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JP2017111955A - Magnetron - Google Patents

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JP2017111955A
JP2017111955A JP2015244942A JP2015244942A JP2017111955A JP 2017111955 A JP2017111955 A JP 2017111955A JP 2015244942 A JP2015244942 A JP 2015244942A JP 2015244942 A JP2015244942 A JP 2015244942A JP 2017111955 A JP2017111955 A JP 2017111955A
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Japan
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anode
peripheral portion
anode cylinder
graphene
magnetron
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Application number
JP2015244942A
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Japanese (ja)
Inventor
晋 菅野
Susumu Sugano
晋 菅野
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Toshiba Hokuto Electronics Corp
Original Assignee
Toshiba Hokuto Electronics Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Hokuto Electronics Corp filed Critical Toshiba Hokuto Electronics Corp
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Abstract

【課題】従来と同等以上の性能を有しながら銅材の使用量を減らしたマグネトロンを実現する。
【解決手段】アノードシリンダ12を、内周部12Aと外周部12Bからなる二重構造とし、内側の内周部12Aに、非磁性の無酸素銅ではなく、非磁性の無酸素銅と比べて、強度、導電率、融点、熱電動率が総じて高く、高温化でのガス放出も極めて少ないグラフェンを用いるようにした。これにより、従来のマグネトロンと同等以上の性能を有しながら、銅材の使用量を減らしたマグネトロン1を実現できる。
【選択図】図2
A magnetron is provided that has a performance equal to or better than that of a conventional one but uses less copper.
An anode cylinder 12 has a double structure including an inner peripheral portion 12A and an outer peripheral portion 12B, and an inner inner peripheral portion 12A is not made of nonmagnetic oxygen-free copper but compared with nonmagnetic oxygen-free copper. In addition, graphene is generally used which has high strength, electrical conductivity, melting point, and thermoelectricity, and extremely little outgassing at high temperatures. Thereby, it is possible to realize a magnetron 1 that has a performance equal to or better than that of a conventional magnetron and that uses a reduced amount of copper.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、マグネトロンに関するものであり、電子レンジ等のマイクロ波加熱機器に用いられる連続波マグネトロンに適用して好適なものである。   The present invention relates to a magnetron, and is suitable for application to a continuous wave magnetron used in microwave heating equipment such as a microwave oven.

2450MHz帯の電波を発振する一般的な電子レンジ用マグネトロンは、発振部と入力部と出力部とを有している。発振部は、筒状の陽極円筒(アノードシリンダ)と、このアノードシリンダの内周面から中心の管軸に向かって突出する複数のベインと、複数のベインを交互に短絡する径の異なる大小2つのストラップリングとを有するアノード部と、アノードシリンダの中心軸(すなわち管軸)上に配置された螺旋状陰極(カソード)を有するカソード部と、アノードシリンダの中心軸方向の両端に配置された一対のポールピースなどで構成されている。   A general magnetron for microwave ovens that oscillates radio waves in the 2450 MHz band has an oscillation unit, an input unit, and an output unit. The oscillating portion includes a cylindrical anode cylinder (anode cylinder), a plurality of vanes protruding from the inner peripheral surface of the anode cylinder toward the central tube axis, and different sizes 2 having different diameters that alternately short-circuit the plurality of vanes. A pair of anode portions having two strap rings, a cathode portion having a spiral cathode (cathode) disposed on the central axis (that is, the tube axis) of the anode cylinder, and a pair disposed at both ends in the central axis direction of the anode cylinder It consists of pole pieces.

このような構成でなるマグネトロンは、入力部からカソードに電流を供給することでアノード部とカソード部との間に電圧を印加すると、発振部がマイクロ波発振して、出力部からマイクロ波を出力するようになっている(例えば特許文献1参照)。   In a magnetron configured in this way, when a voltage is applied between the anode part and the cathode part by supplying a current from the input part to the cathode, the oscillating part oscillates and outputs a microwave from the output part. (For example, refer to Patent Document 1).

特開2015−046360号公報JP, 2015-046360, A

ところで、マグネトロンが所望の性能を有するには、アノード部の素材として、アノード部に要求される電気伝導性、熱電動性、ガスバリア性、機械的強度などの物性に優れた素材を用いる必要があり、従来、このような条件に適合する素材として非磁性の無酸素銅が用いられている。   By the way, in order for the magnetron to have desired performance, it is necessary to use a material excellent in physical properties such as electrical conductivity, thermoelectricity, gas barrier property, and mechanical strength required for the anode part as a material for the anode part. Conventionally, nonmagnetic oxygen-free copper has been used as a material that meets such conditions.

このような非磁性の無酸素銅などの銅材は、価格が上昇しつつあり、マグネトロンのコストを下げる為には、銅材の使用量を減らすことが望ましい。しかしながら、単純に銅材を他の素材に変えると、その素材の物性によっては、マグネトロンの性能が低下してしまう。   The price of copper materials such as non-magnetic oxygen-free copper is increasing, and it is desirable to reduce the amount of copper material used in order to reduce the cost of the magnetron. However, if the copper material is simply changed to another material, the performance of the magnetron will deteriorate depending on the physical properties of the material.

そこで、本発明は、上記課題を解決する為になされたものであり、従来と同等以上の性能を有しながら銅材の使用量を減らしたマグネトロンを提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a magnetron that has a performance equal to or higher than that of the conventional one and reduces the amount of copper material used.

上記目的を達成する為に、本発明に係るマグネトロンは、管軸に沿って円筒状に延びるアノードシリンダと、前記アノードシリンダの内面から、前記管軸に向かって延び、遊端がベイン内接円を形成する複数のベインと、前記複数のベインを交互に短絡する径の異なる大小2つのストラップリングとを有するアノード部と、前記複数のベインの遊端によって形成される空間内に前記管軸に沿って配置されたカソードを有するカソード部とを具備し、前記アノード部の一部又は全部がグラフェンを構成要素とする炭素材により形成されていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a magnetron according to the present invention includes an anode cylinder extending in a cylindrical shape along a tube axis, an inner surface of the anode cylinder extending toward the tube axis, and a free end having a vane inscribed circle. And an anode portion having two strap rings having different diameters that alternately short-circuit the plurality of vanes, and a space formed by the free ends of the plurality of vanes. A cathode portion having a cathode disposed along the same, and a part or all of the anode portion is formed of a carbon material having graphene as a constituent element.

本発明によれば、アノード部の一部又は全部に、銅材ではなくグラフェンを構成要素とする炭素材を用いるようにした。グラフェンを構成要素とする炭素材は銅材と同等以上の物性(電気伝導性、熱電動性、ガスバリア性、機械的強度など)を有している為、従来と同等以上の性能を有しながら銅材の使用量を減らしたマグネトロンを実現できる。   According to the present invention, a carbon material containing graphene instead of a copper material is used for part or all of the anode portion. Graphene-based carbon materials have physical properties equivalent to or better than copper materials (electrical conductivity, thermoelectricity, gas barrier properties, mechanical strength, etc.) A magnetron with a reduced amount of copper material can be realized.

本発明に係るマグネトロンの全体の縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view of the whole magnetron based on this invention. 本発明に係るマグネトロンの冷却フィンの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of the cooling fin of the magnetron based on this invention.

本発明に係るマグネトロンの一実施の形態を、図面を参照して説明する。尚、以下の実施の形態は、単なる例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。   An embodiment of a magnetron according to the present invention will be described with reference to the drawings. The following embodiment is merely an example, and the present invention is not limited to this.

[1.マグネトロンの構成]
図1は、本実施の形態のマグネトロン1の構成の概略を示す図である。この図1は、マグネトロン1の中心軸である管軸mと直交する方向から見た場合の側面図であり、一部(主に左半分)が縦断面図となっている。このマグネトロン1は、2450MHz帯のマイクロ波を発生する電子レンジ用のマグネトロンである。マグネトロン1は、2450MHz帯のマイクロ波を発生する発振部2、発振部2の中心に位置するカソード3に電力を供給する入力部4、発振部2から発振されたマイクロ波を管外(マグネトロン1外)に取り出す出力部5を有している。発振部2、入力部4及び出力部5は、管軸mに沿って設けられている。つまり、発振部2の管軸方向の一端側(図中下側)に入力部4が設けられ、他端側(図中上側)に出力部5が設けられている。
[1. Magnetron Configuration]
FIG. 1 is a diagram showing an outline of the configuration of the magnetron 1 of the present embodiment. FIG. 1 is a side view when viewed from a direction orthogonal to the tube axis m, which is the central axis of the magnetron 1, and a part (mainly the left half) is a longitudinal sectional view. The magnetron 1 is a magnetron for a microwave oven that generates microwaves in the 2450 MHz band. The magnetron 1 includes an oscillation unit 2 that generates microwaves in the 2450 MHz band, an input unit 4 that supplies power to the cathode 3 located at the center of the oscillation unit 2, and the microwaves oscillated from the oscillation unit 2 (magnetron 1 The output unit 5 is taken out to the outside. The oscillation unit 2, the input unit 4, and the output unit 5 are provided along the tube axis m. That is, the input unit 4 is provided on one end side (lower side in the drawing) of the oscillation unit 2 in the tube axis direction, and the output unit 5 is provided on the other end side (upper side in the drawing).

これら入力部4及び出力部5は、それぞれ発振部2に対し、入力側の金属封着体6及び出力側の金属封着体7によって真空気密に接合されている。これにより、発振部2内は真空状態に保たれるようになっている。   The input unit 4 and the output unit 5 are joined to the oscillating unit 2 in a vacuum-tight manner by a metal seal 6 on the input side and a metal seal 7 on the output side, respectively. Thereby, the inside of the oscillation part 2 is kept in a vacuum state.

発振部2は、アノード部10とカソード部11とを有している。アノード部10は、アノードシリンダ12と、複数枚(例えば10枚)のベイン13と、4本の円環状のストラップリング14とを有している。アノードシリンダ12は、円筒状に形成され、その中心軸が、マグネトロン1の中心軸である管軸mを通るように配置されている。   The oscillation unit 2 includes an anode unit 10 and a cathode unit 11. The anode unit 10 includes an anode cylinder 12, a plurality of (for example, ten) vanes 13, and four annular strap rings 14. The anode cylinder 12 is formed in a cylindrical shape, and is arranged so that its central axis passes through the tube axis m, which is the central axis of the magnetron 1.

各ベイン13は、板状に形成され、アノードシリンダ12の内側に管軸mを中心に放射状に配置されている。各ベイン13の外側の端部はアノードシリンダ12の内周面に接合され、内側の端部は遊端になっている。そして、複数枚のベイン13の遊端に囲まれた円筒状の空間が電子作用空間となっている。4本のストラップリング14は、大小2本を1組として、複数枚のベイン13の管軸m方向の上端側と下端側とにそれぞれに1組ずつ固定されている。   Each vane 13 is formed in a plate shape, and is arranged radially around the tube axis m inside the anode cylinder 12. The outer end of each vane 13 is joined to the inner peripheral surface of the anode cylinder 12, and the inner end is a free end. A cylindrical space surrounded by the free ends of the plurality of vanes 13 is an electron action space. The four strap rings 14 are fixed to the upper end side and the lower end side in the tube axis m direction of the plurality of vanes 13 as a set of two large and small ones.

カソード部11は、カソード3、2つのエンドハット15、16、2本のサポートロッド17を有している。尚、サポートロッド17は、エンドハット15に接続される1本と、エンドハット16に接続される1本の計2本存在するが、図中では、エンドハット15に接続される方のサポートロッド17については省略している。カソード3は、螺旋状の陰極であり、電子作用空間の管軸m上に設けられている。このカソード3の入力側の端部(下端部)と出力側の端部(上端部)とに、それぞれ電子の飛び出しを防ぐ為のエンドハット15、16が固定されている。   The cathode portion 11 includes a cathode 3, two end hats 15, 16, and two support rods 17. There are two support rods 17 in total, one connected to the end hat 15 and one connected to the end hat 16. In the figure, the support rod 17 connected to the end hat 15 is supported. 17 is omitted. The cathode 3 is a spiral cathode and is provided on the tube axis m of the electron action space. End hats 15 and 16 are fixed to the input side end (lower end) and output side end (upper end) of the cathode 3 to prevent electrons from jumping out.

さらにカソード3は、エンドハット15、16を介して、サポートロッド17と接続されている。サポートロッド17は、中継板20を介して管外へ導出されている。   Further, the cathode 3 is connected to the support rod 17 via the end hats 15 and 16. The support rod 17 is led out of the pipe via the relay plate 20.

さらに、発振部2には、アノードシリンダ12の入力側の端部(下端部)の内側と出力側の端部(上端部)の内側に、一対のポールピース21、22が、エンドハット15、16の間の空間を挟むように対向して設けられている。   Further, the oscillating portion 2 includes a pair of pole pieces 21 and 22 on the inner side of the input side end portion (lower end portion) and the output side end portion (upper end portion) of the anode cylinder 12. 16 are provided so as to face each other with a space between 16 interposed therebetween.

入力側のポールピース21には、その中央部に、貫通孔が設けられ、この貫通孔を中心として、入力側(下方)に向かって広がる漏斗状に形成されている。一方、出力側のポールピース22も、その中央部に、貫通孔が設けられ、この貫通孔を中心として、出力側(上方)に向かって広がる漏斗状に形成されている。これらポールピース21、22は、それぞれ貫通孔の中心を管軸mが通るように配置される。   The pole piece 21 on the input side is provided with a through hole in the center thereof, and is formed in a funnel shape that extends toward the input side (downward) with the through hole as a center. On the other hand, the pole piece 22 on the output side is also provided with a through hole at the center, and is formed in a funnel shape that extends toward the output side (upward) with the through hole as a center. These pole pieces 21 and 22 are arranged such that the tube axis m passes through the center of the through hole.

さらに、入力側のポールピース21には、外周部に、管軸m方向に延びる略筒状の金属封着体6の上端部が固着されている。この金属封着体6は、アノードシリンダ12の下端部に気密状態で固定されている。一方、出力側のポールピース22には、外周部に、管軸m方向に延びる略筒状の金属封着体7の下端部が固着されている。この金属封着体7は、アノードシリンダ12の上端部に気密状態で固定されている。   Furthermore, the upper end portion of the substantially cylindrical metal sealing body 6 extending in the tube axis m direction is fixed to the outer periphery of the pole piece 21 on the input side. The metal sealing body 6 is fixed to the lower end portion of the anode cylinder 12 in an airtight state. On the other hand, the lower end portion of the substantially cylindrical metal sealing body 7 extending in the tube axis m direction is fixed to the outer periphery of the pole piece 22 on the output side. The metal seal 7 is fixed to the upper end of the anode cylinder 12 in an airtight state.

入力側の金属封着体6は、その下端部に、入力部4を構成するセラミックステム23が気密状態で接合されている。つまり、セラミックステム23に植立されたサポートロッド17は、金属封着体6の内側を通ってカソード3に接続されている。   The ceramic seal 23 which comprises the input part 4 is joined to the lower end part of the metal sealing body 6 on the input side in an airtight state. That is, the support rod 17 planted on the ceramic stem 23 is connected to the cathode 3 through the inside of the metal sealing body 6.

一方、出力側の金属封着体7は、その上端部に、出力部5を構成するセラミックでなる絶縁筒24が気密接合されていて、さらに絶縁筒24の上端には排気管25が気密接合されている。さらに、複数のベイン13のうちの1つから導出されたアンテナ26が、出力側のポールピース22を貫通し、金属封着体7の内側を通ってその上端側へと延び、先端が排気管25に挟持され気密状態で固定されている。   On the other hand, the output side metal sealing body 7 has an insulating tube 24 made of ceramic constituting the output unit 5 hermetically joined to the upper end portion thereof, and an exhaust pipe 25 is hermetically joined to the upper end of the insulating tube 24. Has been. Further, an antenna 26 led out from one of the plurality of vanes 13 passes through the pole piece 22 on the output side, extends to the upper end side through the inside of the metal seal 7, and the tip is the exhaust pipe 25 and is fixed in an airtight state.

金属封着体6、7の外側には、アノードシリンダ12を管軸m方向に挟むように、一対のリング状の磁石30、31が対向して設けられている。さらに、アノードシリンダ12と磁石30、31は、ヨーク32によって囲われていて、一対の磁石30、31とヨーク32によって強固な磁気回路が形成されている。   A pair of ring-shaped magnets 30 and 31 are provided on the outside of the metal sealing bodies 6 and 7 so as to sandwich the anode cylinder 12 in the tube axis m direction. Further, the anode cylinder 12 and the magnets 30 and 31 are surrounded by a yoke 32, and a strong magnetic circuit is formed by the pair of magnets 30 and 31 and the yoke 32.

尚、ヨーク32は、入力側の磁石30とアノードシリンダ12とを囲うコの字型のインプットヨーク32Aと、インプットヨーク32Aのコの字の開口部分を塞ぎ、出力側の磁石31を囲うコの字型のアウトプットヨーク32Bとで構成されている。   The yoke 32 closes the U-shaped input yoke 32A surrounding the input-side magnet 30 and the anode cylinder 12 and the U-shaped opening portion of the input yoke 32A and surrounds the output-side magnet 31. It comprises a letter-shaped output yoke 32B.

さらに、アノードシリンダ12とインプットヨーク32Aの間には、管軸m方向に並べて配置された複数の冷却フィン33によって構成されるラジエータ34が設けられていて、カソード3からの輻射熱及び発振部2の熱損失はアノードシリンダ12を介してラジエータ34に伝わり、さらにラジエータ34からインプットヨーク32A、アウトプットヨーク32Bへと伝わることでマグネトロン1の外部に放出されるようになっている。尚、インプットヨーク32Aとアウトプットヨーク32Bの素材は、それぞれ例えば鉄であり、冷却フィン33の素材は、例えばアルミとなっている。   Further, a radiator 34 constituted by a plurality of cooling fins 33 arranged side by side in the tube axis m direction is provided between the anode cylinder 12 and the input yoke 32A, and radiant heat from the cathode 3 and the oscillation unit 2 The heat loss is transmitted to the radiator 34 via the anode cylinder 12, and further transmitted from the radiator 34 to the input yoke 32A and the output yoke 32B so as to be discharged to the outside of the magnetron 1. Note that the material of the input yoke 32A and the output yoke 32B is, for example, iron, and the material of the cooling fin 33 is, for example, aluminum.

また、カソード3は、サポートロッド17を介して、コイル及び貫通コンデンサを有するフィルター回路35に接続されている。フィルター回路35は、フィルターボックス36内に収容されている。マグネトロン1の構成の概略は、以上のようになっている。   The cathode 3 is connected to a filter circuit 35 having a coil and a feedthrough capacitor via a support rod 17. The filter circuit 35 is accommodated in the filter box 36. The outline of the configuration of the magnetron 1 is as described above.

[2.アノード部の構成]
次に、図2を用いて、アノード部10の構成についてさらに詳しく説明する。尚、図2(A)は、アノード部10の左半分とその周辺部を拡大した縦断面図であり、図2(B)は、アノード部10のアノードシリンダ12を管軸m方向から見た場合の横断面図である。
[2. Anode configuration]
Next, the configuration of the anode unit 10 will be described in more detail with reference to FIG. 2A is an enlarged vertical cross-sectional view of the left half of the anode portion 10 and its peripheral portion, and FIG. 2B shows the anode cylinder 12 of the anode portion 10 viewed from the direction of the tube axis m. FIG.

アノードシリンダ12は、アノードシリンダ12の内周部分を形成する円筒状の内周部12Aと、内周部12Aより大径の円筒状でなりアノードシリンダ12の外周部分を形成するとともに内周部12Aを補強する外周部12Bとで構成された2重構造となっている。内周部12Aの外径と外周部12Bの内径は、同一(もしくは内周部12Aの外径の方がわずかに大きい)であり、外周部12Bの内側に、内周部12Aを圧入するようにして、内周部12Aと外周部12Bとが接合されている。   The anode cylinder 12 has a cylindrical inner peripheral portion 12A that forms an inner peripheral portion of the anode cylinder 12, a cylindrical shape having a larger diameter than the inner peripheral portion 12A, and forms an outer peripheral portion of the anode cylinder 12 and an inner peripheral portion 12A. It has a double structure composed of an outer peripheral portion 12B that reinforces. The outer diameter of the inner peripheral portion 12A and the inner diameter of the outer peripheral portion 12B are the same (or the outer diameter of the inner peripheral portion 12A is slightly larger), and the inner peripheral portion 12A is press-fitted inside the outer peripheral portion 12B. Thus, the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B are joined.

外側の外周部12Bの素材には、従来と同様、銅材としての非磁性の無酸素銅が用いられている一方、内側の内周部12Aの素材には、従来とは異なり、グラフェンを構成要素とする炭素材(以下、これを単にグラフェンとも呼ぶ)が用いられている。尚、銅材でなる外周部12Bと、グラフェンでなる内周部12Aとの接合には、例えば、メタライジング法を用いる。メタライジング法では、非金属でなるグラフェンの表面に所定の金属層を形成した後、非磁性の無酸素銅とグラフェンの表面に形成された金属層とをろう付けすることになる。   The outer peripheral portion 12B is made of non-magnetic oxygen-free copper as a copper material as in the prior art, while the inner inner peripheral portion 12A is made of graphene unlike the conventional one. A carbon material used as an element (hereinafter also simply referred to as graphene) is used. For example, a metalizing method is used for joining the outer peripheral portion 12B made of a copper material and the inner peripheral portion 12A made of graphene. In the metalizing method, after a predetermined metal layer is formed on the surface of graphene made of nonmetal, nonmagnetic oxygen-free copper and the metal layer formed on the surface of graphene are brazed.

また、アノードシリンダ12の内周部12Aの内周面には、複数枚のベイン13が接合されている。この場合も、グラフェンでなる内周部12Aと銅材でなるベイン13との接合には、例えばメタライジング法を用いる。   A plurality of vanes 13 are joined to the inner peripheral surface of the inner peripheral portion 12 </ b> A of the anode cylinder 12. Also in this case, for example, a metalizing method is used for joining the inner peripheral portion 12A made of graphene and the vane 13 made of copper.

さらに、アノードシリンダ12の外周部12Bは、内周部12Aより管軸m方向に長く、入力側の端部(下端部)が内周部12Aの入力側の端部(下端部)より入力側(下方)に延びていて、出力側の端部(上端部)も内周部12Aの出力側の端部(上端部)より出力側(上方)に延びている。つまり、アノードシリンダ12の管軸m方向の両端部の内側には、内周部12Aと外周部12Bの管軸m方向の長さの違いによる段差が形成されている。   Furthermore, the outer peripheral part 12B of the anode cylinder 12 is longer in the tube axis m direction than the inner peripheral part 12A, and the input side end (lower end) is on the input side from the input side end (lower end) of the inner peripheral part 12A. The output side end (upper end) also extends from the output side end (upper end) of the inner peripheral portion 12A to the output side (upper). That is, a step due to the difference in length between the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B in the tube axis m direction is formed inside both ends of the anode cylinder 12 in the tube axis m direction.

そして、アノードシリンダ12は、外周部12Bの入力側の端部と金属封着体6とが溶接により接合され、外周部12Bの出力側の端部と金属封着体7とが溶接により接合されることで、金属封着体6、7と気密接合される。また、アノードシリンダ12と金属封着体6とを接合する際に、金属封着体6の外周部と、アノードシリンダ12の内周部12Aの入力側の端部(段差となっている部分)との間で、入力側のポールピース21を挟持させてポールピース21をアノード部10に固着するようになっている。同様に、アノードシリンダ12と金属封着体7とを接合する際に、金属封着体7の外周部と、アノードシリンダ12の内周部12Aの出力側の端部(段差となっている部分)との間で、出力側のポールピース22を挟持させてポールピース22をアノード部10に固着するようになっている。   In the anode cylinder 12, the end portion on the input side of the outer peripheral portion 12B and the metal sealing body 6 are joined by welding, and the end portion on the output side of the outer peripheral portion 12B and the metal sealing body 7 are joined by welding. Thus, the metal sealing bodies 6 and 7 are hermetically joined. Further, when the anode cylinder 12 and the metal sealing body 6 are joined, the outer peripheral portion of the metal sealing body 6 and the input side end portion (a stepped portion) of the inner peripheral portion 12A of the anode cylinder 12. The pole piece 21 is fixed to the anode portion 10 by sandwiching the input-side pole piece 21 between the two. Similarly, when joining the anode cylinder 12 and the metal sealing body 7, the outer peripheral portion of the metal sealing body 7 and the output side end portion (a stepped portion) of the inner peripheral portion 12 </ b> A of the anode cylinder 12. ), The pole piece 22 on the output side is sandwiched and the pole piece 22 is fixed to the anode portion 10.

また、アノードシリンダ12は、内周部12Aと外周部12Bの厚さが、それぞれ従来のアノードシリンダの半分程度に選定されている。よって、アノードシリンダ12全体の厚さは、従来のアノードシリンダと同程度となっている。   Further, the anode cylinder 12 has an inner peripheral portion 12A and an outer peripheral portion 12B with thicknesses selected to be about half that of the conventional anode cylinder. Therefore, the thickness of the entire anode cylinder 12 is approximately the same as that of a conventional anode cylinder.

つまり、アノードシリンダ12は、その約半分が、非磁性の無酸素銅からグラフェンに置き換えられた構造となっている。こうすることで、マグネトロン1では、従来のマグネトロンと比較して、アノード部10に用いる銅材の使用量を、内周部12Aの分だけ減らすことが可能となっている。   That is, the anode cylinder 12 has a structure in which about half of the anode cylinder 12 is replaced with graphene from nonmagnetic oxygen-free copper. By doing so, in the magnetron 1, it is possible to reduce the amount of copper material used for the anode portion 10 by the amount of the inner peripheral portion 12A, compared to the conventional magnetron.

ここで、非磁性の無酸素銅とグラフェンのそれぞれの物性ついて詳しく説明する。尚、アノード部10の素材として要求される条件は、主に、非磁性であること、強度が高いこと、導電率が良いこと、融点が高いこと、熱電動率が高いこと、ガス放出が少ないことなどである。よって、ここでは、まず非磁性の無酸素銅の物性のうち、アノード部10に要求される条件と関連する物性について説明する。非磁性の無酸素銅は、非磁性であり、ヤング率は129.8(GPa)、導電率は5.9×10(S/m)、融点は1083℃、熱伝導率は391(W/m・K)、高温化でのガス放出はきわめて少ないという物性を有している。 Here, the physical properties of nonmagnetic oxygen-free copper and graphene will be described in detail. The conditions required for the material of the anode part 10 are mainly non-magnetic, high strength, good conductivity, high melting point, high thermoelectricity, and low outgassing. And so on. Therefore, here, among the physical properties of nonmagnetic oxygen-free copper, the physical properties related to the conditions required for the anode portion 10 will be described. Nonmagnetic oxygen-free copper is nonmagnetic, has a Young's modulus of 129.8 (GPa), an electrical conductivity of 5.9 × 10 7 (S / m), a melting point of 1083 ° C., and a thermal conductivity of 391 (W / M · K), and it has the physical property of very little outgassing at high temperatures.

このように、非磁性の無酸素銅は、他の非磁性金属(例えばステンレス)と比べて、強度、導電率、融点、熱電動率が総じて高く、高温化でのガス放出も極めて少ないことから、アノード部10に要求される条件を満たす素材として、従来広く利用されている。   Thus, nonmagnetic oxygen-free copper has higher strength, electrical conductivity, melting point, and thermoelectricity compared to other nonmagnetic metals (for example, stainless steel), and gas release at high temperatures is extremely low. Conventionally, it has been widely used as a material that satisfies the conditions required for the anode section 10.

一方で、グラフェンは、非磁性であり、ヤング率は11000(GPa)、導電率は7.5×10(S/m)、融点は3000℃、熱伝動率は4.84×10〜5.3×10(W/m・K)、高温化でのガス放出は極めて少ないという物性を有している。そのうえ、グラフェンは、気体を通しにくいガスバリア性にも優れている。 On the other hand, graphene is nonmagnetic, has a Young's modulus of 11000 (GPa), an electrical conductivity of 7.5 × 10 7 (S / m), a melting point of 3000 ° C., and a thermal conductivity of 4.84 × 10 3 to It has a physical property of 5.3 × 10 3 (W / m · K) and extremely low outgassing at high temperatures. In addition, graphene is excellent in gas barrier properties that prevent gas from passing therethrough.

このように、グラフェンは、非磁性の無酸素銅と比べても、強度、導電率、融点、熱電動率が総じて高く、高温化でのガス放出も極めて少ないことから、アノード部10に要求される条件をより高いレベルで満たす素材として非常に有用であることがわかる。具体的には、グラフェンの方が、無酸素銅より導電率が高い為、このグラフェンを無酸素銅の代わりにアノード部10に用いれば、マグネトロン1の電子効率を向上させることができると考えられる。また、グラフェンの方が、無酸素銅より熱電動率が高い為、このグラフェンを無酸素銅の代わりにアノード部10に用いれば、アノード部10から冷却フィン33へ熱を伝わり易くして、放熱効果を向上させることができると考えられる。   Thus, graphene is required for the anode section 10 because it has generally high strength, electrical conductivity, melting point, and thermoelectric power compared to non-magnetic oxygen-free copper, and also emits very little gas at high temperatures. It can be seen that it is very useful as a material that satisfies the above conditions at a higher level. Specifically, since graphene has higher conductivity than oxygen-free copper, it is considered that the electronic efficiency of the magnetron 1 can be improved if this graphene is used in the anode portion 10 instead of oxygen-free copper. . In addition, since graphene has a higher thermal power rate than oxygen-free copper, if this graphene is used for the anode portion 10 instead of oxygen-free copper, heat can be easily transferred from the anode portion 10 to the cooling fins 33 to dissipate heat. It is thought that the effect can be improved.

さらに、グラフェンは、ガスバリア性にも優れていることから、この点についても、内部を真空状態に保つ必要があるアノード部10の素材として適している。   Further, since graphene is excellent in gas barrier properties, this point is also suitable as a material for the anode part 10 that needs to keep the inside in a vacuum state.

このような物性の比較結果から、グラフェンが、アノード部10の素材として、非磁性の無酸素銅より優れた素材であることが明らかとなった。また、グラフェンは、ガスバリア性にも優れていることから、内部を真空状態に保つ必要があるアノード部10により適している。   From the comparison result of such physical properties, it became clear that graphene is a material superior to non-magnetic oxygen-free copper as a material of the anode portion 10. Further, since graphene is excellent in gas barrier properties, it is more suitable for the anode portion 10 that needs to keep the inside in a vacuum state.

つまり、アノードシリンダ12の内周部12Aに非磁性の無酸素銅ではなくグラフェンを用いるようにすれば、マグネトロン1として従来と同等以上の性能を有しながら、アノード部10に用いる銅材の使用量を、従来のマグネトロンと比べて減らすことが可能となることがわかった。   In other words, if graphene is used instead of non-magnetic oxygen-free copper for the inner peripheral portion 12A of the anode cylinder 12, the use of the copper material used for the anode portion 10 while having performance equivalent to or higher than that of the conventional magnetron 1 It has been found that the amount can be reduced compared to conventional magnetrons.

[3.まとめと効果]
ここまで説明したように、本実施の形態のマグネトロン1は、アノードシリンダ12を、内周部12Aと外周部12Bからなる二重構造とし、内側の内周部12Aに、非磁性の無酸素銅ではなくグラフェンを用いるようにした。グラフェンは、上述したように、非磁性の無酸素銅と比べて、強度、導電率、融点、熱電動率が総じて高く、高温化でのガス放出も極めて少ないことから、アノード部10の素材として、非磁性の無酸素銅より優れた素材であると言える。
[3. Summary and effect]
As described so far, in the magnetron 1 of the present embodiment, the anode cylinder 12 has a double structure including the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B, and the nonmagnetic oxygen-free copper is formed on the inner peripheral portion 12A. Instead, graphene was used. As described above, graphene is generally higher in strength, electrical conductivity, melting point, and thermoelectricity than non-magnetic oxygen-free copper, and has very little outgassing at high temperatures. It can be said that it is a material superior to non-magnetic oxygen-free copper.

よって、アノードシリンダ12の内周部12Aにグラフェンを用いたマグネトロン1では、従来のマグネトロンと同等以上の性能を有しながら、アノード部10に用いる銅材の使用量を減らすことが可能となる。   Therefore, in the magnetron 1 using graphene for the inner peripheral portion 12A of the anode cylinder 12, it is possible to reduce the amount of copper material used for the anode portion 10 while having performance equal to or higher than that of the conventional magnetron.

また、アノードシリンダ12の外周部12Bについては、従来と同様、非磁性の無酸素銅とし、この外周部12Bの管軸m方向の両端部と、金属封着体6、7とを溶接により接合するようにした。このように、アノードシリンダ12と金属封着体6、7との接合については、従来と同様の方法(溶接)で容易に接合できる。   Further, the outer peripheral portion 12B of the anode cylinder 12 is made of non-magnetic oxygen-free copper as in the prior art, and both end portions of the outer peripheral portion 12B in the tube axis m direction and the metal sealing bodies 6 and 7 are joined by welding. I tried to do it. As described above, the anode cylinder 12 and the metal sealing bodies 6 and 7 can be easily joined by the same method (welding) as in the prior art.

一方で、例えば、アノードシリンダ12全体をグラフェンにしてもよい。この場合、マグネトロン1の性能をさらに向上させることができ、且つアノード部10に用いる銅材の使用量をさらに減らすことができるが、その反面、金属封着体6、7との接合については、従来の方法とは異なるメタライジング法などで接合することになる為、接合の容易性については劣ることになる。   On the other hand, for example, the entire anode cylinder 12 may be graphene. In this case, the performance of the magnetron 1 can be further improved, and the amount of copper material used for the anode part 10 can be further reduced. On the other hand, for the joining with the metal sealing bodies 6 and 7, Since it joins by the metalizing method etc. which are different from the conventional method, it will be inferior about the ease of joining.

さらに、本実施の形態では、アノードシリンダ12を、内周部12Aと外周部12Bからなる二重構造とするとともに、内周部12Aの管軸m方向の長さを外周部12Bの管軸m方向の長さより短くして、アノードシリンダ12の管軸m方向の両端部の内側に、ポールピース21、22を金属封着体6、7との間で挟持する為の段差を形成するようにした。つまり、アノードシリンダ12では、管軸m方向の長さと径が異なる2個のシリンダを重ね合わせて、段差を形成するようになっている。   Furthermore, in the present embodiment, the anode cylinder 12 has a double structure including the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B, and the length of the inner peripheral portion 12A in the tube axis m direction is set to the tube axis m of the outer peripheral portion 12B. A step for sandwiching the pole pieces 21 and 22 between the metal sealing bodies 6 and 7 is formed inside the both ends of the anode cylinder 12 in the tube axis m direction so as to be shorter than the length in the direction. did. That is, in the anode cylinder 12, a step is formed by superposing two cylinders having different lengths and diameters in the tube axis m direction.

こうすることで、本実施の形態のアノードシリンダ12は、従来の単一構造のアノードシリンダのように管軸m方向の両端部の内側を削るなどして段差を形成する場合と比べて、段差の形成が容易であり、二重構造ではあるものの、製造コストを抑えるようになっている。   In this way, the anode cylinder 12 of the present embodiment has a step difference as compared to the case where the step is formed by scraping the inside of both ends in the direction of the tube axis m as in a conventional single-structure anode cylinder. Is easy to form, and although it has a double structure, the manufacturing cost is reduced.

[4.他の実施の形態]
[4−1.他の実施の形態1]
尚、上述した実施の形態では、アノードシリンダ12の内周部12Aにグラフェンを用い、外周部12Bに無酸素銅を用いて、例えば、内周部12Aと、銅材でなるベイン13との接合には、メタライジング法を用いた。これに限らず、例えば、グラフェンで形成した内周部12Aの全体に銅メッキを施すようにしてもよい。この場合、この銅メッキが施された内周部12Aと外周部12Bとでなるアノードシリンダ12は、従来の無酸素銅でなるアノードシリンダと同様の方法(ろう付けなど)で、他部品と接合できるようになる為、製造コストを抑えることができる。
[4. Other Embodiments]
[4-1. Other Embodiment 1]
In the above-described embodiment, graphene is used for the inner peripheral portion 12A of the anode cylinder 12, and oxygen-free copper is used for the outer peripheral portion 12B. For example, the inner peripheral portion 12A is joined to the vane 13 made of a copper material. The metallizing method was used. For example, the entire inner peripheral portion 12A formed of graphene may be plated with copper. In this case, the anode cylinder 12 composed of the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B to which the copper plating is applied is joined to other parts in the same manner as the conventional anode cylinder made of oxygen-free copper (such as brazing). Since it becomes possible, manufacturing cost can be held down.

また、この場合、銅メッキを使用する分、上述した実施の形態のアノードシリンダ12より銅の使用量が増えることになるが、アノードシリンダ12の全てを銅材とする場合と比べれば、銅の使用量を十分減らすことができる。   Further, in this case, the amount of copper used is increased by the amount of copper plating compared to the anode cylinder 12 of the above-described embodiment. However, compared to the case where all of the anode cylinder 12 is made of copper, copper is used. The amount used can be reduced sufficiently.

[4−2.他の実施の形態2]
また、上述した実施の形態では、アノードシリンダ12を、内周部12Aと外周部12Bの二重構造とした。これに限らず、アノードシリンダ12を従来と同様の単一構造として、アノードシリンダ12全体をグラフェンで形成するようにしてもよい。この場合、アノードシリンダ12と他の部品との接合には、例えばメタライジング法を用いればよい。このようにすれば、上述した実施の形態よりも、銅の使用量を減らすことができる。
[4-2. Other Embodiment 2]
In the above-described embodiment, the anode cylinder 12 has a double structure of the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B. However, the present invention is not limited to this, and the anode cylinder 12 may have a single structure similar to the conventional one, and the entire anode cylinder 12 may be formed of graphene. In this case, for example, a metalizing method may be used for joining the anode cylinder 12 and other components. In this way, the amount of copper used can be reduced as compared with the above-described embodiment.

また、この場合も、グラフェンで形成したアノードシリンダ12の全体に銅メッキを施すようにして、従来と同様の方法(ろう付けなど)で、他部品と接合するようにしてもよい。   Also in this case, the entire anode cylinder 12 made of graphene may be plated with copper, and may be joined to other components by a method similar to the conventional method (such as brazing).

さらに、これに限らず、例えば、アノードシリンダ12を、内周部と外周部とこれらの間の中央部とからなる三重構造として、中央部のみをグラフェンとするなどしてもよい。つまり、少なくともアノードシリンダ12の一部がグラフェンで形成されていればよい。また、これに限らず、アノードシリンダ12の内周部12Aではなく外周部12Bをグラフェンで形成するようにしてもよい。   Furthermore, the present invention is not limited thereto, and for example, the anode cylinder 12 may be a triple structure including an inner peripheral portion, an outer peripheral portion, and a central portion therebetween, and only the central portion may be graphene. That is, at least a part of the anode cylinder 12 only needs to be formed of graphene. Not limited to this, the outer peripheral portion 12B of the anode cylinder 12 may be formed of graphene instead of the inner peripheral portion 12A.

また、上述した実施の形態では、アノードシリンダ12の内周部12Aと外周部12Bとを圧入により接合するようにしたが、これに限らず、外周部12Bの内側にスパッタ蒸着によりグラフェンでなる内周部12Aを形成するなどしてもよい。   In the above-described embodiment, the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B of the anode cylinder 12 are joined by press-fitting. However, the present invention is not limited to this, and the inner portion made of graphene is formed inside the outer peripheral portion 12B by sputter deposition. The peripheral portion 12A may be formed.

さらに、上述した実施の形態では、アノードシリンダ12の内周部12Aと外周部12Bとを同じ厚さとしたが、これに限らず、例えば、内周部12Aの厚さを外周部12Bより厚く又は薄くしてもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the inner peripheral portion 12A and the outer peripheral portion 12B of the anode cylinder 12 have the same thickness. However, the present invention is not limited to this. For example, the inner peripheral portion 12A is thicker than the outer peripheral portion 12B. It may be thinned.

[4−3.他の実施の形態3]
さらに、上述した実施の形態では、アノード部10のアノードシリンダ12にグラフェンを用いた。これに限らず、アノード部10を構成する他の部分にグラフェンを用いてもよい。具体的には、ベイン13の素材として、銅材ではなくグラフェンを用いるようにしてもよい。また、ストラップリング14の素材として、銅材ではなくグラフェンを用いるようにしてもよい。つまり、アノード部10の全てをグラフェンで形成するようにしてもよい。ベイン13及びストラップリング14についても、アノードシリンダ12と同様、非磁性であること、強度が高いこと、導電率が良いこと、融点が高いこと、熱電動率が高いこと、ガス放出が少ないことなどが要求される条件となる為、ベイン13及びストラップリング14に用いる素材をグラフェンに代えることで、銅材の使用量を一段と減らすことができるとともに、マグネトロン1の性能を向上させることができると考えられる。
[4-3. Other Embodiment 3]
Further, in the above-described embodiment, graphene is used for the anode cylinder 12 of the anode unit 10. However, the present invention is not limited to this, and graphene may be used in other parts constituting the anode unit 10. Specifically, graphene may be used as a material for the vane 13 instead of a copper material. Further, instead of a copper material, graphene may be used as a material for the strap ring 14. That is, all of the anode unit 10 may be formed of graphene. As with the anode cylinder 12, the vane 13 and the strap ring 14 are also non-magnetic, have high strength, have good electrical conductivity, have a high melting point, have a high thermoelectric efficiency, and have a low outgassing. Therefore, by replacing the material used for the vane 13 and the strap ring 14 with graphene, the amount of copper used can be further reduced and the performance of the magnetron 1 can be improved. It is done.

また、アノード部10以外の部分についても、アノード部10と同様の条件が要求される部分については、用いる素材をグラフェンに代えるようにしてもよい。具体的には、ポールピース21、22の素材として、銅材ではなくグラフェンを用いるようにしてもよい。また、アンテナ26の素材として、銅材ではなくグラフェンを用いるようにしてもよい。   Further, with respect to portions other than the anode portion 10, the material to be used may be replaced with graphene for portions that require the same conditions as the anode portion 10. Specifically, graphene may be used instead of a copper material as the material of the pole pieces 21 and 22. Further, instead of a copper material, graphene may be used as the material of the antenna 26.

[4−4.他の実施の形態4]
さらに、上述した実施の形態では、アノード部10のアノードシリンダ12にグラフェンを構成要素とする炭素材を用いるとしたが、この炭素材には、例えば、黒鉛(グラファイト)、カーボンナノチューブ、フラーレンなどが含まれるものとする。尚、これら以外の炭素材であっても、グラフェンを構成要素とするものであればよい。
[4-4. Other Embodiment 4]
Further, in the above-described embodiment, a carbon material having graphene as a constituent element is used for the anode cylinder 12 of the anode unit 10. For example, graphite (graphite), carbon nanotube, fullerene, and the like are used as the carbon material. Shall be included. Note that other carbon materials may be used as long as they have graphene as a constituent element.

[4−5.他の実施の形態5]
さらに、上述した実施の形態では、主に、マグネトロン1のアノードシリンダ12の構成について説明したが、アノードシリンダ12の構成以外の部分については、上述したマグネトロン1の構成とは異なる構成であってもよい。
[4-5. Other Embodiment 5]
Furthermore, in the above-described embodiment, the configuration of the anode cylinder 12 of the magnetron 1 has been mainly described. However, portions other than the configuration of the anode cylinder 12 may be different from the configuration of the magnetron 1 described above. Good.

1……マグネトロン、2……発振部、3……カソード、4…入力部、5……出力部、6、7……金属封着体、10……アノード部、11……カソード部、12……アノードシリンダ、12A……内周部、12B……外周部、13……ベイン、14……ストラップリング、21、22……ポールピース、26……アンテナ、m……管軸。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetron, 2 ... Oscillation part, 3 ... Cathode, 4 ... Input part, 5 ... Output part, 6, 7 ... Metal sealing body, 10 ... Anode part, 11 ... Cathode part, 12 …… Anode cylinder, 12A …… Inner circumference, 12B …… Outer circumference, 13 …… Bain, 14 …… Strap ring, 21, 22 …… Pole piece, 26 …… Antenna, m …… Tube axis.

Claims (6)

管軸に沿って円筒状に延びるアノードシリンダと、前記アノードシリンダの内面から、前記管軸に向かって延び、遊端がベイン内接円を形成する複数のベインと、前記複数のベインを交互に短絡する径の異なる大小2つのストラップリングとを有するアノード部と、
前記複数のベインの遊端によって形成される空間内に前記管軸に沿って配置されたカソードを有するカソード部と
を具備するマグネトロンにおいて、
前記アノード部の一部又は全部がグラフェンを構成要素とする炭素材により形成されている
ことを特徴とするマグネトロン。
An anode cylinder that extends cylindrically along the tube axis, a plurality of vanes that extend from the inner surface of the anode cylinder toward the tube axis, and whose free ends form a vane inscribed circle, and the plurality of vanes alternately An anode portion having two strap rings of different diameters to be short-circuited;
A magnetron comprising: a cathode portion having a cathode disposed along the tube axis in a space formed by the free ends of the plurality of vanes;
A magnetron, wherein part or all of the anode part is formed of a carbon material having graphene as a constituent element.
前記アノード部のアノードシリンダの一部又は全部が前記グラフェンを構成要素とする炭素材により形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のマグネトロン。
2. The magnetron according to claim 1, wherein a part or all of an anode cylinder of the anode part is formed of a carbon material including the graphene as a constituent element.
前記アノードシリンダは、
円筒状の内周部と、当該内周部より大径の円筒状でなる外周部とで構成された二重構造でなり、
前記内周部と前記外周部の少なくとも一方がグラフェンを構成要素とする炭素材により形成されている
ことを特徴とする請求項2に記載のマグネトロン。
The anode cylinder is
It has a double structure composed of a cylindrical inner peripheral part and an outer peripheral part that is cylindrical with a larger diameter than the inner peripheral part,
The magnetron according to claim 2, wherein at least one of the inner peripheral portion and the outer peripheral portion is formed of a carbon material having graphene as a constituent element.
前記アノードシリンダの内周部は、前記外周部よりも管軸方向の長さが短く、
前記アノードシリンダは、
管軸方向の両端部の内側に、前記内周部と前記外周部の管軸方向の長さの違いによる段差が形成されている
ことを特徴とする請求項3に記載のマグネトロン。
The inner circumference of the anode cylinder has a shorter length in the tube axis direction than the outer circumference,
The anode cylinder is
The magnetron according to claim 3, wherein a step due to a difference in length between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion in the tube axis direction is formed inside both ends in the tube axis direction.
グラフェンを構成要素とする炭素材で形成されている、前記アノード部の一部又は全部を、所定の金属でメッキする
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のマグネトロン。
The magnetron according to any one of claims 1 to 4, wherein a part or all of the anode part formed of a carbon material containing graphene as a constituent element is plated with a predetermined metal.
前記アノードシリンダの管軸方向の両端側にそれぞれ配置され、前記複数のベインの遊端と前記カソード間の空間へ磁束を導くポールピースと、
少なくとも1つの前記ベインから引き出されたアンテナと
をさらに具備し、
前記ポールピースと前記アンテナの少なくとも一方がグラフェンを構成要素とする炭素材により形成されている
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のマグネトロン。
A pole piece that is disposed on both ends of the anode cylinder in the tube axis direction and guides magnetic flux to the space between the free ends of the plurality of vanes and the cathode;
And at least one antenna drawn from the vane,
The magnetron according to any one of claims 1 to 5, wherein at least one of the pole piece and the antenna is made of a carbon material having graphene as a constituent element.
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