可能である。
<Second method>
The second method, as described in
高級スマートフォン等に採用されるタッチパネルにおいては、機能、画面の見栄えを重視されるため透明電極配線は高密度、高精細が要求される。一方で、中級以下のスマートフォンにおいては、価格を重視されている。 In a touch panel employed in a high-end smartphone or the like, high-quality and high-definition transparent electrode wiring is required because the appearance of the function and the appearance of the screen are emphasized. On the other hand, in middle-level smartphones and lower, prices are emphasized.
第一の方法では、透明電極配線の形成に必要な工程が長く設備投資額が増す、形成する透明電極配線の形状に合わせたフォトマスクが必要となる、薬品類を使用する工程を要するため廃液処理が必要、さらには配線に必要の無い部分の導電材をエッチングすることで溶解除去するため材料費ロスとなり、透明電極配線基板を低価格で製造するのが困難であった。 In the first method, the steps required to form a transparent electrode wire are long and the investment cost is increased, and a photomask adapted to the shape of the transparent electrode wire to be formed is required. It is difficult to manufacture a transparent electrode wiring board at a low cost, since it is dissolved and removed by etching the conductive material in a portion which does not require the processing and the wiring is unnecessary.
第二の方法は、インクジェットによる透明電極配線の形成が可能であるが、高導電性添加物とマトリクス層となる感光性樹脂との混合液を印刷するため、高導電性添加物同士の接点数が不安定となりパターン抵抗値ばらつきによるタッチパネルの動作不良、信頼性低下の原因となる。 In the second method, it is possible to form a transparent electrode wiring by inkjet, but in order to print a mixed solution of a highly conductive additive and a photosensitive resin to be a matrix layer, the number of contacts between the highly conductive additives Becomes unstable, which causes the operation failure of the touch panel due to the variation in pattern resistance value and the decrease in reliability.
高導電性添加物の含有比率を増すことで、前記動作不良、信頼性は改善するが、全光線透過率の低下によるタッチパネル画面の視認性悪化といった不具合が生じる。 By increasing the content ratio of the high conductivity additive, the operation failure and the reliability are improved, but a defect such as the deterioration of the visibility of the touch panel screen due to the decrease of the total light transmittance occurs.
さらに、耐熱性向上を目的とした150℃以上での加熱処理が必要であり、透明フィルムを支持基材とするタッチパネルには使用できないという欠点がある。 Furthermore, heat treatment at 150 ° C. or higher for the purpose of improving heat resistance is required, and there is a disadvantage that it can not be used in a touch panel using a transparent film as a support substrate.
本発明の目的は、透明電極配線の形成工程を短縮して廃液処理工程を不要とし、かつ透明電極配線として必要な部分に、選択的に透明導電材を形成することで、低価格で透過率が高く、信頼性に優れるタッチパネルセンサーに用いる透明電極配線の形成方法を提案することである。 It is an object of the present invention to shorten the process of forming a transparent electrode wiring, eliminate the need for a waste liquid treatment process, and selectively form a transparent conductive material in a portion necessary as a transparent electrode wiring to achieve low cost and low transmittance. It is to propose a method of forming a transparent electrode wiring used for a touch panel sensor which is high in reliability and excellent in reliability.
上記課題を解決するため、本発明は、[1]少なくともタッチパネルビューエリアの透明電極配線形成において、支持基材に感光性樹脂層を設け、前記感光性樹脂層の表面に、導電性繊維を含有し有機溶剤又は水を分散溶媒とする導電層形成用塗液を、インクジェット方式により印刷し、紫外線を照射することで前記感光性樹脂層を硬化させることを特徴とする透明電極配線の形成方法である。
また、本発明は、[2]支持基材が透明フィルムである上記[1]に記載の透明電極配線の形成方法である。
In order to solve the said subject, this invention provides a photosensitive resin layer in a support base material in [1] transparent electrode wiring formation of a touch panel view area at least, and contains an electroconductive fiber in the surface of the said photosensitive resin layer. A coating liquid for forming a conductive layer, which uses an organic solvent or water as a dispersion solvent, is printed by an inkjet method, and the photosensitive resin layer is cured by irradiating ultraviolet rays, thereby forming a transparent electrode wiring. is there.
Moreover, this invention is a formation method of the transparent electrode wiring as described in said [1] whose [2] support base material is a transparent film.
本発明によれば、支持基材に感光性樹脂層を介して導電層形成用塗液をインクジェット方式で印刷することにより、タッチパネルの透明電極配線の製造工程を簡略化し、安価なタッチパネルを提供することが可能であり、透過率が高く、信頼性に優れる透明電極配線を形成することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing process of the transparent electrode wiring of a touch panel is simplified by printing the coating liquid for conductive layer formation with a photosensitive resin layer on a support base material by an inkjet system, and an inexpensive touch panel is provided. It is possible to form a transparent electrode wiring which is high in transmittance and excellent in reliability.
図1は、本発明の透明電極配線の形成方法の一実施形態を示す模式断面図である。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a method of forming a transparent electrode wiring of the present invention.
支持基材1に透明電極配線3’を密着せしめ形成が容易になるよう、感光性樹脂層2を形成(図1(b))する。感光性樹脂層2はスクリーン印刷、ドラム印刷する方法、あるいは感光性樹脂フィルムをラミネートし積層体とする方法がある。その後、導電性繊維を含有する有機溶剤又は水を分散溶媒とする導電層形成用塗液を、インクジェット方式により印刷し透明電極配線3’を形成(図1(c))する。さらに感光性樹脂層2と透明電極配線3’、及び支持基材1との接着力を向上させるため、感光性樹脂層2に紫外線を照射して硬化させることによりタッチパネルとして動作可能な透明電極配線が形成される。
A
(支持基材)
支持基材1として、透明ガラス板あるいは透明フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。これらのうち、透明性や耐熱性の観点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを用いることが好ましい。
(Supporting base material)
Examples of the supporting
(感光性樹脂層)
感光性樹脂層2は、支持基材1に感光性樹脂を塗布、あるいは感光性フィルムをラミネートすることにより形成する。
(Photosensitive resin layer)
The
感光性樹脂層2としては、バインダーポリマー、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物からなるものが好ましい。
The
(バインダーポリマー)
バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Binder polymer)
As a binder polymer, an acrylic resin, a styrene resin, an epoxy resin, an amide resin, an amide epoxy resin, an alkyd resin, a phenol resin etc. are mentioned, for example. These can be used singly or in combination of two or more.
上記のバインダーポリマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。上記重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等のα−位若しくは芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸及びプロピオール酸が挙げられる。
なお、(メタ)アクリル酸…は、アクリル酸…又はメタクリル酸…を意味する。また、同様に(メタ)アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
The above-mentioned binder polymer can be produced, for example, by radical polymerization of a polymerizable monomer. Examples of the polymerizable monomer include polymerizable styrene derivatives substituted at the α-position or aromatic ring such as styrene, vinyl toluene, α-methylstyrene, acrylamides such as diacetone acrylamide, acrylonitrile, vinyl -Esters of vinyl alcohol such as n-butyl ether, (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, ( (Meth) acrylic acid glycidyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic Acid, α-chloro ( Ta) Acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, monomethyl maleate, monoethyl maleate, maleic acid monoester such as monoisopropyl maleate, Examples include fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid and propiolic acid.
In addition, (meth) acrylic acid means acrylic acid... Or methacrylic acid. Likewise, (meth) acrylate means acrylate or methacrylate.
(エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物)
エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等のビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させで得られる化合物、ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β´−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β´−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β´−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、(メタ)アクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
(Photopolymerizable Compound Having Ethylenically Unsaturated Bond)
As a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, for example, a compound obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a polyhydric alcohol, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy) Polyethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolypropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane Etc., a compound obtained by reacting an α, β-unsaturated carboxylic acid with a glycidyl group-containing compound, a urethane monomer such as a (meth) acrylate compound having a urethane bond, γ-chloro- β-Hydroxypropyl-β '-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl- '- (meth) acryloyloxyethyl -o- phthalate, beta-hydroxypropyl -Beta'- (meth) acryloyloxyethyl -o- phthalate, and (meth) acrylic acid alkyl ester. These are used alone or in combination of two or more.
(重合開始剤)
重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N´−テトラメチル−4,4´−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N´−テトラエチル−4,4´−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4´−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン、2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナンタラキノン、2−メチル1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物、1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)−,2−(o−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)等のオキシムエステル化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9´−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体、N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、オキサゾール系化合物が挙げられる。また、2つの2,4,5−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。これらの中でも、透明性の見地からは、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1等の芳香族ケトン化合物や1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)−,2−(o−ベンゾイルオキシム)]等のオキシムエステル化合物がより好ましい。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
(Polymerization initiator)
Examples of the polymerization initiator include benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4 '. -Dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1 and the like Aromatic ketones, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2- Quinones such as methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenantaraquinone, 2-
光重合開始剤の含有割合は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量100質量部に対して、0.1〜30質量部であることが好ましく、1〜10質量部であることがより好ましい。この含有割合が0.1質量部未満では光感度が不十分となる傾向があり、30質量部を超えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不十分となる傾向がある。 The content ratio of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 30 parts by mass, and more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the binder polymer and the photopolymerizable compound. If the content ratio is less than 0.1 parts by mass, the photosensitivity tends to be insufficient, and if it exceeds 30 parts by mass, absorption at the surface of the composition during exposure is increased and the internal photocuring is insufficient. Tends to
感光性樹脂組成物の塗布は、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、70〜150℃で5〜30分間程度で行うことができる。 The photosensitive resin composition can be applied by a known method such as roll coating, comma coating, gravure coating, air knife coating, die coating, bar coating, spray coating, and the like. Moreover, drying can be performed at 70-150 degreeC for about 5 to 30 minutes.
感光性樹脂層2の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで1〜200μmであることが好ましく、1〜20μmであることがより好ましい。この厚みが1μm未満では工業的に塗工が困難となる傾向があり、200μmを超えると光透過の低下による感度が不十分となり感光性樹脂層2の光硬化性が低下する傾向がある。
Although the thickness of the
(導電性繊維)
透明電極配線3’の形成に使用する、導電層形成用塗液に含有する導電性繊維は、金属繊維、ナノチューブである。例えば、銀、銅、金、アルミニウム、ニッケル、白金、パラジウム、及びそれらの合金等が使用可能であるが、導電性、透明性を最適化するために銀繊維(ナノワイヤー)を使用することが最も好ましい。
(Conductive fiber)
The conductive fibers contained in the coating solution for forming a conductive layer used for forming the transparent electrode wiring 3 'are metal fibers and nanotubes. For example, silver, copper, gold, aluminum, nickel, platinum, palladium, and alloys thereof can be used, but using silver fiber (nanowire) to optimize conductivity and transparency Most preferred.
導電層形成用塗液に含有する繊維は、繊維径1〜50nm、好ましくは2〜30nm、より好ましくは3〜10nm、また金属繊維の繊維長は1〜100μm、好ましくは2〜50μm、より好ましくは3〜40μm、さらに好ましくは5〜35μmである。繊維径及び繊維長は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。 The fibers contained in the coating liquid for forming a conductive layer have a fiber diameter of 1 to 50 nm, preferably 2 to 30 nm, more preferably 3 to 10 nm, and the metal fiber has a fiber length of 1 to 100 μm, preferably 2 to 50 μm, more preferably Is 3 to 40 μm, more preferably 5 to 35 μm. The fiber diameter and the fiber length can be measured by a scanning electron microscope.
(透明電極配線3’の厚み)
インクジェット印刷で形成する透明電極配線3’の厚みは、形成される透明電極膜、配線パターンの用途や求められる導電性によっても異なるが、1μm以下、好ましくは1nm〜0.5μm、より好ましくは5nm〜0.1μmである。透明電極配線3’の厚みが1μm以下であると、450〜650nmの波長域での光透過率が高く、好適なものとなる。
(Thickness of transparent electrode wiring 3 ')
The thickness of the transparent electrode wiring 3 'formed by inkjet printing varies depending on the application of the transparent electrode film to be formed, the wiring pattern and the required conductivity, but it is 1 μm or less, preferably 1 nm to 0.5 μm, more preferably 5 nm It is ̃0.1 μm. When the thickness of the transparent electrode wiring 3 'is 1 μm or less, the light transmittance in the wavelength range of 450 to 650 nm is high, which is preferable.
(紫外線)
紫外線硬化に使用する紫外線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いられる。
(UV)
As a light source of ultraviolet light used for ultraviolet curing, a known light source such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp and the like can be used.
感光性樹脂層2を硬化するため、紫外線量として500〜5,000mJ/cm2、好ましくは1,000〜2,000mJ/cm2の積算光量となるよう紫外線を照射する。
To cure the photosensitive resin layer 2, 500~5,000mJ /
紫外線照射に使用する装置は、バッチ式のテーブル式露光機、あるいはコンベア式紫外線照射炉等が使用可能である。 As a device used for ultraviolet irradiation, a batch-type table-type exposure device, a conveyor-type ultraviolet irradiation furnace, or the like can be used.
感光性樹脂層2の形成と透明電極配線3’のインクジェット方式による印刷、及び紫外線による硬化は、各設備を連結し、一貫で製造することも可能であるが、感光性樹脂層形成後、透明電極配線形成後に保護フィルムを貼り合せて巻き取り、不連続で製造することも可能である。
The formation of the
不連続で製造する場合に使用する保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。保護フィルムとして上述の支持基材フィルムと同様の重合体フィルムを用いてもよい。 As a protective film used when manufacturing it discontinuously, the polymer film which has heat resistance and solvent resistance, such as a polyethylene terephthalate film, a polypropylene film, a polyethylene film, can be used, for example. You may use the polymer film similar to the above-mentioned support base film as a protective film.
保護フィルムの厚みは、1〜100μmであることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、5〜30μmであることがさらに好ましく、15〜30μmであることが特に好ましい。保護フィルムの厚みが1μm未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向があり、100μmを超えると価格が高くなる傾向がある。 The thickness of the protective film is preferably 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, still more preferably 5 to 30 μm, and particularly preferably 15 to 30 μm. If the thickness of the protective film is less than 1 μm, the protective film tends to be easily broken during lamination, and if it exceeds 100 μm, the price tends to be high.
保護フィルムを使用し平板の形態、または巻き芯に巻き取り円筒状とし、工程間及び透明電極配線形成後の保管が可能となる。 A protective film is used to form a flat plate or take up a cylindrical shape around a winding core, which enables storage between processes and after formation of a transparent electrode wiring.
以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples, but the present invention is not limited thereto.
<感光性樹脂組成物の溶液の調製>
[バインダーポリマー(アクリル樹脂)の合成]
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、メチルセロソルブとトルエンとの混合液(メチルセロソルブ/トルエン=3/2(質量比)、以下、「溶液s」という)400gを加え、窒素ガスを吹き込みながら撹拌して、80℃まで加熱した。一方、単量体としてメタクリル酸100g、メタクリル酸メチル250g、アクリル酸エチル100g及びスチレン50gと、アゾビスイソブチロニトリル0.8gとを混合した溶液(以下、「溶液a」という)を用意した。次に、80℃に加熱された溶液sに溶液aを4時間かけて滴下した後、80℃で撹拌しながら2時間保温した。さらに、100gの溶液sにアゾビスイソブチロニトリル1.2gを溶解した溶液を、10分かけてフラスコ内に滴下した。そして、滴下後の溶液を撹拌しながら80℃で3時間保温した後、30分間かけて90℃に加熱した。90℃で2時間保温した後、冷却してバインダーポリマー溶液を得た。このバインダーポリマー溶液に、アセトンを加えて不揮発成分(固形分)が50質量%になるように調製し、バインダーポリマー溶液を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は80,000であった。これをアクリルポリマーAとした。
<Preparation of solution of photosensitive resin composition>
[Synthesis of binder polymer (acrylic resin)]
In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen gas inlet tube, a mixed solution of methyl cellosolve and toluene (methyl cellosolve / toluene = 3/2 (mass ratio), hereinafter, “solution s And heated at 80 ° C. with stirring while blowing in nitrogen gas. On the other hand, a solution (hereinafter referred to as "solution a") was prepared by mixing 100 g of methacrylic acid, 250 g of methyl methacrylate, 100 g of ethyl acrylate and 50 g of styrene as monomers and 0.8 g of azobisisobutyronitrile. . Next, the solution a was added dropwise over 4 hours to the solution s heated to 80 ° C., and then the mixture was kept at 80 ° C. for 2 hours while being stirred. Further, a solution of 1.2 g of azobisisobutyronitrile in 100 g of solution s was dropped into the flask over 10 minutes. Then, the solution after dropping was kept at 80 ° C. for 3 hours while being stirred, and then heated to 90 ° C. for 30 minutes. The mixture was kept at 90 ° C. for 2 hours and cooled to obtain a binder polymer solution. Acetone was added to the binder polymer solution to prepare a non-volatile component (solid content) of 50% by mass to obtain a binder polymer solution. The weight average molecular weight of the obtained binder polymer was 80,000. This was designated as acrylic polymer A.
表1に示す材料を同表に示す配合量(単位:質量部)で配合し、感光性樹脂組成物の溶液を調製した。 The material shown in Table 1 was compounded by the compounding quantity (unit: mass part) shown to the same table, and the solution of the photosensitive resin composition was prepared.
<導電性繊維の調製>
[ポリオール法による銀繊維の調製]
2000mlの3口フラスコに、エチレングリコール500mlを入れ、窒素雰囲気下、マグネチックスターラーで攪拌しながらオイルバスにより160℃まで加熱した。ここに、別途用意したPtCl22mgを50mlのエチレングリコールに溶解した溶液を滴下した。4〜5分後、AgNO35gをエチレングリコール300mlに溶解した溶液と、重量平均分子量が4万のポリビニルピロリドン(和光純薬工業株式会社製)5gをエチレングリコール150mlに溶解した溶液とを、それぞれの滴下ロートから1分間で滴下し、その後160℃で60分間攪拌した。
<Preparation of Conductive Fiber>
[Preparation of silver fiber by polyol method]
In a 2000 ml three-necked flask, 500 ml of ethylene glycol was placed and heated to 160 ° C. in an oil bath while stirring with a magnetic stirrer under a nitrogen atmosphere. A solution of 2 mg of PtCl 2 separately prepared in 50 ml of ethylene glycol was added dropwise to this. After 4 to 5 minutes, a solution of 5 g of AgNO 3 dissolved in 300 ml of ethylene glycol and a solution of 5 g of polyvinyl pyrrolidone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) having a weight average molecular weight of 40,000 in 150 ml of ethylene glycol The resulting solution was added dropwise over 1 minute from the dropping funnel and then stirred at 160 ° C. for 60 minutes.
上記反応溶液が30℃以下になるまで放置してから、アセトンで10倍に希釈し、遠心分離機により2,000回転/分で20分間遠心分離し、上澄み液をデカンテーションした。沈殿物にアセトンを加え攪拌後に前記と同様の条件で遠心分離し、アセトンをデカンテーションした。その後、蒸留水を用いて同様に2回遠心分離して、銀繊維を得た。得られた銀繊維を光学顕微鏡で観察したところ、繊維径(直径)は約5nmで、繊維長は約5μmであった。 The reaction solution was allowed to stand at 30 ° C. or less, diluted 10-fold with acetone, centrifuged at 2,000 rpm for 20 minutes using a centrifuge, and the supernatant was decanted. Acetone was added to the precipitate, and after stirring, it was centrifuged under the same conditions as above, and acetone was decanted. Then, it centrifuged similarly twice using distilled water, and obtained silver fiber. When the obtained silver fiber was observed with an optical microscope, the fiber diameter (diameter) was about 5 nm, and the fiber length was about 5 μm.
[銀繊維分散導電性塗液(導電層形成用塗液1)の調製]
純水に、上記で得られた銀繊維を0.2質量%、及び、界面活性剤としてドデシル−ペンタエチレングリコールを0.1質量%の濃度となるように分散し、導電層形成用塗液1を得た。
[Preparation of silver fiber dispersed conductive coating solution (
0.2% by mass of the silver fiber obtained above is dispersed in pure water, and dodecyl-pentaethylene glycol as a surfactant is dispersed at a concentration of 0.1% by mass, and a coating liquid for forming a conductive layer I got one.
[カーボンナノチューブ分散導電性塗液(導電層形成用塗液2)の調製]
純水に、Unidym社のHipco単層カーボンナノチューブの高純度品を0.4質量%、及び、界面活性剤としてドデシル−ペンタエチレングリコールを0.1質量%の濃度となるように分散し、導電層形成用塗液2を得た。
[Preparation of carbon nanotube dispersed conductive coating solution (
In pure water, 0.4% by mass of a high purity product of Unico's Hipco single-walled carbon nanotubes, and 0.1% by mass of dodecyl-pentaethylene glycol as a surfactant are dispersed to conduct electricity. The
<感光性フィルムの作製>
支持フィルムである100μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、東洋紡株式会社製、商品名「A4100」、片面易接着処理)の易接着処理を施された面に、上記の感光性樹脂組成物の溶液を均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥し、感光性樹脂層を形成した。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は、5μmであった。さらに、感光性樹脂層を、ポリエチレン製の保護フィルム(タマポリ株式会社製、商品名「NF−13」)で覆い、透明感光性フィルム1を得た。
<Production of photosensitive film>
The solution of the photosensitive resin composition described above is applied to the surface of a support film of 100 μm thick polyethylene terephthalate film (PET film, manufactured by Toyobo Co., Ltd., trade name “A4100”, single-sided easy adhesion treatment) Were uniformly applied, and dried for 10 minutes with a hot air convection dryer at 100 ° C. to form a photosensitive resin layer. The film thickness after drying of the photosensitive resin layer was 5 μm. Furthermore, the photosensitive resin layer was covered with a protective film made of polyethylene (manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name "NF-13") to obtain a transparent
<透明電極配線の作製>
(実施例1)
保護フィルムを剥がした透明感光性フィルム1の感光性樹脂層上に、導電層形成用塗液1を吐出量25g/m2でインクジェット方式により、図4に示す幅500μm、長さ10cmの電極配線10を間隙200μmで100本、及び透明電極配線(3cm×3cmの四角パターン)11を印刷した後100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥し、透明電極配線を形成した。
<Preparation of transparent electrode wiring>
Example 1
On the photosensitive resin layer of the transparent
続いて、コンベア式紫外線照射機により、透明電極配線側から積算光量1,000mJ/cm2の紫外線を照射し、タッチパネル用透明電極配線基板を得た。なお、乾燥後の透明電極配線の膜厚は、約0.1μmであった。 Then, the ultraviolet-ray of 1,000 mJ / cm < 2 > of accumulated light quantity was irradiated from the transparent electrode wiring side with a conveyor type ultraviolet irradiation machine, and the transparent electrode wiring board for touch panels was obtained. In addition, the film thickness of the transparent electrode wiring after drying was about 0.1 micrometer.
(実施例2)
保護フィルムを剥がした透明感光性フィルム1の感光性樹脂層上に、導電層形成用塗液2を吐出量25g/m2でインクジェット方式により、図4に示す幅500μm、長さ10cmの電極配線10を間隙200μmで100本、及び透明電極配線(3cm×3cmの四角パターン)11を印刷した後100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥し、透明電極配線を形成した。
(Example 2)
On the photosensitive resin layer of the transparent
続いて、コンベア式紫外線照射機により、透明電極配線側から積算光量1,000mJ/cm2で紫外線を照射し、タッチパネル用透明電極配線基板を得た。なお、乾燥後の透明電極配線の膜厚は、約0.1μmであった。 Subsequently, ultraviolet light was irradiated from the transparent electrode wiring side with an integrated light amount of 1,000 mJ / cm 2 by a conveyor type ultraviolet light irradiation machine to obtain a transparent electrode wiring substrate for a touch panel. In addition, the film thickness of the transparent electrode wiring after drying was about 0.1 micrometer.
(比較例1)
平均ワイヤー直径40nmおよび平均ワイヤー長35μmのナノワイヤーを有する市販のエタノール性銀ナノワイヤー分散物を遠心分離した。エタノールをデカンテーション後、それに体積比1:1のテルピネオール−エタノール混合物を溶媒として添加した。銀ナノワイヤー分散物を、アルミニウム第二ブトキシドに基づくゾル−ゲル・バインダーと40:1の比で混合、撹拌しコーティング塗料を得た。吐出量25g/m2でインクジェット方式により、図4に示す幅500μm、長さ10cmの電極配線10を間隙200μmで100本、及び透明電極配線(3cm×3cmの四角パターン)11を透明ガラスセラミック上に印刷した後、200℃で90分間熱硬化することで、透明導電層を形成した。なお熱硬化後の透明電極配線の膜厚は、約0.3μmであった。
(Comparative example 1)
A commercially available ethanolic silver nanowire dispersion having nanowires with an average wire diameter of 40 nm and an average wire length of 35 μm was centrifuged. After decantation of the ethanol, it was added a terpineol-ethanol mixture at a volume ratio of 1: 1 as a solvent. The silver nanowire dispersion was mixed with a sol-gel binder based on aluminum sec-butoxide in a ratio of 40: 1 and stirred to obtain a coating paint. 4 by 100 g of
市販の電流電圧計を用いて実施例、比較例に基づき作製した透明電極配線10で配線抵抗を、また透明電極配線(3cm×3cmの四角パターン)11を用いて表面抵抗、全光線透過率の測定を行った。配線抵抗は、株式会社エーディーシー製デジタルマルチメータ「6871E」を、表面抵抗はナプソン株式会社製非接触式表面抵抗計「EC−80P」を、全光線透過率は日本電色工業株式会社製「ヘーズメーターNDH−5000」を使用した。さらに透明電極配線(3cm×3cmの四角パターン)11を85℃、湿度85%RHの高温高湿環境に放置し、1,000時間後の表面抵抗を同様に測定し、抵抗上昇率を算出した。
測定結果をまとめて表2に示した。
The wiring resistance of the
The measurement results are summarized in Table 2.
以上の結果から、感光性樹脂層を介し、透明電極配線をインクジェット方式により形成することで、配線の導通、絶縁性及び全光線透過率の高いタッチパネル基板を得ることができた。 From the above results, it was possible to obtain a touch panel substrate having high conductivity, insulation property, and total light transmittance by forming the transparent electrode wiring by the inkjet method via the photosensitive resin layer.
現在、タッチパネルの用途がスマートフォン、タブレット型端末機器の他、スマートウォッチ、ゲーム機、産業用設備、車載等の幅広い分野で採用され、低価格要求が進んでいる。本発明によれば、フォトマスク等のツールを必要とせず、かつ現像、エッチング等の化学薬品処理工程を不要とし、同等性能の透明電極配線基板を製造することが可能である。 At present, applications for touch panels are adopted in a wide range of fields such as smart watches, game consoles, industrial equipment, vehicles, etc. in addition to smartphones and tablet-type terminal devices, and demand for lower prices is advancing. According to the present invention, it is possible to manufacture a transparent electrode wiring board of equivalent performance without requiring a tool such as a photomask and without requiring a chemical treatment process such as development and etching.
本発明のタッチパネル基板用の透明電極配線の形成方法により製造されるタッチパネル基板は、液晶表示素子等のフラットパネルディスプレイ、タッチスクリーン、シールド用途の表示装置及びその透明電極の配線形成に使用できる。 The touch panel substrate manufactured by the method of forming a transparent electrode wiring for a touch panel substrate according to the present invention can be used for forming a flat panel display such as a liquid crystal display element, a touch screen, a display for shielding applications and wiring of the transparent electrode.
1.支持基材
2.感光性樹脂層
3.透明導電層
3’ .透明電極配線
4a.感光性フィルム(硬化前)
4b.感光性フィルム(硬化後)
5.フォトマスク
6.ガラス基板
7.マトリクス層
8.導電性ナノスケール添加物
9.導電層
10.透明電極配線(幅500μm、長さ10cm)
11.透明電極配線(3cm×3cmの四角パターン)
1.
4b. Photosensitive film (after curing)
5. Photo mask6. Glass substrate 7. Matrix layer 8. Conductive nanoscale additives9.
11. Transparent electrode wiring (3 cm × 3 cm square pattern)
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