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JP2018146369A - Gas concentrating device and gas concentrating method - Google Patents

Gas concentrating device and gas concentrating method Download PDF

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JP2018146369A
JP2018146369A JP2017041262A JP2017041262A JP2018146369A JP 2018146369 A JP2018146369 A JP 2018146369A JP 2017041262 A JP2017041262 A JP 2017041262A JP 2017041262 A JP2017041262 A JP 2017041262A JP 2018146369 A JP2018146369 A JP 2018146369A
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奎千 神田
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奎千 神田
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Abstract

【課題】サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度の低下を抑制可能なガス濃縮装置およびガス濃縮方法を提供する。【解決手段】ガス濃縮装置1は、サンプルガスが内部を流通するガス流路3と、ガス流路3に配置され、サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分を捕集するとともに、検知対象ガス成分を濃縮するガス捕集部5と、ガス検知装置2へ濃縮した検知対象ガス成分を流す前に、ガス捕集部5内の空気を窒素ガスに置換する置換手段とを備える。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas concentrator and a gas concentrating method capable of suppressing a decrease in detection accuracy of a gas component to be detected contained in a sample gas. SOLUTION: A gas concentrator 1 is arranged in a gas flow path 3 in which a sample gas flows inside and a gas flow path 3, collects a detection target gas component contained in the sample gas, and detects a detection target gas component. The gas collecting unit 5 is provided with a gas collecting unit 5 for concentrating the gas, and a replacement means for replacing the air in the gas collecting unit 5 with nitrogen gas before flowing the concentrated gas component to be detected to the gas detecting device 2. [Selection diagram] Fig. 1

Description

この発明は、ガス濃縮装置およびガス濃縮方法に関し、特に、サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分を濃縮するガス濃縮装置およびガス濃縮方法に関する。   The present invention relates to a gas concentrating device and a gas concentrating method, and more particularly to a gas concentrating device and a gas concentrating method for concentrating a detection target gas component contained in a sample gas.

従来、ガス(サンプルガス)に含まれる成分ガス(検知対象ガス成分)を濃縮するガス検出装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。   Conventionally, a gas detection device that concentrates a component gas (detection target gas component) contained in a gas (sample gas) is known (see, for example, Patent Document 1).

上記特許文献1に記載のガス検出装置は、通気部(ガス流路)にガスを流通させる通気手段と、ガス中に含まれる成分ガスを捕集させる吸着材(ガス捕集部)と、成分ガスを検出するガス検出部(検知部)とを備えている。上記特許文献1に記載のガス検出装置は、成分ガスを濃縮させるため、吸着材を密閉状態にする第1の開閉手段(弁部)および第2の開閉手段(弁部)と、密閉状態にした吸着材から成分ガスを脱離させる加熱部とを備えている。   The gas detection device described in Patent Document 1 includes a ventilation means for circulating gas through a ventilation section (gas flow path), an adsorbent (gas collection section) for collecting component gas contained in the gas, and a component. A gas detection unit (detection unit) for detecting gas. The gas detection apparatus described in Patent Document 1 includes a first opening / closing means (valve part) and a second opening / closing means (valve part) that seal the adsorbent in order to condense the component gas. And a heating unit for desorbing the component gas from the adsorbent.

上記特許文献1に記載のガス検出装置では、通気手段により通気部を流通するガス中の成分ガスを吸着材に捕集させ、第1の開閉手段および第2の開閉手段により吸着材を密閉状態にした後、吸着材を加熱部により加熱する。この際、ガス検出部では、加熱部の加熱により、吸着材に吸着させた成分ガスが一度に脱離し、濃縮した成分ガスが検出される。   In the gas detection device described in Patent Literature 1, the adsorbent collects the component gas in the gas flowing through the ventilation portion by the ventilation means, and the adsorbent is sealed by the first opening and closing means and the second opening and closing means. Then, the adsorbent is heated by the heating unit. At this time, in the gas detection unit, the component gas adsorbed by the adsorbent is desorbed at a time by the heating of the heating unit, and the concentrated component gas is detected.

特開2015−197400号公報JP 2015-197400 A

しかしながら、上記特許文献1に記載のガス検出装置では、吸着材に捕集された成分ガスを濃縮(加熱部により加熱)させる際、吸着材(ガス捕集部)の周りの気体と成分ガスとの反応に起因して異質な成分ガスが発生することが考えられる。このため、上記特許文献1に記載のガス検出装置のガス検出部では、ガス(サンプルガス)中に含まれる成分ガス(検知対象ガス成分)の検知精度が低下してしまうという問題点がある。   However, in the gas detection device described in Patent Document 1, when the component gas collected in the adsorbent is concentrated (heated by the heating unit), the gas around the adsorbent (gas collecting unit), the component gas, It is conceivable that heterogeneous component gases are generated due to this reaction. For this reason, in the gas detection part of the gas detection apparatus of the said patent document 1, there exists a problem that the detection precision of the component gas (detection object gas component) contained in gas (sample gas) will fall.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度の低下を抑制可能なガス濃縮装置およびガス濃縮方法を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and one object of the present invention is to provide a gas concentrator capable of suppressing a decrease in detection accuracy of a detection target gas component contained in a sample gas. And providing a gas enrichment method.

この発明の第1の局面によるガス濃縮装置は、サンプルガスが内部を流通するガス流路と、ガス流路に配置され、サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分を捕集するとともに、検知対象ガス成分を濃縮するガス捕集部と、検知部へ濃縮した検知対象ガス成分を流す前に、ガス捕集部内の気体を不活性ガスに置換する置換手段とを備える。   A gas concentrator according to a first aspect of the present invention includes a gas flow path through which a sample gas circulates and a gas flow path that is disposed in the gas flow path and collects a detection target gas component contained in the sample gas. A gas collection unit for concentrating the components and a replacement means for replacing the gas in the gas collection unit with an inert gas before flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit.

この発明の第1の局面によるガス濃縮装置は、上記のように、検知対象ガス成分を捕集するとともに濃縮するガス捕集部と、検知部へ濃縮した検知対象ガス成分を流す前に、ガス捕集部内の気体を不活性ガスに置換する置換手段とを備えている。これにより、ガス捕集部に捕集された検知対象ガス成分を濃縮させる際、置換手段によりガス捕集部内の気体が不活性ガスに置換されているので、ガス捕集部内の気体と検知対象ガス成分との反応を抑制することができる。その結果、ガス捕集部内の気体と検知対象ガス成分との反応に起因して異質なガスが発生しにくくなるので、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度の低下を抑制することができる。   As described above, the gas concentrator according to the first aspect of the present invention collects and concentrates the detection target gas component, and before flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit, the gas is collected. Substitution means for substituting the gas in the collection part with an inert gas. Thereby, when concentrating the detection target gas component collected in the gas collection unit, the gas in the gas collection unit is replaced with an inert gas by the replacement means, so the gas in the gas collection unit and the detection target Reaction with the gas component can be suppressed. As a result, it is difficult to generate a foreign gas due to the reaction between the gas in the gas collection unit and the gas component to be detected, so that it is possible to suppress a decrease in the detection accuracy of the gas component to be detected contained in the sample gas. Can do.

上記第1の局面によるガス濃縮装置において、好ましくは、ガス捕集部は、サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分を捕集するガス捕集管と、ガス捕集管に捕集された検知対象ガス成分を加熱することにより脱離させる加熱部とを含み、加熱部により検知対象ガス成分を加熱する際に、ガス捕集管に捕集された検知対象ガス成分の、上流側および下流側への流出を妨げる弁部をさらに備えている。このように構成すれば、ガス捕集管内において捕集された検知対象ガス成分が、加熱部により脱離したとしても、弁部よりも上流側および下流側に流出することを抑制することができる。これにより、加熱部により脱離した検知対象ガス成分の濃度の低下を抑制することができる。   In the gas concentrator according to the first aspect, preferably, the gas collection unit includes a gas collection tube for collecting a detection target gas component contained in the sample gas, and a detection target collected in the gas collection tube. A heating unit that desorbs the gas component by heating, and when the detection target gas component is heated by the heating unit, to the upstream side and the downstream side of the detection target gas component collected in the gas collection pipe The valve part which prevents the outflow of is further provided. If comprised in this way, even if the detection target gas component collected in the gas collection pipe is desorbed by the heating unit, it can be prevented from flowing out upstream and downstream from the valve unit. . Thereby, the fall of the density | concentration of the detection object gas component desorbed by the heating part can be suppressed.

この場合、好ましくは、濃縮した検知対象ガス成分を検知部に流した後に、ガス捕集管を加熱部により加熱しながら、ガス捕集管およびガス流路内に不活性ガスを流すことにより、ガス捕集管および弁部のクリーニングを行うクリーニング手段をさらに備えている。このように構成すれば、ガス捕集管およびガス流路内にクリーニング手段により不活性ガスが流されるので、ガス捕集管、ガス流路および弁部に残存している、検知対象ガス成分を装置外に排出することができる。これにより、ガス捕集管、ガス流路および弁部における、検知対象ガス成分の残存量を減少させることができるので、次回の検知対象ガス成分の検知において、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度が低下するのを抑制することができる。   In this case, preferably, after flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit, the inert gas is allowed to flow in the gas collection tube and the gas flow path while the gas collection tube is heated by the heating unit. A cleaning means for cleaning the gas collection tube and the valve portion is further provided. If comprised in this way, since an inert gas is poured by the cleaning means in a gas collection pipe and a gas flow path, the detection target gas component which remains in a gas collection pipe, a gas flow path, and a valve part is detected. It can be discharged out of the device. As a result, the remaining amount of the detection target gas component in the gas collection pipe, the gas flow path, and the valve portion can be reduced, so that the detection target gas contained in the sample gas will be detected in the next detection of the detection target gas component. It can suppress that the detection accuracy of a component falls.

上記第1の局面によるガス濃縮装置において、好ましくは、ガス流路内にサンプルガスを流通させるためのキャリアガスとして、不活性ガスをガス流路内に供給するキャリアガス供給部をさらに備え、キャリアガス供給部は、置換手段を兼ねるように構成されている。このように構成すれば、キャリアガス供給部が置換手段を兼ねているので、キャリアガス供給部とは別に、不活性ガスをガス捕集部に供給する手段を設ける必要がなくなる。その結果、ガス濃縮装置の構成を簡略化することができる。   The gas concentrating device according to the first aspect preferably further includes a carrier gas supply unit that supplies an inert gas into the gas channel as a carrier gas for circulating the sample gas in the gas channel, The gas supply unit is configured to also serve as a replacement unit. If comprised in this way, since the carrier gas supply part serves also as a substitution means, it becomes unnecessary to provide the means for supplying an inert gas to a gas collection part separately from a carrier gas supply part. As a result, the configuration of the gas concentrator can be simplified.

この発明の第2の局面によるガス濃縮方法は、ガス流路内を流通するサンプルガスに含まれる検知対象ガス成分をガス捕集部により捕集させるとともに、検知対象ガス成分を濃縮するステップと、検知部に濃縮した検知対象ガス成分を流すステップと、検知部へ濃縮した検知対象ガス成分を流す前に、ガス捕集部内の気体を不活性ガスに置換するステップとを備えている。   The gas concentration method according to the second aspect of the present invention includes a step of collecting the detection target gas component contained in the sample gas flowing in the gas flow path by the gas collection unit and concentrating the detection target gas component; A step of flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit; and a step of replacing the gas in the gas collection unit with an inert gas before flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit.

この発明の第2の局面によるガス濃縮方法では、上記のように、検知部へ濃縮した検知対象ガス成分を流す前に、ガス捕集部内の気体を不活性ガスに置換している。これにより、ガス捕集部に捕集された検知対象ガス成分を濃縮させる際、ガス捕集部内の気体が不活性ガスに置換されているので、ガス捕集部内の気体と検知対象ガス成分との反応を抑制することができる。その結果、ガス捕集部内の気体と検知対象ガス成分との反応に起因して異質なガスが発生しにくくなるので、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度の低下を抑制することが可能なガス濃縮方法を得ることができる。   In the gas concentration method according to the second aspect of the present invention, as described above, the gas in the gas collection unit is replaced with an inert gas before flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit. Thereby, when concentrating the detection target gas component collected in the gas collection unit, since the gas in the gas collection unit is replaced with an inert gas, the gas in the gas collection unit and the detection target gas component This reaction can be suppressed. As a result, it is difficult to generate a foreign gas due to the reaction between the gas in the gas collection unit and the gas component to be detected, so that it is possible to suppress a decrease in the detection accuracy of the gas component to be detected contained in the sample gas. Can be obtained.

上記第2の局面によるガス濃縮方法において、好ましくは、検知部に濃縮した検知対象ガス成分を流した後、ガス捕集部を加熱するとともに、ガス捕集部内およびガス流路内に不活性ガスを流して、ガス捕集部内およびガス流路内をクリーニングするステップをさらに備える。このように構成すれば、検知部に濃縮した検知対象ガス成分を流した後、不活性ガスがガス捕集管およびガス流路内に流されるので、ガス捕集管およびガス流路に残存している、検知対象ガス成分を排出することができる。これにより、ガス捕集管およびガス流路における、検知対象ガス成分の残存量を減少させることができるので、次回の検知対象ガス成分の検知において、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度が低下するのを抑制することができる。   In the gas concentration method according to the second aspect, preferably, after the concentrated gas component to be detected is flowed to the detection unit, the gas collection unit is heated, and the inert gas is contained in the gas collection unit and the gas flow path. To clean the inside of the gas collection part and the inside of the gas flow path. With this configuration, the inert gas flows in the gas collection pipe and the gas flow path after flowing the concentrated detection target gas component in the detection section, so that it remains in the gas collection pipe and the gas flow path. The detection target gas component can be discharged. As a result, the remaining amount of the detection target gas component in the gas collection pipe and the gas flow path can be reduced, so that the detection of the detection target gas component contained in the sample gas will be performed in the next detection of the detection target gas component. A decrease in accuracy can be suppressed.

本発明によれば、上記のように、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分の検知精度の低下を抑制することができる。   According to the present invention, as described above, it is possible to suppress a decrease in detection accuracy of the detection target gas component contained in the sample gas.

本発明の一実施形態によるガス濃縮装置の構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the structure of the gas concentrator by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置の制御部の構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the structure of the control part of the gas concentrator by one Embodiment of this invention. 図3(a)は、吸着材に検知対象ガス成分が捕集された状態のガス捕集部を示した断面図である。図3(b)は、吸着材から検知対象ガス成分が脱離した状態のガス捕集部を示した断面図である。図3(c)は、吸着材に検知対象ガス成分が吸着し、かつ、吸着材から検知対象ガス成分が脱離している状態のガス捕集部を示した断面図である。Fig.3 (a) is sectional drawing which showed the gas collection part of the state by which the detection target gas component was collected by the adsorbent. FIG. 3B is a cross-sectional view showing the gas collection unit in a state where the detection target gas component is desorbed from the adsorbent. FIG. 3C is a cross-sectional view illustrating the gas collection unit in a state where the detection target gas component is adsorbed on the adsorbent and the detection target gas component is desorbed from the adsorbent. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置のサンプルガス導入流路を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the sample gas introduction flow path of the gas concentration apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置の不活性ガス導入流路を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the inert gas introduction flow path of the gas concentration apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置の脱離状態を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the desorption state of the gas concentrator by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置の検知流路を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the detection flow path of the gas concentrator by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置のクリーニング流路を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the cleaning flow path of the gas concentrator by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置の第2開閉弁の内部流路を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the internal flow path of the 2nd on-off valve of the gas concentration apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるガス濃縮装置によるガス濃縮処理を示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the gas concentration process by the gas concentration apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の第1実施例によるガス濃縮装置により濃縮した、同量かつ同濃度のサンプルガスをガス検知装置において検知した結果を示したグラフである。It is the graph which showed the result which detected the sample gas of the same quantity and the same density | concentration concentrated with the gas concentration apparatus by 1st Example of this invention in the gas detection apparatus. 本発明の第2実施例によるガス濃縮装置により濃縮した、異なる量かつ同濃度のサンプルガスをガス検知装置において検知した結果を示したグラフである。It is the graph which showed the result of having detected in the gas detection apparatus the sample gas of different quantity and the same density | concentration which was concentrated with the gas concentration apparatus by 2nd Example of this invention.

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

まず、図1〜図9を参照して、本発明の本実施形態によるガス濃縮装置1の全体構成について説明する。   First, with reference to FIGS. 1-9, the whole structure of the gas concentration apparatus 1 by this embodiment of this invention is demonstrated.

(ガス濃縮装置)
ガス濃縮装置1は、図1および図2に示すように、検知対象ガス成分G1(図3参照)を濃縮し、濃縮した検知対象ガス成分G1をガス検知装置2に供給するように構成されている。具体的には、ガス濃縮装置1は、ガス流路3と、キャリアガス供給部4と、ガス捕集部5と、サンプルガス供給部6と、制御部7とを備えている。なお、ガス検知装置2は、特許請求の範囲の「検知部」の一例である。
(Gas concentrator)
As shown in FIGS. 1 and 2, the gas concentrator 1 is configured to concentrate the detection target gas component G1 (see FIG. 3) and supply the concentrated detection target gas component G1 to the gas detection device 2. Yes. Specifically, the gas concentrating device 1 includes a gas flow path 3, a carrier gas supply unit 4, a gas collection unit 5, a sample gas supply unit 6, and a control unit 7. The gas detector 2 is an example of the “detector” in the claims.

ガス流路3は、キャリアガス供給部4、ガス捕集部5、サンプルガス供給部6およびガス検知装置2を接続している。ガス流路3において、キャリアガス供給部4により供給されるキャリアガスが内部を流通する。また、ガス流路3において、サンプルガス供給部6により供給されるサンプルガスが内部を流通する。ガス流路3は、サンプルガスの流入口(サンプルガスIN)からガス捕集部5までの第1流路31と、キャリアガス供給部4からガス捕集部5までの第2流路32とを含んでいる。ガス流路3は、ガス捕集部5からサンプルガス供給部6までの第3流路33と、サンプルガス供給部6から第1流出口(OUT1)までの第4流路34を含んでいる。ガス流路3は、ガス捕集部5から第2流出口(OUT2)までの第5流路35を含んでいる。また、ガス流路3は、ガス捕集部5からガス検知装置2までの第6流路36を含んでいる。   The gas flow path 3 connects the carrier gas supply unit 4, the gas collection unit 5, the sample gas supply unit 6, and the gas detection device 2. In the gas flow path 3, the carrier gas supplied by the carrier gas supply unit 4 circulates inside. In the gas flow path 3, the sample gas supplied by the sample gas supply unit 6 circulates inside. The gas flow path 3 includes a first flow path 31 from the sample gas inlet (sample gas IN) to the gas collection section 5, and a second flow path 32 from the carrier gas supply section 4 to the gas collection section 5. Is included. The gas flow path 3 includes a third flow path 33 from the gas collection unit 5 to the sample gas supply unit 6 and a fourth flow path 34 from the sample gas supply unit 6 to the first outlet (OUT1). . The gas flow path 3 includes a fifth flow path 35 from the gas collection unit 5 to the second outlet (OUT2). Further, the gas flow path 3 includes a sixth flow path 36 from the gas collection unit 5 to the gas detection device 2.

ガス流路3には、図1に示すように、弁部8と、切換弁部9とが配置されている。弁部8は、通常時(白色により表示)において、サンプルガスおよびキャリアガスを流し、制御部7からの信号が印加されることにより、ガス流路3を遮断するように構成されている。切換弁部9は、通常時(白色により表示)において、一方側にサンプルガスまたはキャリアガスを流すように構成されている。また、切換弁部9は、制御部7からの信号が印加(以下、切換時、黒色により表示)されることにより、ガスの流通方向を切り換えて、他方側にサンプルガスまたはキャリアガスを流すように構成されている。   As shown in FIG. 1, a valve portion 8 and a switching valve portion 9 are arranged in the gas flow path 3. The valve unit 8 is configured to flow the sample gas and the carrier gas in a normal state (displayed in white) and to block the gas flow path 3 by applying a signal from the control unit 7. The switching valve unit 9 is configured to allow a sample gas or a carrier gas to flow on one side during normal times (indicated by white). Further, the switching valve unit 9 switches the gas flow direction by applying a signal from the control unit 7 (hereinafter, displayed in black at the time of switching) so that the sample gas or the carrier gas flows on the other side. It is configured.

弁部8は、図1に示すように、第1開閉弁81と、第2開閉弁82とを有している。このように、弁部8は、ガス捕集部5近傍における、サンプルガスおよびキャリアガスの上流側または下流側への流通を遮断する機能を有している。なお、第2開閉弁82は、図9に示すように、蛇行する内部流路83と、シャフト84と、ダイヤフラム85とを有している。第2開閉弁82では、シャフト84がX方向に進退(図9の二点鎖線)することにより、ダイヤフラム85が伸縮(図9の二点鎖線)し、内部流路83が開閉される。   As shown in FIG. 1, the valve unit 8 includes a first on-off valve 81 and a second on-off valve 82. As described above, the valve unit 8 has a function of blocking the flow of the sample gas and the carrier gas upstream or downstream in the vicinity of the gas collection unit 5. As shown in FIG. 9, the second on-off valve 82 has a meandering internal flow path 83, a shaft 84, and a diaphragm 85. In the second on-off valve 82, when the shaft 84 advances and retreats in the X direction (two-dot chain line in FIG. 9), the diaphragm 85 expands and contracts (two-dot chain line in FIG. 9), and the internal flow path 83 is opened and closed.

切換弁部9は、第1切換弁91と、第2切換弁92と、第3切換弁93とを有している。第1切換弁91は、通常時において、第2流路32にキャリアガスを流し、切換時において、第1流路31にサンプルガスを流すように構成されている。第2切換弁92は、通常時において、第5流路35または第6流路36にキャリアガスを流し、切換時において、第3流路33にサンプルガスを流すように構成されている。第3切換弁93は、通常時において、第6流路36にキャリアガスを流し、切換時において、第5流路35にキャリアガスを流すように構成されている。   The switching valve unit 9 includes a first switching valve 91, a second switching valve 92, and a third switching valve 93. The first switching valve 91 is configured to flow the carrier gas through the second flow path 32 during normal operation, and to flow the sample gas through the first flow path 31 during switching. The second switching valve 92 is configured to flow a carrier gas through the fifth flow path 35 or the sixth flow path 36 during normal operation and to flow a sample gas through the third flow path 33 during switching. The third switching valve 93 is configured to flow the carrier gas through the sixth flow path 36 during normal operation and to flow the carrier gas through the fifth flow path 35 during switching.

キャリアガス供給部4は、ガス流路3内にサンプルガスを流通させるため、ガス流路3内に不活性ガスであるキャリアガスを供給するように構成されている。具体的には、キャリアガス供給部4は、貯蔵部41と、第1流量制御部42と、第1バッファ43とを有している。貯蔵部41には、不活性ガスである窒素ガスが貯蔵されている。第1流量制御部42は、ガス流路3に供給する窒素ガスの流量を調節するように構成されている。第1バッファ43は、ガス流路3に供給する窒素ガスの圧力を一定に維持するため、第1流量制御部42から供給される窒素ガスを一時的に貯留するように構成されている。   The carrier gas supply unit 4 is configured to supply a carrier gas, which is an inert gas, into the gas flow path 3 in order to circulate the sample gas in the gas flow path 3. Specifically, the carrier gas supply unit 4 includes a storage unit 41, a first flow rate control unit 42, and a first buffer 43. The storage unit 41 stores nitrogen gas that is an inert gas. The first flow rate control unit 42 is configured to adjust the flow rate of nitrogen gas supplied to the gas flow path 3. The first buffer 43 is configured to temporarily store the nitrogen gas supplied from the first flow rate controller 42 in order to keep the pressure of the nitrogen gas supplied to the gas flow path 3 constant.

サンプルガス供給部6は、ガス濃縮装置1周辺の空気の一部をサンプルガスとして、流入口(サンプルガスIN)から導入してガス流路3内に供給するように構成されている。具体的には、サンプルガス供給部6は、ポンプ61と、第2流量制御部62と、第2バッファ63とを有している。ポンプ61は、ガス流路3内に供給されたサンプルガスを吸引することにより、ガス流路3内を流通させるように構成されている。第2バッファ63は、ポンプ61により吸引されたサンプルガスの圧力を一定に維持するため、サンプルガスを一時的に貯留するように構成されている。第2流量制御部62は、ガス流路3内を流通するサンプルガスの流量を調節するように構成されている。   The sample gas supply unit 6 is configured to introduce a part of the air around the gas concentrating device 1 as a sample gas from the inlet (sample gas IN) and supply it into the gas flow path 3. Specifically, the sample gas supply unit 6 includes a pump 61, a second flow rate control unit 62, and a second buffer 63. The pump 61 is configured to circulate through the gas flow path 3 by sucking the sample gas supplied into the gas flow path 3. The second buffer 63 is configured to temporarily store the sample gas in order to keep the pressure of the sample gas sucked by the pump 61 constant. The second flow rate control unit 62 is configured to adjust the flow rate of the sample gas flowing through the gas flow path 3.

ガス捕集部5は、ガス流路3に配置され、サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分G1(トルエン、メチルベンゼン、メタキシレン、オルトキシレン)を捕集するとともに、検知対象ガス成分G1を濃縮するように構成されている。具体的には、図3に示すように、ガス捕集部5は、ガス捕集管51と、加熱部52と、断熱材53とを含んでいる。ガス捕集管51は、図3(a)に示すように、内部空間に充填される吸着材54により、サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分G1を捕集するように構成されている。ガス捕集管51は、金属製であり円筒状に形成されている。吸着材54は、カーボンナノチューブにより形成され、検知対象ガス成分G1を捕集する機能を有している。   The gas collection unit 5 is disposed in the gas flow path 3 and collects the detection target gas component G1 (toluene, methylbenzene, metaxylene, orthoxylene) contained in the sample gas and concentrates the detection target gas component G1. Is configured to do. Specifically, as shown in FIG. 3, the gas collection unit 5 includes a gas collection tube 51, a heating unit 52, and a heat insulating material 53. As shown in FIG. 3A, the gas collection tube 51 is configured to collect the detection target gas component G1 contained in the sample gas by the adsorbent 54 filled in the internal space. The gas collection tube 51 is made of metal and is formed in a cylindrical shape. The adsorbent 54 is formed of carbon nanotubes and has a function of collecting the detection target gas component G1.

加熱部52は、図3(b)に示すように、ガス捕集管51に捕集された検知対象ガス成分G1を加熱することにより、吸着材54から脱離させる機能を有している。加熱部52は、ガス捕集管51の外周面に巻き付けることにより、ガス捕集管51に取り付けられている。加熱部52は、ガス捕集管51を介して吸着材54を約270℃まで加熱する。加熱部52は、検知対象ガス成分G1を加熱するためのフィルムヒーターを有している。断熱材53は、加熱部52により発生する熱をガス捕集管51に効率よく伝導させる機能を有している。断熱材53は、加熱部52の外周面に巻き付けることにより、ガス捕集管51に取り付けられている。断熱材53は、シリコンシートを有している。ここで、加熱部52の加熱により、吸着材54が検知対象ガス成分G1を脱離させる脱離状態とは、図3(b)に示すように、吸着材54に吸着した検知対象ガス成分G1のすべてが脱離する状態だけでなく、図3(c)に示すように、吸着材54に吸着したうちの多くの検知対象ガス成分G1が脱離し、その一方において、吸着材54へ検知対象ガス成分G1が吸着しているという状態を含む広い概念である。   As shown in FIG. 3B, the heating unit 52 has a function of desorbing from the adsorbent 54 by heating the detection target gas component G <b> 1 collected in the gas collection tube 51. The heating unit 52 is attached to the gas collection tube 51 by being wound around the outer peripheral surface of the gas collection tube 51. The heating unit 52 heats the adsorbent 54 to about 270 ° C. via the gas collection tube 51. The heating unit 52 includes a film heater for heating the detection target gas component G1. The heat insulating material 53 has a function of efficiently conducting the heat generated by the heating unit 52 to the gas collection tube 51. The heat insulating material 53 is attached to the gas collection tube 51 by being wound around the outer peripheral surface of the heating unit 52. The heat insulating material 53 has a silicon sheet. Here, the desorption state in which the adsorbent 54 desorbs the detection target gas component G1 due to the heating of the heating unit 52 is the detection target gas component G1 adsorbed on the adsorbent 54 as shown in FIG. As shown in FIG. 3C, many of the detection target gas components G1 adsorbed on the adsorbent 54 are desorbed and, on the other hand, are detected on the adsorbent 54. This is a broad concept including a state where the gas component G1 is adsorbed.

本実施形態のガス濃縮装置1は、検知対象ガス成分G1を加熱部52により加熱する前に、ガス捕集管51内の空気を不活性ガスである窒素ガスに置換するように構成されている。これにより、ガス濃縮装置1では、ガス捕集管51を加熱部52により加熱し、検知対象ガス成分G1を吸着材54から脱離させる際、検知対象ガス成分G1と空気中の酸素との化学反応に起因する、異質なガス成分の発生を抑制している。以下、ガス濃縮装置1における、ガス捕集管51内の空気を窒素ガスに置換する制御手段について説明する。なお、空気は、特許請求の範囲の「気体」の一例である。   The gas concentrator 1 according to the present embodiment is configured to replace the air in the gas collection pipe 51 with nitrogen gas, which is an inert gas, before the detection target gas component G1 is heated by the heating unit 52. . Thereby, in the gas concentrator 1, when the gas collection pipe 51 is heated by the heating unit 52 and the detection target gas component G1 is desorbed from the adsorbent 54, the chemistry of the detection target gas component G1 and oxygen in the air is performed. Generation of extraneous gas components due to the reaction is suppressed. Hereinafter, the control means for replacing the air in the gas collection pipe 51 with nitrogen gas in the gas concentrator 1 will be described. Air is an example of “gas” in the claims.

制御部7は、図2に示すように、サンプル手段71、置換手段72、脱離手段73、検知手段74およびクリーニング手段75を制御する機能を有している。具体的には、制御部7は、ポンプ61、弁部8、切換弁部9、第1流量制御部42、第2流量制御部62および加熱部52に電気的に接続され、それぞれを制御している。   As shown in FIG. 2, the control unit 7 has a function of controlling the sample means 71, the replacement means 72, the detachment means 73, the detection means 74, and the cleaning means 75. Specifically, the control unit 7 is electrically connected to the pump 61, the valve unit 8, the switching valve unit 9, the first flow rate control unit 42, the second flow rate control unit 62, and the heating unit 52, and controls each of them. ing.

サンプル手段71は、図4に示すように、第1流路31、第3流路33および第4流路34の順にサンプルガスを流し、ガス捕集部5に検知対象ガス成分G1を捕集させるように構成されている。具体的には、図2に示すように、サンプル手段71は、ポンプ61と、切換弁部9(第1切換弁91および第2切換弁92)と第2流量制御部62とを含んでいる。制御部7によりサンプル手段71は、図4に示すように、第1切換弁91および第2切換弁92を、切換時の状態に切り換えて、サンプルガスを流す流路であるサンプルガス導入流路を形成する。これにより、ポンプ61の吸引によって、第1流路31にサンプルガスを流して、ガス捕集部5に検知対象ガス成分G1を吸着させることが可能となる。また、サンプル手段71は、第2流量制御部62により、サンプルガス導入流路内を流れるサンプルガスの流量を調節している。   As shown in FIG. 4, the sample means 71 causes the sample gas to flow in the order of the first flow path 31, the third flow path 33, and the fourth flow path 34, and collects the detection target gas component G <b> 1 in the gas collection unit 5. It is configured to let you. Specifically, as shown in FIG. 2, the sample means 71 includes a pump 61, a switching valve unit 9 (first switching valve 91 and second switching valve 92), and a second flow rate control unit 62. . As shown in FIG. 4, the control means 7 causes the sample means 71 to switch the first switching valve 91 and the second switching valve 92 to the state at the time of switching and to flow a sample gas through the sample gas introduction channel. Form. As a result, the sample gas can flow through the first flow path 31 by the suction of the pump 61, and the gas collection unit 5 can adsorb the detection target gas component G <b> 1. Further, the sample means 71 adjusts the flow rate of the sample gas flowing in the sample gas introduction flow path by the second flow rate control unit 62.

置換手段72は、図5に示すように、ガス検知装置2(図1参照)へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流す前(吸着材54に捕集された検知対象ガス成分G1を加熱する前)に、ガス捕集部5内の空気を窒素ガスに置換するように構成されている。具体的には、置換手段72は、図2に示すように、切換弁部9(第3切換弁93)と、第1流量制御部42とを含んでいる。制御部7により置換手段72は、図5に示すように、第3切換弁93を切換時の状態に切り換えて、ガス検知装置2へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流す前に、ガス捕集管51内の空気を窒素ガスに置換するための流路である不活性ガス導入流路を形成する。これにより、キャリアガス供給部4によって、第2流路32に窒素ガスを流して、ガス捕集部5のガス捕集管51内の空気を窒素ガスに置換させることが可能となる。また、置換手段72は、第1流量制御部42により不活性ガス導入流路内を流れる窒素ガスの流量を調節している。このように、置換手段72は、キャリアガス供給部4を用いて、ガス捕集部5内の空気を窒素ガスに置換しており、キャリアガス供給部4は置換手段72を兼ねるように構成されている。   As shown in FIG. 5, the replacement unit 72 is configured to flow the concentrated detection target gas component G1 to the gas detection device 2 (see FIG. 1) (before heating the detection target gas component G1 collected by the adsorbent 54). ), The air in the gas collection unit 5 is replaced with nitrogen gas. Specifically, as shown in FIG. 2, the replacement unit 72 includes a switching valve unit 9 (third switching valve 93) and a first flow rate control unit 42. As shown in FIG. 5, the replacement unit 72 by the control unit 7 switches the third switching valve 93 to the state at the time of switching and collects the gas to be detected G2 before flowing the concentrated detection target gas component G <b> 1. An inert gas introduction channel, which is a channel for replacing the air in the pipe 51 with nitrogen gas, is formed. Thus, the carrier gas supply unit 4 allows nitrogen gas to flow through the second flow path 32 to replace the air in the gas collection pipe 51 of the gas collection unit 5 with nitrogen gas. The replacement means 72 adjusts the flow rate of nitrogen gas flowing in the inert gas introduction flow path by the first flow rate control unit 42. As described above, the replacement unit 72 uses the carrier gas supply unit 4 to replace the air in the gas collection unit 5 with nitrogen gas, and the carrier gas supply unit 4 is configured to also serve as the replacement unit 72. ing.

脱離手段73は、図6に示すように、ガス捕集管51内の気体を置換手段72により窒素に置換した後、吸着材54に捕集された検知対象ガス成分G1を吸着材54から脱離させるように構成されている。具体的には、脱離手段73は、図2に示すように、弁部8(第1開閉弁81および第2開閉弁82)と、加熱部52とを含んでいる。制御部7により脱離手段73は、図6に示すように、第1開閉弁81および第2開閉弁82を用いて、第2流路32および第5流路35のそれぞれを遮断し、加熱部52によりガス捕集管51を加熱する。脱離手段73は、加熱部52により検知対象ガス成分G1を加熱する際に、ガス捕集管51に捕集された検知対象ガス成分G1の、第1開閉弁81よりも上流側、および、第2開閉弁82よりも下流側への流出を妨げる機能を有している。このように、脱離手段73により、吸着材54に捕集された検知対象ガス成分G1を吸着材54から脱離(図3(b)参照)させるとともに、ガス捕集管51内に脱離した検知対象ガス成分G1が留まることによって、検知対象ガス成分G1を濃縮させることが可能となる。   As shown in FIG. 6, the desorption means 73 replaces the gas in the gas collection pipe 51 with nitrogen by the replacement means 72, and then detects the detection target gas component G <b> 1 collected by the adsorbent 54 from the adsorbent 54. It is configured to desorb. Specifically, as shown in FIG. 2, the detaching means 73 includes a valve unit 8 (first on-off valve 81 and second on-off valve 82) and a heating unit 52. As shown in FIG. 6, the detaching means 73 by the control unit 7 uses the first on-off valve 81 and the second on-off valve 82 to block each of the second flow path 32 and the fifth flow path 35 and heat it. The gas collection tube 51 is heated by the unit 52. The desorption means 73 is configured such that when the detection target gas component G1 is heated by the heating unit 52, the detection target gas component G1 collected in the gas collection pipe 51 is upstream of the first on-off valve 81, and The second on-off valve 82 has a function of preventing the outflow to the downstream side. In this way, the desorption means 73 desorbs the detection target gas component G1 collected in the adsorbent 54 from the adsorbent 54 (see FIG. 3B) and desorbs it in the gas collection tube 51. By staying the detected gas component G1 detected, it is possible to concentrate the detected gas component G1.

検知手段74は、図7に示すように、ガス検知装置2へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流し、検知対象ガス成分G1をガス検知装置2に検知させるように構成されている。具体的には、検知手段74は、図2に示すように、第1流量制御部42を含んでいる。制御部7により検知手段74は、図7に示すように、切換弁部9を切り換えず、ガス検知装置2へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流す検知流路を形成している。検知手段74は、第1流量制御部42により検知流路内を流れる窒素ガスの流量を調節している。そして、吸着材54から脱離した検知対象ガス成分G1を、ガス検知装置2において検知させることが可能となる。   As shown in FIG. 7, the detection means 74 is configured to flow the detection target gas component G <b> 1 concentrated in the gas detection device 2 and cause the gas detection device 2 to detect the detection target gas component G <b> 1. Specifically, the detection means 74 includes a first flow rate control unit 42 as shown in FIG. As shown in FIG. 7, the detection means 74 by the control unit 7 forms a detection flow path for flowing the detection target gas component G <b> 1 to the gas detection device 2 without switching the switching valve unit 9. The detection means 74 adjusts the flow rate of nitrogen gas flowing in the detection flow path by the first flow rate control unit 42. The detection target gas component G1 desorbed from the adsorbent 54 can be detected by the gas detection device 2.

クリーニング手段75は、図8に示すように、ガス検知装置2(図1参照)へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流した後に、ガス捕集管51を加熱部52により加熱しながら、ガス流路3およびガス捕集管51内に窒素ガスを流し、ガス流路3、ガス捕集管51、弁部8および切換弁部9内のクリーニングを行うように構成されている。具体的には、クリーニング手段75は、図2に示すように、切換弁部9(第3切換弁93)と、加熱部52と、第1流量制御部42とを含んでいる。制御部7によりクリーニング手段75は、図8に示すように、第3切換弁93を用いて、切換時の状態に切り換えて、ガス流路3およびガス捕集管51内に残存している検知対象ガス成分G1を排出するための流路であるクリーニング流路を形成している。   As shown in FIG. 8, the cleaning unit 75 flows the gas detection pipe G1 to the gas detector 2 (see FIG. 1). Nitrogen gas is allowed to flow through the passage 3 and the gas collection pipe 51, and the gas flow path 3, the gas collection pipe 51, the valve portion 8 and the switching valve portion 9 are cleaned. Specifically, as shown in FIG. 2, the cleaning means 75 includes a switching valve unit 9 (third switching valve 93), a heating unit 52, and a first flow rate control unit 42. As shown in FIG. 8, the control means 7 causes the cleaning means 75 to switch to the state at the time of switching using the third switching valve 93, and to detect remaining in the gas flow path 3 and the gas collection pipe 51. A cleaning flow path that is a flow path for discharging the target gas component G1 is formed.

クリーニング手段75は、図9に示すように、クリーニング流路に窒素ガスを流すことにより、第2開閉弁82内の窒素ガスの流路に残存している検知対象ガス成分G1(D1〜D8)を排出する機能を有している。   As shown in FIG. 9, the cleaning means 75 causes the nitrogen gas to flow through the cleaning flow path, thereby detecting the detection target gas components G1 (D1 to D8) remaining in the flow path of the nitrogen gas in the second on-off valve 82. It has a function to discharge.

また、クリーニング手段75は、第1流量制御部42によりクリーニング流路内を流れる窒素ガスの流量を調節している。クリーニング手段75は、初期の窒素ガスの流量を他の時点の流量よりも大きくなるように、第1流量制御部42を制御することにより、ガス流路3およびガス捕集管51内に残存している検知対象ガス成分G1の排出効率を向上させることが可能となっている。   The cleaning means 75 adjusts the flow rate of nitrogen gas flowing in the cleaning flow path by the first flow rate control unit 42. The cleaning means 75 remains in the gas flow path 3 and the gas collection pipe 51 by controlling the first flow rate control unit 42 so that the initial flow rate of the nitrogen gas is larger than the flow rate at other time points. It is possible to improve the discharge efficiency of the detection target gas component G1.

(ガス検知装置)
ガス検知装置2は、図1に示すように、ガス濃縮装置1により濃縮された検知対象ガス成分G1を検知するように構成されている。具体的には、ガス検知装置2は、複数の検知対象ガス成分G1のそれぞれを検知する検知部20と、複数の検知対象ガス成分G1のそれぞれが検知部20を通過するタイミングを異ならせる分離カラム21とを含んでいる。
(Gas detection device)
As shown in FIG. 1, the gas detection device 2 is configured to detect the detection target gas component G <b> 1 concentrated by the gas concentration device 1. Specifically, the gas detection device 2 includes a detection unit 20 that detects each of the plurality of detection target gas components G1 and a separation column that varies the timing at which each of the plurality of detection target gas components G1 passes through the detection unit 20. 21.

(ガス濃縮処理)
次に、図10を参照して、本発明の一実施形態によるガス濃縮装置1のガス濃縮処理(ガス濃縮方法)について説明する。
(Gas concentration treatment)
Next, with reference to FIG. 10, the gas concentration process (gas concentration method) of the gas concentration apparatus 1 by one Embodiment of this invention is demonstrated.

ガス濃縮装置1のガス濃縮処理では、ステップS1において、サンプル手段71を用いて、ガス流路3をサンプルガス導入流路(図4参照)に切り換える。ステップS2において、サンプルガスをサンプルガス供給部6のポンプ61により吸引し、サンプルガス導入流路内にサンプルガスを流す。ステップS3において、サンプルガス導入流路内において、ガス捕集管51内の吸着材54に検知対象ガス成分G1を捕集させる。   In the gas concentration process of the gas concentrator 1, the gas channel 3 is switched to the sample gas introduction channel (see FIG. 4) using the sample means 71 in step S1. In step S2, the sample gas is sucked by the pump 61 of the sample gas supply unit 6, and the sample gas is caused to flow into the sample gas introduction channel. In step S3, the detection target gas component G1 is collected by the adsorbent 54 in the gas collection tube 51 in the sample gas introduction channel.

ステップS4において、置換手段72を用いて、ガス流路3を不活性ガス導入流路(図5参照)に切り換える。ステップS5において、キャリアガス供給部4により窒素ガスを不活性ガス導入流路に流し、ガス捕集管51内の空気を窒素ガスに置換する。ステップS6において、ガス流路3を脱離手段73を用いて、弁部8を閉じる(図6参照)。ステップS7において、ガス捕集管51を加熱部52により加熱することにより、検知対象ガス成分G1を吸着材54から脱離させ、検知対象ガス成分G1を濃縮する。ステップS8において、脱離手段73を用いて、弁部8を開くことにより、ガス捕集管51を開放する。これにより、吸着材54から脱離した検知対象ガス成分G1が第2開閉弁82よりも下流側に流れることが可能となる。   In step S4, the gas passage 3 is switched to the inert gas introduction passage (see FIG. 5) using the replacement means 72. In step S5, nitrogen gas is caused to flow through the inert gas introduction channel by the carrier gas supply unit 4, and the air in the gas collection pipe 51 is replaced with nitrogen gas. In step S6, the valve 8 is closed using the desorption means 73 in the gas flow path 3 (see FIG. 6). In step S7, the gas collection tube 51 is heated by the heating unit 52, thereby desorbing the detection target gas component G1 from the adsorbent 54 and concentrating the detection target gas component G1. In step S <b> 8, the gas collection pipe 51 is opened by opening the valve unit 8 using the desorption means 73. Thus, the detection target gas component G1 desorbed from the adsorbent 54 can flow downstream from the second on-off valve 82.

ステップS9において、検知手段74を用いて、ガス流路3を検知流路(図7参照)に切り換える。ステップS10において、キャリアガス供給部4を用いて検知流路に窒素ガスを流し、ガス検知装置2に濃縮した検知対象ガス成分G1を流す。これにより、ガス検知装置2は、図11および図12に示すように、検知対象ガス成分G1を検知する。   In step S9, the gas flow path 3 is switched to the detection flow path (see FIG. 7) using the detection means 74. In step S <b> 10, nitrogen gas is caused to flow through the detection flow path using the carrier gas supply unit 4, and the concentrated detection target gas component G <b> 1 is caused to flow into the gas detection device 2. Thereby, the gas detection apparatus 2 detects the detection target gas component G1 as shown in FIG. 11 and FIG.

ステップS11において、クリーニング手段75を用いてガス流路3をクリーニング流路(図8参照)に切り換える。ステップS12において、クリーニング手段75を用いて加熱部52によりガス捕集管51を加熱しながら、ガス捕集管51およびクリーニング流路内に窒素ガスを流すことにより、ガス流路3およびガス捕集管51内のクリーニングを行う。その後、ガス濃縮装置1のガス濃縮処理が終了される。   In step S11, the gas channel 3 is switched to the cleaning channel (see FIG. 8) using the cleaning means 75. In step S12, while the gas collecting tube 51 is heated by the heating unit 52 using the cleaning means 75, nitrogen gas is allowed to flow in the gas collecting tube 51 and the cleaning flow channel, whereby the gas flow channel 3 and the gas collecting gas are collected. The inside of the pipe 51 is cleaned. Then, the gas concentration process of the gas concentration apparatus 1 is complete | finished.

(本実施形態の効果)
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of this embodiment)
In the present embodiment, the following effects can be obtained.

本実施形態では、上記のように、ガス濃縮装置1は、検知対象ガス成分G1を捕集するとともに濃縮するガス捕集部5と、検知部20へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流す前に、ガス捕集部5内の気体を窒素ガスに置換する置換手段72とを備えている。これにより、ガス捕集部5に捕集された検知対象ガス成分G1を濃縮させる際、置換手段72によりガス捕集部5内の気体が窒素ガスに置換されているので、ガス捕集部5内の気体と検知対象ガス成分G1との反応を抑制することができる。この結果、ガス捕集部5内の気体と検知対象ガス成分G1との化学反応により異質なガスが発生しにくくなるので、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分G1の検知精度の低下を抑制することができる。   In the present embodiment, as described above, the gas concentrator 1 collects and concentrates the detection target gas component G1 and the concentrated gas to be detected G1 to the detection unit 20 before flowing the detection target gas component G1. And replacement means 72 for replacing the gas in the gas collection part 5 with nitrogen gas. Thereby, when concentrating the detection target gas component G1 collected in the gas collection unit 5, the gas in the gas collection unit 5 is replaced by nitrogen gas by the replacement unit 72. The reaction between the gas inside and the detection target gas component G1 can be suppressed. As a result, since a heterogeneous gas is less likely to be generated due to a chemical reaction between the gas in the gas collection unit 5 and the detection target gas component G1, a decrease in detection accuracy of the detection target gas component G1 contained in the sample gas is suppressed. can do.

また、本実施形態では、上記のように、ガス捕集管51内の吸着材54において、捕集された検知対象ガス成分G1が、加熱部52の加熱により吸着材54から脱離したとしても、ガス流路3において第1開閉弁81よりも上流側および第2開閉弁82よりも下流側に、流出することを抑制することができる。これにより、加熱部52により脱離した検知対象ガス成分G1の濃度の低下を抑制することができる。   Further, in the present embodiment, as described above, even if the detected gas component G1 collected in the adsorbent 54 in the gas collection pipe 51 is desorbed from the adsorbent 54 due to the heating of the heating unit 52. In the gas flow path 3, it is possible to suppress the outflow to the upstream side of the first on-off valve 81 and the downstream side of the second on-off valve 82. Thereby, the fall of the density | concentration of the detection target gas component G1 desorbed by the heating part 52 can be suppressed.

また、本実施形態では、上記のように、濃縮された検知対象ガス成分G1をガス検知装置2に流した後、加熱部52により加熱されているガス捕集管51およびガス流路3内に、クリーニング手段75により窒素ガスを流している。これにより、ガス捕集管51、ガス流路3および弁部8に残存している、検知対象ガス成分G1を第2流出口から排出することができる。この結果、ガス捕集管51、ガス流路3、弁部8および切換弁部9における、検知対象ガス成分G1の残存量を減少させることができるので、次回の検知対象ガス成分G1の検知において、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分G1の検知精度の低下を抑制させることができる。   Further, in the present embodiment, as described above, after the concentrated detection target gas component G1 is flowed to the gas detection device 2, the gas collection pipe 51 and the gas flow path 3 heated by the heating unit 52 are placed in the gas detection device 2. Nitrogen gas is supplied by the cleaning means 75. Thereby, the detection target gas component G1 remaining in the gas collection pipe 51, the gas flow path 3, and the valve portion 8 can be discharged from the second outlet. As a result, since the remaining amount of the detection target gas component G1 in the gas collection pipe 51, the gas flow path 3, the valve portion 8, and the switching valve portion 9 can be reduced, the next detection target gas component G1 is detected. And the fall of the detection precision of the detection target gas component G1 contained in sample gas can be suppressed.

また、本実施形態では、上記のように、キャリアガス供給部4が置換手段72を兼ねているので、キャリアガス供給部4とは別に、窒素ガスをガス捕集管51に供給する手段を設ける必要がなくなり、ガス濃縮装置1の構成を簡略化することができる。   In the present embodiment, as described above, since the carrier gas supply unit 4 also serves as the replacement unit 72, a unit for supplying nitrogen gas to the gas collection pipe 51 is provided separately from the carrier gas supply unit 4. This is unnecessary, and the configuration of the gas concentrator 1 can be simplified.

本実施形態では、上記のように、ガス検知装置2へ濃縮した検知対象ガス成分G1を流す前に、ガス捕集管51内の気体を窒素ガスに置換している。これにより、ガス捕集管51の吸着材54に捕集された検知対象ガス成分G1を濃縮させる際、ガス捕集管51内の気体が窒素ガスに置換されているので、ガス捕集管51内の気体と検知対象ガス成分G1との反応を抑制することができる。この結果、ガス捕集管51内の気体と検知対象ガス成分G1との反応により異質なガスが発生しにくくなるので、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分G1の検知精度の低下を抑制することが可能なガス濃縮方法を得ることができる。   In the present embodiment, as described above, the gas in the gas collection tube 51 is replaced with nitrogen gas before flowing the concentrated detection target gas component G1 to the gas detection device 2. Thus, when the detection target gas component G1 collected by the adsorbent 54 of the gas collection tube 51 is concentrated, the gas in the gas collection tube 51 is replaced with nitrogen gas. The reaction between the gas inside and the detection target gas component G1 can be suppressed. As a result, the gas in the gas collection pipe 51 and the detection target gas component G1 are less likely to generate a foreign gas, thereby suppressing a decrease in detection accuracy of the detection target gas component G1 contained in the sample gas. Gas enrichment methods that are possible.

また、本実施形態では、上記のように、ガス検知装置2に濃縮した検知対象ガス成分G1を流した後、ガス捕集管51およびガス流路3内に窒素ガスが流される。これにより、ガス捕集管51およびガス流路3に残存している、検知対象ガス成分G1を第2流出口から排出することができる。この結果、ガス捕集管51およびガス流路3における、検知対象ガス成分G1の残存量を減少させることができるので、サンプルガス中に含まれる検知対象ガス成分G1の検知精度の低下を抑制することができる。   In the present embodiment, as described above, after the concentrated detection target gas component G <b> 1 is flowed to the gas detection device 2, nitrogen gas is flowed into the gas collection pipe 51 and the gas flow path 3. Thereby, the detection target gas component G1 remaining in the gas collection pipe 51 and the gas flow path 3 can be discharged from the second outlet. As a result, since the remaining amount of the detection target gas component G1 in the gas collection pipe 51 and the gas flow path 3 can be reduced, a decrease in detection accuracy of the detection target gas component G1 contained in the sample gas is suppressed. be able to.

[実施例]
次に、図11および図12を参照して、上記実施形態のガス濃縮装置1とガス検知装置2とを用いて、実際の所定の濃度のトルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンを含むのミキシングガスを検知した実験について簡単に説明する。
[Example]
Next, referring to FIG. 11 and FIG. 12, using the gas concentrating device 1 and the gas detecting device 2 of the above embodiment, the actual predetermined concentrations of toluene, methylbenzene, metaxylene and orthoxylene are included. An experiment in which mixing gas is detected will be briefly described.

<第1実施例>
まず、第1実施例について説明する。第1実施例では、ミキシングガス(サンプルガス)を複数回(4回)濃縮および検出を行った場合でも、ガス濃縮装置1により濃縮された検知対象ガス成分G1を、ガス検知装置2において精度よく検知できるかを確認するのを目的としている。ミキシングガスは、総量が400mlであり、ミキシングガスの検知対象ガス成分G1である、トルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンの濃度を、100ppbとした。このような、ミキシングガスを4回計測した。具体的には、ガス濃縮装置1を用いてミキシングガスを濃縮させ、ガス検知装置2を用いて濃縮した検知対象ガス成分G1を検知した。その後、ガス濃縮装置1において、クリーニング手段75によりクリーニングを行い、同濃度かつ同量のミキシングガスを、同様にガス濃縮装置1を用いて濃縮させ、ガス検知装置2を用いて濃縮した検知対象ガス成分G1を検知した。これらの、ガス濃縮装置1による濃縮、ガス検知装置2による検知、および、クリーニング手段75によるクリーニングを計4回行い、それぞれの検知結果を比較した。
<First embodiment>
First, the first embodiment will be described. In the first embodiment, even when the mixing gas (sample gas) is concentrated and detected a plurality of times (four times), the detection target gas component G1 concentrated by the gas concentrator 1 is accurately detected in the gas detector 2. The purpose is to check whether it can be detected. The total amount of the mixing gas was 400 ml, and the concentrations of toluene, methylbenzene, metaxylene, and orthoxylene, which are detection target gas components G1 of the mixing gas, were set to 100 ppb. Such mixing gas was measured four times. Specifically, the mixing gas was concentrated using the gas concentrating device 1 and the detection target gas component G1 concentrated using the gas detecting device 2 was detected. Thereafter, in the gas concentrator 1, cleaning is performed by the cleaning means 75, and the mixing gas having the same concentration and the same amount is condensed using the gas concentrator 1 and concentrated using the gas detector 2. Component G1 was detected. These concentration by the gas concentrator 1, detection by the gas detector 2, and cleaning by the cleaning means 75 were performed a total of four times, and the respective detection results were compared.

(測定結果)
1回目〜4回目のミキシングガスの検知結果を図11に示す。
(Measurement result)
FIG. 11 shows the first to fourth mixing gas detection results.

検知結果としては、1回目〜4回目のいずれにおいても、ガス検知装置2の検知結果は同じような波形を検知している。これは、連続的にガス濃縮装置1を使用しても、濃縮したトルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンの濃度が同程度であったことを示しており、その結果、検知に再現性があることが確認できた。また、ガス濃縮装置1において、ガス流路3およびガス捕集管51内に残存したトルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンを、クリーニング手段75により毎回排出させることが可能なことが確認できた。   As a detection result, the detection result of the gas detection device 2 detects the same waveform in any of the first to fourth times. This indicates that the concentrations of concentrated toluene, methylbenzene, meta-xylene and ortho-xylene were similar even when the gas concentrator 1 was continuously used, and as a result, the detection was reproducible. It was confirmed that there was. Further, in the gas concentrator 1, it was confirmed that the toluene, methylbenzene, metaxylene and orthoxylene remaining in the gas flow path 3 and the gas collection pipe 51 can be discharged every time by the cleaning means 75. .

<第2実施例>
次に、第2実施例について説明する。第2実施例では、複数(3種類)のミキシングガスの異なる総量に応じて、ガス検知装置2により検知される検知対象ガス成分G1の量が、異なるか否かを調べるのを目的としている。複数のミキシングガスのそれぞれは、総量が1600ml、800mlおよび400mlであり、ミキシングガスの検知対象ガス成分G1である、トルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンの濃度を、100ppbとした。このような、複数のミキシングガスをそれぞれ計測した。
<Second embodiment>
Next, a second embodiment will be described. The second embodiment is intended to examine whether or not the amount of the detection target gas component G1 detected by the gas detection device 2 differs depending on the different total amounts of a plurality (three types) of mixing gases. Each of the plurality of mixing gases has a total amount of 1600 ml, 800 ml, and 400 ml, and the concentrations of toluene, methylbenzene, metaxylene, and orthoxylene, which are detection gas components G1 of the mixing gas, were set to 100 ppb. A plurality of such mixing gases were measured.

(測定結果)
総量の異なる3種類のミキシングガスの検知結果を図12に示す。
(Measurement result)
FIG. 12 shows the detection results of three types of mixing gases having different total amounts.

検知結果としては、3種類のミキシングガスの検知結果では、ガス検知装置2の検知結果は異なる波形を検知している。すなわち、3種類のミキシングガスの検知結果は、ミキシングガスの総量が少なくなるにしたがい、検知したトルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンの検知電圧が一定の割合で小さくなっている。これにより、ミキシングガスの量が小さくなったとしても、トルエン、メチルベンゼン、メタキシレンおよびオルトキシレンをガス濃縮装置1を用いて濃縮することにより、正確な量を測定可能なことが確認できた。   As detection results, the detection results of the three types of mixing gas detect different waveforms in the detection results of the gas detection device 2. That is, in the detection results of the three types of mixing gas, the detected voltages of detected toluene, methylbenzene, meta-xylene and ortho-xylene decrease at a constant rate as the total amount of mixing gas decreases. Thereby, even if the amount of the mixing gas was reduced, it was confirmed that an accurate amount could be measured by concentrating toluene, methylbenzene, metaxylene and orthoxylene using the gas concentrator 1.

(変形例)
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
(Modification)
The embodiments and examples disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments and examples but by the scope of claims for patent, and includes all modifications (modifications) within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

たとえば、上記実施形態では、脱離手段73が、吸着材54から検知対象ガス成分G1を脱離させるため加熱部52を有しているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、脱離手段が、ガス捕集管内の空気を圧縮し、ガス捕集管内を高温にする圧縮部を有していてもよい。   For example, in the above embodiment, the desorption means 73 includes the heating unit 52 for desorbing the detection target gas component G1 from the adsorbent 54, but the present invention is not limited to this. For example, the desorption means may have a compression unit that compresses the air in the gas collection tube and raises the temperature in the gas collection tube.

また、上記実施形態では、キャリアガス供給部4が、ガス捕集管51内の空気を窒素ガスに置換するための置換手段72を兼ねているが、本発明はこれに限定されない。本発明では、キャリアガス供給部が、置換手段を兼ねていなくともよい。つまり、ガス流路にキャリアガスを供給するキャリアガス供給部とは別に、ガス捕集管内の空気を不活性ガスに置換する不活性ガス供給部を備えていてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the carrier gas supply part 4 serves as the replacement means 72 for replacing the air in the gas collection pipe | tube 51 with nitrogen gas, this invention is not limited to this. In the present invention, the carrier gas supply unit does not have to serve as a replacement unit. That is, in addition to the carrier gas supply unit that supplies the carrier gas to the gas flow path, an inert gas supply unit that replaces the air in the gas collection tube with an inert gas may be provided.

また、上記実施形態では、キャリアガス供給部4が、ガス流路3およびガス捕集管51内に残存している検知対象ガス成分G1をクリーニングするため、窒素ガスをガス流路3およびガス捕集管51に流すクリーニング手段75を兼ねているが、本発明はこれに限定されない。本発明では、キャリアガス供給部が、クリーニング手段を兼ねていなくともよい。つまり、ガス流路にキャリアガスを供給するキャリアガス供給部とは別に、ガス捕集管内の残存しているサンプルガスをクリーニングするため、不活性ガスをガス流路に供給する不活性ガス供給部を備えていてもよい。   Further, in the above embodiment, the carrier gas supply unit 4 cleans the detection target gas component G1 remaining in the gas flow path 3 and the gas collection pipe 51, so Although it also serves as the cleaning means 75 that flows through the collecting pipe 51, the present invention is not limited to this. In the present invention, the carrier gas supply unit does not have to serve as the cleaning unit. That is, in addition to the carrier gas supply unit that supplies the carrier gas to the gas channel, the inert gas supply unit that supplies the inert gas to the gas channel in order to clean the remaining sample gas in the gas collection tube May be provided.

また、上記実施形態では、加熱部52は、ガス捕集管51を約270℃により加熱しているが、本発明はこれに限定されない。本発明では、加熱部は、270℃よりも低い温度によりガス捕集管を加熱してもよいし、270℃よりも高い温度によりガス捕集管を加熱してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the heating part 52 is heating the gas collection pipe | tube 51 by about 270 degreeC, this invention is not limited to this. In the present invention, the heating unit may heat the gas collection tube at a temperature lower than 270 ° C., or may heat the gas collection tube at a temperature higher than 270 ° C.

また、上記実施形態では、不活性ガスが、窒素ガスとなっているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、反応性の乏しい、アルゴンガス、ヘリウムガスなどの不活性ガスなどであってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although inert gas is nitrogen gas, this invention is not limited to this. For example, it may be an inert gas such as argon gas or helium gas that has poor reactivity.

また、上記実施形態では、検知対象ガス成分G1が、トルエン、メチルベンゼン、メタエチレン、オルトキシレンとなっているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、検知対象ガス成分は、アンモニア、硫化水素などでもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the detection object gas component G1 is toluene, methylbenzene, metaethylene, and orthoxylene, this invention is not limited to this. For example, the detection target gas component may be ammonia, hydrogen sulfide, or the like.

また、上記実施例では、サンプルガスが、4種類の検知対象ガス成分G1を含んだミキシングガスとなっているが、本発明はこれに限定されない。本発明では、1〜3種類、または、5種類以上の検知対象ガス成分を含んだサンプルガスとなっていてもよい。   Moreover, in the said Example, although sample gas is mixing gas containing four types of detection target gas components G1, this invention is not limited to this. In the present invention, the sample gas may contain 1 to 3 types or 5 or more types of detection target gas components.

また、上記実施形態では、吸着材54が、カーボンナノチューブとなっているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、吸着材はシリカゲル、ゼオライトなどの、検知対象ガス成分を吸着可能、かつ、加熱部の加熱により、検知対象ガス成分を脱離可能な吸着材であればよい。   Moreover, in the said embodiment, although the adsorbent 54 is a carbon nanotube, this invention is not limited to this. For example, the adsorbent may be an adsorbent such as silica gel or zeolite that can adsorb the detection target gas component and can desorb the detection target gas component by heating the heating unit.

また、上記実施形態では、加熱部52は、フィルムヒーターであるが、本発明はこれに限定されない。たとえば、加熱部は、ニクロム線などであってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the heating part 52 is a film heater, this invention is not limited to this. For example, the heating part may be a nichrome wire or the like.

また、上記実施形態では、断熱材53は、シリコンシートであるが、本発明はこれに限定されない。たとえば、断熱材は、エラストマーシートなどであってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the heat insulating material 53 is a silicon sheet, this invention is not limited to this. For example, the heat insulating material may be an elastomer sheet or the like.

また、上記実施形態では、吸着材54への検知対象ガス成分G1の捕集は常温において行われているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、捕集管にペルチェ素子を取り付け、検知対象ガス成分の捕集を常温よりも低い温度においておこない、捕集効率を向上させてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the collection of the detection object gas component G1 to the adsorbent 54 is performed at normal temperature, this invention is not limited to this. For example, a Peltier element may be attached to the collection tube, and the detection target gas component may be collected at a temperature lower than room temperature to improve the collection efficiency.

また、上記実施形態では、クリーニング手段75は、加熱部52によりガス捕集管51を加熱しながら、第1開閉弁81および第2開閉弁82を開いた状態において、ガス流路3およびガス捕集管51内に窒素ガスを流し、ガス流路3、ガス捕集管51、弁部8および切換弁部9内のクリーニングを行っているが、本発明はこれに限定されない。本発明では、第1開閉弁81および第2開閉弁82のそれぞれを開閉しながら、ガス流路3およびガス捕集管51内に窒素ガスを流してもよい。これにより、第1開閉弁81および第2開閉弁82内のデッドスペースに残存している、検知対象ガス成分G1の排出を容易にすることができる。   Further, in the above embodiment, the cleaning unit 75 heats the gas collection pipe 51 by the heating unit 52 and opens the first on-off valve 81 and the second on-off valve 82 and opens the gas passage 3 and the gas trap. Although nitrogen gas is flowed into the collecting pipe 51 and the gas flow path 3, the gas collecting pipe 51, the valve portion 8 and the switching valve portion 9 are cleaned, the present invention is not limited to this. In the present invention, nitrogen gas may flow into the gas flow path 3 and the gas collection pipe 51 while opening and closing each of the first on-off valve 81 and the second on-off valve 82. Thereby, it is possible to facilitate the discharge of the detection target gas component G1 remaining in the dead space in the first on-off valve 81 and the second on-off valve 82.

上記実施形態では、説明の便宜上、制御部7の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部7の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型(イベントドリブン型)の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。   In the above-described embodiment, for convenience of explanation, the processing operation of the control unit 7 has been described using a flow-driven flowchart that performs processing in order along the processing flow, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the processing operation of the control unit 7 may be performed by event-driven (event-driven) processing that executes processing in units of events. In this case, it may be performed by a complete event drive type or a combination of event drive and flow drive.

1 ガス濃縮装置
2 ガス検知装置(検知部)
3 ガス流路
4 キャリアガス供給部
5 ガス捕集部
7 制御部
8 弁部
51 ガス捕集管
52 加熱部
72 置換手段
75 クリーニング手段
G1 検知対象ガス成分
1 Gas concentrator 2 Gas detector (detector)
3 Gas flow path 4 Carrier gas supply unit 5 Gas collection unit 7 Control unit 8 Valve unit 51 Gas collection tube 52 Heating unit 72 Replacement unit 75 Cleaning unit G1 Gas component to be detected

Claims (6)

サンプルガスが内部を流通するガス流路と、
前記ガス流路に配置され、前記サンプルガスに含まれる検知対象ガス成分を捕集するとともに、前記検知対象ガス成分を濃縮するガス捕集部と、
検知部へ前記濃縮した前記検知対象ガス成分を流す前に、前記ガス捕集部内の気体を不活性ガスに置換する置換手段とを備える、ガス濃縮装置。
A gas flow path through which the sample gas flows;
A gas collecting part that is arranged in the gas flow path and collects the detection target gas component contained in the sample gas and concentrates the detection target gas component;
A gas concentrating apparatus comprising: a replacement unit that replaces the gas in the gas collection unit with an inert gas before flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit.
前記ガス捕集部は、前記サンプルガスに含まれる前記検知対象ガス成分を捕集するガス捕集管と、前記ガス捕集管に捕集された前記検知対象ガス成分を加熱することにより脱離させる加熱部とを含み、
前記加熱部により前記検知対象ガス成分を加熱する際に、前記ガス捕集管に捕集された前記検知対象ガス成分の、上流側および下流側への流出を妨げる弁部をさらに備える、請求項1に記載のガス濃縮装置。
The gas collection unit is desorbed by heating a gas collection tube that collects the detection target gas component contained in the sample gas, and the detection target gas component collected in the gas collection tube A heating part
The heating device further comprises a valve unit that prevents the detection target gas component collected in the gas collection pipe from flowing out to the upstream side and the downstream side when the detection target gas component is heated by the heating unit. The gas concentrator according to 1.
前記濃縮した前記検知対象ガス成分を前記検知部に流した後に、前記ガス捕集管を前記加熱部により加熱しながら、前記ガス捕集管および前記ガス流路内に前記不活性ガスを流すことにより、前記ガス捕集管および前記弁部のクリーニングを行うクリーニング手段をさらに備える、請求項2に記載のガス濃縮装置。   After flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit, the inert gas is allowed to flow through the gas collection tube and the gas flow path while heating the gas collection tube by the heating unit. The gas concentrator according to claim 2, further comprising: a cleaning unit that cleans the gas collection pipe and the valve unit. 前記ガス流路内に前記サンプルガスを流通させるためのキャリアガスとして、前記不活性ガスを前記ガス流路内に供給するキャリアガス供給部をさらに備え、
前記キャリアガス供給部は、前記置換手段を兼ねるように構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス濃縮装置。
As a carrier gas for circulating the sample gas in the gas flow path, further comprising a carrier gas supply part for supplying the inert gas into the gas flow path,
The gas concentration apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the carrier gas supply unit is configured to also serve as the replacement unit.
ガス流路内を流通するサンプルガスに含まれる検知対象ガス成分をガス捕集部により捕集させるとともに、前記検知対象ガス成分を濃縮するステップと、
検知部に濃縮した前記検知対象ガス成分を流すステップと、
前記検知部へ濃縮した前記検知対象ガス成分を流す前に、前記ガス捕集部内の気体を不活性ガスに置換するステップとを備える、ガス濃縮方法。
Collecting the detection target gas component contained in the sample gas flowing in the gas flow path by the gas collection unit, and concentrating the detection target gas component;
Flowing the detection target gas component concentrated in the detection unit;
Replacing the gas in the gas collection unit with an inert gas before flowing the concentrated gas component to be detected to the detection unit.
前記検知部に濃縮した前記検知対象ガス成分を流した後、前記ガス捕集部を加熱するとともに、前記ガス捕集部内および前記ガス流路内に前記不活性ガスを流して、前記ガス捕集部内および前記ガス流路内をクリーニングするステップをさらに備える、請求項5に記載のガス濃縮方法。   After flowing the concentrated detection target gas component to the detection unit, the gas collection unit is heated, and the inert gas is flowed into the gas collection unit and the gas flow path, so that the gas collection is performed. The gas concentration method according to claim 5, further comprising a step of cleaning the inside of the unit and the inside of the gas flow path.
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