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JP2018030376A - Rolling break device for brittle material substrate - Google Patents

Rolling break device for brittle material substrate Download PDF

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JP2018030376A
JP2018030376A JP2017228984A JP2017228984A JP2018030376A JP 2018030376 A JP2018030376 A JP 2018030376A JP 2017228984 A JP2017228984 A JP 2017228984A JP 2017228984 A JP2017228984 A JP 2017228984A JP 2018030376 A JP2018030376 A JP 2018030376A
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Abstract

【課題】スクライブラインが形成された脆性材料基板を容易に分断することができる脆性材料基板のローリングブレーク装置を提供する。【解決手段】ローリングブレーク装置は、上面にスクライブラインＳが形成された脆性材料基板３が載置される柔軟性安着パッド２５と、柔軟性安着パッド２５の一側端に設けられて柔軟性安着パッド２５がたわまないように張力を付与する引っ張り部３０と、柔軟性安着パッド２５を挟んで脆性材料基板３と反対側に位置する押し付け移動ローリング部２０と、押し付け移動ローリング部２０が柔軟性安着パッド２５の下面を押すように、押し付け移動ローリング部２０を上下動させる昇降部２６を具備する。【選択図】図５The present invention provides a brittle material substrate rolling break device capable of easily dividing a brittle material substrate on which a scribe line is formed. A rolling break device is provided with a flexible seating pad 25 on which a brittle material substrate 3 having a scribe line S formed on an upper surface is placed, and is provided at one end of the flexible seating pad 25 to be flexible. A pulling portion 30 for applying tension so that the elastic seating pad 25 does not bend, a pressing moving rolling portion 20 located on the opposite side of the brittle material substrate 3 with the flexible mounting pad 25 interposed therebetween, and a pressing moving rolling An elevating part 26 is provided for moving the pressing and moving rolling part 20 up and down so that the part 20 presses the lower surface of the flexible seating pad 25. [Selection] Figure 5

Description

本発明は、ローリングブレーク装置に関するものであって、特にスクライブラインが形成された脆性材料基板を容易に分断することができる脆性材料基板のローリングブレーク装置に関するものである。 The present invention relates to a rolling break device, and more particularly, to a brittle material substrate rolling break device capable of easily dividing a brittle material substrate on which a scribe line is formed.

一般的に、脆性材料基板は大型で製造され、使用者は当該基板を所望の大きさに分断して用いる。このような大型の脆性材料基板を分断する従来の分断装置について、図１及び図２を参照して説明する。 Generally, a brittle material substrate is manufactured in a large size, and a user divides the substrate into a desired size for use. A conventional cutting apparatus for cutting such a large brittle material substrate will be described with reference to FIGS.

図１を参照すると、大型の脆性材料基板３を分断するためには、まず大型の脆性材料基板３の表面にカッターホイール４を使用してスクライブラインＳを形成する。その後、脆性材料基板３の上下面が入れ変わるように吸着反転装置（不図示）を利用して１８０度反転させる。図２に示すように、スクライブラインＳが形成された脆性材料基板３の面が底面を向くように反転させたら、スクライブラインＳの裏側をスクライブラインＳの形成方向に沿ってブレークバー８で加圧する。これにより、脆性材料基板３はスクライブラインＳに沿って左右へ離れながら分断される。この時、脆性材料基板Ｓの下部側には、ブレークバー８で加圧するときに脆性材料基板３が下部側に押されながら緩衝されるようにクッションシート７が敷かれている。 Referring to FIG. 1, in order to cut a large brittle material substrate 3, first, a scribe line S is formed on the surface of the large brittle material substrate 3 using a cutter wheel 4. Thereafter, the top and bottom surfaces of the brittle material substrate 3 are reversed 180 degrees using an adsorption reversing device (not shown). As shown in FIG. 2, when the surface of the brittle material substrate 3 on which the scribe line S is formed is inverted so that it faces the bottom surface, the back side of the scribe line S is added by the break bar 8 along the formation direction of the scribe line S. Press. As a result, the brittle material substrate 3 is divided along the scribe line S while being separated left and right. At this time, the cushion sheet 7 is laid on the lower side of the brittle material substrate S so that the brittle material substrate 3 is buffered while being pressed to the lower side when the break bar 8 is pressed.

前記のようにスクライブラインＳに沿って脆性材料基板３の上面をブレークバー８で加圧しながら押すと、脆性材料基板３は、クッションシート７に押し付けられながらスクライブラインＳに沿って分断される。しかしながら、脆性材料基板３のスクライブラインＳは敷かれているクッションシート７の面と接触しているため、スクライブラインＳが形成された面と反対側の面をブレークバー８で加圧すると、スクライブラインＳの形成された面がクッションシート７の面と接触し摩擦力が発生する。このことにより、分断後の脆性材料基板が左右に離れにくく、分離が容易にならないという問題がある。 When the upper surface of the brittle material substrate 3 is pressed along the scribe line S while being pressed by the break bar 8 as described above, the brittle material substrate 3 is divided along the scribe line S while being pressed against the cushion sheet 7. However, since the scribe line S of the brittle material substrate 3 is in contact with the surface of the cushion sheet 7 laid, when the surface opposite to the surface on which the scribe line S is formed is pressed with the break bar 8, the scribe line S is applied. The surface on which the line S is formed comes into contact with the surface of the cushion sheet 7 and a frictional force is generated. As a result, there is a problem that the brittle material substrate after dividing is difficult to separate from side to side and separation is not easy.

また、スクライブラインＳの形成された面がクッションシート７の面と接触した状態でクッションシート７の方に押し付けられながら摩擦を起こしつつ分断されるため、分断面でチッピングが発生するという問題もある。
また、前記のような従来の分断装置では、脆性材料基板を分断するために吸着反転装置等を利用して基板を反転させなければならないため、吸着による基板面の汚染が起きやすいという問題点もある。
さらには、ブレークバー８でスクライブラインＳの真裏を加圧しないとスクライブラインＳに沿って正確に分断されないのであるが、脆性材料基板３の位置が若干ずれた状態でブレークバー８で加圧すると、スクライブラインＳに沿って正確に分断されず、左右いずれかにずれた状態で分断されるという問題が発生する。 Further, since the surface on which the scribe line S is formed is in contact with the surface of the cushion sheet 7 and is pressed against the cushion sheet 7 and is divided while causing friction, there is also a problem that chipping occurs in the sectional surface. .
Further, in the conventional cutting apparatus as described above, since the substrate must be reversed using an adsorption reversing device or the like in order to divide the brittle material substrate, there is a problem that the substrate surface is easily contaminated by the adsorption. is there.
Furthermore, if the break bar 8 does not press the back of the scribe line S, it cannot be accurately divided along the scribe line S, but if the break bar 8 is pressed with the position of the brittle material substrate 3 slightly shifted, There is a problem that it is not divided accurately along the scribe line S, and is divided in a state shifted to the left or right.

特開２００７−０５４６７９号公報JP 2007-054679 A

本発明は、上述のような問題点を勘案して案出されたものであって、その目的は、スクライブラインが形成された脆性材料基板を容易に分断させ得る脆性材料基板のローリングブレーク装置を提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a rolling break device for a brittle material substrate that can easily cut a brittle material substrate on which a scribe line is formed. It is to provide.

前記の目的を達成するために、本発明のローリングブレーク装置は、上面にスクライブラインが形成された脆性材料基板が載置される柔軟性安着パッドと、該柔軟性安着パッドの一側端に設けられて、前記柔軟性安着パッドを引っ張ることで張力を付与する引っ張り部と、前記柔軟性安着パッドを挟んで前記脆性材料基板と反対側に位置する押し付け移動ローリング部と、該押し付け移動ローリング部を上下移動させる昇降部とを具備する。 In order to achieve the above object, a rolling break device according to the present invention includes a flexible seating pad on which a brittle material substrate having a scribe line formed on an upper surface is placed, and one side end of the flexible seating pad. A pulling portion for applying tension by pulling the flexible seating pad, a pressing moving rolling unit positioned on the opposite side of the brittle material substrate across the flexible seating pad, and the pressing And an elevating unit that moves the moving rolling unit up and down.

前記押し付け移動ローリング部は、前記柔軟性安着パッドの下面に沿って移動する構成とすることができる。 The pressing movement rolling part may be configured to move along the lower surface of the flexible seating pad.

前記押し付け移動ローリング部と前記昇降部との間に前記脆性材料基板の下面と平行に設置された水平棚をさらに含み、前記押し付け移動ローリング部は、前記水平棚上で前記柔軟性安着パッドの下面に沿って移動する構成とすることができる。 Further comprising a horizontal shelf installed in parallel with the lower surface of the brittle material substrate between the pressing and moving rolling part and the elevating part, the pressing and moving rolling part of the flexible seating pad on the horizontal shelf It can be set as the structure which moves along a lower surface.

前記押し付け移動ローリング部を前記脆性材料基板の面と平行な面内で回転させる回転部を有する構成とすることができる。 The pressing moving rolling unit may include a rotating unit that rotates the plane in a plane parallel to the surface of the brittle material substrate.

前記柔軟性安着パッドは、メッシュ状の網の上にゴムパッドが重なって形成されるか、粘着性ゴムで形成することができる。 The flexible seating pad may be formed by overlapping a rubber pad on a mesh-like net or may be formed of an adhesive rubber.

前記押し付け移動ローリング部は、その長手方向の寸法が前記脆性材料基板の幅よりも大きな構成することができる。 The pressing and moving rolling portion can be configured such that the dimension in the longitudinal direction is larger than the width of the brittle material substrate.

本発明の一実施例によると、脆性材料基板にスクライブラインを形成した後、当該脆性材料基板を裏返さずに済むため、基板面の汚染を防止することができる。
また、水平方向に移動する押し付け移動ローリング部を利用することにより、スクライブラインが形成された脆性材料基板を素早く容易に分断できると共に、スクライブラインの方向と押し付け移動ローリング部の位置が正確に一致していないときでも分断が可能になる。
また、押し付け移動ローリング部を上方に押し上げながら脆性材料基板の下面に沿って水平方向に移動させるため、脆性材料基板のスクライブラインを一ラインずつ順にブレークすることができる。
また、柔軟性安着パッドを粘着性ゴムで構成した場合は、脆性材料基板が粘着性ゴムパッドに貼り付くので、押し付け移動ローリング部による押し上げ時に脆性材料基板が柔軟性安着パッドから浮き上がることを防止することができ、分断力を高めることができる。 According to one embodiment of the present invention, it is not necessary to turn over the brittle material substrate after forming a scribe line on the brittle material substrate, so that contamination of the substrate surface can be prevented.
In addition, by using the pressing and moving rolling part that moves in the horizontal direction, the brittle material substrate on which the scribe line is formed can be quickly and easily divided, and the direction of the scribe line and the position of the pressing and moving rolling part match exactly. Splitting is possible even when not.
In addition, since the pressing movement rolling portion is pushed upward and moved in the horizontal direction along the lower surface of the brittle material substrate, the scribe lines of the brittle material substrate can be broken one by one in order.
If the flexible seating pad is made of adhesive rubber, the brittle material substrate will stick to the adhesive rubber pad, preventing the brittle material substrate from lifting from the flexible seating pad when it is pushed up by the pressing movement rolling part. Can increase the breaking force.

図１は、脆性材料基板を分断するためのスクライブラインを形成する装置を概略的に示す図面である。FIG. 1 is a drawing schematically showing an apparatus for forming a scribe line for dividing a brittle material substrate. 図２は、図１の装置によってスクライブラインを形成した後、ブレークバーを利用して基板を分断する従来の分断装置を示す図面である。FIG. 2 is a view showing a conventional cutting apparatus for cutting a substrate using a break bar after forming a scribe line by the apparatus of FIG. 図３は、本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置を示す図面である。FIG. 3 illustrates a rolling break device for a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention. 図４は、本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置を利用して脆性材料基板を分断する状態を示す図面である。FIG. 4 is a view showing a state in which a brittle material substrate is divided using a brittle material substrate rolling break device according to an embodiment of the present invention. 図５は、本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置を利用して脆性材料基板を分断する状態をより具体的に示した図面である。FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the brittle material substrate is divided by using the brittle material substrate rolling break device according to an embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して本発明の望ましい実施例をより詳しく説明する。なお、本発明の実施例において、従来技術の構成要素と同一または類似の構成要素については、同一の図面符号を使用することで、説明を省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiments of the present invention, the same or similar components as those of the prior art are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

本発明の一実施例による脆性材料基板のローリングブレーク装置は、図３に示すように、シリンダ等によって昇降が可能な昇降部２６を具備しており、当該昇降部２６の上部には回転部２８が装着されている。
回転部２８の上部には水平状態で平らに形成された水平棚２２が取り付けられており、水平棚２２上には水平方向に移動自在な押し付け移動ローリング部２０が装着されている。押し付け移動ローリング部２０は、水平棚２２上で駆動装置（不図示）によって転動可能なように設けられている。 As shown in FIG. 3, the brittle material substrate rolling break device according to an embodiment of the present invention includes a lifting unit 26 that can be lifted and lowered by a cylinder or the like. Is installed.
A horizontal shelf 22 formed flat in a horizontal state is attached to the upper portion of the rotating unit 28, and a pressing and moving rolling unit 20 that is movable in the horizontal direction is mounted on the horizontal shelf 22. The pressing movement rolling unit 20 is provided on the horizontal shelf 22 so as to be able to roll by a driving device (not shown).

押し付け移動ローリング部２０の上方には柔軟性安着パッド２５が水平方向に延設されており、当該柔軟性安着パッド２５の一側端には、柔軟性安着パッド２５が常に水平状態を維持するように張力を与える引っ張り部３０が装着されている。
引っ張り部３０は、柔軟性安着パッド２５の一側端に装着されて柔軟性安着パッド２５を常に引いた状態で維持する錘や弾性体で構成することができる。むろん、柔軟性安着パッド２５を常に引いた状態で維持することができれば他の手段であってもよい。
引っ張り部３０は、脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５上に載置された状態でも、柔軟性安着パッド２５が脆性材料基板３の重さでたわむことなく水平状態を維持できるように、柔軟性安着パッド２５に張力を付与する。 A flexible seating pad 25 extends horizontally above the pressing and moving rolling portion 20, and the flexible seating pad 25 is always in a horizontal state at one end of the flexible seating pad 25. A pulling portion 30 for applying a tension so as to maintain is attached.
The pulling portion 30 can be configured by a weight or an elastic body that is attached to one end of the flexible seating pad 25 and maintains the flexible seating pad 25 in a state where the flexible seating pad 25 is always pulled. Of course, other means may be used as long as the flexible seating pad 25 can be maintained in a state of being pulled.
The pulling portion 30 can maintain the horizontal state without the flexible seating pad 25 being bent by the weight of the brittle material substrate 3 even when the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25. Then, tension is applied to the flexible seating pad 25.

引っ張り部３０が柔軟性安着パッド２５の全幅を一定の力で引いたときに柔軟性安着パッド２５の水平状態を維持するためには、柔軟性安着パッド２５を、メッシュ状のゴム網で構成するか、メッシュ状の網の上にゴムパッドが一体となるように構成するのが望ましい。
また、柔軟性安着パッド２５は、脆性材料基板３が載置された時に固定力を発生させるため、付着性の良い粘着ゴム等を利用することもできる。 In order to maintain the horizontal state of the flexible seating pad 25 when the pulling portion 30 pulls the entire width of the flexible seating pad 25 with a constant force, the flexible seating pad 25 is placed in a mesh-like rubber net. It is desirable that the rubber pad is integrated on the mesh net.
Further, since the flexible seating pad 25 generates a fixing force when the brittle material substrate 3 is placed, an adhesive rubber or the like having good adhesion can be used.

上述のように構成された本実施例によるローリングブレーク装置で基板が分断される過程を具体的に説明する。 A process of dividing the substrate by the rolling break device according to the present embodiment configured as described above will be described in detail.

まず、図３に示すように、スクライブ工程によりスクライブラインＳが上面に形成された脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５上に載置される。
柔軟性安着パッド２５上に脆性材料基板３が載置される時に、柔軟性安着パッド２５はたわむことなく水平状態が維持される。すなわち、柔軟性安着パッド２５は、その一側端が引っ張り部３０によって常に脆性材料基板３の重さより大きい力で引かれているため、脆性材料基板３の重さによって柔軟性安着パッド２５の中央部位が下方にたわむことが防止される。 First, as shown in FIG. 3, the brittle material substrate 3 on which the scribe line S is formed by the scribing process is placed on the flexible attachment pad 25.
When the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25, the flexible seating pad 25 is maintained in a horizontal state without being bent. In other words, the flexible seating pad 25 is always pulled with a force larger than the weight of the brittle material substrate 3 at one end thereof by the pulling portion 30, so that the flexible seating pad 25 depends on the weight of the brittle material substrate 3. It is prevented that the central part of is bent downward.

柔軟性安着パッド２５上に脆性材料基板３が載置されると、昇降部２６が駆動装置（不図示）によって上昇する。
昇降部２６が上昇すると押し付け移動ローリング部２０も上昇することになり、これにより、脆性材料基板３が載置された状態で水平状態を維持している柔軟性安着パッド２５の下面の一部分も、押し付け移動ローリング部２０によって一定の高さだけ上昇する。 When the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25, the elevating part 26 is raised by a driving device (not shown).
When the elevating part 26 is raised, the pressing and moving rolling part 20 is also raised. As a result, a part of the lower surface of the flexible seating pad 25 that maintains the horizontal state with the brittle material substrate 3 placed thereon is also obtained. The pressing movement rolling unit 20 moves up by a certain height.

押し付け移動ローリング部２０が柔軟性安着パッド２５の下面に当接しながら柔軟性安着パッド２５を上方（図３でのＹ方向）に押し上げると、柔軟性安着パッド２５上に載置されている脆性材料基板３も同時に上方へ変位する。
すなわち、図４に示すように、柔軟性安着パッド２５が押し付け移動ローリング部２０によってＹ軸上の一定の高さまで押し上げられると、柔軟性安着パッド２５上に載置されている脆性材料基板３も上方へ持ち上げられるようになる。
この時に、押し付け移動ローリング部２０の上昇高さだけ脆性材料基板３の上面に形成されているスクライブラインＳの高さが変位すると、スクライブラインＳを開く方向に引張応力が発生し、これによりスクライブラインＳに形成されたクラックが徐々に下側に伸びて脆性材料基板３が分断される。 When the pressing and moving rolling unit 20 pushes the flexible seating pad 25 upward (Y direction in FIG. 3) while contacting the lower surface of the flexible seating pad 25, it is placed on the flexible seating pad 25. The brittle material substrate 3 is also displaced upward at the same time.
That is, as shown in FIG. 4, when the flexible seating pad 25 is pushed up to a certain height on the Y-axis by the pressing movement rolling unit 20, the brittle material substrate placed on the flexible seating pad 25. 3 can also be lifted upward.
At this time, if the height of the scribe line S formed on the upper surface of the brittle material substrate 3 is displaced by the rising height of the pressing moving rolling portion 20, a tensile stress is generated in the direction of opening the scribe line S. Cracks formed in the line S gradually extend downward and the brittle material substrate 3 is divided.

また、図５に示すように、脆性材料基板３のスクライブラインＳが押し付け移動ローリング部２０の押し付け力によって左右に離れる時に、脆性材料基板３の自重によってスクライブラインＳ上に印加される引張応力が加重されるため、クラックの進行速度がさらに加速され、脆性材料基板３をさらに容易に分断することができる。 Further, as shown in FIG. 5, when the scribe line S of the brittle material substrate 3 moves left and right by the pressing force of the pressing moving rolling portion 20, the tensile stress applied on the scribe line S by the dead weight of the brittle material substrate 3 is Since the load is applied, the progressing speed of the crack is further accelerated, and the brittle material substrate 3 can be further easily divided.

また、図４に示すように、押し付け移動ローリング部２０が水平方向（図４でのＸ方向）に移動しながら脆性材料基板３のスクライブラインＳが形成されている位置を経由する度に、押し付け移動ローリング部２０は、脆性材料基板３のスクライブラインＳを上方に持ち上げる形態になるため、スクライブラインＳが形成された部位ごとにクラックが進行しながら順に分断される。 Further, as shown in FIG. 4, the pressing movement rolling unit 20 moves in the horizontal direction (X direction in FIG. 4) and passes through the position where the scribe line S of the brittle material substrate 3 is formed. Since the moving rolling unit 20 has a form in which the scribe line S of the brittle material substrate 3 is lifted upward, the moving rolling unit 20 is sequentially divided while a crack progresses for each part where the scribe line S is formed.

脆性材料基板３が載置されている柔軟性安着パッド２５の表面は、一般的なゴムで形成することもでき、脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５の表面に付着して引張応力による分断力がさらに増加されるように、吸着性ゴムまたは粘着性ゴム等で形成することもできる。 The surface of the flexible attachment pad 25 on which the brittle material substrate 3 is placed can also be formed of general rubber, and the brittle material substrate 3 adheres to the surface of the flexible attachment pad 25 to cause tensile stress. It can also be formed of an adsorbent rubber or a sticky rubber so that the breaking force due to is further increased.

これに関してさらに具体的に説明すると、柔軟性安着パッド２５が粘着性ゴムで形成された場合、脆性材料基板３が柔軟性安着パッド２５に貼り付くので、図５に示す円内の拡大図における脆性材料基板３の折れ曲がりの角度が急峻になり、脆性材料基板３のスクライブラインＳに加えられる力がさらに付加され、その分さらにクラックの進行を助けるようになる。 More specifically, in this case, when the flexible seating pad 25 is made of an adhesive rubber, the brittle material substrate 3 sticks to the flexible seating pad 25, so that the enlarged view in the circle shown in FIG. The angle of bending of the brittle material substrate 3 becomes steep, and a force applied to the scribe line S of the brittle material substrate 3 is further added, thereby further assisting the progress of cracks.

一方、前述のように、押し付け移動ローリング部２０は、脆性材料基板３の下面に沿ってＸ方向に移動しながら、Ｘ軸及びＹ軸に垂直の方向（以下、Ｚ方向という）に形成された脆性材料基板３のスクライブラインＳをブレークした後、昇降部２６の下降動作により下降して元の位置に復帰する。
そして、Ｚ方向に形成されたスクライブラインＳに沿った分断作業が完了された後、Ｘ方向に形成されたスクライブラインに沿った分断作業を連続して実施するために、回転部２８を利用して押し付け移動ローリング部２０の向きが９０度回転される。
その後、押し付け移動ローリング部２０は、昇降部２６によって再びＹ方向に上昇されて、今度はＺ方向に移動しながら脆性材料基板３のＸ方向に形成されたスクライブラインＳを順にブレークする。 On the other hand, as described above, the pressing and moving rolling portion 20 is formed in a direction perpendicular to the X axis and the Y axis (hereinafter referred to as the Z direction) while moving in the X direction along the lower surface of the brittle material substrate 3. After breaking the scribe line S of the brittle material substrate 3, it is lowered by the lowering operation of the elevating part 26 and returns to the original position.
Then, after the dividing operation along the scribe line S formed in the Z direction is completed, the rotating unit 28 is used to continuously perform the dividing operation along the scribe line formed in the X direction. The direction of the pressing movement rolling unit 20 is rotated 90 degrees.
Thereafter, the pressing movement rolling unit 20 is lifted again in the Y direction by the elevating unit 26, and this time breaks the scribe line S formed in the X direction of the brittle material substrate 3 in turn while moving in the Z direction.

本実施例では、押し付け移動ローリング部２０が水平棚２２上で移動するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、押し付け移動ローリング部２０が回転部２８上で水平方向に移動するように構成することもできる。また、押し付け移動ローリング部２０は、図示は省略するが、両端にレール等を敷いて移動させるか、その他の駆動装置等を装着して移動させることもできる。 In this embodiment, the pressing and moving rolling unit 20 is configured to move on the horizontal shelf 22, but the present invention is not limited to this, and the pressing and moving rolling unit 20 is horizontal on the rotating unit 28. It can also be configured to move in the direction. Although not shown in the drawing, the pressing and moving rolling unit 20 can be moved by placing rails or the like on both ends, or can be moved by mounting other driving devices or the like.

また、本実施例による押し付け移動ローリング部２０によると、脆性材料基板３のスクライブラインＳが形成された面とは反対側の面、すなわち脆性材料基板３の裏面の側で長尺のローラが転動しながら当該裏面を上方に押し上げるため、押し付け移動ローリング部２０とスクライブラインＳと間で若干のずれ等が発生しても、スクライブラインＳに沿って正確に分断することができる。 Further, according to the pressing movement rolling unit 20 according to the present embodiment, the long roller rolls on the surface opposite to the surface on which the scribe line S of the brittle material substrate 3 is formed, that is, on the back surface side of the brittle material substrate 3. Since the back surface is pushed upward while moving, even if a slight deviation or the like occurs between the pressing and moving rolling portion 20 and the scribe line S, it can be accurately divided along the scribe line S.

Ｓ スクライブライン
３ 脆性材料基板
２０ 押し付け移動ローリング部
２５ 柔軟性安着パッド
２６ 昇降部
２８ 回転部
３０ 引っ張り部 S scribe line 3 brittle material substrate 20 pressing and moving rolling part 25 flexible seating pad 26 elevating part 28 rotating part 30 pulling part

Claims (1)

上面にスクライブラインが形成された脆性材料基板が載置される柔軟性安着パッドと、
該柔軟性安着パッドの一側端に設けられて、前記柔軟性安着パッドを引っ張ることで張力を付与する引っ張り部と、
前記柔軟性安着パッドを挟んで前記脆性材料基板と反対側に位置する押し付け移動ローリング部と、
該押し付け移動ローリング部を上下移動させる昇降部と、
を具備することを特徴とするローリングブレーク装置。 A flexible seating pad on which a brittle material substrate having a scribe line formed on the upper surface is placed;
A tension portion provided at one side end of the flexible seating pad to apply tension by pulling the flexible seating pad;
A pressing and moving rolling part located on the opposite side of the brittle material substrate across the flexible seating pad;
An elevating part for moving the pressing and moving rolling part up and down;
A rolling break device comprising:
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