JP2018009978A - クランプ式プローブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】サイズが小さく、動作が効率的で、低コストのクランプ式プローブ装置を提供する。【解決手段】互いに接続された第１のクランプ部２１２および第１の取付部２１１を備える第１のプレス部材２１０と、互いに接続された第２のクランプ部２２２および第２の取付部２２１を備え、第２のクランプ部と第１のクランプ部が互いに隔てられている第２のプレス部材２２０と、複数の接触部材を備えるプローブヘッド２３０であって、複数の接触部材の各々が、互いに接続された２つの湾曲部を備え、互いに対向する複数の接触部材の各々の２つの端部が、それぞれ、第１のアセンブリホールおよび第２のアセンブリホールを通って設けられ、および複数の接触部材の各々の２つの湾曲部が、それぞれ、第１のアセンブリホールの内側面および第２のアセンブリホールの内側面に押し付けられるプローブヘッドと、を備える【選択図】図１Ｂ

Description

本開示は、クランプ式プローブ装置に関し、より具体的には、電気部品を検査するためのクランプ式プローブ装置に関する。

電子装置は、製造歩留まりを高めるために、および信頼性を確実にするために、製造後に検査しなければならない。パフォーマンスを確実にするために、パウチ型バッテリは、販売される前に、クランプ式プローブ装置による充放電検査を受けることになる。

一般に、検査プロセス中に、クランプ式プローブ装置は、特定の電圧または電流を、プローブを介してパウチ型バッテリに送る。しかし、従来のクランプ式プローブ装置において、そのプローブは、プローブを動かすために構成された駆動部材上に設けられている。したがって、そのプローブは、動かすための十分な空間を必要とするが、それは、クランプ式プローブ装置のサイズを最小化するのには有利ではない。また、従来のクランプ式プローブ装置は、大量のパウチ型バッテリを同時に検査することが不可能であり、それにより、効率および生産性が低下する。さらに、プローブがパウチ型バッテリに押し付けられた場合、そのプローブは撓みによる応力を受け、その応力はプローブに接続されている駆動部材に伝わる。駆動部材がその応力によって損傷を受けるのを防ぐために、駆動部材は通常高強度材料で形成されるか、追加的な構造によって補強されるが、それにより、クランプ式プローブ装置の製造コストが増加する。

本開示は、サイズが小さく、動作が効率的で、低コストのクランプ式プローブ装置を提供する。

本開示の一つの実施形態は、第１のプレス部材と、第２のプレス部材と、プローブヘッドとを備えるクランプ式プローブ装置を提供する。第１のプレス部材は、互いに接続された第１のクランプ部および第１の取付部を備えている。第１のプレス部材は、第１のアセンブリホールおよび第２のアセンブリホールを有している。第２のプレス部材は、互いに接続された第２のクランプ部および第２の取付部を備えている。第２の取付部と第１の取付部は、互いに接続されている。第２のクランプ部と第１のクランプ部は、互いに隔てられている。プローブヘッドは、複数の接触部材を備えている。複数の接触部材の各々は、互いに接続された２つの湾曲部を備えている。互いに対向している複数の接触部材の各々の２つの端部は、それぞれ、第１のアセンブリホールおよび第２のアセンブリホールを通って設けられている。複数の接触部材の各々の２つの湾曲部は、それぞれ、第１のアセンブリホールの内側面および第２のアセンブリホールの内側面に押し付けられる。

上述したようなクランプ式プローブ装置によれば、プローブヘッドの接触部材の各々は２つの湾曲部を含み、第１のプレス部材は複数のアセンブリホールを有している。接触部材の各々はアセンブリホールのペアの一方を通って設けられ、２つの湾曲部は、それぞれ、アセンブリホールの一方のペアの内側面に押し付けられる。したがって、プローブヘッドの接触部材はクランプ式で第１のプレス部材上に設けられ、そのことは、プローブアセンブリの重量を軽くし、かつサイズを小さくするのに有利である。また、本開示は、押圧部材を備えるクランプ式プローブ装置も提供する。押圧部材は、第１のプレス部材および第２のプレス部材の少なくとも一方を押圧して、プローブヘッドと第２のクランプ部を互いに近づくように動かすことが可能である。そのため、第１のプレス部材の第１のクランプ部と第２のプレス部材の第２のクランプ部は、一緒に検査対象物をクランプして、その検査対象物の検査面を定位置に固定することが可能である。この時点で、プローブヘッドは検査面と接触しており、クランプ式プローブ装置は、電流または電圧を用いて、その検査対象物に対して充放電検査を実施することができる。本開示のクランプ式プローブ装置は、プローブアセンブリによって検査対象物をクランプすることができ、プローブアセンブリのプレス部材をプレスする押圧部材によってその検査対象物に対する充放電検査を実施することができる。そのため、プローブアセンブリを作動させるための機構を単純化するのに有利であり、それにより、クランプ式プローブ装置のサイズが最小化される。さらに、押圧部材およびプローブアセンブリのための追加的な固定機構（例えば、ロック機構または係合機構）がないため、押圧部材に伝達されるように、第１のプレス部材および第２のプレス部材が互いに近づいた場合に生じる応力を抑えるのに有利である。したがって、押圧部材は、高強度材料で形成される必要はなく、または、補強構造を有し、それによって、製造コストが最少化される。

本開示は、本明細書において以下に示す詳細な説明と、単に例示として示され、そのため本開示を制限することを意図するものではない添付図面とから、より十分に理解されるであろう。
本開示の第１の実施形態に係るクランプ式プローブ装置の斜視図である。 図１Ａのクランプ式プローブ装置の分解図である。 図１Ａのクランプ式プローブ装置のプレス部材の部分拡大分解斜視図である。 図１Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。 ２つの検査対象物がそれぞれ、２つのプレス部材に配置されている状態の、図１Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。 検査対象物をクランプしている間の、図１Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。 本開示の第２の実施形態に係るクランプ式プローブ装置の断面図である。 検査対象物をクランプしている間の、図２Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。 本開示の第３の実施形態に係るクランプ式プローブ装置の断面図である。 検査対象物をクランプしている間の、図３Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。

以下の詳細な説明においては、説明の目的のため、開示した実施形態の完全な理解を与えるために、多くの具体的な詳細が記載されている。しかし、それらの具体的な詳細を要することなく、一つ以上の実施形態を実施できることは明らかであろう。他の例では、図を簡略化するために、周知の構造および装置が模式的に図示されている。

図１Ａ〜図１Ｄを参照すると、図１Ａは、本開示の第１の実施形態に係るクランプ式プローブ装置の斜視図である。図１Ｂは、図１Ａのクランプ式プローブ装置の分解図である。図１Ｃは、図１Ａのクランプ式プローブ装置のプレス部材の部分拡大分解斜視図である。図１Ｄは、図１Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。この実施形態において、クランプ式プローブ装置１は、ベース１０と、２つのプローブアセンブリ２０と、動力源３０と、第１の押圧部材４０と、第２の押圧部材５０とを含む。

ベース１０は、キャリア１１０と、電気絶縁部材１２０とを含む。電気絶縁部材１２０はキャリア１１０に固定されているが、本開示はこれに限定されない。他の実施形態では、ベース１０は、電気絶縁部材１２０を含んでいなくてもよいが、漏電を防ぐために、電気絶縁部材で被覆されている。

プローブアセンブリ２０の各々は、第１のプレス部材２１０と、第２のプレス部材２２０と、プローブヘッド２３０とを含む。第１のプレス部材２１０は、互いに接続された第１の取付部２１１および第１のクランプ部２１２を含む。第２のプレス部材２２０は、互いに接続された第２の取付部２２１および第２のクランプ部２２２を含む。第１の取付部２１１と、第２の取付部２２１は、電気絶縁部材１２０に固定されている。換言すれば、第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０は、電気絶縁部材１２０を介してキャリア１１０に固定されている。各プローブアセンブリ２０において、第１のクランプ部２１２と、第２のクランプ部２２２は、互いに対向している。プローブヘッド２３０は、第１のクランプ部２１２に設けられた複数の接触部材２３１を含み、接触部材２３１の各々の一部は、第１のクランプ部２１２と第２のクランプ部２２２との間に配設されている。プローブヘッド２３０と、第２のクランプ部２２２は互いに隔てられ、および一緒に開口部２４０を形成している。

また、この実施形態では、図１Ｄに図示されているように、一方のプローブアセンブリ２０の第１のクランプ部２１２と他方のプローブアセンブリ２０の第２のクランプ部２２２との間の距離Ｄ１は２．０ミリメートル（ｍｍ）であり、各プローブアセンブリ２０の第１のクランプ部２１２と第２のクランプ部２２２との間の最大距離Ｄ２は１６．５ｍｍである。しかし、本開示はそれに限定されない。いくつかの実施形態において、距離Ｄ１は２．０ｍｍ以下であってもよく、距離Ｄ２は１６．５ｍｍ以上であってもよい。さらに、いくつかの実施形態において、距離Ｄ１は２．０ｍｍより大きくてもよく、距離Ｄ２は１６．５ｍｍ未満であってもよい。

動力源３０は、例えば、複数の空圧駆動ユニット、油圧駆動ユニットまたはモータを含む。この実施形態では、動力源３０は、２つの空圧駆動ユニット３１０を含み、各空圧駆動ユニット３１０は、例えば、シリンダおよびピストンを含む。空圧駆動ユニット３１０は、ベース１０のキャリア１１０上に配置され、プローブアセンブリ２０の対向する両側にそれぞれ配設されている。

第１の押圧部材４０は、動力源３０の空圧駆動ユニット３１０の一方に接続されている。第１の押圧部材４０は、２つの第１の縁部４１０を有する。詳細には、この実施形態では、第１の押圧部材４０は、２つの第１のスルーホール４２０を有し、２つの第１の縁部４１０は、それぞれ、第１のスルーホール４２０の内側面の少なくとも一部に配設されている。第２の押圧部材５０は、動力源３０の他方の空圧駆動ユニット３１０に接続されている。第２の押圧部材５０は、２つの第２の縁部５１０を有する。詳細には、この実施形態では、第２の押圧部材５０は、２つの第２のスルーホール５２０を有し、２つの第２の縁部５１０は、それぞれ、第２のスルーホール５２０の内側面の少なくとも一部に配設されている。プローブアセンブリ２０は、第１の押圧部材４０の第１の縁部４１０と、第２の押圧部材５０の第２の縁部５１０との間に配設されている。詳細には、２つのプローブアセンブリ２０は、それぞれ、第１の押圧部材４０の２つの第１のスルーホール４２０を通って設けられ、また、それぞれ、第２の押圧部材５０の２つの第２のスルーホール５２０を通って設けられている。動力源３０の２つの空圧駆動ユニット３１０は第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０をそれぞれ動かすことができ、その結果、第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０は、第１の押圧部材４０の第１の縁部４１０と、第２の押圧部材５０の第２の縁部５１０とによって、それぞれ押し付けられることが可能である。詳細には、図１Ｄに示すように、動力源３０は、第１の押圧部材４０を第１の方向Ａに動かして、プローブアセンブリ２０の第１のプレス部材２１０に押し付けることができ、および第２の押圧部材５０を第１の方向Ａとは逆の第２の方向Ｂに動かして、プローブアセンブリ２０の第２のプレス部材２２０に押し付けることができる。

この実施形態では、プローブアセンブリ２０の数は２つであり、第１の押圧部材４０はプローブアセンブリ２０と同じ数の第１のスルーホール４２０を有し、第２の押圧部材５０はプローブアセンブリ２０と同じ数の第２のスルーホール５２０を有しているが、本開示は、プローブアセンブリ２０、第１のスルーホール４２０および第２のスルーホール５２０の数に限定されない。また、この実施形態では、第１の縁部４１０は、それぞれ、第１の押圧部材４０のスルーホール４２０内に形成され、また、第２の縁部５１０は、それぞれ、第２の押圧部材５０のスルーホール５２０内に形成されているが、本開示はそれに限定されない。いくつかの実施形態において、プローブアセンブリ２０の数が複数である場合、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０はスルーホールではなく複数の凹部を有していてもよく、そのような場合、第１の縁部４１０は第１の押圧部材４０の凹部の内側面の少なくとも一部に配設され、第２の縁部５１０は第２の押圧部材５０の凹部の内側面の少なくとも一部に配設され、プローブアセンブリ２０は、それらの凹部を貫通することができる。いくつかの実施形態において、プローブアセンブリ２０の数が一つである場合、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０はスルーホールを有していなくてもよく、この場合、第１の縁部４１０はプローブアセンブリ２０に対向している第１の押圧部材４０の側面に配設され、第２の縁部５１０はプローブアセンブリ２０に対向している第２の押圧部材５０の側面に配設されている。

この実施形態では、クランプ式プローブ装置１はさらに、ベース１０上に設けられている、２つの案内溝６０ａおよび２つの案内溝６０ｂを含む。詳細には、ベース１０はさらに、案内座部１３０を含む。２つの案内溝６０ａはベース１０のキャリア１１０上に設けられ、２つの案内溝６０ｂは案内座部１３０に設けられている。第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０は、キャリア１１０と案内座部１３０との間に配設されている。第１の押圧部材４０の２つの対向側部は、キャリア１１０の案内溝６０ａの一方および案内座部１３０の案内溝６０ｂの一方にそれぞれ配置されている。第２の押圧部材５０の２つの対向側部は、キャリア１１０の他方の案内溝６０ａおよび案内座部１３０の他方の案内溝６０ｂにそれぞれ配置されている。この実施形態では、案内溝６０ａ，６０ｂは、それぞれ、キャリア１１０および案内座部１３０に設けられているが、本開示は、そのことに限定されない。他の実施形態では、ベース１０は、案内座部１３０を含まなくてもよいが、一つまたは２つの案内溝６０ａが設けられているキャリア１１０だけは含んでいる。

さらに、この実施形態では、第１のプレス部材２１０は中空構造２１３を有し、第２のプレス部材２２０は中空構造２２３を有する。詳細には、この実施形態では、中空構造２１３，２２３は、複数の開口部である。第１のプレス部材２１０の開口部は第１の取付部２１１と第１のクランプ部２１２との間に配設され、第２のプレス部材２２０の開口部は、第２の取付部２２１と第２のクランプ部２２２との間に配設されている。

さらに、この実施形態では、各第２のプレス部材２２０はさらに、傾斜案内面２２４を有している。傾斜案内面２２４は、第２のクランプ部２２２に設けられ、および第１のプレス部材２１０の第１のクランプ部２１２に対向している。

この実施形態では、各第１のプレス部材２１０はさらに、第１のプレス部材２１０の一方の端部に配設された複数のアセンブリホール２１４ａ，２１４ｂを有している。詳細には、図１Ｃに示すように、第１のクランプ部２１２に設けられた複数のアセンブリホール２１４ａは一列に配列され、また、第１のクランプ部２１２に設けられた複数のアセンブリホール２１４ｂは別の一列に配列されている。互いに整列されているアセンブリホール２１４ａの一つとアセンブリホール２１４ｂの一つは、ホールのペアになっていると見なされる。プローブヘッド２３０の接触部材２３１の各々は、互いに接続された２つの湾曲部２３１１を含む。各接触部材２３１の２つの対向する端部は、それぞれ、アセンブリホール２１４ａ，２１４ｂのペアの一方を通って設けられている。接触部材２３１がアセンブリホール２１４ａ，２１４ｂを通って設けられている場合、２つの湾曲部２３１１は、それぞれ、アセンブリホール２１４ａおよびアセンブリホール２１４ｂの内側面に押し付けられる。詳細には、アセンブリホール２１４ａ，２１４ｂはともに、複数の係合凹部２１４１を有している。アセンブリホール２１４ａ，２１４ｂの各ペアにおいて、アセンブリホール２１４ａの係合凹部２１４１は、アセンブリホール２１４ｂに近い方のアセンブリホール２１４ａの内側面に設けられ、同様に、アセンブリホール２１４ｂの係合凹部２１４１は、アセンブリホール２１４ａに近い方のアセンブリホール２１４ｂの内側面に設けられている。接触部材２３１の湾曲部２３１１は、接触部材２３１の２つの端部をアセンブリホール２１４ａ，２１４ｂを通して配置できるように、開くことができるようになっている。接触部材２３１がアセンブリホール２１４ａ，２１４ｂを貫通して解放された後、接触部材２３１の湾曲部２３１１は、その元の位置に戻って、アセンブリホール２１４ａ，２１４ｂの内側面に押し付けられて、それぞれ係合凹部２１４１に配置される。したがって、プローブヘッド２３０の接触部材２３１はクランプ式で第１のプレス部材２１０上に設けられ、そのことは、プローブアセンブリ２０の重量を軽くし、かつサイズを小さくするのに有利である。さらに、係合凹部２１４１は、接触部材２３１を定位置に固定するのに有利である。本開示は、アセンブリホール２１４ａ，２１４ｂの数に制限はなく、他の実施形態では、アセンブリホールの数は２つであってもよい。

この実施形態では、プローブアセンブリ２０の第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０が、それぞれ、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０によって押圧された場合、第１のプレス部材２１０に設けられたプローブヘッド２３０と、第２のプレス部材２２０の第２のクランプ部２２２は互いに近づくように動いて、充放電検査のための検査対象物をクランプする。図１Ｅおよび図１Ｆを参照のこと。図１Ｅは、図１Ａのクランプ式プローブ装置の断面図であり、２つの検査対象物が、それぞれ、２つのプレス部材に配置されている。図１Ｆは、検査対象物をクランプしている間の、図１Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。この実施形態では、各プローブアセンブリ２０は、検査対象物２をクランプすること、および検査対象物２に対して充放電検査を実施することが可能である。検査対象物２は、例えば、バッテリ電極または半導体ウェーハである。

以下の段落では、クランプ式プローブ装置１を用いて、検査対象物２を検査する方法について説明する。図１Ｅに示すように、検査対象物２は、開口部２４０を介して、プローブアセンブリ２０の第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０との間に配置される。詳細には、検査対象物２は、第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０との間に固定されるように、開口部２４０から第２のプレス部材２２０の傾斜案内面２２４に沿って動かされる。この時点で、検査対象物２の検査面（例えば、図示されていないオーム接触）が、第１のクランプ部２１２と第２のクランプ部２２２との間に設けられる。プローブヘッド２３０は検査対象物２の検査面に対向し、プローブヘッド２３０と検査面は互いに接触してはいない。

そして、動力源３０は、反対方向（第１の方向Ａおよび第２の方向Ｂ）に動くように第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０を駆動し、その後、第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０が、それぞれ、第１の縁部４１０および第２の縁部５１０によって押し付けられる。図１Ｆに示すように、第１のプレス部材２１０が第１の押圧部材４０によって押し付けられ、および第２のプレス部材２２０が第２の押圧部材５０によって押し付けられると、プローブヘッド２３０と第２のプレス部材２２０の第２のクランプ部２２２は互いに近づくように動かされ、および第１のクランプ部２１２と第２のクランプ部２２２との距離が小さくなる。そのようにすることにより、検査対象物２が第１のクランプ部２１２および第２のクランプ部２２２によってクランプされて、検査対象物２の検査面が定位置に固定される。この時点で、プローブヘッド２３０は検査面と接触しているため、クランプ式プローブ装置１は、電流または電圧を用いて、検査対象物２に対して充放電検査を実行することができる。

したがって、この実施形態では、クランプ式プローブ装置１は、第１および第２の押圧部材４０，５０によって検査対象物２をクランプすることが可能であり、それぞれ、プローブアセンブリ２０の第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０を押圧することが可能であり、さらに、第１および第２の押圧部材４０，５０ならびにプローブアセンブリ２０のための追加的な固定機構（例えば、ロッキング機構または係合機構）がないため、プローブアセンブリ２０を動かすための機構を単純化するのに有利であり、それによって、クランプ式プローブ装置のサイズが最小化される。また、そのことは、隣接するプローブアセンブリ２０の間の距離Ｄ１を小さくするのにも有利であるため、クランプ式プローブ装置１によって大量の検査対象物２を同時に検査することが可能であり、それによって検査効率が向上する。また、第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０が互いに近づくように動かされたときに生じる応力が第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０に伝達されるのを防ぐことが可能である。したがって、この実施形態では、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０は、低コストで構造がシンプルな基板（例えば、ガラス繊維基板）であるが、高強度材料で形成されていない、または、補強構造を有していない。

この実施形態では、各プローブアセンブリ２０は、第２のプレス部材２２０上に設けられた傾斜案内面２２４を有している。ユーザが検査対象物２を配置する場合、検査対象物２は、第２のプレス部材２２０に押し付けられて、第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０との間の位置へ動かされる。検査対象物２は、傾斜案内面２２４に沿って動かされて、第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０との間の位置に配置される。したがって、ユーザは、検査対象物２を配置する間、検査対象物２とプローブヘッド２３０との間に十分な量の距離を保つために、傾斜案内面２２４によって、第２のプレス部材２２０に押し付けるように検査対象物２を動かすことができ、それにより、検査対象物２の検査面が、プローブヘッド２３０によって損傷するのが防止される。

また、この実施形態では、プローブアセンブリ２０の第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０は、開口部である中空構造２１３，２２３を有している。そのため、そのことは、第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０の柔軟性を向上させるのに有利であり、それにより、第１のプレス部材２１０および第２のプレス部材２２０が押し付けられたときに生じる応力による第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０の変形やずれが防止される。

さらに、この実施形態では、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０は案内溝６０ａ，６０ｂに配置されているため、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０は、プローブアセンブリ２０に押し付けるように案内溝６０ａ，６０ｂに沿って動かすことができる。したがって、案内溝６０ａ，６０ｂは、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０を所定の経路で動かし続けるのに有利であり、それによって、所定の経路からのずれによる、第１の押圧部材４０および第２の押圧部材５０のずれが防止される。

この実施形態では、プローブヘッドアセンブリの第１のプレス部材および第２のプレス部材はそれぞれ、検査対象物をクランプするように、２つの押圧部材によって押し付けられるが、本開示はそれに限定されない。図２Ａおよび図２Ｂを参照する。図２Ａは、本開示の第２の実施形態によるクランプ式プローブ装置の断面図である。図２Ｂは、検査対象物をクランプしている間の、図２Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。第２の実施形態は第１の実施形態と同様であるため、以下の段落では、それらの実施形態の間の違いだけを説明する。

この実施形態では、クランプ式プローブ装置１は、押圧部材４０を一つだけ含む。また、ベース１０は、キャリア１１０上に固定された支持部材１４０をさらに含む。プローブアセンブリ２０の第２のプレス部材２２０は、支持部材１４０に押し付けられるか、支持部材１４０に固定されている。動力源３０は、プローブヘッド２３０と第２のプレス部材２２０の第２のクランプ部２２２を互いに近づくように動かすために、第１の縁部４１０で第１のプレス部材２１０を押圧するように押圧部材４０を動かすことができる。したがって、この実施形態では、クランプ式プローブ装置１は、検査対象物２をクランプすることおよび一つの押圧部材だけで検査対象物２に対する検査を実施することが可能である。さらに、この実施形態では、押圧部材４０にはスルーホールがないため、第１の縁部４１０は、第１のプレス部材２１０に近い、押圧部材４０の側部に配設されている。

この実施形態では、第２のプレス部材２２０は支持部材１４０に固定され、第１のプレス部材２１０は押圧部材４０によって押圧されるが、本開示はそれに限定されない。他の実施形態では、第１のプレス部材２１０は支持部材１４０に取り付けられてもよく、第２のプレス部材２２０は押圧部材によって押圧される。

第１の実施形態および第２の実施形態において、押圧部材は、ベースの法線方向に直角な方向に移動可能であるが、本開示はそれに限定されない。図３Ａおよび図３Ｂを参照のこと。図３Ａは、本開示の第３の実施形態によるクランプ式プローブ装置の断面図である。図３Ｂは、検査対象物をクランプしている間の、図３Ａのクランプ式プローブ装置の断面図である。第３の実施形態は第２の実施形態と同様であるため、以下の段落では、それらの実施形態の間の違いのみを説明する。

この実施形態では、クランプ式プローブ装置１は、押圧部材４０を一つだけ含む。動力源３０は、押圧部材４０を第３の方向Ｃに動かすことができ、第３の方向Ｃは、第２の実施形態における押圧部材が動かされる方向に直角である。この実施形態では、押圧部材４０のスルーホール４２０の幅Ｓは、第１のプレス部材２１０の第１のクランプ部２１２と第２のプレス部材２２０の第２のクランプ部２２２との間の距離よりも小さいため、押圧部材４０がプローブヘッド２３０に向かう方向に動かされると、第１のプレス部材２１０と第２のプレス部材２２０はスルーホール４２０の２つの対向する内側面によって押圧され、そのため、第１のクランプ部２１２と第２のクランプ部２２２は互いに近づくように動かされる。したがって、この実施形態では、クランプ式プローブ装置１は、検査対象物２をクランプすることおよび一つの押圧部材だけで検査対象物２に対する検査を実施することが可能である。

上述したようなクランプ式プローブ装置によれば、押圧部材は、第１のプレス部材および第２のプレス部材の少なくとも一方を押圧するために、プローブアセンブリに対して移動可能である。第１のプレス部材および第２のプレス部材が、それぞれ、第１の押圧部材および第２の押圧部材によって押圧された場合、プローブヘッドと第２のクランプ部は、互いに近づくように動かされる。そのため、第１のプレス部材の第１のクランプ部と第２のプレス部材の第２のクランプ部は、一緒に検査対象物をクランプして、検査対象物の検査面を定位置に固定することが可能である。この時点で、プローブヘッドは検査面に接触しており、クランプ式プローブ装置は、電流または電圧を用いて、検査対象物に対して充放電検査を実施することができる。本開示に係るクランプ式プローブ装置は、プローブアセンブリによって検査対象物をクランプすることと、プローブアセンブリのプレス部材をプレスする押圧部材によって検査対象物に対する充放電検査を実施することができ、さらに、押圧部材およびプローブアセンブリのための追加的な固定機構（例えば、ロッキング機構または係合機構）がないため、プローブアセンブリを作動させるための機構を単純化するのに有利であり、それにより、クランプ式プローブ装置のサイズが最小化される。さらに、そのことは、隣接するプローブアセンブリの間の距離を小さくするのにも有利であるため、クランプ式プローブ装置は、大量の検査対象物を同時に検査することが可能であり、それにより、検査効率が向上する。また、第１のプレス部材および第２のプレス部材が互いに近づくように動かされたときに生じる応力が押圧部材に伝達されるのを防ぐことが可能である。したがって、押圧部材は、低コストで構造がシンプルな基板であるが、高強度材料で形成されていない、または、補強構造を有していない。

さらに、プローブヘッドの接触部材の各々は２つの湾曲部を含み、第１のプレス部材は複数のアセンブリホールを有している。接触部材の各々はアセンブリホールのペアの一方を通って設けられ、２つの湾曲部は、それぞれ、アセンブリホールの一方のペアの内側面に押し付けられる。したがって、プローブヘッドの接触部材はクランプ式で第１のプレス部材上に設けられ、そのことは、プローブアセンブリの重量を軽くし、かつサイズを小さくするのに有利である。

上記の実施形態は、本開示の原理およびその実際の適用を最も良く説明し、それによって当業者が意図する具体的な用途に合うように、本開示およびさまざまな変更を伴う種々の実施形態を最も良く利用できるように、選択されて記載されている。本開示の範囲は、以下のクレームおよびそれらの等価物によって定義されることが意図されている。

１：クランプ式プローブ装置、２：検査対象物、１０：ベース、２０：プローブアセンブリ、３０：動力源、４０：第１の押圧部材、５０：第２の押圧部材、６０ａ：案内溝、６０ｂ：案内溝、１１０：キャリア、１２０：電気絶縁部材、１３０：案内座部、１４０：支持部材、２１０：第１のプレス部材、２１１：第１の取付部、２１２：第１のクランプ部、２１３：中空構造、２１４ａ：アセンブリホール、２１４ｂ：アセンブリホール、２２０：第２のプレス部材、２２１：第２の取付部、２２２：第２のクランプ部、２２３：中空構造、２２４：傾斜案内面、２３０：プローブヘッド、２３１：接触部材、２４０：開口部、３１０：空圧駆動ユニット、４１０：第１の縁部、４２０：第１のスルーホール、５１０：第２の縁部、５２０：第２のスルーホール、２１４１：係合凹部、２３１１：湾曲部

Claims (10)

1. 互いに接続された第１のクランプ部および第１の取付部を備え、第１のアセンブリホールおよび第２のアセンブリホールを有する第１のプレス部材と、
   互いに接続された第２のクランプ部および第２の取付部を備え、前記第２の取付部と前記第１の取付部が互いに接続され、および前記第２のクランプ部と前記第１のクランプ部が互いに隔てられている第２のプレス部材と、
   複数の接触部材を備えるプローブヘッドであって、前記複数の接触部材の各々が、互いに接続された２つの湾曲部を備え、互いに対向する前記複数の接触部材の各々の２つの端部が、それぞれ、前記第１のアセンブリホールおよび前記第２のアセンブリホールを通って設けられ、および前記複数の接触部材の各々の２つの湾曲部が、それぞれ、前記第１のアセンブリホールの内側面および前記第２のアセンブリホールの内側面に押し付けられるプローブヘッドと、
   を備えるクランプ式プローブ装置。
2. ベースと、
   前記ベース上に移動可能に設けられ、第１の縁部を有する第１の押圧部材と、
   前記ベース上に移動可能に設けられ、第２の縁部を有する第２の押圧部材と、
   をさらに備え、
   前記第１の押圧部材と前記第２の押圧部材は互いに対して移動可能であり、前記第１の押圧部材は前記第１の縁部で前記第１のプレス部材を押圧することができ、前記第２の押圧部材は前記第２の縁部で前記第２のプレス部材を押圧することができ、前記第１のプレス部材および前記第２のプレス部材がそれぞれ前記第１の押圧部材および前記第２の押圧部材によって押圧された場合、前記プローブヘッドと前記第２のクランプ部は、互いに近づくように動かされる、請求項１に記載のクランプ式プローブ装置。
3. 前記ベースは、キャリアおよび電気絶縁部材を備え、前記電気絶縁部材は前記キャリアに固定され、前記第１のプレス部材および前記第２のプレス部材は、前記電気絶縁部材を介して前記キャリアに固定される、請求項２に記載のクランプ式プローブ装置。
4. 前記第１の押圧部材は、前記第１のプレス部材を押圧するように、第１の方向に移動可能であり、前記第２の押圧部材は、前記第２の押圧部材を押圧するように、前記第１の方向とは逆の第２の方向に移動可能である、請求項２に記載のクランプ式プローブ装置。
5. 前記第１の押圧部材は第１のスルーホールを有し、前記第２の押圧部材は第２のスルーホールを有し、前記第１の縁部は前記第１のスルーホール内に配設され、前記第２の縁部は前記第２のスルーホール内に配設され、前記第１のプレス部材および前記第２のプレス部材は、前記第１のスルーホールおよび前記第２のスルーホールを通って設けられる、請求項２に記載のクランプ式プローブ装置。
6. 前記ベース上に配置された動力源をさらに備え、前記第１の押圧部材および前記第２の押圧部材は前記動力源に接続され、前記動力源は前記第１の押圧部材および前記第２の押圧部材を動かすことができる、請求項２に記載のクランプ式プローブ装置。
7. 前記ベース上に設けられた２つの案内溝をさらに備え、前記第１の押圧部材および前記第２の押圧部材がそれぞれ前記２つの案内溝に設けられている、請求項２に記載のクランプ式プローブ装置。
8. 前記第１のアセンブリホールおよび前記第２のアセンブリホールの各々はそれらの内側面に配設された複数の係合凹部を有し、前記複数の接触部材は、それぞれ、前記複数の係合凹部に部分的に配置される、請求項１に記載のクランプ式プローブ装置。
9. ベースと、
   前記ベース上に移動可能に設けられ、前記プローブヘッドと前記第２のクランプ部を互いに近づくように動かすために、前記第１のプレス部材および前記第２のプレス部材の少なくとも一方を押圧するように移動可能である押圧部材と、
   をさらに備える、請求項１に記載のクランプ式プローブ装置。
10. 前記押圧部材はスルーホールを有し、前記第１のプレス部材および前記第２のプレス部材は、前記スルーホールを通って設けられ、前記押圧部材が動かされると、互いに対向している前記スルーホールの２つの側部は、それぞれ、前記第１のプレス部材および前記第２のプレス部材を押圧する、請求項９に記載のクランプ式プローブ装置。