JP2018072200A - 静電容量型センサ - Google Patents

Abstract

【課題】配線層の配置の自由度が高い静電容量型センサを提供することを目的とする。【解決手段】静電容量型センサ１は、誘電層２と一対の電極ユニット３、４とを備える。少なくとも一方の電極ユニット３、４は、電極層１Ｘ〜１４Ｘ、１Ｙ〜１４Ｙに電気的に接続されるジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、１ｙ〜１４ｙと、電極層１Ｘ〜１４Ｘ、１Ｙ〜１４Ｙとジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、１ｙ〜１４ｙとの間に介装され、電極層１Ｘ〜１４Ｘ、１Ｙ〜１４Ｙおよびジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、１ｙ〜１４ｙから電気的に絶縁され、電気的に接地されるシールド層３５、４５と、を有する。一方の電極ユニット３、４のジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、１ｙ〜１４ｙと、他方の電極ユニット３、４の電極層１Ｘ〜１４Ｘ、１Ｙ〜１４Ｙと、の間には、重複部分ｆが設定される。シールド層３５、４５は、少なくとも重複部分ｆに配置される。【選択図】図５

Description

本発明は、例えば、荷重センサやタッチセンサなどとして用いられる静電容量型センサに関する。

特許文献１に示すように、静電容量型センサは、誘電層と表側電極ユニットと裏側電極ユニットとを備えている。誘電層は、表側電極ユニットと裏側電極ユニットとの間に介装されている。表側電極ユニットは、帯状の電極層と配線層とを備えている。電極層と配線層とは、面方向に並んで配置されている。配線層は、電極層の長手方向一端に接続されている。裏側電極ユニットの構成は、表側電極ユニットの構成と、同様である。

表裏方向（積層方向）から見て、表側電極ユニットの電極層と、裏側電極ユニットの電極層と、が重複する部分には、検出部が設定されている。表側からの荷重により誘電層が収縮すると、検出部における電極間距離（表側電極ユニットの電極層と、裏側電極ユニットの電極層と、の間の距離）が小さくなる。このため、静電容量が増加する。このように、静電容量型センサは、静電容量の変化を基に荷重を検出している。

特開２０１０−４３８８１号公報

しかしながら、従来の静電容量型センサの場合、電極層と配線層とは、面方向に並んで配置されている。このため、配線層の配置の自由度が低い。そこで、本発明は、配線層の配置の自由度が高い静電容量型センサを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の静電容量型センサは、エラストマー製の誘電層と、前記誘電層の積層方向両側に配置され、各々電極層を有する一対の電極ユニットと、を備える静電容量型センサであって、一対の前記電極ユニットのうち、少なくとも一方の前記電極ユニットは、前記電極層の積層方向外側に配置され、前記電極層に電気的に接続されるジャンパー配線層と、前記電極層と前記ジャンパー配線層との間に介装され、前記電極層および前記ジャンパー配線層から電気的に絶縁され、電気的に接地されるシールド層と、を有し、積層方向から見て、一方の前記電極ユニットの前記ジャンパー配線層と、他方の前記電極ユニットの前記電極層と、の間には、重複部分が設定され、積層方向から見て、前記シールド層は、少なくとも前記重複部分に配置されることを特徴とする。

本発明の静電容量型センサによると、少なくとも一方の電極ユニットのジャンパー配線層は、当該電極ユニットの電極層の積層方向外側に、配置されている。このため、積層方向から見て、電極層とジャンパー配線層とを、重複配置することができる。したがって、ジャンパー配線層の配置の自由度が高くなる。

第一実施形態の静電容量型センサの透過上面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図である。 同静電容量型センサの表側電極ユニットの分解斜視図である。 同静電容量型センサの裏側電極ユニットの分解斜視図である。 同静電容量型センサの荷重入力時の上下方向断面図である。 第二実施形態の静電容量型センサの透過上面図である。 第三実施形態の静電容量型センサの透過上面図である。 その他の実施形態の静電容量型センサの上下方向断面図である。 （ａ）は参考例の荷重分布図である。（ｂ）は実施例の荷重分布図である。

以下、本発明の静電容量型センサの実施の形態について説明する。以下の図においては、上下方向が本発明の「積層方向」に対応している。

＜第一実施形態＞
［静電容量型センサの構成］
まず、本実施形態の静電容量型センサの構成について説明する。図１に、本実施形態の静電容量型センサの透過上面図を示す。図２に、図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図を示す。図３に、同静電容量型センサの表側電極ユニットの分解斜視図を示す。図４に、同静電容量型センサの裏側電極ユニットの分解斜視図を示す。なお、図１においては、裏側電極ユニットを点線で示す。また、図２においては、上下方向厚みを強調して示す。

図１〜図４に示すように、静電容量型センサ１は、誘電層２と、表側電極ユニット３と、裏側電極ユニット４と、表用コネクタ５Ｒと、裏用コネクタ５Ｌと、制御部６と、を備えている。表側電極ユニット３、裏側電極ユニット４は、本発明の「電極ユニット」の概念に含まれる。表用コネクタ５Ｒ、裏用コネクタ５Ｌは、本発明の「取出部」の概念に含まれる。

（誘電層２、表側電極ユニット３）
誘電層２は、ウレタンフォーム製であって、シート状を呈している。ウレタンフォームは、本発明の「エラストマー」の概念に含まれる。図２に示すように、表側電極ユニット３は、誘電層２の上側に配置されている。図３に示すように、表側電極ユニット３は、表側基材３０と、１４本の表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、表側外側絶縁層３１ａと、表側シールド層３５と、表側内側絶縁層３１ｂと、１４本の表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、表側保護層３２と、を備えている。

表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘは、本発明の「ジャンパー配線層」の概念に含まれる。表側外側絶縁層３１ａ、表側内側絶縁層３１ｂは、本発明の「絶縁層」の概念に含まれる。表側シールド層３５は、本発明の「シールド層」の概念に含まれる。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘは、本発明の「電極層」の概念に含まれる。なお、これらの構成部材に対応する裏側電極ユニット４の構成部材（詳しくは、これらの構成部材の名称中「表側」を「裏側」に置換した名称を有する、裏側電極ユニット４の構成部材）についても、同様である。

表側基材３０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製であって、シート状を呈している。図３に示すように、表側基材３０の下側には、上側（積層方向外側）から下側（積層方向内側）に向かって、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、表側外側絶縁層３１ａ、表側シールド層３５、表側内側絶縁層３１ｂ、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘ、表側保護層３２が配置されている。

表側外側絶縁層３１ａは、シート状を呈している。表側外側絶縁層３１ａは、ウレタンゴムと、アンチブロッキング剤としての酸化チタン粒子と、を含んでいる。図３に示すように、表側外側絶縁層３１ａには、１４個の表側外側貫通孔３１０ａが穿設されている。１４個の表側外側貫通孔３１０ａと、１４本の表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、は上下方向に対向している。

表側シールド層３５は、シート状を呈している。表側シールド層３５は、アクリルゴムと導電性カーボンブラックとを含んでいる。アクリルゴムは、本発明の「エラストマー」の概念に含まれる。導電性カーボンブラックは、本発明の「導電性フィラー」の概念に含まれる。図３に示すように、表側シールド層３５には、１４個の表側中間貫通孔３５０が穿設されている。１４個の表側中間貫通孔３５０と、１４本の表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、は上下方向に対向している。図２に示すように、表側シールド層３５は、電気的に接地されている。

表側内側絶縁層３１ｂの構成は、表側外側絶縁層３１ａの構成と、同様である。図３に示すように、表側内側絶縁層３１ｂには、１４個の表側内側貫通孔３１０ｂが穿設されている。１４個の表側内側貫通孔３１０ｂと、１４本の表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、は上下方向に対向している。

図３に示すように、１４本の表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘは、表側外側絶縁層３１ａの上面に配置されている。表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘは、各々、外側配線層３３と、内側配線層３４と、を備えている。外側配線層３３は、表側基材３０の下面に形成されている。外側配線層３３は、アクリルゴムおよび銀粉末を含んでいる。内側配線層３４は、外側配線層３３の下面に形成されている。内側配線層３４は、アクリルゴムおよび導電性カーボンブラックを含んでいる。

１４本の表側電極層１Ｘ〜１４Ｘは、表側内側絶縁層３１ｂの下面に配置されている。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘは、各々、アクリルゴムおよび導電性カーボンブラックを含んでいる。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘは、各々、前後方向に延在する帯状を呈している。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘは、左右方向に所定の間隔ずつ離間して、互いに平行に配置されている。

表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、は表側外側貫通孔３１０ａ、表側中間貫通孔３５０、表側内側貫通孔３１０ｂを介して、電気的に接続されている。ただし、図２に示すように、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ（具体的には内側配線層３４）と、表側中間貫通孔３５０の内周面と、の間には、表側外側絶縁層３１ａの余肉が介在している。このため、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、表側シールド層３５と、は電気的に絶縁されている。

例えば、表側ジャンパー配線層１ｘと表側電極層１Ｘ、表側ジャンパー配線層２ｘと表側電極層２Ｘ、表側ジャンパー配線層３ｘと表側電極層３Ｘのように、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘおよび表側電極層１Ｘ〜１４Ｘのうち、符号中の数字部分が共通する層同士は、電気的に接続されている。後述する裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙおよび裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙについても同様である。図１に黒点で示すように、上側から見て、表側接点（表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、の接点）は、表側貫通孔（表側外側貫通孔３１０ａ、表側中間貫通孔３５０、表側内側貫通孔３１０ｂ）の径方向内側に配置されている。

図２に示すように、表側保護層３２は、下側から表側電極層１Ｘ〜１４Ｘおよび表側内側絶縁層３１ｂを覆っている。表側保護層３２は、ウレタンゴム製であって、シート状を呈している。表側保護層３２は、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘを保護している。表側保護層３２は、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと誘電層２との間に介装されている。

（裏側電極ユニット４）
図２に示すように、裏側電極ユニット４は、誘電層２の下側に配置されている。裏側電極ユニット４の構成は、表側電極ユニット３の構成と同じである。すなわち、図４に示すように、裏側電極ユニット４は、裏側基材４０と、１４本の裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、裏側外側絶縁層４１ａと、裏側シールド層４５と、裏側内側絶縁層４１ｂと、１４本の裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、裏側保護層４２と、を備えている。

裏側基材４０と表側基材３０、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、裏側外側絶縁層４１ａと表側外側絶縁層３１ａ、裏側シールド層４５と表側シールド層３５、裏側内側絶縁層４１ｂと表側内側絶縁層３１ｂ、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと表側電極層１Ｘ〜１４Ｘ、裏側保護層４２と表側保護層３２は、各々、材質が同じである。また、表側シールド層３５と同様に、裏側シールド層４５は電気的に接地されている。

図３、図４に示すように、裏側電極ユニット４の積層構造（上下方向の配置）は、表側電極ユニット３の積層構造と、上下対称である。すなわち、図４に示すように、裏側基材４０の上側には、下側（積層方向外側）から上側（積層方向内側）に向かって、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ、裏側外側絶縁層４１ａ、裏側シールド層４５、裏側内側絶縁層４１ｂ、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙ、裏側保護層４２が配置されている。裏側保護層４２は、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと誘電層２との間に介装されている。

図４に示すように、裏側外側絶縁層４１ａには１４個の裏側外側貫通孔４１０ａが、裏側シールド層４５には１４個の裏側中間貫通孔４５０が、裏側内側絶縁層４１ｂには１４個の裏側内側貫通孔４１０ｂが、各々、穿設されている。裏側貫通孔（裏側外側貫通孔４１０ａ、裏側中間貫通孔４５０、裏側内側貫通孔４１０ｂ）と、１４本の裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、は上下方向に対向している。

図４に示すように、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙは、各々、外側配線層４３と、内側配線層４４と、を備えている。裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙは、各々、左右方向に延在する帯状を呈している。裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙは、前後方向に所定の間隔ずつ離間して、互いに平行に配置されている。

裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、は裏側貫通孔（裏側外側貫通孔４１０ａ、裏側中間貫通孔４５０、裏側内側貫通孔４１０ｂ）を介して、電気的に接続されている。ただし、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ（具体的には内側配線層４４）と、裏側中間貫通孔４５０と、の間には、裏側外側絶縁層４１ａの余肉が介在している。このため、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、裏側シールド層４５と、は電気的に絶縁されている。図１に黒点で示すように、上側から見て、裏側接点（裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、の接点）は、裏側貫通孔（裏側外側貫通孔４１０ａ、裏側中間貫通孔４５０、裏側内側貫通孔４１０ｂ）の径方向内側に配置されている。

（表用コネクタ５Ｒ、裏用コネクタ５Ｌ、制御部６）
図１に示すように、表用コネクタ５Ｒは静電容量型センサ１の右縁に、裏用コネクタ５Ｌは静電容量型センサ１の左縁に、各々、配置されている。表用コネクタ５Ｒには、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘが電気的に接続されている。裏用コネクタ５Ｌには、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙが電気的に接続されている。制御部６は、演算部（図略）と記憶部（図略）とを備えている。制御部６は、表用コネクタ５Ｒ、裏用コネクタ５Ｌに、電気的に接続されている。制御部６には、後述する全ての検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）の各々から、静電容量に関する電気量（例えば、静電容量、電圧、電流など）が伝送される。

（検出部）
図１に示すように、上側から見て、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、は格子状に並んでいる。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙとの重複部分には、合計１９６個の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）が設定されている。なお、検出部の符号Ａ（○，△）のうち、「○」は表側電極層１Ｘ〜１４Ｘに、「△」は裏側電極層１Ｙ〜４Ｙに、各々対応している。

任意の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）と表用コネクタ５Ｒとは、少なくとも表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘを経由して、電気的に接続されている。同様に、任意の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）と裏用コネクタ５Ｌとは、少なくとも裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙを経由して、電気的に接続されている。

（感圧エリア、不感エリア）
図２に示すように、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙとが配置されているエリア（検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）が配置されているエリア）は、荷重を検出可能な感圧エリアＤである。一方、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙとが配置されていないエリア（表用コネクタ５Ｒと、裏用コネクタ５Ｌと、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘの一部と、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙの一部と、が配置されているエリア）は、荷重を検出不可能な不感エリアＥである。不感エリアＥは、感圧エリアＤを、面方向（上下方向に対して直交する方向）外側から、枠状に囲んでいる。

［静電容量型センサの動き］
次に、本実施形態の静電容量型センサの動きについて説明する。図５に、本実施形態の静電容量型センサの荷重入力時の上下方向断面図を示す。なお、図５は、図２に対応している。

図５に示すように、錘（検出対象物）Ｗが静電容量型センサ１に載置されると、荷重により、錘Ｗの下側部分（説明の便宜上、誘電層２のみ圧縮されているように示すが、実際には、表側電極ユニット３の各層、裏側電極ユニット４の各層も、荷重に応じた量だけ圧縮されている。）が上下方向に圧縮される。錘Ｗの下側部分の誘電層２が圧縮されると、誘電層２を挟んで上下方向に対向している、表側電極層１２Ｘと裏側電極層６Ｙとの間の距離（つまり電極間距離）が、小さくなる。並びに、誘電層２を挟んで上下方向に対向している、表側電極層１３Ｘと裏側電極層６Ｙとの間の距離が、小さくなる。このため、検出部Ａ（１２，６）の静電容量Ｃ（１２，６）が大きくなる。並びに、検出部Ａ（１３，６）の静電容量Ｃ（１３，６）が大きくなる。この静電容量Ｃ（１２，６）、Ｃ（１３，６）の変化量に基づいて、図１に示す制御部６は、検出部Ａ（１２，６）、Ａ（１３，６）の荷重を検出する。すなわち、制御部６は、感圧エリアＤにおける荷重分布を検出する。

ところで、図５に示す例の場合、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）のうち、検出部Ａ（１２，６）、Ａ（１３，６）以外の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）（以下、「無荷重検出部」と称す。）には、錘Ｗの荷重が加わらない。このため、錘Ｗが静電容量型センサ１に載置されても、無荷重検出部の静電容量は、本来、変化しない。したがって、制御部６は、感圧エリアＤの中から、錘Ｗが載置された座標（検出部Ａ（１２，６）、Ａ（１３，６））を判断することができる。

しかしながら、静電容量型センサ１は、立体配線構造を有している。上下方向から見て、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙとは、部分的に重複している。このため、上下方向から見て、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙとの間には、複数の重複部分ｆが存在している。同様に、上下方向から見て、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙとの間には、複数の重複部分ｆが存在している。一例として、図５に示すように、表側電極ユニット３の表側ジャンパー配線層１ｘと、裏側電極ユニットの裏側電極層６Ｙと、の間には、複数の重複部分ｆが存在している。

仮に、立体配線構造を有しているのに表側シールド層３５、裏側シールド層４５が配置されていない静電容量型センサ（この静電容量型センサも従来技術ではない）の場合、錘Ｗにより、錘Ｗの下側部分の表側ジャンパー配線層１ｘが押し下げられてしまう。このため、表側ジャンパー配線層１ｘと裏側電極層６Ｙとの間の距離（つまり電極間距離）が小さくなる。したがって、重複部分ｆにおいて、意図しない浮遊容量ｃが発生してしまう。ここで、表側ジャンパー配線層１ｘは、表側電極層１Ｘに電気的に接続されている。このため、制御部６は、浮遊容量ｃに基づく電気量を、検出部Ａ（１，６）の静電容量Ｃ（１，６）に基づく電気量と、誤判断してしまう。すなわち、制御部６は、「錘Ｗが、検出部Ａ（１２，６）、Ａ（１３，６）の上側部分みならず、検出部Ａ（１，６）の上側部分にも、載置された」と誤判断してしまう。同様に、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと表側電極層１Ｘ〜１４Ｘとの間の重複部分ｆについても、浮遊容量ｃが発生してしまう。このように、表側シールド層３５、裏側シールド層４５が配置されていない静電容量型センサの場合、検出精度が低下してしまう。

この点、本実施形態の静電容量型センサ１には、表側シールド層３５、裏側シールド層４５が配置されている。表側シールド層３５、裏側シールド層４５は、電気的に接地されている。このため、表側ジャンパー配線層１ｘと裏側電極層６Ｙとの間の距離が小さくなっても、意図しない浮遊容量ｃが発生しにくい。同様に、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと表側電極層１Ｘ〜１４Ｘとの間の距離が小さくなっても、浮遊容量ｃが発生しにくい。したがって、制御部６の誤判断を抑制することができる。

［作用効果］
次に、本実施形態の静電容量型センサの作用効果について説明する。図２に示すように、本実施形態の静電容量型センサ１は、立体配線構造を有している。表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘは、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘの上側（積層方向外側）に、配置されている。このため、積層方向から見て、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘとを、重複配置することができる。したがって、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘの配置の自由度が高くなる。同様に、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙは、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙの下側（積層方向外側）に、配置されている。このため、積層方向から見て、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙとを、重複配置することができる。したがって、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙの配置の自由度が高くなる。また、図１に示すように、静電容量型センサ１全体に占める不感エリアＥの割合（面積の割合）を小さくすることができる。

また、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、の間には、面方向全体（表側中間貫通孔３５０を除く）に亘って、表側シールド層３５が介装されている。このため、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、の間の重複部分ｆにおいて、浮遊容量ｃが発生するのを、抑制することができる。同様に、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、の間には、面方向全体（裏側中間貫通孔４５０を除く）に亘って、裏側シールド層４５が介装されている。このため、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、の間の重複部分ｆにおいて、浮遊容量ｃが発生するのを、抑制することができる。加えて、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、の間には、表側シールド層３５および裏側シールド層４５（いずれか片方だけでもよい）が配置されている。このため、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、の間の重複部分において、浮遊容量が発生するのを、抑制することができる。

このように、本実施形態の静電容量型センサ１は表側シールド層３５、裏側シールド層４５を備えているため、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）の静電容量に対する浮遊容量ｃの影響を、抑制することができる。よって、静電容量型センサ１の検出精度（例えば、面方向座標に関する精度（荷重入力位置検出精度や荷重分布検出精度など））を高くすることができる。以上まとめると、本実施形態の静電容量型センサ１によると、立体配線化に伴い発生した新規な課題である、重複部分ｆにおける浮遊容量ｃの発生を、抑制することができる。

また、表側シールド層３５の上側（積層方向外側）には、面方向全体（表側外側貫通孔３１０ａを除く）に亘って、表側外側絶縁層３１ａが配置されている。このため、表側シールド層３５と、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと、を確実に電気的に絶縁することができる。同様に、表側シールド層３５の下側（積層方向内側）には、面方向全体（表側内側貫通孔３１０ｂを除く）に亘って、表側内側絶縁層３１ｂが配置されている。このため、表側シールド層３５と、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、を確実に電気的に絶縁することができる。同様に、裏側シールド層４５の下側（積層方向外側）には、面方向全体（裏側外側貫通孔４１０ａを除く）に亘って、裏側外側絶縁層４１ａが配置されている。このため、裏側シールド層４５と、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙと、を確実に電気的に絶縁することができる。同様に、裏側シールド層４５の上側（積層方向内側）には、面方向全体（裏側内側貫通孔４１０ｂを除く）に亘って、裏側内側絶縁層４１ｂが配置されている。このため、裏側シールド層４５と、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、を確実に電気的に絶縁することができる。

また、各層（表側から裏側に向かって、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、表側外側絶縁層３１ａ、表側シールド層３５、表側内側絶縁層３１ｂ、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘ、表側保護層３２、誘電層２、裏側保護層４２、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙ、裏側内側絶縁層４１ｂ、裏側シールド層４５、裏側外側絶縁層４１ａ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ）は、エラストマーを含有している。このため、各層は柔軟である。したがって、静電容量型センサ１の変形に追従して、各層が変形することができる。よって、各層が静電容量型センサの変形を規制しにくい。また、導電層（表側から裏側に向かって、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、表側シールド層３５、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘ、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙ、裏側シールド層４５、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ）が電気的に断線しにくい。

また、図１に示すように、上下方向から見て、表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙと、は互いに直交している。このため、広範囲に検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）を分布させることができる。したがって、検出対象物の荷重分布を検出することができる。また、図２に示すように、感圧エリアＤと不感エリアＥとは面方向に隣り合っている。このため、表用コネクタ５Ｒ、裏用コネクタ５Ｌが、感圧エリアＤに加わる荷重の影響を受けにくい。

また、図５に示すように、複数の重複部分ｆは感圧エリアＤに配置されている。このため、重複部分ｆには、本来、浮遊容量ｃが発生しやすい。しかしながら、本実施形態の静電容量型センサ１によると、表側シールド層３５、裏側シールド層４５を備えているため、浮遊容量ｃの発生を、抑制することができる。

＜第二実施形態＞
本実施形態の静電容量型センサと、第一実施形態の静電容量型センサとの相違点は、検出部、コネクタの配置数が少ない点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図６に、本実施形態の静電容量型センサの透過上面図を示す。図１と対応する部位については、同じ符号で示す。また、説明には、適宜、図１〜図４を援用する。

図６に示すように、表側電極ユニット３は、４本の表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘと、４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、を備えている。同様に、裏側電極ユニットは、４本の裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙと、４本の裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、を備えている。４本の表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、４本の裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙは、共用コネクタ５に電気的に接続されている。共用コネクタ５は、本発明の「取出部」の概念に含まれる。任意の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）と共用コネクタ５とは、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙを経由して、電気的に接続されている。

図６にハッチングで示すように、静電容量型センサ１からは、センサ体ｓが切出し可能（分離可能）である。なお、図１に示す静電容量型センサ１からも、勿論、センサ体ｓは切出し可能である。説明の便宜上、センサ体ｓについては、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の少ない図６を用いて説明する。

センサ体ｓは、左前−右後方向のハッチングで示す感圧区画ｄと、左後−右前方向のハッチングで示す不感区画ｅと、を備えている。感圧区画ｄは、感圧エリアＤに設定されている。感圧区画ｄには、検出部Ａ（３，１）の一部、検出部Ａ（４，１）の一部、検出部Ａ（３，２）、Ａ（４，２）、Ａ（３，３）、Ａ（４，３）、Ａ（３，４）、Ａ（４，４）が配置されている。不感区画ｅは、不感エリアＥに設定されている。不感区画ｅには、共用コネクタ５が配置されている。感圧区画ｄの全ての検出部と、不感区画ｅの共用コネクタ５とは、電気的に接続されている。このため、静電容量型センサ１からセンサ体ｓが切り出された状態で、制御部６は、センサ体ｓの感圧区画ｄの荷重分布を検出可能である。

本実施形態の静電容量型センサ１と、第一実施形態の静電容量型センサとは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態の静電容量型センサ１は、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘおよび裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙ用の共用コネクタ５を備えている。このため、コネクタの配置数を削減することができる。また、共用コネクタ５と制御部６との間の配線が簡単である。

また、本実施形態の静電容量型センサ１（第一実施形態の静電容量型センサも同様）によると、静電容量型センサ１から、センサ体ｓを切り出すことができる。このため、センサ体ｓを、小型の静電容量型センサとして使用することができる。また、共用コネクタ５には、全ての表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘおよび裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙが電気的に接続されている。このため、共用コネクタ５（第一実施形態の場合は、表用コネクタ５Ｒおよび裏用コネクタ５Ｌ）を含む任意の形状のセンサ体ｓを、静電容量型センサ１から切り出すことができる。したがって、形状等が異なる複数の静電容量型センサが必要な場合であっても、所望の静電容量型センサの形状等に応じて、逐一、当該静電容量型センサ専用の部材（例えば、印刷により静電容量型センサを作製する場合は印刷用の版、成形により静電容量型センサを作製する場合は成形用の金型など）を設計、作製する必要がない。すなわち、所望の静電容量型センサの形状等に応じて、静電容量型センサ１からセンサ体ｓを切り取るだけで済む。このため、静電容量型センサの製造コストを削減することができる。特に、少量多品種の静電容量型センサを製造する場合、あるいは静電容量型センサの試作品を製造する場合、製造コストを削減することができる。

また、本実施形態の静電容量型センサ１（第一実施形態の静電容量型センサも同様）によると、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘは、表側貫通孔（図１〜図４に示す表側外側貫通孔３１０ａ、表側中間貫通孔３５０、表側内側貫通孔３１０ｂ）を介して、上側から表側電極層１Ｘ〜４Ｘに接続されている。同様に、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙは、裏側貫通孔（図１〜図４に示す裏側外側貫通孔４１０ａ、裏側中間貫通孔４５０、裏側内側貫通孔４１０ｂ）を介して、下側から裏側電極層１Ｙ〜４Ｙに接続されている。このため、切り取り後のセンサ体ｓにおいて、検出不可能な検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）が発生しにくい。したがって、センサ体ｓの切り取り形状の自由度を高くすることができる。

また、図６に黒点で示すように、上側から見て、共用コネクタ５に最も近い表側電極層４Ｘに重複するように、４つの裏側接点は配置されている。並びに、上側から見て、共用コネクタ５に最も近い裏側電極層２Ｙに重複するように、４つの表側接点は配置されている。このため、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙを、共用コネクタ５に近接して配置することができる。したがって、センサ体ｓを切り取る際に、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙが切断されにくい。よって、センサ体ｓの切り取り形状の自由度を高くすることができる。

また、本実施形態の静電容量型センサ１（第一実施形態の静電容量型センサも同様）によると、切り取り後のセンサ体ｓの感圧区画ｄが、部分的に切り取られた検出部Ａ（３，１）、Ａ（４，１）を有する場合、制御部６は、検出部Ａ（３，１）、Ａ（４，１）の静電容量に関する電気量を、補正することができる。このため、荷重分布の検出精度を高くすることができる。

また、本実施形態の静電容量型センサ１（第一実施形態の静電容量型センサも同様）によると、各層（図１〜図４、図６に示すように、表側から裏側に向かって、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、表側外側絶縁層３１ａ、表側シールド層３５、表側内側絶縁層３１ｂ、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、表側保護層３２、誘電層２、裏側保護層４２、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、裏側内側絶縁層４１ｂ、裏側シールド層４５、裏側外側絶縁層４１ａ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙ）は、エラストマーを含有している。このため、各層は柔軟である。したがって、刃物（カッター、ハサミなど）により、静電容量型センサ１を簡単に切断することができる。

＜第三実施形態＞
本実施形態の静電容量型センサと、第一実施形態の静電容量型センサとの相違点は、裏側電極ユニットが、裏側ジャンパー配線層、裏側シールド層を備えていない点である。また、裏側電極ユニットが、単一の裏側絶縁層を備えている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図７に、本実施形態の静電容量型センサの透過上面図を示す。図１と対応する部位については、同じ符号で示す。また、説明には、適宜、図１〜図４を援用する。

図７に示すように、表側電極ユニット３は、４本の表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘと、４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、を備えている。裏側電極ユニットは、４本の裏側配線層１ｙａ〜４ｙａと、４本の裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、を備えている。４本の表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、４本の裏側配線層１ｙａ〜４ｙａは、共用コネクタ５に電気的に接続されている。共用コネクタ５は、本発明の「取出部」の概念に含まれる。任意の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）と共用コネクタ５とは、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、裏側配線層１ｙａ〜４ｙａを経由して、電気的に接続されている。

裏側配線層１ｙａ〜４ｙａは、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの右端（面方向端）に、電気的に接続されている。裏側電極ユニットは、図１、図２に示す裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ、裏側シールド層４５を備えていない。裏側電極ユニットは、単一の裏側絶縁層（図２に示す裏側外側絶縁層４１ａと裏側内側絶縁層４１ｂとが一体化された絶縁層）を備えている。

本実施形態の静電容量型センサ１と、第一実施形態の静電容量型センサとは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態の静電容量型センサ１によると、上下方向から見て、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側配線層１ｙａ〜４ｙａとの間に、図５に示す重複部分ｆが存在しない。このため、裏側シールド層４５が不要である。したがって、裏側絶縁層が単一で済む。よって、裏側電極ユニットの上下方向厚みを小さくすることができる。

＜その他＞
以上、本発明の静電容量型センサの実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。

図８に、その他の実施形態の静電容量型センサの上下方向断面図を示す。図２と対応する部位については、同じ符号で示す。図８に示すように、表側電極ユニット３は、最下層に表側密着層３６を備えている。表側密着層３６は、本発明の「密着層」の概念に含まれる。表側密着層３６は、両面テープである。表側密着層３６は、上側の表側保護層３２と、下側の誘電層２と、の間に配置されている。表側密着層３６は、表側保護層３２と誘電層２とを密着させている。裏側電極ユニット４は、最上層に裏側密着層４６を備えている。裏側密着層４６は、本発明の「密着層」の概念に含まれる。裏側密着層４６は、両面テープである。裏側密着層４６は、下側の裏側保護層４２と、上側の誘電層２と、の間に配置されている。裏側密着層４６は、裏側保護層４２と誘電層２とを密着させている。

本実施形態の静電容量型センサの製造方法は、電極ユニット作製工程と、合体工程と、を有している。電極ユニット作製工程おいては、表側電極ユニット３（ただし表側密着層３６を除く）および裏側電極ユニット４（ただし裏側密着層４６を除く）を、スクリーン印刷などにより作製する。合体工程においては、表側密着層３６を介して、表側電極ユニット３の表側保護層３２と、誘電層２と、を貼り合わせる。並びに、裏側密着層４６を介して、裏側電極ユニット４の裏側保護層４２と、誘電層２と、を貼り合わせる。

本実施形態の静電容量型センサ１と、第一実施形態の静電容量型センサとは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態の静電容量型センサ１によると、密着層（表側密着層３６、裏側密着層４６）を介して、保護層（表側保護層３２、裏側保護層４２）と、誘電層２と、が接合されている。このため、保護層と誘電層とが互いにずれにくい。なお、保護層に密着層の機能（密着性）を担持させることもできる。しかしながら、この場合、電極ユニット作製工程後の電極ユニット（表側電極ユニット３、裏側電極ユニット４）において、保護層の密着面が外部に露出してしまう。このため、電極ユニットのハンドリングが煩雑になる。この点、本実施形態の静電容量型センサ１の製造方法によると、合体工程の際に、密着層を介して、電極ユニットの保護層と、誘電層２と、を接合している。このため、電極ユニット作製工程後の電極ユニットのハンドリングが簡単である。

図７に示す静電容量型センサ１のように、片方の電極ユニット（裏側電極ユニット４）がジャンパー配線層（裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ）、シールド層（裏側シールド層４５）を備えていなくてもよい。すなわち、一対の電極ユニット（表側電極ユニット３、裏側電極ユニット４）のうち、少なくとも一方の電極ユニット（表側電極ユニット３）がジャンパー配線層（表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ）、シールド層（表側シールド層３５）を備えていればよい。

表側シールド層３５の形状、位置、配置数は特に限定しない。例えば、図３に示す複数の表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと同形状、同数の表側シールド層３５を、上側から見て表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘと重複するように、配置してもよい。また、図５に示す複数の重複部分ｆと同形状、同数の表側シールド層３５を、上側から見て重複部分ｆと重複するように、配置してもよい。裏側シールド層４５の形状、位置、配置数についても同様である。

静電容量型センサ１の形状、面積等は特に限定しない。単一の静電容量型センサ１に、複数の共用コネクタ５（図６参照）を配置してもよい。こうすると、任意の共用コネクタ５を含むように、センサ体ｓを切り出すことができる。また、静電容量型センサ１に、コネクタ（表用コネクタ５Ｒ、裏用コネクタ５Ｌ、共用コネクタ５）を配置しなくてもよい。この場合、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙの端部は、本発明の「取出部」の概念に含まれる。また、静電容量型センサ１に、表側基材３０、裏側基材４０、表側保護層３２、裏側保護層４２、表側密着層３６、裏側密着層４６のうち、少なくとも一つを配置しなくてもよい。

表側電極層１Ｘ〜１４Ｘ、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙの本数、形状、面積等は特に限定しない。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘの本数と、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙの本数と、が異なっていてもよい。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘの形状、面積等と、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙの形状、面積等と、が異なっていてもよい。表側電極層１Ｘ〜１４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙとの交差方向は特に限定しない。任意の単一の表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘは、複数の表側電極層１Ｘ〜１４Ｘに分岐接続されていてもよい。並びに、単一の裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙは、複数の裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙに分岐接続されていてもよい。

検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）の配置数、形状、面積等は特に限定しない。切断可能なセンサ体ｓ（図６参照）の形状を示す切取線を、静電容量型センサ１の表面や裏面に、配置してもよい。なお、当該切取線は、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙのうち、少なくとも一つを遮断している場合がある。切り取り後のセンサ体ｓの外縁には、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、表側ジャンパー配線層１ｘ〜４ｘ、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜４ｙのうち、少なくとも一つの切断跡が残っている場合がある。当該切断跡を観察することにより、当該センサ体ｓが静電容量型センサ１から切り取られたことを、確認することができる。

表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘを構成する層（外側配線層３３、内側配線層３４）の数は特に限定しない。単層でも、三層以上でもよい。裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙについても同様である。

静電容量型センサ１の製造方法（各層の積層方法）は特に限定しない。例えば、スクリーン印刷、インクジェット印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、パッド印刷、リソグラフィー、転写法などにより各層を積層してもよい。

表側電極層１Ｘ〜１４Ｘ、表側ジャンパー配線層１ｘ〜１４ｘ、裏側電極層１Ｙ〜１４Ｙ、裏側ジャンパー配線層１ｙ〜１４ｙ、表側シールド層３５、裏側シールド層４５は、柔軟で伸縮性を有するという観点から、エラストマーおよび導電材を含んで構成するとよい。エラストマーとしては、ウレタンゴム、アクリルゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合ゴム（ニトリルゴム）、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレンなどが好適である。導電材としては、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金などからなる金属粒子、酸化亜鉛、酸化チタンなどからなる金属酸化物粒子、チタンカーボネートなどからなる金属炭化物粒子、銀、金、銅、白金、およびニッケルなどからなる金属ナノワイヤ、導電性カーボンブラック、カーボンナノチューブ、グラファイト、およびグラフェンなどの導電性炭素材料の中から、適宜選択すればよい。これらの一種を単独で、あるいは二種以上を混合して用いることができる。

表側基材３０、裏側基材４０としては、ＰＥＴ、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド、ポリエチレンなどの樹脂フィルム、エラストマーシート、伸縮布などが好適である。表側保護層３２、裏側保護層４２としては、柔軟性や引張永久歪みなどを考慮して、ウレタンゴム、アクリルゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレンなどが好適である。

表側密着層３６、裏側密着層４６の材質は特に限定しない。静電容量型センサ１の変形に必要な柔軟性を阻害しなければよい。例えば、スリーエムジャパン株式会社製のＤＣＸ−１０１８、日東電工株式会社製のＧＡ５９０５などの両面テープを、表側密着層３６、裏側密着層４６として用いてもよい。また、ヤング率１００ＭＰａ以下の粘着性ポリマーを、表側密着層３６、裏側密着層４６として用いてもよい。なお、１００ＭＰａ以下としたのは、静電容量型センサ１の変形に必要な柔軟性を確保するためである。

誘電層２としては、比誘電率が比較的大きいエラストマーまたは樹脂を用いるとよい（発泡体を含む）。例えば、比誘電率が５以上（測定周波数１００Ｈｚ）のものが好適である。このようなエラストマーとしては、ウレタンゴム、シリコーンゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、アクリルゴム、天然ゴム、イソプレンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、クロロプレンゴム、塩素化ポリエチレン、クロロスルホン化ポリエチレンなどが挙げられる。また、樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリスチレン(架橋発泡ポリスチレンを含む)、ポリ塩化ビニル、塩化ビニリデン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル−アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。

本発明の静電容量型センサ、および当該静電容量型センサから切り出されたセンサ体の用途は、特に限定しない。例えば、ロボットの所望の部分（アーム部など）に巻装することにより、巻装部分の荷重分布を測定することができる。また、インソールセンサとして靴底に敷設することにより、足裏の荷重分布を測定することができる。

以下、図１〜図５に示す第一実施形態の静電容量型センサ１を実施例として行った荷重分布検出実験について説明する。実験においては、錘Ｗを、静電容量型センサ１の上面の一部に載置した。図９（ａ）に、参考例の荷重分布図を示す。図９（ｂ）に、実施例の荷重分布図を示す。なお、参考例は、第一実施形態の静電容量型センサ１から、表側シールド層３５および裏側シールド層４５を削除した静電容量型センサである。参考例は未公知である。参考例は従来例ではない。

図９（ａ）、図９（ｂ）中、太線の一点鎖線で囲んだ部分が、錘Ｗが載置された部分である（図５参照）。なお、錘Ｗから各検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）に加わる荷重（圧力）は、３０００ｍｍＨｇ（４００．０ｋＰａ）である。また、図９（ａ）、図９（ｂ）中、各検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）に記入されている数値は、ｄｉｇｉｔ値である。ｄｉｇｉｔ値は、３０００ｍｍＨｇ（４００．０ｋＰａ）の荷重を加えたときの静電容量の検出信号の強さの最大値を１００とした場合の、相対的な値である。なお、無荷重状態（錘Ｗが載置されていない状態）における検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１４，１４）のｄｉｇｉｔ値は、参考例が３〜１１ｄｉｇｉｔ程度、実施例が２〜９ｄｉｇｉｔ程度である。

図９（ａ）に細線ハッチングを施して示すように、参考例の場合、錘Ｗから荷重が加わらない検出部Ａ（１，７）、Ａ（２，８）、Ａ（３，７）、Ａ（４，８）などにおいて、ｄｉｇｉｔ値の増加が認められる。これに対して、図９（ｂ）に示すように、実施例の場合、錘Ｗから荷重が加わらない検出部Ａ（１，７）、Ａ（２，８）、Ａ（３，７）、Ａ（４，８）などにおいて、ｄｉｇｉｔ値の増加が認められない。このように、参考例に対して、実施例は検出精度が高い。

１：静電容量型センサ、１Ｘ〜１４Ｘ：表側電極層（電極層）、１Ｙ〜１４Ｙ：裏側電極層（電極層）、１ｘ〜１４ｘ：表側ジャンパー配線層（ジャンパー配線層）、１ｙ〜１４ｙ：裏側ジャンパー配線層（ジャンパー配線層）、１ｙａ〜４ｙａ：裏側配線層、２：誘電層、３：表側電極ユニット（電極ユニット）、４：裏側電極ユニット（電極ユニット）、５：共用コネクタ（取出部）、５Ｌ：裏用コネクタ（取出部）、５Ｒ：表用コネクタ（取出部）、６：制御部、３０：表側基材、３１ａ：表側外側絶縁層（絶縁層）、３１ｂ：表側内側絶縁層（絶縁層）、３２：表側保護層、３３：外側配線層、３４：内側配線層、３５：表側シールド層（シールド層）、３６：表側密着層（密着層）、４０：裏側基材、４１ａ：裏側外側絶縁層（絶縁層）、４１ｂ：裏側内側絶縁層（絶縁層）、４２：裏側保護層、４３：外側配線層、４４：内側配線層、４５：裏側シールド層（シールド層）、４６：裏側密着層（密着層）、３１０ａ：表側外側貫通孔、３１０ｂ：表側内側貫通孔、３５０：表側中間貫通孔、４１０ａ：裏側外側貫通孔、４１０ｂ：裏側内側貫通孔、４５０：裏側中間貫通孔、Ａ：検出部、Ｃ：静電容量、Ｄ：感圧エリア、Ｅ：不感エリア、Ｗ：錘、ｃ：浮遊容量、ｄ：感圧区画、ｅ：不感区画、ｆ：重複部分、ｓ：センサ体

Claims (8)

1. エラストマー製の誘電層と、
   前記誘電層の積層方向両側に配置され、各々電極層を有する一対の電極ユニットと、
   を備える静電容量型センサであって、
   一対の前記電極ユニットのうち、少なくとも一方の前記電極ユニットは、
   前記電極層の積層方向外側に配置され、前記電極層に電気的に接続されるジャンパー配線層と、
   前記電極層と前記ジャンパー配線層との間に介装され、前記電極層および前記ジャンパー配線層から電気的に絶縁され、電気的に接地されるシールド層と、
   を有し、
   積層方向から見て、一方の前記電極ユニットの前記ジャンパー配線層と、他方の前記電極ユニットの前記電極層と、の間には、重複部分が設定され、
   積層方向から見て、前記シールド層は、少なくとも前記重複部分に配置されることを特徴とする静電容量型センサ。
2. 前記電極ユニットは、前記シールド層の積層方向両側に配置される一対の絶縁層を有する請求項１に記載の静電容量型センサ。
3. 前記シールド層は、エラストマーと、前記エラストマーに充填される導電性フィラーと、を含む請求項１または請求項２に記載の静電容量型センサ。
4. 一方の前記電極ユニットの前記電極層および他方の前記電極ユニットの前記電極層のうち、少なくとも一方は、複数配置され、
   積層方向から見て、一方の前記電極ユニットの前記電極層と、他方の前記電極ユニットの前記電極層と、が重複する部分には、複数の検出部が設定される請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の静電容量型センサ。
5. 積層方向から見て、
   複数の前記検出部が設定される感圧エリアと、
   前記感圧エリアの隣りに配置され、複数の前記検出部の静電容量に関する電気量を外部から取り出し可能な少なくとも一つの取出部を有する不感エリアと、
   を備える請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の静電容量型センサ。
6. 前記重複部分は、前記感圧エリアに配置される請求項５に記載の静電容量型センサ。
7. 前記感圧エリアに設定され、少なくとも一つの前記検出部を有する感圧区画と、
   前記不感エリアに設定され、少なくとも一つの前記取出部を有する不感区画と、
   を有し、
   前記感圧区画の前記検出部と前記不感区画の前記取出部とが電気的に接続された状態で、前記静電容量型センサから切出し可能な、センサ体を備える請求項５または請求項６に記載の静電容量型センサ。
8. 前記電極ユニットは、ヤング率１００ＭＰａ以下の粘着性ポリマー製であって、前記誘電層に密着する密着層を備える請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の静電容量型センサ。

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