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JP2017120975A - 撮像素子 - Google Patents

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Tatsuya Kitamori
達也 北森
文秀 村尾
Fumihide Murao
文秀 村尾
恭治 山崎
Kyoji Yamazaki
恭治 山崎
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Abstract

【課題】従来の撮像素子では、画素ユニット内で生成される画素情報を行毎に読み出し処理を行わなければらず、画素情報のSN比を十分に高めることができない問題があった。【解決手段】一実施の形態によれば、撮像素子は、列方向に配置される複数の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDを連結するか否かを切り替える共通フローティングディフュージョン配線FDG_A、FDG_B及びフローティングディフュージョンスイッチRSWA、RSWBを有し、画素ユニット内で連結された複数のフローティングディフュージョンFDにおいて複数の画素ユニットで生成される画素情報を合成する。【選択図】図3

Description

本発明は撮像素子に関し、例えば格子状に配置された画素ユニットを有する撮像素子に関する。
カメラ等の撮像装置では、CCD或いはCMOSセンサを撮像素子として利用し、撮像素子により得られた画像を撮影データとして出力する。この撮像装置では、撮影する像の先鋭度を自動的に高めるオートフォーカス機能を搭載していることが多い。このオートフォーカス機能を実現するための方式の一つとして位相差方式がある。
位相差方式では、二次元的に配置したマイクロレンズ毎に、一対或いは二対の受光部を設け、マイクロレンズによって受光部を撮像光学系の瞳に投影することで瞳を分割する。そして、位相差方式では、撮像光学系の瞳の異なる部分を通過した2光束を用いて物体像をそれぞれ形成し、2つの物体像間の位置的位相差を撮像素子の出力に基づいて検出し、これを撮像光学系のデフォーカス量に換算する。このような、位相差方式のオートフォーカス機能を有する撮像装置の例が特許文献1に開示されている。
特許第3774597号明細書
しかしながら、特許文献1に記載の撮像装置では、画素情報の読み出しを一対の受光部単位でしか行うことができず画素情報のSN比(Signal Noise Ratio)を十分に高めることができない問題がある。その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
一実施の形態によれば、撮像素子は、列方向に配置される複数の画素ユニットのフローティングディフュージョンを連結するか否かを切り替える共通フローティングディフュージョン配線及びフローティングディフュージョンスイッチを有し、画素ユニット内で連結された複数のフローティングディフュージョンにおいて複数の画素ユニットで生成される画素情報を合成する。
前記一実施の形態によれば、画素ユニット内で複数の画素ユニットで生成される画素情報を合成することで、画素情報のSN比を高めることができる。
実施の形態1にかかる撮像素子を含むカメラシステムのブロック図である。 実施の形態1にかかる撮像素子のフロアレイアウトの概略図である。 実施の形態1にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態1にかかる撮像素子の画素ユニットのレイアウトの概略図である。 実施の形態1にかかる撮像素子のフォトダイオード部分の断面図である。 実施の形態1にかかる撮像素子における画素ユニット間の接続状態を説明する回路図である。 実施の形態1にかかる画素アレイから1行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態1にかかる画素アレイから2行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態1にかかる画素アレイから3行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態1にかかる撮像素子におけるSN比を説明する図である。 実施の形態2にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態2にかかる画素アレイから3行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態3にかかる撮像素子のフロアレイアウトの概略図である。 実施の形態3にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態3にかかる画素アレイから3行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態4にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態4にかかる画素アレイから3行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態5にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態5にかかる画素アレイから3行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態6にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態7にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 実施の形態8にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図である。 撮像素子における位相差オートフォーカスの原理を説明する図である。 フォーカスずれが生じている場合の光電変換素子の出力を説明するグラフである。 実施の形態9にかかるカメラシステムの構成例を説明する図である。 実施の形態9にかかるカメラシステムにおける画素情報の処理タイミングを説明する図である。
実施の形態1
説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。また、様々な処理を行う機能ブロックとして図面に記載される各要素は、ハードウェア的には、CPU、メモリ、その他の回路で構成することができ、ソフトウェア的には、メモリにロードされたプログラムなどによって実現される。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、又は、それらの組合せによっていろいろな形で実現できることは当業者には理解されるところであり、いずれかに限定されるものではない。なお、各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。
また、上述したプログラムは、様々なタイプの非一時的なコンピュータ可読媒体(non-transitory computer readable medium)を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。非一時的なコンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体(tangible storage medium)を含む。非一時的なコンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体(例えばフレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ)、光磁気記録媒体(例えば光磁気ディスク)、CD−ROM(Read Only Memory)CD−R、CD−R/W、半導体メモリ(例えば、マスクROM、PROM(Programmable ROM)、EPROM(Erasable PROM)、フラッシュROM、RAM(Random Access Memory))を含む。また、プログラムは、様々なタイプの一時的なコンピュータ可読媒体(transitory computer readable medium)によってコンピュータに供給されてもよい。一時的なコンピュータ可読媒体の例は、電気信号、光信号、及び電磁波を含む。一時的なコンピュータ可読媒体は、電線及び光ファイバ等の有線通信路、又は無線通信路を介して、プログラムをコンピュータに供給できる。
<カメラシステムの説明>
図1に実施の形態1にかかるカメラシステム1のブロック図を示す。図1に示すように、カメラシステム1は、ズームレンズ11、絞り機構12、固定レンズ13、フォーカスレンズ14、撮像素子15、ズームレンズアクチュエータ16、フォーカスレンズアクチュエータ17、信号処理回路18、システム制御MCU19、モニタ、記憶装置を有する。ここで、モニタ及び記憶装置は、カメラシステム1で撮影した画像を確認及び記憶するものであり、これらをカメラシステム1とは切り離した別のシステム上に設けても良い。
ズームレンズ11、絞り機構12、固定レンズ13及びフォーカスレンズ14は、カメラシステム1のレンズ群を構成する。ズームレンズ11は、ズームアクチュエータ16により位置の変更が行われる。フォーカスレンズ14は、フォーカスアクチュエータ17により位置の変更が行われる。そして、カメラシステム1では、各種アクチュエータによりレンズを移動させることでズーム倍率、フォーカスを変更し、かつ、絞り機構12を動作させることで入射光量を変更する。
ズームアクチュエータ16は、システム制御MCU19が出力するズーム制御信号SZCに基づきズームレンズ11を移動させる。フォーカスアクチュエータ17は、フォーカスアクチュエータ17は、システム制御MCU19が出力するフォーカス制御信号SFCに基づきフォーカスレンズ14を移動させる。絞り機構12は、システム制御MCU19が出力する絞り制御信号SDCにより絞り量を調節する。
撮像素子15は、例えば、フォトダイオード等の受光素子を有し、当該受光素子から得られた受光画素情報をデジタル値に変換して画像情報Doを出力する。また、撮像素子15は、撮像素子15が出力する画像情報Doを解析して画像情報Doの特徴を表す画像特徴情報DCIを出力する。この画像特徴情報DCIには、後述するオートフォーカス処理において取得される2つの画像が含まれる。さらに、撮像素子15は、モジュール制御MCU18から与えられるセンサ制御信号SSCに基づき画像情報Doの画素毎のゲイン制御、画像情報Doの露光制御、及び、画像情報DoのHDR(High Dynamic Range)制御を行う。撮像素子15の詳細については後述する。
信号処理回路18は、撮像素子15から受信した画像情報Doに画像補正等の画像処理を施して画像データDimgを出力する。信号処理回路18は、受信した画像情報Doを解析して色空間情報DCDを出力する。色空間情報DCDには、例えば、画像情報Doの輝度情報、及び、色情報が含まれる。
システム制御MCU19は、撮像素子15から出力される画像特徴情報DCIに基づきレンズ群のフォーカスを制御する。より具体的には、システム制御MCU19は、フォーカス制御信号SFCをフォーカスアクチュエータ17に出力することでレンズ群のフォーカスを制御する。システム制御MCU19は、絞り制御信号SDCを絞り機構12に出力して絞り機構12の絞り量を調節する。さらに、システム制御MCU19は、外部から与えられるズーム指示に従ってズーム制御信号SZCを生成し、ズーム制御信号SZCをズームアクチュエータ16に出力することでレンズ群のズーム倍率を制御する。
より具体的には、ズームアクチュエータ16によりズームレンズ11を移動することでフォーカスがずれる。そこで、システム制御MCU19は、撮像素子15から得た画像特徴情報DCIに含まれる2つの画像に基づき2つの物体像間の位置的位相差を算出し、この位置的位相差に基づきレンズ群のデフォーカス量を算出する。システム制御MCU19は、このデフォーカス量に応じて自動的にフォーカスを合わせる。この処理がオートフォーカス制御である。
また、システム制御MCU19は、信号処理回路18が出力する色空間情報DCDに含まれる輝度情報に基づき撮像素子15の露出設定を指示する露出制御値を算出して、信号処理回路18から出力される色空間情報DCDに含まれる輝度情報が露出制御値に近づくように撮像素子15の露光設定及びゲイン設定を制御する。このとき、システム制御MCU19は、露出を変更する際に絞り機構12の制御値を算出しても良い。
また、システム制御MCU19は、ユーザーからの指示に基づき画像データDimgの輝度或いは色を調整する色空間制御信号SICを出力する。なお、システム制御MCU19は、信号処理回路18から取得した色空間情報DCDとユーザーから与えられた情報との差分に基づき色空間制御信号SICを生成する。
実施の形態1にかかるカメラシステム1では、オートフォーカス処理において撮像素子15が画像情報Doを取得する際の撮像素子15の制御方法に特徴の1つを有する。そこで、以下では、撮像素子15についてより詳細に説明する。
<撮像素子の動作に関する説明>
図2に実施の形態1にかかる撮像素子のフロアレイアウトの一部の概略図を示す。図2では、撮像素子15のフロアレイアウトのうちロウコントローラ20、カラムコントローラ21、画素アレイ22のフロアレイアウトのみを示した。
ロウコントローラ20は、格子状に配置された画素ユニット23の活性状態を行毎に制御する。カラムコントローラ21は、格子状に配置された画素ユニット23から読み出される画素信号を列毎に読み出す。カラムコントローラ21には、画素信号を読み出すためのスイッチ回路及び出力バッファが含まれる。画素アレイ22には、画素ユニット23が格子状に配置される。図2に示す例では、各画素ユニット23は、列方向に1個以上のフォトダイオードPDからなるフォトダイオード群を含む。より具体的には、各画素ユニット23は、2つのフォトダイオード(例えば、フォトダイオードPD0、PD1、又は、フォトダイオードPD2、PD3)により構成される。また、フォトダイオードには、それぞれカラーフィルタが設けられている。図2に示す例では、ベイヤー方式のカラーフィルタの配列を採用する。ベイヤー方式では、輝度信号に寄与する割合の大きい緑色(G)のカラーフィルタが市松状に配置され、残りの部分に赤色(R)及び青色(B)のカラーフィルタが市松状に配置される。そして、画素アレイ22は、上記の画素ユニットを単位として動作するため、以下で各画素ユニットの構成及び動作について説明する。
<画素ユニットの回路に関する説明>
図3に実施の形態1にかかる撮像素子の画素ユニットの回路図を示す。図3に示す例では、フォトダイオードPD0、PD1を有する画素ユニット23を示した。このフォトダイオードPD0は、例えば、緑色のカラーフィルタに対応するものであり、フォトダイオードPD1は、例えば、赤色のカラーフィルタに対応するものである。
図3に示すように、画素ユニット23は、第1の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD0L)と、第2の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD0R)と、により、緑色のカラーフィルタに対応する1つの受光素子を構成する。詳しくは、後述するが、フォトダイオードPD0LとフォトダイオードPD0Rは、共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する。また、フォトダイオードPD0LとフォトダイオードPD0Rは、隣り合う位置に設けられる。
また、画素ユニット23では、第3の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD1L)と、第4の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD1R)と、により、赤色のカラーフィルタに対応する1つの受光素子を構成する。フォトダイオードPD1LとフォトダイオードPD1Rは、共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する。また、フォトダイオードPD1LとフォトダイオードPD1Rは、隣り合う位置に設けられる。
そして、画素ユニット23では、フォトダイオードPD0Lに対して第1の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX0L)が設けられ、フォトダイオードPD0Rに対して第2の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX0R)が設けられる。転送トランジスタTX0L及び転送トランジスタTX0Rのゲートには、共通する第1の読み出しタイミング信号を与える第1の読み出しタイミング信号配線TG1が接続される。また、画素ユニット23では、フォトダイオードPD1Lに対して第3の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX1L)が設けられ、フォトダイオードPD1Rに対して第2の転送4トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX1R)が設けられる。転送トランジスタTX1L及び転送トランジスタTX1Rのゲートには、共通する第2の読み出しタイミング信号を与える第2の読み出しタイミング信号配線TG2が接続される。この第2の読み出しタイミング信号は、第1の読み出しタイミング信号とは異なるタイミングでイネーブル状態となる。
転送トランジスタTX0L、TX1Lのドレインは第1のフローティングディフュージョンFDとなっている。そして、転送トランジスタTX0L及び転送トランジスタTX1Lのドレインは、第1の増幅トランジスタ(例えば、増幅トランジスタAMIA)のゲートに接続されている。また、転送トランジスタTX0L及び転送トランジスタTX1Lのドレインには、第1のリセットトランジスタ(例えば、リセットトランジスタRSTA)のソースに接続されている。リセットトランジスタRSTAのドレインには、電源配線VDD_PXを介して電源電圧が与えられている。増幅トランジスタAMIAは、転送トランジスタTX0L、TX1Lを介して出力される電荷により生じる第1の電圧を増幅して第1の出力配線OUT_Aに出力する。より具体的には、増幅トランジスタAMIAは、ドレインが電源配線VDD_PXに接続され、ソースが第1の選択トランジスタ(例えば、選択トランジスタTSELA)を介して第1の出力配線OUT_Aに接続される。そして、第1の出力配線OUT_Aは、転送トランジスタTX0L、TX1Lを介して読み出された電荷に基づき生成される出力信号を出力する。なお、選択トランジスタTSELAのゲートには、選択信号を与える選択信号配線SELが接続される。
転送トランジスタTX0R、TX1Rのドレインは第2のフローティングディフュージョンFDとなっている。そして、転送トランジスタTX0R及び転送トランジスタTX1Rのドレインは、第2の増幅トランジスタ(例えば、増幅トランジスタAMIB)のゲートに接続されている。また、転送トランジスタTX0R及び転送トランジスタTX1Rのドレインには、第2のリセットトランジスタ(例えば、リセットトランジスタRSTB)のソースに接続されている。リセットトランジスタRSTBのドレインには、電源配線VDD_PXを介して電源電圧が与えられている。増幅トランジスタAMIBは、転送トランジスタTX0R、TX1Rを介して出力される電荷により生じる第2の電圧を増幅して第2の出力配線OUT_Bに出力する。より具体的には、増幅トランジスタAMIBは、ドレインが電源配線VDD_PXに接続され、ソースが第2の選択トランジスタ(例えば、選択トランジスタTSELB)を介して第2の出力配線OUT_Bに接続される。そして、第2の出力配線OUT_Bは、転送トランジスタTX0R、TX1Rを介して読み出された電荷に基づき生成される出力信号を出力する。なお、選択トランジスタTSELBのゲートには、選択信号を与える選択信号配線SELが接続される。
第1の共通フローティングディフュージョン配線は、複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる。第1のフローティングディフュージョンスイッチ(例えば、フローティングディフュージョンスイッチRSWA)は、第1の共通フローティングディフュージョン配線上に設けられる。フローティングディフュージョンスイッチRSWAは、複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える。図3に示す例では、フローティングディフュージョンスイッチRSWAのソース側に接続される第1の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGu_Aとし、フローティングディフュージョンスイッチRSWAのドレイン側に接続される第1の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGd_Aとした。第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Aは、上位(行番号が大きい)に配置される上位隣接画素ユニットの第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aに接続される。第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aは、下位(行番号が小さい)に配置される下位隣接画素ユニットの第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Aに接続される。また、第1の共通状態切替スイッチ(例えば、共通状態切替スイッチFDSWA)は、転送トランジスタTX0L、TX0Lのドレインが接続される第1のフローティングディフュージョンと第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aとの電気的な接続状態を切り替える。
第2の共通フローティングディフュージョン配線は、複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる。第2のフローティングディフュージョンスイッチ(例えば、フローティングディフュージョンスイッチRSWB)は、第2の共通フローティングディフュージョン配線上に設けられる。フローティングディフュージョンスイッチRSWBは、複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える。図3に示す例では、フローティングディフュージョンスイッチRSWBのソース側に接続される第2の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGu_Bとし、フローティングディフュージョンスイッチRSWBのドレイン側に接続される第2の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGd_Bとした。第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Bは、上位(行番号が大きい)に配置される上位隣接画素ユニットの第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bに接続される。第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bは、下位(行番号が小さい)に配置される下位隣接画素ユニットの第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Bに接続される。また、第2の共通状態切替スイッチ(例えば、共通状態切替スイッチFDSWB)は、転送トランジスタTX1L、TX1Lのドレインが接続される第2のフローティングディフュージョンと第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bとの電気的な接続状態を切り替える。
なお、第1のフローティングディフュージョンスイッチRSWA及び第2のフローティングディフュージョンスイッチRSWBは、ロウコントローラ20から出力されるロウ接続状態切替信号RSWにより開閉状態が制御される。また、共通状態切替スイッチFDSWA及び共通状態切替スイッチFDSWBは、ロウコントローラ20から出力されるFD共通状態切替信号RSWにより開閉状態が制御される。
また、複数の画素ユニットには、それぞれ設けられるマイクロレンズの下部にカラーフィルタが設けられる。そして、第1の共通フローティングディフュージョン配線及び第2の共通フローティングディフュージョン配線は、異なる画素ユニットであって、マイクロレンズの下部に形成されるカラーフィルタが同色の画素ユニットの間を接続する。
<画素ユニットのレイアウトに関する説明>
続いて、実施の形態1にかかる画素ユニット23のレイアウトについて説明する。そこで、図4に実施の形態1にかかる画素ユニット23のレイアウトの概略図を示す。なお、図4に示したレイアウト図は、1つの画素ユニットのみを示すものである。また、図4では、電源配線VDD_PXについては図示を省略した。
図4に示すように、画素ユニット23は、第1の光電変換素子領域APD0と、第2の光電変換素子領域APD1とが配置される。第1の光電変換素子領域APD0は、1つのマイクロレンズの下部に第1の左光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD0L)と第1の右光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD0R)とが形成される。第2の光電変換素子領域APD1は、一つのマイクロレンズの下部に第2の左光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD1L)と第2の右光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD1R)とが形成される。
また、転送トランジスタTX0Lは、第2の光電変換素子領域APD1に面する第1の光電変換素子領域APD0の辺に形成され、ゲートに第1の読み出しタイミング信号配線TG1が接続され、フォトダイオードPD0Lに対応して設けられる。転送トランジスタTX0Rは、第2の光電変換素子領域APD1に面する第1の光電変換素子領域APD0の辺に形成され、ゲートに第1の読み出しタイミング信号配線TG1が接続され、フォトダイオードPD0Rに対応して設けられる。転送トランジスタTX1Lは、第1の光電変換素子領域APD0に面する第2の光電変換素子領域APD1の辺に形成され、ゲートに第2の読み出しタイミング信号配線TG2が接続され、フォトダイオードPD1Lに対応して設けられる。転送トランジスタTX1Rは、第1の光電変換素子領域APD0に面する第2の光電変換素子領域APD1の辺に形成され、ゲートに第2の読み出しタイミング信号配線TG2が接続され、フォトダイオードPD1Rに対応して設けられる。
また、画素ユニット23では、転送トランジスタTX0Lのドレインとなる拡散領域と、転送トランジスタTX1Lのドレインとなる拡散領域とが一の領域に形成され、この領域が第1のフローティングディフュージョン領域となる。つまり、第1のフローティングディフュージョン領域は、転送トランジスタTX0Lと転送トランジスタTX1Lとを接続する領域に形成される。また、画素ユニット23では、転送トランジスタTX0Rのドレインとなる拡散領域と、転送トランジスタTX1Rのドレインとなる拡散領域とが一の領域に形成され、この領域が第2のフローティングディフュージョン領域となる。つまり、第2のフローティングディフュージョン領域は、転送トランジスタTX0Rと転送トランジスタTX1Rとを接続する領域に形成される。
また、画素ユニット23では、第1のフローティングディフュージョン領域に隣接するように第1のリセットトランジスタ(例えば、リセットトランジスタRSTA0が形成され、第2のフローティングディフュージョン領域に隣接するように第2のリセットトランジスタ(例えば、リセットトランジスタRSTB0)が形成される。リセットトランジスタRSTA0及びリセットトランジスタRSTB0のソースとなる拡散領域は、一の領域に形成される。
また、画素ユニット23では、第1の光電変換素子領域APD0と第2の光電変換素子領域APD1との間の領域に、増幅トランジスタ、選択トランジスタ、フローティングディフュージョンスイッチRSWA及び共通状態切替スイッチFDSWAが形成される。より具体的には、画素ユニット23では、図4において第1のフローティングディフュージョン領域の左側領域に増幅トランジスタAMIA、選択トランジスタTSELA、フローティングディフュージョンスイッチRSWA及び共通状態切替スイッチFDSWAが形成される。そして、増幅トランジスタAMIAのゲートは、第1層配線により形成される配線を用いて、第1のフローティングディフュージョン領域と接続される。増幅トランジスタAMIAのソースと選択トランジスタTSELAのドレインは一の領域に形成される。選択トランジスタTSELAのソースを構成する拡散領域には、第1の出力配線OUT_Aが接続される。また、共通状態切替スイッチFDSWAのドレインは、第1層配線により形成される配線を用いて第1のフローティングディフュージョン領域と接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWAのソース領域を形成する拡散領域には、共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Aが接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWAのドレイン領域を形成する拡散領域及び共通状態切替スイッチFDSWAのソース領域を形成する拡散領域は1つの拡散領域として形成される。そして、フローティングディフュージョンスイッチRSWAのドレイン領域及び共通状態切替スイッチFDSWAのソース領域を形成する拡散領域には、共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aが接続される。
また、画素ユニット23では、図4において第2のフローティングディフュージョン領域の右側領域に増幅トランジスタAMIB、選択トランジスタTSELB、フローティングディフュージョンスイッチRSWB及び共通状態切替スイッチFDSWBが形成される。そして、増幅トランジスタAMIBのゲートは、第1層配線により形成される配線を用いて、第2のフローティングディフュージョン領域と接続される。増幅トランジスタAMIBのソースと選択トランジスタTSELBのドレインは一の領域に形成される。選択トランジスタTSELBのソースを構成する拡散領域には、第2の出力配線OUT_Bが接続される。また、共通状態切替スイッチFDSWBのドレインは、第1層配線により形成される配線を用いて第2のフローティングディフュージョン領域と接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWBのソース領域を形成する拡散領域には、共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Bが接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWBのドレイン領域を形成する拡散領域及び共通状態切替スイッチFDSWBのソース領域を形成する拡散領域は1つの拡散領域として形成される。そして、フローティングディフュージョンスイッチRSWBのドレイン領域及び共通状態切替スイッチFDSWBのソース領域を形成する拡散領域には、共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bが接続される。
<画素ユニットの断面構造に関する説明>
続いて、画素ユニット23の第1の光電変換素子領域APD0の断面構造について説明する。図5に実施の形態1にかかる撮像素子の第1の光電変換素子領域APD0に含まれるフォトダイオード部分の断面図を示す。図5に示すように、画素ユニット23では、Nサブ層31の上層にPウェル層32が形成され、当該Pウェル層32の表面にフォトダイオードPD0L、PD0Rが形成される。そして、Nサブ層31及びPウェル層32からなる基板層の上層には、配線33〜35が形成される配線層が設けられる。画素ユニット23におけるマイクロレンズは、配線層の上層に形成される。マイクロレンズが形成されるマイクロレンズ層では、カラーフィルタ36の上層にマイクロレンズ37が形成される。そして、図5に示すように、画素ユニット23では、フォトダイオード対を覆うようにマイクロレンズ37が形成される。
<画素ユニット間の接続に関する説明>
ここで、実施の形態1にかかる撮像素子におけるにおける画素ユニット間の接続状態を説明する。そこで、図6に実施の形態1にかかる撮像素子におけるにおける画素ユニット間の接続状態を説明する回路図を示す。図6では、画素ユニット内の素子のうち画素ユニット間の接続に関係する素子のみを示した。
図6に示すように、実施の形態1にかかる画素ユニットでは、列方向に並べられる画素ユニットの間に共通フローティングディフュージョン配線を設ける。そして、画素ユニット内のフローティングディフュージョン領域と共通フローティングディフュージョン配線FDGとの接続状態を共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBにより切り替える。また、共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBは、自画素ユニットと、自画素ユニットよりも下位に配置される画素ユニットとを接続する共通フローティングディフュージョン配線と、自画素ユニットのフローティングディフュージョン領域とを接続する。また、実施の形態1にかかる画素ユニットでは、共通フローティングディフュージョン配線FDGと共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBとが接続される点と、自画素ユニットよりも上位に配置される画素ユニットとを接続する共通フローティングディフュージョン配線上に設けられる。
つまり、共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBをオンさせた状態でフローティングディフュージョンスイッチRSWA、RSWBをオンすることで、自画素ユニット内のフローティングディフュージョン領域は、自画素ユニットよりも上位に配置される画素ユニットのフローティングディフュージョン領域と並列接続された状態となる。また、共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBをオンさせた状態でフローティングディフュージョンスイッチRSWA、RSWBをオフすることで、自画素ユニット内のフローティングディフュージョン領域は、自画素ユニットよりも上位に配置される画素ユニットのフローティングディフュージョン領域と電気的に切り離された状態となる。
<画素情報読み出し動作に関する説明>
続いて、実施の形態1にかかる撮像素子の画素情報の読み出し動作について説明する。実施の形態1にかかる撮像素子では、一度の読み出し動作で読み出す画素情報を生成する画素ユニットの数を変更することができる。以下の説明では、1つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第1の例、2つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第2の例、3つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第3の例を説明する。
ここで、実施の形態1にかかる撮像素子におけるロウコントローラ20の動作について説明する。実施の形態1では、ロウコントローラ20は、転送トランジスタ等の素子の開閉状態の制御に加えて、フローティングディフュージョンスイッチRSWA、フローティングディフュージョンスイッチRSWB、第1の共通状態切替スイッチFDSWA及び第2の共通状態切替スイッチFDSWBを制御する。具体的には、ロウコントローラ20は、電荷を同時に読み出す画素ユニットの数に応じて、共通フローティングディフュージョン配線FDGu_A、FDGd_A及び共通フローティングディフュージョン配線FDGu_B、FDGd_B上において連続してオンさせるフローティングディフュージョンスイッチRSWA及びフローティングディフュージョンスイッチRSWBの数を決定する。また、ロウコントローラ20は、電荷を同時に読み出す画素ユニット内の第1の共通状態切替スイッチFDSWA及び共通状態切替スイッチFDSWBをオンさせる。
図7に実施の形態1にかかる画素アレイから1行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。なお、図7の説明においては、各配線を介して伝達される信号に各配線に付した符号を用いて説明を行う。
図7に示す第1の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20が、ロウ接続状態切替信号RSW及びFD共通状態切替信号FDSWをロウレベルに維持する。これにより、実施の形態1にかかる画素アレイでは、各行のフローティングディフュージョンFDがそれぞれ独立した状態となる。そして、実施の形態1にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目の画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
次いで、タイミングT13において、n行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT14でn行目の第2の読み出しタイミング信号TG2を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD1Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD1Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。そして、選択信号SELをハイレベルからロウレベルに切り替えることで、n行目の画素ユニット23からの画素情報の読み出しが完了する。
なお、図7に示すように、1行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、読み出し対象とならない行に配置される画素ユニットに与えられる各種制御信号は、ロウレベルを維持する。
続いて、2つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第2の例について説明する。そこで、図8に実施の形態1にかかる画素アレイから2行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。
図8に示す第2の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20が、読み出し対象の行のうちn行目のロウ接続状態切替信号RSW及びFD共通状態切替信号FDSWを選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。また、読み出し対象の行のうちn+1行目のFD共通状態切替信号FDSWも選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。一方、n+1行目(読み出し対象の行の最上位行)のロウ接続状態切替信号RSWはロウレベルを維持する。これにより、実施の形態1にかかる画素アレイでは、n行目とn+1行目の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDを並列接続となり、n+2行目の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDは、n行目及びn+1行目の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDとは電気的に独立した状態となる。
そして、図8に示す第2の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目及びn+1行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目とn+1行目に配置される画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目及びn+1行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目及びn+1行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目及びn+1行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目及びn+1行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
次いで、タイミングT13において、n行目及びn+1行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目及びn+1行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目及びn+1行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT14でn行目及びn+1行目の第2の読み出しタイミング信号TG2を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD1Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD1Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。そして、選択信号SELをハイレベルからロウレベルに切り替えることで、n行目及びn+1行目の画素ユニット23からの画素情報の読み出しが完了する。
なお、図8に示すように、2行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、読み出し対象とならない行に配置される画素ユニットに与えられる各種制御信号は、ロウレベルを維持する。また、2行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、画素回路内で読み出し対象の画素ユニット内で生成された電荷が並列接続状態となったフローティングディフュージョンFDで合成された状態となる。また、読み出し対象の画素ユニット内の増幅トランジスタも出力配線に対して並列接続された状態となる。そのため、2行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、1行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合に比べて画素情報の大きさが約2倍となる。
続いて、図9に実施の形態1にかかる画素アレイから3行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。図9に示す第3の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20が、読み出し対象の行のうちn行目及びn+1行目のロウ接続状態切替信号RSW及びFD共通状態切替信号FDSWを選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。また、読み出し対象の行のうちn+2行目のFD共通状態切替信号FDSWも選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。一方、n+2行目(読み出し対象の行の最上位行)のロウ接続状態切替信号RSWはロウレベルを維持する。これにより、実施の形態1にかかる画素アレイでは、n行目からn+2行目の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDを並列接続した状態となる。
そして、図9に示す第3の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目からn+2行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目からn+2行目に配置される画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目からn+2行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目からn+2行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目からn+2行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目からn+2行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
次いで、タイミングT13において、n行目からn+2行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目からn+2行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目からn+2行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT14でn行目からn+2行目の第2の読み出しタイミング信号TG2を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD1Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD1Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。そして、選択信号SELをハイレベルからロウレベルに切り替えることで、n行目からn+2行目の画素ユニット23からの画素情報の読み出しが完了する。
なお、図9に示すように、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、読み出し対象とならない行に配置される画素ユニットに与えられる各種制御信号は、ロウレベルを維持する。また、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、画素回路内で読み出し対象の画素ユニット内で生成された電荷が並列接続状態となったフローティングディフュージョンFDで合成された状態となる。また、読み出し対象の画素ユニット内の増幅トランジスタも出力配線に対して並列接続された状態となる。そのため、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、1行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合に比べて画素情報の大きさが約3倍となる。
<複数の画素ユニットから読み出した画素情報のSN比の説明>
ここで、実施の形態1にかかる画素アレイにおいて読み出される画素情報のSN比について説明する。そこで、図10に実施の形態1にかかる撮像素子におけるSN比を説明する図を示す。まず、図10に示すように、実施の形態1にかる撮像素子では、画素から読み出した画素情報には、半導体に紛れ込む不純物に起因して発生するノイズ、或いは、電源に混入するノイズ等の影響により様々なノイズが混入する。図10に示す例では、これらノイズを分類して、画素ユニット内で発生する画素ノイズNpixと回路ノイズNcirを示した。また、実施の形態1にかかる撮像素子では、1対の画素から読み出した2つの画素情報に対して平均化処理を施すことで画素データを生成する。
図10の上図は、1行分の画素ユニットから読み出した画素情報のSN比を説明する図である。この図10の上図に示すように、1行分の画素ユニットから読み出した画素情報から生成した画素データのSN比は、(1)式で示される。
Figure 2017120975
一方、図10の下図は、3行分の画素ユニットから読み出した画素情報のSN比を説明する図である。この図10の下図に示すように、3行分の画素ユニットから読み出した画素情報から生成した画素データのSN比は、(2)式で示される。
Figure 2017120975
この(1)式と(2)式を比較すると、実施の形態1にかかる撮像素子が出力する画素データのSN比は、3行分の画素ユニットから一度に画素情報を読み出した場合のほうが3行分の画素ユニットから一度に画素情報を読み出した場合よりも高くなっていることがわかる。読み出し対象とする画素ユニットの数の違いによりこのようなSN比の差がでるのは、実施の形態1にかかる画素アレイが、画素ユニット内で電荷を合成した後に後段のアンプampL、ampRに画素情報を出力するため、画素情報の信号レベルがノイズレベルに対して大きくなるためである。
上記説明より、実施の形態1にかかる撮像素子15では、画素ユニット内のフローティングディフュージョンFDの並列数を切り替えるフローティングディフュージョンスイッチ及び共通状態切替スイッチを有する。これにより、実施の形態1にかかる撮像素子15では、画素アレイから出力される前の段階で行われる電荷の合成処理に基づき画素情報の信号レベルを大きくすることができるため、画素アレイから出力される画素情報のSN比を高めることができる。また、画素情報のSN比の向上により、コントラストの違いを得ることができる照度のダイナミックレンジの範囲を拡大することができる。
また、実施の形態1にかかる撮像素子15では、カラーフィルタが対応する色が同じ画素ユニットの間でフローティングディフュージョンFDの並列数を切り替える。これにより、実施の形態1にかかる撮像素子15では、画素情報の混色を防止することができる。
また、実施の形態1にかかる撮像素子15では、フローティングディフュージョンFDを並列化することで、画素ユニットの数に対する画素情報の数を減らすことができる。これにより、実施の形態1にかかる撮像素子15では、画素情報の読み出しにかかる時間を短縮することができる。例えば、実施の形態1にかかる撮像素子15は、1つの画素に配置される一対のフォトダイオードから出力される2つの画素情報の差に基づきオートフォーカス制御を行うための位相差情報を生成することができるが、このオートフォーカス制御で必要とされる画素数は画素アレイに配置される画素数よりも少なくてもよい。このようなことから、実施の形態1にかかる撮像素子15を用いることで、オートフォーカス制御時に読み出す画素情報を減らして、オートフォーカス制御に要する時間を短縮することができる。
実施の形態2
実施の形態2では、実施の形態1にかかる画素ユニット23の別の形態となる画素ユニット23aについて説明する。そこで、図11に実施の形態2にかかる画素ユニット23aの回路図を示す。
図11に示すように、実施の形態2にかかる画素ユニット23aは、実施の形態1にかかる画素ユニット23のフローティングディフュージョンスイッチRSWA、RSWB及び共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBに代えて第1から第4のフローティングディフュージョンスイッチ(例えば、フローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnB)を有する。
フローティングディフュージョンスイッチRSWpAは、列方向において上位方向(行番号が大きい方向)に隣接する上位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第1の共通フローティングディフュージョン配線(例えば、共通フローティングディフュージョン配線FDGu_A)と転送トランジスタTX0L、TX1Lが接続される第1のフローティングディフュージョンFDとの間に接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWpAは、ロウコントローラ20が出力する第1のロウ接続状態切替信号RSWpに基づき開閉状態が接続される。
フローティングディフュージョンスイッチRSWnAは、列方向において下位方向(行番号が小さい方向)に隣接する下位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第2の共通フローティングディフュージョン配線(例えば、共通フローティングディフュージョン配線FDGd_A)と転送トランジスタTX0L、TX1Lが接続される第1のフローティングディフュージョンFDとの間に接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWnAは、ロウコントローラ20が出力する第2のロウ接続状態切替信号RSWnに基づき開閉状態が接続される。
フローティングディフュージョンスイッチRSWpBは、列方向において上位方向(行番号が大きい方向)に隣接する上位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第3の共通フローティングディフュージョン配線(例えば、共通フローティングディフュージョン配線FDGu_B)と転送トランジスタTX0R、TX1Rが接続される第2のフローティングディフュージョンFDとの間に接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWpBは、ロウコントローラ20が出力する第1のロウ接続状態切替信号RSWpに基づき開閉状態が接続される。
フローティングディフュージョンスイッチRSWnBは、列方向において下位方向(行番号が小さい方向)に隣接する上位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第4の共通フローティングディフュージョン配線(例えば、共通フローティングディフュージョン配線FDGd_B)と転送トランジスタTX0R、TX1Rが接続される第2のフローティングディフュージョンFDとの間に接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWnBは、ロウコントローラ20が出力する第2のロウ接続状態切替信号RSWnに基づき開閉状態が接続される。
続いて、実施の形態2にかかる撮像素子の画素情報の読み出し動作について説明する。実施の形態2にかかる撮像素子では、一度の読み出し動作で読み出す画素情報を生成する画素ユニットの数を変更することができる。実施の形態2にかかる撮像素子においても同時に画素情報を読み出すことができる画素ユニットの数を変更できるが、以下の説明では、3つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第3の例のみを説明する。
ここで、実施の形態2にかかる撮像素子におけるロウコントローラ20の動作について説明する。実施の形態2では、ロウコントローラ20は、転送トランジスタ等の素子の開閉状態の制御に加えて、フローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBを制御する。具体的には、ロウコントローラ20は、電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も上位に位置する画素ユニットに属するフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWpBをオフし、電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も下位に位置する画素ユニットに属するフローティングディフュージョンスイッチRSWnA、RSWnBをオフする。また、ロウコントローラ20は、オフ状態にしたフローティングディフュージョンスイッチRSWpAとフローティングディフュージョンスイッチRSWnAに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpAとフローティングディフュージョンスイッチRSWnAをオンさせる。ロウコントローラ20は、オフ状態にしたフローティングディフュージョンスイッチRSWpB、とフローティングディフュージョンスイッチRSWnBに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpBとフローティングディフュージョンスイッチRSWnBをオンさせる。
図12に実施の形態2にかかる画素アレイから3行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。なお、図12の説明においては、各配線を介して伝達される信号に各配線に付した符号を用いて説明を行う。
図12に示す第3の例では、実施の形態2にかかるロウコントローラ20が、読み出し対象の行のうち最上位となるn+2行目の第1のロウ接続状態切替信号RSWp及び読み出した対象の行のうち最下位となるn行目の第2のロウ接続状態切替信号RSWnロウレベルで維持する。一方、実施の形態2にかかるロウコントローラ20は、ロウレベルに維持されるロウ接続状態切替信号が供給されるフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBに与える第1のロウ接続状態切替信号RSWp及び第2のロウ接続状態切替信号RSWnについては、選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。
そして、図12に示す第3の例では、実施の形態2にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目からn+2行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目からn+2行目に配置される画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目からn+2行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目からn+2行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目からn+2行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目からn+2行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
次いで、タイミングT13において、n行目からn+2行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目からn+2行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目からn+2行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT14でn行目からn+2行目の第2の読み出しタイミング信号TG2を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD1Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD1Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。そして、選択信号SELをハイレベルからロウレベルに切り替えることで、n行目からn+2行目の画素ユニット23からの画素情報の読み出しが完了する。
なお、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、画素回路内で読み出し対象の画素ユニット内で生成された電荷が並列接続状態となったフローティングディフュージョンFDで合成された状態となる。また、読み出し対象の画素ユニット内の増幅トランジスタも出力配線に対して並列接続された状態となる。そのため、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、1行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合に比べて画素情報の大きさが約3倍となる。
上記説明より、実施の形態2にかかる画素ユニット23aにおいても、実施の形態1にかかる画素ユニット23と同様に、画素ユニット内で画素情報の合成を行い、画素情報のSN比を高めることができる。
なお、実施の形態2にかかる画素ユニット23aでは、フローティングディフュージョンに接続されるトランジスタの数が、実施の形態1にかかる画素ユニット23よりも一つ多くなる。そのため、フローティングディフュージョンの寄生容量を増加させる場合、実施の形態1にかかる画素ユニット23のよりも実施の形態2にかかる画素ユニット23aの方が有利である。
実施の形態3
実施の形態3では、実施の形態1にかかる撮像素子15の別の形態となる撮像素子15aについて説明する。そこで、図13に実施の形態2にかかる撮像素子15aのフロアレイアウトの概略図を示す。なお、図13では、撮像素子15aのフロアレイアウトのうちロウコントローラ40、カラムコントローラ41、画素アレイ42のフロアレイアウトのみを示した。
図13に示すように、撮像素子15aは、ロウコントローラ40、カラムコントローラ41、画素アレイ42を有する。ロウコントローラ40は、実質的にロウコントローラ20と同じものであるが、読み出しタイミング信号として第1の読み出しタイミング信号から第4の読み出しタイミング信号を出力する点でロウコントローラ20とは異なる。カラムコントローラ41は、実質的にカラムコントローラ21と同じものであるが、同じ列に配置される画素ユニットから取得する出力信号の数が1つで有る点でカラムコントローラ21と異なる。
画素アレイ42には、画素ユニット43が格子状に配置される。図13に示す例においても、各画素ユニット43は、列方向に1個以上のフォトダイオードPDからなるフォトダイオード群を含む。より具体的には、各画素ユニット43は、2つのフォトダイオードにより構成される。なお、図13に示したフォトダイオードは、それぞれ1つのマイクロレンズの下部に2つのフォトダイオード(例えば、左光電変換素子と右光電変換素子)を含む。画素ユニット43では、列方向(図面横方向)に隣接する画素ユニット間で増幅トランジスタ及び出力配線を共有する。より具体的には、左側画素ユニットの右光電変換素子が接続される増幅トランジスタを、右側画素ユニットの左光電変換素子の出力にも用いる。そこで、以下で各画素ユニットの構成及び動作について説明する。
図14に実施の形態2にかかる撮像素子15aの画素ユニットの回路図を示す。図14では、2.5個分の画素ユニット43を示した。図14に示す画素ユニットの説明では、奇数列(例えば、m−1行目及びm+1行目)に配置される画素ユニット43において図面上側に配置されるフォトダイオードを第1の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD0L)、第2の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD0R)とし、図面下側に配置されるフォトダイオードを第3の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD1L)、第4の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD1R)とする。また、フォトダイオードPD0Lには第1の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX0L)が設けられ、フォトダイオードPD0Rには第2の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX0R)が設けられ、フォトダイオードPD1Lには第3の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX1L)が設けられ、フォトダイオードPD1Rには第4の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX1R)が設けられる。
一方、偶数列(例えば、m列目)に配置される画素ユニット43において図面上側に配置されるフォトダイオードを第5の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD2L)、第6の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD2R)とし、図面下側に配置されるフォトダイオードを第7の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD3L)、第8の光電変換素子(例えば、フォトダイオードPD3R)とする。また、フォトダイオードPD2Lには第5の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX2L)が設けられ、フォトダイオードPD2Rには第6の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX2R)が設けられ、フォトダイオードPD3Lには第7の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX3L)が設けられ、フォトダイオードPD3Rには第8の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX3R)が設けられる。
また、図14に示すように撮像素子15aでは、奇数列に配置される画素ユニット43に含まれる転送トランジスタTX0L、TX0Rのゲートに第1の読み出しタイミング信号配線TG1が接続される。奇数列に配置される画素ユニット43に含まれる転送トランジスタTX1L、TX1Rのゲートに第2の読み出しタイミング信号配線TG2が接続される。偶数列に配置される画素ユニット43に含まれる転送トランジスタTX2L、TX2Rのゲートに第3の読み出しタイミング信号配線TG3が接続される。偶数列に配置される画素ユニット43に含まれる転送トランジスタTX3L、TX3Rのゲートに第4の読み出しタイミング信号配線TG4が接続される。なお、各読み出しタイミング信号配線を介して伝達される読み出しタイミング信号は、互いに異なるタイミングでイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となる。
そして、図14に示すように、撮像素子15aでは、m+1列目移行に配置される画素ユニット43の左光電変換素子に対応するフォトダイオード(例えば、フォトダイオードPD2L)の出力は、当該画素ユニットの左側に配置される画素ユニットの第2の増幅トランジスタ(例えば、増幅トランジスタAMI1)と、隣接する画素ユニットの第2の出力配線(例えば、出力配線OUT1)と、を介して出力される。つまり、実施の形態2にかかる撮像素子15aは、左側に位置する画素ユニットの第2の増幅トランジスタ及び第2の出力配線を自画素ユニットの第1の増幅トランジスタ及び第1の出力配線として利用する。
また、実施の形態3にかかる画素ユニット43は、各行にフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWを有する。実施の形態3にかかる画素ユニット43では、奇数列に配置されるフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWを第1のフローティングディフュージョンスイッチRSW及び第1の共通状態切替スイッチFDSWとした場合、偶数列に配置されるフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWが第2のフローティングディフュージョンスイッチRSW及び第2の共通状態切替スイッチFDSWとなる。
この画素ユニット43に配置されるフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWの接続形態は、実施の形態1にかかる画素ユニット23と実質的に同じであるためここでは説明を省略する。
続いて、実施の形態3にかかる撮像素子15aの画素情報の読み出し動作について説明する。実施の形態3にかかる撮像素子15aは、一度の読み出し動作で読み出す画素情報を生成する画素ユニットの数を変更することができる。実施の形態3にかかる15aにおいても同時に画素情報を読み出すことができる画素ユニットの数を変更できるが、以下の説明では、3つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第3の例のみを説明する。
そこで、図15に実施の形態3にかかる画素アレイから3行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。図15に示す第3の例では、実施の形態3にかかるロウコントローラ20が、読み出し対象の行のうちn行目及びn+1行目のロウ接続状態切替信号RSW及びFD共通状態切替信号FDSWを選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。また、読み出し対象の行のうちn+2行目のFD共通状態切替信号FDSWも選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。一方、n+2行目(読み出し対象の行の最上位行)のロウ接続状態切替信号RSWはロウレベルを維持する。これにより、実施の形態1にかかる画素アレイでは、n行目からn+2行目の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDを並列接続した状態となる。
図15に示すように、実施の形態3にかかる撮像素子15aにおいても、選択信号SELがハイレベルの期間に読み出し対象のフォトダイオードからの出力が行われる(タイミングT21〜T28)。また、実施の形態3にかかる撮像素子15aにおいても、読み出すフォトダイオードを切り替える毎にリセット信号RSTをイネーブル状態(例えば、ハイレベル)とする(タイミングT21、T23、T25、T27)。そして、リセット信号RSTをディスイネーブル状態(例えば、ロウレベル)とした後に、読み出し対象のフォトダイオードに対応する読み出しタイミング信号をイネーブル状態とする(タイミングT22、T24、T26、T28)ことで各フォトダイオードから出力信号を出力する。なお、読み出しタイミング信号TG1〜TG4を変更することで読み出すフォトダイオードの順番を変更することができる。
ここで、図15に示すように、実施の形態3にかかる撮像素子15aにおいても、1つのマイクロレンズの下部に形成されるダイオード対からの出力は、1つのタイミングで同時に行われる。また、図15に示すように、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、読み出し対象とならない行に配置される画素ユニットに与えられる各種制御信号は、ロウレベルを維持する。また、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、画素回路内で読み出し対象の画素ユニット内で生成された電荷が並列接続状態となったフローティングディフュージョンFDで合成された状態となる。また、読み出し対象の画素ユニット内の増幅トランジスタも出力配線に対して並列接続された状態となる。そのため、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、1行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合に比べて画素情報の大きさが約3倍となる。
上記説明より、実施の形態3にかかる画素ユニット43を用いた撮像素子15aでは、実施の形態1にかかる撮像素子15と同様に、一度の読み出し動作で読み出し対象とする画素ユニットの数を変更することができる。ここで、実施の形態3にかかる画素ユニット43を用いた撮像素子15aでは、隣接する画素ユニット間で増幅トランジスタ、選択トランジスタ、リセットトランジスタ及び出力配線を共有する構成を有する。そのため、実施の形態3にかかる撮像素子15aは、実施の形態1にかかる撮像素子15よりもトランジスタ数を削減することができる。より具体的には、1つのフォトダイオード対に対するその他のトランジスタの数を検討すると、実施の形態1にかかる画素ユニット23は2.5トランジスタであるのに対して、実施の形態3にかかる画素ユニット43では1.5トランジスタである。
実施の形態4
実施の形態4では、実施の形態3にかかる画素ユニット43の別の形態となる画素ユニット43aについて説明する。そこで、図16に実施の形態4にかかる画素ユニット43aの回路図を示す。
図16に示すように、実施の形態4にかかる画素ユニット43aは、実施の形態3にかかる画素ユニット43のフローティングディフュージョンスイッチRSWA、RSWB及び共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBに代えて第1から第4のフローティングディフュージョンスイッチ(例えば、フローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnB)を有する。
ここで、ローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBの接続形態は、実施の形態2にかかる画素ユニット23における画素ユニットの接続形態と実質的に同じであるため、ここでは説明を省略する。
続いて、実施の形態4にかかる撮像素子の画素情報の読み出し動作について説明する。実施の形態4にかかる撮像素子では、一度の読み出し動作で読み出す画素情報を生成する画素ユニットの数を変更することができる。実施の形態2にかかる撮像素子においても同時に画素情報を読み出すことができる画素ユニットの数を変更できるが、以下の説明では、3つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第3の例のみを説明する。
ここで、実施の形態4にかかる撮像素子におけるロウコントローラ20の動作について説明する。実施の形態4では、ロウコントローラ20は、転送トランジスタ等の素子の開閉状態の制御に加えて、フローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBを制御する。具体的には、ロウコントローラ20は、電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も上位に位置する画素ユニットに属するフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWpBをオフし、電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も下位に位置する画素ユニットに属するフローティングディフュージョンスイッチRSWnA、RSWnBをオフする。また、ロウコントローラ20は、オフ状態にしたフローティングディフュージョンスイッチRSWpAとフローティングディフュージョンスイッチRSWnAに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpAとフローティングディフュージョンスイッチRSWnAをオンさせる。ロウコントローラ20は、オフ状態にしたフローティングディフュージョンスイッチRSWpB、とフローティングディフュージョンスイッチRSWnBに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpBとフローティングディフュージョンスイッチRSWnBをオンさせる。
そこで、図17に実施の形態4にかかる画素アレイから3行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。図17に示す第3の例では、実施の形態4にかかるロウコントローラ20が、読み出し対象の行のうち最上位となるn+2行目の第1のロウ接続状態切替信号RSWp及び読み出した対象の行のうち最下位となるn行目の第2のロウ接続状態切替信号RSWnロウレベルで維持する。一方、実施の形態4にかかるロウコントローラ20は、ロウレベルに維持されるロウ接続状態切替信号が供給されるフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBに与える第1のロウ接続状態切替信号RSWp及び第2のロウ接続状態切替信号RSWnについては、選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。
図17に示すように、実施の形態4にかかる撮像素子においても、選択信号SELがハイレベルの期間に読み出し対象のフォトダイオードからの出力が行われる(タイミングT21〜T28)。また、実施の形態4にかかる撮像素子においても、読み出すフォトダイオードを切り替える毎にリセット信号RSTをイネーブル状態(例えば、ハイレベル)とする(タイミングT21、T23、T25、T27)。そして、リセット信号RSTをディスイネーブル状態(例えば、ロウレベル)とした後に、読み出し対象のフォトダイオードに対応する読み出しタイミング信号をイネーブル状態とする(タイミングT22、T24、T26、T28)ことで各フォトダイオードから出力信号を出力する。なお、読み出しタイミング信号TG1〜TG4を変更することで読み出すフォトダイオードの順番を変更することができる。
ここで、図17に示すように、実施の形態4にかかる撮像素子においても、1つのマイクロレンズの下部に形成されるダイオード対からの出力は、1つのタイミングで同時に行われる。また、図17に示すように、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、読み出し対象とならない行に配置される画素ユニットに与えられる各種制御信号は、ロウレベルを維持する。また、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、画素回路内で読み出し対象の画素ユニット内で生成された電荷が並列接続状態となったフローティングディフュージョンFDで合成された状態となる。また、読み出し対象の画素ユニット内の増幅トランジスタも出力配線に対して並列接続された状態となる。そのため、3行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合、1行分の画素ユニットから画素情報を読み出す場合に比べて画素情報の大きさが約3倍となる。
上記説明より、実施の形態4にかかる画素ユニット43aにおいても、実施の形態1にかかる画素ユニット23と同様に、画素ユニット内で画素情報の合成を行い、画素情報のSN比を高めることができる。
なお、実施の形態4にかかる画素ユニット43aでは、フローティングディフュージョンに接続されるトランジスタの数が、実施の形態3にかかる画素ユニット43よりも一つ多くなる。そのため、フローティングディフュージョンの寄生容量を増加させる場合、実施の形態3にかかる画素ユニット43のよりも実施の形態4にかかる画素ユニット43aの方が有利である。
実施の形態5
実施の形態5では、実施の形態1にかかる画素ユニット23の別の形態について説明する。そこで、実施の形態5にかかる画素ユニット23bの回路図を図18に示す。図18に示すように、実施の形態5にかかる画素ユニット23bは、実施の形態1にかかる画素ユニット23から選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図18に示すように、実施の形態5にかかる画素ユニット23bでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット23bを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
続いて、実施の形態5にかかる画素ユニット23bの動作について説明する。そこで、図19に実施の形態5にかかる画素アレイから3行分の画素情報を一度に読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。以下の説明では、実施の形態1にかかる画素ユニット23の動作と異なる部分のみ説明する。
図19に示すように、実施の形態5にかかる撮像素子では、自画素ユニットが属する行が活性化される行選択期間以外の期間は、ドレインリセット信号RST_DRAINをディスイネーブル状態(例えば、ロウレベル、或いは、接地電圧レベル)とし、リセット信号RSTをイネーブル状態(例えば、ハイレベル、或いは、電源電圧レベル)とする。これにより、画素ユニット23bの増幅トランジスタのゲートにロウレベルの電圧が印加されるため、増幅トランジスタが遮断状態となる。
一方、実施の形態5にかかる撮像素子では、自画素ユニットが属する行が活性化される行選択期間は、ドレインリセット信号RST_DRAINをイネーブル状態(例えば、ハイレベル、或いは、電源電圧レベル)とし、リセット信号RSTをリセットタイミング(例えば、タイミングT11、T13)に応じてイネーブル状態(例えば、ハイレベル、或いは、電源電圧レベル)とする。これにより、実施の形態5にかかる撮像素子では、リセット信号RSTに応じてフローティングディフュージョンFDがリセットされる。また、実施の形態3にかかる撮像素子では、第1の読み出しタイミング信号TG1及び第2の読み出しタイミング信号TG2をイネーブル状態としたことに応じて(タイミングT12、T14)、出力配線にフォトダイオードからの出力信号が出力される。図19に示すように、実施の形態5にかかる撮像素子は、実施の形態1にかかる撮像素子15と同様に、フォトダイオード対を構成する2つのフォトダイオードの出力信号はそれぞれ同じタイミングで出力される。
上記説明より、実施の形態5にかかる画素ユニット23bにおいても、実施の形態1にかかる画素ユニット23と同様に、画素ユニット内で画素情報の合成を行い、画素情報のSN比を高めることができる。実施の形態5にかかる画素ユニット23bを有する撮像素子では、選択トランジスタを削除することで、実施の形態1にかかる撮像素子15よりもトランジスタ数を削減できる。
実施の形態6
実施の形態6では、実施の形態2にかかる画素ユニット23aの別の形態について説明する。そこで、実施の形態6にかかる画素ユニット23cの回路図を図20に示す。図20に示すように、実施の形態6にかかる画素ユニット23cは、実施の形態2にかかる画素ユニット23bから選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図20に示すように、実施の形態6にかかる画素ユニット23cでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット23cを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
実施の形態6にかかる画素ユニット23cの動作は、実施の形態2にかかる画素ユニット23aのリセット動作を実施の形態5にかかる画素ユニット23cと同様に行う部分が実施の形態2にかかる画素ユニット23bの動作と異なるのみであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
上記説明より、実施の形態6にかかる画素ユニット23cにおいても、実施の形態1にかかる画素ユニット23と同様に、画素ユニット内で画素情報の合成を行い、画素情報のSN比を高めることができる。実施の形態6にかかる画素ユニット23cを有する撮像素子では、選択トランジスタを削除することで、実施の形態2にかかる撮像素子15よりもトランジスタ数を削減できる。
実施の形態7
実施の形態7では、実施の形態3にかかる画素ユニット43の別の形態について説明する。そこで、実施の形態7にかかる画素ユニット43bの回路図を図21に示す。図21に示すように、実施の形態7にかかる画素ユニット43bは、実施の形態3にかかる画素ユニット43から選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図21に示すように、実施の形態7にかかる画素ユニット43bでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット43bを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
実施の形態7にかかる画素ユニット43bの動作は、実施の形態3にかかる画素ユニット43のリセット動作を実施の形態5にかかる画素ユニット23cと同様に行う部分が実施の形態3にかかる画素ユニット43の動作と異なるのみであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
上記説明より、実施の形態7にかかる画素ユニット43bにおいても、実施の形態1にかかる画素ユニット23と同様に、画素ユニット内で画素情報の合成を行い、画素情報のSN比を高めることができる。実施の形態7にかかる画素ユニット43bを有する撮像素子では、選択トランジスタを削除することで、実施の形態3にかかる撮像素子15aよりもトランジスタ数を削減できる。
実施の形態8
実施の形態8では、実施の形態4にかかる画素ユニット43aの別の形態について説明する。そこで、実施の形態8にかかる画素ユニット43cの回路図を図22に示す。図22に示すように、実施の形態8にかかる画素ユニット43cは、実施の形態4にかかる画素ユニット43aから選択トランジスタTSELA、TSELB、TSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図22に示すように、実施の形態8にかかる画素ユニット43cでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット23cを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
実施の形態8にかかる画素ユニット43cの動作は、実施の形態4にかかる画素ユニット43aのリセット動作を実施の形態5にかかる画素ユニット23cと同様に行う部分が実施の形態4にかかる画素ユニット43aの動作と異なるのみであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
上記説明より、実施の形態8にかかる画素ユニット43cにおいても、実施の形態1にかかる画素ユニット23と同様に、画素ユニット内で画素情報の合成を行い、画素情報のSN比を高めることができる。実施の形態8にかかる画素ユニット43cを有する撮像素子では、選択トランジスタを削除することで、実施の形態4にかかる撮像素子15aよりもトランジスタ数を削減できる。
実施の形態9
実施の形態9では、実施の形態1から実施の形態8で説明した画素ユニットから読み出した画素情報の処理方法について説明する。実施の形態1から実施の形態8で説明した画素ユニットは、1つのマイクロレンズに下部に設けられる1対のフォトダイオードから個別に画素情報を読み出すことができる。1対のフォトダイオードから個別に読み出された画素情報を合成することで、画像データを生成することができる。また、1対のフォトダイオードから個別に読み出された画素情報の差分情報は、オートフォーカス制御における位相差情報として利用することができる。
そこで、まず、カメラシステム1におけるフォーカスについて説明する。そこで、図23に撮像素子における位相差オートフォーカスの原理を説明する図を示す。図22では、撮像素子表面に形成される評価面(例えば、像面)とフォーカスレンズから入射した光の像が合焦する合焦面との位置関係を示した。
図22に示すように、フォーカスが一致している場合、フォーカスレンズから入射した光の像が合焦する合焦面は像面と一致する(図22の上図)。一方、フォーカスがずれている場合、フォーカスレンズから入射した光の像が合焦する合焦面は像面とは異なる位置に形成される(図22の下図)。この合焦面と像面とのズレ量がデフォーカス量となる。
ここで、フォーカスずれが生じている場合に像面で形成される像について説明する。そこで、図24に、フォーカスずれが生じている場合の光電変換素子の出力を説明するグラフを示す。図24では、横軸に光電変換素子のレンズ中心軸からの距離を示す像高を示し、縦軸に光電変換素子の出力の大きさを示した。
図24に示すように、フォーカスがずれている場合、左光電変換素子から出力される信号と、右光電変換素子から出力される信号と、が像高方向にずれる。この像ずれ量はデフォーカス量に比例する大きさである。そこで、カメラシステム1では、像ずれ量に基づきデフォーカス量を算出してフォーカスレンズ14の位置を決定する。
カメラシステム1のオートフォーカス処理では、撮像素子15の画素アレイ22に配置される全画素ユニットから出力される出力信号が左光電変換素子と右光電変換素子とで一致するようにフォーカスレンズ14の位置を制御する。また、カメラシステム1では、フォーカスレンズ14の位置の制御を、システム制御MCU19が撮像素子15から出力される解像度情報に基づき行う。
続いて、画素情報の合成処理による画像データの生成とオートフォーカスに用いる位相差情報(AFデータ)を生成するカメラシステム1のシステム構成について説明する。そこで、図25に実施の形態9にかかるカメラシステム1の構成例を説明する図を示す。なお、以下の説明ではシステム構成の違いを説明するために、例えば、特許文献1に示されている1つのマイクロレンズの下部に形成される1対のフォトダイオードから異なるタイミングで画素情報を読み出す例を比較例として説明を行う。
図25に示すように、比較例にかかるシステム構成では、左画素と右画素の画素情報が異なるタイミングで出力される。そのため、例えば、ISP等の信号処理回路内で先に出力される右画素の画素情報をSRAM等の記憶装置を用いて保持する必要がある。そして、比較例にかかるシステム構成では、SRAMに保持した右画素の画素情報と、右画素よりも遅れて画素から出力される左画素の画素情報と、を用いて加算処理及び差分処理を行う。この加算処理により右画素と左画素の画素情報を合成して画像データを生成する。また、差分処理では、右画素と左画素の画素情報の差分を算出することでAFデータを生成する。
一方、実施の形態9にかかるシステム構成では、撮像素子内に、加算処理部と差分処理とが設けられる。加算処理部では、第1の出力配線OUT_A及び第2の出力配線OUT_Bを介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報(例えば、左画素情報)と第2の画素情報(例えば、右画素情報)とを加算して画素データを生成する。差分処理部では、第1の出力配線OUT_A及び第2の出力配線OUT_Bを介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報(例えば、左画素情報)と第2の画素情報(例えば、右画素情報)との差分を位相差情報(例えば、AFデータ)として出力する。
続いて、実施の形態9にかかるカメラシステム1における画素情報の処理タイミングを説明する。そこで、図26に実施の形態9にかかるカメラシステムにおける画素情報の処理タイミングを説明する図を示す。
図26に示すように、比較例における画素情報の処理タイミングでは、後から出力される左画素情報を待って差分処理及び加算処理を行わなければならない。一方、実施の形態9にかかるカメラシステムでは、1つのタイミングで右画素と左画素とが出力される。そのため、実施の形態9にかかるカメラシステム1では、1つのタイミングで画素からの画素情報の出力と、加算処理と、差分処理と、が完了する。
上記説明より、実施の形態1から実施の形態8で説明した画素ユニットを利用することで、撮像素子内でAFデータ及び画像データを生成することができる。また、実施の形態1から実施の形態8で説明した画素ユニットを利用することで、AFデータ及び画像データの生成に要する時間を短縮することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。
1 カメラシステム
11 ズームレンズ
12 絞り機構
13 固定レンズ
14 フォーカスレンズ
15 撮像素子
16 ズームレンズアクチュエータ
17 フォーカスレンズアクチュエータ
18 信号処理回路
19 システム制御MCU
20 ロウコントローラ
21 カラムコントローラ
22 画素アレイ
42 画素アレイ
23 画素ユニット
43 画素ユニット
31 Nサブ層
32 Pウェル層
33 配線
34 配線
35 配線
36 カラーフィルタ
37 マイクロレンズ
40 ロウコントローラ
41 カラムコントローラ
ズームアクチュエータ16は、システム制御MCU19が出力するズーム制御信号SZCに基づきズームレンズ11を移動させる。フォーカスアクチュエータ17は、システム制御MCU19が出力するフォーカス制御信号SFCに基づきフォーカスレンズ14を移動させる。絞り機構12は、システム制御MCU19が出力する絞り制御信号SDCにより絞り量を調節する。
撮像素子15は、例えば、フォトダイオード等の受光素子を有し、当該受光素子から得られた受光画素情報をデジタル値に変換して画像情報Doを出力する。また、撮像素子15は、撮像素子15が出力する画像情報Doを解析して画像情報Doの特徴を表す画像特徴情報DCIを出力する。この画像特徴情報DCIには、後述するオートフォーカス処理において取得される2つの画像が含まれる。さらに、撮像素子15は、システム制御MCU19から与えられるセンサ制御信号SSCに基づき画像情報Doの画素毎のゲイン制御、画像情報Doの露光制御、及び、画像情報DoのHDR(High Dynamic Range)制御を行う。撮像素子15の詳細については後述する。
そして、画素ユニット23では、フォトダイオードPD0Lに対して第1の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX0L)が設けられ、フォトダイオードPD0Rに対して第2の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX0R)が設けられる。転送トランジスタTX0L及び転送トランジスタTX0Rのゲートには、共通する第1の読み出しタイミング信号を与える第1の読み出しタイミング信号配線TG1が接続される。また、画素ユニット23では、フォトダイオードPD1Lに対して第3の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX1L)が設けられ、フォトダイオードPD1Rに対して第4の転送トランジスタ(例えば、転送トランジスタTX1R)が設けられる。転送トランジスタTX1L及び転送トランジスタTX1Rのゲートには、共通する第2の読み出しタイミング信号を与える第2の読み出しタイミング信号配線TG2が接続される。この第2の読み出しタイミング信号は、第1の読み出しタイミング信号とは異なるタイミングでイネーブル状態となる。
第1の共通フローティングディフュージョン配線は、複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる。第1のフローティングディフュージョンスイッチ(例えば、フローティングディフュージョンスイッチRSWA)は、第1の共通フローティングディフュージョン配線上に設けられる。フローティングディフュージョンスイッチRSWAは、複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える。図3に示す例では、フローティングディフュージョンスイッチRSWAのソース側に接続される第1の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGu_Aとし、フローティングディフュージョンスイッチRSWAのドレイン側に接続される第1の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGd_Aとした。第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Aは、上位(行番号が大きい)に配置される上位隣接画素ユニットの第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aに接続される。第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aは、下位(行番号が小さい)に配置される下位隣接画素ユニットの第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Aに接続される。また、第1の共通状態切替スイッチ(例えば、共通状態切替スイッチFDSWA)は、転送トランジスタTX0L、TX1Lのドレインが接続される第1のフローティングディフュージョンと第1の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Aとの電気的な接続状態を切り替える。
第2の共通フローティングディフュージョン配線は、複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる。第2のフローティングディフュージョンスイッチ(例えば、フローティングディフュージョンスイッチRSWB)は、第2の共通フローティングディフュージョン配線上に設けられる。フローティングディフュージョンスイッチRSWBは、複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える。図3に示す例では、フローティングディフュージョンスイッチRSWBのソース側に接続される第2の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGu_Bとし、フローティングディフュージョンスイッチRSWBのドレイン側に接続される第2の共通フローティングディフュージョン配線の符号をFDGd_Bとした。第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Bは、上位(行番号が大きい)に配置される上位隣接画素ユニットの第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bに接続される。第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bは、下位(行番号が小さい)に配置される下位隣接画素ユニットの第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGu_Bに接続される。また、第2の共通状態切替スイッチ(例えば、共通状態切替スイッチFDSWB)は、転送トランジスタTX0L、TX1Lのドレインが接続される第2のフローティングディフュージョンと第2の共通フローティングディフュージョン配線FDGd_Bとの電気的な接続状態を切り替える。
なお、第1のフローティングディフュージョンスイッチRSWA及び第2のフローティングディフュージョンスイッチRSWBは、ロウコントローラ20から出力されるロウ接続状態切替信号RSWにより開閉状態が制御される。また、共通状態切替スイッチFDSWA及び共通状態切替スイッチFDSWBは、ロウコントローラ20から出力されるFD共通状態切替信号FDSWにより開閉状態が制御される。
図6に示すように、実施の形態1にかかる画素ユニットでは、列方向に並べられる画素ユニットの間に共通フローティングディフュージョン配線を設ける。そして、画素ユニット内のフローティングディフュージョン領域と共通フローティングディフュージョン配線FDGとの接続状態を共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBにより切り替える。また、共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBは、自画素ユニットと、自画素ユニットよりも下位に配置される画素ユニットとを接続する共通フローティングディフュージョン配線と、自画素ユニットのフローティングディフュージョン領域とを接続する。また、共通フローティングディフュージョン配線FDGと共通状態切替スイッチFDSWA、FDSWBとが接続される点と、自画素ユニットよりも上位に配置される画素ユニットとを接続するフローティングディフュージョンスイッチRSWAとRSWBは、共通フローティングディフュージョン配線上に設けられる。
図7に示す第1の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20が、ロウ接続状態切替信号RSW及びFD共通状態切替信号FDSWをロウレベルに維持する。これにより、実施の形態1にかかる画素アレイでは、各行のフローティングディフュージョンFDがそれぞれ独立した状態となる。そして、実施の形態1にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目の画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
そして、図9に示す第3の例では、実施の形態1にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目からn+2行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目からn+2行目に配置される画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目からn+2行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目からn+2行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目からn+2行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目からn+2行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
この(1)式と(2)式を比較すると、実施の形態1にかかる撮像素子が出力する画素データのSN比は、3行分の画素ユニットから一度に画素情報を読み出した場合のほうが1行分の画素ユニットから一度に画素情報を読み出した場合よりも高くなっていることがわかる。読み出し対象とする画素ユニットの数の違いによりこのようなSN比の差がでるのは、実施の形態1にかかる画素アレイが、画素ユニット内で電荷を合成した後に後段のアンプampL、ampRに画素情報を出力するため、画素情報の信号レベルがノイズレベルに対して大きくなるためである。
フローティングディフュージョンスイッチRSWpAは、列方向において上位方向(行番号が大きい方向)に隣接する上位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第1の共通フローティングディフュージョン配線(例えば、共通フローティングディフュージョン配線FDGu_A)と転送トランジスタTX0L、TX1Lが接続される第1のフローティングディフュージョンFDとの間に接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWpAは、ロウコントローラ20が出力する第1のロウ接続状態切替信号RSWpに基づき開閉状態が制御される。
フローティングディフュージョンスイッチRSWnBは、列方向において下位方向(行番号が小さい方向)に隣接する下位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第4の共通フローティングディフュージョン配線(例えば、共通フローティングディフュージョン配線FDGd_B)と転送トランジスタTX0R、TX1Rが接続される第2のフローティングディフュージョンFDとの間に接続される。フローティングディフュージョンスイッチRSWnBは、ロウコントローラ20が出力する第2のロウ接続状態切替信号RSWnに基づき開閉状態が制御される。
図12に示す第3の例では、実施の形態2にかかるロウコントローラ20が、読み出し対象の行のうち最上位となるn+2行目の第1のロウ接続状態切替信号RSWp及び読み出した対象の行のうち最下位となるn行目の第2のロウ接続状態切替信号RSWnロウレベルで維持する。一方、実施の形態2にかかるロウコントローラ20は、ロウレベルに維持されるロウ接続状態切替信号が供給されるフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBに与える第1のロウ接続状態切替信号RSWp及び第2のロウ接続状態切替信号RSWnについては、選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。
そして、図12に示す第3の例では、実施の形態2にかかるロウコントローラ20は、タイミングT11の前の期間においてn行目からn+2行目の選択信号SELをロウレベルからハイレベルに切り替える。これにより、n行目からn+2行目に配置される画素ユニットの選択トランジスタTSELA、TSELBが導通した状態となる。次いで、タイミングT11において、n行目からn+2行目のリセット信号RSTをロウレベルからハイレベルに立ち上げる。これにより、n行目からn+2行目の画素ユニットの各フローティングディフュージョンFDがリセットされる。そして、n行目からn+2行目のリセット信号を再度ロウレベルに切り替えた後に、タイミングT12でn行目からn+2行目の第1の読み出しタイミング信号TG1を立ち上げる。これにより、第1の出力配線OUT_AにフォトダイオードPD0Lから出力される電荷に基づいた出力信号が出力され、第2の出力配線OUT_BにフォトダイオードPD0Rから出力される電荷に基づいた出力信号が出力される。
そして、図14に示すように、撮像素子15aでは、m+1列目以降に配置される画素ユニット43の左光電変換素子に対応するフォトダイオード(例えば、フォトダイオードPD2L)の出力は、当該画素ユニットの左側に配置される画素ユニットの第2の増幅トランジスタ(例えば、増幅トランジスタAMI1)と、隣接する画素ユニットの第2の出力配線(例えば、出力配線OUT1)と、を介して出力される。つまり、実施の形態2にかかる撮像素子15aは、左側に位置する画素ユニットの第2の増幅トランジスタ及び第2の出力配線を自画素ユニットの第1の増幅トランジスタ及び第1の出力配線として利用する。
また、実施の形態3にかかる画素ユニット43は、各行にフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWを有する。実施の形態3にかかる画素ユニット43では、奇数列に配置されるフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWを第1のフローティングディフュージョンスイッチRSW及び第1の共通状態切替スイッチFDSWとした場合、偶数列に配置されるフローティングディフュージョンスイッチRSW及び共通状態切替スイッチFDSWが第2のフローティングディフュージョンスイッチRSW及び第2の共通状態切替スイッチFDSWとなる。
そこで、図15に実施の形態3にかかる画素アレイから3行分の画素情報の読み出す場合の動作を示すタイミングチャートを示す。図15に示す第3の例では、実施の形態3にかかるロウコントローラ40が、読み出し対象の行のうちn行目及びn+1行目のロウ接続状態切替信号RSW及びFD共通状態切替信号FDSWを選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。また、読み出し対象の行のうちn+2行目のFD共通状態切替信号FDSWも選択信号SELに合わせてロウレベルからハイレベルに切り替える。一方、n+2行目(読み出し対象の行の最上位行)のロウ接続状態切替信号RSWはロウレベルを維持する。これにより、実施の形態にかかる画素アレイでは、n行目からn+2行目の画素ユニットのフローティングディフュージョンFDを並列接続した状態となる。
ここで、ローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBの接続形態は、実施の形態2にかかる画素ユニット23aにおける画素ユニットの接続形態と実質的に同じであるため、ここでは説明を省略する。
続いて、実施の形態4にかかる撮像素子の画素情報の読み出し動作について説明する。実施の形態4にかかる撮像素子では、一度の読み出し動作で読み出す画素情報を生成する画素ユニットの数を変更することができる。以下の説明では、3つの画素ユニットで生成された画素情報を一度の読み出し動作で読み出す第3の例のみを説明する。
ここで、実施の形態4にかかる撮像素子におけるロウコントローラ40の動作について説明する。実施の形態4では、ロウコントローラ40は、転送トランジスタ等の素子の開閉状態の制御に加えて、フローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWnA、RSWpB、RSWnBを制御する。具体的には、ロウコントローラ40は、電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も上位に位置する画素ユニットに属するフローティングディフュージョンスイッチRSWpA、RSWpBをオフし、電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も下位に位置する画素ユニットに属するフローティングディフュージョンスイッチRSWnA、RSWnBをオフする。また、ロウコントローラ20は、オフ状態にしたフローティングディフュージョンスイッチRSWpAとフローティングディフュージョンスイッチRSWnAに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpAとフローティングディフュージョンスイッチRSWnAをオンさせる。ロウコントローラ40は、オフ状態にしたフローティングディフュージョンスイッチRSWpB、とフローティングディフュージョンスイッチRSWnBに挟まれるフローティングディフュージョンスイッチRSWpBとフローティングディフュージョンスイッチRSWnBをオンさせる。
実施の形態5
実施の形態5では、実施の形態1にかかる画素ユニット23の別の形態について説明する。そこで、実施の形態5にかかる画素ユニット23bの回路図を図18に示す。図18に示すように、実施の形態5にかかる画素ユニット23bは、実施の形態1にかかる画素ユニット23から選択トランジスタTSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図18に示すように、実施の形態5にかかる画素ユニット23bでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット23bを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
一方、実施の形態5にかかる撮像素子では、自画素ユニットが属する行が活性化される行選択期間は、ドレインリセット信号RST_DRAINをイネーブル状態(例えば、ハイレベル、或いは、電源電圧レベル)とし、リセット信号RSTをリセットタイミング(例えば、タイミングT11、T13)に応じてイネーブル状態(例えば、ハイレベル、或いは、電源電圧レベル)とする。これにより、実施の形態5にかかる撮像素子では、リセット信号RSTに応じてフローティングディフュージョンFDがリセットされる。また、実施の形態5にかかる撮像素子では、第1の読み出しタイミング信号TG1及び第2の読み出しタイミング信号TG2をイネーブル状態としたことに応じて(タイミングT12、T14)、出力配線にフォトダイオードからの出力信号が出力される。図19に示すように、実施の形態5にかかる撮像素子は、実施の形態1にかかる撮像素子15と同様に、フォトダイオード対を構成する2つのフォトダイオードの出力信号はそれぞれ同じタイミングで出力される。
実施の形態6
実施の形態6では、実施の形態2にかかる画素ユニット23aの別の形態について説明する。そこで、実施の形態6にかかる画素ユニット23cの回路図を図20に示す。図20に示すように、実施の形態6にかかる画素ユニット23cは、実施の形態2にかかる画素ユニット23aから選択トランジスタTSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図20に示すように、実施の形態6にかかる画素ユニット23cでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット23cを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
実施の形態6にかかる画素ユニット23cの動作は、実施の形態2にかかる画素ユニット23aのリセット動作を実施の形態5にかかる画素ユニット23bと同様に行う部分が実施の形態2にかかる画素ユニット23aの動作と異なるのみであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
実施の形態7
実施の形態7では、実施の形態3にかかる画素ユニット43の別の形態について説明する。そこで、実施の形態7にかかる画素ユニット43bの回路図を図21に示す。図21に示すように、実施の形態7にかかる画素ユニット43bは、実施の形態3にかかる画素ユニット43から選択トランジスタTSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図21に示すように、実施の形態7にかかる画素ユニット43bでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット43bを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
実施の形態7にかかる画素ユニット43bの動作は、実施の形態3にかかる画素ユニット43のリセット動作を実施の形態5にかかる画素ユニット23bと同様に行う部分が実施の形態3にかかる画素ユニット43の動作と異なるのみであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
実施の形態8
実施の形態8では、実施の形態4にかかる画素ユニット43aの別の形態について説明する。そこで、実施の形態8にかかる画素ユニット43cの回路図を図22に示す。図22に示すように、実施の形態8にかかる画素ユニット43cは、実施の形態4にかかる画素ユニット43aから選択トランジスタTSELA、TSELBを削除し、増幅トランジスタのソースを出力配線に直接接続したものである。また、図22に示すように、実施の形態8にかかる画素ユニット43cでは、リセットトランジスタRSTA、RSTB、RSTA、RSTBのドレインにドレインリセット配線RST_DRAINが接続される。このドレインリセット配線RST_DRAINには、画素ユニット43cを活性化させる期間にイネーブル状態(例えば、ハイレベル)となるドレインリセット信号が伝達される。
実施の形態8にかかる画素ユニット43cの動作は、実施の形態4にかかる画素ユニット43aのリセット動作を実施の形態5にかかる画素ユニット23bと同様に行う部分が実施の形態4にかかる画素ユニット43aの動作と異なるのみであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
そこで、まず、カメラシステム1におけるフォーカスについて説明する。そこで、図23に撮像素子における位相差オートフォーカスの原理を説明する図を示す。図23では、撮像素子表面に形成される評価面(例えば、像面)とフォーカスレンズから入射した光の像が合焦する合焦面との位置関係を示した。
23に示すように、フォーカスが一致している場合、フォーカスレンズから入射した光の像が合焦する合焦面は像面と一致する(図23の上図)。一方、フォーカスがずれている場合、フォーカスレンズから入射した光の像が合焦する合焦面は像面とは異なる位置に形成される(図23の下図)。この合焦面と像面とのズレ量がデフォーカス量となる。
一方、実施の形態9にかかるシステム構成では、撮像素子内に、加算処理部と差分処理部とが設けられる。加算処理部では、第1の出力配線OUT_A及び第2の出力配線OUT_Bを介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報(例えば、左画素情報)と第2の画素情報(例えば、右画素情報)とを加算して画素データを生成する。差分処理部では、第1の出力配線OUT_A及び第2の出力配線OUT_Bを介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報(例えば、左画素情報)と第2の画素情報(例えば、右画素情報)との差分を位相差情報(例えば、AFデータ)として出力する。

Claims (15)

  1. 格子状に配置される複数の画素ユニットを有する撮像素子であって、
    前記複数の画素ユニットは、それぞれ、
    第1の光電変換素子と、
    前記第1の光電変換素子に隣接し、前記第1の光電変換素子と共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する第2の光電変換素子と、
    前記第1の光電変換素子から電荷を読み出す第1の転送トランジスタと、
    前記第2の光電変換素子から電荷を読み出す第2の転送トランジスタと、
    共通する第1の読み出しタイミング信号与える第1の読み出しタイミング信号配線と、
    前記第1の転送トランジスタを介して読み出された電荷を蓄積する第1のフローティングディフュージョンと、
    前記第2の転送トランジスタを介して読み出された電荷を蓄積する第2のフローティングディフュージョンと、
    前記複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる第1の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線上であって、前記複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える第1のフローティングディフュージョンスイッチと、
    前記第1のフローティングディフュージョンと前記第1の共通フローティングディフュージョン配線との電気的な接続状態を切り替える第1の共通状態切替スイッチと、
    前記複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる第2の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線上であって、前記複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える第2のフローティングディフュージョンスイッチと、
    前記第2のフローティングディフュージョンと前記第2の共通フローティングディフュージョン配線との電気的な接続状態を切り替える第2の共通状態切替スイッチと、
    前記第1の転送トランジスタと前記第2の転送トランジスタとに共通する第1の読み出しタイミング信号を与える第1の読み出しタイミング信号配線と、
    前記第1のフローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づき生成される出力信号を出力する第1の出力配線と、
    前記第2のフローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づき生成される出力信号を出力する第2の出力配線と、を有する撮像素子。
  2. 前記複数の画素ユニットに設けられるマイクロレンズの下部には、カラーフィルタが設けられ、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線及び前記第2の共通フローティングディフュージョン配線は、異なる前記画素ユニットであって、前記マイクロレンズの下部に形成されるカラーフィルタが同色の画素ユニットの間を接続する請求項1に記載の撮像素子。
  3. 前記カラーフィルタはベイヤー方式で配置される請求項2に記載の撮像素子。
  4. 前記第1のフローティングディフュージョンスイッチ、前記第2のフローティングディフュージョンスイッチ、前記第1の共通状態切替スイッチ及び前記第2の共通状態切替スイッチを制御するロウコントローラを有し、
    前記ロウコントローラは、
    前記電荷を同時に読み出す画素ユニットの数に応じて、前記第1の共通フローティングディフュージョン配線及び前記第2の共通フローティングディフュージョン配線上において連続してオンさせる前記第1のフローティングディフュージョンスイッチ及び前記第2のフローティングディフュージョンスイッチの数を決定し、
    前記電荷を同時に読み出す画素ユニット内の前記第1の共通状態切替スイッチ及び前記第2の共通状態切替スイッチをオンさせる請求項1に記載の撮像素子。
  5. 前記第1の転送トランジスタを介して出力される電荷により生じる第1の電圧を増幅して前記第1の出力配線に出力する第1の増幅トランジスタと、
    前記第2の転送トランジスタを介して出力される電荷により生じる第2の電圧を増幅して前記第2の出力配線に出力する第2の増幅トランジスタと、
    を有する請求項1に記載の撮像素子。
  6. 第3の光電変換素子と、
    前記第3の光電変換素子に隣接し、前記第3の光電変換素子と共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する第4の光電変換素子と、
    前記第3の光電変換素子から電荷を読み出し、前記第1の増幅トランジスタに読み出した電荷により生じる第3の電圧を出力する第3の転送トランジスタと、
    前記第4の光電変換素子から電荷を読み出し、前記第2の増幅トランジスタに読み出した電荷により生じる第4の電圧を出力する第4の転送トランジスタと、
    前記第3の転送トランジスタと前記第4の転送トランジスタとに共通し、かつ、前記第1の読み出しタイミング信号とは異なるタイミングでイネーブル状態となる第2の読み出しタイミング信号を与える第2の読み出しタイミング信号配線と、
    を有する請求項5に記載の撮像素子。
  7. 第5の光電変換素子と、
    前記第5の光電変換素子に隣接し、前記第5の光電変換素子と共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する第6の光電変換素子と、
    前記第5の光電変換素子から電荷を読み出し、前記第2の増幅トランジスタに読み出した電荷により生じる第5の電圧を出力する第5の転送トランジスタと、
    前記第6の光電変換素子から電荷を読み出す第6の転送トランジスタと、
    前記第5の転送トランジスタと前記第6の転送トランジスタとに共通し、かつ、前記第1の読み出しタイミング信号とは異なるタイミングでイネーブル状態となる第3の読み出しタイミング信号を与える第3の読み出しタイミング信号配線と、を有し、
    前記第5の転送トランジスタを介して出力される電荷により生じる第5の電圧を前記第2の増幅トランジスタにより増幅して前記第2の出力配線に出力する請求項5に記載の撮像素子。
  8. 前記第1の増幅トランジスタと前記第1の出力配線との間に設けられる第1の選択トランジスタと、
    前記第2の増幅トランジスタと前記第2の出力配線との間に設けられる第2の選択トランジスタと、
    前記第1の選択トランジスタ及び前記第2の選択トランジスタに共通する選択信号を与える選択信号配線と、
    を有する請求項5に記載の撮像素子。
  9. ドレインが前記第1の増幅トランジスタのゲートと電気的に接続され、ソースにリセット電圧が印加される第1のリセットトランジスタと、
    ドレインが前記第2の増幅トランジスタのゲートと電気的に接続され、ソースに前記リセット電圧が印加される第2のリセットトランジスタと、
    前記第1のリセットトランジスタ及び前記第2のリセットトランジスタに居欝するリセット信号を与えるリセット信号配線と、
    を有する請求項5に記載の撮像素子。
  10. 格子状に配置される複数の画素ユニットを有する撮像素子であって、
    前記複数の画素ユニットは、それぞれ、
    第1の光電変換素子と、
    前記第1の光電変換素子に隣接し、前記第1の光電変換素子と共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する第2の光電変換素子と、
    前記第1の光電変換素子から電荷を読み出す第1の転送トランジスタと、
    前記第2の光電変換素子から電荷を読み出す第2の転送トランジスタと、
    前記第1の転送トランジスタを介して読み出された電荷を蓄積する第1のフローティングディフュージョンと、
    前記第2の転送トランジスタを介して読み出された電荷を蓄積する第2のフローティングディフュージョンと、
    列方向において上位方向に隣接する上位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第1の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線と前記第1のフローティングディフュージョンとを接続する第1のフローティングディフュージョンスイッチと、
    列方向において下位方向に隣接する下位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第2の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第2の共通フローティングディフュージョン配線と前記第1のフローティングディフュージョンとを接続する第2のフローティングディフュージョンスイッチと、
    列方向において上位方向に隣接する上位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第3の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第3の共通フローティングディフュージョン配線と前記第2のフローティングディフュージョンとを接続する第3のフローティングディフュージョンスイッチと、
    列方向において下位方向に隣接する下位隣接画素ユニットに対して共通に設けられる第4の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第4の共通フローティングディフュージョン配線と前記第2のフローティングディフュージョンとを接続する第4のフローティングディフュージョンスイッチと、
    前記第1の転送トランジスタと前記第2の転送トランジスタとに共通する第1の読み出しタイミング信号を与える第1の読み出しタイミング信号配線と、
    前記第1のフローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づき生成される出力信号を出力する第1の出力配線と、
    前記第2のフローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づき生成される出力信号を出力する第2の出力配線と、を有する撮像素子。
  11. 前記複数の画素ユニットに設けられるマイクロレンズの下部には、カラーフィルタが設けられ、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線から前記第4の共通フローティングディフュージョン配線は、異なる前記画素ユニットであって、前記マイクロレンズの下部に形成されるカラーフィルタが同色の画素ユニットの間を接続する請求項10に記載の撮像素子。
  12. 前記カラーフィルタはベイヤー方式で配置される請求項11に記載の撮像素子。
  13. 前記第1のフローティングディフュージョンスイッチから前記第4のフローティングディフュージョンスイッチを制御するロウコントローラを有し、
    前記ロウコントローラは、
    前記電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も上位に位置する画素ユニットに属する前記第1のフローティングディフュージョンスイッチ及び前記第3のフローティングディフュージョンスイッチをオフし、
    前記電荷を同時に読み出す画素ユニットのうち最も下位に位置する画素ユニットに属する前記第2のフローティングディフュージョンスイッチ及び前記第4のフローティングディフュージョンスイッチをオフし、
    オフ状態にした前記第1のフローティングディフュージョンスイッチと前記第2のフローティングディフュージョンスイッチに挟まれる前記第1のフローティングディフュージョンスイッチと前記第2のフローティングディフュージョンスイッチをオンさせ、
    オフ状態にした前記第3のフローティングディフュージョンスイッチと前記第4のフローティングディフュージョンスイッチに挟まれる前記第3のフローティングディフュージョンスイッチと前記第4のフローティングディフュージョンスイッチをオンさせる請求項10に記載の撮像素子。
  14. 前記第1の出力配線及び前記第2の出力配線を介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報と第2の画素情報とを加算して画素データを生成する加算処理部と、
    前記第1の出力配線及び前記第2の出力配線を介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報と第2の画素情報との差分を位相差情報として出力する差分処理部と、
    を有する請求項10に記載の撮像素子。
  15. 格子状に配置される複数の画素ユニットを有する撮像素子であって、
    前記複数の画素ユニットと、
    加算処理部と、
    差分処理部と、を有し、
    前記複数の画素ユニットは、それぞれ、
    第1の光電変換素子と、
    前記第1の光電変換素子に隣接し、前記第1の光電変換素子と共通に設けられるマイクロレンズを介して入射する光を受光する第2の光電変換素子と、
    前記第1の光電変換素子から電荷を読み出す第1の転送トランジスタと、
    前記第2の光電変換素子から電荷を読み出す第2の転送トランジスタと、
    前記第1の転送トランジスタを介して読み出された電荷を蓄積する第1のフローティングディフュージョンと、
    前記第2の転送トランジスタを介して読み出された電荷を蓄積する第2のフローティングディフュージョンと、
    前記複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる第1の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線上であって、前記複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える第1のフローティングディフュージョンスイッチと、
    前記第1のフローティングディフュージョンと前記第1の共通フローティングディフュージョン配線との電気的な接続状態を切り替える第1の共通状態切替スイッチと、
    前記複数の画素ユニットのうち列方向に隣接する画素ユニットに対して共通に設けられる第2の共通フローティングディフュージョン配線と、
    前記第1の共通フローティングディフュージョン配線上であって、前記複数の画素ユニットの間を電気的に接続するか否かを切り替える第2のフローティングディフュージョンスイッチと、
    前記第2のフローティングディフュージョンと前記第2の共通フローティングディフュージョン配線との電気的な接続状態を切り替える第2の共通状態切替スイッチと、
    前記第1の転送トランジスタと前記第2の転送トランジスタとに共通する第1の読み出しタイミング信号を与える第1の読み出しタイミング信号配線と、
    前記第1のフローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づき生成される出力信号を出力する第1の出力配線と、
    前記第2のフローティングディフュージョンに蓄積された電荷に基づき生成される出力信号を出力する第2の出力配線と、を有し、
    前記加算処理部は、前記第1の出力配線及び前記第2の出力配線を介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報と第2の画素情報とを加算して画素データを生成し、
    前記差分処理部は、前記第1の出力配線及び前記第2の出力配線を介して同一の出力タイミングで出力された第1の画素情報と第2の画素情報との差分を位相差情報として出力する撮像素子。
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