JP2018032481A - 質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエア - Google Patents
質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエア Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018032481A JP2018032481A JP2016162410A JP2016162410A JP2018032481A JP 2018032481 A JP2018032481 A JP 2018032481A JP 2016162410 A JP2016162410 A JP 2016162410A JP 2016162410 A JP2016162410 A JP 2016162410A JP 2018032481 A JP2018032481 A JP 2018032481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- mass spectrometer
- warning
- parameter
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
【課題】フィラメント寿命の長い質量分析装置を提供する。【解決手段】本発明に係る質量分析装置は、熱電子を用いて試料をイオン化する質量分析装置であって、熱電子を生成するフィラメント212と、フィラメント212に供給する電力の大きさに対応して変化するパラメータの値を検出するパラメータ検出部311と、パラメータ検出部311が、前記電力が所定値を超えていることを示すパラメータの値を検出したときに所定の警告を発出する警告処理部312とを備える。これにより、ユーザがフィラメントへの電力の供給量が多いことを認識することができ、不必要であれば電力の供給量を低下させるための操作を行うこと等、電力を適切に設定する動機付けをユーザに与えることができる。【選択図】図2
Description
本発明は質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエアに関し、特に、熱電子で試料を直接イオン化する又は熱電子でバッファイオンを生成し、それにより試料をイオン化する質量分析装置及びそれに用いるソフトウエアに関する。
クロマトグラフ質量分析装置では、クロマトグラフ部のカラムで試料の成分を時間的に分離して質量分析部に導入し、質量分析部で試料をイオン化したうえで順次マススペクトルを取得する。質量分析部で試料をイオン化する方法の1つに、電子イオン化(EI)法がある。電子イオン化法では一般に、フィラメントを熱することにより熱電子を生成し、該熱電子を加速電圧で加速したうえで試料の分子に衝突させて該分子をイオン化する(例えば特許文献1参照)。また、熱電子によりバッファイオンを生成し、該バッファイオンを試料ガスに衝突させることにより試料をイオン化する化学イオン化(CI)法もよく用いられる。
これら質量分析装置では、単位時間当たりに生成される熱電子の量が多いほど生成されるイオンの量も多くなり、高感度の検出が可能となる。単位時間当たりに生成される熱電子の量を多くするためには、フィラメントに供給する電力を大きくすればよい。その一方で、フィラメントに供給する電力を大きくした状態で使用し続けると、フィラメントの寿命が短くなってしまう。そのため、これら質量分析装置では一般に、ユーザが検出感度を設定(例えば、高感度モードから高濃度(低感度)モードの間の数段階から選択)することができるようになっている。これにより、高感度な検出を行う必要があるときにはフィラメントに供給する電力を大きくし、高感度での検出が不要であるときには該電力を抑えるという設定を、ユーザが行うことができる。
このようにフィラメントに供給する電力はユーザが行う設定によって調整することが可能であるものの、ユーザは、フィラメントの寿命を意識することなく、高感度な検出を行うことを選択しがちである。そのため、必要以上に高感度な状態、すなわちフィラメントに供給する電力が必要以上に大きい状態、が常態となり、フィラメントの寿命を不必要に縮めてしまうおそれがある。
本発明が解決しようとする課題は、よりフィラメント寿命の長い質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエアを提供することである。
上記課題を解決するために成された本発明は、熱電子を用いて試料をイオン化する質量分析装置であって、
a) 熱電子を生成するフィラメントと、
b) 前記フィラメントに供給する電力の大きさに対応して変化するパラメータの値を検出するパラメータ検出部と、
c) 前記パラメータ検出部が、前記電力が所定値を超えていることを示すパラメータの値を検出したときに所定の警告を発出する警告処理部と
を備えることを特徴とする。
a) 熱電子を生成するフィラメントと、
b) 前記フィラメントに供給する電力の大きさに対応して変化するパラメータの値を検出するパラメータ検出部と、
c) 前記パラメータ検出部が、前記電力が所定値を超えていることを示すパラメータの値を検出したときに所定の警告を発出する警告処理部と
を備えることを特徴とする。
本発明に係る質量分析装置によれば、フィラメントに供給する電力が所定値を超えているときに、そのことを示すパラメータをパラメータ検出部が検出し、警告処理部が所定の警告を発出する。これにより、ユーザがフィラメントへの電力の供給量が多いことを認識することができ、不必要であれば電力の供給量を低下させるための操作を行うこと等、電力を適切に設定する動機付けをユーザに与えることができる。
前記パラメータには、フィラメントに供給する電流又は電圧を用いることができる。また、フィラメントから放出された熱電子によりイオン源内に生成される熱電子の流れ(熱電子流)も、フィラメントに供給する電力の大きさに対応して変化するため、前記パラメータとして用いることができる。フィラメントを用いたイオン源では従来より、フィラメントに供給される電力等ではなく、試料に対して直接作用するため試料のイオン化の効率をより直接的に表しているという点で熱電子流を測定している(特許文献1の背景技術の欄参照)ことから、前記パラメータには熱電子流を用いることが好適である。さらには、フィラメントが発する光(赤外線)の強度を検出して前記パラメータとして用いてもよい。あるいは、ユーザが設定する検出感度がフィラメントの電力と直接対応している場合には、当該検出感度の設定を前記パラメータとして用いてもよい。
警告処理部が発出する警告は、所定の画像を表示画面上に表示するものや、光あるいは音を発するもの等を用いることができる。但し、フィラメントに供給する電力が所定値を超えて警告が発出される状態であっても、検出感度を高くする必要がある場合には分析を続行する必要があるため、警告が発出され続けてもユーザに大きな心理的負荷を掛けない方が望ましい。この点で、警告処理部が発出する警告には、所定の画像を表示画面上に表示するものが好ましい。
本発明に係る質量分析装置用ソフトウエアは、前記質量分析装置の前記警告処理部における処理をコンピュータに実行させるソフトウエアであることを特徴とする。
本発明に係る質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエアによれば、フィラメントに供給する電力が所定値を超えているときに警告処理部が所定の警告を発出することで、ユーザがフィラメントに供給する電力を適切に設定することに資する。これにより、フィラメントの寿命を不必要に縮めてしまうということがなく、より長い時間、フィラメントを使用することができるようになる。
図1〜図5を用いて、本発明に係る質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエアの実施形態を説明する。
図1は、本発明に係る質量分析装置の一実施形態であるガスクロマトグラフ質量分析装置1の全体の構成を示す図である。このガスクロマトグラフ質量分析装置1は、ガスクロマトグラフ部(GC部)10と質量分析部(MS部)20を有する。GC部10は、試料を導入するインジェクタ11と、インジェクタ11で導入された試料の成分を分離するカラム12を有する。
MS部20は、カラム12を通過した試料の分子をイオン化するイオン源21と、イオン源21でイオン化されたイオンを収束するイオンレンズ22と、印加電圧を制御することによって該印加電圧で定まる質量電荷比m/zを有するイオンのみを通過させる四重極フィルタ23と、四重極フィルタ23を通過したイオンを検出する検出器24を有する。MS部20の全体は真空容器25内に収容されており、該真空容器25内は真空ポンプ26によって真空に保たれる。
さらに、ガスクロマトグラフ質量分析装置1には、各部の動作を制御する制御部31、後述の熱電子電流の設定値(検出感度)を含む各種の分析条件をユーザが入力する入力部32、及び後述の警告画像を含む各種情報を表示する表示部33が設けられている。これら制御部31、入力部32、及び表示部33は、パーソナルコンピュータ(PC)30のハードウエア及びソフトウエアにより具現化されている。制御部31の機能及び表示部33で表示される情報については、後で詳述する。
次に、イオン源21の構成を説明する。イオン源21は、図2に示すように、イオン化室211を有する。イオン化室211の壁は導電性の材料から成り、接地されている。イオン化室211には、カラム12を通過した試料の分子を導入する試料分子導入口2111と、試料の分子がイオン化されたイオンを引き出すイオン引き出し口2112と、熱電子を導入する熱電子導入口2113と、熱電子を送出する熱電子送出口2114が設けられている。イオン引き出し口2112の外には前述のイオンレンズ22が設けられており(図2には図示せず)、イオンレンズ22とイオン化室211の電位差によりイオン化室211内の電子がイオンレンズ22側に引き出される。
また、イオン源21は、熱電子導入口2113の外側に配置された、熱電子を生成するフィラメント212を有する。フィラメント212には、該フィラメント212に電圧を印加し、該電圧が可変であるフィラメント電源213が接続されている。フィラメント電源213の電圧は制御部31により制御される。フィラメント212とイオン化室211の壁(すなわち接地)には、両者の間にフィラメント212側を負とする電位差を付与する熱電子加速電源214が接続されている。
さらに、イオン源21は、熱電子送出口2114の外側配置された熱電子コレクタ215を有する。熱電子コレクタ215は、フィラメント212で生成されてイオン化室211内を通過した熱電子を収集するものである。熱電子コレクタ215とイオン化室211の壁(接地)には、両者の間に熱電子コレクタ215側を正とする電位差を付与するコレクタ電源216と、フィラメント212と熱電子コレクタ215の間に流れる(熱電子コレクタ215で収集された)熱電子による電流(以下、「熱電子電流」とする)の値を測定する熱電子電流計217が設けられている。熱電子電流計217は通常の電流計であって、その出力値、すなわち熱電子電流の値を制御部31に送信するように該制御部31に接続されている。
制御部31は、ガスクロマトグラフ質量分析装置1の各種の処理を行う機能を有しているが、ここでは本発明においてフィラメント212に供給する電力が所定値を超えているときに警告を発するための構成であるパラメータ検出部311及び警告処理部312について説明する。パラメータ検出部311は、熱電子電流計217からの出力値である熱電子電流の値を受信する。警告処理部312は、パラメータ検出部311が受信した熱電子電流の値が所定値を超えているか否かを判定し、該所定値を超えているときに、表示部33に後述の警告表示をさせるための信号を該表示部33に送信する。
図3に、表示部33で表示される情報の一例を示す。この例では、表示部33の画面上にクロマトグラム表示領域331と、マススペクトル表示領域332と、分析条件表示・入力領域333と、装置モニタ領域334が表示されている。クロマトグラム表示領域331に表示されるクロマトグラム、及びマススペクトル表示領域332に表示されるマススペクトルは、分析中に随時更新されるようになっている。分析条件表示・入力領域333は、フィラメント212に供給する電力を左右する熱電子電流の設定値を含む分析条件が表示されると共に、入力部32を用いて分析条件を入力することができるようになっている。なお、分析条件は、分析条件表示・入力領域333に直接入力する方法の他に、分析条件等が記録されたファイル(メソッドファイル)を読み込ませることで入力することもできる。その場合には、読み込ませたメソッドファイルの内容が分析条件表示・入力領域333に表示される。
装置モニタ領域334には、ガスクロマトグラフ質量分析装置1中の各部の動作状況(ガスの流量、各部の温度や真空度、イオン化モード(「EI」、「CI」等))が表示される。また、装置モニタ領域334には、GC部10及びMS部20で用いられている消耗品の交換時期を知らせる消耗品情報表示部335(図中の「GC消耗品」欄及び「MS消耗品」欄)が設けられている。「GC消耗品」では「セプタム」及び「ガラスインサート」、「MS消耗品」では「フィラメント」、「イオン源」、「検出器」が、交換時期を知らせる対象となっており、消耗品情報表示部335には各消耗品に対して1個ずつ、表示窓が設けられている。消耗品の交換時期は装置の稼働時間に基づいて消耗品毎に管理されており、交換時期に近くなる程、消耗品情報表示部335の表示窓の背景の色が濃く表示される。
本実施形態ではさらに、警告処理部312から警告表示をさせるための信号が表示部33に入力されたときに、以下のように消耗品情報表示部335中のフィラメント交換時期表示窓3351に警告表示がなされる。当該警告表示がなされていない状態では、フィラメント交換時期表示窓3351にはフィラメントを図案化した黒色の記号ものが表示される(図4(a))のに対して、当該警告表示がなされている状態では、フィラメント交換時期表示窓3351には上記黒色の記号に加えて赤色の上向きの矢印が表示される(図4(b))。なお、いずれの場合にも、背景には上述の通り装置の稼働時間に基づいて求められたフィラメントの交換時期の近さを示す色で背景が表示される。
本実施形態のガスクロマトグラフ質量分析装置1の動作を、本発明に関わる点を中心に説明する。まず、ユーザが、分析条件表示・入力領域333に分析条件を入力するか、メソッドファイルを読み込ませることにより、分析条件が設定される。その際、入力される分析条件の1つとして熱電子電流の設定値が挙げられる。この設定値が大きい程、イオン源21内で試料の分子と熱電子が衝突する確率が高くなってイオンが多く生成されるため検出感度が高くなる一方、より多くの電力をフィラメント212に供給する必要が生じるためフィラメント212の寿命が短くなる。
入力された分析条件に従って分析が開始されると、試料がインジェクタ11から導入され、該試料がカラム12を通過する間に成分毎に分離される。そして、試料を構成する分子が成分毎に異なる保持時間でイオン源21に到達し、試料分子導入口2111からイオン化室211内に導入される。
イオン源21では、フィラメント電源213からフィラメント212に電力が供給されることにより、フィラメント212から熱電子が放出される。この熱電子は熱電子加速電源214でフィラメント212とイオン化室211の壁の間に印加された加速電圧により加速されて熱電子導入口2113からイオン化室211内に導入される。イオン化室211内では熱電子の一部が試料の分子に衝突し、該分子がイオン化される。
こうして生成されたイオンは、イオンレンズ22で収束され、四重極フィルタ23への印加電圧により定まる所定の質量電荷比m/zを有するイオンのみが該四重極フィルタ23を通過して検出器24で検出される。これらイオンレンズ22、四重極フィルタ23及び検出器24の動作は通常のガスクロマトグラフ質量分析装置と同様であるため、詳細な説明を省略する。
イオン化室211内の熱電子は、熱電子送出口2114からイオン化室211の外に送出される。送出された熱電子は、コレクタ電源216で与えられる熱電子コレクタ215とイオン化室211の壁との電位差により、該熱電子コレクタ215に捕獲され、熱電子電流計217から熱電子電流の値が出力される。
制御部31は、熱電子電流計217から出力された熱電子電流の値に基づいて、熱電子電流がユーザにより設定された値に近づけるように、熱電子加速電源214の出力電圧をフィードバック制御する。なお、このフィードバック制御は、イオン化室211内の分子の濃度によって熱電子電流が変動するため必要となるものである。そのため、熱電子電流が同じ値であっても、分子の濃度によってフィラメントに供給される電力が多少相違することとなるものの、その相違はフィラメントに供給する電力の大きさを示す指標として熱電子電流を用いることに支障が生じるほど大きいものではない。
この制御部31によるフィードバック制御と共に、制御部31のパラメータ検出部311は、熱電子電流の値を受信して警告処理部312に送信する。警告処理部312は、熱電子電流の値が所定値を超えているか否かを判定し、所定値を超えていれば、警告表示のための信号を表示部33に送信する。表示部33に表示されるフィラメント交換時期表示窓3351は、警告処理部312からの信号を受けて、図4(b)に示した警告を表示する。フィラメント212に供給する電力が大きい程、熱電子電流も大きくなることから、警告を表示すべきフィラメント212への供給電力に対応して熱電子電流の前記所定値を定めておくことにより、適切な条件下で警告を発出することができる。
このような警告を表示することにより、当該警告表示を見たユーザが、フィラメント212への電力の供給量が多いことを認識することができる。そして、不必要であれば電力の供給量を低下させるための操作を行うこと等、電力を適切に設定する動機付けをユーザに与えることができる。一方、高感度でのイオンの検出が必要である場合には、警告表示に関わらず、分析を続行すればよい。
本発明は、上記実施形態には限定されない。
例えば、上記実施形態ではフィラメント212に供給する電力に対応して変化するパラメータとして熱電子電流計217で測定した熱電子電流の値を用いたが、フィラメント212に供給する電流や電圧を測定して当該パラメータとしてもよい。図5に示したイオン源21Aでは、通常の電流計から成るフィラメント電流計218を用いて、フィラメント212に流れるフィラメント電流の値を求めている。このフィラメント電流計218の出力は、パラメータ検出部311に入力され、当該値が所定値を超えていれば警告処理部312が上記と同様の警告処理を行う。なお、イオン源21Aには、熱電子電流のフィードバック制御を行うために、熱電子電流計217も設けられている。このように、イオン源21Aでは前述のイオン源21よりも余分に電流計(フィラメント電流計218)を用いる必要があるものの、フィラメント212に供給する電力により近いパラメータであるフィラメント電流に基づいて、より適切な警告を行うことができる。
例えば、上記実施形態ではフィラメント212に供給する電力に対応して変化するパラメータとして熱電子電流計217で測定した熱電子電流の値を用いたが、フィラメント212に供給する電流や電圧を測定して当該パラメータとしてもよい。図5に示したイオン源21Aでは、通常の電流計から成るフィラメント電流計218を用いて、フィラメント212に流れるフィラメント電流の値を求めている。このフィラメント電流計218の出力は、パラメータ検出部311に入力され、当該値が所定値を超えていれば警告処理部312が上記と同様の警告処理を行う。なお、イオン源21Aには、熱電子電流のフィードバック制御を行うために、熱電子電流計217も設けられている。このように、イオン源21Aでは前述のイオン源21よりも余分に電流計(フィラメント電流計218)を用いる必要があるものの、フィラメント212に供給する電力により近いパラメータであるフィラメント電流に基づいて、より適切な警告を行うことができる。
また、上記実施形態ではユーザが熱電子電流の設定値を入力するが、その代わりに、検出感度を数段階の数値で入力(数値を直接入力、プルダウンで選択、スライドバーを移動させて設定等)するようにしてもよい。その場合、この検出感度の数値に応じて、熱電子電流あるいはフィラメント電流の値を設定する。
あるいは、使用者がフィラメント212に供給する電力の値を直接入力するようにし、その値を上記パラメータとしてもよい。
図4に示した警告表示は一例であって、例えば図4(b)の上向きの矢印がより目立つように当該矢印を点滅させるようにしてもよいし、この矢印と併用又はそれとは別に警告を示す文字(文章)を表示してもよい。あるいは、警告として音や光を発するようにしてもよい。
さらには、上記実施形態ではガスクロマトグラフ質量分析装置を例に説明したが、同様のフィラメントを用いたイオン源を有する質量分析装置であれば本発明を適用することができる。
その他、本発明はその主旨に沿って、上記実施形態からの種々の変更が可能である。
その他、本発明はその主旨に沿って、上記実施形態からの種々の変更が可能である。
1…ガスクロマトグラフ質量分析装置
10…GC部
11…インジェクタ
12…カラム
20…MS部
21、21A…イオン源
211…イオン化室
2111…試料分子導入口
2112…イオン引き出し口
2113…熱電子導入口
2114…熱電子送出口
212…フィラメント
213…フィラメント電源
214…熱電子加速電源
215…熱電子コレクタ
216…コレクタ電源
217…熱電子電流計
218…フィラメント電流計
22…イオンレンズ
23…四重極フィルタ
24…検出器
25…真空容器
26…真空ポンプ
31…制御部
311…パラメータ検出部
312…警告処理部
32…入力部
33…表示部
331…クロマトグラム表示領域
332…マススペクトル表示領域
333…分析条件表示・入力領域
334…装置モニタ領域
335…消耗品情報表示部
3351…フィラメント交換時期表示窓
10…GC部
11…インジェクタ
12…カラム
20…MS部
21、21A…イオン源
211…イオン化室
2111…試料分子導入口
2112…イオン引き出し口
2113…熱電子導入口
2114…熱電子送出口
212…フィラメント
213…フィラメント電源
214…熱電子加速電源
215…熱電子コレクタ
216…コレクタ電源
217…熱電子電流計
218…フィラメント電流計
22…イオンレンズ
23…四重極フィルタ
24…検出器
25…真空容器
26…真空ポンプ
31…制御部
311…パラメータ検出部
312…警告処理部
32…入力部
33…表示部
331…クロマトグラム表示領域
332…マススペクトル表示領域
333…分析条件表示・入力領域
334…装置モニタ領域
335…消耗品情報表示部
3351…フィラメント交換時期表示窓
Claims (4)
- 熱電子を用いて試料をイオン化する質量分析装置であって、
a) 熱電子を生成するフィラメントと、
b) 前記フィラメントに供給する電力の大きさに対応して変化するパラメータの値を検出するパラメータ検出部と、
c) 前記パラメータ検出部が、前記電力が所定値を超えていることを示すパラメータの値を検出したときに所定の警告を発出する警告処理部と
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 前記パラメータ検出部が、前記イオン源内に生成される熱電子流を前記パラメータとして検出するものであることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記警告処理部が、前記警告として所定の画像を表示画面上に表示するものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の質量分析装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の質量分析装置の前記警告処理部における処理をコンピュータに実行させる質量分析装置用ソフトウエア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016162410A JP2018032481A (ja) | 2016-08-23 | 2016-08-23 | 質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016162410A JP2018032481A (ja) | 2016-08-23 | 2016-08-23 | 質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018032481A true JP2018032481A (ja) | 2018-03-01 |
Family
ID=61303087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016162410A Pending JP2018032481A (ja) | 2016-08-23 | 2016-08-23 | 質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2018032481A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109738835A (zh) * | 2018-12-31 | 2019-05-10 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 离子源灯丝的工作方法 |
| JPWO2021033318A1 (ja) * | 2019-08-22 | 2021-02-25 | ||
| JP2021032594A (ja) * | 2019-08-19 | 2021-03-01 | 金川 典代 | 広帯域音波を用いた探査装置及び探査方法 |
| WO2022014119A1 (ja) * | 2020-07-14 | 2022-01-20 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析装置 |
| CN118936770A (zh) * | 2024-07-23 | 2024-11-12 | 深圳市希立仪器设备有限公司 | 一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统 |
-
2016
- 2016-08-23 JP JP2016162410A patent/JP2018032481A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109738835A (zh) * | 2018-12-31 | 2019-05-10 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 离子源灯丝的工作方法 |
| JP2021032594A (ja) * | 2019-08-19 | 2021-03-01 | 金川 典代 | 広帯域音波を用いた探査装置及び探査方法 |
| JP7216941B2 (ja) | 2019-08-19 | 2023-02-02 | 金川 典代 | 広帯域音波を用いた探査装置及び探査方法 |
| JPWO2021033318A1 (ja) * | 2019-08-22 | 2021-02-25 | ||
| WO2021033318A1 (ja) * | 2019-08-22 | 2021-02-25 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析計および質量分析方法 |
| WO2022014119A1 (ja) * | 2020-07-14 | 2022-01-20 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析装置 |
| JPWO2022014119A1 (ja) * | 2020-07-14 | 2022-01-20 | ||
| JP7414146B2 (ja) | 2020-07-14 | 2024-01-16 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析装置 |
| CN118936770A (zh) * | 2024-07-23 | 2024-11-12 | 深圳市希立仪器设备有限公司 | 一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5811023B2 (ja) | クロマトグラフ質量分析用データ処理装置 | |
| KR101340880B1 (ko) | 가스 분석장치 | |
| JP2018032481A (ja) | 質量分析装置及び質量分析装置用ソフトウエア | |
| EP1875486B1 (en) | Method for controlling space charge-driven ion instabilities in electron impact ion sources | |
| JP6773236B2 (ja) | 質量分析装置及び質量分析方法 | |
| US9784714B2 (en) | Discharge ionization current detector and tuning method for the same | |
| WO2015118681A1 (ja) | 質量分析装置及び質量分析方法 | |
| JP7377067B2 (ja) | 質量補正を有する誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
| US20160189944A1 (en) | Method for analysis of sample and apparatus therefor | |
| US7989761B2 (en) | Gas analyzing method and gas analyzing apparatus | |
| CN108780071A (zh) | 气相色谱质谱分析装置 | |
| US20220341899A1 (en) | Analyzer and analysis system | |
| CN113167764B (zh) | 分析装置的评价方法、分析装置的校正方法、分析方法、分析装置及计算机可读介质 | |
| CN117120834A (zh) | 传输气流量大于10升/分钟的差分迁移率谱仪/质谱仪接口 | |
| JP7176570B2 (ja) | 質量分析装置およびプログラム | |
| US20190025123A1 (en) | Spectral data processing apparatus and spectral data processing method | |
| JP6954462B2 (ja) | 分析装置、分析方法およびプログラム | |
| US20220317089A1 (en) | Gas chromatograph mass spectrometer and mass spectrometry method | |
| JP2009187850A (ja) | 質量分析装置 | |
| JP2023550482A (ja) | 質量分析計で使用するための複数のイオン化体積を備えたイオン源アセンブリ | |
| US11195707B2 (en) | Time-of-flight mass spectrometry device | |
| JP2012094252A (ja) | 質量分析装置 | |
| GB2641831A (en) | Mass spectrometer signal optimisation | |
| US10453663B2 (en) | Mass spectrometry device and ion detection method therefor | |
| JP2013234860A (ja) | クロマトグラフ質量分析装置 |