JP2017092240A - ノズル待機装置および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に処理液を吐出するノズルを洗浄する際に、ノズルの洗い残しを低減できるノズル待機装置および基板処理装置を提供する。【解決手段】待機ポット３１において、現像ノズル収容部３３は、上面に開口部３３ａを有し、開口部３３ａを通じて現像ノズル３を収容する。ノズル洗浄液供給部３７は、現像ノズル収容部３３内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口３９を有し、ノズル洗浄液吐出口３９からノズル洗浄液を供給させる。ここで、そのノズル洗浄液吐出口３９は、内側を向いたリング状のスリットで構成されている。これにより、現像ノズル３の全周にノズル洗浄液を均一に供給することができる。そのため、現像ノズル３の洗い残しを低減できる。【選択図】図４

Description

本発明は、半導体基板、液晶表示用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板に対して処理液を吐出するためのノズルを待機させるノズル待機装置およびそれを備えた基板処理装置に関する。

基板処理装置として、現像装置がある。現像装置は、基板を保持しつつ基板を回転させる保持回転部と、現像液を吐出する現像ノズルとを備えている。現像ノズルは、ノズル移動機構により、基板上方の位置と待機位置との間を移動する。待機位置には、待機ポットが設けられている。待機ポットでは、現像ノズルの洗浄が行われる（例えば、特許文献１参照）。

特開平０９−２３２２１２号公報

しかしながら、このような構成を有する従来装置は、次のような問題がある。
すなわち、従来の待機ポットの内部には、現像ノズルの両側に対向するように２個（複数個）の洗浄ノズルが配置されている。２個の洗浄ノズルの吐出口は各々、待機ポットに待機中の現像ノズルの外周面に向けられている。そして、この２個の洗浄ノズルからノズル洗浄液を吐出することで、現像ノズルの洗浄が行われる。しかしながら、２個の洗浄ノズルから吐出されたノズル洗浄液は、現像ノズルの所定位置にしか当たらず、現像ノズルの全周を洗浄できない。そのため、洗い残しが発生する。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板に処理液を吐出するノズルを洗浄する際に、ノズルの洗い残しを低減できるノズル待機装置および基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係るノズル待機装置は、上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするものである。

本発明に係るノズル待機装置によれば、ノズル収容部は、上面の開口部から挿入されたノズルを収容する。ノズル洗浄液供給部は、ノズル収納部に収容されたノズルに向けて、ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給する。ここで、そのノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されている。これにより、ノズルの全周にノズル洗浄液を均一に供給することができる。そのため、ノズルの洗い残しを低減できる。

また、上述のノズル待機装置において、前記第１供給部は、リング状の扁平な水平流路を備え、前記水平流路の内周端の開口が前記ノズル洗浄液吐出口を構成していることが好ましい。水平流路では、外周端から内周端のノズル洗浄液吐出口に向けてノズル洗浄液が流れる。この際、水平流路は、リング状の扁平な流路であるので、外周端から内周端に向かうほど、水平流路は絞られる。これにより、ノズル洗浄液吐出口に向けてノズル洗浄液が流れにくくなり、ノズル洗浄液が水平流路の周方向に沿って回り込む。そのため、ノズル洗浄液吐出口からノズルに向けて均等にノズル洗浄液を供給することができる。また、ノズル洗浄液吐出口がスリット状であるので、勢いのある洗浄液をノズルに均一に供給することができる。

また、上述のノズル待機装置において、前記ノズル洗浄液供給部は、前記水平流路の外周端と連通するリング状のリング状流路を備え、前記リング状流路は、前記水平流路との連通部よりも下から前記ノズル洗浄液を流入させるように構成されていることが好ましい。これにより、ノズル洗浄液は、リング状流路の下から上に向けて充填するように流れる。下から上に向けて流れながら、リング状流路に沿って周方向に回り込む。そのため、水平流路に均等にノズル洗浄液を送ることができる。また、ノズル洗浄液を下から上に流すような構成とすることで、リング状流路の横方向の面積を抑制できる。そのため、例えばノズル収容部を複数備える場合に、複数のノズル収容部の間を詰めることができる。

また、上述のノズル待機装置は、前記ノズル収容部内の側面でかつ前記ノズル洗浄液吐出口よりも上に設けられた気体吹き出し口を有し、前記気体吹き出し口から気体を吹き出させる気体吹き出し部を更に備え、前記気体吹き出し口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されていることが好ましい。

気体吹き出し口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されているので、ノズルの全周に気体を均一に吹き出すことができる。ノズル洗浄液でノズルを洗浄した後に、ノズル洗浄液の液残りが生じていたとする。この場合であっても、満遍なく吹き付けられた気体により、液残りを低減できる。また、気体吹き出し口は、ノズル洗浄液吐出口よりも上に設けられているので、ノズル洗浄液の液残りをノズル収容部の底面に向けて吹き飛ばすことができる。

また、上述のノズル待機装置は、前記ノズル収容部の底面に設けられ、前記ノズル収容部と連通し、前記ノズル洗浄液および前記ノズルから吐出された処理液を回収するための廃液回収部と、前記廃液回収部を通じて前記ノズル収容部内を排気する下側排気部とを更に備えていることが好ましい。

ノズル洗浄液でノズルを洗浄した後に、ノズルに気体を吹き付けて、ノズルに付着するノズル洗浄液を吹き飛ばした際に、ノズル洗浄液のミストが発生する。このミストがノズル収容部から溢れ出すと、基板に付着するなどして好ましくない。そのため、ノズル収容部の底面に設けられてノズル収容部と連通する廃液回収部を通じてノズル収容部内を下側排気部により排気する。これにより、気体を吹き付ける際に発生したノズル洗浄液のミストがノズル収容部から溢れ出すことを抑制できる。

また、上述のノズル待機装置は、前記ノズル収容部内の側面でかつ前記気体吹き出し口よりも上に設けられた上側排気口を有し、前記上側排気口から前記ノズル収容部内を排気する上側排気部を更に備えていることが好ましい。これにより、下側排気部に加えて、上側排気口を有する上側排気部からノズル収容部内を排気するので、更に、気体を吹き付ける際に発生したノズル洗浄液のミストがノズル収容部から溢れ出すことを抑制できる。

また、上述のノズル待機装置において、前記上側排気口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されていることが好ましい。これにより、ノズル収容部の開口部に向かうミストを開口部の全周から排気できる。

また、上述のノズル待機装置において、前記ノズル収容部の底面には、前記開口部の直径よりも小さく、前記開口部と同心である排出口と、前記ノズル洗浄液を貯留するノズル洗浄液貯留部とが設けられていることが好ましい。これにより、ノズル収容部内にノズル洗浄液吐出口から供給したノズル洗浄液を貯留させることができる。また、ノズル洗浄液を貯留させることで、ノズルの先端内部にノズル洗浄液を吸引することが容易になる。

また、上述のノズル待機装置において、前記ノズル収容部は、複数のノズルを収容するように構成されていることが好ましい。例えば、現像ノズルが有する複数のノズル毎にノズル収容部で収容せずに、複数のノズルをまとめてノズル収容部で収容する場合であっても、複数のノズルの全周からノズル洗浄液を供給できる。また、隣接するノズルの間にノズル洗浄液が残っても気体により吹き飛ばすことができる。

また、本発明に係る基板処理装置は、基板に対して処理液を吐出するノズルと、前記ノズルを待機させるノズル待機装置とを備え、前記ノズル待機装置は、上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするものである。

本発明に係る基板処理装置によれば、ノズル待機装置において、ノズル収容部は、上面の開口部から挿入されたノズルを収容する。ノズル洗浄液供給部は、ノズル収容部に収容されたノズルに向けて、ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給する。ここで、そのノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されている。これにより、ノズルの全周にノズル洗浄液を均一に供給することができる。そのため、ノズルの洗い残しを低減できる。

また、上述の基板処理装置は、前記ノズルを上下方向および水平方向に移動させるノズル移動機構と、前記ノズル移動機構を制御する制御部とを更に備え、前記制御部は、前記ノズル洗浄液を供給している際に、前記ノズル移動機構により、前記ノズルを前記ノズル収容部内で上下方向に移動させることが好ましい。これにより、ノズル洗浄液が当たるノズル位置が変わるので、効果的にノズルを洗浄することができる。

本発明に係るノズル待機装置および基板処理装置によれば、ノズル収容部は、上面に開口部を有し、開口部を通じてノズルを収容する。ノズル洗浄液供給部は、ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させる。ここで、そのノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されている。これにより、ノズルの全周にノズル洗浄液を均一に供給することができる。そのため、ノズルの洗い残しを低減できる。

実施例に係る現像装置の概略構成図である。 実施例に係る現像装置の平面図である。 （ａ）は、現像ノズルと２つのリンスノズルと待機ポットを示す正面図であり、（ｂ）は、現像ノズルと待機ポットを示す側面図である。 待機ポットの現像ノズル収容部とそれに関連する構成を示す縦断面図である。 待機ポットのリンスノズル収容部とそれに関連する構成を示す縦断面図である。 （ａ）は、現像ノズル収容部におけるノズル洗浄液の供給動作を説明するための平面図であり、（ｂ）は、現像ノズル収容部におけるノズル洗浄液の供給動作を説明するための縦断面図である。 （ａ）は、現像ノズル収容部における気体の吹き出し動作を説明するための縦断面図であり、（ｂ）は、現像ノズル収容部における排気動作を説明するための縦断面図である。 リンスノズル収容部におけるノズル洗浄液の供給動作を説明するための平面図である。 変形例に係る待機ポットの現像ノズル収容部とそれに関する構成を示す縦断面図である。 変形例に係る待機ポットのリング状流路を説明するための縦断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例に係る現像装置の概略構成図であり、図２は、実施例に係る現像装置の平面図である。

＜現像装置１の構成＞
図１を参照する。現像装置１は、略水平姿勢で基板Ｗを保持して回転させる保持回転部２と、基板Ｗに対して現像液を吐出する現像ノズル３と、基板Ｗに対してリンス液を吐出する２つのリンスノズル４，５と、現像ノズル３および２つのリンスノズル４，５を移動させるノズル移動機構６とを備えている。なお、現像液は、ポジトーン現像用またはネガトーン現像用のものが用いられる。リンス液は、例えば、脱イオン水（ＤＩＷ）等の純水が用いられる。現像液およびリンス液は、本発明の処理液に相当する。

保持回転部２は、例えば真空吸着により基板Ｗの裏面を保持するスピンチャック７と、スピンチャック７を略垂直方向の回転軸ＡＸ１周りに回転させる、モータ等で構成された回転駆動部９とを備えている。保持回転部２の周りには、基板Ｗの側方を囲うように、上下移動可能なカップ１１が設けられている。

現像ノズル３は、図２、図３（ａ）のように、Ｘ方向に一列に並んで配置される５つの分割ノズル３ｂを備えている。５つの分割ノズル３ｂはそれぞれ吐出口３ａを備える。現像ノズル３には、図１のように、現像液供給源１３から現像液配管１５を通じて現像液が供給される。現像液配管１５には、開閉弁Ｖ１とポンプＰ１が介在している。開閉弁Ｖ１は、現像液の供給とその停止を行う。ポンプＰ１は、現像液を現像ノズル３に送り出す。なお、現像ノズル３と開閉弁Ｖ１との間の現像液配管１５には、現像液を現像ノズル３内に吸い込んだり吐き出したりするサックバック弁が介在してもよい。

一方、リンスノズル４は吐出口４ａを備える。リンスノズル５は吐出口５ａを備える。リンスノズル４，５は、リンス液供給源１７，１８からリンス液配管１９，２０を通じてリンス液が供給される。リンス液配管１９には、開閉弁Ｖ２とポンプＰ２が介在している。リンス液配管２０には、開閉弁Ｖ３とポンプＰ３が介在している。開閉弁Ｖ２，Ｖ３は各々、リンス液の供給とその停止を行う。ポンプＰ２は、リンス液をリンスノズル４に送り出す。ポンプＰ３は、リンス液をリンスノズル５に送り出す。

なお、リンスノズル４と開閉弁Ｖ２との間のリンス液配管１９、およびリンスノズル５と開閉弁Ｖ３との間のリンス液配管２０の少なくとも一方には、サックバック弁が介在してもよい。

ノズル移動機構６は、図２、図３（ａ）、図３（ｂ）のように、現像ノズル３および２つのリンスノズル４，５を着脱可能に支持する支持ブロック２３と、この支持ブロック２３を介在して現像ノズル３および２つのリンスノズル４，５を支持する支持アーム２５と、この支持アーム２５をＺ方向に昇降させる昇降部２７と、支持アーム２５をＸ方向に移動させる水平移動部２９とを備えている。昇降部２７は、例えば、エアシリンダまたはモータと、ガイドレール等のガイド部とを備えて構成されている。水平移動部２９は、例えば、モータおよびガイド部を備えて構成されている。

なお、支持ブロック２３は、回転軸ＡＸ２周りに回転可能に構成されていてもよい。この場合、支持ブロック２３は、モータなどの駆動部により回転されるように構成されてもよい。

また、ノズル移動機構６は、次のように構成してもよい。水平移動部２９に代えて、または水平移動部２９に加えて、昇降方向（Ｚ方向）周りに支持アーム２５を回転させる回転部（図示しない）が設けられてもよい。また、水平移動部２９は、Ｘ方向に加えて、Ｙ方向の２次元方向に支持アーム２５を移動させるように構成されてもよい。水平移動部２９に代えて、または水平移動部２９に加えて、水平多関節アーム（図示しない）が設けられてもよい。回転部および水平多関節アームは、モータにより駆動される。

＜待機ポット３１の構成＞
待機ポット３１は、現像ノズル３および２つのリンスノズル４，５を使用しない場合に、それらを待機させるものである。待機ポット３１は、図２のように、カップ１１の側方に配置されている。待機ポット３１は、図３（ａ）のように、現像ノズル３を収容する現像ノズル収容部３３と、２つのリンスノズル４，５を個別に収容する２つのリンスノズル収容部３５とを備えている。

なお、現像ノズル３およびリンスノズル４，５は、本発明のノズルに相当する。現像ノズル収容部３３およびリンスノズル収容部３５は、本発明のノズル収容部に相当する。

まず、図４を参照して、現像ノズル収容部３３とそれに関連する構成について説明する。現像ノズル収容部３３は、上面に開口部３３ａを有し、その開口部３３ａを通じて現像ノズル３を収容する。開口部３３ａを含む現像ノズル収容部３３は、１列に並んだ５つの分割ノズル３ｂを収容するために、横断面が略楕円形で構成されている。なお、符号Ｌ１は現像液を示す。

待機ポット３１は、ノズル洗浄液供給部３７を備えている。ノズル洗浄液供給部３７は、現像ノズル収容部３３内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口３９を有し、ノズル洗浄液吐出口３９からノズル洗浄液を供給させる。ノズル洗浄液吐出口３９は、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、ノズル洗浄液を現像ノズル３の全周に向けて均一に供給することができる。また、ノズル洗浄液吐出口３９は、横方向を向いているが斜め下を向いてもよい。なお、ノズル洗浄液として、例えばＤＩＷ等の純水が用いられる。

また、ノズル洗浄液供給部３７は、第１水平流路４５および第１リング状流路４６を備えている。第１水平流路４５および第１リング状流路４６は共に、リング状の扁平な流路である。第１水平流路４５の内周端の開口は、ノズル洗浄液吐出口３９を構成している。また、第１リング状流路４６は、第１水平流路４５の外周端と連通している。

第１水平流路４５では、外周端から内周端のノズル洗浄液吐出口３９に向けて、すなわちリング状の第１水平流路４５の半径方向に沿って、ノズル洗浄液が流れる。この際、第１水平流路４５は、リング状の扁平な流路であるので、外周端から内周端に向かうほど、第１水平流路４５は絞られる。すなわち、第１水平流路４５の外周側よりも内周側において、リング状（または円筒状）に切り出した縦断面積が小さいので、第１水平流路４５は絞られる。これにより、ノズル洗浄液吐出口３９に向けてノズル洗浄液が流れにくくなり、ノズル洗浄液が第１水平流路４５に沿って周方向に回り込む。そのため、ノズル洗浄液吐出口３９から現像ノズル３に向けて均等にノズル洗浄液を供給することができる。また、ノズル洗浄液吐出口３９がスリット状であるので、勢いのある洗浄液をノズルに均一に供給することができる。

また、第１リング状流路４６においても、第１水平流路４５と同様に、流路（流路の断面積）が絞られている。そのため、第１水平流路４５に向けて均等にノズル洗浄液を送ることができる。なお、図４の段差ＤＬのように、第１リング状流路４６に対して、第１水平流路４５の入口（連通部）の流路（流路の断面積）を絞ってもよい。そして、第１水平流路４５によって更に流路を絞るようにしてもよい。

次に、現像ノズル３に残ったノズル洗浄液を気体で吹き飛ばす構成について説明する。現像ノズル収容部３３に現像ノズル３を収容してノズル洗浄液を供給する際に、ノズル洗浄液が現像ノズル３の外面に付着して残る場合がある。例えば、現像ノズル３は、５つの分割ノズル３ｂを備えているので、隣接する分割ノズル３ｂ間にノズル洗浄液が残りやすい。隣接する分割ノズル３ｂ間に残ったノズル洗浄液は、基板Ｗ上に落ちる可能性がある。これは好ましくない。そのため、待機ポット３１は、残ったノズル洗浄液を気体で吹き飛ばすように構成されている。

具体的に説明する。待機ポット３１は、図４のように、気体吹き出し部４１を備えている。気体吹き出し部４１は、現像ノズル収容部３３内の側面でかつノズル洗浄液吐出口３９よりも上に設けられた気体吹き出し口４３を有し、その気体吹き出し口４３から気体を吹き出させる。気体吹き出し口４３は、ノズル洗浄液吐出口３９と同様に、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、気体を現像ノズル３の全周に向けて均一に供給することができる。なお、気体として、窒素（Ｎ_２）等の不活性ガスまたは空気が用いられる。

また、気体吹き出し部４１は、第２水平流路４７および第２リング状流路４８を備えている。第２水平流路４７は、第１水平流路４５の構造と同じ構造を有している。また、第２リング状流路４８は、第１リング状流路４６の構造と同じ構造を有している。

第２水平流路４７および第２リング状流路４８は共に、リング状の扁平な流路である。第２水平流路４７の内周端の開口は、気体吹き出し口４３を構成している。また、第２リング状流路４８は、第２水平流路４７の外周端と連通している。そのため、気体吹き出し口４３から現像ノズル３に向けて均等に気体を供給することができる。また、勢いのある気体を現像ノズル３に供給することができる。

また、第２リング状流路４８においても、第２水平流路４７と同様に、流路が絞られている。そのため、第２水平流路４７に向けて均等に気体を送ることができる。なお、図４の段差ＤＬのように、第２リング状流路４８に対して、第２水平流路４７の入口（連通部）の流路を絞ってもよい。そして、第２水平流路４７によって更に流路を絞るようにしてもよい。

次に、排気の構成について説明する。現像ノズル３に残ったノズル洗浄液を気体で吹き飛ばした際に、ノズル洗浄液のミストが発生する。ノズル洗浄液のミストは、待機ポット３１から溢れ出して、例えば、基板Ｗに付着する可能性があり、これは好ましくない。そのため、発生したミストを排気するように構成されている。

具体的に説明する。待機ポット３１は、図４のように、廃液回収部４９と下側排気部５１とを備えている。廃液回収部４９は、現像ノズル収容部３３の底面に設けられ、現像ノズル収容部３３と連通する。廃液回収部４９は、ノズル洗浄液吐出口３９から供給されたノズル洗浄液、および現像ノズル３から吐出された現像液を回収するためのものである。下側排気部５１は、廃液回収部４９を通じて現像ノズル収容部３３内を排気する。下側排気部５１は、例えば、廃液回収部４９内の側面に設けられた下側排気口５３と、下側排気口５３からの排気ガスを通す、楕円リング状の下側リング状排気流路５５と、排気源となる排気装置（図示しない）とを備えている。

なお、下側排気口５３は、内向きに開口した１つの楕円リング状のスリットで構成されている。これに代えて、複数個の扁平な矩形状スリットを円周方向に並べて下側排気口を構成してもよい。

このような下側排気部５１は、現像ノズル３を乾燥させる際に、気体吹き出し口４３から吹き出した気体により発生したミストを、廃液回収部４９を通じて排気することができる。その結果、ミストが現像ノズル収容部３３から溢れ出すことを抑制できる。

待機ポット３１は、更に、現像ノズル収容部３３内を排気する上側排気部５７を備えている。上側排気部５７は、上側排気口５９を備える。この上側排気口５９は、現像ノズル収容部３３内の側面でかつ気体吹き出し口４３よりも上に設けられている。上側排気部５７は、更に、上側リング状排気流路６１を備える。この上側リング状排気流路６１は、上側排気口５９と連通するように設けられ、楕円リング状に形成されている。上側リング状排気流路６１は排気ガスを吸引する排気装置（図示しない）に連通接続されている。上側排気口５９は、内側向きに開口した楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、現像ノズル収容部３３の開口部３３ａに向かうミストを開口部３３ａの全周から排気できる。上側排気口５９から排気されたミストは上側リング状排気流路６１を通って外部の排気装置に排出される。

次に、図４を参照して、ノズル洗浄液の供給、気体の吹き出し、および排気に関するその他の構成を説明する。

ノズル洗浄液吐出口３９および第１水平流路４５と連通する第１リング状流路４６には、ノズル洗浄液流路６３およびノズル洗浄液配管６５を通じてノズル洗浄液供給源６７からノズル洗浄液が送られるように構成されている。ノズル洗浄液流路６３は、第１リング状流路４６に均等にノズル洗浄液を送るように分岐して構成されてもよい。ノズル洗浄液配管６５には、開閉弁Ｖ４とポンプＰ４が介在して設けられている。なお、ノズル洗浄液供給部３７は、ノズル洗浄液吐出口３９、第１水平流路４５、第１リング状流路４６、ノズル洗浄液流路６３、ノズル洗浄液配管６５、ノズル洗浄液供給源６７、開閉弁Ｖ４およびポンプＰ４を備えている。

また、気体吹き出し口４３および第２水平流路４７に連通する第２リング状流路４８には、気体流路６９および気体配管７１を通じて気体供給源７３から気体が送られるように構成されている。気体流路６９は第２リング状流路４８に均等に気体を送るように分岐して構成されてもよい。気体配管７１には、開閉弁Ｖ５が介在して設けられている。なお、気体吹き出し部４１は、気体吹き出し口４３、第２水平流路４７、第２リング状流路４８、気体流路６９、気体配管７１、気体供給源７３および開閉弁Ｖ５を備えている。

また、下側排気口５３と連通する下側リング状排気流路５５には、下側排気流路７５および下側排気配管７７を通じて排気するように構成されている。下側排気配管７７には、開閉弁Ｖ６が介在して設けられている。周方向に均等に排気するために、図４の矢印Ａで示すように、下側リング状排気流路５５の対向する位置で、下側排気流路７５が下側リング状排気流路５５と連通していてもよい。後述する上側排気部５７の上側排気流路７９も同様である。なお、下側排気部５１は、下側排気口５３、下側リング状排気流路５５、下側排気流路７５、下側排気配管７７、開閉弁Ｖ６および排気装置（図示しない）を備えている。

また、上側排気口５９と連通する上側リング状排気流路６１には、上側排気流路７９および上側排気配管８１を通じて排気するように構成されている。上側排気配管８１には、開閉弁Ｖ７が介在して設けられている。なお、上側排気部５７は、上側排気口５９、上側リング状排気流路６１、上側排気流路７９および上側排気配管８１、開閉弁Ｖ７および排気装置（図示しない）を備えている。

なお、下側排気部５１および上側排気部５７の排気装置は、例えば、ポンプ、ファン、または現像装置１が設置される工場の排気システムで構成されている。

次に、図５を参照して、リンスノズル収容部３５とそれに関連する構成について説明する。

なお、リンスノズル４，５は、現像ノズル３のように、複数の分割ノズル３ｂを備えておらず、ノズル洗浄液が残りにくい。そのため、リンスノズル収容部３５では、気体を吹き出し、排気する構成を採用していない。また、図３（ａ）において、２つのリンスノズル４，５を収容する２つのリンスノズル収容部３５は、同じ構成であるので、リンスノズル４を収容するリンスノズル収容部３５を代表して説明する。また、図５の符号Ｌ１１はリンス液を示す。

リンスノズル収容部３５は、上面に開口部３５ａを有し、その上面の開口部３５ａを通じてリンスノズル４を収容する。開口部３５ａを含むリンスノズル収容部３５は、横断面が略円形で構成されている。

待機ポット３１は、ノズル洗浄液供給部９１を備えている。ノズル洗浄液供給部９１は、リンスノズル収容部３５内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口９３を有し、ノズル洗浄液吐出口９３からノズル洗浄液を供給させる。ノズル洗浄液吐出口９３は、内側を向いたリング状のスリットで構成されている。これにより、ノズル洗浄液を例えばリンスノズル４の全周に向けて均一に供給することができる。なお、ノズル洗浄液として、同様に、純水が用いられる。

リンスノズル収容部３５の底面には、廃液回収部９５が設けられている。廃液回収部９５は、ノズル洗浄液およびリンスノズル４から吐出されたリンス液を回収する。

また、ノズル洗浄液供給部９１は、第３水平流路９７および第３リング状流路９８を備えている。第３水平流路９７は、図４に示す第１水平流路４５の構造と略同じ構造を有している。また、第３リング状流路９８は、第１リング状流路４６の構造と略同じ構造を有している。

第３水平流路９７および第３リング状流路９８は共に、リング状の扁平な流路である。第３水平流路９７の内周端の開口は、ノズル洗浄液吐出口９３を構成している。また、第３リング状流路９８は、第３水平流路９７の外周端と連通している。そのため、ノズル洗浄液吐出口９３からリンスノズル４に向けて均等にノズル洗浄液を供給することができる。また、勢いのあるノズル洗浄液をリンスノズル４に供給することができる。

また、第３リング状流路９８においても、第３水平流路９７と同様に、流路が絞られている。そのため、第３水平流路９７に向けて均等にノズル洗浄液を送ることができる。なお、図５の段差ＤＬのように、第３リング状流路９８に対して、第３水平流路９７の入口（連通部）の流路を絞ってもよい。そして、第３水平流路９７によって更に流路を絞るようにしてもよい。また、第３水平流路９７は、外周端から内周端に向けて流路の厚みが薄くなるように、例えば第３水平流路９７の上面が傾斜して構成してもよい。

なお、第１リング状流路４６、第２リング状流路４８、第３リング状流路９８は、本発明のリング状流路に相当する。また、第１水平流路４５、第２水平流路４７および第３水平流路９７は、本発明の水平流路に相当する。

ノズル洗浄液吐出口９３および第３水平流路９７と連通する第３リング状流路９８には、ノズル洗浄液流路９９およびノズル洗浄液配管１０１を通じてノズル洗浄液供給源１０３からノズル洗浄液が送られるように構成されている。ノズル洗浄液流路９９は、第３リング状流路９８に均等にノズル洗浄液を送るように分岐して構成されてもよい。ノズル洗浄液配管１０１には、開閉弁Ｖ８とポンプＰ８が介在して設けられている。なお、ノズル洗浄液供給部９１は、ノズル洗浄液吐出口９３、第３水平流路９７、第３リング状流路９８、ノズル洗浄液流路９９、ノズル洗浄液配管１０１、ノズル洗浄液供給源１０３、開閉弁Ｖ８およびポンプＰ８を備えている。

図１に戻る。現像装置１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）などで構成された制御部１１０と、現像装置１を操作するための操作部１１２とを備えている。制御部１１０は、現像装置１の各構成（例えばノズル移動機構６および開閉弁Ｖ１〜Ｖ８）を制御する。操作部１１２は、液晶モニタなどの表示部と、ＲＯＭ（Read-only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスク等の記憶部と、キーボード、マウス、および各種ボタン等の入力部とを備えている。記憶部には、現像処理の各種条件等が記憶されている。

制御部１１０は、例えば、現像ノズル収容部３３に現像ノズル３が収容された状態で、開閉弁Ｖ１を制御して現像ノズル３から現像液を吐出させる。これにより、ダミーディスペンスが行われる。

＜現像装置１の動作＞
次に、現像装置１の動作について説明する。まず、現像工程を説明し、その後で、待機ポット３１における現像ノズル３等の洗浄工程を説明する。

〔現像工程〕
まず、現像工程を説明する。図２において、ノズル移動機構６により、現像ノズル３が基板Ｗの中心の上方に配置されるように、現像ノズル３と２つのリンスノズル４，５を待機ポット３１から基板Ｗの上方に移動させる。移動後、保持回転部２により回転された基板Ｗ上に現像ノズル３から現像液を吐出させる。現像液の吐出が終了すると、ノズル移動機構６により、例えばリンスノズル４が基板Ｗの中心の上方に配置されるように、現像ノズル３等を移動させる。移動後、回転された基板Ｗ上にリンスノズル４からリンス液を吐出させる。そして、回転によりリンス液を基板Ｗの外に飛ばして基板Ｗを乾燥させる。基板Ｗの乾燥後、ノズル移動機構６により、現像ノズル３等を基板Ｗの上方から待機ポット３１に移動させる。

図３（ａ）の待機ポット３１において、現像ノズル３は、現像ノズル収容部３３に開口部３３ａを通って収容される。２つのリンスノズル４，５は各々、リンスノズル収容部３５に開口部３５ａを通って収容される。各ノズル３〜５が収容されて待機中の状態になる。その待機中の各ノズル３〜５に対して、ノズル洗浄を行う。

〔現像ノズル３の洗浄工程〕
次に、図４の現像ノズル３の洗浄工程を説明する。洗浄工程は、ノズル洗浄液を供給し、供給後に乾燥するように構成されている。制御部１１０は、ノズル洗浄液供給部３７の開閉弁Ｖ４を開くことにより、ノズル洗浄液吐出口３９からノズル洗浄液を供給させる。ノズル洗浄液吐出口３９は、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、図６（ａ）、図６（ｂ）のように、現像ノズル収容部３３に収容された現像ノズル３の全周に向けてノズル洗浄液Ｌ２を均一に供給でき、洗い残しを低減できる。

なお、図６（ｂ）において、供給されたノズル洗浄液は、現像ノズル収容部３３の底面から廃液回収部４９に流れて排出される。予め設定された時間の経過後、開閉弁Ｖ４を閉じることにより、ノズル洗浄液の供給を停止する。

また、制御部１１０は、ノズル洗浄液を供給している際に、ノズル移動機構６により、現像ノズル３を上下方向（図６（ｂ）の矢印ＵＤの方向）に往復または片道移動させてもよい。これにより、現像ノズル３にノズル洗浄液が当たる位置が変わるので、効果的に現像ノズル３を洗浄することができる。ノズル移動機構６による現像ノズル３の上下方向への往復移動は、１回だけでなく複数回行ってもよい。

ノズル洗浄液を供給した後、制御部１１０は、開閉弁Ｖ５を開くことにより、気体吹き出し口４３から気体を吹き出させる。気体吹き出し口４３は、ノズル洗浄液吐出口３９のように、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、現像ノズル３の全周に気体を均一に吹き出すことができ、現像ノズル３の全体をむら無く乾燥させることができる。

また、現像ノズル３は、５つの分割ノズル３ｂを備えているので、隣接する分割ノズル３ｂの間でノズル洗浄液が残りやすい。しかしながら、現像ノズル３の周囲に満遍なく気体が吹き付けられるので、液残りを低減できる。また、気体吹き出し口４３は、図７（ａ）のように、水平方向および斜め下の少なくともいずれかの方向に向いている。更に、気体吹き出し口４３は、ノズル洗浄液吐出口３９よりも上に設けられているので、ノズル洗浄液の液残りを現像ノズル収容部３３の底面に向けて吹き飛ばすことができる。なお、この場合も現像ノズル３を上下させてもよい。

気体吹き出し口４３から気体を吹き出している際、制御部１１０は、開閉弁Ｖ６，Ｖ７を開くことにより、下側排気口５３および上側排気口５９から現像ノズル収容部３３内を排気する。気体吹き出し口４３から気体を吹き出すと、ノズル洗浄液のミストが発生し、ミストが現像ノズル収容部３３の開口部３３ａから溢れ出す可能性がある。ミストが溢れ出すと、例えば基板Ｗに付着するという不具合が生じる。そのため、ミストが開口部３３ａから出ないように、下側排気口５３と上側排気口５９により、気体吹き出し口４３の上下方向から現像ノズル収容部３３内を排気する。

図７（ｂ）において、気体吹き出し口４３よりも下方に向かうミストは、下側排気口５３により排気され、気体吹き出し口４３よりも上方に向かうミストは、上側排気口５９により排気される。そのため、ミストの溢れ出しを抑制できる。また、下側排気口５３および上側排気口５９は、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。そのため、現像ノズル３の全周からミストを排気でき、ミストの溢れ出しを更に抑制できる。

なお、予め設定された時間の経過後、開閉弁Ｖ５〜Ｖ７を閉じることにより、気体の吹き出しと排気を停止する。

〔リンスノズル４の洗浄工程〕
次に、図５のリンスノズル４の洗浄工程を説明する。なお、リンスノズル５の洗浄工程は、リンスノズル４と同様であるので説明を省略する。

リンスノズル４は、ノズル移動機構６により現像ノズル３と一緒に待機ポット３１に移動される。リンスノズル４は、リンスノズル収容部３５に収容されて、待機中の状態になる。

制御部１１０は、開閉弁Ｖ８を開くことにより、ノズル洗浄液吐出口９３からノズル洗浄液を供給する。ノズル洗浄液吐出口９３は、内側に向いたリング状のスリットで構成されている。そのため、図８のように、リンスノズル４の全周に向けて均一にノズル洗浄液を供給するので、洗い残しを低減できる。

なお、制御部１１０は、ノズル洗浄液を供給している際に、ノズル移動機構６により、リンスノズル４を上下方向（図５の矢印ＵＤの方向）に往復または片道移動させてもよい。これにより、リンスノズル４にノズル洗浄液が当たる位置が変わるので、効果的に現像ノズル３を洗浄することができる。往復移動は、１回だけでなく複数回行ってもよい。

供給したノズル洗浄液は、リンスノズル収容部３５の底面を通じて廃液回収部９５に送られて排出される。予め設定された時間の経過後、開閉弁Ｖ８を閉じることにより、ノズル洗浄液を停止する。ノズル洗浄液の停止後、リンスノズル４は、自然に乾燥される。なお、現像ノズル３とリンスノズル４，５の洗浄工程は、同じタイミングで行ってもよく、あるいは異なるタイミングで各々行ってもよい。

本実施例によれば、現像装置１は、基板Ｗに対して現像液を吐出する現像ノズル３と、現像ノズル３を待機させる待機ポット３１とを備えている。待機ポット３１において、現像ノズル収容部３３は、上面に開口部３３ａを有し、開口部３３ａを通じて現像ノズル３を収容する。ノズル洗浄液供給部３７は、現像ノズル収容部３３内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口３９を有し、ノズル洗浄液吐出口３９からノズル洗浄液を供給させる。ここで、そのノズル洗浄液吐出口３９は、内側を向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、現像ノズル３の全周にノズル洗浄液を均一に供給することができる。そのため、現像ノズル３の洗い残しを低減できる。なお、リンスノズル収容部３５においても同様の効果を有する。

また、気体吹き出し口４３は、内側に向いた楕円リング状のスリットで構成されているので、現像ノズル３の全周に気体を均一に吹き出すことができる。ノズル洗浄液で現像ノズル３を洗浄した後に、ノズル洗浄液の液残りが生じていたとする。この場合であっても、満遍なく吹き付けられた気体により、液残りを低減できる。また、気体吹き出し口４３は、ノズル洗浄液吐出口３９よりも上に設けられているので、ノズル洗浄液の液残りを現像ノズル収容部３３の底面に向けて吹き飛ばすことができる。

ノズル洗浄液で現像ノズル３を洗浄した後に、現像ノズル３に気体を吹き付けて現像ノズル３に付着するノズル洗浄液を吹き飛ばした際に、ノズル洗浄液のミストが発生する。このミストが現像ノズル収容部３３から溢れ出すと、基板Ｗに付着するなどして好ましくない。そのため、現像ノズル収容部３３の底面に設けられて現像ノズル収容部３３と連通する廃液回収部４９を通じて現像ノズル収容部３３内を下側排気部５１により排気する。これにより、気体を吹き付ける際に発生したノズル洗浄液のミストが現像ノズル収容部３３から溢れ出すことを抑制できる。

また、下側排気部５１に加えて、上側排気口５９を有する上側排気部５７から現像ノズル収容部３３内を排気するので、更に、気体を吹き付ける際に発生したノズル洗浄液のミストが現像ノズル収容部３３から溢れ出すことを抑制できる。また、上側排気口５９は、内側に向いた楕円リング状のスリットで構成されている。これにより、現像ノズル収容部３３の開口部３３ａに向かうミストを開口部３３ａの全周から排気できる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、現像ノズル収容部３３および２つのリンスノズル収容部３５に供給されたノズル洗浄液は、そのまま排出していた。この点、現像ノズル収容部３３および２つのリンスノズル収容部３５の少なくとも一方に、供給されたノズル洗浄液を一時的に貯留するような構成を採用してもよい。

例えば、図９のように、待機ポット３１において、現像ノズル収容部３３の底面には、開口部３３ａの直径（内径）よりも小さく、開口部３３ａと同心である排出口１２０と、ノズル洗浄液を貯留するノズル洗浄液貯留部１２２とが設けられている。排出口１２０を適宜に小径にすることにより、ノズル洗浄液吐出口３９から供給したノズル洗浄液を現像ノズル収容部３３内に一定時間に亘り貯留させることができる。また、ノズル洗浄液を貯留させることで、現像ノズル３の先端内部にノズル洗浄液を吸引することが容易になる。図９の現像ノズル３は、その先端内部にノズル洗浄液を吸引させた状態を示す。符号Ｌ１は現像液であり、符号Ｌ２はノズル洗浄液であり、そして、符号Ｌ３は空気などの気体である。

また、現像ノズル収容部３３は、逆円錐状、すなわち漏斗状に構成されていてもよい。なお、リンスノズル収容部３５も、現像ノズル収容部３３と同様に、排出口１２０とノズル洗浄液貯留部１２２が設けられてもよい。

（２）上述した実施例および変形例（１）では、制御部１１０は、ノズル洗浄液を供給している際に、ノズル移動機構６により、現像ノズル３および２つのリンスノズル４，５を上下方向に移動させていた。例えば、気体を吹き出している際に、現像ノズル３等を移動させてもよい。また、ノズル洗浄液を供給している際には、現像ノズル３を停止させて、気体を吹き出している際に、現像ノズル３等を移動させてもよい。

（３）上述した実施例および各変形例では、現像装置１は、１つの現像ノズル３を備えていたが、２つ以上の現像ノズル３を備えてもよい。また、現像ノズル３は、５つの吐出口３ａ（すなわち５つの分割ノズル３ｂ）を備えていたが、５つ以外の吐出口３ａを備えていてもよい。また、現像装置１は、２つのリンスノズル４，５を備えていたが、２つ以外のリンスノズルを備えていてもよい。また、リンスノズル４，５は各々、１つの吐出口４ａ，５ａ（すなわち１つのノズル）を備えていたが、２つ以上（複数）の吐出口を備えていてもよい。この場合、１つのリンスノズル収容部３５で、２つ以上の吐出口を収容するようにしてもよい。

（４）上述した実施例および各変形例では、１つの待機ポット３１に、現像ノズル収容部３３と２つのリンスノズル収容部３５が形成されていた。例えば、待機ポットは、３つ（複数）設けられ、第１待機ポットに現像ノズル収容部３３が設けられ、第２待機ポットに１つのリンスノズル収容部３５が設けられ、そして、第３待機ポットに他の１つのリンスノズル収容部３５が設けられてもよい。この３つの待機ポットは、隣接して配置される。

（５）上述した実施例および各変形例では、リンスノズル収容部３５には、気体を吹き出し、排気する構成が設けられていなかった。この点、リンスノズル収容部３５には、現像ノズル収容部３３と同様に、気体吹き付け口を有する気体吹き付け部、下側排気口を有する下側排気部、および上側排気口を有する上側排気部が設けられていてもよい。

（６）上述した実施例および各変形例では、上側排気口５９を備えて、現像ノズル収容部３３内を排気していた。例えば、下側排気口５３からの排気だけで、現像ノズル収容部３３からミストが十分に溢れ出ないであれば、上側排気口５９を含む上側排気部５７を省略してもよい。また、必要により、下側排気口５３を含む下側排気部５１を省略して、上側排気口５９からだけで排気させてもよい。

（７）上述した実施例および各変形例において、図１０のように、第１水平流路４５と連通する第１リング状流路４６を円筒状に形成してもよい。そして、第１リング状流路４６は、第１水平流路４５の連通部よりも下からノズル洗浄液を流入させるように構成されてもよい。第１リング状流路４６にノズル洗浄液が流入されると、ノズル洗浄液は、第１リング状流路４６の下から上に向けて充填するように流れる。下から上に向けてノズル洗浄液が流れながら、第１リング状流路４６に沿って周方向にもノズル洗浄液が移動する。そのため、第１水平流路４５に向けてノズル洗浄液を均等に送ることができる。それにより、更に、ノズル洗浄液吐出口３９から現像ノズル３に向けて均等にノズル洗浄液を供給することができる。

また、ノズル洗浄液を下から上に流すような構成とすることで、図１０のように、第１リング状流路４６の横方向の面積を抑制できる。そのため、現像ノズル収容部３３およびリンスノズル収容部３５を複数備える場合に、複数のノズル収容部の間を詰めることができる。

（８）上述した実施例および各変形例では、ノズル移動機構６により、現像ノズル３と２つのリンスノズル４，５は、同一の支持アーム２５に取り付けられて、一緒に移動されるが、個々に移動されるようになっていてもよい。

（９）上述した実施例および各変形例では、２つのリンスノズル４，５のいずれかは、プリウェット液を吐出するものであってもよい。プリウェット液は、基板Ｗ上に吐出した現像液を広がり易くするものである。プリウェット液は、基板Ｗに対して現像液を吐出する前に、回転する基板Ｗに対して吐出される。

（１０）上述した実施例および各変形例では、基板処理装置として現像装置１を説明した。この点、塗布装置であってもよい。この場合、処理液は、基板Ｗ上に塗膜を形成するための塗布液が用いられる。塗布液は、フォトレジスト液、SOG (Spin on glass coating)液、SOD (Spin on dielectric coating)液、またはポリイミド樹脂液等が用いられる。また、塗布装置の場合、ノズル洗浄液として、シンナーなどの溶剤が用いられる。

１ … 現像装置
３ … 現像ノズル
３ｂ … 分割ノズル
４，５ … リンスノズル
６ … ノズル移動機構
３１ … 待機ポット
３３ … 現像ノズル収容部
３５ … リンスノズル収容部
３３ａ，３５ａ… 開口部
３７，９１… ノズル洗浄液供給部
３９，９３… ノズル洗浄液吐出口
４１ … 気体吹き出し部
４３ … 気体吹き出し口
４５ … 第１水平流路
４６ … 第１リング状流路
４７ … 第２水平流路
４８ … 第２リング状流路
４９，９５… 廃液回収部
５１ … 下側排気部
５３ … 下側排気口
５７ … 上側排気部
５９ … 上側排気口
６１ … 上側リング状排気流路
９７ … 第３水平流路
９８ … 第３リング状流路
１１０ … 制御部
１２０ … 排出口
１２２ … ノズル洗浄液貯留部

Claims (11)

1. 上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、
   前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、
   前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするノズル待機装置。
2. 請求項１に記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル洗浄液供給部は、リング状の扁平な水平流路を備え、
   前記水平流路の内周端の開口が前記ノズル洗浄液吐出口を構成していることを特徴とするノズル待機装置。
3. 請求項２に記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル洗浄液供給部は、前記水平流路の外周端に連通するリング状のリング状流路を備え、
   前記リング状流路は、前記水平流路との連通部よりも下から前記ノズル洗浄液を流入させるように構成されていることを特徴とするノズル待機装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル収容部内の側面でかつ前記ノズル洗浄液吐出口よりも上に設けられた気体吹き出し口を有し、前記気体吹き出し口から気体を吹き出させる気体吹き出し部を更に備え、
   前記気体吹き出し口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするノズル待機装置。
5. 請求項４に記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル収容部の底面に設けられ、前記ノズル収容部と連通し、前記ノズル洗浄液および前記ノズルから吐出された処理液を回収するための廃液回収部と、
   前記廃液回収部を通じて前記ノズル収容部内を排気する下側排気部とを更に備えていることを特徴とするノズル待機装置。
6. 請求項４または５に記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル収容部内の側面でかつ前記気体吹き出し口よりも上に設けられた上側排気口を有し、前記上側排気口から前記ノズル収容部内を排気する上側排気部を更に備えていることを特徴とするノズル待機装置。
7. 請求項６に記載のノズル待機装置において、
   前記上側排気口は、内側に向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とするノズル待機装置。
8. 請求項１から７のいずれかに記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル収容部の底面には、前記開口部の直径よりも小さく、前記開口部と同心である排出口と、前記ノズル洗浄液を貯留するノズル洗浄液貯留部とが設けられていることを特徴とするノズル待機装置。
9. 請求項１から８のいずれかに記載のノズル待機装置において、
   前記ノズル収容部は、複数のノズルを収容するように構成されていることを特徴とするノズル待機装置。
10. 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
    前記ノズルを待機させるノズル待機装置とを備え、
    前記ノズル待機装置は、
    上面に開口部を有し、前記開口部を通じてノズルを収容するノズル収容部と、
    前記ノズル収容部内の側面に設けられたノズル洗浄液吐出口を有し、前記ノズル洗浄液吐出口からノズル洗浄液を供給させるノズル洗浄液供給部とを備え、
    前記ノズル洗浄液吐出口は、内側を向いたリング状のスリットで構成されていることを特徴とする基板処理装置。
11. 請求項１０に記載の基板処理装置において、
    前記ノズルを上下方向および水平方向に移動させるノズル移動機構と、
    前記ノズル移動機構を制御する制御部とを更に備え、
    前記制御部は、前記ノズル洗浄液を供給している際に、前記ノズル移動機構により、前記ノズルを前記ノズル収容部内で上下方向に移動させることを特徴とする基板処理装置。
    

Images