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JP2017019970A - Resin composition - Google Patents

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JP2017019970A
JP2017019970A JP2015140710A JP2015140710A JP2017019970A JP 2017019970 A JP2017019970 A JP 2017019970A JP 2015140710 A JP2015140710 A JP 2015140710A JP 2015140710 A JP2015140710 A JP 2015140710A JP 2017019970 A JP2017019970 A JP 2017019970A
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賢司 川合
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賢司 川合
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Abstract

【課題】粗度が低くても導体層に対し高いピール強度を示し、かつ低誘電正接を示す絶縁層を達成し得る樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)エポキシ樹脂と、(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物と、を含む樹脂組成物。【選択図】なしProvided is a resin composition capable of achieving an insulating layer exhibiting a high peel strength with respect to a conductor layer and exhibiting a low dielectric loss tangent even when the roughness is low. A resin composition comprising (A) an epoxy resin and (B) an active ester compound containing a triazine structure. [Selection figure] None

Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、接着フィルム、プリプレグ、プリント配線板及び半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition. Furthermore, the present invention relates to an adhesive film, a prepreg, a printed wiring board, and a semiconductor device.

プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。ビルドアップ方式による製造方法において、絶縁層は、一般に、樹脂組成物を硬化させて形成される。このような絶縁層を形成する樹脂組成物としては、たとえば、エポキシ樹脂、活性エステル化合物、トリアジン構造を有するフェノール樹脂、マレイミド化合物、及びフェノキシ樹脂を含有する樹脂組成物が知られている(特許文献1を参照)。   As a technique for manufacturing a printed wiring board, a manufacturing method by a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked is known. In the manufacturing method by the build-up method, the insulating layer is generally formed by curing a resin composition. As a resin composition for forming such an insulating layer, for example, a resin composition containing an epoxy resin, an active ester compound, a phenol resin having a triazine structure, a maleimide compound, and a phenoxy resin is known (Patent Literature). 1).

特開2013−234328号公報JP 2013-234328 A

特許文献1に記載の樹脂組成物によれば、粗度が低くても導体層に対し高い密着力(ピール強度)を示す絶縁層を提供することが可能であるが、更なる高性能化が望まれている。
本発明が解決しようとする課題は、粗度が低くても導体層に対し高いピール強度を示し、かつ誘電正接の低い絶縁層を達成し得る樹脂組成物を提供することである。
According to the resin composition described in Patent Document 1, it is possible to provide an insulating layer exhibiting high adhesion (peel strength) to the conductor layer even if the roughness is low, but further enhancement of performance is possible. It is desired.
The problem to be solved by the present invention is to provide a resin composition that exhibits a high peel strength with respect to a conductor layer even when the roughness is low and can achieve an insulating layer having a low dielectric loss tangent.

本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、(A)エポキシ樹脂と、(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物と、を組み合わせることによって上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by combining (A) an epoxy resin and (B) an active ester compound containing a triazine structure. It came to be completed.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂と、(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物と、を含む樹脂組成物。
[2] (A)エポキシ樹脂の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.1質量%〜30質量%である[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.1質量%〜30質量%である[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (B)トリアジン構造を有する活性エステル化合物が下記式(1)である、[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。

Figure 2017019970
(式中、X及びXは、それぞれ独立に、−O−又は−NH−を表し、
は、アミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、水素原子、又はハロゲン原子を表し、Rは、1価の芳香族基、1価の脂肪族基、又は1価の脂環式基を表し、
Ar及びArは、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい3価の芳香族基を表し、j及びkは、それぞれ正の数を表し、lは0以上の数を表す)
[5] (C)無機充填材を含む[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] (C)無機充填材の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、50質量%以上である[5]に記載の樹脂組成物。
[7] 熱硬化により形成される絶縁層の誘電正接が0.008以下である〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] 支持体と、該支持体上に設けられた[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を有する接着フィルム。
[9] [1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物がシート状繊維基材中に含浸されたプリプレグ。
[10] [1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板。
[11] [10]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition comprising (A) an epoxy resin and (B) an active ester compound containing a triazine structure.
[2] The resin composition according to [1], in which the content of the (A) epoxy resin is 0.1% by mass to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass.
[3] (B) The content of the active ester compound containing a triazine structure is 0.1% by mass to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass [1] or [ 2].
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein (B) the active ester compound having a triazine structure is represented by the following formula (1).
Figure 2017019970
(Wherein, X 1 and X 2 each independently represent —O— or —NH—,
R 1 represents an amino group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, a hydrogen atom, or a halogen atom, and R 2 represents a monovalent aromatic group, a monovalent aliphatic group, or a monovalent alicyclic group. Represents a group,
Ar 1 and Ar 2 each independently represents a trivalent aromatic group which may have a substituent, j and k each represents a positive number, and l represents a number of 0 or more)
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], comprising (C) an inorganic filler.
[6] The resin composition according to [5], wherein the content of (C) the inorganic filler is 50% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein a dielectric loss tangent of an insulating layer formed by thermosetting is 0.008 or less.
[8] An adhesive film having a support and a resin composition layer comprising the resin composition according to any one of [1] to [7] provided on the support.
[9] A prepreg in which the resin composition according to any one of [1] to [7] is impregnated in a sheet-like fiber base material.
[10] A printed wiring board including an insulating layer formed of a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [7].
[11] A semiconductor device including the printed wiring board according to [10].

本発明によれば、粗度が低くても、導体層に対し高いピール強度を示し、かつ低誘電正接を示す絶縁層を達成し得る樹脂組成物を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if roughness is low, the resin composition which can achieve the insulating layer which shows high peel strength with respect to a conductor layer, and shows a low dielectric loss tangent can be provided.

以下、本発明の樹脂組成物、接着フィルム、プリプレグ、プリント配線板及び半導体装置について説明する。   Hereinafter, the resin composition, adhesive film, prepreg, printed wiring board, and semiconductor device of the present invention will be described.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂と、(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物と、を含む。以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin and (B) an active ester compound containing a triazine structure. Hereinafter, each component contained in the resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂(以下、「(A)成分」ともいう)を含有する。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin (hereinafter also referred to as “component (A)”).

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, Phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type Epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring Epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane epoxy resin and the like. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)と、を含むことが好ましい。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用することで、優れた可撓性を有する樹脂組成物が得られる。また、樹脂組成物の硬化物の破断強度も向上する。   The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, it has two or more epoxy groups in one molecule, and has a liquid epoxy resin (hereinafter referred to as “liquid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. and three or more epoxy groups in one molecule, It is preferable to contain a solid epoxy resin (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin in combination as an epoxy resin, a resin composition having excellent flexibility can be obtained. Moreover, the breaking strength of the cured product of the resin composition is also improved.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「828US」、「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、ナガセケムテックス(株)製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、(株)ダイセル製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, and alicyclic epoxy resins having an ester skeleton. And epoxy resins having a butadiene structure are preferred, and bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins and naphthalene type epoxy resins are more preferred. Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032D”, “HP4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, “828US”, “jER828EL” (bisphenol A) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Type epoxy resin), “jER807” (bisphenol F type epoxy resin), “jER152” (phenol novolac type epoxy resin), “YL7760” (bisphenol AF type epoxy resin), “ZX1059” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. ( Bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin mixture), “EX-721” (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation, “Celoxide 2021P” (ester structure) manufactured by Daicel Corporation Alicyclic Epoxy with Resin), "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「HP−7200HH」、「EXA7311」、「EXA7311−G3」、「EXA7311−G4」、「EXA7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル(株)製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学(株)製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。   Solid epoxy resins include naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, Anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, and tetraphenylethane type epoxy resin are preferable, and naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, naphthol type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP4032H” (naphthalene type epoxy resin), “HP-4700”, “HP-4710” (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), “N-690” manufactured by DIC Corporation. "(Cresol novolac type epoxy resin)", "N-695" (Cresol novolac type epoxy resin), "HP-7200" (Dicyclopentadiene type epoxy resin), "HP-7200HH", "EXA7311", "EXA7311-G3 ”,“ EXA7311-G4 ”,“ EXA7311-G4S ”,“ HP6000 ”(naphthylene ether type epoxy resin),“ EPPN-502H ”(trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.,“ NC7000L ” (Naphthol novolac type epoxy resin), “NC3000 ”,“ NC3000 ”,“ NC3000L ”,“ NC3100 ”(biphenyl type epoxy resin),“ ESN475V ”(naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.,“ ESN485 ”(naphthol novolak type epoxy resin), Mitsubishi “YX4000H”, “YL6121” (biphenyl type epoxy resin), “YX4000HK” (bixylenol type epoxy resin), “YX8800” (anthracene type epoxy resin) manufactured by Kagaku Co., Ltd., “ “PG-100”, “CG-500”, “YL7800” (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “jER1010” (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “jER1031S” (Tetraphenylethane type epoxy resin) And the like.

エポキシ樹脂が、固形エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂を含んでいる場合、液状エポキシ樹脂の質量Mに対する固形エポキシ樹脂の質量Mの比(M/M)は0.1以上であるのが好ましく、0.3以上、0.5以上、1以上、又は1.5以上であるのがより好ましい。M/Mの上限値は、10以下であるのが好ましく、8以下、6以下、5以下、又は4以下であるのがより好ましい。M/Mを、斯かる範囲とすることにより、i)接着フィルムの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)接着フィルムの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができる等の効果が得られる。 Epoxy resin, if it contains solid epoxy resin and a liquid epoxy resin, the ratio of the mass M S of a solid epoxy resin to the weight M L of the liquid epoxy resin (M S / M L) is not less than 0.1 Preferably, it is 0.3 or more, 0.5 or more, 1 or more, or 1.5 or more. The upper limit of the M S / M L is preferably 10 or less, 8 or less, 6 or less, 5 or less, or more preferably 4 or less. The M S / M L, With such a range, i) moderate tackiness is brought when used in the form of adhesive film, ii) sufficient flexibility when used in the form of an adhesive film Is obtained, the handleability is improved, and iii) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained.

樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは22質量%以下である。
したがって樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、好ましくは0.1〜30質量%、より好ましくは5〜25質量%、さらに好ましくは10〜22質量%である。
The content of the component (A) in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and still more preferably from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. Is 10% by mass or more. Although the upper limit of content of an epoxy resin is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 30 mass% or less, More preferably, it is 25 mass% or less, More preferably, it is 22 mass% or less.
Therefore, the content of the component (A) in the resin composition is preferably 0.1 to 30% by mass, more preferably 5 to 25% by mass, and still more preferably 10 to 22% by mass.

なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。   In addition, in this invention, content of each component in a resin composition is a value when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass% unless there is separate description.

エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。   The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 to 5000, more preferably 50 to 3000, still more preferably 80 to 2000, and even more preferably 110 to 1000. By becoming this range, the crosslinked density of hardened | cured material becomes sufficient and it can bring about an insulating layer with small surface roughness. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of a resin containing 1 equivalent of an epoxy group.

エポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。   The weight average molecular weight of an epoxy resin becomes like this. Preferably it is 100-5000, More preferably, it is 250-3000, More preferably, it is 400-1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

<(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物>
本発明の樹脂組成物は、(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物(以下、「トリアジン構造含有活性エステル化合物」、「(B)成分」ともいう)を含有する。
<(B) Active ester compound containing triazine structure>
The resin composition of the present invention contains (B) an active ester compound containing a triazine structure (hereinafter also referred to as “triazine structure-containing active ester compound”, “component (B)”).

(B)成分は、トリアジン構造と活性エステル基とを含む化合物である。(B)成分は、(A)成分の硬化剤として作用する成分であり、トリアジン構造の触媒作用により、活性エステル基による硬化作用を促進することができる。(B)成分は、好ましくは、トリアジン構造とフェノール性水酸基とを含む樹脂において、フェノール性水酸基の少なくとも一部がアシル化されている化合物である。粗度が低くても導体層に対し高いピール強度を示すと共に誘電正接の低い絶縁層を得る観点から、フェノール性水酸基の合計量を100モル%としたとき、フェノール性水酸基の好ましくは80モル%以上、より好ましくは90モル%以上、さらに好ましくは95モル%以上、97モル%以上、又は99モル%以上がアシル化されていることが好適であり、実質的に全てのフェノール性水酸基がアシル化されていることが特に好適である。斯かる好適な化合物において、活性エステル基は、フェノール性水酸基がアシル化されて生じる。(B)成分において、活性エステル基としては、芳香族エステル基、脂肪族エステル基、及び脂環式エステル基からなる群から選択される1種以上のエステル基が好ましく、中でも芳香族エステル基が特に好ましい。芳香族エステル基としては、アリールエステル基、ヘテロアリールエステル基が挙げられ、アリールエステル基が好ましい。アリールエステル基の炭素原子数は好ましくは7〜15、より好ましくは7〜11である。ヘテロアリールエステル基の炭素原子数は好ましくは3〜14、より好ましくは3〜10である。脂肪族エステル基としては、アルキルエステル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは2〜7、より好ましくは2〜5、さらに好ましくは2又は3である。脂環式エステル基としては、シクロアルキルエステル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは4〜7である。   The component (B) is a compound containing a triazine structure and an active ester group. The component (B) is a component that acts as a curing agent for the component (A), and can promote the curing action by the active ester group by the catalytic action of the triazine structure. The component (B) is preferably a compound in which at least a part of the phenolic hydroxyl group is acylated in a resin containing a triazine structure and a phenolic hydroxyl group. From the viewpoint of obtaining an insulating layer having a high peel strength and a low dielectric loss tangent even when the roughness is low, when the total amount of phenolic hydroxyl groups is 100 mol%, the phenolic hydroxyl groups are preferably 80 mol%. More preferably, 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, 97 mol% or more, or 99 mol% or more is acylated, and substantially all phenolic hydroxyl groups are acylated. It is particularly preferred that In such preferred compounds, the active ester group results from acylation of the phenolic hydroxyl group. In the component (B), the active ester group is preferably at least one ester group selected from the group consisting of an aromatic ester group, an aliphatic ester group, and an alicyclic ester group. Particularly preferred. Examples of the aromatic ester group include an aryl ester group and a heteroaryl ester group, and an aryl ester group is preferable. The number of carbon atoms of the aryl ester group is preferably 7-15, more preferably 7-11. The number of carbon atoms of the heteroaryl ester group is preferably 3 to 14, more preferably 3 to 10. As the aliphatic ester group, an alkyl ester group is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 2 to 7, more preferably 2 to 5, and further preferably 2 or 3. As the alicyclic ester group, a cycloalkyl ester group is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 4 to 7.

(B)成分は、例えば、トリアジン構造とフェノール性水酸基とを含む樹脂と、カルボン酸化合物との縮合反応(アシル化反応)により調製することができる。トリアジン構造とフェノール性水酸基とを含む樹脂は、公知の方法により調製してよく、例えば、トリアジン構造を含む化合物と、フェノール性水酸基を含む化合物と、アルデヒド化合物とを縮合させて調製すればよい。トリアジン構造を含む化合物としては、例えば、メラミン;アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン誘導体;シアヌル酸;メチルシアヌレート、エチルシアヌレート、アセチルシアヌレート、塩化シアヌル等のシアヌル酸誘導体が挙げられ、中でも、メラミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、シアヌル酸が好ましい。フェノール性水酸基を含む化合物としては、フェノール化合物が好ましく、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール;エチルフェノール、ブチルフェノール、ノニルフェノール、オクチルフェノール等のアルキルフェノール類;ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、レゾルシン、カテコール等の多価フェノール類;ハロゲン化フェノール、フェニルフェノール、アミノフェノール等が挙げられる。アルデヒド化合物としては、ホルムアルデヒドが好ましい。トリアジン構造とフェノール性水酸基とを含む樹脂の好適な例としては、トリアジン構造含有フェノールノボラック樹脂、トリアジン構造含有クレゾールノボラック樹脂、トリアジン構造含有ナフトールノボラック樹脂等が挙げられ、中でも、トリアジン構造含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。   The component (B) can be prepared, for example, by a condensation reaction (acylation reaction) between a resin containing a triazine structure and a phenolic hydroxyl group and a carboxylic acid compound. The resin containing a triazine structure and a phenolic hydroxyl group may be prepared by a known method. For example, a resin containing a triazine structure, a compound containing a phenolic hydroxyl group, and an aldehyde compound may be prepared. Examples of the compound containing a triazine structure include melamine; guanamine derivatives such as acetoguanamine and benzoguanamine; cyanuric acid; cyanuric acid derivatives such as methyl cyanurate, ethyl cyanurate, acetyl cyanurate, and cyanuric chloride. Among them, melamine Acetguanamine, benzoguanamine and cyanuric acid are preferred. As the compound containing a phenolic hydroxyl group, a phenol compound is preferable, for example, phenol, cresol, xylenol; alkylphenols such as ethylphenol, butylphenol, nonylphenol, octylphenol; many such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, resorcin, and catechol Hydric phenols; halogenated phenols, phenylphenols, aminophenols and the like. As the aldehyde compound, formaldehyde is preferable. Preferable examples of the resin containing a triazine structure and a phenolic hydroxyl group include a triazine structure-containing phenol novolak resin, a triazine structure-containing cresol novolak resin, a triazine structure-containing naphthol novolak resin, and the like. Is preferred.

トリアジン構造とフェノール性水酸基とを含む樹脂のアシル化反応に用いるカルボン酸化合物としては、芳香族カルボン酸、脂肪族カルボン酸、脂環式カルボン酸から成る群から選択される1種以上のカルボン酸が好ましく、中でも芳香族カルボン酸が好ましい。芳香族カルボン酸としては、アリールカルボン酸、ヘテロアリールカルボン酸が挙げられ、アリールカルボン酸が好ましい。アリールカルボン酸の炭素原子数は好ましくは7〜15、より好ましくは7〜11である。ヘテロアリールカルボン酸の炭素原子数は好ましくは3〜14、より好ましくは3〜10である。脂肪族カルボン酸としては、アルキルカルボン酸が好ましく、その炭素原子数は好ましくは2〜7、より好ましくは2〜5、さらに好ましくは2又は3である。脂環式カルボン酸としては、シクロアルキルカルボン酸が好ましく、その炭素原子数は好ましくは4〜7である。カルボン酸化合物の好適な例としては、安息香酸、ナフタレンカルボン酸、アントラセンカルボン酸、酢酸、プロピオン酸等が挙げられる。これらのうち安息香酸が特に好ましい。   The carboxylic acid compound used in the acylation reaction of a resin containing a triazine structure and a phenolic hydroxyl group is one or more carboxylic acids selected from the group consisting of aromatic carboxylic acids, aliphatic carboxylic acids, and alicyclic carboxylic acids. Of these, aromatic carboxylic acids are preferred. Examples of the aromatic carboxylic acid include aryl carboxylic acids and heteroaryl carboxylic acids, and aryl carboxylic acids are preferable. The number of carbon atoms of the arylcarboxylic acid is preferably 7-15, more preferably 7-11. The number of carbon atoms of the heteroaryl carboxylic acid is preferably 3 to 14, more preferably 3 to 10. As the aliphatic carboxylic acid, an alkyl carboxylic acid is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 2 to 7, more preferably 2 to 5, and further preferably 2 or 3. As the alicyclic carboxylic acid, a cycloalkyl carboxylic acid is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 4 to 7. Preferable examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, naphthalene carboxylic acid, anthracene carboxylic acid, acetic acid, propionic acid and the like. Of these, benzoic acid is particularly preferred.

(B)成分の好適な例として、式(1)で表される化合物が挙げられる。   (B) As a suitable example of a component, the compound represented by Formula (1) is mentioned.

Figure 2017019970
(式中、 X及びXは、それぞれ独立に、−O−又は−NH−を表し、
は、アミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、水素原子、又はハロゲン原子を表し、Rは、1価の芳香族基、1価の脂肪族基、又は1価の脂環式基を表し、
Ar及びArは、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい3価の芳香族基を表し、j及びkは、それぞれ正の数を表し、lは0以上の数を表す)
Figure 2017019970
(Wherein, X 1 and X 2 each independently represent —O— or —NH—,
R 1 represents an amino group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, a hydrogen atom, or a halogen atom, and R 2 represents a monovalent aromatic group, a monovalent aliphatic group, or a monovalent alicyclic group. Represents a group,
Ar 1 and Ar 2 each independently represents a trivalent aromatic group which may have a substituent, j and k each represents a positive number, and l represents a number of 0 or more)

式(1)中、添え字jの付された構造単位、添え字kの付された構造単位、及び添え字lの付された構造単位は、それぞれブロック状に結合していてもよく、ランダムに結合していてもよい。   In the formula (1), the structural unit to which the subscript j is attached, the structural unit to which the subscript k is attached, and the structural unit to which the subscript l is attached may be combined in a block shape, and randomly. May be bonded to.

で表されるアルキル基又はアルコキシ基の炭素原子数は、好ましくは1〜6、より好ましくは1〜4、さらに好ましくは1又は2である。Rで表されるアリール基の炭素原子数は、好ましくは6〜14、より好ましくは6〜10である。Rで表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が挙げられる。 The number of carbon atoms of the alkyl group or alkoxy group represented by R 1 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 4, and still more preferably 1 or 2. The number of carbon atoms of the aryl group represented by R 1 is preferably 6 to 14, more preferably 6 to 10. Examples of the halogen atom represented by R 1 include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom.

で表される1価の芳香族基としては、アリール基、ヘテロアリール基が挙げられ、アリール基が好ましい。アリール基の炭素原子数は、好ましくは6〜14、より好ましくは6〜10である。ヘテロアリール基の炭素原子数は、好ましくは2〜13、より好ましくは2〜9である。Rで表される1価の脂肪族基としては、アルキル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは1〜6、より好ましくは1〜4、さらに好ましくは1又は2である。Rで表される1価の脂環式基としては、シクロアルキル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは3〜6である。中でも、Rは耐熱性向上の観点から1価の芳香族基であることが好適である。 Examples of the monovalent aromatic group represented by R 2 include an aryl group and a heteroaryl group, and an aryl group is preferable. The number of carbon atoms of the aryl group is preferably 6 to 14, more preferably 6 to 10. The number of carbon atoms in the heteroaryl group is preferably 2 to 13, more preferably 2 to 9. The monovalent aliphatic group represented by R 2 is preferably an alkyl group, and the number of carbon atoms thereof is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 4, and still more preferably 1 or 2. The monovalent alicyclic group represented by R 2 is preferably a cycloalkyl group, and the number of carbon atoms thereof is preferably 3-6. Among these, R 2 is preferably a monovalent aromatic group from the viewpoint of improving heat resistance.

Ar及びArで表される3価の芳香族基としては、アリールトリイル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは6〜14、より好ましくは6〜10、さらに好ましくは6(すなわち、ベンゼントリイル基)である。Ar及びArで表される3価の芳香族基は置換基を有していてもよい。該置換基としては、例えば、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールオキシ基、ハロゲン原子が挙げられる。置換基として用いられるアルキル基、アルコキシ基の炭素原子数は、好ましくは1〜6、より好ましくは1〜4、さらに好ましくは1〜3である。置換基として用いられるアリール基、アリールオキシ基の炭素原子数は、好ましくは6〜14、より好ましくは6〜10、さらに好ましくは6である。置換基として用いられるハロゲン原子としては、塩素原子が好ましい。 As the trivalent aromatic group represented by Ar 1 and Ar 2 , an aryltriyl group is preferable, and the number of carbon atoms is preferably 6 to 14, more preferably 6 to 10, and still more preferably 6 (that is, Benzenetriyl group). The trivalent aromatic group represented by Ar 1 and Ar 2 may have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, an aryloxy group, and a halogen atom. The number of carbon atoms of the alkyl group or alkoxy group used as a substituent is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 4, and still more preferably 1 to 3. The number of carbon atoms of the aryl group or aryloxy group used as a substituent is preferably 6 to 14, more preferably 6 to 10, and still more preferably 6. As a halogen atom used as a substituent, a chlorine atom is preferable.

j、k及びlは、式(1)で表される化合物の活性エステル基(R−C(=O)−O−基)当量が120〜500の範囲が好ましく、より好ましくは150〜400の範囲、さらに好ましくは180〜300の範囲となるような数を表す。ここで、kとlの合計に対するkの比、すなわち、k/(k+l)は、好ましくは0.8以上、より好ましくは0.9以上、さらに好ましくは0.95以上、0.97以上、又は0.99以上であり、実質的に1であることが特に好適である。 j, k, and l are preferably in the range of 120 to 500, more preferably 150 to 400, in terms of the active ester group (R 2 —C (═O) —O— group) equivalent of the compound represented by formula (1). And a number that is more preferably in the range of 180 to 300. Here, the ratio of k to the sum of k and l, that is, k / (k + 1) is preferably 0.8 or more, more preferably 0.9 or more, still more preferably 0.95 or more, 0.97 or more, Or it is 0.99 or more, and it is especially suitable that it is substantially 1.

トリアジン構造を含有する活性エステル化合物の具体例としては、例えば、DIC(株)製の「EXB9510」や「EXB9511」等が挙げられる。   Specific examples of the active ester compound containing a triazine structure include “EXB9510” and “EXB9511” manufactured by DIC Corporation.

樹脂組成物中の(B)成分の含有量は、ピール強度が高く低誘電正接の絶縁層を得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。(B)成分の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。
したがって樹脂組成物中の(B)成分の含有量は、好ましくは0.1〜30質量%、より好ましくは1〜25質量%、さらに好ましくは5〜20質量%である。
The content of the component (B) in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and further preferably 5% from the viewpoint of obtaining an insulating layer having high peel strength and a low dielectric loss tangent. It is at least mass%. Although the upper limit of content of (B) component is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 30 mass% or less, More preferably, it is 25 mass% or less, More preferably, it is 20 mass% or less. .
Therefore, the content of the component (B) in the resin composition is preferably 0.1 to 30% by mass, more preferably 1 to 25% by mass, and still more preferably 5 to 20% by mass.

<(B)成分以外の硬化剤>
本発明の樹脂組成物は(B)成分とともに(B)成分以外の硬化剤を含んでいてもよい。
(B)成分以外の硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されないが、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
<Curing agent other than component (B)>
The resin composition of the present invention may contain a curing agent other than the component (B) together with the component (B).
The curing agent other than the component (B) is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin. For example, a phenolic curing agent, a naphthol curing agent, an active ester curing agent, a benzoxazine curing agent, and a cyanate. Examples thereof include ester-based curing agents and carbodiimide-based curing agents. A hardening | curing agent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層(回路配線)との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性(剥離強度)を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂又はトリアジン骨格含有ナフトールノボラック樹脂を硬化剤として用いることが好ましい。   As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. Further, from the viewpoint of adhesion to the conductor layer (circuit wiring), a nitrogen-containing phenol-based curing agent or a nitrogen-containing naphthol-based curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol-based curing agent is more preferable. . Among these, from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion (peel strength) to the conductor layer, it is preferable to use a triazine skeleton-containing phenol novolac resin or a triazine skeleton-containing naphthol novolak resin as a curing agent.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成(株)製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、東都化成(株)製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN375」、「SN395」、DIC(株)製の「LA7052」、「LA7054」、「LA3018」等が挙げられる。   Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7785” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., and Nippon Kayaku Co., Ltd. “NHN”, “CBN”, “GPH”, “SN170”, “SN180”, “SN190”, “SN475”, “SN485”, “SN495”, “SN375”, “SN395” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. "LA7052", "LA7054", "LA3018", etc. manufactured by DIC Corporation.

活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as an active ester type hardening | curing agent, Generally ester groups with high reaction activity, such as phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester, ester of heterocyclic hydroxy compound, are in 1 molecule. A compound having two or more in the above is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like.

具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。   Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of a phenol novolak, and an active ester compound containing a benzoylated product of a phenol novolak are preferred. Of these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadienyl diphenol structure are more preferred.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学(株)製)などが挙げられる。   Commercially available active ester curing agents include "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T" (DIC Corporation) as active ester compounds containing a dicyclopentadienyl diphenol structure. Manufactured product), "EXB9416-70BK" (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, Examples of the active ester compound containing a benzoylated compound include “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。   Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート))、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4′-methylene bis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4, 4'-ethylidenediphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5- Bifunctional cyanate resins such as dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether; Phenol novolac and Polyfunctional cyanate resin derived from resol novolac, these cyanate resins and partially triazine of prepolymer. Specific examples of the cyanate ester curing agent include “PT30” and “PT60” (both phenol novolak polyfunctional cyanate ester resins) and “BA230” (part or all of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. And the like, and the like, and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。   Specific examples of the carbodiimide curing agent include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.

エポキシ樹脂と硬化剤[(B)成分及び(B)成分以外の硬化剤]との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2〜1:2の範囲が好ましく、1:0.3〜1:1.5がより好ましく、1:0.4〜1:1がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。   The amount ratio of the epoxy resin and the curing agent [(B) component and curing agent other than the component (B)] is a ratio of [total number of epoxy groups of epoxy resin]: [total number of reactive groups of curing agent]. The range of 1: 0.2 to 1: 2 is preferable, 1: 0.3 to 1: 1.5 is more preferable, and 1: 0.4 to 1: 1 is more preferable. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group or the like, and varies depending on the type of the curing agent. Moreover, the total number of epoxy groups of the epoxy resin is a value obtained by dividing the value obtained by dividing the solid mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of reactive groups of the curing agent is: The value obtained by dividing the solid mass of each curing agent by the reactive group equivalent is the total value for all curing agents. By setting the amount ratio of the epoxy resin and the curing agent in such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

<(C)無機充填剤>
本発明の樹脂組成物は、(C)無機充填材(以下、「(C)成分」ともいう)を含有していてもよい。
無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。またシリカとしては球状シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。無機充填材の市販品としては、例えば(株)アドマテックス製「SO−C2」、「SO−C1」等が挙げられる。
<(C) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention may contain (C) an inorganic filler (hereinafter also referred to as “component (C)”).
The material of the inorganic filler is not particularly limited. For example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, water Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , Zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Of these, silica is particularly preferred. Moreover, spherical silica is preferable as the silica. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Examples of commercially available inorganic fillers include “SO-C2” and “SO-C1” manufactured by Admatechs Corporation.

無機充填材の平均粒径は特に限定されないが、表面粗さの小さい絶縁層を得る観点や微細配線形成性向上の観点から、4μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、2μm以下がさらに好ましく、1μm以下、0.7μm以下、0.5μm以下、0.4μm以下、又は0.3μm以下がさらにより好ましい。一方、樹脂組成物を使用して樹脂ワニスを形成する際に適度な粘度を有し取り扱い性の良好な樹脂ワニスを得る観点から、無機充填材の平均粒径は、0.01μm以上が好ましく、0.03μm以上がより好ましく、0.05μm以上、0.07μm以上、又は0.1μm以上がさらに好ましい。   The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 4 μm or less, more preferably 3 μm or less, and even more preferably 2 μm or less from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a small surface roughness and improving the fine wiring formability. More preferably, it is 1 μm or less, 0.7 μm or less, 0.5 μm or less, 0.4 μm or less, or 0.3 μm or less. On the other hand, from the viewpoint of obtaining a resin varnish having an appropriate viscosity and good handleability when forming a resin varnish using the resin composition, the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, 0.03 μm or more is more preferable, 0.05 μm or more, 0.07 μm or more, or 0.1 μm or more is more preferable.

無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製「LA−500」等を使用することができる。   The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, “LA-500” manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.

無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業(株)製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM−4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)等が挙げられる。   Inorganic fillers are aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, organosilazane compounds, titanate coupling agents from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. It is preferable that it is processed with 1 or more types of surface treating agents. Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxy manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Silane), Shin-Etsu Chemical "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "SZ-31" (hexamethyldisilazane) manufactured by KK, "KBM103" (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-4803" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (long-chain epoxy type) Silane coupling agent).

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferable. On the other hand, 1 mg / m 2 or less is preferable, 0.8 mg / m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg / m 2 or less is more preferable from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin varnish or the sheet form. preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。   The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent and ultrasonically cleaned at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid, the carbon amount per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, “EMIA-320V” manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

樹脂組成物中の(C)成分の含有量は、特に限定されないが熱膨張率の低い絶縁層を得る観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上又は65質量%以上である。樹脂組成物中の無機充填材の含有量の上限は、好ましくは95質量%以下、より好ましくは90質量%以下である。   Although content of (C) component in a resin composition is not specifically limited, From a viewpoint of obtaining an insulating layer with a low coefficient of thermal expansion, Preferably it is 50 mass% or more, More preferably, it is 60 mass% or more or 65 mass% or more. is there. The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less.

本発明の樹脂組成物は上記(A)〜(C)成分及び(B)以外の硬化剤以外に、熱可塑性樹脂、硬化促進剤、難燃剤及びゴム粒子等の添加剤を含んでいてもよい。   The resin composition of the present invention may contain additives such as thermoplastic resins, curing accelerators, flame retardants, and rubber particles in addition to the curing agents other than the components (A) to (C) and (B). .

−熱可塑性樹脂−
熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂が挙げられ、これらのうち、フェノキシ樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
-Thermoplastic resin-
Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, and polyether. Examples thereof include thermoplastic resins such as ether ketone resins and polyester resins, and among these, phenoxy resins are preferred. A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は5,000〜100,000の範囲が好ましく、10,000〜60,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲がさらに好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度を40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably in the range of 5,000 to 100,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be calculated using a standard polystyrene calibration curve by measuring the column temperature at 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YL6954BH30」、「YX7553」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Examples thereof include phenoxy resins having a skeleton and one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin), “YX8100” (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin), and “YX6954” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). In addition, “FX280” and “FX293” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., “YL6954BH30”, “YX7553”, “YL7769BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., “YL6794”, “YL7213”, “YL7290”, “YL7482” and the like.

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業(株)製の「電化ブチラール4000−2」、「電化ブチラール5000−A」、「電化ブチラール6000−C」、「電化ブチラール6000−EP」、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。   Examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl formal resin and a polyvinyl butyral resin, and a polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include, for example, “Electrical butyral 4000-2”, “Electrical butyral 5000-A”, “Electrical butyral 6000-C”, and “Electrical butyral 6000-EP” manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Sekisui Chemical Co., Ltd.'s S-REC BH series, BX series, KS series, BL series, BM series and the like.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyimide resin include “Rika Coat SN20” and “Rika Coat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride (polyimide described in JP-A-2006-37083), a polysiloxane skeleton. Examples thereof include modified polyimides such as containing polyimide (polyimides described in JP-A Nos. 2002-12667 and 2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyamide-imide resin include “Bilomax HR11NN” and “Bilomax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamideimide resin also include modified polyamideimides such as “KS9100” and “KS9300” (polysiloxane skeleton-containing polyamideimide) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。   Specific examples of the polyethersulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。   Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.

中でも、他の成分との組み合わせにおいて、表面粗度がさらに低く導体層との密着性により優れる絶縁層を得る観点から、熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。したがって好適な一実施形態において、(D)成分は、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。   Among these, phenoxy resin and polyvinyl acetal resin are preferable as the thermoplastic resin from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a lower surface roughness and superior adhesion to the conductor layer in combination with other components. Therefore, in one suitable embodiment, (D) component contains 1 or more types selected from the group which consists of a phenoxy resin and polyvinyl acetal resin.

樹脂組成物中の熱可塑性樹脂の含有量は、特に限定されないが、好ましくは0質量%〜20質量%、より好ましくは0.5質量%〜10質量%、さらに好ましくは1質量%〜5質量%である。   The content of the thermoplastic resin in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass to 10% by mass, and even more preferably 1% by mass to 5% by mass. %.

−硬化促進剤−
硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
-Curing accelerator-
Examples of the curing accelerator include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, and imidazole-based accelerators. A curing accelerator is preferable, and an amine-based curing accelerator and an imidazole-based curing accelerator are more preferable. A hardening accelerator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。   Examples of phosphorus curing accelerators include triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate. , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferable.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられ、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。   Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl) phenol, 1,8-diazabicyclo. (5,4,0) -undecene and the like are mentioned, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。   Examples of the imidazole curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2 Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2′-Methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl- 4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl Examples include imidazole compounds such as 3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins, such as 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenyl. Imidazole is preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱化学(株)製の「P200−H50」等が挙げられる。   Commercially available products may be used as the imidazole curing accelerator, and examples thereof include “P200-H50” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。   Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methyl biguanide, 1-ethyl biguanide, 1-n-butyl biguanide, 1-n-octadecyl biguanide, 1,1-dimethyl biguanide, 1,1-diethyl biguanide, 1-cyclohexyl biguanide, 1 -Allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1- ( - tolyl) biguanide, and the like, dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene are preferred.

樹脂組成物中の硬化促進剤の含有量は特に限定されないが、0.05質量%〜3質量%の範囲で使用することが好ましい。   Although content of the hardening accelerator in a resin composition is not specifically limited, It is preferable to use in 0.05 mass%-3 mass%.

−難燃剤−
本発明の樹脂組成物は、難燃剤を含んでもよい。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
-Flame retardant-
The resin composition of the present invention may contain a flame retardant. Examples of the flame retardant include an organic phosphorus flame retardant, an organic nitrogen-containing phosphorus compound, a nitrogen compound, a silicone flame retardant, and a metal hydroxide. A flame retardant may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

難燃剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三光(株)製の「HCA−HQ」等が挙げられる。   Commercially available products may be used as the flame retardant, and examples thereof include “HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.

樹脂組成物中の難燃剤の含有量は特に限定されないが、好ましくは0.5質量%〜20質量%、より好ましくは1質量%〜15質量%、さらに好ましくは1.5質量%〜10質量%がさらに好ましい。   The content of the flame retardant in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, more preferably 1% by mass to 15% by mass, and even more preferably 1.5% by mass to 10% by mass. % Is more preferable.

−有機充填材−
樹脂組成物は、さらに有機充填材を含んでもよい。有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等が挙げられ、ゴム粒子が好ましい。
-Organic filler-
The resin composition may further contain an organic filler. As the organic filler, any organic filler that can be used for forming an insulating layer of a printed wiring board may be used. Examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicone particles, and rubber particles are preferable.

ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、アイカ工業(株)製の「AC3816N」等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the rubber particles, and examples thereof include “AC3816N” manufactured by Aika Industry Co., Ltd.

樹脂組成物中の有機充填材の含有量は、好ましくは1質量%〜20質量%、より好ましくは2質量%〜10質量%である。   The content of the organic filler in the resin composition is preferably 1% by mass to 20% by mass, more preferably 2% by mass to 10% by mass.

樹脂組成物は、さらに必要に応じて、難燃剤、及び有機充填材以外の他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに有機フィラー、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、及び着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。   The resin composition may further contain other additives other than the flame retardant and the organic filler, if necessary. Examples of such other additives include an organic copper compound, an organic zinc compound, and Examples thereof include organic metal compounds such as organic cobalt compounds, and resin additives such as organic fillers, thickeners, antifoaming agents, leveling agents, adhesion imparting agents, and coloring agents.

[接着フィルム]
本発明の接着フィルムは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を有する。
[Adhesive film]
The adhesive film of this invention has a support body and the resin composition layer provided on this support body containing the resin composition of this invention.

樹脂組成物層の厚さは、絶縁層の薄層化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、さらにより好ましくは50μm以下、又は40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、1μm以上、5μm以上、10μm以上等とし得る。   The thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, and even more preferably 50 μm or less, or 40 μm or less from the viewpoint of thinning the insulating layer. Although the minimum of the thickness of a resin composition layer is not specifically limited, Usually, it may be 1 micrometer or more, 5 micrometers or more, 10 micrometers or more, etc.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。   Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”) and polyethylene naphthalate (hereinafter abbreviated as “PEN”). .) Polyester, polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as “PC”), polymethyl methacrylate (PMMA) and other acrylics, cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether Examples include ketones and polyimides. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。   When using metal foil as a support body, as metal foil, copper foil, aluminum foil, etc. are mentioned, for example, Copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.). It may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。   The support may be subjected to mat treatment or corona treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」等が挙げられる。   Moreover, as a support body, you may use the support body with a release layer which has a release layer in the surface joined to a resin composition layer. Examples of the release agent used for the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . As the support with a release layer, a commercially available product may be used. For example, “SK-1” manufactured by Lintec Corporation, which is a PET film having a release layer mainly composed of an alkyd resin release agent. , “AL-5”, “AL-7” and the like.

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。   Although it does not specifically limit as thickness of a support body, The range of 5 micrometers-75 micrometers is preferable, and the range of 10 micrometers-60 micrometers is more preferable. In addition, when using a support body with a release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a release layer is the said range.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。   For the adhesive film, for example, a resin varnish obtained by dissolving a resin composition in an organic solvent is prepared, and this resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and further dried to form a resin composition layer. Can be manufactured.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butyl carbitol, etc. Carbitols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc), and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   Drying may be performed by a known method such as heating or hot air blowing. The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, the resin composition is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. A physical layer can be formed.

接着フィルムの、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。   A protective film according to the support can be further laminated on the surface of the adhesive film that is not joined to the support of the resin composition layer (that is, the surface opposite to the support). Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, they are 1 micrometer-40 micrometers. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from being attached to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can be stored in a roll. When an adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

本発明の接着フィルムは、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するため(プリント配線板の層間絶縁層用)により好適に使用することができる。   The adhesive film of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board), and for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (a printed wiring board). For the interlayer insulating layer).

[プリプレグ]
本発明のプリプレグは、本発明の樹脂組成物が、シート状繊維基材中に含浸されていることを特徴とする。
[Prepreg]
The prepreg of the present invention is characterized in that the resin composition of the present invention is impregnated in a sheet-like fiber base material.

プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。絶縁層の薄層化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下であり、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、さらにより好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されないが、通常、10μm以上である。   The sheet-like fiber base material used for a prepreg is not specifically limited, What is used normally as base materials for prepregs, such as a glass cloth, an aramid nonwoven fabric, a liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used. From the viewpoint of thinning the insulating layer, the thickness of the sheet-like fiber substrate is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, and even more preferably 20 μm or less. Although the minimum of the thickness of a sheet-like fiber base material is not specifically limited, Usually, it is 10 micrometers or more.

プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の公知の方法により製造することができる。   The prepreg can be produced by a known method such as a hot melt method or a solvent method.

プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲とし得る。   The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the adhesive film described above.

本発明のプリプレグは、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するため(プリント配線板の層間絶縁層用)により好適に使用することができる。   The prepreg of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board), and for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (for a printed wiring board). (For interlayer insulating layers).

[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むことを特徴とする。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed of a cured product of the resin composition of the present invention.

例えば、本発明のプリント配線板は、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
For example, the printed wiring board of the present invention can be produced by a method including the following steps (I) and (II) using the above-mentioned adhesive film.
(I) A step of laminating an adhesive film on an inner layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) A step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)で用いる「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用すればよい。   The “inner layer substrate” used in step (I) is mainly a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or one or both surfaces of the substrate. A circuit board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed. Further, when the printed wiring board is manufactured, an inner layer circuit board of an intermediate product in which an insulating layer and / or a conductor layer is further formed is also included in the “inner layer board” in the present invention. When the printed wiring board is a component built-in circuit board, an inner layer board with built-in components may be used.

内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。   Lamination | stacking of an inner layer board | substrate and an adhesive film can be performed by heat-pressing an adhesive film to an inner layer board | substrate from the support body side, for example. Examples of the member that heat-presses the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as “heat-pressing member”) include a heated metal plate (SUS end plate, etc.) or a metal roll (SUS roll). In addition, it is preferable not to press the thermocompression bonding member directly on the adhesive film but to press it through an elastic material such as heat resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the surface irregularities of the inner layer substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。   Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film may be performed by a vacuum laminating method. In the vacuum laminating method, the thermocompression bonding temperature is preferably in the range of 60 ° C to 160 ° C, more preferably 80 ° C to 140 ° C, and the thermocompression bonding pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. The thermocompression bonding time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably performed under reduced pressure conditions with a pressure of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製のバキュームアップリケーター等が挙げられる。   Lamination can be performed with a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton, and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。   After lamination, the laminated adhesive film may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same conditions as the thermocompression bonding conditions for the laminate. The smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. In addition, you may perform lamination | stacking and a smoothing process continuously using said commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。   The support may be removed between step (I) and step (II), or may be removed after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。   In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。   The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and the conditions normally employed when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜220℃の範囲、より好ましくは170℃〜200℃の範囲)、硬化時間は5分間〜120分間の範囲(好ましくは10分間〜100分間、より好ましくは15分間〜90分間)とすることができる。   For example, although the thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on the type of the resin composition, the curing temperature is in the range of 120 ° C to 240 ° C (preferably in the range of 150 ° C to 220 ° C, more preferably in the range of 170 ° C to 200 ° C.) and the curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。   Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is formed at a temperature of 50 ° C. or higher and lower than 120 ° C. (preferably 60 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 100 ° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

樹脂組成物(層)の熱硬化により形成される絶縁層の誘電正接は、好ましくは0.008以下、より好ましくは0.007以下、さらに好ましくは0.006以下である。下限値は特に限定されないが、0.001以上、0.003以上などとなる。   The dielectric loss tangent of the insulating layer formed by thermosetting the resin composition (layer) is preferably 0.008 or less, more preferably 0.007 or less, and further preferably 0.006 or less. Although a lower limit is not specifically limited, It will be 0.001 or more, 0.003 or more, etc.

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。   When manufacturing a printed wiring board, you may further implement (III) the process of drilling in an insulating layer, (IV) the process of roughening an insulating layer, and (V) the process of forming a conductor layer. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art, which are used in the production of printed wiring boards. In addition, when removing a support body after process (II), removal of this support body is performed between process (II) and process (III), between process (III) and process (IV), or process ( It may be carried out between IV) and step (V).

本発明のプリント配線板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。   The printed wiring board of this invention can be manufactured using the above-mentioned prepreg. The manufacturing method is basically the same as when an adhesive film is used.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。   Step (III) is a step of making a hole in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃〜80℃の膨潤液に硬化体を5分間〜15分間浸漬させることが好ましい。酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。   Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions for the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are usually used when forming an insulating layer of a printed wiring board can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. Although it does not specifically limit as a swelling liquid, An alkaline solution, surfactant solution, etc. are mentioned, Preferably it is an alkaline solution, As this alkaline solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include “Swelling Dip Securigans P” and “Swelling Dip Securigans SBU” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. Although the swelling process by a swelling liquid is not specifically limited, For example, it can perform by immersing an insulating layer for 1 minute-20 minutes in 30 degreeC-90 degreeC swelling liquid. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling liquid at 40 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 15 minutes. Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, the alkaline permanganate solution which melt | dissolved potassium permanganate and sodium permanganate in the aqueous solution of sodium hydroxide is mentioned. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as “Concentrate Compact CP” and “Dosing Solution Securigans P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The neutralizing solution is preferably an acidic aqueous solution. Examples of commercially available products include “Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability and the like, a method of immersing an object subjected to roughening treatment with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 ° C. to 70 ° C. for 5 minutes to 20 minutes is preferable.

粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さRa(粗度)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下、250nm以下、200nm以下、又は150nm以下である。下限値は特に限定されないが、10nm以上、50nm以上などとなる。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。非接触型表面粗さ計の具体例としては、ビーコインスツルメンツ社製の「WYKO NT3300」が挙げられる。   The arithmetic average roughness Ra (roughness) of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, still more preferably 300 nm or less, 250 nm or less, 200 nm or less, or 150 nm or less. Although a lower limit is not specifically limited, It will be 10 nm or more, 50 nm or more, etc. The arithmetic average roughness (Ra) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact type surface roughness meter. As a specific example of the non-contact type surface roughness meter, “WYKO NT3300” manufactured by Becoins Instruments is cited.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。   Step (V) is a step of forming a conductor layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好ましくは、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。   The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. Preferably, the conductor layer includes one or more metals selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin, and indium. . The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. As the alloy layer, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper- A layer formed from a nickel alloy and a copper / titanium alloy). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel / chromium alloy, copper / An alloy layer of nickel alloy or copper / titanium alloy is preferable, and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel / chromium alloy is more preferable, and a single layer of copper is preferable. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。   The conductor layer may have a single layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel / chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。   Although the thickness of a conductor layer is based on the design of a desired printed wiring board, generally it is 3 micrometers-35 micrometers, Preferably it is 5 micrometers-30 micrometers.

導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。   The conductor layer may be formed by plating. For example, the surface of the insulating layer can be plated by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full additive method to form a conductor layer having a desired wiring pattern. Hereinafter, an example in which the conductor layer is formed by a semi-additive method will be described.

まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。   First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern that exposes a part of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern is formed on the formed plating seed layer. A metal layer is formed by electrolytic plating on the exposed plating seed layer, and then the mask pattern is removed. Thereafter, an unnecessary plating seed layer can be removed by etching or the like to form a conductor layer having a desired wiring pattern.

本発明の樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は、導体層に対し高いピール強度を示す。ピール強度は、好ましくは0.40kgf/cm以上、より好ましくは0.45kgf/cm以上である。ピール強度の上限値は特に限定されないが、1.2kgf/cm以下、0.90kgf/cm以下などとなる。本発明においては、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さRa(粗度)が小さいにもかかわらず、このように高いピール強度を呈する絶縁層を形成し得ることから、回路配線の微細化に著しく寄与するものである。なお本発明において、絶縁層と導体層とのピール強度とは、導体層を絶縁層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度(90度ピール強度)をいい、導体層を絶縁層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度を引っ張り試験機で測定することにより求めることができる。引っ張り試験機としては、例えば、(株)TSE製の「AC−50C−SL」等が挙げられる。   The insulating layer formed using the resin composition of the present invention exhibits high peel strength with respect to the conductor layer. The peel strength is preferably 0.40 kgf / cm or more, more preferably 0.45 kgf / cm or more. The upper limit value of the peel strength is not particularly limited, but is 1.2 kgf / cm or less, 0.90 kgf / cm or less, and the like. In the present invention, although the arithmetic average roughness Ra (roughness) of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is small, an insulating layer exhibiting such a high peel strength can be formed. It contributes significantly to miniaturization. In the present invention, the peel strength between the insulating layer and the conductor layer refers to a peel strength (90-degree peel strength) when the conductor layer is peeled off in a direction perpendicular to the insulating layer (90-degree direction). The peel strength when the layer is peeled in the direction perpendicular to the insulating layer (90-degree direction) can be determined by measuring with a tensile tester. Examples of the tensile tester include “AC-50C-SL” manufactured by TSE Corporation.

[半導体装置]
本発明の半導体装置は、プリント配線板を含むことを特徴とする。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
The semiconductor device of the present invention includes a printed wiring board. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。   Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used for electrical products (for example, computers, mobile phones, digital cameras, and televisions) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。   The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. The “conduction location” is a “location where an electrical signal is transmitted on a printed wiring board”, and the location may be a surface or an embedded location. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。   The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bumps. Examples include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF). Here, “a mounting method using a build-up layer without a bump (BBUL)” means “a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a recess of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected”. It is.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, “parts” and “%” mean “parts by mass” and “% by mass”, respectively, unless otherwise specified.

(実施例1)
液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(、三菱化学(株)製「828US」、エポキシ当量190)15部と、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(エポキシ当量291、日本化薬(株)製「NC3000H」)15部とをメチルエチルケトン(以下「MEK」と略称する。)5部、シクロヘキサノン5部に撹拌しながら加熱溶解させた。そこへ、トリアジン構造含有活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB9510」、活性エステル当量214)を不揮発分60%となるようにMEKに溶解させた溶液を25部、硬化促進剤(広栄化学工業(株)製、「4−ジメチルアミノピリジン」)0.1部、球形シリカ(平均粒径0.5μm、フェニルアミノシラン処理付「SO−C2」、(株)アドマテックス製、単位重量あたりのカーボン量0.18%)100部、フェノキシ樹脂(YX6954BH30、固形分30質量%のMEK及びシクロヘキサノン溶液、重量平均分子量35000)15部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次に、かかる樹脂ワニスをポリエチレンテレフタレート(厚さ38μm、以下「PET」と略称する。)上に、乾燥後の樹脂厚みが40μmとなるようにダイコーターにて塗布し、80〜120℃(平均100℃)で6分間乾燥させて、シート状の接着フィルムを得た。
(Example 1)
15 parts of liquid bisphenol A type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation "828US", epoxy equivalent 190) and biphenyl aralkyl type epoxy resin (epoxy equivalent 291; Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000H") Was dissolved in 5 parts of methyl ethyl ketone (hereinafter abbreviated as “MEK”) and 5 parts of cyclohexanone with stirring. Thereto, 25 parts of a solution in which a triazine structure-containing active ester compound (“EXB9510” manufactured by DIC Corporation, active ester equivalent 214) was dissolved in MEK so as to have a nonvolatile content of 60%, a curing accelerator (Guangei Chemical Industry Co., Ltd.) Co., Ltd., “4-dimethylaminopyridine”) 0.1 part, spherical silica (average particle size 0.5 μm, phenylaminosilane-treated “SO-C2”, manufactured by Admatechs, carbon per unit weight 100 parts of 0.18%) and 15 parts of phenoxy resin (YX6954BH30, 30% by weight solid MEK and cyclohexanone solution, weight average molecular weight 35000) are mixed and uniformly dispersed with a high-speed rotating mixer to produce a resin varnish. did. Next, the resin varnish was applied onto polyethylene terephthalate (thickness 38 μm, hereinafter abbreviated as “PET”) with a die coater so that the resin thickness after drying was 40 μm, and 80 to 120 ° C. (average (100 ° C.) for 6 minutes to obtain a sheet-like adhesive film.

(実施例2)
実施例1のトリアジン構造含有活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB9510」、活性エステル当量214、不揮発分60%のMEK溶液)を、トリアジン構造含有活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB9511」、活性エステル当量240)を不揮発分60%となるようにMEKに溶解させた溶液)に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニスを作成し、接着フィルムを得た。
(Example 2)
The triazine structure-containing active ester compound of Example 1 (“EXB9510” manufactured by DIC Corporation, MEK solution having an active ester equivalent of 214 and a nonvolatile content of 60%) was converted into the triazine structure-containing active ester compound (“EXB9511” manufactured by DIC Corporation). A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that the active ester equivalent 240) was changed to a solution in MEK so that the nonvolatile content was 60%, and an adhesive film was obtained.

(実施例3)
実施例1の液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828US」、エポキシ当量190)15部をナフタレン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「EXA4032SS」、エポキシ当量143)10部に変更するとともに、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000H」、エポキシ当量291)15部をナフトールアラルキル型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製「ESN475V」、エポキシ当量331)15部に変更したこと以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニスを作製し、接着フィルムを得た。
Example 3
15 parts of liquid bisphenol A type epoxy resin (“828US” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 190) in Example 1 is changed to 10 parts of naphthalene type epoxy resin (“EXA4032SS” manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent 143) In addition, 15 parts of biphenyl aralkyl type epoxy resin (“NC3000H” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 291) is added to 15 parts of naphthol aralkyl type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 331). A resin varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive film was changed to an adhesive film.

(実施例4)
実施例2の液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828US」、エポキシ当量190)15部をナフタレン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「EXA4032SS」、エポキシ当量143)10部に変更するとともに、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000H」、エポキシ当量291)15部をナフトールアラルキル型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製「ESN475V」、エポキシ当量331)15部に変更したこと以外は、実施例2と同様にして樹脂ワニスを作製し、接着フィルムを得た。
Example 4
15 parts of liquid bisphenol A type epoxy resin (“828US” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 190) of Example 2 was changed to 10 parts of naphthalene type epoxy resin (“EXA4032SS” manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent 143) In addition, 15 parts of biphenyl aralkyl type epoxy resin (“NC3000H” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 291) is added to 15 parts of naphthol aralkyl type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 331). A resin varnish was produced in the same manner as in Example 2 except that the adhesive film was changed to an adhesive film.

(比較例1)
実施例3のトリアジン構造含有活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB−9510」、活性エステル当量214)を、トリアジン構造を含有しない活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC−8000−65T」、活性エステル当量223、不揮発分65%のトルエン溶液)20部に変更したこと以外は、実施例3と同様にして樹脂ワニスを作製し、接着フィルムを得た。
(Comparative Example 1)
The triazine structure-containing active ester compound (“EXB-9510” manufactured by DIC Corporation, active ester equivalent 214) of Example 3 was used as the active ester compound containing no triazine structure (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation). Resin varnish was prepared in the same manner as in Example 3 except that it was changed to 20 parts of a toluene solution having an active ester equivalent of 223 and a non-volatile content of 65% to obtain an adhesive film.

(比較例2)
実施例3のトリアジン構造含有活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB−9510」、活性エステル当量214)を、トリアジン構造含有フェノールノボラック化合物(DIC(株)製「LA7052」、フェノール性水酸基当量120、不揮発分60%のMEK溶液)15部に変更するとともに、フェニルアミノシラン処理付「SO−C2」、(株)アドマテックス製、単位重量あたりのカーボン量0.18%)の添加量を65部としたこと以外は、実施例3と同様にして樹脂ワニスを作製し、接着フィルムを得た。
(Comparative Example 2)
The triazine structure-containing active ester compound of Example 3 (DIC Corporation "EXB-9510", active ester equivalent 214) was converted to a triazine structure-containing phenol novolak compound (DIC Corporation "LA7052", phenolic hydroxyl group equivalent 120). The MEK solution having a non-volatile content of 60% was changed to 15 parts, and the addition amount of “SO-C2” with phenylaminosilane treatment (manufactured by Admatechs Co., Ltd., carbon amount 0.18% per unit weight) was 65 parts. Except for the above, a resin varnish was prepared in the same manner as in Example 3 to obtain an adhesive film.

(比較例3)
実施例3のトリアジン構造含有活性エステル化合物(DIC(株)製「EXB−9510」、活性エステル当量214)を、トリアジン構造含有フェノールノボラック化合物(DIC(株)製「LA7052」、フェノール性水酸基当量120、不揮発分60%のMEK溶液)10部及びトリアジン構造を含有しない活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC−8000−65T」、活性エステル当量223、不揮発分65%のトルエン溶液)5部に変更するとともに、フェニルアミノシラン処理付「SO−C2」、(株)アドマテックス製、単位重量あたりのカーボン量0.18%)の添加部数を65部としたこと以外は、実施例3と同様にして樹脂ワニスを作製し、接着フィルムを得た。
(Comparative Example 3)
The triazine structure-containing active ester compound of Example 3 (DIC Corporation "EXB-9510", active ester equivalent 214) was converted to a triazine structure-containing phenol novolak compound (DIC Corporation "LA7052", phenolic hydroxyl group equivalent 120). 10 parts of a MEK solution having a nonvolatile content of 60%) and 5 parts of an active ester compound ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC Corporation, active ester equivalent 223, toluene solution having a nonvolatile content of 65%) containing no triazine structure. In the same manner as in Example 3 except that the number of added parts of “SO-C2” with phenylaminosilane treatment, manufactured by Admatechs Co., Ltd., carbon amount 0.18% per unit weight) was changed to 65 parts. A resin varnish was prepared to obtain an adhesive film.

(評価試験)
以下、各評価試験における測定方法・評価方法について説明する。
(Evaluation test)
Hereinafter, measurement methods and evaluation methods in each evaluation test will be described.

1.メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定及び算術平均粗さ(粗度)の測定
(1)積層板の下地処理
内層回路の形成されたガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、残銅率60%、基板厚み0.3mm、松下電工(株)製R5715ES)両面をメック(株)製CZ8100に浸漬して銅表面の粗化処理をおこなった。
1. Measurement of peel strength (peel strength) of plating conductor layer and measurement of arithmetic average roughness (roughness) (1) Base treatment of laminated board Glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate with inner layer circuit formed (Copper foil thickness 18 μm, residual copper ratio 60%, substrate thickness 0.3 mm, R5715ES manufactured by Matsushita Electric Works Co., Ltd.) Both surfaces were immersed in CZ8100 manufactured by MEC Co., Ltd. to roughen the copper surface.

(2)接着フィルムのラミネート
各実施例及び各比較例で作成した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500((株)名機製作所製、商品名)を用いて、積層板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着させることにより行った。
(2) Lamination of adhesive film The adhesive film prepared in each example and each comparative example was subjected to both sides of a laminate using a batch type vacuum pressure laminator MVLP-500 (trade name, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.). Laminated. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding for 30 seconds at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa.

(3)樹脂組成物の硬化
ラミネートされた接着フィルムからPETフィルムを剥離し、170℃、30分の硬化条件で樹脂組成物を硬化した。
(3) Curing of resin composition The PET film was peeled from the laminated adhesive film, and the resin composition was cured under curing conditions at 170 ° C for 30 minutes.

(4)粗化処理
積層板を、膨潤液である、アトテックジャパン(株)のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスエリングディップ・セキュリガンドPに60℃で10分間浸漬し、次に粗化液として、アトテックジャパン(株)のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬、最後に中和液として、アトテックジャパン(株)のリダクションショリューシン・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。この粗化処理後の積層板をサンプルAとした。
(4) Roughening treatment The laminated plate is immersed in a swelling dip secu-ligand P containing diethylene glycol monobutyl ether of Atotech Japan Co., Ltd. for 10 minutes at 60 ° C., and then used as a roughening solution. Soaked in Concentrate Compact P (KMnO4: 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) at 80 ° C. for 20 minutes, and finally as a neutralizing solution, Atotech Japan Co., Ltd. It was immersed in securigant P at 40 ° C. for 5 minutes. The laminate after the roughening treatment was designated as sample A.

(5)セミアディティブ工法によるメッキ形成
絶縁層表面に回路を形成するために、積層板を、PdClを含む無電解メッキ用溶液に浸漬し、次に無電解銅メッキ液に浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、30μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を180℃にて60分間行った。この積層板をサンプルBとした。
(5) Plating formation by semi-additive method In order to form a circuit on the surface of the insulating layer, the laminate was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 and then immersed in an electroless copper plating solution. After annealing for 30 minutes at 150 ° C., an etching resist was formed. After pattern formation by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 μm. Next, annealing was performed at 180 ° C. for 60 minutes. This laminate was designated as Sample B.

(6)算術平均粗さ(粗度)の測定
サンプルAについて、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製WYKO NT3300)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値により算術平均粗さ(粗度)を求めた。そして、それぞれ10点の平均値を求めることにより測定値とし、表1に示した。
(6) Measurement of arithmetic average roughness (roughness) For sample A, using a non-contact type surface roughness meter (WYKO NT3300 manufactured by Beeco Instruments), the measurement range is 121 μm × 92 μm with a 50 × lens. As a result, the arithmetic average roughness (roughness) was obtained. And it was set as the measured value by calculating | requiring the average value of 10 each, and was shown in Table 1.

(7)メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定
サンプルBの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具((株)ティー・エス・イー、オートコム型試験機 AC−50C−SL)で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定し、表1に示した。
(7) Measurement of peel strength (peel strength) of the plated conductor layer Cut the conductor layer of sample B into a 10 mm wide and 100 mm long part, peel off one end, S.E., Autocom type tester AC-50C-SL), measured the load (kgf / cm) when peeling 35mm vertically at a speed of 50mm / min at room temperature. It was shown in 1.

2.誘電正接の測定
各実施例および各比較例で得られた接着フィルムを190℃で90分熱硬化させて、PETフィルムを剥離してシート状の硬化物を得た。その硬化物を、幅2mm、長さ80mmの試験片に切断し、関東応用電子開発(株)製空洞共振器摂動法誘電率測定装置CP521およびアジレントテクノロジー(株)製ネットワークアナライザーE8362Bを使用して、空洞共振法で測定周波数5.8GHzにて誘電正接(tanδ)の測定を行った。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出し、表1に示した。
2. Measurement of dielectric loss tangent The adhesive films obtained in each Example and each Comparative Example were thermally cured at 190 ° C. for 90 minutes, and the PET film was peeled off to obtain a sheet-like cured product. The cured product was cut into a test piece having a width of 2 mm and a length of 80 mm, and a cavity resonator perturbation method dielectric constant measuring device CP521 manufactured by Kanto Applied Electronics Development Co., Ltd. and a network analyzer E8362B manufactured by Agilent Technology Co., Ltd. were used. The dielectric loss tangent (tan δ) was measured by the cavity resonance method at a measurement frequency of 5.8 GHz. Two test pieces were measured, and the average value was calculated and shown in Table 1.

なお、表1には評価試験の結果とともに、各実施例及び各比較例の樹脂組成物を作製する際に使用した材料とその割合(質量部)を示した。   In addition, in Table 1, the material used when producing the resin composition of each Example and each comparative example and the ratio (mass part) were shown with the result of the evaluation test.

Figure 2017019970
Figure 2017019970

Claims (11)

(A)エポキシ樹脂と、(B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物と、を含む樹脂組成物。   A resin composition comprising (A) an epoxy resin and (B) an active ester compound containing a triazine structure. (A)エポキシ樹脂の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.1質量%〜30質量%である請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the content of (A) the epoxy resin is 0.1% by mass to 30% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. (B)トリアジン構造を含有する活性エステル化合物の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、0.1質量%〜30質量%である請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   (B) Content of the active ester compound containing a triazine structure is 0.1 mass%-30 mass% when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass%. Resin composition. (B)トリアジン構造を有する活性エステル化合物が下記式(1)である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
Figure 2017019970
(式中、 X及びXは、それぞれ独立に、−O−又は−NH−を表し、
は、アミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、水素原子、又はハロゲン原子を表し、Rは、1価の芳香族基、1価の脂肪族基、又は1価の脂環式基を表し、
Ar及びArは、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい3価の芳香族基を表し、j及びkは、それぞれ正の数を表し、lは0以上の数を表す)
(B) The resin composition of any one of Claims 1-3 whose active ester compound which has a triazine structure is following formula (1).
Figure 2017019970
(Wherein, X 1 and X 2 each independently represent —O— or —NH—,
R 1 represents an amino group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, a hydrogen atom, or a halogen atom, and R 2 represents a monovalent aromatic group, a monovalent aliphatic group, or a monovalent alicyclic group. Represents a group,
Ar 1 and Ar 2 each independently represents a trivalent aromatic group which may have a substituent, j and k each represents a positive number, and l represents a number of 0 or more)
(C)無機充填材を含む請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (C) The resin composition of any one of Claims 1-4 containing an inorganic filler. (C)無機充填材の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、50質量%以上である請求項5に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 5, wherein the content of (C) the inorganic filler is 50% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. 熱硬化により形成される絶縁層の誘電正接が0.008以下である請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein a dielectric loss tangent of an insulating layer formed by thermosetting is 0.008 or less. 支持体と、該支持体上に設けられた請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を有する接着フィルム。   The adhesive film which has a support body and the resin composition layer containing the resin composition of any one of Claims 1-7 provided on this support body. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物がシート状繊維基材中に含浸されたプリプレグ。   A prepreg in which the resin composition according to any one of claims 1 to 7 is impregnated in a sheet-like fiber base material. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板。   The printed wiring board containing the insulating layer formed with the hardened | cured material of the resin composition of any one of Claims 1-7. 請求項10に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。   A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 10.
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