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JP2017162970A - 磁気記憶装置 - Google Patents

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JP2017162970A
JP2017162970A JP2016045661A JP2016045661A JP2017162970A JP 2017162970 A JP2017162970 A JP 2017162970A JP 2016045661 A JP2016045661 A JP 2016045661A JP 2016045661 A JP2016045661 A JP 2016045661A JP 2017162970 A JP2017162970 A JP 2017162970A
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Arnaud Quinsat Michael
ミカエル アルノー カンサ
剛 近藤
Takeshi Kondo
剛 近藤
博史 森瀬
Hiroshi Morise
博史 森瀬
拓哉 島田
Takuya Shimada
拓哉 島田
大寺 泰章
Yasuaki Otera
泰章 大寺
門 昌輝
Masateru Kado
昌輝 門
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Shiho Nakamura
志保 中村
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Abstract

【課題】記憶密度が向上できる磁気記憶装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、磁気記憶装置は、磁性体を含む。磁性体は、第1、第2第2延在領域と、第1接続領域と、を含む。第1延在領域は、第1、第2方向に沿って広がる。第1延在領域は、第1端部と、第2方向において第1端部から離れた第2端部と、を含む。第2延在領域は、第1、第3方向に沿って広がる。第2延在領域は、第3端部と、第3方向において第3端部から離れた第4端部と、を含む。第1接続領域は、第1、第3端部の間に設けられ、第1端部を第3端部と接続する。第2端部の第4方向に沿った位置は、第4端部の第4方向に沿った位置とは異なる。第4方向は、第1方向及び第2方向に対して垂直である。第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、磁気記憶装置に関する。
磁性体を用いた磁気シフトレジスタを含む磁気記憶装置がある。磁気記憶装置において記憶密度の向上が求められている。
国際公開第2015/111681A1号パンフレット
本発明の実施形態は、記憶密度が向上できる磁気記憶装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、磁気記憶装置は、磁性体を含む。前記磁性体は、第1延在領域と、第2延在領域と、第1接続領域と、を含む。前記第1延在領域は、第1方向と前記第1方向と交差する第2方向とに沿って広がる。前記第1延在領域は、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含む。前記前記第2延在領域は、前記第1方向と前記第1方向と交差する第3方向とに沿って広がる。前記第2延在領域は、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部から離れた第4端部と、を含む。前記第1接続領域は、前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ、前記第1端部を前記第3端部と接続する。前記第2端部の第4方向に沿った位置は、前記第4端部の前記第4方向に沿った位置とは異なる。前記第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向に対して垂直である。前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む。
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 図2(a)〜図2(d)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置の状態を例示する模式図である。 第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式図である。 図4(a)〜図4(d)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。 図5(a)及び図5(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。 図6(a)〜図6(c)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。 図7(a)及び図7(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図8(a)及び図8(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図9(a)及び図9(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図10(a)及び図10(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図11(a)〜図11(d)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法を例示する工程順の模式的斜視図である。 図12(a)〜図12(c)は、第2の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 図13(a)〜図13(c)は、第2の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式図である。 図14(a)〜図14(c)は、第3の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 図15(a)〜図15(c)は、第4の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 図16(a)及び図16(b)は、第4の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的断面図である。 図17(a)及び図17(b)は、第5の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。 第5の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式的平面図である。 第5の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式的平面図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施形態)
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図1(a)は、側面図である。図1(b)は、磁気記憶装置の一部を示す斜視図である。図1(c)は、図1(a)のA1−A2線断面図である。
図1(a)に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置110は、磁性体10と、第1電極51と、第2電極52と、第1対向体31と、制御部60と、を含む。
図1(b)は、磁性体10を例示している。磁性体10は、第1延在領域11と、第2延在領域12と、第1接続領域15と、を含む。この例では、磁性体10は、第3延在領域13と、第2接続領域16と、をさらに含む。
第1延在領域11は、第1方向D1及び第2方向D2に沿って広がる。第2方向D2は、第1方向D1と交差する。第1延在領域11は、第1端部11a及び第2端部11bを含む。第1端部11aは、第1方向D1に延びる。第2端部11bは、第1方向D1に延びる。第2端部11bは、第2方向D2において、第1端部11aから離れる。
第2延在領域12は、第1方向D1及び第3方向D3に沿って広がる。第3方向D3は、第1方向D1と交差する。第2延在領域12は、第3端部12a及び第4端部12bを含む。第3端部12aは、第1方向D1に延びる。第4端部12bは、第1方向D1に延びる。第4端部12bは、第3方向D3において、第3端部12aから離れる。
第1接続領域15は、第1端部11a及び第3端部12aとの間に設けられる。第1接続領域15は、第1端部11aを第3端部12aと接続する。第1接続領域15は、例えば、第1方向D1に沿って延びる。
第1方向D1をY軸方向とする。Y軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Y軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をZ軸方向とする。
この例では、第2方向D2は、X軸方向に沿っている。そして、第3方向D3は、Z軸方向に沿っている。第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直な方向を第4方向D4とする。この例では、第4方向D4は、Z軸方向に沿う。この例では、第3方向D3は、第2方向D2と交差する。第3方向D3と第2方向D2との間の角度は、約90度である。
実施形態において、第2端部11bの第4方向D4に沿った位置11bvは、第4端部12bの第4方向D4に沿った位置12bvとは異なる。
この例では、第2延在領域12は、第1延在領域11が含まれる平面に沿っていない。第2延在領域12が含まれる平面は、第1延在領域11が含まれる平面と交差する。磁性体10は、第1接続領域15で曲がっている。
第1延在領域11は、第1接続領域15と連続している。第2延在領域12は、第1接続領域15と連続している。連続している磁性体10が、第1接続領域15で折れ曲がっている。
第3延在領域13は、第1方向D1に沿って延びる。第2接続領域16は、第3延在領域13と第1延在領域11(第2端部11b)との間に設けられる。第2接続領域16は、第3延在領域13を第1延在領域11(第2端部11b)と接続する。
例えば、磁性体10は、複数の磁気ドメイン10dを保持することが可能である。例えば、複数の磁気ドメイン10dの一部が、第1延在領域11に設けられる。複数の磁気ドメイン10dの別の一部が、第2延在領域12に設けられる。複数の磁気ドメイン10dの別の一部が、第3延在領域13に設けられる。
例えば、第1延在領域11は、第1状態において、第1磁気ドメイン11d及び第1他領域11oを含む。第1他領域11oは、第1磁気ドメイン11dの周りに設けられる。第1磁気ドメイン11dは、複数の磁気ドメイン10dの1つである。
第1磁気ドメイン11dの磁化11dmは、第1他領域11oの磁化11omとは異なる。例えば、第1磁気ドメイン11dの磁化11dmの方向は、第1他領域11oの磁化11omの方向とは異なる。例えば、磁化11dmの方向は、磁化11omの方向と逆である。
例えば、第2延在領域12は、ある状態(例えば第2状態)において、第2磁気ドメイン12d及び第2他領域12oを含む。第2他領域12oは、第2磁気ドメイン12dの周りに設けられる。第2磁気ドメイン12dは、複数の磁気ドメイン10dの1つである。
第2磁気ドメイン12dの磁化12dmは、第2他領域12oの磁化12omとは異なる。例えば、第2磁気ドメイン12dの磁化12dmの方向は、第2他領域12oの磁化12omの方向とは異なる。磁化12dmの方向は、磁化12omの方向と逆である。
例えば、磁性体10は、垂直磁化膜である。第1延在領域11の磁化は、第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直な方向(例えば第4方向D4)に沿う。一方、第2延在領域12の磁化は、第1方向D1及び第3方向D3に対して垂直な方向に沿う。
例えば、第1延在領域11において、第1磁気ドメイン11dの磁化11dmは、第4方向D4に沿っている。一方、第2延在領域12において、第2磁気ドメイン12dの磁化12dmは、第1方向D1及び第3方向D2に対して垂直な方向に沿っている。
磁性体10は、情報を保持する。例えば、複数の磁気ドメイン10dが、情報に対応する。例えば、磁性体10の所定の位置に磁気ドメイン10dが配置されている状態が、第1情報に対応する。その所定の位置に磁気ドメイン10dが配置されていない状態が、第2情報に対応する。この状態においては、その所定の位置には、例えば、他領域が配置される。この他領域は、例えば第1他領域11oまたは第2他領域12oなどである。第1情報は、例えば、”1”に対応する。第2情報は、例えば、”0”に対応する。
複数の磁気ドメイン10dは、磁性体10中を移動可能である。例えば、第1延在領域11に設けられている第1磁気ドメイン11dは、第1延在領域11中を移動可能である。第2延在領域12に設けられている第2磁気ドメイン12dは、第2延在領域12中を移動可能である。例えば、磁性体10に流される電流に応じて、磁気ドメイン10dが移動する。例えば、第1電極51及び第2電極52により、電流が供給される。第1対向体31は、例えば磁性である。第1対向体31により、情報の記録(書き込み)及び読み出しの少なくともいずれかが行われる。制御部60は、これらの要素を制御する。制御部60は、例えば、これらの要素と電気的に接続される。第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60の例については、後述する。
実施形態においては、連続している磁性体10が、第1接続領域15で折れ曲がっている。このため、磁気ドメイン10dは、第1接続領域15を超えて他の延在領域に移動しない。例えば、第1磁気ドメイン11dは、第2延在領域12には移動しない。第2磁気ドメイン12dは、第1延在領域11には移動しない。
複数の延在領域が互いに分離されている参考例がある。これらの延在領域は、接続領域によって接続されていない。この参考例においては、1つの延在領域の磁気ドメイン10dは、他の延在領域には移動しない。このため、情報の記録/読み出しの動作が安定である。しかしながら、この参考例においては、複数の延在領域が互いに分離されているため、製造が困難である。微細化が困難である。記憶密度を向上することが困難である。
これに対して、本実施形態においては、連続している磁性体10が、第1接続領域15で折れ曲がっている。このため、1つの延在領域の磁気ドメイン10d(例えば、第1磁気ドメイン11d)が他の延在領域に移動することが抑制される。そして、磁性体10が連続しているため、製造が容易である。実施形態によれば、記憶密度が向上できる。
第1延在領域11は、第1磁気トラック11tに含まれる。第2延在領域12は、第2磁気トラック12tに含まれる。第3延在領域13は、第3磁気トラック13tに含まれる。これらの磁気トラックを、第1方向D1に沿って、磁気ドメイン10dが移動する。磁性体10は、例えば、記憶要素である。
実施形態において、複数の磁気ドメイン10dのサイズは、複数の延在領域のそれぞれの幅よりも小さい。
図1(b)及び図1(c)に示すように、例えば、第1磁気ドメイン11dは、第2方向D2に沿う第1ドメイン幅d1を有している。一方、第1延在領域11は、第1距離w1(幅)を有している。第1距離w1は、第1端部11a及び第2端部11bの間の第2方向D2に沿った距離である。実施形態において、第1ドメイン幅d1は、第1距離w1よりも小さい。第1ドメイン幅d1は、例えば、第1距離w1の0.5倍以下でも良い。
第2磁気ドメイン12dは、第3方向D3に沿う第2ドメイン幅d2を有している。一方、第2延在領域12は、第2距離w2(幅)を有している。第2距離w2は、第3端部12a及び第4端部12bの間の第3方向D3に沿った距離である。実施形態において、第2ドメイン幅d2は、第2距離w2よりも小さい。第2ドメイン幅d2は、例えば、第2距離w2の0.5倍以下でも良い。
一方、第1接続領域15において、磁性体10は、高い曲率で曲がっていることが好ましい。例えば、第1接続領域15の第2方向D2に沿った幅w3は、第1距離w1よりも小さい。例えば、第1接続領域15の第2方向D2に沿った幅w3は、第1距離w1の1/7.5倍以下でも良い。幅w3は、第1ドメイン幅d1以上でも良い。
例えば、第1接続領域15は、接続領域曲率半径Rcを有する。第1接続領域15は、第1方向D1に対して垂直な平面における断面を有する。この例では、この平面は、X−Z平面である。接続領域曲率半径Rcは、この第1接続領域15の断面における、第1接続領域15の曲率半径である。
例えば、第1接続領域15はカーブしている。この例では、カーブの角度θは、約90度である。角度θは、任意である。
この例では、基体21がさらに設けられている。第1延在領域11は、基体21の第1面21aの上に設けられている。第2延在領域12は、基体21の第2面21bの上に設けられている。基体21は、磁性体10を保持する。例えば、基体21の表面に、凹凸(溝)が設けられる。この凹凸の上に磁性膜が形成される。磁性膜により、磁性体10が形成される。
実施形態において、第1距離w1は、例えば、10nm以上100nm以下である。第1延在領域11の第1方向D1に沿った長さL1(図1(a)参照)は、第1距離w1よりも長い。長さL1は、例えば、第1距離w1の2倍以上である。長さL1は、例えば、第1距離w1の100000倍以下でも良い。
この例では、基体21は、絶縁性である。この場合、第1電極51及び第2電極52は、磁性体10と電気的に接続される。
図1(a)に示すように、第1延在領域11は、第1端領域11er及び第2端領域11frを含む。第2端領域11frは、第1方向D1において、第1端領域11erと並ぶ。第2電極52は、例えば、第1方向D1において第1電極51と並ぶ。第1電極51は、第1端領域11erと接続される。第2電極52は、第2端領域11frと接続される。第1電極51は、第1磁性体10の上または下に設けられる。第2電極52は、第1磁性体10の上または下に設けられる。
第1電極51及び第2電極52は、磁性体10に電流を流す。例えば、電流は、第1方向D1に沿って磁性体10を流れる。電流は、電流c1及び電流c2の少なくともいずれかである。電流c1は、第1端領域11erから第2端領域11frに向かって流れる。電流c2は、第2端領域11frから第1端領域11erに向かって流れる。この例では、これらの電流は、第1延在領域11を第1方向D1に沿って流れる。
これらの電流により、第1磁気ドメイン11dは、第1延在領域11中を第1方向D1に沿って移動する。
制御部60は、第1電極51の電位及び第2電極52の電位を制御する。これにより、電流が制御される。電流は、例えば、パルス状である。電流は連続的でも良い。電流により、第1延在領域11における第1磁気ドメイン11dの位置が変化する。第1延在領域11は、例えば、1つのシフトレジスタとなる。制御部60は、例えば、電流源である。電流源は、磁性体10(例えば、第1延在領域11及び第2延在領域12など)に電流を供給する。
第1延在領域11は、例えば、第1部分11pを有する。第1部分11pは、例えば、読み出し位置に対応する。第1部分11pにおいて、記録がさらに行われても良い。
第1対向体31は、第1延在領域11の第1部分11pから、第4方向D4に沿って離れる。この例では、第1対向体31は、磁性層である。この例では、第1対向体31と第1部分11pとの間に、第1中間層35が設けられている。第1対向体31は、例えばプローブでも良い。
第1対向体31と第1部分11pとの間の電気抵抗は、第1部分11pにおける磁化の状態に応じて変化する。電気抵抗は、例えば、磁気抵抗効果などに基づく。
図2(a)〜図2(d)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置の状態を例示する模式図である。
これらの図は、磁気記憶装置110における互いに異なる状態を例示している。これらの状態は、異なる動作状態に対応する。これらの図においては、磁性体10及び第1対向体31が図示されており、他の要素は省略されている。
図2(a)に示すように、状態STaにおいて、第1延在領域11は、第1磁気ドメイン11d及び第1他領域11oを含む。この例では、第1部分11pに、第1磁気ドメインが位置している。例えば、状態STaは、第1状態に対応する。
図2(b)に示すように、状態STbにおいて、第1磁気ドメイン11dは、第1延在領域11中を移動する。この移動は、例えば、電流により行われる。状態STbにおいては、第1部分11pには、第1他領域11oが位置している。例えば、状態STbが、第1状態に対応しても良い。
実施形態において、状態STa及び状態STbの間で、電気抵抗が変化する。例えば、第1延在領域11と第1対向体31との間の電気抵抗は、これらの状態の間で、異なる。状態STa(第1磁気ドメイン11dが第1延在領域11の第1部分11pに位置している状態)におけるこの電気抵抗は、状態STb(第1他領域11oが第1延在領域11の第1部分11pに位置している状態)におけるこの電気抵抗とは異なる。第1磁気ドメイン11dの磁化11dmが、第1他領域11oの磁化11omとは異なる。このため、この電気抵抗の変化が生じる。
この動作は、情報の読み出し動作に対応する。例えば、第1磁気ドメイン11dが”1”に対応する。第1他領域11oが”0”に対応する。
第1対向体31は、読み出し動作の他に、記録動作をさらに実施しても良い。記録動作においては、例えば、磁気ドメイン10dの追加が行われる。このとき、”1”の情報が記録される。または、例えば、磁気ドメイン10dの1つが除去される。このとき、”0”が記録される。または、情報が消去される。
図2(c)に示すように、例えば、第1対向体31は、第1延在領域11に別の磁気ドメイン11daを生成する。第1他領域11oは、この別の磁気ドメイン11daの周りにさらに設けられる。これにより、”1”が記録される。この動作を第1動作とする。この状態STcにおいては、第1磁気ドメイン11dは、状態STaにおける位置から移動している。状態STcにおいて、第1磁気ドメイン11dによる”1”、及び、別の磁気ドメイン11daによる”1”が記録されている。
図2(d)に示すように、第1対向体31は、第1延在領域11から第1磁気ドメイン11dを除去する。これにより、第1状態(状態STa)とは異なる状態(状態STd)が生成される。この動作を第2動作とする。第2動作は、”0”の記録に対応する。第2動作は、消去に対応する。
第1対向体31は、例えば、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施する。このように、この例では、第1対向体31は、読み出し動作、及び、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。
図3は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式図である。
図3は、側面図である。
図3に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置110aにおいては、磁性体10、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60に加えて、第2対向体32が設けられている。磁性体10、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60については、磁気記憶装置110と同様なので説明を省略する。
第2対向体32は、第4方向D4に沿って、第1延在領域11の第2部分11qから離れる。第2部分11qは、第1方向D1において、第1部分11pとおいて並ぶ。
例えば、第2対向体32は、磁性である。この例では、第2対向体32は、磁性層である。この例では、第2対向体32と第2部分11qとの間に、第2中間層36が設けられている。第2対向体32は、例えばプローブでも良い。
第2対向体32は、例えば、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。第2対向体32は、例えば、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施する。第1動作において、第2対向体32は、第1延在領域11に別の磁気ドメイン11daを生成する(図2(c)と同様)。第1他領域11oは、別の磁気ドメイン11daの周りにさらに設けられる。第2動作において、第2対向体32は、第1延在領域11から第1磁気ドメイン11dを除去する(図2(d)と同様)。これにより、第1状態とは異なる状態が生成される。
磁気記憶装置110aにおいては、第1対向体31は、再生動作を実施する。第1対向体31が、記録動作をさらに実施しても良い。この記録動作は、消去動作を含んでも良い。
磁気記憶装置110及び110aにおいて、第1磁気ドメイン11dの磁化11dmは、記憶される第1情報に対応する。第1他領域11oの磁化11omは、記憶される第2情報に対応する。
磁気記憶装置110及び110aにおいて、第1磁気ドメイン11dは、第1延在領域11を流れる電流に応じて、第1延在領域11を第1方向D1に沿って移動する。この電流は、第1延在領域11中を第1方向D1に沿って流れる。
実施形態において、磁性体10は、例えば、マグネシウム(Mg)、アルミニウム(Al)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、ジルコニウム(Zr)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、テルビニウム(Tb)、ガドリニウム(Gd)、セレン(Se)、ゲルマニウム(Ge)、銅(Cu)、ボロン(B)、イリジウム(Ir)及びハフニウム(Hf)の少なくともいずれかを含む。
第1対向体31及び第2対向体32の少なくともいずれかは、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)及び鉄(Fe)の少なくともいずれかを含む。
第1電極51及び第2電極52の少なくともいずれかは、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、白金(Pt)、金(Au)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)及びタングステン(W)の少なくともいずれかを含む。
中間層35及び中間層36の少なくともいずれかは、マグネシウム(Mg)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化アルミニウム(AlO)、酸化シリコン(二酸化シリコンSiOなど)、銅(Cu)、金(Au)、イリジウム(Ir)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、ルテニウム(Ru)及びビスマス(Bi)の少なくともいずれかを含む。
絶縁性の基体21は、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン及び酸化アルミニウムの少なくともいずれかを含む。
導電性の基体22は、例えば、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、金(Au)、イリジウム(Ir)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、ルテニウム(Ru)及びビスマス(Bi)の少なくともいずれかを含む。
実施形態において、複数の磁気ドメイン10d(例えば、第1磁気ドメイン11d)は、Skyrmionでも良い。磁性体10dに用いられる磁性材料は、例えば、垂直磁化異方性Kを有する。磁性体材料の磁化の容易軸は、例えば、X−Y平面(第1延在領域11において、D1−D2平面)に対して、実質的に垂直である。この磁性材料は、交換強度定数(exchange stiffness constant)”A”を有する。この磁性材料は、さらに、ジャロシンスキー・守谷相互作用(Dzyaloshinski Moriya Interaction)の係数”D”を有する。Skyrmionの半径r1は、
r1=πA/|D|
で表される。”π”は、円周率である。交換強度定数”A”は、例えば、0.1pJ/m〜50pJ/mである。係数”D”は、例えば、0.001mJ/m〜10mJ/mである。係数”D”は、例えば、負でも良い。半径r1は、例えば、1nm以上5000nm以下である。半径r1は、例えば、10nm以上200nm以下である。
例えば、交換強度定数”A”が2pJ/mであり、係数”D”が1.25mJ/mのときに、半径r1は、8nmである。
このとき、第1距離w1及び半径r1は、「2r1<w1<15r1」の関係を満たしても良い。
第1ドメイン幅d1が、例えば、半径r1の2倍であるとき、第1距離w1及び第1ドメイン幅d1は、「d1<w1<7.5d1」の関係を満たしても良い。
これにより、例えば、第1延在領域11中において、第1磁気ドメイン11dの位置の制御性が高まる。
以下、本実施形態に係る磁気記憶装置について、磁性体10の別の例について説明する。
図4(a)〜図4(d)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。
これらの図においては、磁性体10が例示されており、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
図4(a)に示すように、磁気記憶装置111における磁性体10も、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15を含む。この場合も、第3方向D3は、第2方向D2と交差する。この例では、第3方向D3と第2方向D2との間の角度は、90度よりも小さい。第1接続領域15はカーブしている。カーブの角度θは、90度よりも小さい。
図4(b)に示すように、磁気記憶装置112における磁性体10も、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15を含む。この場合は、第3方向D3は、第2方向D2に沿っている。第2延在領域12の少なくとも一部は、第4方向D4において第1延在領域11と重なる。磁性体10が、第1接続領域15において、折り畳まれている。第1接続領域15はカーブしている。カーブの角度θは、約180度である。
図4(c)に示すように、磁気記憶装置113における磁性体10も、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15を含む。この場合は、第3方向D3は、第2方向D2に対して実質的に垂直である。第1延在領域11、第1接続領域15及び第2延在領域12を含むグループが、複数繰り返して配置される。
図4(d)に示すように、磁気記憶装置114における磁性体10も、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15を含む。この例では、第3方向D3は、第2方向D2に沿っている。第1端部11aの第2方向D2に沿う位置11apは、第2端部11bの第2方向D2に沿う位置11bpと、第4端部12bの第2方向D2に沿う位置12bpと、の間にある。第3端部12aの第2方向D2に沿う位置12apは、第1端部11aの第2方向D2に沿う位置11apと、第4端部12bの第2方向D2に沿う位置12bpと、の間にある。
この例において、第1接続領域15は、第1カーブ部15a、第2カーブ部15b、及び、接続部15cを含む。第1カーブ部15aは、第1端部11aと接続される。第2カーブ部15bは、第3端部12aと接続される。接続部15cは、第1カーブ部15a及び第2カーブ部15bと接続される。この例では、第1接続領域15は、2つのカーブ部を有している。
磁気記憶装置111〜113においても、第2端部11bの第4方向D4に沿った位置11bvは、第4端部12bの第4方向D4に沿った位置12bvとは異なる。磁性体10は、第1接続領域15で曲がっている。これにより、第1磁気ドメイン11dが第2延在領域12に移動することが抑制される。磁性体10が連続しているため、製造が容易である。これらの例においても、記憶密度が向上できる。
図5(a)及び図5(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
図5(a)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置115においては、電極の配置が、磁気記憶装置110の例とは異なる。これ以外は、磁気記憶装置110と同様なので説明を省略する。
磁気記憶装置115において、第1電極51及び第2電極52が設けられている。第2電極52は、第2方向D2において第1電極51から離れる。第1電極51及び第2電極52は、磁性体10に電気的に接続される。
第1延在領域11の第2方向D2における位置は、第1電極51の第2方向D2における位置と、第2電極52の第2方向D2における位置と、の間に配置される。第2延在領域12の第2方向D2における位置は、第1延在領域11の第2方向D2における位置と、第2電極52の第2方向D2における位置と、の間に配置される。
電流(電流c1及び電流c2)は、第2方向D2に沿って第1延在領域11を流れる。電流は、第3方向D3に沿って第2延在領域12を流れる。
第1磁気ドメイン11dは、第1延在領域11を流れる電流(電流c1及びc2)に応じて、第1延在領域11を第1方向D1に沿って移動する。この電流は、第1延在領域11を第2方向D2に沿って流れる。このように、実施形態において、電流は、第2方向D2に沿って流れても良い。
磁気記憶装置115においては、基体21は、絶縁性である。電極は、磁性体10と電気的に接続され、電流は、磁性体10を流れる。
図5(b)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置116においては、基体22は、導電性である。これ以外は、磁気記憶装置110と同様なので説明を省略する。
この例において、第1延在領域11は、基体22の第1面22aの上に設けられる。第2延在領域12は、基体22の第2面22bの上に設けられる。
例えば、第1電極51は、基体22の1つの端に接続される。第2電極52は、基体22の別の1つの端に接続される。第1電極51及び第2電極52は、基体22に電流を流す。
電流(電流c1及びc2)により、第1磁気ドメイン11d(複数の磁気ドメイン10dの一部)は、第1方向D1に沿って、第1延在領域11を移動する。電流(電流c1及びc2)により、第2磁気ドメイン12d(複数の磁気ドメイン10dの一部)は、第1方向D1に沿って、第2延在領域12を移動する。
磁気記憶装置115及び116においても、第1磁気ドメイン11dが第2延在領域12に移動することが抑制される。記憶密度が向上できる。
図6(a)〜図6(c)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
図6(a)に示すように、磁気記憶装置117aにおいては、磁気記憶装置110に関して説明した構造が、第2方向D2に沿って繰り返し設けられている。
図6(b)に示すように、磁気記憶装置117bにおいては、磁気記憶装置115に関して説明した構造が、第2方向D2に沿って繰り返し設けられている。
図6(c)に示すように、磁気記憶装置117cにおいては、磁気記憶装置116に関して説明した構造が、第2方向D2に沿って繰り返し設けられている。
繰り返しの構造を設けることで、記憶容量が増大できる。磁気記憶装置において、基板が設けられる場合、第1方向D1は、基板の表面に沿っても良い。
図7(a)及び図7(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
図7(a)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置118において、磁性体10は、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15に加えて、第3延在領域13、第4延在領域14、第2接続領域16、第4接続領域17及び第4接続領域18をさらに含む。
この例では、磁性体10は、実質的に四角柱状である。磁性体10は、パイプ状である。基体22のまわりに磁性体10が設けられている。この例では、基体22は、導電性である。
この例では、第3延在領域13は、第2方向D2において第2延在領域12から離れる。第4延在領域14は、第4方向D4において、第1延在領域11から離れる。第2接続領域16は、第3延在領域13を第1延在領域11と接続する。第3接続領域17は、第4延在領域14を第3延在領域13と接続する。第4接続領域18は、第4延在領域14を第2延在領域12と接続する。
図7(b)に示すように、磁気記憶装置118において、基板55が設けられても良い。例えば、第1方向D1は、基板55の面55aに対して実質的に垂直でも良い。例えば、磁性体10は、面55aに対して垂直に延びる。
例えば、第2電極52と基板55との間に第1電極51が設けられる。第2電極52と第1電極51との間に磁性体10が設けられる。
磁気記憶装置118の例において、第1方向D1に沿って延びる延在領域の数は、4である。実施形態において、この数は、任意である。この数は、例えば、3でも良い。この数は、5以上でも良い。
図8(a)及び図8(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。
これらの図において、制御部60は、省略されている。
図8(a)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置121において、第2電極52は、第1方向D1において、第1電極51から離れる。配線31eと第1延在領域11(第1部分11p)との間に、第1対向体31が設けられる。第1対向体31と第1部分11pとの間に、第1中間層35が設けられる。配線31eは、第1対向体31と電気的に接続される。
同様に、第2延在領域12にも、別の配線、別の対向体、及び、別の中間層が設けられる。
磁気記憶装置121においては、例えば、第1対向体31は、読み出し動作、及び、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。
図8(b)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置122においても、第2電極52は、第1方向D1において、第1電極51から離れる。この場合も、配線31e、第1対向体31、及び、第1中間層35が設けられる。さらに、配線32eと第1延在領域11(第2部分11q)との間に、第2対向体32が設けられる。第2対向体32と第2部分11qとの間に、第2中間層36が設けられる。配線32eは、第2対向体32と電気的に接続される。
同様に、第2延在領域12にも、別の配線、別の対向体、及び、別の中間層が設けられる。
磁気記憶装置122においては、例えば、第1対向体31は、読み出し動作を実施する。例えば、第2対向体32は、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。
図9(a)及び図9(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。
これらの図において、制御部60は、省略されている。
図9(a)及び図9(b)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置123及び124において、第2電極52は、第2方向D2において、第1電極51から離れる。
磁気記憶装置123における配線、対向体、及び、中間層については、磁気記憶装置121と同様である。磁気記憶装置123においては、例えば、第1対向体31は、読み出し動作、及び、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。
磁気記憶装置124における配線、対向体、及び、中間層については、磁気記憶装置122と同様である。磁気記憶装置124においては、例えば、第1対向体31は、読み出し動作を実施する。例えば、第2対向体32は、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。
図10(a)及び図10(b)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的斜視図である。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。
図10(a)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置131において、磁性体10に、第1〜第4延在領域11〜14が設けられている。さらに、第1〜第4制御磁性体53a〜53dと、第1〜第4対向体31a〜31dと、第1〜第4中間層35a〜35dと、が設けられている。第1制御磁性体53aは、第1延在領域11の端部と接続されている。第2制御磁性体53bは、第2延在領域12の端部と接続されている。第3制御磁性体53cは、第3延在領域13の端部と接続されている。第4制御磁性体53dは、第4延在領域14の端部と接続されている。第1〜第4対向体31a31dのそれぞれは、第1〜第4制御磁性体53a〜53dのそれぞれに対向する。第1制御磁性体53aと、第1対向体31aと、の間に第1中間層35aが設けられる。第2制御磁性体53bと、第2対向体31bと、の間に第2中間層35bが設けられる。第3制御磁性体53cと、第3対向体31cと、の間に第3中間層35cが設けられる。第4制御磁性体53dと、第4対向体31dと、の間に第4中間層35dが設けられる。第1〜第4対向体31a〜31dは、例えば、磁性である。第1〜第4対向体31a〜31dは、例えば磁性層である。
例えば、これらの制御磁性体は、延在領域のそれぞれに、磁気ドメイン10d(第1磁気ドメイン11dなど)を注入する。
例えば、第1制御磁性体53aにおいて、磁気ドメイン53adが形成される。この磁気ドメイン53adが、第1延在領域11に注入される。第1延在領域11において、例えば、第1磁気ドメイン11dが生成される。
図10(b)に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置132においても、第1〜第4制御磁性体53a〜53dと、第1制御磁性体53aと、第1対向体31aと、の間に第1中間層35aが設けられている。この例において、第1制御磁性体53aの第2方向D2に沿った幅w53は、第1延在領域11の第2方向D2に沿った幅(例えば第1距離w1)よりも小さい。第1制御磁性体53aにおいて、磁気ドメイン53aeが形成される。磁気ドメイン53aeの第2方向D2に沿った幅は、第1制御磁性体53aの第2方向D2に沿った幅w53と実質的に同じである。このような磁気ドメイン53aeが、第1延在領域11に注入される。第1延在領域11において、例えば、第1磁気ドメイン11dが生成される。例えば、第1磁気ドメイン11dの第1ドメイン幅d1は、幅w53に対応する。
磁気記憶装置131及び132において、例えば、第1電極51は、磁性体10と電気的に接続される。第2電極52は、例えば、制御磁性体(第1〜第4制御磁性体53a〜53dの少なくともいずれか)と電気的に接続される。
以下、実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法の例について説明する。
図11(a)〜図11(d)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法を例示する工程順の模式的斜視図である。
図11(a)に示すように、基板55の面55aの上に、第1電極51を形成する。第1電極51の上に、磁性体10を形成する。例えば、図示しない構造体(例えば基体21でも良い)が形成され、その構造体の側面に磁性膜が形成される。これにより、磁性体10が形成される。第1方向D1は、面55aに対して実質的に垂直である。
図11(b)に示すように、複数の制御磁性体53(例えば第1〜第4制御磁性体53a〜53dなど)が形成される。図11(c)に示すように、制御磁性体53の上に、第1対向体31(第1〜第4対向体31a〜31dなど)が形成される。複数の制御磁性体53のそれぞれと電気的に接続された第2電極52が形成される。図11(d)に示すように、第1対向体31の上に配線31eが形成される。実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法は、種々の変形が可能である。
(第2の実施形態)
図12(a)〜図12(c)は、第2の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図12(a)は、側面図である。図12(b)は、磁気記憶装置の一部を示す斜視図である。図12(c)は、図12(a)のA1−A2線断面図である。
図12(a)に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置210は、磁性体10と、第1電極51と、第2電極52と、第1対向体31と、制御部60と、を含む。磁気記憶装置210において、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60は、磁気記憶装置110と同様とすることができるので説明を省略する。以下で説明が省略された構成については、例えば磁気記憶装置110と同様である。以下、磁気記憶装置210における磁性体10について説明する。
図12(b)は、磁性体10を例示している。磁性体10は、複数の延在領域を含む。これらの延在領域のそれぞれは曲面状である。複数の延在領域が、接続領域により接続されている。延在領域の曲率半径は、大きい。接続領域の曲率半径は、延在領域の曲率半径よりも小さい。
例えば、磁性体10は、第1延在領域11と、第2延在領域12と、第1接続領域15と、を含む。
第1延在領域11は、第1方向D1に沿って延びる。第1延在領域11は、第1端部11a及び第2端部11bを含む。第1端部11aは、第1方向D1に延びる。第2端部11bは、第1方向D1に延びる。第2端部11bは、第2方向D2において、第1端部11aから離れる。第2方向D2は、第1方向D1と交差する。
第1延在領域11は、曲面状である。第1延在領域11は、第1曲率半径R1を有する。第1曲率半径R1は、第1方向D1に対して垂直な平面(この例では、X−Z平面)による、第1延在領域11の断面における第1延在領域11の曲率半径である。
第2延在領域12は、第1方向D1に沿って延びる。第2延在領域12は、第3端部12a及び第4端部12bを含む。第3端部12aは、第1方向D1に延びる。第4端部12bは、第1方向D2に延びる。第4端部12bは、第1方向D1と交差する第3方向D3において、第3端部12aから離れる。
この例では、第2延在領域12も曲面状である。第2延在領域12は、第2曲率半径R2を有する。第2曲率半径R2は、第1方向D1に対して垂直な平面(この例では、X−Z平面)による、第2延在領域12の断面における第2延在領域12の曲率半径である。本実施形態において、第2延在領域12は、平面状でも良い。
第1接続領域15は、第1端部11a及び第3端部12aとの間に設けられる。第1接続領域15は、第1方向D1に沿って延びる。第1接続領域15は、第1端部11aを第3端部12aと接続する。第1接続領域15は、接続領域曲率半径Rcを有する。接続領域曲率半径Rcは、上記の平面(この例ではX−Z平面)による、第1接続領域15の断面における第1接続領域15の曲率である。接続領域曲率半径Rcは、第1曲率半径R1よりも小さい。接続領域曲率半径Rcは、第2曲率半径R2よりも小さい。すなわち、第2曲率半径R2は、接続領域曲率半径Rcよりも大きい。
第1延在領域11は、第1接続領域15と連続している。第2延在領域12は、第1接続領域15と連続している。
この例においても、磁性体10は、第1接続領域15で折れ曲がる。例えば、第2端部11bの第4方向D4に沿った位置11bvは、第4端部12bの第4方向D4に沿った位置12bvとは異なる。この第4方向D4は、第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直である。
この例においても、第1状態において、第1延在領域11は、第1磁気ドメイン10d及び第1他領域10oを含む。第1他領域10oは、第1磁気ドメイン10dの周りに設けられる。第1磁気ドメイン10dは、第2方向D2に沿う第1ドメイン幅d1を有する。第1延在領域11は、第1距離w1(幅)を有する。第1距離w1は、第1端部11a及び第2端部11bの間の第2方向D2に沿った距離である。第1ドメイン幅d1は、第1距離w1よりも小さい。
図12(a)に示すように、この例においても、第1対向体31は、第1延在領域11の第1部分11pから、第4方向D4に沿ってから離れる。第1対向体31は、読み出し動作を実施する。第1対向体31は、記録動作を実施しても良い。記録動作は、消去動作を含む。
磁気記憶装置210においても、第2端部11bの位置11bvが、第4端部12bの位置12bvとは異なっている。そして、接続領域曲率半径Rcが第1曲率半径R1よりも小さく、第2曲率半径R2よりも小さい。磁性体10は、第1接続領域15で折れ曲がる。これにより、1つの延在領域の磁気ドメイン10d(例えば第1磁気ドメイン11d)が他の延在領域に移動することが抑制される。そして、磁性体10が連続しているため、製造が容易である。実施形態によれば、記憶密度が向上できる。
磁気記憶装置210において、第2対向体32を設けても良い。磁気記憶装置210において、第1延在領域11の磁化は、例えば、第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直な方向に沿う。
図13(a)〜図13(c)は、第2の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式図である。
図13(a)は、側面図である。図13(b)は、磁気記憶装置の一部を示す斜視図である。図13(c)は、図13(a)のA1−A2線断面図である。
本実施形態に係る磁気記憶装置211においても、磁性体10の延在領域は、曲面状である。磁気記憶装置210及び211のように、第1延在領域11は、凹状でも良く、凸状でも良い。磁気記憶装置211において、第1延在領域11の磁化は、例えば、第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直な方向に沿う。
(第3の実施形態)
図14(a)〜図14(c)は、第3の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図14(a)は、斜視図である。図14(b)及び図14(c)は、磁気記憶装置の一部を示す平面図である。
図14(a)に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置310は、磁性体10、第1電極51、第2電極52及び第1対向体31を含む。磁気記憶装置310において、制御部60及び第2対向体32の少なくともいずれかが設けられても良い。磁気記憶装置310において、第1電極51、第2電極52及び第1対向体31は、磁気記憶装置110と同様とすることができるので説明を省略する。以下で説明が省略された構成については、例えば磁気記憶装置110と同様である。以下、磁気記憶装置310における磁性体10について説明する。
この例においても、磁性体10は、第1延在領域11と、第2延在領域12と、第1接続領域15と、を含む。磁気記憶装置310において、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15は、磁気記憶装置110または磁気記憶装置210に関して説明した構成を有する。さらに、磁気記憶装置310においては、延在領域の幅が、第1方向D1に沿って変化する。
図14(a)及び図14(b)に示すように、第1延在領域11は、複数の広領域11w、及び、複数の狭領域11nを含む。複数の広領域11w、及び、複数の狭領域11nは、第1方向D1に沿って交互に並ぶ。
複数の広領域11wのそれぞれは、第2方向D2に沿った幅ww1を有する。複数の狭領域11nのそれぞれは、第2方向D2に沿った幅wn1を有する。幅ww1は、幅wn1よりも広い。
複数の狭領域11nのそれぞれの第2方向D2に沿った幅wn1は、例えば、第1ドメイン幅d1よりも大きい。複数の広領域11wのそれぞれの第2方向D2に沿った幅ww1は、例えば、第1ドメイン幅d1の7.5倍以下でも良い。
この例では、複数の広領域11wのピッチwwpは、狭領域11nのピッチwnpと実質的に同じである。
広領域11w及び狭領域11nを設けることで、第1磁気ドメイン11dの位置が制御し易くなる。
図14(c)に示すように、広領域11wにおいて、第1磁気ドメイン11dに、拘束力Fmが作用する。例えば、第1磁気ドメイン11dが第1延在領域11を移動する際に、第1磁気ドメイン11dの第1方向D1に沿った位置が制御し易くなる。
磁気記憶装置310においても、第2端部11bの位置11bvが、第4端部12bの位置12bvとは異なっている。磁性体10は、第1接続領域15で折れ曲がる。これにより、1つの延在領域の磁気ドメイン10d(例えば第1磁気ドメイン11d)が他の延在領域に移動することが抑制される。そして、磁性体10が連続しているため、製造が容易である。実施形態によれば、記憶密度が向上できる。さらに、第1磁気ドメイン11dの位置の精度が高い。安定した動作が得られる。
(第4の実施形態)
図15(a)〜図15(c)は、第4の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図15(a)は、斜視図である。図15(b)は、磁気記憶装置の一部を示す平面図である。図15(c)は、磁気記憶装置の一部を示す断面図である。
図15(a)に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置410は、磁性体10と、第1電極51と、第2電極52と、第1対向体31と、制御部60と、を含む。図15(b)及び図15(c)は、磁性体10の例を示している。
磁性体10は、第1延在領域11、第2延在領域12及び第1接続領域15を含む。この例では、磁性体10は、第3延在領域13及び第2接続領域16をさらに含む。
第1延在領域11及び第2延在領域12は、第1方向D1に沿って延びる。第2延在領域12は、第1方向D1と交差する第2方向D2において、第1延在領域11と並ぶ。第1接続領域15は、第1延在領域11を第2延在領域12と接続する。例えば、第1延在領域11の少なくとも一部は、第1方向D1及び第2方向D2に沿って広がる。第2方向D2は、第1方向D1と交差する。例えば、第2延在領域12の少なくとも一部は、第1方向D1及び第2方向D2に沿って広がる。
第1接続領域15は、第1方向D1に沿って延びる。第1接続領域15は、第1延在領域11に対して後退または突出しており、第2延在領域12に対して後退または突出している。例えば、第1接続領域15の1つの表面(図15(c)において上面)は、第1延在領域11の1つの表面(上面)に対して、後退している。第1接続領域15の別の表面(図15(c)において下面)は、第1延在領域11の表面(下面)に対して後退している。例えば、第1接続領域15の1つの表面(図15(c)において上面)は、第2延在領域12の1つの表面(上面)に対して、後退している。第1接続領域15の別の表面(図15(c)において下面)は、第2延在領域12の表面(下面)に対して後退している。第1接続領域15の表面は、第1方向D1に延在する。第1延在領域11の表面は、第1方向D1に延在する。第2接続領域12の表面は、第1方向D1に延在する。
例えば、第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直な方向を第3方向D3とする。例えば、第1接続領域15の上面の第3方向D3の位置は、第1延在領域11の上面の第3方向D3の位置とは異なる。第1接続領域15の上面の第3方向D3の位置は、第2接続領域12の上面の第3方向D3の位置とは異なる。
この例においても、第1延在領域11は、第1状態において、第1磁気ドメイン11dと、第1他領域11oと、を含む。第1他領域11oは、第1磁気ドメイン11dの周りに設けられる。第2延在領域12は、他の第1状態において、第2磁気ドメイン12dと、第2他領域12oと、を含む。第2他領域12oは、第2磁気ドメイン12dの周りに設けられる。
第1対向体31は、第1延在領域11の第1部分11pから離れている。この例では、第1対向体31は、第3方向D3において、第1延在領域11の第1部分11pと離れている。第1対向体31と、第1延在領域11の第1部分11pと、の間に、第1中間層35が設けられている。
第3延在領域13は、第1方向D1に延びる。第2接続領域16は、第1方向D1に延びる。第2接続領域16は、第3延在領域13を第1延在領域11と接続する。第2接続領域16は、第1延在領域11に対して後退または突出しており、第3延在領域13に対して後退または突出している。
このように、磁気記憶装置410においては、接続領域が、延在領域に対して後退または突出している。これにより、1つの延在領域の磁気ドメイン10d(例えば、第1磁気ドメイン11d)が他の延在領域に移動することが抑制される。そして、磁性体10が連続しているため、製造が容易である。実施形態によれば、記憶密度が向上できる。さらに、第1磁気ドメイン11dの位置の精度が高い。安定した動作が得られる。
図16(a)及び図16(b)は、第4の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式的断面図である。
これらの図は、磁性体10を示している。
図16(a)に示すように、磁気記憶装置411においては、第1接続領域15の厚さ(第3方向D3の長さ)は、第1延在領域11の厚さ(第3方向D3の長さ)よりも厚い。第1接続領域15の厚さ(第3方向D3の長さ)は、第2延在領域12の厚さ(第3方向D3の長さ)よりも厚い。
図16(b)に示すように、磁気記憶装置412においては、第1接続領域15の厚さ(第3方向D3の長さ)は、第1延在領域11の厚さ(第3方向D3の長さ)よりも薄い。第1接続領域15の厚さ(第3方向D3の長さ)は、第2延在領域12の厚さ(第3方向D3の長さ)よりも薄い。
磁気記憶装置411及び412において、1つの延在領域の磁気ドメイン10d(例えば、第1磁気ドメイン11d)が他の延在領域に移動することが抑制される。これにより、記憶密度が向上できる。
(第5の実施形態)
図17(a)及び図17(b)は、第5の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図17(a)は、斜視図である。図17(b)は、磁気記憶装置の一部を示す平面図である。
図17(a)に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置510は、磁性体10と、第1電極51と、第2電極52と、第1対向体31と、制御部60と、を含む。図17(b)は、磁性体10の例を示している。
磁性体10は、第1延在領域11及び第2延在領域12を含む。この例では、磁性体10は、第3延在領域13をさらに含む。
第1〜第3延在領域11〜13は、第1方向D1に延びる。第2延在領域12は、第2方向D2において、第1延在領域11と並ぶ。第1延在領域11及び第3延在領域13の間に、第2延在領域12が配置される。
第1方向D1及び第2方向D2に対して垂直な方向を第4方向D4とする。例えば、磁性体10は、垂直磁化膜である。第1延在領域11の磁化は、第4方向D4に沿う。第2延在領域12の磁化も、第4方向D4に沿う。
第1延在領域11は、第1端領域11er及び第2端領域11frを有する。第2端領域11frは、第1方向D1において、第1端領域11erと並ぶ。
この例においても、第1延在領域11は、第1状態において、第1磁気ドメイン11d及び第1他領域11oを含む。第1他領域11oは、第1磁気ドメイン11dの周りに設けられる。第2延在領域12は、1つの状態において、第2磁気ドメイン12d及び第2他領域12oを含む。第2他領域12oは、第2磁気ドメイン12dの周りに設けられる。
この例では、第1電極51は、第1端領域11erと接続される。第2電極52は、第2端領域11frと接続される。第1電極51及び第2電極52から、第1延在領域11に電流が供給される。この例では、電流は第1方向D1に沿って流れる。本実施形態において、電流は第2方向D2に沿って流されても良い。このときは、例えば、第1電極51及び第2電極52の間に、第1延在領域11が設けられる。第1延在領域11及び第2電極52の間に、第2延在領域12設けられる。
第1対向体31は、第1延在領域11の第1部分11pから、第4方向D4に沿ってから離れる。第1対向体31は、読み出し動作を実施する。第1対向体31は、記録動作を実施しても良い。記録動作は、消去動作を含む。
制御部60は、第1対向体31、第1電極51及び第2電極52と電気的に接続される。
磁気記憶装置510においては、第2延在領域12に含まれる材料は、第1延在領域11に含まれる材料とは、異なる。例えば、第2延在領域12は、第1延在領域11に実質的に含まれない元素を含む。例えば、第2延在領域12における第1元素の濃度は、第1延在領域11における第1元素の濃度とは異なる。例えば、第2延在領域12にドープされる元素の濃度は、第1延在領域11にドープされる元素の濃度とは異なる。例えば、第2延在領域12における結晶に関する特性が、第1延在領域11における結晶に関する特性とは異なる。結晶の特性は、結晶の方位を含む。結晶の特性は、結晶粒の平均径を含む。結晶の特性は、非結晶の領域の分布などを含む。
これにより、例えば、第1延在領域11の第1磁気ドメイン11dが第2延在領域12に移動することが抑制される。そして、磁性体10が連続しているため、製造が容易である。実施形態によれば、記憶密度が向上できる。
例えば、第3延在領域13に含まれる材料は、第2延在領域12に含まれる材料とは、異なる。例えば、第3延在領域13含まれる材料は、第1延在領域11含まれる材料と実質的に同じでも良い。
例えば、互いに異なる材料を含む複数の延在領域が、延在領域の延在方向と交差する方向に並んでも良い。1つの延在領域の磁気ドメイン10dが、隣の延在領域に移動することが抑制される。記憶密度が向上できる。
図18は、第5の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式的平面図である。
図18に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置511においては、第2対向体32が設けられている。この例では、配線32eと、第1延在領域11の第2部分11qと、の間に、第2対向体32が設けられている。第2対向体32及び第2部分11qの間に、第2中間層36が設けられている。
磁気記憶装置511において、第2対向体32は、例えば、記録動作を実施する。記録動作は、消去動作を含む。第2対向体32は、例えば、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施する。第1動作において、第2対向体32は、第1延在領域11に別の磁気ドメイン11daを生成する(図2(c)と同様)。第1他領域11oは、別の磁気ドメイン11daの周りにさらに設けられる。第2動作において、第2対向体32は、第1延在領域11から第1磁気ドメイン11dを除去する(図2(d)と同様)。これにより、第1状態とは異なる状態が生成される。
磁気記憶装置511においては、第1対向体31は、再生動作を実施する。第1対向体31が、記録動作をさらに実施しても良い。この記録動作は、消去動作を含んでも良い。
図19は、第5の実施形態に係る別の磁気記憶装置を例示する模式的平面図である。
図19においては、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。この例において、第2対向体32をさらに設けても良い。
図19は、本実施形態に係る磁気記憶装置512における磁性体10を例示している。磁性体10において、第1延在領域11は、複数の広領域11w、及び、複数の狭領域11nを含む。これ以外は、磁気記憶装置510と同様である。
複数の広領域11w、及び、複数の狭領域11nは、第1方向D1に沿って交互に並ぶ。複数の広領域11wのそれぞれは、第2方向D2に沿った幅ww1を有する。複数の狭領域11nのそれぞれは、第2方向D2に沿った幅wn1を有する。幅ww1は、幅wn1よりも広い。
広領域11w及び狭領域11nを設けることで、第1磁気ドメイン11dの位置が制御し易くなる。磁気記憶装置512においても、記憶密度が向上できる。
実施形態は、例えば、以下の特徴を含む。
(特徴1)
複数の磁気ドメインを保存する保存素子であって、前記保存要素は、
面を有する基体と、
前記面に設けられた磁性体であって、前記磁性体は、前記面の法線に対して実質的に平行な磁気容易軸を有し、前記磁性体は、
前記複数の磁気ドメインの一部の動きのための第1磁気トラックであって、前記第1磁気トラックは、第1方向と、前記1方向と交差する第2方向と、に広がる第1延在領域を含み、前記第1延在領域は、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第1端部と前記第2方向において離れた第2端部と、を含む、前記第1磁気トラックと、
前記複数の磁気ドメインの別の一部の動きのための第2磁気トラックであって、前記第2磁気トラックは、前記第1方向と、前記第1方向と交差する第3方向と、に広がる第2延在領域を含み、前記第2延在領域は、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部と離れた第4端部と、を含む、前記第2磁気トラックと、
前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ前記第1端部と前記第3端部と接続する第1接続領域と、
を含み、第4方向における前記第2端部の位置は、前記第4方向における前記第4端部の位置とは異なり、前記第4方向は、前記第1方向に対して垂直であり前記第2方向と交差した、前記保存要素と、
前記保存要素に電流を供給する電流源であって、前記電流は、前記第1磁気トラックにおける前記複数の磁気ドメインの少なくとも1つの前記移動を誘発させること、及び、前記第2磁気トラックにおける前記複数の磁気ドメインの少なくとも1つの前記移動を誘発することが可能である、前記電流源と、
前記磁性体の第1読み出し位置と離れた第1対向体であって、前記第1読み出し位置に前記複数の磁気ドメインの1つが存在することを読み出す、前記第1対向体と、
を備えた、磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴2)
前記磁性体の第2読み出し位置と離れた第2対向体であって、前記第2読み出し位置に前記複数の磁気ドメインの1つが存在することを読み出す、前記第2対向体をさらに備え、
前記第1読み出し位置は、前記第1延在領域に設けられ、
前記第2読み出し位置は、前記第2延在領域に設けられた、特徴1記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴3)
前記第1対向体は、第1動作及び第2動作の少なくとも1つを実施し、
前記第1動作において、前記第1対向体は、前記磁性体の第1書き込み位置に前記複数の磁気ドメインの1つを生成して前記磁化の第1状態を生成し、
前記第2動作において、前記第1対向体は、前記磁性体の第1除去位置で前記複数の磁気ドメインの1つを除去して前記磁化の第2状態を生成し、前記第2状態は、前記第1状態とは異なる、特徴1または2に記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴4)
第3動作及び第4動作の少なくともいずれかを実施する第3対向体をさらに備え、
前記第3動作において、前記第3対向体は、前記磁性体の第2書き込み位置に前記複数の磁気ドメインの1つを生成して前記磁化の第3状態を生成し、
前記第4動作において、前記第3対向体は、前記磁性体の第2除去位置で前記複数の磁気ドメインの1つを除去して前記磁化の第4状態を生成し、前記第4状態は、前記第3状態とは異なる、特徴1〜3のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴5)
前記基体は、電気絶縁体である、特徴1〜4のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴6)
前記基体は、導電体である、特徴1〜4のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴7)
前記第3方向は、前記第2方向と交差する、特徴1〜6のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴8)
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、90度以下である、特徴7記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴9)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2延在領域の少なくとも一部は、前記第4方向において前記第1延在領域と重なる、特徴1〜6のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴10)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1端部の前記第2方向に沿う位置は、前記第2端部の前記第2方向に沿う位置と、前記第4端部の前記第2方向に沿う位置と、の間にある、特徴1〜6のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(特徴11)
前記第4方向は、前記第2方向に対して垂直である、特徴10記載の磁気記憶装置。
(特徴12)
前記第1接続領域は、
前記第1端部と接続された第1カーブ部と、
前記第3端部と接続された第2カーブ部と、
前記第1カーブ部及び前記第2カーブ部と接続された接続部と、
を含む、特徴11記載の磁気記憶装置。
(特徴13)
前記第1延在領域は、前記第1方向に沿って交互に並んだ、複数の広領域と、複数の狭領域と、を含み、
前記複数の広領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅は、前記複数の狭領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅よりも広い、特徴1〜12のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(特徴14)
前記第3対向体は、磁性であり、前記第2書き込み位置で前記磁性体と接続された、特徴4記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴15)
前記第2書き込み位置は、前記第2延在領域に設けられた、特徴14記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
実施形態は、例えば、以下の構成を含む。
(構成1)
第1方向と前記第1方向と交差する第2方向とに沿って広がる第1延在領域であって、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含む、前記第1延在領域と、
前記第1方向と前記第1方向と交差する第3方向とに沿って広がる第2延在領域であって、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部から離れた第4端部と、を含む、前記第2延在領域と、
前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ、前記第1端部を前記第3端部と接続する第1接続領域と、
を含む磁性体を備え、
前記第2端部の第4方向に沿った位置は、前記第4端部の前記第4方向に沿った位置とは異なり、前記第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向に対して垂直であり、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
(構成2)
前記第3方向は、前記第2方向と交差する、構成1記載の磁気記憶装置。
(構成3)
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、90度以下である、構成1または2に記載の磁気記憶装置。
(構成4)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2延在領域の少なくとも一部は、前記第4方向において前記第1延在領域と重なる、構成1記載の磁気記憶装置。
(構成5)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1端部の前記第2方向に沿う位置は、前記第2端部の前記第2方向に沿う位置と、前記第4端部の前記第2方向に沿う位置と、の間にある、構成1記載の磁気記憶装置。 (構成6)
前記第1接続領域は、
前記第1端部と接続された第1カーブ部と、
前記第3端部と接続された第2カーブ部と、
前記第1カーブ部及び前記第2カーブ部と接続された接続部と、
を含む、構成5記載の磁気記憶装置。
(構成7)
第1方向に沿って延びる第1延在領域であって、前記第1方向に対して垂直な平面における前記第1延在領域の断面において、前記第1延在領域は第1曲率半径を有する前記第1延在領域と、
前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
前記第1方向に延び前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域であって、前記平面における前記第1接続領域の断面において、前記第1接続領域は前記第1曲率半径よりも小さい接続領域曲率半径を有する、前記第1接続領域と、
を備え、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
(構成8)
第1方向に沿って延びる第1延在領域と、
前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域と、
を含む磁性体を備え、
前記第1接続領域は、前記第1延在領域に対して後退または突出し、前記第2延在領域に対して後退または突出し、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
(構成9)
前記第1延在領域の第1部分と離れ、磁性の第1対向体をさらに備えた、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成10)
前記第1磁気ドメインが前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗は、前記第1他領域が前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗とは異なる、構成9記載の磁気記憶装置。
(構成11)
前記第1延在領域と接続された第1制御磁性体と、
前記第1制御磁性体に対向する磁性の第1対向体と、
をさらに備えた、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成12)
前記第1対向体は、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施し、
前記第1動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域に別の磁気ドメインを生成し、前記第1他領域は、前記別の磁気ドメインの周りにさらに設けられ、
前記第2動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域から前記第1磁気ドメインを除去して前記第1状態とは異なる状態を生成する、構成9〜11のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成13)
前記磁性体と電気的に接続された第1電極と、
前記第1制御磁性体と電気的に接続された第2電極と、
をさらに備えた、構成10または11に記載の磁気記憶装置記憶装置。
(構成14)
第1電極と、
第2電極と、
をさらに備え、
前記第1延在領域は、
第1端領域と、
前記第1方向において前記第1端領域と並ぶ第2端領域と、
を含み、
前記第1電極は、前記第1端領域と接続され、
前記第2電極は、前記第2端領域と接続された、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置記憶装置。
(構成15)
前記第1磁気ドメインは、前記第1延在領域を流れる電流に応じて、前記第1延在領域を前記第1方向に沿って移動し、
前記電流は、前記第1延在領域を前記第1方向に沿って流れる、構成13または14に記載の磁気記憶装置。
(構成16)
第1電極と、
第2電極と、
をさらに備え、
前記第1電極及び前記第2電極は、前記磁性体に電気的に接続され、
前記第1延在領域の前記第2方向における位置は、前記第1電極の前記第2方向における位置と、前記第2電極の前記第2方向における位置と、の間に配置され、
前記第2延在領域の前記第2方向における位置は、前記第1延在領域の前記第2方向における前記位置と、前記第2電極の前記第2方向における前記位置と、の間に配置された、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成17)
前記第1磁気ドメインは、前記第1延在領域を流れる電流に応じて、前記第1延在領域を前記第1方向に沿って移動し、
前記電流は、前記第1延在領域を前記第2方向に沿って流れる、構成16記載の磁気記憶装置。
(構成18)
前記第1磁気ドメインの磁化の方向は、前記第1他領域の磁化の方向と逆である、構成1〜17に記載の磁気記憶装置幅。
(構成19)
前記第1延在領域は、前記第1方向及び第2方向に対して垂直な方向に沿う磁化を有する、構成1〜18のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成20)
前記第1延在領域は、前記第1方向に沿って交互に並んだ、複数の広領域と、複数の狭領域と、を含み、
前記複数の広領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅は、前記複数の狭領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅よりも広い、構成1〜19のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
実施形態によれば、記憶密度が向上できる磁気記憶装置が提供できる。
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気記憶装置に含まれる磁性体、対向体、中間層、電極及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した磁気記憶装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気記憶装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…磁性体、 10d…磁気ドメイン、 11…第1延在領域、 11a…第1端部、 11ap…位置、 11b…第2端部、 11bp…位置、 11bv…位置、 11d…第1磁気ドメイン、 11dm…磁化、 11er…第1端領域、 11fr…第2端領域、 11n…狭領域、 11o…第1他領域、 11om…磁化、 11p…第1部分、 11q…第2部分、 11t…第1トラック、 11w…広領域、 12…第2延在領域、 12a…第3端部、 12ap…位置、 12b…第4端部、 12bp…位置、 12bv…位置、 12d…第2磁気ドメイン、 12dm…磁化、 12o…第2他領域、 12om…磁化、 12…第2トラック、 13…第3延在領域、 13…第3トラック、 14…第4延在領域、 14…第4トラック、 15…第1接続領域、 15a、15b…第1、第2カーブ部、 15c…接続部、 16〜18…第2〜第4接続領域、 21…基体、 21a、21b…第1、第2面、 22…基体、 22a、22b…第1、第2面、 31、32…第1、第2対向体、 31a〜31d…第1〜第4対向体、 31e、32e…配線、 35、36…第1、第2中間層、 35a〜35d…第1〜第4中間層、 51、52…第1、第2電極、 53a〜53d…第1〜第4制御磁性体、 53ad、53ae…磁気ドメイン、 55…基板、 55a…面、
60…制御部、 θ…角度、 110〜116、117a〜117c、118、121〜124、131、132、21、211、310、410〜412、510〜512…磁気記憶装置、 D1〜D4…第1〜第4方向、 L1…長さ、 R1、R2…第1、第2曲率半径、 Rc…延在領域曲率半径、 STa〜STd…状態、 c1、c2…電流、 d1、d2…第1、第2ドメイン幅、 w1、w2…第1、第2長さ、 w3…幅、 w53…幅、 wn1…幅、 wnp…ピッチ、 ww1…幅、 wwp…ピッチ

Claims (10)

  1. 第1方向と前記第1方向と交差する第2方向とに沿って広がる第1延在領域であって、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含む、前記第1延在領域と、
    前記第1方向と前記第1方向と交差する第3方向とに沿って広がる第2延在領域であって、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部から離れた第4端部と、を含む、前記第2延在領域と、
    前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ、前記第1端部を前記第3端部と接続する第1接続領域と、
    を含む磁性体を備え、
    前記第2端部の第4方向に沿った位置は、前記第4端部の前記第4方向に沿った位置とは異なり、前記第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向に対して垂直であり、
    前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
  2. 前記第3方向は、前記第2方向と交差する、請求項1記載の磁気記憶装置。
  3. 前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
    前記第2延在領域の少なくとも一部は、前記第4方向において前記第1延在領域と重なる、請求項1記載の磁気記憶装置。
  4. 第1方向に沿って延びる第1延在領域であって、前記第1方向に対して垂直な平面における前記第1延在領域の断面において、前記第1延在領域は第1曲率半径を有する前記第1延在領域と、
    前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
    前記第1方向に延び前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域であって、前記平面における前記第1接続領域の断面において、前記第1接続領域は前記第1曲率半径よりも小さい接続領域曲率半径を有する、前記第1接続領域と、
    を備え、
    前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
  5. 第1方向に沿って延びる第1延在領域と、
    前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
    前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域と、
    を含む磁性体を備え、
    前記第1接続領域は、前記第1延在領域に対して後退または突出し、前記第2延在領域に対して後退または突出し、
    前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
  6. 前記第1延在領域の第1部分と離れ、磁性の第1対向体をさらに備えた、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
  7. 前記第1磁気ドメインが前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗は、前記第1他領域が前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗とは異なる、請求項6記載の磁気記憶装置。
  8. 前記第1延在領域と接続された第1制御磁性体と、
    前記第1制御磁性体に対向する磁性の第1対向体と、
    をさらに備えた、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
  9. 前記第1対向体は、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施し、
    前記第1動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域に別の磁気ドメインを生成し、前記第1他領域は、前記別の磁気ドメインの周りにさらに設けられ、
    前記第2動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域から前記第1磁気ドメインを除去して前記第1状態とは異なる状態を生成する、請求項6〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
  10. 前記第1延在領域は、前記第1方向に沿って交互に並んだ、複数の広領域と、複数の狭領域と、を含み、
    前記複数の広領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅は、前記複数の狭領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅よりも広い、請求項1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
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