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JP2017109387A - Liquid jet head and liquid jet device - Google Patents

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JP2017109387A
JP2017109387A JP2015245472A JP2015245472A JP2017109387A JP 2017109387 A JP2017109387 A JP 2017109387A JP 2015245472 A JP2015245472 A JP 2015245472A JP 2015245472 A JP2015245472 A JP 2015245472A JP 2017109387 A JP2017109387 A JP 2017109387A
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Abstract

【課題】クリーニング時や液体充填時の液体供給室内の気泡排出と、通常駆動時の液体供給室内の温度差を縮小させることができる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体噴射装置1は、基準方向Kに配列する複数のチャンネル7を備えるアクチュエータ基板2と、複数のチャンネル7に連通し複数のチャンネル7に対応して基準方向Kに細長い液体供給室4と、液体供給室4の基準方向Kにおける一端E1に連通する液体流入孔9とを備える流路部材3と、を備え、液体供給室4は、基準方向Kに直交する方向の断面積が基準方向Kの一端E1から他端E2にかけて縮小する第一形態と第一形態よりも断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる切替手段6を備える。【選択図】図2Provided is a liquid ejecting head that can reduce bubbles in a liquid supply chamber during cleaning and liquid filling, and reduce a temperature difference in the liquid supply chamber during normal driving. A liquid ejecting apparatus includes an actuator substrate having a plurality of channels arranged in a reference direction, a liquid supply chamber communicating with the plurality of channels and elongated in the reference direction corresponding to the plurality of channels. 4 and a flow path member 3 having a liquid inflow hole 9 communicating with one end E1 of the liquid supply chamber 4 in the reference direction K. The liquid supply chamber 4 has a sectional area in a direction orthogonal to the reference direction K. There is provided switching means 6 for switching between a first mode in which the size decreases from one end E1 to the other end E2 in the reference direction K and a second mode in which the reduction width of the cross-sectional area is smaller than in the first mode. [Selection diagram] FIG.

Description

本発明は、液体噴射ヘッドから被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that record by ejecting droplets from a liquid ejecting head onto a recording medium.

近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置が利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドのチャンネルに供給し、チャンネルの液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズル孔から液滴として吐出する。液滴の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜や三次元構造を形成する。   2. Description of the Related Art In recent years, there has been a liquid ejecting apparatus using an ink jet type liquid ejecting head that ejects ink droplets onto recording paper or the like to record characters and figures, or ejects a liquid material onto the surface of an element substrate to form a functional thin film. It's being used. In this method, a liquid such as ink or a liquid material is supplied from a liquid tank to a channel of a liquid ejecting head through a supply pipe, pressure is applied to the liquid in the channel, and the liquid is discharged as a droplet from a nozzle hole communicating with the channel. . When ejecting droplets, the liquid ejecting head and the recording medium are moved to record characters and figures, or a functional thin film or a three-dimensional structure having a predetermined shape is formed.

図7は従来公知の液体噴射ヘッドの説明図である。図7(a)は液体噴射ヘッド100の断面模式図であり、図7(b)は液体噴射ヘッド100のノズル孔107から吐出する液体の温度とノズル孔107の位置との間の関係を表すグラフである。液体噴射ヘッド100は、アクチュエータ基板101と、アクチュエータ基板101の一方の表面に設置される流路部材102と、アクチュエータ基板101の他方の表面に設置されるノズルプレート103とを備える。アクチュエータ基板101は、基準方向Kに配列する複数のチャンネル106と気泡抜きチャンネル109を備える。隣接するチャンネル106の間には圧電体材料から成る隔壁108が形成され、隔壁の側面には図示しない電極が設置される。流路部材102は、各チャンネル106に連通する液体供給室104と液体供給室104に液体を流入する液体流入孔105を備える。液体流入孔105は液体供給室104と基準方向Kにおける一方の端部において連通する。気泡抜きチャンネル109は液体供給室104と基準方向Kにおける他方の端部において連通する。更に、液体供給室104は、基準方向Kにおける一方側から他方側にかけて基準方向Kに直交する方向の断面積Dsが次第に縮小する。ノズルプレート103は各チャンネル106にそれぞれ連通する複数のノズル孔107を備える。   FIG. 7 is an explanatory diagram of a conventionally known liquid jet head. FIG. 7A is a schematic cross-sectional view of the liquid ejecting head 100, and FIG. 7B represents a relationship between the temperature of the liquid ejected from the nozzle hole 107 of the liquid ejecting head 100 and the position of the nozzle hole 107. It is a graph. The liquid ejecting head 100 includes an actuator substrate 101, a flow path member 102 installed on one surface of the actuator substrate 101, and a nozzle plate 103 installed on the other surface of the actuator substrate 101. The actuator substrate 101 includes a plurality of channels 106 arranged in the reference direction K and a bubble removal channel 109. A partition wall 108 made of a piezoelectric material is formed between adjacent channels 106, and an electrode (not shown) is installed on the side surface of the partition wall. The flow path member 102 includes a liquid supply chamber 104 communicating with each channel 106 and a liquid inflow hole 105 through which the liquid flows into the liquid supply chamber 104. The liquid inflow hole 105 communicates with the liquid supply chamber 104 at one end in the reference direction K. The bubble removal channel 109 communicates with the liquid supply chamber 104 at the other end in the reference direction K. Furthermore, in the liquid supply chamber 104, the cross-sectional area Ds in the direction orthogonal to the reference direction K gradually decreases from one side to the other side in the reference direction K. The nozzle plate 103 includes a plurality of nozzle holes 107 communicating with the respective channels 106.

液体噴射ヘッド100は次のよう駆動する。まず、液体供給室104及び各チャンネル106に液体を充填する。液体は液体流入孔105に加圧して供給し、液体供給室104からチャンネル106に充填する。液体供給室104は基準方向Kに直交する方向の断面積Dsが液体流入孔105側から気泡抜きチャンネル109側にかけて次第に縮小する。加圧充填する液体の流速は液体流入孔105側から気泡抜きチャンネル109側にかけて次第に高速となり、液体に混入する気泡は液体供給室104の内壁やチャンネル106に連通する連通孔付近に付着することなく気泡抜きチャンネル109やチャンネル106から排出される。   The liquid jet head 100 is driven as follows. First, the liquid supply chamber 104 and each channel 106 are filled with liquid. The liquid is pressurized and supplied to the liquid inflow hole 105 and is filled into the channel 106 from the liquid supply chamber 104. In the liquid supply chamber 104, the cross-sectional area Ds in the direction orthogonal to the reference direction K gradually decreases from the liquid inflow hole 105 side to the bubble vent channel 109 side. The flow rate of the liquid to be pressurized and filled gradually increases from the liquid inflow hole 105 side to the bubble removal channel 109 side, and bubbles mixed in the liquid do not adhere to the inner wall of the liquid supply chamber 104 or the vicinity of the communication hole communicating with the channel 106. It is discharged from the bubble removal channel 109 and the channel 106.

通常駆動時において、隔壁108の側面に形成される図示しない電極に電極駆動信号を印加する。隔壁108は“くの字”状に厚み滑り変形し、チャンネル106に充填される液体に圧力波が生成される。この圧力波がノズル孔107に到達してノズル孔107から液滴が吐出される。   During normal driving, an electrode driving signal is applied to an electrode (not shown) formed on the side surface of the partition wall 108. The partition wall 108 undergoes thickness-slip deformation in a “<” shape, and a pressure wave is generated in the liquid filled in the channel 106. The pressure wave reaches the nozzle hole 107 and a droplet is ejected from the nozzle hole 107.

例えば、特許文献1には液体噴射ヘッドの供給路の内壁に付着する気泡を液体の流速を早くすることにより除去する方法が記載される。液体噴射ヘッドは、複数の圧力室と、複数の圧力室に連通し複数の圧力室に液体を供給する液体供給室と、液体タンクと液体供給室を結ぶ供給路と、液体供給室と圧力室から液体を吸引するパージ機構と、を備える。そして、供給路を弾性体により構成し、パージ機構によって圧力室と液体供給室から液体を吸引する際に供給路の流路断面を液体供給室の流路断面と同程度に縮小させる。その結果、供給路を流れる液体の流速が増加し、供給路の内壁や液体に混入する残留気泡を排出することができることが記載されている。   For example, Patent Document 1 describes a method of removing bubbles adhering to the inner wall of a supply path of a liquid jet head by increasing the flow rate of the liquid. The liquid ejecting head includes a plurality of pressure chambers, a liquid supply chamber that communicates with the plurality of pressure chambers and supplies liquid to the plurality of pressure chambers, a supply path that connects the liquid tank and the liquid supply chamber, a liquid supply chamber, and a pressure chamber And a purge mechanism for sucking liquid from. Then, the supply path is formed of an elastic body, and when the liquid is sucked from the pressure chamber and the liquid supply chamber by the purge mechanism, the flow path cross section of the supply path is reduced to the same extent as the flow path cross section of the liquid supply chamber. As a result, it is described that the flow velocity of the liquid flowing through the supply path increases, and the residual bubbles mixed in the inner wall of the supply path and the liquid can be discharged.

特許文献2には圧力室とタンクの間の流路に流路断面制御装置を設ける液体噴射ヘッドが記載される。ノズルから液体を吐出後、圧力室に液体を再充填する際に、流路断面制御装置によってタンクと圧力室の間の液体流路の断面積を変化させる。これにより、メニスカス復帰時間を短縮し、更に復帰後のメニスカス振動を小さく抑えることが記載されている。   Patent Document 2 describes a liquid ejecting head in which a flow path cross-sectional control device is provided in a flow path between a pressure chamber and a tank. After the liquid is discharged from the nozzle, when the pressure chamber is refilled with liquid, the cross-sectional area of the liquid flow path between the tank and the pressure chamber is changed by the flow path cross-sectional control device. Thus, it is described that the meniscus return time is shortened, and the meniscus vibration after the return is further suppressed.

特開2000−334948号公報JP 2000-334948 A 特開2003−205608号公報JP 2003-205608 A

図7(b)は、図7(a)に示す液体噴射ヘッド100のノズル孔107から吐出する液体の温度と、基準方向Kに配列するノズル孔107の位置との関係を表す。図7(b)に示すように、液体流入孔105に近いノズル孔107ほど液体の温度が低く、液体流入孔105から遠いノズル孔107ほど液体の温度が高く、温度差δtが生じる。液体に温度差があるとノズル孔107から吐出する液滴に吐出速度差が生じ、濃度むらとなって記録品質が低下する。この温度差の原因は次のように考えられる。隔壁108は繰り返して駆動することにより昇温する。アクチュエータ基板101に対向して配置される液体供給室104はアクチュエータ基板101から熱が伝達し液体は昇温する。液体供給室104の断面積Dsの縮小に伴い、液体流入孔105から気泡抜きチャンネル109にかけて液体の容積が減少し、気泡抜きチャンネル109側の液体ほど温度が上昇する。   FIG. 7B shows the relationship between the temperature of the liquid ejected from the nozzle holes 107 of the liquid jet head 100 shown in FIG. 7A and the positions of the nozzle holes 107 arranged in the reference direction K. As shown in FIG. 7B, the nozzle hole 107 closer to the liquid inflow hole 105 has a lower liquid temperature, and the nozzle hole 107 farther from the liquid inflow hole 105 has a higher liquid temperature, resulting in a temperature difference δt. If there is a temperature difference in the liquid, a discharge speed difference occurs in the liquid droplets discharged from the nozzle hole 107, resulting in uneven density, resulting in a decrease in recording quality. The cause of this temperature difference is considered as follows. The partition wall 108 is heated by being repeatedly driven. Heat is transferred from the actuator substrate 101 to the liquid supply chamber 104 disposed opposite to the actuator substrate 101, and the temperature of the liquid rises. As the cross-sectional area Ds of the liquid supply chamber 104 decreases, the volume of the liquid decreases from the liquid inflow hole 105 to the bubble removal channel 109, and the temperature rises as the liquid is on the bubble removal channel 109 side.

特許文献1に記載の液体噴射ヘッドは、液体供給室と液体タンクとの間を結ぶ供給路を弾性体により構成し、この流路断面を調整する構造である。また、特許文献2に記載の液体噴射ヘッドは、各ノズルに連通する個々の圧力室の中に流路断面制御装置を設ける構成である。そのため、いずれの液体噴射ヘッドも、液体供給室内の液体の温度分布を改善することができない。   The liquid ejecting head described in Patent Document 1 has a structure in which a supply path that connects a liquid supply chamber and a liquid tank is formed of an elastic body, and the cross section of the flow path is adjusted. Further, the liquid ejecting head described in Patent Document 2 has a configuration in which a flow path cross-sectional control device is provided in each pressure chamber communicating with each nozzle. Therefore, none of the liquid ejecting heads can improve the temperature distribution of the liquid in the liquid supply chamber.

本発明の液体噴射ヘッドは、基準方向に配列する複数のチャンネルを備えるアクチュエータ基板と、複数の前記チャンネルに連通し複数の前記チャンネルに対応して前記基準方向に細長い液体供給室と前記液体供給室の前記基準方向における一端に連通する液体流入孔とを備える流路部材と、を備え、前記液体供給室は、前記基準方向に直交する方向の断面積が前記基準方向の一端から他端にかけて縮小する第一形態と前記第一形態よりも前記断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる可動壁を備えることとした。   The liquid ejecting head according to the present invention includes an actuator substrate having a plurality of channels arranged in a reference direction, a liquid supply chamber that communicates with the plurality of channels and that is elongated in the reference direction corresponding to the plurality of channels, and the liquid supply chamber A flow path member including a liquid inflow hole communicating with one end in the reference direction, and the liquid supply chamber has a cross-sectional area in a direction orthogonal to the reference direction that is reduced from one end to the other end in the reference direction. The movable wall which switches the 1st form to perform and the 2nd form with a smaller reduction | decrease width of the said cross-sectional area than said 1st form was provided.

また、前記可動壁に作用して前記第一形態と前記第二形態の間を切り替える切替手段を更に備えることとした。   In addition, a switching unit that acts on the movable wall to switch between the first form and the second form is further provided.

また、前記切替手段は電磁気力により前記可動壁を駆動することとした。   Further, the switching means drives the movable wall by electromagnetic force.

また、前記切替手段は前記可動壁の前記液体供給室とは反対側である外面側の空気圧を変化させて前記可動壁を駆動することとした。   In addition, the switching means drives the movable wall by changing the air pressure on the outer surface side opposite to the liquid supply chamber of the movable wall.

また、前記切替手段はバイメタルにより前記可動壁を駆動することとした。   The switching means drives the movable wall by bimetal.

また、前記切替手段は前記可動壁の前記液体供給室の側である内面側の液体の圧力を変化させて前記可動壁を駆動することとした。   Further, the switching means drives the movable wall by changing the pressure of the liquid on the inner surface side which is the liquid supply chamber side of the movable wall.

また、前記チャンネルは、前記アクチュエータ基板の一方の表面の前記基準方向に配列する第一チャンネルと、前記一方の表面とは反対側の他方の表面の前記基準方向に配列する第二チャンネルとを有し、前記流路部材は、複数の前記第一チャンネルに連通する第一液体供給室と前記第一液体供給室の前記基準方向における一端に連通する第一液体流入孔とを備える第一流路部材と、複数の前記第二チャンネルに連通する第二液体供給室と前記第二液体供給室の前記基準方向に一端に連通する第二液体流入孔とを備える第二流路部材とを有し、前記可動壁は、前記第一液体供給室に備える第一可動壁と前記第二液体供給室に備える第二可動壁とを有することとした。   The channel has a first channel arranged in the reference direction on one surface of the actuator substrate and a second channel arranged in the reference direction on the other surface opposite to the one surface. The first flow path member includes a first liquid supply chamber communicating with the plurality of first channels and a first liquid inflow hole communicating with one end of the first liquid supply chamber in the reference direction. And a second flow path member comprising a second liquid supply chamber communicating with a plurality of the second channels and a second liquid inflow hole communicating with one end in the reference direction of the second liquid supply chamber, The movable wall includes a first movable wall provided in the first liquid supply chamber and a second movable wall provided in the second liquid supply chamber.

また、前記アクチュエータ基板は、前記液体供給室の前記基準方向における一端とは反対側の他端に連通する気泡抜きチャンネルを有することとした。   Further, the actuator substrate has a bubble vent channel communicating with the other end of the liquid supply chamber opposite to the one end in the reference direction.

本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。   The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention includes the liquid ejecting head, a moving mechanism that relatively moves the liquid ejecting head and the recording medium, a liquid supply pipe that supplies liquid to the liquid ejecting head, and the liquid And a liquid tank for supplying the liquid to the supply pipe.

本発明による液体噴射ヘッドは、基準方向に配列する複数のチャンネルを備えるアクチュエータ基板と、複数のチャンネルに連通し複数のチャンネルに対応して基準方向に細長い液体供給室と、液体供給室の基準方向における一端に連通する液体流入孔とを備える流路部材と、を備え、液体供給室は、基準方向に直交する方向の断面積が基準方向の一端から他端にかけて縮小する第一形態と第一形態よりも断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる可動壁を備える。これにより、液体噴射ヘッドのクリーニング時や液体充填時に可動壁を第一形態に設定して気泡を排出し、液体噴射ヘッドの通常駆動時に可動壁を第二形態に切り替えて液体供給室内の温度差を縮小させることができる。   A liquid ejecting head according to the present invention includes an actuator substrate having a plurality of channels arranged in a reference direction, a liquid supply chamber that communicates with the plurality of channels and that is elongated in the reference direction corresponding to the plurality of channels, and a reference direction of the liquid supply chamber A flow path member having a liquid inflow hole communicating with one end of the liquid supply chamber, and the liquid supply chamber has a first form and a first form in which a cross-sectional area in a direction orthogonal to the reference direction is reduced from one end to the other end in the reference direction A movable wall is provided that switches to a second form having a reduced cross-sectional area smaller than the form. As a result, the movable wall is set to the first form when the liquid ejecting head is cleaned or the liquid is filled, and the bubbles are discharged.When the liquid ejecting head is normally driven, the movable wall is switched to the second form to change the temperature difference in the liquid supply chamber. Can be reduced.

本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a liquid ejecting head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a fifth embodiment of the invention. 本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus according to a sixth embodiment of the present invention. 従来公知の液体噴射ヘッドの説明図である。It is explanatory drawing of a conventionally well-known liquid ejecting head.

(第一実施形態)
図1は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。第一実施形態は本発明の基本構成である。液体噴射ヘッド1はアクチュエータ基板2と流路部材3を備える。アクチュエータ基板2は基準方向Kに配列する複数のチャンネル7を備える。流路部材3は、複数のチャンネル7に連通し複数のチャンネル7に対応して基準方向Kに細長い液体供給室4と、液体供給室4の基準方向Kにおける一端E1に連通する液体流入孔9とを備える。液体供給室4は第一形態Aと第二形態Bとが切り替わる可動壁5を備える。可動壁5の第一形態Aは、基準方向Kに直交する方向の断面積Dsが基準方向Kの一端E1から他端E2にかけて縮小する。可動壁5の第二形態Bは、第一形態Aよりも基準方向Kの一端E1から他端E2にかけて縮小する断面積Ds’の縮小幅が小さい。これにより、液体噴射ヘッド1のクリーニング時や液体充填時に可動壁5を第一形態Aに設定して気泡を排出し、通常駆動時に可動壁5を第二形態Bに切り替えて液体供給室4内の温度差を縮小させ、記録品質を向上させる。
(First embodiment)
FIG. 1 is an explanatory diagram of a liquid jet head 1 according to the first embodiment of the present invention. The first embodiment is a basic configuration of the present invention. The liquid ejecting head 1 includes an actuator substrate 2 and a flow path member 3. The actuator substrate 2 includes a plurality of channels 7 arranged in the reference direction K. The flow path member 3 communicates with the plurality of channels 7 and corresponds to the plurality of channels 7 and is elongated in the reference direction K, and the liquid inflow hole 9 communicates with one end E1 of the liquid supply chamber 4 in the reference direction K. With. The liquid supply chamber 4 includes a movable wall 5 where the first form A and the second form B are switched. In the first form A of the movable wall 5, the cross-sectional area Ds in the direction orthogonal to the reference direction K decreases from one end E1 to the other end E2 in the reference direction K. The second form B of the movable wall 5 has a smaller reduction width of the cross-sectional area Ds ′ that is reduced from the one end E1 to the other end E2 in the reference direction K than the first form A. As a result, the movable wall 5 is set to the first form A when the liquid jet head 1 is cleaned or filled with liquid, and bubbles are discharged, and the movable wall 5 is switched to the second form B during normal driving, so that the inside of the liquid supply chamber 4 The temperature difference is reduced to improve the recording quality.

以下、具体的に説明する。アクチュエータ基板2は基準方向Kに複数のチャンネル7が配列するチャンネル列7rを備える。流路部材3は基準方向Kに細長い形状を有する液体供給室4を備える。流路部材3は、液体供給室4を複数のチャンネル7に対応させてアクチュエータ基板2の一面Sxに設置される。液体供給室4は、チャンネル列7rの側に開口し、連通孔10を介して複数のチャンネル7に連通する。アクチュエータ基板2は一面Sxとは異なる他面Syに複数のノズル孔11を備え、複数のノズル孔11は複数のチャンネル7にそれぞれ連通する。図1において、流路部材3を設置する一面Sxとノズル孔11が形成される他面Syは対向している。しかし、本発明においては流路部材3を設置する一面Sxとノズル孔11が形成される他面Syは対向しなくてもよい。例えば、アクチュエータ基板2の基板面(一面Sx)に流路部材3を設置し、アクチュエータ基板2の側面(他面Sy)にノズル孔11を形成する構成であってもよい。この場合、一面Sxと他面Syは交差する。アクチュエータ基板2の流路部材3側に設ける連通孔10は、複数のチャンネル7のそれぞれに個別に連通する複数の連通口から構成してもよい。   This will be specifically described below. The actuator substrate 2 includes a channel row 7r in which a plurality of channels 7 are arranged in the reference direction K. The flow path member 3 includes a liquid supply chamber 4 having an elongated shape in the reference direction K. The flow path member 3 is installed on one surface Sx of the actuator substrate 2 with the liquid supply chamber 4 corresponding to the plurality of channels 7. The liquid supply chamber 4 opens to the channel row 7r side and communicates with the plurality of channels 7 through the communication holes 10. The actuator substrate 2 includes a plurality of nozzle holes 11 on the other surface Sy different from the one surface Sx, and the plurality of nozzle holes 11 communicate with the plurality of channels 7, respectively. In FIG. 1, one surface Sx on which the flow path member 3 is installed and the other surface Sy on which the nozzle holes 11 are formed face each other. However, in the present invention, the one surface Sx on which the flow path member 3 is installed and the other surface Sy on which the nozzle holes 11 are formed do not have to face each other. For example, the flow path member 3 may be installed on the substrate surface (one surface Sx) of the actuator substrate 2 and the nozzle hole 11 may be formed on the side surface (other surface Sy) of the actuator substrate 2. In this case, the one surface Sx and the other surface Sy intersect. The communication hole 10 provided on the flow path member 3 side of the actuator substrate 2 may be composed of a plurality of communication ports that individually communicate with each of the plurality of channels 7.

液体流入孔9は基準方向Kにおける一端E1において液体供給室4と連通する。可動壁5は液体供給室4の基準方向Kにおける一端E1側を支点として他端E2側がアクチュエータ基板2の一面Sxの法線方向であるz方向に可動する。可動壁5の第一形態Aは可動壁5の他端E2側がアクチュエータ基板2に接近する下方(−z方向)に位置する形態であり、可動壁5の第二形態Bは可動壁5の他端E2側がアクチュエータ基板2から離間する上方(+z方向)に位置する形態である。従って、第一形態Aでは、基準方向Kにおける一端E1から他端E2にかけて液体供給室4の基準方向Kに直交する方向の断面積Dsが次第に縮小し、第二形態Bでは、一端E1から他端E2にかけて液体供給室4の基準方向Kに直交する方向の断面積Ds’はほぼ一定であり、第二形態Bは第一形態Aよりも断面積の縮小幅が小さい。   The liquid inflow hole 9 communicates with the liquid supply chamber 4 at one end E1 in the reference direction K. The movable wall 5 moves in the z direction, which is the normal direction of the one surface Sx of the actuator substrate 2, with the one end E1 side in the reference direction K of the liquid supply chamber 4 as a fulcrum. The first form A of the movable wall 5 is a form in which the other end E <b> 2 side of the movable wall 5 is positioned below (−z direction) approaching the actuator substrate 2, and the second form B of the movable wall 5 is other than the movable wall 5. In this configuration, the end E2 side is positioned above (+ z direction) away from the actuator substrate 2. Therefore, in the first form A, the cross-sectional area Ds in the direction perpendicular to the reference direction K of the liquid supply chamber 4 gradually decreases from one end E1 to the other end E2 in the reference direction K. The cross-sectional area Ds ′ in the direction perpendicular to the reference direction K of the liquid supply chamber 4 from the end E2 is substantially constant, and the reduced width of the cross-sectional area of the second form B is smaller than that of the first form A.

液体噴射ヘッド1のクリーニング時や液体充填時に可動壁5を第一形態Aに設定すれば、液体供給室4の基準方向Kに直交する方向の断面積Dsは一端E1から他端E2にかけて縮小する。そして、液体流入孔9から液体を押圧し、又は、チャンネル7の側から液体を吸引すれば、液体供給室4の液体は一端E1から他端E2にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室4の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板2の他端E2の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネルを設けておけば、他端E2側の流速を一層増加させることができる。   If the movable wall 5 is set to the first form A when cleaning the liquid jet head 1 or filling the liquid, the cross-sectional area Ds of the liquid supply chamber 4 in the direction orthogonal to the reference direction K decreases from one end E1 to the other end E2. . If the liquid is pressed from the liquid inflow hole 9 or the liquid is sucked from the channel 7 side, the flow rate of the liquid in the liquid supply chamber 4 increases from one end E1 to the other end E2. Therefore, the bubbles mixed in the liquid are quickly discharged outside without adhering to the wall surface of the liquid supply chamber 4. If a bubble removal channel for discharging liquid is provided on the other end E2 side of the actuator substrate 2, the flow velocity on the other end E2 side can be further increased.

一方、液体噴射ヘッド1の通常駆動時に可動壁5を第二形態Bに設定すれば、液体供給室4の断面積Ds’の一端E1から他端E2にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Aにおける断面積Dsの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Bの可動壁5のほうが第一形態Aの可動壁5よりも一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板2は駆動により発熱するので液体供給室4の液体は加熱されるが、第二形態Bは一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端E1側と他端E2側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。   On the other hand, if the movable wall 5 is set to the second form B when the liquid jet head 1 is normally driven, the reduction width of the cross-sectional area Ds ′ of the liquid supply chamber 4 that decreases from one end E1 to the other end E2 is the first form A. Is smaller than the reduction width of the cross-sectional area Ds. For this reason, the movable wall 5 of the second form B has a smaller decrease amount of the liquid amount from the one end E1 to the other end E2 than the movable wall 5 of the first form A. Since the actuator substrate 2 generates heat by driving, the liquid in the liquid supply chamber 4 is heated. However, in the second form B, the decrease in the amount of liquid from the one end E1 to the other end E2 is small. The temperature difference between the liquid on the E1 side and the other end E2 side is reduced, and the discharge conditions are made uniform.

(第二実施形態)
図2は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の記号を付している。
(Second embodiment)
FIG. 2 is an explanatory diagram of the liquid jet head 1 according to the second embodiment of the present invention. The same part or the part having the same function is denoted by the same symbol.

図2に示すように、液体噴射ヘッド1はアクチュエータ基板2とアクチュエータ基板2の一面Sxに設置される流路部材3を備える。アクチュエータ基板2は、基準方向Kに配列する複数のチャンネル7からなるチャンネル列7rと、チャンネル列7rの端部近傍に設置される気泡抜きチャンネル8とを備える。流路部材3は、アクチュエータ基板2の側に開口する液体供給室4と、液体供給室4に液体を流入する液体流入孔9とを備える。液体供給室4は、複数のチャンネル7と気泡抜きチャンネル8に連通孔10を介して連通し、チャンネル列7rと気泡抜きチャンネル8に対応して基準方向Kに細長い形状を有する。液体供給室4は、基準方向Kにおける一端E1において液体流入孔9と連通し、基準方向Kにおける他端E2において気泡抜きチャンネル8と連通する。   As shown in FIG. 2, the liquid ejecting head 1 includes an actuator substrate 2 and a flow path member 3 installed on one surface Sx of the actuator substrate 2. The actuator substrate 2 includes a channel row 7r composed of a plurality of channels 7 arranged in the reference direction K, and a bubble removal channel 8 installed in the vicinity of the end of the channel row 7r. The flow path member 3 includes a liquid supply chamber 4 that opens to the actuator substrate 2 side, and a liquid inflow hole 9 that allows the liquid to flow into the liquid supply chamber 4. The liquid supply chamber 4 communicates with the plurality of channels 7 and the bubble removal channel 8 via the communication holes 10 and has a shape elongated in the reference direction K corresponding to the channel row 7 r and the bubble removal channel 8. The liquid supply chamber 4 communicates with the liquid inflow hole 9 at one end E1 in the reference direction K, and communicates with the bubble removal channel 8 at the other end E2 in the reference direction K.

液体供給室4は、基準方向Kに直交する方向の断面積Dsが基準方向Kの一端E1から他端E2にかけて縮小する第一形態Aと第一形態Aよりも断面積Ds’の縮小幅が小さい第二形態Bとが切り替わる可動壁5を備える。液体噴射ヘッド1は、更に、可動壁5に作用して第一形態Aと第二形態Bとを切り替える切替手段6を備える。切替手段6は電磁気力により可動壁5を駆動する。   The liquid supply chamber 4 has a reduced width of the cross-sectional area Ds ′ as compared with the first form A and the first form A in which the cross-sectional area Ds in the direction perpendicular to the reference direction K decreases from one end E1 to the other end E2 in the reference direction K. A movable wall 5 for switching to the small second form B is provided. The liquid jet head 1 further includes switching means 6 that switches between the first form A and the second form B by acting on the movable wall 5. The switching means 6 drives the movable wall 5 by electromagnetic force.

具体的に説明する。流路部材3は、流路ケース3xと、流路ケース3xにより覆われる液体供給室4と、液体供給室4の一端E1に液体を流入する液体流入孔9と、液体流入孔9に連通する液体流入部16とを備える。流路ケース3xは基準方向Kに細長く、アクチュエータ基板2の一面Sxに向けて開口する箱型形状を有する。液体供給室4は流路ケース3xの内壁面と可動壁5により囲まれる領域であり、アクチュエータ基板2の一面Sxに向けて開口する。液体供給室4の可動壁5は可撓性膜5xと可動板5yを備える。可撓性膜5xは液体を収容可能に流路ケース3xの内壁面に水密に固定される。可動板5yは基準方向Kに細長い形状を有し、一端E1側が流路ケース3x又は可撓性膜5xに固定され、他端E2側がz方向に移動可能に可撓性膜5xに接着される。可撓性膜5xは可動板5yの他端E2側がz方向に移動可能に撓みを設けて流路ケース3xに固定される。可撓性膜5xと流路ケース3xにより囲まれる空間は外気と連通する。可動板5yは、一端E1側が流路ケース3xに設置される回転軸に軸支され、他端E2側が回転軸を中心に回転可能な板体であってもよい。可動板5yは可撓性膜5xよりも高い剛性を有する。可撓性膜5xとして例えばポリイミド膜、ポリエチレン膜、ポリブチレンテレフタレート膜、ポリエチレンテレフタレート膜などを使用することができる。また、可撓性膜5xとしてゴム材等の伸縮性を有する弾性体を使用することができる。可動板5yが接着される領域の可撓性膜5xは平坦面であり、アクチュエータ基板2の一面Sxに対してほぼ一定角度で傾斜する。   This will be specifically described. The flow path member 3 communicates with the flow path case 3 x, the liquid supply chamber 4 covered with the flow path case 3 x, the liquid inflow hole 9 for flowing liquid into one end E 1 of the liquid supply chamber 4, and the liquid inflow hole 9. A liquid inflow portion 16. The flow path case 3x is elongated in the reference direction K and has a box shape that opens toward the one surface Sx of the actuator substrate 2. The liquid supply chamber 4 is a region surrounded by the inner wall surface of the flow path case 3 x and the movable wall 5, and opens toward the one surface Sx of the actuator substrate 2. The movable wall 5 of the liquid supply chamber 4 includes a flexible film 5x and a movable plate 5y. The flexible membrane 5x is watertightly fixed to the inner wall surface of the flow path case 3x so as to be able to accommodate a liquid. The movable plate 5y has an elongated shape in the reference direction K, one end E1 side is fixed to the flow path case 3x or the flexible film 5x, and the other end E2 side is bonded to the flexible film 5x so as to be movable in the z direction. . The flexible film 5x is fixed to the flow path case 3x by bending so that the other end E2 side of the movable plate 5y can move in the z direction. A space surrounded by the flexible membrane 5x and the flow path case 3x communicates with outside air. The movable plate 5y may be a plate body whose one end E1 side is pivotally supported by a rotating shaft installed in the flow path case 3x and whose other end E2 side is rotatable about the rotating shaft. The movable plate 5y has higher rigidity than the flexible film 5x. As the flexible film 5x, for example, a polyimide film, a polyethylene film, a polybutylene terephthalate film, a polyethylene terephthalate film, or the like can be used. Further, an elastic body having elasticity such as a rubber material can be used as the flexible film 5x. The flexible film 5x in the region to which the movable plate 5y is bonded is a flat surface and is inclined at a substantially constant angle with respect to the one surface Sx of the actuator substrate 2.

切替手段6は、可動板5yの他端E2側に設置される永久磁石6yと、永久磁石6yに対向し流路ケース3xの外面に設置される電磁石6xを含む。なお、可動板5yに永久磁石6yを設けることに代えて、可動板5yが永久磁石であってもよい。図示しない制御部より電磁石6xに電流を流して電磁力により可動壁5を第一形態Aと第二形態Bに切り替えることができる。   The switching means 6 includes a permanent magnet 6y installed on the other end E2 side of the movable plate 5y, and an electromagnet 6x installed on the outer surface of the flow path case 3x so as to face the permanent magnet 6y. Instead of providing the permanent magnet 6y on the movable plate 5y, the movable plate 5y may be a permanent magnet. The movable wall 5 can be switched between the first form A and the second form B by an electromagnetic force by causing a current to flow from the control unit (not shown) to the electromagnet 6x.

アクチュエータ基板2は、基準方向Kに配列しチャンネル列7rを構成する複数のチャンネル7、及び、気泡抜きチャンネル8と、複数のチャンネル7にそれぞれ連通し他面Syに開口する複数のノズル孔11と、複数のチャンネル7に連通し一面Sxに開口する連通孔10とを備える。流路ケース3xはアクチュエータ基板2の表面に設置され、液体供給室4は複数のチャンネル7及び気泡抜きチャンネル8と連通孔10を介して連通する。連通孔10には図示しないフィルターが設置され、液体供給室4は複数のチャンネル7及び気泡抜きチャンネル8とフィルターを介して連通する。なお、アクチュエータ基板2の一面Sxに設ける連通孔10は、複数のチャンネル7に連通する構成に代えて、複数のチャンネル7のそれぞれに連通する複数の連通口であってもよい。   The actuator substrate 2 includes a plurality of channels 7 that are arranged in the reference direction K and constitute the channel row 7r, a bubble removal channel 8, and a plurality of nozzle holes 11 that communicate with the plurality of channels 7 and open to the other surface Sy. And a communication hole 10 communicating with the plurality of channels 7 and opening on one surface Sx. The flow path case 3x is installed on the surface of the actuator substrate 2, and the liquid supply chamber 4 communicates with the plurality of channels 7 and the bubble removal channel 8 through the communication holes 10. A filter (not shown) is installed in the communication hole 10, and the liquid supply chamber 4 communicates with the plurality of channels 7 and the bubble removal channel 8 through the filter. The communication hole 10 provided in the one surface Sx of the actuator substrate 2 may be a plurality of communication ports communicating with each of the plurality of channels 7 instead of the configuration communicating with the plurality of channels 7.

液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。まず、液体充填時には切替手段6を駆動して可動壁5を第一形態Aに設定する。具体的には、電磁石6xに電流を流して永久磁石6yを下方(−z方向)に押圧し可動板5yを押し下げる。従って、液体供給室4の基準方向Kに直交する方向の断面積Dsは一端E1から他端E2にかけて縮小する。そして、液体流入孔9から液体を圧入する。液体供給室4の液体は一端E1から他端E2にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室4の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板2の他端E2の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル8を設けているので他端E2側の流速は一層増加する。   The liquid jet head 1 is driven as follows. First, when the liquid is filled, the switching means 6 is driven to set the movable wall 5 to the first form A. Specifically, an electric current is passed through the electromagnet 6x to press the permanent magnet 6y downward (−z direction) to push down the movable plate 5y. Accordingly, the cross-sectional area Ds of the liquid supply chamber 4 in the direction orthogonal to the reference direction K decreases from one end E1 to the other end E2. Then, the liquid is press-fitted from the liquid inflow hole 9. The flow rate of the liquid in the liquid supply chamber 4 increases from one end E1 to the other end E2. Therefore, the bubbles mixed in the liquid are quickly discharged outside without adhering to the wall surface of the liquid supply chamber 4. Since the bubble removal channel 8 for discharging the liquid is provided on the other end E2 side of the actuator substrate 2, the flow velocity on the other end E2 side further increases.

次に、通常駆動時には切替手段6を駆動して可動壁5を第二形態Bに設定する。具体的には、電磁石6xに逆方向の電流を流して永久磁石6yを上方(+z方向)に可動板5yを引き上げる。従って、液体供給室4の断面積Ds’の一端E1から他端E2にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Aにおける断面積Dsの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Bの可動壁5のほうが第一形態Aの可動壁5よりも一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板2は駆動により発熱するので液体供給室4の液体は加熱されるが、第二形態Bは一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端E1側と他端E2側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。一端E1側と他端E2側の液体の温度差を例えば5℃以下とするのが好ましい。   Next, during normal driving, the switching means 6 is driven to set the movable wall 5 to the second form B. Specifically, a current in the reverse direction is supplied to the electromagnet 6x to pull the movable plate 5y upward (in the + z direction). Therefore, the reduction width of the cross-sectional area Ds ′ of the liquid supply chamber 4 that decreases from one end E1 to the other end E2 is smaller than the reduction width of the cross-sectional area Ds in the first embodiment A. For this reason, the movable wall 5 of the second form B has a smaller decrease amount of the liquid amount from the one end E1 to the other end E2 than the movable wall 5 of the first form A. Since the actuator substrate 2 generates heat by driving, the liquid in the liquid supply chamber 4 is heated. However, in the second form B, the decrease in the amount of liquid from the one end E1 to the other end E2 is small. The temperature difference between the liquid on the E1 side and the other end E2 side is reduced, and the discharge conditions are made uniform. The temperature difference between the liquid on one end E1 side and the other end E2 side is preferably set to 5 ° C. or less, for example.

なお、本実施形態において、永久磁石6yと電磁石6xを入れ替えてもよいし、両方を電磁石としてもよい。また、電磁石6xを流路ケース3xの内側に、永久磁石6yを液体供給室4側に設置してもよい。また、永久磁石6yに代えて着磁していない強磁性体、例えば鉄材を使用することができる。また、永久磁石6yの設置に代えて、可動板5yを強磁性体としてもよい。これら場合は、可動壁5と流路ケース3xの間に付勢部材を設置する、或いは可撓性膜5xと流路ケース3xにより囲まれる空間を密閉空間とする。電磁石6xに流す電流を遮断したときに、付勢部材の付勢力、或いは密閉空間の空気圧により可動壁5が第一形態A又は第二形態Bに復元されるように構成すればよい。また、電磁石6xと永久磁石6yに代えて導電板を設置し、静電気力により可動壁5を駆動してもよい。また、可動壁5は、可動板5yを使用することに代えて、可動板5yの領域の可撓性膜5xを他の領域の可撓性膜よりも剛性を高くしてもよい。例えば、可動板5yの領域の可撓性膜5xを他の領域よりも厚く形成する。   In the present embodiment, the permanent magnet 6y and the electromagnet 6x may be interchanged, or both may be electromagnets. Further, the electromagnet 6x may be installed inside the flow path case 3x, and the permanent magnet 6y may be installed on the liquid supply chamber 4 side. Moreover, it can replace with the permanent magnet 6y and can use the ferromagnetic material which is not magnetized, for example, an iron material. Further, instead of installing the permanent magnet 6y, the movable plate 5y may be made of a ferromagnetic material. In these cases, an urging member is installed between the movable wall 5 and the flow path case 3x, or a space surrounded by the flexible film 5x and the flow path case 3x is defined as a sealed space. What is necessary is just to comprise so that the movable wall 5 may be decompress | restored to the 1st form A or the 2nd form B with the urging | biasing force of an urging member, or the air pressure of sealed space when the electric current sent through the electromagnet 6x is interrupted | blocked. Alternatively, a conductive plate may be installed in place of the electromagnet 6x and the permanent magnet 6y, and the movable wall 5 may be driven by electrostatic force. Moreover, instead of using the movable plate 5y, the movable wall 5 may have a higher rigidity in the flexible film 5x in the region of the movable plate 5y than in the flexible film in other regions. For example, the flexible film 5x in the region of the movable plate 5y is formed thicker than the other regions.

(第三実施形態)
図3は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。第二実施形態と異なる点は可動壁5を空気圧により駆動する点であり、アクチュエータ基板2、流路ケース3x、液体流入部16及び液体流入孔9の構成は第二実施形態と同様なので、説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の記号を付している。
(Third embodiment)
FIG. 3 is an explanatory diagram of the liquid jet head 1 according to the third embodiment of the present invention. The difference from the second embodiment is that the movable wall 5 is driven by air pressure, and the configurations of the actuator substrate 2, the flow path case 3 x, the liquid inflow portion 16, and the liquid inflow hole 9 are the same as in the second embodiment. Is omitted. The same part or the part having the same function is denoted by the same symbol.

図3に示すように、液体供給室4の可動壁5は可撓性膜5xと可動板5yを備える。可撓性膜5xは液体を収容可能に流路ケース3xの内壁面に水密に固定される。可動板5yは基準方向Kに細長い形状を有し、一端E1側が流路ケース3x又は可撓性膜5xに固定され、他端E2側がz方向に移動可能に可撓性膜5xに接着される。可撓性膜5xは可動板5yの他端E2側がz方向に移動可能に撓みを設けて流路ケース3xに固定される。可動板5yは、一端E1側が流路ケース3xに設置される回転軸に軸支され、他端E2側が回転軸を中心に回転可能な構成であってもよい。可動板5yは可撓性膜5xよりも高い剛性を有する。可撓性膜5xの材質は第二実施形態と同様であり説明を省略する。   As shown in FIG. 3, the movable wall 5 of the liquid supply chamber 4 includes a flexible film 5x and a movable plate 5y. The flexible membrane 5x is watertightly fixed to the inner wall surface of the flow path case 3x so as to be able to accommodate a liquid. The movable plate 5y has an elongated shape in the reference direction K, one end E1 side is fixed to the flow path case 3x or the flexible film 5x, and the other end E2 side is bonded to the flexible film 5x so as to be movable in the z direction. . The flexible film 5x is fixed to the flow path case 3x by bending so that the other end E2 side of the movable plate 5y can move in the z direction. The movable plate 5y may be configured such that one end E1 side is pivotally supported by a rotation shaft installed in the flow path case 3x and the other end E2 side is rotatable about the rotation shaft. The movable plate 5y has higher rigidity than the flexible film 5x. The material of the flexible film 5x is the same as in the second embodiment, and a description thereof is omitted.

切替手段6は、可動板5yと流路ケース3xの間に形成される圧力室6pと、圧力室6pの空気圧を変化させる空気ポンプ6sと、圧力室6pと空気ポンプ6sを連通させる連通路6qaとを備える。切替手段6は可動壁5の液体供給室4とは反対側である外面OS側の空気圧を変化させて可動壁5を駆動する。   The switching means 6 includes a pressure chamber 6p formed between the movable plate 5y and the flow path case 3x, an air pump 6s that changes the air pressure in the pressure chamber 6p, and a communication path 6qa that communicates the pressure chamber 6p and the air pump 6s. With. The switching means 6 drives the movable wall 5 by changing the air pressure on the outer surface OS side opposite to the liquid supply chamber 4 of the movable wall 5.

液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。まず、液体充填時には空気ポンプ6sを駆動して圧力室6pを加圧する。可動壁5は圧力室6pの空気圧により他端E2側がアクチュエータ基板2に接近する下方(−z方向)に移動して第一形態Aに設定される。従って、液体供給室4の基準方向Kに直交する方向の断面積Dsは一端E1から他端E2にかけて縮小する。そして、液体流入孔9から液体を押圧すると液体供給室4の液体は一端E1から他端E2にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室4の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板2の他端E2の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル8を設けているので他端E2側の流速は一層増加する。   The liquid jet head 1 is driven as follows. First, at the time of liquid filling, the air pump 6s is driven to pressurize the pressure chamber 6p. The movable wall 5 is set to the first form A by the other end E2 side moving downward (−z direction) close to the actuator substrate 2 by the air pressure of the pressure chamber 6p. Accordingly, the cross-sectional area Ds of the liquid supply chamber 4 in the direction orthogonal to the reference direction K decreases from one end E1 to the other end E2. When the liquid is pressed from the liquid inflow hole 9, the flow rate of the liquid in the liquid supply chamber 4 increases from one end E1 to the other end E2. Therefore, the bubbles mixed in the liquid are quickly discharged outside without adhering to the wall surface of the liquid supply chamber 4. Since the bubble removal channel 8 for discharging the liquid is provided on the other end E2 side of the actuator substrate 2, the flow velocity on the other end E2 side further increases.

通常駆動時には空気ポンプ6sを駆動して圧力室6pから空気を吸引する。可動壁5は、他端E2側がアクチュエータ基板2から離間する上方(+z方向)に移動して第二形態Bに設定される。従って、液体供給室4の断面積Ds’の一端E1から他端E2にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Aにおける断面積Dsの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Bの可動壁5のほうが第一形態Aの可動壁5よりも一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板2は駆動により発熱するので液体供給室4の液体は加熱されるが、第二形態Bは一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端E1側と他端E2側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。   During normal driving, the air pump 6s is driven to suck air from the pressure chamber 6p. The movable wall 5 is set to the second configuration B by moving the other end E <b> 2 upward (in the + z direction) away from the actuator substrate 2. Therefore, the reduction width of the cross-sectional area Ds ′ of the liquid supply chamber 4 that decreases from one end E1 to the other end E2 is smaller than the reduction width of the cross-sectional area Ds in the first embodiment A. For this reason, the movable wall 5 of the second form B has a smaller decrease amount of the liquid amount from the one end E1 to the other end E2 than the movable wall 5 of the first form A. Since the actuator substrate 2 generates heat by driving, the liquid in the liquid supply chamber 4 is heated. However, in the second form B, the decrease in the amount of liquid from the one end E1 to the other end E2 is small. The temperature difference between the liquid on the E1 side and the other end E2 side is reduced, and the discharge conditions are made uniform.

(第四実施形態)
図4は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。第三実施形態と異なる点は可動壁5を液体供給室4の液体圧力により駆動する点であり、アクチュエータ基板2、流路ケース3x、液体流入部16、及び液体流入孔9は第二実施形態と同様なので、説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の記号を付している。
(Fourth embodiment)
FIG. 4 is an explanatory diagram of the liquid jet head 1 according to the fourth embodiment of the present invention. The difference from the third embodiment is that the movable wall 5 is driven by the liquid pressure in the liquid supply chamber 4. The actuator substrate 2, the flow path case 3 x, the liquid inflow portion 16, and the liquid inflow hole 9 are the second embodiment. Since it is the same as that, the description is omitted. The same part or the part having the same function is denoted by the same symbol.

図4に示すように、液体供給室4の可動壁5は可撓性膜5xと可動板5yを備える。可撓性膜5xは液体を収容可能に流路ケース3xの内壁面に水密に固定される。可動板5yは基準方向Kに細長い形状を有し、一端E1側が流路ケース3x又は可撓性膜5xに固定され、他端E2側がz方向に移動可能に可撓性膜5xに接着される。可撓性膜5xは可動板5yの他端E2側がz方向に移動可能に撓みを設けて流路ケース3xに固定される。可撓性膜5xと流路ケース3xにより囲まれる空間は外気と連通する。可動板5yは、一端E1側が流路ケース3xに設置される回転軸に軸支され、他端E2側が回転軸を中心に回転可能な構成であってもよい。可動板5yは可撓性膜5xよりも高い剛性を有する。なお、可動板5yと流路ケース3xの間の空間は開口3yを介して大気に連通する。可撓性膜5xの材質は第二実施形態と同様であり説明を省略する。   As shown in FIG. 4, the movable wall 5 of the liquid supply chamber 4 includes a flexible film 5x and a movable plate 5y. The flexible membrane 5x is watertightly fixed to the inner wall surface of the flow path case 3x so as to be able to accommodate a liquid. The movable plate 5y has an elongated shape in the reference direction K, one end E1 side is fixed to the flow path case 3x or the flexible film 5x, and the other end E2 side is bonded to the flexible film 5x so as to be movable in the z direction. . The flexible film 5x is fixed to the flow path case 3x by bending so that the other end E2 side of the movable plate 5y can move in the z direction. A space surrounded by the flexible membrane 5x and the flow path case 3x communicates with outside air. The movable plate 5y may be configured such that one end E1 side is pivotally supported by a rotation shaft installed in the flow path case 3x and the other end E2 side is rotatable about the rotation shaft. The movable plate 5y has higher rigidity than the flexible film 5x. The space between the movable plate 5y and the flow path case 3x communicates with the atmosphere via the opening 3y. The material of the flexible film 5x is the same as in the second embodiment, and a description thereof is omitted.

切替手段6は、凹部を有する吸引キャップ6uと、液体ポンプ6tと、吸引キャップ6uと液体ポンプ6tを連通する連通路6qbと、可動壁5をアクチュエータ基板2から離間する上方(+z方向)に付勢する付勢部材6zとを備える。切替手段6は、可動壁5の液体供給室4側である内面IS側の液体の圧力を変化させて可動壁5を駆動する。   The switching means 6 is attached to a suction cap 6u having a recess, a liquid pump 6t, a communication path 6qb communicating the suction cap 6u and the liquid pump 6t, and an upper side (+ z direction) separating the movable wall 5 from the actuator substrate 2. And a biasing member 6z for biasing. The switching unit 6 drives the movable wall 5 by changing the pressure of the liquid on the inner surface IS side that is the liquid supply chamber 4 side of the movable wall 5.

液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。まず、液体充填時には可動壁5を第一形態Aに設定する。具体的には、吸引キャップ6uを図示しない移動手段によりアクチュエータ基板2の他面Syに相対的に移動させ、凹部の開口にノズル孔11が位置するように凹部の上端面を一面Sxに密着させる。そして、液体ポンプ6tを駆動して凹部の内空間、ノズル孔11及び気泡抜きチャンネル8を負圧に減圧する。可動壁5は大気圧により他端E2側がアクチュエータ基板2に接近する下方(−z方向)に押圧されて第一形態Aに設定される。液体は液体流入部16、液体流入孔9から液体供給室4に吸引されて流入し、各チャンネル7に充填される。可動壁5は第一形態Aを維持するので、液体供給室4の基準方向Kに直交する方向の断面積Dsは一端E1から他端E2にかけて縮小し、液体は一端E1から他端E2にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室4の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板2の他端E2の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル8を設けているので他端E2側の流速は一層増加する。   The liquid jet head 1 is driven as follows. First, the movable wall 5 is set to the first form A at the time of liquid filling. Specifically, the suction cap 6u is moved relative to the other surface Sy of the actuator substrate 2 by a moving means (not shown), and the upper end surface of the recess is brought into close contact with the entire surface Sx so that the nozzle hole 11 is positioned in the opening of the recess. . Then, the liquid pump 6t is driven to reduce the inner space of the recess, the nozzle hole 11 and the bubble removal channel 8 to a negative pressure. The movable wall 5 is set to the first form A by being pressed downward (−z direction) where the other end E2 side approaches the actuator substrate 2 by atmospheric pressure. The liquid is sucked and flows into the liquid supply chamber 4 from the liquid inflow portion 16 and the liquid inflow hole 9 and is filled in each channel 7. Since the movable wall 5 maintains the first form A, the cross-sectional area Ds of the liquid supply chamber 4 in the direction orthogonal to the reference direction K decreases from one end E1 to the other end E2, and the liquid flows from one end E1 to the other end E2. Will increase. Therefore, the bubbles mixed in the liquid are quickly discharged outside without adhering to the wall surface of the liquid supply chamber 4. Since the bubble removal channel 8 for discharging the liquid is provided on the other end E2 side of the actuator substrate 2, the flow velocity on the other end E2 side further increases.

通常駆動時は、アクチュエータ基板2のノズル面から吸引キャップ6uを除去する。液体供給室4の液体の圧力は大気圧に近づき、可動壁5は付勢部材6zにより他端E2側がアクチュエータ基板2から離間する上方(+z方向)に付勢されて第二形態Bに設定される。その結果、液体供給室4の断面積Ds’の一端E1から他端E2にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Aにおける断面積Dsの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Bの可動壁5のほうが第一形態Aの可動壁5よりも一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板2は駆動により発熱するので液体供給室4の液体は加熱されるが、第二形態Bは一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端E1側と他端E2側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。   During normal driving, the suction cap 6u is removed from the nozzle surface of the actuator substrate 2. The pressure of the liquid in the liquid supply chamber 4 approaches atmospheric pressure, and the movable wall 5 is urged upward (in the + z direction) by which the other end E2 side is separated from the actuator substrate 2 by the urging member 6z and set to the second form B. The As a result, the reduction width of the cross-sectional area Ds ′ of the liquid supply chamber 4 that decreases from one end E1 to the other end E2 is smaller than the reduction width of the cross-sectional area Ds in the first embodiment A. For this reason, the movable wall 5 of the second form B has a smaller decrease amount of the liquid amount from the one end E1 to the other end E2 than the movable wall 5 of the first form A. Since the actuator substrate 2 generates heat by driving, the liquid in the liquid supply chamber 4 is heated. However, in the second form B, the decrease in the amount of liquid from the one end E1 to the other end E2 is small. The temperature difference between the liquid on the E1 side and the other end E2 side is reduced, and the discharge conditions are made uniform.

なお、可動壁5に付勢部材6zを設けることに代えて、可動壁5に接着する可動板5yとしてばね材等を用い、可撓性膜5xの他端E2側を上方(+z方向)に付勢するようにしてもよい。この場合は、可動板5yが付勢部材として機能する。また、開口3yを閉塞して可動壁5と流路ケース3xにより囲まれる内部空間を密閉空間としてもよい。この場合、内部空間の圧力は通常駆動時の液体供給室4の液体圧力に対し負圧となるように予め設定しておく。   Instead of providing the urging member 6z on the movable wall 5, a spring material or the like is used as the movable plate 5y bonded to the movable wall 5, and the other end E2 side of the flexible film 5x is directed upward (+ z direction). It may be energized. In this case, the movable plate 5y functions as an urging member. Alternatively, the internal space surrounded by the movable wall 5 and the flow path case 3x by closing the opening 3y may be a sealed space. In this case, the pressure in the internal space is set in advance so as to be negative with respect to the liquid pressure in the liquid supply chamber 4 during normal driving.

なお、切替手段6として、第一〜第四実施形態とは別に、熱膨張率の異なる2種の金属板を溶接したバイメタルを用いることができる。例えば、バイメタルに通電により発熱する発熱体を設け、一端を流路ケース3xに固定し他端を可動板5yに係止する。通電により発熱体を加熱してバイメタルを変形させ、可動壁5を第一形態A又は第二形態Bから第二形態B又は第一形態Aに切り替えることができる。   In addition, as the switching means 6, the bimetal which welded two types of metal plates from which a thermal expansion coefficient differs can be used separately from 1st-4th embodiment. For example, a heating element that generates heat when energized is provided in the bimetal, one end is fixed to the flow path case 3x, and the other end is locked to the movable plate 5y. By heating the heating element by energization, the bimetal is deformed, and the movable wall 5 can be switched from the first form A or the second form B to the second form B or the first form A.

(第五実施形態)
図5は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図である。図5(a)は、液体噴射ヘッド1の分解斜視図であり、図5(b)は、組み立て後の状態の斜視図であり、図5(c)は、組み立て後の状態を下面からみた下面図であり、図5(d)は、部分AAの横断面図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。なお、本実施形態においては第一〜第四実施形態とは異なり、K−z平面に直交する+y方向が上方、−y方向が下方である。また、可動壁5の可動方向はz方向であり、第一〜第四実施形態と同様である。
(Fifth embodiment)
FIG. 5 is an explanatory diagram of the liquid jet head 1 according to the fifth embodiment of the invention. FIG. 5A is an exploded perspective view of the liquid ejecting head 1, FIG. 5B is a perspective view of the assembled state, and FIG. 5C is a view of the assembled state from the lower surface. It is a bottom view and FIG.5 (d) is a cross-sectional view of the part AA. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals. In the present embodiment, unlike the first to fourth embodiments, the + y direction orthogonal to the Kz plane is upward and the -y direction is downward. The movable direction of the movable wall 5 is the z direction, which is the same as in the first to fourth embodiments.

液体噴射ヘッド1は、液滴を吐出するアクチュエータ基板2と、このアクチュエータ基板2を両側から挟む第一及び第二流路部材3a、3bと、第一及び第二流路部材3a、3bの端部に接続する第一及び第二液体流入管14a、14bとを備えている。アクチュエータ基板2は、基準方向Kに細長い長尺形状を有し、一方面Saの側の第一アクチュエータ基板2aと、その反対の他方面Sbの側の第二アクチュエータ基板2bを備えている。   The liquid ejecting head 1 includes an actuator substrate 2 that ejects droplets, first and second flow path members 3a and 3b that sandwich the actuator substrate 2 from both sides, and ends of the first and second flow path members 3a and 3b. And first and second liquid inflow pipes 14a and 14b connected to the section. The actuator substrate 2 has a long and narrow shape in the reference direction K, and includes a first actuator substrate 2a on the one side Sa side and a second actuator substrate 2b on the opposite other side Sb side.

第一アクチュエータ基板2aは、一方面Saの基準方向Kに配列する複数の第一チャンネル7aと、この複数の第一チャンネル7aに液体を導入する第一連通孔10aと、第一アクチュエータ基板2aの下端面に開口し、複数の第一チャンネル7aのそれぞれに連通する複数の第一ノズル孔11aを備えている。第二アクチュエータ基板2bは、第一アクチュエータ基板2aと同様に、他方面Sbの基準方向Kに配列する第二チャンネル7bと、この複数の第二チャンネル7bに液体を導入する図示しない第二連通孔10bと、第二アクチュエータ基板2bの下端面に開口し、複数の第二チャンネル7bのそれぞれに連通する複数の第二ノズル孔11bを備えている。従って、図5(c)に示すように、アクチュエータ基板2の下端面には第一ノズル孔11aと第二ノズル孔11bが並行して基準方向Kに配列している。   The first actuator substrate 2a includes a plurality of first channels 7a arranged in the reference direction K of the one surface Sa, a first series of through holes 10a for introducing liquid into the plurality of first channels 7a, and the first actuator substrate 2a. Are provided with a plurality of first nozzle holes 11a that open to the lower end surface of the first channel 7a and communicate with each of the plurality of first channels 7a. Similarly to the first actuator substrate 2a, the second actuator substrate 2b includes a second channel 7b arranged in the reference direction K of the other surface Sb, and a second communication hole (not shown) for introducing liquid into the plurality of second channels 7b. 10b and a plurality of second nozzle holes 11b that open to the lower end surface of the second actuator substrate 2b and communicate with each of the plurality of second channels 7b. Therefore, as shown in FIG. 5C, the first nozzle hole 11 a and the second nozzle hole 11 b are arranged in parallel in the reference direction K on the lower end surface of the actuator substrate 2.

なお、アクチュエータ基板2は具体的には4層構造を有している。第一アクチュエータ基板2aは、表面に多数の第一チャンネル7aを有する圧電体プレートと、第一連通孔10aを備え、圧電体プレートの第一チャンネル7aの側に接合するカバープレート18aと、カバープレート18aの第一連通孔10aに設置される第一フィルター13a及び気泡抜き用の第一気泡抜きフィルター12aとを備えている。第一チャンネル7aは第一連通孔10aに露出するので、第一連通孔10aから各第一チャンネル7aに液体が供給される。第二アクチュエータ基板2bも同様の構造を有している。第一及び第二アクチュエータ基板2a、2bは、第一及び第二チャンネル7a、7bが形成される面とは反対側の面を背中合わせに接合してアクチュエータ基板2を構成する。   The actuator substrate 2 specifically has a four-layer structure. The first actuator substrate 2a includes a piezoelectric plate having a large number of first channels 7a on the surface, a cover plate 18a that includes a first series of through holes 10a and is joined to the first channel 7a side of the piezoelectric plate, and a cover. A first filter 13a installed in the first series through hole 10a of the plate 18a and a first bubble removal filter 12a for removing bubbles are provided. Since the first channel 7a is exposed to the first through hole 10a, the liquid is supplied from the first through hole 10a to each first channel 7a. The second actuator substrate 2b has a similar structure. The first and second actuator substrates 2a and 2b constitute the actuator substrate 2 by joining the surfaces opposite to the surfaces on which the first and second channels 7a and 7b are formed back to back.

第一流路部材3aは、アクチュエータ基板2の側に開口する第一液体供給室4aと、この第一液体供給室4aに液体を導入するための第一液体流入孔9aと、この第一液体流入孔9aに連通する第一液体流入管14aを備えている。図5(d)に示すように、第一液体供給室4aは、複数の第一チャンネル7aに対応して基準方向Kに細長い形状を備え、第一連通孔10aを介して複数の第一チャンネル7aに連通する。第一液体供給室4aは、基準方向Kに直交する方向の断面積が基準方向Kの一端E1aから他端E2aにかけて縮小する第一形態Aと第一形態Aよりも縮小幅が小さい第二形態Bとが切り替わる第一可動壁5aを備える。第一可動壁5aは、可撓性膜5xaと、可撓性膜5xaよりも剛性の大きい可動板5yaを備える。可撓性膜5xaは、液体を収容可能に第一流路部材3aに固定される。可動板5yaは、基準方向Kに細長い形状を有し、一端E1a側が第一流路部材3aに固定され、他端E2a側が基準方向Kに直交するz方向に移動可能に可撓性膜5xaに接着される。可撓性膜5xaは可動板5yaが移動可能に撓みを設けて第一流路部材3aに水密に固定される。液体噴射ヘッド1は、更に、第一可動壁5aに作用して第一形態Aと第二形態Bとを切り替える第一切替手段6aを備える。第一切替手段6aは、第一可動壁5aの他端E2a側に設置される永久磁石6yaと、永久磁石6yaに対向し第一流路部材3aに設置される電磁石6xaを含む。電磁石6xa、6xbはそれぞれ第一及び第二流路部材3a、3bの流路ケースに嵌め込まれる。   The first flow path member 3a includes a first liquid supply chamber 4a that opens toward the actuator substrate 2, a first liquid inflow hole 9a for introducing liquid into the first liquid supply chamber 4a, and the first liquid inflow A first liquid inflow tube 14a communicating with the hole 9a is provided. As shown in FIG. 5 (d), the first liquid supply chamber 4a has an elongated shape in the reference direction K corresponding to the plurality of first channels 7a, and a plurality of first liquid supply chambers 4a via the first series of through holes 10a. It communicates with the channel 7a. The first liquid supply chamber 4a includes a first form A in which a cross-sectional area in a direction perpendicular to the reference direction K is reduced from one end E1a to the other end E2a in the reference direction K, and a second form having a smaller reduction width than the first form A. A first movable wall 5a that switches to B is provided. The first movable wall 5a includes a flexible film 5xa and a movable plate 5ya having higher rigidity than the flexible film 5xa. The flexible membrane 5xa is fixed to the first flow path member 3a so as to be able to store a liquid. The movable plate 5ya has an elongated shape in the reference direction K, one end E1a side is fixed to the first flow path member 3a, and the other end E2a side is bonded to the flexible film 5xa so as to be movable in the z direction perpendicular to the reference direction K. Is done. The flexible film 5xa is bent so that the movable plate 5ya can move, and is fixed to the first flow path member 3a in a watertight manner. The liquid jet head 1 further includes first switching means 6a that acts on the first movable wall 5a to switch between the first form A and the second form B. The first switching means 6a includes a permanent magnet 6ya installed on the other end E2a side of the first movable wall 5a, and an electromagnet 6xa installed on the first flow path member 3a so as to face the permanent magnet 6ya. The electromagnets 6xa and 6xb are fitted in the flow path cases of the first and second flow path members 3a and 3b, respectively.

第二流路部材3bは、第一流路部材3aと同様の構造を有し、アクチュエータ基板2の側に開口する第二液体供給室4bと、この第二液体供給室4bに液体を導入するための第二液体流入孔9bと、この第二液体流入孔9bに連通する第二液体流入管14bを備えている。第二液体供給室4bは、複数の第二チャンネル7bに対応して基準方向Kに細長い形状を備え、図示しない第二連通孔10bを介して複数の第二チャンネル7bに連通する。第二液体供給室4bは、基準方向Kに直交するz方向の断面積が基準方向Kの一端E1bから他端E2bにかけて縮小する第一形態Aと第一形態Aよりも縮小幅が小さい第二形態Bとが切り替わる第二可動壁5bを備える。第二可動壁5bは、可撓性膜5xbと、可撓性膜5xbよりも剛性の大きい可動板5ybを備える。可撓性膜5xbは、液体を収容可能に第二流路部材3bに水密に固定される。可動板5ybは、基準方向Kに細長い形状を有し、一端E1b側が第二流路部材3bに固定され、他端E2b側が基準方向Kに直交するz方向に移動可能に可撓性膜5xbに接着される。可撓性膜5xbは可動板5ybが移動可能に撓みを設けて第二流路部材3bに固定される。液体噴射ヘッド1は、更に、第二可動壁5bに作用して第一形態Aと第二形態Bとを切り替える第二切替手段6bを備える。第二切替手段6bは、第二可動壁5bの他端E2b側に設置される永久磁石6ybと、永久磁石6ybに対向し第二流路部材3bに設置される電磁石6xbを含む。   The second flow path member 3b has the same structure as the first flow path member 3a, and is for introducing a liquid into the second liquid supply chamber 4b that opens to the actuator substrate 2 side and the second liquid supply chamber 4b. Second liquid inflow hole 9b and a second liquid inflow pipe 14b communicating with the second liquid inflow hole 9b. The second liquid supply chamber 4b has an elongated shape in the reference direction K corresponding to the plurality of second channels 7b, and communicates with the plurality of second channels 7b through a second communication hole 10b (not shown). The second liquid supply chamber 4b has a first configuration A in which the cross-sectional area in the z direction orthogonal to the reference direction K is reduced from one end E1b to the other end E2b in the reference direction K, and a second reduction width smaller than the first configuration A. A second movable wall 5b that switches to form B is provided. The second movable wall 5b includes a flexible film 5xb and a movable plate 5yb having higher rigidity than the flexible film 5xb. The flexible membrane 5xb is watertightly fixed to the second flow path member 3b so as to be able to accommodate a liquid. The movable plate 5yb has an elongated shape in the reference direction K, one end E1b side is fixed to the second flow path member 3b, and the other end E2b side is movable on the flexible film 5xb so as to be movable in the z direction perpendicular to the reference direction K. Glued. The flexible film 5xb is fixed to the second flow path member 3b by bending so that the movable plate 5yb can move. The liquid jet head 1 further includes second switching means 6b that acts on the second movable wall 5b to switch between the first form A and the second form B. The second switching means 6b includes a permanent magnet 6yb installed on the second end E2b side of the second movable wall 5b, and an electromagnet 6xb opposed to the permanent magnet 6yb and installed in the second flow path member 3b.

接続部材15は、上部に設ける液体導入用の開口部17と、下部側面に設ける第一及び第二液体流入孔9a、9bを備える。接続部材15は内部流路を有し、上部の開口部17と下部の第一及び第二液体流入孔9a、9bは連通している。下部側面の第一液体流入孔9aに第一流路部材3aの第一液体流入管14aが挿入され、第二液体流入孔9bに第二流路部材3bの第二液体流入管14bが挿入されて、第一及び第二流路部材3a、3bが固定される。接続部材15の内部流路は、第一液体流入孔9aと第二液体流入孔9bの中間の垂直平面に対して面対称の形状を有している。従って、第一及び第二流路部材3a、3bに流入する液体の流路抵抗や圧力は等しくなる。   The connection member 15 includes a liquid introduction opening 17 provided in the upper portion, and first and second liquid inflow holes 9a and 9b provided in the lower side surface. The connecting member 15 has an internal flow path, and the upper opening 17 and the lower first and second liquid inflow holes 9a and 9b communicate with each other. The first liquid inflow pipe 14a of the first flow path member 3a is inserted into the first liquid inflow hole 9a on the lower side surface, and the second liquid inflow pipe 14b of the second flow path member 3b is inserted into the second liquid inflow hole 9b. The first and second flow path members 3a and 3b are fixed. The internal flow path of the connection member 15 has a shape that is plane-symmetric with respect to a vertical plane intermediate between the first liquid inflow hole 9a and the second liquid inflow hole 9b. Accordingly, the channel resistance and pressure of the liquid flowing into the first and second channel members 3a and 3b are equal.

液体流入部16から流入する液体は、第一及び第二液体流入管14a、14bを介して第一及び第二流路部材3a、3bに分割して流入する。更に、液体は第一及び第二流路部材3a、3bから第一及び第二アクチュエータ基板2a、2bの第一及び第二チャンネル7a、7bに流入し、アクチュエータ基板2に与えられる駆動信号に基づいて第一及び第二ノズル孔11a、11bから吐出される。   The liquid flowing in from the liquid inflow portion 16 is divided and flows into the first and second flow path members 3a and 3b via the first and second liquid inflow pipes 14a and 14b. Further, the liquid flows from the first and second flow path members 3a and 3b into the first and second channels 7a and 7b of the first and second actuator substrates 2a and 2b, and is based on a drive signal applied to the actuator substrate 2. Are discharged from the first and second nozzle holes 11a and 11b.

第一及び第二可動壁5a、5b(以下、まとめて可動壁5という)は次にように駆動される。まず、液体充填の際には第一及び第二切替手段6a、6b(以下、まとめて切替手段6という)を駆動して可動壁5を第一形態Aに設定する。つまり、電磁石6xa、6xbに電流を流して永久磁石6ya、6ybを第一及び第二アクチュエータ基板2a、2b(以下、まとめてアクチュエータ基板2という)の方向に押圧し可動壁5をアクチュエータ基板2側に押し付ける。従って、第一及び第二液体供給室4a、4b(以下、まとめて液体供給室4という)の基準方向Kに直交する方向の断面積は一端E1a、E1b(以下、まとめてE1という)から他端E2a、E2b(以下、まとめてE2という)にかけて縮小する。そして、液体流入部16に液体を供給して液体供給室4及び複数の第一及び第二チャンネル7a、7b(以下、まとめてチャンネル7という)に液体を充填する。液体は液体供給室4の一端E1側から他端E2側に向かって流速が速くなり、液体に混入する気泡は液体供給室4の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板2の他端E2の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル8を設けているので他端E2側の流速は一層増加する。   The first and second movable walls 5a and 5b (hereinafter collectively referred to as the movable wall 5) are driven as follows. First, at the time of liquid filling, the first and second switching means 6a and 6b (hereinafter collectively referred to as switching means 6) are driven to set the movable wall 5 to the first form A. That is, by passing an electric current through the electromagnets 6xa and 6xb, the permanent magnets 6ya and 6yb are pressed in the direction of the first and second actuator substrates 2a and 2b (hereinafter collectively referred to as actuator substrate 2), and the movable wall 5 is moved to the actuator substrate 2 side. Press on. Accordingly, the cross-sectional area of the first and second liquid supply chambers 4a and 4b (hereinafter collectively referred to as the liquid supply chamber 4) in the direction perpendicular to the reference direction K is different from one end E1a and E1b (hereinafter collectively referred to as E1). The image is reduced toward the ends E2a and E2b (hereinafter collectively referred to as E2). Then, the liquid is supplied to the liquid inflow portion 16 to fill the liquid supply chamber 4 and the plurality of first and second channels 7a and 7b (hereinafter collectively referred to as channels 7). The flow rate of liquid increases from one end E1 side to the other end E2 side of the liquid supply chamber 4, and bubbles mixed in the liquid are quickly discharged outside without adhering to the wall surface of the liquid supply chamber 4. Since the bubble removal channel 8 for discharging the liquid is provided on the other end E2 side of the actuator substrate 2, the flow velocity on the other end E2 side further increases.

次に、通常駆動の際には切替手段6を駆動して可動壁5を第二形態Bに設定する。具体的には、電磁石6xa、6xbに逆方向の電流を流して永久磁石6ya、6ybをアクチュエータ基板2とは反対方向に吸引し可動壁5を引き付ける。従って、液体供給室4のz方向の断面積は一端E1から他端E2にかけて第一形態Aよりも縮小幅が小さくなる。そのため、第二形態Bの可動壁5のほうが第一形態Aの可動壁5よりも一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板2は駆動により発熱するので液体供給室4の液体は加熱されるが、第二形態Bは一端E1から他端E2にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端E1側と他端E2側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。   Next, during normal driving, the switching means 6 is driven to set the movable wall 5 to the second form B. Specifically, a current in the reverse direction is supplied to the electromagnets 6xa and 6xb to attract the permanent magnets 6ya and 6yb in the direction opposite to the actuator substrate 2 to attract the movable wall 5. Accordingly, the cross-sectional area of the liquid supply chamber 4 in the z direction is smaller than the first embodiment A from one end E1 to the other end E2. For this reason, the movable wall 5 of the second form B has a smaller decrease amount of the liquid amount from the one end E1 to the other end E2 than the movable wall 5 of the first form A. Since the actuator substrate 2 generates heat by driving, the liquid in the liquid supply chamber 4 is heated. However, in the second form B, the decrease in the amount of liquid from the one end E1 to the other end E2 is small. The temperature difference between the liquid on the E1 side and the other end E2 side is reduced, and the discharge conditions are made uniform.

なお、液体流入部16を第一及び第二流路部材3a、3bとアクチュエータ基板2の端部に設置したので、液体噴射ヘッド1の全体の厚さを薄く構成することができる。また、液体を、その流路抵抗や印加圧力を均等にして第一及び第二流路部材3a、3bに分割供給することができる。また、第一アクチュエータ基板2aの表面の第一連通孔10aの淵に、フィルター設置用の段差を設け、第一フィルター13aを設置している。第二アクチュエータ基板2bの表面にも同様に第二フィルター13bを設置している。更に、第一及び第二アクチュエータ基板2a、2bの表面であり、第一及び第二流路部材3a、3bの第一及び第二液体流入孔9a、9bとは反対側の端部に、流路に混入した気泡を除去するための第一及び第二気泡抜きフィルター12a、12bを設置し、対応する位置に気泡抜き用の第一及び第二気泡抜きチャンネル8a、8bを形成する。   In addition, since the liquid inflow part 16 was installed in the 1st and 2nd flow path members 3a and 3b and the edge part of the actuator board | substrate 2, the whole thickness of the liquid ejecting head 1 can be comprised thinly. Further, the liquid can be divided and supplied to the first and second flow path members 3a and 3b with equal flow path resistance and applied pressure. Further, a step for installing a filter is provided at the edge of the first through hole 10a on the surface of the first actuator substrate 2a, and the first filter 13a is installed. Similarly, a second filter 13b is provided on the surface of the second actuator substrate 2b. Furthermore, on the surfaces of the first and second actuator substrates 2a and 2b, the first and second flow path members 3a and 3b are connected to the ends opposite to the first and second liquid inflow holes 9a and 9b. First and second bubble removal filters 12a and 12b for removing bubbles mixed in the path are installed, and first and second bubble removal channels 8a and 8b for removing bubbles are formed at corresponding positions.

第一及び第二フィルター13a、13bの設置により、第一及び第二ノズル孔11a、11bが気泡により目詰まりを起こす不具合の発生を低減させることができる。また、液体内部に気泡が混入した場合は、第一及び第二気泡抜きチャンネル8a、8bを介して気泡を外部に迅速に排出することができる。また、液体充填時には第一及び第二気泡抜きチャンネル8a、8bを介して液体を排出できるので、可動壁5を第一形態Aに設定して他端E2側の液体の流速を一層高めることができ、気泡を外部に効果的に排出することができる。   By installing the first and second filters 13a and 13b, it is possible to reduce the occurrence of a problem in which the first and second nozzle holes 11a and 11b are clogged with bubbles. Further, when bubbles are mixed in the liquid, the bubbles can be quickly discharged to the outside through the first and second bubble removal channels 8a and 8b. In addition, since the liquid can be discharged through the first and second bubble vent channels 8a and 8b when the liquid is filled, the movable wall 5 is set to the first form A to further increase the flow rate of the liquid on the other end E2 side. The bubbles can be effectively discharged to the outside.

また、第一及び第二気泡抜きチャンネル8a、8bの上部に第一及び第二気泡抜きフィルター12a、12bを設置するので、第一及び第二気泡抜きチャンネル8a、8bから第一及び第二液体供給室4a、4bへ気体が入り込むのを防止することができる。また、第一及び第二流路部材3a、3bの端部、及び接続部材15の側面には図示しないフレームにビス止め固定するための貫通部24を備える。また、切替手段6として第三又は第四実施形態の切替手段6を用いることができる。   In addition, since the first and second bubble removal filters 12a and 12b are installed above the first and second bubble removal channels 8a and 8b, the first and second liquids from the first and second bubble removal channels 8a and 8b. It is possible to prevent gas from entering the supply chambers 4a and 4b. Further, the end portions of the first and second flow path members 3a and 3b and the side surface of the connecting member 15 are provided with through portions 24 for fixing to a frame (not shown) with screws. Further, the switching means 6 of the third or fourth embodiment can be used as the switching means 6.

(第六実施形態)
図6は、本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置50の模式的な斜視図である。本液体噴射装置50は、上記第一〜第五実施形態のいずれかの液体噴射ヘッド1を使用する。液体噴射装置50は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構63と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する液体供給管53、53’と、液体供給管53、53’に液体を供給する液体タンク51、51’とを備えている。
(Sixth embodiment)
FIG. 6 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus 50 according to the sixth embodiment of the present invention. The liquid ejecting apparatus 50 uses the liquid ejecting head 1 according to any one of the first to fifth embodiments. The liquid ejecting apparatus 50 includes a moving mechanism 63 that reciprocates the liquid ejecting heads 1 and 1 ′, liquid supply pipes 53 and 53 ′ that supply liquid to the liquid ejecting heads 1 and 1 ′, and liquid supply pipes 53 and 53 ′. Liquid tanks 51 and 51 'for supplying liquid to the liquid crystal.

具体的に説明する。液体噴射装置50は、紙等の被記録媒体54を主走査方向に搬送する一対の搬送手段61、62と、被記録媒体54に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体タンク51、51’に貯留した液体を液体供給管53、53’に押圧して供給するポンプ52、52’と、液体噴射ヘッド1、1’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構63等を備えている。   This will be specifically described. The liquid ejecting apparatus 50 includes a pair of conveying units 61 and 62 that convey a recording medium 54 such as paper in the main scanning direction, liquid ejecting heads 1 and 1 ′ that eject liquid to the recording medium 54, and a liquid tank 51. , 51 ′, pumps 52, 52 ′ for supplying the liquid stored in the liquid supply pipes 53, 53 ′ and a moving mechanism for scanning the liquid jet heads 1, 1 ′ in the sub-scanning direction perpendicular to the main scanning direction. 63 etc.

一対の搬送手段61、62は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体54を主走査方向に搬送する。移動機構63は、副走査方向に延びた一対のガイドレール56、57と、一対のガイドレール56、57に沿って摺動可能なキャリッジユニット58と、キャリッジユニット58を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト59と、この無端ベルト59を図示しないプーリを介して周回させるモータ60とを備えている。   The pair of conveying means 61 and 62 includes a grid roller and a pinch roller that extend in the sub-scanning direction and rotate while contacting the roller surface. A grid roller and a pinch roller are moved around an axis by a motor (not shown), and the recording medium 54 sandwiched between the rollers is conveyed in the main scanning direction. The moving mechanism 63 connects a pair of guide rails 56, 57 extending in the sub-scanning direction, a carriage unit 58 that can slide along the pair of guide rails 56, 57, and the carriage unit 58 to move in the sub-scanning direction. An endless belt 59 is provided, and a motor 60 that rotates the endless belt 59 via a pulley (not shown) is provided.

キャリッジユニット58は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク51、51’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ52、52’、液体供給管53、53’を介して液体噴射ヘッド1、1’に供給する。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット58を駆動するモータ60の回転及び被記録媒体54の搬送速度を制御することにより、被記録媒体54上に任意のパターンを記録することできる。   The carriage unit 58 mounts a plurality of liquid ejecting heads 1, 1 ′, and ejects four types of liquid droplets, for example, yellow, magenta, cyan, and black. The liquid tanks 51 and 51 'store liquids of corresponding colors and supply them to the liquid jet heads 1 and 1' via the pumps 52 and 52 'and the liquid supply pipes 53 and 53'. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ ejects droplets of each color according to the drive signal. An arbitrary pattern is recorded on the recording medium 54 by controlling the timing of ejecting the liquid from the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the rotation of the motor 60 that drives the carriage unit 58, and the conveyance speed of the recording medium 54. I can.

なお、本実施形態は、移動機構63がキャリッジユニット58と被記録媒体54を移動させて記録する液体噴射装置50であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を二次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。   In this embodiment, the moving mechanism 63 moves the carriage unit 58 and the recording medium 54 to perform recording. However, instead of this, the carriage unit is fixed and the moving mechanism is the recording medium. May be a liquid ejecting apparatus that moves and records two-dimensionally. That is, the moving mechanism may be any mechanism that relatively moves the liquid ejecting head and the recording medium.

1 液体噴射ヘッド
2 アクチュエータ基板、2a 第一アクチュエータ基板、2b 第二アクチュエータ基板
3 流路部材、3a 第一流路部材、3b 第二流路部材、3x 流路ケース、3y 開口
4 液体供給室、4a 第一液体供給室、4b 第二液体供給室
5 可動壁、5a 第一可動壁、5b 第二可動壁、5x 可撓性膜、5y 可動板
6 切替手段、6a 第一切替手段、6b 第二切替手段、6s 空気ポンプ、6t 液体ポンプ、6u 吸引キャップ、6p 圧力室、6qa、6qb 連通路、6x 電磁石、6y 永久磁石
7 チャンネル、7a 第一チャンネル、7b 第二チャンネル、7r チャンネル列
8 気泡抜きチャンネル、8a 第一気泡抜きチャンネル、8b 第二気泡抜きチャンネル
9 液体流入孔、9a 第一液体流入孔、9b 第二液体流入孔
10 連通孔、10a 第一連通孔、10b 第二連通孔
11 ノズル孔、11a 第一ノズル孔、11b 第二ノズル孔
12a 第一気泡抜きフィルター、12b 第二気泡抜きフィルター
13a 第一フィルター、13b 第二フィルター
14a 第一液体流入管、14b 第二液体流入管
15 接続部材、16 液体流入部、17 開口部
A 第一形態、B 第二形態、Ds、Ds’ 断面積
K 基準方向、E1、E1a、E1b 一端、E2、E2a、E2b 他端、Sx 一面、Sy 他面、Sa 一方面、Sb 他方面、OS 外面、IS 内面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid ejecting head 2 Actuator substrate, 2a 1st actuator substrate, 2b 2nd actuator substrate 3 Flow path member, 3a 1st flow path member, 3b 2nd flow path member, 3x flow path case, 3y opening 4 Liquid supply chamber, 4a 1st liquid supply chamber, 4b 2nd liquid supply chamber 5 movable wall, 5a 1st movable wall, 5b 2nd movable wall, 5x flexible film, 5y movable plate 6 switching means, 6a 1st switching means, 6b 2nd Switching means, 6s air pump, 6t liquid pump, 6u suction cap, 6p pressure chamber, 6qa, 6qb communication path, 6x electromagnet, 6y permanent magnet 7 channel, 7a first channel, 7b second channel, 7r channel row 8 Channel, 8a First air vent channel, 8b Second air vent channel 9 Liquid inlet hole, 9a First liquid inlet hole, 9b Second liquid inlet hole 10 Through-hole, 10a First through-hole, 10b Second communication hole 11 Nozzle hole, 11a First nozzle hole, 11b Second nozzle hole 12a First bubble removal filter, 12b Second bubble removal filter 13a First filter, 13b First Two filters 14a 1st liquid inflow pipe, 14b 2nd liquid inflow pipe 15 Connection member, 16 Liquid inflow part, 17 Opening part A 1st form, B 2nd form, Ds, Ds' Cross-sectional area K Reference direction, E1, E1a , E1b one end, E2, E2a, E2b other end, Sx one side, Sy other side, Sa one side, Sb other side, OS outer surface, IS inner surface

Claims (9)

基準方向に配列する複数のチャンネルを備えるアクチュエータ基板と、
複数の前記チャンネルに連通し複数の前記チャンネルに対応して前記基準方向に細長い液体供給室と前記液体供給室の前記基準方向における一端に連通する液体流入孔とを備える流路部材と、を備え、
前記液体供給室は、前記基準方向に直交する方向の断面積が前記基準方向の一端から他端にかけて縮小する第一形態と前記第一形態よりも前記断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる可動壁を備える液体噴射ヘッド。
An actuator substrate comprising a plurality of channels arranged in a reference direction;
A flow path member including a liquid supply chamber that communicates with the plurality of channels and that is elongated in the reference direction and that communicates with one end of the liquid supply chamber in the reference direction. ,
The liquid supply chamber has a first form in which a cross-sectional area in a direction orthogonal to the reference direction is reduced from one end to the other end in the reference direction, and a second form in which the reduction width of the cross-sectional area is smaller than the first form. A liquid ejecting head including a movable wall that switches between the two.
前記可動壁に作用して前記第一形態と前記第二形態の間を切り替える切替手段を更に備える請求項1に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, further comprising a switching unit that acts on the movable wall to switch between the first form and the second form. 前記切替手段は電磁気力により前記可動壁を駆動する請求項2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the switching unit drives the movable wall by an electromagnetic force. 前記切替手段は前記可動壁の前記液体供給室とは反対側である外面側の空気圧を変化させて前記可動壁を駆動する請求項2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the switching unit drives the movable wall by changing an air pressure on an outer surface side of the movable wall opposite to the liquid supply chamber. 前記切替手段はバイメタルにより前記可動壁を駆動する請求項2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the switching unit drives the movable wall by a bimetal. 前記切替手段は前記可動壁の前記液体供給室の側である内面側の液体の圧力を変化させて前記可動壁を駆動する請求項2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 2, wherein the switching unit drives the movable wall by changing a pressure of a liquid on an inner surface side that is the liquid supply chamber side of the movable wall. 前記チャンネルは、前記アクチュエータ基板の一方の表面の前記基準方向に配列する第一チャンネルと、前記一方の表面とは反対側の他方の表面の前記基準方向に配列する第二チャンネルとを有し、
前記流路部材は、複数の前記第一チャンネルに連通する第一液体供給室と前記第一液体供給室の前記基準方向における一端に連通する第一液体流入孔とを備える第一流路部材と、複数の前記第二チャンネルに連通する第二液体供給室と前記第二液体供給室の前記基準方向の一端に連通する第二液体流入孔とを備える第二流路部材とを有し、
前記可動壁は、前記第一液体供給室に備える第一可動壁と前記第二液体供給室に備える第二可動壁とを有する請求項1〜6のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The channel has a first channel arranged in the reference direction on one surface of the actuator substrate, and a second channel arranged in the reference direction on the other surface opposite to the one surface,
The flow path member includes a first flow path member including a first liquid supply chamber communicating with a plurality of the first channels and a first liquid inflow hole communicating with one end of the first liquid supply chamber in the reference direction; A second flow path member comprising a second liquid supply chamber communicating with a plurality of the second channels and a second liquid inflow hole communicating with one end of the second liquid supply chamber in the reference direction;
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the movable wall includes a first movable wall provided in the first liquid supply chamber and a second movable wall provided in the second liquid supply chamber.
前記アクチュエータ基板は、前記液体供給室の前記基準方向における一端とは反対側の他端に連通する気泡抜きチャンネルを有する請求項1〜7のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the actuator substrate has a bubble vent channel that communicates with the other end of the liquid supply chamber opposite to the one end in the reference direction. 請求項1に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
A liquid ejecting head according to claim 1;
A moving mechanism for relatively moving the liquid ejecting head and the recording medium;
A liquid supply pipe for supplying a liquid to the liquid ejecting head;
And a liquid tank that supplies the liquid to the liquid supply pipe.
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