JP2017162970A - 磁気記憶装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図1(a)は、側面図である。図1(b)は、磁気記憶装置の一部を示す斜視図である。図1(c)は、図1(a)のA1−A2線断面図である。
例えば、第2延在領域12は、ある状態(例えば第2状態)において、第2磁気ドメイン12d及び第2他領域12oを含む。第2他領域12oは、第2磁気ドメイン12dの周りに設けられる。第2磁気ドメイン12dは、複数の磁気ドメイン10dの1つである。
これらの図は、磁気記憶装置110における互いに異なる状態を例示している。これらの状態は、異なる動作状態に対応する。これらの図においては、磁性体10及び第1対向体31が図示されており、他の要素は省略されている。
図3は、側面図である。
図3に示すように、実施形態に係る別の磁気記憶装置110aにおいては、磁性体10、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60に加えて、第2対向体32が設けられている。磁性体10、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60については、磁気記憶装置110と同様なので説明を省略する。
r1=πA/|D|
で表される。”π”は、円周率である。交換強度定数”A”は、例えば、0.1pJ/m〜50pJ/mである。係数”D”は、例えば、0.001mJ/m2〜10mJ/m2である。係数”D”は、例えば、負でも良い。半径r1は、例えば、1nm以上5000nm以下である。半径r1は、例えば、10nm以上200nm以下である。
図4(a)〜図4(d)は、第1の実施形態に係る別の磁気記憶装置の一部を例示する模式図である。
これらの図においては、磁性体10が例示されており、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。これらの例において、第2対向体32を設けても良い。
これらの図において、制御部60は、省略されている。
これらの図において、制御部60は、省略されている。
これらの図において、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。
磁気記憶装置131及び132において、例えば、第1電極51は、磁性体10と電気的に接続される。第2電極52は、例えば、制御磁性体(第1〜第4制御磁性体53a〜53dの少なくともいずれか)と電気的に接続される。
図11(a)〜図11(d)は、第1の実施形態に係る磁気記憶装置の製造方法を例示する工程順の模式的斜視図である。
図11(a)に示すように、基板55の面55aの上に、第1電極51を形成する。第1電極51の上に、磁性体10を形成する。例えば、図示しない構造体(例えば基体21でも良い)が形成され、その構造体の側面に磁性膜が形成される。これにより、磁性体10が形成される。第1方向D1は、面55aに対して実質的に垂直である。
図12(a)〜図12(c)は、第2の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図12(a)は、側面図である。図12(b)は、磁気記憶装置の一部を示す斜視図である。図12(c)は、図12(a)のA1−A2線断面図である。
図13(a)は、側面図である。図13(b)は、磁気記憶装置の一部を示す斜視図である。図13(c)は、図13(a)のA1−A2線断面図である。
図14(a)〜図14(c)は、第3の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図14(a)は、斜視図である。図14(b)及び図14(c)は、磁気記憶装置の一部を示す平面図である。
図15(a)〜図15(c)は、第4の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図15(a)は、斜視図である。図15(b)は、磁気記憶装置の一部を示す平面図である。図15(c)は、磁気記憶装置の一部を示す断面図である。
これらの図は、磁性体10を示している。
図16(a)に示すように、磁気記憶装置411においては、第1接続領域15の厚さ(第3方向D3の長さ)は、第1延在領域11の厚さ(第3方向D3の長さ)よりも厚い。第1接続領域15の厚さ(第3方向D3の長さ)は、第2延在領域12の厚さ(第3方向D3の長さ)よりも厚い。
図17(a)及び図17(b)は、第5の実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図17(a)は、斜視図である。図17(b)は、磁気記憶装置の一部を示す平面図である。
図18に示すように、本実施形態に係る磁気記憶装置511においては、第2対向体32が設けられている。この例では、配線32eと、第1延在領域11の第2部分11qと、の間に、第2対向体32が設けられている。第2対向体32及び第2部分11qの間に、第2中間層36が設けられている。
図19においては、第1電極51、第2電極52、第1対向体31及び制御部60は、省略されている。この例において、第2対向体32をさらに設けても良い。
(特徴1)
複数の磁気ドメインを保存する保存素子であって、前記保存要素は、
面を有する基体と、
前記面に設けられた磁性体であって、前記磁性体は、前記面の法線に対して実質的に平行な磁気容易軸を有し、前記磁性体は、
前記複数の磁気ドメインの一部の動きのための第1磁気トラックであって、前記第1磁気トラックは、第1方向と、前記1方向と交差する第2方向と、に広がる第1延在領域を含み、前記第1延在領域は、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第1端部と前記第2方向において離れた第2端部と、を含む、前記第1磁気トラックと、
前記複数の磁気ドメインの別の一部の動きのための第2磁気トラックであって、前記第2磁気トラックは、前記第1方向と、前記第1方向と交差する第3方向と、に広がる第2延在領域を含み、前記第2延在領域は、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部と離れた第4端部と、を含む、前記第2磁気トラックと、
前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ前記第1端部と前記第3端部と接続する第1接続領域と、
を含み、第4方向における前記第2端部の位置は、前記第4方向における前記第4端部の位置とは異なり、前記第4方向は、前記第1方向に対して垂直であり前記第2方向と交差した、前記保存要素と、
前記保存要素に電流を供給する電流源であって、前記電流は、前記第1磁気トラックにおける前記複数の磁気ドメインの少なくとも1つの前記移動を誘発させること、及び、前記第2磁気トラックにおける前記複数の磁気ドメインの少なくとも1つの前記移動を誘発することが可能である、前記電流源と、
前記磁性体の第1読み出し位置と離れた第1対向体であって、前記第1読み出し位置に前記複数の磁気ドメインの1つが存在することを読み出す、前記第1対向体と、
を備えた、磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴2)
前記磁性体の第2読み出し位置と離れた第2対向体であって、前記第2読み出し位置に前記複数の磁気ドメインの1つが存在することを読み出す、前記第2対向体をさらに備え、
前記第1読み出し位置は、前記第1延在領域に設けられ、
前記第2読み出し位置は、前記第2延在領域に設けられた、特徴1記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴3)
前記第1対向体は、第1動作及び第2動作の少なくとも1つを実施し、
前記第1動作において、前記第1対向体は、前記磁性体の第1書き込み位置に前記複数の磁気ドメインの1つを生成して前記磁化の第1状態を生成し、
前記第2動作において、前記第1対向体は、前記磁性体の第1除去位置で前記複数の磁気ドメインの1つを除去して前記磁化の第2状態を生成し、前記第2状態は、前記第1状態とは異なる、特徴1または2に記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴4)
第3動作及び第4動作の少なくともいずれかを実施する第3対向体をさらに備え、
前記第3動作において、前記第3対向体は、前記磁性体の第2書き込み位置に前記複数の磁気ドメインの1つを生成して前記磁化の第3状態を生成し、
前記第4動作において、前記第3対向体は、前記磁性体の第2除去位置で前記複数の磁気ドメインの1つを除去して前記磁化の第4状態を生成し、前記第4状態は、前記第3状態とは異なる、特徴1〜3のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴5)
前記基体は、電気絶縁体である、特徴1〜4のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴6)
前記基体は、導電体である、特徴1〜4のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴7)
前記第3方向は、前記第2方向と交差する、特徴1〜6のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴8)
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、90度以下である、特徴7記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴9)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2延在領域の少なくとも一部は、前記第4方向において前記第1延在領域と重なる、特徴1〜6のいずれか1つに記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴10)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1端部の前記第2方向に沿う位置は、前記第2端部の前記第2方向に沿う位置と、前記第4端部の前記第2方向に沿う位置と、の間にある、特徴1〜6のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(特徴11)
前記第4方向は、前記第2方向に対して垂直である、特徴10記載の磁気記憶装置。
(特徴12)
前記第1接続領域は、
前記第1端部と接続された第1カーブ部と、
前記第3端部と接続された第2カーブ部と、
前記第1カーブ部及び前記第2カーブ部と接続された接続部と、
を含む、特徴11記載の磁気記憶装置。
(特徴13)
前記第1延在領域は、前記第1方向に沿って交互に並んだ、複数の広領域と、複数の狭領域と、を含み、
前記複数の広領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅は、前記複数の狭領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅よりも広い、特徴1〜12のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(特徴14)
前記第3対向体は、磁性であり、前記第2書き込み位置で前記磁性体と接続された、特徴4記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(特徴15)
前記第2書き込み位置は、前記第2延在領域に設けられた、特徴14記載の磁気シフトレジスタ記憶装置。
(構成1)
第1方向と前記第1方向と交差する第2方向とに沿って広がる第1延在領域であって、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含む、前記第1延在領域と、
前記第1方向と前記第1方向と交差する第3方向とに沿って広がる第2延在領域であって、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部から離れた第4端部と、を含む、前記第2延在領域と、
前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ、前記第1端部を前記第3端部と接続する第1接続領域と、
を含む磁性体を備え、
前記第2端部の第4方向に沿った位置は、前記第4端部の前記第4方向に沿った位置とは異なり、前記第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向に対して垂直であり、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
(構成2)
前記第3方向は、前記第2方向と交差する、構成1記載の磁気記憶装置。
(構成3)
前記第2方向と前記第3方向との間の角度は、90度以下である、構成1または2に記載の磁気記憶装置。
(構成4)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2延在領域の少なくとも一部は、前記第4方向において前記第1延在領域と重なる、構成1記載の磁気記憶装置。
(構成5)
前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1端部の前記第2方向に沿う位置は、前記第2端部の前記第2方向に沿う位置と、前記第4端部の前記第2方向に沿う位置と、の間にある、構成1記載の磁気記憶装置。 (構成6)
前記第1接続領域は、
前記第1端部と接続された第1カーブ部と、
前記第3端部と接続された第2カーブ部と、
前記第1カーブ部及び前記第2カーブ部と接続された接続部と、
を含む、構成5記載の磁気記憶装置。
(構成7)
第1方向に沿って延びる第1延在領域であって、前記第1方向に対して垂直な平面における前記第1延在領域の断面において、前記第1延在領域は第1曲率半径を有する前記第1延在領域と、
前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
前記第1方向に延び前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域であって、前記平面における前記第1接続領域の断面において、前記第1接続領域は前記第1曲率半径よりも小さい接続領域曲率半径を有する、前記第1接続領域と、
を備え、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
(構成8)
第1方向に沿って延びる第1延在領域と、
前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域と、
を含む磁性体を備え、
前記第1接続領域は、前記第1延在領域に対して後退または突出し、前記第2延在領域に対して後退または突出し、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。
(構成9)
前記第1延在領域の第1部分と離れ、磁性の第1対向体をさらに備えた、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成10)
前記第1磁気ドメインが前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗は、前記第1他領域が前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗とは異なる、構成9記載の磁気記憶装置。
(構成11)
前記第1延在領域と接続された第1制御磁性体と、
前記第1制御磁性体に対向する磁性の第1対向体と、
をさらに備えた、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成12)
前記第1対向体は、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施し、
前記第1動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域に別の磁気ドメインを生成し、前記第1他領域は、前記別の磁気ドメインの周りにさらに設けられ、
前記第2動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域から前記第1磁気ドメインを除去して前記第1状態とは異なる状態を生成する、構成9〜11のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成13)
前記磁性体と電気的に接続された第1電極と、
前記第1制御磁性体と電気的に接続された第2電極と、
をさらに備えた、構成10または11に記載の磁気記憶装置記憶装置。
(構成14)
第1電極と、
第2電極と、
をさらに備え、
前記第1延在領域は、
第1端領域と、
前記第1方向において前記第1端領域と並ぶ第2端領域と、
を含み、
前記第1電極は、前記第1端領域と接続され、
前記第2電極は、前記第2端領域と接続された、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置記憶装置。
(構成15)
前記第1磁気ドメインは、前記第1延在領域を流れる電流に応じて、前記第1延在領域を前記第1方向に沿って移動し、
前記電流は、前記第1延在領域を前記第1方向に沿って流れる、構成13または14に記載の磁気記憶装置。
(構成16)
第1電極と、
第2電極と、
をさらに備え、
前記第1電極及び前記第2電極は、前記磁性体に電気的に接続され、
前記第1延在領域の前記第2方向における位置は、前記第1電極の前記第2方向における位置と、前記第2電極の前記第2方向における位置と、の間に配置され、
前記第2延在領域の前記第2方向における位置は、前記第1延在領域の前記第2方向における前記位置と、前記第2電極の前記第2方向における前記位置と、の間に配置された、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成17)
前記第1磁気ドメインは、前記第1延在領域を流れる電流に応じて、前記第1延在領域を前記第1方向に沿って移動し、
前記電流は、前記第1延在領域を前記第2方向に沿って流れる、構成16記載の磁気記憶装置。
(構成18)
前記第1磁気ドメインの磁化の方向は、前記第1他領域の磁化の方向と逆である、構成1〜17に記載の磁気記憶装置幅。
(構成19)
前記第1延在領域は、前記第1方向及び第2方向に対して垂直な方向に沿う磁化を有する、構成1〜18のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
(構成20)
前記第1延在領域は、前記第1方向に沿って交互に並んだ、複数の広領域と、複数の狭領域と、を含み、
前記複数の広領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅は、前記複数の狭領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅よりも広い、構成1〜19のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
60…制御部、 θ…角度、 110〜116、117a〜117c、118、121〜124、131、132、21、211、310、410〜412、510〜512…磁気記憶装置、 D1〜D4…第1〜第4方向、 L1…長さ、 R1、R2…第1、第2曲率半径、 Rc…延在領域曲率半径、 STa〜STd…状態、 c1、c2…電流、 d1、d2…第1、第2ドメイン幅、 w1、w2…第1、第2長さ、 w3…幅、 w53…幅、 wn1…幅、 wnp…ピッチ、 ww1…幅、 wwp…ピッチ
Claims (10)
- 第1方向と前記第1方向と交差する第2方向とに沿って広がる第1延在領域であって、前記第1方向に延びる第1端部と、前記第1方向に延び前記第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含む、前記第1延在領域と、
前記第1方向と前記第1方向と交差する第3方向とに沿って広がる第2延在領域であって、前記第1方向に延びる第3端部と、前記第1方向に延び前記第3方向において前記第3端部から離れた第4端部と、を含む、前記第2延在領域と、
前記第1端部と前記第3端部との間に設けられ、前記第1端部を前記第3端部と接続する第1接続領域と、
を含む磁性体を備え、
前記第2端部の第4方向に沿った位置は、前記第4端部の前記第4方向に沿った位置とは異なり、前記第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向に対して垂直であり、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。 - 前記第3方向は、前記第2方向と交差する、請求項1記載の磁気記憶装置。
- 前記第3方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2延在領域の少なくとも一部は、前記第4方向において前記第1延在領域と重なる、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 第1方向に沿って延びる第1延在領域であって、前記第1方向に対して垂直な平面における前記第1延在領域の断面において、前記第1延在領域は第1曲率半径を有する前記第1延在領域と、
前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
前記第1方向に延び前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域であって、前記平面における前記第1接続領域の断面において、前記第1接続領域は前記第1曲率半径よりも小さい接続領域曲率半径を有する、前記第1接続領域と、
を備え、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。 - 第1方向に沿って延びる第1延在領域と、
前記第1方向に沿って延び前記第1方向と交差する第2方向において前記第1延在領域と並ぶ第2延在領域と、
前記第1延在領域を前記第2延在領域と接続する第1接続領域と、
を含む磁性体を備え、
前記第1接続領域は、前記第1延在領域に対して後退または突出し、前記第2延在領域に対して後退または突出し、
前記第1延在領域は、第1状態において、第1磁気ドメインと、前記第1磁気ドメインの周りに設けられた第1他領域と、を含む、磁気記憶装置。 - 前記第1延在領域の第1部分と離れ、磁性の第1対向体をさらに備えた、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
- 前記第1磁気ドメインが前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗は、前記第1他領域が前記第1部分に位置している状態における、前記第1延在領域と前記第1対向体との間の電気抵抗とは異なる、請求項6記載の磁気記憶装置。
- 前記第1延在領域と接続された第1制御磁性体と、
前記第1制御磁性体に対向する磁性の第1対向体と、
をさらに備えた、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。 - 前記第1対向体は、第1動作及び第2動作の少なくともいずれかを実施し、
前記第1動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域に別の磁気ドメインを生成し、前記第1他領域は、前記別の磁気ドメインの周りにさらに設けられ、
前記第2動作において、前記第1対向体は、前記第1延在領域から前記第1磁気ドメインを除去して前記第1状態とは異なる状態を生成する、請求項6〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。 - 前記第1延在領域は、前記第1方向に沿って交互に並んだ、複数の広領域と、複数の狭領域と、を含み、
前記複数の広領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅は、前記複数の狭領域のそれぞれの前記第2方向に沿った幅よりも広い、請求項1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
Priority Applications (2)
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