JP2017534075A - 光学素子、特にミラーを傾斜させるための機器 - Google Patents
光学素子、特にミラーを傾斜させるための機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017534075A JP2017534075A JP2017518504A JP2017518504A JP2017534075A JP 2017534075 A JP2017534075 A JP 2017534075A JP 2017518504 A JP2017518504 A JP 2017518504A JP 2017518504 A JP2017518504 A JP 2017518504A JP 2017534075 A JP2017534075 A JP 2017534075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- coil
- optical element
- specifically
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/113—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
【選択図】図11
Description
− 光学素子であって、少なくとも第1の軸の周りに傾斜させることができるように移動可能に取り付けられる、光学素子と、
− 延長方向に延びる(例えば、永久)磁石であって、前記延長方向に整列した磁化(即ち、磁化が延長方向に平行に伸びる)を備え、さらに前面を備える磁石と、
− 延長方向において磁石の前面と向き合う、第1の方向に沿って延びる第1の導体部分と、
を備え、
− ここで、光学素子は磁石又は第1の導体部分に堅く結合され、
− 第1の導体部分に電気的に接続された電流源手段であって、前記第1の導体部分に電流を印加して、磁石と第1の導体部分との間に、光学素子を前記第1の軸の周りに、第1の傾斜方向に又はそれと逆方向に傾斜させる(電流の方向に依存する)ローレンツ力が生成されるように設計される電流源手段をさらに備える。
− 光学素子であって、少なくとも第1の軸の周りに傾斜させることできるように移動可能に取り付けられる、光学素子と、
− 延長方向に延びる第1の(例えば、永久)磁石(さらに以下で説明する他の磁石も永久磁石とすることができる)であって、前記延長方向に整列する磁化(即ち、磁化が延長方向に平行に伸びる)又は延長方向に垂直に伸びる磁化を備え、さらに前面を備える第1の磁石と、
− 延長方向において又は延長方向に垂直に第1の磁石の前面と向き合い、第1の巻軸の周りに巻かれた導体を備えた第1のコイル手段であって、具体的には、前記第1の巻軸は、第1の磁石が特定の(例えば、傾斜しない)位置に配置されるとき第1の磁石の延長方向に平行に伸びる、第1のコイル手段と、
を備え、
− 光学素子は第1の磁石又は前記第1のコイル手段に堅く結合され、
− 第1のコイル手段に電気的に接続された電流源手段であって、前記第1のコイル手段に電流を印加して、第1の磁石と第1のコイル手段との間に、光学素子を前記第1の軸の周りに、第1の傾斜方向に又はその反対方向に傾斜させる(第1のコイル手段の中の電流の方向に依存する)電磁力が生成されるように設計される電流源手段をさらに備える、
機器が開示される。
− 磁場(又は磁束)リターン構造体であって、磁石(単数又は複数)(即ち、前記磁石又は第1、第2、第3、及び第4の磁石)によって生成される磁束(例えば、コイルの中を通る)を改善するため、及び、復元力を生成するために、コイル手段又は導体部分(単数又は複数)の下に配置することができる、磁場(又は磁束)リターン構造体。具体的には、磁場リターン構造体は、具体的にはコイル・キャリアに、具体的には磁石(単数又は複数)から離れる方向を向く側面に接続される板の形態を備えることができる。具体的には、前記リターン構造体は磁気的に軟らかい材料及び/又は強磁性材料(例えば、鉄又は鋼)から構成することができる。具体的には、磁場リターン構造体は、磁石(単数又は複数)の磁化又は延長方向に垂直な延長平面/コイル・キャリアに沿って延びる。具体的には、リターン構造体は、それに沿って磁場が、それぞれの磁石の延長方向に平行に伸びる距離を長くし、それゆえに例えば大きなローレンツ力を導体部分のうえに生じるように設計される。さらに、磁場リターン構造体と磁石(単数又は複数)との間に、磁石(単数又は複数)を初めの位置に戻す引力が存在する。
− 代替的に、前記復元力手段は磁石、又は
− バネ手段(例えば、上記のような)を備えることができる。
− 好ましくは請求項1〜28のいずれか1項に記載の又は本明細書で説明する本発明による機器の形態の、この機器の前記光学素子がミラーである、可動2Dミラーと、
− コリメート光ビームを生成するためのレーザであることが好ましい光源と、
− 焦点制御機器と、
− 走査型ミラー機器であることが好ましい画像プロジェクタと、
− 投影スクリーンと、
− 装置のユーザの眼の瞳の投影スクリーンに対する位置を検出するように構成された視標追跡機器と、
を備え、
光源は、焦点制御機器を通るように誘導される光ビームを生成するように構成され、この焦点制御機器は前記光ビームを焦点合わせ及び焦点ぼかしするように構成され、ここで、画像プロジェクタは前記光ビームを用いて画像を生成するように構成され、可動2Dミラーは、前記画像を投影スクリーンの上に、少なくとも検出された瞳の位置に応じて反射するように構成される、
装置に関する。
Claims (29)
- 光学素子を傾斜させるための機器であって、
− 光学素子(10)であって、少なくとも第1の軸(A)の周りに傾斜させることができるように移動可能に取り付けられた光学素子(10)と、
− 延長方向(Z)に延びる磁石(20)であって、前記延長方向(Z)に整列する磁化(M)を備え、前面(20a)を備え、前記光学素子(10)が前記延長方向(Z)において向き合う磁石(20)と、
− 前記延長方向(Z)において前記磁石(20)の前記前面(20a)と向き合う第1の導体(30)部分であって、第1の方向(C)に沿って延びる第1の導体部分(30)と、
を備え、
− 前記光学素子(10)は、前記磁石(20)又は前記第1の導体部分(30)に堅く結合され、
− 前記導体部分(30)に電気的に接続される電流源手段(50)であって、前記第1の導体部分(30)に電流(I)を印加するように設計され、その結果、前記光学素子(10)を前記第1の軸(A)の周りに、第1の傾斜方向(X)に沿って傾斜させるローレンツ力(F)が生成される、電流源手段(50)をさらに備える、
機器。 - 前記機器(1)は、前記延長方向(Z)において前記磁石(20)の前記前面(20a)と向き合う第2の導体部分(40)を備え、前記第2の導体部分(40)は、前記第1の方向(C)とは異なる第2の方向(C’)に沿って延び、前記光学素子(10)は、前記第1の軸(A)とは異なる第2の軸(A’)の周りにさらに傾斜させることができるように移動可能に取り付けられ、前記電流源手段(50)は前記第2の導体部分(40)に電気的に接続され、前記電流源手段(50)は電流(I)を前記第2の導体部分(40)に印加するように設計され、その結果、前記光学素子(10)を前記第2の軸(A’)の周りに第2の傾斜方向(Y)に沿って傾斜させるローレンツ力(F)が生成されることを特徴とする、請求項1に記載の機器。
- 前記第1及び第2の導体部分(30、40)は互いに交差することを特徴とする、請求項1及び2のいずれか1項に記載の機器。
- 前記第1及び第2の導体部分(30、40)は、延長平面(P)に沿って延びることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の機器。
- 前記機器(1)は、前記延長平面(P)に沿って延びる第1のコイル手段(60)を備え、前記第1の導体部分(30)が前記第1のコイル手段(60)の導体の一部分を形成し、前記第1のコイル手段(60)の前記導体は少なくとも第1の巻軸(W)の周りに巻かれ、具体的には前記磁石(20)の特定の位置において、前記第1の巻軸(W)が前記延長方向(Z)又は前記磁石(20)の磁化(M)に概ね平行に伸び、及び/又は、前記機器(1)は、前記延長平面(P)に沿って延びる第2のコイル手段(70)を備え、前記第2の導体部分(40)が前記第2のコイル手段(70)の導体の一部分を形成し、前記第2のコイル手段(70)の前記導体は少なくとも第2の巻軸(W’)の周りに巻かれ、具体的には前記磁石(20)の前記特定の位置において、前記第2の巻軸(W’)が前記延長方向(Z)又は前記磁石(20)の磁化(M)に概ね平行に伸びることを特徴とする、請求項4に記載の機器。
- 前記第1及び/又は第2のコイル手段(60、70)の各々は、前記延長平面(P)に沿って延びる少なくとも1つの層(600、700)又は幾つかの層(600、700)を備え、具体的には、前記第1のコイル手段(60)の前記少なくとも1つの層(600)が、前記第2のコイル手段(70)の前記少なくとも1つの層(700)の上に、前記延長平面(P)に垂直に配置され、又は、具体的には、前記第1及び第2のコイル手段(60、70)の前記層(600、700)が互いの上に交互に、前記延長平面(P)に垂直に配置されることを特徴とする、請求項5に記載の機器。
- 前記第1のコイル手段(60)は第1及び第2のループ(61、62)を備え、前記第1の導体部分(30)の少なくとも一部分が前記第1のループ(61)の一部分を形成し、前記機器はさらに別の第1の導体部分(31)を備え、前記さらに別の第1の導体部分(31)の少なくとも一部分が前記第2のループ(62)の一部分を形成し、前記第1の導体部分(30)及び前記さらに別の第1の導体部分(31)は前記第1の方向(C)に沿って延び、具体的には、前記電流源手段(50)が電流(I)を前記第1のコイル手段(60)の前記第1及び第2のループ(61、62)に、前記電流(I)が前記2つの第1の導体部分(30、31)の中を同じ方向に、具体的には前記第1の方向(C)に又はその反対方向に流れるように、印加するように設計されることを特徴とする、請求項5〜6のいずれか1項に記載の機器。
- 前記第2のコイル手段(70)は第1及び第2のループ(71、72)を備え、前記第2の導体部分(40)の少なくとも一部分が前記第1のループ(71)の一部分を形成し、前記機器(1)はさらに別の第2の導体部分(41)を備え、前記さらに別の第2の導体部分(41)の少なくとも一部分が前記第2のループ(72)の一部分を形成し、前記第2の導体部分(40)及び前記さらに別の第2の導体部分(41)は、互いに沿って前記第2の方向(C’)に延び、具体的には、前記電流源手段(50)が電流(I)を前記第2のコイル手段(70)の前記第1及び第2のループ(71、72)に、前記電流(I)が前記2つの第2の導体部分(40、41)の中を同じ方向に、具体的には前記第2の方向(C’)に又はその反対方向に流れるように、印加するように設計されることを特徴とする、請求項5〜7のいずれか1項に記載の機器。
- 前記機器はさらに別の第1の導体部分(31)を備え、前記第1の導体部分(30)及び前記さらに別の第1の導体部分(31)は前記第1の方向(C)に沿って延び、前記機器(1)はさらに別の第2の導体部分(41)を備え、前記第2の導体部分(40)及び前記さらに別の第2の導体部分(41)は、互いに沿って前記第2の方向(C’)に延び、各々の前記導体部分(30、31、40、41)は、別々のコイル(401、402、403、404)によって形成され、具体的には、前記電流源手段(50)が電流(I)を前記コイル(401、402、403、404)に、前記電流(I)が前記2つの第1の導体部分(30、31)の中を同じ方向に、具体的には前記第1の方向(C)に又はその反対方向に流れ、さらに前記電流(I)が前記2つの第2の導体部分(40、41)の中を同じ方向に、具体的には前記第2の方向(C’)に又はその反対方向に流れるように、印加するように設計されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の機器。
- 前記第1及び第2の導体部分(30、40)の各々は、別々のコイル(405、406)によって形成され、前記別々のコイル(405、406)の各々は、磁束誘導板(407)の周りに巻かれ、好ましくは前記板(407)が磁場誘導構造体(431)の底部の少なくとも一部分を形成することを特徴とする、請求項2又は3に記載の機器。
- 光学素子を傾斜させるための機器であって、
− 光学素子(10)であって、少なくとも第1の軸(A)の周りに傾斜させることができるように移動可能に取り付けられた光学素子(10)と、
− 延長方向(Z)に延びる第1磁石(21)であって、前記延長方向(Z)に整列する磁化(M)又は前記延長方向(Z)に垂直に伸びる磁化(M)を備え、前面(21a)を備え、前記光学素子(10)が前記延長方向(Z)において向き合う、第1の磁石(21)と、
− 前記延長方向(Z)において又は前記延長方向(Z)に垂直に、前記第1の磁石(21)の前面(21a)と向き合う第1のコイル手段(60)であって、第1の巻軸(W)の周りに巻かれる導体を備え、具体的には前記第1の巻軸(W)は、前記第1の磁石(21)が特定の位置に配置されるとき、前記第1の磁石(21)の前記延長方向(Z)に平行に伸びる、第1のコイル手段(60)と、
を備え、
− 前記光学素子(10)は、前記第1の磁石(21)又は前記第1のコイル手段(60)に堅く結合され、
− 前記第1のコイル手段(60)に電気的に接続された電流源手段(50)であって、前記第1のコイル手段(60)に電流を印加するように設計され、その結果、前記第1の磁石(21)と前記第1のコイル手段(60)との間に、前記光学素子(10)を前記第1の軸(A)の周りに、第1の傾斜方向(X)に沿って傾斜させる電磁力が生成される、電流源手段(50)をさらに備える、
機器。 - 前記機器(2)は、第2の磁石(22)の延長方向(Z)に延びる前記第2の磁石(22)を備え、前記第2の磁石(22)は、前記第2の磁石(22)の前記延長方向(Z)に整列する磁化(M)を備え、又は、前記第2の磁石(22)は、前記第2の磁石(22)の前記延長方向(Z)に垂直に伸びる磁化(M)を備え、前記光学素子(10)は、前記光学素子(10)を前記第1の軸(A)とは異なる第2の軸(A’)の周りにさらに傾斜させることができるように移動可能に取り付けられ、前記機器(2)は、前記第2の磁石(22)の前記延長方向(Z)において、又は前記第2の磁石(22)の前記延長方向(Z)に垂直に、前記第2の磁石(22)と向き合う第2のコイル手段(70)を備え、前記第2のコイル手段(70)は、第2の巻軸(W’)の周りに巻かれる導体を備え、具体的には、前記第2の巻軸(W’)は、前記第2の磁石(22(20))が特定の位置に配置されるとき、前記第2の磁石(22(20))の前記延長方向(Z)に平行に伸び、前記光学素子(10)は前記第2の磁石(22)又は前記第2のコイル手段(70)に堅く結合され、前記電流源手段(50)はさらに、前記第2のコイル手段(70)に電気的に結合され、電流(I)を前記第2のコイル手段(70)に印加するように設計され、その結果、前記第2の磁石(22)と前記第2のコイル手段(70)との間に電磁力が生成され、その結果、前記光学素子(10)が前記第2の軸(A’)の周りに、第2の傾斜方向(Y)に沿って傾斜させられることを特徴とする、請求項11に記載の機器。
- 前記機器(1、2)は、前記第1及び/又は第2のコイル手段(60、70)を支えるため、或いは前記別々のコイル(400、401、402、403)を支えるためのコイル・キャリア(80)を備え、前記第1及び/又は第2のコイル手段(60、70)或いは前記別々のコイルは前記コイル・キャリア(80)の上に配置されるか又は前記コイル・キャリア(80)に組み込まれ、具体的には前記コイル・キャリア(80)はプリント回路基板であることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか1項に記載の機器。
- 前記第1及び/又は第2のコイル手段(60、70)或いは前記別々のコイル(400、401、402、403)は、それぞれ平面コイルとして形成されることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか1項に記載の機器。
- 前記機器(1、2)は、前記磁石(20)又は前記磁石(21、22、23、24)の位置を計測するためのセンサ手段(90)、具体的には、少なくとも1つの磁場センサ、具体的にはホール・センサ(90a、90b)を備えることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか1項に記載の機器。
- 前記機器(1)は、光源(100)、具体的にはLED、及び光ダイオード(101)を備え、前記光源(100)は光を放射し、その結果、前記光源(100)によって放射された前記光が、前記磁石(20)により、又は前記磁石(20)に取り付けられた反射手段によって前記光ダイオード(101)に向かって反射され、その結果、前記光ダイオードに当たる前記反射光のために前記光ダイオードによって生成される信号が、前記磁石(20)の前記位置に依存することを特徴とする、請求項1〜15のいずれか1項に記載の機器。
- 光ダイオード(101)はクアドラチャ・ダイオードであり、前記光源(100)は前記クアドラチャ光ダイオード(101)の中心に、具体的には前記光ダイオード(101)の窪みの中に配置されることを特徴とする、請求項1〜16のいずれか1項に記載の機器。
- 前記磁石(20)又は前記反射手段は、前記信号が、前記磁石(20)の前記延長方向(Z)の周りの前記磁石(20)の回転角並びに前記光学素子(10)の傾斜を示すシェーディング(20b)を備えることを特徴とする、請求項16又は17に記載の機器。
- 前記機器(1)は、前記磁石(20)の前記位置に依存する信号を生成するように構成された容量センサ手段(410、411、412、413)を備えることを特徴とする、請求項1〜18のいずれか1項に記載の機器。
- 前記光学素子(10)を支持するために、前記機器(1、2)は、前記機器(1、2)の窪み(13)、具体的には前記機器(2)のケージ部材(15)の窪み(13)中に配置されたベアリング・ボール(12)を備え、前記ケージ部材(15)は具体的には前記コイル・キャリア(80)に接続されることを特徴とする、請求項1〜19のいずれか1項に記載の機器。
- 前記機器は、前記磁石(20)を全ての方向に傾斜させることができるように、前記磁石(20)を支持するためのボール・ベアリング(420)を備え、前記ボール・ベアリング(420)は、前記光学素子(10)を支持する第1の支持部材(422)と、前記第1の支持部材(422)及び/又は前記磁石(20)を囲む第2の支持部材(423)との間に形成される円周方向隙間(421)の中に配置され、前記第2の支持部材(423)は好ましくは前記コイル・キャリア(80)に接続されることを特徴とする、請求項1〜20のいずれか1項に記載の機器。
- 前記磁石(20)のスナップ・インを防ぐため及び/又は前記磁石(20)の回転を防ぐために、前記機器(1)は、前記光学素子(10)に接続された内側磁束誘導構造体(430)及び前記コイル・キャリア(80)に接続された外側磁束誘導構造体(431)を備え、前記外側磁束誘導構造体は前記内側磁束誘導構造体(430)を囲むことを特徴とする、請求項1〜21のいずれか1項に記載の機器。
- 前記内側磁束誘導構造体(430)は複数の第1の突起(432)を備え、各々の前記第1の突起(432)は、前記外側磁束誘導構造体(431)に向かって放射状に外向きに突き出し、前記外側磁束誘導構造体(431)は対応する数の第2の突起(433)を備え、各々の前記第2の突起(433)は前記内側磁束誘導構造体(430)に向かって放射状に内向きに突き出し、その結果、各々の前記第1の突起(432)が関連付けられる第2の突起(433)に整列してそれと隙間(434)を形成することを特徴とする、請求項22に記載の機器。
- 前記光学素子(10)は、具体的には前記コイル・キャリア(80)の上に、バネ手段(110)によって支持されることを特徴とする、請求項1〜23のいずれか1項に記載の機器。
- 前記バネ手段(110)は、前記磁石(21、22、23、24)に接続された中央部分(111)を備え、前記中央部分(111)は、前記中央部分(111)を囲む円周方向第1の部分(112)に、前記中央部分(111)を前記第1の軸(A)の周りに前記第1の部分(112)に対して傾斜させることができるように、一体的に結合され、前記第1の部分(112)は、前記第1の部分(112)を囲む円周方向第2の部分(113)に、前記第1の部分(112)を前記中央部分(111)と一緒に、前記第2の部分(113)に対して、具体的には前記第1の軸(A)に垂直に伸びる前記第2の軸(A’)の周りに傾斜させることができるように、一体的に結合され、前記第2の部分(113)は具体的には前記コイル・キャリア(80)に接続されることを特徴とする、請求項24に記載の機器。
- 前記バネ手段(110)は、少なくとも1つのアーム(114)であって、前記光学素子(10)に、具体的には前記磁石(20)又は前記第1及び/若しくは第2の磁石(21、22、23、24)にそれを介して固定される第1の固定点(115)から、前記コイル・キャリア(80)にそれを介して固定される第2の固定点(116)まで延びる、少なくとも1つのアーム(114)を備えることを特徴とする、請求項24に記載の機器。
- 前記バネ手段(110)は、前記バネ手段(110)の中心(124)から外向きに延びる4つのアーム(120、121、122、123)を有する十字形バネ部材として形成され、第1のアーム(120)は第2のアーム(121)と整列し、前記第1及び第2のアーム(120、121)は前記第1の軸(A)に沿って延び、第3のアーム(122)は第4アーム(123)と整列し、前記第3及び第4のアーム(122、123)は前記第2の軸(A’)に沿って延び、各々の前記アーム(120、121、122、123)は末端領域(125)を備え、前記機器(1、2)は、前記光学素子(10)が接続され、さらに前記磁石(20)、或いは前記第1及び/又は第2の磁石(21、22)、或いは前記第1及び/又は第2のコイル手段(60、70)が接続される第1のキャリア部材(130)と、前記第1及び/又は第2のコイル手段(60、70)、或いは前記磁石(20)、或いは前記第1及び/又は第2の磁石(21、22)が接続される第2のキャリア部材(131)とを備え、前記第1及び第2のアーム(120,121)の前記末端領域(125)は前記第1のキャリア部材(130)に固定され、前記第3及び第4のアーム(122、123)の前記末端領域(125)は前記第2のキャリア部材(131)に固定され、その結果前記第1のキャリア部材(130)を第1及び/又は第2の軸(A、A’)の周りに前記第2キャリア部材(131)に対して傾斜させることができることを特徴とする、請求項24に記載の機器。
- 前記機器(1、2)は、前記光学素子(10)を初めの位置、具体的には前記特定の位置に戻すための復元力をもたらすように設計された復元力手段(91)を備え、具体的には前記復元力手段は、
− 具体的には板の形態の磁場リターン構造体(91)であって、具体的には前記コイル・キャリア(80)に、具体的には、前記磁石(20)或いは前記第1及び/又は第2の磁石(21、22)から離れる方向を向く前記コイル・キャリア(80)の側面に接続され、具体的には磁気的に軟らかい材料及び/又は強磁性材料で構成される、磁場リターン構造体(91)、
− 磁石、
− バネ部材(110)
の内の1つを備えることを特徴とする、請求項1〜27のいずれか1項に記載の機器。 - 3D拡張現実感のための装置(200)であって、
− 請求項1〜28のいずれか1項に記載の機器(1、2、3)であって、前記機器(1、2、3)の前記光学素子(10)がミラーである、前記機器(1、2、3)と、
− 光源(201)と、
− 焦点制御機器(202)と、
− 画像プロジェクタ(203)と、
− 投影スクリーン(204)と、
− ユーザの眼(207)の瞳(206)の、前記投影スクリーン(204)に対する位置を検出するように構成された視標追跡機器(205)と、
を備え、
− 前記光源(201)は、レンズ(202)を通して誘導される光ビーム(208)を生成するように構成され、前記レンズ(202)は前記光ビーム(208)の焦点を合わせ及び焦点ぼかしするように構成され、前記画像プロジェクタ(203)は前記光ビーム(208)を用いて画像(209)を生成するように構成され、前記機器(1)は前記画像(209)を、前記瞳(206)の前記検出された位置に応じて、前記投影スクリーン(204)の上に反射するように構成される、
装置(200)。
Applications Claiming Priority (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EPPCT/EP2014/071541 | 2014-10-08 | ||
| EPPCT/EP2014/071538 | 2014-10-08 | ||
| PCT/EP2014/071541 WO2015052236A1 (en) | 2013-10-08 | 2014-10-08 | Tunable lens device |
| PCT/EP2014/071538 WO2015052233A1 (en) | 2013-10-08 | 2014-10-08 | Tunable lens |
| EP14192928.1A EP3006975A3 (en) | 2014-10-08 | 2014-11-12 | Device for tilting an optical element, particularly a mirror |
| EP14192928.1 | 2014-11-12 | ||
| PCT/EP2015/071521 WO2016055253A2 (en) | 2014-10-08 | 2015-09-18 | Device for tilting an optical element, particularly a mirror |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017534075A true JP2017534075A (ja) | 2017-11-16 |
| JP6831321B2 JP6831321B2 (ja) | 2021-02-17 |
Family
ID=51868919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017518504A Active JP6831321B2 (ja) | 2014-10-08 | 2015-09-18 | 光学素子、特にミラーを傾斜させるための機器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10684464B2 (ja) |
| EP (2) | EP3006975A3 (ja) |
| JP (1) | JP6831321B2 (ja) |
| KR (1) | KR102470757B1 (ja) |
| CN (2) | CN113064254A (ja) |
| WO (1) | WO2016055253A2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022514217A (ja) * | 2018-12-07 | 2022-02-10 | エイヴギャント コーポレイション | 操縦可能位置決め要素 |
| JP2024511935A (ja) * | 2021-03-04 | 2024-03-18 | マイクロ-エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー | アクチュエータセンサシステムおよび高速ステアリングミラー |
| US12032174B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-07-09 | Avegant Corp. | Steerable hybrid display using a waveguide |
| US12092828B2 (en) | 2020-01-06 | 2024-09-17 | Avegant Corp. | Head mounted system with color specific modulation |
| US12241503B2 (en) | 2020-10-23 | 2025-03-04 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Bearing for partially spherical component and method of making and using the same |
| US12360378B2 (en) | 2017-03-27 | 2025-07-15 | Avegant Corp. | Steerable high-resolution display |
Families Citing this family (53)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3101412A1 (en) | 2015-06-04 | 2016-12-07 | rascope AG | Mobile apparatus for analyzing a surface area of an object using raman spectroscopy and fluorescence |
| WO2017020196A1 (zh) * | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 探测装置、探测系统、探测方法,以及可移动设备 |
| CN107092066B (zh) * | 2016-02-17 | 2019-08-27 | 日本电产三协株式会社 | 带抖动修正功能的光学单元 |
| KR101862228B1 (ko) * | 2016-10-05 | 2018-05-30 | 자화전자(주) | Ois를 위한 반사계 구동장치 |
| KR102089288B1 (ko) * | 2017-02-07 | 2020-04-23 | 자화전자(주) | 반사계 지지장치 |
| US10817722B1 (en) | 2017-03-20 | 2020-10-27 | Cross Match Technologies, Inc. | System for presentation attack detection in an iris or face scanner |
| US11531756B1 (en) | 2017-03-20 | 2022-12-20 | Hid Global Corporation | Apparatus for directing presentation attack detection in biometric scanners |
| JP6997370B2 (ja) * | 2017-05-25 | 2022-01-17 | ミツミ電機株式会社 | カメラ用アクチュエータ、カメラモジュール、およびカメラ搭載装置 |
| KR102336174B1 (ko) * | 2017-08-29 | 2021-12-07 | 삼성전자주식회사 | 전방위 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
| KR20200055728A (ko) * | 2017-10-12 | 2020-05-21 | 엘지전자 주식회사 | 이동 단말기 |
| CA3022581A1 (en) * | 2017-11-09 | 2019-05-09 | Janaranjana Sampath Hiniduma Liyanage | Torsional moving electric field sensor with modulated sensitivity and without reference ground |
| EP3495867A1 (en) * | 2017-12-06 | 2019-06-12 | Optotune Consumer AG | Tunable prism for optical image stabilization |
| JP7057492B2 (ja) * | 2017-12-28 | 2022-04-20 | ミツミ電機株式会社 | レンズ駆動装置、カメラモジュール、及びカメラ搭載装置 |
| CN108614353B (zh) * | 2018-05-10 | 2020-08-04 | 西安交通大学 | 基于离子交换聚合金属材料的二维偏转解耦机构及其偏转方法 |
| US12393040B2 (en) * | 2018-11-14 | 2025-08-19 | BRELYON Inc | System and method for generating compact light-field displays through varying optical depths |
| WO2020132629A1 (en) * | 2018-12-22 | 2020-06-25 | Sharpeyes, Llc | Adaptable lenses for smart eyeglasses |
| EP4249969A3 (en) | 2018-12-27 | 2024-01-10 | Tdk Taiwan Corp. | Optical member driving mechanism |
| US11885958B2 (en) * | 2019-01-07 | 2024-01-30 | Velodyne Lidar Usa, Inc. | Systems and methods for a dual axis resonant scanning mirror |
| US11835711B2 (en) * | 2019-04-22 | 2023-12-05 | Sri International | Pointing apparatuses and methods involving magnetic-contrast bearings |
| TWI686048B (zh) * | 2019-04-30 | 2020-02-21 | 台睿精工股份有限公司 | 線性振動致動馬達 |
| US11487127B2 (en) * | 2019-10-23 | 2022-11-01 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Magnetic seesaw scanner |
| EP3822690B1 (en) | 2019-11-13 | 2024-04-03 | Thorlabs GmbH | Voice coil actuator for angular movements |
| DE102020103967A1 (de) * | 2020-02-14 | 2021-08-19 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Blickfeldanzeigevorrichtung mit einem hellen energieeffizienten Backlight für ein Fahrzeug |
| US11523058B2 (en) * | 2020-03-03 | 2022-12-06 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Electronic device with camera module |
| US20210278661A1 (en) * | 2020-03-05 | 2021-09-09 | Optotune Ag | Apparatus for deflecting an optical device |
| US12167178B2 (en) | 2020-04-20 | 2024-12-10 | Hisense Laser Display Co., Ltd | Projection apparatus and projection display method |
| CN113534577B (zh) * | 2020-04-20 | 2022-09-02 | 青岛海信激光显示股份有限公司 | 激光投影设备 |
| CN113542702A (zh) * | 2020-04-20 | 2021-10-22 | 青岛海信激光显示股份有限公司 | 投影设备 |
| WO2022006839A1 (zh) * | 2020-07-10 | 2022-01-13 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 一种线性马达 |
| WO2022006837A1 (zh) * | 2020-07-10 | 2022-01-13 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 一种线性马达 |
| CN111786530B (zh) * | 2020-07-30 | 2021-09-28 | 江南大学 | 一种高效率音圈驱动器及变形镜 |
| US12407910B2 (en) * | 2020-09-28 | 2025-09-02 | Tdk Taiwan Corp. | Tactile feedback mechanism |
| KR102259739B1 (ko) * | 2020-10-15 | 2021-06-02 | 한화시스템 주식회사 | 고정장치, 위치 조절방법 및 광학계 |
| GB202017796D0 (en) | 2020-11-11 | 2020-12-23 | Northern Lights Sensors As | Ranging detection |
| NO346479B1 (en) * | 2020-11-11 | 2022-08-29 | Toerring Invest As | Ranging Detection |
| WO2022101349A1 (en) | 2020-11-11 | 2022-05-19 | Tørring Invest As | Ranging detection |
| CN112346240B (zh) * | 2021-01-11 | 2021-09-14 | 北京瑞控信科技有限公司 | 一种二维动磁式快速反射镜装置 |
| CN114911018A (zh) * | 2021-01-29 | 2022-08-16 | 奥普托图尼股份公司 | 具有受支撑的挠曲接头的光学装置 |
| GB202101648D0 (en) | 2021-02-05 | 2021-03-24 | Northern Lights Sensors As | High speed hybrid scanning |
| WO2022167619A1 (en) | 2021-02-05 | 2022-08-11 | Tørring Invest As | High speed hybrid scanning |
| EP4075185A1 (en) | 2021-04-16 | 2022-10-19 | Optotune AG | Tiltable mirror device |
| CN113163091B (zh) | 2021-04-27 | 2023-04-18 | 台湾立讯精密有限公司 | 影像补偿装置及其棱镜承载机构 |
| TWI768850B (zh) * | 2021-04-27 | 2022-06-21 | 台灣立訊精密有限公司 | 影像補償裝置及其稜鏡承載機構 |
| KR102890250B1 (ko) * | 2021-05-21 | 2025-11-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 액추에이터 장치 |
| DE102021127874A1 (de) | 2021-10-26 | 2023-04-27 | Behr-Hella Thermocontrol Gmbh | Vorrichtung zum Empfangen von Strahlung aus einem Erfassungsbereich im Innenraum eines Fahrzeugs oder im Umfeld eines Fahrzeugs |
| CN116500776A (zh) * | 2022-01-21 | 2023-07-28 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 动磁式电磁驱动双轴光学扫描镜、阵列及其应用 |
| CN115097593B (zh) * | 2022-08-26 | 2023-03-24 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | 一种一维高速动磁式柔性支撑快速反射镜 |
| CN115616753A (zh) * | 2022-10-11 | 2023-01-17 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 一种超360度旋转角的机电限位装置 |
| WO2025031832A1 (en) * | 2023-08-09 | 2025-02-13 | Optotune Switzerland Ag | Optical device for carrying an optical element, particularly for pixel shifting |
| CN116719145B (zh) * | 2023-08-09 | 2023-12-29 | 北京瑞控信科技股份有限公司 | 一种二维非框架大角度快速反射镜 |
| FR3155912B1 (fr) * | 2023-11-28 | 2025-11-21 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif réflecteur à actionnement magnétique, et procédé associé |
| CN119642769B (zh) * | 2024-12-06 | 2025-10-24 | 北京佳和建设工程有限公司 | 一种激光器平面度测量装置 |
| CN120083952B (zh) * | 2025-04-01 | 2025-11-04 | 佛山市国励电子科技有限公司 | 一种具有可调节照明角度结构的灯罩式led照明灯 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004144926A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Olympus Corp | 光学像取り込み装置 |
| JP2004170499A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Olympus Corp | 偏向角検出装置、これを備えた光偏向装置およびシステム |
| JP2004524575A (ja) * | 2001-03-30 | 2004-08-12 | ジーエスアイ ルモニクス コーポレイション | 表面配向方法および装置 |
| WO2009041055A1 (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Panasonic Corporation | ビーム走査型表示装置、その表示方法、プログラム、及び集積回路 |
| JP2012506135A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 放射線ビームを案内するための光学モジュール |
| JP2012208395A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Nec Corp | 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置 |
| JP2013041281A (ja) * | 2011-08-16 | 2013-02-28 | Robert Bosch Gmbh | マイクロミラー用の制御装置、マイクロミラーの制御方法、および画像投影システム |
| US20130308173A1 (en) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical assembly, method for manufacturing a micromechanical assembly and method for operating a micromechanical assembly |
| JP2014098850A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Toyota Central R&D Labs Inc | Mems装置 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3532408A (en) * | 1968-05-20 | 1970-10-06 | Bulova Watch Co Inc | Resonant torsional oscillators |
| DE69224645T2 (de) | 1992-11-26 | 1998-08-20 | Oce Tech Bv | Drehspiegelsystem |
| IT1286550B1 (it) | 1996-02-13 | 1998-07-15 | El En S R L | Dispositivo e metodo di deflessione di un fascio laser mediante specchio singolo |
| JP3684016B2 (ja) | 1997-01-28 | 2005-08-17 | ペンタックス株式会社 | 2次元光偏向装置 |
| JPH11149050A (ja) | 1997-11-15 | 1999-06-02 | Canon Inc | 光偏向装置 |
| US6188502B1 (en) * | 1998-03-26 | 2001-02-13 | Nec Corporation | Laser pointing apparatus and on-fulcrum drive apparatus |
| US6989921B2 (en) * | 2000-08-27 | 2006-01-24 | Corning Incorporated | Magnetically actuated micro-electro-mechanical apparatus and method of manufacture |
| JP4680373B2 (ja) | 2000-11-16 | 2011-05-11 | オリンパス株式会社 | ガルバノミラー |
| JP4512262B2 (ja) * | 2000-12-19 | 2010-07-28 | オリンパス株式会社 | 光学素子駆動装置 |
| US7136547B2 (en) * | 2001-03-30 | 2006-11-14 | Gsi Group Corporation | Method and apparatus for beam deflection |
| US6666561B1 (en) | 2002-10-28 | 2003-12-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Continuously variable analog micro-mirror device |
| US8203702B1 (en) | 2005-06-13 | 2012-06-19 | ARETé ASSOCIATES | Optical system |
| US7388700B1 (en) | 2006-04-28 | 2008-06-17 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Ball joint gimbal mirror with actuator assembly |
| US7598688B2 (en) * | 2006-06-22 | 2009-10-06 | Orbotech Ltd | Tilting device |
| WO2008157238A1 (en) * | 2007-06-13 | 2008-12-24 | Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Devices, systems, and methods for actuating a moveable miniature platform |
| EP2034338A1 (en) | 2007-08-11 | 2009-03-11 | ETH Zurich | Liquid Lens System |
| US8752969B1 (en) | 2007-10-15 | 2014-06-17 | Arete Associates | Method of operating a fast scanning mirror |
| KR20100063997A (ko) * | 2008-12-04 | 2010-06-14 | 삼성전자주식회사 | 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법 |
| JP2010243746A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 反射ミラー駆動機構 |
| NL2004429A (en) * | 2009-08-25 | 2011-02-28 | Asml Netherlands Bv | Illumination system, lithographic apparatus and method of adjusting an illumination mode. |
| CN102063913B (zh) * | 2009-11-12 | 2013-12-18 | 日立民用电子株式会社 | 变形镜致动器和光盘装置 |
| EP2239600A1 (en) | 2010-06-02 | 2010-10-13 | Optotune AG | Adjustable optical lens |
| ES2552924T3 (es) | 2011-06-17 | 2015-12-03 | Abariscan Gmbh | Aparato de posicionamiento y sistema para dirigir un rayo |
| KR102056273B1 (ko) * | 2012-10-15 | 2019-12-16 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 작동 메카니즘, 광학 장치, 리소그래피 장치 및 디바이스들을 제조하는 방법 |
| EP2784566A1 (en) * | 2013-03-25 | 2014-10-01 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Steerable MOEMS device comprising a micromirror |
-
2014
- 2014-11-12 EP EP14192928.1A patent/EP3006975A3/en not_active Withdrawn
-
2015
- 2015-09-18 CN CN202110192305.7A patent/CN113064254A/zh active Pending
- 2015-09-18 JP JP2017518504A patent/JP6831321B2/ja active Active
- 2015-09-18 US US15/517,522 patent/US10684464B2/en active Active
- 2015-09-18 WO PCT/EP2015/071521 patent/WO2016055253A2/en not_active Ceased
- 2015-09-18 KR KR1020177012135A patent/KR102470757B1/ko active Active
- 2015-09-18 EP EP15778884.5A patent/EP3204806B1/en active Active
- 2015-09-18 CN CN201580061812.XA patent/CN107003498B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004524575A (ja) * | 2001-03-30 | 2004-08-12 | ジーエスアイ ルモニクス コーポレイション | 表面配向方法および装置 |
| JP2004144926A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Olympus Corp | 光学像取り込み装置 |
| JP2004170499A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Olympus Corp | 偏向角検出装置、これを備えた光偏向装置およびシステム |
| WO2009041055A1 (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Panasonic Corporation | ビーム走査型表示装置、その表示方法、プログラム、及び集積回路 |
| JP2012506135A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 放射線ビームを案内するための光学モジュール |
| JP2012208395A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Nec Corp | 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置 |
| JP2013041281A (ja) * | 2011-08-16 | 2013-02-28 | Robert Bosch Gmbh | マイクロミラー用の制御装置、マイクロミラーの制御方法、および画像投影システム |
| US20130308173A1 (en) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical assembly, method for manufacturing a micromechanical assembly and method for operating a micromechanical assembly |
| JP2014098850A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Toyota Central R&D Labs Inc | Mems装置 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12360378B2 (en) | 2017-03-27 | 2025-07-15 | Avegant Corp. | Steerable high-resolution display |
| JP2022514217A (ja) * | 2018-12-07 | 2022-02-10 | エイヴギャント コーポレイション | 操縦可能位置決め要素 |
| US11927762B2 (en) | 2018-12-07 | 2024-03-12 | Avegant Corp. | Steerable positioning element |
| JP7688577B2 (ja) | 2018-12-07 | 2025-06-04 | エイヴギャント コーポレイション | 操縦可能位置決め要素 |
| US12032174B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-07-09 | Avegant Corp. | Steerable hybrid display using a waveguide |
| US12092828B2 (en) | 2020-01-06 | 2024-09-17 | Avegant Corp. | Head mounted system with color specific modulation |
| US12241503B2 (en) | 2020-10-23 | 2025-03-04 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Bearing for partially spherical component and method of making and using the same |
| JP2024511935A (ja) * | 2021-03-04 | 2024-03-18 | マイクロ-エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー | アクチュエータセンサシステムおよび高速ステアリングミラー |
| JP7719197B2 (ja) | 2021-03-04 | 2025-08-05 | マイクロ-エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー | アクチュエータセンサシステムおよび高速ステアリングミラー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2016055253A2 (en) | 2016-04-14 |
| EP3006975A2 (en) | 2016-04-13 |
| EP3204806A2 (en) | 2017-08-16 |
| JP6831321B2 (ja) | 2021-02-17 |
| US10684464B2 (en) | 2020-06-16 |
| CN113064254A (zh) | 2021-07-02 |
| EP3204806B1 (en) | 2025-10-29 |
| KR20170096997A (ko) | 2017-08-25 |
| WO2016055253A3 (en) | 2016-06-02 |
| CN107003498A (zh) | 2017-08-01 |
| KR102470757B1 (ko) | 2022-11-24 |
| US20180267294A1 (en) | 2018-09-20 |
| CN107003498B (zh) | 2021-03-12 |
| EP3006975A3 (en) | 2016-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6831321B2 (ja) | 光学素子、特にミラーを傾斜させるための機器 | |
| JP6498188B2 (ja) | 調整可能なレンズ装置 | |
| JP2021505936A (ja) | 焦点チューナブルレンズコアを備えた光学ズーム装置 | |
| US9594249B2 (en) | Image display device | |
| KR101949572B1 (ko) | 렌즈 포지셔닝 시스템 | |
| TWI688789B (zh) | 虛擬影像產生器及投影虛擬影像的方法 | |
| US8132912B1 (en) | Iris imaging system using circular deformable mirror mounted by its circumference | |
| JP2018533062A (ja) | 広視野ヘッドマウントディスプレイ | |
| EP3987355B1 (en) | Imaging device with field-of-view shift control | |
| CN107076993A (zh) | 可调节焦平面光学系统 | |
| US20160124230A1 (en) | Image display device and drawing method | |
| EP1876139A2 (en) | Bi-axially driven MEMS Device | |
| US11030720B2 (en) | Direct retinal projection apparatus and method | |
| US11017562B2 (en) | Imaging system and method for producing images using means for adjusting optical focus | |
| JP2016092508A (ja) | 画像表示装置 | |
| US20190283180A1 (en) | Laser printing with device that includes voice coil-activated lens | |
| US11487127B2 (en) | Magnetic seesaw scanner | |
| US11495194B1 (en) | Display apparatuses and methods incorporating pattern conversion | |
| JP2005107097A (ja) | 共焦点型検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180703 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190529 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190625 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190925 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20191125 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191223 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200818 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200901 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210106 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210128 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6831321 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |