JP2018174310A - ダイシング用保護膜剤 - Google Patents

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Prior art keywords: protective film; laser; laser light; film agent; wafer
Prior art date: 2017-03-30
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Application number

JP2018053130A

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Japanese (ja)

Inventor

吉田　正昭

Masaaki Yoshida

正昭吉田

孝広吉岡

Takahiro Yoshioka

孝広吉岡

健人安蘇谷

Kento Asoya

健人安蘇谷

Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)

Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd

Disco Corp

Original Assignee

Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd

Disco Abrasive Systems Ltd

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2017-03-30

Filing date

2018-03-20

Publication date

2018-11-08

2018-03-20 Application filed by Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd, Disco Abrasive Systems Ltd filed Critical Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd

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2018-03-30 Priority to TW107111230A priority patent/TW201903864A/zh

2018-03-30 Priority to KR1020180037101A priority patent/KR20180111677A/ko

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