JP2018063554A - 搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
1−1.搬送システムの機械的構成
搬送システムの第一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1及び図2に示すように、搬送システム1は、複数の搬送車2を備えている。例えば、搬送車2は、物品Wを搬送対象場所98に搬送する。本実施形態では、物品Wは、半導体基板が収納される容器である。また、搬送対象場所98は、半導体基板の処理を行う処理装置98aと、搬送車2との間で物品Wの受け渡しを行う授受部98bと、を備えている。本例では、このような搬送対象場所98が複数設けられている。例えば、搬送車2は、複数の搬送対象場所98のそれぞれとの間で物品Wを搬送することがある。より具体的には、複数の搬送対象場所98のうちの1つから物品Wを受け取り、当該物品Wを他の搬送対象場所98に搬送することがある。
以下、搬送システム1の制御構成について、図3を参照して説明する。
搬送システム1は、制御装置Hを備えている。制御装置Hは、搬送システム1全体の制御を行う統括制御装置Htと、搬送車2の制御を行う個別制御装置Hmと、含んで構成されている。個別制御装置Hmは、複数の搬送車2のそれぞれに備えられると共に当該複数の搬送車2のそれぞれの制御を行う。統括制御装置Htは、これら複数の個別制御装置Hmを含む搬送システム1の全体の制御を行う。例えば、制御装置Hは、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、制御装置Hの各機能が実現される。
次に、搬送システム1の制御について、図4を参照して説明する。図4は、後続搬送車2Rの制御の手順を示すフローチャートである。なお、図4中の「=」は、代入演算子であり、左辺に対して右辺の値を代入することを意味する。「==」は、比較演算子であり、左辺と右辺とが等価であることを意味する。
フェーズA1では、先行搬送車2F及び後続搬送車2Rが実距離D1(D)で停止している状態を示している。実距離D1は、第一設定距離TH1よりも長く、第二設定距離TH2よりも短い状態である。次に、先行搬送車2Fは統括制御装置Htから指令を受けて発進すると共に、後続搬送車2Rに発進信号SIを送信する。発進信号SIを受信した後続搬送車2Rは、発進すると共に低速(Slow)で走行する(フェーズA2)。その後、後続搬送車2Rは、先行搬送車2Fとの実距離D2(D)が第二設定距離TH2以上になると、通常速度(Normal)で走行する(フェーズA3)。先行搬送車2Fが、例えば、渋滞や物品Wの移載、又は機器の故障等により停止して、先行搬送車2Fと後続搬送車2Rとの実距離D3(D)が第二設定距離TH2未満となった場合には、後続搬送車2Rは低速(Slow)で走行する(フェーズA4)。そして、後続搬送車2Rは、先行搬送車2Fとの実距離Dが第一設定距離TH1以下となった場合に停止する。例えば、後続搬送車2Rは、先行搬送車2Fとの実距離Dが第一設定距離TH1のときに停止を開始することで、その後の慣性により少し走行し、結果的に後続搬送車2Rが停止した状態での先行搬送車2Fとの実距離D4(D)は、第一設定距離TH1よりも短くなる(フェーズA5)。
次に、搬送システム1の第二実施形態について図6を参照して説明する。第二実施形態では、搬送システム1の制御が第一実施形態と異なる。以下、第一実施形態と異なる点を中心に、第二実施形態について説明する。特に説明しない点については、第一実施形態と同様である。
図6に示すように、後続搬送車2Rの個別制御装置Hmは、後続搬送車2Rが停止状態であるか否かを判定する(#200)。後続搬送車2Rが停止状態であると判定した場合は(#200:Yes)、信号受信部27xによる発進信号SIの受信があったか否かを判定する(#201)。ここで、第二実施形態では、複数の搬送車2のそれぞれは、先行搬送車2Fとの実距離Dが第一設定距離TH1未満であって、信号受信部27xが発進信号SIを受信して設定時間Ts経過後に発進する。より具体的には、図5に示すように、後続搬送車2Rの個別制御装置Hmが、信号受信部27xによる発進信号SIの受信があったと判定した場合は(#201:Yes)、タイマーが設定時間Tsを経過したか否かが判定される(#202)。そして、タイマーが設定時間Tsを経過したと判定した場合は(#202:Yes)、後続搬送車2Rの目標速度Vtを通常速度(Normal)に設定する(#203)。ここで、設定時間Tsは、任意に設定される時間である。第二実施形態では、設定時間Tsは、先行搬送車2Fが発進して、先行搬送車2Fと後続搬送車2Rとの実距離Dが第一設定距離TH1よりも長くなるタイミングに設定される。設定時間Tsは、先行搬送車2Fの走行速度等の種々の状況に応じて実験的に設定されても良い。例えば、先行搬送車2Fが比較的低速で走行する場合には、設定時間Tsは比較的長い時間に設定される。先行搬送車2Fが比較的高速で走行する場合には、設定時間Tsは比較的短い時間に設定される。
次に、搬送システムのその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した搬送システムの概要について説明する。
2 :搬送車
2F :先行搬送車
2R :後続搬送車
22s :距離検出部
27x :信号受信部
27y :信号送信部
D :実距離
SI :発進信号
TH1 :第一設定距離
Ts :設定時間
Claims (5)
- 複数の搬送車を備えた搬送システムであって、
前記複数の搬送車のそれぞれは、前方を走行する他の搬送車である先行搬送車との距離を検出する距離検出部と、後方を走行する他の搬送車である後続搬送車に向けて発進信号を送信可能な信号送信部と、前記先行搬送車から送信される前記発進信号を受信可能な信号受信部と、を有し、
前記複数の搬送車のそれぞれは、走行開始時に、前記信号送信部により前記発進信号を送信し、
前記複数の搬送車のそれぞれは、前記信号受信部により前記先行搬送車から前記発進信号を受信した場合に発進し、前記距離検出部により検出される前記先行搬送車との距離が設定距離以下になった場合に停止する搬送システム。 - 前記複数の搬送車のそれぞれは、走行中に、前記距離検出部により検出される前記先行搬送車との距離が、前記設定距離よりも長くなるように走行速度を調整する請求項1に記載の搬送システム。
- 前記複数の搬送車のそれぞれは、前記先行搬送車との距離が前記設定距離未満で発進した場合には、前記距離検出部により検出される前記先行搬送車との距離が前記設定距離以下であっても停止せず、前記先行搬送車との距離が前記設定距離よりも長くなるまで前記先行搬送車の走行速度よりも低速で走行する請求項1又は2に記載の搬送システム。
- 前記複数の搬送車のそれぞれは、前記信号受信部が前記発進信号を受信し、かつ、前記距離検出部により検出される前記先行搬送車との距離が前記設定距離よりも長い場合に発進する請求項1又は2に記載の搬送システム。
- 前記複数の搬送車のそれぞれは、前記先行搬送車との距離が前記設定距離未満であって、前記信号受信部が前記発進信号を受信して設定時間経過後に発進する請求項1又は2に記載の搬送システム。
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