JP2018001453A - 液体供給部品の製造方法、製造装置、液体供給部品、および液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】フィルタの有効面積を安定的に確保しつつ、液体供給部品の製造効率を高めること。【解決手段】第１および第２形成部材１１，１２の対向面間においてフィルタ１５を圧縮し、その圧縮状態において２次成形樹脂３１を流し込む。同じ金型１０１Ａ，１０１Ｂ内において第１および第２形成部材１１，１２の射出成形と、それらの形成部材１１，１２の接合と、フィルタ１５の周囲の封止と、を行うため、寸法精度の高い液体供給部品を効率よく製造することができる。【選択図】図７

Description

本発明は、液体の供給路が内部に形成された液体供給部品の製造方法、製造装置、液体供給部品、および液体吐出ヘッドに関するものである。

特許文献１には、液体の供給路中にフィルタが位置するように、液体供給部品を構成する２つの構成部品の間にフィルタを介在させてから、フィルタの周囲に溶融樹脂を充填することにより、それら２つの構成部品を結合させる方法が記載されている。その溶融樹脂をフィルタの周囲に積極的に染み込ませることによって、２つの構成部品とフィルタとの間を封止する。

特許第５０１９０６１号

特許文献１のように、フィルタの周囲に溶融樹脂を積極的に染み込ませた場合には、その樹脂材料の染み込みの程度に応じて、フィルタの有効面積にバラツキが生じるおそれがある。

本発明の目的は、フィルタの有効面積を安定的に確保しつつ、液体供給部品の製造効率を高めることができる液体供給部品の製造方法、製造装置、液体供給部品、および液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の液体供給部品の製造方法は、第１構成部品の第１開口部と第２構成部品の第２開口部とを対向させるように、前記第１構成部品と前記第２構成部品とを接合することにより、前記第１開口部および前記第２開口部を通して連通する液体供給路が形成される液体供給部品の製造方法であって、対の金型間の第１位置において前記第１構成部品を射出成形すると共に、前記対の金型間の第２位置において前記第２構成部品を射出成形する第１の工程と、前記対の金型の一方に前記第１構成部品を残し、かつ前記金型の他方に前記第２構成部品を残すように、前記対の金型を開いてから、前記第１構成部品と前記第２構成部品とを対向させるように、前記対の金型を相対移動させる第２の工程と、前記第１開口部と前記第２開口部との間にフィルタを介在させる第３の工程と、前記第１構成部品と前記第２構成部品との対向面間にて前記フィルタを圧縮させるように、前記対の金型を閉じる第４の工程と、前記対向面間に溶融樹脂を流し込む第５の工程と、を含むことを特徴とする。

本発明によれば、第１および第２構成部品の対向面間においてフィルタを圧縮し、その圧縮状態において溶融樹脂を流し込むことにより、フィルタに対する溶融樹脂の入り込みを抑制して、フィルタの有効面積を安定的に確保することができる。しかも、同じ金型内において第１および第２構成部品の射出成形と、それらの構成部品の接合と、フィルタの周囲の封止と、を行うため、寸法精度の高い液体供給部品を効率よく製造することができる。

本発明の液体吐出ヘッドとしての記録ヘッドの斜視図である。 図１の記録ヘッドの分解斜視図である。 図１の記録ヘッドの製造の中途段階における斜視図である。 図１の記録ヘッドの製造の中途段階における斜視図である。 図４（ａ）のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。 図５のＶＩ部分の拡大図である。 （ａ）は図６（ｂ）のＶＩＩａ部分の拡大図、（ｂ）は、図６（ｂ）のＶＩＩａ部分の異なる例の説明図である。 本発明において用いる金型の概略斜視図である。 （ａ）および（ｂ）は、それぞれ、図８の金型の概略平面図および概略正面図である。 （ａ）および（ｂ）は、それぞれ、図８（ａ）のＸａ−Ｘａ線およびＸｂ−Ｘｂ線に沿う断面の概略図である。 図８の金型の動作の説明図である。 図８の金型の動作の説明図である。 図８の金型のゲートから射出される溶融樹脂の流れの説明図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態のインクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）１の斜視図である。記録ヘッド１は、貯蔵容器（不図示）から供給されるインク（記録液）は、導入口３に接続されるチューブ等（不図示）を介して、流路構成体（液体供給部品）４に供給される。記録ヘッド１には、図１中の下方に向かってインクを吐出可能な記録素子部（吐出部）２が備えられており、流路構成体４は、導入口３と記録素子部２との間にインク供給路（液体供給路）を形成する。本例においては、６つの導入口３に対応する６つのインク供給路が形成されている。

図２は、流路構成体４の分解斜視図である。流路構成体４は、第１流路形成部材（第１構成部品）１１、第２流路形成部材（第２構成部品）１２、第１フタ部材１３、第２フタ部材１４、フィルタ１５、および導入口形成部材１６を含む。本実施形態においては、後述するように、第１流路形成部材（以下、「第１形成部材」ともいう）１１、第２流路形成部材（以下、「第２形成部材」ともいう）１２、第１フタ部材１３、および第２フタ部材１４を１次成形する（図３参照）。そして、このように１次成形した１次成形体と、フィルタ１５と、を成形金型内にて組み立ててから、図４のように、それらを２次射出成型樹脂（溶融樹脂）３１によって固定する。これにより、部品点数および工数の削減が可能となる。

比較例として、流路構成体４の構成部材を個別に接合する場合を想定する。例えば、フィルタ１５を熱溶着によって第１形成部材１１に固定し、第１，第２形成部材１１，１２を接着剤によって接合し、第１，第２フタ部材１３，１４を接着剤によって第２形成部材１２に接合する。さらに、導入口形成部材１６を振動溶着によって第１形成部材１１に接合する。このような方法によっては、記録ヘッド１の製造効率を高めることが難しい。

本例のフィルタ１５は、図７（ａ）のような３層構成となっている。すなわち、その中央のフィルタ層４１は、線径４ミクロンのステンレス鋼繊維によって製造されたゴミの捕集能力の高い（捕集能力約７μ）焼結不織布ＳＵＳフィルタによって形成されている。さらに、フィルタ１５の外側のフィルタ層４２は、剛性維持のために、線径１２ミクロンのステンレス鋼繊維によって製造された焼結不織布ＳＵＳフィルタ（捕集能力約３０μ）によって形成されている。ゴミ捕集能力を維持しながら、インクの供給性能を満たすためには、フィルタ１５の大面積化が必要となる。この点において、本例のようなフィルタ、つまり捕集性能を決めるフィルタ層４１と、剛性を維持するフィルタ層４２と、の２層以上の積層フィルタが有効である。また、フィルタ寸法の安定性、およびフィルタを金型内に挿入するためのロボット等によるハンドリング性能を確保するためにも、本例のような剛性の高い積層フィルタは有効である。フィルタに要求される面積、および剛性に応じて、２層の積層フィルタを使用してもよい。

次に、２次射出成型によって一体化された状態の流路構成体４について、図５を用いて説明する。図５は、図４のV−V線に沿う断面図である。

第１形成部材１１には、導入口３を形成する導入口形成部材１６が接続されると共に、その導入口３に連通するサブタンク部（液体貯留空間）２２が形成されている。本例においては、６つの導入口３に対応する６つのサブタンク部２２が形成されている。サブタンク部２２には、導入口形成部材１６の導入口３に連通されるサブタンク導入口２１（図４（ａ）参照）が形成されている。第２形成部材１２には、記録素子部２に連通されるインク供給口２３が形成されている。第２形成部材１２、第１フタ部材１３、および第２フタ部材１４によって、サブタンク部２２とインク供給口２３との間を連通するインク供給路が形成されており、このインク供給路を通して、サブタンク部２２内のインクが記録素子部２に供給される。本例においては、６つのサブタンク部２２と６つのインク供給口２３との間に、６つのインク供給路が形成されている。流路構成体４は、インク中の気泡やゴミをトラップする大液室である複数のサブタンク部２２と、それらのサブタンク部２２の相互間のピッチより狭いピッチの複数のインク供給口２３と、それらの間を連通する屈曲形状の複数のインク供給路と、を含む。

図５のように、第１形成部材１１には、サブタンク部２２に連通する第１開口部１１Ａが形成され、第２形成部材１２には、屈曲する流路を介してインク供給口２３に連通する第２開口部１２Ａが形成されている。これらの開口部１１Ａ，１２Ａを通してインク供給路が形成される。また、これらの開口部１１Ａ，１２Ａの間にフィルタ１５が介在する。

記録素子部２は、６つのインク供給口２３に対応するように６組配備されている。記録素子部２には、インクを吐出させるための吐出エネルギー発生素子として、電気熱変換素子（ヒータ）あるいはピエゾ素子などが複数配列されており、インク供給路を通して供給されたインクを吐出口から吐出させように構成されている。電気熱変換素子を用いた場合には、その発熱によってインクを発泡させ、その発泡エネルギーを利用して、吐出口からインクを吐出させることができる。

６つのサブタンク部２２に対応する６つのフィルタ１５は、図５のように、第１形成部材１１と第２形成部材１２との間に挟み込まれて、その周囲が２次成形樹脂３１によって封止されている。図６は、図５のＶＩ部分を拡大した模式図である。

図６（ａ）は、２次射出成型によって一体化される前における流路構成体４の組み立て状態を示し、３層構成のフィルタ１５の周部は、第１，第２形成部材１１，１２におけるフィルタ保持部４３によって圧縮保持されている。本例のフィルタ１５は、元の厚みが０．３ｍｍであり、それが半分以下の厚みに圧縮される。フィルタ１５の開口径は、このように圧縮されることにより、それが圧縮されていないときよりも小さくなる。図６（ｂ）は、２次射出成型によって一体化された流路構成体４を示し、２次成形樹脂３１によってフィルタ１５の周囲が封止されている。２次成形樹脂３１によって、フィルタ１５の相互間の分断と、第１，第２形成部材１１，１２の接合と、が同時に行われる。フィルタ１５の相互間の分断により、サブタンク部２２の相互間が分断されると共に、インク供給路の相互間の分断されることになる。

図７（ａ）は、図６（ｂ）のＶＩＩａ部の拡大図である。フィルタ１５の中央のフィルタ層４１は、ＳＵＳ線４４によって構成されており、外側のフィルタ層４２は、より径の細いＳＵＳ細線４５によって構成されている。フィルタ保持部４３によってフィルタ層４１，４２が圧縮されることにより、ＳＵＳ線４４およびＳＵＳ細線４５によって形成される空隙が狭められる。本例においては、フィルタ保持部４３によってフィルタ層４１，４２のフィルタ開口がいずれも約１５μ以下に狭められる。これにより、２次成形樹脂３１は、図７（ａ）のように、フィルタ１５の表層から数μｍまでは回り込むことができるものの、フィルタ１５の内部には回り込むことができない。このようにして、フィルタ１５のフィルタ層４１，４２の周囲の全てが封止される。したがって、インク中の気泡やゴミの捕集能力が比較的低いフィルタ層４１のみを通して、インクが通過することがなく、フィルタ１５は所望の捕集能力を発揮することができる。

本例においては、フィルタ保持部４３によってフィルタ１５の空隙を圧縮して、その圧縮された部分の領域の圧力損失を高める。そのため、インクのほとんどは図７（ａ）中のルートａに沿って流れ、ルートｂに沿って流れることはほとんどなく、フィルタ１５の有効面積を安定的に確保することができる。フィルタ１５の有効面積のバラツキを小さく抑えることができるため、設計通りの圧力を付加したインクを記録ヘッドに供給することができ、インクを安定的に吐出することができる。比較例として、例えば、フィルタの内部に２次成形樹脂を回り込ませてインク流路の相互間を分断させた場合には、フィルタの有効面積は、２次成形樹脂が回り込まなかった部分に対応するため、フィルタの有効面積を安定的に設定することが難しくなる。

また本例においては、２次射出成形の前に、第１，第２形成部材１１，１２が金型の内部にて型締め力を受けて、フィルタ１５がフィルタ保持部４３にて圧縮変形させる。そのため、圧縮変形されたフィルタ１５の部分の空隙は、圧縮前の空隙よりも小さくなる。このように空隙が小さくなるフィルタ１５の部分は、せん断変形に対して強くなり、２次射出成形時の樹脂の圧力等によるフィルタ全体の撚れの発生、および変形を抑えることができる。比較例として、第１，第２形成部材間においてフィルタを圧縮せずに単に挟持した場合には、その挟持されたフィルタの部分は、圧縮されない空隙により比較的変形しやすい。そのため、２次射出成形時の樹脂の圧力によりせん断変形し、インク供給路内にフィルタおよび２次成形樹脂が入り込むおそれがある。このような入り込みが生じた場合には、インク供給路の所望の流路面積、およびフィルタの有効面積が確保できなくなり、正常なインク供給ができず、インクの吐出不良が生じるおそれがある。

図７（ｂ）は、第１，第２形成部材１１，１２におけるフィルタ保持部４３の変形例の説明図である。フィルタ保持部４３は、フィルタ１５の必要な幅の部分を圧縮して固定することができればよく、図７（ｂ）のように、フィルタ１５の周囲の端面だけではなく、その周囲の上面および下面を２次成形樹脂３１によって封止してもよい。２次成形樹脂３１の圧力が低くなるほど、形成部材１１，１２が変形されにくくなるため、２次成形樹脂３１による封止距離等によっては、２次成形樹脂３１の流路の断面積を大きくすることが有効になる場合もある。

また、２次成形樹脂３１はフィルタ１５の内部には回り込まない。一方、２次射出成形時に発生するガス等は、１０μ程度の隙間を通して排出することができる。そのため本例の金型では、第１形成部材１１の中空部内に面する金型の部分に、その中空部内のガスを大気に排出するためのガスベントが配備されている。これにより、２次成形樹脂３１が気泡等を内包する確率を低減して、２次成形樹脂３１の流路間のリークによる成形不良の発生を抑制することができる。

次に、流路構成体４の製造製法について説明する。
図８は、流路構成体４を製造するための金型１０１の概略斜視図である。金型１０１は、第１形成部材１１を成形するための１次成形ゲート１４１と、第２形成部材１２を成形するための１次成形ゲート１４２と、を備えている。また金型１０１は、第１フタ部材１３を成形するための１次成形ゲート１４３と、第２フタ部材１４を成形するための１次成形ゲート１４４と、を備えている。さらに金型１０１は、２次成形樹脂３１による接合のための２次成形ゲート１４５を備えている。

図９および図１０は、第１，第２形成部材１１，１２、および第１，第２フタ部材１３，１４の１次成形直後の金型１０１の説明図である。図９（ａ）は図８のＸＩａ矢視図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＸＩｂ矢視図、図１０（ａ）は図９（ａ）のＸａ―Ｘａ線に沿う断面の概略図、図１０（ｂ）は図９（ａ）のＸｂ―Ｘｂ線に沿う断面の概略図である。スライド１５１，１５２は、第２形成部材１２の屈曲流路を構成するためのスライドであり、それぞれ矢印Ａ，Ｂ方向にスライド可能である。スライド１５３，１５４は、第１，第２フタ部材１３，１４を保持して、それらを第２形成部材へ組み込むためのスライドであり、矢印Ａ，Ｂ方向と同じ矢印Ｃ，Ｄ方向にスライド可能である。

図１１は、金型１０１による流路構成体４の組み立て動作の説明図である。

図１１（ａ）は、第１，第２形成部材１１，１２、および第１，第２フタ部材１３，１４の１次成形が完了した状態を示す。金型１０１内において、これら４点の１次成形品が成形される。図１１（ｂ）は、金型１０１の型開き状態を示す。第１形成部材１１は、金型１０１の固定側金型（固定金型）１０１Ａに保持され、第２形成部材１２および第１，第２フタ部材１３，１４は、金型１０１の可動側金型（可動金型）１０１Ｂに保持される。このとき、第１，第２フタ部材１３，１４は、それぞれ可動金型１０１Ｂに備わるスライド１５３，１５４に保持されたまま、それらのスライド１５３，１５４と共に矢印Ｃ２，Ｄ２方向に移動される。

図１１（ｃ）は、ダイスライド機構１５０による可動金型１０１Ｂの移動が完了した状態を示す。可動金型１０１Ｂに保持された第２形成部材１２は、ダイスライド機構１５０によって、第１形成部材１１と対向する位置まで移動される。第２形成部材１２が第１形成部材１１と対向する位置は、第２形成部材１２がスライド１５３，１５４と対向する位置でもある。

金型１０１を再型締めする前に、インクの屈曲流路を形成するために、スライド１５３，１５４を矢印Ｃ１，Ｄ１方向に移動させて、第１，第２フタ部材１３，１４を第２形成部材１２に当接させる。この状態において、第１形成部材１１もしくは第２形成部材１２のいずれか一方に、フィルタ１５を挿入して仮固定する。フィルタ１５の挿入は、ロボットハンド等を用いて、成形タイミングに合わせて行うことが望ましい。図１１（ｄ）は、２次射出成形のために、金型１０１を再型締めした状態を示す。この状態は、図３のような組み立て状態と同様の形態となる。

図１１（ａ）の製造工程においては、対の金型１０１Ａ，１０１Ｂの図中左側の位置（第１位置）にて第１形成部材１１を射出成形し、金型１０１Ａ，１０１Ｂの図中右側の位置（第２位置）にて第２形成部材１２を射出成形する。図１１（ｂ）の製造工程においては、対の金型の一方（本例の場合は、金型１０１Ａ）に第１形成部材１１を残し、かつ対の金型の他方（本例の場合は、金型１０１Ｂ）に第２形成部材１２を残すように、金型１０１Ａ，１０１Ｂを開く。図１１（ｃ）の製造工程においては、第１形成部材１１と第２形成部材１２とを対向させるように金型１０１Ａ，１０１Ｂを相対移動させると共に、第１開口部１１Ａと第２開口部１２Ａとの間にフィルタ１５を介在させる。図１１（ｄ）の製造工程においては、第１形成部材１１と第２形成部材１２との対向面間にてフィルタ１５を圧縮させるように、金型１０１Ａ，１０１Ｂを閉じる（型閉じ）。その後の工程において、第１，第２形成部材１１，１２の対向面間に、２次成形樹脂３１を流し込む。

本例において、ダイスライド機構１５０は電動シリンダによって駆動され、スライド１５１，１５２，１５３，１５４は油圧シリンダによって駆動される。このような駆動用シリンダの種類は、その付帯設備および金型スペース等に応じて適時選択される。

図１２は、２次射出成形時における金型１０１の説明図である、図１２（ａ）は金型１０１の平面図、図１２（ｂ）は金型１０１の正面図、図１２（ｃ）は、図１２（ａ）のＸＩＩｃ−ＸＩＩｃ線に沿う断面の概略図である。２次成形樹脂３１がゲート１４５から射出されることにより、図４のように、対の金型間において１次成形品の４点とフィルタ１５とが一体化される。

図１３（ａ），（ｂ）は、第１形成部材１１の図示を省略して、２次成形樹脂３１の流れを説明するための図である。本例においては、２つのゲート１４５から２次成形樹脂３１を射出する。それらのゲート１４５から射出された２次成形樹脂３１は、それらのゲート１４５に対応する位置Ｐから図１３（ａ），（ｂ）中の矢印方向に流れて、まずは、第２フタ部材１４の周囲を封止する。その後、フィルタ１５の周囲を封止してから、第２形成部材１２の背面下部に位置する第１フタ部材１３の周囲を封止すると共に、第２形成部材１２の背面上部に位置する第１，第２形成部材１１，１２の間を封止して接合する。このように２次成形樹脂３１を流すことにより、フィルタ１５の周囲の全てを封止し、かつインク供給路を形成することができる。

（他の実施形態）
フィルタは、開口サイズが異なる少なくとも２つのフィルタ層を含む積層構造であることが望ましい。例えば、フ第１フィルタ層、第２フィルタ層、および第３フィルタ層を順次積層した３層構造として、第１および第３フィルタの開口サイズは、第２フィルタの開口サイズよりも大きくしてもよい。また、フィルタとしては焼結不織布フィルタの望ましい。さらに、開口サイズが比較的大きいフィルタ層における不織布繊維の線径は、開口サイズが比較的小さいフィルタ層における不織布繊維の線径の３倍以上であることが望ましい。

また本発明は、インクジェット記録ヘッドに備わるインク供給部品のみに限定されず、種々の液体の供給路が内部に形成される液体供給部品に対して広くて適用可能である。

１ インクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
４ 流路構成体（液体供給部品）
１１ 第１流路形成部材（第１構成部品）
１１Ａ 第１開口部
１２ 第２流路形成部材（第２構成部品）
１２Ａ 第２開口部
１５ フィルタ
３１ ２次樹脂（溶融樹脂）
１０１Ａ，１０１Ｂ 対の金型

Claims (12)

1. 第１構成部品の第１開口部と第２構成部品の第２開口部とを対向させるように、前記第１構成部品と前記第２構成部品とを接合することにより、前記第１開口部および前記第２開口部を通して連通する液体供給路が形成される液体供給部品の製造方法であって、
   対の金型間の第１位置において前記第１構成部品を射出成形すると共に、前記対の金型間の第２位置において前記第２構成部品を射出成形する第１の工程と、
   前記対の金型の一方に前記第１構成部品を残し、かつ前記金型の他方に前記第２構成部品を残すように、前記対の金型を開いてから、前記第１構成部品と前記第２構成部品とを対向させるように、前記対の金型を相対移動させる第２の工程と、
   前記第１開口部と前記第２開口部との間にフィルタを介在させる第３の工程と、
   前記第１構成部品と前記第２構成部品との対向面間にて前記フィルタを圧縮させるように、前記対の金型を閉じる第４の工程と、
   前記対向面間に溶融樹脂を流し込む第５の工程と、
   を含むことを特徴とする液体供給部品の製造方法。
2. 前記第４の工程は、前記対向面間において、前記第１開口部および前記第２開口部の周囲に位置する前記フィルタの周部を圧縮することを特徴とする請求項１に記載の液体供給部品の製造方法。
3. 前記第５の工程は、前記溶融樹脂によって、前記対向面間を封止し、かつ前記第１構成部品と前記第２構成部品とを結合させることを特徴とする請求項１または２に記載の液体供給部品の製造方法。
4. 前記第１の工程は、前記第１構成部品に前記第１開口部に連通する液体貯留空間を形成し、かつ前記第２構成部品に前記第２開口部に連通して屈曲する流路を形成することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体供給部品の製造方法。
5. 前記第４の工程は、前記フィルタの厚みが半分以下となるように前記フィルタを圧縮させることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体供給部品の製造方法。
6. 前記フィルタは、開口サイズが異なる少なくとも２つのフィルタ層を含む積層構造であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体供給部品の製造方法。
7. 前記フィルタは、第１フィルタ層、第２フィルタ層、および第３フィルタ層を順次積層した３層構造であり、前記第１フィルタ層および前記第３フィルタ層の開口サイズは、前記第２フィルタ層の開口サイズよりも大きいことを特徴とする請求項６に記載の液体供給部品の製造方法。
8. 前記フィルタは焼結不織布フィルタであり、
   前記開口サイズが大きいフィルタ層における繊維の線径は、前記開口サイズが小さいフィルタ層における繊維の線径の３倍以上であることを特徴とする請求項６または７に記載の液体供給部品の製造方法。
9. 前記液体供給路は、インクジェット記録ヘッドにインクを供給するためのインク流路であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体供給部品の製造方法。
10. 第１構成部品の第１開口部と第２構成部品の第２開口部とを対向させるように、前記第１構成部品と前記第２構成部品とを接合することにより、前記第１開口部および前記第２開口部を通して連通する液体供給路が形成される液体供給部品の製造装置であって、
    対の金型と、
    前記対の金型間の第１位置において前記第１構成部品を射出成形すると共に、前記対の金型間の第２位置において前記第２構成部品を射出成形する成形手段と、
    前記対の金型の一方に前記第１構成部品を残し、かつ前記金型の他方に前記第２構成部品を残すように、前記対の金型を開いてから、前記第１構成部品と前記第２構成部品とを対向させるように、前記対の金型を相対移動させる移動手段と、
    前記第１構成部品と前記第２構成部品との対向面間において、前記第１開口部と前記第２開口部との間に介在するフィルタを圧縮させるように、前記対の金型を閉じる型閉じ手段と、
    前記対向面間に溶融樹脂を流し込む流し込み手段と、
    を備えることを特徴とする液体供給部品の製造装置。
11. 請求項１から９のいずれか１項に記載の製造方法によって製造された液体供給部品。
12. 請求項１１に記載の前記液体供給部品と、
    前記液体供給部品の前記液体供給路から供給される液体を吐出可能な吐出部と、
    を含むこと特徴とする液体吐出ヘッド。

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