JP2018006747A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 液体が充填された液室および前記液室に連通した吐出口を有し、前記液室の中の液体を前記吐出口から吐出する吐出部と、前記吐出部に接続された流路と、前記流路を介して前記液室の圧力を制御する圧力制御部と、前記吐出部を第１方向に沿って移動させる移動機構と、を備え、
   前記流路は、前記吐出部と前記圧力制御部とを接続する第１流路と、前記吐出部と前記圧力制御部とを接続する第２流路とを有し、前記第１流路と前記第２流路とは、前記第１方向における成分に関して互いに反対方向となる、前記圧力制御部に向かう第２方向を有する第１部分と前記圧力制御部に向かう第３方向を有する第２部分とをそれぞれ有する、ことを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記流路は、前記吐出部および前記圧力制御部を通る循環路を構成する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記吐出部には第１共通接続部が設けられ、前記圧力制御部には第２共通接続部が設けられ、前記第１流路は、前記第１共通接続部と前記第２共通接続部とを接続する１つの経路を構成し、前記第２流路は、前記第１共通接続部と前記第２共通接続部とを接続する他の経路を構成する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
4. 前記圧力制御部は、液体を収容するタンクを含み、前記吐出部は、前記吐出口から液体を下方に吐出するように構成され、前記液室の圧力は、前記タンクの中の液体の液面と前記吐出口の中の液体の液面との高低差によって制御される、
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
5. 前記第１流路に配置されたポンプを備える、
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
6. 前記第２流路に配置された弁を備える、
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
7. 少なくとも前記移動機構が前記吐出部を移動させる速度が変化している期間は、前記弁が開放状態にされる、
   ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
8. 前記吐出部は、分離部によって前記液室から仕切られた圧力制御室を有し、前記圧力制御部は、前記圧力制御室および前記流路に満たされた作動液を介して前記液室の圧力を制御する、
   ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
9. 前記圧力制御部は、前記流路を介して前記液室と連通している、
   ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
10. 前記第２方向および前記第３方向は、前記第１方向に平行である、
    ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
11. 前記第１流路と前記第２流路とは、前記吐出部に対して前記第１流路から加えられる静圧と、前記吐出部に対して前記第２流路から加えられる静圧との差が許容範囲内に収まるように構成されている、
    ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
12. 液体が充填された液室および前記液室に連通した吐出口を有し、前記液室の中の液体を前記吐出口から吐出する吐出部と、前記吐出部に接続された流路と、前記流路を介して前記液室の圧力を制御する圧力制御部と、前記吐出部を第１方向に沿って移動させる移動機構と、を備え、
    前記流路は、前記吐出部と前記圧力制御部とを接続する第１流路と、前記吐出部と前記圧力制御部とを接続する第２流路とを有し、前記第１流路と前記第２流路とは、前記吐出部に対して前記第１流路から加えられる静圧と、前記吐出部に対して前記第２流路から加えられる静圧との差が許容範囲内に収まるように構成されている、ことを特徴とする液体吐出装置。
13. 基板の上にインプリント材を供給する供給部を有し、前記供給部によって前記基板の上に供給された前記インプリント材によりパターンを形成するインプリント装置であって、前記供給部として請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の液体吐出装置を備える、
    ことを特徴とするインプリント装置。
14. 請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の液体吐出装置を備えることを特徴とするプリンタ。
15. 請求項１３に記載のインプリント装置により基板の上にパターンを形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品製造方法。