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JP2018036314A - 偏光イメージセンサーおよび偏光イメージセンサーの製造方法 - Google Patents

偏光イメージセンサーおよび偏光イメージセンサーの製造方法 Download PDF

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JP2018036314A JP2016166883A JP2016166883A JP2018036314A JP 2018036314 A JP2018036314 A JP 2018036314A JP 2016166883 A JP2016166883 A JP 2016166883A JP 2016166883 A JP2016166883 A JP 2016166883A JP 2018036314 A JP2018036314 A JP 2018036314A
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Abstract

【課題】 可視光の光量を低減することなく、近赤外線で測定対象の情報を担持する光の偏光情報を検出できる偏光イメージセンサー、および、偏光イメージセンサーの製造方法の提供を課題とする。【解決手段】 2次元的に配置された固体撮像素子を有するセンサーアレイと、近赤外の偏光を反射し、それ以外を透過する反射型偏光板と、同一面内で固体撮像素子の1または複数に対応する複数の領域に分割され、互いに遅相軸の方向が異なる領域を二種以上有する、パターン位相差板と、を有し、センサーアレイとパターン位相差板との間に、反射型円偏光板を有することにより、課題を解決する。【選択図】 図1

Description

本発明は、偏光を検出するための偏光イメージセンサー、および、この偏光イメージセンサーの製造方法に関する。
被写体からの光の偏光の状態を検出する偏光イメージセンサーが知られている。
この偏光イメージセンサーによれば、物体の面の傾き、判別が困難な形状および境界の明確化、物体に掛かった応力の状態の検出など、通常の白黒画像またはカラー画像では得られない情報を得ることができる。
そのため偏光イメージセンサーは、検査、医療、運転補助、操作、セキュリティー等、様々な分野での利用が考えられる。
このような偏光イメージセンサーとしては、例えば、特許文献1に記載される偏光イメージング装置が知られている。
この偏光イメージング装置は、一例として、互いに光軸方向が異なる3以上の波長板の領域に分かれており、入射光の内、各領域によって各領域の光軸と、この光軸に直交する偏光成分とに異なる位相差を生じさせる偏光板ユニットを、1個以上含む波長板アレイと、波長板アレイを透過した光が入射する偏光子と、偏光子を透過した光を測光するCCD(Charge Coupled Device)センサーなどの受光素子アレイと、受光素子アレイが受光した偏光成分および無偏光成分を画像処理部と、を有して構成される。
国際公開第2008/10156号
特許文献1に記載される偏光イメージング装置によれば、観察対象の画像を担持する光の偏光状態を検出して、例えば、観察対象の形状等を検出することができる。
ここで、特許文献1に記載される偏光イメージング装置では、フォトニック結晶を用いる波長板または偏光子を用いて、可視光を処理して解析している。
そのため、受光素子アレイによって受光した光は、可視光領域の光の光量が低下しており、例えば、偏光状態の検出結果と共に、可視像を再現することが困難である。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決することにあり、可視光領域の光量を低減することなく、撮影対象によって反射された光など、撮影対象の情報を担持する光の偏光状態を検出できる偏光イメージセンサー、および、この偏光イメージセンサーの製造方法を提供することにある。
この課題を解決するために、本発明の偏光イメージセンサーは、2次元のマトリックス状に配置された固体撮像素子を有するセンサーアレイと、
特定の波長領域の近赤外線の偏光を反射し、それ以外の光を透過する反射型偏光板と、
同一面内でセンサーアレイの固体撮像素子の1個または複数個に対応する複数の領域に分割され、位相差が等しく、かつ、互いに遅相軸の方向が異なる領域を二種以上有する、パターン位相差板と、を有し、
センサーアレイとパターン位相差板との間に、反射型偏光板が配置されることを特徴とする偏光イメージセンサーを提供する。
このような本発明の偏光イメージセンサーにおいて、反射型偏光板が、特定の波長領域の近赤外線の右円偏光または左円偏光を選択的に反射する、反射型円偏光板であり、パターン位相差板がパターンλ/4板であるのが好ましい。
また、センサーアレイが、可視光を検出する固体撮像素子と、近赤外線を検出する固体撮像素子とを有するのが好ましい。
また、パターン位相差板の反射型偏光板とは逆側に、近赤外線および可視光を選択的に透過するバンドパスフィルターを有するのが好ましい。
また、パターン位相差板において、分割された領域の1つが面内位相差を持たないのが好ましい。
また、反射型偏光板とパターン位相差板との間に、光配向膜を有するのが好ましい。
また、センサーアレイと反射型偏光板との間に、光配向膜を有するのが好ましい。
また、反射型偏光板が、少なくとも1種の重合性液晶化合物をコレステリック液晶相状態で固定化してなるものであるのが好ましい。
さらに、パターン位相差板が、少なくとも1種の重合性液晶化合物を固定化してなるものであるのが好ましい。
また、本発明の偏光イメージセンサーの製造方法は、2次元のマトリックス状に配置された固体撮像素子を有するセンサーアレイの受光面側に、特定の波長領域の近赤外線の偏光を反射し、それ以外の光を透過する反射型偏光板を形成する偏光板形成工程、および、
偏光板形成工程よりも後に行われる、同一面内でセンサーアレイの固体撮像素子の1画素または複数画素に対応する複数の領域に分割され、位相差が等しく、かつ、互いに遅相軸の方向が異なる領域を二種以上有するパターン位相差板を形成する位相差板形成工程、を有することを特徴とする偏光イメージセンサーの製造方法を提供する。
このような本発明の偏光イメージセンサーの製造方法において、偏光板形成工程が、反射型偏光板の形成面に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、少なくとも1種のキラル剤、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布して、コレステリック液晶相を形成した後に、コレステリック液晶相を固定化することを含むのが好ましい。
また、偏光板形成工程の前に、反射型偏光板の形成面に光配向膜を形成する工程、および、光配向膜に対して直線偏光を照射して配向規制力を付与する工程、を含むのが好ましい。
また、位相差板形成工程が、パターン位相差板の形成面に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布して、重合性液晶化合物を配向させた後に、重合性液晶化合物を重合して固定することを含むのが好ましい。
また、位相差板形成工程の前に、パターン位相差板の形成面に光配向膜を形成する配向膜形成工程、および、光配向膜に対して、パターンフォトマスクを介して直線偏光を照射して、パターン位相差板の同一面内に異なる方向の遅相軸を形成するための配向規制力を付与する規制力付与工程、を含むのが好ましい。
また、位相差板形成工程において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成するのが好ましい。
また、規制力付与工程において、光配向膜に対して直線偏光を照射しない部分を設けることで、パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成するのが好ましい。
また、規制力付与工程において、光配向膜に対して非偏光を照射して垂直配向規制力を付与する領域を、部分的に設けることにより、パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成するのが好ましい。
また、規制力付与工程の後に、位相差板形成工程として、配向規制力を与えられた光配向膜上に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布し、重合性液晶化合物を配向させた後、重合開始剤が反応する光をフォトマスクを介して部分的に照射し、重合性液晶化合物を重合固定化する工程、および、フォトマスクによって光を遮断された未硬化部を加熱して等方相にした後、重合開始剤が反応する光を照射して、未硬化部の重合性液晶化合物を重合固定化する工程、を行うことにより、パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成するのが好ましい。
さらに、規制力付与工程の後に、位相差板形成工程として、配向規制力を与えられた光配向膜上に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布し、重合性液晶化合物を配向させた後、重合開始剤が反応する光をフォトマスクを介して部分的に照射し、重合性液晶化合物を配向させた重合固定化する工程、および、重合性液晶化合物が溶解する溶媒によって現像処理を行い、フォトマスクによって光を遮断された未硬化部を除去する工程、を行うことにより、パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成するのが好ましい。
本発明によれば、可視光の光量を低減することなく、撮影対象によって反射された光など、撮影対象の情報を担持する光の偏光状態を検出できる。
本発明の偏光イメージセンサーの一例を概念的に示す図である。 図1に示す偏光イメージセンサーのセンサーアレイの構成を概念的に示す図である。 図1に示す偏光イメージセンサーを構成する各部位の分光特性を示す図であり、特定の波長領域を850nm±50nmとした場合の例である。 図1に示す偏光イメージセンサーの構成を説明するための概念図である。 図1に示す偏光イメージセンサーの作用を説明するための概念図である。 図1に示す偏光イメージセンサーの作用を説明するための概念図である。 本発明の偏光イメージセンサーに利用されるパターン位相差板の別の例を概念的に示す図である。
以下、本発明の偏光イメージセンサーおよび偏光イメージセンサーの製造方法について、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。
本発明において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
角度等は、特に記載がなければ、一般的に許容される誤差範囲を含むものとする。
本発明において、「(メタ)アクリレート」は、「アクリレートおよびメタクリレートのいずれか一方または双方」の意味で使用される。
本発明において、可視光は、電磁波のうち、ヒトの目で見える波長の光であり、380〜780nmの波長領域の光を示す。非可視光は、380nm未満の波長領域または780nmを超える波長領域の光である。
また、これに限定されるものではないが、可視光のうち、420〜490nmの波長領域の光は青色(B)光であり、495〜570nmの波長領域の光は緑色(G)光であり、620〜750nmの波長領域の光は赤色(R)光である。
さらに、本発明において、赤外線(赤外光)とは780nmを超え、1mm以下の波長領域の光であり、中でも、近赤外線(近赤外領域)とは、780nmを超え、2000nm以下の波長領域の光である。
本発明は、近赤外領域における偏光状態を検出することを目的としているが、偏光状態の検出精度を上げるために、特定の波長領域の近赤外光のみを検出する構成にするのが好ましい。
特定の波長領域は、任意に設定することができるが、一般的にセンサーアレイに用いられるシリコンフォトダイオードの検出波長である1200nm以下の領域が好ましく、さらに、一般的な近赤外光源である近赤外LEDの代表的な波長である850nmおよび/または940nmを用いるのが最も好ましい。本発明の検出波長領域に合わせた近赤外光源を用いることで、検出対象を近赤外光源で照射した際の透過光および反射光の偏光状態を精度よく検出することができる。
図1に、本発明の偏光イメージセンサーの一例を概念的に示す。
図1に示す偏光イメージセンサー10は、センサーアレイ12と、第1配向膜14と、反射型円偏光板16と、第2配向膜18と、パターンλ/4板20と、バンドパスフィルター24とを有して構成される。
バンドパスフィルター24は、コレステリック反射層30と、近赤外線フィルター34とを有して構成される。また、コレステリック反射層30は、右円偏光コレステリック層30rと、左円偏光コレステリック層30lとを有して構成される。
なお、図1には、図面を簡略化して、本発明の偏光イメージセンサー10の構成を明確に示すために、本発明の偏光イメージセンサー10における1画素分、すなわち、後述するセンサー本体40における固体撮像素子40aの4×4=16個分しか示していない。
しかしながら、実際には、本発明の偏光イメージセンサー10は、この1画素が、後述する固体撮像素子40aの配列方向(x方向およびy方向)に、二次元的に多数配列して構成される。
図2に、センサーアレイ12を概念的に示す。
センサーアレイ12は、センサー本体40と、カラーフィルター42と、赤外遮断層46と、マイクロレンズ48と、平坦化層50とを有して構成される。
センサー本体40は、固体撮像素子40aを有する。また、カラーフィルター42は、赤色フィルター42Rと、緑色フィルター42Gと、青色フィルター42Bと、赤外フィルター42IRとを有する。
なお、図2においては、センサー本体40は、4つの固体撮像素子40aのみを示しているが、実際には、固体撮像素子40aは二次元的(x方向およびy方向)に多数が配列されているのは、図1と同様である。
また、図2においては、センサーアレイ12の構成を明確に示すために、カラーフィルター42は、赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42Bおよび赤外フィルター42IRを横一列に並べて示している。しかしながら、実際には、図1および後述する図4に概念的に示すように、各フィルターは、2×2の4個の固体撮像素子40aを1つの単位として、1個の固体撮像素子40aに対応して、4種のフィルターのいずれかが設けられており、この4種のフィルターによる2×2の配列が、固体撮像素子40aの配列方向に二次元的に繰り返し設けられるのも、図1と同様である。
前述のように、センサー本体40は、固体撮像素子40aを有する。
センサー本体40は、一般的に、フォトダイオード等の固体撮像素子40aを備えるCCD(Charge Coupled Device)またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)と呼ばれる、公知のものである。
固体撮像素子40aは、光を検出するものであり、受光素子として機能する。光の検出には、例えば、光電変換が利用される。センサー本体40は、複数の固体撮像素子40aが、x方向およびy方向(図1および図4参照)に2次元的に配置されており、図示例においては、4×4=16個の固体撮像素子40a(16画素)で1つの画素を構成する。固体撮像素子40aは、例えば、シリコンまたはゲルマニウムで構成される。
固体撮像素子40aは、光を検出することができれば、特に限定されるものではなく、PN接合型、PIN(p-intrinsic-n)接合型、ショットキー型、および、アバランシェ型のいずれかを用いることができる。
なお、センサー本体40は、これ以外にも、シリコン基板等の基板、固体撮像素子40aで得られた信号電荷を外部に出力するための配線層、各色のフィルターを通過した光が隣接する固体撮像素子40aに入射することを防止するための金属膜等からなる遮断層、および、BPSG(Boron Phosphorus Silicon Glass)で構成される絶縁層など、CCDセンサーまたはCMOSセンサーと呼ばれる公知の光センサーが有する公知の各種の部材を有してもよい。
センサー本体40の受光面には、カラーフィルター42が設けられる。
カラーフィルター42は、赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42B、および、赤外フィルター42IRを有するものであり、センサー本体40の1個の固体撮像素子40aに対応して、赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42B、および、赤外フィルター42IRのいずれかが設けられる。
図3に偏光イメージセンサー10を構成する各部位の分光特性を示す。図3に示されるスペクトル概念図の横軸は波長(nm)を示し、縦軸は透過率を示す。図3は、特定の波長領域を850nm±50nm(800〜900nm)としたときの例を示すが、本発明においては、波長領域を任意に設定することが可能であり、その場合の各部位の分光特性が任意に変更されうることは言うまでもない。
カラーフィルター42は、CCDセンサー等に用いられる公知の3原色および赤外線の吸収型のカラーフィルターである。
図3の上から3段目のCF(Color Filter)42に概念的に示すように、赤色フィルター42Rは、赤色光および赤外線を透過して、赤色光以外の可視光を吸収するものであり(図3の[赤]欄)、緑色フィルター42Gは、緑色光および赤外線を透過して、緑色光以外の可視光を吸収するものであり(図3の[緑]欄)、青色フィルター42Bは、青色光および赤外線を透過して、青色光以外の可視光を吸収するものであり(図3の[青]欄)、赤外フィルター42IRは、赤外線(IR(Infra Red))を透過して、可視光を吸収するものである(図3の[赤外]欄)。
なお、カラーフィルター42は、可視光に関しては、このような赤色、緑色および青色以外のものを用いてもよい。例えば、カラーフィルター42は、可視光に関しては、シアン、マゼンタおよびイエロー領域に透過光スペクトルを有する補色型カラーフィルターであってもよい。
ここで、可視光に対応する赤色フィルター42R、緑色フィルター42Gおよび青色フィルター42Bと、センサー本体40との間には、赤外遮断層46が設けられる。
赤外遮断層46は、所定の波長領域の赤外線を吸収もしくは反射して遮断する、吸収型の赤外線フィルターである。
センサー本体40の固体撮像素子40aは、いずれも、近赤外線に感度を有する。また、可視光の各色のフィルターは、いずれも、赤外線を透過する。
3原色の各色のフィルターに対応する固体撮像素子40aでは、対応する色の光成分のみならず、赤外線も固体撮像素子に入射し、各色の光成分として測定されてしまう。
このような赤外線成分は、適正な赤色光、緑色光および青色光に対するノイズとなってしまい、イメージセンサーによって撮影する画像の画質劣化の一因となる。
赤外遮断層46は、このような不都合を解消するために設けられるものであり、一例として、図3の上から4段目に概念的に示すように、近赤外線における特定波長(図示例においては850nm±50nm)の波長領域を吸収もしくは反射して遮断(カット)することで、各色の可視光の測定から、赤外線によるノイズを除去する。
赤外遮断層46は、一例として、赤外吸収能を有する赤外吸収材料を含むものであり、一例として、赤外吸収色素をバインダ一樹脂に混合したものが例示される。
赤外吸収色素は、吸収する波長領域に応じて、公知の各種のものが利用可能である。
具体的には、赤外吸収色素としては、主骨格としてジチオール錯体、アミノチオール錯体、フタロシアニン、ナフタロシアニン、リン酸エステル銅錯体、ニトロソ化合物、および、その金属錯体を有するものが例示される。錯体の金属部分は、鉄、マグネシウム、ニッケル、コバルト、銅、鋼、バナジウム亜鉛、パラジウム、白金、チタン、インジウム、および、スズ等が例示される。また、配位部分の元素としては、各種ハロゲン、アミン基、ニトロ基、および、チオール基といった部位を有する有機配位子が例示される。さらに、アルキル基、ヒド口キシル基、力ルボキシル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、フッ化アルキル基、および、エーテル基のなどの置換基を導入してもよい。
また、赤外吸収色素としては、一例として、シアニン、メロシアニンなどのメチン染料、卜リアリールメタン系、スクアリリウム、アントラキノン、ナフトキノン、クオタリレン、ペリレン、スリチル、イモニウム、ジイモニウム、ク口コニウム、オキサノール、ジケトピロロピロール、および、アミニウム塩等の有機化合物も好適に例示される。さらに、赤外吸収色素としては、これ以外にも、IT0(Indium Tin Oxide)、AZ0(Aluminium doped zinc oxide)、酸化タングステン、酸化アンチモン、および、セシウムタングステンなどの金属酸化物等も例示される。
カラーフィルター42の上、すなわち、カラーフィルター42のセンサー本体40とは逆面側には、マイクロレンズ48が設けられる。
マイクロレンズ48は、カラーフィルター42の赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42Bおよび赤外フィルター42IRの個々に対応して、すなわち、固体撮像素子40aの個々に対応して、設けられる。
マイクロレンズ48は、中心が縁よりも厚く形成された凸型レンズであり、固体撮像素子40aに光を集光させるものである。各マイクロレンズ48は、全て同一形状である。
このようなマイクロレンズ48は、レンズとして必要な光学特性を満たすものであれば公知の各種の材料で形成できる。マイクロレンズ48は、一例として、樹脂材料によって形成されるが、これに限定はされない。マイクロレンズ48に利用される樹脂材料としては、例えば、スチレン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン−アクリル共重合系樹脂、および、シロキサン系樹脂等が例示される。
平坦化層50は、凸レンズであるマイクロレンズ48の上の反射型円偏光板16(第1配向膜14)側の表面を平坦化するものである。なお、平坦化層50は、上層(図示例では第1配向膜14)と平坦化層50と貼り合わせるための貼合層を兼ねてもよい。
平坦化層50は、十分な光透過性を有するものであればよく、例えば、各種の樹脂材料で形成される。平坦化層50を形成する樹脂材料としては、一例として、フッ素含有シロキサン樹脂などのフッ素含有シラン化合物、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、および、エポキシ系樹脂等が例示される。
なお、マイクロレンズ48と平坦化層50とは、マイクロレンズ48の屈折率が平坦化層の屈折率よりも大きいのが好ましい。
平坦化層50すなわちセンサーアレイ12の上には、第1配向膜14を介して、反射型円偏光板16が設けられる。以下の説明では、『反射型円偏光板16』を単に『円偏光板16』とも言う。
円偏光板16は、コレステリック液晶相を固定してなるものである。従って、円偏光板は、波長選択反射性を有する。図示例の偏光イメージセンサー10においては、円偏光板16は、図3の上から2段目(円偏光板16)に概念的に示すように、近赤外線において、特定波長(図示例においては850nm±50nm)の波長領域の右円偏光を反射し、それ以外の光を透過する。
前述のように、円偏光板16は、コレステリック液晶相を固定してなる層である。コレステリック液晶相は、特定の波長において選択反射性を示す波長選択反射性を有する。
コレステリック液晶相の選択反射の中心波長λは、コレステリック液晶相における螺旋構造のピッチP(=螺旋の周期)に依存し、コレステリック液晶相の平均屈折率nとλ=n×Pの関係に従う。そのため、この螺旋構造のピッチを調節することによって、選択反射波長を調節することができる。コレステリック液晶相のピッチは、重合性液晶化合物と共に用いるキラル剤の種類、またはその添加濃度に依存するため、これらを調節することによって所望のピッチを得ることができる。
また、選択反射を示す選択反射帯域(円偏光反射帯域)の半値幅Δλ(nm)は、コレステリック液晶相のΔnと螺旋のピッチPとに依存し、Δλ=Δn×Pの関係に従う。そのため、選択反射帯域の幅の制御は、Δnを調節して行うことができる。Δnは、円偏光板16を形成する液晶化合物の種類およびその混合比率、ならびに、配向固定時の温度により調節できる。
螺旋のセンスおよびピッチの測定法については「液晶化学実験入門」日本液晶学会編 シグマ出版2007年出版、46頁、および「液晶便覧」液晶便覧編集委員会 丸善 196頁に記載の方法を用いることができる。
コレステリック液晶相の反射光は円偏光である。反射光が右円偏光であるか左円偏光であるかは、コレステリック液晶相は螺旋の捩れ方向による。コレステリック液晶相による円偏光の選択反射は、コレステリック液晶相の螺旋の捩れ方向が右の場合は右円偏光を反射し、螺旋の捩れ方向が左の場合は左円偏光を反射する。
従って、図示例においては、円偏光板16は、右捩れのコレステリック液晶相を固定してなる層である。なお、コレステリック液晶相の旋回の方向は、すなわち円偏光板16が反射する円偏光は、コレステリック液晶相を形成する液晶化合物の種類または添加されるキラル剤の種類によって調節できる。
また、円偏光板16は、右円偏光を反射するものではなく、左円偏光を反射するものであってもよい。
なお、円偏光板16は、1層からなるものでも、多層構成でもよい。
反射する光の波長領域すなわち遮断する光の波長領域を広くするには、選択反射の中心波長λをずらした層を順次積層することで実現できる。また、ピッチグラジエント法と呼ばれる層内の螺旋ピッチを段階的に変化させる方法で、波長範囲を広げる技術も知られており、具体的にはNature 378、467−469(1995)、特開平6−281814号公報、および、特許4990426号公報に記載の方法などが挙げられる。
コレステリック液晶相を固定してなる円偏光板16は、一例として、以下の方法で形成すればよい。
なお、コレステリック液晶相を固定してなる層という点では、後述するバンドパスフィルター24を構成するコレステリック反射層30の右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lも同様である。従って、以下の説明における円偏光板16を、右円偏光コレステリック層30rあるいは左円偏光コレステリック層30lに置き換えることで、右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lも同様に形成できる。
コレステリック液晶相を固定した構造は、コレステリック液晶相となっている液晶化合物の配向が保持されている構造であればよく、典型的には、重合性液晶化合物をコレステリック液晶相の配向状態としたうえで、紫外線照射、加熱等によって重合、硬化し、流動性が無い層を形成して、同時に、外場または外力によって配向形態に変化を生じさせることない状態に変化した構造であればよい。
なお、コレステリック液晶相を固定した構造においては、コレステリック液晶相の光学的性質が保持されていれば十分であり、液晶化合物は、液晶性を示さなくてもよい。例えば、重合性液晶化合物は、硬化反応により高分子量化して、液晶性を失っていてもよい。
コレステリック液晶相を固定してなるコレステリック液晶層の形成に用いる材料としては、一例として、液晶化合物を含む液晶組成物が挙げられる。液晶化合物は重合性液晶化合物であるのが好ましい。
コレステリック液晶層の形成に用いる液晶化合物を含む液晶組成物は、さらに界面活性剤を含むのが好ましい。また、コレステリック液晶層の形成に用いる液晶組成物は、さらにキラル剤、重合開始剤を含んでいてもよい。
特に、右円偏光を反射する円偏光板16を形成する液晶組成物は、重合性液晶化合物、右捩れを誘起するキラル剤あるいはさらに重合開始剤を含む重合性液晶組成物であるのが好ましい。
−−重合性液晶化合物−−
重合性液晶化合物は、棒状液晶化合物であっても、円盤状液晶化合物であってもよいが、棒状液晶化合物であるのが好ましい。
コレステリック液晶相を形成する棒状の重合性液晶化合物の例としては、棒状ネマチック液晶化合物が挙げられる。棒状ネマチック液晶化合物としては、アゾメチン類、アゾキシ類、シアノビフェニル類、シアノフェニルエステル類、安息香酸エステル類、シクロヘキサンカルボン酸フェニルエステル類、シアノフェニルシクロヘキサン類、シアノ置換フェニルピリミジン類、アルコキシ置換フェニルピリミジン類、フェニルジオキサン類、トラン類およびアルケニルシクロヘキシルベンゾニトリル類が好ましく用いられる。低分子液晶化合物だけではなく、高分子液晶化合物も用いることができる。
重合性液晶化合物は、重合性基を液晶化合物に導入することで得られる。重合性基の例には、不飽和重合性基、エポキシ基、およびアジリジニル基が含まれ、不飽和重合性基が好ましく、エチレン性不飽和重合性基がより好ましい。重合性基は種々の方法で、液晶化合物の分子中に導入できる。重合性液晶化合物が有する重合性基の個数は、好ましくは1〜6個、より好ましくは1〜3個である。重合性液晶化合物の例は、Makromol.Chem.,190巻、2255頁(1989年)、Advanced Materials 5巻、107頁(1993年)、米国特許第4683327号明細書、同5622648号明細書、同5770107号明細書、国際公開WO95/22586号公報、同95/24455号公報、同97/00600号公報、同98/23580号公報、同98/52905号公報、特開平1−272551号公報、同6−16616号公報、同7−110469号公報、同11−80081号公報、および特開2001−328973号公報などに記載の化合物が含まれる。2種類以上の重合性液晶化合物を併用してもよい。2種類以上の重合性液晶化合物を併用すると、配向温度を低下させることができる。
重合性液晶化合物の具体例としては、下記式(1)〜(14)に示す化合物が挙げられる。
[化合物(11)において、X1は2〜5(整数)である]
また、上記以外の重合性液晶化合物としては、特開昭57−165480号公報に開示されているようなコレステリック液晶相を有する環式オルガノポリシロキサン化合物等を用いることができる。さらに、前述の高分子液晶化合物としては、液晶を呈するメソゲン基を主鎖、側鎖、あるいは主鎖および側鎖の両方の位置に導入した高分子、コレステリル基を側鎖に導入した高分子コレステリック液晶、特開平9−133810号公報に開示されているような液晶性高分子、特開平11−293252号公報に開示されているような液晶性高分子等を用いることができる。
また、液晶組成物中の重合性液晶化合物の添加量は、液晶組成物の固形分質量(溶媒を除いた質量)に対して、75〜99.9質量%であるのが好ましく、80〜99質量%であるのがより好ましく、85〜90質量%であるのがさらに好ましい。
−−キラル剤(光学活性化合物)−−
キラル剤はコレステリック液晶相の螺旋構造を誘起する機能を有する。キラル剤は、化合物によって誘起する螺旋の捩れ方向または螺旋ピッチが異なるため、目的に応じて選択すればよい。
すなわち、円偏光板16を形成する際には、右捩れを誘起するキラル剤を用いる。
キラル剤としては、特に制限はなく、公知の化合物(例えば、液晶デバイスハンドブック、第3章4−3項、TN(twisted nematic)、STN(Super Twisted Nematic)用カイラル剤、199頁、日本学術振興会第142委員会編、1989に記載)、イソソルビド、イソマンニド誘導体を用いることができる。
キラル剤は、一般に不斉炭素原子を含むが、不斉炭素原子を含まない軸性不斉化合物または面性不斉化合物もキラル剤として用いることができる。軸性不斉化合物または面性不斉化合物の例には、ビナフチル、ヘリセン、パラシクロファンおよびこれらの誘導体が含まれる。キラル剤は、重合性基を有していてもよい。キラル剤と液晶化合物とがいずれも重合性基を有する場合は、重合性キラル剤と重合性液晶化合物との重合反応により、重合性液晶化合物から誘導される繰り返し単位と、キラル剤から誘導される繰り返し単位とを有するポリマーを形成することができる。この態様では、重合性キラル剤が有する重合性基は、重合性液晶化合物が有する重合性基と、同種の基であるのが好ましい。従って、キラル剤の重合性基も、不飽和重合性基、エポキシ基またはアジリジニル基であるのが好ましく、不飽和重合性基であるのがより好ましく、エチレン性不飽和重合性基であるのがさらに好ましい。
また、キラル剤は、液晶化合物であってもよい。
キラル剤が光異性化基を有する場合には、塗布、配向後に活性光線などのフォトマスク照射によって、発光波長に対応した所望の反射波長のパターンを形成することができるので好ましい。光異性化基としては、フォトクロッミック性を示す化合物の異性化部位、アゾ基、アゾキシ基、シンナモイル基が好ましい。具体的な化合物として、特開2002−80478号公報、特開2002−80851号公報、特開2002−179668号公報、特開2002−179669号公報、特開2002−179670号公報、特開2002−179681号公報、特開2002−179682号公報、特開2002−338575号公報、特開2002−338668号公報、特開2003−313189号公報、特開2003−313292号公報に記載の化合物を用いることができる。
液晶組成物における、キラル剤の含有量は、重合性液晶化合物量の0.01〜200モル%が好ましく、1〜30モル%がより好ましい。
−−重合開始剤−−
液晶組成物が重合性化合物を含む場合は、液晶組成物は重合開始剤を含有しているのが好ましい。紫外線照射により重合反応を進行させる態様では、使用する重合開始剤は、紫外線照射によって重合反応を開始可能な光重合開始剤であるのが好ましい。光重合開始剤の例には、α−カルボニル化合物(米国特許第2367661号、同2367670号の各明細書記載)、アシロインエーテル(米国特許第2448828号明細書記載)、α−炭化水素置換芳香族アシロイン化合物(米国特許第2722512号明細書記載)、多核キノン化合物(米国特許第3046127号、同2951758号の各明細書記載)、トリアリールイミダゾールダイマーとp−アミノフェニルケトンとの組み合わせ(米国特許第3549367号明細書記載)、アクリジンおよびフェナジン化合物(特開昭60−105667号公報、米国特許第4239850号明細書記載)およびオキサジアゾール化合物(米国特許第4212970号明細書記載)等が挙げられる。
液晶組成物中の光重合開始剤の含有量は、重合性液晶化合物の含有量に対して0.1〜20質量%であるのが好ましく、0.5〜12質量%であるのがさらに好ましい。
−−架橋剤−−
液晶組成物は、硬化後の膜強度向上、耐久性向上のため、任意に架橋剤を含有していてもよい。架橋剤としては、紫外線、熱、湿気等で硬化するものが好適に使用できる。
架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート等の多官能アクリレート化合物;グリシジル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテル等のエポキシ化合物;2,2−ビスヒドロキシメチルブタノール−トリス[3−(1−アジリジニル)プロピオネート]、4,4−ビス(エチレンイミノカルボニルアミノ)ジフェニルメタン等のアジリジン化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、ビウレット型イソシアネート等のイソシアネート化合物;オキサゾリン基を側鎖に有するポリオキサゾリン化合物;ビニルトリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアルコキシシラン化合物などが挙げられる。また、架橋剤の反応性に応じて公知の触媒を用いることができ、膜強度および耐久性向上に加えて生産性を向上させることができる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
架橋剤の含有量は、液晶組成物の固形分質量に対して、3〜20質量%が好ましく、5〜15質量%がより好ましい。架橋剤の含有量が上記範囲内であれば、架橋密度向上の効果が得られやすく、コレステリック液晶相の安定性がより向上する。
液晶組成物は、コレステリック液晶層を形成する際には、液体として用いられるのが好ましい。
液晶組成物は溶媒を含んでいてもよい。溶媒としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、有機溶媒が好ましく用いられる。
有機溶媒としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンおよびシクロペンタノン等のケトン類、アルキルハライド類、アミド類、スルホキシド類、ヘテロ環化合物、炭化水素類、エステル類、エーテル類などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、環境への負荷を考慮した場合にはケトン類が好ましい。上述の単官能重合性モノマーなどの上述の成分が溶媒として機能していてもよい。
円偏光板16は、一例として、重合性液晶化合物、右捩れを誘起するキラル剤、および、重合開始剤を含む円偏光板16を形成するための液晶組成物を、第1配向膜14に塗布し、加熱によって右円偏光反射特性を有するコレステリック液晶相として、紫外線の照射(紫外線の露光)によってコレステリック液晶相を固定化することによって、形成すればよい。
なお、液晶組成物の塗布、乾燥、および、紫外線の照射は、いずれも、公知の方法で行えばよい。
前述のように、センサーアレイ12(平坦化層50)と円偏光板16との間には、第1配向膜14が設けられる。
第1配向膜14は、コレステリック液晶相を固定してなる円偏光板16における、コレステリック液晶相の配向を保持するための層である。
第1配向膜14は、コレステリック液晶層の配向膜として用いられている公知の物が、各種、利用可能である。
好ましくは、第1配向膜14は、光配向膜である。光配向膜とは、一例として、アゾベンゼン系ポリマーおよびポリビニルシンナメート等の光活性分子に光化学反応を起こす波長の直線偏光または斜め非偏光を照射して光配向膜の表面に異方性を生成させるものであり、入射光によって膜の最表面の分子長軸の配向が生成され、この最表面の分子に接触する液晶を配向させる配向規制力が形成されている。
なお、光配向膜の材料としては、上述のものの他に、光活性分子が光化学反応を起こす波長の直線偏光照射による光異性化、光二量化、光環化、光架橋、光分解、および、光分解−結合のうち、いずれかの反応により膜表面に異方性を生成するものであればよく、例えば、「長谷川雅樹、日本液晶学会誌、Vol.3 No.1,p3(1999)」、「竹内安正、日本液晶学会誌、Vol.3 No.4,p262(1999)」などに記載されている種々の光配向膜材料を使用することができる。
このような第1配向膜14は、一例として、センサーアレイ12(平坦化層50)の表面に、光配向膜を形成し、この光配向膜に直線偏光を照射して配向規制力を付与することで、形成すればよい。
(反射型)円偏光板16の上には、第2配向膜18を介して、パターンλ/4板20が設けられる。すなわち、本発明の偏光イメージセンサー10においては、センサーアレイ12とパターンλ/4板20との間に、円偏光板16が配置される。
パターンλ/4板20は、λ/4板(λ/4位相差板)であって、同一面内において、センサーアレイ12(センサー本体40)の固体撮像素子40aの1画素または複数画素に対応して、複数の領域に分割され、位相差が等しく、かつ、互いに遅相軸の方向が異なる領域を、2種以上有するものである。
なお、図示例においては、反射型偏光板として円偏光板16を用いているため、パターン位相差板としてパターンλ/4板20(パターン(2n+1)/4λ板)を用いているが、本発明は、これに限定はされず、各種の構成が利用可能である。
一例として、反射型偏光板として、反射型直線偏光板を用い、パターン位相差板としてパターンλ/2板(パターン(2n+1)/2λ板)を用いる構成が例示される。反射型直線偏光板は、公知のものが、各種利用可能である。また、パターンλ/2板は、公知のパターンλ/2板や、パターンλ/4板20に準じるものが利用可能である。
前述のように、カラーフィルター42の赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42Bおよび赤外フィルター42IRは、1つの固体撮像素子40aに対応して、何れか1つのフィルターが設けられる。
図示例の偏光イメージセンサー10においては、図1および図4に概念的に示すように、2×2の4つの固体撮像素子40aの個々に対応して、赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42Bおよび赤外フィルター42IRの4種のフィルターの何れかが、1種ずつ設けられている。
パターンλ/4板20は、図1および図4に概念的に示すように、この4種のフィルターが設けられた2×2の4つの固体撮像素子40aに対応する領域に対応して、分割されている。
前述のように、偏光イメージセンサー10は、4×4=16個の固体撮像素子40aで、偏光イメージセンサー10における1つの画素を構成する。従って、偏光イメージセンサー10では、図4に概念的に示す、パターンλ/4板20における2×2の4つの領域20a〜20dによって、偏光イメージセンサー10における1画素が形成される。
領域20a〜20dは、位相差が等しく、かつ、遅相軸の方向が互いに異なる。なお、図1および図4、ならびに、後述する図5〜図7において、パターンλ/4板20(20A)の領域20a〜20dの矢印は、各領域における遅相軸の方向を示している。
具体的には、センサーアレイ12(センサー本体40)における固体撮像素子40aの二次元的な配列方向をx方向、および、x方向と直交するy方向とすると、領域20aの遅相軸はx方向と一致する方向であり、領域20bにおける遅相軸はx方向に対して45°の角度を有し、領域20cにおける遅相軸はx方向に対して90°の角度を有し、領域20dにおける遅相軸はx方向に対して135°(−45°)の角度を有する。
本発明は、このようなパターンλ/4板20、前述の円偏光板16を有することにより、可視光の光量を低減すなわち可視光の感度を低下することなく、所定の波長領域の近赤外線によって、撮影対象の情報を担持する光の偏光を検出可能にしている。この点に関しては、後に詳述する。
前述のように、パターンλ/4板20は、λ/4板である。λ/4板(λ/4機能を有する板)とは、ある特定の波長の直線偏光を円偏光に(または、円偏光を直線偏光に)変換する機能を有する板である。より具体的には、所定の波長λnmにおける面内レターデーション値がRe(λ)=λ/4(または、この奇数倍)を示す板である。この式は、近赤外線のいずれかの波長(例えば、850nm)において達成されていればよい。
パターンλ/4板20の各領域において、波長850nmの面内レターデーションRe(850)は特に限定はないが、200〜225nmが好ましく、205〜220nmがより好ましく、210〜215nmがさらに好ましい。
なお、パターンλ/4板20が支持体等を含む複数の層で形成される場合には、全ての層を含むパターンλ/4板20の全体で、この面内レターデーションの範囲を示すのが好ましい。
液晶化合物を含むパターンλ/4板20(パターン光学異方性層)の形成方法としては、例えば、液晶化合物を配向状態で固定化する方法が挙げられる。このとき、液晶化合物を固定化する方法としては、液晶化合物として不飽和二重結合(重合性基)を有する重合性の液晶化合物を用い、重合させて固定化する方法等が好適に例示される。例えば、不飽和二重結合(重合性基)を有する液晶化合物を含むパターンλ/4板20の形成用組成物を形成面に直接または配向膜を介して塗布して、電離放射線の照射により硬化(重合)させ、液晶化合物を固定化する方法が挙げられる。なお、パターンλ/4板20は単層構造であっても、積層構造であってもよい。
液晶化合物に含まれる不飽和二重結合の種類は特に制限されず、付加重合反応が可能な官能基が好ましく、重合性エチレン性不飽和基または環重合性基が好ましい。より具体的には、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、スチリル基、および、アリル基などが好ましく挙げられ、(メタ)アクリロイル基がより好ましい。
一般的に、液晶化合物はその形状から、棒状タイプと円盤状タイプとに分類できる。さらに、それぞれ低分子と高分子タイプがある。高分子とは一般に重合度が100以上のものを指す(高分子物理・相転移ダイナミクス、土井正男著、2頁,岩波書店、1992)。本発明では、いずれの液晶化合物を用いることもできる。2種以上の棒状液晶化合物、2種以上の円盤状液晶化合物、または棒状液晶化合物と円盤状液晶化合物との混合物を用いてもよい。上述の液晶化合物の固定化のために、重合性基を有する棒状液晶化合物または円盤状液晶化合物を用いてパターンλ/4板20を形成するのが好ましい。なお、液晶化合物は1分子中に重合性基を2以上有するのが好ましい。液晶化合物が2種類以上の混合物の場合には、少なくとも1種類の液晶化合物が1分子中に2以上の重合性基を有しているのが好ましい。
棒状液晶化合物としては、例えば、特表平11−513019号公報の請求項1や特開2005−289980号公報の段落[0026]〜[0098]に記載のものを好ましく用いることができ、ディスコティック液晶化合物としては、例えば、特開2007−108732号公報の段落[0020]〜[0067]や特開2010−244038号公報の段落[0013]〜[0108]に記載のものを好ましく用いることができるが、これらに限定されない。
パターンλ/4板20における面内レターデーションを上記範囲内とするために、液晶化合物の配向状態を制御することがある。このとき、棒状液晶化合物を用いる場合には、棒状液晶化合物を水平配向した状態で固定化するのが好ましく、ディスコティック液晶化合物を用いる場合には、ディスコティック液晶化合物を垂直配向した状態で固定化するのが好ましい。なお、本発明において、「棒状液晶化合物が水平配向」とは、棒状液晶化合物のダイレクタと層面が平行であることをいい、「ディスコティック液晶化合物が垂直配向」とは、ディスコティック液晶化合物の円盤面と層面が垂直であることをいう。厳密に水平、垂直であることを要求するものではなく、それぞれ正確な角度から±20°の範囲であることを意味するものとする。±5°以内であることが好ましく、±3°以内であることがより好ましく、±2°以内であることがさらに好ましく、±1°以内であることが最も好ましい。
また、液晶化合物を水平配向、垂直配向状態とするために、水平配向、垂直配向を促進する添加剤(配向制御剤)を使用してもよい。添加剤としては各種公知のものを使用できる。
パターンλ/4板20の形成方法としては、以下の好適な態様が例示されるが、これらに限定されることなく、各種公知の方法を用いて形成できる。
第1の好適態様は、液晶化合物の配向を制御する複数の作用を利用し、その後、外部刺激(熱処理等)によりいずれかの作用を消失させて、所定の配向制御作用を支配的にする方法である。上記の方法としては、例えば、配向膜による配向制御能と、液晶化合物中に添加される配向制御剤の配向制御能との複合作用により、液晶化合物を所定の配向状態とし、それを固定して一方の位相差領域を形成した後、外部刺激(熱処理等)により、いずれかの作用(例えば配向制御剤による作用)を消失させて、他の配向制御作用(配向膜による作用)を支配的にし、それによって他の配向状態を実現し、それを固定して他方の位相差領域を形成する。この方法の詳細については、特開2012−008170号公報の段落[0017]〜[0029]に記載があり、その内容は本明細書に参照として取り込まれる。
第2の好適態様は、パターン配向膜を利用する態様である。この態様では、互いに異なる配向制御能を有するパターン配向膜を形成し、その上に、液晶化合物を配置し、液晶化合物を配向させる。液晶化合物は、パターン配向膜のそれぞれの配向制御能によって、互いに異なる配向状態を達成する。それぞれの配向状態を固定することで、配向膜のパターンに応じてパターンλ/4板20の各領域の遅相軸が形成される。パターン配向膜は、印刷法、ラビング配向膜に対するマスクラビング、光配向膜に直線偏光のマスク露光を行う方法等を利用して形成することができる。大掛かりな設備が不要である点や製造容易な点で、光配向膜にマスク露光を行う方法や、印刷法を利用する方法が好ましい。この方法の詳細については、特開2012−032661号公報の段落[0166]〜[0181]に記載があり、その内容は本明細書に参照として取り込まれる。
第3の好適態様としては、例えば、配向膜中に光酸発生剤を添加する態様である。この例では、配向膜中に光酸発生剤を添加し、パターン露光により、光酸発生剤が分解して酸性化合物が発生した領域と、発生していない領域とを形成する。光未照射部分では光酸発生剤はほぼ未分解のままであり、配向膜材料、液晶化合物、および必要に応じて添加される配向制御剤の相互作用が配向状態を支配し、液晶化合物を、その遅相軸がラビング方向と直交する方向に配向させる。配向膜へ光照射し、酸性化合物が発生すると、その相互作用はもはや支配的ではなくなり、ラビング配向膜のラビング方向が配向状態を支配し、液晶化合物は、その遅相軸をラビング方向と平行にして平行配向する。配向膜に用いられる光酸発生剤としては、水溶性の化合物が好ましく用いられる。使用可能な光酸発生剤の例には、Prog. Polym. Sci.、23巻、1485頁(1998年)に記載の化合物が含まれる。光酸発生剤としては、ピリジニウム塩、ヨードニウム塩およびスルホニウム塩が特に好ましく用いられる。この方法の詳細については、特願2010−289360号明細書に記載があり、その内容は本明細書に参照として取り込まれる。
前述のように、パターンλ/4板20と円偏光板16との間には、第2配向膜18が配置される。
第2配向膜18は、前述のパターンλ/4板20(パターン光学異方性層)の形成方法の第2の好適態様で例示したパターン配向膜に対応する。
配向膜は、一般的にはポリマーを主成分とする。配向膜用ポリマー材料としては、多数の文献に記載があり、多数の市販品を入手することができる。利用されるポリマー材料は、ポリビニルアルコールまたはポリイミド、および、その誘導体が好ましい。特に、変性または未変性のポリビニルアルコールが好ましい。本発明に使用可能な配向膜については、WO01/88574A1号公報の43頁24行〜49頁8行、特許第3907735号公報の段落[0071]〜[0095]に記載の変性ポリビニルアルコールを参照することができる。なお、配向膜には、通常、公知のラビング処理が施される。つまり、配向膜は、通常、ラビング処理されたラビング配向膜であることが好ましい。
また、前述のように、パターン配向膜すなわち第2配向膜18は、光配向膜であるのが好ましい。光配向膜としては特に限定はされないが、WO2005/096041号公報の段落[0024]〜[0043]に記載のものやRolic echnologies社製の商品名LPP−JP265CPなどを用いることができる。
前述のように、光配向膜を用いる第2配向膜18(パターン配向膜)は、一例として、光配向膜に直線偏光をマスク露光する方法で形成する。
まず、第2配向膜18の形成面(円偏光板16の表面)に、スピンコート等の公知の方法で、第2配向膜18を形成するための組成物を塗布し、乾燥し、光配向膜を形成する。
その上で、パターンλ/4板20の領域20a以外の領域20b〜20dに対応する領域を、全てパターンフォトマスクなどでマスキングして、ワイヤーグリッド偏光板などの直線偏光板を、透過軸をx方向に一致させて配置する。その後、光配向膜を配向させる光、例えば紫外光を、直線偏光板を通して光配向膜に照射する。この紫外光の照射によって、光配向膜の領域20aに対応する領域がx方向に配向する。
次いで、領域20b以外の領域20a、20cおよび20dに対応する領域を全てマスキングして、直線偏光板を、透過軸をx方向に対して45°にして配置する。その後、同様に、紫外光を直線偏光板を通して光配向膜に照射する。これにより、光配向膜の領域20bがx方向に対して45°の角度に配向する。
次いで、領域20c以外の領域20a、20bおよび20dに対応する領域を全てマスキングして、直線偏光板を、透過軸をx方向に対して90°にして配置する。その後、同様に、紫外光を直線偏光板を通して、光配向膜に照射する。これにより、光配向膜の領域20cがx方向に対して90°の角度に配向する。
さらに、領域20d以外の領域20a〜20cに対応する領域を全てマスキングして、直線偏光板を、透過軸をx方向に対して135°(−45°)にして配置する。その後、同様に、紫外光を直線偏光板を通して、光配向膜に照射する。これにより、光配向膜の領域20dがx方向に対して135°の角度に配向する。
このようにして光配向膜を配向してなる第2配向膜18を形成した後、第2配向膜18の上に、前述のようにパターンλ/4板20を形成することにより、同一面内において、各領域20a〜20dの位相差は等しく、かつ、遅相軸の方向が異なるパターンλ/4板20を形成できる。
なお、第2配向膜18等の上にパターンλ/4板20を形成する際には、数μmサイズのパターニングが必要となるが、そのための露光光源としては、i線ステッパー等に代表される光学的に制御された露光装置の使用が好ましく、特定の方向に制御された直線偏光を照射できる偏光照射ステッパーが最も好ましい。
本発明において、パターンλ/4板20は、遅相軸の方向が異なる4つの領域で形成されるのに限定はされない。すなわち、偏光イメージセンサー10の1画素は、遅相軸の方向が異なる4つの領域で形成されるのに限定はされない。
例えば、パターンλ/4板を、遅相軸の方向が互いに異なる2つの領域あるいは3つの領域で形成してもよく、さらに、パターンλ/4板を、遅相軸の方向が互いに異なる5つ以上の領域で形成してもよい。
さらに、図示例においては、パターンλ/4板20の1つの領域は、センサーアレイ12(センサー本体40)の4つの固体撮像素子40aに対応するが、本発明は、これに限定はされない。すなわち、パターンλ/4板20の1つの領域は、センサーアレイ12の1〜3個の固体撮像素子40aに対応するものであってもよく、あるいは、センサーアレイ12の5個以上の固体撮像素子40aに対応するものであってもよい。
パターンλ/4板20の上には、バンドパスフィルター24が配置される。
バンドパスフィルター24は、コレステリック反射層30と近赤外線フィルター34とを有して構成される。さらに、コレステリック反射層30は、右円偏光コレステリック層30rと左円偏光コレステリック層30lとを有して構成される。
コレステリック反射層30を構成する右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lは、共に、円偏光板16と同様に、コレステリック液晶相を固定してなるものであり、波長選択反射性を有する。図示例において、右円偏光コレステリック層30rは、近赤外線における900〜1200nmの波長領域の右円偏光を反射して、それ以外の光を透過する。また、左円偏光コレステリック層30lは、近赤外線における900〜1200nmの波長領域の左円偏光を反射して、それ以外の光を透過する。従って、900〜1200nmの波長領域の円偏光は、全て、コレステリック反射層30によって反射される。
他方、近赤外線フィルター34は、近赤外線における700nm超800nm以下の波長領域の光を吸収もしくは反射して遮断する。
従って、バンドパスフィルター24は、図3の上段(BPF24)に示すように、700nm以下の可視光、および、近赤外線における800nm超900nm未満の波長領域の光を透過する。
前述のように、右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lは、共に、コレステリック液晶相を固定してなる層である。
前述のように、コレステリック液晶相は、特定の波長において選択反射性を示す波長選択反射性を有する。コレステリック液晶相の選択反射の中心波長λは、コレステリック液晶相における螺旋構造のピッチPに依存し、選択反射を示す選択反射帯域(円偏光反射帯域)の半値幅Δλ(nm)は、コレステリック液晶相のΔnと螺旋のピッチPとに依存するのは、前述のとおりである。
また、右円偏光コレステリック層30rは、右捩れのコレステリック液晶相を固定してなる層であり、左円偏光コレステリック層30lは、左捩れのコレステリック液晶相を固定してなる層である。
右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lは、円偏光板16と同様に形成できるのは、前述のとおりである。
従って、右円偏光コレステリック層30rは、重合性液晶化合物、右捩れを誘起するキラル剤、および、重合開始剤を含む重合性液晶組成物を調製して、この液晶組成物を、右円偏光コレステリック層30rの形成面に塗布して、加熱することにより、液晶組成物を右円偏光反射特性を有するコレステリック液晶相とし、さらに、紫外線の照射によってコレステリック液晶相を固定化することによって、形成すればよい。
また、左円偏光コレステリック層30lは、重合性液晶化合物、左捩れを誘起するキラル剤、および、重合開始剤を含む重合性液晶組成物を調製して、この液晶組成物を、左円偏光コレステリック層30lの形成面に塗布して、加熱することにより、液晶組成物を左円偏光反射特性を有するコレステリック液晶相とし、さらに、紫外線の照射によってコレステリック液晶相を固定化することによって、形成すればよい。
なお、円偏光板16と同様、右円偏光コレステリック層30rおよび/または左円偏光コレステリック層30lは、1層からなるものでも、多層構成でもよい。
また、右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lの形成順は、逆でもよい。すなわち、コレステリック反射層30は、左円偏光コレステリック層30lが下層のセンサーアレイ12側で、左円偏光コレステリック層30lの上に、右円偏光コレステリック層30rを有する構成であってもよい。
前述のように、近赤外線フィルター34は、近赤外線における700nm超800nm以下の波長領域の光を吸収もしくは反射して遮断するものである。
このような近赤外線フィルター34は、遮断する波長領域が異なる以外は、前述の赤外遮断層46と同様のものである。
以上のように、偏光イメージセンサー10においては、円偏光板16による反射波長領域および可視光領域の光を透過するように、バンドパスフィルター24の透過領域を設計する。なお、バンドパスフィルター24が透過する、円偏光板16による反射波長領域は、赤外遮断層46によって必ず遮断するように設計する必要がある。
また、バンドパスフィルター24は、円偏光板16による反射波長領域よりも長波長側の赤外線を遮断するように設計する。図示例においては、この領域を、コレステリック反射層30によって反射して遮断している。
また、可視領域の光の内、カラーフィルター42による吸収領域は、バンドパスフィルター24の透過領域となるように設計する。
さらに、円偏光板16による反射波長領域と、カラーフィルター42による吸収波長領域との間の波長領域は、バンドパスフィルター24によって遮断するように設計する。図示例においては、近赤外線フィルター34によって、この領域を遮断している。
これにより、図3の下段に示すように、目的とする、青色光、緑色光、赤色光、および、赤外光の最終分光を得ることができる。
なお、図示例においては、バンドパスフィルター24をコレステリック液晶を用いるコレステリック反射層と、赤外吸収色素を用いる近赤外線フィルター34とで構成しているが、本発明は、これに限定はされず、バンドパスフィルター24は、無機化合物からなる膜を積層した積層膜を利用して構成してもよい。
すなわち、バンドパスフィルター24は、目的とする複数の波長領域の光が透過可能なものであれば、公知の各種の構成が利用可能である。
一例として、700nm超800nm以下の波長領域を色素層で吸収して、900〜1200nmの波長領域を誘電体多層膜で反射する構成、
700nm超800nm以下の波長領域を色素層とコレステリック液晶層で吸収および反射して、900〜1200nmの波長領域をコレステリック液晶層で反射する構成、
700nm超800nm以下の波長領域をコレステリック液晶層で反射して、900〜1200nmの波長領域もコレステリック液晶層で反射する構成、および、
700nm超800nm以下の波長領域を誘電体多層膜で反射して、900〜1200nmの波長領域も誘電体多層膜で反射する構成、等が例示される。
以下、偏光イメージセンサー10の作用を説明することにより、本発明の偏光イメージセンサーについて、より詳細に説明する。
測定対象(観察対象)によって反射された光など、測定対象の情報を担持する光が偏光イメージセンサー10に入射すると、まず、バンドパスフィルター24の近赤外線フィルター34によって、近赤外線における700nm超800nm以下の波長領域の光が吸収もしくは反射して遮断され、さらに、左円偏光コレステリック層30lによって900〜1200nmの波長領域の左円偏光が反射され、右円偏光コレステリック層30rによって900〜1200nmの波長領域の右円偏光が反射される。
その結果、バンドパスフィルター24を透過する光は、図3最上段(BPF24)に示すように、700nm以下の可視光、および、800nm超900nm未満の波長領域の近赤外線である。
バンドパスフィルター24を透過した光は、次いで、パターンλ/4板20に入射する。
ここで、バンドパスフィルター24を透過した光は、パターンλ/4板20の領域20a〜20dにおいて、入射した領域20a〜20dにおける遅相軸に対して±45°傾いた直線偏光成分のみが、対応する円偏光成分に変換される。
パターンλ/4板20を透過した光は、次いで、第2配向膜18を透過して円偏光板16に入射する。
前述のように、円偏光板16は、図3の上から2段目(円偏光板16)に示すように、近赤外線の800〜900nmの波長領域の右円偏光を反射して、それ以外の光を透過する。
従って、可視光すなわち赤色光、青色光および緑色光は、円偏光板16を、そのまま透過する。
一方、バンドパスフィルター24を透過した800nm超900nm未満の波長領域の近赤外線は、パターンλ/4板20によって、対応する直線偏光成分が、円偏光成分に変換されるので、円偏光の状態に応じて、右円偏光が反射され、左円偏光のみが透過する。すなわち、パターンλ/4板20に入射する直線偏光成分の割合に応じて、円偏光板16を透過する光量が変化する。
パターンλ/4板20を透過した光は、次いで、第1配向膜14を透過してセンサーアレイ12に入射する。センサーアレイ12に入射した光は、マイクロレンズ48によって、対応する固体撮像素子40aに集光するように調光され、次いで、カラーフィルター42に入射する。
図3の上から3段目(CF42)に示すように、カラーフィルター42の内、赤色フィルター42Rに入射した光は赤色光および近赤外線のみが、緑色フィルター42Gに入射した光は緑色光および近赤外線光のみが、青色フィルター42Bに入射した光は青色光および近赤外線のみが、赤外フィルター42IRに入射した光は近赤外線のみが、それぞれ通過する。
赤色フィルター42R、緑色フィルター42Gおよび青色フィルター42Bを通過した各色の光および近赤外線は、次いで、赤外遮断層46に入射して、図3の上から4段目(赤外遮断層46)に示されるように、赤外線が吸収もしくは反射して遮断され、図3の下段(最終分光)に示すように、それぞれ、赤色光、緑色光および青色光として、対応する固体撮像素子40aに入射して、測光され、可視光の画像信号(画像情報)として出力される。
前述のように、偏光イメージセンサー10では、パターンλ/4板20の4つの領域20a〜20dに対応する4×4=16画素(16個の固体撮像素子40a)で、偏光イメージセンサー10の1画素を構成する。
従って、赤色光、緑色光および青色光の画像信号は、1画素における各色の4つの画素の信号を合計した信号を、この1画素における各色の画像信号とし、あるいは、1画素における各色の4つの画素の信号の平均値を、この1画素における各色の画像信号とする。
一方、赤外フィルター42IRを通過した光は、そのまま、対応する固体撮像素子40aに入射して測光される。
ここで、前述のように、800〜900nmの波長領域の近赤外線は、パターンλ/4板20に入射する前の直線偏光成分の割合に応じて、円偏光板16を透過した光量が変化している。そのため、赤外フィルター42IRを通過して固体撮像素子40aに入射する近赤外線の強度は、入射した直線偏光成分の割合に応じて、領域20a〜20dで変化する。
例えば、図5に概念的に示すように、偏光イメージセンサー10に入射した直線偏光がx方向の直線偏光L1であるとする。この場合には、パターンλ/4板20の領域20aでは、直線偏光の方向とλ/4板の遅相軸とが一致しているため、直線偏光は変換されない。従って、領域20aを透過した光のうち50%が円偏光板16で反射されるので、赤外フィルター42IRを通過して固体撮像素子40aによって測光される近赤外線の強度は、約半分となる。この際における固体撮像素子40aの出力を、便宜的に50とする。
一方、パターンλ/4板20の領域20bおよび20dでは、直線偏光の方向とλ/4板の遅相軸とのなす角が45°であり、領域20bを通過する光は左円偏光となり、領域20dを通過する光は右円偏光となる。そのため、赤外フィルター42IRを透過した光による固体撮像素子40aの出力は、領域20bにおいては100、領域20dにおいては0となる。
また、パターンλ/4板20の領域20cでは、直線偏光の方向とλ/4板の遅相軸とが直交しているため、領域20cに入射した直線偏光は変換されない。そのため、赤外フィルター42IRを透過した光による固体撮像素子の出力は、領域20aと同様に50になる。
あるいは、図6に概念的に示すように、偏光イメージセンサー10に入射した直線偏光がx方向に対して45°の直線偏光L2であるとする。この場合には、パターンλ/4板20の領域20bにおいて直線偏光の方向とλ/4板の遅相軸とが一致しているため、領域20bを透過した直線偏光は変換されない。従って、赤外フィルター42IRを透過した光による固体撮像素子40aの出力は、50になる。
一方、パターンλ/4板20の領域20aおよび20cでは、直線偏光の方向とλ/4板の遅相軸とのなす角が45°であり、領域20aを通過する光は右円偏光となり、領域20cを通過する光は左円偏光となる。そのため、円偏光板16を透過して赤外フィルター42IRを透過した光による固体撮像素子40aの出力は、領域20aにおいては0、領域20cにおいては100となる。
また、パターンλ/4板20の領域20dでは、直線偏光の方向とλ/4板の遅相軸とが直交しているため、領域20cに入射した直線偏光は変換されない。従って、赤外フィルター42IRを透過した光による固体撮像素子40aの出力は、50になる。
このように、1画素が4×4=16個の固体撮像素子40aおよび領域20a〜20dからなる偏光イメージセンサー10において、偏光イメージセンサー10の1画素における赤外フィルター42IRを透過した光による固体撮像素子40aの出力は、偏光イメージセンサー10に入射した偏光の状態に応じたパターンとなる。
従って、様々な状態の直線偏光に対応して測定を行い、その出力パターンを解析して記憶しておくことにより、偏光イメージセンサー10の1画素に入射した光が、どの方向の直線偏光成分を有するかを判断することができる。例えば、直線偏光の状態と、偏光イメージセンサー10の1画素における赤外フィルター42IRに対応する固体撮像素子40aの出力パターンとの関係を示す参照テーブル等を作成して記憶しておくことにより、各画素における赤外フィルター42IRに対応する固体撮像素子40aの出力信号のパターンから、参照テーブルを用いて、偏光イメージセンサー10の各画素に入射した光が、どの方向の直線偏光成分を有するかを検出できる。
すなわち、本発明によれば、遅相軸の方向が異なる領域を有するパターンλ/4板20と、コレステリック液晶相を固定してなる円偏光板16とを用いることにより、赤色光、緑色光および青色光の可視光を低減することなく、近赤外線に偏光の情報を持たせて、測定対象の情報を担持する光の偏光を検出できる。
なお、測定対象の反射光など、測定対象の情報を担持する光が偏光を含んでいない場合には、領域20a〜20dの各領域に対応する赤外フィルター42IRを透過した光を受光した固体撮像素子40aの出力は、均一になる。
言い換えれば、赤外フィルター42IRを透過した光を受光した固体撮像素子40aの出力に、有意差が有る場合には、測定対象の情報を担持する光が、偏光を含んでいると判断できる。
偏光の検出結果は、例えば、測定対象の反射光など、測定対象の情報を担持する赤色光、緑色光および青色光の測定によって読み取った、測定対象のカラー画像に、偏光の状態に応じて、適宜、設定した色味を付与する方法、偏光の状態に応じて、適宜、設定したハッチングや網点を付与する方法等によって、画像として表現すればよい。
このような偏光イメージセンサー10は、一例として、センサーアレイ12の受光面側に、近赤外光の右円偏光を反射し、それ以外の光を透過する(反射型)円偏光板16を形成する偏光板形成工程、および、円偏光板16の形成よりも後に行われる、同一面内において、位相差が等しく、かつ、互いに遅相軸の方向が異なる領域20a〜20dを有するパターンλ/4板20を形成するλ/4板形成工程を含む方法で、作製できる。
まず、センサー本体40の光入射面の各画素の可視光の測光を行う固体撮像素子40aに対応して、赤外遮断層46を形成する。次いで、センサー本体40の各固体撮像素子40aに対応して、図1および図4に示すように、赤色フィルター42R、緑色フィルター42G、青色フィルター42B、および赤外フィルター42IRを有するカラーフィルター42を形成する。
次いで、カラーフィルター42の上に、各色および赤外のフィルターに対応して、マイクロレンズ48を形成する。
さらに、マイクロレンズ48による凹凸を埋めて表面を平坦化するように、平坦化層50を形成して、センサーアレイ12を作製する。
赤外遮断層46、各色あるいは赤外のフィルター、マイクロレンズ48および平坦化層50は、形成材料に応じた公知の方法で形成すればよい。
次いで、平坦化層50の表面すなわち円偏光板16の形成面に、第1配向膜14を形成し、第1配向膜14の上に、円偏光板16を形成する。
第1配向膜14は、形成材料に応じた、公知の方法で形成すればよい。なお、第1配向膜14は、光配向膜が好ましいのは、前述のとおりである。すなわち、第1配向膜14は、平坦化層50すなわち円偏光板16の形成面に、スピンコート等の公知の方法で、第1配向膜14(光配向膜)となる組成物を塗布し、乾燥して、光配向膜(光学異性化組成物層)を形成する工程を行い、次いで、ワイヤーグリッド偏光板などの直線偏光板を介して、直線偏光を光配向膜に照射して、配向規制力を付与する工程を行って、形成するのが好ましい。
また、円偏光板16は、前述のように、円偏光板16となる重合性液晶化合物、右捩れを誘起するキラル剤、および、重合開始剤を含む重合性液晶組成物を調製して、この液晶組成物をスピンコート等の公知の方法で第1配向膜14に塗布し、次いで、加熱によって液晶組成物を右円偏光反射特性を有するコレステリック液晶相とする。さらに、紫外線の照射によってコレステリック液晶相を固定化することによって、円偏光板16を形成する(偏光板形成工程)。
次いで、円偏光板16の表面すなわちパターンλ/4板20の形成面に、第2配向膜18を形成し、第2配向膜18の表面にパターンλ/4板20を形成する。
第2配向膜18は、光配向膜を形成する配向膜形成工程および規制力付与工程を行うことで、形成する。配向膜形成工程は、前述のように、第2配向膜18の形成面にスピンコート等の公知の方法で、第2配向膜18(光配向膜)を形成するための組成物を塗布し、乾燥し、光配向膜を形成する工程である。また、規制力付与工程は、前述のように、形成した光配向膜をパターンフォトマスクなどでマスキングして、直線偏光板を介して、光配向膜に直線偏光を照射する工程である。図示例においては、光配向膜のマスキングする領域をパターンλ/4板20の領域20a〜20dに応じて変更し、かつ、直線偏光板の透過軸の方向をx方向に対して、0°、45°、90°および135°に変更して、順次、行い、光配向膜の領域20a〜20dに対応する領域を配向することで、パターンλ/4板20の同一面内に異なる方向の遅相軸を形成するための配向規制力を付与する。
パターンλ/4板20は、前述のように、パターンλ/4板20となる重合性液晶を1種以上、および、重合開始剤を1種以上含む塗布液を調製して、第2配向膜18の上に塗布することで、重合性液晶化合物を配向状態として、その後、紫外線の照射等によって重合性液晶化合物を重合して固定化することで、形成する(λ/4板形成工程)。
次いで、パターンλ/4板20の上に、右円偏光コレステリック層30rおよび左円偏光コレステリック層30lを形成して、コレステリック反射層30を形成し、さらに、コレステリック反射層30の上に、近赤外線フィルター34を形成して、偏光イメージセンサー10を作製する。
前述のように、右円偏光コレステリック層30rは、重合性液晶化合物、右捩れを誘起するキラル剤、および、重合開始剤を含む重合性液晶組成物を調製して、この液晶組成物を、右円偏光コレステリック層30rの形成面に塗布して、加熱することにより、液晶組成物を右円偏光反射特性を有するコレステリック液晶相とし、さらに、紫外線の照射によってコレステリック液晶相を固定化することによって、形成する。
また、左円偏光コレステリック層30lは、重合性液晶化合物、左捩れを誘起するキラル剤、および、重合開始剤を含む重合性液晶組成物を調製して、この液晶組成物を、左円偏光コレステリック層30lの形成面に塗布して、加熱することにより、液晶組成物を左円偏光反射特性を有するコレステリック液晶相とし、さらに、紫外線の照射によってコレステリック液晶相を固定化することによって、形成する。
さらに、近赤外線フィルター34は、赤外遮断層46と同様、形成材料に応じた、公知の方法で形成すればよい。
図1〜図6に示す偏光イメージセンサー10は、パターンλ/4板20は、全ての領域20a〜20dが、面内位相差を有するλ/4板であるが、本発明は、これに限定はされない。
例えば、図7に概念的に示すパターンλ/4板20Aのように、領域20a〜20cは、同一の面内において同じ位相差、および、前述のパターンλ/4板20と同様の遅相軸を有し、領域20dのみ、面内位相差を持たない、すなわち、等方的である構成のパターンλ/4板も利用可能である。
なお、面内位相差を持たないとは、所定の波長λnmにおいて面内レターデーションがλ/40nm以下であることを意図し、例えば波長850nmの面内レターデーションRe(850)が21.3nm以下であることが好ましい。
このようなパターンλ/4板20Aの領域20dは、何も無い素抜けと同様の状態になっている。そのため、領域20dに入射した光は、そのままパターンλ/4板20Aを透過して、円偏光板16に入射する。
ここで、測定対象の反射光など、測定対象の情報を担持する光が左右どちらかに片寄った円偏光成分を有する場合には、パターンλ/4板20Aの領域20dを透過して、円偏光板16に入射した光のうち、800〜900nmの波長領域の右円偏光の近赤外線は反射され、同じ波長領域の左円偏光の近赤外線は、透過するため、円偏光の左右の偏りに応じて、円偏光板16を透過する光量が変化する。
すなわち、パターンλ/4板20Aの領域20dを透過した光を測光することにより、測定対象の情報を担持する光が有する円偏光の情報を検出できる。
従って、パターンλ/4板20Aのように、少なくとも1つの領域が素抜けのようになっているパターンλ/4板を用いることにより、測定対象の反射光など、測定対象の情報を担持する光の直線偏光の情報のみならず、円偏光の情報も検出することが可能になる。
なお、パターンλ/4板が面内位相差を持たない領域を有する場合には、例えば、偏光イメージセンサーの1画素を、パターンλ/4板20と同様の遅相軸の方向が45°ずつ異なる4つの領域と、面内位相差を有さない1つの領域とからなる、5個の領域で形成してもよい。
このような1以上の領域が面内位相差を持たないパターンλ/4板20Aは、各種の方法で形成可能であるが、好ましい方法として、以下の方法が例示される。
まず、前述の第2配向膜18の形成において、第2配向膜18(光配向膜)を形成するための組成物を塗布し、乾燥し、光配向膜を形成した後(配向膜形成工程)、形成した光配向膜をパターンフォトマスクなどでマスキングして、直線偏光板を介して光配向膜に直線偏光を照射する工程(規制力付与工程)において、領域20dに対応する領域には直線偏光を照射しないことで、光配向膜の、この領域には、配向規制力を付与しないことにより、パターンλ/4板20Aに面内位相差を持たない領域20dを形成する方法が例示される。
別の方法として、同様に、第2配向膜18の形成において、光配向膜を形成した後、光配向膜に直線偏光を照射する工程(規制力付与工程)において、領域20dに対応する領域には非偏光を照射することで、第2配向膜18となる光配向膜の、領域20dに対応する領域には、垂直に配向する配向規制力を付与することにより、パターンλ/4板20Aに、面内位相差を持たない領域である領域20dを部分的に形成する方法が例示される。
また、別の方法として、前述のように第2配向膜18を形成した後の、パターンλ/4板20Aの形成(パターンλ/4板形成工程)において、配向規制力を与えられた第2配向膜18(光配向膜)の上に、前述のように、パターンλ/4板となる1種以上の重合性液晶化合物および1種以上の重合開始剤を含む塗布液を塗布して、重合性液晶化合物を配向させた後、領域20dに対応する部分を遮光するフォトマスクを介して重合開始剤が反応する光を照射することで、領域20a〜20cの重合性液晶化合物を部分的に重合固定化する工程を行い、次いで、フォトマスクによって遮光された未硬化の領域20dを加熱して等方相にし、その後、領域20dに重合開始剤が反応する光を照射して、未硬化部の重合性液晶化合物を重合固定化する工程を行うことで、パターンλ/4板20Aに面内位相差を持たない領域20dを形成する方法が例示される。
さらに、別の方法として、前述のように第2配向膜18を形成した後の、パターンλ/4板20Aの形成(パターンλ/4板形成工程)において、配向規制力を与えられた第2配向膜18(光配向膜)の上に、前述のように、パターンλ/4板となる1種以上の重合性液晶化合物および1種以上の重合開始剤を含む塗布液を塗布して、重合性液晶化合物を配向させた後、領域20dに対応する部分を遮光するフォトマスクを介して重合開始剤が反応する光を照射することで、領域20a〜20cの重合性液晶化合物を部分的に重合固定化する工程を行い、次いで、塗布液の重合性液晶化合物が溶解する溶媒によって現像処理を行い、フォトマスクによって光を遮断された未硬化の領域20dの塗布液を除去する工程を行うことにより、パターンλ/4板20Aに面内位相差を持たない領域20dを形成する方法が例示される。
以上、本発明の偏光イメージセンサーおよび偏光イメージセンサーの製造方法について詳細に説明したが、本発明は上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは、もちろんである。
デジタルカメラやスマートフォンなどの撮像装置に好適に利用可能である。
10 偏光イメージセンサー
12 センサーアレイ
14 第1配向膜
16 (反射型)円偏光板
18 第2配向膜
20,20A パターンλ/4板
20a〜20d 領域
24 バンドパスフィルター
30 コレステリック反射層
30r 右円偏光コレステリック層
30l 左円偏光コレステリック層
34 近赤外線フィルター
40 センサー本体
40a 固体撮像素子
42 カラーフィルター
42R 赤色フィルター
42G 緑色フィルター
42B 青色フィルター
42IR 赤外フィルター
46 赤外遮断層
48 マイクロレンズ
50 平坦化層

Claims (19)

  1. 2次元のマトリックス状に配置された固体撮像素子を有するセンサーアレイと、
    特定の波長領域の近赤外線の偏光を反射し、それ以外の光を透過する反射型偏光板と、
    同一面内で前記センサーアレイの前記固体撮像素子の1個または複数個に対応する複数の領域に分割され、位相差が等しく、かつ、互いに遅相軸の方向が異なる前記領域を二種以上有する、パターン位相差板と、を有し、
    前記センサーアレイと前記パターン位相差板との間に、前記反射型偏光板が配置されることを特徴とする偏光イメージセンサー。
  2. 前記反射型偏光板が、前記特定の波長領域の近赤外線の右円偏光または左円偏光を選択的に反射する、反射型円偏光板であり、前記パターン位相差板がパターンλ/4板である請求項1に記載の偏光イメージセンサー。
  3. 前記センサーアレイが、可視光を検出する固体撮像素子と、近赤外線を検出する固体撮像素子とを有する請求項1または2に記載の偏光イメージセンサー。
  4. 前記パターン位相差板の前記反射型偏光板とは逆側に、近赤外線および可視光を選択的に透過するバンドパスフィルターを有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサー。
  5. 前記パターン位相差板において、前記分割された領域の1つが面内位相差を持たない請求項1〜4のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサー。
  6. 前記反射型偏光板と前記パターン位相差板との間に、光配向膜を有する請求項1〜5のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサー。
  7. 前記センサーアレイと前記反射型偏光板との間に、光配向膜を有する請求項1〜6のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサー。
  8. 前記反射型偏光板が、少なくとも1種の重合性液晶化合物をコレステリック液晶相状態で固定化してなるものである請求項1〜7のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサー。
  9. 前記パターン位相差板が、少なくとも1種の重合性液晶化合物を固定化してなるものである請求項1〜8のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサー。
  10. 2次元のマトリックス状に配置された固体撮像素子を有するセンサーアレイの受光面側に、特定の波長領域の近赤外線の偏光を反射し、それ以外の光を透過する反射型偏光板を形成する偏光板形成工程、および、
    前記偏光板形成工程よりも後に行われる、同一面内で前記センサーアレイの前記固体撮像素子の1画素または複数画素に対応する複数の領域に分割され、位相差が等しく、かつ、互いに遅相軸の方向が異なる前記領域を二種以上有するパターン位相差板を形成する位相差板形成工程、を有することを特徴とする偏光イメージセンサーの製造方法。
  11. 前記偏光板形成工程が、前記反射型偏光板の形成面に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、少なくとも1種のキラル剤、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布して、コレステリック液晶相を形成した後に、コレステリック液晶相を固定化することを含む請求項10に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  12. 前記偏光板形成工程の前に、前記反射型偏光板の形成面に光配向膜を形成する工程、および、前記光配向膜に対して直線偏光を照射して配向規制力を付与する工程、を含む請求項10または11に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  13. 前記位相差板形成工程が、前記パターン位相差板の形成面に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布して、前記重合性液晶化合物を配向させた後に、前記重合性液晶化合物を重合して固定することを含む請求項10〜12のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  14. 前記位相差板形成工程の前に、前記パターン位相差板の形成面に光配向膜を形成する配向膜形成工程、および、前記光配向膜に対して、パターンフォトマスクを介して直線偏光を照射して、前記パターン位相差板の同一面内に異なる方向の遅相軸を形成するための配向規制力を付与する規制力付与工程、を含む請求項10〜13のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  15. 前記位相差板形成工程において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成する請求項10〜14のいずれか1項に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  16. 前記規制力付与工程において、前記光配向膜に対して直線偏光を照射しない部分を設けることで、前記パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成する請求項14に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  17. 前記規制力付与工程において、前記光配向膜に対して非偏光を照射して垂直配向規制力を付与する領域を、部分的に設けることにより、前記パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成する請求項14に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  18. 前記規制力付与工程の後に、前記位相差板形成工程として、前記配向規制力を与えられた光配向膜上に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布し、前記重合性液晶化合物を配向させた後、重合開始剤が反応する光をフォトマスクを介して部分的に照射し、前記重合性液晶化合物を重合固定化する工程、および、
    前記フォトマスクによって光を遮断された未硬化部を加熱して等方相にした後、前記重合開始剤が反応する光を照射して、前記未硬化部の重合性液晶化合物を重合固定化する工程、を行うことにより、前記パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成する請求項14に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
  19. 前記規制力付与工程の後に、前記位相差板形成工程として、前記配向規制力を与えられた光配向膜上に、少なくとも1種の重合性液晶化合物、および、少なくとも1種の重合開始剤を含む塗布液を塗布し、前記重合性液晶化合物を配向させた後、重合開始剤が反応する光をフォトマスクを介して部分的に照射し、前記重合性液晶化合物を配向させた重合固定化する工程、および、
    前記重合性液晶化合物が溶解する溶媒によって現像処理を行い、前記フォトマスクによって光を遮断された未硬化部を除去する工程、を行うことにより、前記パターン位相差板において、同一面内に面内位相差を持たない領域を部分的に形成する請求項14に記載の偏光イメージセンサーの製造方法。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020020246A1 (zh) * 2018-07-24 2020-01-30 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板、显示装置和显示装置的空间定位方法
WO2021010103A1 (ja) * 2019-07-17 2021-01-21 富士フイルム株式会社 フィルターおよび撮像装置
JP2021019260A (ja) * 2019-07-19 2021-02-15 キヤノン株式会社 撮像素子、およびこれを備える撮像装置
WO2021140832A1 (ja) * 2020-01-10 2021-07-15 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 受光素子及び受光装置
WO2021172284A1 (ja) * 2020-02-28 2021-09-02 富士フイルム株式会社 撮像装置及び方法
WO2021200428A1 (ja) * 2020-04-01 2021-10-07 富士フイルム株式会社 光学素子、画像表示ユニットおよびヘッドマウントディスプレイ
CN115811647A (zh) * 2021-09-10 2023-03-17 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 图像传感器、操作和制造其的方法以及具有其的设备
JP2024513148A (ja) * 2021-02-02 2024-03-22 ロリク・テクノロジーズ・アーゲー 光センサ素子上に空間的に制限された薄膜積層体を生成する方法
US12394217B2 (en) 2021-09-10 2025-08-19 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Apparatus and method for detecting a state of a road surface
EP4473299A4 (en) * 2022-02-04 2026-01-28 The Marine Biological Laboratory INSTANT POLARIZED LIGHT MICROSCOPE

Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005114704A (ja) * 2003-09-17 2005-04-28 Photonic Lattice Inc 偏光解析装置
JP2005187618A (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Asahi Glass Co Ltd 液晶組成物、該液晶組成物を用いた高分子液晶の製造方法
JP2006018106A (ja) * 2004-07-02 2006-01-19 Hong Kong Univ Of Science & Technology 液晶表示素子用光配向膜の製造方法及び液晶表示素子の製造方法
US20060126066A1 (en) * 2002-07-13 2006-06-15 Shojiro Kawakami Polarization analyzer
WO2008004570A1 (fr) * 2006-07-05 2008-01-10 Nikon Corporation Filtre passe-bas optique, appareil photographique, dispositif de formation d'image et procédé de fabrication d'un filtre passe-bas optique
JP2008032969A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Photonic Lattice Inc 偏光イメージングカメラを具備する偏光顕微鏡
US7411677B2 (en) * 2003-09-17 2008-08-12 Photonic Lattice Inc. Driverless ellipsometer and ellipsometry
WO2008105156A1 (ja) * 2007-02-28 2008-09-04 Photonic Lattice, Inc. 偏光イメージング装置,及び微分干渉顕微鏡
JP2009156712A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Photonic Lattice Inc 偏光測定器,測定システム
JP2009186255A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Fujifilm Corp 偏光計測デバイス
JP2009193014A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Fujifilm Corp パターニング楕円偏光板
WO2009139113A1 (ja) * 2008-05-15 2009-11-19 本田技研工業株式会社 鋳造用砂中子およびその製造方法
JP2015004856A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 富士フイルム株式会社 偏光フィルターおよびその応用
WO2015025909A1 (ja) * 2013-08-21 2015-02-26 富士フイルム株式会社 円偏光フィルターおよびその応用
WO2015166873A1 (ja) * 2014-05-01 2015-11-05 富士フイルム株式会社 赤外線センサ、近赤外線吸収組成物、感光性樹脂組成物、化合物、近赤外線吸収フィルタおよび撮像装置
JP2016004212A (ja) * 2014-06-18 2016-01-12 富士フイルム株式会社 反射フィルムおよび反射フィルムを有するディスプレイ
JP2016004487A (ja) * 2014-06-18 2016-01-12 富士フイルム株式会社 光学的パターン読み取り方法、光学的パターン読み取りシステム、光学的パターン読み取り装置、および光学的パターンを含む光学部材
JP2016004485A (ja) * 2014-06-18 2016-01-12 富士フイルム株式会社 光学部材および光学部材を有するディスプレイ
JP2016146619A (ja) * 2015-01-30 2016-08-12 Jsr株式会社 固体撮像装置及び光学フィルタ

Patent Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060126066A1 (en) * 2002-07-13 2006-06-15 Shojiro Kawakami Polarization analyzer
JP2009139973A (ja) * 2002-07-13 2009-06-25 Autocloning Technology:Kk 偏光解析装置
US7411677B2 (en) * 2003-09-17 2008-08-12 Photonic Lattice Inc. Driverless ellipsometer and ellipsometry
JP2005114704A (ja) * 2003-09-17 2005-04-28 Photonic Lattice Inc 偏光解析装置
JP2005187618A (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Asahi Glass Co Ltd 液晶組成物、該液晶組成物を用いた高分子液晶の製造方法
JP2006018106A (ja) * 2004-07-02 2006-01-19 Hong Kong Univ Of Science & Technology 液晶表示素子用光配向膜の製造方法及び液晶表示素子の製造方法
WO2008004570A1 (fr) * 2006-07-05 2008-01-10 Nikon Corporation Filtre passe-bas optique, appareil photographique, dispositif de formation d'image et procédé de fabrication d'un filtre passe-bas optique
US20090322970A1 (en) * 2006-07-05 2009-12-31 Nikon Corporation Optical Low-Pass Filter, Camera, Imaging Apparatus, and Method for Producing Optical Low-Pass Filter
JP2008032969A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Photonic Lattice Inc 偏光イメージングカメラを具備する偏光顕微鏡
WO2008105156A1 (ja) * 2007-02-28 2008-09-04 Photonic Lattice, Inc. 偏光イメージング装置,及び微分干渉顕微鏡
JP2009156712A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Photonic Lattice Inc 偏光測定器,測定システム
JP2009186255A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Fujifilm Corp 偏光計測デバイス
JP2009193014A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Fujifilm Corp パターニング楕円偏光板
WO2009139113A1 (ja) * 2008-05-15 2009-11-19 本田技研工業株式会社 鋳造用砂中子およびその製造方法
JP2015004856A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 富士フイルム株式会社 偏光フィルターおよびその応用
US20160109630A1 (en) * 2013-06-21 2016-04-21 Fujifilm Corporation Polarization filter and sensor system
WO2015025909A1 (ja) * 2013-08-21 2015-02-26 富士フイルム株式会社 円偏光フィルターおよびその応用
US20160154156A1 (en) * 2013-08-21 2016-06-02 Fujifilm Corporation Circular polarizing filter and application thereof
WO2015166873A1 (ja) * 2014-05-01 2015-11-05 富士フイルム株式会社 赤外線センサ、近赤外線吸収組成物、感光性樹脂組成物、化合物、近赤外線吸収フィルタおよび撮像装置
US20170038507A1 (en) * 2014-05-01 2017-02-09 Fujifilm Corporation Infrared sensor, near-infrared ray absorption composition, photosensitive resin composition, compound, near-infrared ray absorption filter, and image pick-up device
JP2016004212A (ja) * 2014-06-18 2016-01-12 富士フイルム株式会社 反射フィルムおよび反射フィルムを有するディスプレイ
JP2016004487A (ja) * 2014-06-18 2016-01-12 富士フイルム株式会社 光学的パターン読み取り方法、光学的パターン読み取りシステム、光学的パターン読み取り装置、および光学的パターンを含む光学部材
JP2016004485A (ja) * 2014-06-18 2016-01-12 富士フイルム株式会社 光学部材および光学部材を有するディスプレイ
JP2016146619A (ja) * 2015-01-30 2016-08-12 Jsr株式会社 固体撮像装置及び光学フィルタ

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11637149B2 (en) 2018-07-24 2023-04-25 Boe Technology Group Co., Ltd. Array substrate, display device and spatial positioning method of display device
WO2020020246A1 (zh) * 2018-07-24 2020-01-30 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板、显示装置和显示装置的空间定位方法
WO2021010103A1 (ja) * 2019-07-17 2021-01-21 富士フイルム株式会社 フィルターおよび撮像装置
JPWO2021010103A1 (ja) * 2019-07-17 2021-01-21
US12092846B2 (en) 2019-07-17 2024-09-17 Fujifilm Corporation Filter and imaging apparatus
JP7416798B2 (ja) 2019-07-17 2024-01-17 富士フイルム株式会社 フィルターおよび撮像装置
JP2021019260A (ja) * 2019-07-19 2021-02-15 キヤノン株式会社 撮像素子、およびこれを備える撮像装置
JP7293020B2 (ja) 2019-07-19 2023-06-19 キヤノン株式会社 撮像素子、およびこれを備える撮像装置
WO2021140832A1 (ja) * 2020-01-10 2021-07-15 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 受光素子及び受光装置
CN114902428A (zh) * 2020-01-10 2022-08-12 索尼半导体解决方案公司 光接收元件和光接收装置
JPWO2021172284A1 (ja) * 2020-02-28 2021-09-02
US12096135B2 (en) 2020-02-28 2024-09-17 Fujifilm Corporation Imaging apparatus and method
CN115152205A (zh) * 2020-02-28 2022-10-04 富士胶片株式会社 摄像装置及方法
WO2021172284A1 (ja) * 2020-02-28 2021-09-02 富士フイルム株式会社 撮像装置及び方法
CN115152205B (zh) * 2020-02-28 2024-06-07 富士胶片株式会社 摄像装置及方法
JP7427077B2 (ja) 2020-04-01 2024-02-02 富士フイルム株式会社 光学素子、画像表示ユニットおよびヘッドマウントディスプレイ
WO2021200428A1 (ja) * 2020-04-01 2021-10-07 富士フイルム株式会社 光学素子、画像表示ユニットおよびヘッドマウントディスプレイ
US12032167B2 (en) 2020-04-01 2024-07-09 Fujifilm Corporation Optical element, image display unit, and head-mounted display
JPWO2021200428A1 (ja) * 2020-04-01 2021-10-07
US12242072B2 (en) 2020-04-01 2025-03-04 Fujifilm Corporation Optical element, image display unit, and head-mounted display
JP2024513148A (ja) * 2021-02-02 2024-03-22 ロリク・テクノロジーズ・アーゲー 光センサ素子上に空間的に制限された薄膜積層体を生成する方法
CN115811647A (zh) * 2021-09-10 2023-03-17 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 图像传感器、操作和制造其的方法以及具有其的设备
US12394217B2 (en) 2021-09-10 2025-08-19 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Apparatus and method for detecting a state of a road surface
US12483801B2 (en) 2021-09-10 2025-11-25 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Image sensor, method for operating an image sensor, method for manufacturing an image sensor, and stationary device or vehicle or drone having an image sensor
EP4473299A4 (en) * 2022-02-04 2026-01-28 The Marine Biological Laboratory INSTANT POLARIZED LIGHT MICROSCOPE

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