JP2018033305A - 改善された電気的相互接続デバイスを含む電気スイッチング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】改善された電気的相互接続デバイスを含む電気スイッチング装置に関する。【解決手段】この電気スイッチング装置（１’）は、各々が第１（４１、５１）および第２（４２、５２）のパワートランジスタを含む少なくとも２つのパワーコンポーネント（４、５）と、第１のトランジスタ（４１、５１）の各々に第１の制御信号を供給し、第２のトランジスタ（４２、５２）の各々に第２の制御信号を供給するように構成されたトランジスタの駆動制御デバイス（２）と、駆動制御デバイス（２）をパワーコンポーネント（４、５）に接続する電気的相互接続デバイス（６）と、を含む。相互接続デバイス（６）は、互いに平行に延在する複数の導電性プレート（６１、６２）を含み、各々は第１または第２のパワートランジスタのうちの一つの制御電極と駆動制御デバイス（２）の対応する出力との間で接続されている。【選択図】図３

Description

本発明は、改善された電気的相互接続デバイスを含む電気スイッチング装置に関する。

電気スイッチング装置は、パワーエレクトロニクスの分野に存在し、パワートランジスタおよび１つまたは複数の出力インターフェースを介して制御信号を供給するのに適した、これらのトランジスタを駆動するための制御デバイスを含む。そのような装置は、例えば、ＭＯＳＦＥＴの頭字語で知られている金属酸化物半導体電界効果技術で作られ、および炭化ケイ素で作られたパワートランジスタを含むことが知られている。これらのトランジスタは、１つのパワーコンポーネントまたは単一のパワーパック内で対になって一緒にグループ化することができる。

電力変換器のような応用において、パワーコンポーネントに分配される様々なパワートランジスタは、互いに同期した方法で制御されなければならない。駆動制御デバイスは、パワートランジスタの各々に対して、専用の出力インターフェースまたは「出力電圧バッファ」を含むことが望ましい。これらのトランジスタの各々に対する専用の出力電圧バッファを使用することは、満足のいく制御性能レベルを得ることを可能にしている。

しかしながら、この解法は、非常に高価であるという欠点を有している。さらに、それは大きなバルクをもたらす。従って、数個の出力電圧バッファを含む駆動制御デバイスの物理的集積化は非常に困難であり、またはより小さなバルクを有する小型電力変換器を必要とする応用に対しては不可能でさえある。

この欠点を相殺するために、並列に命令される数個のパワーコンポーネントによって共有される単一の出力電圧バッファを使用することが知られている。従って、それぞれのパワートランジスタは、数個のケーブルまたは導電性トラックを介して、互いに並列に駆動制御デバイスに接続される。そのような解法は、例えば特許出願ＦＲ２，９９０，３１２Ａ１に記載されている。

しかしながら、この既知のデバイスは完全に満足できるものではない。様々なトランジスタが互いに同期した方法で命令されるためには、ケーブルまたは導電性トラックが同じ長さを有していることが必須である。従って、パワートランジスタは出力電圧バッファから等距離の所に配置しなければならない。これは、電気スイッチング装置の様々なコンポーネントの配置を複雑にしている。これはさらに、ケーブルまたは導電性トラックを配置するのに十分なスペースを残すように出力電圧バッファを様々なパワーコンポーネントから十分遠くに移動させることを必要とし、これは結果として、ケーブリングに起因する浮遊電気インダクタンスを増大させる。そのような浮遊インダクタンスの存在は、駆動制御デバイスによって供給される制御信号の非制御の振動を引き起こし、電気スイッチング装置の誤動作を引き起こすか、または不可逆的に損傷を与えさえする。

ＦＲ２，９９０，３１２Ａ１

本発明は、より詳細には、パワートランジスタの駆動の信頼性があり満足のいく制御を可能にすると同時に、制御されたバルクおよび適度な製造コストを有する電気スイッチング装置を提案することにより、これらの欠点を解決することを目的とする。

その目的のために、本発明は、
− 各々が第１および第２のパワートランジスタを含む、少なくとも２つのパワーコンポーネントと、
− 第１のトランジスタの各々に第１の制御信号を供給し、および第２のトランジスタの各々に第２の制御信号を供給するように構成された、トランジスタの駆動制御デバイスと、
− 第１および第２の制御信号を第１および第２のトランジスタに送信するように駆動制御デバイスをパワーコンポーネントに接続する電気的相互接続デバイスと、
を含む電気スイッチング装置であって、
相互接続デバイスは互いに平行に延在する数個の導電性プレートを含み、これらの導電性プレートの各々は、第１または第２のパワートランジスタのうちの１つの制御電極と駆動制御デバイスの対応する出力との間に接続されている、電気スイッチング装置に関連している。

本発明によれば、相互接続デバイスの導電性プレートは、パワーコンポーネントを駆動制御デバイスの同じ出力インターフェースにコンパクトに電気的に接続すると同時に、浮遊ケーブルインダクタンスを最小にする。

有利的に、しかし本発明の任意の態様によれば、そのような電気スイッチング装置は、任意の技術的に許容可能な組み合わせにおいて考えられる、以下の特徴のうちの１つ以上を組み込むことができる。
− 各第１のパワートランジスタは、第１および第２の制御電極を含み、各第２のパワートランジスタは、第３および第４の制御電極を含み、電気的相互接続デバイスは、第１、第２、第３および第４の制御電極をそれぞれ駆動制御デバイスのそれぞれの出力に電気的に接続する第１、第２、第３および第４の導電性プレートを含む。
− 第１および第２の導電性プレートは、第１の電気絶縁性支持体の向かい合う側に配置され、第３および第４の導体性プレートは、第２の電気絶縁性支持体の向かい合う側に配置される。
− 第１および第２の導電性プレートは、同一の形状を有しており、互いに重ね合わされている。
− 第３および第４の導電性プレートは、同一の形状を有しており、互いに重ね合わされている。
− 導電性プレートは互いに積み重ねられており、第１および第２の導電性プレートは、第３および第４の導電性プレートに対して横方向にオフセットされており、これらの第３および第４の導電性プレートと重複ゾーンでのみ重ね合わされている。
− 重複ゾーンは、導電性プレートのうちの１つの表面積の５％以下、好ましくは２％以下の表面積を有している。
− 導電性プレートの各々は、１ｃｍ^２以上および１０ｃｍ^２以下の表面積を有している。
− 導電性プレートは、金属、例えば銅から作られている。
− 第１および第２のパワートランジスタは、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタまたは絶縁ゲートバイポーラトランジスタまたはバイポーラトランジスタである。

本発明は、非限定的な例としてのみ提供され、添付の図面を参照してなされる電気スイッチング装置の一つの実施形態の以下の説明に照らして、よりよく理解され、その他の利点がより明確に見えるであろう。

本発明の第１の実施形態による電気スイッチング装置の概略図である。 図１の電気スイッチング装置の電気的相互接続デバイスの分解立体図である。 本発明の第２の実施形態による電気スイッチング装置の概略図である。 図３の電気スイッチング装置の電気的相互接続デバイスの分解立体図である。

図１および図２は、電気スイッチング装置１の第１の実施形態を示す。

装置１は、駆動制御デバイス２、相互接続デバイス３並びに少なくとも２つのパワーコンポーネント４および５を含む。

パワーコンポーネント４および５の各々は、第１および第２のパワートランジスタを含む。この例では、パワートランジスタは、ＭＯＳＦＥＴの頭字語で知られている金属酸化膜半導体電界効果技術から作られたトランジスタである。これらのパワートランジスタはここでは炭化ケイ素から作られている。

あるいは、第１および第２のパワートランジスタは、絶縁ゲートバイポーラトランジスタまたはバイポーラトランジスタ、あるいは半導体技術を使用した他の任意のトランジスタである。

符号４１および４２は、第１のパワーコンポーネント４の第１および第２のパワートランジスタをそれぞれ示している。符号５１および５２は、パワーコンポーネント５の第１および第２のトランジスタをそれぞれ示している。この例では、コンポーネント４、５の各々の第１のトランジスタ４１、５１および第２のトランジスタ４２、５２は、互いに同一である。

駆動デバイス２またはイグナイタデバイスは、第１の制御信号を第１のトランジスタ４１および５１の各々に供給し、第２の制御信号を第２のトランジスタ４２および５２の各々に供給するように構成されており、これらのトランジスタを並列に、および同期して制御する。

駆動デバイス２は、ここでは、駆動制御回路２１および駆動制御信号の出力電圧バッファ２２を含む。出力電圧バッファ２２は、駆動制御回路２１に接続されている。第１および第２の制御信号は、制御回路２１によって生成され、出力インターフェース２２を介してトランジスタ４１、４２および５１、５２に送られる。

トランジスタ４１、４２、５１および５２の各々は、制御電極を備えており、制御電極は、この制御電極が制御デバイス２から制御信号を受信するときに、対応するトランジスタの動作を制御すること、特に、電気的にオンまたはオフの状態の間で対応するトランジスタを制御することを可能にしている。

符号４１１および４１２はそれぞれ、トランジスタ４１の第１および第２の電極を示しており、４２１および４２２は、トランジスタ４２の第１および第２の電極を示しており、５１１および５１２は、トランジスタ５１の第１および第２の電極を示しており、５２１、５２２は、トランジスタ５２の第１および第２の電極を示している。

例えば、ＭＯＳＦＥＴトランジスタの場合、トランジスタ４１、４２、５１および５２の第１の電極４１１、４２１、５１１および５２１は、これらのトランジスタのソース電極に対応している。トランジスタ４１、４２、５１および５２の各々の第２の電極４１２、４２２、５１２および５２２は、これらのトランジスタのゲート電極に対応している。

このように、第１および第２の制御信号は、第１および第２のトランジスタ４１、４２、５１および５２のグリッド電圧である。より具体的には、第１の制御信号は、各第１のトランジスタ４１、５１のゲート電極とソース電極との間に適用されることを意図とした電位差である。第２の制御信号は、各第２のトランジスタ４２、５２のゲート電極とソース電極との間に適用されることを意図とした電位差である。

相互接続デバイス３は、第１および第２の制御信号を第１および第２のトランジスタ４１、４２、５１および５２にそれぞれ送信するように、出力電圧バッファ２２をパワーコンポーネント４および５に電気的に接続している。

この相互接続デバイス３は、互いに平行に延在し、第１または第２のパワートランジスタのうちの一つの制御電極と、駆動制御デバイス２の対応する出力２２との間で互いに接続される、３１、３１’、３２および３２’で示されている、一つまたは複数の導電性プレートを含む。

図２は、プレート３１、３１’、３２および３２’のより詳細な例を示す。

プレート３１および３１’は、出力電圧バッファ２２からトランジスタ４１および５１への第１の制御信号の伝達を見ている。同様に、プレート３２および３２’は、第２の制御信号のトランジスタ４２および５２への伝達を見ている。

プレート３１、３１’、３２および３２’は各々が平面であり、主軸Ｚ３に垂直な幾何学平面Ｐに平行に延在している。プレート３１および３１’は、デバイス３の電気絶縁性支持体３１０の向かい合う側に配置されている。同様に、導電性プレート３２および３２’は、デバイス３の第２の電気絶縁性支持体３２０の向かい合う側に配置されている。プレート３１、３１’、３２および３２’は、ここでは全て同じ形状を有しており、互いに重ね合わされている。それらはすべて長方形の菱形のような規則的な四辺形を有している。ここで、プレート３１、３１’、３２および３２’は、各々が、１ｃｍ^２以上および１０ｃｍ^２以下の表面積を有している。

ここでは、プレート３１、３１’、３２および３２’は、支持体３１０および３２０の向かい合う面に堆積された、銅などの金属から作られている。例えば、支持体３１０および３２０は、ＰＣＢ（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ）のようなエポキシ樹脂プレートである。

ここで、デバイス３の取付け構成において、プレート３１’を支えている支持体３１０の面がプレート３２を支えている支持体３２０の面に向かうように、支持体３１０および３２０は重ね合わされている。

有利には、デバイス３は、プレート３１’と３２との間に介在された、電気絶縁性材料の層３３０を含む。デバイス３の取付け構成において、プレート３２および３１’は、絶縁性材料３３０の層と接触している。

この実施例において、第１のプレート３１は、第１の電極４１１および５１１に電気的に接続されている。第２のプレート３１’は、第２の電極４１２および５１２に電気的に接続されている。第３のプレート３２は、第３の電極４２１および５２１に電気的に接続されている。第４のプレート３２’は、第４の電極４２２および５２２に電気的に接続されている。これらの電気的接続は、例えば、図示しない接続要素を用いて、または対応するトランジスタの電極をプレート３１、３１’、３２および３２’の各々に直接溶接することによりなされる。

さらに、プレート３１、３１’、３２および３２’の各々は、出力電圧バッファ２２の対応する出力に電気的に接続されている。例えば、出力電圧バッファ２２は、特定の電位へともたらし、第１、第２、第３または第４の電極４１１、４１２、４２１、４２２、５１１、５１２、５２１、５２２のうちの一つに電気的に接続されることを意図している、ターミナルを各々が含む４つの出力を含む。第１および第２の制御信号の適用は、このように、電極４１１、４１２、４２１、４２２、５１１、５１２、５２１、５２２の各々に対応する電位を適用することになる。

デバイス３は、このように、減少したバルクとともに、その長さが、浮遊ケーブルインダクタンスを最小にするために最適化することが複雑となる、特定のケーブルを導入する必要なく、パワーコンポーネント４および５を出力電圧バッファ２２に接続することを可能にしている。

この例では、デバイス３の長さＬ３、すなわち出力電圧バッファ２２と電極４１１、４１２、４２１、４２２、５１１、５１２、５２１および５２２との間の距離は、５ｃｍ以下であり、好ましくは１ｃｍ以下である。

あるいは、装置１は、２つより多いパワーコンポーネントを含む。デバイス３はそれに応じて順応される。例えば、装置１は、パワーコンポーネント４または５と同一の第３のパワーコンポーネントであって、パワーコンポーネント４および５と同一の第１および第２のトランジスタを含む、図示しない第３のパワーコンポーネントを含む。この場合、プレート３１、３１’、３２および３２’の各々は、パワーコンポーネント４および５と同様にして、このパワーコンポーネントのトランジスタうちの一つの対応する電極にさらに接続される。

図３および図４は、本発明の第２の実施形態を示している。第１の実施形態のものと同様の、この実施形態によるスイッチング装置の要素は、同一の参照符号を付与し、上述した説明はそれらに置き換えることができるので詳細に説明しない。

より具体的には、図３および図４は、電気スイッチング装置１’を示している。この装置１’は、先に説明した装置１の相互接続デバイス３に取って代わり、同様の役割を果たす相互接続デバイス６を含む。

デバイス６は、６１、６１’、６２および６２’で示されており、互いに平行に延在する４つの導電性プレートであって、第１および第２のパワートランジスタのうちの一つと、駆動制御デバイス２の電圧出力バッファ２２の対応する出力とを各々が接続している、４つの導電性プレートを含む。プレート６１、６１’、６２および６２’は、デバイス６の主軸Ｚ６に垂直な幾何学平面Ｐに平行に延在している。

プレート６１および６１’は、出力電圧バッファ２２からトランジスタ４１および５１への第１の制御信号の伝達を見ている。同様に、プレート６２および６２’は、第２の制御信号のトランジスタ４２および５２への伝達を見ている。この実施例において、第１のプレート６１は、第１の電極４１１および５１１に電気的に接続されている。第２のプレート６１’は、第２の電極４１２および５１２に電気的に接続されている。第３のプレート５２は、第３の電極４２１および５２１に電気的に接続されている。第４のプレート６２’は、第４の電極４２２および５２２に電気的に接続されている。これらの電気的接続は、例えば、図示されていない接続要素を用いて、またはトランジスタの対応する電極をプレート６１、６１’、６２および６２’の各々に直接溶接することによってなされている。

プレート６１および６１’は、デバイス６の電気絶縁性支持体６１０の向かい合う面に配置されている。同様に、プレート６２および６２’は、デバイス６の電気絶縁性支持体６２０の向かい合う面に配置されている。支持体６１０および６２０は、例えば、支持体３１０および３２０に類似している。

ここで、プレート６１、６１’、６２および６２’の各々は、支持体６１０および６２０の対応する面に堆積される、銅のような金属から形成される。

ここで、プレート６１および６１’は、同一の形状を有している。より具体的には、プレート６１’によって占められる表面は、プレート６１によって占められる表面の軸Ｚ６の方向に沿った置き換えに対応している。同様に、プレート６２、６２’は同一の形状を有しており、プレート６２’によって占められる表面は、軸Ｚ６の方向に沿ったプレート６２によって占められる表面の置き換えに対応している。

第１および第２のプレート６１および６１’は、第３および第４のプレート６２および６２’に対して横方向にオフセットされている、すなわち、幾何学平面Ｐ’に属する方向に沿ってオフセットされている。有利には、デバイス６は、先に説明した層３３０と同じ役割を果たす電気絶縁性材料６３０の層３３０を含む。

プレート６１および６１’の各々は、できるだけ小さくプレート６２および６２’と重なり合っている。この目的のために、プレート６１および６１’は、重複ゾーンＺ６４においてのみプレート６２および６２’と重ね合わされる。例えば、層６１および６１’によって占められる表面の、幾何学平面Ｐ’における垂直投影は、プレート６２および６２’によって占められる表面領域の、この同一の幾何学平面Ｐ’における垂直投影から本質的に分離されている。本質的に分離することは、重複ゾーンＺ６４の表面積が、プレート６１、６１’の平面Ｐ’に投影される表面の表面積の５％以下である、好ましくはこの表面積の２％以下であることを意味している。例として、重複ゾーンＺ６４のこの表面積は、５ｍｍ^２に等しい。

この例では、プレート６１は、多角形の主要部分、四辺形の二次部分および二次部分６１２を主要部分６１１に接続している接続部分６１３を含む。主要部分６１１は、出力電圧バッファ２２の対応する出力をともなうインターフェースゾーンＺ２２と、第１のトランジスタ４１をともなうインターフェースゾーンＺ４１との間で、支持体６１０の上面の一部にわたって延在している。部分６１２は、部分６１１に隣接し、第１のトランジスタ５１とのインターフェースゾーンＺ５１に向かって配置されている。部分６１３は、部分６１２を部分６１１に接続している。

プレート６２は、類似の構造を有しており、部分６２１、６２２および６２３を含む。部分６２１は、出力電圧バッファ２２の対応する出力をともなうインターフェースゾーンＺ２２’と、第２のトランジスタ５２を伴うインターフェースゾーンＺ５２との間で、支持体６２０の上面の一部にわたって延在している。部分６２２は、第２のトランジスタをともなうインターフェースゾーンＺ４２に向かって、支持体６２０の縁部上に配置されている。

トランジスタのインターフェースゾーンは、デバイス６が取付け構成にあるときに、このトランジスタの電極に向かって位置するデバイス６の部分を参照している。例えば、インターフェースゾーンＺ４１は、電極４１１および４１２に向かって位置するデバイス６の部分に対応している。出力インターフェース２２に向かい合うゾーンＺ２２およびＺ２２’についても同様である。

デバイス６の取付け構成において、プレート６１および６２’は層６３０と接触している。

デバイス６に起因して、スイッチング装置の性能は、特に相互接続デバイス３に対して向上している。プレート６１、６１’とプレート６２、６２’との間の重なりを最小化することにより、これらのそれぞれのプレートの間で発生し、第１および第２の制御信号の間で干渉を生成し、電気スイッチング装置１の動作を劣化させる可能性のある、浮遊ケーブルインダクタンスが低減される。

さらに、プレート６１、６１’、６２および６２’の特定の配置は、デバイス３と同じくらい小型のデバイス６を得ることを可能にしている。特に、出力電圧バッファ２２とコンポーネント４および５との間のデバイス６の距離Ｌ６は、５ｃｍ未満であり、好ましくは１ｃｍ未満である。ここで距離Ｌ６は、先に説明した距離Ｌ３と同様に定義される。

装置１に関して前に説明したように、装置１’は、２つより多いパワーコンポーネントを含んでもよく、そのパワートランジスタは、デバイス６によって出力電圧バッファ２２に接続されている。

上で考察した実施形態および代替形態は、本発明の新しい実施形態を生み出すために互いに組み合わされてもよい。

１、１’ 電気スイッチング装置
２ 駆動制御デバイス
３ 相互接続デバイス
４ パワーコンポーネント
５ パワーコンポーネント
６ 相互接続デバイス
２１ 駆動制御回路
２２ 出力電圧バッファ
３１、３１’、３２、３２’ 導電性プレート
４１、４２、５１、５２ トランジスタ
６１、６１’、６２、６２’ 導電性プレート
３１０、３２０ 支持体
３３０ 電気絶縁性材料の層
４１１、４１２、４２１、４２２、５１１、５１２、５２１、５２２ 電極
６１０、６２０ 支持体
６１１ 主要部分
６１２ 二次部分
６１３ 接続部分
６２１、６２２、６２３ 部分
６３０ 層
Ｚ２２、Ｚ２２’、Ｚ４１、Ｚ４２、Ｚ５１、Ｚ５２、 インターフェースゾーン
Ｚ６４ 重複ゾーン

Claims (12)

1. 電気スイッチング装置（１；１’）であって、
   − 各々が第１（４１、５１）および第２（４２、５２）のパワートランジスタを含む少なくとも２つのパワーコンポーネント（４、５）と、
   − 第１の制御信号を前記第１のパワートランジスタ（４１、５１）の各々に供給し、第２の制御信号を前記第２のパワートランジスタ（４２、５２）の各々に供給するように構成された、前記トランジスタの駆動制御デバイス（２）と、
   − 前記第１および第２の制御信号を前記第１および第２のパワートランジスタに送信するように、前記駆動制御デバイスを前記パワーコンポーネント（４、５）に接続している電気的相互接続デバイス（３；６）と、
   を含み、
   前記電気的相互接続デバイス（３；６）は、互いに平行に延在する複数の導電性プレート（３１、３１’、３２、３２’；６１、６１’、６２、６２’）を含み、これらの導電性プレートの各々は、前記第１または第２のパワートランジスタ（４１、４２、５１、５２）のうちの一つの制御電極と、前記駆動制御デバイス（２）の対応する出力との間に接続されていることを特徴とする電気スイッチング装置（１；１’）。
2. 各第１のパワートランジスタ（４１、５１）は、第１（４１１、５１１）および第２（４１２、５１２）の制御電極を含み、各第２のパワートランジスタ（４２、５２）は、第３および第４の制御電極（４２１、５２１）を含み、前記電気的相互接続デバイスは、前記第１（４１１、５１１）、第２（４１２、５１２）、第３（４２１、５２１）および第４（４２２、５２２）の制御電極をそれぞれ前記駆動制御デバイス（２）の出力のそれぞれに電気的に接続する第１（３１、６１）、第２（３１、６１’）、第３（３２、６２）および第４（３２’、６２’）の導電性プレートを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記第１および第２の導電性プレートは、第１の電気絶縁性支持体（３１０；６１０）の向かい合う側に配置され、前記第３および第４の導電性プレートは、第２の電気絶縁性支持体（３２０；６２０）の向かい合う側に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 前記第１（３１；６１）および第２（３１’；６１’）の導電性プレートは、同一の形状を有しており、互いに重ね合わされていることを特徴とする請求項２または３に記載の装置。
5. 前記第３（３２；６２）および第４（３２’；６２’）の導電性プレートは、同一の形状を有しており、互いに重ね合わされていることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載の装置。
6. 前記導電性プレートは、互いに積層されており、前記第１（３１；６１）および第２（３１’；６１’）の導電性プレートは、前記第３（３２；６２）および第４（３２’、６２’）の導電性プレートに対して横方向にオフセットされており、重複ゾーン（Ｚ６４）のみでこれらの第３および第４の導電性プレートと重なり合うことを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の装置。
7. 前記重複ゾーン（Ｚ６４）は、前記導電性プレートのうちの１つの表面積の５％以下の表面積を有することを特徴とする請求項６に記載の装置。
8. 前記重複ゾーン（Ｚ６４）は、前記導電性プレートのうちの１つの表面積の２％以下の表面積を有することを特徴とする請求項７に記載の装置。
9. 前記導電性プレート（３１、３１’、３２、３２’；６１、６１’、６２、６２’）の各々は、１ｃｍ^２以上および１０ｃｍ^２以下の表面積を有していることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
10. 前記導電性プレート（３１、３１’、３２、３２’；６１、６１’、６２、６２’）は金属で作られていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の装置。
11. 前記金属が銅であることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
12. 前記第１および第２のパワートランジスタ（４１、４２、５１、５２）は、金属酸化物半導体電界効果トランジスタまたは絶縁ゲートバイポーラトランジスタまたはバイポーラトランジスタであることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の装置。

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