JP2018029204A - Laminated body, laminate, multilayer board, printed-wiring board, multilayer printed-wiring board, and laminate manufacturing method - Google Patents
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Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
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Abstract
Description
本発明は、半導体パッケージ用やプリント配線板用に好適な積層体及び積層板、この積層板を用いた多層積層板、プリント配線板、多層プリント配線板、及び積層板の製造方法に関する。 The present invention relates to a laminated body and a laminated board suitable for semiconductor packages and printed wiring boards, a multilayer laminated board using the laminated board, a printed wiring board, a multilayer printed wiring board, and a method for producing the laminated board.
電子機器の薄型化、軽量化に対する要求がますます強くなり、半導体パッケージやプリント配線板の薄型化、高密度化が進んでいる。これらの薄型化、高密度化に対応して電子部品を安定に実装するためには、実装時に生じるそりを抑えることが重要になる。
実装時、半導体パッケージに生じるそりの主な原因の1つが、半導体パッケージに使われている積層板と当該積層板の表面に実装されるシリコンチップとの熱膨張係数差である。そのため、半導体パッケージ用積層板においては、熱膨張係数をシリコンチップの熱膨張係数に近付ける、すなわち低い熱膨張係数とする努力が行われている。また、積層板の弾性率もそりの要因となるため、そりを低減するには積層板を高弾性化することも有効である。このように、積層板のそりの低減のためには、積層板の低膨張率化及び高弾性化が有効である。
There is an increasing demand for thinner and lighter electronic devices, and semiconductor packages and printed wiring boards are becoming thinner and higher in density. In order to stably mount electronic components corresponding to these reductions in thickness and density, it is important to suppress warpage that occurs during mounting.
One of the main causes of warpage occurring in a semiconductor package during mounting is a difference in thermal expansion coefficient between a laminated board used in the semiconductor package and a silicon chip mounted on the surface of the laminated board. For this reason, efforts are being made to bring the coefficient of thermal expansion close to that of a silicon chip, that is, to a low coefficient of thermal expansion, in the laminate for semiconductor packages. Further, since the elastic modulus of the laminated plate also becomes a factor of warping, it is also effective to make the laminated plate highly elastic in order to reduce warpage. Thus, in order to reduce the warpage of the laminate, it is effective to reduce the expansion coefficient and increase the elasticity of the laminate.
積層板を低熱膨張係数化、高弾性化する手法は種々考えられるが、その中でも積層板用の樹脂の低熱膨張係数化や樹脂中の無機充填材の高充填化が知られている。特に無機充填材の高充填化は、低熱膨張係数化とともに耐熱性や難燃性の向上も期待できる手法である(特許文献1)。しかし、このように無機充填材の充填量を増やすことは、絶縁信頼性の低下や樹脂とその表面に形成される配線層との密着不足、積層板製造時におけるプレス成形不良の原因となるため、高充填化には限界がある。
また、樹脂の選択或いは改良により、低熱膨張係数を達成することが試みられている。例えば、配線板用の樹脂の架橋密度を高め、Tgを高くして熱膨張係数を低減する方法が一般的である(特許文献2〜3)。しかしながら、架橋密度を高めることは官能基間の分子鎖を短くすることであるが、一定以上分子鎖を短くすることは、反応の点で限界があり、樹脂強度の低下を引き起こすという問題があった。
Various methods for lowering the thermal expansion coefficient and increasing the elasticity of the laminated plate are conceivable, and among them, the lower thermal expansion coefficient of the resin for the laminated plate and the higher filling of the inorganic filler in the resin are known. In particular, the high filling of the inorganic filler is a technique that can be expected to improve heat resistance and flame retardancy as well as a low thermal expansion coefficient (Patent Document 1). However, increasing the filling amount of the inorganic filler in this manner causes a decrease in insulation reliability, insufficient adhesion between the resin and the wiring layer formed on the surface, and press molding failure during the production of the laminate. There is a limit to the high filling.
In addition, attempts have been made to achieve a low coefficient of thermal expansion by selecting or improving the resin. For example, a method of increasing the crosslink density of a resin for wiring boards and increasing the Tg to reduce the thermal expansion coefficient is common (Patent Documents 2 to 3). However, increasing the crosslinking density shortens the molecular chain between the functional groups, but shortening the molecular chain beyond a certain level has a limit in terms of reaction, and causes a problem of causing a decrease in resin strength. It was.
上記とは異なる手法として、電子部品(シリコンチップ)の熱膨張係数とほぼ合致した熱膨張係数を有する層としてガラスフィルムを用い、樹脂とガラスフィルムとをプレスして積層することによって、熱ショックストレスを軽減する試みがなされているが(特許文献4)、弾性率が低く熱膨張係数が高いため、基板の低そりを実現するには不十分であった。
さらに、特許文献4では樹脂層の厚みとガラス基板の種類を規定していない。
As a method different from the above, a heat shock stress is obtained by using a glass film as a layer having a thermal expansion coefficient substantially matching the thermal expansion coefficient of an electronic component (silicon chip) and pressing and laminating the resin and the glass film. Attempts have been made to reduce (Patent Document 4). However, since the elastic modulus is low and the thermal expansion coefficient is high, it is insufficient to realize low warpage of the substrate.
Furthermore, Patent Document 4 does not define the thickness of the resin layer and the type of the glass substrate.
ガラス基板は強度や透明性、表面平滑性、ガスバリヤー性、耐熱性、耐薬品性に優れているが、耐衝撃性が弱く、サイズや用途の限定を受けていた。例えば、取扱い中に割れやすいという欠点があった。また、厚さを変えた薄いガラス基板(以後、ガラスフィルムとも称する。)としても、基本的には前記特徴は変わらず、却って強度が低下するため取扱が困難となっていた。また、ガラスフィルムを所望の箇所に装着するため、所定の大きさに二次加工したり、ガラスフィルムに接着剤を塗布する際に破損する等の問題もあった。 The glass substrate is excellent in strength, transparency, surface smoothness, gas barrier property, heat resistance, and chemical resistance, but has low impact resistance and is limited in size and application. For example, there is a drawback that it is easily broken during handling. Further, even with a thin glass substrate (hereinafter also referred to as a glass film) having a changed thickness, the above characteristics are basically the same, and the handling is difficult because the strength is lowered. Further, since the glass film is mounted at a desired location, there are problems such as secondary processing into a predetermined size and damage when applying an adhesive to the glass film.
このようなガラス基板を用いて積層板を製造する場合表面に樹脂層を設けるが、プレスやラミネート成形時にガラス基板の破損を防ぐためには樹脂層を厚くする必要がある。しかしながら、樹脂層とガラス基板とではその熱膨張係数が大きく異なるため、樹脂層が厚いとその熱膨張力にガラス基板が持ちこたえられずに、積層時あるいは積層後に割れることがある。また、加工工程において切断する際に、切断面には小さなクラックが入ることもある。上述したような樹脂組成物層とガラス基板層との熱膨張係数の違いは、このクラックを助長し、積層板を破損させる恐れがある。 When a laminated board is manufactured using such a glass substrate, a resin layer is provided on the surface. However, in order to prevent damage to the glass substrate during pressing or laminate molding, it is necessary to increase the thickness of the resin layer. However, since the thermal expansion coefficient differs greatly between the resin layer and the glass substrate, if the resin layer is thick, the glass substrate cannot be held up by the thermal expansion force, and may be broken during or after lamination. Moreover, when cut | disconnecting in a manufacturing process, a small crack may enter into a cut surface. The difference in thermal expansion coefficient between the resin composition layer and the glass substrate layer as described above promotes this crack and may damage the laminate.
上述した如く、先述の製造方法によって得られたガラス基板を用いた積層板は、依然として弾性率が低いとともに熱膨張係数が高いため、基板の低そりを実現するには不十分であった。また、樹脂組成物層が厚いとその熱膨張力にガラス基板が持ちこたえられずに積層時や切断時に割れてしまう。 As described above, the laminated board using the glass substrate obtained by the above-described manufacturing method still has a low elastic modulus and a high thermal expansion coefficient, and thus is insufficient for realizing a low warpage of the substrate. On the other hand, if the resin composition layer is thick, the glass substrate cannot be held by its thermal expansion force, and cracks at the time of lamination or cutting.
本発明者らは上記の課題を解決すべく研究を進めた結果、樹脂硬化物層及びガラス基板層を含む積層板において、硬化した樹脂組成物層、すなわち樹脂硬化物層の厚さdと、熱膨張係数σとの積から得られる特定の条件の下に積層成形することにより、割れの生じ難い積層板が得られることを見出した。
さらに、上記樹脂硬化物層に無機充填材や繊維基材を含むことによって、特許文献4で問題となっていた弾性率を向上させ、基板の低反りに有効な高弾性、低熱膨張な基材を提供することができる。すなわち、本発明は下記の通りである。
As a result of advancing research to solve the above problems, the inventors of the present invention have obtained a cured resin composition layer, that is, a thickness d of the cured resin layer, in a laminate including a cured resin layer and a glass substrate layer, It has been found that by carrying out a lamination molding under a specific condition obtained from the product of the coefficient of thermal expansion σ, a laminated board that is less prone to cracking can be obtained.
Furthermore, by including an inorganic filler and a fiber base material in the cured resin layer, the elastic modulus, which has been a problem in Patent Document 4, is improved, and a highly elastic and low thermal expansion base material effective for low warping of the substrate. Can be provided. That is, the present invention is as follows.
[1]1層以上の樹脂組成物層及び1層以上のガラス基板層を含む積層体であって、前記樹脂組成物層が、熱硬化性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物からなり、硬化後の樹脂組成物層の平均の厚さdと、30〜100℃における熱膨張係数の平均値σとの積d・σが、1000μm・ppm・℃−1以下である積層体。
[2]1層以上の樹脂組成物層及び1層以上のガラス基板層を含む積層体であって、
前記樹脂組成物層が、熱硬化性樹脂及び繊維基材を含む樹脂組成物からなり、硬化後の樹脂組成物層の平均の厚さdと、30〜100℃における熱膨張係数の平均値σとの積d・σが、1000μm・ppm・℃−1以下である積層体。
[3]前記繊維基材が、ガラス繊維、ポリイミド繊維、ポリエステル繊維、ポリテトラフルオロエチレン繊維、及びアラミド樹脂から選択される1種又は2種以上である[2]に記載の積層体。
[4]前記樹脂組成物層が、さらに無機充填材を含むものである[2]または[3]に記載の積層体。
[5]前記無機充填材が、シリカ、アルミナ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、ホウ酸アルミニウム及びホウ珪酸ガラスから選択される1種又は2種以上である[1]または[4]に記載の積層体。
[6]前記ガラス基板層の厚さが30〜200μmである[1]〜[5]のいずれかに記載の積層体。
[7]前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和イミド樹脂、シアネート樹脂、イソシアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、オキセタン樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アリル樹脂、ジシクロペンタジエン樹脂、シリコーン樹脂、トリアジン樹脂及びメラミン樹脂から選択される1種又は2種以上である[1]〜[6]のいずれかに記載の積層体。
[8][1]〜[7]のいずれかに記載の積層体を加熱加圧して得られる積層板。
[9][8]に記載の積層板を一層以上含む多層積層板。
[10][8]に記載の積層板に回路を設けたプリント配線板。
[11][9]に記載の多層積層板に回路を設けた多層プリント配線板。
[12]前記樹脂組成物の硬化物からなる1層以上の樹脂硬化物層と、1層以上のガラス基板層とを含む積層板の製造方法であって、ガラス基板層の表面に樹脂硬化物層を形成する樹脂硬化物層形成工程を有する積層板の製造方法。
[13]前記樹脂硬化物層形成工程が、前記樹脂組成物からなる接着フィルムの加熱加圧成形である[12]に記載の積層板の製造方法。
[1] A laminate comprising one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers, wherein the resin composition layer comprises a resin composition comprising a thermosetting resin and an inorganic filler, A laminate in which a product d · σ of an average thickness d of the cured resin composition layer and an average value σ of a thermal expansion coefficient at 30 to 100 ° C is 1000 µm · ppm · ° C -1 or less.
[2] A laminate comprising one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers,
The resin composition layer is made of a resin composition including a thermosetting resin and a fiber base material, and an average thickness d of the cured resin composition layer and an average value σ of a thermal expansion coefficient at 30 to 100 ° C. The product d · σ is 1000 μm · ppm · ° C. −1 or less.
[3] The laminate according to [2], wherein the fiber base material is one or more selected from glass fiber, polyimide fiber, polyester fiber, polytetrafluoroethylene fiber, and aramid resin.
[4] The laminate according to [2] or [3], wherein the resin composition layer further includes an inorganic filler.
[5] The inorganic filler is one or more selected from silica, alumina, talc, mica, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, aluminum borate, and borosilicate glass. [1] Or the laminated body as described in [4].
[6] The laminate according to any one of [1] to [5], wherein the glass substrate layer has a thickness of 30 to 200 μm.
[7] The thermosetting resin is an epoxy resin, phenol resin, unsaturated imide resin, cyanate resin, isocyanate resin, benzoxazine resin, oxetane resin, amino resin, unsaturated polyester resin, allyl resin, dicyclopentadiene resin, The laminate according to any one of [1] to [6], which is one or more selected from silicone resins, triazine resins, and melamine resins.
[8] A laminate obtained by heating and pressing the laminate according to any one of [1] to [7].
[9] A multilayer laminate comprising one or more laminates according to [8].
[10] A printed wiring board in which a circuit is provided on the laminated board according to [8].
[11] A multilayer printed wiring board in which a circuit is provided on the multilayer laminate according to [9].
[12] A method for producing a laminate comprising one or more cured resin layers made of a cured product of the resin composition and one or more glass substrate layers, the cured resin product on the surface of the glass substrate layer The manufacturing method of the laminated board which has the resin hardened | cured material layer formation process which forms a layer.
[13] The method for producing a laminated board according to [12], wherein the resin cured product layer forming step is heating and pressing of an adhesive film made of the resin composition.
本発明によれば、ガラス基板層が割れにくく、高弾性、低熱膨張性を有する積層板及び多層積層板と、これら積層板及び多層積層板の製造に好適な積層体と、これら積層板及び多層積層板を用いたプリント配線板と、この積層板の製造方法とを提供することが出来る。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the laminated board and multilayer laminated board which a glass substrate layer cannot break easily, and has high elasticity and low thermal expansibility, the laminated body suitable for manufacture of these laminated boards and multilayer laminated boards, these laminated boards, and multilayers A printed wiring board using a laminate and a method for producing the laminate can be provided.
以下、本発明の積層体、積層板、多層積層板、プリント配線板、多層プリント配線板及び積層板の製造方法について詳細に説明する。
なお、本発明において、積層体とは、積層体を構成する樹脂組成物層中の成分である熱硬化性樹脂が未硬化又は半硬化であるものを意味し、積層板とは、積層体を構成する樹脂組成物層中の成分である熱硬化性樹脂が硬化、あるいは熱硬化性樹脂の90%以上が硬化し、樹脂硬化物層を形成しているものを意味する。なお、熱硬化性樹脂の硬化度は示差走査熱量計から測定される反応率により求めることができる。
Hereinafter, the laminate, the laminate, the multilayer laminate, the printed wiring board, the multilayer printed wiring board, and the method for producing the laminate of the present invention will be described in detail.
In the present invention, the laminate means that the thermosetting resin, which is a component in the resin composition layer constituting the laminate, is uncured or semi-cured, and the laminate refers to the laminate. It means that the thermosetting resin which is a component in the resin composition layer to be formed is cured, or 90% or more of the thermosetting resin is cured to form a cured resin layer. The degree of cure of the thermosetting resin can be determined from the reaction rate measured from a differential scanning calorimeter.
<積層体>
本発明の積層体は、1層以上の樹脂組成物層及び1層以上のガラス基板層を含む積層体であって、前記樹脂組成物層は熱硬化性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物からなるか、あるいは、熱硬化性樹脂及び繊維基材を含み、必要に応じてさらに無機充填材を含む樹脂組成物からなるものである。
本発明の積層体の樹脂組成物層を硬化させて樹脂硬化物層とすることにより得られる積層板は、シリコンチップと同程度に低熱膨張性かつ高弾性であるガラス基板層を有するため、低熱膨張及び高弾性なものとなり、そりが抑制され、割れが生じ難いものとなる。特に、この積層板は耐熱性の高いガラス基板層を有するため、100℃から樹脂硬化物のTg未満の温度領域において低熱膨張性を顕著に有する。また、樹脂硬化物層中には無機充填材や繊維基材を含有しているため低熱膨張かつ高弾性なものとなり、当該樹脂硬化物層を含む積層板は、より低膨張かつ高弾性なものとなる。
なお、熱硬化性樹脂と繊維基材とを含む樹脂組成物を、繊維含有樹脂組成物と称する。樹脂組成物または繊維含有樹脂組成物にはつぎのようなものが配合され、樹脂組成物層または繊維含有樹脂組成物層が構成される。
<Laminate>
The laminate of the present invention is a laminate comprising one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers, wherein the resin composition layer comprises a thermosetting resin and an inorganic filler. Or a resin composition containing a thermosetting resin and a fiber substrate, and further containing an inorganic filler as necessary.
The laminate obtained by curing the resin composition layer of the laminate of the present invention to form a cured resin layer has a glass substrate layer that is as low in thermal expansion and high elasticity as a silicon chip. Swelling and high elasticity are obtained, warpage is suppressed, and cracks are less likely to occur. In particular, since this laminate has a glass substrate layer with high heat resistance, it has a low thermal expansion in a temperature range from 100 ° C. to less than Tg of the cured resin. In addition, since the resin cured product layer contains an inorganic filler and a fiber base material, it has low thermal expansion and high elasticity, and the laminate including the resin cured product layer has lower expansion and high elasticity. It becomes.
In addition, the resin composition containing a thermosetting resin and a fiber base material is called a fiber containing resin composition. The following is blended in the resin composition or the fiber-containing resin composition to constitute a resin composition layer or a fiber-containing resin composition layer.
<熱硬化性樹脂>
熱硬化性樹脂としては特に制限はなく、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和イミド樹脂、シアネート樹脂、イソシアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、オキセタン樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アリル樹脂、ジシクロペンタジエン樹脂、シリコーン樹脂、トリアジン樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。これらの中で、成形性や電気絶縁性に優れる点で、エポキシ樹脂及びシアネート樹脂が好ましい。
<Thermosetting resin>
There is no restriction | limiting in particular as a thermosetting resin, An epoxy resin, a phenol resin, unsaturated imide resin, cyanate resin, isocyanate resin, benzoxazine resin, oxetane resin, amino resin, unsaturated polyester resin, allyl resin, dicyclopentadiene resin , Silicone resin, triazine resin, melamine resin and the like. Among these, an epoxy resin and a cyanate resin are preferable because they are excellent in moldability and electrical insulation.
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールFノボラック型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリアジン骨格含有エポキシ樹脂、フルオレン骨格含有エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、多官能フェノール類及びアントラセン等の多環芳香族類のジグリシジルエーテル化合物等が挙げられる。また、これらエポキシ樹脂にリン化合物を導入したリン含有エポキシ樹脂が挙げられる。これらの中で、耐熱性、難燃性の点からはビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂が好ましい。これらは1種又は2種以上を混合して使用できる。 Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, bisphenol F novolak type epoxy resin. , Stilbene type epoxy resin, Triazine skeleton containing epoxy resin, Fluorene skeleton containing epoxy resin, Biphenyl type epoxy resin, Xylylene type epoxy resin, Biphenyl aralkyl type epoxy resin, Naphthalene type epoxy resin, Dicyclopentadiene type epoxy resin, Alicyclic epoxy Examples thereof include diglycidyl ether compounds of polycyclic aromatics such as resins, polyfunctional phenols and anthracene. Moreover, the phosphorus containing epoxy resin which introduce | transduced the phosphorus compound into these epoxy resins is mentioned. Among these, biphenylaralkyl type epoxy resins and naphthalene type epoxy resins are preferred from the viewpoint of heat resistance and flame retardancy. These can be used alone or in combination of two or more.
シアネート樹脂としては、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールA型シアネート樹脂、ビスフェノールE型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールF型シアネート樹脂などのビスフェノール型シアネート樹脂、これらが一部トリアジン化したプレポリマー等が挙げられる。これらの中で耐熱性、難燃性の点からはノボラック型シアネート樹脂が好ましい。これらは1種又は2種以上を混合して使用できる。 Examples of the cyanate resin include novolak-type cyanate resin, bisphenol A-type cyanate resin, bisphenol E-type cyanate resin, bisphenol-type cyanate resin such as tetramethylbisphenol F-type cyanate resin, and prepolymers in which these are partially triazine. It is done. Among these, a novolak type cyanate resin is preferable from the viewpoint of heat resistance and flame retardancy. These can be used alone or in combination of two or more.
<無機充填材>
無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、ホウ酸アルミニウム、ホウ珪酸ガラスが挙げられる。
これらの中で、低熱膨張性の点からシリカが好ましく、さらに熱膨張率が0.6ppm/K程度と非常に小さく、樹脂に高充填した際の流動性の低下が少ない球状非晶質シリカがより好ましい。
球状非晶質シリカとしては、累積50%粒子径が0.01〜10μmのものが好ましく、0.03〜5μmのものがさらに好ましい。
ここで累積50%粒子径とは、粉末の全体積を100%として粒子径による累積度数分布曲線を求めた時、ちょうど体積50%に相当する点の粒子径のことであり、レーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。
また、無機充填材に平均一次粒径が1μm以下のシリカ(ナノシリカ)を用いることによって、積層板の樹脂硬化物層上に微細な配線を形成することができる。ナノシリカとしては、比表面積が20m2/g以上であることが好ましい。また、めっきプロセスにおける粗化処理後の表面形状を小さくする観点から、平均一次粒径は100nm以下であることが好ましい。この比表面積は、BET法によって測定することができる。
なお、ここでいう「平均一次粒径」とは、凝集した粒子の平均径、つまり二次粒子径ではなく、凝集していない単体での平均粒子径をいう。当該平均一次粒径は、例えば、レーザー回折式粒度分布計により測定して求めることができる。このような無機充填材としては、ヒュームドシリカが好ましい。
さらに、無機充填材は、耐湿性を向上させるためにシランカップリング剤等の表面処理剤で処理を行っていることが好ましく、分散性を向上させるために疎水化処理されていることが好ましい。
<Inorganic filler>
Examples of the inorganic filler include silica, alumina, talc, mica, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, aluminum borate, and borosilicate glass.
Of these, silica is preferable from the viewpoint of low thermal expansion, and further, the thermal expansion coefficient is as small as about 0.6 ppm / K, and spherical amorphous silica with little decrease in fluidity when highly filled in a resin is used. More preferred.
The spherical amorphous silica preferably has a cumulative 50% particle size of 0.01 to 10 μm, more preferably 0.03 to 5 μm.
Here, the cumulative 50% particle diameter is the particle diameter at a point corresponding to a volume of 50% when a cumulative frequency distribution curve based on the particle diameter is obtained with the total volume of the powder as 100%. It can be measured with a particle size distribution measuring apparatus using
Moreover, a fine wiring can be formed on the cured resin layer of the laminate by using silica (nanosilica) having an average primary particle size of 1 μm or less as the inorganic filler. The nano silica preferably has a specific surface area of 20 m 2 / g or more. Further, from the viewpoint of reducing the surface shape after the roughening treatment in the plating process, the average primary particle size is preferably 100 nm or less. This specific surface area can be measured by the BET method.
The “average primary particle size” here refers to the average particle size of aggregated particles, that is, not the secondary particle size, but the average particle size of single particles that are not aggregated. The average primary particle size can be determined by measuring with, for example, a laser diffraction particle size distribution meter. As such an inorganic filler, fumed silica is preferable.
Furthermore, the inorganic filler is preferably treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent in order to improve moisture resistance, and is preferably hydrophobized to improve dispersibility.
<繊維基材>
繊維基材としては特に制限はなく、Eガラス、Dガラス、Sガラス及びQガラスなどのガラス繊維のような無機物繊維、ポリイミド、ポリエステル及びポリテトラフルオロエチレン、アラミドなどの有機繊維、並びにそれらの混合物などが挙げられる。これらの繊維基材は、例えば、織布、不織布、ロービンク、チョップドストランドマット及びサーフェシングマットなどの形状を有するが、材質及び形状は、目的とする成形物の用途や性能により選択され、必要により、単独または2種類以上の材質及び形状を組み合わせることができる。
繊維基材の厚さは、特に制限されず、例えば、約0.01〜0.5mmのものを使用することができ、シランカップリング剤などで表面処理したものまたは機械的に開繊処理を施したものが、耐熱性や耐湿性、加工性の面から好適である。
<Fiber base>
There is no restriction | limiting in particular as a fiber base material, Organic fiber, such as glass fibers, such as E glass, D glass, S glass, and Q glass, polyimide, polyester, polytetrafluoroethylene, aramid, and mixtures thereof Etc. These fiber base materials have shapes such as woven fabric, non-woven fabric, robink, chopped strand mat, and surfacing mat, but the material and shape are selected depending on the intended use and performance of the molded product, and if necessary. , Alone or in combination of two or more materials and shapes.
The thickness of the fiber substrate is not particularly limited. For example, a fiber substrate having a thickness of about 0.01 to 0.5 mm can be used, and the fiber surface treated with a silane coupling agent or the like or mechanically opened. What was given is suitable from the surface of heat resistance, moisture resistance, and workability.
<その他の成分>
この樹脂組成物又は繊維含有樹脂組成物には、上記成分以外に硬化剤、硬化促進剤、熱可塑性樹脂、エラストマー、難燃剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光重合開始剤、蛍光増白剤、密着性向上剤等を添加することができる。
<Other ingredients>
In addition to the above components, the resin composition or fiber-containing resin composition includes a curing agent, a curing accelerator, a thermoplastic resin, an elastomer, a flame retardant, an ultraviolet absorber, an antioxidant, a photopolymerization initiator, and a fluorescent whitening agent. An adhesion improver or the like can be added.
硬化剤の例としては、例えば、エポキシ樹脂を用いる場合には、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等の多官能フェノール化合物;ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルフォン等のアミン化合物;無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、無水マレイン酸共重合体等の酸無水物;ポリイミドを用いることができる。これら硬化剤は何種類かを併用することもできる。 Examples of curing agents include, for example, when epoxy resin is used, polyfunctional phenolic compounds such as phenol novolac and cresol novolac; amine compounds such as dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, and diaminodiphenylsulfone; phthalic anhydride, pyromellitic anhydride Acid anhydrides such as maleic anhydride and maleic anhydride copolymers; polyimides can be used. Several kinds of these curing agents can be used in combination.
硬化促進剤の例としては、例えばエポキシ樹脂の硬化促進剤として、イミダゾール類及びその誘導体;有機リン系化合物;第二級アミン類、第三級アミン類、及び第四級アンモニウム塩が挙げられる。 Examples of curing accelerators include, for example, epoxy resin curing accelerators such as imidazoles and derivatives thereof; organophosphorus compounds; secondary amines, tertiary amines, and quaternary ammonium salts.
紫外線吸収剤の例としては、ベンゾトリアゾール系などの紫外線吸収剤が挙げられる。
酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系やスチレン化フェノールなどの酸化防止剤が挙げられる。
Examples of ultraviolet absorbers include benzotriazole-based ultraviolet absorbers.
Examples of the antioxidant include antioxidants such as hindered phenols and styrenated phenols.
光重合開始剤の例としては、ベンゾフェノン類、ベンジルケタール類、チオキサントン系などの光重合開始剤が挙げられる。
蛍光増白剤の例としては、スチルベン誘導体などの蛍光増白剤が挙げられる。
密着性向上剤の例としては、尿素シランなどの尿素化合物やシランカップリング剤等の密着性向上剤が挙げられる。
Examples of the photopolymerization initiator include photopolymerization initiators such as benzophenones, benzyl ketals, and thioxanthones.
Examples of fluorescent whitening agents include fluorescent whitening agents such as stilbene derivatives.
Examples of the adhesion improver include a urea compound such as urea silane and an adhesion improver such as a silane coupling agent.
<樹脂組成物層>
樹脂組成物層は、上記の熱硬化性樹脂と無機充填材とを含む樹脂組成物から構成されるものである。なお、樹脂組成物層には、樹脂組成物の未硬化物のほか、半硬化物も含まれる。
無機充填材の含有量としては、熱硬化性樹脂及び無機充填材の合計量の5〜75体積%が好ましく、15〜70体積%であることがより好ましく、30〜70体積%であることが更に好ましい。無機充填材の含有量が熱硬化性樹脂及び無機充填材の合計量の5〜75体積%であると、熱膨張係数の低減効果が十分となり、かつ適度な流動性を有して成形性が優れる。すなわち、無機充填材の含有量が5体積%以上であると、熱膨張係数の低減効果が十分なものとなり、75体積%以下であると、流動性が増加して成形性が良好になる。
なお、質量%で表記する場合、例えば無機充填材がシリカである時には、樹脂組成物中のシリカの含有量は、熱硬化性樹脂及びシリカの合計量樹脂組成物の8〜85質量%であることが好ましく、24〜82質量%であることがより好ましく、44〜82質量%であることが更に好ましい。
<Resin composition layer>
A resin composition layer is comprised from the resin composition containing said thermosetting resin and an inorganic filler. The resin composition layer includes a semi-cured product as well as an uncured product of the resin composition.
As content of an inorganic filler, 5-75 volume% of the total amount of a thermosetting resin and an inorganic filler is preferable, It is more preferable that it is 15-70 volume%, It is that it is 30-70 volume%. Further preferred. When the content of the inorganic filler is 5 to 75% by volume of the total amount of the thermosetting resin and the inorganic filler, the effect of reducing the thermal expansion coefficient is sufficient, and the moldability is appropriate with appropriate fluidity. Excellent. That is, when the content of the inorganic filler is 5% by volume or more, the effect of reducing the thermal expansion coefficient is sufficient, and when it is 75% by volume or less, the fluidity is increased and the moldability is improved.
When expressed by mass%, for example, when the inorganic filler is silica, the content of silica in the resin composition is 8 to 85 mass% of the total amount of the thermosetting resin and silica resin composition. It is preferably 24 to 82% by mass, more preferably 44 to 82% by mass.
<繊維含有樹脂組成物層>
繊維含有樹脂組成物層は、上記の熱硬化性樹脂と繊維基材とを含み、必要に応じて無機充填材を含む繊維含有樹脂組成物から構成されるものである。なお、繊維含有樹脂組成物層には、繊維含有樹脂組成物の未硬化物のほか、半硬化物も含まれる。
この繊維含有樹脂組成物層の乾燥後における樹脂含有率は、20〜90質量%が好ましく、25〜85質量%がより好ましく、30〜80質量%が更に好ましい。20質量%以上であると、加工性及びハンドリング性(取扱い易さ)が向上する。90質量%以下であると、繊維基材の含有量が多くなり、この積層体の繊維含有樹脂組成物層を硬化してなる積層板が低熱膨張及び高弾性なものとなる。なお、樹脂含有率とは、繊維含有樹脂組成物の総量中における繊維基材以外の成分量を意味する。
また、繊維含有樹脂組成物中に無機充填材を含有する場合には、該無機充填材の含有量は熱硬化性樹脂及び無機充填材の合計量の5〜75体積%が好ましく、15〜70体積%であることがより好ましく、30〜70体積%であることが更に好ましい。無機充填材の含有量が熱硬化性樹脂及び無機充填材の合計量の5〜75体積%であると、熱膨張係数の低減効果が十分となり、かつ適度な流動性を有して成形性が優れる。すなわち、無機充填材の含有量が5体積%以上であると、熱膨張係数の低減効果が十分なものとなり、75体積%以下であると、流動性が増加して成形性が良好になる。
<Fiber-containing resin composition layer>
The fiber-containing resin composition layer is composed of a fiber-containing resin composition containing the thermosetting resin and the fiber base material and, if necessary, an inorganic filler. The fiber-containing resin composition layer includes a semi-cured product in addition to an uncured product of the fiber-containing resin composition.
The resin content after drying of the fiber-containing resin composition layer is preferably 20 to 90% by mass, more preferably 25 to 85% by mass, and still more preferably 30 to 80% by mass. When it is 20% by mass or more, processability and handling properties (ease of handling) are improved. When the content is 90% by mass or less, the content of the fiber base material increases, and a laminate obtained by curing the fiber-containing resin composition layer of this laminate has low thermal expansion and high elasticity. In addition, resin content means the amount of components other than the fiber base material in the total amount of a fiber containing resin composition.
When the fiber-containing resin composition contains an inorganic filler, the content of the inorganic filler is preferably 5 to 75% by volume of the total amount of the thermosetting resin and the inorganic filler, and is 15 to 70. It is more preferable that it is volume%, and it is still more preferable that it is 30-70 volume%. When the content of the inorganic filler is 5 to 75% by volume of the total amount of the thermosetting resin and the inorganic filler, the effect of reducing the thermal expansion coefficient is sufficient, and the moldability is appropriate with appropriate fluidity. Excellent. That is, when the content of the inorganic filler is 5% by volume or more, the effect of reducing the thermal expansion coefficient is sufficient, and when it is 75% by volume or less, the fluidity is increased and the moldability is improved.
<ガラス基板層>
ガラス基板層の厚さとしては、積層体の薄型化を目的としていることや加工性の観点から30〜200μmの薄型のガラスフィルムが好ましく、取り扱いの容易性など実用性を勘案すると厚さは50〜150μmがより好ましい。また、ガラス基板の素材としては、ケイ酸アルカリ系ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス等のガラスを使用することができるが、低熱膨張性の観点からホウケイ酸ガラスが好ましい。
このガラス基板層の熱膨張係数は、シリコンチップの熱膨張係数(3ppm/℃程度)に近いほど積層板又はこの積層体から得られる多層積層板のそりが抑制されてよいが、好ましくは8ppm/℃以下であり、より好ましくは6ppm/℃以下であり、更に好ましくは4ppm/℃以下である。
このガラス基板層の40℃における貯蔵弾性率は、大きいほどよいが、好ましくは20GPa以上、より好ましくは25GPa以上、更に好ましくは30GPa以上である。
このガラス基板層は、積層体全体に対して10〜70体積%を占めることが好ましく、15〜70体積%がより好ましく、20〜70体積%が更に好ましい。ガラス基板の専有量が10体積%以上であると、低熱膨張性、高弾性の積層体を得るうえで有利であり、逆にガラス基板の専有量が70体積%以下であると、加工性やハンドリング性(取り扱いのしやすさ)の点で有利となる。
また、特にフュージョン法(オーバーフロー法)で成形されるガラスは非常に高い表面平坦性を持っているが、溶けたガラスがパイプから成形部へ入ってきて、成形部の上部から自由表面で両側にオーバーフローして、成形部の下方でオ−バーフローした両側のガラスが合わさりガラスが成形されるため、この合わせ部分での破壊の可能性がある。本発明の構成を用いることによって、この破壊も防ぐことが可能である。
<Glass substrate layer>
As the thickness of the glass substrate layer, a thin glass film having a thickness of 30 to 200 μm is preferable from the viewpoint of thinning the laminate and workability, and the thickness is 50 considering practicality such as ease of handling. -150 micrometers is more preferable. Further, as a material for the glass substrate, glass such as alkali silicate glass, non-alkali glass and quartz glass can be used, but borosilicate glass is preferred from the viewpoint of low thermal expansion.
As the thermal expansion coefficient of the glass substrate layer is closer to the thermal expansion coefficient (about 3 ppm / ° C.) of the silicon chip, warpage of the laminated board or the multilayer laminated board obtained from this laminated body may be suppressed, but preferably 8 ppm / Or less, more preferably 6 ppm / ° C. or less, and even more preferably 4 ppm / ° C. or less.
The larger the storage elastic modulus of this glass substrate layer at 40 ° C., the better, but it is preferably 20 GPa or more, more preferably 25 GPa or more, and further preferably 30 GPa or more.
The glass substrate layer preferably occupies 10 to 70% by volume, more preferably 15 to 70% by volume, and still more preferably 20 to 70% by volume with respect to the entire laminate. When the exclusive amount of the glass substrate is 10% by volume or more, it is advantageous for obtaining a laminate having low thermal expansion and high elasticity. Conversely, when the exclusive amount of the glass substrate is 70% by volume or less, workability and This is advantageous in terms of handling properties (ease of handling).
In particular, glass molded by the fusion method (overflow method) has very high surface flatness, but melted glass enters the molded part from the pipe, and from the upper part of the molded part to the free surface on both sides. Since the glass on both sides that overflowed and overflowed below the forming part is combined to form the glass, there is a possibility of breakage at the combined part. By using the structure of the present invention, this destruction can be prevented.
<支持体フィルム>
上記の積層体は、その表面に支持体フィルムを有していてもよい。この支持体フィルムについては、次に述べる積層体の製造方法の説明において詳細に説明する。
<Support film>
Said laminated body may have a support body film on the surface. The support film will be described in detail in the description of the laminate manufacturing method described below.
<積層体の製造方法>
上記積層体の製造方法には特に制限はなく、例えば、樹脂組成物からなる接着フィルムや繊維含有樹脂組成物からなるプリプレグと、ガラス基板とを積層することによって好適に製造することができる。
この積層方法としては、例えば、後述する真空ラミネートやロールラミネートのような加圧ラミネート等が好適に適用される。
<Method for producing laminate>
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of the said laminated body, For example, it can manufacture suitably by laminating | stacking the adhesive film which consists of a resin composition, the prepreg which consists of a fiber containing resin composition, and a glass substrate.
As this lamination method, for example, a pressure lamination such as a vacuum lamination or roll lamination described later is suitably applied.
<ラミネートによる積層体の製造方法>
上記の積層体は、真空ラミネートやロールラミネートのような加圧ラミネートにより、前記樹脂組成物を用いた接着フィルムとガラス基板とをラミネートすることで製造することができる。また、前記繊維含有樹脂組成物を用いたプリプレグを用い、1枚のプリプレグあるいはこれを複数枚(例えば2〜10枚)重ねてなるプリプレグ重ね合せ体と、ガラス基板とをラミネートすることによっても製造することができる。この接着フィルムやプリプレグについては後述する。なお、これらの真空ラミネートやロールラミネートは、市販の真空ラミネーター、ロールラミネーターを使用して行うことができる。
上記の樹脂組成物中の熱硬化性樹脂としては、ラミネート時の温度以下で溶融するものが好適に用いられる。例えば、真空ラミネーター又はロールラミネーターを用いてラミネートする場合、一般には140℃以下で行うことから、上記の樹脂組成物中の熱硬化性樹脂は、140℃以下で溶融するものが好ましい。
<Manufacturing method of laminate by lamination>
Said laminated body can be manufactured by laminating | stacking the adhesive film using the said resin composition, and a glass substrate by pressure lamination like vacuum lamination and roll lamination. Moreover, it is also manufactured by using a prepreg using the fiber-containing resin composition and laminating a single prepreg or a prepreg laminated body in which a plurality of prepregs (for example, 2 to 10 sheets) are stacked and a glass substrate. can do. The adhesive film and prepreg will be described later. In addition, these vacuum lamination and roll lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator and roll laminator.
As the thermosetting resin in the resin composition, a resin that melts at a temperature equal to or lower than the temperature at the time of lamination is suitably used. For example, when laminating using a vacuum laminator or a roll laminator, since it is generally performed at 140 ° C. or lower, the thermosetting resin in the resin composition is preferably one that melts at 140 ° C. or lower.
<接着フィルム>
真空ラミネーターやロールラミネーターのような加圧ラミネーターを用いて積層体を製造する場合、上記の樹脂組成物は接着フィルムとして調製するのが一般的である。
接着フィルムとしては、次の積層構造を有するものが好適に使用される。
(1) 支持体フィルム/樹脂組成物層
また、上記(1)の積層構造において、更に保護フィルムを積層した次の積層構造を有するものも好適に使用される。
(2) 支持体フィルム/樹脂組成物層/保護フィルム
保護フィルムは、本発明の熱硬化性の樹脂組成物に対し支持体フィルムとは反対側に形成され、異物の付着やキズを防止する目的に使用するものである。
上記(1)〜(2)の積層構造を有する接着フィルムは、公知の方法に従って製造することができる。
上記(1)の接着フィルムを製造する一例としては、有機溶剤に上記の樹脂組成物を溶解し、無機充填材が分散したワニスを調製する。次いで、支持体フィルムを支持体として、このワニスを塗布し、加熱や熱風吹きつけ等によって有機溶剤を乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成すればよい。
(2)の接着フィルムを製造する一例としては、有機溶剤に上記の樹脂組成物を溶解し、無機充填材が分散したワニスを調製する。次いで、支持体フィルムの一方に対してこのワニスを塗布し、加熱や熱風吹きつけ等によってこのワニスの有機溶剤を乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成した後、樹脂組成物層の面のうち支持体フィルムと接していない側に保護フィルムを配置すればよい。
<Adhesive film>
When a laminate is produced using a pressure laminator such as a vacuum laminator or a roll laminator, the above resin composition is generally prepared as an adhesive film.
As an adhesive film, what has the following laminated structure is used suitably.
(1) Support Film / Resin Composition Layer In the laminated structure of (1), those having the following laminated structure in which a protective film is further laminated are also preferably used.
(2) Support film / resin composition layer / protective film The protective film is formed on the side opposite to the support film with respect to the thermosetting resin composition of the present invention, and is intended to prevent adhesion and scratches of foreign matter. It is used for
The adhesive film having the laminated structure (1) to (2) can be produced according to a known method.
As an example for producing the adhesive film of the above (1), the above resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a varnish in which an inorganic filler is dispersed. Next, the resin composition layer may be formed by applying the varnish using the support film as a support and drying the organic solvent by heating, hot air blowing, or the like.
As an example of producing the adhesive film of (2), the above resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a varnish in which an inorganic filler is dispersed. Next, the varnish is applied to one of the support films, and the resin composition layer is formed by drying the organic solvent of the varnish by heating, hot air blowing, or the like. A protective film may be disposed on the side not in contact with the support film.
これら樹脂組成物層の塗工装置としては、コンマコーター、バーコーター、キスコーター、ロールコーター、グラビアコーター、ダイコーターなど、当業者に公知の塗工装置を用いることができ、作製する膜厚によって、適宜選択することが好ましい。
なお、上記の接着フィルムにおいて、樹脂組成物層は半硬化させておいてもよい。
上記の支持体フィルムは、接着フィルムを製造する際の支持体となるものであり、このような支持体フィルム付きの接着フィルムを積層して調製した積層体には、支持体フィルムがそのまま残っていてもよいが、プリント配線板や多層プリント配線板を製造する際に、通常、これらの支持体フィルムは最終的に剥離、又は除去されるものである。
As a coating apparatus for these resin composition layers, a coating apparatus known to those skilled in the art, such as a comma coater, a bar coater, a kiss coater, a roll coater, a gravure coater, and a die coater, can be used. It is preferable to select appropriately.
In the above adhesive film, the resin composition layer may be semi-cured.
The above support film is a support for producing an adhesive film, and the support film is left as it is in a laminate prepared by laminating such an adhesive film with a support film. However, when a printed wiring board or a multilayer printed wiring board is manufactured, these support films are usually finally peeled off or removed.
<接着フィルムを用いたラミネート方法>
次に、上記の接着フィルムを用いたラミネート方法の一例について説明する。
接着フィルムが保護フィルムを有している場合には、保護フィルムを除去した後、接着フィルムを加圧及び加熱しながらガラス基板に圧着する。ラミネートの条件は、接着フィルム及びガラス基板を必要によりプレヒートし、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは60℃〜140℃、圧着圧力を好ましくは1〜11kgf/cm2でラミネートすることが好ましい。また、真空ラミネーターを用いる場合、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートすることが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であっても、ロールでの連続式であってもよい。
上記のように、接着フィルムをガラス基板にラミネートした後、室温付近に冷却する。支持体フィルムは必要に応じて剥離する。
<Lamination method using adhesive film>
Next, an example of a laminating method using the above adhesive film will be described.
When the adhesive film has a protective film, after removing the protective film, the adhesive film is pressure-bonded to the glass substrate while being pressurized and heated. The lamination is preferably performed by preheating the adhesive film and the glass substrate as necessary, and laminating at a pressure bonding temperature (laminating temperature) of preferably 60 ° C. to 140 ° C. and a pressure bonding pressure of preferably 1 to 11 kgf / cm 2 . Moreover, when using a vacuum laminator, it is preferable to laminate under a reduced pressure with an air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll.
As described above, after the adhesive film is laminated on the glass substrate, it is cooled to around room temperature. The support film is peeled off as necessary.
<塗布による積層体の製造方法>
塗布による積層体の製造方法には特に制限はない。例えば、有機溶剤に上記の樹脂組成物を溶解し、無機充填材が分散したワニスを調製する。このワニスをガラス基板に塗布し、加熱や熱風吹きつけ等によって有機溶剤を乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成する。この樹脂組成物層は、更に半硬化させてもよい。このようにして、積層体を製造することができる。
<Method for producing laminate by coating>
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of the laminated body by application | coating. For example, the above resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a varnish in which an inorganic filler is dispersed. The resin composition layer is formed by applying the varnish to a glass substrate and drying the organic solvent by heating or blowing hot air. This resin composition layer may be further semi-cured. Thus, a laminated body can be manufactured.
<プリプレグ>
プリプレグは、前記の熱硬化性樹脂及び必要に応じて前記の無機充填材を含む樹脂組成物を、繊維基材に含浸または塗工した後、加熱乾燥してBステージ化(半硬化)することにより好適に得られる。このBステージ化は、通常、100〜200℃の温度で1〜30分程度加熱乾燥することにより行うことができる。なお、上記の樹脂組成物を有機溶剤に溶解し、ワニスとして繊維基材に含浸または塗工し、有機溶剤を乾燥させることにより調製することもできる。ワニスを調製する際に、用いられる有機溶剤としては、樹脂組成物を溶解し、無機充填材を分散することができるものであれば特に制限はないが、例えばエタノール、プロパノール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、酢酸エチルエステルやγ−ブチロラクトン等のエステル系溶剤、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶剤、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族系溶剤、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等の窒素原子含有溶剤、ジメチルスルホキシド等の硫黄原子含有溶剤が挙げられ、1種又は2種以上を混合して使用できる。
<Prepreg>
The prepreg is impregnated or coated on a fiber base material with the thermosetting resin and, if necessary, the resin composition containing the inorganic filler, and then dried by heating to be B-staged (semi-cured). Is preferably obtained. This B-stage can usually be performed by heating and drying at a temperature of 100 to 200 ° C. for about 1 to 30 minutes. In addition, it can also prepare by melt | dissolving said resin composition in an organic solvent, impregnating or coating a fiber base material as a varnish, and drying an organic solvent. When preparing the varnish, the organic solvent used is not particularly limited as long as it can dissolve the resin composition and disperse the inorganic filler. For example, ethanol, propanol, butanol, methyl cellosolve, Alcohol solvents such as butyl cellosolve and propylene glycol monomethyl ether, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone, ester solvents such as ethyl acetate and γ-butyrolactone, ether solvents such as tetrahydrofuran, toluene, xylene , Aromatic solvents such as mesitylene, nitrogen atom-containing solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, and sulfur atom-containing solvents such as dimethyl sulfoxide. It can be used.
<支持体フィルム>
ラミネートに用いるプリプレグは、片面に支持体フィルムを配置してあることが好ましい。
支持体フィルムとしては、接着フィルムの場合の支持体フィルムも含め、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニルなどのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」と省略することがある)ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、更には離型紙や銅箔、アルミニウム箔などの金属箔などを挙げることができる。支持体フィルムに銅箔を用いた場合には、銅箔をそのまま導体層とし、回路形成することもできる。この場合、銅箔としては、圧延銅、電解銅箔などがあげられ、厚さが2μm〜36μmのものが一般的に用いられる。厚さの薄い銅箔を用いる場合には、作業性を向上させるために、キャリア付き銅箔を使用してもよい。
支持体フィルムには、マット処理、コロナ処理の他、離型処理が施してあってもよい。
<Support film>
The prepreg used for laminating preferably has a support film disposed on one side.
Examples of the support film include a support film in the case of an adhesive film, for example, polyolefins such as polyethylene and polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate (hereinafter may be abbreviated as “PET”) polyester such as polyethylene naphthalate, Examples thereof include polycarbonate, polyimide, and metal foil such as release paper, copper foil, and aluminum foil. When copper foil is used for the support film, the copper foil can be used as a conductor layer as it is to form a circuit. In this case, examples of the copper foil include rolled copper and electrolytic copper foil, and those having a thickness of 2 μm to 36 μm are generally used. When using a thin copper foil, a copper foil with a carrier may be used in order to improve workability.
The support film may be subjected to a release treatment in addition to the mat treatment and the corona treatment.
<プリプレグを用いたラミネート方法>
上記の支持体フィルムを添えたプリプレグを加圧および加熱しながらガラス基板に圧着する。ラミネートの条件は、プリプレグおよびガラス基板を必要によりプレヒートし、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは60℃〜140℃、圧着圧力を好ましくは1〜11kgf/cm2でラミネートすることが好ましい。また、真空ラミネーターを用いる場合、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートすることが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であっても、ロールでの連続式であっても良い。
上記のように、プリプレグをガラス基板にラミネートした後、室温付近に冷却する。このようにして、積層体を製造することができる。
<Lamination method using prepreg>
The prepreg with the above support film is pressed against a glass substrate while being pressurized and heated. The lamination is preferably performed by preheating a prepreg and a glass substrate as necessary, and laminating at a pressure bonding temperature (laminating temperature) of preferably 60 ° C. to 140 ° C. and a pressure bonding pressure of preferably 1 to 11 kgf / cm 2 . Moreover, when using a vacuum laminator, it is preferable to laminate under a reduced pressure with an air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll.
As described above, after the prepreg is laminated on the glass substrate, it is cooled to around room temperature. Thus, a laminated body can be manufactured.
[積層板]
本発明の積層板は、1層以上の樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層及び1層以上のガラス基板層を含む積層板である。
この積層板は、前述の積層体の樹脂組成物層又は必要に応じて無機充填材を含む繊維含有樹脂組成物層を硬化し、樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層とした構造であることが好適である。
積層板の構成としては、ガラス基板の少なくとも片面に上記樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層を積層した「ガラス基板層/樹脂硬化物層」、「樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層」という構成のものがあげられる他、複数のガラス基板層を有する、例えば、「樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層」のような構成の積層板がある。
[Laminated board]
The laminate of the present invention is a laminate comprising one or more resin cured product layers or fiber-containing resin cured product layers and one or more glass substrate layers.
This laminate has a structure in which the resin composition layer of the above-mentioned laminate or the fiber-containing resin composition layer containing an inorganic filler as necessary is cured to form a resin cured product layer or a fiber-containing resin cured product layer. Is preferred.
As the structure of the laminate, “glass substrate layer / resin cured product layer”, “resin cured product layer / glass substrate layer / resin” in which the resin cured product layer or the fiber-containing resin cured product layer is laminated on at least one surface of the glass substrate. In addition to the configuration of “cured product layer”, it has a plurality of glass substrate layers, such as “resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer”. There is a laminated board of composition.
<樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層>
この樹脂組成物層又は繊維含有樹脂組成物層を硬化したときの層の厚さ、すなわち、樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さは、好ましくは5〜200μmである。5μm以上であると、積層板の割れが抑制される。200μm以下であると、相対的にガラス基板の厚さが大きくなって積層板の低熱膨張係数化及び高弾性率化が可能となる。また、5μm未満だと積層体作成時のラミネートやプレス工程でガラスが割れることがあり、200μmを超える場合は樹脂層の熱膨張力にガラス基板が持ち堪えられずに積層時や切断時に割れることがあり加工性が劣ることがある。これらの観点から、樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さは、より好ましくは10〜150μmであり、更に好ましくは10〜120μmである。
このような樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さは、次のようにして求めることができる。硬化後の積層板を垂直又は水平に保持し、積層板の周辺から6mm以上の内側を各辺ごとに2か所ずつ計8か所と中央部分2か所の合計10か所の厚さを0.01mmの単位までマイクロメータで測定する。但し、1か所の測定は2回行い、その平均値を各点の厚さとする。このようにして求めた厚さの平均から積層板に含まれる「ガラス基板層」の合計の厚さを差し引いた値を平均の厚さdとした。なお、ガラス基板層の厚さは、事前に同様の方法で測定する。
<Resin cured product layer or fiber-containing resin cured product layer>
The thickness of the layer when the resin composition layer or the fiber-containing resin composition layer is cured, that is, the thickness of the resin cured product layer or the fiber-containing resin cured product layer is preferably 5 to 200 μm. If the thickness is 5 μm or more, cracking of the laminate is suppressed. When the thickness is 200 μm or less, the thickness of the glass substrate is relatively increased, and the thermal expansion coefficient and the elastic modulus of the laminated plate can be reduced. Also, if it is less than 5 μm, the glass may be broken during lamination and pressing processes when creating a laminate, and if it exceeds 200 μm, the glass substrate may not withstand the thermal expansion force of the resin layer and may be broken during lamination or cutting. Yes Processability may be inferior. From these viewpoints, the thickness of the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer is more preferably 10 to 150 μm, and further preferably 10 to 120 μm.
The thickness of such a cured resin layer or fiber-containing cured resin layer can be determined as follows. Hold the cured laminate vertically or horizontally, and add a total thickness of 10 places, 2 places on each side, 6 places above the circumference of the laminate, 2 places on each side and 2 places in the center. Measure with a micrometer to the nearest 0.01 mm. However, measurement at one place is performed twice, and the average value is taken as the thickness of each point. A value obtained by subtracting the total thickness of the “glass substrate layers” included in the laminate from the average thickness thus obtained was defined as an average thickness d. The thickness of the glass substrate layer is measured in advance by the same method.
また、このような樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の熱膨張係数は、熱硬化性樹脂の種類や繊維基材や無機充填材の配合量などによって定まるもので、ガラスフィルムと同程度の熱膨張係数を有するものであることが好ましいが、通常、30〜100℃の温度範囲で、3〜80ppm/℃程度のものであり、5〜60ppm/℃程度のものであることが好ましい。
熱膨張係数が80ppm/℃を超えると、ガラスとの熱膨張係数差が大きくなりそりや剥離の原因となり、また、3ppm/℃未満のものは入手が困難である。
このような熱膨張係数は、TMA(熱機械分析)により測定することができ、30〜100℃の温度範囲においての平均値が求められる。
In addition, the thermal expansion coefficient of such a cured resin layer or fiber-containing cured resin layer is determined by the type of thermosetting resin, the amount of fiber base material or inorganic filler, etc., and is about the same as a glass film. However, it is usually about 3 to 80 ppm / ° C. and preferably about 5 to 60 ppm / ° C. in the temperature range of 30 to 100 ° C.
When the thermal expansion coefficient exceeds 80 ppm / ° C., the difference in thermal expansion coefficient from the glass becomes large, causing warpage and peeling, and it is difficult to obtain those having a thermal expansion coefficient less than 3 ppm / ° C.
Such a thermal expansion coefficient can be measured by TMA (thermomechanical analysis), and an average value in a temperature range of 30 to 100 ° C. is obtained.
本発明は、積層板を積層、又は切断するなどの場合において、ガラス基板に隣接する樹脂硬化物層または繊維含有樹脂硬化物層の厚さおよび熱膨張係数が、ガラス基板の破壊に影響を与えることを見出したもので、この影響を樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の平均の厚さと熱膨張係数の積により規定し、これを解決したものである。 In the present invention, the thickness and thermal expansion coefficient of the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer adjacent to the glass substrate affect the destruction of the glass substrate in the case of laminating or cutting the laminated plate. This has been found, and this effect is defined by the product of the average thickness and the thermal expansion coefficient of the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer, and this is solved.
すなわち、樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さdと、30〜100℃における熱膨張係数の平均値σとの積d・σは、1000μm・ppm・℃−1以下であり、好ましくは30〜1000μm・ppm・℃−1である。30μm・ppm・℃−1以上であると樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層が薄くなりすぎることもなく、ガラス基板層の保護が出来、積層板の製造が可能となる。1000μm・ppm・℃−1を超える場合は樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の熱膨張力に、ガラス基板層のガラスが耐えきれず割れてしまう傾向があるため加工性が劣る。樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の熱膨張係数は用いる熱硬化性樹脂や繊維基材、無機充填材などによりある程度定まるものであるから、上記のように厚さdと熱膨張係数σとの積が上記の範囲になるように樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さ、すなわち、積層体を形成する樹脂組成物層の厚さを定めることが好ましい。
なお、ガラス基板の両面に隣接する樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さdと熱膨張係数σの積がそれぞれの樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層で異なる場合には、いずれの樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層でも、厚さdと熱膨張係数σとの積が1000μm・ppm・℃−1以下となるようにすることが好ましい。
That is, the product d · σ of the thickness d of the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer and the average value σ of the thermal expansion coefficient at 30 to 100 ° C is 1000 µm · ppm · ° C -1 or less, Preferably it is 30-1000 micrometers-ppm-degreeC- 1 . When it is 30 μm · ppm · ° C. −1 or more, the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer does not become too thin, the glass substrate layer can be protected, and a laminate can be produced. When it exceeds 1000 μm · ppm · ° C.− 1 , the glass of the glass substrate layer tends not to withstand the thermal expansion force of the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer, so that the workability is inferior. Since the thermal expansion coefficient of the resin cured product layer or the fiber-containing resin cured product layer is determined to some extent by the thermosetting resin used, the fiber base material, the inorganic filler, etc., the thickness d and the thermal expansion coefficient σ are as described above. It is preferable to determine the thickness of the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer, that is, the thickness of the resin composition layer forming the laminate so that the product of
In addition, when the product of the thickness d and the thermal expansion coefficient σ of the resin cured product layer or fiber-containing resin cured product layer adjacent to both surfaces of the glass substrate is different in each resin cured product layer or fiber-containing resin cured product layer In any cured resin layer or fiber-containing cured resin layer, the product of the thickness d and the thermal expansion coefficient σ is preferably 1000 μm · ppm · ° C.− 1 or less.
一方、積層板の熱膨張係数は、シリコンチップの熱膨張係数(3ppm/℃程度)に近いほどそりが抑制されて良い。8ppm/℃以下が好ましく、より好ましくは6ppm/℃以下であり、更に好ましくは4ppm/℃以下である。
このような熱膨張係数は、TMA(熱機器分析)により測定することができる。
On the other hand, as the thermal expansion coefficient of the laminated plate is closer to the thermal expansion coefficient (about 3 ppm / ° C.) of the silicon chip, warpage may be suppressed. It is preferably 8 ppm / ° C. or less, more preferably 6 ppm / ° C. or less, and further preferably 4 ppm / ° C. or less.
Such a thermal expansion coefficient can be measured by TMA (thermal instrument analysis).
また、この積層板の40℃における貯蔵弾性率は、好ましくは10〜80GPaである。10GPa以上であると、ガラス基板が保護され、積層板の割れが抑制される。80GPa以下であると、ガラス基板と樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層との熱膨張係数の差による応力が抑制され、積層板のそり及び割れが抑制される。この観点から、樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の貯蔵弾性率は、より好ましくは12〜75GPaであり、更に好ましくは15〜70GPaである。 Moreover, the storage elastic modulus at 40 ° C. of this laminate is preferably 10 to 80 GPa. A glass substrate is protected as it is 10 GPa or more, and the crack of a laminated board is suppressed. When it is 80 GPa or less, stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the glass substrate and the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer is suppressed, and warpage and cracking of the laminate are suppressed. From this viewpoint, the storage elastic modulus of the resin cured product layer or the fiber-containing resin cured product layer is more preferably 12 to 75 GPa, and still more preferably 15 to 70 GPa.
積層板の片面又は両面に、銅やアルミニウムなどの金属箔を有していてもよい。金属箔は、電気絶縁材料用途で用いるものであれば、特に制限されない。 You may have metal foil, such as copper and aluminum, on the single side | surface or both surfaces of a laminated board. The metal foil is not particularly limited as long as it is used for electrical insulating material applications.
<積層板の製造方法>
上記の積層板の製造方法における樹脂硬化物層形成工程は、前記樹脂組成物からなる接着フィルムの加熱加圧成形によるが、特に制限はない。次に、積層板の製造方法の具体例を説明する。
<Manufacturing method of laminated board>
The resin cured product layer forming step in the method for producing a laminated board is not particularly limited, although it is performed by heat and pressure molding of an adhesive film made of the resin composition. Next, a specific example of a method for manufacturing a laminated board will be described.
<ラミネートによって得られた積層体の加熱硬化による製造例>
前記のラミネートによって得られた積層体において、必要に応じて支持体フィルムを剥離した後、樹脂組成物層又は繊維含有樹脂組成物層を加熱硬化させることにより、積層板を製造することができる。
加熱硬化の条件は、150℃〜220℃で20分〜80分の範囲で選択され、より好ましくは、160℃〜200℃で30分〜120分である。離型処理の施された支持体フィルムを使用した場合には、加熱硬化させた後に、支持体フィルムを剥離してもよい。
この方法によると、積層板の製造時に加圧する必要がないため、製造時に割れが生じることが抑制される。
<Example of production by heat curing of a laminate obtained by laminating>
In the laminate obtained by the above laminate, the support film is peeled off as necessary, and then the resin composition layer or the fiber-containing resin composition layer is heat-cured to produce a laminate.
The conditions for heat curing are selected in the range of 20 to 80 minutes at 150 to 220 ° C, more preferably 30 to 120 minutes at 160 to 200 ° C. When a support film subjected to a release treatment is used, the support film may be peeled off after being cured by heating.
According to this method, since it is not necessary to pressurize at the time of manufacture of a laminated board, it is controlled that a crack arises at the time of manufacture.
<プレス法による製造例>
また、本発明に係る積層板は、プレス法によって製造することができる。
例えば、前記のラミネートによって得られた積層体を、プレス法により加熱、加圧して硬化することにより、積層板を製造することができる。
また、1枚のプリプレグ又は複数枚(例えば2〜10枚)のプリプレグを重ねてなるプリプレグ重ね合せ体と、ガラス基板とを重ね合せ、プレス法により加熱、加圧して硬化することにより、積層板を製造することもできる。このとき、更に最外側のプリプレグの表面に支持体フィルムを添えてから、プレス法により加熱、加圧して硬化することにより、積層板を製造してもよい。
このプレス法は、均一に成形する点からは好ましいが、ガラス基板が積層時に割れやすいため積層条件が制限されることがある。一方、前記のように、ラミネートによって得られた積層体の加熱硬化(ラミネート法)による製造法は、ガラス基板が割れにくい点や生産上容易である点からは好ましいが、繊維含有樹脂組成物および繊維基材の性状や含有量によっては成形が困難なことがある。そのため、必要に応じてプレス法とラミネート法とを使い分けることが好ましい。
<Example of production by the press method>
Moreover, the laminated board which concerns on this invention can be manufactured by the press method.
For example, a laminate can be produced by curing the laminate obtained by the above-mentioned laminate by heating and pressurizing by a pressing method.
Further, a prepreg laminate formed by superimposing one prepreg or a plurality of (for example, 2 to 10) prepregs and a glass substrate are laminated, and heated and pressed by a press method to be cured, thereby being laminated. Can also be manufactured. At this time, a laminate may be produced by attaching a support film to the surface of the outermost prepreg and then curing by heating and pressurizing by a pressing method.
This pressing method is preferable from the viewpoint of uniform molding, but the lamination conditions may be limited because the glass substrate is easily broken during lamination. On the other hand, as described above, the production method by heat curing (laminating method) of the laminate obtained by laminating is preferable from the viewpoint that the glass substrate is hard to break and easy in production, but the fiber-containing resin composition and Molding may be difficult depending on the properties and content of the fiber substrate. Therefore, it is preferable to use the pressing method and the laminating method properly as necessary.
<多層積層板及びその製造方法>
本発明の多層積層板は、複数個の積層板を含む多層積層板であって、少なくとも1個の積層板が前述した本発明の積層板であるものである。
この多層積層板の製造方法には特に制限はない。
例えば、前記の積層体を複数枚(例えば、2〜10枚)重ね、積層成形することにより、多層積層板を製造することができる。具体的には、多段プレス、多段真空プレス、連続成形機、オートクレーブ成形機などを使用し、温度100〜250℃程度、圧力2〜100MPa程度、及び加熱時間0.1〜5時間程度の範囲で成形することができる。
<Multilayer laminate and its manufacturing method>
The multilayer laminate of the present invention is a multilayer laminate including a plurality of laminates, and at least one laminate is the aforementioned laminate of the present invention.
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of this multilayer laminated board.
For example, a multilayer laminate can be produced by stacking and laminating a plurality of the above laminates (for example, 2 to 10). Specifically, using a multistage press, a multistage vacuum press, a continuous molding machine, an autoclave molding machine, etc., the temperature is about 100 to 250 ° C., the pressure is about 2 to 100 MPa, and the heating time is about 0.1 to 5 hours. Can be molded.
[プリント配線板及びその製造方法]
本発明のプリント配線板は、上記の積層板又は多層積層板と、積層板又は多層積層板の表面に設けられた配線とを有するものである。
次に、このプリント配線板の製造方法について説明する。
[Printed wiring board and manufacturing method thereof]
The printed wiring board of this invention has said laminated board or multilayer laminated board, and the wiring provided in the surface of the laminated board or multilayer laminated board.
Next, a method for manufacturing this printed wiring board will be described.
<ビアホール等の形成>
上記の積層板を、必要に応じてドリル、レーザー、プラズマ、又はこれらの組み合わせ等の方法により穴あけを行い、ビアホールやスルーホールを形成する。レーザーとしては、炭酸ガスレーザーやYAGレーザー、UVレーザー、エキシマレーザーなどが一般的に用いられる。
<Formation of via holes>
The above laminated plate is drilled by a method such as drilling, laser, plasma, or a combination thereof as necessary to form a via hole or a through hole. As the laser, a carbon dioxide laser, a YAG laser, a UV laser, an excimer laser, or the like is generally used.
<導体層の形成>
次いで、乾式メッキ又は湿式メッキにより積層板の樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層上に導体層を形成する。
乾式メッキとしては、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の公知の方法を使用することができる。
湿式メッキの場合は、まず、硬化した樹脂組成物層又は繊維含有樹脂組成物層の表面を、過マンガン酸塩(過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等)、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等の酸化剤で粗化処理し、凸凹のアンカーを形成する。酸化剤としては、特に過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等の水酸化ナトリウム水溶液(アルカリ性過マンガン酸水溶液)が好ましく用いられる。次いで、無電解メッキと電解メッキとを組み合わせた方法で導体層を形成する。また導体層とは逆パターンのメッキレジストを形成し、無電解メッキのみで導体層を形成することもできる。
なお、積層体として、表面に金属箔よりなる支持体フィルムを有するものを用いる場合には、この導体層の形成工程は省略することができる。
<Formation of conductor layer>
Next, a conductor layer is formed on the cured resin layer or the fiber-containing cured resin layer of the laminate by dry plating or wet plating.
As the dry plating, a known method such as vapor deposition, sputtering, or ion plating can be used.
In the case of wet plating, first, the surface of the cured resin composition layer or fiber-containing resin composition layer is coated with permanganate (potassium permanganate, sodium permanganate, etc.), dichromate, ozone, Roughening treatment is performed with an oxidizing agent such as hydrogen oxide / sulfuric acid or nitric acid to form an uneven anchor. As the oxidizing agent, an aqueous sodium hydroxide solution (alkaline permanganate aqueous solution) such as potassium permanganate and sodium permanganate is particularly preferably used. Next, a conductor layer is formed by a method combining electroless plating and electrolytic plating. Alternatively, a plating resist having a pattern opposite to that of the conductor layer can be formed, and the conductor layer can be formed only by electroless plating.
In addition, when using what has the support body film which consists of metal foil on the surface as a laminated body, the formation process of this conductor layer can be skipped.
<配線パターンの形成>
その後のパターン形成の方法として、例えば、公知のサブトラクティブ法、セミアディティブ法などを用いることができる。
<Formation of wiring pattern>
As a subsequent pattern formation method, for example, a known subtractive method or semi-additive method can be used.
[多層プリント配線板及びその製造方法]
上記のプリント配線板の一形態として、上記のようにして配線パターンを形成した積層板を複数枚積層して、多層プリント配線板としてもよい。
この多層プリント配線板を製造するには、上記の配線パターンを形成した積層板を、前述の接着フィルムを介して複数積層することによって多層化する。その後、ドリル加工又はレーザー加工によるスルーホール又はブラインドビアホールの形成と、メッキ又は導電性ペーストによる層間配線の形成を行う。このようにして、多層プリント配線板を製造することができる。
[Multilayer printed wiring board and manufacturing method thereof]
As one form of the printed wiring board, a multilayer printed wiring board may be formed by laminating a plurality of laminated boards on which a wiring pattern is formed as described above.
In order to manufacture this multilayer printed wiring board, a multilayer is formed by laminating a plurality of laminated boards on which the above wiring patterns are formed via the above-mentioned adhesive film. Thereafter, through holes or blind via holes are formed by drilling or laser processing, and interlayer wiring is formed by plating or conductive paste. In this way, a multilayer printed wiring board can be manufactured.
[金属箔付きの積層板及び多層積層板、並びにそれらの製造方法]
なお、前記の積層板及び多層積層板は、片面又は両面に銅やアルミニウム等の金属箔を有する金属箔付きの積層板及び多層積層板であってもよい。
この金属箔付き積層板の製造方法には特に制限はない。例えば、前述のとおり、支持体フィルムとして金属箔を用いることにより、金属箔付き積層板を製造することができる。また、前記のラミネートにより得られた積層体を1枚又は複数枚(例えば2〜10枚)重ね、その片面又は両面に金属箔を配置した構成で積層成形することにより、金属箔付き積層板を製造することもできる。
成形条件は、電気絶縁材料用積層板や多層板の手法が適用でき、例えば、多段プレス、多段真空プレス、連続成形機、オートクレーブ成形機などを使用し、温度100〜250℃程度、圧力2〜100MPa程度、及び加熱時間0.1〜5時間程度の範囲で成形することができる。
[Laminated plate and multilayer laminated plate with metal foil, and methods for producing them]
The laminate and multilayer laminate may be a laminate with a metal foil and a multilayer laminate having a metal foil such as copper or aluminum on one side or both sides.
There is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of this laminated sheet with metal foil. For example, as described above, a laminate with a metal foil can be produced by using a metal foil as the support film. Moreover, the laminated body obtained by the said lamination is laminated | stacked by the structure which laminated | stacked 1 sheet or multiple sheets (for example, 2-10 sheets), and arrange | positioned metal foil on the single side | surface or both surfaces, A laminated board with metal foil is obtained. It can also be manufactured.
The molding conditions can be applied to a laminate for an electrical insulating material or a multilayer board, for example, using a multistage press, a multistage vacuum press, a continuous molding machine, an autoclave molding machine, etc., at a temperature of about 100 to 250 ° C., a pressure of 2 Molding can be performed in a range of about 100 MPa and a heating time of about 0.1 to 5 hours.
次に、実施例及び比較例を用いて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらの記載に限定されるものではない。なお、実施例及び比較例において、「部」及び「%」とは、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。 Next, the present invention will be described in more detail using Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these descriptions. In the examples and comparative examples, “parts” and “%” mean “parts by mass” and “% by mass”, respectively.
[不飽和マレイミド基を有する樹脂の溶液の製造]
温度計、攪拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積2リットルの反応容器に、4,4'−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル:69.10g、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン:429.90g、p−アミノフェノール:41.00g、及びプロピレングリコールモノメチルエーテル:360.00gを入れ、還流温度で2時間反応させて、酸性置換基と不飽和マレイミド基を有する樹脂の溶液を得た。
[Production of resin solution having unsaturated maleimide groups]
In a reaction vessel with a volume of 2 liters that can be heated and cooled, equipped with a thermometer, a stirrer, and a moisture meter with a reflux condenser, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl: 69.10 g, bis (4 -Maleimidophenyl) sulfone: 429.90 g, p-aminophenol: 41.00 g, and propylene glycol monomethyl ether: 360.00 g, reacted at reflux temperature for 2 hours to have an acidic substituent and an unsaturated maleimide group A resin solution was obtained.
[熱硬化性樹脂組成物を含有するワニス(G)の製造]
(1)硬化剤(A)として、上記の不飽和マレイミド基を有する樹脂の溶液、
(2)熱硬化性樹脂(B)として、2官能ナフタレン型エポキシ樹脂〔大日本インキ化学工業(株)製、商品名、HP−4032D〕、
(3)変性イミダゾール(C)として、イソシアネートマスクイミダゾール〔第一工業製薬(株)製、商品名:G8009L〕、
(4)無機充填材(D)として、溶融シリカ〔アドマテック(株)製、商品名:SC2050−KC〕、
(5)難燃性を付与するリン含有化合物(E)として、リン含有フェノール樹脂〔三光化学(株)製、商品名:HCA−HQ、リン含有量9.6質量%〕、
(6)化学粗化可能な化合物(F)として、架橋アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)粒子[〔JSR(株)製、商品名:XER−91〕、
(7)希釈溶剤として、メチルエチルケトン、
を使用し、表1に示した配合割合(質量部)で混合して、樹脂含有量(樹脂成分などの合計、固形分量)65質量%の均一なワニス(G)を作製した。
[Production of Varnish (G) Containing Thermosetting Resin Composition]
(1) As a curing agent (A), a solution of a resin having the above unsaturated maleimide group,
(2) As the thermosetting resin (B), a bifunctional naphthalene type epoxy resin [manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, trade name, HP-4032D],
(3) As modified imidazole (C), isocyanate mask imidazole [Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name: G8009L],
(4) As inorganic filler (D), fused silica [manufactured by Admatech Co., Ltd., trade name: SC2050-KC],
(5) As phosphorus-containing compound (E) that imparts flame retardancy, phosphorus-containing phenol resin [manufactured by Sanko Chemical Co., Ltd., trade name: HCA-HQ, phosphorus content: 9.6% by mass],
(6) As the compound (F) capable of chemical roughening, crosslinked acrylonitrile butadiene rubber (NBR) particles [manufactured by JSR Corporation, trade name: XER-91],
(7) As a diluent solvent, methyl ethyl ketone,
Was mixed at the blending ratio (parts by mass) shown in Table 1 to prepare a uniform varnish (G) having a resin content (total of resin components, etc., solid content) of 65% by mass.
[熱硬化性樹脂組成物を含有するワニス(H)の製造]
無機充填材(D)を添加しなかったこと以外はワニス(G)と同様の操作を行い、樹脂含有量(樹脂成分の合計)65質量%のワニス(H)を製造した。
[Production of Varnish (H) Containing Thermosetting Resin Composition]
A varnish (H) having a resin content (total of resin components) of 65% by mass was produced in the same manner as in the varnish (G) except that the inorganic filler (D) was not added.
[プリプレグの製造]
上記ワニス(G)、(H)を厚さの異なるEガラスクロスにそれぞれ含浸塗工し、160℃で10分加熱乾燥してプリプレグを得た。Eガラスクロスの種類は、旭化成イーマテリアルズのIPC規格1027、1078、2116を用いた。これら3種類のガラスクロスを用いて作製したプリプレグをそれぞれ、PP#1027(G)、PP#1078(G)、PP#2116(G)、およびPP#1078(H)と称することがある。また、それぞれのプリプレグの樹脂含有量は、それぞれ66、54、50、および50質量%であった。
[Manufacture of prepreg]
The varnishes (G) and (H) were impregnated and coated on E glass cloths having different thicknesses, and dried by heating at 160 ° C. for 10 minutes to obtain prepregs. As the type of E glass cloth, IPC standards 1027, 1078 and 2116 of Asahi Kasei E-materials were used. A prepreg produced using these three types of glass cloth may be referred to as PP # 1027 (G), PP # 1078 (G), PP # 2116 (G), and PP # 1078 (H), respectively. Moreover, the resin content of each prepreg was 66, 54, 50, and 50 mass%, respectively.
[実施例1〜3、比較例1]
ガラス基板層となるガラスフィルムとしてオーバーフロー成形法によって製造された厚さ100μmのガラスフィルム「商品名OA−10G」(日本電気硝子(株)製)を用意した(GF100μmと称することがある)。
上記ガラスフィルムと前記プリプレグとを、表2に示すとおりに重ね合せ、12μmの電解銅箔を上下に配置し、圧力3.0MPa、温度235℃で120分間プレスを行って、銅張積層板を作製した。
[Examples 1 to 3, Comparative Example 1]
A glass film “trade name OA-10G” (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) having a thickness of 100 μm manufactured by an overflow molding method was prepared as a glass film to be a glass substrate layer (sometimes referred to as GF100 μm).
The glass film and the prepreg are overlapped as shown in Table 2, 12 μm electrolytic copper foils are placed one above the other, and pressed at a pressure of 3.0 MPa and a temperature of 235 ° C. for 120 minutes to obtain a copper-clad laminate. Produced.
[実施例4、比較例2]
(接着フィルム用ワニスHの調整)
ジメチルアセトアミド溶剤で、濃度10%になるように溶解した日本化薬株式会社製ポリアミド樹脂BPAM−155(製品名)を135.4部、エポキシ樹脂として、日本化薬株式会社製のエポキシ樹脂NC3000−H(商品名,濃度100%)を62.0部、硬化剤として、DIC株式会社製のトリアジン含有フェノール性ノボラック樹脂LA−1356−60P(商品名,濃度60%)を23.5部、硬化促進剤として、四国化成工業株式会社製の2−フェニルイミダゾール(商品名、濃度100%)を0.6部、日本アエロジル株式会社製のヒュームドシリカ AEROSIL R972(商品名、濃度100%)を8.8部、BYKケミー・ジャパン株式会社製のポリエステル変性ポリジメチルシロキサンBYK−310(商品名、濃度25%)を3.6部、更に、ジメチルアセトアミド溶剤を314.3部追加し、溶解、混合、ビーズミル分散処理を施して、ワニスHを作製した。
[Example 4, Comparative Example 2]
(Adjustment of adhesive film varnish H)
Nippon Kayaku Co., Ltd. polyamide resin BPAM-155 (product name) dissolved in a dimethylacetamide solvent to a concentration of 10% is used as an epoxy resin, and Nippon Kayaku Co., Ltd. epoxy resin NC3000- 62.0 parts of H (trade name, concentration 100%), 23.5 parts of triazine-containing phenolic novolac resin LA-1356-60P (trade name, concentration 60%) manufactured by DIC Corporation as a curing agent, cured As an accelerator, 0.6 part of 2-phenylimidazole (trade name, concentration 100%) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. and 8 parts of fumed silica AEROSIL R972 (trade name, concentration 100%) manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd. are used. 8 parts, polyester-modified polydimethylsiloxane BYK-310 (trade name) manufactured by BYK Chemie Japan 3.6 parts of 25% strength), further, dimethylacetamide solvent and add 314.3 parts dissolved, mixed, subjected to bead mill dispersion treatment to prepare a varnish H.
(接着フィルム用ワニスIの調整)
エポキシ樹脂として、NC3000−H(濃度;100%)を31.8部、硬化剤として、DIC株式会社製のトリアジン含有クレゾールノボラック LA−3018−50P(商品名、濃度;50%)を7.2部、リン含有のフェノール性樹脂として、三光株式会社製のHCA−HQ(商品名、濃度;100%)、DIC株式会社製のフェノールノボラック TD2131(濃度100%)、硬化促進剤として、四国化成工業株式会社製の1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト2PZCNS−PW(商品名、濃度100%)を0.1部、固形分が70%となるように、メチルイソブチルケトン溶剤中でアミノシランカップリング剤処理を施したシリカフィラー SO−C2(アドマファインテクノ株式会社製、商品名)を78.6部、更に追加溶剤として、メチルエチルケトンを42.7部配合し、溶解、混合、ビーズミル分散処理を施して、ワニスIを作製した。
(Adjustment of adhesive film varnish I)
As an epoxy resin, 31.8 parts of NC3000-H (concentration: 100%) and as a curing agent, triazine-containing cresol novolak LA-3018-50P (trade name, concentration: 50%) manufactured by DIC Corporation, 7.2. As a phenol-containing resin containing phosphorus, HCA-HQ (trade name, concentration: 100%) manufactured by Sanko Co., Ltd., phenol novolac TD2131 (concentration 100%) manufactured by DIC Corporation, and Shikoku Kasei Kogyo as a curing accelerator 1-Cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate 2PZCNS-PW (trade name, concentration 100%) manufactured by Co., Ltd. in an aminosilane in a methyl isobutyl ketone solvent so that the solid content is 70% Silica filler treated with coupling agent SO-C2 (manufactured by Admafine Techno Co., Ltd., trade name) 78.6 parts, as additional solvent, methyl ethyl ketone was blended 42.7 parts, dissolution, mixing, subjected to bead mill dispersion treatment to prepare a varnish I.
<接着フィルムの製造>
樹脂ワニスHを、厚さ38μmの離型処理ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム(PET−38X、リンテック社製、商品名)の離型処理面にそれぞれバーコーターを用いて、乾燥後5μmになるように塗布し、140℃で3分間乾燥させた。続いて、ワニスHの層の上にワニスIを実施例4は乾燥後に25μmになるように、比較例2は76μmになるように塗工し、105℃で1.2分乾燥して接着フィルムを得た。
<Manufacture of adhesive film>
The resin varnish H is dried to 5 μm after drying using a bar coater on the release-treated surface of a release-treated polyethylene terephthalate (PET) film (PET-38X, manufactured by Lintec Co., Ltd.) having a thickness of 38 μm. And dried at 140 ° C. for 3 minutes. Subsequently, varnish I was coated on the varnish H layer so that Example 4 had a thickness of 25 μm after drying, and Comparative Example 2 had a thickness of 76 μm. Got.
<積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)の製造>
ガラス基板として、日本電気硝子製の極薄ガラスフィルム「OA−10G」(商品名、厚さ100μm)を用いた。このガラス基板の両面上に、前記の接着フィルムをその樹脂組成物層がガラス基板に当接するように配置し、バッチ式の真空加圧ラミネーター「MVLP−500」(名機株式会社製、商品名)を用いてラミネートによって積層した。この際の真空度は30mmHg(40.0hPa)以下であり、温度は90℃、圧力は0.5MPaの設定とした。
室温に冷却後、支持体フィルムを剥がし、180℃で60分間硬化して、3層構造の積層板(樹脂硬化物層/ガラス基板層/樹脂硬化物層)を得た。
<Manufacture of laminated board (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer)>
As the glass substrate, an ultrathin glass film “OA-10G” (trade name, thickness 100 μm) manufactured by Nippon Electric Glass was used. The adhesive film is placed on both surfaces of the glass substrate so that the resin composition layer is in contact with the glass substrate, and a batch type vacuum pressure laminator “MVLP-500” (made by Meiki Co., Ltd., trade name) ) Was laminated by lamination. The degree of vacuum at this time was 30 mmHg (40.0 hPa) or less, the temperature was set to 90 ° C., and the pressure was set to 0.5 MPa.
After cooling to room temperature, the support film was peeled off and cured at 180 ° C. for 60 minutes to obtain a three-layer laminate (resin cured product layer / glass substrate layer / resin cured product layer).
[測定]
上記の実施例及び比較例で得られた積層板について、以下の方法で性能を測定・評価した。
(1)樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さの測定
樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の厚さの測定は、硬化後の基板を垂直又は水平に保持し、積層板の周辺から6mm以上の内側を各辺ごとに2か所ずつ計8か所と中央部分2か所の合計10か所の厚さを0.01mmの単位までマイクロメータで測定した。但し、1か所の測定は2回行い、その平均値を各点の厚さとした。このようにして求めた厚さの平均から積層板に含まれる「ガラス基板層」の合計の厚さを差し引いた値を平均の厚さdとした。なお、ガラス基板層の厚さは、事前に同様の方法で測定した。
得られた厚さdを表2の積層板の構成として括弧内に示した。
[Measurement]
About the laminated board obtained by said Example and comparative example, performance was measured and evaluated with the following method.
(1) Measurement of thickness of cured resin layer or cured fiber-containing resin layer The thickness of cured resin layer or cured fiber-containing resin layer is measured by holding the cured substrate vertically or horizontally and laminating. The thickness of a total of 10 places including a total of 8 places and 2 places in the central portion of the inner side of the plate 6 mm or more from 2 places on each side was measured with a micrometer to a unit of 0.01 mm. However, the measurement at one place was performed twice, and the average value was taken as the thickness of each point. A value obtained by subtracting the total thickness of the “glass substrate layers” included in the laminate from the average thickness thus obtained was defined as an average thickness d. The thickness of the glass substrate layer was measured in advance by the same method.
The thickness d thus obtained is shown in parentheses as the structure of the laminate of Table 2.
(2)樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層の熱膨張係数の測定
樹脂硬化物層又は繊維含有樹脂硬化物層だけからなる積層板から4mm×30mmの試験片を切り出した。銅張積層板を使用する場合は、銅エッチング液に浸漬することにより銅箔を取り除いた後、試験片を切り出した。
TMA試験装置(デュポン社製、TMA2940)を用い、試験片のTg未満の熱膨張特性を観察することにより評価した。具体的には、昇温速度5℃/min、1st run、測定範囲20〜200℃、2nd run測定範囲−10〜280℃、加重5g、チャック間10mmで引っ張り法にて測定し、30〜100℃の範囲の平均の熱膨張係数をそれぞれ求めた。
その結果、30〜100℃の温度範囲における平均の熱膨張係数σは、プリプレグはいずれも、11ppm/℃であった。接着フィルムはいずれも33ppm/℃であった。上記の平均の厚さdと得られた平均の熱膨張係数σとの積を表2に示す。
(2) Measurement of thermal expansion coefficient of resin cured product layer or fiber-containing resin cured product layer A test piece of 4 mm × 30 mm was cut out from a laminate composed only of a resin cured product layer or a fiber-containing resin cured product layer. When using a copper clad laminated board, after removing copper foil by being immersed in copper etching liquid, the test piece was cut out.
Using a TMA test apparatus (manufactured by DuPont, TMA2940), it was evaluated by observing the thermal expansion characteristics of the test piece below Tg. Specifically, the temperature rise rate is 5 ° C./min, 1st run, measurement range is 20 to 200 ° C., 2nd run measurement range is −10 to 280 ° C., the load is 5 g, and the chuck distance is 10 mm. Each average thermal expansion coefficient in the range of ° C. was determined.
As a result, the average thermal expansion coefficient σ in the temperature range of 30 to 100 ° C. was 11 ppm / ° C. for all prepregs. All of the adhesive films were 33 ppm / ° C. Table 2 shows the product of the above average thickness d and the obtained average thermal expansion coefficient σ.
(3)積層板の熱膨張係数の測定
積層板から4mm×30mmの試験片を切り出した。銅張積層板を使用する場合は、銅エッチング液に浸漬することにより銅箔を取り除いた後、試験片を切り出した。
TMA試験装置(デュポン社製、TMA2940)を用い、試験片のTg未満の熱膨張特性を観察することにより評価した。具体的には、昇温速度5℃/min、1st run、測定範囲20〜200℃、2nd run測定範囲−10〜280℃、加重5g、チャック間10mmで引っ張り法にて測定し、30〜100℃の範囲及び100〜190℃の範囲の平均の熱膨張係数をそれぞれ求めた。その結果を表2に示す。
(3) Measurement of thermal expansion coefficient of laminated board A test piece of 4 mm x 30 mm was cut out from the laminated board. When using a copper clad laminated board, after removing copper foil by being immersed in copper etching liquid, the test piece was cut out.
Using a TMA test apparatus (manufactured by DuPont, TMA2940), it was evaluated by observing the thermal expansion characteristics of the test piece below Tg. Specifically, the temperature rise rate is 5 ° C./min, 1st run, measurement range is 20 to 200 ° C., 2nd run measurement range is −10 to 280 ° C., the load is 5 g, and the chuck distance is 10 mm. Average thermal expansion coefficients in the range of ° C and in the range of 100 to 190 ° C were determined, respectively. The results are shown in Table 2.
(4)積層板の貯蔵弾性率の測定
積層板から5mm×30mmの試験片を切り出した。銅張積層板を使用する場合は、銅エッチング液に浸漬することにより銅箔を取り除いた後、試験片を切り出した。
広域粘弾性測定装置(レオロジ社製、DVE−V4型)を用い、スパン間を20mm、周波数を10Hz、振動変位1〜3μm(ストップ加振)の条件で、40℃における貯蔵弾性率を測定した。その結果を表2に示す。
(4) Measurement of storage elastic modulus of laminated board A test piece of 5 mm x 30 mm was cut out from the laminated board. When using a copper clad laminated board, after removing copper foil by being immersed in copper etching liquid, the test piece was cut out.
Storage elastic modulus at 40 ° C. was measured using a wide-area viscoelasticity measuring device (DVE-V4 type, manufactured by Rheology) under the conditions of 20 mm span, 10 Hz frequency, and 1 to 3 μm vibration displacement (stop excitation). . The results are shown in Table 2.
(5)切断面の形状
湿式切断機により切り出した試験片の断面を光学顕微鏡(×10)で観察し、以下の基準にしたがい評価した。
○:ガラスの中央で剥離がない
×:ガラスの中央で剥離している
(5) Shape of cut surface A cross section of a test piece cut out by a wet cutting machine was observed with an optical microscope (× 10) and evaluated according to the following criteria.
○: No peeling at the center of the glass ×: Peeling at the center of the glass
表2から明らかなように、本発明の実施例1〜4は樹脂組成物層の厚さdと、30℃〜100℃の温度範囲における平均の熱膨張係数σとの積を限定された条件の下に積層成形することにより、切断面から割れることがない配線板を製造することが可能となった。さらに、無機充填材を加えることで、高弾性な積層板を得ることが出来た。 As is apparent from Table 2, Examples 1 to 4 of the present invention are conditions in which the product of the thickness d of the resin composition layer and the average thermal expansion coefficient σ in the temperature range of 30 ° C. to 100 ° C. is limited. By laminating underneath, a wiring board that does not break from the cut surface can be produced. Furthermore, the highly elastic laminated board was able to be obtained by adding an inorganic filler.
以上の結果から、本発明によれば、高破壊靱性を有する高弾性な積層板を提供することが出来る。 From the above results, according to the present invention, a highly elastic laminate having high fracture toughness can be provided.
Claims (13)
前記樹脂組成物層が、熱硬化性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物からなり、硬化後の樹脂組成物層の平均の厚さdと、30〜100℃における熱膨張係数の平均値σとの積d・σが、1000μm・ppm・℃−1以下である積層体。 A laminate including one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers,
The resin composition layer is made of a resin composition containing a thermosetting resin and an inorganic filler, and an average thickness d of the cured resin composition layer and an average value σ of a thermal expansion coefficient at 30 to 100 ° C. The product d · σ is 1000 μm · ppm · ° C. −1 or less.
前記樹脂組成物層が、熱硬化性樹脂及び繊維基材を含む樹脂組成物からなり、硬化後の樹脂組成物層の平均の厚さdと、30〜100℃における熱膨張係数の平均値σとの積d・σが、1000μm・ppm・℃−1以下である積層体。 A laminate including one or more resin composition layers and one or more glass substrate layers,
The resin composition layer is made of a resin composition including a thermosetting resin and a fiber base material, and an average thickness d of the cured resin composition layer and an average value σ of a thermal expansion coefficient at 30 to 100 ° C. The product d · σ is 1000 μm · ppm · ° C. −1 or less.
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