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JP2017009533A - Image inspection system - Google Patents

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JP2017009533A JP2015127853A JP2015127853A JP2017009533A JP 2017009533 A JP2017009533 A JP 2017009533A JP 2015127853 A JP2015127853 A JP 2015127853A JP 2015127853 A JP2015127853 A JP 2015127853A JP 2017009533 A JP2017009533 A JP 2017009533A
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文彦 京谷
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文彦 京谷
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Abstract

【課題】例えば、移動する被検査面の画像検査をより精度良く行うことが可能な画像検査システムを得る。
【解決手段】実施形態の画像検査システムにあっては、検査面に光を照射する照明部と、検査面の同一位置を、検査面との相対的な移動方向に互いにずれた撮像位置で、互いに異なる光の照明条件で、それぞれ撮影する複数の撮像部と、複数の撮像部によって同一領域を撮影した複数の画像に基づく演算処理を行う演算処理部と、を備える。
【選択図】図3
For example, an image inspection system capable of performing an image inspection of a moving surface to be inspected with higher accuracy is obtained.
In the image inspection system according to the embodiment, the illumination unit that irradiates the inspection surface with light and the same position of the inspection surface are at the imaging positions that are shifted from each other in the relative movement direction with respect to the inspection surface. A plurality of imaging units that respectively capture images under different light illumination conditions, and an arithmetic processing unit that performs arithmetic processing based on a plurality of images obtained by capturing the same region by the plurality of imaging units.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、画像検査システムに関する。   The present invention relates to an image inspection system.

従来、一つのカメラで、移動する被検査体に一方から光を当てた場合の画像や、他方から光を当てた画像、両方から光を当てた画像等を取得し、それら画像に基づいて異常の有無を調べる技術が知られている。   Conventionally, with a single camera, an image obtained when light is applied from one side to a moving object, an image obtained by applying light from the other, an image obtained by applying light from both, etc. are acquired, and abnormalities based on those images are obtained. Techniques for checking the presence or absence of the are known.

特開2012−159382号公報JP 2012-159382 A

異なる照明条件での撮影を一つのカメラで同時に行うことはできない。よって、上記画像検査システムでは、被検査体が移動している場合にあっては、被検査体の表面の厳密に同一の位置を、異なる照明条件で撮影することができない。このため、例えば、僅かにずれた位置の撮像結果が、同一位置での撮像結果として用いられたりする。しかしながら、このように、僅かにずれた位置の撮像結果が同一位置の撮像結果として用いられる場合にあっては、例えば、被検査体の移動速度が速い場合には検査精度が低下したり、逆に検査精度を確保するために被検査体の移動速度に制限が生じたり、といった問題が生じる虞があった。よって、例えば、移動する被検査面の画像検査をより精度良く行うことが可能な新規な画像検査システムが得られれば、有意義である。   Shooting under different lighting conditions cannot be performed simultaneously with one camera. Therefore, in the image inspection system, when the object to be inspected is moving, the exact same position on the surface of the object to be inspected cannot be imaged under different illumination conditions. For this reason, for example, an imaging result at a slightly shifted position is used as an imaging result at the same position. However, in the case where the imaging result at a slightly shifted position is used as the imaging result at the same position as described above, for example, when the moving speed of the object to be inspected is high, the inspection accuracy is lowered or vice versa. In addition, there may be a problem that the moving speed of the object to be inspected is limited to ensure the inspection accuracy. Therefore, for example, it would be meaningful if a new image inspection system capable of performing image inspection of a moving surface to be inspected with higher accuracy is obtained.

本発明の実施形態の画像検査システムにあっては、検査面に光を照射する照明部と、上記検査面の同一位置を、上記検査面との相対的な移動方向に互いにずれた撮像位置で、互いに異なる光の照明条件で、それぞれ撮影する複数の撮像部と、上記複数の撮像部によって上記同一位置を撮影した複数の画像に基づく演算処理を行う演算処理部と、を備える。   In the image inspection system according to the embodiment of the present invention, the illuminating unit that irradiates the inspection surface with light and the same position of the inspection surface at an imaging position that is shifted from each other in the relative movement direction with respect to the inspection surface. A plurality of imaging units that respectively capture images under different illumination conditions, and an arithmetic processing unit that performs arithmetic processing based on the plurality of images captured at the same position by the plurality of imaging units.

図1は、実施形態の画像検査システムの一部の例示的かつ模式的な構成図である。FIG. 1 is an exemplary schematic configuration diagram of a part of the image inspection system of the embodiment. 図2は、実施形態の画像検査システムにおいて被検査面のうち撮像される位置の経時変化の例示的かつ模式的な説明図である。FIG. 2 is an exemplary and schematic explanatory view of a change over time of a position to be imaged in a surface to be inspected in the image inspection system of the embodiment. 図3は、実施形態の画像検査システムにおいて被検査面のうち撮像される位置の経時変化、撮影された画像のサンプル、および撮影された画像の演算処理についての、例示的かつ模式的な説明図である。FIG. 3 is an exemplary and schematic explanatory view of a temporal change of a captured position of a surface to be inspected in the image inspection system of the embodiment, a sample of a captured image, and a calculation process of the captured image. It is. 図4は、実施形態の画像検査システムにおいて後方照射時の画像と前方照射時の画像との差分絶対値によって突起が検出されることが示された例示的かつ模式的な説明図である。FIG. 4 is an exemplary and schematic explanatory diagram showing that a protrusion is detected by an absolute difference between an image at the time of back irradiation and an image at the time of front irradiation in the image inspection system of the embodiment. 図5は、実施形態の画像検査システムにおいて後方照射時の画像と前方照射時の画像との差分絶対値によっては模様あるいは汚れが検出されないことが示された例示的かつ模式的な説明図である。FIG. 5 is an exemplary and schematic explanatory diagram showing that a pattern or dirt is not detected depending on an absolute difference between an image at the time of back irradiation and an image at the time of front irradiation in the image inspection system of the embodiment. . 図6は、実施形態の画像検査システムの例示的かつ模式的な制御ブロック図である。FIG. 6 is an exemplary schematic control block diagram of the image inspection system according to the embodiment. 図7は、実施形態の画像検査システムによる画像検査の手順の例示的かつ模式的なフローチャートである。FIG. 7 is an exemplary schematic flowchart of an image inspection procedure performed by the image inspection system according to the embodiment.

以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成や制御、ならびに当該構成や制御によってもたらされる作用および結果(効果)は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成や制御以外によっても実現可能であるとともに、基本的な構成や制御によって得られる種々の効果を得ることが可能である。   Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention are disclosed. The configuration and control of the embodiment shown below, and the operation and result (effect) brought about by the configuration and control are examples. The present invention can be realized by other than the configuration and control disclosed in the following embodiments, and various effects obtained by the basic configuration and control can be obtained.

図1に示される検査システム1は、被検査体10の被検査面10aを検査する。検査システム1は、被検査面10aを撮影した画像に対する演算処理により、被検査面10aにおける凹凸等の異常の有無を判断する。なお、被検査体10は、検査物や、検査対象物等とも称され、被検査面10aは、検査面や、検査対象面等とも称され、検査システム1は、画像検査システムとも称されうる。なお、画像とは、画像データであり、格子状に離散化された二次元の各点(各座標、各画素)での輝度値等のデータ群である。   An inspection system 1 shown in FIG. 1 inspects an inspection surface 10 a of an inspection object 10. The inspection system 1 determines the presence / absence of an abnormality such as unevenness on the surface 10a to be inspected by arithmetic processing on an image obtained by photographing the surface 10a to be inspected. The inspection object 10 is also referred to as an inspection object or an inspection object, the inspection surface 10a is also referred to as an inspection surface or an inspection object surface, and the inspection system 1 can also be referred to as an image inspection system. . The image is image data, and is a data group such as a luminance value at each of two-dimensional points (each coordinate and each pixel) discretized in a lattice shape.

検査システム1は、移動する被検査体10の被検査面10aを検査する。被検査体10(被検査面10a)は、図1には示されない駆動部4(図6参照)によって、被検査面10aに沿う方向、すなわち図1の右方向に、一定の速度で動かされる。なお、エンコーダやセンサ等によって撮像時刻における被検査面10aの位置を検出でき、撮影された画像データ(輝度値)と被検査面10aの位置との対応付けができれば、移動速度は一定でなくてもよい。被検査体10は、例えば、ホースや、配管、シート、フィルム、布、紙、板等の長尺状の物体である。なお、以下では、便宜上、被検査体10の動く方向は、移動方向と称される場合がある。また、被検査体10の移動方向の前方は、前方と称され、被検査体10の移動方向の後方は、後方と称される場合がある。   The inspection system 1 inspects the inspection surface 10a of the moving inspection object 10. The inspected object 10 (inspected surface 10a) is moved at a constant speed in a direction along the inspected surface 10a, that is, in the right direction in FIG. 1, by a drive unit 4 (see FIG. 6) not shown in FIG. . If the position of the inspected surface 10a at the imaging time can be detected by an encoder, a sensor, or the like, and the captured image data (luminance value) and the position of the inspected surface 10a can be associated, the moving speed is not constant. Also good. The inspected object 10 is a long object such as a hose, piping, sheet, film, cloth, paper, or board. In the following, for convenience, the moving direction of the device under test 10 may be referred to as a moving direction. Further, the front in the moving direction of the device under test 10 may be referred to as the front, and the back in the moving direction of the device under test 10 may be referred to as the back.

検査システム1は、被検査面10aを照らす照明部2と、被検査面10aを撮影する撮像装置3と、を備える。   The inspection system 1 includes an illumination unit 2 that illuminates the surface 10a to be inspected, and an imaging device 3 that images the surface 10a to be inspected.

照明部2は、複数の発光部21を有する。本実施形態では、二つの発光部21が、被検査体10および被検査面10aの移動方向(図1では右方向)に沿って、互いに離れて配置されている。二つの発光部21のうちの一つである図1の左側に示される発光部21rは、被検査面10aの撮像位置Pf,Prに対して、被検査体10の移動方向の斜め後方、すなわち図1では左上方に位置され、撮像位置Pf,Prに向けて斜め前方、すなわち図1では右下方に、光を出射している。二つの発光部21のうちのもう一つである図1の右側に示される発光部21fは、被検査面10aの撮像位置Pf,Prに対して、被検査体10の移動方向の斜め前方、すなわち図1では右上方に位置され、撮像位置Pf,Prに向けて斜め後方、すなわち図1では左下方に、光を出射している。二つの発光部21(21f,21r)は、例えば、被検査面10aでの光の強度や被検査面10aに対する入射角度の絶対値が略同じとなるよう、設定されうる。また、発光部21は、例えば、LED(light emitting diode)である。なお、発光部21からの光の強度の場所によるばらつきが小さくなるよう、発光部21は、光を拡散しながら透過する拡散部材で覆われてもよい。   The illumination unit 2 has a plurality of light emitting units 21. In the present embodiment, the two light emitting portions 21 are arranged away from each other along the moving direction of the inspection object 10 and the inspection surface 10a (the right direction in FIG. 1). The light emitting unit 21r shown on the left side of FIG. 1 which is one of the two light emitting units 21 is obliquely rearward in the moving direction of the inspection object 10 with respect to the imaging positions Pf and Pr of the inspection surface 10a, that is, In FIG. 1, the light is emitted on the upper left side and obliquely forward toward the imaging positions Pf and Pr, that is, on the lower right side in FIG. 1. A light emitting unit 21f shown on the right side of FIG. 1 which is another of the two light emitting units 21 is obliquely forward in the moving direction of the inspection object 10 with respect to the imaging positions Pf and Pr of the inspection target surface 10a. That is, the light is located at the upper right in FIG. 1 and is emitted obliquely rearward toward the imaging positions Pf and Pr, that is, the lower left in FIG. The two light emitting portions 21 (21f, 21r) can be set so that, for example, the intensity of light on the surface 10a to be inspected and the absolute value of the incident angle with respect to the surface 10a to be inspected are substantially the same. The light emitting unit 21 is, for example, an LED (light emitting diode). Note that the light emitting unit 21 may be covered with a diffusion member that transmits light while diffusing the light so that variation due to the location of the intensity of light from the light emitting unit 21 is reduced.

撮像装置3は、複数の撮像部31を有する。本実施形態では、撮像装置3は、移動方向にずれて配置された二つの撮像部31f,31rを有する。移動方向の前方に位置される撮像部31fは、前方の撮像位置Pfで被検査面10aを撮影し、移動方向の後方に位置される撮像部31rは、後方の撮像位置Prで被検査面10aを撮影する。撮像位置Pf,Prは、移動方向に互いにずれている。検査システム1では、被検査面10aの同一位置(同一領域)が撮像位置Pf,Prでそれぞれ撮影されるよう、図1には示されない制御部51(図6参照)により、撮像装置3および駆動部4のうち一方、他方、または両方を制御する。検査システム1において、被検査面10aの同一位置は、撮像位置Pf,Prで、それぞれ異なる時刻で、異なる光の照明条件で、撮像装置3によって撮影される。   The imaging device 3 has a plurality of imaging units 31. In the present embodiment, the imaging device 3 includes two imaging units 31f and 31r arranged so as to be shifted in the movement direction. The imaging unit 31f positioned in front of the moving direction images the surface to be inspected 10a at the front imaging position Pf, and the imaging unit 31r positioned behind in the moving direction of the surface to be inspected 10a at the rear imaging position Pr. Shoot. The imaging positions Pf and Pr are shifted from each other in the movement direction. In the inspection system 1, the imaging device 3 and the drive are driven by the control unit 51 (see FIG. 6) not shown in FIG. 1 so that the same position (same area) of the surface 10a to be inspected is imaged at the imaging positions Pf and Pr. One, the other, or both of the parts 4 are controlled. In the inspection system 1, the same position of the surface 10a to be inspected is imaged by the imaging device 3 at the imaging positions Pf and Pr at different times and under different light illumination conditions.

撮像部31(31f,31r)は、例えば、被検査体10の移動方向との直交方向、すなわち図1の紙面と垂直な方向に延びた、ラインセンサである。本実施形態では、二つの撮像部31f,31rは移動方向に互いに隣接して配置されている。よって、撮像装置3は、移動方向に隣接した二つのラインセンサ、すなわち撮像部31f,31rを有した、デュアルラインセンサ(マルチラインセンサ)である。撮像部31は、ディジタル画像、すなわち1次元の複数の画素毎の輝度値(データ)を取得する。撮像部31は、CMOS(complementary metal-oxide-semiconductor)イメージセンサやCCD(charge-coupled device)イメージセンサ等の撮像素子を有する。なお、以下では、移動方向との直交方向のうち、被検査面10aに沿って延びる方向が、単に、直交方向と称される場合がある。   The imaging unit 31 (31f, 31r) is, for example, a line sensor extending in a direction orthogonal to the moving direction of the device under test 10, that is, in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. In the present embodiment, the two imaging units 31f and 31r are arranged adjacent to each other in the movement direction. Therefore, the imaging device 3 is a dual line sensor (multi-line sensor) having two line sensors adjacent to each other in the moving direction, that is, the imaging units 31f and 31r. The imaging unit 31 acquires a digital image, that is, a luminance value (data) for each of a plurality of one-dimensional pixels. The imaging unit 31 includes an imaging element such as a complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) image sensor or a charge-coupled device (CCD) image sensor. In the following, the direction extending along the surface 10a to be inspected among the orthogonal directions to the moving direction may be simply referred to as an orthogonal direction.

図2には、複数の撮像時刻tにおいて、撮像装置3によって被検査面10aの撮影される位置が示されている。なお、ここで言う「位置」とは、被検査面10aのうち移動方向との直交方向に延びた線状の領域である。また、以下では、撮像時刻は、単に時刻とも称されうる。図2の例では、被検査面10aの移動方向、すなわち長手方向の位置npが、0〜8に分けて示されている。図2において、時刻t=t0では、前方の撮像部31fは、被検査面10aの位置np:3を撮影し、後方の撮像部31rは、被検査面10aの位置np:4を撮影する。また、時刻t=t1では、前方の撮像部31fは、被検査面10aの位置np:4を撮影し、後方の撮像部31rは、被検査面10aの位置np:5を撮影する。また、時刻t=t2では、前方の撮像部31fは、被検査面10aの位置np:5を撮影し、後方の撮像部31rは、被検査面10aの位置np:6を撮影する。また、時刻t=t3では、前方の撮像部31fは、被検査面10aの位置np:6を撮影し、後方の撮像部31rは、被検査面10aの位置np:7を撮影する。図2から明らかとなるように、検査システム1では、複数の撮像部31(31f,31r)による撮影と、被検査面10aの移動とが同期されているため、被検査面10aの各位置が、撮像装置3によってそれぞれ2回ずつ撮影される。   FIG. 2 shows positions where the imaging surface 3 is imaged by the imaging device 3 at a plurality of imaging times t. The “position” referred to here is a linear region extending in the direction orthogonal to the moving direction on the surface to be inspected 10a. Hereinafter, the imaging time may also be simply referred to as time. In the example of FIG. 2, the moving direction of the surface 10a to be inspected, that is, the position np in the longitudinal direction, is shown divided into 0 to 8. In FIG. 2, at time t = t0, the front imaging unit 31f images the position np: 3 of the surface 10a to be inspected, and the rear imaging unit 31r images the position np: 4 of the surface 10a to be inspected. At time t = t1, the front imaging unit 31f images the position np: 4 of the surface to be inspected 10a, and the rear imaging unit 31r images the position np: 5 of the surface to be inspected 10a. At time t = t2, the front imaging unit 31f images the position np: 5 of the surface to be inspected 10a, and the rear imaging unit 31r images the position np: 6 of the surface to be inspected 10a. At time t = t3, the front imaging unit 31f images the position np: 6 of the surface 10a to be inspected, and the rear imaging unit 31r images the position np: 7 of the surface 10a to be inspected. As will be apparent from FIG. 2, in the inspection system 1, the photographing by the plurality of imaging units 31 (31f, 31r) and the movement of the surface to be inspected 10a are synchronized. Then, each image is taken twice by the imaging device 3.

また、本実施形態では、上述したように、撮像装置3による被検査面10aの同一位置の2回の撮影が、互いに異なる光の照明条件で実行される。図3は、被検査面のうち撮像される位置の経時変化、撮影された画像のサンプル、および撮影された画像の演算処理についての、例示的かつ模式的な説明図(平面図)である。図3に示されるように、時刻t=t0での撮影は、移動方向の後方の発光部21rが発光するとともに前方の発光部21fが発光しない状態で行われ、時刻t=t1での撮影は、移動方向の後方の発光部21rが発光しないとともに前方の発光部21fが発光する状態で行われ、時刻t=t2での撮影は、移動方向の後方の発光部21rが発光するとともに前方の発光部21fが発光しない状態で行われ、時刻t=t3での撮影は、移動方向の後方の発光部21rが発光しないとともに前方の発光部21fが発光する状態で行われる。このように、本実施形態では、発光部21fの発光停止および発光部21rの発光(照明条件1)と、発光部21fの発光および発光部21rの発光停止(照明条件2)とが、交互に繰り返される。したがって、被検査面10a中の各位置は、全て、照明条件1および照明条件2の両方で撮影される。そして、本実施形態では、各位置について撮影された二つの画像から、それら二つの画像の差分の絶対値の画像が算出される。なお、前の時刻で撮影された画像データは、図3には示されない記憶部52(図6参照)に一時的に記憶される等により遅延された上で、後の時刻で撮影されたデータとの演算に用いられる。すなわち、記憶部52は、遅延部とも称されうる。   In the present embodiment, as described above, the two imaging operations at the same position of the surface 10a to be inspected by the imaging device 3 are executed under different illumination conditions. FIG. 3 is an exemplary and schematic explanatory view (plan view) of a change over time of a position to be imaged on a surface to be inspected, a sample of a captured image, and a calculation process of the captured image. As shown in FIG. 3, shooting at time t = t0 is performed in a state where the light emitting unit 21r behind the moving direction emits light and the light emitting unit 21f ahead does not emit light, and shooting at time t = t1 is performed. The rear light emitting unit 21r in the moving direction does not emit light and the front light emitting unit 21f emits light, and shooting at time t = t2 is performed while the rear light emitting unit 21r in the moving direction emits light and the front light emitting unit 21f emits light. The photographing at the time t = t3 is performed in a state where the rear light emitting portion 21r in the moving direction does not emit light and the front light emitting portion 21f emits light. Thus, in the present embodiment, the light emission stop of the light emitting unit 21f and the light emission of the light emitting unit 21r (illumination condition 1) and the light emission of the light emitting unit 21f and the light emission stop of the light emitting unit 21r (illumination condition 2) are alternately performed. Repeated. Accordingly, all the positions in the surface 10a to be inspected are photographed under both the illumination condition 1 and the illumination condition 2. In this embodiment, an image of an absolute value of a difference between the two images is calculated from the two images taken at each position. The image data taken at the previous time is delayed by temporarily storing it in the storage unit 52 (see FIG. 6) not shown in FIG. 3 and then taken at the later time. It is used for the calculation. That is, the storage unit 52 can also be referred to as a delay unit.

図4には、被検査面10a上に突起Ipが存在した場合が例示されており、照明条件1で撮影された複数位置の画像、照明条件2で撮影された複数位置の画像、および照明条件1で撮影された画像と照明条件2で撮影された画像の差分の絶対値の画像が、含まれている。図4中に示される三つの画像は、それぞれ、被検査面10aの各位置での1次元の輝度値が移動方向に沿って二次元に並べられた輝度値の群(画像データ)である。図4では、画像中の各画素における値(輝度値)が低いほど黒く、高いほど白く表されている。発光部21が斜めから突起Ipを照らすと、突起Ipの発光部21側は明るくなり、突起Ipの発光部21とは反対側は影となって暗くなる。すなわち、照明条件1での後方照射時の画像は、突起Ipの後方の領域Aprが明るく、かつ突起Ipの前方の領域Apfが暗くなり、照明条件2での前方照射時の画像は、突起Ipの前方の領域Apfが明るく、かつ突起Ipの後方の領域Aprが暗くなる。このように、突起Ipの前方の領域Apfと後方の領域Aprとでは、照射方向によって明暗が反転する。したがって、当該領域Apf,Apr内、すなわち突起Ipの領域内では、照明条件1および照明条件2の二つの画像間の、各画素の輝度値の差分の絶対値は、正の値となる。これに対し、被検査面10aの突起Ipが無い領域については、発光部21からの光の照射方向による明るさの違いは小さく、二つの画像における各画素の輝度値の差分の絶対値は略0(ゼロ)となる。したがって、差分の絶対値の画像中で、値が大きい領域を、突起Ipとして識別することができる。   FIG. 4 illustrates the case where the protrusion Ip is present on the surface 10a to be inspected. The images at a plurality of positions photographed under the illumination condition 1, the images at the plurality of positions photographed under the illumination condition 2, and the illumination conditions. The image of the absolute value of the difference between the image captured at 1 and the image captured at illumination condition 2 is included. Each of the three images shown in FIG. 4 is a group of luminance values (image data) in which one-dimensional luminance values at each position on the inspection surface 10a are two-dimensionally arranged along the moving direction. In FIG. 4, the lower the value (luminance value) at each pixel in the image, the blacker the color, and the higher the value, the whiter. When the light emitting part 21 illuminates the protrusion Ip from an oblique direction, the light emitting part 21 side of the protrusion Ip becomes bright, and the side opposite to the light emitting part 21 of the protrusion Ip becomes shadow and dark. That is, in the image at the time of rear irradiation under the illumination condition 1, the region Apr behind the protrusion Ip is bright and the region Apf in front of the protrusion Ip is dark, and the image at the front irradiation in the illumination condition 2 is the protrusion Ip. The area Apf in front of is bright and the area Apr behind the protrusion Ip is dark. As described above, the brightness is inverted depending on the irradiation direction in the front area Apf and the rear area Apr of the protrusion Ip. Therefore, in the areas Apf and Apr, that is, in the area of the protrusion Ip, the absolute value of the difference in the luminance value of each pixel between the two images of the illumination condition 1 and the illumination condition 2 is a positive value. On the other hand, in the region where the projection Ip of the surface to be inspected 10a is not present, the difference in brightness depending on the direction of light irradiation from the light emitting unit 21 is small, and the absolute value of the difference between the luminance values of the pixels in the two images is approximately. 0 (zero). Therefore, a region having a large value in the image of the absolute value of the difference can be identified as the protrusion Ip.

被検査面10aに存在する不図示の凹部も、上記突起Ipと同様に、照明条件1で撮影された画像と照明条件2で撮影された画像の差分の絶対値の画像から識別することができる。ただし、凹部の場合は、後方照射時および前方照射時の各画像中で明るくなる領域の存在する位置が、突起の場合とは逆になる。すなわち、凹部の場合、発光部21f,21r側が暗くなり、発光部21f,21rよりも遠い側が明るくなる。よって、検査システム1は、例えば、後方照射時の画像あるいは前方照射時の画像における明るい領域または暗い領域の位置から、突起か凹部かを判断することができる。   A recess (not shown) on the surface 10a to be inspected can also be identified from the image of the absolute value of the difference between the image photographed under the illumination condition 1 and the image photographed under the illumination condition 2, similarly to the protrusion Ip. . However, in the case of the concave portion, the position where the brightened area exists in each image at the time of rear irradiation and front irradiation is opposite to the case of the protrusion. That is, in the case of the concave portion, the light emitting portions 21f and 21r side becomes dark, and the side farther than the light emitting portions 21f and 21r becomes bright. Therefore, for example, the inspection system 1 can determine whether a protrusion or a recess is based on the position of a bright region or a dark region in an image at the time of rear irradiation or an image at the time of front irradiation.

また、図5には、被検査面10a上に模様Ifや汚れIdが存在した場合が例示されており、照明条件1で撮影された複数位置の画像、照明条件2で撮影された複数位置の画像、および照明条件1で撮影された画像と照明条件2で撮影された画像の差分の絶対値の画像が、含まれている。図5中に示される三つの画像は、図4と同様であり、図5では、画像中の各画素における値(輝度値)が低いほど黒く、高いほど白く表されている。図5に示されるように、照射方向の異なる二つの画像において、模様Ifや汚れIdの明るさ(輝度値)はほぼ同じである。よって、二つの画像における各画素の輝度値の差分の絶対値は略0(ゼロ)である。したがって、図4,5から、本実施形態によれば、照明条件1で撮影された画像と照明条件2で撮影された画像の差分の絶対値の画像から、突起または凹部を検出できることが理解できよう。   FIG. 5 illustrates the case where the pattern If and the stain Id exist on the surface 10a to be inspected. The images at a plurality of positions photographed under the illumination condition 1 and at the plurality of positions photographed under the illumination condition 2 are illustrated. An image and an image of an absolute value of a difference between an image taken under illumination condition 1 and an image taken under illumination condition 2 are included. The three images shown in FIG. 5 are the same as those in FIG. 4. In FIG. 5, the lower the value (luminance value) at each pixel in the image, the more black the image is, and the higher the white the image is. As shown in FIG. 5, the brightness (luminance value) of the pattern If and the stain Id is substantially the same in two images having different irradiation directions. Therefore, the absolute value of the difference between the luminance values of the pixels in the two images is approximately 0 (zero). Therefore, it can be understood from FIGS. 4 and 5 that according to the present embodiment, protrusions or recesses can be detected from the image of the absolute value of the difference between the image captured under the illumination condition 1 and the image captured under the illumination condition 2. Like.

検査システム1における検査は、図6に例示されるようなPC5によって制御されうる。PC5は、電子機器の一例である。PC5は、制御部51や、記憶部52等を有する。制御部51は、例えばCPU(central processing unit)や、コントローラ等として構成されうる。記憶部52は、RAM(random access memory)や、ROM(read only memory)、HDD(hard disk drive)、SSD(solid state drive)等として構成されうる。すなわち、記憶部52には、HDDやSSD等の、不揮発性の書き換え可能な記憶デバイスが含まれうる。   The inspection in the inspection system 1 can be controlled by the PC 5 as illustrated in FIG. The PC 5 is an example of an electronic device. The PC 5 includes a control unit 51, a storage unit 52, and the like. The control unit 51 can be configured as, for example, a CPU (central processing unit), a controller, or the like. The storage unit 52 may be configured as a random access memory (RAM), a read only memory (ROM), a hard disk drive (HDD), a solid state drive (SSD), or the like. That is, the storage unit 52 may include a nonvolatile rewritable storage device such as an HDD or an SSD.

制御部51は、撮影画像取得部51dを有する。撮影画像取得部51dは、各位置において撮像装置3で取得された輝度値を取得し、記憶部52に記憶する。   The control unit 51 includes a captured image acquisition unit 51d. The captured image acquisition unit 51 d acquires the luminance value acquired by the imaging device 3 at each position and stores it in the storage unit 52.

制御部51は、差分絶対値画像算出部51eを有する。差分絶対値画像算出部51eは、記憶部52に記憶された光の照明条件の異なる二つの画像から、それら画像の差分の絶対値の画像を算出する。差分絶対値画像算出部51eは、演算処理部の一例である。   The control unit 51 includes a difference absolute value image calculation unit 51e. The difference absolute value image calculation unit 51e calculates an image of the absolute value of the difference between the two images having different light illumination conditions stored in the storage unit 52. The difference absolute value image calculation unit 51e is an example of an arithmetic processing unit.

制御部51は、異常判断部51jを有する。異常判断部51jは、差分絶対値画像から、被検査面10aにおける異常の有無を判断する。異常判断部51jは、フィルタリングや、穴埋め、二値化、グルーピング、ラベリング、膨張処理等の公知の画像処理手法に基づいて、所定の条件を満たす互いに隣接した複数の画素の集合を、異常領域と判断することができる。異常判断は、例えば、周囲の画素の輝度値との比較や、正常形状や基準形状の参照データとの比較等に基づいて実行されうる。異常判断部51jは、演算処理部の一例である。   The control unit 51 includes an abnormality determination unit 51j. The abnormality determination unit 51j determines the presence / absence of an abnormality in the inspection surface 10a from the difference absolute value image. The abnormality determination unit 51j uses a known image processing method such as filtering, hole filling, binarization, grouping, labeling, dilation processing, etc. Judgment can be made. The abnormality determination can be executed based on, for example, comparison with the luminance values of surrounding pixels, comparison with reference data of a normal shape or a standard shape, and the like. The abnormality determination unit 51j is an example of an arithmetic processing unit.

制御部51は、出力制御部51kを有する。出力制御部51kは、異常判断部51jによる異常の判断の結果を示す画像を出力するよう、画像出力部53を制御することができる。画像出力部53は、例えば、LCD(liquid crystal display)等の表示装置である。   The control unit 51 includes an output control unit 51k. The output control unit 51k can control the image output unit 53 so as to output an image indicating the result of the abnormality determination by the abnormality determination unit 51j. The image output unit 53 is a display device such as an LCD (liquid crystal display).

また、制御部51は、撮像制御部51aや、駆動制御部51b、照明制御部51c等を有することができる。撮像制御部51aは、撮像装置3(撮像部31)による被検査面10aの撮影を制御する。駆動制御部51bは、駆動部4による被検査体10の移動を制御する。駆動部4は、移動機構や、搬送機構等とも称されうる。また、照明制御部51cは、照明部2による被検査面10aに対する照明を制御する。これら、撮像制御部51aや、駆動制御部51b、照明制御部51c等により、図2,3に例示されたような、被検査面10aの位置(移動)、照明部2による被検査面10aに対する照明、および撮像装置3による撮影等が、同期して実行される。これらの同期制御は、例えば、被検査体10の位置のセンサ等による検出結果に基づいて行われうる。また、なお、検査システム1における演算処理や、各部の制御は、PC5以外の電子機器によって制御されてもよい。また、制御部51の単独、あるいは制御部51および記憶部52は、ECU(electronic control unit)や、ボード、ユニット、デバイス等として構成されうる。このような場合、制御部51は、電子機器の一例である。   In addition, the control unit 51 can include an imaging control unit 51a, a drive control unit 51b, an illumination control unit 51c, and the like. The imaging control unit 51a controls imaging of the surface 10a to be inspected by the imaging device 3 (imaging unit 31). The drive control unit 51 b controls the movement of the device under test 10 by the drive unit 4. The drive unit 4 can also be referred to as a moving mechanism, a transport mechanism, or the like. In addition, the illumination control unit 51c controls illumination of the surface 10a to be inspected by the illumination unit 2. The imaging control unit 51a, the drive control unit 51b, the illumination control unit 51c, and the like perform the position (movement) of the surface 10a to be inspected and the surface 10a to be inspected by the illumination unit 2 as illustrated in FIGS. Illumination, photographing by the imaging device 3, and the like are executed in synchronization. These synchronization controls can be performed based on, for example, a detection result by a sensor of the position of the object 10 to be inspected. In addition, the arithmetic processing in the inspection system 1 and the control of each unit may be controlled by an electronic device other than the PC 5. The control unit 51 alone or the control unit 51 and the storage unit 52 can be configured as an ECU (electronic control unit), a board, a unit, a device, or the like. In such a case, the control unit 51 is an example of an electronic device.

また、制御部51による上述した演算処理や制御は、ソフトウエアによって実行されてもよいし、ハードウエアによって実行されてもよいし、ソフトウエアによる演算処理や制御とハードウエアによる演算処理や制御とが含まれてもよい。ソフトウエアによる処理の場合にあっては、制御部51は、ROMや、HDD、SSD等に記憶されたプログラムを読み出して実行する。この場合、プログラムには、制御部51に含まれる各部に対応するモジュールが含まれうる。制御部51の全部あるいは一部がハードウエアによって構成される場合、制御部51には、FPGA(field programmable gate array)やASIC(application specific integrated circuit)等が含まれうる。   The arithmetic processing and control described above by the control unit 51 may be executed by software, may be executed by hardware, arithmetic processing and control by software, and arithmetic processing and control by hardware. May be included. In the case of processing by software, the control unit 51 reads and executes a program stored in a ROM, HDD, SSD, or the like. In this case, the program can include modules corresponding to the respective units included in the control unit 51. When all or part of the control unit 51 is configured by hardware, the control unit 51 may include a field programmable gate array (FPGA), an application specific integrated circuit (ASIC), or the like.

検査システム1による検査は、図7に示されるような手順で実行される。まず、駆動制御部51bは、被検査面10aを所定の位置に移動するとともに、照明制御部51cは、照明部2を所定の照明条件に設定する(S1)。次に、撮像制御部51aは、撮影を行うよう撮像装置3を制御する(S2)。次に、撮影画像取得部51dは、撮像装置3から撮像によって得られた画像データを取得し、記憶部52に格納する(S3)。S1〜S3は、所定範囲の撮影が終了するまで継続される(S4)。すなわち、S4でNoの場合、S1に戻る。   The inspection by the inspection system 1 is executed in the procedure as shown in FIG. First, the drive control unit 51b moves the surface to be inspected 10a to a predetermined position, and the illumination control unit 51c sets the illumination unit 2 to a predetermined illumination condition (S1). Next, the imaging control unit 51a controls the imaging device 3 to perform imaging (S2). Next, the captured image acquisition unit 51d acquires image data obtained by imaging from the imaging device 3, and stores it in the storage unit 52 (S3). S1 to S3 are continued until photographing within a predetermined range is completed (S4). That is, if No in S4, the process returns to S1.

所定範囲についてS1〜S3が終了したら(S4でYes)、差分絶対値画像算出部51eは、記憶部52に格納されている各位置に対応した複数の画像(輝度値)からそれら画像データの差分の絶対値の画像を算出する(S5)。次いで、異常判断部51jは、差分絶対値画像に基づいて異常判断を実行する(S6)。出力制御部51kは、S6で得られた検査結果が表示されるよう、画像出力部53を制御する(S7)。   When S1 to S3 are completed for the predetermined range (Yes in S4), the difference absolute value image calculation unit 51e calculates the difference between the image data from a plurality of images (luminance values) corresponding to each position stored in the storage unit 52. Is calculated (S5). Next, the abnormality determination unit 51j performs abnormality determination based on the difference absolute value image (S6). The output control unit 51k controls the image output unit 53 so that the inspection result obtained in S6 is displayed (S7).

以上、説明したように、本実施形態では、複数の撮像部31は、被検査面10a(検査面)の移動方向に互いにずれた撮像位置Pf,Prで、互いに異なる光の照明条件で、それぞれ撮影を行う。また、差分絶対値画像算出部51e(演算処理部)は、複数の撮像部31によって同一領域を撮影した複数の画像から、差分絶対値画像を算出する。すなわち、本実施形態によれば、被検査面10aの同一位置を、複数の撮像位置でそれぞれ異なる照明条件で撮影し、撮影によって得られた複数の画像に対する演算処理によって、被検査面10aの異常の有無を判断することができる。よって、例えば、被検査面10aの一つの画像のみから異常の有無を判断する場合に比べて、より効率良くあるいはより精度良く、異常の有無を判断することができる場合がある。また、例えば、一つの撮像部によって異なる照明条件による撮影が行われる場合に比べて、より精度の高い画像が得られやすい。   As described above, in the present embodiment, the plurality of imaging units 31 are respectively at the imaging positions Pf and Pr that are shifted from each other in the moving direction of the surface to be inspected 10a (inspection surface) under illumination conditions of different lights. Take a picture. In addition, the difference absolute value image calculation unit 51e (calculation processing unit) calculates a difference absolute value image from a plurality of images obtained by photographing the same region by the plurality of imaging units 31. In other words, according to the present embodiment, the same position of the surface 10a to be inspected is photographed under different illumination conditions at a plurality of image capturing positions, and the abnormality of the surface 10a to be inspected by the arithmetic processing on the plurality of images obtained by the photographing. It can be determined whether or not. Therefore, for example, it may be possible to determine the presence or absence of an abnormality more efficiently or more accurately than when determining the presence or absence of an abnormality from only one image of the surface 10a to be inspected. Further, for example, it is easy to obtain a higher-accuracy image as compared with a case where shooting is performed under different illumination conditions by one imaging unit.

また、本実施形態によれば、撮像位置Pf,Prへの光の照射方向が異なる複数の画像に対する演算処理によって、被検査面10aの異常の有無を判断することができる。よって、例えば、被検査面10aの同一位置について異なる光の照射方向で撮影された複数の画像の差分の絶対値の画像から、より容易にあるいはより精度良く、凹凸の有無を判断することができる。   In addition, according to the present embodiment, it is possible to determine whether there is an abnormality in the surface to be inspected 10a by performing arithmetic processing on a plurality of images having different light irradiation directions to the imaging positions Pf and Pr. Therefore, for example, it is possible to determine the presence / absence of unevenness more easily or more accurately from the image of the absolute value of the difference between a plurality of images taken in different light irradiation directions at the same position on the surface 10a to be inspected. .

また、本実施形態によれば、撮像部31f,31rは、それぞれ、被検査面10aの移動方向との直交方向(交差方向)に延びるラインセンサであり、撮像装置3は、複数の撮像部31f,31rを一体的に有したデュアルラインセンサである。よって、例えば、撮像部31f,31rおよび撮像装置3を、比較的簡素な構成によって実現することができる。   Further, according to the present embodiment, the imaging units 31f and 31r are line sensors that extend in a direction (cross direction) orthogonal to the moving direction of the surface 10a to be inspected, and the imaging device 3 includes a plurality of imaging units 31f. , 31r integrally. Therefore, for example, the imaging units 31f and 31r and the imaging device 3 can be realized with a relatively simple configuration.

なお、検査システム1は、各部の構成を種々に変更して実施することができる。例えば、光の照射方向は、移動方向の前方と後方である必要は無く、移動方向との交差方向の一方と他方であってもよい。また、撮像位置Pfと撮像位置Prとは互いに離れていてもよいし、撮像部31fと撮像部31rとが互いに離れていてもよい。また、照明条件は、光の波長(周波数)や、偏向方向等、照射方向以外の照明条件であってもよい。このような場合にあっても、例えば、複数の波長あるいは偏向方向に応じた複数の画像に基づいて、より効率良くあるいはより精度良く、異常の有無が判断されやすい。また、照明条件の異なる複数の画像は、三つ以上の画像であってもよいし、差分絶対値画像以外の演算処理に基づく画像から、異常の有無が判断されてもよい。また、上記実施形態では、被検査体10および被検査面10aが移動したが、照明部2および撮像装置3と被検査面10aとが相対的に移動すれば良く、検査システム1は、例えば、被検査体10および被検査面10aが固定されて照明部2および撮像装置3が移動するシステムであってもよいし、被検査体10および被検査面10aと照明部2および撮像装置3との双方が移動するシステムであってもよい。   In addition, the inspection system 1 can be implemented by variously changing the configuration of each unit. For example, the light irradiation direction does not need to be in front of and behind the moving direction, and may be one or the other of the intersecting directions with the moving direction. Further, the imaging position Pf and the imaging position Pr may be separated from each other, and the imaging unit 31f and the imaging unit 31r may be separated from each other. The illumination conditions may be illumination conditions other than the irradiation direction, such as the wavelength (frequency) of light and the deflection direction. Even in such a case, for example, based on a plurality of images corresponding to a plurality of wavelengths or deflection directions, the presence or absence of an abnormality is easily determined more efficiently or more accurately. Further, the plurality of images with different illumination conditions may be three or more images, and the presence / absence of abnormality may be determined from images based on arithmetic processing other than the difference absolute value image. Moreover, in the said embodiment, although the to-be-inspected object 10 and the to-be-inspected surface 10a moved, the illumination part 2, the imaging device 3, and the to-be-inspected surface 10a should move relatively, and the inspection system 1 is, for example, A system in which the inspected object 10 and the inspected surface 10 a are fixed and the illumination unit 2 and the imaging device 3 move may be used. The inspected object 10 and the inspected surface 10 a, the illuminating unit 2, and the imaging device 3 may be used. It may be a system in which both move.

また、上記実施形態では、複数の撮像位置で、照明条件として、照射方向が異なるよう構成されたが、これには限定されず、例えば、複数の撮像位置で、光の強度や光の波長(周波数)が異なるよう構成されてもよい。この場合、例えば、複数の撮像位置のそれぞれには、色の異なる複数の光が照射されてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although it was comprised so that an irradiation direction may differ as a lighting condition in several imaging position, it is not limited to this, For example, in a some imaging position, light intensity | strength and light wavelength (( (Frequency) may be different. In this case, for example, each of the plurality of imaging positions may be irradiated with a plurality of lights having different colors.

以上、本発明の実施形態および変形例を例示したが、上記実施形態および変形例は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。これら実施形態および変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、各実施形態や各変形例の構成や形状は、部分的に入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック(構造や、種類、方向、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置等)は、適宜に変更して実施することができる。   As mentioned above, although embodiment and the modification of this invention were illustrated, the said embodiment and modification are examples, Comprising: It is not intending limiting the range of invention. These embodiments and modifications can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, combinations, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof. In addition, the configuration and shape of each embodiment and each modification may be partially exchanged. In addition, the specifications (structure, type, direction, shape, size, length, width, thickness, height, number, arrangement, position, etc.) of each configuration and shape should be changed as appropriate. Can do.

1…検査システム(画像検査システム)、2…照明部、31,31f,31r…撮像部、51e…差分絶対値画像算出部(演算処理部)、51j…異常判断部(演算処理部)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection system (image inspection system), 2 ... Illuminating part, 31, 31f, 31r ... Imaging part, 51e ... Difference absolute value image calculation part (arithmetic processing part), 51j ... Abnormality judgment part (arithmetic processing part).

Claims (4)

検査面に光を照射する照明部と、
前記検査面の同一位置を、前記検査面との相対的な移動方向に互いにずれた撮像位置で、互いに異なる光の照明条件で、それぞれ撮影する複数の撮像部と、
前記複数の撮像部によって前記同一位置を撮影した複数の画像に基づく演算処理を行う演算処理部と、
を備えた、画像検査システム。
An illumination unit for irradiating the inspection surface with light;
A plurality of imaging units that respectively shoot the same position of the inspection surface at imaging positions that are shifted from each other in the moving direction relative to the inspection surface under different light illumination conditions;
An arithmetic processing unit that performs arithmetic processing based on a plurality of images obtained by photographing the same position by the plurality of imaging units;
An image inspection system.
前記照明条件は、前記照明部から前記撮像位置への光の照射方向である、請求項1に記載の画像検査システム。   The image inspection system according to claim 1, wherein the illumination condition is an irradiation direction of light from the illumination unit to the imaging position. 前記撮像部は、前記検査面の移動方向と交差する方向に延びるラインセンサである、請求項1または2に記載の画像検査システム。   The image inspection system according to claim 1, wherein the imaging unit is a line sensor extending in a direction intersecting with a moving direction of the inspection surface. 前記複数の撮像部を一体的に有したカメラを備えた、請求項3に記載の画像検査システム。   The image inspection system according to claim 3, further comprising a camera that integrally includes the plurality of imaging units.
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