JP2018036651A - Alkali development type thermosetting resin composition and printed wiring board - Google Patents
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Abstract
【課題】現像によるパターン形成が可能なアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物、プリント配線板を提供する。【解決手段】アルカリ現像性樹脂、熱反応性化合物、光塩基発生剤、および、着色剤、を含み、前記着色剤が、黒色着色剤、白色着色剤および黄色着色剤から選択される少なくとも1種であり、選択的な光照射後の加熱で前記アルカリ現像性樹脂と前記熱反応性化合物が付加反応することにより、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となることを特徴とするアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物。【選択図】なしAn alkali development type thermosetting resin composition capable of forming a pattern by development and a printed wiring board are provided. At least one selected from a black colorant, a white colorant and a yellow colorant, comprising an alkali-developable resin, a heat-reactive compound, a photobase generator, and a colorant. An alkali developing type characterized in that a negative pattern can be formed by alkali development by an addition reaction between the alkali developing resin and the thermally reactive compound by heating after selective light irradiation. Thermosetting resin composition. [Selection figure] None
Description
本発明は、アルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物、プリント配線板に関する。 The present invention relates to an alkali development type thermosetting resin composition and a printed wiring board.
従来、プリント配線板のソルダーレジストに用いられる材料として、アルカリ水溶液により現像が可能な光硬化性樹脂組成物がある。例えば、特許文献1、2には、エポキシ樹脂の変性により誘導されたエポキシアクリレート変性樹脂(以下、エポキシアクリレートと略記する場合がある。)を含む光硬化性樹脂組成物が用いられている。
このような光硬化性樹脂組成物を用いるソルダーレジストの形成方法としては、基材に光硬化性樹脂組成物を塗布及び乾燥して樹脂層を形成し、その樹脂層に対して、パターン状に光照射した後、アルカリ現像液で現像することにより形成する方法がある。
Conventionally, as a material used for a solder resist of a printed wiring board, there is a photocurable resin composition that can be developed with an alkaline aqueous solution. For example, Patent Documents 1 and 2 use a photocurable resin composition containing an epoxy acrylate-modified resin (hereinafter sometimes abbreviated as epoxy acrylate) derived by modification of an epoxy resin.
As a method for forming a solder resist using such a photocurable resin composition, a photocurable resin composition is applied to a substrate and dried to form a resin layer, and the resin layer is patterned. There is a method of forming by developing with an alkali developer after light irradiation.
一方、特許文献3では、2級水酸基を有する熱硬化性樹脂を含まないことにより、デスミア耐性が向上した組成物が開示されている。この組成物では、例えば、スクリーン印刷により、ソルダーレジストが形成されている。 On the other hand, Patent Document 3 discloses a composition in which desmear resistance is improved by not including a thermosetting resin having a secondary hydroxyl group. In this composition, a solder resist is formed by, for example, screen printing.
しかしながら、特許文献3のような熱硬化性樹脂組成物では、光硬化性樹脂組成物のような光照射によって選択的に光照射部を硬化させるということができないため、現像によってパターン層を形成ができない。従って、熱硬化性樹脂組成物のパターン層の形成は、スクリーン印刷などの印刷方法や、レーザー加工による形成に制限されてしまうという問題がある。 However, in the thermosetting resin composition as in Patent Document 3, the light irradiation part cannot be selectively cured by light irradiation as in the photocurable resin composition, so that the pattern layer can be formed by development. Can not. Accordingly, there is a problem that the formation of the pattern layer of the thermosetting resin composition is limited to a printing method such as screen printing or formation by laser processing.
そこで本発明の目的は、現像によるパターン形成が可能なアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物、プリント配線板を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an alkali development type thermosetting resin composition and a printed wiring board capable of forming a pattern by development.
本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下の構成とすることで上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that the above-described problems can be solved by adopting the following configuration, and have completed the present invention.
即ち、本発明のアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物は、アルカリ現像性樹脂、熱反応性化合物、光塩基発生剤、および、着色剤、を含み、前記着色剤が、黒色着色剤、白色着色剤および黄色着色剤から選択される少なくとも1種であり、選択的な光照射後の加熱で前記アルカリ現像性樹脂と前記熱反応性化合物が付加反応することにより、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となることを特徴とするものである。 That is, the alkali-developable thermosetting resin composition of the present invention includes an alkali-developable resin, a heat-reactive compound, a photobase generator, and a colorant, and the colorant is a black colorant, white A negative pattern by alkali development, which is at least one selected from a colorant and a yellow colorant, and the alkali-developable resin and the heat-reactive compound undergo an addition reaction by heating after selective light irradiation. It can be formed.
本発明のアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物は、(メタ)アクリレート由来の光重合性モノマーを含まないことが好ましい。 The alkali development type thermosetting resin composition of the present invention preferably contains no (meth) acrylate-derived photopolymerizable monomer.
また、本発明の硬化物は上記のアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物を硬化したことを特徴とするものである。
更に、本発明のプリント配線板は、上記の硬化物の有することを特徴とするものである。
Further, the cured product of the present invention is characterized by curing the above alkali development type thermosetting resin composition.
Furthermore, the printed wiring board of the present invention is characterized by having the above cured product.
本発明により、現像によりパターン層の形成が可能なアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物、プリント配線板を提供することができる。また、本発明のパターン層は、熱硬化性樹脂からなるため、硬化性に優れ、硬化収縮を抑えることが期待できる。 According to the present invention, an alkali development type thermosetting resin composition and a printed wiring board capable of forming a pattern layer by development can be provided. Moreover, since the pattern layer of this invention consists of thermosetting resins, it can be anticipated that it is excellent in curability and suppresses curing shrinkage.
本発明のアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物(以下、「熱硬化性樹脂組成物」と略記する場合がある。)は、アルカリ現像性樹脂、熱反応性化合物、および、光塩基発生剤を含み、選択的な光照射でアルカリ現像性樹脂と熱反応性化合物が付加反応することにより、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となることを特徴とするものである。ここで、パターン形成とは、パターン状の硬化物、すなわち、パターン層を形成することを言う。
この熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層では、光照射によって表面で塩基が発生する。この発生した塩基によって光塩基発生剤が不安定化して、さらに塩基が発生する。このように塩基が発生することにより、樹脂層の深部まで化学的に増殖すると考えられる。そして、塩基が、アルカリ現像性樹脂と熱反応性化合物が付加反応する際の触媒として作用しながら、深部まで付加反応が進行するので、光照射部では、深部まで樹脂層が硬化する。
従って、熱硬化性樹脂組成物をパターン状に光照射した後、アルカリ現像することより、未照射部を除去して、パターン形成することができる。
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、アルカリ現像性樹脂と熱反応性化合物が付加反応により硬化するため、光硬化性樹脂組成物のような光連鎖反応に進行しないので、ひずみや硬化収縮の少ないパターン層を得ることができる。
熱硬化性樹脂組成物は、未照射の状態では加熱しても硬化せず、光照射して初めて熱による硬化が可能となる組成物であってもよい。
The alkali developing type thermosetting resin composition of the present invention (hereinafter sometimes abbreviated as “thermosetting resin composition”) includes an alkali developing resin, a thermoreactive compound, and a photobase generator. In addition, a negative pattern can be formed by alkali development by an addition reaction between the alkali-developable resin and the heat-reactive compound by selective light irradiation. Here, pattern formation means forming a patterned cured product, that is, a pattern layer.
In the resin layer made of this thermosetting resin composition, a base is generated on the surface by light irradiation. The generated base destabilizes the photobase generator and further generates a base. The generation of the base in this way is considered to cause chemical multiplication up to the deep part of the resin layer. And since an addition reaction advances to a deep part, a base acts as a catalyst at the time of addition reaction of an alkali developable resin and a heat-reactive compound, a resin layer hardens | cures to a deep part in a light irradiation part.
Therefore, after the thermosetting resin composition is irradiated with light in a pattern, the pattern can be formed by removing the unirradiated portion by alkali development.
Moreover, since the thermosetting resin composition of the present invention cures by an addition reaction between an alkali-developable resin and a thermoreactive compound, it does not proceed to a photo-chain reaction like a photocurable resin composition, so that distortion and curing A pattern layer with little shrinkage can be obtained.
The thermosetting resin composition may be a composition that does not cure even when heated in an unirradiated state and that can be cured by heat only after irradiation with light.
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、光照射によりDSC測定において発熱ピークを生じるか、又は、光照射した熱硬化性樹脂組成物のDSC測定における発熱開始温度が、未照射の熱硬化性樹脂組成物のDSC測定における発熱開始温度よりも低い、もしくは、光照射した熱硬化性樹脂組成物のDSC測定における発熱ピーク温度が、未照射の熱硬化性樹脂組成物のDSC測定における発熱ピーク温度よりも低いものであることが好ましい。
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、光照射した熱硬化性樹脂組成物と未照射の熱硬化性樹脂組成物との、DSC測定における発熱開始温度の温度差(ΔT start)とも称する)もしくは発熱ピーク温度の温度差(ΔT peakとも称する)が、10℃以上であることが好ましく、20℃以上であることがより好ましく、30℃以上であることがさらにより好ましい。
ここで、ΔT startとは、同様の組成の熱硬化性樹脂組成物を用意し、一方は光照射した後に、もう一方は光照射せずにそのまま、DSC(示差走査熱量測定、Differential scanning calorimetry)測定をそれぞれ行い、光照射した樹脂組成物の硬化反応の開始を示す発熱開始温度と、未照射の樹脂組成物の発熱開始温度の温度差を指す。ΔT peakは、同様にDSC測定を行った時の、光照射、未照射の樹脂組成物の発熱ピーク温度の温度差をいう。
なお、光照射した熱硬化性樹脂組成物のDSC測定における光照射量は、光照射量を上げていき、熱硬化性樹脂組成物の光照射による発熱ピーク温度のシフトが起こらなくなる(サチュレーション)光照射量である。
ΔT startもしくはΔT peakが10℃以上のものであることにより、未照射部がアルカリ現像により残存してしまういわゆるカブリや、光照射部がアルカリ現像により除去されてしまういわゆる食われの発生を抑制することができる。また、ΔT startもしくはΔT peakが10℃以上のものであることにより、後述する加熱工程(B1)においてとりうる加熱温度の範囲を広くとることが可能となる。
The thermosetting resin composition of the present invention generates a heat generation peak in DSC measurement by light irradiation, or the heat generation start temperature in DSC measurement of the light-cured thermosetting resin composition is an unirradiated thermosetting resin. The exothermic peak temperature in the DSC measurement of the uncured thermosetting resin composition is lower than the exothermic peak temperature in the DSC measurement of the thermosetting resin composition that is lower than the exothermic start temperature in the DSC measurement of the composition or is irradiated with light. Is also preferably low.
In addition, the thermosetting resin composition of the present invention is also referred to as a temperature difference (ΔT start) of the heat generation starting temperature in DSC measurement between the light-irradiated thermosetting resin composition and the non-irradiated thermosetting resin composition. ) Or the exothermic peak temperature difference (also referred to as ΔT peak) is preferably 10 ° C. or higher, more preferably 20 ° C. or higher, and even more preferably 30 ° C. or higher.
Here, ΔT start is a thermosetting resin composition having the same composition, one is irradiated with light, and the other is not irradiated with light, and the DSC (Differential Scanning Calorimetry) is left as it is. Each measurement is performed, and refers to the temperature difference between the heat generation start temperature indicating the start of the curing reaction of the resin composition irradiated with light and the heat generation start temperature of the unirradiated resin composition. ΔT peak refers to the temperature difference between the exothermic peak temperatures of the resin composition irradiated and unirradiated when DSC measurement is similarly performed.
In addition, the light irradiation amount in DSC measurement of the thermosetting resin composition irradiated with light increases the light irradiation amount, and the shift of the exothermic peak temperature due to the light irradiation of the thermosetting resin composition does not occur (saturation). Irradiation amount.
When ΔT start or ΔT peak is 10 ° C. or higher, the occurrence of so-called fogging in which the unirradiated part remains due to alkali development and so-called biting in which the light-irradiated part is removed by alkali development is suppressed. be able to. Further, when ΔT start or ΔT peak is 10 ° C. or more, it is possible to widen the range of heating temperatures that can be taken in the heating step (B1) described later.
以下、熱硬化性樹脂組成物の各成分について詳述する。 Hereinafter, each component of the thermosetting resin composition will be described in detail.
[アルカリ現像性樹脂]
アルカリ現像性樹脂は、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂であり、好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物が挙げられる。
[Alkali developable resin]
The alkali-developable resin is a resin that contains one or more functional groups among phenolic hydroxyl groups, thiol groups, and carboxyl groups and that can be developed with an alkaline solution, preferably a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, carboxyl Examples thereof include a group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups.
フェノール性水酸基を2個以上有する化合物としては、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、ビスフェノールF、ビスフェノールS型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物など公知慣用のフェノール樹脂が挙げられる。
また、フェノール樹脂として、ビフェニル骨格、或いはフェニレン骨格、又はその両方の骨格を有する化合物と、フェノール性水酸基含有化合物としてフェノール、オルソクレゾール、パラクレゾール、メタクレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,6−ジメチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、ピロガロール、フロログルシノール等とを用いて合成した、様々な骨格を有するフェノール樹脂を用いてもよい。
これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of the compound having two or more phenolic hydroxyl groups include phenol novolac resin, alkylphenol volac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene type phenol resin, Xylok type phenol resin, terpene modified phenol resin, polyvinylphenols, bisphenol F, Examples thereof include known and commonly used phenol resins such as bisphenol S-type phenol resin, poly-p-hydroxystyrene, a condensate of naphthol and aldehydes, and a condensate of dihydroxynaphthalene and aldehydes.
In addition, as a phenol resin, a compound having a biphenyl skeleton or a phenylene skeleton, or both, and as a phenolic hydroxyl group-containing compound, phenol, orthocresol, paracresol, metacresol, 2,3-xylenol, 2,4- Xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, methylhydroquinone, 2,6-dimethylhydroquinone, trimethylhydroquinone, pyrogallol, phloroglucinol You may use the phenol resin which synthesize | combined using these and which have various frame | skeletons.
These may be used alone or in combination of two or more.
カルボキシル基含有樹脂としては、公知のカルボキシル基を含む樹脂を用いることができる。カルボキシル基の存在により、樹脂組成物をアルカリ現像性とすることができる。また、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有する化合物を用いてもよいが、本発明においては、カルボキシル基含有樹脂として、例えば下記(1)のような、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いることが好ましい。 As the carboxyl group-containing resin, a known resin containing a carboxyl group can be used. Due to the presence of the carboxyl group, the resin composition can be made alkali developable. In addition to the carboxyl group, a compound having an ethylenically unsaturated bond in the molecule may be used, but in the present invention, as the carboxyl group-containing resin, for example, ethylenically unsaturated as shown in (1) below. It is preferable to use only a carboxyl group-containing resin having no double bond.
本発明に用いることができるカルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。 Specific examples of the carboxyl group-containing resin that can be used in the present invention include the compounds listed below (any of oligomers and polymers).
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene. The lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester polyol, a polyolefin polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂 (3) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A systems Terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reacting an acid anhydride with the terminal of urethane resin by polyaddition reaction of a diol compound such as an alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group
(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of (meth) acrylate or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound.
(5)上記(2)又は(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and the terminal ( (Meth) acrylic carboxyl group-containing urethane resin.
(6)上記(2)又は(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (6) During the synthesis of the resin of (2) or (4) above, one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are present in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated.
(7)前述するような多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸等の不飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (7) An unsaturated monocarboxylic acid such as (meth) acrylic acid is reacted with the polyfunctional (solid) epoxy resin as described above, and phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride is added to the hydroxyl group present in the side chain. A carboxyl group-containing resin to which a dibasic acid anhydride such as an acid is added.
(8)前述するような多官能(固形)エポキシ樹脂に飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (8) A dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is reacted with a saturated monocarboxylic acid on the polyfunctional (solid) epoxy resin as described above, and the hydroxyl group present in the side chain. A carboxyl group-containing resin to which is added.
(9)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (9) A carboxyl obtained by reacting (meth) acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group Group-containing resin.
(10)後述するような多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (10) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin as described later with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group.
(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (11) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide. .
(12)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に飽和モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (12) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide is reacted with a saturated monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a basic acid anhydride.
(13)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (13) Reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a product.
(14)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に飽和モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (14) A reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate, with a saturated monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting with a polybasic acid anhydride.
(15)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (15) A carboxyl group obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. Containing resin.
(16)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (16) Obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a reaction product obtained by reacting a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.
(17)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、飽和モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (17) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and a saturated monocarboxylic acid React with acid and react with polybasic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid etc. to the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product Carboxyl group-containing resin obtained by making it.
(18)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (18) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule is reacted with a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol; Carboxyl groups obtained by reacting polybasic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid with the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product Containing resin.
(19)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (19) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth) Reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid, and then reacting with the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.
(20)上記(1)〜(19)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有樹脂。 (20) One epoxy group and one or more (meth) acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate and the like in any one of the resins (1) to (19) above A carboxyl group-containing resin formed by adding a group-containing compound.
上記のようなアルカリ現像性樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基やヒロドキシ基等を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能になる。
また、上記カルボキシル基含有樹脂のヒドロキシル基当量又はカルボキシル基当量は、80〜900g/eq.であることが好ましく、さらに好ましくは、100〜700g/eq.である。ヒドロキシル基当量又はカルボキシル基当量が900g/eq.を超えた場合、パターン層の密着性が得られなかったり、アルカリ現像が困難となることがある。一方、ヒドロキシル基当量又はカルボキシル基当量が80g/eq.未満の場合には、現像液による光照射部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、光照射部と未照射部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となることがあるので好ましくない。また、カルボキシル基当量やフェノール基当量が大きい場合、アルカリ現像性樹脂の含有量が少ない場合でも、現像が可能となるため、好ましい。
Such an alkali-developable resin has a large number of carboxyl groups, hydroxyl groups, and the like in the side chain of the backbone polymer, so that development with an alkaline aqueous solution becomes possible.
In addition, the hydroxyl group equivalent or carboxyl group equivalent of the carboxyl group-containing resin is 80 to 900 g / eq. And more preferably 100 to 700 g / eq. It is. Hydroxyl group equivalent or carboxyl group equivalent is 900 g / eq. If it exceeds 1, the adhesion of the pattern layer may not be obtained, or alkali development may be difficult. On the other hand, the hydroxyl group equivalent or the carboxyl group equivalent is 80 g / eq. In the case of less than, because the dissolution of the light irradiation part by the developer proceeds, the line becomes thinner than necessary, or in some cases, the light irradiation part and the unirradiated part are dissolved and peeled off with the developer, This is not preferable because it may be difficult to draw a normal resist pattern. Further, it is preferable that the carboxyl group equivalent or the phenol group equivalent is large because development is possible even when the content of the alkali-developable resin is small.
また、本発明で用いるアルカリ現像性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲が好ましい。重量平均分子量が2,000未満であると、タックフリー性能が劣ることがあり、光照射後の樹脂層の耐湿性が悪く、現像時に膜減りが生じ、解像度が大きく劣ることがある。一方、重量平均分子量が150,000を超えると、現像性が著しく悪くなることがあり、貯蔵安定性が劣ることがある。 Moreover, although the weight average molecular weight of alkali developable resin used by this invention changes with resin frame | skeletons, the range of 2,000-150,000, Furthermore, 5,000-100,000 is preferable. If the weight average molecular weight is less than 2,000, tack-free performance may be inferior, the moisture resistance of the resin layer after light irradiation may be poor, film thickness may be reduced during development, and resolution may be greatly inferior. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may be remarkably deteriorated, and storage stability may be inferior.
本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。 In this specification, (meth) acrylate is a general term for acrylate, methacrylate and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
チオール基を有する化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリストールテトラキスチオプロピオネート、エチレングリコールビスチオグリコレート、1,4−ブタンジオールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリストールテトラキスチオグリコレート、ジ(2−メルカプトエチル)エーテル、1,4−ブタンジチオール、1,3,5−トリメルカプトメチルベンゼン、1,3,5−トリメルカプトメチル−2,4,6−トリメチルベンゼン、末端チオール基含有ポリエーテル、末端チオール基含有ポリチオエーテル、エポキシ化合物と硫化水素との反応によって得られるチオール化合物、ポリチオール化合物とエポキシ化合物との反応によって得られる末端チオール基を有するチオール化合物等が挙げられる。 Examples of the compound having a thiol group include trimethylolpropane tristhiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, ethylene glycol bisthioglycolate, 1,4-butanediol bisthioglycolate, trimethylolpropane tris. Thioglycolate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, di (2-mercaptoethyl) ether, 1,4-butanedithiol, 1,3,5-trimercaptomethylbenzene, 1,3,5-trimercaptomethyl-2 , 4,6-trimethylbenzene, terminal thiol group-containing polyether, terminal thiol group-containing polythioether, thiol compound obtained by reaction of epoxy compound and hydrogen sulfide, reaction of polythiol compound and epoxy compound Thiol compounds, and the like with terminal thiol groups to be.
アルカリ現像性樹脂は、カルボキシル基含有樹脂やフェノール性水酸基を有する化合物であることが好ましい。
また、アルカリ現像性樹脂は、エポキシアクリレートなどの光硬化性構造を有さない非感光性であることが好ましい。このような非感光性アルカリ現像性樹脂は、エポキシアクリレートに由来するエステル結合を有さないので、デスミア液に対する耐性が高い。よって、硬化特性に優れたパターン層を形成できる。また、光硬化性構造を有さないため、硬化収縮を抑制できる。
アルカリ現像性樹脂がカルボキシル基含有樹脂の場合、フェノール性樹脂の場合と比べて弱アルカリ性水溶液で現像できる。弱アルカリ性水溶液としては、炭酸ナトリウム等が溶解したものを挙げられる。弱アルカリ性水溶液で現像することにより、光照射部が現像されてしまうことを抑制できる。また、下記工程(B)における光照射時間や工程(B1)における加熱時間を短縮できる。
The alkali developable resin is preferably a carboxyl group-containing resin or a compound having a phenolic hydroxyl group.
The alkali-developable resin is preferably non-photosensitive without a photocurable structure such as epoxy acrylate. Such a non-photosensitive alkali-developable resin does not have an ester bond derived from epoxy acrylate, and therefore has high resistance to desmear liquid. Therefore, a pattern layer having excellent curing characteristics can be formed. Moreover, since it does not have a photocurable structure, curing shrinkage can be suppressed.
When the alkali-developable resin is a carboxyl group-containing resin, development can be performed with a weak alkaline aqueous solution as compared with the case of a phenolic resin. Examples of the weak alkaline aqueous solution include a solution in which sodium carbonate or the like is dissolved. By developing with weak alkaline aqueous solution, it can suppress that a light irradiation part will be developed. Moreover, the light irradiation time in the following process (B) and the heating time in the process (B1) can be shortened.
[熱反応性化合物]
熱反応性化合物は、熱による硬化反応が可能な官能基を有する樹脂である。エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。
[Heat-reactive compound]
The thermoreactive compound is a resin having a functional group that can be cured by heat. An epoxy resin, a polyfunctional oxetane compound, etc. are mentioned.
上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。 The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule, and a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.
多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。 Polyfunctional epoxy compounds include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic ring Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or mixtures thereof, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy Resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl meta Acrylate copolymer epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.
その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。ナフタレン基含有エポキシ樹脂は、硬化物の熱膨張を抑えることができるため、好ましい。 Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. A naphthalene group-containing epoxy resin is preferable because it can suppress the thermal expansion of the cured product.
エポキシ樹脂は、エポキシ当量が200以上であることが好ましい。エポキシ当量が200以上であることにより、硬化膜の反りを抑制し、長時間高湿度下に放置した場合でも現像性に優れる。
エポキシ当量が200以上のエポキシ樹脂としては、DIC(株) HP−4770(ナフタレン型、当量205g/eq)、HP−7200(ジシクロペンタジエン骨格含有ノボラックエポキシ、255g/eq)EXA−4850−150(柔軟骨格含有液状エポキシ、440g/eq)EXA−4850−1000(340g/eq)、HP−820(アラルキルフェノールエポキシ、225g/eq)、日本化薬(株)EOCN−104S(クレゾールノボラックエポキシ、210g/eq)、NC−7000(ナフタレン骨格含有ノボラックエポキシ、230g/eq)、大阪ガスケミカル(株)PG−100(フルオレン骨格含有エポキシ、250g/eq)、EG−200(柔軟性エポキシ、292g/eq)、三菱化学(株)1001(475g/eq)、1002(650g/eq)などのBis−A型線状エポキシ、4004P(900g/eq)、4005P(1075g/eq)などのBis−F型線状エポキシ、157S70(Bis−Aノボラックエポキシ、210g/eq)、新日鉄住金化学(株)ESN−475V(ナフトールアラルキル型、325g/eq)、
ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000:エポキシ当量=275g/eq)、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製NC−3000H:エポキシ当量=215g/eq)、軟化点69.2℃)、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC−3000H:エポキシ当量=289g/eq)、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC−3000−FH、エポキシ当量:320g/eq.)、NC−2000L(日本化薬(株)製、エポキシ当量:238g/eq、 NC−3100(日本化薬製、エポキシ当量258g/eq.)、NC−3000S(日本化薬(株)製、エポキシ当量284g/eq)、NC−3000S−H(日本化薬(株)製、エポキシ当量290g/eq)等が挙げられる。
エポキシ当量が200以上のエポキシ樹脂の配合量は、熱硬化性成分の配合量と同じとすることができる。
The epoxy resin preferably has an epoxy equivalent of 200 or more. When the epoxy equivalent is 200 or more, the warp of the cured film is suppressed, and the developability is excellent even when left under high humidity for a long time.
As an epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or more, DIC Corporation HP-4770 (naphthalene type, equivalent 205 g / eq), HP-7200 (dicyclopentadiene skeleton-containing novolak epoxy, 255 g / eq) EXA-4850-150 ( Soft epoxy containing liquid epoxy, 440 g / eq) EXA-4850-1000 (340 g / eq), HP-820 (aralkylphenol epoxy, 225 g / eq), Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-104S (cresol novolak epoxy, 210 g / eq), NC-7000 (Naphthalene skeleton-containing novolak epoxy, 230 g / eq), Osaka Gas Chemical Co., Ltd. PG-100 (fluorene skeleton-containing epoxy, 250 g / eq), EG-200 (flexible epoxy, 292 g / eq) , Mitsubishi Chemical Corporation Bis-A type linear epoxy such as 1001 (475 g / eq), 1002 (650 g / eq), Bis-F type linear epoxy such as 4004P (900 g / eq), 4005P (1075 g / eq), 157S70 (Bis- A novolac epoxy, 210 g / eq), Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. ESN-475V (naphthol aralkyl type, 325 g / eq),
Biphenyl aralkyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., NC3000: Epoxy equivalent = 275 g / eq), Biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. NC-3000H: Epoxy equivalent = 215 g / eq), softening point 69.2 ° C.), phenol aralkyl type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., NC-3000H: epoxy equivalent = 289 g / eq), phenol biphenyl aralkyl type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., NC-3000) -FH, epoxy equivalent: 320 g / eq.), NC-2000L (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent: 238 g / eq, NC-3100 (manufactured by Nippon Kayaku, epoxy equivalent 258 g / eq.), NC- 3000S (Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 284 g / eq), NC-3000S-H (Nippon Kayaku Co., Ltd.) , Epoxy equivalent 290 g / eq) and the like.
The compounding amount of the epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or more can be the same as the compounding amount of the thermosetting component.
上記のエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Said epoxy resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
上記多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。
ここで、熱反応性化合物がベンゼン骨格を有する場合、耐熱性が向上するので、好ましい。また、熱硬化性樹脂組成物が白色顔料を含有する場合、熱反応性化合物は脂環式骨格であることが好ましい。これにより、光反応性を向上できる。
Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl -3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin, Poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenol Le ethers, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.
Here, it is preferable that the heat-reactive compound has a benzene skeleton because heat resistance is improved. Moreover, when a thermosetting resin composition contains a white pigment, it is preferable that a thermoreactive compound is an alicyclic skeleton. Thereby, photoreactivity can be improved.
上記熱反応性化合物の配合量としては、アルカリ現像性樹脂との当量比(熱反応性基:アルカリ現像性基)が、1:0.1〜1:10であることが好ましく、1:0.2〜1:5であることがより好ましい。このような配合比の範囲内である場合、現像が良好になる。 The blending amount of the heat-reactive compound is preferably such that the equivalent ratio to the alkali-developable resin (heat-reactive group: alkali-developable group) is 1: 0.1 to 1:10, and 1: 0 More preferably, it is 2 to 1: 5. When the ratio is within such a range, the development is good.
[光塩基発生剤]
光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、上記の熱反応性化合物の付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。
光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。
[Photobase generator]
One or more photobase generators can function as a catalyst for the addition reaction of the above-mentioned thermoreactive compound when the molecular structure is changed by irradiation with light such as ultraviolet rays or visible light, or when the molecule is cleaved. It is a compound that produces a basic substance. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.
Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group.
α―アミノアセトフェノン化合物は分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン社製)や4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン社製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン社製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。 The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to produce a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl. -1-morpholinoethane (Irgacure 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- A commercially available compound such as 1-butanone (Irgacure 379, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) or a solution thereof can be used.
オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物をいずれも使用することができる。オキシムエステル化合物としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアー OXE01、イルガキュアー OXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。
(式中、Xは、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)を表し、Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、Arは、結合か、炭素数1〜10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5−ピロール−ジイル、
4,4’−スチルベン−ジイル、4,2’−スチレン−ジイルで表し、nは0か1の整数である。)
As the oxime ester compound, any compound that generates a basic substance by light irradiation can be used. Examples of oxime ester compounds include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919, NCI-831 manufactured by Adeka, and the like as commercially available products. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in a molecule | numerator can also be used suitably, Specifically, the oxime ester compound which has a carbazole structure represented with the following general formula is mentioned.
(In the formula, X is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms). A group, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms), And Y and Z are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, or a carbon number 1). Alkyl group having 1 to 8 alkoxy group, halogen group, phenyl group, phenyl group (alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, amino group, alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) Group or a dialkylamino group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or Represents an anthryl group, a pyridyl group, a benzofuryl group, a benzothienyl group, and Ar is a bond or alkylene having 1 to 10 carbon atoms, vinylene, phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, thiophene Anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl,
It is represented by 4,4′-stilbene-diyl, 4,2′-styrene-diyl, and n is an integer of 0 or 1. )
特に、前記一般式中、X、Yが、それぞれメチル基又はエチル基であり、Zはメチル又はフェニルであり、nは0であり、Arは、結合か、フェニレン、ナフチレン、チオフェン又はチエニレンであることが好ましい。 In particular, in the above general formula, X and Y are each a methyl group or an ethyl group, Z is methyl or phenyl, n is 0, and Ar is a bond, phenylene, naphthylene, thiophene or thienylene. It is preferable.
また、好ましいカルバゾールオキシムエステル化合物として、下記一般式で表すことができる化合物を挙げることもできる。
(式中、R1は、炭素原子数1〜4のアルキル基、または、ニトロ基、ハロゲン原子もしくは炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいフェニル基を表す。R2は、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、または、炭素原子数1〜4のアルキル基もしくはアルコキシ基で置換されていてもよいフェニル基を表す。R3は、酸素原子または硫黄原子で連結されていてもよく、フェニル基で置換されていてもよい炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基で置換されていてもよいベンジル基を表す。R4は、ニトロ基、または、X−C(=O)−で表されるアシル基を表す。Xは、炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいアリール基、チエニル基、モルホリノ基、チオフェニル基、または、下記式で示される構造を表す。)
Moreover, the compound which can be represented by the following general formula can also be mentioned as a preferable carbazole oxime ester compound.
(In the formula, R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group optionally substituted with a nitro group, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. R 2 represents , An alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group optionally substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group, R 3 represents , Which may be linked with an oxygen atom or a sulfur atom, may be substituted with a phenyl group, may be substituted with an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or may be substituted with an alkoxy group with 1 to 4 carbon atoms R 4 represents a nitro group or an acyl group represented by X—C (═O) —, where X is an aryl optionally substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. Group, thienyl group, morpholino A group, a thiophenyl group, or a structure represented by the following formula:
その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。 In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-A-2008-509967, Specific examples include carbazole oxime ester compounds described in JP2009-040762A and JP2011-80036A.
アシルオキシイミノ基を有する化合物の具体例としては,O,O’−コハク酸ジアセトフェノンオキシム,O,O’−コハク酸ジナフトフェノンオキシム、ベンゾフェノンオキシムアクリレートースチレン共重合体などが挙げられる。 Specific examples of the compound having an acyloxyimino group include O, O'-diacetphenone oxime succinate, O, O'-dinaphthophenone oxime succinate, benzophenone oxime acrylate-styrene copolymer, and the like.
N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基を有する化合物の具体例としては、例えば、ジ−N−(p−ホルミルアミノ)ジフェニルメタン、ジ−N(p−アセエチルアミノ)ジフェニルメラン、ジ−N−(p−ベンゾアミド)ジフェニルメタン、4−ホルミルアミノトルイレン、4−アセチルアミノトルイレン、2,4−ジホルミルアミノトルイレン、1−ホルミルアミノナフタレン、1−アセチルアミノナフタレン、1,5−ジホルミルアミノナフタレン、1−ホルミルアミノアントラセン、1,4−ジホルミルアミノアントラセン、1−アセチルアミノアントラセン、1,4−ジホルミルアミノアントラキノン、1,5−ジホルミルアミノアントラキノン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジホルミルアミノビフェニル、4,4’−ジホルミルアミノベンゾフェノンなどが挙げられる。 Specific examples of the compound having an N-formylated aromatic amino group and an N-acylated aromatic amino group include, for example, di-N- (p-formylamino) diphenylmethane, di-N (p-aceethylamino). Diphenylmelane, di-N- (p-benzamido) diphenylmethane, 4-formylaminotoluylene, 4-acetylaminotoluylene, 2,4-diformylaminotoluylene, 1-formylaminonaphthalene, 1-acetylaminonaphthalene, 1,5-diformylaminonaphthalene, 1-formylaminoanthracene, 1,4-diformylaminoanthracene, 1-acetylaminoanthracene, 1,4-diformylaminoanthraquinone, 1,5-diformylaminoanthraquinone, 3, 3′-dimethyl-4,4′-diformylaminobipheny And 4,4'-formylamino benzophenones.
ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基を有する化合物の具体例としては、例えば、ビス{{(2−ニトロベンジル)オキシ}カルボニル}ジアミノジフェニルメタン、2,4−ジ{(2−ニトロベンジル)オキシ}トルイレン、ビス{{(2−ニトロベンジルオキシ)カルボニル}ヘキサン−1,6−ジアミン、m−キシリジン{{(2−ニトロ−4−クロロベンジル)オキシ}アミド}などが挙げられる。 Specific examples of the compound having a nitrobenzyl carbamate group or an alkoxybenzyl carbamate group include, for example, bis {{(2-nitrobenzyl) oxy} carbonyl} diaminodiphenylmethane, 2,4-di {(2-nitrobenzyl) oxy. } Toluylene, bis {{(2-nitrobenzyloxy) carbonyl} hexane-1,6-diamine, m-xylidine {{(2-nitro-4-chlorobenzyl) oxy} amide} and the like.
光塩基発生剤としては、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。 As a photobase generator, an oxime ester compound and an α-aminoacetophenone compound are preferable. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.
その他の光塩基発生剤として、
WPBG-018(商品名:9-anthrylmethylN,N’-diethylcarbamate),WPBG-027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine),WPBG-082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate), WPBG-140 (商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。
また、特開平11−71450号公報、国際公開2002/051905号、国際公開2008/072651号、特開2003−20339号公報、特開2003−212856号公報、特開2003−344992号公報、特開2007−86763号公報、特開2007−231235号公報、特開2008−3581号公報、特開2008−3582号公報、特開2009−280785号公報、特開2009−080452号公報、特開2010−95686号公報、特開2010−126662号公報、特開2010−185010号公報、特開2010−185036号公報、特開2010−186054号公報、特開2010−186056号公報、特開2010−275388号公報、特開2010−222586号公報、特開2010−084144号公報、特開2011−107199号公報、特開2011−236416、特開2011−080032号公報等の文献記載の光塩基発生剤を使用することもできる。
As other photobase generators,
WPBG-018 (Product name: 9-anthrylmethylN, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (Product name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-propenoyl] piperidine), WPBG-082 ( Trade names: guanidinium 2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate) can also be used.
Also, JP-A-11-71450, WO2002 / 051905, WO2008 / 072651, JP2003-20339, JP2003-212856, JP2003-344992, JP JP 2007-86763 A, JP 2007-231235 A, JP 2008-3581 A, JP 2008-3582 A, JP 2009-280785 A, JP 2009-080452, JP 2010-. No. 95686, JP 2010-126662 A, JP 2010-185010 A, JP 2010-185036 A, JP 2010-186054 A, JP 2010-186056 A, JP 2010-275388 A. Publication, JP2010-222586A JP 2010-084144, JP 2011-107199, JP 2011-236416, it is also possible to use a photobase generator described in the literature such as JP-2011-080032.
上記光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。熱硬化性樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱反応性化合物100質量部に対して1〜50質量部であり、さらに好ましくは、1〜40質量部である。1質量部未満の場合、現像が困難になることがあるため好ましくない。 The said photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The compounding amount of the photobase generator in the thermosetting resin composition is preferably 1 to 50 parts by mass, and more preferably 1 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermoreactive compound. When the amount is less than 1 part by mass, development may be difficult, which is not preferable.
(マレイミド化合物)
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、マレイミド化合物を含んでもよい。
マレイミド化合物としては、多官能脂肪族/脂環族マレイミド、多官能芳香族マレイミドが挙げられる。2官能以上のマレイミド化合物(多官能マレイミド化合物)が好ましい。多官能脂肪族/脂環族マレイミドとしては、例えば、N,N’−メチレンビスマレイミド、N,N’−エチレンビスマレイミド、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートと脂肪族/脂環族マレイミドカルボン酸とを脱水エステル化して得られるイソシアヌレート骨格のマレイミドエステル化合物;トリス(カーバメートヘキシル)イソシアヌレートと脂肪族/脂環族マレイミドアルコールとをウレタン化して得られるイソシアヌレート骨格のマレイミドウレタン化合物等のイソシアヌル骨格ポリマレイミド類;イソホロンビスウレタンビス(N−エチルマレイミド)、トリエチレングリコールビス(マレイミドエチルカーボネート)、脂肪族/脂環族マレイミドカルボン酸と各種脂肪族/脂環族ポリオールとを脱水エステル化、又は脂肪族/脂環族マレイミドカルボン酸エステルと各種脂肪族/脂環族ポリオールとをエステル交換反応して得られる脂肪族/脂環族ポリマレイミドエステル化合物類;脂肪族/脂環族マレイミドカルボン酸と各種脂肪族/脂環族ポリエポキシドとをエーテル開環反応して得られる脂肪族/脂環族ポリマレイミドエステル化合物類;脂肪族/脂環族マレイミドアルコールと各種脂肪族/脂環族ポリイソシアネートとをウレタン化反応して得られる脂肪族/脂環族ポリマレイミドウレタン化合物類等がある。
(Maleimide compound)
The thermosetting resin composition of the present invention may contain a maleimide compound.
Examples of maleimide compounds include polyfunctional aliphatic / alicyclic maleimides and polyfunctional aromatic maleimides. Bifunctional or higher maleimide compounds (polyfunctional maleimide compounds) are preferred. Examples of the polyfunctional aliphatic / alicyclic maleimide include N, N′-methylene bismaleimide, N, N′-ethylene bismaleimide, tris (hydroxyethyl) isocyanurate, and aliphatic / alicyclic maleimide carboxylic acid. Isocyanurate skeleton maleic ester compound obtained by urethanizing isocyanurate skeleton maleimide ester compound obtained by urethanization of tris (carbamate hexyl) isocyanurate and aliphatic / alicyclic maleimide alcohol Maleimides; isophorone bisurethane bis (N-ethylmaleimide), triethylene glycol bis (maleimidoethyl carbonate), aliphatic / alicyclic maleimide carboxylic acid and various aliphatic / alicyclic polyols dehydrated or esterified / Alicyclic maleimide carboxylic acid esters and aliphatic / alicyclic polymaleimide ester compounds obtained by transesterification of various aliphatic / alicyclic polyols; aliphatic / alicyclic maleimide carboxylic acids and various fats Aliphatic / alicyclic polymaleimide ester compounds obtained by ether ring-opening reaction of aliphatic / alicyclic polyepoxides; urethanization of aliphatic / alicyclic maleimide alcohols and various aliphatic / alicyclic polyisocyanates Examples include aliphatic / alicyclic polymaleimide urethane compounds obtained by reaction.
多官能芳香族マレイミドとしては、マレイミドカルボン酸と各種芳香族ポリオールとを脱水エステル化、又はマレイミドカルボン酸エステルと各種芳香族ポリオールとをエステル交換反応して得られる芳香族ポリマレイミドエステル化合物類;マレイミドカルボン酸と各種芳香族ポリエポキシドとをエーテル開環反応して得られる芳香族ポリマレイミドエステル化合物類;マレイミドアルコールと各種芳香族ポリイソシアネートとをウレタン化反応して得られる芳香族ポリマレイミドウレタン化合物類等の芳香族多官能マレイミド類等がある。 As polyfunctional aromatic maleimide, aromatic polymaleimide ester compounds obtained by dehydrating esterification of maleimide carboxylic acid and various aromatic polyols, or transesterification reaction of maleimide carboxylic acid ester and various aromatic polyols; Aromatic polymaleimide ester compounds obtained by ether ring-opening reaction of carboxylic acid and various aromatic polyepoxides; Aromatic polymaleimide urethane compounds obtained by urethanization reaction of maleimide alcohol and various aromatic polyisocyanates, etc. And aromatic polyfunctional maleimides.
多官能芳香族マレイミドの具体例としては、例えば、N,N’−(4,4’−ジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’−2,4−トリレンビスマレイミド、N,N’−2,6−トリレンビスマレイミド、1−メチル−2,4−ビスマレイミドベンゼン、N,N’−m−フェニレンビスマレイミド、N,N’−p−フェニレンビスマレイミド、N,N’−m−トルイレンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ビフェニレンビスマレイミド、N,N’−4,4’−〔3,3’−ジメチル−ビフェニレン〕ビスマレイミド、N,N’−4,4’−〔3,3’−ジメチルジフェニルメタン〕ビスマレイミド、N,N’−4,4’−〔3,3’−ジエチルジフェニルメタン〕ビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルプロパンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N’−3,3’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、2,2−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−t−ブチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−s−ブチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、1,1−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕デカン、1,1−ビス〔2−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)−5−t−ブチルフェニル〕−2−メチルプロパン、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2−(1,1−ジメチルエチル)ベンゼン〕、4,4’−メチレン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2,6−ビス(1,1−ジメチルエチル)ベンゼン〕、4,4’−メチレン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2,6−ジ−s−ブチルベンゼン〕、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2−シクロヘキシルベンゼン、4,4’−メチレンビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−2−ノニルベンゼン〕、4,4’−(1−メチルエチリデン)−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−2,6−ビス(1,1−ジメチルエチル)ベンゼン〕、4,4’−(2−エチルヘキシリデン)−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−ベンゼン〕、4,4’−(1−メチルヘプチリデン)−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−ベンゼン〕、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−3−メチルベンゼン〕、2,2−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3,5−ジメチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3,5−ジメチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−エチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−エチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ビス〔3−メチル−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3,5−ジメチル−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−エチル−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メタン、3,8−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、4,8−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、3,9−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、4,9−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、1,8−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メンタン、1,8−ビス〔3−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メンタン、1,8−ビス〔3,5−ジメチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メンタンなどを挙げることができる。 Specific examples of the polyfunctional aromatic maleimide include, for example, N, N ′-(4,4′-diphenylmethane) bismaleimide, N, N′-2,4-tolylene bismaleimide, N, N′-2, 6-tolylene bismaleimide, 1-methyl-2,4-bismaleimide benzene, N, N′-m-phenylene bismaleimide, N, N′-p-phenylene bismaleimide, N, N′-m-toluylene Bismaleimide, N, N′-4,4′-biphenylenebismaleimide, N, N′-4,4 ′-[3,3′-dimethyl-biphenylene] bismaleimide, N, N′-4,4′- [3,3′-dimethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N′-4,4 ′-[3,3′-diethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenylmethane bismale N, N′-4,4′-diphenylpropane bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenyl ether bismaleimide, N, N′-3,3′-diphenylsulfone bismaleimide, N, N ′ -4,4'-diphenylsulfone bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-t-butyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl ] Propane, 2,2-bis [3-s-butyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 1,1-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] decane, 1,1-bis [2-Methyl-4- (4-maleimidophenoxy) -5-t-butylphenyl] -2-methylpropane, 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (4 Maleimidophenoxy) -2- (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4′-methylene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2,6-bis (1,1-dimethylethyl) benzene] 4,4′-methylene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2,6-di-s-butylbenzene], 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2-cyclohexylbenzene, 4,4′-methylenebis [1- (maleimidophenoxy) -2-nonylbenzene], 4,4 ′-(1-methylethylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -2,6 -Bis (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4 '-(2-ethylhexylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -benzene], 4,4'-(1 -Methylheptylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -benzene], 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (maleimidophenoxy) -3-methylbenzene], 2,2-bis [4 -(4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4- Maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4- Maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propa 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [3-methyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, bis [3,5-dimethyl- ( 4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, bis [3-ethyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, 3,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1. 02,6] decane, 4,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 3,9-bis [4- (4-maleimidophenoxy) ) Phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 4,9-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5 2.1.02,6] decane, 1,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] menthane, 1,8-bis [3-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] menthane, Examples include 1,8-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] menthane.
マレイミド化合物の配合量としては、アルカリ現像性樹脂との当量比(マレイミド基:アルカリ現像性基)が1:0.1〜1:10であることが好ましく、1:0.2〜1:5であることがより好ましい。このような配合比とすることにより、現像が容易になる。 As a compounding quantity of a maleimide compound, it is preferable that equivalent ratio (maleimide group: alkali developable group) with alkali-developable resin is 1: 0.1-1: 10, and 1: 0.2-1: 5. It is more preferable that With such a blending ratio, development is facilitated.
[着色剤]
さらに、本発明の熱硬化性樹脂組成物には、着色剤を配合することができる。
従来、プリント配線板における銅回路のエッジ部では、パターン層の着色力が不十分な場合、パターン層の形成後の熱履歴において、銅が変色し、外観上、薄い部分だけ変色して見えていた。代表的な熱履歴としてはマーキングの熱硬化、反り直し、実装前の予備加熱、実装などがある。
このため、従来はパターン層に着色剤を多く配合して着色力を高めることにより、銅回路のエッジ部分だけ変色して見えるという問題を解消していた。
しかし、着色剤は、光吸収性を有するため、光が深部にまで透過することを阻害してしまう。その結果、着色剤を含有する組成物では、アンダーカットが生じやすいため、十分な密着性が得られないという問題があった。
これに対して、本発明の熱硬化性樹脂組成物では、上述したように、深部まで塩基が化学的に増殖することにより、樹脂層の深部まで十分硬化できる。
従って、本発明の熱硬化性樹脂組成物では、着色剤を含有する場合でも、銅回路の隠蔽性に優れ、かつ、密着性に優れたパターン層を形成できる。
また、本発明では、着色剤の含有量を増加させた場合においても、アンダーカットを抑制して、良好なビアホールとラインを形成できる。
[Colorant]
Furthermore, a coloring agent can be mix | blended with the thermosetting resin composition of this invention.
Conventionally, at the edge of a copper circuit on a printed wiring board, if the coloring power of the pattern layer is insufficient, the copper color changes in the thermal history after the pattern layer is formed, and only the thin part appears to change in appearance. It was. Typical thermal history includes marking thermosetting, warping, preheating before mounting, mounting, and the like.
For this reason, conventionally, a problem has been solved that only the edge portion of the copper circuit looks discolored by adding a large amount of colorant to the pattern layer to enhance the coloring power.
However, since the colorant has light absorptivity, it prevents light from penetrating to the deep part. As a result, in the composition containing a colorant, undercut is likely to occur, and there is a problem that sufficient adhesion cannot be obtained.
On the other hand, in the thermosetting resin composition of the present invention, as described above, the base can be sufficiently cured to the deep part of the resin layer by chemically growing the base to the deep part.
Therefore, in the thermosetting resin composition of the present invention, even when a colorant is contained, a pattern layer having excellent copper circuit concealing property and excellent adhesion can be formed.
Further, in the present invention, even when the content of the colorant is increased, undercuts can be suppressed and good via holes and lines can be formed.
着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。 As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used. Specific examples include those with the following color index numbers (CI: issued by The Society of Dyer's and Colorists). However, it is preferable not to contain a halogen from the viewpoint of reducing the environmental burden and affecting the human body.
赤色着色剤:
赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などがあり、具体的には以下のものが挙げられる。
モノアゾ系:PigmentRed 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23,31, 32, 112, 114,146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258,266, 267, 268, 269。
ジスアゾ系:PigmentRed 37, 38, 41。
モノアゾレーキ系:Pigment Red 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1,52:2,53:1, 53:2, 57:1, 58:4, 63:1, 63:2, 64:1,68。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Red 171、Pigment Red 175、Pigment Red 176、Pigment Red 185、Pigment Red 208。
ぺリレン系:SolventRed 135、Solvent Red 179、PigmentRed 123、Pigment Red 149、PigmentRed 166、Pigment Red 178、PigmentRed 179、Pigment Red 190、PigmentRed 194、Pigment Red 224。
ジケトピロロピロール系:Pigment Red 254、Pigment Red 255、Pigment Red 264、Pigment Red 270、Pigment Red 272。
縮合アゾ系:PigmentRed 220、Pigment Red 144、PigmentRed 166、Pigment Red 214、PigmentRed 220、Pigment Red 221、PigmentRed 242。
アンスラキノン系:Pigment Red 168、Pigment Red 177、Pigment Red 216、Solvent Red 149、Solvent Red 150、Solvent Red 52、Solvent Red 207。
キナクリドン系:PigmentRed 122、Pigment Red 202、PigmentRed 206、Pigment Red 207、PigmentRed 209。
Red colorant:
Examples of red colorants include monoazo, diazo, azo lake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone, and quinacridone. It is done.
Monoazo: PigmentRed 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23,31, 32, 112, 114,146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258,266, 267, 268, 269.
Disazo: PigmentRed 37, 38, 41.
Monoazo lakes: Pigment Red 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1,52: 2,53: 1, 53: 2, 57 : 1, 58: 4, 63: 1, 63: 2, 64: 1,68.
Benzimidazolone series: Pigment Red 171, Pigment Red 175, Pigment Red 176, Pigment Red 185, Pigment Red 208.
Perylene series: SolventRed 135, Solvent Red 179, PigmentRed 123, Pigment Red 149, Pigment Red 166, Pigment Red 178, Pigment Red 179, Pigment Red 190, Pigment Red 194, Pigment Red 224.
Diketopyrrolopyrrole series: Pigment Red 254, Pigment Red 255, Pigment Red 264, Pigment Red 270, Pigment Red 272.
Condensed azo systems: PigmentRed 220, Pigment Red 144, PigmentRed 166, Pigment Red 214, PigmentRed 220, Pigment Red 221, and PigmentRed 242.
Anthraquinone series: Pigment Red 168, Pigment Red 177, Pigment Red 216, Solvent Red 149, Solvent Red 150, Solvent Red 52, Solvent Red 207.
Kinacridone series: PigmentRed 122, Pigment Red 202, PigmentRed 206, Pigment Red 207, PigmentRed 209.
青色着色剤:
青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなものを挙げることができる:PigmentBlue 15、Pigment Blue 15:1、PigmentBlue 15:2、Pigment Blue 15:3、PigmentBlue 15:4、Pigment Blue 15:6、PigmentBlue 16、Pigment Blue 60。
染料系としては、SolventBlue 35、Solvent Blue 63、SolventBlue 68、Solvent Blue 70、SolventBlue 83、Solvent Blue 87、SolventBlue 94、Solvent Blue 97、SolventBlue 122、Solvent Blue 136、SolventBlue 67、Solvent Blue 70等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
青色着色剤のうちフタロシアニン系は、レーザー加工性に優れるため、好ましい。
Blue colorant:
Examples of blue colorants include phthalocyanine and anthraquinone, and pigments include compounds classified as Pigments, specifically, PigmentBlue 15 and Pigment Blue 15: 1, PigmentBlue 15: 2, Pigment Blue 15: 3, PigmentBlue 15: 4, Pigment Blue 15: 6, PigmentBlue 16, and Pigment Blue 60.
Solvent Blue 35, Solvent Blue 63, Solvent Blue 68, Solvent Blue 70, Solvent Blue 83, Solvent Blue 87, Solvent Blue 94, Solvent Blue 97, Solvent Blue 122, Solvent Blue 136, Solvent Blue 67, Solvent Blue 70, etc. are used as the dye system. be able to. In addition to the above, a metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.
Of the blue colorants, phthalocyanine is preferable because it is excellent in laser processability.
緑色着色剤:
緑色着色剤としては、同様にフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系があり、具体的にはPigment Green 7、Pigment Green 36、Solvent Green 3、Solvent Green 5、Solvent Green 20、Solvent Green 28等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
Green colorant:
Similarly, green colorants include phthalocyanine, anthraquinone, and perylene. Specifically, Pigment Green 7, Pigment Green 36, Solvent Green 3, Solvent Green 5, Solvent Green 20, Solvent Green 28, etc. are used. be able to. In addition to the above, a metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.
黄色着色剤:
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等があり、具体的には以下のものが挙げられる。
アントラキノン系:Solvent Yellow 163、Pigment Yellow 24、Pigment Yellow 108、Pigment Yellow 193、Pigment Yellow 147、Pigment Yellow 199、Pigment Yellow 202。
イソインドリノン系:Pigment Yellow 110、Pigment Yellow 109、Pigment Yellow 139、Pigment Yellow 179、Pigment Yellow 185。
縮合アゾ系:PigmentYellow 93、Pigment Yellow 94、PigmentYellow 95、Pigment Yellow 128、PigmentYellow 155、Pigment Yellow 166、PigmentYellow 180。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Yellow 120、Pigment Yellow 151、Pigment Yellow 154、Pigment Yellow 156、Pigment Yellow 175、Pigment Yellow 181。
モノアゾ系:PigmentYellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62:1, 65, 73, 74,75, 97, 100, 104,105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183。
ジスアゾ系:PigmentYellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152,170, 172, 174,176, 188, 198。
Yellow colorant:
Examples of yellow colorants include monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, anthraquinone, and the like.
Anthraquinone series: Solvent Yellow 163, Pigment Yellow 24, Pigment Yellow 108, Pigment Yellow 193, Pigment Yellow 147, Pigment Yellow 199, Pigment Yellow 202.
Isoindolinone type: Pigment Yellow 110, Pigment Yellow 109, Pigment Yellow 139, Pigment Yellow 179, Pigment Yellow 185.
Condensed azo type: PigmentYellow 93, Pigment Yellow 94, PigmentYellow 95, Pigment Yellow 128, PigmentYellow 155, Pigment Yellow 166, PigmentYellow 180.
Benzimidazolone series: Pigment Yellow 120, Pigment Yellow 151, Pigment Yellow 154, Pigment Yellow 156, Pigment Yellow 175, Pigment Yellow 181.
Monoazo: PigmentYellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62: 1, 65, 73, 74,75, 97, 100, 104,105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183.
Disazo series: Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152,170, 172, 174,176, 188, 198.
白色着色剤:
また、本発明においては(B)着色剤として、白色着色剤を用いることもできる。白色着色剤としては、例えば酸化チタンが挙げられる。酸化チタンとしてはルチル型酸化チタンでもアナターゼ型酸化チタンでもよいが、ルチル型チタンを用いることが好ましい。同じ酸化チタンであるアナターゼ型酸化チタンは、ルチル型酸化チタンと比較して白色度が高く、白色顔料としてよく使用されるが、アナターゼ型酸化チタンは、光触媒活性を有するために、特にLEDから照射される光により、絶縁性樹脂組成物中の樹脂の変色を引き起こすことがある。これに対し、ルチル型酸化チタンは、白色度はアナターゼ型と比較して若干劣るものの、光活性を殆ど有さないために、酸化チタンの光活性に起因する光による樹脂の劣化(黄変)が顕著に抑制され、また熱に対しても安定である。このため、LEDが実装されたプリント配線板の絶縁層において白色顔料として用いられた場合に、高反射率を長期にわたり維持することができる。
White colorant:
In the present invention, a white colorant can also be used as the (B) colorant. Examples of the white colorant include titanium oxide. Titanium oxide may be rutile titanium oxide or anatase titanium oxide, but rutile titanium is preferably used. Anatase-type titanium oxide, which is the same titanium oxide, has higher whiteness compared to rutile-type titanium oxide and is often used as a white pigment. The emitted light may cause discoloration of the resin in the insulating resin composition. In contrast, rutile-type titanium oxide is slightly inferior to anatase-type in whiteness, but has almost no photoactivity, so that the resin is deteriorated by light due to the photoactivity of titanium oxide (yellowing). Is remarkably suppressed and is stable against heat. For this reason, when it is used as a white pigment in the insulating layer of the printed wiring board on which the LED is mounted, a high reflectance can be maintained over a long period of time.
ルチル型酸化チタンとしては、公知のものを使用することができる。ルチル型酸化チタンの製造法には、硫酸法と塩素法の2種類あり、本発明では、いずれの製造法により製造されたものも好適に使用することができる。ここで、硫酸法は、イルメナイト鉱石やチタンスラグを原料とし、これを濃硫酸に溶解して鉄分を硫酸鉄として分離し、溶液を加水分解することにより水酸化物の沈殿物を得、これを高温で焼成してルチル型酸化チタンを取り出す製法をいう。一方、塩素法は、合成ルチルや天然ルチルを原料とし、これを約1000℃の高温で塩素ガスとカーボンに反応させて四塩化チタンを合成し、これを酸化してルチル型酸化チタンを取り出す製法をいう。その中で、塩素法により製造されたルチル型酸化チタンは、特に熱による樹脂の劣化(黄変)の抑制効果が顕著であり、本発明においてより好適に用いられる。 A well-known thing can be used as a rutile type titanium oxide. There are two types of production methods for rutile titanium oxide, a sulfuric acid method and a chlorine method. In the present invention, those produced by any of the production methods can be suitably used. Here, the sulfuric acid method uses ilmenite ore or titanium slag as a raw material, dissolves this in concentrated sulfuric acid, separates iron as iron sulfate, and hydrolyzes the solution to obtain a hydroxide precipitate. A production method in which rutile titanium oxide is taken out by baking at a high temperature. On the other hand, the chlorine method uses synthetic rutile or natural rutile as a raw material, reacts with chlorine gas and carbon at a high temperature of about 1000 ° C to synthesize titanium tetrachloride, and oxidizes this to extract rutile titanium oxide. Say. Among them, rutile-type titanium oxide produced by the chlorine method is particularly effective in suppressing the deterioration (yellowing) of the resin due to heat, and is more preferably used in the present invention.
これらの酸化チタンの中でも、表面が含水アルミナ又は水酸化アルミニウムで処理された酸化チタンを用いることが、組成物中での分散性、保存安定性、難燃性の観点から特に好ましい。
また、酸化チタンを含有する組成物により形成される硬化塗膜は、Y値が70以上であることが好ましく、75以上であることがより好ましい。
Among these titanium oxides, it is particularly preferable to use titanium oxide whose surface is treated with hydrous alumina or aluminum hydroxide from the viewpoints of dispersibility in the composition, storage stability, and flame retardancy.
Moreover, it is preferable that the Y value is 70 or more, and, as for the cured coating film formed with the composition containing a titanium oxide, it is more preferable that it is 75 or more.
黒色着色剤:
本発明に用いられる黒色着色剤としては、公知慣用の黒色着色剤を使用することができる。黒色着色剤としては、C.I.Pigmentblack 6、7、9および18等に示されるカーボンブラック系の顔料、C.I.Pigment black 8、10等に示される黒鉛系の顔料、C.I.Pigmentblack11、12および27,Pigment Brown 35等で示される酸化鉄系の顔料:例えば戸田工業(株)製KN−370の酸化鉄、三菱マテリアル(株)製13Mのチタンブラック、C.I.Pigmentblack 20等で示されるアンスラキノン系の顔料、C.I.Pigmentblack 13、25および29等で示される酸化コバルト系の顔料、C.I.Pigmentblack 15および28等で示される酸化銅系の顔料、C.I.Pigment black 14および26等で示されるマンガン系の顔料、C.I.Pigmentblack23等で示される酸化アンチモン系の顔料、C.I.Pigment black 30等で示される酸化ニッケル系の顔料、C.I.Pigmentblack 31、32で示されるペリレン系の顔料、PigmentBlack 1で示されるアニリン系の顔料および硫化モリブデンや硫化ビスマスも好適な顔料として例示できる。これらの顔料は、単独で、または適宜組合せて使用される。特に好ましいのは、カーボンブラックであり例えば、三菱化学(株)製のカーボンブラック、M−40、M−45、M−50、MA−8、MA−100、またペリレン系の顔料は有機顔料の中でも低ハロゲン化に有効である。
カーボンブラックは、回路の隠蔽性に優れるため、好ましい。
Black colorant:
As the black colorant used in the present invention, a known and commonly used black colorant can be used. Examples of black colorants include carbon black pigments such as CIPigmentblack 6, 7, 9 and 18; graphite pigments such as CIPigment black 8, 10 and the like; CIPigmentblack 11, 12 and 27; Pigment Brown 35 and the like. Iron oxide pigments: For example, iron oxide of KN-370 manufactured by Toda Kogyo Co., Ltd., 13M titanium black manufactured by Mitsubishi Materials Co., Ltd., an anthraquinone pigment represented by CIPigmentblack 20, etc., CIPigment black 13, 25 and 29 Cobalt oxide pigments such as CIPigmentblack 15 and 28, etc., manganese pigments such as CIPigment black 14 and 26, antimony oxide pigments such as CIPigmentblack 23, CIPigment Nickel oxide pigment represented by black 30 etc., perylene pigment represented by CI Pigment black 31, 32, PigmentBlac Examples of suitable pigments include aniline pigments represented by k1, molybdenum sulfide and bismuth sulfide. These pigments are used alone or in appropriate combination. Particularly preferred is carbon black. For example, carbon black, M-40, M-45, M-50, MA-8, MA-100 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and perylene pigments are organic pigments. Among these, it is effective for reducing halogen.
Carbon black is preferable because it is excellent in circuit concealment.
その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色などの着色剤を加えてもよい。
具体的に例示すれば、Pigment Violet 19、23、29、32、36、38、42、SolventViolet13、36、C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.等がある。
In addition, a colorant such as purple, orange or brown may be added for the purpose of adjusting the color tone.
For example, Pigment Violet 19, 23, 29, 32, 36, 38, 42, Solvent Violet 13, 36, CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI Pigment Orange 16, CI Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 24, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49, CI Pigment Orange 51, CI pigment orange 61, CI pigment orange 63, CI pigment orange 64, CI pigment orange 71, CI pigment orange 73, CI pigment brown 23, CI pigment brown 25, CI and the like.
本発明の熱硬化性樹脂組成物中の着色剤の配合量は、前記熱反応性化合物100質量部に対して、0.1〜10質量部とすることが好ましい。より好ましくは0.8〜10質量部であり、さらに好ましくは、1〜5質量部である。
なお、着色剤が白色の場合、白色着色剤の配合量は、前記熱反応性化合物100質量部に対して、20質量部以上70質量部以下とすることが好ましく、より好ましくは、20質量部以上60質量部以下である。
It is preferable that the compounding quantity of the coloring agent in the thermosetting resin composition of this invention shall be 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of said thermoreactive compounds. More preferably, it is 0.8-10 mass parts, More preferably, it is 1-5 mass parts.
In addition, when a colorant is white, it is preferable that the compounding quantity of a white colorant shall be 20 mass parts or more and 70 mass parts or less with respect to 100 mass parts of said thermoreactive compounds, More preferably, it is 20 mass parts. The amount is 60 parts by mass or less.
[高分子樹脂]
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に慣用公知の高分子樹脂を配合することができる。高分子樹脂としてはセルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系バインダーポリマー、ブロック共重合体、エラストマー、ゴム粒子等が挙げられる。バインダーポリマーは1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
高分子樹脂を配合することにより、熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度が上昇し、露光後加熱時において、スルーホール部分の樹脂の流動性を抑止することができる。その結果、スルーホール上に凹みのみられない平坦な基板を作製できる。
[Polymer resin]
In the thermosetting resin composition of the present invention, a conventionally known polymer resin can be blended for the purpose of improving the flexibility and dryness of the touch of the resulting cured product. Examples of the polymer resin include cellulose-based, polyester-based, phenoxy-resin-based, polyvinyl acetal-based, polyvinyl butyral-based, polyamide-based, polyamide-imide-based binder polymers, block copolymers, elastomers, and rubber particles. A binder polymer may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
By blending the polymer resin, the melt viscosity of the thermosetting resin composition is increased, and the fluidity of the resin in the through-hole portion can be suppressed during post-exposure heating. As a result, a flat substrate that is not recessed on the through hole can be manufactured.
上記高分子樹脂の添加量は、上記熱反応性化合物100質量部に対して、好ましくは50質量部以下、より好ましくは1〜30質量部、特に好ましくは、5〜30質量部である。高分子樹脂の配合量が、50質量部を超えた場合、熱硬化性樹脂組成物のデスミア耐性の悪化が懸念されるため好ましくない。 The addition amount of the polymer resin is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 1 to 30 parts by mass, and particularly preferably 5 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermoreactive compound. When the amount of the polymer resin exceeds 50 parts by mass, there is a concern about deterioration of desmear resistance of the thermosetting resin composition, which is not preferable.
(ブロック共重合体)
ブロック共重合体とは、性質の異なる二種類以上のポリマーが、共有結合で繋がり長い連鎖になった分子構造の共重合体のことである。
(Block copolymer)
The block copolymer is a copolymer having a molecular structure in which two or more kinds of polymers having different properties are connected by a covalent bond to form a long chain.
本発明で用いるブロック共重合体としてはA−B−A、あるいはA−B−A’型ブロック共重合体が好ましい。A−B−AあるいはA−B−A’型ブロック共重合体のうち、中央のBがソフトブロックでありガラス転移点Tgが低く、好ましくは0℃未満であり、その両外側A又はA’がハードブロックでありTgが高く、好ましくは0℃以上のポリマー単位により構成されているものが好ましい。ガラス転移点Tgは示差走査熱量測定(DSC)により測定される。
また、A−B−AあるいはA−B−A’型ブロック共重合体のうち、A又はA’がTgが50℃以上のポリマー単位からなり、BがTgが−20℃以下であるポリマー単位からなるブロック共重合体がさらに好ましい。
また、A−B−AあるいはA−B−A’型ブロック共重合体のうち、A又はA’が上記熱反応性化合物との相溶性が高いものが好ましく、Bが上記熱反応性化合物との相溶性が低いものが好ましい。このように、両端のブロックがマトリックスに相溶であり、中央のブロックがマトリックスに不相溶であるブロック共重合体とすることで、マトリックス中において特異的な構造を示しやすくなると考えられる。
The block copolymer used in the present invention is preferably an ABA or ABA ′ type block copolymer. Among the ABA and ABA ′ type block copolymers, the central B is a soft block and has a low glass transition point Tg, preferably less than 0 ° C., both outer sides A or A ′. Is a hard block and has a high Tg, and is preferably composed of polymer units of 0 ° C. or higher. The glass transition point Tg is measured by differential scanning calorimetry (DSC).
Further, among the ABA and ABA 'type block copolymers, A or A' is composed of polymer units having a Tg of 50 ° C or higher, and B is a polymer unit having a Tg of -20 ° C or lower. More preferred is a block copolymer of
Of the ABA and ABA ′ type block copolymers, those in which A or A ′ is highly compatible with the heat-reactive compound are preferable, and B is the above-mentioned heat-reactive compound. Those having low compatibility are preferred. Thus, it is considered that a specific structure in the matrix can be easily shown by using a block copolymer in which the blocks at both ends are compatible with the matrix and the central block is incompatible with the matrix.
A又はA’として、ポリメチル(メタ)アクリレート(PMMA)、ポリスチレン(PS)などを含むことが好ましく、Bとしてポリn−ブチルアクリレート(PBA)、ポリブタジエン(PB)などを含むことが好ましい。また、A又はA’成分の一部にスチレンユニット、水酸基含有ユニット、カルボキシル基含有ユニット、エポキシ含有ユニット、N置換アクリルアミドユニット等に代表される前述に記載したマトリックスと相溶性に優れる親水性ユニットを導入し、更に相溶性を向上させることが可能となる。 A or A 'preferably includes polymethyl (meth) acrylate (PMMA), polystyrene (PS) or the like, and B preferably includes poly n-butyl acrylate (PBA) or polybutadiene (PB). Further, a hydrophilic unit excellent in compatibility with the matrix described above represented by a styrene unit, a hydroxyl group-containing unit, a carboxyl group-containing unit, an epoxy-containing unit, an N-substituted acrylamide unit, etc. as part of the A or A ′ component It becomes possible to introduce and further improve the compatibility.
また本発明に用いるブロック共重合体としては3元以上のブロック共重合体が好ましく、リビング重合法により合成された分子構造が精密にコントロールされたブロック共重合体が本発明の効果を得る上でより好ましい。これは、リビング重合法により合成されたブロック共重合体は分子量分布が狭く、それぞれのユニットの特徴が明確になったためであると考えられる。用いるブロック共重合体の分子量分布(Mw/Mn)は3以下が好ましく、2.5以下がより好ましく、更に好ましくは2.0以下である。 The block copolymer used in the present invention is preferably a ternary or more block copolymer, and a block copolymer having a precisely controlled molecular structure synthesized by a living polymerization method is effective for obtaining the effects of the present invention. More preferred. This is considered to be because the block copolymer synthesized by the living polymerization method has a narrow molecular weight distribution, and the characteristics of each unit have been clarified. The molecular weight distribution (Mw / Mn) of the block copolymer used is preferably 3 or less, more preferably 2.5 or less, and still more preferably 2.0 or less.
上記のような(メタ)アクリレートポリマーブロックを含むブロック共重合体は、例えば、特開2007−516326号、特開2005−515281号明細書記載の方法、特に、下記式(1)〜(4)のいずれかで表されるアルコキシアミン化合物を開始剤としてY単位を重合した後に、X単位を重合することにより好適に得ることができる。
(式中、nは2を表し、Zは、2価の有機基を表し、好ましくは、1,2−エタンジオキシ、1,3−プロパンジオキシ、1,4−ブタンジオキシ、1,6−ヘキサンジオキシ、1,3,5−トリス(2−エトキシ)シアヌル酸、ポリアミノアミン、例えばポリエチレンアミン、1,3,5−トリス(2−エチルアミノ)シアヌル酸、ポリチオキシ、ホスホネートまたはポリホスホネートの中から選択されるものである。Arは2価のアリール基を表す。)
The block copolymer containing the (meth) acrylate polymer block as described above is, for example, a method described in JP-A-2007-516326 and JP-A-2005-515281, particularly, the following formulas (1) to (4). After the Y unit is polymerized using the alkoxyamine compound represented by any of the above as an initiator, it can be suitably obtained by polymerizing the X unit.
Wherein n represents 2 and Z represents a divalent organic group, preferably 1,2-ethanedioxy, 1,3-propanedioxy, 1,4-butanedioxy, 1,6-hexanedi Selected from among oxy, 1,3,5-tris (2-ethoxy) cyanuric acid, polyaminoamines such as polyethyleneamine, 1,3,5-tris (2-ethylamino) cyanuric acid, polythioxy, phosphonate or polyphosphonate Ar represents a divalent aryl group.)
ブロック共重合体の重量平均分子量は好ましくは20,000〜400,000、より好ましくは50,000〜300,000の範囲である。重量平均分子量が20,000未満であると、目的とする強靭性、柔軟性の効果が得られず、熱硬化性樹脂組成物をドライフィルム化した時や基材に塗布し仮乾燥した時のタック性にも劣る。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、熱硬化性樹脂組成物の粘度が高くなり、印刷性、加工性が著しく悪くなることがある。重量平均分子量が50000以上であると、外部からの衝撃に対する緩和性において優れた効果が得られる。
高分子樹脂として、ブロック共重合体は、冷熱サイクル時のクラック耐性に優れ、硬化後の反りを抑制できるため好ましい。ブロック共重合体は、スルーホール上の凹みを抑制して、表面が平坦な基材を作成できるため特に好ましい。また、無機充填剤を組み合わせることにより、さらに、冷熱サイクル時のクラック耐性に優れる。
The weight average molecular weight of the block copolymer is preferably in the range of 20,000 to 400,000, more preferably 50,000 to 300,000. When the weight average molecular weight is less than 20,000, the intended toughness and flexibility effects cannot be obtained, and when the thermosetting resin composition is formed into a dry film or applied to a substrate and temporarily dried. Inferior to tackiness. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity of the thermosetting resin composition becomes high, and the printability and processability may be remarkably deteriorated. When the weight average molecular weight is 50000 or more, an excellent effect is obtained in terms of relaxation against external impact.
As a polymer resin, a block copolymer is preferable because it is excellent in crack resistance during a thermal cycle and can suppress warping after curing. The block copolymer is particularly preferable because it can suppress a dent on the through hole and form a substrate having a flat surface. Moreover, it is excellent in the crack tolerance at the time of a thermal cycle by combining an inorganic filler.
(エラストマー)
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、官能基を有するエラストマーを添加することができる。官能基を有するエラストマーを加えることで、コーティング性が向上し、塗膜の強度も向上することが期待できる。また、ポリエステル系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステルウレタン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリエステルアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマー等を用いることができる。また、種々の骨格を有するエポキシ樹脂の一部又は全部のエポキシ基を両末端カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴムで変性した樹脂なども使用できる。さらには、エポキシ含有ポリブタジエン系エラストマー、アクリル含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有イソプレン系エラストマーなども使用することができる。また、これらのエラストマーは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(Elastomer)
An elastomer having a functional group can be added to the thermosetting resin composition of the present invention. By adding an elastomer having a functional group, it is expected that the coating property is improved and the strength of the coating film is also improved. Further, polyester elastomers, polyurethane elastomers, polyester urethane elastomers, polyamide elastomers, polyester amide elastomers, acrylic elastomers, olefin elastomers, and the like can be used. Moreover, the resin etc. which modified the one part or all part of the epoxy resin which has various frame | skeleton with the both-ends carboxylic acid modified butadiene-acrylonitrile rubber | gum can be used. Furthermore, epoxy-containing polybutadiene elastomers, acrylic-containing polybutadiene elastomers, hydroxyl group-containing polybutadiene elastomers, hydroxyl group-containing isoprene elastomers, and the like can also be used. Moreover, these elastomers may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
(ゴム粒子)
ゴム粒子は、架橋構造を有する高分子等の有機物から形成された粒子状のものであればどのようなものでもよいが、例えばアクリロニトリルブタジエンの共重合物として、アクリロニトリルとブタジエンとを共重合した架橋NBR粒子;アクリロニトリルとブタジエンとアクリル酸等のカルボン酸とを共重合したもの;架橋ポリブタジエン、架橋シリコンゴム、又はNBRをコア層とし、架橋アクリル樹脂をシェル層とした、いわゆるコアシェル構造の架橋ゴム粒子(「コア−シェルゴム粒子」ともいう);が挙げられる。
なかでも、分散性の制御、粒子サイズの安定性の点から、コアシェル構造の架橋ゴム粒子が好ましく、架橋アクリル樹脂をシェル層とし、架橋ポリブタジエン又は架橋シリコンゴムをコア層としたコアシェル構造の架橋ゴム粒子がより好ましい。
架橋NBR粒子とは、アクリロニトリル、ブタジエンを共重合させ、かつ共重合する段階で、部分的に架橋させ、粒子状にしたものである。またアクリル酸、メタクリル酸等のカルボン酸を併せて共重合することにより、カルボン酸変性架橋NBR粒子を得ることも可能である。
架橋ブタジエンゴム−架橋アクリル樹脂のコア−シェルゴム粒子は、乳化重合でブタジエン粒子を重合させ、引き続きアクリル酸エステル、アクリル酸等のモノマーを添加して重合を続ける二段階の重合方法で得ることができる。
架橋シリコンゴム−架橋アクリル樹脂のコア−シェルゴム粒子は、乳化重合でシリコン粒子を重合させ、引き続きアクリル酸エステル、アクリル酸等のモノマーを添加して重合を続ける二段階の重合方法で得ることができる。
ゴム粒子の大きさは、一次平均粒子径で1μm以下であり、50nm〜1μmにすることが好ましい。一次平均粒子径で1μmを超えると、接着力の低下や、微細配線での絶縁信頼性を損なってしてしまう。ここでいう「一次平均粒子径」とは、凝集した粒子径、つまり二次粒子径ではなく、凝集していない単体での粒子径をいう。
また、当該一次平均粒子径は、例えば、レーザ回折式粒度分布計により測定して求めることができる。
上記のようなゴム粒子は、単独でも、2種以上を組み合せて用いてもよい。
ゴム粒子の含有量は、樹脂組成物中50質量%以下であることが好ましく、1〜30質量%であることがより好ましい。
例えば、カルボン酸変性アクリロニトリルブタジエンゴム粒子の市販品としては日本合成ゴム株式会社製のXER−91が挙げられる。ブタジエンゴム−アクリル樹脂のコアシェル粒子はロームアンドハース株式会社製のパラロイドEXL2655やガンツ化成工業株式会社のAC−3832が挙げられる。架橋シリコンゴム−アクリル樹脂のコア−シェルゴム粒子は、旭化成ワッカーシリコーン(株)製GENIOPERLP52が挙げられる。
ゴム粒子を用いることにより、冷熱サイクル時のクラック耐性を向上させることができる。
(Rubber particles)
The rubber particles may be any particles as long as they are formed from organic substances such as polymers having a crosslinked structure. For example, as a copolymer of acrylonitrile butadiene, a crosslinked acrylonitrile and butadiene are copolymerized. NBR particles: Copolymerized acrylonitrile, butadiene and carboxylic acid such as acrylic acid; cross-linked polybutadiene, cross-linked silicon rubber, or cross-linked rubber particles having a so-called core-shell structure using NBR as a core layer and cross-linked acrylic resin as a shell layer (Also referred to as “core-shell rubber particles”).
Among these, from the viewpoint of dispersibility control and particle size stability, a core-shell structured crosslinked rubber particle is preferable. Particles are more preferred.
The cross-linked NBR particles are particles obtained by partially cross-linking at the stage of copolymerizing and copolymerizing acrylonitrile and butadiene. It is also possible to obtain carboxylic acid-modified crosslinked NBR particles by copolymerizing together carboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid.
Cross-linked butadiene rubber-cross-linked acrylic resin core-shell rubber particles can be obtained by a two-stage polymerization method in which butadiene particles are polymerized by emulsion polymerization, followed by addition of monomers such as acrylic acid ester and acrylic acid. .
Cross-linked silicone rubber-cross-linked acrylic resin core-shell rubber particles can be obtained by a two-stage polymerization method in which silicon particles are polymerized by emulsion polymerization, followed by addition of monomers such as acrylic acid ester and acrylic acid. .
The size of the rubber particles is 1 μm or less in terms of primary average particle diameter, and is preferably 50 nm to 1 μm. If the primary average particle diameter exceeds 1 μm, the adhesive strength is lowered and the insulation reliability in fine wiring is impaired. The “primary average particle diameter” here refers to the aggregated particle diameter, that is, the secondary particle diameter, not the aggregated single particle diameter.
The primary average particle diameter can be determined by measuring with a laser diffraction particle size distribution meter, for example.
The rubber particles as described above may be used alone or in combination of two or more.
The content of the rubber particles is preferably 50% by mass or less and more preferably 1 to 30% by mass in the resin composition.
For example, as a commercially available product of carboxylic acid-modified acrylonitrile butadiene rubber particles, XER-91 manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd. may be mentioned. Examples of the core-shell particles of butadiene rubber-acrylic resin include Paraloid EXL2655 manufactured by Rohm and Haas Co., Ltd. and AC-3832 manufactured by Gantz Kasei Kogyo Co., Ltd. Examples of the core-shell rubber particles of the crosslinked silicone rubber-acrylic resin include GENIOPERLP52 manufactured by Asahi Kasei Wacker Silicone Co., Ltd.
By using rubber particles, it is possible to improve the crack resistance during the cooling and heating cycle.
[無機充填剤]
上記熱硬化性樹脂組成物は、無機充填剤を含有することが好ましい。無機充填剤は、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために使用される。無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。
[Inorganic filler]
The thermosetting resin composition preferably contains an inorganic filler. The inorganic filler is used for suppressing the curing shrinkage of the cured product of the thermosetting resin composition and improving the properties such as adhesion and hardness. Examples of the inorganic filler include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, and Neuburg Examples include rich earth.
無機充填剤の平均粒径(D50)は1μm以下であることが好ましく、0.7μm以下であることがより好ましく、0.5μmであることがさらに好ましい。平均粒径が1μmを超える場合、パターン層が白濁する恐れがあるため、好ましくない。無機充填剤の平均粒径(D50)の下限値は、特に限定されないが、例えば、0.01μm以上である。ここで、平均粒径(D50)とは、平均一次粒径を意味する。
平均粒径(D50)は、レーザー回折/散乱法により測定することができる。平均粒径が上記範囲にあることにより、屈折率が樹脂成分と近くなり、透過性が向上し、光照射による光塩基発生剤からの塩基の発生効率が上昇する。無機充填剤と、アルカリ現像性樹脂との屈折率差は、0.3以下であることが好ましい。屈折率差を0.3以下とすることにより、光の散乱を抑えて、良好な深部硬化性を得ることができる。ここで、無機充填剤の屈折率は、1.4以上1.8以下であることが好ましい。なお、無機充填剤の屈折率は、JIS K 7105に準拠して測定することができる。
無機充填剤の配合割合は、上記熱硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として20質量%以上80質量%以下が好ましく、より好ましくは30質量%以上80質量%以下である。無機充填剤の配合割合が80質量%を超えると、組成物の粘度が高くなり、塗布性が低下したり、熱硬化性樹脂組成物の硬化物が脆くなることがある。
ラジカル反応により、硬化が進行する組成物では、無機充填剤の含有量が増加した場合、解像性が低下するが、本発明では、発生した塩基による硬化反応であるため、無機充填剤の含有量が増加した場合でも、良好な解像性を維持できる。
また、無機充填剤の比重は、3以下であることが好ましく、より好ましくは2.8以下であり、さらにより好ましくは2.5以下である。無機充填剤の比重が3以下であることにより、熱膨張を抑えることができる。3以下の無機充填剤としては、例えば、シリカと水酸化アルミニウムが挙げられ、シリカが特に好ましい。
無機充填剤の形状としては、不定形、針状、円盤状、りん片、球状、中空状などが挙げられる。ここで、組成物中に高い割合で配合可能な点から、球状が好ましい。そして、無機充填剤は耐湿性を向上させるため、シランカップリング剤等の表面処理剤で処理されていることが更に好ましい。
また、無機充填剤を含有することにより、冷熱サイクル時のクラック耐性を向上させることができる。無機充填剤を多量に含有することにより、硬化後の反りを抑制することもできる。
本発明では、硬化物の熱膨張係数(CTE)が、40ppm以下であることが好ましく、より好ましくは、30ppm以下であり、さらにより好ましくは、20ppm以下である。
The average particle size (D50) of the inorganic filler is preferably 1 μm or less, more preferably 0.7 μm or less, and even more preferably 0.5 μm. When the average particle diameter exceeds 1 μm, the pattern layer may become cloudy, which is not preferable. Although the lower limit of the average particle diameter (D50) of the inorganic filler is not particularly limited, it is, for example, 0.01 μm or more. Here, the average particle diameter (D50) means an average primary particle diameter.
The average particle diameter (D50) can be measured by a laser diffraction / scattering method. When the average particle diameter is in the above range, the refractive index is close to that of the resin component, the permeability is improved, and the generation efficiency of the base from the photobase generator by light irradiation is increased. The difference in refractive index between the inorganic filler and the alkali developable resin is preferably 0.3 or less. By setting the difference in refractive index to 0.3 or less, it is possible to suppress light scattering and obtain good deep curability. Here, the refractive index of the inorganic filler is preferably 1.4 or more and 1.8 or less. In addition, the refractive index of an inorganic filler can be measured based on JISK7105.
The blending ratio of the inorganic filler is preferably 20% by mass or more and 80% by mass or less, more preferably 30% by mass or more and 80% by mass or less based on the total solid content of the thermosetting resin composition. When the blending ratio of the inorganic filler exceeds 80% by mass, the viscosity of the composition increases, and the applicability may decrease or the cured product of the thermosetting resin composition may become brittle.
In a composition in which curing proceeds due to radical reaction, when the content of the inorganic filler increases, the resolution decreases, but in the present invention, since it is a curing reaction by the generated base, the inclusion of the inorganic filler Even when the amount is increased, good resolution can be maintained.
Moreover, it is preferable that the specific gravity of an inorganic filler is 3 or less, More preferably, it is 2.8 or less, More preferably, it is 2.5 or less. When the specific gravity of the inorganic filler is 3 or less, thermal expansion can be suppressed. Examples of the inorganic filler of 3 or less include silica and aluminum hydroxide, and silica is particularly preferable.
Examples of the shape of the inorganic filler include an indeterminate shape, a needle shape, a disc shape, a scale piece, a spherical shape, and a hollow shape. Here, the spherical shape is preferable because it can be blended in the composition at a high ratio. In order to improve moisture resistance, the inorganic filler is more preferably treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent.
Moreover, the crack tolerance at the time of a thermal cycle can be improved by containing an inorganic filler. By containing a large amount of the inorganic filler, warping after curing can be suppressed.
In this invention, it is preferable that the thermal expansion coefficient (CTE) of hardened | cured material is 40 ppm or less, More preferably, it is 30 ppm or less, More preferably, it is 20 ppm or less.
[有機溶剤]
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。
[Organic solvent]
In the thermosetting resin composition of the present invention, an organic solvent can be used for preparing the resin composition or adjusting the viscosity for application to a substrate or a carrier film.
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.
[光重合性モノマー]
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲で光重合性モノマーを含んでいてもよい。
光重合性モノマーとしては、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート類;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール等のアルキレンオキシド誘導体のモノ又はジ(メタ)アクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジトリメチロールプロパン、ジペンタエリスリトール、トリスヒドロキシエチルイソシアヌレート等の多価アルコール又はこれらのエチレンオキシド或いはプロピレンオキシド付加物の多価(メタ)アクリレート類;フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのポリエトキシジ(メタ)アクリレート等のフェノール類のエチレンオキシドあるいはプロピレンオキシド付加物の(メタ)アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリジジルエーテルの(メタ)アクリレート類;及びメラミン(メタ)アクリレート等を挙げることができる。
光重合性モノマーの配合量は、熱硬化性樹脂組成物の溶剤を除く固形分を基準として、50質量%以下であることが好ましく、より好ましくは、30質量%以下であり、さらにより好ましくは、15質量%以下である。光重合性モノマーの配合量が50質量%を超える場合、硬化収縮が大きくなるため、反りが大きくなる可能性がある。また、光重合性モノマーが(メタ)アクリレート由来の場合、エステル結合を含む。この場合、デスミア処理によって、エステル結合の加水分解が起こるため、電気特性が低下する可能性がある。
[Photopolymerizable monomer]
The thermosetting resin composition of the present invention may contain a photopolymerizable monomer as long as the effects of the present invention are not impaired.
Photopolymerizable monomers include alkyl (meth) acrylates such as 2-ethylhexyl (meth) acrylate and cyclohexyl (meth) acrylate; hydroxyalkyl such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate (Meth) acrylates; mono- or di (meth) acrylates of alkylene oxide derivatives such as ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, dipropylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, ditrimethylolpropane, dipentaerythritol, Polyhydric alcohols such as trishydroxyethyl isocyanurate or polyvalent (meth) acrylates of these ethylene oxide or propylene oxide adducts (Meth) acrylates of ethylene oxide or propylene oxide adducts of phenols such as phenoxyethyl (meth) acrylate and polyethoxydi (meth) acrylate of bisphenol A; glycerin diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl (Meth) acrylates of glycidyl ether such as isocyanurate; and melamine (meth) acrylate.
The blending amount of the photopolymerizable monomer is preferably 50% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, and still more preferably based on the solid content excluding the solvent of the thermosetting resin composition. 15 mass% or less. When the blending amount of the photopolymerizable monomer exceeds 50% by mass, the curing shrinkage increases, so that the warpage may increase. When the photopolymerizable monomer is derived from (meth) acrylate, it contains an ester bond. In this case, since the ester bond is hydrolyzed by the desmear treatment, the electrical characteristics may be deteriorated.
(その他の任意成分)
(潜在性塩基)
本発明では、潜在性塩基を配合することができる。潜在性塩基を含有することにより、光照射後の加熱時間を短縮できる。潜在性塩基としては、イミダゾール系が挙げられる。
イミダゾール系化合物(B)としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−(2’−メチルイミダゾリル−(1’))−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−(2’−ウンデシルイミダゾリル)−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−(2’−エチル−4−メチルイミダゾリル−(1’))−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−(2’メチルイミダゾリル−(1’))−エチル−sトリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾール イソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニル−4,5−ジ(2−シアノエトキシ)メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール・塩酸塩、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト(1B2PZ)、2,4−ジアミノ−6−ビニル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシ−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−ビニル−1,3,5−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシ−1,3,5−トリアジンイソシアヌル酸付加物又はこれらの有機酸塩類などが挙げられる。
潜在性塩基の含有率は、組成物の全固形分100質量部を基準として、好ましくは0.1〜10質量%であり、より好ましくは0.1〜7質量%である。
なお、本発明においては、上記イミダゾール系化合物以外にも、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン、ジメチルベンジルアミン、ジエチルベンジルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミンなどの第3級アミン、
ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライドなどの4級アンモニウム塩、
トリエチルホスフィン、トリフェニルホスフィンなどのホスフィン類、
n−ブチルトリフェニルホスホニウムブロマイドなどのホスホニウム塩、
有機酸塩類、
アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン類などを用いることができ、これらと共にアミン類、酸無水物、アミノポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三弗化ホウ素アミンコンプレックス、ノボラック樹脂、ジシアンジアミド、酸ヒドラジド、カルボキシル基含有化合物などを組み合わせて使用することができる。
(Other optional ingredients)
(Latent base)
In the present invention, a latent base can be blended. By containing the latent base, the heating time after light irradiation can be shortened. Examples of the latent base include imidazole series.
Examples of the imidazole compound (B) include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2- Phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1- Cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate 2,4-diamino-6- (2′-methylimidazolyl- (1 ′))-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- (2′-undecylimidazolyl) -ethyl-s-triazine 2,4-diamino-6- (2'-ethyl-4-methylimidazolyl- (1 '))-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- (2'methylimidazolyl- (1') ) -Ethyl-striazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5 -Hydroxymethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenyl-4,5-di (2-cyanoethoxy) methylimidazole, 2-methylimidazo 2-phenylimidazoline, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 1-benzyl-2-phenylimidazole hydrochloride, 1-benzyl-2-phenylimidazolium trimellitate (1B2PZ), 2,4-diamino-6-vinyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxy-s-triazine, 2,4-diamino-6-vinyl-1,3,5-triazine isocyanuric acid adduct 2,4-diamino-6-methacryloyloxy-1,3,5-triazine isocyanuric acid adducts or organic acid salts thereof.
The content of the latent base is preferably 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 7% by mass, based on 100 parts by mass of the total solid content of the composition.
In the present invention, in addition to the imidazole compound, for example, triethylamine, tributylamine, dimethylbenzylamine, diethylbenzylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N , Tertiary amines such as 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine,
Quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride, benzyltriethylammonium chloride,
Phosphines such as triethylphosphine and triphenylphosphine,
phosphonium salts such as n-butyltriphenylphosphonium bromide,
Organic acid salts,
Guantamines such as acetoguanamine and benzoguanamine can be used, and together with these, amines, acid anhydrides, aminopolyamide resins, polysulfide resins, boron trifluoride amine complexes, novolac resins, dicyandiamide, acid hydrazides, carboxyl group-containing compounds Etc. can be used in combination.
(チオール化合物)
本発明では、チオール化合物を配合することができる。チオール化合物を含有することにより、基板上の銅回路との密着性に優れた硬化膜を得ることができる。
チオール化合部物として、1−ブタンチオール、ブチル−3−メルカプトプロピオネート、メチル−3−メルカプトプロピオネート、2,2−(エチレンジオキシ)ジエタンチオール、エタンチオール、4−メチルベンゼンチオール、ドデシルメルカプタン、プロパンチオール、ブタンチオール、ペンタンチオール、1−オクタンチオール、シクロペンタンチオール、シクロヘキサンチオール、チオグリセロール、4,4−チオビスベンゼンチオール等が挙げられる。
チオール化合物として多官能性メルカプタン系化合物も用いることができる。多官能性メルカプタン系化合物としては、例えば、ヘキサン−1,6−ジチオール、デカン−1,10−ジチオール、ジメルカプトジエチルエーテル、ジメルカプトジエチルスルフィド等の脂肪族チオール類、キシリレンジメルカプタン、4,4′−ジメルカプトジフェニルスルフィド、1,4−ベンゼンジチオール等の芳香族チオール類;エチレングリコールビス(メルカプトアセテート)、ポリエチレングリコールビス(メルカプトアセテート)、プロピレングリコールビス(メルカプトアセテート)、グリセリントリス(メルカプトアセテート)、トリメチロールエタントリス(メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールテトラキス(メルカプトアセテート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(メルカプトアセテート)等の多価アルコールのポリ(メルカプトアセテート)類;エチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ポリエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、プロピレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、グリセリントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタントリス(メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)等の多価アルコールのポリ(3−メルカプトプロピオネート)類;1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、ペンタエリリトールテトラキス(3−メルタプトブチレート)等のポリ(メルカプトブチレート)類等が挙げられる。
これらの市販品としては、例えばBMPA、MPM、EHMP、NOMP、MBMP、STMP、TMMP、PEMP、DPMP、及びTEMPIC(以上、堺化学工業(株)製)、カレンズMT−PE1、カレンズMT−BD1、及びカレンズ−NR1(以上、昭和電工(株)製)等を挙げることができる。
(Thiol compound)
In the present invention, a thiol compound can be blended. By containing a thiol compound, a cured film having excellent adhesion to a copper circuit on the substrate can be obtained.
As thiol compound, 1-butanethiol, butyl-3-mercaptopropionate, methyl-3-mercaptopropionate, 2,2- (ethylenedioxy) diethanethiol, ethanethiol, 4-methylbenzenethiol , Dodecyl mercaptan, propanethiol, butanethiol, pentanethiol, 1-octanethiol, cyclopentanethiol, cyclohexanethiol, thioglycerol, 4,4-thiobisbenzenethiol, and the like.
A polyfunctional mercaptan-based compound can also be used as the thiol compound. Examples of the polyfunctional mercaptan compound include aliphatic thiols such as hexane-1,6-dithiol, decane-1,10-dithiol, dimercaptodiethyl ether, dimercaptodiethylsulfide, xylylene dimercaptan, 4,4. Aromatic thiols such as' -dimercaptodiphenyl sulfide, 1,4-benzenedithiol; ethylene glycol bis (mercaptoacetate), polyethylene glycol bis (mercaptoacetate), propylene glycol bis (mercaptoacetate), glycerin tris (mercaptoacetate) , Trimethylolethane tris (mercaptoacetate), trimethylolpropane tris (mercaptoacetate), pentaerythritol tetrakis (mercaptoacetate), dipen Poly (mercaptoacetate) polyhydric alcohols such as erythritol hexakis (mercaptoacetate); ethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), polyethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), propylene glycol bis (3- Mercaptopropionate), glycerol tris (3-mercaptopropionate), trimethylol ethane tris (mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) And poly (3-mercaptopropionate) of polyhydric alcohols such as dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate); 1,4-bis (3-mercaptobutyryl) Oxy) butane, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, pentaerythritol tetrakis (3- And poly (mercaptobutyrate) s such as mercaptobutyrate).
Examples of these commercially available products include BMPA, MPM, EHMP, NOMP, MBMP, STMP, TMMP, PMP, DPMP, and TEMPIC (above, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), Karenz MT-PE1, Karenz MT-BD1, And Karenz-NR1 (manufactured by Showa Denko KK).
また、チオール化合物としてメルカプト基を有する複素環化合物も用いることができる。メルカプト基を有する複素環化合物としては、例えば、メルカプト−4−ブチロラクトン(別名:2−メルカプト−4−ブタノリド)、2−メルカプト−4−メチル−4−ブチロラクトン、2−メルカプト−4−エチル−4−ブチロラクトン、2−メルカプト−4−ブチロチオラクトン、2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−メトキシ−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−エトキシ−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−メチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−(2−メトキシ)エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−(2−エトキシ)エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、2−メルカプト−5−バレロラクトン、2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−メチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−(2−メトキシ)エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−(2−エトキシ)エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプト−5−メチルチオ−チアジアゾール、2−メルカプト−6−ヘキサノラクタム、2,4,6−トリメルカプト−s−トリアジン(三協化成株式会社製:商品名ジスネットF)、2−ジブチルアミノ−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン(三協化成株式会社製:商品名ジスネットDB)、及び2−アニリノ−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン(三協化成株式会社製:商品名ジスネットAF)等が挙げられる。 Moreover, the heterocyclic compound which has a mercapto group as a thiol compound can also be used. Examples of the heterocyclic compound having a mercapto group include mercapto-4-butyrolactone (also known as 2-mercapto-4-butanolide), 2-mercapto-4-methyl-4-butyrolactone, and 2-mercapto-4-ethyl-4. -Butyrolactone, 2-mercapto-4-butyrothiolactone, 2-mercapto-4-butyrolactam, N-methoxy-2-mercapto-4-butyrolactam, N-ethoxy-2-mercapto-4-butyrolactam, N-methyl- 2-mercapto-4-butyrolactam, N-ethyl-2-mercapto-4-butyrolactam, N- (2-methoxy) ethyl-2-mercapto-4-butyrolactam, N- (2-ethoxy) ethyl-2-mercapto- 4-butyrolactam, 2-mercapto-5-valerolactone, 2-mercap -5-valerolactam, N-methyl-2-mercapto-5-valerolactam, N-ethyl-2-mercapto-5-valerolactam, N- (2-methoxy) ethyl-2-mercapto-5-valerolactam, N- (2-ethoxy) ethyl-2-mercapto-5-valerolactam, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercapto-5-methylthio-thiadiazole, 2-mercapto-6-hexanolactam, 2,4,6- Trimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Chemical Co., Ltd .: trade name Disnet F), 2-dibutylamino-4,6-dimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Chemical Co., Ltd .: trade name Disnet DB), and 2 -Anilino-4,6-dimercapto-s-triazine (manufactured by Sankyo Kasei Co., Ltd .: trade name Disnet AF)
特に、硬化性樹脂組成物の現像性を損なうことがないことから、メルカプトベンゾチアゾール、3−メルカプト−4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール、5−メチル−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、1−フェニル−5−メルカプト−1H−テトラゾールが好ましい。これらのチオール化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
その他、3−メルカプトプロピルメチルメトキシシラン(KBM−802、信越化学社)、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(KBM−803、信越化学社)でもよい。
チオール化合物の配合量は、熱反応性化合物100質量部に対して、0.1〜30質量部が好ましく、0.5〜20質量部がより好ましく、1〜15質量部がさらにより好ましい。
In particular, since the developability of the curable resin composition is not impaired, mercaptobenzothiazole, 3-mercapto-4-methyl-4H-1,2,4-triazole, 5-methyl-1,3,4- Thiadiazole-2-thiol, 1-phenyl-5-mercapto-1H-tetrazole is preferred. These thiol compounds may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
In addition, 3-mercaptopropylmethylmethoxysilane (KBM-802, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane (KBM-803, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) may be used.
0.1-30 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of thermoreactive compounds, as for the compounding quantity of a thiol compound, 0.5-20 mass parts is more preferable, and 1-15 mass parts is still more preferable.
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
また、上記の熱硬化性樹脂組成物には、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
また、熱硬化性成分として、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の熱硬化性樹脂等を配合してもよい。
さらに、アルカリ現像性樹脂としてフェノール樹脂を含有し、熱反応性化合物としてエポキシ樹脂を含有することで、Tgを高くでき、原料の軟化点に依存すること無くHAST耐性に優れた硬化物が得られる樹脂組成物とすることができる。また、光重合性モノマー(分子内にエチレン性不飽和基を含有し、カルボキシル基含有樹脂を主成分とする光硬化性樹脂組成物において、光硬化を促進するために配合される低分子化合物)を配合しない組成とした場合、タック性に優れる樹脂組成物とすることができる。
従来の光硬化性樹脂組成物では、光硬化反応を室温下で起こす為、硬化時に樹脂組成物のTgが上昇する結果、硬化反応が停止してしまう場合があり、樹脂組成物のTgを低く設計する必要があった。それに対して本発明のアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物は、硬化反応前のTgに制限はなく、高Tgとすることが期待できる。また、本発明のアルカリ現像型熱硬化性樹脂組成物は、酸素阻害を受けずに硬化することが期待できる。
The thermosetting resin composition of the present invention may further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber as necessary. As these, those known in the field of electronic materials can be used.
In addition, the thermosetting resin composition includes a known and commonly used thickening agent such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, an antifoaming agent such as silicone, fluorine, and polymer, and / or Known and commonly used additives such as a leveling agent, a silane coupling agent, and a rust preventive agent can be blended.
Moreover, you may mix | blend well-known and usual thermosetting resins, such as a block isocyanate compound, an amino resin, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, an episulfide resin, etc. as a thermosetting component.
Furthermore, by containing a phenol resin as the alkali-developable resin and an epoxy resin as the heat-reactive compound, it is possible to increase Tg and obtain a cured product having excellent HAST resistance without depending on the softening point of the raw material. It can be set as a resin composition. In addition, a photopolymerizable monomer (a low molecular compound compounded to promote photocuring in a photocurable resin composition containing an ethylenically unsaturated group in the molecule and containing a carboxyl group-containing resin as a main component) When it is set as the composition which does not mix | blend, it can be set as the resin composition excellent in tackiness.
In the conventional photocurable resin composition, since the photocuring reaction occurs at room temperature, the Tg of the resin composition rises at the time of curing. There was a need to design. On the other hand, the alkali development type thermosetting resin composition of the present invention is not limited to Tg before the curing reaction, and can be expected to have a high Tg. Further, the alkali development type thermosetting resin composition of the present invention can be expected to be cured without being inhibited by oxygen.
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、プリント配線板のパターン層の形成に有用であり、中でもソルダーレジストや層間絶縁層の材料として有用である。 The thermosetting resin composition of the present invention is useful for forming a pattern layer of a printed wiring board, and is particularly useful as a material for a solder resist or an interlayer insulating layer.
[パターン形成方法]
本発明の熱硬化性樹脂組成物を好適に用いることができるパターン形成方法は、基材に熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程(A)、ネガ型のパターン状の光照射にて熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程(B)、現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成する工程(C)を含む。
パターン状の光照射により熱硬化性樹脂組成物の光照射部内に塩基を発生させることにより、光照射部を硬化させる。その後、有機溶剤又はアルカリ水溶液にて現像することで、未照射部を除去し、ネガ型のパターン層を形成する。
ここで、本発明では、工程(B)の後、樹脂層を加熱する工程(B1)を有することが好ましい。これにより、樹脂層を十分に硬化して、さらに硬化特性に優れたパターン層を得ることができる。
[Pattern formation method]
The pattern forming method in which the thermosetting resin composition of the present invention can be suitably used includes the step (A) of forming a resin layer made of a thermosetting resin composition on a substrate, and a negative pattern-shaped light irradiation. Activating the photobase generator contained in the thermosetting resin composition in step (B) to cure the light-irradiated part, and forming a negative pattern layer by removing the unirradiated part by development ( C).
A light irradiation part is hardened by generating a base in the light irradiation part of a thermosetting resin composition by pattern-shaped light irradiation. Then, by developing with an organic solvent or an aqueous alkali solution, the unirradiated part is removed, and a negative pattern layer is formed.
Here, in this invention, it is preferable to have the process (B1) of heating a resin layer after a process (B). Thereby, a resin layer can fully be hardened and the pattern layer excellent in the hardening characteristic can be obtained.
[工程(A)]
図6を参照しつつパターン形成方法を説明する。工程(A)は、基材に熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程である。樹脂層を形成する方法は、液状の熱硬化性樹脂組成物を基材上に、塗布、乾燥する方法や、熱硬化性樹脂組成物をドライフィルムにしたものを基材上にラミネートする方法によることができる。
[Step (A)]
The pattern forming method will be described with reference to FIG. A process (A) is a process of forming the resin layer which consists of a thermosetting resin composition in a base material. The resin layer is formed by a method in which a liquid thermosetting resin composition is applied and dried on a substrate, or a method in which a thermosetting resin composition is formed into a dry film and laminated on the substrate. be able to.
熱硬化性樹脂組成物の基材への塗布方法は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等の公知の方法を適宜採用することができる。また、乾燥方法は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより支持体に吹き付ける方法等、公知の方法が適用できる。
基材としては、予め回路形成されたプリント配線基材やフレキシブルプリント配線基材の他、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布−エポキシ樹脂、ガラス−ポリイミド、ガラス布/不繊布−エポキシ樹脂、ガラス布/紙−エポキシ樹脂、合成繊維−エポキシ樹脂、フッ素樹脂・ポリエチレン・PPO・シアネートエステル等の複合材を用いた全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基材、セラミック基材、ウエハ基材等を用いることができる。
As a method for applying the thermosetting resin composition to the substrate, a known method such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, or a film coater can be appropriately employed. Also, the drying method is a method using a hot-air circulation type drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven, etc., equipped with a heat source of the heating method by steam, and the hot air in the dryer is counter-contacted and supported by the nozzle Known methods such as a method of spraying on the body can be applied.
As the substrate, in addition to a printed wiring substrate and a flexible printed wiring substrate in which a circuit is formed in advance, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / non-woven cloth-epoxy Resin, glass cloth / paper-epoxy resin, synthetic fiber-epoxy resin, copper-clad laminates of all grades (FR-4 etc.) using polyimide, polyethylene, PPO, cyanate ester, etc., polyimide film, A PET film, a glass substrate, a ceramic substrate, a wafer substrate and the like can be used.
[工程(B)]
工程(B)は、ネガ型のパターン状に光照射して熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程である。工程(B)は、光照射部で発生した塩基により、光塩基発生剤が不安定化し、さらに塩基が発生すると考えられる。このように塩基が化学的に増殖することにより、光照射部の深部まで十分硬化できる。
光照射に用いられる光照射機としては、例えば、レーザー光、ランプ光、LED光を照射可能な直接描画装置を用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクを用いることができる。
[Step (B)]
Step (B) is a step of irradiating light in a negative pattern and activating the photobase generator contained in the thermosetting resin composition to cure the light irradiated portion. In the step (B), it is considered that the photobase generator is destabilized by the base generated in the light irradiation part, and further the base is generated. In this way, the base can be sufficiently cured to the deep part of the light irradiation part by chemically growing.
As a light irradiator used for light irradiation, for example, a direct drawing apparatus capable of irradiating laser light, lamp light, and LED light can be used. As the patterned light irradiation mask, a negative mask can be used.
活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光又は散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく熱硬化性樹脂組成物の熱反応性を向上させることができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cm2、好ましくは300〜1500mJ/cm2の範囲内とすることができる。 As the active energy ray, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the thermal reactivity of the thermosetting resin composition can be improved efficiently. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, the light irradiation amount varies depending on the film thickness, etc., generally 100~1500mJ / cm 2, preferably be in the range of 300~1500mJ / cm 2.
直接描画装置としては、例えば、日本オルボテック社製、ペンタックス社製等のものを使用することができ、最大波長が350〜410nmのレーザー光を発振する装置であればいずれの装置を用いてもよい。 As the direct drawing device, for example, a device manufactured by Nippon Orbotech, manufactured by Pentax, or the like can be used, and any device that oscillates laser light having a maximum wavelength of 350 to 410 nm may be used. .
[工程(B1)]
工程(B1)は、加熱により光照射部を硬化する。工程(B1)は、工程(B)で発生した塩基により深部まで硬化できる。
加熱温度は、熱硬化性樹脂組成物のうち光照射部は熱硬化するが、未照射部は熱硬化しない温度であることが好ましい。
例えば、工程(B1)は、未照射の熱硬化性樹脂組成物の発熱開始温度又は発熱ピーク温度よりも低く、かつ、光照射した熱硬化性樹脂組成物の発熱開始温度又は発熱ピーク温度よりも高い温度で加熱することが好ましい。このように加熱することにより、光照射部のみを選択的に硬化することができる。
ここで、加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱温度を80℃以上とすることにより、光照射部を十分に硬化できる。一方、加熱温度を140℃以下とすることにより、光照射部のみを選択的に硬化できる。加熱時間は、例えば、10〜100分である。加熱方法は、上記乾燥方法と同様である。
なお、未照射部では、光塩基発生剤から塩基が発生しないため、熱硬化が抑制される。
[Step (B1)]
In the step (B1), the light irradiation part is cured by heating. Step (B1) can be cured to a deep portion by the base generated in step (B).
The heating temperature is preferably a temperature at which the light-irradiated portion of the thermosetting resin composition is thermally cured, but the non-irradiated portion is not thermally cured.
For example, in the step (B1), the heat generation start temperature or the heat generation peak temperature of the unirradiated thermosetting resin composition is lower than the heat generation start temperature or the heat generation peak temperature of the light irradiated thermosetting resin composition. Heating at a high temperature is preferred. By heating in this way, only the light irradiation part can be selectively cured.
Here, the heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. By setting the heating temperature to 80 ° C. or higher, the light irradiation part can be sufficiently cured. On the other hand, by setting the heating temperature to 140 ° C. or lower, only the light irradiation part can be selectively cured. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes. The heating method is the same as the drying method.
In the unirradiated portion, no base is generated from the photobase generator, so that thermosetting is suppressed.
[工程(C)]
工程(C)は、現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成する工程である。現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等公知の方法によることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、エタノールアミンなどのアミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
[Step (C)]
Step (C) is a step of forming a negative pattern layer by removing unirradiated portions by development. As a developing method, a known method such as a dipping method, a shower method, a spray method, or a brush method can be used. Developers include potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, amines such as ethanolamine, and alkalis such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH). An aqueous solution or a mixed solution thereof can be used.
[工程(D)]
上記パターン形成方法は、工程(C)の後に、さらに、紫外線照射工程(D)を含むことが好ましい。工程(C)の後にさらに紫外線照射を行うことで、光照射時に活性化せずに残った光塩基発生剤を活性化させることができる。工程(C)の後の紫外線照射工程(D)における紫外線の波長および光照射量(露光量)は、工程(B)と同じであってもよく、異なっていてもよい。好適な光照射量(露光量)は、150〜2000mJ/cm2である。
[Step (D)]
The pattern forming method preferably further includes an ultraviolet irradiation step (D) after the step (C). By further irradiating with ultraviolet rays after the step (C), the photobase generator remaining without being activated at the time of light irradiation can be activated. The wavelength of ultraviolet rays and the light irradiation amount (exposure amount) in the ultraviolet irradiation step (D) after the step (C) may be the same as or different from those in the step (B). A suitable light irradiation amount (exposure amount) is 150 to 2000 mJ / cm 2 .
[工程(E)]
上記パターン形成方法は、工程(C)の後に、さらに、熱硬化(ポストキュア)工程(E)を含むことが好ましい。
工程(C)の後に工程(D)と工程(E)をともに行う場合、工程(E)は、工程(D)の後に行うことが好ましい。
工程(E)は、工程(B)、または工程(B)および工程(D)により光塩基発生剤から発生した塩基により、パターン層を十分に熱硬化させる。工程(E)の時点では、未照射部を既に除去しているため、工程(E)は、未照射の熱硬化性樹脂組成物の硬化反応開始温度以上の温度で行うことができる。これにより、パターン層を十分に熱硬化させることができる。加熱温度は、例えば、160℃以上である。
[Step (E)]
The pattern formation method preferably further includes a thermosetting (post-cure) step (E) after the step (C).
When performing a process (D) and a process (E) together after a process (C), it is preferable to perform a process (E) after a process (D).
In the step (E), the pattern layer is sufficiently heat-cured by the base generated from the photobase generator in the step (B) or the steps (B) and (D). Since the unirradiated portion has already been removed at the time of the step (E), the step (E) can be performed at a temperature equal to or higher than the curing reaction start temperature of the unirradiated thermosetting resin composition. Thereby, a pattern layer can fully be thermosetted. The heating temperature is, for example, 160 ° C. or higher.
[工程(F)]
上記パターン形成方法は、さらに、レーザー加工工程(F)を含んでもよい。レーザー加工により微細な開口部を形成することができる。レーザーは、YAGレーザー、CO2レーザー、エキシマレーザーなど公知のレーザーを用いることができる。
工程(F)は、工程(C)の後、又は、工程(D)、(E)を含む場合は、工程(D)、(E)の後に行うことが好ましい。
[Step (F)]
The pattern forming method may further include a laser processing step (F). Fine openings can be formed by laser processing. As the laser, a known laser such as a YAG laser, a CO2 laser, or an excimer laser can be used.
The step (F) is preferably performed after the step (C) or after the steps (D) and (E) when the step (F) includes the steps (D) and (E).
[工程(G)]
本発明のパターン形成方法は、さらに、工程(F)後、デスミア工程(G)を含むことが好ましい。
工程(G)は、スミアを膨潤させて除去されやすくするためのスミア膨潤工程、スミアを除去する除去工程、および除去工程で使用されたデスミア液から生じるスラッジを中和する中和工程を含む。
膨潤工程は、水酸化ナトリウム等のアルカリ薬液を用いて行うもので、デスミア薬液によるスミア除去を容易にするものである。
除去工程は、重クロム酸や過マンガン酸等の酸化剤を含む酸性薬液を用いてスミアを除去する。
中和工程は、水酸化ナトリウム等のアルカリ薬液を用いて、除去工程で使用した酸化剤を還元、除去する。
[Step (G)]
The pattern forming method of the present invention preferably further includes a desmear process (G) after the process (F).
Step (G) includes a smear swelling step for swelling smear to facilitate removal, a removal step for removing smear, and a neutralization step for neutralizing sludge generated from the desmear liquid used in the removal step.
The swelling step is performed using an alkali chemical such as sodium hydroxide, and facilitates smear removal with a desmear chemical.
In the removing step, smear is removed using an acidic chemical solution containing an oxidizing agent such as dichromic acid or permanganic acid.
In the neutralization step, the oxidizing agent used in the removal step is reduced and removed using an alkaline chemical such as sodium hydroxide.
以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.
(参考例1〜10)
<熱硬化性樹脂組成物の調製>
下記表1記載の配合に従って、参考例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、熱硬化性樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り、質量部である。
(Reference Examples 1 to 10)
<Preparation of thermosetting resin composition>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the materials described in the reference examples were respectively blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare a thermosetting resin composition. The values in the table are parts by mass unless otherwise specified.
<樹脂層を備えるプリント配線基材の作製>
銅厚15μmで回路が形成されている板厚0.4mmの両面プリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、ロールコーター(ファーネス社)を用い、前記前処理を行ったプリント配線基材に熱硬化性樹脂組成物を乾燥後で20μmになるように両面塗布をおこなった。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30minにて乾燥、熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。
<Preparation of a printed wiring board provided with a resin layer>
A double-sided printed wiring substrate having a copper thickness of 15 μm and a circuit formed thereon having a thickness of 0.4 mm was prepared, and pretreated using MEC CZ-8100. Thereafter, using a roll coater (Furness Co., Ltd.), the thermosetting resin composition was applied to the pre-treated printed wiring board so as to have a thickness of 20 μm after drying. Then, it dried at 90 degreeC / 30min with the hot air circulation type drying furnace, and formed the resin layer which consists of a thermosetting resin composition.
<アルカリ現像性(パターニング)評価用基板の作製>
上記で得られた樹脂層を備える基板に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて開口設計サイズ100μmのネガ型のパターン状に光照射した。光照射量については、DSCによる発熱ピーク温度を参考に下記表1に記載のように設定した。次いで表1に記載の温度条件にて60〜80分間加熱処理を行った。その後、35℃の、3wt% TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液中に基板を浸漬して3分間現像を行い、現像性およびパターニングの評価を下記基準に従って行った。得られた結果を表に示す。
(評価方法)
◎:TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液に代えて、炭酸ナトリウム水溶液でも、現像が可能。光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられない状態
○:光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられない状態
×:未照射部に現像残渣が確認された。または、未照射部の現像ができなかった状態。
××:光照射部および未照射部ともに完全に溶解した状態。
×××:開口部の深部にアンダーカットが見られた
<Preparation of substrate for alkali developability (patterning) evaluation>
The substrate provided with the resin layer obtained above was irradiated with a negative pattern with an aperture design size of 100 μm by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as shown in Table 1 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Next, heat treatment was performed for 60 to 80 minutes under the temperature conditions described in Table 1. Thereafter, the substrate was immersed in a 3 wt% TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution at 35 ° C. and developed for 3 minutes, and development and patterning were evaluated according to the following criteria. The results obtained are shown in the table.
(Evaluation method)
A: Development is possible with a sodium carbonate aqueous solution in place of the TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution. No damage from the developer on the surface of the light-irradiated area, and no development residue on the non-irradiated area. X: The development residue was confirmed in the non-irradiated part. Alternatively, the unexposed area could not be developed.
XX: A state where both the light irradiated part and the unirradiated part are completely dissolved.
XXX: Undercut was observed in the deep part of the opening
(デスミア耐性)
開口パターンの形成を評価した基材と同じ方法で作製した基材について、更にORC社紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて表1〜3に記載のポストキュア温度で60分間硬化させた(ポストキュア)。その後、光照射面にレーザー加工をおこなった。光源はCO2レーザー(日立ビアメカニクス社、光源10.6μm)にて加工した。下記基準に従って評価した。加工性の優劣をつけるために、全て同条件でレーザー加工を行った。
加工径狙いはトップ径65μm/ボトム50μmである。
条件:アパチャー(マスク径):3.1mm/パルス幅20μsec/出力2W/周波数5kHz/ショット数:バースト3ショット
上記レーザー加工を行った基材について、更に過マンガン酸デスミア水溶液(湿式法)によりデスミア処理を行った。デスミア耐性の評価として、基材表面の表面粗度の確認および、レーザー開口部周辺の状態を下記基準に従って評価をおこなった。表面粗度の確認は、レーザー顕微鏡VK−8500(キーエンス社、測定倍率2000倍、Z軸方向測定ピッチ10nm)により、それぞれの表面粗度Raを測定した。レーザー開口部の観察は、光学顕微鏡によっておこなった。
薬液について(ローム&ハース社)
膨潤 MLB−211 温度80℃/時間10min
過マンガン酸 MLB−213 温度80℃/時間15min
還元 MLB−216 温度50℃/時間5min
評価方法について
◎:過マンガン酸デスミア後の表面粗度Raが0.1μm未満、かつレーザー加工後の加工径との差が2μm以下
○:過マンガン酸デスミア後の表面粗度Raが0.1〜0.3μm以下、かつレーザー加工後の加工径との差が2〜5μm
×:過マンガン酸デスミア後の表面粗度Raが0.3μmを超えるかつレーザー加工後の加工径との差が5μm以上
(Desmear resistance)
The base material produced by the same method as the base material for which the formation of the opening pattern was evaluated was further irradiated with ultraviolet rays at an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC ultraviolet irradiation device, and then subjected to Table 1 in a hot air circulation drying furnace. It hardened | cured for 60 minutes at the post-cure temperature of -3 (post-cure). Then, laser processing was performed on the light irradiation surface. The light source was processed with a CO 2 laser (Hitachi Via Mechanics, light source 10.6 μm). Evaluation was made according to the following criteria. In order to give superiority or inferiority in workability, laser processing was performed under the same conditions.
The target of the processing diameter is a top diameter of 65 μm / bottom of 50 μm.
Conditions: Aperture (mask diameter): 3.1 mm / pulse width 20 μsec / output 2 W / frequency 5 kHz / number of shots: burst 3 shots For the substrate subjected to the above laser processing, desmear is further carried out by a permanganate desmear aqueous solution (wet method). Processed. As evaluation of desmear resistance, confirmation of the surface roughness of the substrate surface and the state around the laser opening were evaluated according to the following criteria. For confirmation of the surface roughness, each surface roughness Ra was measured by a laser microscope VK-8500 (Keyence Corporation, measurement magnification 2000 times, Z-axis direction measurement pitch 10 nm). The laser aperture was observed with an optical microscope.
About chemicals (Rohm & Haas)
Swelling MLB-211 Temperature 80 ° C / hour 10min
Permanganic acid MLB-213 Temperature 80 ℃ / hour 15min
Reduction MLB-216 Temperature 50 ° C / hour 5min
Evaluation method A: Surface roughness Ra after permanganate desmear is less than 0.1 μm, and the difference from the processed diameter after laser processing is 2 μm or less ○: Surface roughness Ra after permanganate desmear is 0.1 ~ 0.3μm or less, and the difference from the processed diameter after laser processing is 2-5μm
×: Surface roughness Ra after permanganate desmear exceeds 0.3 μm and the difference from the processed diameter after laser processing is 5 μm or more
<DSC測定>
上記で得られた樹脂層を備える基材に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にてネガパターンにて光照射した。それぞれの基材について、光照射量を500mJ/cm2、1000mJ/cm2とした2パターンの光照射を行った。光照射後、基材上より樹脂層を削りだし、直ちにセイコーインスツルメンツ社DSC−6200において、昇温速度5℃/minにて30〜300℃まで昇温し、光照射部と未照射部それぞれについてDSC測定をおこなった。それぞれについて、得られたDSCチャートより発熱ピーク温度を求めた。結果を下記表2に示す。図1に参考例1の、図2に参考例9の樹脂層のDSCチャートを示す。それぞれの図は、未照射の樹脂層、光照射量1000mJ/cm2の樹脂層のDSCチャート図である。参考例1の樹脂層では、光照射によりピークが低温側にシフトした。また、参考例9の樹脂層では、光照射により初めてピークが発現した。
<DSC measurement>
The base material provided with the resin layer obtained above was irradiated with a negative pattern with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). For each substrate, light irradiation was performed two patterns where the light irradiation amount is 500mJ / cm 2, 1000mJ / cm 2. After light irradiation, the resin layer is scraped off from the base material and immediately heated to 30-300 ° C. at a temperature increase rate of 5 ° C./min in Seiko Instruments Inc. DSC-6200. DSC measurement was performed. About each, exothermic peak temperature was calculated | required from the obtained DSC chart. The results are shown in Table 2 below. FIG. 1 shows a DSC chart of the resin layer of Reference Example 1 and FIG. 2 shows a resin layer of Reference Example 9. Each figure is a DSC chart of an unirradiated resin layer and a resin layer with a light irradiation amount of 1000 mJ / cm 2 . In the resin layer of Reference Example 1, the peak shifted to the low temperature side by light irradiation. Further, in the resin layer of Reference Example 9, a peak was first exhibited by light irradiation.
前記方法にて得られたDSCチャートから、光照射部の発熱ピーク温度T peak 1、未照射部の発熱ピーク温度をT peak 2とし、ΔT peakを以下のように定義した。
ΔT peak=T peak 2−T peak 1
上記定義より、ΔT peakがプラス(正の値)のときは光照射部の発熱ピークが低温側にシフトしていることを表し、光照射をおこなうことで光塩基発生剤が活性化されていることをあらわす。
From the DSC chart obtained by the above method, the exothermic peak temperature T peak 1 of the light-irradiated portion and the exothermic peak temperature of the non-irradiated portion were defined as T peak 2 and ΔT peak was defined as follows.
ΔT peak = T peak 2−T peak 1
From the above definition, when ΔT peak is positive (positive value), it indicates that the exothermic peak of the light irradiation part is shifted to the low temperature side, and the photobase generator is activated by light irradiation. I express that.
また、参考例1,9において、紫外線照射直後、ポストキュア前のパターン層に対して、上述したようなDSC測定をおこなった。具体的には、パターン層を光照射量1000mJ/cm2で光照射した後更に1000mJ/cm2で紫外線照射したパターン層について、DSC測定を行った。
参考例1、9のパターン層について、得られたDSCチャートより発熱ピーク温度を求めた。図1に参考例1の、図2に参考例9のパターン層のDSCチャートを示す。
紫外線照射により、参考例1のパターン層では、発熱量が増大したため、さらに効率的に熱硬化反応が進行していることがわかる。また、紫外線照射により、参考例9のパターン層では、発熱量が増大し、かつ、ピークが低温側にシフトしたため、さらに効率的に熱硬化反応が進行していることがわかる。
In Reference Examples 1 and 9, the DSC measurement as described above was performed on the pattern layer immediately after the ultraviolet irradiation and before the post cure. Specifically, DSC measurement was performed on the pattern layer which was irradiated with ultraviolet light at 1000 mJ / cm 2 after the pattern layer was irradiated with light at a light irradiation amount of 1000 mJ / cm 2 .
About the pattern layer of the reference examples 1 and 9, the exothermic peak temperature was calculated | required from the obtained DSC chart. FIG. 1 shows a DSC chart of the pattern layer of Reference Example 1 and FIG. 2 shows a pattern layer of Reference Example 9.
It can be seen that the heat curing reaction proceeded more efficiently because the amount of heat generation increased in the pattern layer of Reference Example 1 by ultraviolet irradiation. In addition, it can be seen that the heat curing reaction proceeds more efficiently because the amount of heat generation is increased and the peak is shifted to the low temperature side in the pattern layer of Reference Example 9 by ultraviolet irradiation.
※HP−4032:ナフトール型エポキシ樹脂(当量150g/eq)、DIC社
※HP−7200H60:ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(当量265g/eq)、DIC社をシクロヘキサノンで溶解。固形分60%
※HF−1M H60:フェノールノボラック、明和化成社をシクロヘキサノンで溶解。固形分60%。固形OH当量100g/eq
※ジョンクリル68 H60:スチレンアクリル酸共重合樹脂、Mw=10000、酸価195、ジョンソンポリマー社、固形当量287g/eq
※Irg907:2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、BASFジャパン社
※Irg369:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、BASFジャパン社
※Irg379:2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)エタン−1−オン、BASFジャパン社
※OXE−02:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム)、BASFジャパン社
※TPO:ルシリンTPO、BASFジャパン社
* HF-1M H60: phenol novolak, Meiwa Kasei Co., Ltd. dissolved in cyclohexanone. Solid content 60%. Solid OH equivalent 100 g / eq
* Johncrill 68 H60: Styrene acrylic acid copolymer resin, Mw = 10000, acid value 195, Johnson Polymer Co., Ltd., solid equivalent 287 g / eq
* Irg907: 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, BASF Japan Ltd. * Irg369: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -Butanone-1, BASF Japan Ltd. * Irg379: 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) ethane-1-one, BASF Japan Ltd. * OXE-02: Etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (o-acetyloxime), BASF Japan Ltd. * TPO: Lucillin TPO, BASF Japan Ltd.
※2:未照射部の発熱ピーク温度
※3:T peak 2−T peak 1
※4:実施例9、10では、未照射では発熱ピークが見られず、光照射することで発熱ピークが発現した。
* 4: In Examples 9 and 10, no exothermic peak was observed when not irradiated, but an exothermic peak was expressed by light irradiation.
(比較例1〜4)
下記表4に記載の配合で、上記参考例と同様に熱硬化性樹脂組成物を調製し、基材に塗布して、熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を備える基材を作製した。DSC測定の結果を下記表5に示す。
比較例1では、光塩基発生剤を配合しなかった以外は、参考例1と同様に評価した。
比較例2では、光塩基発生剤の代わりにルシリンTPOを配合した以外は、参考例1と同様に評価した。
比較例3、4については、はじめの光照射を行わずに、表6記載の温度で30分間加熱処理を行った。また、その後の紫外線照射およびポストキュアも行わなかった。比較例4については、上記と同様にデスミア処理を行って硬化特性を評価した。得られた結果を下記表6に示す。
(Comparative Examples 1-4)
A thermosetting resin composition having the composition shown in Table 4 below was prepared in the same manner as in the above Reference Example and applied to the base material to prepare a base material provided with a resin layer made of the thermosetting resin composition. The results of DSC measurement are shown in Table 5 below.
In Comparative Example 1, evaluation was performed in the same manner as in Reference Example 1 except that no photobase generator was added.
In Comparative Example 2, evaluation was performed in the same manner as in Reference Example 1 except that lucillin TPO was blended in place of the photobase generator.
In Comparative Examples 3 and 4, the first light irradiation was not performed, and the heat treatment was performed at the temperature shown in Table 6 for 30 minutes. Further, subsequent ultraviolet irradiation and post-cure were not performed. About the comparative example 4, the desmear process was performed similarly to the above, and the hardening characteristic was evaluated. The obtained results are shown in Table 6 below.
上記表3,表6の結果から、参考例1〜10では、熱反応性化合物、アルカリ現像性樹脂、及び光塩基発生剤からなる熱硬化性樹脂組成物を用いることより、デスミア耐性などの硬化特性に優れ、現像によるパターン形成が可能であることがわかった。一方、比較例1〜4では、パターン形成が困難であった。 From the results of Tables 3 and 6 above, in Reference Examples 1 to 10, by using a thermosetting resin composition comprising a thermoreactive compound, an alkali developable resin, and a photobase generator, curing such as desmear resistance. It was found that the characteristics were excellent and pattern formation by development was possible. On the other hand, in Comparative Examples 1-4, pattern formation was difficult.
(実施例1〜7、参考例11〜66、比較例5〜9)
表7〜15に示す実施例1〜7、参考例11〜66、比較例5〜9において、参考例1と同様にして、熱硬化性樹脂組成物を調製した。
参考例11では、参考例1と同様に、液状の熱硬化性樹脂組成物をプリント配線基材に直接塗布、乾燥、光照射、加熱処理、アルカリ現像、紫外線照射、熱硬化を順に行った。
(Examples 1-7, Reference Examples 11-66, Comparative Examples 5-9)
In Examples 1-7, Reference Examples 11-66, and Comparative Examples 5-9 shown in Tables 7-15, thermosetting resin compositions were prepared in the same manner as in Reference Example 1.
In Reference Example 11, as in Reference Example 1, a liquid thermosetting resin composition was directly applied to a printed wiring board, dried, light irradiated, heat treatment, alkali development, ultraviolet irradiation, and heat curing were sequentially performed.
実施例1〜7、参考例12〜66、比較例5〜9においては、熱硬化性樹脂組成物を用いて下記のように、ドライフィルムを作製し、プリント配線基材にラミネートして、プリント配線板を作製した。得られた結果を下記表7〜表15に示す。 In Examples 1 to 7, Reference Examples 12 to 66, and Comparative Examples 5 to 9, a dry film was prepared using a thermosetting resin composition as described below, laminated on a printed wiring substrate, and printed. A wiring board was produced. The obtained results are shown in Tables 7 to 15 below.
<ドライフィルムの作製>
キャリアフィルムとして、38μmの厚みのPETフィルム上に、熱硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いて塗布し、その後90℃/30min乾燥しドライフィルムを作製した。熱硬化性樹脂組成物の厚みは乾燥後、約20μmになるように塗布量を調整した。その後、得られたドライフィルムを所定のサイズにスリット加工を行った。
<Production of dry film>
As a carrier film, a thermosetting resin composition was applied on a PET film having a thickness of 38 μm using an applicator, and then dried at 90 ° C. for 30 minutes to prepare a dry film. The coating amount was adjusted so that the thickness of the thermosetting resin composition was about 20 μm after drying. Thereafter, the obtained dry film was slit to a predetermined size.
<ラミネート>
銅厚15μmで回路が形成されている両面プリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して前処理を行ったプリント配線基材に、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いてプリント配線板基材上にドライフィルムをラミネートし、樹脂層を備えるプリント配線板を得た。ラミネート条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。
<Laminate>
A double-sided printed wiring board having a copper thickness of 15 μm and a circuit formed thereon was prepared, and a pre-processed printed wiring board using MEC CZ-8100 was used, using a well-known company vacuum laminator MVLP-500 A dry film was laminated on the printed wiring board substrate to obtain a printed wiring board having a resin layer. Lamination conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec.
<Bステージ状態の評価(基板への形成時のハンドリング)>
DF(ドライフィルム)のBステージ状態(半硬化状態)の評価を行った。得られた熱硬化性樹脂組成物が形成されているDFの所定のサイズにスリット加工を行い、DFの状態を以下の方法で確認した。
(評価方法)
◎:スリット加工後、樹脂層の割れや樹脂の粉落ちが確認されなかった
○:スリット加工後、わずかに樹脂層の割れが確認された。樹脂の粉落ちは確認されなかった
△:スリット加工後、樹脂層の割れや、樹脂の粉落ちが確認された
<Evaluation of the B stage state (handling during formation on the substrate)>
The B stage state (semi-cured state) of DF (dry film) was evaluated. Slit processing was performed to a predetermined size of the DF on which the obtained thermosetting resin composition was formed, and the state of the DF was confirmed by the following method.
(Evaluation method)
A: Cracking of the resin layer and resin powder falling were not confirmed after the slit processing. B: Slight cracking of the resin layer was confirmed after the slit processing. Resin powder-off was not confirmed. Δ: After slitting, cracking of resin layer and resin powder-off were confirmed.
<スルーホール上の凹み評価>
図7に示すように直径が300μm、ピッチが1mmの間隔にて銅めっきスルーホールが形成されている厚さ0.3mmの両面プリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して前処理を行った。その後、ドライフィルムの作製の段落に示す方法にて作製した厚さ50μmのドライフィルムを、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いて、スルーホールが形成されたプリント配線基材上に両面同時にドライフィルムをラミネートした。ラミネート条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。その後、熱硬化性樹脂層を備える基材に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて表裏とも全面ベタ露光にて光照射した。光照射量については、DSCによる発熱ピーク温度を参考に表7〜15に記載のように設定した。次いで表7〜15に記載の温度条件にて60〜80分間、基板を縦かけして加熱処理を行った。更にORC社紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃/60min縦かけ硬化させ、完全硬化させた。その後、表面粗さ測定器SE−700(小坂研究所製)を用い、スルーホール上の凹み量の確認をおこなった。
(評価方法)
○:スルーホール上の最大凹み部分が5μm以下。
△:スルーホール上の最大凹み部分が5μmを超える
<Evaluation of dent on through hole>
As shown in FIG. 7, a double-sided printed wiring substrate having a thickness of 0.3 mm in which copper plated through holes are formed at intervals of 300 μm in diameter and 1 mm in pitch is prepared using MEC CZ-8100. Pretreatment was performed. Thereafter, the dry film having a thickness of 50 μm produced by the method shown in the paragraph for producing a dry film is simultaneously dried on both sides of a printed wiring board on which through holes are formed using a vacuum laminator MVLP-500, a well-known company. The film was laminated. Lamination conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec. After that, the entire surface of the base material provided with the thermosetting resin layer was irradiated with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) on the entire surface with a solid exposure. The light irradiation amount was set as described in Tables 7 to 15 with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Next, the substrate was vertically applied for 60 to 80 minutes under the temperature conditions shown in Tables 7 to 15 for heat treatment. Further, UV irradiation was carried out with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC UV irradiation device, followed by longitudinal curing at 170 ° C./60 min in a hot air circulating drying furnace to complete curing. Then, the amount of dents on the through hole was confirmed using a surface roughness measuring instrument SE-700 (manufactured by Kosaka Laboratory).
(Evaluation method)
○: The maximum dent on the through hole is 5 μm or less.
Δ: The maximum recess on the through hole exceeds 5 μm
<開口パターンの形成の評価>
上記で得られた樹脂層を備える基板に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて開口設計サイズ100μmのネガ型のパターン状に光照射した。光照射量については、DSCによる発熱ピーク温度を参考に下記表7〜15に記載のように設定した。次いで表7〜15に記載の温度条件にて60〜80分間加熱処理を行った。その後、35℃の、3wt% TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液中に基板を浸漬して3分間現像を行い、現像性およびパターニングの評価を下記基準に従って行った。得られた結果を表に示す。
(評価方法)
◎:TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液に代えて、炭酸ナトリウム水溶液でも、現像が可能。光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられない状態
○:光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられない状態
×:未照射部に現像残渣が確認された。または、未照射部の現像ができなかった状態。
××:光照射部および未照射部ともに完全に溶解した状態。
×××:開口部の深部にアンダーカットが見られた
<Evaluation of formation of opening pattern>
The substrate provided with the resin layer obtained above was irradiated with a negative pattern with an aperture design size of 100 μm by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as described in Tables 7 to 15 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Next, heat treatment was performed for 60 to 80 minutes under the temperature conditions shown in Tables 7 to 15. Thereafter, the substrate was immersed in a 3 wt% TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution at 35 ° C. and developed for 3 minutes, and development and patterning were evaluated according to the following criteria. The results obtained are shown in the table.
(Evaluation method)
A: Development is possible with a sodium carbonate aqueous solution in place of the TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution. No damage from the developer on the surface of the light-irradiated area, and no development residue on the non-irradiated area. X: The development residue was confirmed in the non-irradiated part. Alternatively, the unexposed area could not be developed.
XX: A state where both the light irradiated part and the unirradiated part are completely dissolved.
XXX: Undercut was observed in the deep part of the opening
<ラインパターン形成>
前記で得られた樹脂層を備える基板に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にてライン/スペース=100/100μmの設計値のネガ型のパターン状に光照射した。光照射量については、DSCによる発熱ピーク温度を参考に下記表7〜15に記載のように設定した。次いで表7〜15に記載の温度条件にて60〜80分間加熱処理を行った。その後、35℃の、3wt% TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液中に基板を浸漬して3分間現像を行い、得られた設計値100μmのライン状のパターンについて評価を下記基準に従って行った。得られた結果を表に示す。
(評価方法)
○:ラインのトップ長さ100μm、ボトム長さ100μmとなり設計値どおりのパターンが得られた。
△:ラインのトップ長さ100μm、ボトム長さが60μm以上100μm未満となりわずかにアンダーカットが見られた。
×:ラインのトップ長さ100μm、ボトム長さが60μm未満となり、ボトムに大きくアンダーカットが見られた。
<Line pattern formation>
The substrate provided with the resin layer obtained above was irradiated with a negative pattern having a design value of line / space = 100/100 μm using ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as described in Tables 7 to 15 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Next, heat treatment was performed for 60 to 80 minutes under the temperature conditions shown in Tables 7 to 15. Thereafter, the substrate was immersed in a 3 wt% TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution at 35 ° C. and developed for 3 minutes, and the obtained linear pattern having a design value of 100 μm was evaluated according to the following criteria. The results obtained are shown in the table.
(Evaluation method)
○: The top length of the line was 100 μm and the bottom length was 100 μm, and a pattern as designed was obtained.
Δ: The top length of the line was 100 μm and the bottom length was 60 μm or more and less than 100 μm, and a slight undercut was observed.
X: The top length of the line was 100 μm, the bottom length was less than 60 μm, and a large undercut was observed at the bottom.
<硬化後反り評価>
ドライフィルムの作製の段落に示す方法にて作製した厚さ20μmのドライフィルムを、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いて、50mm×50mmのサイズの正方形に切り出した18μm銅箔の光沢面の片面にラミネートした。ラミネート条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。その後、熱硬化性樹脂層を備える銅箔に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて全面ベタ露光にて光照射した。光照射量については、DSCによる発熱ピーク温度を参考に表7〜15に記載のように設定した。次いで表7〜15に記載の温度条件にて60〜80分間、基板を加熱処理した。更にORC社紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃/60min硬化させ、熱硬化性樹脂組成物を片面に備える銅箔を得た。その後、得られた硬化物の反りの状態の評価として、ノギスにて端部4箇所の反り量を計測した。
(評価方法)
◎〇:ソリがほぼ見られない。4箇所の端部のうち最大反り部分の反り量が5mm未満
◎:わずかにソリが見らた。4箇所の端部のうち最大反り部分の反り量が5mm以上20mm未満
〇:4箇所の端部のうち最大反り部分の反り量が20mm以上
△:硬化物が筒状に収縮した。ノギスにて端部の反り量を計測することができなかった
<Evaluation of warpage after curing>
The glossy surface of 18 μm copper foil obtained by cutting a dry film having a thickness of 20 μm, prepared by the method shown in the section of dry film production, into a square of 50 mm × 50 mm size using a vacuum laminator MVLP-500 Laminated on one side. Lamination conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec. Thereafter, the copper foil provided with the thermosetting resin layer was irradiated with light on the entire surface by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as described in Tables 7 to 15 with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Next, the substrate was heat-treated for 60 to 80 minutes under the temperature conditions shown in Tables 7 to 15. Further, UV irradiation was performed with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC UV irradiation device, followed by curing at 170 ° C./60 min in a hot air circulating drying oven to obtain a copper foil having a thermosetting resin composition on one side. It was. Thereafter, as an evaluation of the warped state of the obtained cured product, the amount of warpage at four end portions was measured with a caliper.
(Evaluation method)
A: The warp is hardly seen. The amount of warpage of the maximum warp portion among the four end portions is less than 5 mm. Of the four end portions, the warp amount of the maximum warp portion is 5 mm or more and less than 20 mm. O: The warp amount of the maximum warp portion of the four end portions is 20 mm or more. Δ: The cured product contracted into a cylindrical shape. The amount of warp at the end could not be measured with calipers
<CTE測定>
ドライフィルムの作製の項目に記載方法に順じ、それぞれの厚み40μmのドライフィルムを作製した。その後、18μmの銅箔の光沢面側に、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いてドライフィルムをラミネートした。ラミネート条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。その後、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて全面ベタ露光をおこなった。光照射量については、DSCによる発熱ピーク温度を参考に下記表7〜15に記載のように設定した。次いで表7〜15に記載の温度条件にて60〜80分間加熱処理を行った。その後、ORC社紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃/60minにて完全硬化させた。その後、銅箔より剥離し、実施例・参考例・比較例に記載の樹脂組成物を得た。その後、得られた樹脂組成物を3mm幅、長さ10mmの短冊状に切り出しを行い、JIS−C−6481に記載のTMA法(引っ張り法)にて、CTE測定(熱膨張係数)の評価をおこなった。昇温速度は5℃/min、Tg以下の熱膨張係数の評価をおこなった。熱膨張係数は、温度範囲25℃から100℃の平均熱膨張係数、単位はppmとした。
それぞれ得られたCTEの数値を表中に示す。
<CTE measurement>
Each dry film having a thickness of 40 μm was prepared in accordance with the method described in the section of dry film preparation. Thereafter, a dry film was laminated on the glossy surface side of the 18 μm copper foil using a vacuum laminator MVLP-500 from Meiki. Lamination conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec. Thereafter, the entire surface was exposed with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as described in Tables 7 to 15 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Next, heat treatment was performed for 60 to 80 minutes under the temperature conditions shown in Tables 7 to 15. Thereafter, UV irradiation was performed with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC UV irradiation device, and then complete curing was performed at 170 ° C./60 min in a hot-air circulating drying furnace. Then, it peeled from copper foil and obtained the resin composition as described in an Example, a reference example, and a comparative example. Thereafter, the obtained resin composition was cut into a strip shape having a width of 3 mm and a length of 10 mm, and the evaluation of CTE (coefficient of thermal expansion) was evaluated by the TMA method (tensile method) described in JIS-C-6481. I did it. The rate of temperature increase was 5 ° C./min, and the thermal expansion coefficient of Tg or less was evaluated. The thermal expansion coefficient was an average thermal expansion coefficient in the temperature range of 25 ° C. to 100 ° C., and the unit was ppm.
The obtained CTE values are shown in the table.
<熱反応性化合物、マレイミド化合物、及びアルカリ現像性樹脂の屈折率の測定方法>
測定装置:アッペ屈折率計
測定条件:波長589.3nm、温度25℃
<Method of measuring refractive index of heat-reactive compound, maleimide compound, and alkali-developable resin>
Measuring apparatus: Appe refractometer Measuring conditions: Wavelength 589.3 nm, temperature 25 ° C.
<冷熱サイクル特性の評価>
上記のように過マンガン酸デスミア処理を行ったプリント配線板に対して、更に市販品の無電解ニッケルめっき浴および無電解金メッキ浴を用いて、ニッケル0.5μm、金メッキ0.03μmの条件にてメッキを行い、パターン層に金メッキ処理を施した。得られたプリント配線板について、冷熱サイクル特性評価をおこなった。処理条件は、−65℃で30min、150℃で30minを1サイクルとして、熱履歴を加え2000サイクル経過後で、パターン層の表面及び周辺部の状態を光学顕微鏡にて観察し、下記基準に従ってクラックの評価をおこなった。観察パターン数は100穴であった。
(評価方法)
◎〇:パターン層の表面及び周辺部にクラック発生なし
◎:パターン層の周辺部のクラック発生率10%未満
○:パターン層の周辺部のクラック発生率10%以上30%未満
△:パターン層の周辺部のクラック発生率30%以上
<Evaluation of thermal cycle characteristics>
The printed wiring board subjected to the permanganate desmear treatment as described above was further subjected to conditions of nickel 0.5 μm and gold plating 0.03 μm using a commercially available electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath. Plating was performed, and the pattern layer was gold-plated. About the obtained printed wiring board, the thermal cycle characteristic evaluation was performed. The processing conditions are as follows: -65 ° C for 30 min, 150 ° C for 30 min, heat history is added, and after 2000 cycles, the surface of the pattern layer and the periphery are observed with an optical microscope, and cracks are observed according to the following criteria. Was evaluated. The number of observation patterns was 100 holes.
(Evaluation method)
◎ ○: No cracks are generated on the surface and the periphery of the pattern layer ◎: Crack generation rate of the periphery of the pattern layer is less than 10% ○: Crack occurrence rate of the periphery of the pattern layer is 10% or more and less than 30% Over 30% crack generation rate in the peripheral area
(基本構成)
(基本構成)
(着色剤配合)
(フィラー配合)
(フィラー配合)
(高分子樹脂配合)
(高分子樹脂配合)
(フィラー+高分子樹脂配合、マレイミド化合物)
(比較例)
表7〜表15の熱硬化性樹脂組成物に用いられた材料は、次のとおりである。なお、表1で既に説明した材料は、重複した説明を避けるためにここでの記載は省略する。
(マレイミド化合物)
UVT−302:マレイミド基を側鎖に有するアクリルポリマー(当量320)、東亞合成社
DIC マレイミド MIA−200:DIC、マレイミドオリゴマー、Mw:約1000、当量:500g/eq
BMI−3000: エアブラウン社、長鎖アルキルビスマレイミドオリゴマー、Mw:3000
(アルカリ現像性樹脂)
MEH−7851M H60:ビフェニル/フェノールノボラック、明和化成社をシクロヘキサノンで溶解。固形分60%。固形水酸基当量210g/eq
ジョンクリル586 H60:スチレンアクリル酸共重合樹脂、Mw=3100、固形分酸価=108mgKOH/g、ジョンソンポリマー社をシクロヘキサノンで溶解。固形分60%。固形当量519g/eq。
(光塩基発生剤)
WPBG−140:1−(アントラキノン−2−イル)エチルイミダゾールカルボキシレート、和光純薬社
(高分子樹脂)
MAM M52 H30:MMA/nBA/MMAトリブロック共重合物、アルケマ社をシクロヘキサノンで溶解。固形分30%
PB−3600:エポキシ化ポリブタジエンMn=5900、ダイセル化学社
KS−10 H30:ポリビニルブチラール、積水化学社をシクロヘキサノンで溶解。固形分30%
XER−91:粒子状架橋ゴム粒子(NBR,官能基カルボン酸)、JSR社
パラロイドEXL2655:ブタジエン−アクリル樹脂のコアシェル粒子、ロームアンドハースジャパン
YX8100 BH30:フェノキシ樹脂。三菱化学社。固形分30%
(無機充填剤)
SO−C2:球状シリカ、D50=0.5μm、屈折率=1.45、2.2g/cm3、アドマテック
AO−502:球状アルミナ、D50=0.7μm、屈折率=1.76、3.9g/cm3、アドマテックス社
ハイジライトH−42M:不定形、水酸化アルミニウム、D50=1.0μm、屈折率=1.65、2.4g/cm3、昭和電工社
B−30:硫酸バリウム、D50=0.3μm、屈折率=1.64、4.3g/cm3、堺化学社
DAW−10:不定形、アルミナ、D50=10μm、屈折率=1.76、3.9g/cm3、電気化学工業
US−10:球状、シリカ、D50=10μm、屈折率=1.45、2.2g/cm3、(株)龍森
(着色剤)
フタロシアニンブルー:C.I. Pigment Blue 15:3
カーボンMA−50 カーボンブラック:三菱化学社
CR58 ルチル型酸化チタン:D50=0.28μm、4.2g/cm3、石原産業クロモフタルイエロー:C.I. Pigment Yellow 147
(その他)
ラロマーLR8863:3官能アクリレートモノマー、BASF社
R−2000:クレゾールノボラック、アクリル酸、THPA変性樹脂(固形分61%、固形分酸価87mgKOH/g、DIC社)
DPHA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート_日本化薬社
IRG−184:1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン_チバジャパン社
(参考例A、A1、実施例A1、A2)
表16に示す参考例A、A1、実施例A1、A2の熱硬化性樹脂組成物に、以下の評価を行った。
<レーザー加工性>
上記と同じ現像性(パターニング)の評価をおこなった基材について、更にORC社紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃/60min硬化させた(ポストキュア)。
その後、同一面にレーザー加工をおこなった。光源はCO2レーザー(日立ビアメカニクス社、光源10.6μm)にて加工した。下記基準に従って評価した。加工性の優劣をつけるために、全て同条件でレーザー加工を行った。
加工径狙いはトップ径65μm/ボトム50μmである。
条件:アパチャー(マスク径):3.1mm/パルス幅20μsec/出力2W/周波数5kHz/ショット数:バースト3ショット
◎:狙い加工径が、トップ±2μm未満、ボトム+2μm以上
○:狙い加工径との差がトップ、ボトムともに±2μm未満
×:狙い加工径との差がトップ、ボトムともに−2μm以上
<回路基材の隠蔽性>
熱硬化性樹脂組成物が形成された回路パターンを有する基板を、さらに200℃で1時間加熱処理を行った。その後、被覆された部分の銅回路の色が加熱によって変色したかを目視にて確認した。
○:銅回路の変色がないもの
△:銅回路の変色が認められるもの
<反射率測定>
各試験基板について、コニカミノルタ社製色彩色差計CR−400を用い、XYZ表色系のY値を測定した。その結果を、下記基準に従い評価を行った。Y値は、XYZ表色系のYの値であり、数値が大きいほど高い反射率を示す。
○:Y値が70以上
△:Y値が70未満
The materials used for the thermosetting resin compositions in Tables 7 to 15 are as follows. Note that the description of the materials already described in Table 1 is omitted here to avoid redundant description.
(Maleimide compound)
UVT-302: acrylic polymer having maleimide group in side chain (equivalent 320), Toagosei Co., Ltd. DIC maleimide MIA-200: DIC, maleimide oligomer, Mw: about 1000, equivalent: 500 g / eq
BMI-3000: Air Brown, long chain alkyl bismaleimide oligomer, Mw: 3000
(Alkali developable resin)
MEH-7851M H60: Biphenyl / phenol novolak, Meiwa Kasei Co., Ltd. dissolved in cyclohexanone. Solid content 60%. Solid hydroxyl equivalent 210g / eq
Jonkrill 586 H60: Styrene acrylic acid copolymer resin, Mw = 3100, solid content acid value = 108 mgKOH / g, Johnson polymer was dissolved in cyclohexanone. Solid content 60%. Solid equivalent 519 g / eq.
(Photobase generator)
WPBG-140: 1- (anthraquinone-2-yl) ethylimidazole carboxylate, Wako Pure Chemical Industries, Ltd. (polymer resin)
MAM M52 H30: MMA / nBA / MMA triblock copolymer, Arkema Co. dissolved in cyclohexanone. Solid content 30%
PB-3600: Epoxidized polybutadiene Mn = 5900, Daicel Chemical Company KS-10 H30: Polyvinyl butyral, Sekisui Chemical Co. dissolved in cyclohexanone. Solid content 30%
XER-91: particulate crosslinked rubber particles (NBR, functional group carboxylic acid), JSR Paraloid EXL2655: core-shell particles of butadiene-acrylic resin, Rohm and Haas Japan YX8100 BH30: phenoxy resin. Mitsubishi Chemical Corporation. Solid content 30%
(Inorganic filler)
SO-C2: spherical silica, D50 = 0.5 μm, refractive index = 1.45, 2.2 g / cm 3 , Admatech AO-502: spherical alumina, D50 = 0.7 μm, refractive index = 1.76,3. 9 g / cm 3 , Admatex Hygielite H-42M: amorphous, aluminum hydroxide, D50 = 1.0 μm, refractive index = 1.65, 2.4 g / cm 3 , Showa Denko B-30: barium sulfate D50 = 0.3 μm, refractive index = 1.64, 4.3 g / cm 3 , Sakai Chemical Co., Ltd. DAW-10: amorphous, alumina, D50 = 10 μm, refractive index = 1.76, 3.9 g / cm 3 Electrochemical industry US-10: spherical, silica, D50 = 10 μm, refractive index = 1.45, 2.2 g / cm 3 , Tatsumori Co., Ltd. (colorant)
Phthalocyanine blue: C.I. I. Pigment Blue 15: 3
Carbon MA-50 Carbon black: Mitsubishi Chemical Corporation CR58 rutile titanium oxide: D50 = 0.28 μm, 4.2 g / cm 3 , Ishihara Sangyo Chromophthal Yellow: C.I. I. Pigment Yellow 147
(Other)
Ralomer LR8863: Trifunctional acrylate monomer, BASF R-2000: Cresol novolak, acrylic acid, THPA-modified resin (solid content 61%, solid content acid value 87 mgKOH / g, DIC)
DPHA: dipentaerythritol hexaacrylate Nippon Kayaku Co., Ltd. IRG-184: 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone_Ciba Japan Co., Ltd. (Reference Examples A, A1, Examples A1, A2)
The following evaluation was performed on the thermosetting resin compositions of Reference Examples A and A1, Examples A1 and A2 shown in Table 16.
<Laser workability>
The substrate having the same developability (patterning) evaluation as described above was further irradiated with ultraviolet rays at an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC ultraviolet irradiation device, and then 170 ° C./60 min in a hot air circulating drying furnace. Cured (post cure).
Thereafter, laser processing was performed on the same surface. The light source was processed with a CO 2 laser (Hitachi Via Mechanics, light source 10.6 μm). Evaluation was made according to the following criteria. In order to give superiority or inferiority in workability, laser processing was performed under the same conditions.
The target of the processing diameter is a top diameter of 65 μm / bottom of 50 μm.
Condition: Aperture (mask diameter): 3.1 mm / pulse width 20 μsec / output 2 W / frequency 5 kHz / shot number: burst 3 shots ◎: Target machining diameter is less than top ± 2 μm, bottom +2 μm or more ○: Target machining diameter Difference between top and bottom is less than ± 2 μm x: Difference from target machining diameter is -2 μm or more for both top and bottom <Concealment of circuit substrate>
The board | substrate which has a circuit pattern in which the thermosetting resin composition was formed was further heat-processed at 200 degreeC for 1 hour. Then, it was visually confirmed whether the color of the copper circuit of the coated part was discolored by heating.
○: No copper circuit discoloration △: Copper circuit discoloration <Reflectance measurement>
About each test board | substrate, K value of XYZ color system was measured using Konica Minolta Co., Ltd. color difference meter CR-400. The results were evaluated according to the following criteria. The Y value is the Y value of the XYZ color system, and the higher the value, the higher the reflectance.
○: Y value is 70 or more Δ: Y value is less than 70
得られた結果を表16に示す。
参考例Aと参考例A1との比較から分かるように、フタロシアニンブルーがCO2レーザーの吸収助剤となりトップの加工径サイズに変化は見られなかったものの、フタロシアニンブルーを含有しない場合と比べて、ボトム加工径を大きくすることができた。
また、青色着色剤を含有することにより、レーザー加工時のボトム加工径を大きくすることができる。
参考例Aと実施例A1との比較から分かるように、黒色着色剤を含有することにより、隠蔽性を向上させることができる。
参考例Aと実施例A2との比較から分かるように、白色着色剤を含有することにより、反射率を高くすることができる。
(参考例B,B1,B2)
表17に示す参考例B、B1、B2の熱硬化性樹脂組成物に、以下の評価を行った。
<PEB時間の短縮評価(潜在性塩基を使用した時の効果)>
銅厚15μmで回路が形成されている両面プリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して前処理を行った基材に、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いてプリント配線板上にドライフィルムをラミネートした。ラミネート条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。上記で得られた樹脂層を備える基板に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にてネガ型のパターン状に750mJ/cm2照射した。その後、120℃にて40、80分間加熱処理を行った基板をそれぞれ作製した。次いで、35℃の、3wt% TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液中に基板を浸漬して3分間現像を行い、それぞれの熱処理時間での現像性を下記基準に従って評価を行った。
○:40min、80minともに、光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられなかった。
△:40minではパターンを形成することができなかった。一方で、80minでは、光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられなかった。
The obtained results are shown in Table 16.
As can be seen from the comparison between Reference Example A and Reference Example A1, although phthalocyanine blue was an absorption aid for CO 2 laser and there was no change in the top processing diameter size, compared to the case where no phthalocyanine blue was contained, The bottom machining diameter could be increased.
Moreover, the bottom processing diameter at the time of laser processing can be enlarged by containing a blue colorant.
As can be seen from the comparison between Reference Example A and Example A1, the concealability can be improved by containing a black colorant.
As can be seen from a comparison between Reference Example A and Example A2, the reflectance can be increased by containing a white colorant.
(Reference examples B, B1, B2)
The following evaluation was performed on the thermosetting resin compositions of Reference Examples B, B1, and B2 shown in Table 17.
<Evaluation of shortening PEB time (Effect when using latent base)>
Prepare a double-sided printed wiring board with a copper thickness of 15 μm and a circuit formed on it, and print it on a base material that has been pretreated using MEC CZ-8100, using a vacuum laminator MVLP-500 A dry film was laminated on the plate. Lamination conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec. The substrate provided with the resin layer obtained above was irradiated with 750 mJ / cm 2 in a negative pattern with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). Then, the board | substrate which performed the heat processing for 40 and 80 minutes at 120 degreeC was produced, respectively. Next, the substrate was immersed in a 3 wt% TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution at 35 ° C. and developed for 3 minutes, and the developability in each heat treatment time was evaluated according to the following criteria.
○: In both 40 min and 80 min, the surface of the light-irradiated part was not damaged by the developer, and no development residue was observed in the unirradiated part.
Δ: A pattern could not be formed in 40 min. On the other hand, at 80 min, the surface of the light irradiated part was not damaged by the developer, and no development residue was found on the unirradiated part.
得られた結果を表17に示す。
潜在性塩基を含有することにより、光照射後の加熱時間を短縮できる。
(参考例C,C1,C2)
表18に示す参考例C、C1、C2の熱硬化性樹脂組成物に、以下の評価を行った。
<銅との密着性(チオールを使用した時の効果)>
熱硬化性樹脂組成物が形成された全面銅張り基板を、PCT装置(エスペック社製、HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて、121℃、飽和、0.2MPaの条件で168時間処理をおこなった。その後、JIS K5600に記載のクロスカット法に従い、下地銅面との密着性の評価を行った。下地銅面の処理は、メック社CZ−8100にて1μmエッチング行いプロファイルを形成した基板を使用した。その後、樹脂表面上に升目を形成するために、カッターおよび専用のガイド治具を使用し、銅面まで傷が到達するように升目を作製した。カットの間隔は、1mmの間隔にて縦横10マスずつ、トータル100マスの升目を作製した。その後、セロハン粘着テープを貼り付け、引き剥がし試験を行い、下記に示す判断基準に従い評価をおこなった。
熱硬化性樹脂組成物が形成された全面銅張り基板をJIS K5600に記載のクロスカット法に従い、下地銅面との密着性の評価を行った。
下記に示す判断基準に従い評価をおこなった。
○:剥離後のセロハン粘着テープの表面に付着物がみられない
△:剥離後のセロハン粘着テープの表面に付着物がみられた
Table 17 shows the obtained results.
By containing the latent base, the heating time after light irradiation can be shortened.
(Reference examples C, C1, C2)
The following evaluation was performed on the thermosetting resin compositions of Reference Examples C, C1, and C2 shown in Table 18.
<Adhesion with copper (effect when using thiol)>
The entire copper-clad substrate on which the thermosetting resin composition was formed was treated for 168 hours under the conditions of 121 ° C., saturation, and 0.2 MPa using a PCT apparatus (manufactured by Espec, HAST SYSTEM TPC-412MD). . Then, according to the crosscut method described in JIS K5600, the adhesiveness with the base copper surface was evaluated. For the treatment of the base copper surface, a substrate on which a profile was formed by etching 1 μm with Mec CZ-8100 was used. Thereafter, in order to form a mesh on the resin surface, a cutter and a dedicated guide jig were used to produce a mesh so that the scratches reached the copper surface. The cut interval was 10 squares in length and breadth at an interval of 1 mm to produce a total of 100 squares. Then, the cellophane adhesive tape was affixed, the peeling test was done, and it evaluated in accordance with the judgment criteria shown below.
The overall copper-clad substrate on which the thermosetting resin composition was formed was evaluated for adhesion to the underlying copper surface according to the cross-cut method described in JIS K5600.
Evaluation was performed according to the following criteria.
○: No deposits were observed on the surface of the cellophane adhesive tape after peeling. Δ: Deposits were found on the surface of the cellophane adhesive tape after peeling.
得られた結果を表18に示す。
チオール化合物を含有することにより、基板上の銅回路との密着性に優れた硬化膜を得ることができる。
(参考例D,D1,2)
表19に示す参考例D、D1、D2の熱硬化性樹脂組成物に、以下の評価を行った。
<薄板上での反り評価(エポキシ当量200以上のエポキシを使用した時の効果)>
ドライフィルムの作製の段落に示す方法にて作製した厚さ20μmのドライフィルムを、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いて、50mm×50mmのサイズの正方形に切り出した厚み100μmの日立化成社MCL−E−679FGRのエッチアウト基板上にラミネートした。条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。その後、熱硬化性樹脂層を備えるエッチアウト基板に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて全面ベタ露光にて750mJ/cm2照射した。その後、120℃にて40、80分間加熱処理を行った基板をそれぞれ作製した。その後、更にORC社紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃/60min硬化させ、熱硬化性樹脂組成物を片面に備えるエッチアウト基板を得た。その後、得られた硬化物の反りの状態の評価として、ノギスにて端部4箇所の反り量を計測した。
(評価方法)
○:わずかに反りが見られた。4箇所の端部のうち最大反り部分の反り量が5mm以上20mm未満
△:4箇所の端部のうち最大反り部分の反り量が20mm以上
<ライフ評価>
銅厚15μmで回路が形成されている両面プリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して前処理を行った基材に、名機社真空ラミネーターMVLP−500を用いてプリントは配線板上にドライフィルムをラミネートした。ラミネート条件は温度80℃、圧力5kg/cm2/60secでおこなった。その後、温度23℃、湿度65%RHの恒温恒湿槽に熱硬化性樹脂組成物をラミネートした基板を72時間保管した。その後、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にてネガ型のパターン状に750mJ/cm2照射した。次いで120℃にて60分間加熱処理を行った。その後、35℃の、3wt% TMAH/5wt%エタノールアミン混合水溶液中に基板を浸漬して3分間現像を行い、現像性およびパターニングの評価を下記基準に従って行った。
○:光照射部表面に現像液によるダメージが無く、また未照射部に現像残渣がみられない状態
△:光照射部表面に現像液によるダメージが無く、未照射部にわずかに現像残渣がみられた。
The obtained results are shown in Table 18.
By containing a thiol compound, a cured film having excellent adhesion to a copper circuit on the substrate can be obtained.
(Reference examples D, D1, 2)
The following evaluation was performed on the thermosetting resin compositions of Reference Examples D, D1, and D2 shown in Table 19.
<Evaluation of warpage on thin plate (Effect when using epoxy with epoxy equivalent of 200 or more)>
Hitachi Chemical Co., Ltd. MCL with a thickness of 100 μm obtained by cutting a dry film with a thickness of 20 μm produced by the method shown in the section of dry film production into a square with a size of 50 mm × 50 mm using a vacuum laminator MVLP-500 -E-679FGR laminated on an etch-out substrate. Conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec. Thereafter, the etch-out substrate provided with the thermosetting resin layer was irradiated with 750 mJ / cm 2 by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) with a full surface exposure. Then, the board | substrate which performed the heat processing for 40 and 80 minutes at 120 degreeC was produced, respectively. After that, UV irradiation is performed with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC UV irradiation apparatus, followed by curing at 170 ° C./60 min in a hot-air circulating drying furnace, and etching out with a thermosetting resin composition on one side. A substrate was obtained. Thereafter, as an evaluation of the warped state of the obtained cured product, the amount of warpage at four end portions was measured with a caliper.
(Evaluation method)
○: Slight warping was observed. Of the four end portions, the warp amount of the maximum warp portion is 5 mm or more and less than 20 mm. Δ: The warp amount of the maximum warp portion of the four end portions is 20 mm or more <Life Evaluation>
A double-sided printed wiring board with a copper thickness of 15 μm and a circuit formed thereon is prepared, and printing is performed on a base material that has been pretreated using MEC CZ-8100, using a vacuum machine laminator MVLP-500 A dry film was laminated on the wiring board. Lamination conditions were temperature 80 ° C., was conducted at a pressure 5kg / cm 2 / 60sec. Then, the board | substrate which laminated the thermosetting resin composition in the constant temperature and humidity chamber of temperature 23 degreeC and humidity 65% RH was stored for 72 hours. Then, 750 mJ / cm 2 was irradiated in a negative pattern with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). Next, heat treatment was performed at 120 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in a 3 wt% TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution at 35 ° C. and developed for 3 minutes, and development and patterning were evaluated according to the following criteria.
○: No damage from the developer on the surface of the light-irradiated part and no development residue on the non-irradiated part. Δ: No damage from the developer on the surface of the light-irradiated part. It was.
得られた結果を表19に示す。
エポキシ当量が200以上のエポキシ樹脂を含有することにより、硬化膜の反りを抑制し、長時間高湿度下に放置した場合でも現像性に優れる。
The obtained results are shown in Table 19.
By containing an epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or more, curling of the cured film is suppressed, and the developability is excellent even when left under high humidity for a long time.
(参考例1、3、8、9、Eにおける温度/時間違いによる現像可能な条件)
詳細な現像性/パターニング性の評価として、更に上記参考例1、3、8、9、および下記参考例Eにて作製したプリント配線板について、光照射後の加熱温度および加熱時間の評価をおこなった。表中に、現像可能な加熱時間の範囲を示す。なお、参考例Eは、参考例1の光塩基発生剤の配合部数を10質量部に減らした以外は、参考例1と同様である。
(Developable conditions due to temperature / time differences in Reference Examples 1, 3, 8, 9, and E)
As a detailed evaluation of developability / patterning property, the printed wiring boards prepared in Reference Examples 1, 3, 8, 9 and Reference Example E below were further evaluated for the heating temperature and heating time after light irradiation. It was. The table shows the range of heating time that can be developed. Reference Example E is the same as Reference Example 1 except that the number of parts of the photobase generator in Reference Example 1 is reduced to 10 parts by mass.
表20に示すように、参考例1、8では、120℃で、20〜40分間加熱した場合現像が良好であった。つまり、参考例1、8では、現像可能な加熱時間の範囲は、20分であった。参考例3では、120℃で、80〜100分間加熱した場合現像が良好であった。つまり、参考例3でも、現像可能な加熱時間の範囲は、20分であった。参考例9,Eでは、120℃で、60分間又は40分間加熱した場合のみ現像が良好であった。
従って、参考例1、3、8で用いた、分子構造内に窒素原子を複数有する光塩基発生剤では、参考例9の場合よりも、現像可能時間の幅が長いので、プリント配線板の製造が容易となることが分かった。
また、高分子樹脂を配合することで、熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度が上昇し、露光後の加熱時において、スルーホール部分の樹脂の流動を抑制することができる。その結果、スルーホール上に凹みのみられない平坦な基板を作製できる。
一方、比較例3の光ラジカル性組成物では、アルカリ現像によるパターン形成が困難になった。また、ライン形状も不良であった。さらに、冷熱サイクル時の硬化性にも劣っていた。
As shown in Table 20, in Reference Examples 1 and 8, the development was good when heated at 120 ° C. for 20 to 40 minutes. That is, in Reference Examples 1 and 8, the range of the heating time that can be developed was 20 minutes. In Reference Example 3, the development was good when heated at 120 ° C. for 80 to 100 minutes. That is, also in Reference Example 3, the range of the heating time that can be developed was 20 minutes. In Reference Examples 9 and E, development was good only when heated at 120 ° C. for 60 or 40 minutes.
Accordingly, the photobase generator having a plurality of nitrogen atoms in the molecular structure used in Reference Examples 1, 3, and 8 has a longer development time range than that of Reference Example 9, so that the printed wiring board is manufactured. Was found to be easier.
Also, by blending the polymer resin, the melt viscosity of the thermosetting resin composition is increased, and the flow of the resin in the through-hole portion can be suppressed during heating after exposure. As a result, a flat substrate that is not recessed on the through hole can be manufactured.
On the other hand, in the photoradical composition of Comparative Example 3, pattern formation by alkali development became difficult. The line shape was also poor. Furthermore, it was inferior in curability at the time of a cold-heat cycle.
<光照射直後のDSC測定>
実施例1、5、参考例43で得られた樹脂層を備える基材に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にてネガパターンにて光照射した。それぞれの基材について、光照射量を1000mJ/cm2としてパターンの光照射を行った。光照射後、基材上より樹脂層を削りだし、直ちにセイコーインスツルメンツ社DSC−6200において、昇温速度5℃/minにて30〜300℃まで昇温し、光照射部と未照射部それぞれについてDSC測定をおこなった。また、紫外線照射直後、ポストキュア前の熱硬化性樹脂組成物からなる硬化層に対して、同様にDSC測定をおこなった。
図3〜5は、それぞれ実施例1、5、43における、未照射部、光照射量1000mJ/cm2の光照射部、光照射量1000mJ/cm2で光照射した後更に1000mJ/cm2で紫外線照射した光照射部のDSCチャート図である。
実施例1、5、参考例43の光照射部では、光照射により発熱ピークが低温側にシフトした。
<DSC measurement immediately after light irradiation>
The base material provided with the resin layer obtained in Examples 1 and 5 and Reference Example 43 was irradiated with a negative pattern by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). About each base material, the light irradiation amount of light was set to 1000 mJ / cm < 2 >, and the pattern light irradiation was performed. After light irradiation, the resin layer is scraped off from the base material and immediately heated to 30-300 ° C. at a temperature increase rate of 5 ° C./min in Seiko Instruments Inc. DSC-6200. DSC measurement was performed. Moreover, DSC measurement was similarly performed with respect to the cured layer which consists of a thermosetting resin composition immediately after ultraviolet irradiation and before postcure.
3-5, in each embodiment 1,5,43, unirradiated portions, the light irradiation portion of the light irradiation amount 1000 mJ / cm 2, a light irradiation amount 1000 mJ / cm 2 at a further 1000 mJ / cm 2 after irradiation It is a DSC chart figure of the light irradiation part irradiated with the ultraviolet-ray.
In the light irradiation parts of Examples 1 and 5 and Reference Example 43, the heat generation peak shifted to the low temperature side due to light irradiation.
(比較例10)
銅厚15μmで回路が形成されている板厚0.4mmの両面プリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、商品名PSR−4000G23K(太陽インキ製造(株)社、エポキシアクリレート構造を有するアルカリ現像性樹脂を含む光硬化性樹脂組成物)をスクリーン印刷にて、乾燥後で20μmになるように塗布をおこなった。次いで、熱風循環式乾燥炉にて80℃/30minにて乾燥後、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて、光照射量300mJ/cm2にてネガ型のパターン状に光照射した。その後、1wt%炭酸ナトリウム水溶液で60秒間現像し、次いで熱風循環式乾燥炉を用いて150℃/60min熱処理を行い、パターン状の硬化塗膜を得た。
その後、上記参考例11と同様にデスミア耐性の評価をおこなった。その結果、デスミア耐性は、「×」であった。
(Comparative Example 10)
A double-sided printed wiring substrate having a copper thickness of 15 μm and a circuit formed thereon having a thickness of 0.4 mm was prepared, and pretreated using MEC CZ-8100. Thereafter, a product name PSR-4000G23K (Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd., a photocurable resin composition containing an alkali-developable resin having an epoxy acrylate structure) was applied by screen printing so that it would be 20 μm after drying. I did it. Next, after drying at 80 ° C./30 min in a hot air circulation drying furnace, the film was irradiated in a negative pattern with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) at a light irradiation amount of 300 mJ / cm 2 . Thereafter, development was performed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution for 60 seconds, followed by heat treatment at 150 ° C./60 min using a hot-air circulating drying oven to obtain a patterned cured coating film.
Thereafter, desmear resistance was evaluated in the same manner as in Reference Example 11. As a result, the desmear resistance was “x”.
Claims (4)
前記着色剤が、黒色着色剤、白色着色剤および黄色着色剤から選択される少なくとも1種であり、
選択的な光照射後の加熱で前記アルカリ現像性樹脂と前記熱反応性化合物が付加反応することにより、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となることを特徴とするアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物。 An alkali-developable resin, a heat-reactive compound, a photobase generator, and a colorant,
The colorant is at least one selected from a black colorant, a white colorant and a yellow colorant;
Alkaline development type thermosetting characterized in that a negative pattern can be formed by alkali development by an addition reaction between the alkali developable resin and the heat-reactive compound by heating after selective light irradiation. Resin composition.
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