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JP2018018908A - Thermoelectric converter - Google Patents

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JP2018018908A
JP2018018908A JP2016146782A JP2016146782A JP2018018908A JP 2018018908 A JP2018018908 A JP 2018018908A JP 2016146782 A JP2016146782 A JP 2016146782A JP 2016146782 A JP2016146782 A JP 2016146782A JP 2018018908 A JP2018018908 A JP 2018018908A
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lead wire
groove
substrate
thermoelectric converter
electrode
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JP2016146782A
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哲也 西尾
Tetsuya Nishio
哲也 西尾
英治 奥薗
Eiji Okuzono
英治 奥薗
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Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
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Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
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Abstract

【課題】リード線電極に対するリード線の接続を容易且つ確実に行うことが可能な熱電変換器を提供する。【解決手段】熱電変換器1は、基板20と、基板20の上面に形成された電極203群と、下面が電極203群に接合される複数の熱電変換素子30と、複数の熱電変換素子30の上面に接合される電極101群と、を備える。電極203群のうちリード線40a、40bが接続されるリード線電極203a、203bを平面視において囲むように、基板20の下面に溝が形成されている。【選択図】図2PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermoelectric converter capable of easily and surely connecting a lead wire to a lead wire electrode. SOLUTION: A thermoelectric converter 1 includes a substrate 20, a group of electrodes 203 formed on the upper surface of the substrate 20, a plurality of thermoelectric conversion elements 30 whose lower surface is joined to a group of electrodes 203, and a plurality of thermoelectric conversion elements 30. It is provided with a group of electrodes 101 bonded to the upper surface of the above. A groove is formed on the lower surface of the substrate 20 so as to surround the lead wire electrodes 203a and 203b to which the lead wires 40a and 40b are connected in the electrode 203 group in a plan view. [Selection diagram] Fig. 2

Description

本発明は、熱を電力に変換し、あるいは電力を熱に変換する熱電変換器に関する。   The present invention relates to a thermoelectric converter that converts heat into electric power or converts electric power into heat.

従来、対象物を冷却または加熱するために、熱電変換器が用いられている。また、近年、工場などで生じる排熱を電力に変換するために、熱電変換器が用いられている。この種の熱電変換器は、ゼーベック効果、ペルチェ効果またはトムソン効果などの熱電効果を利用したp型熱電変換素子とn型熱電変換素子とを多数組み合わせて構成され得る。   Conventionally, thermoelectric converters are used to cool or heat an object. In recent years, thermoelectric converters are used to convert exhaust heat generated in factories and the like into electric power. This type of thermoelectric converter can be configured by combining a number of p-type thermoelectric conversion elements and n-type thermoelectric conversion elements using thermoelectric effects such as Seebeck effect, Peltier effect, or Thomson effect.

以下の特許文献1には、多数の熱電変換素子を2つの基板間に配置した熱電変換器が記載されている。この構成では、熱歪みによる反りが基板に発生することを抑制するために、電極との接合部を除く箇所において、基板にスリット状の溝が複数設けられている。   Patent Document 1 below describes a thermoelectric converter in which a large number of thermoelectric conversion elements are arranged between two substrates. In this configuration, a plurality of slit-like grooves are provided in the substrate at locations other than the joints with the electrodes in order to suppress the occurrence of warpage due to thermal strain in the substrate.

特開2000−68564号公報JP 2000-68564 A

一般に、熱電変換器では、各基板に形成された電極群によって、基板間の熱電変換素子が直列に接続される。さらに、直列に接続された熱電変換素子を外部回路に接続可能とするために、基板に形成されたリード線接続用の電極(リード線電極)にリード線が接続される。ここで、リード線の接続は、半田を用いて行われる。すなわち、2つの基板を熱電変換素子の上面および下面に重ねて各電極を熱電変換素子に接合した後に、リード線がリード線電極の上面に半田付けされる。   In general, in a thermoelectric converter, thermoelectric conversion elements between substrates are connected in series by an electrode group formed on each substrate. Furthermore, in order to connect the thermoelectric conversion elements connected in series to an external circuit, a lead wire is connected to a lead wire connecting electrode (lead wire electrode) formed on the substrate. Here, the lead wires are connected using solder. That is, after the two substrates are overlaid on the upper and lower surfaces of the thermoelectric conversion element and each electrode is joined to the thermoelectric conversion element, the lead wire is soldered to the upper surface of the lead wire electrode.

しかしながら、熱電変換器では、熱電変換効率を高めるため、銅やアルミニウム等の熱伝導率が高い金属材料によって基板が形成される場合がある。このとき、リード線の半田付けの際に、リード線電極に熱を加えると、この熱が基板に伝導して拡散し、接合箇所に熱が溜まりにくくなる。その結果、リード線をリード線電極に適切に接続できなくなる。   However, in a thermoelectric converter, in order to improve thermoelectric conversion efficiency, a board | substrate may be formed with metal materials with high heat conductivity, such as copper and aluminum. At this time, if heat is applied to the lead wire electrode during soldering of the lead wire, this heat is conducted and diffused to the substrate, and it is difficult for the heat to be accumulated at the joint location. As a result, the lead wire cannot be properly connected to the lead wire electrode.

かかる課題に鑑み、本発明は、リード線電極に対するリード線の接続を容易且つ確実に行うことが可能な熱電変換器を提供することを目的とする。   In view of such a problem, an object of the present invention is to provide a thermoelectric converter capable of easily and reliably connecting a lead wire to a lead wire electrode.

本発明の主たる態様に係る熱電変換器は、基板と、前記基板の上面に形成された第1の電極群と、下面が前記第1の電極群に接合される複数の熱電変換素子と、前記複数の熱電変換素子の上面に接合される第2の電極群と、を備える。ここで、前記第1の電極群のうちリード線が接続されるリード線電極を平面視において囲むように、前記基板の下面に溝が形成されている。   A thermoelectric converter according to a main aspect of the present invention includes a substrate, a first electrode group formed on an upper surface of the substrate, a plurality of thermoelectric conversion elements whose lower surface is bonded to the first electrode group, And a second electrode group bonded to the upper surfaces of the plurality of thermoelectric conversion elements. Here, a groove is formed on the lower surface of the substrate so as to surround a lead wire electrode to which a lead wire is connected in the first electrode group in a plan view.

本態様に係る熱電変換器によれば、リード線電極を平面視において囲むように、基板の下面に溝が形成されているため、リード線の半田付けの際に、リード線電極に加えられた熱が直下の基板に伝導したとしても、溝が障壁となって、熱がさらに周囲に拡散することが抑止される。このため、半田付けのために加えられた熱が、リード線電極に溜まりやすくなる。よって、リード線電極に対するリード線の半田付けを容易且つ確実に行うことができる。   According to the thermoelectric converter according to this aspect, since the groove is formed on the lower surface of the substrate so as to surround the lead wire electrode in a plan view, it is added to the lead wire electrode during soldering of the lead wire. Even if the heat is conducted to the substrate immediately below, the groove becomes a barrier, and the heat is further prevented from diffusing around. For this reason, the heat applied for soldering tends to accumulate on the lead wire electrode. Therefore, it is possible to easily and reliably solder the lead wire to the lead wire electrode.

以上のとおり、本発明によれば、リード線電極に対するリード線の接続を容易且つ確実に行うことができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to easily and reliably connect the lead wire to the lead wire electrode.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。   The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.

図1(a)は、実施の形態に係る熱電変換器の構成を模式的に示す分解斜視図である。図1(b)は、実施の形態に係る熱電変換器の組立後の状態を模式的に示す斜視図である。FIG. 1A is an exploded perspective view schematically showing the configuration of the thermoelectric converter according to the embodiment. FIG.1 (b) is a perspective view which shows typically the state after the assembly of the thermoelectric converter which concerns on embodiment. 図2(a)、(b)は、実施の形態に係るリード線の接続工程を模式的に示す図である。2A and 2B are diagrams schematically showing a lead wire connecting step according to the embodiment. 図3は、実施例1に係る熱電変換器の溝の形成状態を示す裏面図である。FIG. 3 is a rear view illustrating a groove formation state of the thermoelectric converter according to the first embodiment. 図4(a)は、実施例1に係る熱電変換器の溝付近を裏面側から見た平面図である。図4(b)は、実施例1に係る熱電変換器の溝付近を基板に垂直な平面で切断した断面図である。FIG. 4A is a plan view of the vicinity of the groove of the thermoelectric converter according to the first embodiment when viewed from the back surface side. FIG. 4B is a cross-sectional view of the vicinity of the groove of the thermoelectric converter according to the first embodiment cut along a plane perpendicular to the substrate. 図5は、実施例2に係る熱電変換器の溝の形成状態を示す裏面図である。FIG. 5 is a rear view illustrating a groove formation state of the thermoelectric converter according to the second embodiment. 図6(a)は、実施例2に係る熱電変換器の溝付近を裏面側から見た平面図である。図6(b)は、変更例1に係る熱電変換器の溝付近を基板に垂直な平面で切断した断面図である。FIG. 6A is a plan view of the vicinity of the groove of the thermoelectric converter according to the second embodiment when viewed from the back surface side. FIG. 6B is a cross-sectional view in which the vicinity of the groove of the thermoelectric converter according to Modification 1 is cut along a plane perpendicular to the substrate. 図7(a)は、変更例2に係る熱電変換器の溝付近を裏面側から見た平面図である。図7(b)は、変更例2をさらに変更した熱電変換器の溝付近を裏面側から見た平面図である。Fig.7 (a) is the top view which looked at the groove | channel vicinity of the thermoelectric converter which concerns on the modification 2 from the back surface side. FIG. 7B is a plan view of the vicinity of the groove of the thermoelectric converter obtained by further modifying the modification 2 as viewed from the back surface side. 図8(a)は、変更例4に係る熱電変換器の溝付近を裏面側から見た平面図である。図8(b)は、変更例5に係る熱電変換器の溝付近を裏面側から見た平面図である。FIG. 8A is a plan view of the vicinity of the groove of the thermoelectric converter according to Modification 4 as viewed from the back side. FIG. 8B is a plan view of the vicinity of the groove of the thermoelectric converter according to Modification 5 as viewed from the back surface side.

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。便宜上、各図には、互いに直交するX、Y、Z軸が付記されている。Z軸方向が熱電変換器1の高さ方向であり、Z軸正方向が下方向である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, the X, Y, and Z axes that are orthogonal to each other are appended to each drawing. The Z-axis direction is the height direction of the thermoelectric converter 1, and the Z-axis positive direction is the downward direction.

図1(a)は、熱電変換器1の構成を示す分解斜視図、図1(b)は、熱電変換器1の組立後の状態を示す斜視図である。   FIG. 1A is an exploded perspective view showing a configuration of the thermoelectric converter 1, and FIG. 1B is a perspective view showing a state after the thermoelectric converter 1 is assembled.

図1(a)に示すように、熱電変換器1は、基板10と、基板20と、熱電変換素子30と、を備える。   As shown in FIG. 1A, the thermoelectric converter 1 includes a substrate 10, a substrate 20, and a thermoelectric conversion element 30.

基板10は、平面視において略正方形の輪郭を有する。基板10は、銅やアルミニウム等の熱伝導特性に優れた材料からなっている。基板10が単なるカバーである場合、基板10は、樹脂等からなっていてもよく、あるいは、FPC(Flexible printed circuits)であってもよい。基板10の下面(Z軸負側の面)には、熱電変換素子30の上面と接合される電極101(図2(a)参照)が形成されている。基板10が銅等の電導性材料からなる場合、基板10の下面に絶縁層が形成され、絶縁層の下面に電極101が形成される。絶縁層および電極101は、たとえば、熱圧着による工程により形成される。   The substrate 10 has a substantially square outline in plan view. The substrate 10 is made of a material having excellent heat conduction characteristics such as copper and aluminum. When the board | substrate 10 is a mere cover, the board | substrate 10 may consist of resin etc. or FPC (Flexible printed circuits) may be sufficient as it. An electrode 101 (see FIG. 2A) to be joined to the upper surface of the thermoelectric conversion element 30 is formed on the lower surface (the surface on the negative side of the Z axis) of the substrate 10. When the board | substrate 10 consists of electroconductive materials, such as copper, an insulating layer is formed in the lower surface of the board | substrate 10, and the electrode 101 is formed in the lower surface of an insulating layer. The insulating layer and the electrode 101 are formed, for example, by a process using thermocompression bonding.

基板20は、基板10と同様の形状および大きさを有する。後述のように、基板20は、ベース板201の上面に絶縁層202が形成された構成となっている(図2(a)参照)。ベース板201は、銅やアルミニウム等の熱伝導特性に優れた材料からなっている。基板10の上面(Z軸正側の面)には、熱電変換素子30の下面と接合される複数の電極203(図2(a)、(b)参照)が形成されている。絶縁層202および電極203は、たとえば、熱圧着による工程により形成される。図1(a)の状態では、熱電変換素子30の下面が、半田で電極203に接合されている。   The substrate 20 has the same shape and size as the substrate 10. As will be described later, the substrate 20 has a configuration in which an insulating layer 202 is formed on the upper surface of the base plate 201 (see FIG. 2A). The base plate 201 is made of a material having excellent heat conduction characteristics such as copper and aluminum. A plurality of electrodes 203 (see FIGS. 2A and 2B) bonded to the lower surface of the thermoelectric conversion element 30 are formed on the upper surface (the surface on the Z-axis positive side) of the substrate 10. The insulating layer 202 and the electrode 203 are formed, for example, by a process using thermocompression bonding. In the state of FIG. 1A, the lower surface of the thermoelectric conversion element 30 is joined to the electrode 203 with solder.

なお、後述のように、基板20の上面に形成された電極群の中には、リード線40a、40b(図2(a)、(b)参照)が半田付けされるリード線電極203a、203bが含まれている。   As will be described later, in the electrode group formed on the upper surface of the substrate 20, lead wires 203 a and 203 b to which lead wires 40 a and 40 b (see FIGS. 2A and 2B) are soldered. It is included.

熱電変換素子30は、直方体の形状を有する。熱電変換素子30は、たとえば、熱を電力に変換する半導体からなっている。熱電変換素子30は、ゼーベック係数αと比抵抗ρと熱伝導率Kによって表される性能指数Z(=α2/ρK)が大きな材料(Bi2Te3系材料、鉛・テルル系材料、シリコン・ゲルマニウム系材料等)にドーパントを添加したものである。添加するドーパントにより、p型とn型の2種類の熱電変換素子30が構成される。p型の熱電変換素子30を構成するためのドーパントとして、たとえば、Sbが添加される。また、n型の熱電変換素子30を構成するためのドーパントとして、たとえば、Seが添加される。熱電変換素子30の上面および下面には、上述の電極群に接合される電極部が形成されている。熱電変換素子30が、ペルチェ素子等の、電力により熱を制御する素子からなっていてもよい。   The thermoelectric conversion element 30 has a rectangular parallelepiped shape. The thermoelectric conversion element 30 is made of, for example, a semiconductor that converts heat into electric power. The thermoelectric conversion element 30 is a material (Bi2Te3 material, lead / tellurium material, silicon / germanium material) having a large figure of merit Z (= α2 / ρK) represented by the Seebeck coefficient α, the specific resistance ρ, and the thermal conductivity K. Etc.) to which a dopant is added. Two types of p-type and n-type thermoelectric conversion elements 30 are constituted by the dopant to be added. As a dopant for configuring the p-type thermoelectric conversion element 30, for example, Sb is added. Further, for example, Se is added as a dopant for configuring the n-type thermoelectric conversion element 30. On the upper surface and the lower surface of the thermoelectric conversion element 30, electrode portions that are bonded to the above-described electrode group are formed. The thermoelectric conversion element 30 may be composed of an element that controls heat by electric power, such as a Peltier element.

熱電変換器1を形成する際には、熱電変換素子30の上面に半田ペーストを塗布した状態で、図1(a)のように基板20に基板10を重ねる。これにより、基板10下面の電極101が、半田ペーストを介して熱電変換素子30の上面に接触する。その後、基板10と基板20とをリフロー炉に流し、電極101と熱電変換素子30の上面とを、半田により接合する。これにより、図1(b)に示すように、熱電変換器1の組み立てが完了する。   When the thermoelectric converter 1 is formed, the substrate 10 is overlaid on the substrate 20 as shown in FIG. 1A with a solder paste applied to the upper surface of the thermoelectric conversion element 30. Thereby, the electrode 101 on the lower surface of the substrate 10 comes into contact with the upper surface of the thermoelectric conversion element 30 via the solder paste. Then, the board | substrate 10 and the board | substrate 20 are poured into a reflow furnace, and the electrode 101 and the upper surface of the thermoelectric conversion element 30 are joined with solder. Thereby, as shown in FIG.1 (b), the assembly of the thermoelectric converter 1 is completed.

図1(b)の状態において、全ての熱電変換素子30が、基板10側の電極101と基板20側の電極203によって直列に接続される。すなわち、基板10と基板20には、全ての熱電変換素子30を直列に接続可能なパターンで、電極101と電極203が配置されている。   In the state of FIG. 1B, all thermoelectric conversion elements 30 are connected in series by the electrode 101 on the substrate 10 side and the electrode 203 on the substrate 20 side. That is, the electrode 101 and the electrode 203 are arranged on the substrate 10 and the substrate 20 in a pattern in which all the thermoelectric conversion elements 30 can be connected in series.

なお、基板20側の電極203と熱電変換素子30下面との接合と、基板10側の電極101と熱電変換素子30上面との接合を、同時に行ってもよい。この場合、基板20上の電極203に半田ペーストを塗布した後、治具により、電極203上に熱電変換素子30を配置する。その後、上記と同様、基板20に基板10を重ねて、基板10と基板20をリフロー炉に流す。これにより、半田ペーストが溶融し、半田による電極101と熱電変換素子30上面との接合とともに、半田による電極203と熱電変換素子30下面との接合が行われる。これにより、図1(b)に示すように、熱電変換器1の組み立てが完了する。   The bonding of the electrode 203 on the substrate 20 side and the lower surface of the thermoelectric conversion element 30 and the bonding of the electrode 101 on the substrate 10 side and the upper surface of the thermoelectric conversion element 30 may be performed simultaneously. In this case, after applying a solder paste to the electrode 203 on the substrate 20, the thermoelectric conversion element 30 is disposed on the electrode 203 by a jig. Thereafter, in the same manner as described above, the substrate 10 is stacked on the substrate 20, and the substrate 10 and the substrate 20 are caused to flow in a reflow furnace. As a result, the solder paste is melted and bonding of the electrode 203 and the thermoelectric conversion element 30 with solder is performed together with bonding of the electrode 101 and the thermoelectric conversion element 30 with solder. Thereby, as shown in FIG.1 (b), the assembly of the thermoelectric converter 1 is completed.

こうして、熱電変換器1の組み立てが完了した後、熱電変換素子30に電力を供給し、または、熱電変換素子30から電力を引き出すためのリード線が熱電変換器1に接続される。   Thus, after the assembly of the thermoelectric converter 1 is completed, electric power is supplied to the thermoelectric conversion element 30 or a lead wire for drawing electric power from the thermoelectric conversion element 30 is connected to the thermoelectric converter 1.

図2(a)、(b)は、リード線40a、40bの接続工程を模式的に示す図である。なお、図2(a)では、便宜上、基板10の図示が省略され、基板10側の電極101のみが図示されている。また、図2(b)では、電極203の配置が明瞭となるように、さらに、熱電変換素子30と電極101の図示が省略されている。   FIGS. 2A and 2B are diagrams schematically showing a connecting process of the lead wires 40a and 40b. In FIG. 2A, for convenience, illustration of the substrate 10 is omitted, and only the electrode 101 on the substrate 10 side is illustrated. Further, in FIG. 2B, the illustration of the thermoelectric conversion element 30 and the electrode 101 is further omitted so that the arrangement of the electrode 203 becomes clear.

図2(a)、(b)に示すように、基板20は、熱電導特性に優れたベース板201と、絶縁層202とからなっている。絶縁層202の上面に、電極203群が形成されている。電極203群には、リード線40a、40bを接続するためのリード線電極203a、203bが配置されている。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the substrate 20 includes a base plate 201 having excellent thermal conductivity characteristics and an insulating layer 202. A group of electrodes 203 is formed on the upper surface of the insulating layer 202. In the electrode 203 group, lead wire electrodes 203a and 203b for connecting the lead wires 40a and 40b are arranged.

図2(b)に示すように、リード線電極203a、203bは、その他の電極203群よりも広くなっている。平面視において、リード線電極203aはL字形状であり、リード線電極203bは逆L字形状である。図2(a)に示すように、リード線電極203a、203bの幅狭の領域には、熱電変換素子30が接合される。   As shown in FIG. 2B, the lead wire electrodes 203a and 203b are wider than the other electrode 203 groups. In plan view, the lead wire electrode 203a has an L shape, and the lead wire electrode 203b has an inverted L shape. As shown in FIG. 2A, the thermoelectric conversion element 30 is joined to the narrow regions of the lead wire electrodes 203a and 203b.

リード線40a、40bは、それぞれ、リード線電極203a、203bの幅広の領域に半田で接合される。接合の際には、図2(a)、(b)に示すように、リード線40a、40bの電線部分がリード線電極203a、203bの幅広の領域に載せられる。この状態で、破線の円で示す領域に半田が塗布されて、半田およびリード線電極203a、203bに熱が加えられる。   The lead wires 40a and 40b are joined to the wide regions of the lead wire electrodes 203a and 203b by solder, respectively. At the time of joining, as shown in FIGS. 2A and 2B, the electric wire portions of the lead wires 40a and 40b are placed on the wide regions of the lead wire electrodes 203a and 203b. In this state, solder is applied to a region indicated by a broken-line circle, and heat is applied to the solder and the lead wire electrodes 203a and 203b.

しかしながら、上記のように、基板20を構成するベース板201は、熱電変換効率を高めるため、銅やアルミニウム等の熱伝導率が高い金属材料によって形成されている。このため、リード線40a、40bの半田付けの際に、リード線電極203a、203bに熱を加えると、この熱が絶縁層202を介してベース板201に伝導して拡散し、接合箇所に熱が溜まりにくくなる。その結果、リード線40a、40bを適切にリード線電極203a、203bに接続することが困難となる。   However, as described above, the base plate 201 constituting the substrate 20 is formed of a metal material having a high thermal conductivity such as copper or aluminum in order to increase the thermoelectric conversion efficiency. Therefore, when the lead wires 40a and 40b are soldered, if heat is applied to the lead wire electrodes 203a and 203b, the heat is conducted and diffused to the base plate 201 through the insulating layer 202, and heat is applied to the joints. Is less likely to accumulate. As a result, it is difficult to properly connect the lead wires 40a and 40b to the lead wire electrodes 203a and 203b.

そこで、本実施の形態では、リード線電極203a、203bを平面視において囲むように、基板20(ベース板201)の下面に溝が形成されている。これにより、リード線電極203a、203bに加えられた熱が、絶縁層202を介して直下のベース板201に伝導したとしても、そこから周囲に拡散することが抑制されている。   Therefore, in the present embodiment, grooves are formed on the lower surface of the substrate 20 (base plate 201) so as to surround the lead wire electrodes 203a and 203b in plan view. Thereby, even if the heat applied to the lead wire electrodes 203a and 203b is conducted to the base plate 201 directly below via the insulating layer 202, it is suppressed from diffusing to the surroundings.

<実施例1>
図3は、実施例1に係る溝211〜213の形成状態を示す斜視図である。図3には、溝211〜213の付近を基板20の裏面側から見た斜視図が示されている。
<Example 1>
FIG. 3 is a perspective view illustrating a formation state of the grooves 211 to 213 according to the first embodiment. FIG. 3 shows a perspective view of the vicinity of the grooves 211 to 213 viewed from the back side of the substrate 20.

実施例1では、X軸に平行な2つの溝211、212と、Y軸に平行な1つの溝213が、ベース板201の下面に形成されている。溝213の両端は、それぞれ、2つの溝211、212のX軸負側の端部から所定距離だけ離れている。溝211〜213の深さは、何れも、ベース板201の厚みと同じである。したがって、溝211〜213は、絶縁層202の下面まで延びている。溝211〜213は、たとえば、エッチング工程により、ベース板201に形成される。   In the first embodiment, two grooves 211 and 212 parallel to the X axis and one groove 213 parallel to the Y axis are formed on the lower surface of the base plate 201. Both ends of the groove 213 are separated by a predetermined distance from the X-axis negative side ends of the two grooves 211 and 212, respectively. The depths of the grooves 211 to 213 are all the same as the thickness of the base plate 201. Therefore, the grooves 211 to 213 extend to the lower surface of the insulating layer 202. The grooves 211 to 213 are formed in the base plate 201 by, for example, an etching process.

上記リード線電極203a、203bは、平面視において、3つの溝211〜213に囲まれた領域201a内に配置されている。   The lead wire electrodes 203a and 203b are disposed in a region 201a surrounded by three grooves 211 to 213 in plan view.

図4(a)は、ベース板201の溝211〜213付近を裏面側から見た平面図である。図4(b)は、図4(a)の溝211〜213付近の構造体を、図4(a)の一点鎖線の位置において、ベース板201に垂直な平面(Y−Z平面に平行な平面)で切断した断面図である。便宜上、図4(a)には、電極203、リード線電極203a、203bおよびリード線40a、40bが破線で示されている。   FIG. 4A is a plan view of the vicinity of the grooves 211 to 213 of the base plate 201 as seen from the back side. 4B shows a structure in the vicinity of the grooves 211 to 213 in FIG. 4A at a position indicated by an alternate long and short dash line in FIG. 4A, which is parallel to the plane (YZ plane). It is sectional drawing cut | disconnected by the plane. For convenience, in FIG. 4A, the electrode 203, the lead wire electrodes 203a and 203b, and the lead wires 40a and 40b are indicated by broken lines.

図4(a)に示すように、実施例1では、平面視において、リード線電極203a、203bとともに、これらリード線電極203a、203bの間に配置された電極203が、溝211〜213によって囲まれている。図4(b)に示すように、溝211〜213は、絶縁層202の下面まで延びている。   As shown in FIG. 4A, in Example 1, the electrode 203 disposed between the lead wire electrodes 203a and 203b and the lead wire electrodes 203a and 203b is surrounded by the grooves 211 to 213 in plan view. It is. As shown in FIG. 4B, the grooves 211 to 213 extend to the lower surface of the insulating layer 202.

このように、実施例1では、リード線電極203a、203bを平面視において囲むように、ベース板201の下面に3つの溝211〜213が形成されている。このため、図4(b)に示すように、リード線40a、40bの半田付けの際にリード線電極203a、203bに加えられた熱が、点線矢印で示すように、絶縁層202を介して直下のベース板201に伝導したとしても、溝211〜213が障壁となって、熱がさらに周囲に拡散することが抑止される。このため、加えられた熱がリード線電極203a、203bに溜まりやすくなる。これにより、リード線電極203a、203bに対するリード線40a、40bの半田付けを容易且つ確実に行うことができる。   As described above, in the first embodiment, the three grooves 211 to 213 are formed on the lower surface of the base plate 201 so as to surround the lead wire electrodes 203a and 203b in a plan view. For this reason, as shown in FIG. 4B, the heat applied to the lead wire electrodes 203a and 203b during soldering of the lead wires 40a and 40b passes through the insulating layer 202 as shown by the dotted arrows. Even if the heat is conducted to the base plate 201 directly below, the grooves 211 to 213 serve as a barrier, and the heat is further prevented from diffusing to the surroundings. For this reason, the applied heat tends to accumulate in the lead wire electrodes 203a and 203b. Thereby, soldering of the lead wires 40a and 40b to the lead wire electrodes 203a and 203b can be performed easily and reliably.

また、実施例1では、溝211〜213が絶縁層202まで延びているため、これら溝211〜213の外側に熱が伝搬することをより確実に抑止できる。   Moreover, in Example 1, since the grooves 211 to 213 extend to the insulating layer 202, it is possible to more reliably prevent heat from being propagated outside the grooves 211 to 213.

なお、実施例1では、互いに分離された3つの溝211〜213によってリード線電極203a、203bを囲む構成であるため、ベース板201の溝211〜213の内側の領域と外側の領域は、溝211のX軸負側の端部と溝213との間の部分と、溝212のX軸負側の端部と溝213との間の部分によって一体的に繋がっており、さらに、溝211、212のX軸正側の端部とベース板201のX軸正側の側面との間の部分によって一体的に繋がっている。このため、溝211〜213が絶縁層202まで延びていても、ベース板201の溝211〜213の内側の領域が機械的に不安定な状態になることはない。   In Example 1, since the lead wire electrodes 203a and 203b are surrounded by the three grooves 211 to 213 separated from each other, the inner region and the outer region of the grooves 211 to 213 of the base plate 201 are grooves. 211 is integrally connected by a portion between the end on the X-axis negative side of 211 and the groove 213, and a portion between the end on the X-axis negative side of the groove 212 and the groove 213, and the groove 211, The X-axis positive side end portion 212 and the X-axis positive side surface of the base plate 201 are integrally connected. For this reason, even if the grooves 211 to 213 extend to the insulating layer 202, the region inside the grooves 211 to 213 of the base plate 201 does not become mechanically unstable.

<実施例2>
図5は、実施例2に係る溝221の形成状態を示す斜視図である。図5には、溝221の付近を基板20の裏面側から見た斜視図が示されている。
<Example 2>
FIG. 5 is a perspective view illustrating a formation state of the groove 221 according to the second embodiment. FIG. 5 shows a perspective view of the vicinity of the groove 221 viewed from the back side of the substrate 20.

実施例2では、ベース板201の下面に一続きの溝221が形成されている。溝221は、X軸に平行な2つの溝部分221aと、Y軸に平行な1つの溝部分221bからなっている。溝部分221aのX軸正側の端部は、ベース板201のX軸正側の側面まで延びて外部に開放されている。溝部分221aおよび溝部分221bの深さは、何れも、ベース板201の厚みと同じである。したがって、溝部分221aおよび溝部分221bは、絶縁層202の下面まで延びている。溝221は、たとえば、エッチング工程により、ベース板201に形成される。   In the second embodiment, a continuous groove 221 is formed on the lower surface of the base plate 201. The groove 221 includes two groove portions 221a parallel to the X axis and one groove portion 221b parallel to the Y axis. The end portion on the X axis positive side of the groove portion 221a extends to the side surface on the X axis positive side of the base plate 201 and is open to the outside. The depth of the groove portion 221a and the groove portion 221b is the same as the thickness of the base plate 201. Therefore, the groove part 221 a and the groove part 221 b extend to the lower surface of the insulating layer 202. The groove 221 is formed in the base plate 201 by, for example, an etching process.

上記リード線電極203a、203bは、平面視において、溝221に囲まれた領域201a内に配置されている。   The lead wire electrodes 203a and 203b are disposed in a region 201a surrounded by the groove 221 in plan view.

図6(a)は、ベース板201の溝221付近を裏面側から見た平面図である。便宜上、図6(a)には、電極203、リード線電極203a、203bおよびリード線40a、40bが破線で示されている。   FIG. 6A is a plan view of the vicinity of the groove 221 of the base plate 201 as viewed from the back side. For convenience, in FIG. 6A, the electrode 203, the lead wire electrodes 203a and 203b, and the lead wires 40a and 40b are indicated by broken lines.

図6(a)に示すように、実施例2では、平面視において、リード線電極203a、203bとともに、これらリード線電極203a、203bの間に配置された電極203が、溝221によって囲まれている。したがって、実施例2においても、実施例1と同様、リード線40a、40bの半田付けの際にリード線電極203a、203bに加えられた熱が、絶縁層202を介して直下のベース板201に伝導したとしても、溝221が障壁となって、熱がさらに周囲に拡散することが抑止される。このため、加えられた熱がリード線電極203a、203bに溜まりやすくなり、リード線電極203a、203bに対するリード線40a、40bの半田付けを容易且つ確実に行うことができる。   As shown in FIG. 6A, in Example 2, the electrode 203 disposed between the lead wire electrodes 203a and 203b and the lead wire electrodes 203a and 203b is surrounded by the groove 221 in plan view. Yes. Accordingly, also in the second embodiment, as in the first embodiment, the heat applied to the lead wire electrodes 203a and 203b during the soldering of the lead wires 40a and 40b is applied to the base plate 201 directly below the insulating layer 202. Even if it is conducted, the groove 221 becomes a barrier, and heat is further prevented from diffusing to the surroundings. For this reason, the applied heat is likely to accumulate in the lead wire electrodes 203a and 203b, and the lead wires 40a and 40b can be easily and reliably soldered to the lead wire electrodes 203a and 203b.

また、実施例2においても、実施例1と同様、溝221が絶縁層202まで延びているため、これら溝221の外側に熱が伝搬することをより確実に抑止できる。さらに、実施例2では、一連の溝221によってリード線電極203a、203bが隙間なく完全に囲まれているため、実施例1に比べてより一層確実に、溝221の外側に熱が伝搬することを抑止できる。   In the second embodiment, as in the first embodiment, since the grooves 221 extend to the insulating layer 202, it is possible to more reliably prevent heat from being propagated to the outside of the grooves 221. Furthermore, in the second embodiment, since the lead wire electrodes 203a and 203b are completely surrounded by the series of grooves 221 without any gap, heat can be transmitted to the outside of the grooves 221 more reliably than in the first embodiment. Can be suppressed.

なお、実施例2では、一連の溝221によってリード線電極203a、203bを囲む構成であり、且つ、溝221が絶縁層202まで延びているため、ベース板201の溝221の内側の領域と外側の領域は完全に分離されており、溝221の内側の領域は、絶縁層202のみによって支持された状態となっている。このため、実施例1の構成に比べて、溝221の内側の領域は、機械的にやや不安定な状態になると考えられる。   In the second embodiment, the lead wire electrodes 203 a and 203 b are surrounded by a series of grooves 221, and the groove 221 extends to the insulating layer 202. These regions are completely separated, and the region inside the groove 221 is supported only by the insulating layer 202. For this reason, compared with the structure of Example 1, it is thought that the area | region inside the groove | channel 221 will be in a somewhat unstable state mechanically.

なお、2つの溝部分221aのX軸正側の端部がベース板201のX軸正側の側面まで延びていなくてもよく、2つの溝部分221aのX軸正側の端部とベース板201のX軸正側の側面との間に、ベース板201の一部が介在していてもよい。こうすると、この部分において、溝221の内側の領域と、溝221の外側の領域とが繋がるため、その分、溝221の内側の領域の機械的安定性を高めることができる。   Note that the end on the X-axis positive side of the two groove portions 221a may not extend to the side surface on the X-axis positive side of the base plate 201, and the end on the X-axis positive side of the two groove portions 221a and the base plate A part of the base plate 201 may be interposed between the side surface of the 201 on the X axis positive side. If it carries out like this, in this part, since the area | region inside the groove | channel 221 and the area | region outside the groove | channel 221 are connected, the mechanical stability of the area | region inside the groove | channel 221 can be improved that much.

<変更例1>
上記実施例1、2では、溝211〜213および溝221の深さがベース板201の厚みと同じであり、溝211〜213および溝221が絶縁層202まで延びていたが、溝211〜213および溝221の深さがベース板201の厚みより小さくてもよい。
<Modification 1>
In the first and second embodiments, the depths of the grooves 211 to 213 and the groove 221 are the same as the thickness of the base plate 201, and the grooves 211 to 213 and the groove 221 extend to the insulating layer 202. The depth of the groove 221 may be smaller than the thickness of the base plate 201.

図6(b)は、実施例2の構成において、溝221の深さをベース板201の厚みよりも小さくした構成例(変更例1)を示す断面図である。図6(b)は、図4(b)に対応する図である。   FIG. 6B is a cross-sectional view showing a configuration example (modified example 1) in which the depth of the groove 221 is smaller than the thickness of the base plate 201 in the configuration of the second embodiment. FIG. 6B is a diagram corresponding to FIG.

このように、変更例1では溝221の深さがベース板201の厚みより小さいため、半田付けの際に絶縁層202を介してリード線電極203a、203bの直下のベース板201に伝導した熱の一部は、図6(b)に示すように、溝221と絶縁層202との間の領域を通って拡散することになる。しかし、この場合も、溝221が障壁となって、熱が周囲に拡散することが抑止されるため、加えられた熱がリード線電極203a、203bに溜まりやすくなる。これにより、リード線電極203a、203bに対するリード線40a、40bの半田付けを容易且つ確実に行うことができる。   Thus, since the depth of the groove 221 is smaller than the thickness of the base plate 201 in the first modification, the heat conducted to the base plate 201 directly below the lead wire electrodes 203a and 203b through the insulating layer 202 during soldering. As shown in FIG. 6B, a part of the light is diffused through a region between the groove 221 and the insulating layer 202. However, in this case as well, the groove 221 serves as a barrier and the heat is prevented from diffusing to the surroundings, so that the applied heat is likely to accumulate in the lead wire electrodes 203a and 203b. Thereby, soldering of the lead wires 40a and 40b to the lead wire electrodes 203a and 203b can be performed easily and reliably.

なお、このように、溝221の深さをベース板201の厚みより小さくすると、溝221と絶縁層202との間の領域によって、ベース板201の溝221の内側の領域と外側の領域とが繋がる。このため、実施例2の場合に比べて、溝221の内側の領域は、機械的に安定な状態になる。   As described above, when the depth of the groove 221 is made smaller than the thickness of the base plate 201, the region between the groove 221 and the outer region of the base plate 201 is divided by the region between the groove 221 and the insulating layer 202. Connected. For this reason, compared with the case of Example 2, the area | region inside the groove | channel 221 will be in a mechanically stable state.

なお、図6(b)では、実施例2の構成において、溝221の深さをベース板201の厚みよりも小さくした構成例を示したが、実施例1の構成において、溝211〜213の深さをベース板201の厚みよりも小さくしてもよい。   6B shows a configuration example in which the depth of the groove 221 is smaller than the thickness of the base plate 201 in the configuration of the second embodiment. However, in the configuration of the first embodiment, the grooves 211 to 213 are not formed. The depth may be smaller than the thickness of the base plate 201.

また、溝221は、必ずしも全領域において深さが一定でなくてもよく、たとえば、2つの溝部分221aの深さがベース板201の厚みより小さく、溝部分221bの深さがベース板201の厚みと同じであってもよい。実施例1においても同様に、溝211〜213の深さが必ずしも同じでなくてもよく、たとえば、溝211、212の深さがベース板201の厚みより小さく、溝213の深さがベース板201の厚みと同じであってもよい。さらに、1つの溝において深さが変化してもよい。   The depth of the groove 221 does not necessarily have to be constant in the entire region. For example, the depth of the two groove portions 221a is smaller than the thickness of the base plate 201, and the depth of the groove portion 221b is the depth of the base plate 201. It may be the same as the thickness. Similarly, in the first embodiment, the depths of the grooves 211 to 213 are not necessarily the same. For example, the depths of the grooves 211 and 212 are smaller than the thickness of the base plate 201, and the depth of the grooves 213 is the base plate. It may be the same as the thickness of 201. Further, the depth may change in one groove.

溝の深さは、リード線40a、40bに対する半田付けを円滑かつ確実に行えるようにリード線電極203a、203bに熱を溜め得る深さに設定すればよい。   The depth of the groove may be set to a depth at which heat can be accumulated in the lead wire electrodes 203a and 203b so that the soldering to the lead wires 40a and 40b can be performed smoothly and reliably.

<変更例2>
溝211〜213または溝221で囲む領域は、上記実施例1、2に示された領域に限られるものではない。
<Modification 2>
The region surrounded by the grooves 211 to 213 or the groove 221 is not limited to the region shown in the first and second embodiments.

たとえば、図7(a)に示すように、リード線電極203a、203bのうち、半田付けが行われる幅広の領域、すなわち、熱電変換素子30が接合される幅狭の領域以外の領域を囲むように、実施例1の溝211〜213が形成されてもよい。こうすると、半田付けの際に熱が拡散する領域をさらに制限できるため、リード線電極203a、203bのうち半田付けが行われる幅広の領域に、より一層熱が溜まり易くなる。また、リード線電極203a、203bのうち熱電変換素子30が接合される幅狭の領域は溝211〜213で囲まれないため、幅狭の領域に接合される熱電変換素子30とベース板201と間の熱交換をより効率的に行うことができる。   For example, as shown in FIG. 7A, the lead wire electrodes 203a and 203b surround a wide region where soldering is performed, that is, a region other than the narrow region where the thermoelectric conversion element 30 is joined. In addition, the grooves 211 to 213 of the first embodiment may be formed. In this case, since the region where heat is diffused during soldering can be further restricted, heat is more likely to accumulate in the wide region of the lead wire electrodes 203a and 203b where soldering is performed. Moreover, since the narrow area | region where the thermoelectric conversion element 30 is joined among the lead wire electrodes 203a and 203b is not enclosed by the grooves 211-213, the thermoelectric conversion element 30 joined to the narrow area, the base plate 201, and the like. Heat exchange between them can be performed more efficiently.

また、図7(b)に示すように、ベース板201の下面のリード線電極203a、203bの間の領域に、さらに、X軸方向に延びる溝214が形成されてもよい。こうすると、リード線40a、40bを半田付けする際に、リード線電極203aの幅広の領域およびリード線電極203bの幅広の領域に、より一層熱を溜め易くなる。   Further, as shown in FIG. 7B, a groove 214 extending in the X-axis direction may be further formed in a region between the lead wire electrodes 203a and 203b on the lower surface of the base plate 201. In this way, when the lead wires 40a and 40b are soldered, it becomes easier to accumulate heat in the wide region of the lead wire electrode 203a and the wide region of the lead wire electrode 203b.

なお、実施例2についても、図7(a)の場合と同様、リード線電極203a、203bのうち、半田付けが行われる幅広の領域、すなわち、熱電変換素子30が接合される幅狭の領域以外の領域を囲むように、溝221が形成されてもよい。また、この場合も、図7(b)に示す溝214に対応する溝が追加されてもよい。   Also in Example 2, as in the case of FIG. 7A, a wide region where soldering is performed, that is, a narrow region where the thermoelectric conversion element 30 is joined, of the lead wire electrodes 203a and 203b. A groove 221 may be formed so as to surround a region other than. Also in this case, a groove corresponding to the groove 214 shown in FIG. 7B may be added.

なお、上記実施例1、2のように、リード線電極203a、203bの全体を囲むように広めに溝211〜213または溝221を形成する方が、溝211〜213または溝221の形成が容易となる。また、リード線電極203a、203bの幅広の領域に加えられた熱が、幅狭の領域に伝導し、さらに、幅狭の領域の直下のベース板201に伝導した場合も、この熱が、周囲に拡散することを抑止できる。   As in the first and second embodiments, it is easier to form the grooves 211 to 213 or the groove 221 when the grooves 211 to 213 or the groove 221 are formed so as to surround the entire lead wire electrodes 203a and 203b. It becomes. Further, when the heat applied to the wide region of the lead wire electrodes 203a and 203b is conducted to the narrow region and further conducted to the base plate 201 directly below the narrow region, this heat is also absorbed by the surrounding region. Can be prevented from spreading.

<変更例3>
上記実施例1、2では、リード線電極203a、203bが隣り合うように配置されたが、電極203の配置パターンによっては、リード線電極203a、203bが互いに隣り合わないように配置され得る。たとえば、リード線電極203aが基板20の1つの角部分に配置され、リード線電極203bが基板20の他の角部分に配置される場合がある。このような場合は、これらリード線電極203a、203bを個別に囲むように、ベース板201の下面に溝を形成すればよい。
<Modification 3>
In the first and second embodiments, the lead wire electrodes 203a and 203b are arranged so as to be adjacent to each other. However, depending on the arrangement pattern of the electrodes 203, the lead wire electrodes 203a and 203b may be arranged so as not to be adjacent to each other. For example, the lead wire electrode 203a may be disposed at one corner portion of the substrate 20 and the lead wire electrode 203b may be disposed at another corner portion of the substrate 20. In such a case, a groove may be formed on the lower surface of the base plate 201 so as to individually surround the lead wire electrodes 203a and 203b.

たとえば、図8(a)に示すように、X軸正側かつY軸負側の角の位置にリード線電極203bが配置される場合、リード線電極203bを囲むように、2つの溝231、232が、ベース板201の下面に形成される。これにより、溝231、232が障壁となって、熱が周囲に拡散することが抑止されるため、半田付けのために加えられた熱がリード線電極203bに溜まりやすくなる。よって、リード線電極203bに対するリード線40bの半田付けを容易且つ確実に行うことができる。   For example, as shown in FIG. 8 (a), when the lead wire electrode 203b is disposed at a corner on the X axis positive side and the Y axis negative side, the two grooves 231 to surround the lead wire electrode 203b, 232 is formed on the lower surface of the base plate 201. As a result, the grooves 231 and 232 serve as a barrier and the heat is prevented from diffusing to the surroundings, so that the heat applied for soldering easily accumulates in the lead wire electrode 203b. Therefore, it is possible to easily and reliably solder the lead wire 40b to the lead wire electrode 203b.

なお、図8(a)の構成においても、一続きの溝によって、リード線電極203bが囲まれてもよい。また、リード線電極203bのうち、幅広の領域のみを囲むように溝が形成されてもよい。   8A, the lead wire electrode 203b may be surrounded by a continuous groove. Further, a groove may be formed so as to surround only a wide region of the lead wire electrode 203b.

<変更例4>
上記実施例1、2では、リード線電極203a、203bを矩形に囲むように溝211〜213または溝221が形成されたが、溝が囲む領域は、必ずしも矩形に限られるものではない。たとえば、図8(b)に示すように、リード線電極203a、203bを囲む領域が半円形状となるように、ベース板201の下面に溝241を形成してもよい。この場合も、リード線電極203a、203bの幅広の領域が略溝241によって囲まれるため、リード線電極203a、203bに対するリード線40a、40bの半田付けを円滑かつ確実に行うことができる。
<Modification 4>
In the first and second embodiments, the grooves 211 to 213 or the groove 221 are formed so as to surround the lead wire electrodes 203a and 203b in a rectangular shape, but the region surrounded by the groove is not necessarily limited to a rectangular shape. For example, as shown in FIG. 8B, a groove 241 may be formed on the lower surface of the base plate 201 so that the area surrounding the lead wire electrodes 203a and 203b is semicircular. Also in this case, since the wide regions of the lead wire electrodes 203a and 203b are surrounded by the substantially grooves 241, the lead wires 40a and 40b can be soldered smoothly and reliably to the lead wire electrodes 203a and 203b.

また、平面視において、リード線電極203a、203bとともにその周辺の電極203をも囲むように、やや広めに、溝がベース板201の下面に形成されてもよい。ただし、この場合は、溝に囲まれた領域に含まれる電極203に接合されている熱電変換素子30とベース板201との間の熱交換効率がやや低下する。このため、溝が囲む領域は、なるべく、リード線40a、40bが接合される領域に近づくように制限することが好ましい。   Further, in plan view, a groove may be formed in the lower surface of the base plate 201 so as to surround the lead electrodes 203a and 203b as well as the surrounding electrodes 203. However, in this case, the heat exchange efficiency between the thermoelectric conversion element 30 and the base plate 201 joined to the electrode 203 included in the region surrounded by the groove is slightly lowered. For this reason, it is preferable to limit the region surrounded by the groove as close as possible to the region where the lead wires 40a and 40b are joined.

また、基板20は、ベース板201と絶縁層202のみならず他の層をさらに含んでいてもよい。また、ベース板201が、複数の層からなっていてもよく、絶縁層202が複数の層からなっていてもよい。また、基板10が熱伝導特性に優れた材料からなっており、且つ、基板10側に一方のリード線電極が配置される場合には、平面視においてこのリード線電極を囲むように、基板10の上面に、溝を形成すればよい。   The substrate 20 may further include other layers in addition to the base plate 201 and the insulating layer 202. Further, the base plate 201 may be composed of a plurality of layers, and the insulating layer 202 may be composed of a plurality of layers. In addition, when the substrate 10 is made of a material having excellent heat conduction characteristics and one lead wire electrode is disposed on the substrate 10 side, the substrate 10 is surrounded so as to surround the lead wire electrode in plan view. A groove may be formed on the upper surface.

以上の変更例の他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。   In addition to the above modifications, the embodiment of the present invention can be variously modified as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 … 熱電変換システム
20 … 基板
30 … 熱電変換素子
40a、40b … リード線
101 … 電極群(第2の電極群)
201 … ベース板
202 … 絶縁層
203 … 電極(第1の電極群)
203a、203b … リード線電極
211〜213 … 溝
221 … 溝
231 … 溝
241 … 溝
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Thermoelectric conversion system 20 ... Board | substrate 30 ... Thermoelectric conversion element 40a, 40b ... Lead wire 101 ... Electrode group (2nd electrode group)
201 ... Base plate 202 ... Insulating layer 203 ... Electrode (first electrode group)
203a, 203b ... Lead wire electrodes 211-213 ... Groove 221 ... Groove 231 ... Groove 241 ... Groove

Claims (8)

基板と、
前記基板の上面に形成された第1の電極群と、
下面が前記第1の電極群に接合される複数の熱電変換素子と、
前記複数の熱電変換素子の上面に接合される第2の電極群と、を備え、
前記第1の電極群のうちリード線が接続されるリード線電極を平面視において囲むように、前記基板の下面に溝が形成されている、
ことを特徴とする熱電変換器。
A substrate,
A first electrode group formed on the upper surface of the substrate;
A plurality of thermoelectric conversion elements whose lower surfaces are joined to the first electrode group;
A second electrode group joined to the upper surfaces of the plurality of thermoelectric conversion elements,
A groove is formed on the lower surface of the substrate so as to surround a lead wire electrode to which a lead wire is connected in the first electrode group in a plan view.
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項1に記載の熱電変換器において、
前記リード線電極は、複数の前記溝によって囲まれている、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to claim 1,
The lead wire electrode is surrounded by the plurality of grooves,
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項1に記載の熱電変換器において、
前記リード線電極は、一続きの前記溝によって囲まれている、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to claim 1,
The lead wire electrode is surrounded by a series of the grooves,
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項1ないし3の何れか一項に記載の熱電変換器において、
前記基板は、熱伝導性のベース板と、前記ベース板の上面を覆う絶縁層とを備え、
前記第1の電極群は、前記絶縁層の上面に形成され、
前記溝は、前記ベース板に形成されている、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to any one of claims 1 to 3,
The substrate includes a thermally conductive base plate and an insulating layer covering an upper surface of the base plate,
The first electrode group is formed on an upper surface of the insulating layer,
The groove is formed in the base plate.
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項4に記載の熱電変換器において、
前記溝の深さは、前記ベース板の厚みと同じである、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to claim 4, wherein
The depth of the groove is the same as the thickness of the base plate.
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項4に記載の熱電変換器において、
前記溝の深さは、前記ベース板の厚みよりも小さい、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to claim 4, wherein
The depth of the groove is smaller than the thickness of the base plate,
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項1ないし6の何れか一項に記載の熱電変換器において、
前記溝は、前記リード線電極のうち、前記熱電変換素子が接合される以外の領域を囲んでいる、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to any one of claims 1 to 6,
The groove surrounds a region of the lead wire electrode other than the region where the thermoelectric conversion element is bonded.
A thermoelectric converter characterized by that.
請求項1ないし6の何れか一項に記載の熱電変換器において、
前記溝は、前記リード線電極の全領域を囲んでいる、
ことを特徴とする熱電変換器。
The thermoelectric converter according to any one of claims 1 to 6,
The groove surrounds the entire area of the lead wire electrode,
A thermoelectric converter characterized by that.
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