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JP2018018934A - Printed wiring board and manufacturing method of the same - Google Patents

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JP2018018934A
JP2018018934A JP2016147525A JP2016147525A JP2018018934A JP 2018018934 A JP2018018934 A JP 2018018934A JP 2016147525 A JP2016147525 A JP 2016147525A JP 2016147525 A JP2016147525 A JP 2016147525A JP 2018018934 A JP2018018934 A JP 2018018934A
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insulating resin
resin layer
printed wiring
layer
wiring board
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JP2016147525A
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Japanese (ja)
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普崇 谷口
Hirotaka Taniguchi
普崇 谷口
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board which can be manufactured more simply than in the conventional art, and a manufacturing method of the same.SOLUTION: A printed wiring board 10 of the present invention comprises: a base substrate part 21; a first insulation resin layer 23 laminated on a first surface 21F of the base substrate part 21; a first conductor layer 24 laminated on the first insulation resin layer 23; a second insulation resin layer 33 laminated on a second surface 21S of the base substrate part 21; and a second conductor layer 34 laminated on the second insulation resin layer 33. The first insulation resin layer 23 is composed of a resin material more excellent in high frequency properties than the second insulation resin layer 33. The printed wiring board 10 further comprises a high-frequency substrate part 27 including a conductor layer 16 arranged on the outermost side of the base substrate part 21 on the first surface 21F side, the first insulation resin layer 23, and the first conductor layer 24.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、高周波特性に優れる絶縁樹脂層を有するプリント配線板及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a printed wiring board having an insulating resin layer excellent in high frequency characteristics and a method for manufacturing the same.

従来、この種のプリント配線板として、一部の絶縁層が低誘電率樹脂材料で構成されているものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このようなプリント配線板は、導体層と絶縁樹脂層が交互に積層されてなるベース基板の上に、ベース基板の絶縁樹脂層よりも低誘電率の絶縁樹脂層を有する高周波基板を接着することで製造されていた。   Conventionally, as this type of printed wiring board, one in which a part of the insulating layer is made of a low dielectric constant resin material is known (for example, see Patent Document 1). In such a printed wiring board, a high-frequency substrate having an insulating resin layer having a dielectric constant lower than that of the insulating resin layer of the base substrate is bonded onto a base substrate in which conductor layers and insulating resin layers are alternately laminated. It was manufactured with.

特開2016−40797号公報(段落[0012]、[0029]、図5)JP 2006-40797 A (paragraphs [0012] and [0029], FIG. 5)

しかしながら、上述した従来のプリント配線板の製造方法では、ベース基板とは別に、高周波基板を準備する必要があるため、製造に手間がかかるという問題が考えられる。   However, in the conventional method for manufacturing a printed wiring board described above, it is necessary to prepare a high-frequency substrate separately from the base substrate.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、従来よりも簡易に製造することが可能なプリント配線板及びその製造方法の提供を目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a printed wiring board that can be manufactured more easily than before and a manufacturing method thereof.

上記目的を達成するためになされた本発明のプリント配線板は、導体層と絶縁樹脂層とが交互に積層されてなるベース基板部と、前記ベース基板部の表裏の一方側の面である第1面上に積層される第1絶縁樹脂層と、前記第1絶縁樹脂層上に積層される第1導体層と、前記ベース基板部の表裏の他方側の面である第2面上に積層される第2絶縁樹脂層と、前記第2絶縁樹脂層上に積層される第2導体層と、を有し、前記第1絶縁樹脂層は、前記第2絶縁樹脂層よりも高周波特性に優れる樹脂材料で構成され、前記ベース基板部のうち前記第1面側で最も外側に配置される前記導体層と、前記第1絶縁樹脂層と、前記第1導体層と、を含んでなる高周波基板部をさらに有している。   The printed wiring board of the present invention made to achieve the above object includes a base substrate portion in which conductor layers and insulating resin layers are alternately laminated, and a surface on one side of the front and back sides of the base substrate portion. A first insulating resin layer stacked on one surface, a first conductor layer stacked on the first insulating resin layer, and a second surface that is the other surface on the other side of the base substrate portion A second insulating resin layer, and a second conductor layer laminated on the second insulating resin layer, wherein the first insulating resin layer has better high frequency characteristics than the second insulating resin layer. A high-frequency substrate made of a resin material and including the conductor layer disposed on the outermost side on the first surface side of the base substrate portion, the first insulating resin layer, and the first conductor layer It further has a part.

また、上記目的を達成するためになされた本発明のプリント配線板の製造方法は、導体層と絶縁樹脂層とが交互に積層されてなるベース基板部を形成することと、前記ベース基板部の表裏の一方側の面である第1面上に第1絶縁樹脂層を積層することと、前記第1絶縁樹脂層上に第1導体層を形成することと、前記ベース基板部の表裏の他方側の面である第2面上に第2絶縁樹脂層を積層することと、前記第2絶縁樹脂層上に第2導体層を形成することと、を含むプリント配線板の製造方法であって、前記第1絶縁樹脂層の積層は、前記第2絶縁樹脂層の積層と同じ工程で行われ、前記第1絶縁樹脂層として前記第2絶縁樹脂層よりも高周波特性に優れる絶縁樹脂層を用いて、前記ベース基板部のうち前記第1面側で最も外側に配置される前記導体層と、前記第1絶縁樹脂層と、前記第1導体層と、を含んでなる高周波基板部を形成する。   Further, the printed wiring board manufacturing method of the present invention made to achieve the above object includes forming a base substrate portion in which conductor layers and insulating resin layers are alternately stacked, and forming the base substrate portion. Laminating a first insulating resin layer on a first surface which is one surface of the front and back sides, forming a first conductor layer on the first insulating resin layer, and the other of the front and back sides of the base substrate portion A method for producing a printed wiring board, comprising: laminating a second insulating resin layer on a second surface that is a side surface; and forming a second conductor layer on the second insulating resin layer. The first insulating resin layer is laminated in the same process as the second insulating resin layer, and an insulating resin layer having higher frequency characteristics than the second insulating resin layer is used as the first insulating resin layer. Before the outermost substrate substrate portion is disposed on the first surface side. Forming a conductive layer, said first insulating resin layer, wherein a first conductor layer, a high-frequency substrate portion comprising.

プリント配線板の断面図Cross section of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board プリント配線板の製造工程を示す断面図Sectional view showing manufacturing process of printed wiring board

以下、本実施形態を図1〜図15に基づいて説明する。図1に示されるように、本実施形態のプリント配線板10は、第1面21Fと第2面21Sとを表裏に有するベース基板部21の第1面21Fに第1絶縁樹脂層23と第1導体層24が積層され、第2面21Sに第2絶縁樹脂層33と第2導体層34が積層された構造になっている。なお、プリント配線板10では、ベース基板部21の第1面21F側に積層される導体層(即ち、第1導体層24)が1つで、第2面21S側に積層される導体層(即ち、第2導体層34)も1つとなっている。即ち、プリント配線板10では、ベース基板部21の表側と裏側に積層される導体層の数が同じになっている。   Hereinafter, the present embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the printed wiring board 10 of the present embodiment includes a first insulating resin layer 23 and a first insulating layer 23 on the first surface 21F of the base substrate portion 21 having a first surface 21F and a second surface 21S on the front and back. One conductor layer 24 is laminated, and the second insulating resin layer 33 and the second conductor layer 34 are laminated on the second surface 21S. In the printed wiring board 10, there is one conductor layer (that is, the first conductor layer 24) laminated on the first surface 21F side of the base substrate portion 21, and the conductor layer (on the second surface 21S side) ( That is, the second conductor layer 34) is also one. That is, in the printed wiring board 10, the number of conductor layers laminated on the front side and the back side of the base substrate portion 21 is the same.

ベース基板部21は、コア基板11の表側と裏側とに、層間絶縁樹脂層15と導体層16が積層されてなる。コア基板11は、絶縁性基材11Kの表側と裏側とに導体層12が積層されてなる。表側の導体層12と裏側の導体層12とは、絶縁性基材11Kを貫通するビア導体13によって接続されている。なお、絶縁性基材11Kは、ガラス繊維等の芯材に無機フィラーを含有する樹脂を含浸させたプリプレグで構成されている。   The base substrate portion 21 is formed by laminating an interlayer insulating resin layer 15 and a conductor layer 16 on the front side and the back side of the core substrate 11. The core substrate 11 is formed by laminating a conductor layer 12 on the front side and the back side of the insulating base material 11K. The conductor layer 12 on the front side and the conductor layer 12 on the back side are connected by a via conductor 13 that penetrates the insulating base material 11K. The insulating base material 11K is composed of a prepreg in which a core material such as glass fiber is impregnated with a resin containing an inorganic filler.

層間絶縁樹脂層15と導体層16は、コア基板11の表側と裏側のそれぞれに複数ずつ設けられている。ベース基板部21の厚み方向で層間絶縁樹脂層15を挟む導体層16同士は、層間絶縁樹脂層15を貫通するビア導体17によって接続されている。また、コア基板11に最も近い導体層16は、コア基板11上の層間絶縁樹脂層15を貫通するビア導体17によってコア基板11の導体層12に接続されている。層間絶縁樹脂層15は、絶縁性基材11Kと同様のプリプレグで構成されてもよいし、芯材を含まず且つ無機フィラーを含有する樹脂フィルムで構成されてもよい。なお、本実施形態では、絶縁性基材11Kと層間絶縁樹脂層15が本発明の「絶縁樹脂層」に相当する。   A plurality of interlayer insulating resin layers 15 and conductor layers 16 are provided on each of the front side and the back side of the core substrate 11. The conductor layers 16 sandwiching the interlayer insulating resin layer 15 in the thickness direction of the base substrate portion 21 are connected by via conductors 17 penetrating the interlayer insulating resin layer 15. The conductor layer 16 closest to the core substrate 11 is connected to the conductor layer 12 of the core substrate 11 by a via conductor 17 that penetrates the interlayer insulating resin layer 15 on the core substrate 11. The interlayer insulating resin layer 15 may be composed of a prepreg similar to that of the insulating base material 11K, or may be composed of a resin film that does not include a core and contains an inorganic filler. In the present embodiment, the insulating substrate 11K and the interlayer insulating resin layer 15 correspond to the “insulating resin layer” of the present invention.

第1絶縁樹脂層23は、ベース基板部21の第1面21F上に形成され、第1導体層24は、第1絶縁樹脂層23上に形成されている。第1導体層24は、第1絶縁樹脂層23を貫通するビア導体25によって、ベース基板部21の第1面21F上に露出する導体層16に接続されている。   The first insulating resin layer 23 is formed on the first surface 21 </ b> F of the base substrate portion 21, and the first conductor layer 24 is formed on the first insulating resin layer 23. The first conductor layer 24 is connected to the conductor layer 16 exposed on the first surface 21 </ b> F of the base substrate portion 21 by a via conductor 25 that penetrates the first insulating resin layer 23.

第2絶縁樹脂層33は、ベース基板部21の第2面21S上に形成され、第2導体層34は、第2絶縁樹脂層33上に形成されている。第2導体層34は、第2絶縁樹脂層33を貫通するビア導体35によって、ベース基板部21の第2面21S上に露出する導体層16に接続されている。   The second insulating resin layer 33 is formed on the second surface 21 </ b> S of the base substrate portion 21, and the second conductor layer 34 is formed on the second insulating resin layer 33. The second conductor layer 34 is connected to the conductor layer 16 exposed on the second surface 21 </ b> S of the base substrate portion 21 by a via conductor 35 that penetrates the second insulating resin layer 33.

第1絶縁樹脂層23の厚みは、第2絶縁樹脂層33の厚みより大きくなっている。第2絶縁樹脂層33の厚みは、ベース基板部21の層間絶縁樹脂層15の厚みと略同じになっている。本実施形態の例では、第1絶縁樹脂層23の厚みは、100〜200μmとなっていて、第2絶縁樹脂層33と層間絶縁樹脂層15の厚みは、40〜100μmとなっている。第1導体層24、第2導体層34及びベース基板部21の導体層16の各厚みは、15〜35μmとなっている。なお、コア基板11の絶縁性基材11Kの厚みは、40〜600μmであり、好ましくは、40〜100μmである。   The thickness of the first insulating resin layer 23 is larger than the thickness of the second insulating resin layer 33. The thickness of the second insulating resin layer 33 is substantially the same as the thickness of the interlayer insulating resin layer 15 of the base substrate portion 21. In the example of the present embodiment, the thickness of the first insulating resin layer 23 is 100 to 200 μm, and the thickness of the second insulating resin layer 33 and the interlayer insulating resin layer 15 is 40 to 100 μm. Each thickness of the 1st conductor layer 24, the 2nd conductor layer 34, and the conductor layer 16 of the base substrate part 21 is 15-35 micrometers. In addition, the thickness of the insulating base material 11K of the core board | substrate 11 is 40-600 micrometers, Preferably, it is 40-100 micrometers.

第1絶縁樹脂層23は、第2絶縁樹脂層33よりも高周波特性に優れる材料で構成され、第1絶縁樹脂層23の誘電正接は、第2絶縁樹脂層33の誘電正接よりも小さくなっている。具体的には、第1絶縁樹脂層23の誘電正接は、0.001〜0.005となっていて、第2絶縁樹脂層33の誘電正接は、例えば、0.012となっている。なお、第1絶縁樹脂層23を構成する材料としては、液晶ポリマーやPTFE等の低誘電率樹脂材料が挙げられる。第2絶縁樹脂層33は、ベース基板部21の層間絶縁樹脂層15と同じ材料で構成されている。なお、第1絶縁樹脂層23の比誘電率は、3.0〜3.5であり、第2絶縁樹脂層33の比誘電率は、例えば、4.1である。   The first insulating resin layer 23 is made of a material having higher frequency characteristics than the second insulating resin layer 33, and the dielectric tangent of the first insulating resin layer 23 is smaller than the dielectric tangent of the second insulating resin layer 33. Yes. Specifically, the dielectric tangent of the first insulating resin layer 23 is 0.001 to 0.005, and the dielectric tangent of the second insulating resin layer 33 is, for example, 0.012. In addition, as a material which comprises the 1st insulating resin layer 23, low dielectric constant resin materials, such as a liquid crystal polymer and PTFE, are mentioned. The second insulating resin layer 33 is made of the same material as the interlayer insulating resin layer 15 of the base substrate portion 21. The relative dielectric constant of the first insulating resin layer 23 is 3.0 to 3.5, and the relative dielectric constant of the second insulating resin layer 33 is 4.1, for example.

図1に示すように、プリント配線板10は、ベース基板部21の第1面21F側に、高周波用の配線パターンを有する高周波基板部27を有している。高周波基板部27は、ベース基板部21のうち第1面21F側で最も外側に配置される導体層16A(以下、「最外の導体層16A」という。)と、第1絶縁樹脂層23と、第1導体層24と、を含んでなる。高周波基板部27において、最外の導体層16Aと第1導体層24とは、マイクロストリップライン26を形成する。最外の導体層16Aは、マイクロストリップライン26のグランド層を構成し、第1導体層24は、マイクロストリップライン26の配線パターンを構成する。   As shown in FIG. 1, the printed wiring board 10 has a high-frequency substrate portion 27 having a high-frequency wiring pattern on the first surface 21 </ b> F side of the base substrate portion 21. The high-frequency substrate unit 27 includes a conductor layer 16A (hereinafter referred to as “outermost conductor layer 16A”) disposed on the outermost side of the base substrate unit 21 on the first surface 21F side, a first insulating resin layer 23, and the like. And the first conductor layer 24. In the high-frequency substrate unit 27, the outermost conductor layer 16A and the first conductor layer 24 form a microstrip line 26. The outermost conductor layer 16 </ b> A constitutes the ground layer of the microstrip line 26, and the first conductor layer 24 constitutes the wiring pattern of the microstrip line 26.

プリント配線板10は、ベース基板部21の第2面11S側にのみソルダーレジスト層37を有している。ソルダーレジスト層37は、第2導体層34上に積層されている。ソルダーレジスト層37には、開口37Aが形成されている。そして、開口37Aの内側に配置される第2導体層34によってパッド38が形成されている。   The printed wiring board 10 has a solder resist layer 37 only on the second surface 11S side of the base substrate portion 21. The solder resist layer 37 is laminated on the second conductor layer 34. An opening 37 </ b> A is formed in the solder resist layer 37. A pad 38 is formed by the second conductor layer 34 disposed inside the opening 37A.

本実施形態の配線板10は、以下のようにして製造される。
(1)図2(A)に示すように、絶縁性基材11Kの表裏の両面に、銅箔11Cがラミネートされている銅張積層板11Zが用意される。
The wiring board 10 of this embodiment is manufactured as follows.
(1) As shown to FIG. 2 (A), the copper clad laminated board 11Z by which the copper foil 11C is laminated on the both surfaces of the front and back of the insulating base material 11K is prepared.

(2)図2(B)に示すように、銅張積層板11Zの表裏の一方側から、例えば、CO2レーザーが照射されてテーパー孔13Aが穿孔される。テーパー孔13Aは、銅張積層板11Zの表裏の他方側の銅箔11Cを底とする非貫通孔である。   (2) As shown in FIG. 2 (B), for example, CO2 laser is irradiated from one side of the front and back of the copper-clad laminate 11Z to drill the tapered hole 13A. The taper hole 13A is a non-through hole whose bottom is the copper foil 11C on the other side of the front and back sides of the copper-clad laminate 11Z.

(3)図2(C)に示すように、無電解めっき処理が行われ、銅箔11C上とテーパー孔13Aの内面に無電解めっき膜41が形成される。   (3) As shown in FIG. 2C, an electroless plating process is performed, and an electroless plating film 41 is formed on the copper foil 11C and the inner surface of the tapered hole 13A.

(4)図3(A)に示すように、無電解めっき膜41上に、所定パターンのめっきレジスト42が形成される。   (4) As shown in FIG. 3A, a plating resist 42 having a predetermined pattern is formed on the electroless plating film 41.

(5)電解めっき処理が行われ、図3(B)に示すように、電解めっきがテーパー孔13A内に充填されてビア導体13が形成されると共に、銅箔11C上の無電解めっき膜41のうちめっきレジスト42から露出している部分に電解めっき膜43が形成される。   (5) The electrolytic plating process is performed, and as shown in FIG. 3B, the electroplating is filled in the tapered hole 13A to form the via conductor 13, and the electroless plating film 41 on the copper foil 11C. An electrolytic plating film 43 is formed on the portion exposed from the plating resist 42.

(6)めっきレジスト42が剥離されると共に、めっきレジスト42の下方の無電解めっき膜41及び銅箔11Cが除去され、図3(C)に示すように、残された電解めっき膜43、無電解めっき膜41及び銅箔11Cにより、絶縁性基材11Kの表裏の両面に導体層12が形成される。そして、表側の導体層12と裏側の導体層12とがビア導体13によって接続される。これにより、コア基板11が得られる。   (6) The plating resist 42 is peeled off and the electroless plating film 41 and the copper foil 11C below the plating resist 42 are removed. As shown in FIG. The conductor layer 12 is formed on both the front and back surfaces of the insulating base material 11K by the electrolytic plating film 41 and the copper foil 11C. The front-side conductor layer 12 and the back-side conductor layer 12 are connected by a via conductor 13. Thereby, the core substrate 11 is obtained.

(7)図4(A)に示すように、コア基板11の導体層12に、層間絶縁樹脂層15としてプリプレグが積層されると共に、銅箔44が積層されてから、加熱プレスされる。その際、導体層12,12同士の間がプリプレグにて埋められる。   (7) As shown in FIG. 4 (A), a prepreg is laminated as the interlayer insulating resin layer 15 on the conductor layer 12 of the core substrate 11 and a copper foil 44 is laminated, followed by heat pressing. At that time, the space between the conductor layers 12 is filled with the prepreg.

(8)図4(B)に示すように、コア基板11の表裏の両側から層間絶縁樹脂層15にレーザーが照射されて、ビアホール17Aが形成される。   (8) As shown in FIG. 4B, the interlayer insulating resin layer 15 is irradiated with laser from both the front and back sides of the core substrate 11 to form via holes 17A.

(9)無電解めっき処理が行われ、層間絶縁樹脂層15の上とビアホール17Aの内面とに無電解めっき膜45が形成される(図5(A)参照)。   (9) An electroless plating process is performed, and an electroless plating film 45 is formed on the interlayer insulating resin layer 15 and on the inner surface of the via hole 17A (see FIG. 5A).

(10)図5(B)に示すように、無電解めっき膜45上に、所定パターンのめっきレジスト46が形成される。   (10) As shown in FIG. 5B, a predetermined pattern of plating resist 46 is formed on the electroless plating film 45.

(11)電解めっき処理が行われ、図6(A)に示すように、電解めっきがビアホール17A内に充填されてビア導体17が形成され、無電解めっき膜45のうちめっきレジスト46から露出している部分に電解めっき膜47が形成される。   (11) An electrolytic plating process is performed, and as shown in FIG. 6A, electrolytic plating is filled in the via hole 17A to form the via conductor 17, and the electroless plating film 45 is exposed from the plating resist 46. An electrolytic plating film 47 is formed on the part.

(12)図6(B)に示すように、めっきレジスト46が剥離されると共に、めっきレジスト46の下方の無電解めっき膜45及び銅箔44が除去され、残された電解めっき膜47、無電解めっき膜45及び銅箔44により、層間絶縁樹脂層15上に導体層16が形成される。そして、導体層12と導体層16とがビア導体17によって接続される。   (12) As shown in FIG. 6B, the plating resist 46 is peeled off, the electroless plating film 45 and the copper foil 44 below the plating resist 46 are removed, and the remaining electrolytic plating film 47, no The conductor layer 16 is formed on the interlayer insulating resin layer 15 by the electrolytic plating film 45 and the copper foil 44. The conductor layer 12 and the conductor layer 16 are connected by the via conductor 17.

なお、層間絶縁樹脂層15として、プリプレグの代わりに、芯材を含まず且つ無機フィラーを含有する樹脂フィルムを用いてもよい。その場合は、銅箔44を積層することなく、樹脂フィルムの表面に、直接、セミアディティブ法で導体層16を形成することができる。   In addition, as the interlayer insulation resin layer 15, you may use the resin film which does not contain a core material and contains an inorganic filler instead of a prepreg. In that case, the conductor layer 16 can be directly formed on the surface of the resin film by the semi-additive method without laminating the copper foil 44.

(13)上記した(7)〜(12)と同様の処理が繰り返されて、図7に示すように、コア基板11の表裏の両側に複数の層間絶縁樹脂層15と複数の導体層16が交互に積層される。これにより、プリント配線板10におけるベース基板部21が形成される。なお、層間絶縁樹脂層15を挟む導体層16,16同士は、層間絶縁樹脂層15を貫通するビア導体17によって接続される。   (13) The same processing as (7) to (12) described above is repeated, and as shown in FIG. 7, a plurality of interlayer insulating resin layers 15 and a plurality of conductor layers 16 are formed on both sides of the front and back of the core substrate 11. Alternatingly stacked. Thereby, the base substrate part 21 in the printed wiring board 10 is formed. The conductor layers 16, 16 sandwiching the interlayer insulating resin layer 15 are connected by via conductors 17 that penetrate the interlayer insulating resin layer 15.

(14)図8に示すように、ベース基板部21の第1面21F側に、第1絶縁樹脂層23としての低誘電率材料のシートと、銅箔50とが順番に重ねられると共に、ベース基板部21の第2面21S側に、第2絶縁樹脂層33としてのプリプレグと、銅箔50とが順番に重ねられる。なお、ベース基板部21、第1絶縁樹脂層23、第2絶縁樹脂層33及び銅箔50の水平方向の位置は、ベース基板部21、第1絶縁樹脂層23、第2絶縁樹脂層33及び銅箔50に予め形成されたアライメントマークを基準にして決定される。   (14) As shown in FIG. 8, a sheet of low dielectric constant material as the first insulating resin layer 23 and the copper foil 50 are sequentially stacked on the first surface 21 </ b> F side of the base substrate portion 21, and the base A prepreg as the second insulating resin layer 33 and the copper foil 50 are sequentially stacked on the second surface 21S side of the substrate unit 21. The horizontal positions of the base substrate portion 21, the first insulating resin layer 23, the second insulating resin layer 33, and the copper foil 50 are as follows: the base substrate portion 21, the first insulating resin layer 23, the second insulating resin layer 33, and It is determined with reference to an alignment mark formed in advance on the copper foil 50.

(15)熱プレスが行われ、ベース基板部21の第1面21F上に、第1絶縁樹脂層23と銅箔50が順番に積層されると共に、ベース基板部21の第2面21S上に、第2絶縁樹脂性層33と銅箔50が順番に積層される(図9参照)。なお、このとき、ベース基板部21の第1面21Fで露出する導体層16,16同士の間が、第1絶縁樹脂層23を構成する低誘電率材料で埋められると共に、ベース基板部21の第2面21Sで露出する導体層16,16同士の間が、第2絶縁樹脂層33を構成するプリプレグにて埋められる。   (15) Hot pressing is performed, and the first insulating resin layer 23 and the copper foil 50 are sequentially laminated on the first surface 21F of the base substrate portion 21, and on the second surface 21S of the base substrate portion 21. The second insulating resinous layer 33 and the copper foil 50 are laminated in order (see FIG. 9). At this time, the space between the conductor layers 16 and 16 exposed on the first surface 21F of the base substrate portion 21 is filled with the low dielectric constant material constituting the first insulating resin layer 23, and the base substrate portion 21 A space between the conductor layers 16 exposed on the second surface 21 </ b> S is filled with a prepreg constituting the second insulating resin layer 33.

(16)図10に示すように、ベース基板部21の第1面21F側からレーザーが照射されて、第1絶縁樹脂層23と銅箔50を貫通するビアホール25Aが形成されると共に、ベース基板部21の第2面21S側からレーザーが照射され、第2絶縁樹脂層33と銅箔50を貫通するビアホール35Aが形成される。   (16) As shown in FIG. 10, a laser is irradiated from the first surface 21F side of the base substrate portion 21 to form a via hole 25A penetrating the first insulating resin layer 23 and the copper foil 50, and the base substrate Laser is irradiated from the second surface 21 </ b> S side of the portion 21, and a via hole 35 </ b> A that penetrates the second insulating resin layer 33 and the copper foil 50 is formed.

(17)無電解めっき処理が行われ、図11に示すように、ベース基板部21の第1面21F側で、銅箔50の上とビアホール25Aの内面とに無電解めっき膜51が形成されると共に、ベース基板部21の第2面21S側で、銅箔50の上とビアホール35Aの内面とに無電解めっき膜51が形成される。   (17) An electroless plating process is performed, and as shown in FIG. 11, an electroless plating film 51 is formed on the copper foil 50 and the inner surface of the via hole 25A on the first surface 21F side of the base substrate portion 21. At the same time, an electroless plating film 51 is formed on the copper foil 50 and the inner surface of the via hole 35A on the second surface 21S side of the base substrate portion 21.

(18)図12に示すように、無電解めっき膜51上に、所定パターンのめっきレジスト52が形成される。   (18) As shown in FIG. 12, a predetermined pattern of plating resist 52 is formed on the electroless plating film 51.

(19)電解めっき処理が行われ、図13に示すように、ベース基板部21の第1面21F側において、電解めっきがビアホール25A内に充填されてビア導体25が形成され、無電解めっき膜51のうちめっきレジスト52から露出している部分に電解めっき膜53が形成されると共に、ベース基板部21の第2面21S側において、電解めっきがビアホール35A内に充填されてビア導体35が形成され、無電解めっき膜51のうちめっきレジスト52から露出している部分に電解めっき膜53が形成される。   (19) An electrolytic plating process is performed, and as shown in FIG. 13, on the first surface 21F side of the base substrate portion 21, the electroplating is filled in the via hole 25A to form the via conductor 25, and the electroless plating film 51, an electrolytic plating film 53 is formed on a portion exposed from the plating resist 52, and on the second surface 21S side of the base substrate portion 21, electrolytic plating is filled in the via hole 35A to form a via conductor 35. Then, an electrolytic plating film 53 is formed on the portion of the electroless plating film 51 exposed from the plating resist 52.

(20)めっきレジスト52が剥離されると共に、めっきレジスト52の下方の無電解めっき膜51及び銅箔50が除去され、図14に示すように、残された電解めっき膜53、無電解めっき膜51及び銅箔50により、第1絶縁樹脂層23上に第1導体層24が形成されると共に、第2絶縁樹脂層33上に第2導体層34が形成される。また、ベース基板部21の導体層16のうち第1面21F側で最も外側に配置される最外の導体層16Aと第1導体層24とでマイクロストリップライン26が形成されると共に、最外の導体層16A、第1絶縁樹脂層23及び第1導体層24により高周波基板部27が形成される。   (20) The plating resist 52 is peeled off, and the electroless plating film 51 and the copper foil 50 below the plating resist 52 are removed. As shown in FIG. 14, the remaining electrolytic plating film 53 and electroless plating film 51 and the copper foil 50 form the first conductor layer 24 on the first insulating resin layer 23 and the second conductor layer 34 on the second insulating resin layer 33. A microstrip line 26 is formed by the outermost conductor layer 16A and the first conductor layer 24 arranged on the outermost side on the first surface 21F side of the conductor layer 16 of the base substrate portion 21, and the outermost conductor layer 16 is formed. The high frequency substrate portion 27 is formed by the conductor layer 16 </ b> A, the first insulating resin layer 23, and the first conductor layer 24.

(21)図15に示すように、第2導体層34上にソルダーレジスト層37が積層される。次いで、フォトリソグラフィによってソルダーレジスト層37に開口37Aが形成され、第2導体層34にパッド38が形成される。以上により、図1に示したプリント配線板10が完成する。   (21) As shown in FIG. 15, a solder resist layer 37 is laminated on the second conductor layer 34. Next, an opening 37 A is formed in the solder resist layer 37 by photolithography, and a pad 38 is formed in the second conductor layer 34. Thus, the printed wiring board 10 shown in FIG. 1 is completed.

本実施形態のプリント配線板10の製造方法に関する説明は以上である。次に、プリント配線板10及びその製造方法の作用効果について説明する。   The description regarding the manufacturing method of the printed wiring board 10 of this embodiment is above. Next, the effect of the printed wiring board 10 and the manufacturing method thereof will be described.

本実施形態のプリント配線板10は、ベース基板部21のうち第1面21F側で最も外側に配置される最外の導体層16Aと、第1絶縁樹脂層23と、第1導体層24とによってベース基板部21よりも高周波特性に優れる高周波基板部27が形成されている。高周波基板部27を有するプリント配線板10は、ベース基板部21の第1面21F上に第1絶縁樹脂層23を積層すると共に、第2面21S上に第2絶縁樹脂層33を積層し、その後、第1絶縁樹脂層23上に第1導体層24を形成し、第2絶縁樹脂層33上に第2導体層34を形成することで得られる。このようなプリント配線板10の製造方法では、ベース基板部21の第1面21F上に第1絶縁樹脂層23と第1導体層24をビルドアップすることで高周波基板部27が形成されるので、ベース基板と高周波基板を別々に準備し、それらベース基板と高周波基板を接着してプリント配線板10を製造する場合と比較して、プリント配線板10を簡易に製造することが可能となる。   The printed wiring board 10 of the present embodiment includes an outermost conductor layer 16A, a first insulating resin layer 23, a first conductor layer 24, and the outermost conductor layer 16A that are disposed on the first surface 21F side of the base substrate portion 21. As a result, a high frequency substrate portion 27 having a higher frequency characteristic than that of the base substrate portion 21 is formed. The printed wiring board 10 having the high-frequency board portion 27 has the first insulating resin layer 23 laminated on the first surface 21F of the base substrate portion 21, and the second insulating resin layer 33 laminated on the second surface 21S. Thereafter, the first conductor layer 24 is formed on the first insulating resin layer 23, and the second conductor layer 34 is formed on the second insulating resin layer 33. In such a method of manufacturing the printed wiring board 10, the high-frequency substrate portion 27 is formed by building up the first insulating resin layer 23 and the first conductor layer 24 on the first surface 21 </ b> F of the base substrate portion 21. As compared with the case where the printed circuit board 10 is manufactured by separately preparing the base board and the high frequency board and bonding the base board and the high frequency board, the printed wiring board 10 can be easily manufactured.

また、本実施形態のプリント配線板10では、ベース基板部21の第1面21F側に積層される導体層の数(即ち、第1導体層24の数)と、第2面21S側に積層される導体層の数(即ち、第2導体層34の数)とが、同じになっているので、厚み方向でプリント配線板10の対称性を向上させることが可能となる。   In the printed wiring board 10 of the present embodiment, the number of conductor layers laminated on the first surface 21F side of the base substrate portion 21 (that is, the number of first conductor layers 24) and the layer laminated on the second surface 21S side. Since the number of conductor layers to be formed (that is, the number of second conductor layers 34) is the same, the symmetry of the printed wiring board 10 can be improved in the thickness direction.

また、本実施形態では、例えば、高周波基板部27がアンテナ基板でベース基板部21がデジタル信号処理基板というように、ベース基板部21と高周波基板部27とに、別々の機能を備えることが可能となる。なお、この場合において、第1絶縁樹脂層23の誘電正接は、ベース基板部21の絶縁性基材11K及び層間絶縁樹脂層15の誘電正接より小さく、且つ、0,001〜0.005となっていることが好ましい。また、第1絶縁樹脂層23の厚みは、絶縁性基材11K、層間絶縁樹脂層15及び第2絶縁樹脂層33の何れの厚みよりも大きいことが好ましい。   In the present embodiment, for example, the base substrate unit 21 and the high frequency substrate unit 27 can have different functions such that the high frequency substrate unit 27 is an antenna substrate and the base substrate unit 21 is a digital signal processing substrate. It becomes. In this case, the dielectric loss tangent of the first insulating resin layer 23 is smaller than the dielectric loss tangent of the insulating base material 11K and the interlayer insulating resin layer 15 of the base substrate portion 21, and is 0.001 to 0.005. It is preferable. The thickness of the first insulating resin layer 23 is preferably larger than any thickness of the insulating base material 11K, the interlayer insulating resin layer 15 and the second insulating resin layer 33.

[他の実施形態]
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
[Other Embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the embodiments described below are also included in the technical scope of the present invention, and various modifications are possible within the scope of the invention other than the following. It can be changed and implemented.

(1)上記実施形態において、第1絶縁樹脂層23の誘電正接が十分に低ければ、第1絶縁樹脂層23の厚みは、層間絶縁樹脂層15の厚みと略同じであってもよい。   (1) In the above embodiment, as long as the dielectric tangent of the first insulating resin layer 23 is sufficiently low, the thickness of the first insulating resin layer 23 may be substantially the same as the thickness of the interlayer insulating resin layer 15.

(2)上記実施形態では、第2絶縁樹脂層33の厚みが層間絶縁樹脂層15の厚みと略同じであったが、異なっていてもよい。   (2) Although the thickness of the second insulating resin layer 33 is substantially the same as the thickness of the interlayer insulating resin layer 15 in the above embodiment, it may be different.

(3)上記実施形態において、絶縁性基材11Kの厚みは、層間絶縁樹脂層15の厚みと同じであっても異なっていても何れでもよい。なお、絶縁性基材11Kの厚みが大きい場合には、絶縁性基材11Kを貫通するスルーホール導体によって導体層12,12同士が接続されてもよい。   (3) In the above embodiment, the thickness of the insulating substrate 11K may be the same as or different from the thickness of the interlayer insulating resin layer 15. In addition, when the thickness of the insulating base material 11K is large, the conductor layers 12 and 12 may be connected by a through-hole conductor that penetrates the insulating base material 11K.

10 プリント配線板
11K 絶縁性基材(絶縁樹脂層)
12 導体層
15 層間絶縁樹脂層(絶縁樹脂層)
16 導体層
21 ベース基板部
23 第1絶縁樹脂層
24 第1導体層
27 高周波基板部
33 第2絶縁樹脂層
34 第2導体層
10 Printed wiring board 11K Insulating substrate (insulating resin layer)
12 Conductor layers 15 Interlayer insulating resin layer (insulating resin layer)
16 conductor layer 21 base substrate portion 23 first insulating resin layer 24 first conductor layer 27 high frequency substrate portion 33 second insulating resin layer 34 second conductor layer

Claims (15)

導体層と絶縁樹脂層とが交互に積層されてなるベース基板部と、
前記ベース基板部の表裏の一方側の面である第1面上に積層される第1絶縁樹脂層と、
前記第1絶縁樹脂層上に積層される第1導体層と、
前記ベース基板部の表裏の他方側の面である第2面上に積層される第2絶縁樹脂層と、
前記第2絶縁樹脂層上に積層される第2導体層と、を有し、
前記第1絶縁樹脂層は、前記第2絶縁樹脂層よりも高周波特性に優れる樹脂材料で構成され、
前記ベース基板部のうち前記第1面側で最も外側に配置される前記導体層と、前記第1絶縁樹脂層と、前記第1導体層と、を含んでなる高周波基板部をさらに有するプリント配線板。
A base substrate portion in which conductor layers and insulating resin layers are alternately laminated;
A first insulating resin layer laminated on a first surface which is a surface on one side of the front and back of the base substrate portion;
A first conductor layer laminated on the first insulating resin layer;
A second insulating resin layer laminated on a second surface which is the other side surface of the base substrate portion;
A second conductor layer laminated on the second insulating resin layer,
The first insulating resin layer is made of a resin material that has better high frequency characteristics than the second insulating resin layer,
Printed wiring further comprising a high-frequency substrate portion including the conductor layer disposed on the outermost side on the first surface side of the base substrate portion, the first insulating resin layer, and the first conductor layer. Board.
請求項1に記載のプリント配線板であって、
前記第1絶縁樹脂層の誘電正接は、前記第2絶縁樹脂層の誘電正接より小さく、且つ、0.001〜0.005である。
The printed wiring board according to claim 1,
The dielectric tangent of the first insulating resin layer is smaller than the dielectric tangent of the second insulating resin layer and is 0.001 to 0.005.
請求項1又は2に記載のプリント配線板であって、
前記第1絶縁樹脂層の厚みは、前記第2絶縁樹脂層の厚みより大きい。
The printed wiring board according to claim 1 or 2,
The thickness of the first insulating resin layer is larger than the thickness of the second insulating resin layer.
請求項1乃至3のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板であって、
前記ベース基板部の前記第1面側に積層される導体層の数と、前記ベース基板部の前記第2面側に積層される導体層の数が同じである。
The printed wiring board according to any one of claims 1 to 3,
The number of conductor layers laminated on the first surface side of the base substrate portion is the same as the number of conductor layers laminated on the second surface side of the base substrate portion.
請求項1乃至4のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板であって、
前記第1絶縁樹脂層の誘電正接は、前記ベース基板部に含まれる各絶縁樹脂層の誘電正接より小さい。
The printed wiring board according to any one of claims 1 to 4,
The dielectric tangent of the first insulating resin layer is smaller than the dielectric tangent of each insulating resin layer included in the base substrate portion.
請求項5に記載のプリント配線板であって、
前記第1絶縁樹脂層の厚みは、前記ベース基板部に含まれる各絶縁樹脂層の厚みより大きい。
The printed wiring board according to claim 5,
The thickness of the first insulating resin layer is larger than the thickness of each insulating resin layer included in the base substrate portion.
請求項1乃至6のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板であって、
前記高周波基板部は、前記ベース基板部のうち前記第1面側で最も外側に配置される導体層と前記第1導体層とで形成されるマイクロストリップラインを有する。
The printed wiring board according to any one of claims 1 to 6,
The high-frequency substrate unit has a microstrip line formed by a conductor layer disposed on the outermost side on the first surface side of the base substrate unit and the first conductor layer.
請求項1乃至7のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板であって、
前記第2導体層上には、ソルダーレジスト層が積層され、
前記第1導体層上には、ソルダーレジスト層が積層されていない。
A printed wiring board according to any one of claims 1 to 7,
A solder resist layer is laminated on the second conductor layer,
A solder resist layer is not laminated on the first conductor layer.
導体層と絶縁樹脂層とが交互に積層されてなるベース基板部を形成することと、
前記ベース基板部の表裏の一方側の面である第1面上に第1絶縁樹脂層を積層することと、
前記第1絶縁樹脂層上に第1導体層を形成することと、
前記ベース基板部の表裏の他方側の面である第2面上に第2絶縁樹脂層を積層することと、
前記第2絶縁樹脂層上に第2導体層を形成することと、を含むプリント配線板の製造方法であって、
前記第1絶縁樹脂層の積層は、前記第2絶縁樹脂層の積層と同じ工程で行われ、
前記第1絶縁樹脂層として前記第2絶縁樹脂層よりも高周波特性に優れる絶縁樹脂層を用いて、前記ベース基板部のうち前記第1面側で最も外側に配置される前記導体層と、前記第1絶縁樹脂層と、前記第1導体層と、を含んでなる高周波基板部を形成するプリント配線板の製造方法。
Forming a base substrate portion in which conductor layers and insulating resin layers are alternately laminated;
Laminating a first insulating resin layer on a first surface that is one surface of the front and back sides of the base substrate portion;
Forming a first conductor layer on the first insulating resin layer;
Laminating a second insulating resin layer on the second surface, which is the surface on the other side of the front and back sides of the base substrate portion;
Forming a second conductor layer on the second insulating resin layer, and a printed wiring board manufacturing method comprising:
The lamination of the first insulating resin layer is performed in the same process as the lamination of the second insulating resin layer,
Using the insulating resin layer having higher frequency characteristics than the second insulating resin layer as the first insulating resin layer, the conductor layer disposed on the outermost side on the first surface side of the base substrate portion, A method for manufacturing a printed wiring board, which forms a high-frequency substrate portion comprising a first insulating resin layer and the first conductor layer.
請求項9に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記第1絶縁樹脂層の誘電正接は、前記第2絶縁樹脂層の誘電正接より小さく、且つ、0.001〜0.005である。
It is a manufacturing method of the printed wiring board according to claim 9,
The dielectric tangent of the first insulating resin layer is smaller than the dielectric tangent of the second insulating resin layer and is 0.001 to 0.005.
請求項9又は10に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記第1絶縁樹脂層の厚みは、前記第2絶縁樹脂層の厚みより大きい。
It is a manufacturing method of the printed wiring board according to claim 9 or 10,
The thickness of the first insulating resin layer is larger than the thickness of the second insulating resin layer.
請求項9乃至11のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記第1絶縁樹脂層の誘電正接は、前記ベース基板部に含まれる各絶縁樹脂層の誘電正接より小さい。
A method of manufacturing a printed wiring board according to any one of claims 9 to 11,
The dielectric tangent of the first insulating resin layer is smaller than the dielectric tangent of each insulating resin layer included in the base substrate portion.
請求項12に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記第1絶縁樹脂層の厚みは、前記ベース基板部に含まれる各絶縁樹脂層の厚みより大きい。
It is a manufacturing method of the printed wiring board according to claim 12,
The thickness of the first insulating resin layer is larger than the thickness of each insulating resin layer included in the base substrate portion.
請求項9乃至13のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記高周波基板部を形成するにあたり、前記ベース基板部のうち前記第1面側で最も外側に配置される前記導体層と前記第1導体層とでマイクロストリップラインを形成する。
A method for manufacturing a printed wiring board according to any one of claims 9 to 13,
In forming the high-frequency substrate portion, a microstrip line is formed by the conductor layer and the first conductor layer disposed on the outermost side on the first surface side of the base substrate portion.
請求項9乃至14のうち何れか1の請求項に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記第2導体層上にのみソルダーレジスト層を積層する。
A method of manufacturing a printed wiring board according to any one of claims 9 to 14,
A solder resist layer is laminated only on the second conductor layer.
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