JP2018179820A - コンタクトプローブ - Google Patents

Abstract

【課題】デバイス構造を破壊することなく自然酸化膜を破る回転機構を有したコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】プローブピン１には突起４を設け、内部にプローブピン１が挿入される空洞部を有するバレル２には、突起４の移動を案内するとともに垂直部１０Ｂとこの垂直部１０Ｂの最上部から上方向に傾斜する第１の傾斜部１０Ａを有する溝１０が設けられ、ばね３はバレル２の空洞部に設けられるとともに、更にばね３はプローブピン１の上面とバレル２の上部との間に設けることにより、押し込まれたプローブピン１の回転角度を制限する。
【選択図】図１

Description

この発明は、半導体素子の電気特性を測定するためのコンタクトプローブに関するものである。

従来のコンタクトプローブピンは、半導体素子の電極面にプローブピンが接触しオーバードライブすると、プローブピンの外側に掘られた溝に沿ってプローブ支持部に埋め込まれたガイド球が案内され、プローブピンが回転し、電極表面の自然酸化膜を突き破るよう構成されている（特許文献１参照）。

特開２００９−１１５６５９号公報

上記のようなプローブピンでは、プローブピンの溝に沿ってガイド球が案内される場合に、溝とガイド球が擦れてプローブピンの溝もしくはガイド球から金属屑が発生し、その屑が溝に溜まりプローブピンが回転しなくなることがある。その結果電極表面の自然酸化膜を突き破ることができないという問題があった。さらに、プローブピンがオーバードライブした後、プローブピンが回転しすぎて、自然酸化膜の下に位置する半導体デバイス構造が破壊されてしまうという問題もあった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされたものであり、デバイス構造を破壊することなく自然酸化膜を破る回転機構を有したコンタクトプローブを得ることを目的としている。

この発明に係るコンタクトプローブは、突起を有するプローブピンと、内部に上記プローブピンが挿入される空洞部を有し、上記突起の移動を案内するとともに垂直部と上記垂直部の最上部から上方向に傾斜する第１の傾斜部を有する溝が設けられたバレルと、上記空洞部に設けられるとともに上記プローブピンの上面と上記バレルの上部との間に設けられたばねを備えたものである。

上記のように構成されたコンタクトプローブによれば、プローブピンの回転角度が制限されているので、プローブピンはデバイス構造を破壊することなく、自然酸化膜のみを突き破ることができる。

実施の形態１によるコンタクトプローブを示す斜視図である。 実施の形態１によるプローブピン部分を示す斜視図である。 実施の形態１によるバレル部分を示す正面図である。 図１におけるＤ−Ｄ断面図、図１におけるＥ−Ｅ断面図、及びバレルを底面から見た状態を示す図である。 図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。 実施の形態１によるプローブピンの突起部分を示す斜視図である。 実施の形態１によるプローブピンの突起部分を示す正面図である。 実施の形態１によるばね引っかけ部を示す斜視図である。 実施の形態１によるばね引っかけ部を示す斜視図である。 実施の形態１によるコンタクトプローブを示す斜視図である。 実施の形態１によるコンタクトプローブを示す斜視図である。 実施の形態１によるコンタクトプローブを示す斜視図である。 実施の形態２によるコンタクトプローブを示す断面側面図である。 実施の形態３によるコンタクトプローブにおけるプローブピンを示す斜視図である。 実施の形態３によるコンタクトプローブにおけるプローブピンを示す断面側面図である。 実施の形態４によるコンタクトプローブを示す斜視図である。 実施の形態４によるバレルを示す側面図である。 図１６におけるＧ−Ｇ線を示す断面図である。 実施の形態６によるコンタクトプローブにおけるプローブピンを示す部分斜視図である。 図１９における突起をＫ方向から見た正面図である。 実施の形態６によるコンタクトプローブを示す断面側面図である。 実施の形態７による突起を示す正面図である。

実施の形態１．
図１は実施の形態１によるコンタクトプローブを示す斜視図である。図２はプローブピン部分を示す斜視図、図３はバレル部分を示す正面図である。このコンタクトプローブは、図２に示すような突起４を有した円柱状のプローブピン１と、図３に示すような突起４の移動を案内する溝１０を有するとともに、内部にプローブピンが挿入される空洞を有する円柱状のバレル２と、バレル２内部に設けられたばね３で構成されている。バレル２においては、溝１０は下部に開口部１０１を有する垂直部１０Ｂと、垂直部１０Ｂの最上部からバレル２の上部方向に傾斜する傾斜部１０Ａ（第１の傾斜部）を備え、傾斜部１０Ａにおける溝の幅ｂおよび垂直部１０Ｂにおける溝の幅ｃはプローブピン１の突起４との間に、両側各々Ｍ、Ｎに０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの隙間が形成されるよう構成され、溝の高さａはプローブピン１を押し込んだときのばね３の押し込み量と同じ高さを有し、更に溝１０の傾斜部１０Ａ（第１の傾斜部）においては水平線に対してθ_１＝１０度〜１５度の角度を有するような傾斜を有している。

高さａを有する溝１０の垂直部１０Ｂから傾斜部１０Ａにかけての溝１０の円弧状部分の曲率はＲとなっている。この曲率Ｒは後に図示するプローブピン１の円筒状の突起４の曲率Ｒと同等か、もしくはそれ以上の曲率を有する。図４（Ａ）は図１におけるＤ−Ｄ線断面図、図４（Ｂ）は図１におけるＥ−Ｅ線断面図であり、更に図４（Ｃ）は図４（Ａ）と図４（Ｂ）を重ね合わせた状態、即ちバレル２を底面から見た状態を示している。図３及び図４（Ｃ）において、Ｘ点とＹ点との間の回転角θ_２は、θ_２＝５度〜３０度となるよう設定されている。

図５は図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。図６はプローブピンの突起４部分を示す斜視図、図７は同じく正面図である。突起４は図７に示すような曲率Ｒを持った円柱形状に形成されるとともに、突起４の高さはバレル２の厚みｈよりも大きく構成されている。又バレル２の内部にはばね引っかけ部５を有し、ばね３が挟まる構造になっている。図８、図９はばね引っかけ部を示す斜視図であり、ばね引っかけ部は、図８に示すようなばね３の直径よりも小さい内径を有する円柱状の突起構造５Ａで構成しても良く、もしくは図９に示すように、内部に突出する２個以上の突出部５Ｂで構成しても良い。図９では２個の突出部をもった構造を示している。またばね３は、プローブピン１の上面と点もしくは面接触によりプローブピン１と接合されている。本実施形態では、プローブピン１の上面とばね３の先端部分が点Ｑで接合されている構造を示している。

上記のような構成によれば、電気測定の対象物にプローブピン１の先端が接触した後、プローブピン１の突起４がバレル２の垂直部１０Ｂに沿って、高さａの部分まで押し込まれる。その後、θ_１＝１０度〜１５度の角度を有する傾斜部１０Ａに押し込まれながら、θ_２＝５度〜３０度を有する回転角度の範囲でプローブピン１が回転し、この状態で電気測定を行う。電気測定が終了すると、ばね３が元の状態に戻ることにより、プローブピン１は元の位置まで戻る。このとき、ばね引っかけ部５がばね３を挟みこんでいるため、バレル２からプローブピン１が落下するのを防止することができる。

また、プローブピン１が元の位置に戻る際、バレル２の溝１０は突起４と同等もしくはそれ以上の曲率Ｒを有しているため、プローブピン１が回転動作から直線動作へ移る際、突起４がバレル２の溝１０に引っかかることなく、潤滑に動作することができる。また、突起４の底部も曲率Ｒに構成されているので、プローブピン１が回転動作から直線動作へ移る際に突起４は潤滑に動作することができる。また、バレル２の溝幅として突起４との間に両側各々Ｍ、Ｎに０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの隙間を設けることで、プローブピン１がバレル２に押し込まれ、元の状態に戻る動作の際、僅かに左右方向にランダムに動くことができるので、プローブピン１の先端と電気測定の対象物との接触面が固定されない。

このように、突起４が溝１０の高さａ部分まで押し込まれた後、θ_１＝１０度〜１５度の傾斜角度で押し込まれながら、θ_２＝５度〜３０度の範囲でプローブピン１が回転するという機構をもつことで、特開２００９−１１５６５９号公報に示されたような従来の構造に比べるとバレル２の溝の設計が容易となり、製造コストが削減できる。電気測定の対象物に接触した状態でプローブピン１の回転範囲をθ_２＝５度〜３０度と限定することで、自然酸化膜の下に位置するデバイス構造を破壊することなく、自然酸化膜のみを破ることが可能である。一般的に自然酸化膜の膜厚は２ｎｍ以下であり、θ_２＝５度以下では完全な酸化膜除去はできない。θ_２＝３０度以上では自然酸化膜の下に位置する電極を過剰に押しつけ、電極にかかる圧力で電極の下にあるデバイス構造にクラックや、形状破壊が引き起こされる。従って回転範囲を５度〜３０度と限定することで、上記のような効果を得ることができる。

また、このプローブピン１の回転は、例えば、図１０に示すように、バレル２の溝におけるθ_２を３０度となるよう設計した場合で、押し込み量をθ_２＝１０度までの押し込み量に制限することも可能である。このような押し込み量の設定はテスト装置側にあるサーボモータに流れる電流を制御することによりモータのトルクを制御し、回転角を制御することにより所定の回転角度となるよう数値制御するものである。図１１はθ_２を３０度となるよう設計し、押し込み量をθ_２＝１０度とした場合の斜視図である。さらに、θ_２が３０度になるよう設計された構造で、押し込み量をθ_２＝１０度にした場合に、酸化膜除去が不十分でプローブピン１の先端が電極の新面（自然酸化膜の下に位置するデバイス面）に到達せず、電気特性が測定できなかった場合、更には特性に異常がある場合は、更なる自然酸化膜の除去が必要となる。その際、θ_２は３０度となるよう設計するとともに、１０度までの押し込み量では不十分であるため、更に２０度まで押し込むようにすることもできる。従って前述の不具合が生じた場合、押し込み量の設定をテスト装置側で２０度、３０度と設定変更をするだけで、自然酸化膜を破るようにすることも可能である。図１２はθ_２を３０度となるように設計し、押し込み量をθ_２＝３０度とした場合の斜視図である。

また、バレル２の溝幅においてプローブピンの突起４との間に隙間が生じるように設計することにより、溝と突起４とが擦れる量が抑えられ、溝１０および突起４からの金属屑の発生が抑制でき、バレル２の溝１０へのプローブピン１の押し込みや、回転を阻害することなく、動作させることが可能である。また、溝１０と突起４の間に隙間があるため、プローブピン１が僅かに左右方向にランダムに動くことができ、プローブピン１の先端と電気測定の対象物との接触が始まる位置も変えることができる。従ってプローブピン１の先端に付着する金属屑の堆積箇所も変えることができ、プローブピン１の交換頻度や、金属屑の除去等のプローブピン１のメンテナンスの頻度を少なくすることが可能である。

また、本実施形態のコンタクトプローブにおいては、バレル２と、ばね３が接合されたプローブピン１が一体型になっていない構造である。ばね３が接合されたプローブピン１、もしくはバレル２の何れかのメンテナンスが必要になった場合、バレルとプローブピンとばねが一体型になっているような構造では、コンタクトプローブごと交換する必要があった。これに対して本実施形態によるコンタクトプローブは、例えば、プローブピン１に異常があった場合、ばね３が接合されているプローブピン１をバレル２から取り外し、新たなばね３が接合されたプローブピン１をバレル２へはめ込み、ばね引っかけ部５にばね３を挟み込みことでメンテナンスが完了となる。そのためメンテナンスのコストを低減することができる。

実施の形態２．
図５においては、プローブピン１の上面が、点もしくは面接触の状態でばね３と接合されるよう構成し、プローブピン１とばね３が直接に接合されることで電気的導通を取れるよう構成した例を示した。これに対して電気的導通がとれるような、例えば銅、銀、金、鉄といった金属板６をばね３の端部とはんだ等で接合し、この金属板６とプローブピン１をはんだ等で接合することで、金属板６を介してプローブピン１とばね３との間に電気的導通を取るようにしてもよい。また、図５においては、バレル２とばね３の電気的導通は、バレル２とばね３が直接に接触することで実現している。これに対して金属板７をばね３にはんだ等で接合し、金属板７とバレル２を接触させ、金属板７を介してばね３とバレル２の電気的導通をとる構造を採用しても良い。

図１３は実施の形態２によるコンタクトプローブを示す断面側面図である。図１３において、ばね３の両端部に金属板６および金属板７をはんだ等で接合させ、さらに金属板６とプローブピン１の上部をはんだ等で接合させている。金属板７は、ばね引っかけ部５からバレル２の上部の隙間に入ることができるような厚み及び大きさに構成されている。
上記実施の形態１においては、プローブピン１とばね３との電気的導通に関しては、プローブピン１とばね３の接触面積はばね３の先端、もしくはばね３の一部の面のみであるので、電気的導通を取っている面積がばねの直径分しかなかった。これに対して本実施形態においては、金属板６を介しているので、接触面積が大きくなり、安定した電気的導通を確保することができる。また実施の形態１ではばね３とバレル２の接触面積は上記と同様にばねの先端、もしくはばねの一部の面のみであるので、電気的導通を取っている面積がばねの直径分しかなかった。これに対して本実施形態においては、金属板７を介しているので、接触面積が大きくなり、安定した電気的導通を確保することができる。その結果、正確な電気特性の数値を得ることが可能である。

実施の形態３．
図１４は実施の形態３によるコンタクトプローブにおけるプローブピンを示す斜視図、図１５は同じく断面側面図である。図５においては、プローブピン１とばね３が直接に接合され、又図１３においては、金属板６を介してプローブピン１とばね３が接合するよう構成した例を示した。これに対して図１４、図１５に示すように、プローブピン３１の上面において、ばね３の直径よりも小さな内径を有するばね引っかけ部３２を形成するとともに、プローブピン３１の上部にキャビティ３３を設け、ばね３を引っかける構造を形成するようにしてもよい。更にばね３には、金属板６及び金属板７を接合しても良い。図１５においては、金属板６および金属板７をばね３に接合させ、プローブピン３１の内部に円柱状のキャビティ３３を加工し、その中に金属板６およびばね３の端部を入れ込み、ばね３を引っかけた構造としている。尚バレル２と金属板７は直接接合されておらず、又金属板６とプローブピン３１も直接接合されていない。

このような構成によれば、実施の形態２と同様に電気的導通が安定し、正確な電気特性の数値を得ることが可能である。さらにプローブピンがバレル２の溝１０に沿って回転する際、図５および図１３の構造では、プローブピンとばね３の接合部、もしくは金属板６とばね３の接合部が捻じれて、ばね３の断線や劣化が生じ、プローブピンがバレル２から落下する可能性がある。これに対して本実施形態においては、金属板６とプローブピンが直接接合されていないため、上記に示した接合部分に捻じれが生じない。従ってばね３の劣化を抑制できるとともに、バレル２からプローブピンが落下するのを防止することが出来る。尚図１５においては、金属板６、７を設けた例を示しているが、金属板を設けないように構成しても良い。

実施の形態４．
図１６は実施の形態４によるコンタクトプローブを示す斜視図、図１７はバレルを示す側面図、図１８は図１６におけるＧ−Ｇ線を示す断面図である。実施の形態３においてはプローブピン１の上部にばね引っかけ部を設けた例を示したが、図１７に示すような溝４０を有したバレル４２を設け、プローブピン１の落下を防止するようにしてもよい。図１７において、溝４０は第１の傾斜部４０Ａ、第１の垂直部４０Ｂ、第２の傾斜部４０Ｃ、第２の垂直部４０Ｄを有し、第１の傾斜部４０Ａの溝の幅ｂ、第１の垂直部４０Ｂの溝の幅ｃ及び第２の垂直部４０Ｄの溝の幅ｄはプローブピン１の突起４との間に、両側各々に０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの隙間が形成されるよう構成され、第２の傾斜部４０Ｃの溝の幅ｅはプローブピン１の突起４の直径と同等、もしくは溝とプローブピン１の突起４との間に０．１ｍｍ以下の隙間が形成される。溝の高さａはプローブピン１を押し込んだときのばね３の押し込み量と同じ高さを有し、更に第１の傾斜部４０Ａにおいては水平線に対してθ_１＝１０度〜１５度の角度を有するような傾斜を設けている。

更にはθ_３＝２度〜５度の角度をもった第２の傾斜部４０Ｃを有している。高さａを有する第１の垂直部４０Ｂから第１の傾斜部４０Ａにかけての溝の円弧状部分の曲率はＲとなっている。この曲率Ｒはプローブピン１の突起４の曲率Ｒと同等か、もしくはそれ以上の曲率を有する。また、図１６においても、図１と同様、Ｄ−Ｄ断面、Ｅ−Ｅ断面は、実施の形態１と同様に図４に示すような形状をもち、更にはθ_２についても、実施の形態１と同様θ_２＝５度〜３０度の角度をもつ。図１８において、バレル４２の内部には実施の形態１に示すようなばね引っかけ部を設けても良いし、あるいは設けなくても良い。図１８では、ばね引っかけ部がないバレル４２の内部構造を示している。またばね３は、実施の形態１に示すように、プローブピン１の上面と点接触もしくは面接触の状態で接合されていない。

このような構造によれば、プローブピン１の突起４は第２の垂直部４０Ｄの開口部４０１から第２の垂直部４０Ｄ、第２の傾斜部４０Ｃを通り、高さａを有する第１の垂直部４０Ｂの最下部まで挿入させた後、プローブピン１に加重をかけて、電気測定の対象物にプローブピン１の先端を接触させる。その後プローブピン１の突起４がバレル４２の溝４０に沿って、高さａ部分まで押し込まれた後、θ_１＝１０度〜１５度の角度を有する第１の傾斜部４０Ａに押し込まれながら、θ_２＝５度〜３０度の範囲を有する回転角度でプローブピン１が回転し、この状態で電気測定を行う。電気測定が終了すると、ばね３が元の状態に戻ることにより、プローブピン１は第１の垂直部４０Ｂの最下部（底部）まで戻る。このとき、実施の形態１ではばね引っかけ部５にばね３が挟まっているため、プローブピン１がバレル２から落下しないようにしていた。

これに対して本実施形態では、バレル４２の第１の垂直部４０Ｂに底部を設けることで、プローブピン１の落下を防止する。また、プローブピン１の突起４の直径と同等、もしくは溝の幅ｅとプローブピン１の突起４との間に０．１ｍｍ以下の隙間をもつ第２の傾斜部４０Ｃと、更にこの第２の傾斜部にθ_３＝２度〜５度の角度をもたせることで、プローブピン１の突起４がバレル４２の第１の垂直部４０Ｂの底部から高さａを有する部分に向けて押し込まれる際に、誤って溝の幅ｅを有する第２の傾斜部４０Ｃの方向へ押し込まれない構造となっている。また、実施の形態１と同様に、バレル４２の溝の幅ｂ、ｃとプローブピン１の突起４との間に０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの隙間を設けることで、プローブピン１がバレル４２の溝に押し込まれ、元の状態に戻る動作の際、僅かに左右方向にプローブピン１がランダムに動くことができる。従ってプローブピン１の先端と電気測定の対象物との接触面が固定されない。このように、電気測定が終了した後、プローブピン１がバレル４２の第１の垂直部４０Ｂの最下部に戻ることで、プローブピン１がバレル４２から落下することを防止することができる。

実施の形態５．
上記実施の形態４においては、ばね３はプローブピン１の上面と点もしくは面接触されており、直接接合されていない。これに対して図１６〜図１８の構造において、ばね３の端部に電気的導通がとれる、例えば銅、銀、金、スズ、鉄といった金属板６をばね３とプローブピン１の間に介在させてもよい。またバレル４２とばね３の電気的導通は、図１８に示す構造ではバレル４２とばね３が直接接触することで電気的導通をとっている。これに対して図１５に示すような金属板７をばね３とバレル４２の間に挟み、電気的導通をとるようにしてもよい。

このような構成によれば、プローブピン１の上面と金属板６が接触する面積は、ばね３と直接接触する場合の面積よりも大きくなる。また、バレル４２と金属板７が接触する面積は、ばね３と直接接触する場合の面積よりも大きくなる。
このように、バレル４２とばね３の接触面積、及びプローブピン１とばね３の接触面積が増えるので、バレル４２内部の表面仕上げに凹凸があった場合や、プローブピン１の上面の表面仕上げに凹凸があった場合でも、安定した電気的導通を取ることが可能である。さらに、金属板６および金属板７はばね３と直接接合されていないため、プローブピン１がθ_２＝５度〜３０度の範囲で回転した場合でも、ばね３は捻じれず、ばね３の劣化を抑制することが可能である。

実施の形態６．
図１９は実施の形態６によるコンタクトプローブにおけるプローブピンを示す部分斜視図、図２０は図１９における突起４をＫ方向から見た正面図である。図１９、２０において、プローブピン１の突起４には、嵌合溝６１を設けたものである。プローブピン１の突起４に設けられる嵌合溝６１の幅ｆは、バレル２の厚みｈよりも０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ大きくなるよう構成されている。このような構成によれば、実施の形態１および実施の形態４に示される構造において、プローブピン１がバレルに設けられた垂直部における高さａの最上部まで押し込まれた際に、プローブピン１の突起４がバレルの厚み部分に嵌合する。

そしてθ_１＝１０度〜１５度の角度で傾斜部に押し込まれる動作のガイドとなり、さらにθ_２＝５度〜３０度の範囲でプローブピン１が回転する際に、回転動作をガイドすることができる。図２１は、バレルに設けられた垂直部における高さａの最上部まで押し込まれた際に、プローブピン１の突起４がバレルに嵌合している状態を示す側面断面図である。
このように、プローブピン１の突起４に嵌合溝６１を設けることで、自然酸化膜の除去に必要なプローブピン１の回転をガイドできる。更に実施の形態１〜実施の形態４よりもプローブピン１が容易に回転できるため、自然酸化膜を確実に除去することが可能である。

実施の形態７．
プローブピンの突起に設けられた嵌合溝は、傾斜を有した構造でも良い。図２２は突起を示す正面図であり、図２０に対応する図である。図において突起４に傾斜嵌合溝７１が設けられている。ここで傾斜嵌合溝７１の傾斜角は、バレルに設けられた第１の傾斜部の傾斜角θ_１と同じ角度であることが望ましいが、それ以外でも良い。

このような構成によれば、プローブピン１がバレルに設けられた垂直部における高さａの最上部まで押し込まれた際に、プローブピン１の突起４がバレルに嵌合し、θ_１＝１０度〜１５度の角度で押し込まれる際に、実施の形態６の場合よりもさらに潤滑に動作することが可能である。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。

１，３１ プローブピン、２ バレル、３ ばね、４ 突起、
５，３２ ばね引っかけ部、６，７ 金属板、１０ 溝、１０Ａ 傾斜部、
１０Ｂ 垂直部、６１，７１ 嵌合溝。

Claims (7)

1. 突起を有するプローブピンと、
   内部に上記プローブピンが挿入される空洞部を有し、上記突起の移動を案内するとともに垂直部と上記垂直部の最上部から上方向に傾斜する第１の傾斜部を有する溝が設けられたバレルと、
   上記空洞部に設けられるとともに上記プローブピンの上面と上記バレルの上部との間に設けられたばねを備えたことを特徴とするコンタクトプローブ。
2. 上記突起と上記溝との間には両側各々に０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの隙間が設けられていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ。
3. 上記バレルの内部には上記ばねが挟まるようなばね引っかけ部が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のコンタクトプローブ。
4. 上記プローブピンの上面において上記ばねの直径よりも小さな内径を有するばね引っかけ部を形成するとともに、上記プローブピンの上部にキャビティを設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のコンタクトプローブ。
5. 上記垂直部に底部を設け、上記底部に接続されるとともに上記バレルの上方向に傾斜する第２の傾斜部を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のコンタクトプローブ。
6. 上記プローブピンと上記ばねの間に金属板を設けるとともに、上記ばねと上記バレルの間に金属板を設けたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
7. 上記突起には上記バレルの厚み部分に嵌合するための嵌合溝を設けたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。

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