JP2018095940A - 成膜判定装置、成膜判定方法、および成膜判定システム - Google Patents

Abstract

【課題】容器内面に施した被膜の色にかかわらず成膜の良否判定が可能な成膜判定装置、成膜判定方法、および成膜判定システムの提供。
【解決手段】ラディカル物質によって色調が変化する指標体が内面に形成された容器の内面に対して、成膜装置１３によって成膜を施した後の指標体の色調を取得する色調取得部１４と、色調取得部１４が取得した指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定する判定部と、を備える成膜判定装置１５。
【選択図】図１

Description

本発明は、容器に施された成膜の良否を判定する成膜判定装置、成膜判定方法、および成膜判定システムに関する。

成膜を行った容器の成膜の良否の判定方法として、成膜前の容器の色と成膜後の容器の色とを色差センサを用いて比較することで判定を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この方法によれば成膜前後の容器の色差が所定範囲にある場合に成膜がなされていると判定することができる。つまり、特許文献１に記載の方法は、成膜により生成される被膜が有色である場合に有効である。

特開２００３−７２７６２号公報

しかしながら、特許文献１の技術では、成膜により生成される被膜が無色である場合に、成膜前後で容器の色差が生じないため、成膜の良否判定を行うのが困難である。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、被膜の色にかかわらず成膜の良否を判定することが可能な成膜判定装置、成膜判定方法、および成膜判定システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用している。
すなわち、本発明の一態様に係る成膜判定装置は、ラディカル物質によって色調が変化する指標体が内面に形成された容器の内面に対して、成膜装置によって成膜を施した後の指標体の色調を取得する色調取得部と、色調取得部が取得した指標体の色調に基づいて、容器の成膜の良否を判定する判定部と、備えることを特徴とする。

この構成によれば、ラディカル物質によって色調が変化する指標体を用いることにより、容器内面に成膜を施した際に、指標体の色調が変化する。この指標体の色調の変化を色調取得部で取得し、成膜の良否を判定することができる。

また、本発明の第二態様に係る成膜判定装置は、判定部は、あらかじめ判定部に入力された成膜前の指標体の色調と成膜を施した後の指標体の色調の差が所定の閾値以上である場合に容器の成膜を良と判定する成膜判定装置であってもよい。

また、本発明の第三態様に係る成膜判定装置は、色調取得部は、成膜を施した後の指標体にさらに、成膜装置で使用した物質とは異なる物質に曝した指標体の色調を取得し、判定部は、あらかじめ判定部に入力された色調と成膜装置で使用した物質と異なる物質に曝した成膜後の指標体の色調の差が所定の閾値以下の場合には容器の成膜を良と判定する成膜判定装置であってもよい。

この構成によれば、先に施した成膜が指標体の色調を変化させない場合においても、指標体の色調から成膜の良否を判定することができる。具体的には、一度成膜が成功していれば、指標体がコーティングされているため、さらに異なる物質を用いて成膜を行っても指標体の色調は変化しない。このため、指標体の色調が変化しないことによって成膜の良否を判定することができる。

また、本発明の第四態様に係る成膜判定装置は、前記判定部は、前記容器の成膜時の物理量と色調に基づいて成膜の良否の判定を行う成膜判定装置であってもよい。

この構成によれば、容器内面への成膜時の物理量と色調に基づいてさらに精度よく成膜の良否を判定することができる。

また、本発明に係る第五態様に係る成膜判定方法は、ラディカル物質によって色調が変化する指標体が内面に形成された容器の内面に対して、成膜装置によって成膜を施した後の前指標体の色調を取得し、該色調取得部が取得した前記指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定することを特徴とする。

また、本発明に係る第六態様に係る成膜判定システムは、ラディカル物質によって色調が変化する指標体を容器に取り付ける装置と、容器内面に成膜を施す成膜装置と、成膜装置によって成膜を施された指標体の色調から成膜の良否を判定する判定部と、を備える成膜判定システムであってもよい。

また、本発明に係る第七態様に係る成膜判定システムは、指標体を認識する認識部と、指標体の接着された容器を製品ラインとは異なるラインに分岐させる分岐部とを備えた成膜判定システムであってもよい。

また、本発明に係る第八態様に係る成膜判定システムは、指標体を接着した容器をサンプルボトルとし、サンプルボトルに物理的または電子的に施した認識可能なマーキングを読み取る、読み取り部と、認識部によって認識されたサンプルボトルを製品ラインとは異なるラインに分岐させる分岐部とを備えた成膜判定システムであってもよい。

また、本発明に係る第九態様に係る成膜判定システムは、認識部は指標体の容器の位置情報として認識する成膜判定システムであってもよい。

本発明の成膜判定装置、成膜判定方法および成膜判定システムによれば、成膜の色に関係なく成膜の良否を判定することができる。

第１の実施形態に係る成膜判定システムの概略図である。 第１の実施形態に係る成膜判定システムの動作を表すフローチャートである。 第１の実施形態に係る成膜判定装置のソフトウエア構成を示す概略ブロック図である。 第１の実施形態に係る成膜判定装置の動作を示すフローチャートである。 第２の実施形態に係る成膜判定システムの構成を示す概略図である。 第２の実施形態に係る制御装置のソフトウエア構成を示す概略ブロック図である。 サンプルボトルの例を示す外観図である。 第２の実施形態に係る成膜判定システムの動作フロー図である。 第２の実施形態に係る制御装置の動作を示すフローチャートである。 第３の実施形態に係る成膜判定装置の動作を示すフローチャートである。 少なくとも１つの実施形態に係るコンピュータの構成を示す概略ブロック図である。

[第１の実施形態]
以下、図面を参照しながら実施形態について詳しく説明する。

図１は、第１の実施形態に係る成膜判定システムの概略図である。
成膜判定システム１０は、指標体貼り付け装置１１と、移載装置１２と、成膜装置１３と、色調取得装置１４と、成膜判定装置１５を備える。

指標体貼り付け装置１１は、成膜の良否を判定対象である容器Ｂの内面に、ラディカル物質に反応して変色する指標体２１を貼りつける。指標体貼り付け装置１１は例えば容器Ｂの開口部から指標体２１を挿入し、容器Ｂの内面に指標体２１を押し当てることにより、指標体２１を貼りつける。指標体２１は、ラディカル物質に反応して変色する有機染料（例えば、アントラキノン系色素、アゾ系色素、メチン系色素、ロイコ色素など）、またはラディカル物質に反応して変色する金属酸化物粒子（例えばＭｏ、Ｗ、Ｓｎ、Ｖ、Ｃｅ、ＴｅおよびＢｉからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含む金属酸化物粒子）を有する。このような指標体２１は通常、電子デバイスの製造工程におけるプラズマ処理や、医療器具等の滅菌のためのプラズマ処理の完了を確認するために用いられる。すなわち、指標体２１は、容器Ｂの成膜の良否判定に係る技術分野での使用を想定されていない。指標体貼り付け装置１１は、容器Ｂに指標体２１を貼りつけた後に移載装置１２へボトルを受け渡す。なお、他の実施形態においては指標体貼り付け装置１１は移載装置１２が容器Ｂを運搬しているときに、当該容器Ｂに指標体２１を貼り付けてもよい。

移載装置１２は、容器Ｂを製造する装置から容器Ｂを受け取り、成膜装置１３による成膜がなされた後外部装置（例えば充填装置）に受け渡す装置である。移載装置１２は、例えば複数のスターホイールやコンベアの組み合わせにより構成される。

成膜装置１３は、移載装置１２に把持された容器Ｂの開口部に挿入可能に構成された装置である。成膜装置１３は、真空にした容器Ｂの内部に目的のガス（例えばアセチレンガス）を封入し、そのガスにエネルギーを与えて発生したプラズマによって容器Ｂ内膜にコーティングを施す装置である。成膜装置１３が発生させるプラズマには、ラディカル及びイオンが含まれる。

色調取得装置１４は、成膜を施した容器Ｂに貼付された指標体２１の色調を取得する装置である。色調取得装置１４としては、カメラなどの撮像素子を用いることができる。色調取得装置１４は、例えば色調をＲＧＢ値として取得する。

成膜判定装置１５は、色調取得装置１４が取得した色調に基づいて、成膜装置１３による容器の成膜の良否を判定する。

図２は、第１の実施形態に係る成膜判定システム１０の動作を表すフローチャートである。指標体貼り付け装置１１は、容器Ｂの内面に指標体２１を貼りつける（ステップＳ１）。指標体貼り付け装置１１は、容器Ｂを移載装置１２に受け渡す。移載装置１２は、指標体貼り付け装置１１から容器Ｂを受け取ると、当該容器Ｂを成膜装置１３が設けられた場所へ運ぶ（ステップＳ２）。容器Ｂが、成膜装置１３の設置箇所に到達すると成膜装置１３が容器Ｂの開口部に挿入され、容器Ｂの成膜処置を実行する（ステップＳ３）。
具体的には、成膜装置１３は、以下の手順で成膜処理を実行する。まず、成膜装置１３は、容器Ｂの内部を真空引きする。次に成膜装置１３は、真空引きされた容器Ｂの内部にガスを注入する。次に、成膜装置１３は、容器Ｂの内部に挿入された電極に高周波電力を供給することで、容器Ｂの内面に放電プラズマを発生させる。これにより、容器Ｂの内面に被膜が形成される。そして、成膜装置１３は、ガスを排気したのち、容器Ｂの開口部から取り外される。成膜装置１３による成膜処理が完了すると移載装置１２は、容器Ｂを外部に受け渡す。
次に色調取得装置１４は、容器Ｂに貼り付けられた指標体２１の色調を取得する（ステップＳ４）。色調取得装置１４は、取得した色調を示す色調データを成膜判定装置１５に入力する。成膜判定装置１５は、入力された色調データに基づいて成膜の良否を判定し、その結果を表示する（ステップＳ５）。

図３は、第１の実施形態に係る成膜判定装置１５のソフトウエア構成を示す概略ブロック図である。成膜判定装置１５は、色調入力部５１、参照色調記憶部５２、色差算出部５３、成膜判定部５４、出力部５５を備える。
色調入力部５１は、色調取得装置１４で取得した色調の入力を受け付ける。
参照色調記憶部５２は、成膜処理がなされる前の指標体２１の色調を示す参照色調情報を記憶する。参照色調情報は、あらかじめ入力された色調情報であってもよく、指標体２１の貼り付け前後に撮影された画像から抽出された色調情報を使用してもよい。
色差算出部５３は、参照色調記憶部５２が記憶する参照色調情報と色調入力部５１に入力された色調の差を算出する。
成膜判定部５４は、色差算出部５３で算出した結果をもとに成膜の良否を判定する。成膜判定部５４は、色差算出部５３が算出した色調の差が閾値以上である場合に成膜が良好であると判定し、閾値未満であった場合には、成膜が不良であると判定する。
出力部５５は、成膜判定部５４の判定結果を出力する。例えば、出力部５５は、成膜判定部５４の判定結果をディスプレイに表示させる。

図４は、第１の実施形態に係る成膜判定装置１５の動作を示すフローチャートである。
色調取得装置１４は、指標体２１の色調を取得すると、当該色調を示す色調情報を成膜判定装置１５に入力する。成膜判定装置１５の色調入力部５１は、色調取得装置１４から色調情報の入力を受け付ける（ステップＳ５１）。次に、色差算出部５３は、参照色調記憶部５２から比較対象となる参照色調情報を取得する（ステップＳ５２）。次に、色差算出部５３は、色調入力部５１で入力された色調と読み出した参照色調情報との差を色差として算出する（ステップＳ３）。

成膜判定部５４は、色差算出部５３が算出した色差が所定の閾値以上であるか否かを判定する（ステップＳ５４）。色差が閾値以上である場合（ステップＳ５４：ＹＥＳ）、成膜判定部５４は、成膜が良好であると判定し、出力部５５は、成膜が良好である旨の判定結果を出力する（ステップＳ５５）。他方、色差が閾値未満である場合（ステップＳ５４：ＮＯ）、成膜判定部５４は、成膜が不良であると判定し、出力部５５は、成膜が不良である旨の判定結果を出力する（ステップＳ５６）。

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態について説明する。第１の実施形態に係る成膜判定システム１０は、成膜装置１３が製品の製造ラインを止めているときに、成膜の判定を行うものである。これに対し、第２の実施形態に係る成膜判定システム１０は、製品の製造ラインの稼働中に、成膜の判定を行うことを可能とするものである。なお、上記第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

図５は、第２の実施形態に係る成膜判定システム１０の構成を示す概略図である。
本実施形態では、第１の実施形態の成膜判定システム１０の構成に加え、指標体２１が貼り付けられたサンプルボトルＢ２を製品ライン１９とは異なるライン（リジェクトライン１８）に排出する容器排出装置１７をさらに備える。容器排出装置１７は、成膜装置１３の後段に設けられる。容器排出装置１７は、たとえば負圧源と、負圧源に接続された吸盤と、負圧源と吸盤との間に設けられた電磁弁とを備える。容器排出装置１７は、排出対象となる容器Ｂに吸盤を当て、電磁弁を開くことで、容器Ｂを移載装置１２から受け取ることができる。容器排出装置１７は、受け取った容器Ｂをリジェクトライン１８に流す。
第２の実施形態に係る色調取得装置１４は、リジェクトライン１８に設けられ、リジェクトライン１８に排出されたサンプルボトルＢ２に貼り付けられた指標体２１の色調を取得する。リジェクトライン１８に排出されなかった容器Ｂは移載装置１２から充填装置など次のプロセスに係る装置に受け渡される。
第２の実施形態では、第１の実施形態に係る成膜判定装置１５に代えて制御装置１６を備える。

図６は、第２の実施形態に係る制御装置のソフトウエア構成を示す概略ブロック図である。
制御装置１６は、製品として出荷される製品ボトルＢ１とサンプルボトルＢ２に対し同一のライン上で成膜を行い、サンプルボトルＢ２のみを製品ライン１９とは異なるリジェクトライン１８に排出する動作の制御を行う。制御装置１６は、サンプルボトル判定部６１、排出指示部６２、色調入力部５１、参照色調記憶部５２、色差算出部５３、成膜判定部５４、停止指示部６３を備える。

図７は、サンプルボトルの例を示す外観図である。
サンプルボトル判定部６１は、移載装置１２が把持する各容器Ｂについて、サンプルボトルＢ２であるか否かを判定する。サンプルボトルＢ２とは、図７（Ａ）に示すように指標体２１が付された容器Ｂである。例えば、サンプルボトル判定部６１は、移載装置１２が把持する各容器Ｂを撮影する図示しないカメラが撮影した画像を解析し、指標体２１が付された容器Ｂを検知することで、サンプルボトルＢ２か否かを判定してもよい。つまり、サンプルボトルＢ２を認識するためのマーキングの一例として指標体２１が挙げられる。このとき、移載装置１２は把持した容器Ｂがカメラの視野内を通過するときに当該容器Ｂを回転させることで、確実にカメラが指標体２１を撮影できるようにすることができる。また、例えば、サンプルボトル判定部６１は、あらかじめサンプルボトルＢ２に係るサンプルＩＤの入力を受け、各容器Ｂに付されたＩＤとサンプルＩＤが一致するか否かを判定することで、サンプルボトルＢ２を判定してもよい。つまり、サンプルボトルＢ２を認識するためのマーキングの一例としてＩＤが挙げられる。また、図７（Ｂ）に示すようにサンプルボトルＢ２には物理的に目視可能なマーキング２２を付しておき、作業者が目視によりサンプルボトルＢ２を検出できるようにしてもよい。この場合、作業者は、マーキング２２が付された容器Ｂを認識すると、制御装置１６に当該容器ＢがサンプルボトルＢ２であることを示す情報を入力する。なお、サンプルボトル判定部６１がカメラ等の解析により指標体２１を検知する場合にも、マーキング２２を付しておくことで、サンプルボトル判定部６１が指標体２１の検知に失敗したとしても、作業者がサンプルボトルＢ２を発見することができる。つまり、サンプルボトルＢ２にマーキング２２を付しておくことで、サンプルボトルＢ２が製品ライン１９へ移送されることをより確実に防ぐことができる。

排出指示部６２は、サンプルボトル判定部６１によってサンプルボトルＢ２であると判定された容器Ｂを指定して、容器Ｂをリジェクトライン１８に排出させる排出指示を容器排出装置１７に出力する。また、排出指示部６２は、その他のチェックにおいて不良であると判定された容器Ｂを排出させる排出指示を容器排出装置１７に出力してもよい。その他のチェックの例としては、真空引き時の容器Ｂの内圧や、容器Ｂの破損の有無のチェックなどが挙げられる。

停止指示部６３は、成膜判定部５４によって成膜が不良であると判定された場合に、移載装置１２及び成膜装置１３に停止指示を出力する。停止指示の出力により製造ラインが停止する。
色調入力部５１、参照色調記憶部５２、色差算出部５３、成膜判定部５４は、第１の実施形態と同様の機能を有する。

図８は、第２の実施形態に係る成膜判定システム１０の動作フロー図である。
指標体貼り付け装置１１は、容器Ｂの内面に指標体２１を貼りつける（ステップＳ１０１）。指標体貼り付け装置１１は、容器Ｂを移載装置１２に受け渡す。移載装置１２は、指標体貼り付け装置１１から容器Ｂを受け取ると、当該容器Ｂを成膜装置１３が設けられた場所へ運ぶ（ステップＳ１０２）。容器Ｂが成膜装置１３の設置個所に到達すると、成膜装置１３が容器Ｂの開口部に挿入され、容器Ｂの成膜処理を実行する（ステップＳ１０３）。制御装置１６は、成膜された容器ＢがサンプルボトルＢ２であるか否かを判定する（ステップＳ１０４）成膜された容器ＢがサンプルボトルＢ２でない場合（ステップＳ１０４：ＮＯ）、移載装置１２は容器Ｂを次プロセスに係る装置に受け渡す（ステップＳ１０５）。他方、成膜された容器ＢがサンプルボトルＢ２である場合（ステップＳ１０４：ＹＥＳ）、成膜装置１３は、当該容器Ｂを排出させる排出指示を容器排出装置１７に出力する。これにより、容器排出装置１７は容器Ｂをリジェクトライン１８へ排出する（ステップＳ１０６）。

色調取得装置１４は、リジェクトライン１８に排出された容器Ｂに貼り付けられた指標体２１の色調を取得する（ステップＳ１０７）。色調取得装置１４は、取得した色調を示す色調データを制御装置１６に入力する。制御装置１６は、入力された色調データに基づいて成膜の良否を判定する（ステップＳ１０８）。制御装置１６は、成膜が不良であると判定した場合（ステップＳ１０８：ＹＥＳ）、移載装置１２及び成膜装置１３に停止指示を出力する。これにより、移載装置１２および成膜装置１３は動作を停止する（ステップＳ１０９）。サンプルボトルＢ２の成膜が不良である場合、他の容器Ｂについても適切に成膜がなされていない可能性が高い。したがって、第２の実施形態に係る成膜判定システム１０によれば、サンプルボトルＢ２の成膜が不良である場合に速やかに製造ラインを停止することができる。
一方、制御装置１６は、成膜が良好であると判定した場合（ステップＳ１０８：ＮＯ）、停止指示を出力せずに処理を終了する。

図９は、第２の実施形態に係る制御装置の動作を示すフローチャートである。制御装置１６は、以下に示す処理を各容器Ｂについて実行する。
サンプルボトル判定部６１は、対象の容器Ｂについて、サンプルボトルＢ２であるか否かを判定する（ステップＳ１５１）。対象の容器ＢがサンプルボトルＢ２でない場合、制御装置１６は当該容器Ｂに係る処理を終了する。
他方、対象の容器ＢがサンプルボトルＢ２である場合、容器排出装置１７に対象の容器Ｂを排出させる排出指示を出力する（ステップＳ１５２）。これにより対象の容器Ｂはリジェクトライン１８に排出される。色調取得装置１４は、リジェクトライン１８に排出された指標体２１の色調を取得すると、当該色調を示す色調情報を成膜判定装置１５に入力する。成膜判定装置１５の色調入力部５１は、色調取得装置１４からの色調情報の入力を受け付ける（ステップＳ１５３）。次に色差算出部５３は、参照色調記憶部５２から比較対象となった参照色調情報を取得する（ステップＳ１５４）。次に、色差算出部５３は、色調入力部５１に入力された色調情報の値と読み出した参照色調情報の値との差を、色差として算出する（ステップＳ１５５）。

成膜判定部５４は、色差算出部５３が算出した色差が所定の閾値以上であるか否かを判定する（ステップＳ１５６）。成膜判定部５４は、色差が閾値以上である場合（ステップＳ１５６：ＹＥＳ）、成膜が良好であると判定し、当該容器Ｂに係る処理を終了する。
他方、色差が閾値未満である場合（ステップＳ１５６：ＮＯ）、成膜判定部５４は、成膜が不良であると判定し、停止指示部６３は、移載装置１２および成膜装置１３に停止指示を出力する（ステップＳ１５７）。これにより製品の製造ラインの稼働中に、製品の製造を止めることなく成膜の良否と判定することができる。このため、任意のタイミングで成膜判定を行いロットごとなどで製品ボトルの評価を行い、成膜判定部５４において成膜判定で不良と判定された場合には、容器Ｂの製造を停止することができる。

第２の実施形態に係る色調取得装置１４は、リジェクトライン１８に設けられるが、これに限られない。例えば、他の実施形態に係る色調取得装置１４は、成膜装置１３の後段かつ容器排出装置１７の前段に設けられてもよい。つまり、サンプルボトルＢ２は、成膜の良否を判定された後に、リジェクトライン１８に排出されてもよい。

[第３の実施形態]
本発明の第３の実施形態について図９を用いて説明する。第１の実施形態に係る成膜判定システム１０は、指標体２１の色調が変化した場合に、成膜が良好であると判定するものである。一方で、生成される被膜がとても薄いものである場合、指標体２１の色調の変化量が微小となる。そこで、第３の実施形態に係る成膜判定システム１０は、成膜後に成膜に用いるガスと異なるガスのプラズマを容器Ｂ内に発生させ、指標体２１の色調に変化が大きい場合に成膜が不良であると判定する。すなわち、第３の実施形態に係る成膜判定システム１０は、図示しないプラズマ発生装置を備える。プラズマ発生装置は、ボトルの成膜後に成膜装置１３と異なる種類のガス（例えば希ガス）に係るプラズマをボトル内に発生させる。このとき、指標体２１の色調は、成膜装置１３が用いるガスに反応したときと、プラズマ発生装置が発生させるプラズマに反応したときで異なる。なお、上記第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

図１０は、第３の実施形態に係る成膜判定装置の動作を示すフローチャートである。
色調取得装置１４は、プラズマ発生装置によるプラズマの発生後に、指標体２１の色調を取得し、当該色調を示す色調情報を成膜判定装置１５に入力する。成膜判定装置１５の色調入力部５１は、色調取得装置１４からの色調情報の入力を受け付ける（ステップＳ２５１）。次に、色差算出部５３は、参照色調記憶部５２から比較対象となる参照色調情報を取得する（ステップＳ２５２）。第３の実施形態に係る参照色調記憶部５２が記憶する参照色調情報は、指標体２１が成膜装置１３の用いるガスに反応したときの色調である。このとき取得する色調は、あらかじめ参照色調として記憶させておいた色調データでもよく、成膜後の指標体の色調を取得したものでもよい。色差算出部５３は、色調入力部５１に入力された色調情報の値と読み出した参照色調情報の値との差を色差として算出する（ステップＳ２５３）。

成膜判定部５４は、色差算出部５３が算出した色差が所定の閾値以上であるか否かを判定する（ステップＳ２５４）。色差が閾値以下である場合（ステップＳ２５４：ＹＥＳ）、成膜判定部５４は、成膜が良好であると判定し、出力部５５は、成膜が良好である旨の判定結果を出力する（ステップＳ２５５）。他方、色差が閾値より大きい場合（ステップＳ２５４：ＮＯ）、成膜判定部５４は、成膜が不良であると判定し、出力部５５は、成膜が不良である旨の判定結果を出力する（ステップＳ２５６）。

このように、本実施形態に係る成膜判定装置１５によれば、成膜を施した後の指標体２１をさらに成膜装置１３で使用した物質とは異なる物質に曝し、その指標体２１の色調を取得し、判定を行う。このとき使用される指標体２１には、成膜処理により被膜が生成されているため、さらにプラズマに曝されても当該プラズマが指標体２１と直接触れないため、指標体２１が変色しない。これにより、生成される被膜がとても薄く、指標体２１の色調の変化量が微小である場合にも有効に成膜の判定を行うことができる。

なお、第３の実施形態に係る成膜判定システム１０は、参照色調情報として成膜後かつプラズマ発生装置によるプラズマ処理がなされる前の指標体２１の色調を用いるが、これに限られない。例えば、他の実施形態に係る成膜判定システム１０は、参照色調情報として指標体２１をプラズマ発生装置が発生させたプラズマに曝した時の指標体２１の色調を用いてもよい。この場合、成膜判定装置１５は、色差算出部５３が算出した色差が所定の色差以上である場合に成膜が良好であると判定し、色差が所定の閾値未満である場合に成膜が不良であると判定する。

また、第３の実施形態に係る成膜判定システム１０は、成膜後にプラズマ発生装置によるプラズマ処理を行うが、これに限られない。例えば、他の実施形態に係る容器Ｂの成膜に失敗した場合に、指標体２１が何らかの変色を呈す場合、成膜処理後にプラズマ処理を行うことなく、図１０に示すフローに従って成膜の良否を判定してもよい。

以上本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

上述した実施形態に係る指標体貼り付け装置１１は、例えば容器Ｂの開口部から指標体２１を挿入し容器Ｂの内面に指標体２１を押し当てることにより、指標体２１を貼りつける。このとき、指標体２１の形状はパッチ状のものであってもよいし、テープ状のものであってもよい。指標体２１がテープ状である場合、容器Ｂの内壁に指標体を巡らせることで、色調取得装置１４は、容器Ｂの回転角度によらず容易に指標体２１の色調を取得することができる。また指標体２１として塗料そのものを用いてもよい。

図１１は、少なくとも１つの実施形態に係るコンピュータの構成を示す概略ブロック図である。
コンピュータ９０は、ＣＰＵ９１、主記憶装置９２、補助記憶装置９３、インタフェース９４を備える。
上述の成膜判定装置１５および制御装置１６は、それぞれコンピュータ９０を備える。そして、上述した各処理部の動作は、プログラムの形式で補助記憶装置９３に記憶されている。ＣＰＵ９１は、プログラムを補助記憶装置９３から読み出して主記憶装置９２に展開し、当該プログラムに従って上記処理を実行する。また、ＣＰＵ９１は、プログラムに従って、上述した記憶部に対応する記憶領域を主記憶装置９２に確保する。

補助記憶装置９３の例としては、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ（Solid State Drive）、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＤＶＤ−ＲＯＭ（Digital Versatile Disc Read Only Memory）、半導体メモリ等が挙げられる。補助記憶装置９３は、コンピュータ９０のバスに直接接続された内部メディアであってもよいし、インタフェース９４または通信回線を介してコンピュータ９０に接続される外部メディアであってもよい。また、このプログラムが通信回線によってコンピュータ９０に配信される場合、配信を受けたコンピュータ９０が当該プログラムを主記憶装置９２に展開し、上記処理を実行してもよい。少なくとも１つの実施形態において、補助記憶装置９３は、一時的でない有形の記憶媒体である。

また、当該プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、当該プログラムは、前述した機能を補助記憶装置９３に既に記憶されている他のプログラムとの組み合わせで実現するもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。

１０ 成膜判定システム
１１ 指標体貼り付け装置
１２ 移載装置
１３ 成膜装置
１４ 色調取得装置
１５ 成膜判定装置
２１ 指標体
５１ 色調入力部
５２ 参照色調記憶部
５３ 色差算出部
５４ 成膜判定部
５５ 出力部

Claims (10)

1. ラディカル物質によって色調が変化する指標体が内面に形成された容器の内面に対して、成膜装置によって成膜を施した後の前記指標体の色調を取得する色調入力部と、
   該色調入力部が取得した前記指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定する判定部と、
   を備える成膜判定装置。
2. 前記判定部は、あらかじめ前記判定部に入力された成膜前の指標体の色調と、前記色調入力部が取得した色調との差が所定の閾値以上である場合に前記容器の成膜が良好であると判定する請求項１に記載の成膜判定装置。
3. 前記判定部は、あらかじめ前記判定部に入力された成膜前の指標体の色調と、前記色調入力部が取得した色調との差が所定の閾値未満である場合に前記容器の成膜が良好であると判定する請求項１に記載の成膜判定装置。
4. 前記色調入力部は、成膜を施した後の前記指標体にさらに、前記成膜装置で使用した物質とは異なる物質に曝した前記指標体の色調を取得する請求項１から３のいずれかに記載の成膜判定装置。
5. 前記判定部は、前記色調入力部が取得した色調と、前記ラディカル物質と異なる物質に曝したときの指標体の色調との差が所定の閾値以上である場合に前記容器の成膜が良好であると判定する請求項３に記載の成膜判定装置。
6. 前記判定部は、前記容器の成膜時の物理量と色調に基づいて成膜の良否の判定を行う請求項１から３のいずれかに記載の成膜判定装置。
7. 容器の内面にラディカル物質によって色調が変化する指標体を取り付ける工程と、
   前記容器の内面に成膜する工程と、
   成膜を施した後の前記指標体の色調を取得する工程と、
   取得した前記指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定する工程と、
   を有する成膜判定方法。
8. ラディカル物質によって色調が変化する指標体を容器に取り付ける装置と、
   前記容器の内面に成膜を施す成膜装置と、
   前記成膜装置によって成膜を施された前記指標体の色調から成膜の良否を判定する判定部と、を備える成膜判定システム。
9. 前記指標体を接着した前記容器を製品ラインとは異なるラインに分岐させる分岐部と
   を備えた請求項８に記載の成膜判定システム。
10. 前記指標体を接着した前記容器をサンプルボトルとし、該サンプルボトルに物理的または電子的に施した認識可能なマーキングを読み取る、読み取り部
    を備え、
    前記分岐部は、前記読み取り部によって認識された前記サンプルボトルを前記製品ラインとは異なるラインに分岐させる
    請求項９に記載の成膜判定システム。

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