JP2017191204A - Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、感光性樹脂組成物、ドライフィルム、及びプリント配線板に関し、詳しくは、プリント配線板にソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために適する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物の乾燥物であるドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition, a dry film, and a printed wiring board. Specifically, an electrically insulating layer such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, or an interlayer insulating layer is formed on the printed wiring board. A photosensitive resin composition suitable for carrying out, a dry film which is a dried product of the photosensitive resin composition, a printed wiring board comprising an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and the photosensitive resin composition The present invention relates to a printed wiring board including a solder resist layer containing a cured product.
従来、プリント配線板の製造のためには、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために種々の電気絶縁性の樹脂組成物が使用されており、樹脂組成物としては、例えば感光性樹脂組成物が使用されている。 Conventionally, for the production of printed wiring boards, various electrically insulating resin compositions have been used to form electrically insulating layers such as solder resist layers, plating resist layers, etching resist layers, and interlayer insulating layers. For example, a photosensitive resin composition is used as the resin composition.
感光性樹脂組成物から形成される層に高い耐熱性を付与するために、感光性樹脂組成物にビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を配合することが提案されている。例えば、特許文献1には、フルオレンエポキシ(メタ)アクリレートを多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られるフルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を用いることが開示されている。
In order to give high heat resistance to the layer formed from the photosensitive resin composition, it has been proposed to add a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton to the photosensitive resin composition. For example,
しかし、ビスフェノールフルオレン骨格を備えるカルボキシル基含有樹脂を含有する感光性樹脂組成物の感光性は低く、このため、感光性樹脂組成物を硬化させて層を形成する効率は低かった。 However, the photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton has low photosensitivity, and thus the efficiency of curing the photosensitive resin composition to form a layer was low.
本発明の目的は、感光性樹脂組成物がビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を含有していても、感光性が高く、且つ優れた現像性をも得ることができる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物の乾燥物であるドライフィルム、この感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及びこの感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板を提供することである。 An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having high photosensitivity and excellent developability even when the photosensitive resin composition contains a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton, A dry film which is a dried product of the photosensitive resin composition, a printed wiring board including a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition It is providing the printed wiring board provided.
本発明の一態様に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)と、を含有し、前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有し、前記エポキシ化合物(a1)は、下記式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有し、下記式(1)中、R1〜R8は、各々独立に、水素、炭素数1〜5のアルキル基、又はハロゲンであり、 A photosensitive resin composition according to one embodiment of the present invention includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator ( C) and an epoxy compound (D), wherein the carboxyl group-containing resin (A) is a reaction product of the epoxy compound (a1) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), Containing a carboxyl group-containing resin (A1) which is a reaction product with an acid anhydride, the epoxy compound (a1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the following formula (1), and in the following formula (1): R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen;
前記光重合開始剤(C)は、下記式(8)で示される部分構造(S2)を有するオキシムエステル系光重合開始剤(C1)を含有し、下記式(8)中、R9は、水素原子、R9は、水素原子、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、
R10は、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有してもよく、
The photopolymerization initiator (C) contains an oxime ester photopolymerization initiator (C1) having a partial structure (S2) represented by the following formula (8). In the following formula (8), R 9 is A hydrogen atom, R 9 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms includes a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and The aromatic hydrocarbon group may have at least one substituent selected from the group consisting of halogen, and the aromatic hydrocarbon group is at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen May have a group,
R 10 is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms is selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. The aromatic hydrocarbon group may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. Often,
前記光重合開始剤(C)の全量に対する前記オキシムエステル系光重合開始剤(C1)の量は、0.05〜60質量%の範囲内である、
ことを特徴とする。
The amount of the oxime ester photopolymerization initiator (C1) relative to the total amount of the photopolymerization initiator (C) is in the range of 0.05 to 60% by mass.
It is characterized by that.
本発明の一態様に係るドライフィルムは、前記感光性樹脂組成物の乾燥物である。 The dry film which concerns on 1 aspect of this invention is a dried material of the said photosensitive resin composition.
本発明の一態様に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える。 The printed wiring board which concerns on 1 aspect of this invention is equipped with the interlayer insulation layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.
本発明の一態様に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える。 The printed wiring board which concerns on 1 aspect of this invention is equipped with the soldering resist layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.
本発明の一態様によれば、感光性樹脂組成物がビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を含有していても、感光性が高く、且つ優れた現像性をも得ることができる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物の乾燥物であるドライフィルム、この感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板、及びこの感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板が得られる。 According to one embodiment of the present invention, even if the photosensitive resin composition contains a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton, the photosensitive resin can have high photosensitivity and excellent developability. Composition, dry film which is a dried product of this photosensitive resin composition, printed wiring board comprising a solder resist layer containing a cured product of this photosensitive resin composition, and an interlayer comprising a cured product of this photosensitive resin composition A printed wiring board provided with an insulating layer is obtained.
以下、本発明の一実施形態について説明する。なお、以下の説明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」と「メタクリル」のうち少なくとも一方を意味する。例えば、(メタ)アクリレートは、アクリレートとメタクリレートとのうち少なくとも一方を意味する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described. In the following description, “(meth) acryl” means at least one of “acryl” and “methacryl”. For example, (meth) acrylate means at least one of acrylate and methacrylate.
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。 The photosensitive resin composition according to this embodiment includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And an epoxy compound (D).
カルボキシル基含有樹脂(A)は、ビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有する。 The carboxyl group-containing resin (A) contains a carboxyl group-containing resin (A1) having a bisphenolfluorene skeleton.
このカルボキシル基含有樹脂(A1)は、例えば下記式(1)で示され、式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、エチレン性不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物である。カルボキシル基含有樹脂(A1)は、下記式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、エチレン性不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物とを反応させることで合成される。 This carboxyl group-containing resin (A1) is represented by, for example, the following formula (1), and in formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, a bisphenol having 1 to 5 carbon atoms or halogen. It is a reaction product of an acid anhydride and an intermediate that is a reaction product of an epoxy compound (a1) having a fluorene skeleton and an ethylenically unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). The carboxyl group-containing resin (A1) was obtained by reacting an epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton represented by the following formula (1) with an ethylenically unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). It is synthesized by reacting an intermediate with an acid anhydride.
式(1)中、R1〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンである。すなわち、式(1)におけるR1〜R8の各々は、水素でもよいが、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンでもよい。芳香環における水素が低分子量のアルキル基、又はハロゲンで置換されても、カルボキシル基含有樹脂(A1)の物性に悪影響は与えられず、むしろ置換されることでカルボキシル基含有樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性或いは難燃性が向上する場合もあるからである。 In formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen. That is, each of R 1 to R 8 in Formula (1) may be hydrogen, but may be an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen. Even if the hydrogen in the aromatic ring is substituted with a low molecular weight alkyl group or a halogen, the physical properties of the carboxyl group-containing resin (A1) are not adversely affected, but the carboxyl group-containing resin (A1) is included by being substituted. This is because the heat resistance or flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition may be improved.
本実施形態に係る光重合開始剤(C)の全量に対するオキシムエステル系光重合開始剤(C1)の量は、0.05〜60質量%の範囲内である。これにより、感光性樹脂組成物がビスフェノールフルオレン骨格を含有していても、感光性樹脂組成物の感光性が向上し、この感光性樹脂組成物からなる硬化物に優れた現像性を付与することができる。(C1)の量は、0.1〜50質量%の範囲内であることがより好ましく、0.2〜45質量%の範囲内であることがさらに好ましく、0.3〜15質量%の範囲内であることが特に好ましい。 The amount of the oxime ester photopolymerization initiator (C1) relative to the total amount of the photopolymerization initiator (C) according to this embodiment is in the range of 0.05 to 60% by mass. Thereby, even if the photosensitive resin composition contains a bisphenolfluorene skeleton, the photosensitivity of the photosensitive resin composition is improved, and excellent developability is imparted to a cured product made of the photosensitive resin composition. Can do. The amount of (C1) is more preferably in the range of 0.1 to 50% by mass, further preferably in the range of 0.2 to 45% by mass, and in the range of 0.3 to 15% by mass. It is particularly preferred that
本実施形態に係る感光性樹脂組成物において、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する光重合開始剤(C)の量は、3〜20質量%の範囲内であることが好ましい。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A)に対するオキシムエステル系光重合開始剤(C1)の量は0.01〜3質量%の範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物に優れた解像性を付与することができる。 In the photosensitive resin composition according to the present embodiment, the amount of the photopolymerization initiator (C) with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 3 to 20% by mass. Furthermore, the amount of the oxime ester photopolymerization initiator (C1) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0.01 to 3% by mass. In this case, excellent resolution can be imparted to the cured product of the photosensitive resin composition.
オキシムエステル系光重合開始剤(C1)は、式(8)で示される部分構造(SC1)を有する。 The oxime ester photopolymerization initiator (C1) has a partial structure (SC1) represented by the formula (8).
式(8)中、R9は、水素原子、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基である。炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよい。 In formula (8), R < 9 > is a hydrogen atom, a C1-C20 hydrocarbon group, or an aromatic hydrocarbon group. The hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen, and the aromatic hydrocarbon group includes a hydroxyl group, It may have at least one substituent selected from the group consisting of an ether group, a carbonyl group, and a halogen.
式(8)中、R10は、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基である。炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有してもよい。 In formula (8), R < 10 > is a C1-C20 hydrocarbon group or an aromatic hydrocarbon group. The hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen, and the aromatic hydrocarbon group includes a hydroxyl group, You may have at least 1 substituent selected from the group which consists of an ether group, a carbonyl group, and a halogen.
部分構造(SC1)は、光分解によって非常に高い効率で活性なラジカルを生成する。このため、感光性樹脂組成物が部分構造(SC1)を有する光重合開始剤を含有することで、感光性樹脂組成物の高感度化が可能となる。さらに、部分構造(SC1)を有する光重合開始剤を含有することで、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に、優れた表面硬化性を付与することができる。 The partial structure (SC1) generates active radicals with very high efficiency by photolysis. For this reason, high sensitivity of the photosensitive resin composition can be achieved when the photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator having a partial structure (SC1). Furthermore, the outstanding surface curability can be provided to the coating film formed from the photosensitive resin composition by containing the photoinitiator which has a partial structure (SC1).
オキシムエステル系光重合開始剤(C1)は、350nmより長波長領域において吸収帯を有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の深部硬化性を高めることができるため、塗膜の高感度化が可能である。そのため、感光性樹脂組成物はソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、及び層間絶縁層等の用途に特に適する。 The oxime ester photopolymerization initiator (C1) preferably has an absorption band in a wavelength region longer than 350 nm. In this case, since the deep part sclerosis | hardenability of the coating film formed from the photosensitive resin composition can be improved, the high sensitivity of a coating film is possible. Therefore, the photosensitive resin composition is particularly suitable for uses such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer.
本実施形態では、オキシムエステル系光重合開始剤(C1)は、式(11)で示される化合物(c1)を含有することも好ましい。すなわち、感光性樹脂組成物が、化合物(c1)を含有することも好ましい。 In the present embodiment, the oxime ester photopolymerization initiator (C1) preferably also contains the compound (c1) represented by the formula (11). That is, it is also preferable that the photosensitive resin composition contains the compound (c1).
式(11)中、R17は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基である。炭素数1〜12の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、及びカルボニル基からなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、及びカルボニル基からなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよい。 In formula (11), R 17 represents a hydrogen atom, a halogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group. The hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, and a carbonyl group, and the aromatic hydrocarbon group includes a hydroxyl group, an ether group, , And at least one substituent selected from the group consisting of carbonyl groups.
R18、及びR20は、各々独立に、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基である。炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよい。 R 18 and R 20 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group. The hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen, and the aromatic hydrocarbon group includes a hydroxyl group, It may have at least one substituent selected from the group consisting of an ether group, a carbonyl group, and a halogen.
R19は、水素原子、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基である。炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよい。 R 19 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group. The hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen, and the aromatic hydrocarbon group includes a hydroxyl group, It may have at least one substituent selected from the group consisting of an ether group, a carbonyl group, and a halogen.
化合物(c1)は、300〜400nmの紫外領域に吸光度の大きな吸収帯を有する。この化合物(c1)に紫外線が照射されると、非常に移動度が高いとともに、活性なラジカルが高効率で生成する。このため、感光性樹脂組成物が化合物(c1)を含有することで、感光性樹脂組成物のさらなる高感度化と表面硬化性の向上が可能となる。 Compound (c1) has an absorption band with a large absorbance in the ultraviolet region of 300 to 400 nm. When this compound (c1) is irradiated with ultraviolet rays, the mobility is very high and active radicals are generated with high efficiency. For this reason, when the photosensitive resin composition contains the compound (c1), it is possible to further increase the sensitivity and improve the surface curability of the photosensitive resin composition.
オキシムエステル系光重合開始剤(C1)は、例えば1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASF社製、品番Irgacure OXE 01)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(BASF社製、品番Irgacure OXE 02)、ADEKA社製のアデカオクトマーN−1919、アデカアークルズNCI−831、及びアデカアークルズNCI−930からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 Examples of the oxime ester photopolymerization initiator (C1) include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)] (manufactured by BASF, product number Irgacure OXE 01), Etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (manufactured by BASF, part number Irgacure OXE 02), manufactured by ADEKA And Adeka Atomers N-1919, Adeka Arcles NCI-831, and Adeka Arcles NCI-930.
本実施形態では、光重合開始剤(C)がオキシムエステル系光重合開始剤(C1)以外に、アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)、及びアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。すなわち、感光性樹脂組成物がアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)、及びアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。 In this embodiment, in addition to the oxime ester photopolymerization initiator (C1), the photopolymerization initiator (C) is an aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2), and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3). It is preferable to contain at least one of them. That is, it is preferable that the photosensitive resin composition contains at least one of an aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3).
この場合、感光性樹脂組成物に更に高い感光性を付与することができる。また、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に紫外線を照射して硬化させる場合、塗膜をその表面から深部に亘って十分に硬化させることが可能となる。すなわち、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に深部硬化性を付与することができる。 In this case, higher photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition. Moreover, when irradiating and hardening the ultraviolet-ray to the coating film formed from the photosensitive resin composition, it becomes possible to fully harden a coating film over the deep part from the surface. That is, deep curability can be imparted to the coating film formed from the photosensitive resin composition.
アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)は、例えば式(9)で示される部分構造(SC2)を有する。 The aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) has, for example, a partial structure (SC2) represented by the formula (9).
式(9)中、R11、及びR12は、各々独立に、炭素数1〜12のアルキル基、若しくはアリールアルキル基である。R13、及びR14は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基である。また、R13、及びR14がエーテル結合を介して結合することでR13とR14とが一つの、環状アルキルエーテルを構成していてもよい。 In the formula (9), R 11 and R 12 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an arylalkyl group. R 13 and R 14 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 13 and R 14 may be bonded via an ether bond so that R 13 and R 14 constitute one cyclic alkyl ether.
アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)は、例えば2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、及び2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。 Examples of the aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) include 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4- Selected from the group consisting of morpholinophenyl) -butanone-1 and 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone Containing at least one component.
部分構造(SC2)は、300〜400nmの紫外領域に吸光度の大きな吸収帯を有するため、紫外線に対する高い反応性を有し、ラジカルを生成する。また、紫外線照射後に熱的な開裂反応が起こることで、新たに活性なラジカルが生成する。このため、部分構造(SC2)は光重合を開始させる優れた能力を有するとともに、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に高い深部硬化性を付与することができる。 Since the partial structure (SC2) has an absorption band having a large absorbance in the ultraviolet region of 300 to 400 nm, the partial structure (SC2) has high reactivity to ultraviolet rays and generates radicals. In addition, a thermal cleavage reaction occurs after irradiation with ultraviolet rays, whereby new active radicals are generated. Therefore, the partial structure (SC2) has an excellent ability to initiate photopolymerization and can impart high deep curability to the coating film formed from the photosensitive resin composition.
アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)は、350nmより長波長領域において吸収帯を有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に、より高い深部硬化性を付与することができる。 The aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) preferably has an absorption band in a wavelength region longer than 350 nm. In this case, higher deep part curability can be imparted to the coating film formed from the photosensitive resin composition.
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)は、例えば式(10)で示される部分構造(SC3)を有する。 The acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3) has a partial structure (SC3) represented by, for example, the formula (10).
式(10)中、R15、及びR16は、各々独立に、炭素数1〜10の直鎖状、又は分岐状のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基、又はハロゲン原子、アルキル基、若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基である。また、R15、及びR16のどちらか一方は、炭素数1〜20の炭化水素基を有するアルカノイル基であってもよい。 In the formula (10), R 15 and R 16 are each independently a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl group, a halogen atom, or an alkyl group. Or an aryl group substituted with an alkoxy group. Further, either one of R 15 and R 16 may be an alkanoyl group having a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms.
部分構造(SC3)は、紫外線吸収によりフォトブリーチング効果が発現する。このため、感光性樹脂から形成される塗膜に、さらに優れた深部硬化性を付与することができる。 The partial structure (SC3) exhibits a photobleaching effect due to ultraviolet absorption. For this reason, the outstanding deep-part curability can be provided to the coating film formed from photosensitive resin.
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)は、400nmより長波長領域において吸収帯を有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に、より高い深部硬化性を付与することができる。 The acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3) preferably has an absorption band in a wavelength region longer than 400 nm. In this case, higher deep part curability can be imparted to the coating film formed from the photosensitive resin composition.
光重合開始剤(C)がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)を含有する場合、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)は、硬化物の電気絶縁性を阻害しにくい。このため、感光性樹脂組成物を露光硬化することで、電気的絶縁性に優れた硬化物が得られ、この硬化物は、例えばソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、及び層間絶縁層として好適である。したがって、光重合開始剤(C)は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)を含有することが特に好ましい。 When the photopolymerization initiator (C) contains an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C3), the acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C3) hardly inhibits the electrical insulation of the cured product. For this reason, by curing the photosensitive resin composition by exposure, a cured product having excellent electrical insulation can be obtained. For example, the cured product includes a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer. It is suitable as. Accordingly, the photopolymerization initiator (C) particularly preferably contains an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C3).
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)は、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−エチル−フェニル−ホスフィネート等のモノアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、並びにビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、(2,5,6−トリメチルベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド等のビスアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。特にアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドを含有することが好ましく、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドのみを含有することも好ましい。 Acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator (C3) is monoacylphosphine oxide-based light such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-ethyl-phenyl-phosphinate, etc. Polymerization initiator, and bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl)- 4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2 , 4,4- Limethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide, (2,5,6-trimethyl) One or more components selected from the group consisting of bisacylphosphine oxide photopolymerization initiators such as benzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide can be contained. In particular, the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3) preferably contains 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, and the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3) is 2,4,6. It is also preferred to contain only trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide.
光重合開始剤(C)は更に、ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン系光重合開始剤(C4)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を部分的に露光してから現像する場合、露光されない部分の硬化が抑制されることで、解像性が特に高くなる。このため、感光性樹脂組成物の硬化物で非常に微細なパターンを形成することが可能となる。特に、感光性樹脂組成物から多層プリント配線板の層間絶縁層を作製すると共にこの層間絶縁層にスルーホールのための小径の穴をフォトリソグラフィー法で設ける場合(図1参照)、小径の穴を精密かつ容易に形成することが可能となる。 The photopolymerization initiator (C) preferably further contains a bis (dialkylamino) benzophenone photopolymerization initiator (C4). In this case, when developing after partially exposing the coating film formed from the photosensitive resin composition, the resolution is particularly enhanced by suppressing the curing of the unexposed portion. For this reason, it becomes possible to form a very fine pattern with the hardened | cured material of the photosensitive resin composition. In particular, when an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board is prepared from a photosensitive resin composition and a small-diameter hole for a through hole is provided in the interlayer insulating layer by a photolithography method (see FIG. 1), the small-diameter hole is formed. It becomes possible to form precisely and easily.
ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン系光重合開始剤(C4)は、例えば4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、及び4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンを含有する。 The bis (dialkylamino) benzophenone-based photopolymerization initiator (C4) contains, for example, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone.
カルボキシル基含有樹脂(A)に対するビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C4)の量は、0.01〜3質量%の範囲内であることが好ましい。ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C4)の量が0.01質量%以上であると、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の解像性が特に高くなる。また、ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C4)の量が3質量%以下であると、感光性樹脂組成物の硬化物の電気絶縁性をビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C4)が阻害しにくい。ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C4)の量が0.03〜2質量%であることがより好ましく、0.05〜1質量%であることが特に好ましい。 The amount of bis (dialkylamino) benzophenone (C4) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0.01 to 3% by mass. When the amount of bis (diethylamino) benzophenone (C4) is 0.01% by mass or more, the resolution of the coating film formed from the photosensitive resin composition is particularly high. Further, when the amount of bis (diethylamino) benzophenone (C4) is 3% by mass or less, bis (dialkylamino) benzophenone (C4) hardly inhibits the electrical insulation of the cured product of the photosensitive resin composition. The amount of bis (dialkylamino) benzophenone (C4) is more preferably 0.03 to 2% by mass, and particularly preferably 0.05 to 1% by mass.
光重合開始剤(C)は更に、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C5)を含有していてもよい。ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C5)は、例えば1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、フェニルグリオキシックアシッドメチルエステル、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン及び2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンを含有することができる。 The photopolymerization initiator (C) may further contain a hydroxyketone photopolymerization initiator (C5). Hydroxy ketone photopolymerization initiator (C5) is, for example, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, phenylglyoxyc acid methyl ester, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy- 2-Methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one And 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one.
感光性樹脂組成物は、更に公知の光重合促進剤、増感剤等を含有してもよい。例えば感光性樹脂組成物は、ベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類;2,4−ジイソプロピルキサントン等のキサントン類;並びに2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の窒素原子を含む化合物からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、p−ジメチル安息香酸エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤や増感剤等を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、必要に応じて、可視光露光用の光重合開始剤及び近赤外線露光用の光重合開始剤のうちの少なくとも一種を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、レーザ露光法用増感剤である7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン等のクマリン誘導体、カルボシアニン色素系、キサンテン色素系等を含有してもよい。 The photosensitive resin composition may further contain a known photopolymerization accelerator, sensitizer and the like. For example, the photosensitive resin composition includes benzoin and its alkyl ethers; acetophenones such as acetophenone and benzyldimethyl ketal; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2- Thioxanthones such as isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; benzophenones such as benzophenone and 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide; xanthones such as 2,4-diisopropylxanthone; Α-hydroxyketones such as hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone It can contain at least one component selected from the group consisting of compounds containing a nitrogen atom. The photosensitive resin composition is known together with a photopolymerization initiator (C), such as tertiary amines such as p-dimethylbenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, and 2-dimethylaminoethylbenzoate. You may contain a photoinitiator, a sensitizer, etc. If necessary, the photosensitive resin composition may contain at least one of a photopolymerization initiator for visible light exposure and a photopolymerization initiator for near-infrared exposure. The photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator (C) and a coumarin derivative such as 7-diethylamino-4-methylcoumarin that is a sensitizer for laser exposure, a carbocyanine dye system, a xanthene dye system, and the like. May be.
カルボキシル基含有樹脂(A1)について、より具体的に説明する。カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成するためには、まず式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基(式(2)参照)の少なくとも一部と、不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させることで、中間体を合成する。中間体は、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた下記式(3)に示す構造(S3)を有する。すなわち、中間体は、式(3)に示す構造中に、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた二級の水酸基を有する。式(3)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基である。 The carboxyl group-containing resin (A1) will be described more specifically. In order to synthesize the carboxyl group-containing resin (A1), first, at least a part of the epoxy group (see formula (2)) in the epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton represented by formula (1) and unsaturated An intermediate is synthesized by reacting the group-containing carboxylic acid (a2). The intermediate has a structure (S3) represented by the following formula (3) generated by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). That is, the intermediate has a secondary hydroxyl group generated by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the structure represented by the formula (3). In Formula (3), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.
次に、中間体中の二級の水酸基と酸無水物とを反応させる。これにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成できる。 Next, the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with an acid anhydride. Thereby, carboxyl group-containing resin (A1) can be synthesized.
酸無水物が酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)のうち少なくとも1つを含有してもよい。酸無水物が酸一無水物(a4)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、下記式(4)に示す構造(S4)とを有する。 The acid anhydride may contain at least one of acid dianhydride (a3) and acid monoanhydride (a4). When the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4), the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1) and a structure (S4) represented by the following formula (4). .
構造(S4)は、中間体の構造(S3)中の二級の水酸基と、酸一無水物(a4)における酸無水物基とが反応することで生じる。式(4)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Bは酸一無水物残基である。 The structure (S4) is generated by the reaction between the secondary hydroxyl group in the intermediate structure (S3) and the acid anhydride group in the acid monoanhydride (a4). In Formula (4), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and B is an acid monoanhydride residue.
酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、下記式(5)に示す構造(S5)とを有する。 When the acid anhydride contains the acid dianhydride (a3), the carboxyl group-containing resin (A1) includes a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1) and a structure (S5) represented by the following formula (5). Have.
構造(S5)は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基と、中間体における二つの二級の水酸基とが、それぞれ反応することで生じる。すなわち、構造(S5)は、二つの二級の水酸基同士を酸二無水物(a3)が架橋することで生成する。なお、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合とが、ありうる。中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋されると、分子量が増大する。式(5)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。 The structure (S5) is generated by the reaction between two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) and two secondary hydroxyl groups in the intermediate. That is, the structure (S5) is generated by crosslinking the two secondary hydroxyl groups with the acid dianhydride (a3). In addition, the case where two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are crosslinked and the case where two secondary hydroxyl groups present in each of the two molecules of the intermediate are crosslinked It is possible. When the two secondary hydroxyl groups present in the two molecules of the intermediate are cross-linked, the molecular weight increases. In Formula (5), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and D is an acid dianhydride residue.
中間体中の二級の水酸基と酸無水物とを反応させることでカルボキシル基含有樹脂(A1)を得ることができる。酸無水物が酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)を含有する場合、中間体中の二級の水酸基のうちの一部と酸二無水物(a3)とを反応させ、中間体中の二級の水酸基のうちの別の一部と酸一無水物(a4)とを反応させる。これにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成できる。この場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、上記式(4)に示す構造と、上記式(5)に示す構造(S5)とを有する。 A carboxyl group-containing resin (A1) can be obtained by reacting the secondary hydroxyl group in the intermediate with an acid anhydride. When the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4), a part of the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with the acid dianhydride (a3), Another part of the secondary hydroxyl groups in the intermediate is reacted with acid monoanhydride (a4). Thereby, carboxyl group-containing resin (A1) can be synthesized. In this case, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1), a structure represented by the above formula (4), and a structure (S5) represented by the above formula (5).
カルボキシル基含有樹脂(A1)が、更に下記式(6)で示す構造(S6)を有することもありうる。構造(S6)は、酸二無水物(a3)中の二つの酸無水物基のうち、一つのみが、中間体における二級の水酸基と反応することで生じる。式(6)において、Aは不飽和基含有カルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。 The carboxyl group-containing resin (A1) may further have a structure (S6) represented by the following formula (6). The structure (S6) occurs when only one of the two acid anhydride groups in the acid dianhydride (a3) reacts with the secondary hydroxyl group in the intermediate. In Formula (6), A is an unsaturated group-containing carboxylic acid residue, and D is an acid dianhydride residue.
中間体の合成時にエポキシ化合物(a1)中のエポキシ基の一部が未反応のまま残存する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は構造(S2)、すなわちエポキシ基を有することがありうる。また、中間体における構造(S3)の一部が未反応のまま残存する場合に、カルボキシル基含有樹脂(A1)は構造(S3)を有することもありうる。 When some of the epoxy groups in the epoxy compound (a1) remain unreacted during the synthesis of the intermediate, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure (S2), that is, an epoxy group. Further, when a part of the structure (S3) in the intermediate remains unreacted, the carboxyl group-containing resin (A1) may have the structure (S3).
酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件を最適化することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)中の構造(S2)、及び構造(S6)を低減し、或いは殆どなくすことが可能である。 When the acid anhydride contains acid dianhydride (a3), the structure (S2) in the carboxyl group-containing resin (A1) is optimized by optimizing the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1). And the structure (S6) can be reduced or almost eliminated.
上記のように、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有し、酸無水物が酸一無水物(a4)を含有する場合は構造(S4)を有し、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合は構造(S5)を有することができる。さらに、酸無水物が酸一無水物(a4)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、構造(S2)と構造(S3)とのうち少なくとも一種を有することがある。また、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、構造(S2)と、構造(S6)とのうち少なくとも一種を有することがある。また更に、酸無水物が酸一無水物(a4)と酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、(S2)構造と、構造(S3)と、構造(S6)とのうち少なくとも一種を有することがある。 As described above, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1), and has a structure (S4) when the acid anhydride contains an acid monoanhydride (a4). And when an acid anhydride contains an acid dianhydride (a3), it can have a structure (S5). Further, when the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4), the carboxyl group-containing resin (A1) may have at least one of the structure (S2) and the structure (S3). Moreover, when an acid anhydride contains an acid dianhydride (a3), carboxyl group-containing resin (A1) may have at least 1 type in a structure (S2) and a structure (S6). Furthermore, when the acid anhydride contains acid monoanhydride (a4) and acid dianhydride (a3), the carboxyl group-containing resin (A1) has (S2) structure, structure (S3), structure ( And at least one of S6).
また、エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合、すなわち、例えば後述する式(7)においてn=1以上である場合には、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基と酸無水物とが反応することで生じる構造を有することもある。 When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group, that is, for example, when n = 1 or more in the formula (7) described later, the carboxyl group-containing resin (A1) is an epoxy compound (a1). ) In which a secondary hydroxyl group and an acid anhydride react with each other.
なお、上述のカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造は技術常識に基づいて合理的に類推されたものであり、カルボキシル基含有樹脂(A1)の構造を分析によって同定することは現実にはできない。その理由は次の通りである。エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合(例えば、式(7)においてnが1以上である場合)には、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基の数によってカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造が大きく変化してしまう。また、中間体と酸二無水物(a3)とが反応する際には、上述の通り、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物(a3)で架橋される場合とが、ありうる。このため、最終的に得られるカルボキシル基含有樹脂(A1)は、互いに構造の異なる複数の分子を含み、カルボキシル基含有樹脂(A1)を分析してもその構造を同定できなくなる。 In addition, the structure of the above-mentioned carboxyl group-containing resin (A1) is reasonably inferred based on the common general technical knowledge, and the structure of the carboxyl group-containing resin (A1) cannot be identified by analysis. The reason is as follows. When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group (for example, when n is 1 or more in the formula (7)), it contains a carboxyl group depending on the number of secondary hydroxyl groups in the epoxy compound (a1). The structure of the resin (A1) is greatly changed. When the intermediate and the acid dianhydride (a3) react, as described above, two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are acid dianhydrides (a3). There may be a case where two secondary hydroxyl groups respectively present in two molecules of the intermediate are crosslinked with an acid dianhydride (a3). For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) finally obtained contains a plurality of molecules having different structures, and even when the carboxyl group-containing resin (A1) is analyzed, the structure cannot be identified.
カルボキシル基含有樹脂(A1)は、不飽和基含有カルボン酸(a2)に由来するエチレン性不飽和基を有することで光反応性を有する。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は感光性樹脂組成物に感光性、具体的には紫外線硬化性、を付与できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸無水物に由来するカルボキシル基を有することで、感光性樹脂組成物に、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液による現像性を付与できる。さらに、酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸二無水物(a3)によって架橋されていることで分子量が調整されている。このため、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が得られる。酸無水物が酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)を含有する場合、酸二無水物(a3)及び酸一無水物(a4)の量、並びに酸二無水物(a3)に対する酸一無水物(a4)の量を制御することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量及び酸価を容易に調整できる。 The carboxyl group-containing resin (A1) has photoreactivity by having an ethylenically unsaturated group derived from the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2). For this reason, carboxyl group-containing resin (A1) can provide photosensitivity, specifically, ultraviolet curability, to the photosensitive resin composition. Further, the carboxyl group-containing resin (A1) has a carboxyl group derived from an acid anhydride, so that the photosensitive resin composition contains an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide. Developability can be imparted. Furthermore, when the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3), the carboxyl group-containing resin (A1) is crosslinked by the acid dianhydride (a3), so that the molecular weight is adjusted. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted is obtained. When the acid anhydride contains acid dianhydride (a3) and acid dianhydride (a4), the amount of acid dianhydride (a3) and acid dianhydride (a4), and acid dianhydride (a3) The molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) can be easily adjusted by controlling the amount of the acid monoanhydride (a4) relative to.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量は700〜10000の範囲内であることが好ましい。重量平均分子量が700以上であると、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。また、重量平均分子量が10000以下であると、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。重量平均分子量は、900〜8000の範囲内であることが更に好ましく、1000〜5000の範囲内であることが特に好ましい。 The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 700 to 10,000. When the weight average molecular weight is 700 or more, tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition can be further suppressed, and insulation reliability and plating resistance of the cured product can be further improved. Moreover, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially that a weight average molecular weight is 10,000 or less. The weight average molecular weight is more preferably in the range of 900 to 8000, and particularly preferably in the range of 1000 to 5000.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の固形分酸価は60〜140mgKOH/gの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性が特に向上する。酸価が80〜135mgKOH/gの範囲内であればより好ましく、酸価が90〜130mgKOH/gの範囲内であれば更に好ましい。 The solid content acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 60 to 140 mgKOH / g. In this case, the developability of the photosensitive resin composition is particularly improved. The acid value is more preferably in the range of 80 to 135 mgKOH / g, and the acid value is more preferably in the range of 90 to 130 mgKOH / g.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量(Mw)は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによる分子量測定結果から算出される。ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィでの分子量測定は、例えば次の条件の下で行うことができる。 The weight average molecular weight (Mw) of the carboxyl group-containing resin (A1) is calculated from the molecular weight measurement result by gel permeation chromatography. The molecular weight measurement by gel permeation chromatography can be performed, for example, under the following conditions.
GPC装置:昭和電工社製 SHODEX SYSTEM 11、
カラム:SHODEX KF−800P、KF−005、KF−003、KF−001の4本直列、
移動相:THF、
流量:1ml/分、
カラム温度:45℃、
検出器:RI、
換算:ポリスチレン。
GPC device: SHODEX SYSTEM 11, manufactured by Showa Denko KK
Column: 4 series of SHODEX KF-800P, KF-005, KF-003, KF-001,
Mobile phase: THF,
Flow rate: 1 ml / min
Column temperature: 45 ° C
Detector: RI,
Conversion: Polystyrene.
カルボキシル基含有樹脂(A1)の原料、並びにカルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件について詳しく説明する。 The raw material of the carboxyl group-containing resin (A1) and the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1) will be described in detail.
エポキシ化合物(a1)は、例えば下記式(7)に示す構造(S7)を有する。式(7)中のnは、例えば0〜20の範囲内の数である。カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量を適切に制御するためには、nの平均は0〜1の範囲内であることが特に好ましい。nの平均が0〜1の範囲内であれば、特に酸無水物が酸二無水物(a3)を含有する場合、酸二無水物(a3)の付加による過剰な分子量の増大が抑制されやすくなる。 The epoxy compound (a1) has a structure (S7) represented by the following formula (7), for example. N in Formula (7) is a number within the range of 0-20, for example. In order to appropriately control the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1), the average of n is particularly preferably in the range of 0-1. If the average of n is in the range of 0 to 1, particularly when the acid anhydride contains acid dianhydride (a3), an excessive increase in molecular weight due to addition of acid dianhydride (a3) is likely to be suppressed. Become.
不飽和基含有カルボン酸(a2)は、例えば一分子中にエチレン性不飽和基を1個のみ有する化合物を含有できる。より具体的には、不飽和基含有カルボン酸(a2)は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、2−アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルマレイン酸、2−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、β−カルボキシエチルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、及び2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。好ましくは、不飽和基含有カルボン酸(a2)がアクリル酸を含有する。 The unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) can contain, for example, a compound having only one ethylenically unsaturated group in one molecule. More specifically, the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) is, for example, acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, crotonic acid, cinnamic acid, 2-acryloyloxyethyl succinate. Acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl phthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxypropyl phthalic acid, 2-methacryloyloxypropyl phthalic acid, 2-acryloyloxyethyl maleic acid, 2-methacryloyloxyethyl maleic acid, β-carboxyethyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid And one or more compounds selected from the group consisting of 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid. Preferably, unsaturated group containing carboxylic acid (a2) contains acrylic acid.
エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えばエポキシ化合物(a1)の溶剤溶液に不飽和基含有カルボン酸(a2)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、中間体を得ることができる。溶剤は、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、及びトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類、及びジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。熱重合禁止剤は、例えばハイドロキノン及びハイドロキノンモノメチルエーテルのうち少なくとも一方を含有する。触媒は、例えばベンジルジメチルアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン類、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド等の第4級アンモニウム塩類、トリフェニルフォスフィン、及びトリフェニルスチビンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 In reacting the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2), a known method may be employed. For example, a reactive solution is obtained by adding an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) to a solvent solution of the epoxy compound (a1), and further adding a thermal polymerization inhibitor and a catalyst as necessary and stirring and mixing. An intermediate can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. Solvents include, for example, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether It can contain at least one component selected from the group consisting of acetates such as acetate and dialkyl glycol ethers. The thermal polymerization inhibitor contains, for example, at least one of hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether. The catalyst is selected from the group consisting of tertiary amines such as benzyldimethylamine and triethylamine, quaternary ammonium salts such as trimethylbenzylammonium chloride and methyltriethylammonium chloride, triphenylphosphine, and triphenylstibine. It can contain at least one component.
触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させることが好ましい。この場合、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)との開環付加反応が特に促進され、95%以上、或いは97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(3)に示す構造を有する中間体が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the epoxy compound (a1) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the ring-opening addition reaction between the epoxy group and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) in the epoxy compound (a1) is particularly accelerated, and the reaction rate (conversion) is 95% or more, 97% or more, or almost 100%. Rate). For this reason, the intermediate which has a structure shown in Formula (3) is obtained with a high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.
エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを反応させる際のエポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する不飽和基含有カルボン酸(a2)の量は0.8〜1.2モルの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の優れた感光性と保存安定性が得られる。 When the epoxy compound (a1) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) are reacted, the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) relative to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is 0.8 to 1. It is preferably within a range of 2 moles. In this case, excellent photosensitivity and storage stability of the photosensitive resin composition can be obtained.
エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、不飽和基の付加重合反応を抑制して、中間体の分子量の増大及び中間体の溶液のゲル化を抑制できる。また、最終生成物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な着色を抑制できる。 It is also preferable to react the epoxy compound (a1) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) under air bubbling. In this case, the addition polymerization reaction of the unsaturated group can be suppressed, and the increase in the molecular weight of the intermediate and the gelation of the intermediate solution can be suppressed. Moreover, the excessive coloring of carboxyl group-containing resin (A1) which is a final product can be suppressed.
このようにして得られる中間体は、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2)におけるカルボキシル基とが反応することで生成した水酸基を備える。 The intermediate obtained in this way has a hydroxyl group produced by the reaction of the epoxy group in the epoxy compound (a1) and the carboxyl group in the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2).
酸二無水物(a3)は、酸無水物基を二つ有する化合物である。酸二無水物(a3)は、テトラカルボン酸の無水物を含有できる。酸二無水物(a3)は、例えば1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、エチレンテトラカルボン酸二無水物、9,9’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)ナフト〔1,2−c〕フラン−1,3−ジオン、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。特に酸二無水物(a3)が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含有することが好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるDが3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸二無水物(a3)全体に対して、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これの範囲に限られない。 The acid dianhydride (a3) is a compound having two acid anhydride groups. The acid dianhydride (a3) can contain an anhydride of tetracarboxylic acid. Acid dianhydride (a3) is, for example, 1,2,4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexene tetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic dianhydride, Naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, ethylenetetracarboxylic dianhydride, 9,9'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, glycerin bisanhydrotri Melitate monoacetate, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro -2,5-dioxo-3-furanyl) naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 1,2,3,4-buta Tetracarboxylic dianhydride, and 3,3 ', may contain at least one compound selected from the group consisting of 4,4'-biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride. In particular, the acid dianhydride (a3) preferably contains 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. That is, it is preferable that D in Formula (5) and Formula (6) includes a 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . The total amount of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferably in the range of 20 to 100 mol%, and preferably 40 to 100 mol%, based on the entire acid dianhydride (a3). Although it is more preferable to be within the range, it is not limited to this range.
酸一無水物(a4)は、酸無水物基を一つ有する化合物である。酸一無水物(a4)は、ジカルボン酸の無水物を含有できる。酸一無水物(a4)は、例えばフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、グルタル酸無水物、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物、及びイタコン酸無水物からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。特に酸一無水物(a4)が1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸を含有することが好ましい。すなわち、酸無水物が1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸を含有することが好ましい。すなわち、カルボキシル基含有樹脂(A1)が式(4)に示す構造を有し、式(4)におけるBが1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸一無水物(a4)全体に対して、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。 The acid monoanhydride (a4) is a compound having one acid anhydride group. The acid monoanhydride (a4) can contain an anhydride of a dicarboxylic acid. Examples of the acid monoanhydride (a4) include phthalic anhydride, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexa Hydrophthalic anhydride, succinic anhydride, methyl succinic anhydride, maleic anhydride, citraconic anhydride, glutaric anhydride, cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride, and One or more compounds selected from the group consisting of itaconic anhydride can be contained. In particular, it is preferable that the acid monoanhydride (a4) contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. That is, it is preferable that the acid anhydride contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. That is, it is preferable that the carboxyl group-containing resin (A1) has a structure represented by the formula (4), and B in the formula (4) includes a 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . It is preferable that 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride is in the range of 20 to 100 mol%, and in the range of 40 to 100 mol%, based on the entire acid monoanhydride (a4). Is more preferable, but not limited to this.
中間体と酸無水物とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用され得る。例えば、中間体の溶剤溶液に酸無水物を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、カルボキシル基含有樹脂(A1)を得ることができる。溶剤、触媒及び重合禁止剤としては、適宜のものが使用でき、中間体の合成時に使用した溶剤、触媒及び重合禁止剤をそのまま使用することもできる。 In reacting the intermediate with the acid anhydride, a known method can be employed. For example, a reactive solution is obtained by adding an acid anhydride to the solvent solution of the intermediate, further adding a thermal polymerization inhibitor and a catalyst as necessary, and stirring and mixing. The carboxyl group-containing resin (A1) can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. As the solvent, catalyst and polymerization inhibitor, appropriate ones can be used, and the solvent, catalyst and polymerization inhibitor used in the synthesis of the intermediate can also be used as they are.
触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、中間体と、酸無水物とを反応させることが好ましい。この場合、中間体における二級の水酸基と酸無水物との反応が特に促進され、90%以上、95%以上、97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(4)に示す構造及び式(5)に示す構造のうち少なくとも一方の構造を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。 It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react an intermediate with an acid anhydride in the presence of triphenylphosphine. In this case, the reaction between the secondary hydroxyl group and the acid anhydride in the intermediate is particularly accelerated, and a reaction rate (conversion rate) of 90%, 95%, 97%, or almost 100% can be achieved. Is possible. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) having at least one of the structure represented by the formula (4) and the structure represented by the formula (5) can be obtained with high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.
酸無水物が酸二無水物(a3)と酸一無水物(a4)とを含有する場合、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸二無水物(a3)の量は、0.05〜0.24モルの範囲内であることが好ましい。また、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対して、酸一無水物(a4)の量は0.3〜0.7モルの範囲内であることが好ましい。この場合、酸価と分子量とが適度に調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が容易に得られる。 When the acid anhydride contains an acid dianhydride (a3) and an acid monoanhydride (a4), the amount of the acid dianhydride (a3) is 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1), It is preferably in the range of 0.05 to 0.24 mol. Moreover, it is preferable that the quantity of acid monoanhydride (a4) exists in the range of 0.3-0.7 mol with respect to 1 mol of epoxy groups of an epoxy compound (a1). In this case, the carboxyl group-containing resin (A1) in which the acid value and the molecular weight are appropriately adjusted can be easily obtained.
カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみを含有してもよく、カルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂(以下、カルボキシル基含有樹脂(F)ともいう)を更に含有してもよい。 The carboxyl group-containing resin (A) may contain only the carboxyl group-containing resin (A1), or a carboxyl group-containing resin other than the carboxyl group-containing resin (A1) (hereinafter also referred to as carboxyl group-containing resin (F)). May further be contained.
カルボキシル基含有樹脂(F)は、例えばカルボキシル基を有し光重合性を有さない化合物(以下、(F1)成分という)を含有できる。(F1)成分は、例えばカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含むエチレン性不飽和単量体の重合体を含有する。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート等の化合物を含有できる。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等と二塩基酸無水物との反応物も含有できる。エチレン性不飽和単量体は、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。 The carboxyl group-containing resin (F) can contain, for example, a compound having a carboxyl group and not having photopolymerizability (hereinafter referred to as (F1) component). (F1) A component contains the polymer of the ethylenically unsaturated monomer containing the ethylenically unsaturated compound which has a carboxyl group, for example. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can contain compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, and ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can also contain a reaction product of pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate and the like with a dibasic acid anhydride. The ethylenically unsaturated monomer is 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or alicyclic (provided that It may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group, such as (meth) acrylic acid ester (which may partially have an unsaturated bond in the ring).
カルボキシル基含有樹脂(F)は、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(以下、(F2)成分という)を含有してもよい。またカルボキシル基含有樹脂(F)は、(F2)成分のみを含有してもよい。(F2)成分は、例えば一分子中に二個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(g1)とエチレン性不飽和化合物(g2)との反応物である中間体と、多価カルボン酸及びその無水物の群から選択される少なくとも一種の化合物(g3)との反応物である樹脂(第一の樹脂(g)という)を含有する。第一の樹脂(g)は、例えばエポキシ化合物(g1)中のエポキシ基と、エチレン性不飽和化合物(g2)中のカルボキシル基とを反応させて得られた中間体に化合物(g3)を付加させて得られる。エポキシ化合物(g1)は、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物等の適宜のエポキシ化合物を含有できる。特にエポキシ化合物(g1)はビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物の群から選択される少なくとも1種の化合物を含有することが好ましい。エポキシ化合物(g1)は、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物のみを含有してもよく、或いはクレゾールノボラック型エポキシ化合物のみを含有してもよい。この場合、エポキシ化合物(g1)の主鎖に芳香族環が含まれるので、感光性樹脂組成物の硬化物が前記酸化剤により著しく腐食され難くなる。エポキシ化合物(g1)は、エチレン性不飽和化合物(h)の重合体を含有してもよい。エチレン性不飽和化合物(h)は、例えばグリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する化合物(h1)を含有し、或いは更に2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート等のエポキシ基を有さない化合物(h2)を含有する。エチレン性不飽和化合物(g2)は、アクリル酸及びメタクリル酸のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。化合物(g3)は、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸等の多価カルボン酸と、これらの多価カルボン酸の無水物とからなる群から選択される一種以上の化合物を含有する。特に化合物(g3)はフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸の群から選択される少なくとも1種の多価カルボン酸を含有することが好ましい。 The carboxyl group-containing resin (F) may contain a compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group (hereinafter referred to as (F2) component). Moreover, carboxyl group-containing resin (F) may contain only the (F2) component. The component (F2) includes, for example, an intermediate that is a reaction product of an epoxy compound (g1) having two or more epoxy groups in one molecule and an ethylenically unsaturated compound (g2), a polyvalent carboxylic acid and its anhydride. A resin (referred to as a first resin (g)) that is a reaction product with at least one compound (g3) selected from the group of substances. For example, the first resin (g) is obtained by adding the compound (g3) to an intermediate obtained by reacting the epoxy group in the epoxy compound (g1) with the carboxyl group in the ethylenically unsaturated compound (g2). Can be obtained. The epoxy compound (g1) can contain an appropriate epoxy compound such as a cresol novolac epoxy compound, a phenol novolac epoxy compound, or a biphenyl novolac epoxy compound. In particular, the epoxy compound (g1) preferably contains at least one compound selected from the group of biphenyl novolac type epoxy compounds and cresol novolac type epoxy compounds. The epoxy compound (g1) may contain only a biphenyl novolac type epoxy compound or may contain only a cresol novolac type epoxy compound. In this case, since an aromatic ring is contained in the main chain of the epoxy compound (g1), the cured product of the photosensitive resin composition is hardly corroded by the oxidizing agent. The epoxy compound (g1) may contain a polymer of the ethylenically unsaturated compound (h). The ethylenically unsaturated compound (h) contains a compound (h1) having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, or further has no epoxy group such as 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate. Contains compound (h2). The ethylenically unsaturated compound (g2) preferably contains at least one of acrylic acid and methacrylic acid. The compound (g3) contains one or more compounds selected from the group consisting of polyvalent carboxylic acids such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and methyltetrahydrophthalic acid, and anhydrides of these polyvalent carboxylic acids. . In particular, the compound (g3) preferably contains at least one polycarboxylic acid selected from the group of phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and methyltetrahydrophthalic acid.
(F2)成分は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含有するエチレン性不飽和単量体の重合体とエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物との反応物である樹脂(第二の樹脂(i)という)を含有してもよい。エチレン性不飽和単量体はカルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。第二の樹脂(i)は、重合体におけるカルボキシル基の一部にエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物を反応させることで得られる。エチレン性不飽和単量体は、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等の化合物を含有する。カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物は、例えば2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の化合物を含有する。エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物は、グリシジル(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。 The component (F2) is a resin (second resin) that is a reaction product of a polymer of an ethylenically unsaturated monomer containing an ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group. (I)) may be contained. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. The second resin (i) can be obtained by reacting an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group with a part of the carboxyl group in the polymer. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. Examples of the ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group include compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate. Examples of the ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group include 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or oil It contains a compound such as a (meth) acrylic acid ester of a cyclic group (however, it may have some unsaturated bonds in the ring). The ethylenically unsaturated compound having an epoxy group preferably contains glycidyl (meth) acrylate.
カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみ、又はカルボキシル基含有樹脂(A1)とカルボキシル基含有樹脂(F)とを含有する。カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を30質量%以上含有することが好ましく、50質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性及び絶縁信頼性を特に向上させることができる。また、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を十分に抑制することができる。さらに、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を確保することができる。 The carboxyl group-containing resin (A) contains only the carboxyl group-containing resin (A1) or the carboxyl group-containing resin (A1) and the carboxyl group-containing resin (F). The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains 30% by mass or more of the carboxyl group-containing resin (A1), more preferably 50% by mass or more, and still more preferably 100% by mass. In this case, the heat resistance and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition can be particularly improved. Moreover, the tack property of the film | membrane formed from the photosensitive resin composition can fully be suppressed. Furthermore, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition is securable.
上述の通り、感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)とを含有する。 As described above, the photosensitive resin composition includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And an epoxy compound (D).
不飽和化合物(B)は、感光性樹脂組成物に光硬化性を付与できる。不飽和化合物(B)は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;並びにジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε―カプロラクトン変性ペンタエリストールヘキサアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。 The unsaturated compound (B) can impart photocurability to the photosensitive resin composition. The unsaturated compound (B) is, for example, a monofunctional (meth) acrylate such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; and diethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone modified pentaerythritol hexaacrylate, tricyclodecandi At least one compound selected from the group consisting of polyfunctional (meth) acrylates such as methanol di (meth) acrylate can be contained.
特に不飽和化合物(B)が、三官能の化合物、すなわち一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される皮膜を露光・現像する場合の解像性が向上すると共に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。三官能の化合物は、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリストールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート及びε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート及びエトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。 In particular, the unsaturated compound (B) preferably contains a trifunctional compound, that is, a compound having three unsaturated bonds in one molecule. In this case, the resolution when the film formed from the photosensitive resin composition is exposed and developed is improved, and the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Trifunctional compounds include, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri (meth) acrylate and ε-caprolactone modified It can contain at least one compound selected from the group consisting of tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate and ethoxylated glycerin tri (meth) acrylate.
不飽和化合物(B)が、リン含有化合物(リン含有不飽和化合物)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有不飽和化合物は、例えば、2−メタクリロイロキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトエステルP−1M、及びライトエステルP−2M)、2−アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトアクリレートP−1A)、ジフェニル−2−メタクリロイルオキシエチルフォスフェート(具体例として大八工業株式会社製の品番MR−260)、並びに昭和高分子株式会社製のHFAシリーズ(具体例としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCA(9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイド)との付加反応物である品番HFA−6003、及びHFA−6007、カプロラクトン変性ジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCA(9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキサイド)との付加反応物である品番HFA−3003、及びHFA−6127等)からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。 It is also preferred that the unsaturated compound (B) contains a phosphorus-containing compound (phosphorus-containing unsaturated compound). In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Phosphorus-containing unsaturated compounds include, for example, 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (as specific examples, product number light ester P-1M and light ester P-2M manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), 2-acryloyloxyethyl acid phosphate Fate (as a specific example, product number light acrylate P-1A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), diphenyl-2-methacryloyloxyethyl phosphate (as a specific example, product number MR-260 manufactured by Daihachi Industry Co., Ltd.), and Showa Polymer Co., Ltd. HFA series manufactured by the company (part number HFA-6003 which is an addition reaction product of dipentaerystol hexaacrylate and HCA (9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide) as a specific example, And HFA-6007, caprolact No. HFA-3003, HFA-6127, etc., which are addition reaction products of styrene-modified dipentaerystol hexaacrylate and HCA (9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide)) One or more compounds selected from the group consisting of:
不飽和化合物(B)が、プレポリマーを含有してもよい。プレポリマーは、例えばエチレン性不飽和結合を有するモノマーを重合させてからエチレン性不飽和基を付加して得られるプレポリマー、並びにオリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。オリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類は、例えばエポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン樹脂(メタ)アクリレート、及びスピラン樹脂(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 The unsaturated compound (B) may contain a prepolymer. The prepolymer is at least one selected from the group consisting of, for example, a prepolymer obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated bond and then adding an ethylenically unsaturated group, and oligo (meth) acrylate prepolymers These compounds can be contained. Oligo (meth) acrylate prepolymers include, for example, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spirane resin (meth) acrylate At least one component selected from the group consisting of:
エポキシ化合物(D)は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。エポキシ化合物(D)は、結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性を向上させることができる。またエポキシ化合物(D)は、非晶性エポキシ樹脂を更に含有してもよい。ここで「結晶性エポキシ樹脂」は融点を有するエポキシ樹脂であり、「非晶性エポキシ樹脂」は融点を有さないエポキシ樹脂である。 The epoxy compound (D) can impart thermosetting properties to the photosensitive resin composition. The epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin. In this case, the developability of the photosensitive resin composition can be improved. The epoxy compound (D) may further contain an amorphous epoxy resin. Here, “crystalline epoxy resin” is an epoxy resin having a melting point, and “amorphous epoxy resin” is an epoxy resin having no melting point.
結晶性エポキシ樹脂は、例えば1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、ハイドロキノン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品名YDC−1312)、ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品名YX−4000)、ジフェニルエーテル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品名YSLV−80XY)、テトラキスフェノールエタン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番GTR−1800)、ビスフェノールフルオレン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。 The crystalline epoxy resin is, for example, 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, hydroquinone type crystallinity Epoxy resin (specifically, product name YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), biphenyl type crystalline epoxy resin (specifically, product name YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), diphenyl ether type crystalline epoxy resin (specific example) As Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. product number YSLV-80DE), bisphenol type crystalline epoxy resin (specifically, Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. product name YSLV-80XY), tetrakisphenol ethane type crystalline epoxy resin (specific example Japan) Product number GTR-1800 manufactured by Kayaku Co., Ltd., bisphenolfluorene type crystallinity Preferably contains one or more components selected from the group consisting of (epoxy resin having a structure represented by the formula (7) as a specific example) epoxy resin.
結晶性エポキシ樹脂は、1分子中に2個のエポキシ基を有することが好ましい。 The crystalline epoxy resin preferably has two epoxy groups in one molecule.
結晶性エポキシ樹脂は150〜300g/eqのエポキシ当量を有することが好ましい。このエポキシ当量は、1グラム当量のエポキシ基を含有する結晶性エポキシ樹脂のグラム重量である。結晶性エポキシ樹脂は融点を有する。結晶性エポキシ樹脂の融点としては、例えば70〜180℃が挙げられる。 The crystalline epoxy resin preferably has an epoxy equivalent of 150 to 300 g / eq. This epoxy equivalent is the gram weight of a crystalline epoxy resin containing 1 gram equivalent of epoxy groups. The crystalline epoxy resin has a melting point. As melting | fusing point of crystalline epoxy resin, 70-180 degreeC is mentioned, for example.
特にエポキシ化合物(D)が、融点110℃以下の結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。融点110℃以下の結晶性エポキシ樹脂は、例えばビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX−4000)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、及びビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、ビスフェノールフルオレン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として構造(S7)を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 In particular, the epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin having a melting point of 110 ° C. or lower. In this case, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Crystalline epoxy resins having a melting point of 110 ° C. or less include, for example, biphenyl type epoxy resin (specifically, product number YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), biphenyl ether type epoxy resin (specifically, product number YSLV manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) -80DE), and a bisphenol-type epoxy resin (specifically, Nippon Steel & Sumikin Chemicals product number YSLV-80XY), a bisphenolfluorene-type crystalline epoxy resin (specifically, an epoxy resin having the structure (S7)). At least one component.
非晶性エポキシ樹脂は、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−775)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−695)、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−865)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER1001)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER4004P)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−1514)、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番NC−3000)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番ST−4000D)、ナフタレン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−4032、EPICLON HP−4700、EPICLON HP−4770)、ターシャリーブチルカテコール型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−820)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC製の品番EPICLON HP−7200)、アダマンタン型エポキシ樹脂(具体例として出光興産株式会社製の品番ADAMANTATE X−E−201)、特殊二官能型エポキシ樹脂(具体例として、三菱化学株式会社製の品番YL7175−500、及びYL7175−1000;DIC株式会社製の品番EPICLON TSR−960、EPICLON TER−601、EPICLON TSR−250−80BX、EPICLON 1650−75MPX、EPICLON EXA−4850、EPICLON EXA−4816、EPICLON EXA−4822、及びEPICLON EXA−9726;新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−120TE)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−156)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−136)、並びにゴム粒子含有ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番カネエースMX−130)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。 The amorphous epoxy resin is, for example, a phenol novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-775 manufactured by DIC Corporation), or a cresol novolac type epoxy resin (specific example, product number EPICLON N-695 manufactured by DIC Corporation). Bisphenol A novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-865 manufactured by DIC Corporation), bisphenol A type epoxy resin (specifically, product number jER1001 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol F type epoxy resin (specific example) As product number jER4004P manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol S type epoxy resin (specifically, product number EPICLON EXA-1514 manufactured by DIC Corporation), bisphenol AD type epoxy resin, biphenyl novolak type Poxy resin (part number NC-3000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (part number ST-4000D manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), naphthalene type epoxy resin (particular example) DIC Corporation product numbers EPICLON HP-4032, EPICLON HP-4700, EPICLON HP-4770), tertiary butyl catechol type epoxy resin (specifically, product number EPICLON HP-820 manufactured by DIC Corporation), dicyclopentadiene type Epoxy resin (part number EPICLON HP-7200 manufactured by DIC as a specific example), adamantane type epoxy resin (part number ADAMANATE X-E-201 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), special bifunctional type epoxy resin (specific example , Mitsubishi Chemical Corporation part numbers YL7175-500 and YL7175-1000; DIC Corporation part numbers EPICLON TSR-960, EPICLON TER-601, EPICLON TSR-250-80BX, EPICLON 1650-75MPX, EPICLON EXA-4850, EPICLON EXA-4816, EPICLON EXA-4822, and EPICLON EXA-9726; NS -156), rubber-like core-shell polymer-modified bisphenol F-type epoxy resin (as a specific example, product number MX-136 manufactured by Kaneka Corporation), and rubber particles It is preferable to contain one or more components selected from the group consisting of bisphenol F-type epoxy resins (as a specific example, product number Kane Ace MX-130 manufactured by Kaneka Corporation).
エポキシ化合物(D)がリン含有エポキシ樹脂を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有エポキシ樹脂は結晶性エポキシ樹脂に含有されてもよいし、或いは非晶性エポキシ樹脂に含有されてもよい。リン含有エポキシ樹脂としては、リン酸変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−9726、及びEPICLON EXA−9710)、新日鉄住金化学株式会社製の品番エポトートFX−305等が挙げられる。 The epoxy compound (D) may contain a phosphorus-containing epoxy resin. In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. The phosphorus-containing epoxy resin may be contained in the crystalline epoxy resin or may be contained in the amorphous epoxy resin. Examples of phosphorus-containing epoxy resins include phosphoric acid-modified bisphenol F-type epoxy resins (specifically, product numbers EPICLON EXA-9726 and EPICLON EXA-9710 manufactured by DIC Corporation), and product number Epototo FX-305 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Is mentioned.
感光性樹脂組成物はメラミンを含有してもよい。感光性樹脂組成物は、メラミンとメラミン誘導体とのうち少なくとも一方を含有する成分(E)を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物と銅などの金属との間の密着性が高くなる。このため、感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の絶縁材料として特に適する。また、感光性樹脂組成物の硬化物の耐メッキ性、すなわち無電解ニッケル/金メッキ処理時の白化耐性が向上する。 The photosensitive resin composition may contain melamine. The photosensitive resin composition may contain a component (E) containing at least one of melamine and a melamine derivative. In this case, the adhesion between the cured product of the photosensitive resin composition and a metal such as copper is increased. For this reason, the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for a printed wiring board. Moreover, the plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, that is, the whitening resistance during the electroless nickel / gold plating process is improved.
メラミンは、2,4,6−トリアミノ−1,3,5−トリアジンであり、一般的に市販されている化合物から入手可能である。また、メラミン誘導体は、その一分子中に1つのトリアジン環と、アミノ基とを有する化合物であるとよい。メラミン誘導体としては、例えばグアナミン;アセトグアナミン;ベンゾグアナミン;2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体;並びにメラミン−テトラヒドロフタル酸塩等のメラミンと酸無水物との反応物が、挙げられる。メラミン誘導体の、より詳細な具体例として、四国化成工業株式会社の製品名VD−1、製品名VD−2、製品名VD−3が挙げられる。 Melamine is 2,4,6-triamino-1,3,5-triazine and is generally available from commercially available compounds. The melamine derivative may be a compound having one triazine ring and an amino group in one molecule. Examples of melamine derivatives include guanamine; acetoguanamine; benzoguanamine; 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6. -S-triazine derivatives such as diamino-S-triazine isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine isocyanuric acid adduct; and melamine such as melamine-tetrahydrophthalate A reaction product with an acid anhydride is mentioned. Specific examples of the melamine derivative include Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. product name VD-1, product name VD-2, and product name VD-3.
例えば、感光性樹脂組成物は無機充填材を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される膜の硬化収縮が低減される。無機充填材は、例えば硫酸バリウム、結晶性シリカ、ナノシリカ、カーボンナノチューブ、タルク、ベントナイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び酸化チタンからなる群から選択される少なくとも一種の材料を含有できる。無機充填材に酸化チタン、酸化亜鉛等の白色の材料を含有させることで、感光性樹脂組成物及びその硬化物を白色化してもよい。感光性樹脂組成物中の無機充填材の割合は適宜設定されるが、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する無機充填材の量は0〜300質量%の範囲内であることが好ましい。 For example, the photosensitive resin composition may contain an inorganic filler. In this case, the curing shrinkage of the film formed from the photosensitive resin composition is reduced. The inorganic filler can contain at least one material selected from the group consisting of, for example, barium sulfate, crystalline silica, nano silica, carbon nanotube, talc, bentonite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, and titanium oxide. You may whiten the photosensitive resin composition and its hardened | cured material by making an inorganic filler contain white materials, such as a titanium oxide and a zinc oxide. Although the ratio of the inorganic filler in the photosensitive resin composition is appropriately set, the amount of the inorganic filler relative to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0 to 300% by mass.
感光性樹脂組成物は、有機フィラーを含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される膜に密着性、屈曲性、あるいはチキソ性を付与することができる。有機フィラーとしては、例えばゴム粒子、アクリル樹脂粒子及びセルロース粒子からなる群から選択される少なくとも一種の材料を含有できる。また、有機フィラーは、コアシェル型であってもよい。また、有機フィラーは、例えばカルボキシル基、アミノ基、エポキシ基、ビニル基、水酸基等の反応性基を有していてもよい。感光性樹脂組成物中の有機フィラーの割合は適宜設定されるが、カルボキシル基含有樹脂(A)に対する有機フィラーの量は0〜300質量%の範囲内であることが好ましい。 The photosensitive resin composition may contain an organic filler. In this case, adhesion, flexibility, or thixotropy can be imparted to the film formed from the photosensitive resin composition. As the organic filler, for example, at least one material selected from the group consisting of rubber particles, acrylic resin particles, and cellulose particles can be contained. The organic filler may be a core-shell type. The organic filler may have a reactive group such as a carboxyl group, an amino group, an epoxy group, a vinyl group, or a hydroxyl group. Although the ratio of the organic filler in the photosensitive resin composition is appropriately set, the amount of the organic filler with respect to the carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 0 to 300% by mass.
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤は、感光性樹脂組成物の液状化又はワニス化、粘度調整、塗布性の調整、造膜性の調整などの目的で使用される。 The photosensitive resin composition according to the present embodiment may contain an organic solvent. The organic solvent is used for the purpose of liquefaction or varnishing of the photosensitive resin composition, viscosity adjustment, application property adjustment, film formation property adjustment, and the like.
有機溶剤は、例えばエタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ヘキサノール、エチレングリコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコール類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;スワゾールシリーズ(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類;ジプロピレングリコールメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;並びにジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。 Organic solvents include, for example, linear, branched, secondary or polyhydric alcohols such as ethanol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, hexanol and ethylene glycol; ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene Petroleum aromatic mixed solvents such as Swazol series (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) and Solvesso series (manufactured by Exxon Chemical Co.); cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; Tolls; propylene glycol alkyl ethers such as propylene glycol methyl ether; polypropylene glycol alkyl ethers such as dipropylene glycol methyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, carb It can contain, as well as one or more compounds selected from the group consisting of dialkyl glycol ethers; Lumpur acid esters such as acetate.
感光性樹脂組成物中の成分の量は、感光性樹脂組成物が光硬化性を有し、アルカリ性溶液で現像可能であるように、適宜調整される。 The amount of the component in the photosensitive resin composition is appropriately adjusted so that the photosensitive resin composition has photocurability and can be developed with an alkaline solution.
カルボキシル基含有樹脂(A)は、感光性樹脂組成物の固形分量に対して5〜85質量%の範囲内であれば好ましく、10〜75質量%の範囲内であればより好ましく、30〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。 The carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 5 to 85% by mass, more preferably in the range of 10 to 75% by mass, and more preferably in the range of 30 to 60% with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. If it is in the range of mass%, it is still more preferable.
不飽和化合物(B)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して1〜50質量%の範囲内であれば好ましく、10〜45質量%の範囲内であればより好ましく、21〜40質量%の範囲内であれば更に好ましい。 The unsaturated compound (B) is preferably in the range of 1 to 50% by mass, more preferably in the range of 10 to 45% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A), and more preferably 21 to 40% by mass. If it is in the range, it is more preferable.
エポキシ化合物(D)の量に関しては、エポキシ化合物(D)に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.7〜2.5の範囲内であることが好ましく、0.7〜2.3の範囲内であることがより好ましく、0.7〜2.0の範囲内であれば更に好ましい。また、結晶性エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.1〜2.0の範囲内であることが好ましく、0.2〜1.9の範囲内であればより好ましく、0.3〜1.5の範囲内であれば更に好ましい。 Regarding the amount of the epoxy compound (D), the total equivalent of the epoxy groups contained in the epoxy compound (D) is 0.7 to 2.5 with respect to 1 equivalent of the carboxyl group contained in the carboxyl group-containing resin (A). Is preferably in the range of 0.7 to 2.3, more preferably in the range of 0.7 to 2.0. Moreover, it is preferable that the sum total of the equivalent of the epoxy group contained in crystalline epoxy resin exists in the range of 0.1-2.0 with respect to 1 equivalent of carboxyl groups contained in carboxyl group-containing resin (A), A range of 0.2 to 1.9 is more preferable, and a range of 0.3 to 1.5 is more preferable.
感光性樹脂組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の量は、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を乾燥させる際に速やかに有機溶剤が揮散するように、すなわち有機溶剤が乾燥膜に残存しないように、調整されることが好ましい。特に、感光性樹脂組成物全体に対して、有機溶剤が0〜99.5質量%の範囲内であることが好ましく、15〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。なお、有機溶剤の好適な割合は、塗布方法などにより異なるので、塗布方法に応じて割合が適宜調節されることが好ましい。 When the photosensitive resin composition contains an organic solvent, the amount of the organic solvent is determined so that the organic solvent is volatilized quickly when the coating film formed from the photosensitive resin composition is dried, that is, the organic solvent is dried. It is preferable to adjust so as not to remain in the film. In particular, the organic solvent is preferably in the range of 0 to 99.5% by mass and more preferably in the range of 15 to 60% by mass with respect to the entire photosensitive resin composition. In addition, since the suitable ratio of an organic solvent changes with application methods etc., it is preferable that a ratio is suitably adjusted according to the application method.
なお、固形分量とは、感光性樹脂組成物から溶剤などの揮発性成分を除いた、全成分の合計量のことである。 In addition, solid content is a total amount of all components remove | excluding volatile components, such as a solvent, from the photosensitive resin composition.
本発明の主旨を逸脱しない限りにおいて、感光性樹脂組成物は、上記成分以外の成分を更に含有してもよい。 Unless it deviates from the main point of this invention, the photosensitive resin composition may further contain components other than the said component.
感光性樹脂組成物は、カプロラクタム、オキシム、マロン酸エステル等でブロックされたトリレンジイソシアネート系、モルホリンジイソシアネート系、イソホロンジイソシアネート系、及びヘキサメチレンジイソシアネート系のブロックドイソシアネート;メラミン樹脂、n−ブチル化メラミン樹脂、イソブチル化メラミン樹脂、ブチル化尿素樹脂、ブチル化メラミン尿素共縮合樹脂、ベンゾグアナミン系共縮合樹脂等のアミノ樹脂;前記以外の各種熱硬化性樹脂;紫外線硬化性エポキシ(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、脂環型等のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付加して得られる樹脂;並びにジアリルフタレート樹脂、フェノキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂等の高分子化合物からなる群から選択される一種以上の樹脂を含有してもよい。 The photosensitive resin composition is composed of tolylene diisocyanate, morpholine diisocyanate, isophorone diisocyanate and hexamethylene diisocyanate blocked isocyanates blocked with caprolactam, oxime, malonic acid ester, etc .; melamine resin, n-butylated melamine Resins, isobutylated melamine resins, butylated urea resins, butylated melamine urea cocondensation resins, benzoguanamine-based cocondensation resins, and other amino resins; various other thermosetting resins; ultraviolet curable epoxy (meth) acrylates; bisphenol A Resin obtained by adding (meth) acrylic acid to epoxy resin such as epoxy type, phenol novolac type, cresol novolac type, alicyclic type; and diallyl phthalate resin, phenoxy resin, urethane resin, fluorine resin It may contain one or more resins that are selected from the group consisting of a polymer compound.
感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物(D)を硬化させるための硬化剤を含有してもよい。硬化剤は、例えばイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物;アジピン酸ヒドラジド、セバシン酸ヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルフォスフィン等のリン化合物;酸無水物;フェノール;メルカプタン;ルイス酸アミン錯体;及びオニウム塩からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。これらの成分の市販品の例として、四国化成株式会社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)が挙げられる。 The photosensitive resin composition may contain a curing agent for curing the epoxy compound (D). Examples of the curing agent include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- (2- Imidazole derivatives such as cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, 4 Amine compounds such as methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic hydrazide and sebacic acid hydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine; acid anhydrides; phenols; mercaptans; Oni It may contain one or more components selected from the group consisting of unsalted. Examples of commercially available products of these components include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., U-CAT3503N, U manufactured by San Apro Co., Ltd. -CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof).
感光性樹脂組成物は、メラミン以外の密着性付与剤を含有してもよい。密着性付与剤は、例えばグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、並びに2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体である。 The photosensitive resin composition may contain an adhesion-imparting agent other than melamine. Examples of the adhesion-imparting agent include guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, and 2-vinyl-4. , 6-diamino-S-triazine / isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct, and the like.
感光性樹脂組成物は、硬化促進剤;着色剤;シリコーン、アクリレート等の共重合体;レベリング剤;シランカップリング剤等の密着性付与剤;チクソトロピー剤;重合禁止剤;ハレーション防止剤;難燃剤;消泡剤;酸化防止剤;界面活性剤;並びに高分子分散剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有してもよい。 Photosensitive resin composition includes curing accelerator; colorant; copolymer such as silicone and acrylate; leveling agent; adhesion imparting agent such as silane coupling agent; thixotropic agent; polymerization inhibitor; antihalation agent; One or more components selected from the group consisting of: an antifoaming agent, an antioxidant, a surfactant, and a polymer dispersant.
感光性樹脂組成物中のアミン化合物の含有量はできるだけ少ないことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層の電気絶縁性が損なわれにくい。特にカルボキシル基含有樹脂(A)に対してアミン化合物が6質量%以下であることが好ましく、4質量%以下であれば更に好ましい。 The content of the amine compound in the photosensitive resin composition is preferably as small as possible. In this case, the electrical insulation of the layer made of a cured product of the photosensitive resin composition is unlikely to be impaired. In particular, the amine compound is preferably 6% by mass or less, more preferably 4% by mass or less, based on the carboxyl group-containing resin (A).
上記のような感光性樹脂組成物の原料が配合され、例えば三本ロール、ボールミル、サンドミル等を用いる公知の混練方法によって混練されることにより、感光性樹脂組成物が調製され得る。感光性樹脂組成物の原料に液状の成分、粘度の低い成分等が含まれる場合には、原料のうち液状の成分、粘度の低い成分等を除く部分をまず混練し、得られた混合物に、液状の成分、粘度の低い成分等を加えて混合することで、感光性樹脂組成物を調製してもよい。 The raw material of the photosensitive resin composition as described above is blended, and the photosensitive resin composition can be prepared by kneading by a known kneading method using, for example, a three roll, ball mill, sand mill or the like. In the case where the raw material of the photosensitive resin composition contains a liquid component, a low viscosity component, etc., the part of the raw material excluding the liquid component, the low viscosity component, etc. is first kneaded, and the resulting mixture is The photosensitive resin composition may be prepared by adding and mixing a liquid component, a component having a low viscosity, and the like.
保存安定性等を考慮して、感光性樹脂組成物の成分の一部を混合することで第一剤を調製し、成分の残部を混合することで第二剤を調製してもよい。すなわち、感光性樹脂組成物は、第一剤と第二剤とを備えてもよい。この場合、例えば感光性樹脂組成物の成分のうち不飽和化合物(B)、有機溶剤の一部、及び熱硬化性成分を予め混合して分散させることで第一剤を調製し、感光性樹脂組成物の成分のうち残部を混合して分散させることで第二剤を調製してもよい。この場合、適時必要量の第一剤と第二剤とを混合して混合液を調製し、この混合液を硬化させて硬化物を得ることができる。 In consideration of storage stability and the like, the first agent may be prepared by mixing a part of the components of the photosensitive resin composition, and the second agent may be prepared by mixing the rest of the components. That is, the photosensitive resin composition may include a first agent and a second agent. In this case, for example, the first agent is prepared by previously mixing and dispersing the unsaturated compound (B), a part of the organic solvent, and the thermosetting component among the components of the photosensitive resin composition. You may prepare a 2nd agent by mixing and disperse | distributing the remainder among the components of a composition. In this case, it is possible to prepare a mixed solution by mixing the necessary amount of the first agent and the second agent in a timely manner and curing the mixed solution to obtain a cured product.
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の電気絶縁性材料として適している。特に感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の、電気絶縁性の層を形成するために適している。 The photosensitive resin composition according to this embodiment is suitable as an electrically insulating material for a printed wiring board. In particular, the photosensitive resin composition is suitable for forming an electrically insulating layer such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer.
本実施形態に係る感光性樹脂組成物が厚み25μmの皮膜に成形された場合に、皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることが好ましい。この場合、十分に厚みの大きい電気絶縁性の層を感光性樹脂組成物からフォトリソグラフィー法で作製することが可能であるため、感光性樹脂組成物を、プリント配線板における層間絶縁層、ソルダーレジスト層等を作製するために広く適用可能である。勿論、感光性樹脂組成物から厚み25μmより薄い電気絶縁性の層を作製することも可能である。 When the photosensitive resin composition according to the present embodiment is formed into a film having a thickness of 25 μm, it is preferable that the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. In this case, since a sufficiently thick electrically insulating layer can be produced from the photosensitive resin composition by photolithography, the photosensitive resin composition is used as an interlayer insulating layer or solder resist in a printed wiring board. Widely applicable for producing layers and the like. Of course, it is also possible to produce an electrically insulating layer having a thickness of less than 25 μm from the photosensitive resin composition.
皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることは、次の方法で確認できる。適当な基材上に感光性樹脂組成物を塗布することで湿潤塗膜を形成し、この湿潤塗膜を80℃で40分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成する。この皮膜に紫外線を透過する露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に500mJ/cm2の条件で紫外線を照射する。露光後の皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射する。この処理後の皮膜を観察した結果、皮膜における非露光部に対応する部分が除去されて残渣が認められない場合に、現像可能であると判断できる。 It can be confirmed by the following method that the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. A wet paint film is formed by applying the photosensitive resin composition on a suitable substrate, and this wet paint film is heated at 80 ° C. for 40 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. In a state where a negative mask having an exposed portion that transmits ultraviolet rays and a non-exposed portion that blocks ultraviolet rays is directly applied to the coating, the coating is irradiated with ultraviolet rays through the negative mask under the condition of 500 mJ / cm 2 . A 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is sprayed for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa on the film after exposure, and then pure water is sprayed for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa. As a result of observing the film after this treatment, it can be determined that development is possible when a portion corresponding to the non-exposed part of the film is removed and no residue is observed.
以下に、本実施形態による感光性樹脂組成物から形成された層間絶縁層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を、図1Aから図1Eを参照して説明する。本方法では、層間絶縁層にフォトリソグラフィー法でスルーホールを形成する。 Below, an example of the method of manufacturing a printed wiring board provided with the interlayer insulation layer formed from the photosensitive resin composition by this embodiment is demonstrated with reference to FIG. 1A to FIG. 1E. In this method, a through hole is formed in the interlayer insulating layer by photolithography.
まず、図1Aに示すようにコア材1を用意する。コア材1は、例えば少なくとも一つの絶縁層2と少なくとも一つの導体配線3とを備える。コア材1の一面上に設けられている導体配線3を、以下、第一の導体配線3という。図1Bに示すように、コア材1の第一の導体配線3が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜4を形成する。皮膜4の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。
First, the
塗布法では、例えばコア材1上に感光性樹脂組成物を塗布して湿潤塗膜を形成する。感光性樹脂組成物の塗布方法は、公知の方法、例えば浸漬法、スプレー法、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、及びスクリーン印刷法からなる群から選択される。続いて、感光性樹脂組成物中の有機溶剤を揮発させるために、例えば60〜120℃の範囲内の温度下で湿潤塗膜を乾燥させて、皮膜4を得ることができる。
In the coating method, for example, a photosensitive resin composition is coated on the
ドライフィルム法では、まずポリエステル製などの適宜の支持体上に感光性樹脂組成物を塗布してから乾燥することで、支持体上に感光性樹脂組成物の乾燥物であるドライフィルムを形成する。これにより、ドライフィルムと、ドライフィルムを支持する支持体とを備える支持体付きドライフィルムが得られる。この支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、ドライフィルムとコア材1に圧力をかけ、続いて支持体をドライフィルムから剥離することで、ドライフィルムを支持体上からコア材1上へ転写する。これにより、コア材1上に、ドライフィルムからなる皮膜4が設けられる。
In the dry film method, a photosensitive resin composition is first applied on a suitable support made of polyester or the like, and then dried to form a dry film that is a dried product of the photosensitive resin composition on the support. . Thereby, the dry film with a support provided with a dry film and the support body which supports a dry film is obtained. In this dry film with a support, the dry film is laminated on the
皮膜4を露光することで図1Cに示すように部分的に光硬化させる。そのために、例えばネガマスクを皮膜4に当てがってから、ネガマスクを介して皮膜4に紫外線を照射する。ネガマスクは、紫外線を透過させる露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを備え、非露光部はスルーホール10の位置と合致する位置に設けられる。ネガマスクは、例えばマスクフィルム、乾板等のフォトツールである。紫外線の光源は、例えばケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ及びメタルハライドランプからなる群から選択される。
The coating 4 is exposed to light and partially cured as shown in FIG. 1C. For this purpose, for example, a negative mask is applied to the film 4 and then the film 4 is irradiated with ultraviolet rays through the negative mask. The negative mask includes an exposure part that transmits ultraviolet light and a non-exposure part that blocks ultraviolet light, and the non-exposure part is provided at a position that matches the position of the through
なお、露光方法として、ネガマスクを用いる方法以外の方法が採用されてもよい。例えば、光源から発せられる紫外線を皮膜4上の露光すべき部分のみに照射する直接描画法で皮膜4を露光してもよい。直接描画法に適用される光源は、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、並びにg線、h線及びi線のうちの二種以上の組み合わせからなる群から選択される。 As an exposure method, a method other than a method using a negative mask may be employed. For example, the film 4 may be exposed by a direct drawing method in which only the portion of the film 4 to be exposed is irradiated with ultraviolet rays emitted from a light source. The light source applied to the direct drawing method is, for example, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, g line (436 nm), h line (405 nm), i line (365 nm), and g line, h line and i line. It is selected from the group consisting of two or more kinds of combinations.
また、ドライフィルム法では、支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、支持体を剥離することなく、支持体を透過させて紫外線をドライフィルムからなる皮膜4に照射することで皮膜4を露光し、続いて現像処理前に皮膜4から支持体を剥離してもよい。
In the dry film method, after the dry film in the dry film with the support is stacked on the
続いて、皮膜4に現像処理を施すことで、図1Cに示す皮膜4の露光されていない部分5を除去し、これにより、図1Dに示すようにスルーホール10が形成される位置に穴6を設ける。現像処理では、感光性樹脂組成物の組成に応じた適宜の現像液を使用できる。現像液は、例えばアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液、又は有機アミンである。アルカリ性水溶液は、より具体的には例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム及び水酸化リチウムからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。アルカリ性水溶液中の溶媒は、水のみであっても、水と低級アルコール類等の親水性有機溶媒との混合物であってもよい。有機アミンは、例えばモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン及びトリイソプロパノールアミンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。
Subsequently, the coating 4 is developed to remove the
現像液は、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液であることが好ましく、炭酸ナトリウム水溶液であることが特に好ましい。この場合、作業環境の向上及び廃棄物処理の負担軽減を達成できる。 The developer is preferably an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, and particularly preferably an aqueous sodium carbonate solution. In this case, it is possible to improve the work environment and reduce the burden of waste disposal.
続いて、皮膜4を加熱することで熱硬化させる。加熱の条件は、例えば加熱温度120〜200℃の範囲内、加熱時間30〜120分間の範囲内である。このようにして皮膜4を熱硬化させると、層間絶縁層7の強度、硬度、耐薬品性等の性能が向上する。 Subsequently, the coating 4 is thermally cured by heating. The heating conditions are, for example, within a heating temperature range of 120 to 200 ° C. and within a heating time range of 30 to 120 minutes. When the film 4 is thermally cured in this manner, the performance of the interlayer insulating layer 7 such as strength, hardness, and chemical resistance is improved.
必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜4に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜4の光硬化を更に進行させることができる。 If necessary, the coating 4 may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film 4 can be further advanced.
以上により、コア材1上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層間絶縁層7が設けられる。この層間絶縁層7上に、アディティブ法などの公知の方法で、第二の導体配線8及びホールメッキ9を設けることができる。これにより、図1Eに示すように、第一の導体配線3、第二の導体配線8、第一の導体配線3と第二の導体配線8との間に介在する層間絶縁層7、並びに第一の導体配線3と第二の導体配線8とを電気的に接続するスルーホール10を備えるプリント配線板11が得られる。なお、図1Eにおいて、ホールメッキ9は穴6の内面を覆う筒状の形状を有するが、穴6の内側全体にホールメッキ9が充填されていてもよい。
As described above, the interlayer insulating layer 7 made of a cured product of the photosensitive resin composition is provided on the
また、図1Eのようなホールメッキ9を設ける前に、穴6の内側面全体と層間絶縁層7の外表面の一部とを粗化することができる。このようにして、層間絶縁層7の外表面の一部と、穴6の内側面とを粗化することでコア材1とホールメッキ9との密着性を向上することができる。
Further, before the hole plating 9 as shown in FIG. 1E is provided, the entire inner surface of the
層間絶縁層7の外表面の一部と穴6の内側面全体とを粗化するにあたって、市販のデスミア用膨潤液とデスミア液を用いた一般的なデスミア処理と同じ手順で行うことができる。しかし、これに限らず、プラズマ処理、UV処理やオゾン処理等の硬化物に粗面を付与する手法を適宜採用することができる。
In roughening a part of the outer surface of the interlayer insulating layer 7 and the entire inner surface of the
ホールメッキ9を設けるにあたって、粗化された外表面の一部と、穴6の内側面とに無電解金属メッキ処理を施して初期配線を形成することができる。その後電解金属メッキ処理で初期配線に電解質メッキ液中の金属を析出させることでホールメッキ9を形成することができる。
When the hole plating 9 is provided, the initial wiring can be formed by subjecting a part of the roughened outer surface and the inner side surface of the
本実施形態による感光性樹脂組成物から形成されたソルダーレジスト層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を説明する。 An example of a method for producing a printed wiring board provided with a solder resist layer formed from the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described.
まず、コア材を用意する。コア材は、例えば少なくとも一つの絶縁層と少なくとも一つの導体配線とを備える。コア材の導体配線が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜を形成する。皮膜の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。塗布法とドライフィルム法としては、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。皮膜を露光することで部分的に光硬化させる。露光方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。続いて、皮膜に現像処理を施すことで、皮膜の露光されていない部分を除去し、これにより、コア材上に、皮膜の露光された部分が残存する。続いて、コア材上の皮膜を加熱することで熱硬化させる。現像方法及び加熱方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜の光硬化を更に進行させることができる。 First, a core material is prepared. The core material includes, for example, at least one insulating layer and at least one conductor wiring. A film is formed from the photosensitive resin composition on the surface of the core material where the conductor wiring is provided. Examples of the method for forming the film include a coating method and a dry film method. As the coating method and the dry film method, the same method as that for forming the interlayer insulating layer can be employed. The film is partially photocured by exposure. The exposure method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. Subsequently, the film is subjected to a development process to remove the unexposed part of the film, whereby the exposed part of the film remains on the core material. Subsequently, the coating on the core material is heated and cured. The developing method and the heating method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. If necessary, the film may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film can be further advanced.
以上により、コア材上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなるソルダーレレジスト層が設けられる。これにより、絶縁層とその上の導体配線とを備えるコア材、並びにコア材における導体配線が設けられている面を部分的に覆うソルダーレジスト層を備える、プリント配線板が得られる。 By the above, the solderless resist layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition is provided on a core material. Thereby, a printed wiring board provided with the core material provided with an insulating layer and the conductor wiring on it, and the soldering resist layer which partially covers the surface in which the conductor wiring in a core material is provided is obtained.
以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples.
(1)カルボキシル基含有樹脂の合成
(1−1)合成例A−1乃至合成例A−8
還流冷却器、温度計、空気吹き込み管、及び攪拌機を取り付けた四つ口フラスコ内に、表1中の「第一反応」欄に示す成分を加えて、これらをエアバブリング下で攪拌することで混合物を調製した。この混合物をフラスコ内でエアバブリング下で攪拌しながら、「反応条件」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、中間体の溶液を調製した。
(1) Synthesis of carboxyl group-containing resin (1-1) Synthesis examples A-1 to A-8
In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, an air blowing tube, and a stirrer, the components shown in the “first reaction” column of Table 1 are added, and these are stirred under air bubbling. A mixture was prepared. While stirring this mixture in the flask under air bubbling, the mixture was heated at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction Conditions” column. This prepared an intermediate solution.
続いて、フラスコ内の中間体の溶液に表1の「第二反応」欄に示す成分を投入し、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(1)」欄に示す反応温度及び、反応時間で加熱した。続いて、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(2)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、カルボキシル基含有樹脂の65質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量、及び酸価は表1中に示す通りである。成分間のモル比も表1に示している。 Subsequently, the components shown in the “second reaction” column of Table 1 were added to the intermediate solution in the flask, and the reaction temperature and reaction time shown in the “reaction condition (1)” column while stirring under air bubbling. And heated. Then, it heated at the reaction temperature and reaction time which are shown in the "reaction condition (2)" column, stirring under air bubbling. This obtained a 65 mass% solution of carboxyl group-containing resin. The weight average molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin are as shown in Table 1. The molar ratio between the components is also shown in Table 1.
なお、表1の(a1)欄に示す成分の詳細は次の通りである。
・エポキシ化合物1:式(7)で示され、式(7)中のR1〜R8がすべて水素であるエポキシ当量250g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
・エポキシ化合物2:式(7)で示され、式(7)中のR1及びR5がいずれもメチル基、R2〜R4及びR6〜R8がいずれも水素であるエポキシ当量279g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
In addition, the detail of the component shown in the (a1) column of Table 1 is as follows.
Epoxy compound 1: A bisphenolfluorene type epoxy compound having an epoxy equivalent of 250 g / eq, represented by the formula (7), wherein R 1 to R 8 in the formula (7) are all hydrogen.
Epoxy compound 2: epoxy equivalent 279 g represented by the formula (7), wherein R 1 and R 5 in the formula (7) are all methyl groups, and R 2 to R 4 and R 6 to R 8 are all hydrogen / Eq bisphenolfluorene type epoxy compound.
(1−2)合成例B−1
還流冷却器、温度計、窒素置換基用ガラス管、及び攪拌機を取り付けた四つ口フラスコ中に、メタクリル酸75質量部、メチルメタクリレート85質量部、スチレン20質量部、ブチルメタクリレート20質量部、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル430質量部、及びアゾビスイソブチロニトリル5質量部を加えた。この四つ口フラスコ内の液を窒素気流下で75℃で5時間加熱して重合反応を進行させることで、濃度32%の共重合体溶液を得た。
(1-2) Synthesis Example B-1
In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, thermometer, glass tube for nitrogen substituent, and stirrer, 75 parts by weight of methacrylic acid, 85 parts by weight of methyl methacrylate, 20 parts by weight of styrene, 20 parts by weight of butyl methacrylate, 430 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether and 5 parts by mass of azobisisobutyronitrile were added. The liquid in the four-necked flask was heated at 75 ° C. for 5 hours under a nitrogen stream to advance the polymerization reaction, thereby obtaining a copolymer solution having a concentration of 32%.
この共重合体溶液に、ハイドロキノン0.1質量部、グリシジルメタクリレート50質量部、及びジメチルベンジルアミン0.8質量部を加え、80℃で24時間加熱することで付加反応を進行させた。これにより、カルボキシル基含有樹脂(B−1)の37%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂(B−1)の重量平均分子量は31790、固形分酸価は120mgKOH/gであった。 To this copolymer solution, 0.1 part by mass of hydroquinone, 50 parts by mass of glycidyl methacrylate, and 0.8 parts by mass of dimethylbenzylamine were added, and the addition reaction was allowed to proceed by heating at 80 ° C. for 24 hours. This obtained the 37% solution of carboxyl group-containing resin (B-1). The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (B-1) was 31790, and the solid content acid value was 120 mgKOH / g.
(1−3)合成例B−2
還流冷却器、温度計、空気吹き込み管、及び攪拌機を取付けた四つ口フラスコ内に、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製、品番NC−3000−H、エポキシ当量288g/eq)288質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート155質量部と、メチルハイドロキノン0.2質量部と、アクリル酸72質量部と、トリフェニルフォスフィン3質量部とを加えて、これらをエアバブリング下で攪拌することで混合物を調製した。この混合物をフラスコ内でエアバブリング下で攪拌しながら、115℃で12時間、加熱した。これにより、中間体の溶液を調製した。
(1-3) Synthesis Example B-2
In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, an air blowing tube, and a stirrer, a biphenyl novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product number NC-3000-H, epoxy equivalent 288 g / eq) 288 Part by mass, 155 parts by mass of diethylene glycol monoethyl ether acetate, 0.2 parts by mass of methylhydroquinone, 72 parts by mass of acrylic acid, and 3 parts by mass of triphenylphosphine are added, and these are stirred under air bubbling. To prepare a mixture. The mixture was heated at 115 ° C. for 12 hours with stirring under air bubbling in the flask. This prepared an intermediate solution.
続いて、フラスコ内の中間体の溶液に、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸91.2質量部及び、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート90質量部とを投入し、エアバブリング下で攪拌しながら、90℃で4時間、加熱した。これにより、カルボキシル基含有樹脂(B−2)の65質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂(B−2)の重量平均分子量は8120であり、酸価は76mgKOH/gであった。 Subsequently, 91.2 parts by mass of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride and 90 parts by mass of diethylene glycol monoethyl ether acetate were added to the intermediate solution in the flask and stirred under air bubbling. However, it heated at 90 degreeC for 4 hours. This obtained the 65 mass% solution of carboxyl group-containing resin (B-2). The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (B-2) was 8120, and the acid value was 76 mgKOH / g.
(2)感光性樹脂組成物の調整
後掲の表2、及び表3に示す成分の一部を3本ロールで混練してから、後掲の表2、及び表3に示す全成分をフラスコ内で撹拌混合することで、感光性樹脂組成物を得た。なお、表2、及び表3に示される成分の詳細は次の通りである。
・不飽和化合物:トリメチロールプロパントリアクリレート。
・光重合開始剤A:1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、BASF社製、品番Irgacure OXE 01。
・光重合開始剤B:エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、BASF社製、品番Irgacure OXE 02。
・光重合開始剤C:2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、BASF社製、品番Irgacure 907。
・光重合開始剤D:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、BASF社製、品番Irgacure 369E。
・光重合開始剤E:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、BASF社製、品番Irgacure TPO。
・光重合開始剤F:ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、BASF社製、品番Irgacure 819。
・光重合開始剤G:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン。
・光重合開始剤H:1−ヒドロキシ-シクロヘキシル−フェニル−ケトン、BASF社製、品番Irgacure 184。
・光重合開始剤I:2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、BASF社製、品番Irgacure 1173。
・結晶性エポキシ樹脂A:ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂(三菱化学株式会社製の品名YX−4000、融点105℃、エポキシ当量187g/eq)。
・結晶性エポキシ樹脂B:ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂(新日鉄住金化学株式会社製の品名YSLV−80XY、融点75〜85℃、192g/eq)。
・エポキシ樹脂溶液C:長鎖炭素鎖含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC製、品番EPICLON EXA−4816、液状樹脂、エポキシ当量410g/eq)を固形分90%でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートに溶解した溶液(固形分90%換算のエポキシ当量は、455.56g/eq)。
・メラミン:日産化学工業株式会社製、微粉メラミン;感光性樹脂組成物中において平均粒子径8μmで分散。
・有機フィラー分散溶液:平均一次粒子径0.07μmの架橋ゴム(NBR)、JSR株式会社製、品番XER−91−MEK分散帯15%溶液、酸価10.0mgKOH/g。
・酸化防止剤:ヒンダードフェノール系酸化防止剤、BASF社製、品番IRGANOX 1010。
・消泡剤:信越シリコーン株式会社製、品番KS−66。
・シランカップリング剤:3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン。
・界面活性剤:DIC製、品番メガファックF−477。
・レオロジーコントロール剤:ビッグケミー・ジャパン株式会社製、品番BYK−430。
・溶剤:ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート。
(2) Preparation of photosensitive resin composition After kneading a part of the components shown in Table 2 and Table 3 below with three rolls, all the components shown in Table 2 and Table 3 below are flasked. The photosensitive resin composition was obtained by stirring and mixing in the inside. The details of the components shown in Tables 2 and 3 are as follows.
Unsaturated compound: trimethylolpropane triacrylate.
Photopolymerization initiator A: 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], manufactured by BASF, product number Irgacure OXE 01.
Photopolymerization initiator B: Etanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), manufactured by BASF, product number Irgacure OXE 02.
Photopolymerization initiator C: 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, manufactured by BASF, product number Irgacure 907.
Photopolymerization initiator D: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, manufactured by BASF, product number Irgacure 369E.
Photopolymerization initiator E: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, manufactured by BASF, product number Irgacure TPO.
Photopolymerization initiator F: bis- (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide, manufactured by BASF, product number Irgacure 819.
Photopolymerization initiator G: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.
Photopolymerization initiator H: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, manufactured by BASF, product number Irgacure 184.
Photopolymerization initiator I: 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, manufactured by BASF, product number Irgacure 1173.
Crystalline epoxy resin A: Biphenyl type crystalline epoxy resin (product name YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, melting point 105 ° C., epoxy equivalent 187 g / eq).
Crystalline epoxy resin B: Bisphenol type crystalline epoxy resin (product name YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., melting point 75 to 85 ° C., 192 g / eq).
Epoxy resin solution C: a solution in which a long-chain carbon chain-containing bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC, product number EPICLON EXA-4816, liquid resin, epoxy equivalent 410 g / eq) is dissolved in diethylene glycol monoethyl ether acetate at a solid content of 90%. (The epoxy equivalent in terms of solid content of 90% is 455.56 g / eq).
Melamine: manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., fine melamine; dispersed in the photosensitive resin composition with an average particle size of 8 μm.
Organic filler dispersion solution: Crosslinked rubber (NBR) having an average primary particle size of 0.07 μm, manufactured by JSR Corporation, part number XER-91-MEK dispersion zone 15% solution, acid value 10.0 mgKOH / g.
Antioxidant: A hindered phenol antioxidant, manufactured by BASF, product number IRGANOX 1010.
Antifoaming agent: manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., product number KS-66.
Silane coupling agent: 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.
Surfactant: manufactured by DIC, product number MegaFuck F-477.
-Rheology control agent: Product number BYK-430 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.
Solvent: diethylene glycol monoethyl ether acetate.
(3)テストピースの作製
実施例17を除く各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を用いる場合は、次のようにしてテストピースを作製した。
(3) Preparation of test piece When using the photosensitive resin composition of each Example and comparative example except Example 17, the test piece was produced as follows.
厚み17.5μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層版(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層版にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の一面前面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分加熱して予備乾燥することで、膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、50μmの円形形状を含む非露光部を有するネガマスクを当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に100mJ/cm2の条件で紫外線照射した。露光後の皮膜に現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒噴射した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 17.5 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. A wet paint film was formed by applying the photosensitive resin composition to the front surface of the core material by screen printing. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes and preliminarily dried to form a film having a thickness of 25 μm. In a state where a negative mask having a non-exposed portion including a circular shape of 50 μm was applied to this film, the film was irradiated with ultraviolet rays through the negative mask under the condition of 100 mJ / cm 2 . The exposed film was developed. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed onto the film for 90 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa. Thereby, the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition was formed on the core material. As a result, a test piece was obtained.
なお、比較例1の感光性樹脂組成物を用いる場合には、露光量100mJ/cm2の条件に加えて、露光量400mJ/cm2の条件においても、上記と同様の方法でテストピースを得た。表中では、露光量100mJ/cm2の条件の場合の評価を左側に、露光量400mJ/cm2の条件の場合の評価を右側に示す。 In the case of using the photosensitive resin composition of Comparative Example 1, obtained in addition to the condition of the exposure amount 100 mJ / cm 2, even in the condition of the exposure amount 400 mJ / cm 2, the test piece in the same manner as described above It was. In the table, the evaluation in the case of the exposure amount of 100 mJ / cm 2 is shown on the left side, and the evaluation in the case of the exposure amount of 400 mJ / cm 2 is shown on the right side.
また、比較例2においては、露光した箇所においても一部、現像処理において皮膜が剥離されており、(4−3)〜(4−7)の評価を行っていない。 Moreover, in the comparative example 2, the film | membrane is peeled partly by image development processing also in the exposed location, and the evaluation of (4-3)-(4-7) is not performed.
実施例17の感光性樹脂組成物を用いる場合は、次のようにして、テストピースを得た。感光性樹脂組成物を、ポリエチレンフタレート製のフィルム上にアプリケータで塗布してから、95℃で25分加熱することで乾燥させることによりフィルム上に厚み25μmのドライフィルムを形成した。 When using the photosensitive resin composition of Example 17, the test piece was obtained as follows. The photosensitive resin composition was coated on a polyethylene phthalate film with an applicator and then dried by heating at 95 ° C. for 25 minutes to form a dry film having a thickness of 25 μm on the film.
厚み17.5μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の一面全面にドライフィルムを真空ラミネーターで加熱ラミネートした。加熱ラミネートの条件は、0.5MPa、80℃、1分間である。これにより、コア材上にドライフィルムから成る膜厚25μmの皮膜を形成した。この皮膜に対し、上記の場合と同じ条件で露光、現像及び紫外線照射の処理を施した。なお、露光後、現像前に、ドライフィルム(皮膜)からポリエチレンテレフタレート製のフィルムを剥離した。これにより、プリント配線板(コア材)上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 17.5 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. A dry film was laminated by heating with a vacuum laminator over the entire surface of the core material. The conditions for heat lamination are 0.5 MPa, 80 ° C., and 1 minute. As a result, a 25 μm-thick film made of a dry film was formed on the core material. The film was exposed, developed and irradiated with ultraviolet light under the same conditions as described above. In addition, the film made from a polyethylene terephthalate was peeled from the dry film (coating) after exposure and before development. This formed the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition on a printed wiring board (core material). As a result, a test piece was obtained.
なお、実施例17はドライフィルムタイプであるため、(4−1)及び(4−2)の評価を行っていない。実施例17は、現像処理において問題なく現像できている。 In addition, since Example 17 is a dry film type, (4-1) and (4-2) are not evaluated. In Example 17, development was possible without problems in the development process.
(4)試験評価
(4−1)タック性
実施例17を除く各実施例及び比較例について、テストピースの作製時に、皮膜の露光後に皮膜からネガマスクを取り外す際の皮膜の粘着性の程度を次に示すように評価した。
A:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられず、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められない。
B:皮膜からネガマスクを取り外す際に抵抗が感じられ、ネガマスクを取り外した後の皮膜には貼付痕が認められた。
C:皮膜からネガマスクを取り外すことが困難であり、無理にネガマスクを取り外すと皮膜が破損した。
(4) Test evaluation (4-1) Tackiness For each of Examples and Comparative Examples except Example 17, the degree of adhesiveness of the film when removing the negative mask from the film after exposure of the film during test piece production was as follows. Evaluation was performed as shown in FIG.
A: Resistance is not felt when removing the negative mask from the film, and no sticking marks are observed on the film after the negative mask is removed.
B: Resistance was felt when the negative mask was removed from the film, and sticking marks were observed on the film after the negative mask was removed.
C: It was difficult to remove the negative mask from the film, and the film was damaged when the negative mask was forcibly removed.
なお、タック性の評価がCである比較例5については、(4−3)〜(4−8)の評価を行っていない。 In addition, about the comparative example 5 whose tackiness evaluation is C, the evaluation of (4-3)-(4-8) is not performed.
(4−2)現像性
実施例17を除く各実施例及び比較例について、プリント配線板の一面全面に感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分又は60分で加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、露光することなく現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%Na2CO3水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純粋を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。処理後のプリント配線板を観察し、その結果を次のように評価した。
A:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜が全て除去されている。
B:湿潤塗膜の加熱時間が40分である場合には皮膜が全て除去されたが、60分では皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
C:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
(4-2) Developability About each Example and Comparative Example except Example 17, the wet paint film was formed by apply | coating the photosensitive resin composition to the whole surface of the printed wiring board by the screen printing method. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes or 60 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. This film was developed without exposure. In the development processing, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed for 90 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa, and then pure was sprayed for 90 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa. The printed wiring board after the treatment was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The film was completely removed regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.
B: When the heating time of the wet coating film was 40 minutes, all the coating film was removed, but at 60 minutes, a part of the coating film remained on the printed wiring board.
C: A part of the film remained on the printed wiring board regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.
(4−3)解像性
各実施例及び比較例のテストピースにおける硬化物からなる層に形成された穴を観察し、その結果を次のように評価した。
A:穴の底の直径が40μm以上である。
B:穴の底の直径が25μm以上40μm未満である。
C:穴の底の直径が25μm未満であり、或いは明確な穴が形成されない。
(4-3) Resolution The hole formed in the layer which consists of hardened | cured material in the test piece of each Example and a comparative example was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The diameter of the bottom of the hole is 40 μm or more.
B: The diameter of the bottom of the hole is 25 μm or more and less than 40 μm.
C: The diameter of the bottom of the hole is less than 25 μm, or no clear hole is formed.
(4−4)耐メッキ性
各実施例及び比較例のテストピースにおける硬化物からなる層の上に、市販の無電解ニッケルメッキ浴を用いてニッケルメッキ層を形成してから、市販の無電解金メッキ浴を用いて金メッキ層を形成した。これにより、硬化物からなる層の上に、ニッケルメッキ層及び金メッキ層からなる金属層を形成した。硬化物からなる層及び金属層を目視で観察した。また、金属層に対してセロハン粘着テープ剥離試験を行った。その結果を次のように評価した。
A:硬化物からなる層及び金属層の外観に異常は認められず、セロハン粘着テープ剥離試験による金属層の剥離は生じなかった。
B:硬化物からなる層に変色が認められるが、セロハン粘着テープ剥離試験による金属層の剥離は生じなかった。
C:硬化物からなる層の浮き上がりが認められ、セロハン粘着テープ剥離試験による金属層の剥離が生じた。
(4-4) Plating resistance After forming a nickel plating layer using a commercially available electroless nickel plating bath on the layer made of the cured product in the test pieces of the examples and comparative examples, a commercially available electroless material is used. A gold plating layer was formed using a gold plating bath. Thereby, the metal layer which consists of a nickel plating layer and a gold plating layer was formed on the layer which consists of hardened | cured material. The layer and metal layer which consisted of hardened | cured material were observed visually. Moreover, the cellophane adhesive tape peeling test was done with respect to the metal layer. The results were evaluated as follows.
A: No abnormality was observed in the appearance of the layer made of the cured product and the metal layer, and the metal layer was not peeled by the cellophane adhesive tape peel test.
B: Although discoloration was recognized in the layer which consists of hardened | cured material, peeling of the metal layer by the cellophane adhesive tape peeling test did not arise.
C: Lifting of the layer made of the cured product was observed, and the metal layer was peeled off by the cellophane adhesive tape peeling test.
(4−5)線間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける導体配線(くし型電極)にDC30Vのバイアス電圧を印加しながら、プリント配線板を121℃、97%R.H.の試験環境下に180時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層のくし型電極間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から180時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から130時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から180時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から130時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-5) Insulation between lines While applying a bias voltage of DC 30 V to the conductor wiring (comb electrode) in the test pieces of the examples and comparative examples, the printed wiring board was placed at 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 180 hours. The electrical resistance value between the comb-type electrodes of the cured product layer in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more from the start of the test until 180 hours passed.
B: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 130 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 180 hours passed from the start of the test.
C: The electrical resistance value was less than 10 6 Ω before 130 hours passed from the start of the test.
(4−6)層間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける硬化物からなる層の上に導電テープを貼り付けた。この導電テープにDC100Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に100時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層の導体配線と導電テープとの間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から100時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に106Ω以上を維持した。
B:試験開始時から80時間経過するまでは電気抵抗値が常に106Ω以上を維持したが、試験開始時から100時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
C:試験開始時から80時間経過する前に電気抵抗値が106Ω未満となった。
(4-6) Interlayer insulation The conductive tape was affixed on the layer which consists of hardened | cured material in the test piece of each Example and a comparative example. While applying a bias voltage of DC 100 V to the conductive tape, the test piece was placed at 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 100 hours. The electrical resistance value between the conductive wiring of the layer made of the cured product and the conductive tape in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 100 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 80 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 100 hours passed from the start of the test.
C: The electric resistance value was less than 10 6 Ω before 80 hours passed from the start of the test.
(4−7)PCT(プレッシャクッカ試験)
各実施例及び比較例のテストピースを121℃、100%RHの環境下で120時間放置した後、硬化物からなる層の外観を次の評価基準により評価した。
A:硬化物からなる層に異常は見られなかった。
B:硬化物からなる層に変色が見られた。
C:硬化物からなる層に大きな変色が見られ、一部膨れが発生していた。
(4-7) PCT (pressure cooker test)
The test pieces of each Example and Comparative Example were allowed to stand in an environment of 121 ° C. and 100% RH for 120 hours, and then the appearance of the cured layer was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No abnormality was found in the layer made of the cured product.
B: Discoloration was observed in the layer made of the cured product.
C: A large discoloration was observed in the layer made of the cured product, and partial swelling occurred.
(4−8)紫外線硬化性
各実施例及び比較例について、露光時に日立化成工業社製の露光用テストマスク「ステップタブレットPHOTEC21段」を当てがうと共に減圧密着させ、上記テストピースの作製と同じ条件で現像工程までの処理を施した。露光には、オーク製作所製の減圧密着型両面露光機「ORC HMW680GW」を用いた。深部紫外線硬化性の指標として、現像処理後の残存ステップ段のうち光沢がある段数を求め、次の評価基準により評価した。
A:光沢段数が2段以上であった。
B:光沢段数が1段であった。
C:残存ステップ段において、光沢がある段数がなかった。
(4-8) UV curing
For each example and comparative example, the exposure test mask “Step Tablet PHOTEC 21-stage” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. was applied at the time of exposure and adhered under reduced pressure, and the process up to the development step was performed under the same conditions as the preparation of the test piece. gave. For the exposure, a reduced pressure contact type double-side exposure machine “ORC HMW680GW” manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. was used. As an index of deep UV curable property, the number of glossy steps among the remaining step steps after the development processing was determined and evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The number of gloss steps was 2 or more.
B: The number of gloss steps was 1.
C: There was no glossy step number in the remaining step steps.
Claims (9)
カルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)と、
を含有し、
前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、エポキシ化合物(a1)と不飽和基含有カルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物との反応物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)を含有し、
前記エポキシ化合物(a1)は、下記式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有し、下記式(1)中、R1〜R8は、各々独立に、水素、炭素数1〜5のアルキル基、又はハロゲンであり、
下記式(8)中、R9は、水素原子、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、
R10は、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有してもよく、
感光性樹脂組成物。 A photosensitive resin composition comprising:
A carboxyl group-containing resin (A);
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule;
A photopolymerization initiator (C);
An epoxy compound (D);
Containing
The carboxyl group-containing resin (A) is a carboxyl group-containing resin (A1) that is a reaction product of an intermediate that is a reaction product of an epoxy compound (a1) and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2) and an acid anhydride. )
The epoxy compound (a1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the following formula (1). In the following formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, alkyl having 1 to 5 carbon atoms. A group, or halogen,
In the following formula (8), R 9 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms is a hydroxyl group, an ether group, The aromatic hydrocarbon group may have at least one substituent selected from the group consisting of a carbonyl group and halogen, and the aromatic hydrocarbon group is selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen May have at least one substituent,
R 10 is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms is selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. The aromatic hydrocarbon group may have at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. Often,
Photosensitive resin composition.
前記カルボキシル基含有樹脂(A)に対する前記オキシムエステル系光重合開始剤(C1)の量は、0.01〜3質量%の範囲内である、
請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The amount of the photopolymerization initiator (C) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 3 to 20% by mass,
The amount of the oxime ester photopolymerization initiator (C1) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 0.01 to 3% by mass.
The photosensitive resin composition according to claim 1.
請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。 The photopolymerization initiator (C) contains at least one of an aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3).
The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2.
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。 The photopolymerization initiator (C) contains a bis (dialkylamino) benzophenone photopolymerization initiator (C4).
The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 3.
請求項4に記載の感光性樹脂組成物。 The amount of the bis (dialkylamino) benzophenone photopolymerization initiator (C4) relative to the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 0.1 to 3% by mass.
The photosensitive resin composition of Claim 4.
下記式(11)中、R17は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜12の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、及びカルボニル基からなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、及びカルボニル基からなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、
R18、及びR20は、各々独立に、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、
R19は、水素原子、炭素数1〜20の炭化水素基、又は芳香族炭化水素基であり、前記炭素数1〜20の炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、水酸基、エーテル基、カルボニル基、及びハロゲンからなる群から選択される少なくとも一つの置換基を有していてもよい、
In the following formula (11), R 17 is a hydrogen atom, a halogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms is a hydroxyl group, The aromatic hydrocarbon group may have at least one substituent selected from the group consisting of an ether group and a carbonyl group, and the aromatic hydrocarbon group is at least selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, and a carbonyl group May have one substituent,
R 18 and R 20 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms is a hydroxyl group, an ether group, or a carbonyl group. And at least one substituent selected from the group consisting of halogen, and the aromatic hydrocarbon group is at least one selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. May have two substituents,
R 19 is a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group, and the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms includes a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. It may have at least one substituent selected from the group, and the aromatic hydrocarbon group has at least one substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group, an ether group, a carbonyl group, and a halogen. You may,
ドライフィルム。 It is a dried product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6.
Dry film.
プリント配線板。 An interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6,
Printed wiring board.
プリント配線板。 A solder resist layer including a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6,
Printed wiring board.
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