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JP2018072051A - 光源装置及び撮像システム - Google Patents

光源装置及び撮像システム Download PDF

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JP2018072051A JP2016209107A JP2016209107A JP2018072051A JP 2018072051 A JP2018072051 A JP 2018072051A JP 2016209107 A JP2016209107 A JP 2016209107A JP 2016209107 A JP2016209107 A JP 2016209107A JP 2018072051 A JP2018072051 A JP 2018072051A
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Abstract

【課題】試料に照射される光の波長を連続的に高速で変化させながら、波長の変化に同期して試料を撮像可能な光源装置を提供する。【解決手段】光源装置10は、円板状に成形され、中心軸周りに回転可能な円板状リニアバリアブルフィルタ14と、円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過した光を試料30に照射するハロゲン光源11と、円板状リニアバリアブルフィルタ14を中心軸周りに回転させるパルスモータ15と、位置検出用の光を発光する発光素子17と、受光量に応じた信号を発生する受光素子18と、撮像装置からの同期信号に基づいて撮像装置で撮像される画像のコマ数をカウントし、カウントされたコマ数が所定値になる毎に、コマ数検出フラグを発生し、受光素子18から出力された信号がピークになるタイミングとコマ数検出フラグが発生するタイミングとが同期するように、パルスモータ15の回転速度を制御するコントローラ22と、を備えている。【選択図】図2

Description

本発明は、光源装置及び撮像システムに関する。
従来、可視光領域全体にわたる照明光を適切に選択して、簡易かつ小型化可能な構成で高速測定が可能な技術が開示されている(特許文献1参照)。
特許文献1の技術では、照明フィルタ装置は、光を透過させる位置に応じて透過波長が連続的に変化する光フィルタを備え、広帯域光を狭帯域光にした上で試料に照射する。カメラ装置は、照明フィルタ装置により光が照射された試料の画像データを取り込む。このとき、光フィルタの位置を変化させることで、試料に照射する光の波長を変化させながら、試料の画像データを分析し、試料に適した照明設定を判定する。
特開2004−4055号公報
しかし、特許文献1では、色フィルタの位置を高速度で移動させるための具体的な手段が記載されていないため、どのようにして広帯域光から狭帯域光にするのかが明らかになっていない。
また、特許文献1では、試料の画像データを分析し、分析結果に基づいて試料に適した照明に設定することが記載されているものの、予め決められた様々な波長の照明光を連続的に高速で切り替えながら試料に照射して、そのときの試料の画像データを取り込むことが記載されていない。
本発明は、このような実情を鑑みて提案されたものであり、試料に照射される光の波長を連続的に高速で変化させながら、波長の変化に同期して試料を撮像することが可能になる光源装置及び撮像システムを提供することを目的とする。
本発明に係る光源装置は、円板状に成形され、中心軸周りに回転可能なリニアバリアブルフィルタと、発光して、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を試料に照射する光源と、前記リニアバリアブルフィルタを前記中心軸周りに回転させることで、前記リニアバリアブルフィルタを透過して前記試料に照射される光の波長を連続的に変化させる回転手段と、前記リニアバリアブルフィルタに対して、位置検出用の所定波長の光を発光する位置検出用発光手段と、前記位置検出用発光手段から発光され、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を受光して、受光量に応じた信号を発生する受光手段と、撮像装置からの同期信号に基づいて撮像装置で撮像される画像のコマ数をカウントし、カウントされたコマ数が所定値になる毎に、コマ数検出フラグを発生するコマ数検出フラグ発生手段と、前記受光手段から出力された信号がピークになるタイミングを検出し、前記信号がピークになるタイミングと前記コマ数検出フラグが発生するタイミングとが同期するように、前記回転手段の回転速度を制御する制御手段と、を備えている。
また、本発明に係る光源装置は、長尺状に成形され、長手方向に沿った直線上を往復移動できるように設けられ、前記長手方向に沿ってバンドパスの中心波長が変化するリニアバリアブルフィルタと、発光して、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を試料に照射する光源と、前記リニアバリアブルフィルタを長手方向に沿った直線上を往復移動させることで、前記リニアバリアブルフィルタを透過して前記試料に照射される光の波長を連続的にさせる移動手段と、前記リニアバリアブルフィルタに対して、位置検出用の所定波長の光を発光する位置検出用発光手段と、前記位置検出用発光手段から発光され、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を受光して、受光量に応じた信号を発生する受光手段と、前記リニアバリアブルフィルタが前記直線上を移動しながら、前記受光手段から出力された信号がピークになる位置を検出し、検出した位置を基準位置にして前記リニアバリアブルフィルタの前記直線上の位置を制御する制御手段と、前記リニアバリアブルフィルタの移動開始直後及び移動終了直前に、前記試料を撮像するための撮像装置により生成される画像について1フレーム時間を既定値よりも長くなるように設定するための信号を生成し、生成した信号を前記撮像装置に送信する信号生成手段と、を備えている。
本発明に係る撮像システムは、上述した発光装置と、前記発送装置により光が照射された試料を撮像する撮像装置と、を備えている。
本発明は、試料に照射される光の波長を連続的に高速で変化させながら、波長の変化に同期して試料を撮像することが可能になる。
本発明の第1の実施形態に係る撮像システムの概略構成図である。 光源装置の機能的な構成を示すブロック図である。 汎用的なリニアバリアブルフィルタを示す図である。 汎用的なリニアバリアブルフィルタのバンドパスの中心波長が580nmの位置にスポット光が照射された場合の光透過特性を示す図である。 円板状リニアバリアブルフィルタを示す図である パルスモータの回転角度に対する円板状リニアバリアブルフィルタのバンドパスの中心波長の特性図である。 画像信号、コマ数検出フラグ、LVF基準位置のタイミングチャートである。 フレーム番号、円板状リニアバリアブルフィルタの回転角度、及び光源装置の出力光の波長の関係を示す図である。 撮像装置により撮像された試料の画像を示す図である。 第2の実施形態に係る光源装置の構成を示すブロック図である。 長尺状リニアバリアブルフィルタの平面図である。 長尺状リニアバリアブルフィルタの移動速度を示す図である。 トリガー信号、画像信号、コマ数検出フラグ、LVF基準位置のタイミングチャートである。 長尺状リニアバリアブルフィルタの移動速度を示す図である。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る撮像システム1の概略構成図である。
撮像システム1は、波長が連続的に変化する光を試料30に照射する光源装置10と、試料30の照射光の波長が連続的に変化する期間に試料30を撮像する撮像装置40と、を備えている。
光源装置10は、連続的に波長が変化する光を出力すると共に、撮像装置40から送信される同期信号を受信し、受信した同期信号に同期するように波長の変化タイミングを制御する。
撮像装置40は、異なる種類の錠剤が混在する試料30を撮像する。試料30の反射光は、錠剤の種類によって波長が異なる。このため、試料30に様々な波長の光を照射して、そのときの試料30の画像をチェックすることによって、試料30に何の種類の錠剤がどの程度混入しているかが分かる。なお、試料30は、上記の例に限定されるものではない。
図2は、光源装置10の構成を示すブロック図である。光源装置10は、ハロゲン光源11と、第1レンズ12と、第2レンズ13と、円板状リニアバリアブルフィルタ14と、パルスモータ15と、モータドライバ16と、を備えている。
ハロゲン光源11は、可視光から近赤外光までの波長を含む光を出力して、第1レンズ12に照射する。第1レンズ12は、ハロゲン光源11からの光を集光して、円板状リニアバリアブルフィルタ14の端部に向けて、集光されたスポット光を照射する。スポット光は、円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過した後、拡散しながら第2レンズ13に入射する。第2レンズ13は、入射された光を平行光にして、試料30に光を照射する。
このように、第1レンズ12と第2レンズ13との間には、第1レンズ12によって集光された光がスポット光となる位置に、リニアバリアブルフィルタからなる円板状リニアバリアブルフィルタ14が設けられている。
図3は、正方形状に成形された汎用的なリニアバリアブルフィルタを示す図である。リニアバリアブルフィルタは、光入射位置を所定方向(図3では上下方向)に移動させることで透過波長を可変できる光干渉フィルタである。リニアバリアブルフィルタは、バンドパスの中心波長(あるいはエッジフィルタのエッジ波長)が光入射位置に対して線形的に変化する特徴を有する。図3では、上下方向の下側から上側に向かって、バンドパスの中心波長λが、最小値λmin、・・・、中間値(λmin+λmax)/2、・・・、最大値λmaxと線形的に変化する。すなわち、1枚のリニアバリアブルフィルタが、複数の波長フィルタの代用として機能する。
図4は、図3に示す汎用的なリニアバリアブルフィルタのバンドパスの中心波長が580nmの位置にスポット光が照射された場合の光透過特性を示す図である。同図に示すように、中心波長580nmの±10nmにおいて、光透過特性はほぼ100%である。しかし、中心波長580nmの±10nm以外の波長においては、光透過特性はほぼ0%である。
図5は、円板状リニアバリアブルフィルタ14を示す図である。円板状リニアバリアブルフィルタ14は、図3に示すリニアバリアブルフィルタを円板状に成形したものである。円板状リニアバリアブルフィルタ14の中心点には軸穴が設けられている。この軸穴には、図2に示すパルスモータ15の回転軸が挿入される。パルスモータ15の回転軸が回転すると、円板状リニアバリアブルフィルタ14は中心点を軸にして回転する。
第1レンズ12によって集光されたスポット光は、円板状リニアバリアブルフィルタ14の中心付近ではなく、径方向の端部に照射される。円板状リニアバリアブルフィルタ14がパルスモータ15によって中心点周りに回転すると、スポット光の位置に対応するバンドパスの中心波長が逐次変化する。そのため、円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過する光は、波長が連続的に変化する。
図6は、パルスモータ15の回転角度に対する円板状リニアバリアブルフィルタ14のバンドパスの中心波長の特性図である。パルスモータ15の回転角度が0度の場合、円板状リニアバリアブルフィルタ14のバンドパスの中心波長は最小値になる。回転角度が大きくなるに従って、バンドパスの中心波長は大きくなる。回転角度が180度の場合、バンドパスの中心波長は最大値になる。
さらに回転角度が大きくなると、バンドパスの中心波長は小さくなる。そして、回転角度が360度の場合、バンドパスの中心波長は再び最小値になる。このように、円板状リニアバリアブルフィルタ14が1回転する間に、円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過する光の波長は最小値から最大値になり、その後再び最小値になる。
図2に示す光源装置10は、さらに、発光素子17と、受光素子18と、操作部19と、同期信号受信部20と、コマ数検出部21と、コントローラ22と、を備えている。
発光素子17及び受光素子18は、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転基準位置を検出するためのものであり、円板状リニアバリアブルフィルタ14を挟んで対向する。発光素子17は、所定波長(例えば550nm)の光を、円板状リニアバリアブルフィルタ14の径方向の端部に照射する。
受光素子18は、発光素子17から照射され、円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過した光を受光し、受光量に応じた信号をコントローラ22へ出力する。このため、受光素子18から出力された信号がピークとなるタイミングは、発光素子14が、円板状リニアバリアブルフィルタ14のバンドパスの中心波長550nmの位置に対向するタイミングとなる。以下では、受光素子18から出力された信号がピークになる時点の円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転位置をLVF基準位置とする。
操作部19には、ユーザの操作に応じた情報が入力される。具体的には、操作部19には、ユーザの操作によって、円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過する光の波長が最小値から最大値になるまでの期間(円板状リニアバリアブルフィルタ14が半回転する期間)に、取り込むべき画像のコマ数が入力される。
同期信号受信部20は、図1に示す撮像装置40から出力された同期信号(水平同期信号、垂直同期信号等)を受信する。
コマ数検出部21は、同期信号受信部20で受信された同期信号に基づいて、撮像装置40で撮像された画像のコマ数(フレーム数)をカウントする。コマ数検出部21は、カウントしたコマ数が操作部19に入力されたコマ数の2倍に達する毎に、コマ数検出フラグを出力し、カウントしたコマ数をリセットし、再び画像のコマ数をカウントする。
「コマ数の2倍」とした理由は、次の通りである。円板状リニアバリアブルフィルタ14を透過する光の波長が最小値から最大値になる期間には、円板状リニアバリアブルフィルタ14が半回転しかしない。このため、円板状リニアバリアブルフィルタ14が1回転する期間、つまり、LVF基準位置が検出されてから次のLVF基準位置が検出されるまでの期間には、操作部19に入力されたコマ数の2倍の値が必要になるからである。
なお、光の波長が最小値から最大値になる期間に円板状リニアバリアブルフィルタ14が1回転する場合は、「2倍」にする必要はなく、「1倍(コマ数のまま)」でよい。
本実施形態では、操作部19にコマ数「30」が入力された場合、コマ数検出部21は、カウントしたコマ数が「60」になる毎に、コマ数検出フラグを出力する。そして、コマ数検出部21は、カウントしたコマ数をリセットした後、再び画像のコマ数をカウントする。
コントローラ22は、受光素子18から出力された信号がピークになるタイミングと、コマ数検出部21からコマ数検出フラグが出力されるタイミングと、を比較して、2つのタイミングの位相差が一定になるようにPLL制御して、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転速度を決定する。そして、コントローラ22は、パルスモータ15の回転軸の回転速度が決定された回転速度になるように、モータドライバ16を制御する。
上記のように構成された撮像システム1は、次の動作手順に従って、試料30を撮像する。
最初に、ユーザは、図2に示す光源装置10の操作部19を操作して、波長が最小値から最大値まで連続的に変化する期間に、撮像装置40が取り込むべき画像のコマ数を入力する。本実施形態では、ユーザは、操作部19を操作して、コマ数「30」を入力する。
コントローラ22は、操作部19にコマ数「30」が入力されたことを検出すると、ハロゲン光源11を発光させると共に、モータドライバ16を介して、パルスモータ15を回転させる。これにより、光源装置10が発光を開始する。
撮像装置40は、光源装置10の発光開始に合わせて、試料30の撮像を開始する。なお、撮像装置40は、ユーザのスイッチ操作があったときに撮像を開始してもよいし、操作部19にコマ数が入力されたことが光源装置10から通知されたときに、自動的に撮像を開始してもよい。撮像装置40は、撮像を開始すると、内蔵する同期信号発生器で発生される同期信号に同期して、試料30の画像を生成すると共に、同期信号を光源装置10へ送信する。
図7は、画像信号、コマ数検出フラグ、LVF基準位置のタイミングチャートである。コマ数検出フラグは、画像が60コマになる毎に、出力される。LVF基準位置は、受光素子18から出力される信号がピークになる毎に、つまり円板状リニアバリアブルフィルタ14が360度回転する毎に検出される。
ここで、パルスモータ15の回転角度が0度の場合は、バンドパスの中心波長は最小値(例えば900nm)である。パルスモータ15の回転角度が180度の場合は、バンドパスの中心波長は最大値(例えば1800nm)である。さらに、パルスモータ15の回転角度が360度の場合は、バンドパスの中心波長は再び最小値(例えば900nm)である。
なお、本実施形態では、LVF基準位置は、パルスモータ15(円板状リニアバリアブルフィルタ14)の回転角度が0度のときに検出されるが、これに限定されるものではない。つまり、LVF基準位置は、円板状リニアバリアブルフィルタ14が1回転した時点を検出するために利用可能であればよく、回転角度が0度以外の所定角度のときに検出されたものでもよい。
図2に示すコントローラ22は、コマ数検出フラグとLVF基準位置とが同期するように、モータドライバ16を介して、パルスモータ15の回転速度を制御する。この結果、光源装置10から出力される光の波長変化と、撮像装置40で撮像される画像のコマ数とが同期する。
光源装置10が発光を開始して所定時間が経過すると、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転速度が一定になる。このとき、光源装置10から撮像装置40への制御信号(コマ数検出フラグ等)によって撮像装置40で撮像される画像のフレーム番号(1〜60)が特定されれば、パルスモータ15(円板状リニアバリアブルフィルタ14)の回転角度、及び光源装置10から出力される光の波長が特定される。
図8は、フレーム番号、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転角度、及び光源装置10の出力光の波長の関係を示す図である。本実施形態では、円板状リニアバリアブルフィルタ14が360度回転する期間に、撮像装置40において60コマの画像が得られる。つまり、円板状リニアバリアブルフィルタ14が180度回転する期間(光源装置10の出力光の波長が最小値900nmから最大値1800nmまで変化する期間)に、30コマの画像が得られる。
このとき、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転角度がθ1、θ2、・・・となると、光源装置10の出力光の波長は図6に示すように正弦波状にλ1、λ2、・・・と変化する。この結果、フレーム番号1の場合では照射光の波長はλ1(=900nm)、フレーム番号2の場合では照射光の波長はλ2、・・・となる。つまり、操作部19にコマ数が入力され、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転速度が撮像装置40の画像生成タイミングに同期すると、フレーム番号に対応する照射光の波長が決定される。
以上のように、本実施形態の撮像システム1は、照射光の変化速度と画像の生成タイミングとを同期させて、円板状リニアバリアブルフィルタ14の回転角度に対する画像のコマ数(分解能)をユーザの操作に応じて設定することで、画像(フレーム番号)と照射光の波長とを対応させながら、照射光の波長を連続的に変化させながら、画像を高速で生成することができる。
図9は、撮像装置40により撮像された試料30の画像を示す図である。ここでは、照射光の波長がそれぞれ異なるときの3枚の画像が表されている。同図によれば、照射光の波長によって視認しやすい錠剤の種類が異なっている。したがって、ユーザは、試料30に対して様々な波長で照射されたときのそれぞれの画像を確認することで、何の種類の錠剤がどの程度混入しているかを容易に把握することが可能になる。また、可変範囲の全ての波長に対応する出力画像を確認すると、画像が得られる場合と画像が得られない場合がある。このような画像の有無の情報も、試料30の状態を特定するための情報となるのは言うまでもない。
[第2の実施形態]
つぎに、本発明の第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態と同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
第2の実施形態に係る撮像システムは、図2に示す光源装置10の代わりに、図10に示す光源装置10Aを設けたものである。
図10は、第2の実施形態に係る光源装置10Aの構成を示すブロック図である。光源装置10Aは、図2に示す円板状リニアバリアブルフィルタ14に代えて、図10に示す長尺状リニアバリアブルフィルタ25を備えている。なお、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の光入射側には、絞り26が設けられている。
さらに、光源装置10Aは、図2に示す発光素子17に代えて、1950nmの光を発光する発光素子27を備えている。つまり、発光素子17と発光素子27は、異なる波長の光を発光する点で相違する。
図11は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の平面図であり、光入射位置とバンドパスの中心波長との関係を示している。
長尺状リニアバリアブルフィルタ25は、図3に示すリニアバリアブルフィルタを長尺上に成形したものである。長尺状リニアバリアブルフィルタ25においては、バンドパスの中心波長が長手方向に沿って線形的に変化する。
長尺状リニアバリアブルフィルタ25は、パルスモータ15の回転駆動に基づいて、長手方向に沿ってスライドするように設けられている。
具体的には、長尺状リニアバリアブルフィルタ25が図11の右方向いっぱいまでスライドすると、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の左端部(位置L)にスポット光が照射される。位置Lは、バンドパスの中心波長が最小値(900nm)になる位置である。このとき、長尺状リニアバリアブルフィルタ25のバンドパスの中心波長が1950nmになる位置の両面側には、図9に示す発光素子27及び受光素子18が設けられている。
発光素子27は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の基準位置の設定の際に使用される発光ダイオードである。発光素子27は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25を挟んで、受光素子18と対向する位置に設けられ、1950nmの光を発光する。受光素子18は、発光素子27で発光され長尺状リニアバリアブルフィルタ25を透過した光を受光して、受光量に応じた信号を発生する。
長尺状リニアバリアブルフィルタ25が図11の左方向いっぱいまでスライドすると、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の右端部(位置R)にスポット光が照射される。位置Rは、バンドパスの中心波長が最大値(1800nm)になる位置である。
長尺状リニアバリアブルフィルタ25が図11の左右方向の中間位置に配置されると、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の長手方向の位置Lと位置Rの中間位置にスポット光が照射される。この中間位置は、バンドパスの中心波長が1350nmになる位置である。
ここで、長尺状リニアバリアブルフィルタ25を任意の位置にスライドして、受光素子18から出力される信号がピークになる位置(基準位置)が決まれば、バンドパスの中心波長が1950nmになる位置が分かり、さらに、900nmから1800nmまでのバンドパスの中心波長の位置が分かる。このため、最初に、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の基準位置を正確に設定することが必要である。
さらに、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の長手方向におけるバンドパスの中心波長が900nmから1800nmまでの長さは、予め分かっている。
このため、操作部19にコマ数(照射光の波長が900nmから1800nmまで変化する間に撮像すべき画像のコマ数)が入力されれば、1コマずつの長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動距離、つまり、パルスモータ15の回転角度が決まる。そこで、コントローラ22は、操作部19に入力されるコマ数に対応するようにしつつ、撮像装置40から送信される同期信号に同期して、モータドライバ16を介して、パルスモータ15を制御する。
上記のように構成された撮像システム1は、次の動作手順に従って、試料30を撮像する。
最初に、コントローラ22は、発光素子27を発光させる。コントローラ22は、受光素子18から出力される信号をモニターすると共に、モータドライバ16及びパルスモータ15を介して、長尺状リニアバリアブルフィルタ25を長手方向にスライドさせる。
コントローラ22は、受光素子18から出力された信号がピークになった時点でパルスモータ15の回転を停止して、その時点の長尺状リニアバリアブルフィルタ25の位置を基準位置として設定する。そして、コントローラ22は、基準位置でのパルスモータ15の回転角度をリセット、つまり0度に設定する。これにより、光源装置10の初期設定が完了する。
光源装置10の初期設定が完了すると、試料30が静止位置にない(移動している)ときに必要なコマ数を取得し、試料30が静止位置にあるときに必要なコマ数の画像を取得する。
具体的には、ユーザは、図10に示す光源装置10の操作部19を操作して、必要なコマ数を入力する。必要なコマ数とは、光源装置10から出力される光の波長が最小値から最大値まで連続的に変化する期間に、撮像装置40が取り込むべき画像のコマ数(フレーム数)をいう。本実施形態では、ユーザは、操作部19を操作して、コマ数「30」を入力する。
そして、試料30が静止位置で静止しているときに、コントローラ22は、ハロゲン光源11を発光させると共に、モータドライバ16を介して、パルスモータ15を回転させる。このとき、コントローラ22は、操作部19に入力されたコマ数「30」に対応するように、1コマあたりのパルスモータ15の回転角度を決定し、モータドライバ16を介して、パルスモータ15を制御する。
次に、光源装置10が発光を開始する。このとき、長尺状リニアバリアブルフィルタ25が位置Lから位置Rに向かってスライドするので、長尺状リニアバリアブルフィルタ25を透過する光の波長が900nmから1800nmに連続的に変化する。
撮像装置40は、光源装置10の発光開始に合わせて、試料30の撮像を開始する。なお、撮像装置40は、ユーザのスイッチ操作があったときに撮像を開始してもよいし、操作部19にコマ数が入力されたことが光源装置10から通知されたときに、自動的に撮像を開始してもよい。撮像装置40は、撮像を開始すると、内蔵する同期信号発生器で発生される同期信号に同期して、試料30の画像を生成すると共に、同期信号を光源装置10へ送信する。
ここで、長尺状リニアバリアブルフィルタ25は、パルスモータ15の回転によって、長手方向に沿ってスライド(直線上を往復移動)するものである。パルスモータ15の回転開始直後の期間では回転速度が上昇しており、パルスモータ15の回転停止直前の期間では回転速度が下降している。このため、パルスモータ15の回転開始直後及び回転停止直前の各期間は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動速度は一定ではない。
なお、パルスモータ15の定常回転期間(回転開始直後及び回転停止直前を除く期間)は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動速度は一定である。
図12は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動速度を示す図である。同図に示すように、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動開始直後の期間では、移動速度は徐々に上昇する。その後、移動速度は、最高値に達すると、その状態を維持する。長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動終了直前の期間になると、移動速度は徐々に下降して、最後にゼロになる。
したがって、パルスモータ15の回転状況によっては、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動速度が一定ではないので、光源装置10から出力される光の波長変化の速度が一定にならない問題が生じる。
そこで、第2の実施形態では、撮像装置40は、電子シャッター時間(露光時間)を一定に維持しつつ、光源装置10のパルスモータ15の回転状況に応じて、1フレーム時間を制御する。
図13は、トリガー信号、画像信号、コマ数検出フラグ、LVF基準位置のタイミングチャートである。トリガー信号は、撮像装置40により生成される画像の1フレーム時間を制御するために、光源装置10が撮像装置40に対して送信する信号である。
撮像装置40は、光源装置10から送信されたトリガー信号に同期して、画像の1フレーム時間を制御する。具体的には、撮像装置40は、トリガー信号の信号間隔に対応するように、各画像の1フレーム時間を設定する。ここで、光源装置10のコントローラ22によって生成されるトリガー信号は、次の通りである。
パルスモータ15の回転開始直後の期間では、トリガー信号は、最も周波数が低く(信号間隔が最も長く)、徐々に周波数が高くなり、所定周波数に達する。このとき、画像の1フレーム時間は、最初は最も長く、徐々に短くなる。
パルスモータ15の定常回転期間では、トリガー信号は、周波数が一定(所定値周波数)になる。このとき、画像の1フレーム時間は、所定値を維持する。
パルスモータ15の回転停止直前の期間では、トリガー信号は、徐々に周波数が低くなり、最も周波数が低くなると、パルスモータ15の回転が停止する。このとき、画像の1フレーム時間は、徐々に長くなり、最後に最も長くなる。
このように、撮像装置40に生成される画像の1フレーム時間は、トリガー信号に同期して制御される。そして、撮像装置40は、光源装置10から出力される照射光の波長の変化に対応して、1フレーム時間を調整しながら試料30の画像を生成することができる。
以上のように、光源装置10から出力される照射光の波長変化の速度が一定でない場合であっても、撮像装置40は、光源装置10からのトリガー信号に同期して1フレーム時間を調整しながら画像を生成する。これにより、画像(フレーム番号)と照射光の波長とを対応させながら、照射光の波長を連続的に変化して、画像を高速で生成することができる。
本実施形態では、照射光の波長変化の速度が一定ではないため、撮像装置40の画像の1フレーム時間が制御される。しかし、照射光の波長変化の速度が一定になる期間に、撮像装置40が試料30を撮像すれば、1フレーム時間の制御が不要になる。つまり、光源装置10の長尺状リニアバリアブルフィルタ25が一定速度で移動している期間に、撮像装置40が試料30を撮像すれば、1フレーム時間の制御が不要になる。
図14は、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動速度を示す図である。なお、このケースでは、長尺状リニアバリアブルフィルタ25は、長手方向の長さが上述した実施形態より長くなるように構成されている。
パルスモータ15の定常期間(時刻t1から時刻t30の期間)では、長尺状リニアバリアブルフィルタ25の移動速度は一定であるので、光源装置10から出力される照射光の波長変化の速度は一定になる。そこで、撮像装置40は、パルスモータ15の定常期間に、試料30を撮像すればよい。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内で設計変更されたものにも適用可能である。
例えば、図2に示す発光素子17は550nmの光を発光し、図9に示す発光素子27は1950nmの光を発光するものであるが、それぞれ他の波長の光を発光するものでもよい。
また、操作部19に入力されるコマ数は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その他の値であってもよいのは勿論である。さらに、操作部19は、上述した実施形態に示すように光源装置10に設けられたものでもよいし、撮像装置40に設けられたものでもよい。
なお、光源装置10から出力される照射光の強度は、波長によって異なる傾向(光源ムラ)がある。そこで、撮像装置40は、常に同一の信号レベルの画像が得られるように、1フレーム毎に、電子シャッターまたはゲインを切り替えてもよい。
1 撮像システム
10 光源装置
11 ハロゲン光源
14 円板状リニアバリアブルフィルタ
15 パルスモータ
17,27 発光素子
18 受光素子
19 操作部
21 コマ数検出部
22 コントローラ
25 長尺状リニアバリアブルフィルタ
30 被写体
40 撮像装置


Claims (5)

  1. 円板状に成形され、中心軸周りに回転可能なリニアバリアブルフィルタと、
    発光して、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を試料に照射する光源と、
    前記リニアバリアブルフィルタを前記中心軸周りに回転させることで、前記リニアバリアブルフィルタを透過して前記試料に照射される光の波長を連続的に変化させる回転手段と、
    前記リニアバリアブルフィルタに対して、位置検出用の所定波長の光を発光する位置検出用発光手段と、
    前記位置検出用発光手段から発光され、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を受光して、受光量に応じた信号を発生する受光手段と、
    撮像装置からの同期信号に基づいて撮像装置で撮像される画像のコマ数をカウントし、カウントされたコマ数が所定値になる毎に、コマ数検出フラグを発生するコマ数検出フラグ発生手段と、
    前記受光手段から出力された信号がピークになるタイミングを検出し、前記信号がピークになるタイミングと前記コマ数検出フラグが発生するタイミングとが同期するように、前記回転手段の回転速度を制御する制御手段と、
    を備えた発光装置。
  2. ユーザの操作によって前記所定値が入力される操作手段を更に備え、
    前記コマ数検出フラグ発生手段は、前記カウントされたコマ数が前記操作手段に入力された前記所定値になる毎に、前記コマ数検出フラグを発生する
    請求項1に記載の発光装置。
  3. 長尺状に成形され、長手方向に沿った直線上を往復移動できるように設けられ、前記長手方向に沿ってバンドパスの中心波長が変化するリニアバリアブルフィルタと、
    発光して、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を試料に照射する光源と、
    前記リニアバリアブルフィルタを長手方向に沿った直線上を往復移動させることで、前記リニアバリアブルフィルタを透過して前記試料に照射される光の波長を連続的にさせる移動手段と、
    前記リニアバリアブルフィルタに対して、位置検出用の所定波長の光を発光する位置検出用発光手段と、
    前記位置検出用発光手段から発光され、前記リニアバリアブルフィルタを透過した光を受光して、受光量に応じた信号を発生する受光手段と、
    前記リニアバリアブルフィルタが前記直線上を移動しながら、前記受光手段から出力された信号がピークになる位置を検出し、検出した位置を基準位置にして前記リニアバリアブルフィルタの前記直線上の位置を制御する制御手段と、
    前記リニアバリアブルフィルタの移動開始直後及び移動終了直前に、前記試料を撮像するための撮像装置により生成される画像について1フレーム時間を既定値よりも長くなるように設定するための信号を生成し、生成した信号を前記撮像装置に送信する信号生成手段と、
    を備えた発光装置。
  4. 前記信号生成手段は、前記リニアバリアブルフィルタの移動開始直後の期間では、1フレーム時間が前記既定値に達するまで徐々に短くなるように設定し、前記リニアバリアブルフィルタの移動終了直前の期間では、1フレーム時間が前記既定値から徐々に長くなるように設定するための前記信号を生成する
    請求項3に記載の発光装置。
  5. 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の発光装置と、
    前記発光装置により光が照射された試料を撮像する撮像装置と、
    を備えた撮像システム。

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109490037A (zh) * 2018-11-30 2019-03-19 李洋洋 一种连续性好的高效矿产淋滤装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7238041B2 (ja) 2021-07-29 2023-03-13 キヤノン株式会社 計測装置、計測方法、基板処理装置、および物品の製造方法
JP7410625B2 (ja) 2021-09-28 2024-01-10 キヤノン株式会社 照明装置、計測装置、基板処理装置、および物品の製造方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61284644A (ja) * 1985-06-10 1986-12-15 マイルズ ラボラトリ−ス インコ−ポレ−テッド 複数波長光同時測定用光度計
JP2004004055A (ja) * 2002-05-02 2004-01-08 Mitsutoyo Corp 好適照明設定の判定方法、この判定方法を用いた検査方法、及び画像処理装置
US20040246493A1 (en) * 2001-09-01 2004-12-09 Kim Yeong Ryeol Apparatus for measuring thickness profile and refractive index distribution of multiple layers of thin films by means of two-dimensional refrectometry and method of measuring the same
JP2005030890A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Toshiba Corp ファイバブラッググレーティング物理量計測方法および装置
JP2008166223A (ja) * 2007-01-04 2008-07-17 Nikon Corp 照明装置、カメラおよびカメラシステム
JP2009031301A (ja) * 2001-09-21 2009-02-12 Kmac 2次元型検出器を用いた薄膜特性測定装置及びその測定方法
JP2012521560A (ja) * 2009-03-23 2012-09-13 エスエヌユー プレシジョン カンパニー,リミテッド 反射度分布曲線のモデリング方法及びこれを利用した厚さ測定方法、ならびに厚さ測定反射計
JP2016057348A (ja) * 2014-09-05 2016-04-21 住友電気工業株式会社 顕微鏡装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61284644A (ja) * 1985-06-10 1986-12-15 マイルズ ラボラトリ−ス インコ−ポレ−テッド 複数波長光同時測定用光度計
US20040246493A1 (en) * 2001-09-01 2004-12-09 Kim Yeong Ryeol Apparatus for measuring thickness profile and refractive index distribution of multiple layers of thin films by means of two-dimensional refrectometry and method of measuring the same
JP2009031301A (ja) * 2001-09-21 2009-02-12 Kmac 2次元型検出器を用いた薄膜特性測定装置及びその測定方法
JP2004004055A (ja) * 2002-05-02 2004-01-08 Mitsutoyo Corp 好適照明設定の判定方法、この判定方法を用いた検査方法、及び画像処理装置
JP2005030890A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Toshiba Corp ファイバブラッググレーティング物理量計測方法および装置
JP2008166223A (ja) * 2007-01-04 2008-07-17 Nikon Corp 照明装置、カメラおよびカメラシステム
JP2012521560A (ja) * 2009-03-23 2012-09-13 エスエヌユー プレシジョン カンパニー,リミテッド 反射度分布曲線のモデリング方法及びこれを利用した厚さ測定方法、ならびに厚さ測定反射計
JP2016057348A (ja) * 2014-09-05 2016-04-21 住友電気工業株式会社 顕微鏡装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109490037A (zh) * 2018-11-30 2019-03-19 李洋洋 一种连续性好的高效矿产淋滤装置

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